JP5854600B2 - Photocurable resin composition - Google Patents

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Description

本発明は、例えばプリント配線基板のソルダーレジスト等として用いられる光硬化性樹脂組成物、それから得られるドライフィルム及び硬化物、並びに該ドライフィルムや硬化物によりソルダーレジスト等の硬化皮膜が形成されてなるプリント配線板に関する。   The present invention is, for example, a photocurable resin composition used as a solder resist of a printed wiring board, a dry film and a cured product obtained therefrom, and a cured film such as a solder resist formed by the dry film or the cured product. The present invention relates to a printed wiring board.

光硬化性樹脂組成物は、写真法(フォトリソグラフィー)の原理を応用することによって、微細加工が可能である。さらに、物性に優れた硬化物を得ることができることから、電子機器や印刷版等に用いられている。
この光硬化性樹脂組成物には溶剤現像型とアルカリ現像型があるが、近年では、環境対策の点から希薄な弱アルカリ水溶液で現像できるアルカリ現像型が主流になっている。例えば、プリント配線基板製造、液晶表示板製造、あるいは印刷製版等においては、アルカリ現像型の光硬化性樹脂組成物が広く用いられている。これに要求される特性としては、例えば、プリント配線板製造においてソルダーレジストとして使用される際には、その硬化物においてはんだ付け等、高温条件での処理に耐え得る耐熱性が求められる。
The photocurable resin composition can be finely processed by applying the principle of a photographic method (photolithography). Furthermore, since a cured product having excellent physical properties can be obtained, it is used in electronic devices and printing plates.
The photocurable resin composition includes a solvent development type and an alkali development type. In recent years, an alkali development type that can be developed with a dilute weak alkaline aqueous solution has become mainstream from the viewpoint of environmental measures. For example, alkali-developable photocurable resin compositions are widely used in printed wiring board manufacture, liquid crystal display board manufacture, printing plate making, and the like. As a characteristic required for this, for example, when used as a solder resist in the production of a printed wiring board, the cured product is required to have heat resistance that can withstand processing under high temperature conditions such as soldering.

また、近年、電子機器の小型軽量化、多機能化、環境対応に伴い、プリント配線板等における高密度実装化、薄肉化等が進められていることから、ソルダーレジストには、耐熱性だけでなく冷熱サイクル時のクラック発生の抑制が必要とされている。さらに、高密度実装のためにファインピッチのパターンを有する高密度実装基板に用いられるソルダーレジストには、高い解像度が要求される。高い解像度を得るためには、露光部と未露光部のコントラストを上げることが必要である。冷熱サイクル時のクラック耐性の向上として期待される硬化物の脆さの軽減については、ビスフェノール型のカルボキシル基含有エポキシ(メタ)アクリレートとノボラック型のカルボキシル基含有エポキシ(メタ)アクリレートとの混合物を用いる手法が提案されている(例えば、特許文献1など参照)。しかしながら、このような手法では、高い解像性とクラック耐性を両立させるまでには至っていない。   In recent years, as electronic devices have become smaller, lighter, more functional, and environmentally friendly, high-density mounting and thinning of printed wiring boards have been promoted. There is also a need to suppress the occurrence of cracks during the cooling and heating cycle. Furthermore, a high resolution is required for a solder resist used for a high-density mounting substrate having a fine pitch pattern for high-density mounting. In order to obtain a high resolution, it is necessary to increase the contrast between the exposed area and the unexposed area. For reducing the brittleness of the cured product, which is expected to improve crack resistance during the thermal cycle, a mixture of bisphenol-type carboxyl group-containing epoxy (meth) acrylate and novolac-type carboxyl group-containing epoxy (meth) acrylate is used. A technique has been proposed (see, for example, Patent Document 1). However, such a method has not yet achieved both high resolution and crack resistance.

従来の光硬化性樹脂組成物の代表的な例としては、光重合開始剤と共にカルボキシル基含有エポキシ(メタ)アクリレート樹脂と(メタ)アクリレートモノマーを用いた光硬化性樹脂組成物が挙げられる。このような構成の組成物を用いることにより、光照射後に現像工程を経て必要とされるパターン形成が行われる。しかしながら、高い解像性を得るためには、光重合開始剤と光反応性を有するカルボキシル基含有エポキシ(メタ)アクリレート樹脂や(メタ)アクリレートモノマーとのバランスがとりにくいという問題がある。特に、液状タイプ及びドライフィルムタイプの乾燥塗膜にPET(ポリエチレンテレフタレート)フィルムを貼付した状態で露光した場合、PETフィルムがレジスト表面に存在した状態で露光をすることから、酸素阻害を受けず、レジスト表面において暗反応が進行してハレーションが発生し易く、目的とする安定した解像性が得られない問題が生じている。そこで、重合禁止剤としてメトキノン、ハイドロキノン、フェノチアジンなどを併用して安定した解像性を得る検討が行われているが、十分な結果が得られていない。   A typical example of a conventional photocurable resin composition is a photocurable resin composition using a carboxyl group-containing epoxy (meth) acrylate resin and a (meth) acrylate monomer together with a photopolymerization initiator. By using the composition having such a configuration, a required pattern is formed through a development process after light irradiation. However, in order to obtain high resolution, there is a problem that it is difficult to balance the photopolymerization initiator and the photoreactive carboxyl group-containing epoxy (meth) acrylate resin or (meth) acrylate monomer. In particular, when exposed in a state where a PET (polyethylene terephthalate) film is attached to a dry coating film of a liquid type and a dry film type, since the PET film is exposed in a state where it exists on the resist surface, it is not subjected to oxygen inhibition, A dark reaction proceeds on the resist surface and halation is likely to occur, and there is a problem that the desired stable resolution cannot be obtained. Therefore, studies have been made to obtain stable resolution by using methoquinone, hydroquinone, phenothiazine and the like as a polymerization inhibitor, but sufficient results have not been obtained.

特開2000−109541号公報(特許請求の範囲)JP 2000-109541 A (Claims)

本発明は、前述したような従来技術の問題に鑑みなされたものであり、液状タイプ及びドライフィルムタイプの乾燥塗膜にフィルムを貼付した状態で露光した場合にも、ハレーションやアンダーカットが発生せず、高い解像性が得られ、また冷熱サイクル時のクラック発生を抑制することが可能な光硬化性樹脂組成物を提供することを目的とする。
さらに本発明の目的は、このような光硬化性樹脂組成物を用いることによって得られる上記のような諸特性に優れたドライフィルム及び硬化物、並びに該ドライフィルムや硬化物によりソルダーレジスト等の硬化皮膜が形成されてなるプリント配線板を提供することにある。
The present invention has been made in view of the above-described problems of the prior art, and halation and undercutting may occur even when exposed in a state where a film is applied to a dry coating film of a liquid type or a dry film type. It is an object of the present invention to provide a photocurable resin composition that can obtain high resolution and can suppress the occurrence of cracks during a cooling and heating cycle.
Furthermore, the object of the present invention is to obtain a dry film and a cured product excellent in various properties as described above obtained by using such a photocurable resin composition, and to cure a solder resist or the like with the dry film or the cured product. It is providing the printed wiring board by which a membrane | film | coat is formed.

本発明の一つの側面によれば、カルボキシル基含有樹脂と、光重合開始剤と、ナフタレン誘導体及び/又はナフトキノンとその誘導体を含むことを特徴とする光硬化性樹脂組成物が提供される。好適な態様においては、上記ナフタレン誘導体及び/又はナフトキノンとその誘導体は、水酸基を有する化合物である。
このような構成により、高い解像性が得られ、その硬化物において、プリント配線板等に用いられる際に、冷熱サイクル耐性を向上させることが可能となる。ここで本発明の光硬化性樹脂組成物において、カルボキシル基含有樹脂は、感光性基を有することが好ましい。感光性基を有することにより、光硬化性樹脂組成物の光硬化性が増大し、感度を向上させることができる。
According to one aspect of the present invention, there is provided a photocurable resin composition comprising a carboxyl group-containing resin, a photopolymerization initiator, a naphthalene derivative and / or naphthoquinone and a derivative thereof. In a preferred embodiment, the naphthalene derivative and / or naphthoquinone and its derivative are compounds having a hydroxyl group.
With such a configuration, high resolution is obtained, and when the cured product is used for a printed wiring board or the like, it is possible to improve the thermal cycle resistance. Here, in the photocurable resin composition of the present invention, the carboxyl group-containing resin preferably has a photosensitive group. By having the photosensitive group, the photocurability of the photocurable resin composition increases, and the sensitivity can be improved.

また、本発明の光硬化性樹脂組成物の一態様においては、上記光重合開始剤は、下記一般式(I)で表されるオキシムエステル系光重合開始剤、下記一般式(II)で表されるアミノアセトフェノン系光重合開始剤、及び下記一般式(III)で表されるアシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤からなる群から選ばれた1種以上の光重合開始剤との混合物であることが好ましい。

Figure 0005854600
(式中、Rは、水素原子、フェニル基(炭素数1〜6のアルキル基、フェニル基、若しくはハロゲン原子で置換されていてもよい)、炭素数1〜20のアルキル基(1個以上の水酸基で置換されていてもよく、アルキル鎖の中間に1個以上の酸素原子を有していてもよい)、炭素数5〜8のシクロアルキル基、炭素数2〜20のアルカノイル基又はベンゾイル基(炭素数が1〜6のアルキル基若しくはフェニル基で置換されていてもよい)を表し、Rは、フェニル基(炭素数1〜6のアルキル基、フェニル基若しくはハロゲン原子で置換されていてもよい)、炭素数1〜20のアルキル基(1個以上の水酸基で置換されていてもよく、アルキル鎖の中間に1個以上の酸素原子を有していてもよい)、炭素数5〜8のシクロアルキル基、炭素数2〜20のアルカノイル基又はベンゾイル基(炭素数が1〜6のアルキル基若しくはフェニル基で置換されていてもよい)を表し、R及びRは、それぞれ独立に、炭素数1〜12のアルキル基又はアリールアルキル基を表し、R及びRは、それぞれ独立に、水素原子、炭素数1〜6のアルキル基、又は2つが結合した環状アルキルエーテル基を表し、R及びRは、それぞれ独立に、炭素数1〜10の直鎖状又は分岐状のアルキル基、シクロヘキシル基、シクロペンチル基、アリール基、又はハロゲン原子、アルキル基若しくはアルコキシ基で置換されたアリール基を表し、但し、R及びRの一方は、R−C(=O)−基(ここでRは、炭素数1〜20の炭化水素基)を表してもよい。)
このような光重合開始剤を用いることにより、高濃度で顔料を有するレジストにおいても高解像性を得ることが可能となる。 In one embodiment of the photocurable resin composition of the present invention, the photopolymerization initiator is an oxime ester photopolymerization initiator represented by the following general formula (I), represented by the following general formula (II). And a mixture of one or more photopolymerization initiators selected from the group consisting of acylphosphine oxide photopolymerization initiators represented by the following general formula (III): Is preferred.
Figure 0005854600
(In the formula, R 1 represents a hydrogen atom, a phenyl group (which may be substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a phenyl group, or a halogen atom), an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms (one or more). Or may have one or more oxygen atoms in the middle of the alkyl chain), a cycloalkyl group having 5 to 8 carbon atoms, an alkanoyl group having 2 to 20 carbon atoms, or benzoyl. Represents a group (which may be substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or a phenyl group), and R 2 is a phenyl group (substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a phenyl group or a halogen atom). Or an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms (which may be substituted with one or more hydroxyl groups, and may have one or more oxygen atoms in the middle of the alkyl chain), carbon number 5 ˜8 cycloalkyl groups, Represents an alkanoyl group or a benzoyl group prime 2-20 (carbon atoms may be substituted with 1-6 alkyl or phenyl group), R 3 and R 4 are each independently, a carbon number 1 to 12 R 5 and R 6 each independently represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, or a cyclic alkyl ether group in which two are bonded, and R 7 and R 8. Each independently represents a linear or branched alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, a cyclohexyl group, a cyclopentyl group, an aryl group, or an aryl group substituted with a halogen atom, an alkyl group or an alkoxy group, provided that , One of R 7 and R 8 may represent an R—C (═O) — group (where R is a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms).
By using such a photopolymerization initiator, high resolution can be obtained even in a resist having a pigment at a high concentration.

また、本発明の光硬化性樹脂組成物の一態様においては、さらに熱硬化成分を含有することが好ましい。熱硬化成分を含有することにより、耐熱性を付与すると共に、硬化皮膜の引張伸び率を増大させ、クラック耐性を向上させることができる。
さらに、本発明の光硬化性樹脂組成物の一態様においては、さらに着色剤を含有することができる。着色剤を含有することにより、ソルダーレジストとして好適に用いることができる。
Moreover, in one aspect | mode of the photocurable resin composition of this invention, it is preferable to contain a thermosetting component further. By containing a thermosetting component, while providing heat resistance, the tensile elongation rate of a cured film can be increased and crack resistance can be improved.
Furthermore, in the one aspect | mode of the photocurable resin composition of this invention, a coloring agent can be contained further. By containing a colorant, it can be suitably used as a solder resist.

また、本発明の他の側面によれば、上述した光硬化性樹脂組成物を、フィルム上に塗布乾燥させて得られるドライフィルムが提供される。このようなドライフィルムを用いることにより、基材上に光硬化性樹脂組成物を塗布することなく、容易にレジスト層を形成することができる。
また、本発明の一態様においては、上述した光硬化性樹脂組成物又はドライフィルムを、活性エネルギー線照射により光硬化させて得られる硬化物として用いることができる。
このような硬化物は、プリント配線板等に用いられる際に、冷熱サイクル耐性を向上させることが可能となる。
Moreover, according to the other aspect of this invention, the dry film obtained by apply | coating and drying the photocurable resin composition mentioned above on a film is provided. By using such a dry film, a resist layer can be easily formed without applying a photocurable resin composition on a substrate.
Moreover, in 1 aspect of this invention, the photocurable resin composition or dry film mentioned above can be used as hardened | cured material obtained by carrying out photocuring by active energy ray irradiation.
When such a cured product is used for a printed wiring board or the like, it is possible to improve the heat cycle resistance.

さらに、本発明の他の側面によれば、上述した光硬化性樹脂組成物又はそのドライフィルムを、活性エネルギー線照射により光硬化させて得られる硬化物のパターンを有するプリント配線板が提供される。
このようなプリント配線板において、冷熱サイクル耐性を向上させることが可能となる。
Furthermore, according to the other aspect of this invention, the printed wiring board which has the pattern of the hardened | cured material obtained by photocuring the photocurable resin composition mentioned above or its dry film by active energy ray irradiation is provided. .
In such a printed wiring board, it is possible to improve the heat cycle resistance.

本発明の光硬化性樹脂組成物によれば、カルボキシル基含有樹脂及び光重合開始剤と共に、ナフタレン誘導体及び/又はナフトキノンとその誘導体を含むため、液状タイプ及びドライフィルムタイプの乾燥塗膜にフィルムを貼付した状態で露光した場合にも、ハレーションやアンダーカットが発生せず、高い解像性を得ることができ、その硬化物は、プリント配線板等に用いられる際に、冷熱サイクル耐性を向上させることが可能となる。
従って、本発明の光硬化性樹脂組成物は、プリント配線板やフレキシブルプリント配線板のソルダーレジスト等の硬化皮膜の形成に有利に適用でき、安定した解像性が得られ、冷熱サイクル耐性(TCT耐性)、PCT(プレッシャー・クッカー・テスト)耐性等の諸特性に優れたソルダーレジスト等の硬化皮膜を形成でき、信頼性の高いプリント配線板を提供することができる。
According to the photocurable resin composition of the present invention, since it contains a naphthalene derivative and / or naphthoquinone and its derivative together with a carboxyl group-containing resin and a photopolymerization initiator, a film is applied to a dry coating film of a liquid type and a dry film type. Even when exposed in the affixed state, halation and undercut do not occur and high resolution can be obtained, and the cured product improves the thermal cycle resistance when used for a printed wiring board or the like. It becomes possible.
Therefore, the photocurable resin composition of the present invention can be advantageously applied to the formation of a cured film such as a solder resist of a printed wiring board or a flexible printed wiring board, and can provide a stable resolution and a thermal cycle resistance (TCT). Resistance) and PCT (pressure cooker test) resistance, and other cured films such as solder resists excellent in various properties can be formed, and a highly reliable printed wiring board can be provided.

本発明者らは、カルボキシル基含有樹脂と、光重合開始剤と、ナフタレン誘導体及び/又はナフトキノンとその誘導体を含有する光硬化性樹脂組成物によって、上述した目的を達成し得ることを見出し、本発明を完成するに至った。
特に、ナフタレン誘導体及び/又はナフトキノンとその誘導体を用いることで、アンダーカットやハレーションが生じない安定した高い解像性を得ることができ、冷熱サイクル時のクラック発生の起点を発生せず、クラック耐性を向上させることが可能となる。
以下、本発明の光硬化性樹脂組成物について詳細に説明する。
The present inventors have found that the above-described object can be achieved by a photocurable resin composition containing a carboxyl group-containing resin, a photopolymerization initiator, a naphthalene derivative and / or naphthoquinone and a derivative thereof. The invention has been completed.
In particular, by using a naphthalene derivative and / or naphthoquinone and its derivatives, it is possible to obtain a stable and high resolution without undercut or halation, without generating the starting point of crack generation during a thermal cycle, and crack resistance. Can be improved.
Hereinafter, the photocurable resin composition of the present invention will be described in detail.

先ず、本発明の光硬化性樹脂組成物を構成するカルボキシル基含有樹脂としては、アルカリ現像性を付与する目的で、分子中にカルボキシル基を有している公知の各種カルボキシル基含有樹脂を使用することができる。特に、分子中にエチレン性不飽和二重結合を有するカルボキシル基含有感光性樹脂が、光硬化性や耐現像性の面から好ましい。また、その不飽和二重結合は、アクリル酸もしくはメタアクリル酸又はそれらの誘導体由来のものが好ましい。   First, as the carboxyl group-containing resin constituting the photocurable resin composition of the present invention, various known carboxyl group-containing resins having a carboxyl group in the molecule are used for the purpose of imparting alkali developability. be able to. In particular, a carboxyl group-containing photosensitive resin having an ethylenically unsaturated double bond in the molecule is preferable from the viewpoint of photocurability and development resistance. The unsaturated double bond is preferably derived from acrylic acid, methacrylic acid or derivatives thereof.

カルボキシル基含有樹脂の具体例としては、以下に列挙するような化合物(オリゴマー及びポリマーのいずれでもよい)が好ましい。
(1)(メタ)アクリル酸等の不飽和カルボン酸と、スチレン、α−メチルスチレン、低級アルキル(メタ)アクリレート、イソブチレン等の不飽和基含有化合物との共重合により得られるカルボキシル基含有樹脂。
As specific examples of the carboxyl group-containing resin, the following compounds (any of oligomers and polymers) are preferable.
(1) A carboxyl group-containing resin obtained by copolymerization of an unsaturated carboxylic acid such as (meth) acrylic acid and an unsaturated group-containing compound such as styrene, α-methylstyrene, lower alkyl (meth) acrylate, and isobutylene.

(2)脂肪族ジイソシアネート、分岐脂肪族ジイソシアネート、脂環式ジイソシアネート、芳香族ジイソシアネート等のジイソシアネートと、ジメチロールプロピオン酸、ジメチロールブタン酸等のカルボキシル基含有ジアルコール化合物及びポリカーボネート系ポリオール、ポリエーテル系ポリオール、ポリエステル系ポリオール、ポリオレフィン系ポリオール、アクリル系ポリオール、ビスフェノールA系アルキレンオキシド付加体ジオール、フェノール性ヒドロキシル基及びアルコール性ヒドロキシル基を有する化合物等のジオール化合物の重付加反応によるカルボキシル基含有ウレタン樹脂。   (2) Diisocyanates such as aliphatic diisocyanates, branched aliphatic diisocyanates, alicyclic diisocyanates, and aromatic diisocyanates; carboxyl group-containing dialcohol compounds such as dimethylolpropionic acid and dimethylolbutanoic acid, polycarbonate polyols, and polyethers A carboxyl group-containing urethane resin by a polyaddition reaction of a diol compound such as a polyol, a polyester-based polyol, a polyolefin-based polyol, an acrylic polyol, a bisphenol A-based alkylene oxide adduct diol, a compound having a phenolic hydroxyl group and an alcoholic hydroxyl group.

(3)ジイソシアネートと、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビキシレノール型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂等の2官能エポキシ樹脂の(メタ)アクリレートもしくはその部分酸無水物変性物、カルボキシル基含有ジアルコール化合物及びジオール化合物の重付加反応によるカルボキシル基含有感光性ウレタン樹脂。   (3) Diisocyanate and bifunctional epoxy resin such as bisphenol A type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, bixylenol type epoxy resin, biphenol type epoxy resin ( A carboxyl group-containing photosensitive urethane resin obtained by a polyaddition reaction of (meth) acrylate or a partially acid anhydride-modified product thereof, a carboxyl group-containing dialcohol compound, and a diol compound.

(4)上述した(2)又は(3)の樹脂の合成中に、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート等の分子中に1つの水酸基と1つ以上の(メタ)アクリル基を有する化合物を加え、末端(メタ)アクリル化したカルボキシル基含有感光性ウレタン樹脂。   (4) During the synthesis of the resin of (2) or (3) described above, a compound having one hydroxyl group and one or more (meth) acryl groups in a molecule such as hydroxyalkyl (meth) acrylate is added, and the terminal (Meth) acrylic carboxyl group-containing photosensitive urethane resin.

(5)上述した(2)又は(3)の樹脂の合成中に、イソホロンジイソシアネートとペンタエリスリトールトリアクリレートの等モル反応物等、分子中に1つのイソシアネート基と1つ以上の(メタ)アクリル基を有する化合物を加え末端(メタ)アクリル化したカルボキシル基含有感光性ウレタン樹脂。   (5) During the synthesis of the resin described in (2) or (3) above, one isocyanate group and one or more (meth) acryl groups in the molecule, such as an equimolar reaction product of isophorone diisocyanate and pentaerythritol triacrylate A carboxyl group-containing photosensitive urethane resin obtained by adding a compound having a terminal and being terminally (meth) acrylated.

(6)後述するような2官能又はそれ以上の多官能(固形)エポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸を反応させ、側鎖に存在する水酸基に無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸等の2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有感光性樹脂。   (6) (Meth) acrylic acid is reacted with a bifunctional or higher polyfunctional (solid) epoxy resin as described later, and phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride are added to the hydroxyl group present in the side chain. A carboxyl group-containing photosensitive resin to which a dibasic acid anhydride such as

(7)後述するような2官能(固形)エポキシ樹脂の水酸基をさらにエピクロロヒドリンでエポキシ化した多官能エポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸を反応させ、生じた水酸基に2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有感光性樹脂。   (7) A polyfunctional epoxy resin obtained by epoxidizing a hydroxyl group of a bifunctional (solid) epoxy resin as described later with epichlorohydrin is reacted with (meth) acrylic acid, and a dibasic acid anhydride is added to the resulting hydroxyl group. Added carboxyl group-containing photosensitive resin.

(8)後述するような2官能オキセタン樹脂にアジピン酸、フタル酸、ヘキサヒドロフタル酸等のジカルボン酸を反応させ、生じた1級の水酸基に2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有ポリエステル樹脂。   (8) A carboxyl group-containing polyester obtained by reacting a dicarboxylic acid such as adipic acid, phthalic acid or hexahydrophthalic acid with a bifunctional oxetane resin as described later, and adding a dibasic acid anhydride to the resulting primary hydroxyl group. resin.

(9)1分子中に複数のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンオキシド、プロピレンオキシド等のアルキレンオキシドとを反応させて得られる反応生成物に不飽和基含有モノカルボン酸を反応させ、得られる反応生成物に無水マレイン酸、テトラヒドロ無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸等の多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂。   (9) Reaction product obtained by reacting a compound obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with an alkylene oxide such as ethylene oxide or propylene oxide with an unsaturated group-containing monocarboxylic acid. A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by reacting a product with a polybasic acid anhydride such as maleic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride.

(10)1分子中に複数のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンカーボネート、プロピレンカーボネート等の環状カーボネート化合物とを反応させて得られる反応生成物に不飽和基含有モノカルボン酸を反応させ、得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂。   (10) Obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with a reaction product obtained by reacting a cyclic carbonate compound such as ethylene carbonate or propylene carbonate with an unsaturated group-containing monocarboxylic acid. A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by reacting a reaction product with a polybasic acid anhydride.

(11)上述した(1)〜(10)の樹脂にさらに1分子中に1つのエポキシ基と1つ以上の(メタ)アクリル基を有する化合物を付加してなるカルボキシル基含有感光性樹脂。   (11) A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by adding a compound having one epoxy group and one or more (meth) acryl groups in one molecule to the above-described resins (1) to (10).

ここで(メタ)アクリレートとは、アクリレート、メタクリレート及びそれらの混合物を総称する用語で、以下他の類似の表現についても同様である。
これらカルボキシル基含有樹脂は、列挙したものに限らず使用することができ、1種類でも複数種混合しても使用することができる。
Here, (meth) acrylate is a term that collectively refers to acrylate, methacrylate, and mixtures thereof, and the same applies to other similar expressions.
These carboxyl group-containing resins are not limited to those listed, and can be used singly or in combination.

このようなカルボキシル基含有樹脂は、バックボーン・ポリマーの側鎖に多数の遊離のカルボキシル基を有するため、希アルカリ水溶液による現像が可能になる。   Since such a carboxyl group-containing resin has a number of free carboxyl groups in the side chain of the backbone polymer, development with a dilute alkaline aqueous solution becomes possible.

また、カルボキシル基含有樹脂の酸価は、40〜200mgKOH/gの範囲が好ましい。カルボキシル基含有樹脂の酸価が40mgKOH/g未満であると、アルカリ現像が困難となる。一方、200mgKOH/gを超えると、現像液による露光部の溶解が進むために、必要以上にラインが痩せ、場合によっては、露光部と未露光部の区別なく現像液で溶解剥離してしまい、正常なレジストパターンの描画が困難となる。より好ましくは45〜120mgKOH/gの範囲である。   The acid value of the carboxyl group-containing resin is preferably in the range of 40 to 200 mgKOH / g. When the acid value of the carboxyl group-containing resin is less than 40 mgKOH / g, alkali development becomes difficult. On the other hand, if it exceeds 200 mgKOH / g, dissolution of the exposed portion by the developer proceeds, so the line becomes thinner than necessary, and in some cases, dissolution and peeling occur with the developer without distinguishing between the exposed portion and the unexposed portion, It becomes difficult to draw a normal resist pattern. More preferably, it is the range of 45-120 mgKOH / g.

また、カルボキシル基含有樹脂の重量平均分子量は、樹脂骨格により異なるが、一般的に2,000〜150,000が好ましい。重量平均分子量が2,000未満であると、塗膜のタックフリー性能が劣ることがあり、露光後の塗膜の耐湿性が悪く、現像時に膜減りが生じ、解像度が大きく劣ることがある。一方、重量平均分子量が150,000を超えると、現像性が著しく悪くなることがあり、貯蔵安定性が劣ることがある。より好ましくは5,000〜100,000の範囲である。   Moreover, although the weight average molecular weight of carboxyl group-containing resin changes with resin frame | skeleton, generally 2,000-150,000 are preferable. If the weight average molecular weight is less than 2,000, the tack-free performance of the coating film may be inferior, the moisture resistance of the coating film after exposure may be poor, the film may be reduced during development, and the resolution may be greatly inferior. On the other hand, when the weight average molecular weight exceeds 150,000, developability may be remarkably deteriorated, and storage stability may be inferior. More preferably, it is the range of 5,000-100,000.

このようなカルボキシル基含有樹脂の配合量は、全組成物の20〜60質量%の範囲が好ましい。配合量が20質量%より少ない場合、皮膜強度が低下したりする。一方、60質量%より多い場合、組成物の粘性が高くなり、塗布性等が低下する。より好ましくは30〜50質量%の範囲である。   The amount of such a carboxyl group-containing resin is preferably in the range of 20 to 60% by mass of the total composition. When the blending amount is less than 20% by mass, the film strength is lowered. On the other hand, when it is more than 60% by mass, the viscosity of the composition becomes high, and the applicability and the like deteriorate. More preferably, it is the range of 30-50 mass%.

光重合開始剤としては、下記一般式(I)で表される基を有するオキシムエステル系光重合開始剤、下記一般式(II)で表される基を有するα−アミノアセトフェノン系光重合開始剤、又は/及び下記式(III)で表される基を有するアシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤よりなる群から選択される1種以上の光重合開始剤を使用することにより、高濃度で顔料を有するレジストにおいても高解像性を得ることが可能となる。

Figure 0005854600
(式中、Rは、水素原子、フェニル基(炭素数1〜6のアルキル基、フェニル基、若しくはハロゲン原子で置換されていてもよい)、炭素数1〜20のアルキル基(1個以上の水酸基で置換されていてもよく、アルキル鎖の中間に1個以上の酸素原子を有していてもよい)、炭素数5〜8のシクロアルキル基、炭素数2〜20のアルカノイル基又はベンゾイル基(炭素数が1〜6のアルキル基若しくはフェニル基で置換されていてもよい)を表し、Rは、フェニル基(炭素数1〜6のアルキル基、フェニル基若しくはハロゲン原子で置換されていてもよい)、炭素数1〜20のアルキル基(1個以上の水酸基で置換されていてもよく、アルキル鎖の中間に1個以上の酸素原子を有していてもよい)、炭素数5〜8のシクロアルキル基、炭素数2〜20のアルカノイル基又はベンゾイル基(炭素数が1〜6のアルキル基若しくはフェニル基で置換されていてもよい)を表し、R及びRは、それぞれ独立に、炭素数1〜12のアルキル基又はアリールアルキル基を表し、R及びRは、それぞれ独立に、水素原子、炭素数1〜6のアルキル基、又は2つが結合した環状アルキルエーテル基を表し、R及びRは、それぞれ独立に、炭素数1〜10の直鎖状又は分岐状のアルキル基、シクロヘキシル基、シクロペンチル基、アリール基、又はハロゲン原子、アルキル基若しくはアルコキシ基で置換されたアリール基を表し、但し、R及びRの一方は、R−C(=O)−基(ここでRは、炭素数1〜20の炭化水素基)を表してもよい。) As the photopolymerization initiator, an oxime ester photopolymerization initiator having a group represented by the following general formula (I), an α-aminoacetophenone photopolymerization initiator having a group represented by the following general formula (II) Or / and by using one or more photopolymerization initiators selected from the group consisting of acylphosphine oxide photopolymerization initiators having a group represented by the following formula (III), It is possible to obtain high resolution even in a resist having the same.
Figure 0005854600
(In the formula, R 1 represents a hydrogen atom, a phenyl group (which may be substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a phenyl group, or a halogen atom), an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms (one or more). Or may have one or more oxygen atoms in the middle of the alkyl chain), a cycloalkyl group having 5 to 8 carbon atoms, an alkanoyl group having 2 to 20 carbon atoms, or benzoyl. Represents a group (which may be substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or a phenyl group), and R 2 is a phenyl group (substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a phenyl group or a halogen atom). Or an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms (which may be substituted with one or more hydroxyl groups, and may have one or more oxygen atoms in the middle of the alkyl chain), carbon number 5 ˜8 cycloalkyl groups, Represents an alkanoyl group or a benzoyl group prime 2-20 (carbon atoms may be substituted with 1-6 alkyl or phenyl group), R 3 and R 4 are each independently, a carbon number 1 to 12 R 5 and R 6 each independently represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, or a cyclic alkyl ether group in which two are bonded, and R 7 and R 8. Each independently represents a linear or branched alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, a cyclohexyl group, a cyclopentyl group, an aryl group, or an aryl group substituted with a halogen atom, an alkyl group or an alkoxy group, provided that , One of R 7 and R 8 may represent an R—C (═O) — group (where R is a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms).

一般式(I)で表される基を有するオキシムエステル系光重合開始剤としては、好ましくは、下記式(IV)で表される2−(アセチルオキシイミノメチル)チオキサンテン−9−オン、下記一般式(V)で表される化合物、及び下記一般式(VI)で表される化合物が挙げられる。

Figure 0005854600
The oxime ester photopolymerization initiator having a group represented by the general formula (I) is preferably 2- (acetyloxyiminomethyl) thioxanthen-9-one represented by the following formula (IV), The compound represented by general formula (V) and the compound represented by the following general formula (VI) are mentioned.
Figure 0005854600

Figure 0005854600
(式中、Rは、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜12のアルキル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、フェニル基、ベンジル基、ベンゾイル基、炭素数2〜12のアルカノイル基、炭素数2〜12のアルコキシカルボニル基(アルコキシル基を構成するアルキル基の炭素数が2以上の場合、アルキル基は1個以上の水酸基で置換されていてもよく、アルキル鎖の中間に1個以上の酸素原子を有していてもよい)、又はフェノキシカルボニル基を表し、R10、R12は、それぞれ独立に、フェニル基(炭素数1〜6のアルキル基、フェニル基若しくはハロゲン原子で置換されていてもよい)、炭素数1〜20のアルキル基(1個以上の水酸基で置換されていてもよく、アルキル鎖の中間に1個以上の酸素原子を有していてもよい)、炭素数5〜8のシクロアルキル基、炭素数2〜20のアルカノイル基又はベンゾイル基(炭素数が1〜6のアルキル基若しくはフェニル基で置換されていてもよい)を表し、R11は、水素原子、フェニル基(炭素数1〜6のアルキル基、フェニル基若しくはハロゲン原子で置換されていてもよい)、炭素数1〜20のアルキル基(1個以上の水酸基で置換されていてもよく、アルキル鎖の中間に1個以上の酸素原子を有していてもよい)、炭素数5〜8のシクロアルキル基、炭素数2〜20のアルカノイル基又はベンゾイル基(炭素数が1〜6のアルキル基若しくはフェニル基で置換されていてもよい)を表す。)
Figure 0005854600
(In the formula, R 9 represents a hydrogen atom, a halogen atom, an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, a cyclopentyl group, a cyclohexyl group, a phenyl group, a benzyl group, a benzoyl group, an alkanoyl group having 2 to 12 carbon atoms, or 2 carbon atoms. To 12 alkoxycarbonyl groups (when the alkyl group constituting the alkoxyl group has 2 or more carbon atoms, the alkyl group may be substituted with one or more hydroxyl groups, and one or more oxygen atoms in the middle of the alkyl chain) Or a phenoxycarbonyl group, and each of R 10 and R 12 may be independently substituted with a phenyl group (an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a phenyl group, or a halogen atom). Good), an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms (which may be substituted with one or more hydroxyl groups, and may have one or more oxygen atoms in the middle of the alkyl chain). 11), a cycloalkyl group having 5 to 8 carbon atoms, an alkanoyl group having 2 to 20 carbon atoms, or a benzoyl group (which may be substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or a phenyl group), and R 11 Is a hydrogen atom, a phenyl group (which may be substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a phenyl group or a halogen atom), an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms (which is substituted with one or more hydroxyl groups). Or may have one or more oxygen atoms in the middle of the alkyl chain), a cycloalkyl group having 5 to 8 carbon atoms, an alkanoyl group having 2 to 20 carbon atoms or a benzoyl group (having 1 to 1 carbon atoms). 6 may be substituted with 6 alkyl groups or phenyl groups).

Figure 0005854600
(式中、R13、R14及びR19は、それぞれ独立に、炭素数1〜12のアルキル基を表し、R15、R16、R17及びR18は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数1〜6のアルキル基を表し、Mは、O、S又はNHを表し、x及びyは、それぞれ独立に0〜5の整数を表す。)
Figure 0005854600
(Wherein R 13 , R 14 and R 19 each independently represents an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, and R 15 , R 16 , R 17 and R 18 each independently represent a hydrogen atom or a carbon atom. (Expression 1 represents an alkyl group of 1 to 6, M represents O, S or NH, and x and y each independently represents an integer of 0 to 5).

オキシムエステル系光重合開始剤の中でも、上述した一般式(IV)で表される2−(アセチルオキシイミノメチル)チオキサンテン−9−オン、及び式(V)で表される化合物がより好ましい。市販品としては、BASFジャパン社製のCGI−325、イルガキュア(登録商標)OXE01、イルガキュアOXE02、ADEKA社製のN−1919等が挙げられる。これらのオキシムエステル系光重合開始剤は、単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。   Among the oxime ester photopolymerization initiators, 2- (acetyloxyiminomethyl) thioxanthen-9-one represented by the general formula (IV) and a compound represented by the formula (V) are more preferable. Examples of commercially available products include CGI-325 manufactured by BASF Japan, Irgacure (registered trademark) OXE01, Irgacure OXE02, N-1919 manufactured by ADEKA, and the like. These oxime ester photopolymerization initiators can be used alone or in combination of two or more.

一般式(II)で表される基を有するα−アミノアセトフェノン系光重合開始剤としては、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノプロパノン−1、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタン−1−オン、2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル]−1−[4−(4−モルホリニル)フェニル]−1−ブタノン、N,N−ジメチルアミノアセトフェノン等が挙げられる。市販品としては、BASFジャパン社製のイルガキュア907、イルガキュア369、イルガキュア379等が挙げられる。   As the α-aminoacetophenone photopolymerization initiator having a group represented by the general formula (II), 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropanone-1, 2-benzyl 2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one, 2- (dimethylamino) -2-[(4-methylphenyl) methyl] -1- [4- (4-morpholinyl) Phenyl] -1-butanone, N, N-dimethylaminoacetophenone and the like. Examples of commercially available products include Irgacure 907, Irgacure 369, and Irgacure 379 manufactured by BASF Japan.

一般式(III)で表される基を有するアシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤としては、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルホスフィンオキサイド、ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチル−ペンチルホスフィンオキサイド等が挙げられる。市販品としては、BASF社製のルシリンTPO、BASFジャパン社製のイルガキュア819等が挙げられる。   Acylphosphine oxide photopolymerization initiators having a group represented by the general formula (III) include 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide and bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide. Bis (2,6-dimethoxybenzoyl) -2,4,4-trimethyl-pentylphosphine oxide and the like. Examples of commercially available products include Lucilin TPO manufactured by BASF, Irgacure 819 manufactured by BASF Japan, and the like.

このような光重合開始剤の配合量は、カルボキシル基含有樹脂100質量部に対して、0.01〜30質量部の範囲が好ましい。配合量が0.01質量部未満であると、銅上での光硬化性が不足し、塗膜が剥離したり、耐薬品性等の塗膜特性が低下する。一方、30質量部を超えると、光重合開始剤の塗膜表面での光吸収が激しくなり、深部硬化性が低下する傾向がある。より好ましくは0.5〜15質量部の範囲である。   The blending amount of such a photopolymerization initiator is preferably in the range of 0.01 to 30 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the carboxyl group-containing resin. When the blending amount is less than 0.01 parts by mass, the photocurability on copper is insufficient, and the coating film is peeled off or the coating properties such as chemical resistance are deteriorated. On the other hand, when it exceeds 30 parts by mass, light absorption on the coating film surface of the photopolymerization initiator becomes intense, and the deep curability tends to decrease. More preferably, it is the range of 0.5-15 mass parts.

なお、一般式(I)で表される基を有するオキシムエステル系光重合開始剤の場合、その配合量は、カルボキシル基含有樹脂100質量部に対して、好ましくは0.01〜20質量部、より好ましくは0.01〜5質量部である。   In the case of the oxime ester-based photopolymerization initiator having a group represented by the general formula (I), the blending amount is preferably 0.01 to 20 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the carboxyl group-containing resin. More preferably, it is 0.01-5 mass parts.

本発明の光硬化性樹脂組成物に好適に用いることができる光重合開始剤、光開始助剤及び増感剤としては、他にベンゾイン化合物、アセトフェノン化合物、アントラキノン化合物、チオキサントン化合物、ケタール化合物、ベンゾフェノン化合物、キサントン化合物、及び3級アミン化合物等を挙げることができる。   Photopolymerization initiators, photoinitiator assistants and sensitizers that can be suitably used in the photocurable resin composition of the present invention include benzoin compounds, acetophenone compounds, anthraquinone compounds, thioxanthone compounds, ketal compounds, and benzophenones. A compound, a xanthone compound, a tertiary amine compound, etc. can be mentioned.

ベンゾイン化合物としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル等が挙げられる。   Examples of the benzoin compound include benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, and benzoin isopropyl ether.

アセトフェノン化合物としては、例えば、アセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2,2−ジエトキシ−2−フェニルアセトフェノン、1,1−ジクロロアセトフェノン等である。   Examples of the acetophenone compound include acetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2,2-diethoxy-2-phenylacetophenone, 1,1-dichloroacetophenone, and the like.

アントラキノン化合物としては、例えば、2−メチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、1−クロロアントラキノン等が挙げられる。   Examples of the anthraquinone compound include 2-methylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, 2-t-butylanthraquinone, 1-chloroanthraquinone, and the like.

チオキサントン化合物としては、例えば、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン等が挙げられる。   Examples of the thioxanthone compound include 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,4-diisopropylthioxanthone, and the like.

ケタール化合物としては、例えば、アセトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタール等が挙げられる。   Examples of the ketal compound include acetophenone dimethyl ketal and benzyl dimethyl ketal.

ベンゾフェノン化合物としては、例えば、ベンゾフェノン、4−ベンゾイルジフェニルスルフィド、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニルスルフィド、4−ベンゾイル−4’−エチルジフェニルスルフィド、4−ベンゾイル−4’−プロピルジフェニルスルフィド等が挙げられる。   Examples of the benzophenone compound include benzophenone, 4-benzoyl diphenyl sulfide, 4-benzoyl-4′-methyl diphenyl sulfide, 4-benzoyl-4′-ethyl diphenyl sulfide, 4-benzoyl-4′-propyl diphenyl sulfide, and the like. It is done.

3級アミン化合物としては、エタノールアミン化合物、ジアルキルアミノベンゼン構造を有する化合物、例えば、4,4’−ジメチルアミノベンゾフェノン(日本曹達社製ニッソキュアーMABP)、4,4’−ジエチルアミノベンゾフェノン(保土ヶ谷化学社製EAB)等のジアルキルアミノベンゾフェノン;7−(ジエチルアミノ)−4−メチル−2H−1−ベンゾピラン−2−オン(7−(ジエチルアミノ)−4−メチルクマリン)等のジアルキルアミノ基含有クマリン化合物;4−ジメチルアミノ安息香酸エチル(日本化薬社製カヤキュアー(登録商標)EPA)、2−ジメチルアミノ安息香酸エチル(インターナショナルバイオ−シンセエティックス社製Quantacure DMB)、4−ジメチルアミノ安息香酸(n−ブトキシ)エチル(インターナショナルバイオ−シンセエティックス社製Quantacure BEA)、p−ジメチルアミノ安息香酸イソアミルエチルエステル(日本化薬社製カヤキュアーDMBI)、4−ジメチルアミノ安息香酸2−エチルヘキシル(Van Dyk社製Esolol507)等のジアルキルアミノ安息香酸エステルが挙げられる。特に、ジアルキルアミノベンゼン構造を有する化合物が好ましく、中でも、ジアルキルアミノベンゾフェノン化合物、最大吸収波長が350〜410nmにあるジアルキルアミノ基含有クマリン化合物が好ましい。ジアルキルアミノベンゾフェノン化合物としては、4,4’−ジエチルアミノベンゾフェノンが、毒性も低く好ましい。最大吸収波長が350〜410nmにあるジアルキルアミノ基含有クマリン化合物は、最大吸収波長が紫外線領域にあるため、着色が少なく、無色透明な感光性組成物はもとより、着色顔料を用い、着色顔料自体の色を反映した着色ソルダーレジスト膜を提供することが可能となる。特に、7−(ジエチルアミノ)−4−メチル−2H−1−ベンゾピラン−2−オンが波長400〜410nmのレーザー光に対して優れた増感効果を示すことから好ましい。   As the tertiary amine compound, an ethanolamine compound, a compound having a dialkylaminobenzene structure, for example, 4,4′-dimethylaminobenzophenone (Nisso Cure MABP manufactured by Nippon Soda Co., Ltd.), 4,4′-diethylaminobenzophenone (Hodogaya Chemical Co., Ltd.) Dialkylaminobenzophenones such as EAB); dialkylamino group-containing coumarin compounds such as 7- (diethylamino) -4-methyl-2H-1-benzopyran-2-one (7- (diethylamino) -4-methylcoumarin); Ethyl dimethylaminobenzoate (Kayacure (registered trademark) EPA manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), ethyl 2-dimethylaminobenzoate (Quantacure DMB manufactured by International Bio-Synthetics), 4-dimethylaminobenzoic acid (n-buto Ii) Ethyl (Quantacure BEA manufactured by International Bio-Synthetics), p-dimethylaminobenzoic acid isoamyl ethyl ester (Kayacure DMBI manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), 2-ethylhexyl 4-dimethylaminobenzoic acid (Esolol 507 manufactured by Van Dyk) ) And the like. In particular, a compound having a dialkylaminobenzene structure is preferable, and among them, a dialkylaminobenzophenone compound and a dialkylamino group-containing coumarin compound having a maximum absorption wavelength of 350 to 410 nm are preferable. As the dialkylaminobenzophenone compound, 4,4'-diethylaminobenzophenone is preferable because of its low toxicity. The dialkylamino group-containing coumarin compound having a maximum absorption wavelength of 350 to 410 nm has a maximum absorption wavelength in the ultraviolet region, so that it is less colored and uses a colored pigment as well as a colorless and transparent photosensitive composition. A colored solder resist film reflecting the color can be provided. In particular, 7- (diethylamino) -4-methyl-2H-1-benzopyran-2-one is preferable because it exhibits an excellent sensitizing effect on laser light having a wavelength of 400 to 410 nm.

このような化合物の中でも、チオキサントン化合物及び3級アミン化合物が好ましい。本発明の組成物には、チオキサントン化合物が含まれることが深部硬化性の面から好ましく、中でも、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン化合物が好ましい。   Of these compounds, thioxanthone compounds and tertiary amine compounds are preferred. The composition of the present invention preferably contains a thioxanthone compound from the viewpoint of deep curable properties. Among them, 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,4-diisopropylthioxanthone A thioxanthone compound such as

チオキサントン化合物の配合量としては、カルボキシル基含有樹脂100質量部に対して、20質量部以下が好ましい。チオキサントン化合物の配合量が20質量部を超えると、厚膜硬化性が低下して、製品のコストアップに繋がる。より好ましくは10質量部以下である。   As a compounding quantity of a thioxanthone compound, 20 mass parts or less are preferable with respect to 100 mass parts of carboxyl group-containing resin. When the compounding quantity of a thioxanthone compound exceeds 20 mass parts, thick film sclerosis | hardenability will fall and it will lead to the cost increase of a product. More preferably, it is 10 parts by mass or less.

3級アミン化合物の配合量としては、カルボキシル基含有樹脂100質量部に対して0.1〜20質量部が好ましい。3級アミン化合物の配合量が0.1質量部未満であると、十分な増感効果を得ることができない傾向にある。一方、20質量部を超えると、3級アミン化合物による乾燥塗膜の表面での光吸収が激しくなり、深部硬化性が低下する傾向がある。より好ましくは0.1〜10質量部である。これらの光重合開始剤、光開始助剤及び増感剤は、単独で又は2種類以上の混合物として使用することができる。   As a compounding quantity of a tertiary amine compound, 0.1-20 mass parts is preferable with respect to 100 mass parts of carboxyl group-containing resin. When the amount of the tertiary amine compound is less than 0.1 parts by mass, a sufficient sensitizing effect tends not to be obtained. On the other hand, when the amount exceeds 20 parts by mass, light absorption on the surface of the dried coating film by the tertiary amine compound becomes violent, and the deep curability tends to decrease. More preferably, it is 0.1-10 mass parts. These photopolymerization initiators, photoinitiator assistants, and sensitizers can be used alone or as a mixture of two or more.

このような光重合開始剤、光開始助剤、及び増感剤の総量は、カルボキシル基含有樹脂100質量部に対して35質量部以下であることが好ましい。35質量部を超えると、これらの光吸収により深部硬化性が低下する傾向にある。   The total amount of such photopolymerization initiator, photoinitiator assistant, and sensitizer is preferably 35 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the carboxyl group-containing resin. When it exceeds 35 parts by mass, the deep curability tends to decrease due to light absorption.

本発明の光硬化性樹脂組成物には、感度を向上するために連鎖移動剤として公知のNフェニルグリシン類、フェノキシ酢酸類、チオフェノキシ酢酸類、メルカプトチアゾール等を用いることができる。連鎖移動剤の具体例を挙げると、例えば、メルカプト琥珀酸、メルカプト酢酸、メルカプトプロピオン酸、メチオニン、システイン、チオサリチル酸及びその誘導体等がある。これらの連鎖移動剤は、単独又は2種以上を併用することができる。   In the photocurable resin composition of the present invention, known N-phenylglycines, phenoxyacetic acids, thiophenoxyacetic acids, mercaptothiazole and the like can be used as chain transfer agents in order to improve sensitivity. Specific examples of the chain transfer agent include mercaptosuccinic acid, mercaptoacetic acid, mercaptopropionic acid, methionine, cysteine, thiosalicylic acid and derivatives thereof. These chain transfer agents can be used alone or in combination of two or more.

本発明の光硬化性樹脂組成物は、ナフタレン誘導体及び/又はナフトキノンとその誘導体を用いることで、液状タイプ及びドライフィルムタイプの乾燥塗膜にPETフィルムを貼付した状態で露光する際、いかなる露光装置を用いた場合においてもハレーションを発生せず、PETフィルムを剥離する時間に関わらず安定した解像性が得られた。これは、ナフタレン誘導体及び/又はナフトキノンとその誘導体は、一般的な重合禁止剤であるフェノチアジンやハイドロキノンと異なり、酸素忌避下において光反応の速度を遅くする効果が発現し(即ち、酸素忌避下において重合禁止剤として作用し)、表面硬化の速度を抑えて厚さ方向に均一硬化するためであると考えられる。   The photo-curable resin composition of the present invention uses any naphthalene derivative and / or naphthoquinone and its derivatives, so that any exposure apparatus can be used for exposure in a state where a PET film is attached to a dry film of a liquid type and a dry film type. Even in the case of using halation, halation did not occur, and stable resolution was obtained regardless of the time for peeling the PET film. This is because naphthalene derivatives and / or naphthoquinone and its derivatives are different from general polymerization inhibitors phenothiazine and hydroquinone, and have an effect of slowing the rate of photoreaction under oxygen evasion (that is, under oxygen evasion). This is considered to be because it acts as a polymerization inhibitor) and suppresses the speed of surface curing and cures uniformly in the thickness direction.

本発明に用いられるナフタレン誘導体及び/又はナフトキノンとその誘導体のうち、ナフタレン誘導体としては、1,4−ジヒドロキシ−2−ナフタレンスルホン酸アンモニウム、4−メトキシ−1−ナフトール等を用いることができる。ナフトキノンとその誘導体としては、1,4−ナフトキノン、2-ヒドロキシ−1,4−ナフトキノン、アントロン等を用いることができる。   Among the naphthalene derivatives and / or naphthoquinones and derivatives thereof used in the present invention, ammonium 1,4-dihydroxy-2-naphthalenesulfonate, 4-methoxy-1-naphthol and the like can be used. As naphthoquinone and its derivatives, 1,4-naphthoquinone, 2-hydroxy-1,4-naphthoquinone, anthrone and the like can be used.

ナフタレン誘導体の市販品としては、例えば、キノパワー(登録商標)WSI、キノパワーMNT(いずれも川崎化成工業社製)、4−メトキシ−1−ナフトール(東京化成工業社製)等が挙げられる。   Examples of commercially available naphthalene derivatives include Kinopower (registered trademark) WSI, Kinopower MNT (all manufactured by Kawasaki Chemical Industry Co., Ltd.), 4-methoxy-1-naphthol (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.), and the like.

ナフトキノンとその誘導体の市販品としては、例えば、キノパワー(登録商標)NQI、キノパワーLSN、キノパワーATR(いずれも川崎化成社製)、1,4−ナフトキノン、2−ヒドロキシ−1,4−ナフトキノン、アントロン(いずれも東京化成工業社製)等が挙げられる。   Commercial products of naphthoquinone and its derivatives include, for example, Kinopower (registered trademark) NQI, Kinopower LSN, Kinopower ATR (all manufactured by Kawasaki Kasei Co., Ltd.), 1,4-naphthoquinone, 2-hydroxy-1,4-naphthoquinone, and anthrone. (Both manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.).

ナフタレン誘導体及び/又はナフトキノンとその誘導体の配合量は、カルボキシル基含有樹脂100質量部に対して0.01〜20質量部が好ましい。ナフタレン誘導体及び/又はナフトキノンとその誘導体の配合量が0.01質量部未満であると、解像性が安定せず、ハレーションやアンダーカットが発生して高い解像性を得ることができない傾向にある。一方、20質量部を超えると、光硬化性の低下により無電解金めっき耐性等の塗膜特性が低下する。より好ましくは0.05〜10質量部の範囲である。   As for the compounding quantity of a naphthalene derivative and / or naphthoquinone and its derivative, 0.01-20 mass parts is preferable with respect to 100 mass parts of carboxyl group-containing resin. If the blending amount of the naphthalene derivative and / or naphthoquinone and its derivative is less than 0.01 parts by mass, the resolution will not be stable, and halation and undercut will occur and high resolution will not be obtained. is there. On the other hand, when the amount exceeds 20 parts by mass, the coating properties such as electroless gold plating resistance deteriorate due to the decrease in photocurability. More preferably, it is the range of 0.05-10 mass parts.

本発明の光硬化性樹脂組成物には、耐熱性を付与するために、熱硬化成分を加えることができる。本発明に用いられる熱硬化成分としては、メラミン樹脂、ベンゾグアナミン樹脂、メラミン誘導体、ベンゾグアナミン誘導体等のアミノ樹脂、ブロックイソシアネート化合物、シクロカーボネート化合物、多官能エポキシ化合物、多官能オキセタン化合物、エピスルフィド樹脂等の公知の熱硬化性樹脂が使用できる。特に好ましいのは、分子中に複数の環状エーテル基及び/又は環状チオエーテル基(以下、環状(チオ)エーテル基と略す)を有する熱硬化成分である。   A thermosetting component can be added to the photocurable resin composition of the present invention in order to impart heat resistance. Examples of thermosetting components used in the present invention include amino resins such as melamine resins, benzoguanamine resins, melamine derivatives, and benzoguanamine derivatives, block isocyanate compounds, cyclocarbonate compounds, polyfunctional epoxy compounds, polyfunctional oxetane compounds, episulfide resins, and the like. The thermosetting resin can be used. Particularly preferred is a thermosetting component having a plurality of cyclic ether groups and / or cyclic thioether groups (hereinafter abbreviated as cyclic (thio) ether groups) in the molecule.

このような分子中に複数の環状(チオ)エーテル基を有する熱硬化成分は、分子中に3、4又は5員環の環状(チオ)エーテル基のいずれか一方又は2種類の基を複数有する化合物であり、例えば、分子中に複数のエポキシ基を有する化合物、すなわち多官能エポキシ化合物、分子中に複数のオキセタニル基を有する化合物、すなわち多官能オキセタン化合物、分子中に複数のチオエーテル基を有する化合物、すなわちエピスルフィド樹脂等が挙げられる。   Such a thermosetting component having a plurality of cyclic (thio) ether groups in the molecule has either one of the three-, four- or five-membered cyclic (thio) ether groups or a plurality of two types of groups in the molecule. Compound, for example, a compound having a plurality of epoxy groups in the molecule, that is, a polyfunctional epoxy compound, a compound having a plurality of oxetanyl groups in the molecule, that is, a polyfunctional oxetane compound, a compound having a plurality of thioether groups in the molecule That is, an episulfide resin etc. are mentioned.

多官能エポキシ化合物としては、例えば、jER(登録商標)828、jER834、jER1001、jER1004(いずれも三菱化学社製)、エピクロン(登録商標)840、エピクロン850、エピクロン1050、エピクロン2055(いずれもDIC社製)、エポトート(登録商標)YD−011、YD−013、YD−127、YD−128(いずれも新日鐵化学社製)、D.E.R.317、D.E.R.331、D.E.R.661、D.E.R.664(いずれもダウケミカル社製)、アラルダイト6071、アラルダイト6084、アラルダイトGY250、アラルダイトGY260(いずれもBASFジャパン社製)、スミエポキシESA−011、ESA−014、ELA−115、ELA−128(いずれも住友化学工業社製)、A.E.R.330、A.E.R.331、A.E.R.661、A.E.R.664等(いずれも旭化成工業社製)のビスフェノールA型エポキシ樹脂;jERYL903(三菱化学社製)、エピクロン152、エピクロン165(いずれもDIC社製)、エポトートYDB−400、YDB−500(いずれも新日鐵化学社製)、D.E.R.542(ダウケミカル社製)、アラルダイト8011(BASFジャパン社製)、スミエポキシESB−400、ESB−700(いずれも住友化学工業社製)、A.E.R.711、A.E.R.714(いずれも旭化成工業社製)等のブロム化エポキシ樹脂;jER152、jER154(いずれも三菱化学社製)、D.E.N.431、D.E.N.438(いずれもダウケミカル社製)、エピクロンN−730、エピクロンN−770、エピクロンN−865(いずれもDIC社製)、エポトートYDCN−701、YDCN−704(いずれも新日鐵化学社製)、アラルダイトECN1235、アラルダイトECN1273、アラルダイトECN1299、アラルダイトXPY307(いずれもBASFジャパン社製)、EPPN−201、EOCN(登録商標)−1025、EOCN−1020、EOCN−104S、RE−306(いずれも日本化薬社製)、スミエポキシESCN−195X、ESCN−220(いずれも住友化学工業社製)、A.E.R.ECN−235、ECN−299(いずれも旭化成工業社製)等のノボラック型エポキシ樹脂;エピクロン830(DIC社製)、jER807(三菱化学社製)、エポトートYDF−170、YDF−175、YDF−2004(いずれも新日鐵化学社製)、アラルダイトXPY306(BASFジャパン社製)等のビスフェノールF型エポキシ樹脂;エポトートST−2004、ST−2007、ST−3000(いずれも新日鐵化学社製)等の水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂;jER604(三菱化学社製)、エポトートYH−434(新日鐵化学社製)、アラルダイトMY720(BASFジャパン社製)、スミエポキシELM−120(住友化学工業社製)等のグリシジルアミン型エポキシ樹脂;アラルダイトCY−350(BASFジャパン社製)等のヒダントイン型エポキシ樹脂;セロキサイド(登録商標)2021(ダイセル化学工業社製)、アラルダイトCY175、CY179(いずれもBASFジャパン社製)等の脂環式エポキシ樹脂;YL−933(三菱化学社製)、T.E.N.、EPPN(登録商標)−501、EPPN−502(いずれも日本化薬社製)等のトリヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂;YL−6056、YX−4000、YL−6121(いずれも三菱化学社製)等のビキシレノール型もしくはビフェノール型エポキシ樹脂又はそれらの混合物;EBPS−200(日本化薬社製)、EPX−30(ADEKA社製)、EXA−1514(DIC社製)等のビスフェノールS型エポキシ樹脂;jER157S(三菱化学社製)等のビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂;jERYL−931(三菱化学社製)、アラルダイト163(BASFジャパン社製)等のテトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂;アラルダイトPT810(BASFジャパン社製)、TEPIC(日産化学工業社製)等の複素環式エポキシ樹脂;ブレンマー(登録商標)DGT(日油社製)等のジグリシジルフタレート樹脂;ZX−1063(新日鐵化学社製)等のテトラグリシジルキシレノイルエタン樹脂;ESN−190、ESN−360(いずれも新日鉄化学社製)、HP−4032、EXA−4750、EXA−4700(DIC社製)等のナフタレン基含有エポキシ樹脂;HP−7200、HP−7200H(DIC社製)等のジシクロペンタジエン骨格を有するエポキシ樹脂;CP−50S、CP−50M(日油社製)等のグリシジルメタアクリレート共重合系エポキシ樹脂;さらにシクロヘキシルマレイミドとグリシジルメタアクリレートの共重合エポキシ樹脂;エポキシ変性のポリブタジエンゴム誘導体(例えば、ダイセル化学工業社製PB−3600等)、CTBN変性エポキシ樹脂(例えば、新日鐵化学社製のYR−102、YR−450等)等が挙げられるが、これらに限られるものではない。これらのエポキシ樹脂は、単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。これらの中でも特にノボラック型エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂又はそれらの混合物が好ましい。   Examples of the polyfunctional epoxy compound include jER (registered trademark) 828, jER834, jER1001, jER1004 (all manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), Epicron (registered trademark) 840, Epicron 850, Epicron 1050, and Epicron 2055 (all DIC Corporation). Epototo (registered trademark) YD-011, YD-013, YD-127, YD-128 (all manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.), E. R. 317, D.E. E. R. 331, D.D. E. R. 661, D.E. E. R. 664 (all manufactured by Dow Chemical Co., Ltd.), Araldite 6071, Araldite 6084, Araldite GY250, Araldite GY260 (all manufactured by BASF Japan), Sumiepoxy ESA-011, ESA-014, ELA-115, ELA-128 (all Sumitomo) Chemical Industry), A. E. R. 330, A.I. E. R. 331, A.I. E. R. 661, A.I. E. R. 664 etc. (all manufactured by Asahi Kasei Kogyo Co., Ltd.); jERYL903 (manufactured by Mitsubishi Chemical), Epicron 152, Epicron 165 (all manufactured by DIC), Epototo YDB-400, YDB-500 (all new) Manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.) E. R. 542 (manufactured by Dow Chemical Company), Araldite 8011 (manufactured by BASF Japan), Sumiepoxy ESB-400, ESB-700 (all manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.), A.I. E. R. 711, A.I. E. R. Brominated epoxy resins such as 714 (both manufactured by Asahi Kasei Kogyo Co., Ltd.); jER152, jER154 (both manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd.); E. N. 431, D.D. E. N. 438 (all manufactured by Dow Chemical Company), Epicron N-730, Epicron N-770, Epicron N-865 (all manufactured by DIC), Epototo YDCN-701, YDCN-704 (all manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.) Araldite ECN1235, Araldite ECN1273, Araldite ECN1299, Araldite XPY307 (all manufactured by BASF Japan), EPPN-201, EOCN (registered trademark) -1025, EOCN-1020, EOCN-104S, RE-306 (all Nippon Kayaku) Sumiepoxy ESCN-195X, ESCN-220 (both manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.), A. E. R. Novolak type epoxy resins such as ECN-235 and ECN-299 (both manufactured by Asahi Kasei Kogyo Co., Ltd.); Epicron 830 (manufactured by DIC), jER807 (manufactured by Mitsubishi Chemical), Epototo YDF-170, YDF-175, YDF-2004 Bisphenol F type epoxy resin such as Araldite XPY306 (manufactured by BASF Japan); Epototo ST-2004, ST-2007, ST-3000 (all manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.), etc. Hydrogenated bisphenol A type epoxy resin: jER604 (manufactured by Mitsubishi Chemical), Epototo YH-434 (manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.), Araldite MY720 (manufactured by BASF Japan), Sumiepoxy ELM-120 (manufactured by Sumitomo Chemical Industries) Glycidylamine type epoxy resin such as Araldite CY-350 Hydantoin type epoxy resins such as BASF Japan); Cycloside (registered trademark) 2021 (manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.), Araldite CY175, CY179 (both manufactured by BASF Japan), etc .; cycloaliphatic epoxy resins such as YL-933 ( Manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), T.M. E. N. , EPPN (registered trademark) -501, EPPN-502 (all manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) and other trihydroxyphenylmethane type epoxy resins; YL-6056, YX-4000, YL-6121 (all manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) Bisylenol type or biphenol type epoxy resins such as bisphenol S type epoxy resins such as EBPS-200 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), EPX-30 (manufactured by ADEKA), EXA-1514 (manufactured by DIC) Bisphenol A novolac type epoxy resin such as jER157S (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation); tetraphenylolethane type epoxy resin such as jERYL-931 (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) and Araldite 163 (manufactured by BASF Japan); Araldite PT810 (BASF Japan) ), TEPIC (Nissan Chemical Industry) A heterocyclic epoxy resin such as Blemmer (registered trademark) DGT (manufactured by NOF Corporation); a tetraglycidylxylenoylethane resin such as ZX-1063 (manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.); Naphthalene group-containing epoxy resins such as ESN-190, ESN-360 (all manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.), HP-4032, EXA-4750, EXA-4700 (manufactured by DIC); HP-7200, HP-7200H (DIC) Epoxy resin having a dicyclopentadiene skeleton such as CP-50S, CP-50M (manufactured by NOF Corporation); and a copolymer epoxy resin of cyclohexylmaleimide and glycidyl methacrylate; Epoxy-modified polybutadiene rubber derivatives (eg, Daicel Chemical Industries) Ltd. PB-3600, etc.), CTBN modified epoxy resins (e.g., manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd. of YR-102, YR-450, etc.) and others as mentioned, is not limited thereto. These epoxy resins can be used alone or in combination of two or more. Among these, a novolac type epoxy resin, a heterocyclic epoxy resin, a bisphenol A type epoxy resin or a mixture thereof is particularly preferable.

多官能オキセタン化合物としては、例えば、ビス[(3−メチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]エーテル、ビス[(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]エーテル、1,4−ビス[(3−メチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]ベンゼン、1,4−ビス[(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]ベンゼン、(3−メチル−3−オキセタニル)メチルアクリレート、(3−エチル−3−オキセタニル)メチルアクリレート、(3−メチル−3−オキセタニル)メチルメタクリレート、(3−エチル−3−オキセタニル)メチルメタクリレートやそれらのオリゴマー又は共重合体等の多官能オキセタン類の他、オキセタンアルコールとノボラック樹脂、ポリ(p−ヒドロキシスチレン)、カルド型ビスフェノール類、カリックスアレーン類、カリックスレゾルシンアレーン類、又はシルセスキオキサン等の水酸基を有する樹脂とのエーテル化物等が挙げられる。その他、オキセタン環を有する不飽和モノマーとアルキル(メタ)アクリレートとの共重合体等も挙げられる。   Examples of the polyfunctional oxetane compound include bis [(3-methyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] ether, bis [(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] ether, 1,4-bis [(3- Methyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] benzene, 1,4-bis [(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] benzene, (3-methyl-3-oxetanyl) methyl acrylate, (3-ethyl-3- In addition to polyfunctional oxetanes such as oxetanyl) methyl acrylate, (3-methyl-3-oxetanyl) methyl methacrylate, (3-ethyl-3-oxetanyl) methyl methacrylate and oligomers or copolymers thereof, oxetane alcohol and novolak resin , Poly (p-hydroxystyrene), cardo-type bisph Nord acids, calixarenes, calix resorcin arenes or etherified products such as the resin having a hydroxyl group such as silsesquioxane and the like. In addition, a copolymer of an unsaturated monomer having an oxetane ring and an alkyl (meth) acrylate is also included.

分子中に複数の環状チオエーテル基を有する化合物としては、例えば、三菱化学社製のビスフェノールA型エピスルフィド樹脂 YL7000等が挙げられる。また、同様の合成方法を用いて、ノボラック型エポキシ樹脂のエポキシ基の酸素原子を硫黄原子に置き換えたエピスルフィド樹脂等も用いることができる。   Examples of the compound having a plurality of cyclic thioether groups in the molecule include bisphenol A type episulfide resin YL7000 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation. Moreover, episulfide resin etc. which substituted the oxygen atom of the epoxy group of the novolak-type epoxy resin by the sulfur atom using the same synthesis method can also be used.

このような分子中に複数の環状(チオ)エーテル基を有する熱硬化成分の配合量は、カルボキシル基含有樹脂のカルボキシル基1当量に対して、0.6〜2.5当量が好ましい。配合量が0.6未満である場合、ソルダーレジスト膜にカルボキシル基が残り、耐熱性、耐アルカリ性、電気絶縁性等が低下する。一方、2.5当量を超える場合、低分子量の環状(チオ)エーテル基が乾燥塗膜に残存することにより、塗膜の強度等が低下する。より好ましくは、0.8〜2.0当量である。   As for the compounding quantity of the thermosetting component which has a some cyclic | annular (thio) ether group in such a molecule | numerator, 0.6-2.5 equivalent is preferable with respect to 1 equivalent of carboxyl groups of carboxyl group-containing resin. When the blending amount is less than 0.6, a carboxyl group remains in the solder resist film, and heat resistance, alkali resistance, electrical insulation and the like are lowered. On the other hand, when the amount exceeds 2.5 equivalents, the low molecular weight cyclic (thio) ether group remains in the dry coating film, thereby reducing the strength of the coating film. More preferably, it is 0.8-2.0 equivalent.

さらに、他の熱硬化成分としては、メラミン誘導体、ベンゾグアナミン誘導体等のアミノ樹脂が挙げられる。例えばメチロールメラミン化合物、メチロールベンゾグアナミン化合物、メチロールグリコールウリル化合物及びメチロール尿素化合物等がある。さらに、アルコキシメチル化メラミン化合物、アルコキシメチル化ベンゾグアナミン化合物、アルコキシメチル化グリコールウリル化合物及びアルコキシメチル化尿素化合物は、それぞれのメチロールメラミン化合物、メチロールベンゾグアナミン化合物、メチロールグリコールウリル化合物及びメチロール尿素化合物のメチロール基をアルコキシメチル基に変換することにより得られる。このアルコキシメチル基の種類については特に限定されるものではなく、例えばメトキシメチル基、エトキシメチル基、プロポキシメチル基、ブトキシメチル基等とすることができる。特に人体や環境に優しいホルマリン濃度が0.2%以下のメラミン誘導体が好ましい。   Furthermore, examples of other thermosetting components include amino resins such as melamine derivatives and benzoguanamine derivatives. Examples include methylol melamine compounds, methylol benzoguanamine compounds, methylol glycoluril compounds, and methylol urea compounds. Furthermore, the alkoxymethylated melamine compound, the alkoxymethylated benzoguanamine compound, the alkoxymethylated glycoluril compound and the alkoxymethylated urea compound have the methylol group of the respective methylolmelamine compound, methylolbenzoguanamine compound, methylolglycoluril compound and methylolurea compound. Obtained by conversion to an alkoxymethyl group. The type of the alkoxymethyl group is not particularly limited and can be, for example, a methoxymethyl group, an ethoxymethyl group, a propoxymethyl group, a butoxymethyl group, or the like. In particular, a melamine derivative having a formalin concentration which is friendly to the human body and the environment is preferably 0.2% or less.

これらの市販品としては、例えば、サイメル(登録商標)300、同301、同303、同370、同325、同327、同701、同266、同267、同238、同1141、同272、同202、同1156、同1158、同1123、同1170、同1174、同UFR65、同300(いずれも三井サイアナミッド社製)、ニカラック(登録商標)Mx−750、同Mx−032、同Mx−270、同Mx−280、同Mx−290、同Mx−706、同Mx−708、同Mx−40、同Mx−31、同Ms−11、同Mw−30、同Mw−30HM、同Mw−390、同Mw−100LM、同Mw−750LM、(いずれも三和ケミカル社製)等を挙げることができる。このような熱硬化成分は単独又は2種以上を併用することができる。   Examples of these commercially available products include Cymel (registered trademark) 300, 301, 303, 370, 325, 327, 701, 266, 267, 238, 1141, 272, and the like. 202, Same 1156, Same 1158, Same 1123, Same 1170, Same 1174, Same UFR65, Same 300 (all manufactured by Mitsui Cyanamid Co., Ltd.), Nicarak (registered trademark) Mx-750, Mx-032, Mx-270, Mx-280, Mx-290, Mx-706, Mx-708, Mx-40, Mx-31, Ms-11, Mw-30, Mw-30HM, Mw-390, Examples include the same Mw-100LM, the same Mw-750LM (all manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd.), and the like. Such thermosetting components can be used alone or in combination of two or more.

本発明の光硬化性樹脂組成物には、硬化性及び得られる硬化物の強靭性を向上させるために、1分子中に複数のイソシアネート基、又はブロック化イソシアネート基を有する化合物を加えることができる。このような1分子中に複数のイソシアネート基、又はブロック化イソシアネート基を有する化合物としては、ポリイソシアネート化合物、又はブロックイソシアネート化合物等が挙げられる。なお、ブロック化イソシアネート基とは、イソシアネート基がブロック剤との反応により保護されて一時的に不活性化された基であり、所定温度に加熱されたときにそのブロック剤が解離してイソシアネート基が生成する。   In order to improve curability and toughness of the resulting cured product, a compound having a plurality of isocyanate groups or blocked isocyanate groups in one molecule can be added to the photocurable resin composition of the present invention. . Examples of such a compound having a plurality of isocyanate groups or blocked isocyanate groups in one molecule include polyisocyanate compounds or blocked isocyanate compounds. The blocked isocyanate group is a group in which the isocyanate group is protected by the reaction with the blocking agent and temporarily inactivated, and the blocking agent is dissociated when heated to a predetermined temperature. Produces.

このようなポリイソシアネート化合物としては、例えば、芳香族ポリイソシアネート、脂肪族ポリイソシアネート又は脂環式ポリイソシアネートが用いられる。   As such a polyisocyanate compound, for example, aromatic polyisocyanate, aliphatic polyisocyanate, or alicyclic polyisocyanate is used.

芳香族ポリイソシアネートの具体例としては、例えば、4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート、2,4−トリレンジイソシアネート、2,6−トリレンジイソシアネート、ナフタレン−1,5−ジイソシアネート、o−キシリレンジイソシアネート、m−キシリレンジイソシアネート及び2,4−トリレンダイマー等が挙げられる。   Specific examples of the aromatic polyisocyanate include, for example, 4,4′-diphenylmethane diisocyanate, 2,4-tolylene diisocyanate, 2,6-tolylene diisocyanate, naphthalene-1,5-diisocyanate, o-xylylene diisocyanate, Examples thereof include m-xylylene diisocyanate and 2,4-tolylene dimer.

脂肪族ポリイソシアネートの具体例としては、テトラメチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、メチレンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、4,4−メチレンビス(シクロヘキシルイソシアネート)及びイソホロンジイソシアネート等が挙げられる。   Specific examples of the aliphatic polyisocyanate include tetramethylene diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, methylene diisocyanate, trimethylhexamethylene diisocyanate, 4,4-methylenebis (cyclohexyl isocyanate), and isophorone diisocyanate.

脂環式ポリイソシアネートの具体例としてはビシクロヘプタントリイソシアネートが挙げられる。並びに先に挙げられたイソシアネート化合物のアダクト体、ビューレット体及びイソシアヌレート体等が挙げられる。   Specific examples of the alicyclic polyisocyanate include bicycloheptane triisocyanate. In addition, adduct bodies, burette bodies and isocyanurate bodies of the isocyanate compounds mentioned above may be mentioned.

ブロックイソシアネート化合物としては、イソシアネート化合物とイソシアネートブロック剤との付加反応生成物が用いられる。ブロック剤と反応し得るイソシアネート化合物としては、例えば、上述のポリイソシアネート化合物等が挙げられる。   As the blocked isocyanate compound, an addition reaction product of an isocyanate compound and an isocyanate blocking agent is used. As an isocyanate compound which can react with a blocking agent, the above-mentioned polyisocyanate compound etc. are mentioned, for example.

イソシアネートブロック剤としては、例えば、フェノール、クレゾール、キシレノール、クロロフェノール及びエチルフェノール等のフェノール系ブロック剤;ε−カプロラクタム、δ−パレロラクタム、γ−ブチロラクタム及びβ−プロピオラクタム等のラクタム系ブロック剤;アセト酢酸エチル及びアセチルアセトン等の活性メチレン系ブロック剤;メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、アミルアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ベンジルエーテル、グリコール酸メチル、グリコール酸ブチル、ジアセトンアルコール、乳酸メチル及び乳酸エチル等のアルコール系ブロック剤;ホルムアルデヒドキシム、アセトアルドキシム、アセトキシム、メチルエチルケトキシム、ジアセチルモノオキシム、シクロヘキサンオキシム等のオキシム系ブロック剤;ブチルメルカプタン、ヘキシルメルカプタン、t−ブチルメルカプタン、チオフェノール、メチルチオフェノール、エチルチオフェノール等のメルカプタン系ブロック剤;酢酸アミド、ベンズアミド等の酸アミド系ブロック剤;コハク酸イミド及びマレイン酸イミド等のイミド系ブロック剤;キシリジン、アニリン、ブチルアミン、ジブチルアミン等のアミン系ブロック剤;イミダゾール、2−エチルイミダゾール等のイミダゾール系ブロック剤;メチレンイミン及びプロピレンイミン等のイミン系ブロック剤等が挙げられる。   Examples of the isocyanate blocking agent include phenolic blocking agents such as phenol, cresol, xylenol, chlorophenol and ethylphenol; lactam blocking agents such as ε-caprolactam, δ-palerolactam, γ-butyrolactam and β-propiolactam; Active methylene blocking agents such as ethyl acetoacetate and acetylacetone; methanol, ethanol, propanol, butanol, amyl alcohol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, benzyl Ether, methyl glycolate, butyl glycolate, diacetone alcohol, lactic acid methyl And alcohol blocking agents such as ethyl lactate; oxime blocking agents such as formaldehyde oxime, acetaldoxime, acetoxime, methyl ethyl ketoxime, diacetyl monooxime, cyclohexane oxime; butyl mercaptan, hexyl mercaptan, t-butyl mercaptan, thiophenol, methylthio Mercaptan blocking agents such as phenol and ethylthiophenol; acid amide blocking agents such as acetic acid amide and benzamide; imide blocking agents such as succinimide and maleic imide; amines such as xylidine, aniline, butylamine and dibutylamine Blocking agents; imidazole blocking agents such as imidazole and 2-ethylimidazole; imine blocking agents such as methyleneimine and propyleneimine The

ブロックイソシアネート化合物は市販のものであってもよく、例えば、スミジュール(登録商標)BL−3175、BL−4165、BL−1100、BL−1265、デスモジュール(登録商標)TPLS−2957、TPLS−2062、TPLS−2078、TPLS−2117、デスモサーム2170、デスモサーム2265(いずれも住友バイエルウレタン社製)、コロネート(登録商標)2512、コロネート2513、コロネート2520(いずれも日本ポリウレタン工業社製)、B−830、B−815、B−846、B−870、B−874、B−882(いずれも三井武田ケミカル社製)、TPA−B80E、17B−60PX、E402−B80T(いずれも旭化成ケミカルズ社製)等が挙げられる。なお、スミジュールBL−3175、BL−4265はブロック剤としてメチルエチルオキシムを用いて得られるものである。このような1分子中に複数のイソシアネート基、又はブロック化イソシアネート基を有する化合物は、1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。   The block isocyanate compound may be commercially available, for example, Sumidur (registered trademark) BL-3175, BL-4165, BL-1100, BL-1265, Desmodur (registered trademark) TPLS-2957, TPLS-2062. , TPLS-2078, TPLS-2117, Desmotherm 2170, Desmotherm 2265 (all manufactured by Sumitomo Bayer Urethane Co., Ltd.), Coronate (registered trademark) 2512, Coronate 2513, Coronate 2520 (all manufactured by Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd.), B-830, B-815, B-846, B-870, B-874, B-882 (all manufactured by Mitsui Takeda Chemical Co., Ltd.), TPA-B80E, 17B-60PX, E402-B80T (all manufactured by Asahi Kasei Chemicals Co., Ltd.), etc. Can be mentioned. Sumijoules BL-3175 and BL-4265 are obtained using methyl ethyl oxime as a blocking agent. Such a compound having a plurality of isocyanate groups or blocked isocyanate groups in one molecule can be used singly or in combination of two or more.

このような1分子中に複数のイソシアネート基、又はブロック化イソシアネート基を有する化合物の配合量は、カルボキシル基含有樹脂100質量部に対して、1〜100質量部が好ましい。配合量が1質量部未満の場合、十分な塗膜の強靭性が得られない。一方、100質量部を超えた場合、保存安定性が低下する。より好ましくは、2〜70質量部である。   The compounding amount of such a compound having a plurality of isocyanate groups or blocked isocyanate groups in one molecule is preferably 1 to 100 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the carboxyl group-containing resin. When the blending amount is less than 1 part by mass, sufficient coating film toughness cannot be obtained. On the other hand, when it exceeds 100 mass parts, storage stability falls. More preferably, it is 2-70 mass parts.

分子中に複数の環状(チオ)エーテル基を有する熱硬化成分を使用する場合、熱硬化触媒を含有することが好ましい。そのような熱硬化触媒としては、例えば、イミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−エチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、4−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−(2−シアノエチル)−2−エチル−4−メチルイミダゾール等のイミダゾール誘導体;ジシアンジアミド、ベンジルジメチルアミン、4−(ジメチルアミノ)−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メトキシ−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メチル−N,N−ジメチルベンジルアミン等のアミン化合物、アジピン酸ジヒドラジド、セバシン酸ジヒドラジド等のヒドラジン化合物;トリフェニルホスフィン等のリン化合物等が挙げられる。また、市販されているものとしては、例えば四国化成工業社製の2MZ−A、2MZ−OK、2PHZ、2P4BHZ、2P4MHZ(いずれもイミダゾール系化合物の商品名)、サンアプロ社製のU−CAT(登録商標)3503N、U−CAT3502T(いずれもジメチルアミンのブロックイソシアネート化合物の商品名)、DBU、DBN、U−CATSA102、U−CAT5002(いずれも二環式アミジン化合物及びその塩の商品名)等が挙げられる。特に、これらに限られるものではなく、エポキシ樹脂やオキセタン化合物の熱硬化触媒、もしくはエポキシ基及び/又はオキセタニル基とカルボキシル基の反応を促進するものであればよく、単独で又は2種以上を混合して使用してもかまわない。また、グアナミン、アセトグアナミン、ベンゾグアナミン、メラミン、2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン、2−ビニル−2,4−ジアミノ−S−トリアジン、2−ビニル−4,6−ジアミノ−S−トリアジン・イソシアヌル酸付加物、2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン・イソシアヌル酸付加物等のS−トリアジン誘導体を用いることもでき、好ましくはこれら密着性付与剤としても機能する化合物を熱硬化触媒と併用する。   When using the thermosetting component which has a some cyclic | annular (thio) ether group in a molecule | numerator, it is preferable to contain a thermosetting catalyst. Examples of such thermosetting catalysts include imidazole, 2-methylimidazole, 2-ethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 4-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole. Imidazole derivatives such as 1- (2-cyanoethyl) -2-ethyl-4-methylimidazole; dicyandiamide, benzyldimethylamine, 4- (dimethylamino) -N, N-dimethylbenzylamine, 4-methoxy-N, N -Amine compounds such as dimethylbenzylamine and 4-methyl-N, N-dimethylbenzylamine; hydrazine compounds such as adipic acid dihydrazide and sebacic acid dihydrazide; and phosphorus compounds such as triphenylphosphine. Examples of commercially available products include 2MZ-A, 2MZ-OK, 2PHZ, 2P4BHZ, 2P4MHZ (both trade names of imidazole compounds) manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd., and U-CAT (registered by San Apro). Trademarks) 3503N, U-CAT3502T (all are trade names of blocked isocyanate compounds of dimethylamine), DBU, DBN, U-CATSA102, U-CAT5002 (all are trade names of bicyclic amidine compounds and salts thereof) and the like. It is done. In particular, it is not limited to these, as long as it is a thermosetting catalyst for epoxy resins or oxetane compounds, or a catalyst that promotes the reaction of epoxy groups and / or oxetanyl groups with carboxyl groups, either alone or in combination of two or more. Can be used. Also, guanamine, acetoguanamine, benzoguanamine, melamine, 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine, 2-vinyl-2,4-diamino-S-triazine, 2-vinyl-4,6-diamino S-triazine derivatives such as -S-triazine and isocyanuric acid adducts and 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine and isocyanuric acid adducts can also be used. A compound that also functions in combination with a thermosetting catalyst.

これら熱硬化触媒の配合量は、通常の量的割合で充分であり、例えばカルボキシル基含有樹脂又は分子中に複数の環状(チオ)エーテル基を有する熱硬化成分100質量部に対して、好ましくは0.1〜20質量部、より好ましくは0.5〜15.0質量部である。   The blending amount of these thermosetting catalysts is sufficient in a normal quantitative ratio. For example, preferably 100 parts by mass of the thermosetting component having a carboxyl group-containing resin or a plurality of cyclic (thio) ether groups in the molecule. It is 0.1-20 mass parts, More preferably, it is 0.5-15.0 mass parts.

本発明の光硬化性樹脂組成物には、着色剤を配合することができる。着色剤としては、赤、青、緑、黄等の公知の着色剤を使用することができ、顔料、染料、色素のいずれでもよい。但し、環境負荷低減並びに人体への影響の観点からハロゲンを含有しないことが好ましい。   A coloring agent can be mix | blended with the photocurable resin composition of this invention. As the colorant, known colorants such as red, blue, green and yellow can be used, and any of pigments, dyes and pigments may be used. However, it is preferable not to contain a halogen from the viewpoint of reducing the environmental burden and affecting the human body.

赤色着色剤としては、モノアゾ系、ジズアゾ系、アゾレーキ系、ベンズイミダゾロン系、ペリレン系、ジケトピロロピロール系、縮合アゾ系、アントラキノン系、キナクリドン系等があり、例えば、以下のようなカラーインデックス(C.I.;ザ ソサイエティ オブ ダイヤーズ アンド カラリスツ(The Society of Dyers and Colourists)発行)番号が付されているものを挙げることができる。
モノアゾ系:Pigment Red 1, 2, 3, 4, 5, 6, 8, 9, 12, 14, 15, 16, 17, 21, 22, 23, 31, 32, 112, 114, 146, 147, 151, 170, 184, 187, 188, 193, 210, 245, 253, 258, 266, 267, 268, 269。
ジスアゾ系:Pigment Red 37, 38, 41。
モノアゾレーキ系:Pigment Red 48:1, 48:2, 48:3, 48:4, 49:1, 49:2, 50:1, 52:1, 52:2, 53:1, 53:2, 57:1, 58:4, 63:1, 63:2, 64:1,68。
ベンズイミダゾロン系:Pigment Red 171、Pigment Red 175、Pigment Red 176、Pigment Red 185、Pigment Red 208。
ぺリレン系:Solvent Red 135、Solvent Red 179、Pigment Red 123、Pigment Red 149、Pigment Red 166、Pigment Red 178、Pigment Red 179、Pigment Red 190、Pigment Red 194、Pigment Red 224。
ジケトピロロピロール系:Pigment Red 254、Pigment Red 255、Pigment Red 264、Pigment Red 270、Pigment Red 272。
縮合アゾ系:Pigment Red 220、Pigment Red 144、Pigment Red 166、Pigment Red 214、Pigment Red 220、Pigment Red 221、Pigment Red 242。
アンスラキノン系:Pigment Red 168、Pigment Red 177、Pigment Red 216、Solvent Red 149、Solvent Red 150、Solvent Red 52、Solvent Red 207。
キナクリドン系:Pigment Red 122、Pigment Red 202、Pigment Red 206、Pigment Red 207、Pigment Red 209。
Examples of the red colorant include monoazo, diazo, azo lake, benzimidazolone, perylene, diketopyrrolopyrrole, condensed azo, anthraquinone, quinacridone, etc. (CI: The Society of Dyers and Colorists) number is given.
Monoazo: Pigment Red 1, 2, 3, 4, 5, 6, 8, 9, 12, 14, 15, 16, 17, 21, 22, 23, 31, 32, 112, 114, 146, 147, 151 , 170, 184, 187, 188, 193, 210, 245, 253, 258, 266, 267, 268, 269.
Disazo: Pigment Red 37, 38, 41.
Monoazo lakes: Pigment Red 48: 1, 48: 2, 48: 3, 48: 4, 49: 1, 49: 2, 50: 1, 52: 1, 52: 2, 53: 1, 53: 2, 57 : 1, 58: 4, 63: 1, 63: 2, 64: 1,68.
Benzimidazolone series: Pigment Red 171, Pigment Red 175, Pigment Red 176, Pigment Red 185, Pigment Red 208.
Perylene series: Solvent Red 135, Solvent Red 179, Pigment Red 123, Pigment Red 149, Pigment Red 166, Pigment Red 178, Pigment Red 179, Pigment Red 190, Pigment Red 194, Pigment Red 224.
Diketopyrrolopyrrole series: Pigment Red 254, Pigment Red 255, Pigment Red 264, Pigment Red 270, Pigment Red 272.
Condensed azo series: Pigment Red 220, Pigment Red 144, Pigment Red 166, Pigment Red 214, Pigment Red 220, Pigment Red 221 and Pigment Red 242.
Anthraquinone series: Pigment Red 168, Pigment Red 177, Pigment Red 216, Solvent Red 149, Solvent Red 150, Solvent Red 52, Solvent Red 207.
Kinacridone series: Pigment Red 122, Pigment Red 202, Pigment Red 206, Pigment Red 207, Pigment Red 209.

青色着色剤としては、フタロシアニン系、アントラキノン系があり、顔料系としては、Pigment Blue 15、Pigment Blue 15:1、Pigment Blue 15:2、Pigment Blue 15:3、Pigment Blue 15:4、Pigment Blue 15:6、Pigment Blue 16、Pigment Blue 60、染料系としては、Solvent Blue 35、Solvent Blue 63、Solvent Blue 68、Solvent Blue 70、Solvent Blue 83、Solvent Blue 87、Solvent Blue 94、Solvent Blue 97、Solvent Blue 122、Solvent Blue 136、Solvent Blue 67、Solvent Blue 70等を使用することができる。これら以外にも、金属置換もしくは無置換のフタロシアニン化合物も使用することができる。   Blue colorants include phthalocyanine and anthraquinone, and pigment types include Pigment Blue 15, Pigment Blue 15: 1, Pigment Blue 15: 2, Pigment Blue 15: 3, Pigment Blue 15: 4, and Pigment Blue 15 : 6, Pigment Blue 16, Pigment Blue 60, dye system is Solvent Blue 35, Solvent Blue 63, Solvent Blue 68, Solvent Blue 70, Solvent Blue 83, Solvent Blue 87, Solvent Blue 94, Solvent Blue 97, Solvent Blue 122, Solvent Blue 136, Solvent Blue 67, Solvent Blue 70, etc. can be used. In addition to these, metal-substituted or unsubstituted phthalocyanine compounds can also be used.

緑色着色剤としては、同様にフタロシアニン系、アントラキノン系、ペリレン系があり、例えば、Pigment Green 7、Pigment Green 36、Solvent Green 3、Solvent Green 5、Solvent Green 20、Solvent Green 28等を使用することができる。これら以外にも、金属置換もしくは無置換のフタロシアニン化合物も使用することができる。   Similarly, green colorants include phthalocyanine, anthraquinone, and perylene, such as Pigment Green 7, Pigment Green 36, Solvent Green 3, Solvent Green 5, Solvent Green 20, Solvent Green 28, etc. it can. In addition to these, metal-substituted or unsubstituted phthalocyanine compounds can also be used.

黄色着色剤としてはモノアゾ系、ジスアゾ系、縮合アゾ系、ベンズイミダゾロン系、イソインドリノン系、アントラキノン系等があり、例えば、以下のものが挙げられる。
アントラキノン系:Solvent Yellow 163、Pigment Yellow 24、Pigment Yellow 108、Pigment Yellow 193、Pigment Yellow 147、Pigment Yellow 199、Pigment Yellow 202。
イソインドリノン系:Pigment Yellow 110、Pigment Yellow 109、Pigment Yellow 139、Pigment Yellow 179、Pigment Yellow 185。
縮合アゾ系:Pigment Yellow 93、Pigment Yellow 94、Pigment Yellow 95、Pigment Yellow 128、Pigment Yellow 155、Pigment Yellow 166、Pigment Yellow 180。
ベンズイミダゾロン系:Pigment Yellow 120、Pigment Yellow 151、Pigment Yellow 154、Pigment Yellow 156、Pigment Yellow 175、Pigment Yellow 181。
モノアゾ系:Pigment Yellow 1, 2, 3, 4, 5, 6, 9, 10, 12, 61, 62, 62:1, 65, 73, 74, 75, 97, 100, 104, 105, 111, 116, 167, 168, 169, 182, 183。
ジスアゾ系:Pigment Yellow 12, 13, 14, 16, 17, 55, 63, 81, 83, 87, 126, 127, 152, 170, 172, 174, 176, 188, 198。
Examples of yellow colorants include monoazo, disazo, condensed azo, benzimidazolone, isoindolinone, anthraquinone, and the like.
Anthraquinone series: Solvent Yellow 163, Pigment Yellow 24, Pigment Yellow 108, Pigment Yellow 193, Pigment Yellow 147, Pigment Yellow 199, Pigment Yellow 202.
Isoindolinone type: Pigment Yellow 110, Pigment Yellow 109, Pigment Yellow 139, Pigment Yellow 179, Pigment Yellow 185.
Condensed azo series: Pigment Yellow 93, Pigment Yellow 94, Pigment Yellow 95, Pigment Yellow 128, Pigment Yellow 155, Pigment Yellow 166, Pigment Yellow 180.
Benzimidazolone series: Pigment Yellow 120, Pigment Yellow 151, Pigment Yellow 154, Pigment Yellow 156, Pigment Yellow 175, Pigment Yellow 181.
Monoazo: Pigment Yellow 1, 2, 3, 4, 5, 6, 9, 10, 12, 61, 62, 62: 1, 65, 73, 74, 75, 97, 100, 104, 105, 111, 116 , 167, 168, 169, 182, 183.
Disazo: Pigment Yellow 12, 13, 14, 16, 17, 55, 63, 81, 83, 87, 126, 127, 152, 170, 172, 174, 176, 188, 198.

その他、色調を調整する目的で紫、オレンジ、茶色、黒等の着色剤を加えてもよい。具体的には、Pigment Violet 19、23、29、32、36、38、42、Solvent Violet 13、36、Pigment Orange 1、Pigment Orange 5、Pigment Orange 13、Pigment Orange 14、Pigment Orange 16、Pigment Orange 17、Pigment Orange 24、Pigment Orange 34、Pigment Orange 36、Pigment Orange 38、Pigment Orange 40、Pigment Orange 43、Pigment Orange 46、Pigment Orange 49、Pigment Orange 51、Pigment Orange 61、Pigment Orange 63、Pigment Orange 64、Pigment Orange 71、Pigment Orange 73、Pigment Brown 23、Pigment Brown 25、Pigment Black 1、Pigment Black 7等を挙げることができる。   In addition, for the purpose of adjusting the color tone, a colorant such as purple, orange, brown, or black may be added. Specifically, Pigment Violet 19, 23, 29, 32, 36, 38, 42, Solvent Violet 13, 36, Pigment Orange 1, Pigment Orange 5, Pigment Orange 13, Pigment Orange 14, Pigment Orange 16, Pigment Orange 17 , Pigment Orange 24, Pigment Orange 34, Pigment Orange 36, Pigment Orange 38, Pigment Orange 40, Pigment Orange 43, Pigment Orange 46, Pigment Orange 49, Pigment Orange 51, Pigment Orange 61, Pigment Orange 63, Pigment Orange 64, Pigment Examples include Orange 71, Pigment Orange 73, Pigment Brown 23, Pigment Brown 25, Pigment Black 1, and Pigment Black 7.

このような着色剤の配合割合は、特に制限はないが、カルボキシル基含有樹脂100質量部に対して、10質量部以下であることが好ましい。10質量部を超えた場合、著しく深部硬化性が悪くなる恐れがある。より好ましくは0.1〜5質量部である。   The blending ratio of such a colorant is not particularly limited, but is preferably 10 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the carboxyl group-containing resin. When it exceeds 10 mass parts, deep part sclerosis | hardenability may deteriorate remarkably. More preferably, it is 0.1-5 mass parts.

本発明の光硬化性樹脂組成物に用いられる分子中に複数のエチレン性不飽和基を有する化合物は、活性エネルギー線照射により、光硬化して、エチレン性不飽和基含有カルボキシル基含有樹脂を、希アルカリ水溶液に不溶化、又は不溶化を助けるものである。
このような化合物としては、エチレングリコール、メトキシテトラエチレングリコール、ポリエチレングリコール、プロピレングリコール等のグリコールのジアクリレート類;ヘキサンジオール、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、トリス−ヒドロキシエチルイソシアヌレート等の多価アルコール又はこれらのエチレオキサイド付加物もしくはプロピレンオキサイド付加物等の多価アクリレート類;フェノキシアクリレート、ビスフェノールAジアクリレート、及びこれらのフェノール類のエチレンオキサイド付加物もしくはプロピレンオキサイド付加物等の多価アクリレート類;グリセリンジグリシジルエーテル、グリセリントリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、トリグリシジルイソシアヌレート等のグリシジルエーテルの多価アクリレート類;及びメラミンアクリレート、及び/又はアクリレートに対応する各メタクリレート類等が挙げられる。
The compound having a plurality of ethylenically unsaturated groups in the molecule used in the photocurable resin composition of the present invention is photocured by irradiation with active energy rays, and an ethylenically unsaturated group-containing carboxyl group-containing resin is obtained. It helps insolubilize or insolubilize in dilute alkaline aqueous solution.
Examples of such compounds include glycol diacrylates such as ethylene glycol, methoxytetraethylene glycol, polyethylene glycol, and propylene glycol; hexanediol, trimethylolpropane, pentaerythritol, dipentaerythritol, tris-hydroxyethyl isocyanurate, and the like. Polyhydric acrylates such as polyhydric alcohols or their ethylene oxide adducts or propylene oxide adducts; Phenoxy acrylate, bisphenol A diacrylate, and polyhydric acrylates such as ethylene oxide adducts or propylene oxide adducts of these phenols Glycerin diglycidyl ether, glycerin triglycidyl ether, trimethylolpropane triglycidyl ether Le, polyvalent acrylates of glycidyl ethers such as triglycidyl isocyanurate; and melamine acrylate, and / or each methacrylates and the like corresponding to the acrylate.

さらに、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂等の多官能エポキシ樹脂に、アクリル酸を反応させたエポキシアクリレート樹脂や、さらにそのエポキシアクリレート樹脂の水酸基に、ペンタエリスリトールトリアクリレート等のヒドロキシアクリレートとイソホロンジイソシアネート等のジイソシアネートのハーフウレタン化合物を反応させたエポキシウレタンアクリレート化合物等が挙げられる。このようなエポキシアクリレート系樹脂は、塗膜の指触乾燥性を低下させることなく、光硬化性を向上させることができる。   Furthermore, an epoxy acrylate resin obtained by reacting acrylic acid with a polyfunctional epoxy resin such as a cresol novolac type epoxy resin, and further a hydroxy acrylate such as pentaerythritol triacrylate and a diisocyanate such as isophorone diisocyanate on the hydroxyl group of the epoxy acrylate resin. The epoxy urethane acrylate compound etc. which made the half urethane compound react are mentioned. Such an epoxy acrylate resin can improve the photocurability without deteriorating the touch drying property of the coating film.

このような分子中に複数のエチレン性不飽和基を有する化合物の配合量は、カルボキシル基含有樹脂100質量部に対して、5〜100質量部が好ましい。配合量が5質量部未満の場合、光硬化性が低下し、活性エネルギー線照射後のアルカリ現像により、パターン形成が困難となる。一方、100質量部を超えた場合、希アルカリ水溶液に対する溶解性が低下して塗膜が脆くなる。より好ましくは、1〜70質量部である。   As for the compounding quantity of the compound which has several ethylenically unsaturated groups in such a molecule | numerator, 5-100 mass parts is preferable with respect to 100 mass parts of carboxyl group-containing resin. When the blending amount is less than 5 parts by mass, photocurability is lowered, and pattern formation becomes difficult by alkali development after irradiation with active energy rays. On the other hand, when it exceeds 100 mass parts, the solubility with respect to dilute alkaline aqueous solution falls, and a coating film becomes weak. More preferably, it is 1-70 mass parts.

本発明の光硬化性樹脂組成物は、その塗膜の物理的強度等を上げるために、必要に応じて、フィラーを配合することができる。このようなフィラーとしては、公知の無機又は有機フィラーが使用できるが、特に硫酸バリウム、球状シリカ、ハイドロタルサイト及びタルクが好ましく用いられる。さらに、白色の外観や難燃性を得るために酸化チタンや金属酸化物、水酸化アルミ等の金属水酸化物を体質顔料フィラーとしても使用することができる。フィラーの配合量は、組成物全体量の75質量%以下が好ましい。フィラーの配合量が、組成物全体量の75質量%を超えた場合、絶縁組成物の粘度が高くなり、塗布、成形性が低下し、硬化物が脆くなる。より好ましくは0.1〜60質量%である。   The photocurable resin composition of the present invention can be blended with a filler as necessary in order to increase the physical strength of the coating film. As such a filler, known inorganic or organic fillers can be used. In particular, barium sulfate, spherical silica, hydrotalcite and talc are preferably used. Furthermore, in order to obtain a white appearance and flame retardancy, metal hydroxides such as titanium oxide, metal oxide, and aluminum hydroxide can be used as extender pigment fillers. The blending amount of the filler is preferably 75% by mass or less of the total amount of the composition. When the blending amount of the filler exceeds 75% by mass of the total amount of the composition, the viscosity of the insulating composition becomes high, the coating and moldability are lowered, and the cured product becomes brittle. More preferably, it is 0.1-60 mass%.

さらに、本発明の光硬化性樹脂組成物は、カルボキシル基含有樹脂の合成や、組成物の調製のため、又は基板やキャリアフィルムに塗布するための粘度調整のため、有機溶剤を使用することができる。
このような有機溶剤としては、ケトン類、芳香族炭化水素類、グリコールエーテル類、グリコールエーテルアセテート類、エステル類、アルコール類、脂肪族炭化水素、石油系溶剤等を挙げることができる。より具体的には、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;セロソルブ、メチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、カルビトール、メチルカルビトール、ブチルカルビトール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル等のグリコールエーテル類;酢酸エチル、酢酸ブチル、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールブチルエーテルアセテート等のエステル類;エタノール、プロパノール、エチレングリコール、プロピレングリコール等のアルコール類;オクタン、デカン等の脂肪族炭化水素;石油エーテル、石油ナフサ、水添石油ナフサ、ソルベントナフサ等の石油系溶剤等である。このような有機溶剤は、単独で又は2種以上の混合物として用いられる。
Furthermore, the photocurable resin composition of the present invention may use an organic solvent for the synthesis of a carboxyl group-containing resin, the preparation of the composition, or the viscosity adjustment for application to a substrate or a carrier film. it can.
Examples of such an organic solvent include ketones, aromatic hydrocarbons, glycol ethers, glycol ether acetates, esters, alcohols, aliphatic hydrocarbons, petroleum solvents, and the like. More specifically, ketones such as methyl ethyl ketone and cyclohexanone; aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene and tetramethylbenzene; cellosolve, methyl cellosolve, butyl cellosolve, carbitol, methyl carbitol, butyl carbitol, propylene glycol monomethyl Glycol ethers such as ether, dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol diethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether; ethyl acetate, butyl acetate, dipropylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol ethyl ether acetate , Esters such as propylene glycol butyl ether acetate; ethanol, propanol Ethylene glycol, or propylene glycol; octane, aliphatic hydrocarbons decane; petroleum ether, petroleum naphtha, hydrogenated petroleum naphtha, petroleum solvents such as solvent naphtha. Such organic solvents are used alone or as a mixture of two or more.

本発明の光硬化性樹脂組成物は、さらに必要に応じて、公知の熱重合禁止剤、微粉シリカ、有機ベントナイト、モンモリロナイト等の公知の増粘剤、シリコーン系、フッ素系、高分子系等の消泡剤及び/又はレベリング剤、イミダゾール系、チアゾール系、トリアゾール系等のシランカップリング剤、酸化防止剤、防錆剤等のような公知の添加剤類を配合することができる。   The photo-curable resin composition of the present invention may further include a known thickener such as a known thermal polymerization inhibitor, fine silica, organic bentonite, and montmorillonite, a silicone-based, a fluorine-based, a polymer-based, etc., if necessary. Known additives such as antifoaming agents and / or leveling agents, imidazole-based, thiazole-based, triazole-based silane coupling agents, antioxidants, rust inhibitors, and the like can be blended.

熱重合禁止剤は、重合性化合物の熱的な重合又は経時的な重合を防止するために用いることができる。熱重合禁止剤としては、例えば、4−メトキシフェノール、ハイドロキノン、アルキル又はアリール置換ハイドロキノン、t−ブチルカテコール、ピロガロール、2−ヒドロキシベンゾフェノン、4−メトキシ−2−ヒドロキシベンゾフェノン、塩化第一銅、フェノチアジン、クロラニル、ナフチルアミン、β−ナフトール、2,6−ジ−t−ブチル−4−クレゾール、2,2’−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、ピリジン、ニトロベンゼン、ジニトロベンゼン、ピクリン酸、4−トルイジン、メチレンブルー、銅と有機キレート剤反応物、サリチル酸メチル、及びフェノチアジン、ニトロソ化合物、ニトロソ化合物とAlとのキレート等が挙げられる。   The thermal polymerization inhibitor can be used for preventing thermal polymerization or polymerization with time of the polymerizable compound. Examples of the thermal polymerization inhibitor include 4-methoxyphenol, hydroquinone, alkyl or aryl-substituted hydroquinone, t-butylcatechol, pyrogallol, 2-hydroxybenzophenone, 4-methoxy-2-hydroxybenzophenone, cuprous chloride, phenothiazine, Chloranil, naphthylamine, β-naphthol, 2,6-di-tert-butyl-4-cresol, 2,2′-methylenebis (4-methyl-6-tert-butylphenol), pyridine, nitrobenzene, dinitrobenzene, picric acid, 4-Toluidine, methylene blue, copper and organic chelating agent reactant, methyl salicylate, phenothiazine, nitroso compound, chelate of nitroso compound and Al, and the like.

本発明の光硬化性樹脂組成物には、層間の密着性、又は形成される樹脂絶縁層と基材との密着性を向上させるために、密着促進剤を用いることができる。このような密着促進剤例としては、例えば、ベンゾイミダゾール、ベンゾオキサゾール、ベンゾチアゾール、3−モルホリノメチル−1−フェニル−トリアゾール−2−チオン、5−アミノ−3−モルホリノメチル−チアゾール−2−チオン、トリアゾール、テトラゾール、ベンゾトリアゾール、カルボキシベンゾトリアゾール、アミノ基含有ベンゾトリアゾール、シランカップリング剤等がある。   In the photocurable resin composition of the present invention, an adhesion promoter can be used in order to improve adhesion between layers or adhesion between the formed resin insulation layer and the substrate. Examples of such adhesion promoters include, for example, benzimidazole, benzoxazole, benzothiazole, 3-morpholinomethyl-1-phenyl-triazole-2-thione, 5-amino-3-morpholinomethyl-thiazole-2-thione. , Triazole, tetrazole, benzotriazole, carboxybenzotriazole, amino group-containing benzotriazole, silane coupling agent and the like.

このように構成される本発明の光硬化性樹脂組成物は、所定の組成に調製した後、例えば、有機溶剤で塗布方法に適した粘度に調整し、基材上に、ディップコート法、フローコート法、ロールコート法、バーコーター法、スクリーン印刷法、カーテンコート法等の方法により塗布する。   After the photocurable resin composition of the present invention configured as described above is prepared to a predetermined composition, it is adjusted to a viscosity suitable for a coating method with an organic solvent, for example, on a substrate, a dip coating method, a flow The coating method is a coating method, a roll coating method, a bar coater method, a screen printing method, a curtain coating method, or the like.

そして、約60〜100℃の温度で、組成物中に含まれる有機溶剤を揮発乾燥(仮乾燥)させ、タックフリーの塗膜(樹脂絶縁層)を形成する。このとき、揮発乾燥は、熱風循環式乾燥炉、IR炉、ホットプレート、コンベクションオーブン等(蒸気による空気加熱方式の熱源を備えたものを用いて乾燥機内の熱風を向流接触させる方法及びノズルより支持体に吹き付ける方式)を用いて行うことができる。   And the organic solvent contained in a composition is volatilized and dried (temporary drying) at the temperature of about 60-100 degreeC, and a tack-free coating film (resin insulating layer) is formed. At this time, the volatile drying is performed by using a hot air circulation drying furnace, an IR furnace, a hot plate, a convection oven or the like (using a method having a heat source of an air heating method using steam in a countercurrent contact with hot air in the dryer) A method of spraying on a support).

また、光硬化性樹脂組成物によりドライフィルムを形成し、これを基材上に張り合わせることにより、樹脂絶縁層を形成してもよい。
ドライフィルムは、例えばポリエチレンテレフタレート等のキャリアフィルムと、ソルダーレジスト層などの樹脂絶縁層と、必要に応じて用いられる剥離可能なカバーフィルムとが、この順序に積層された構造を有するものである。
Moreover, you may form a resin insulating layer by forming a dry film with a photocurable resin composition and bonding this on a base material.
The dry film has, for example, a structure in which a carrier film such as polyethylene terephthalate, a resin insulating layer such as a solder resist layer, and a peelable cover film used as necessary are laminated in this order.

樹脂絶縁層は、光硬化性樹脂組成物をキャリアフィルム又はカバーフィルムに塗布乾燥して得られる層である。このような樹脂絶縁層は、本発明の光硬化性樹脂組成物をブレードコーター、リップコーター、コンマコーター、フィルムコーター等で、キャリアフィルムに、10〜150μmの厚さで均一に塗布し、乾燥して形成される。そして、さらに必要に応じてカバーフィルムを積層することにより、ドライフィルムが形成される。このとき、光硬化性樹脂組成物をカバーフィルムに塗布、乾燥した後、キャリアフィルムを積層してもよい。   A resin insulation layer is a layer obtained by apply | coating and drying a photocurable resin composition to a carrier film or a cover film. For such a resin insulation layer, the photo-curable resin composition of the present invention is uniformly applied to a carrier film with a thickness of 10 to 150 μm using a blade coater, a lip coater, a comma coater, a film coater, etc., and dried. Formed. And a dry film is formed by laminating | stacking a cover film further as needed. At this time, the carrier film may be laminated after the photocurable resin composition is applied to the cover film and dried.

キャリアフィルムとしては、例えば2〜150μmの厚みのポリエステルフィルム等の熱可塑性フィルムが用いられる。
カバーフィルムとしては、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム等を使用することができるが、ソルダーレジスト層との接着力が、キャリアフィルムよりも小さいものが良い。
As the carrier film, for example, a thermoplastic film such as a polyester film having a thickness of 2 to 150 μm is used.
As the cover film, a polyethylene film, a polypropylene film, or the like can be used, but a cover film having a smaller adhesive force than the solder resist layer is preferable.

このようなドライフィルムを用いて、カバーフィルムが用いられた場合はこれを剥がした後、樹脂絶縁層と基材を重ね、ラミネーター等を用いて張り合わせることにより、基材上に樹脂絶縁層が形成される。なお、キャリアフィルムは、後述する露光の前又は後に剥離すればよい。   If such a dry film is used and the cover film is used, after peeling off the cover film, the resin insulation layer and the base material are stacked and bonded together using a laminator or the like, so that the resin insulation layer is formed on the base material. It is formed. In addition, what is necessary is just to peel a carrier film before or after the exposure mentioned later.

このとき、塗膜が形成され、あるいはドライフィルムを張り合わせる基材としては、紙フェノール、紙エポキシ、ガラス布エポキシ、ガラスポリイミド、ガラス布/不繊布エポキシ、ガラス布/紙エポキシ、合成繊維エポキシ、フッ素・ポリエチレン・PPO・シアネートエステル等を用いた高周波回路用銅張積層版等の材質を用いたもので全てのグレード(FR−4等)の銅張積層版、その他ポリイミドフィルム、PETフィルム、ガラス基板、セラミック基板、ウエハ板等を挙げることができる。   At this time, as a base material on which a coating film is formed or a dry film is laminated, paper phenol, paper epoxy, glass cloth epoxy, glass polyimide, glass cloth / non-woven cloth epoxy, glass cloth / paper epoxy, synthetic fiber epoxy, It uses materials such as copper clad laminates for high frequency circuits using fluorine, polyethylene, PPO, cyanate ester, etc., and all grades (FR-4 etc.) copper clad laminates, other polyimide films, PET films, glass A substrate, a ceramic substrate, a wafer plate, etc. can be mentioned.

さらに、接触式(又は非接触方式)により、パターンを形成したフォトマスクを通して、選択的に活性エネルギー線により露光もしくはレーザーダイレクト露光機により直接パターン露光する。   Further, the pattern is exposed by an active energy beam or directly by a laser direct exposure machine through a photomask having a pattern formed by a contact method (or non-contact method).

活性エネルギー線照射に用いられる露光機としては、直接描画装置(例えばコンピューターからのCADデータにより直接レーザーで画像を描くレーザーダイレクトイメージング装置)、メタルハライドランプを搭載した露光機、(超)高圧水銀ランプを搭載した露光機、水銀ショートアークランプを搭載した露光機、もしくは(超)高圧水銀ランプ等の紫外線ランプを使用した直接描画装置を用いることができる。   As an exposure machine used for active energy ray irradiation, a direct drawing device (for example, a laser direct imaging device that draws an image directly with a laser using CAD data from a computer), an exposure device equipped with a metal halide lamp, and an (ultra) high-pressure mercury lamp It is possible to use an exposure machine mounted, an exposure machine equipped with a mercury short arc lamp, or a direct drawing apparatus using an ultraviolet lamp such as a (super) high pressure mercury lamp.

活性エネルギー線としては、波長が350〜410nmの範囲にあるレーザー光を用いることが好ましい。最大波長をこの範囲とすることにより、光開始剤から効率よくラジカルを生成することができる。この範囲のレーザー光を用いていればガスレーザー、固体レーザーのいずれでもよい。また、その露光量は膜厚等によって異なるが、一般には5〜200mJ/cm、好ましくは5〜100mJ/cm、さらに好ましくは5〜50mJ/cmの範囲内とすることができる。 As the active energy ray, it is preferable to use a laser beam having a wavelength in the range of 350 to 410 nm. By setting the maximum wavelength within this range, radicals can be efficiently generated from the photoinitiator. If a laser beam in this range is used, either a gas laser or a solid laser may be used. Further, the exposure amount varies depending the thickness or the like, typically 5 to 200 mJ / cm 2, preferably from 5 to 100 mJ / cm 2, more preferably be in the range of 5~50mJ / cm 2.

直接描画装置としては、例えば、日本オルボテック社製、ペンタックス社製等のものを使用することができ、波長が350〜410nmのレーザー光を発振する装置であればいずれの装置を用いてもよい。   As the direct drawing device, for example, a device manufactured by Nippon Orbotech or Pentax can be used, and any device that oscillates laser light with a wavelength of 350 to 410 nm may be used.

そして、このようにして露光することにより、露光部(活性エネルギー線により照射された部分)を硬化させ、未露光部を希アルカリ水溶液(例えば、0.3〜3wt%炭酸ソーダ水溶液)により現像して、硬化物(パターン)が形成される。   And by exposing in this way, an exposed part (part irradiated with the active energy ray) is hardened, and an unexposed part is developed with a dilute alkaline aqueous solution (for example, 0.3 to 3 wt% sodium carbonate aqueous solution). Thus, a cured product (pattern) is formed.

このとき、現像方法としては、ディッピング法、シャワー法、スプレー法、ブラシ法等によることができる。また、現像液としては、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、リン酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、アンモニア、アミン類等のアルカリ水溶液を用いることができる。   At this time, as a developing method, a dipping method, a shower method, a spray method, a brush method, or the like can be used. Further, as the developer, an alkaline aqueous solution such as potassium hydroxide, sodium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, sodium phosphate, sodium silicate, ammonia, amines and the like can be used.

さらに、熱硬化成分を加えた場合、例えば約140〜180℃の温度に加熱して熱硬化させることにより、カルボキシル基含有樹脂のカルボキシル基と、例えば分子中に複数の環状エーテル基及び/又は環状チオエーテル基を有する熱硬化成分が反応し、耐熱性、耐薬品性、耐吸湿性、密着性、電気特性等の諸特性に優れた硬化物(パターン)を形成することができる。   Further, when a thermosetting component is added, for example, by heating to a temperature of about 140 to 180 ° C. and thermosetting, the carboxyl group of the carboxyl group-containing resin and, for example, a plurality of cyclic ether groups and / or cyclic groups in the molecule A thermosetting component having a thioether group reacts to form a cured product (pattern) excellent in various properties such as heat resistance, chemical resistance, moisture absorption resistance, adhesion, and electrical characteristics.

このように、本発明の光硬化性樹脂組成物においては、カルボキシル基含有樹脂と、光重合開始剤と、ナフタレン誘導体及び/又はナフトキノンとその誘導体を含有することにより、その硬化物において、電子部品などに用いられる際に要求される解像性を満足し、冷熱サイクル耐性などの信頼性を得ることができる。そして、このような硬化物をプリント配線板などに用いることにより、高い信頼性を得ることが可能となる。   Thus, in the photocurable resin composition of the present invention, in the cured product containing a carboxyl group-containing resin, a photopolymerization initiator, a naphthalene derivative and / or naphthoquinone and a derivative thereof, an electronic component It is possible to satisfy the resolution required when used for the above, and to obtain the reliability such as the resistance to the thermal cycle. And it becomes possible by using such hardened | cured material for a printed wiring board etc. to obtain high reliability.

以下に実施例及び比較例を示して具体的に説明するが、本発明がこれら実施例に限定されるものではないことはもとよりである。尚、以下において「部」及び「%」とあるのは、特に断りのない限り全て質量基準である。   The present invention will be specifically described below with reference to examples and comparative examples, but the present invention is not limited to these examples. In the following description, “parts” and “%” are based on mass unless otherwise specified.

実施例1〜11及び比較例1〜3
表1に示す種々の成分、割合(質量部)にて配合し、攪拌機にて予備混合した後、3本ロールミルで混練し、ソルダーレジスト用感光性樹脂組成物を調製した。ここで、得られた感光性樹脂組成物の分散度を、エリクセン社製グラインドメータによる粒度測定にて評価したところ、15μm以下であった。
Examples 1-11 and Comparative Examples 1-3
The various components and ratios (parts by mass) shown in Table 1 were blended, premixed with a stirrer, and then kneaded with a three-roll mill to prepare a photosensitive resin composition for a solder resist. Here, it was 15 micrometers or less when the dispersion degree of the obtained photosensitive resin composition was evaluated by the particle size measurement by the grindometer by an Erichsen company.

Figure 0005854600
Figure 0005854600

性能評価:
<最適露光量>
銅厚35μmの回路パターン基板をバフロール研磨後、水洗し、乾燥してから、各実施例及び比較例の感光性樹脂組成物をスクリーン印刷法により全面に塗布し、80℃の熱風循環式乾燥炉で60分間乾燥させた。乾燥後、高圧水銀灯(ショートアークランプ)搭載の露光装置を用いて、ステップタブレット(Kodak No.2)を介して露光し、現像(30℃、0.2MPa、1wt%NaCO水溶液)を60秒で行った際、残存するステップタブレットのパターンが、7段の時を最適露光量とした。
Performance evaluation:
<Optimum exposure amount>
A circuit pattern substrate having a copper thickness of 35 μm was polished with buffalo, washed with water and dried, and then the photosensitive resin composition of each example and comparative example was applied to the entire surface by a screen printing method, and a hot air circulation drying oven at 80 ° C. And dried for 60 minutes. After drying, using an exposure apparatus equipped with a high-pressure mercury lamp (short arc lamp), exposure is performed through a step tablet (Kodak No. 2), and development (30 ° C., 0.2 MPa, 1 wt% Na 2 CO 3 aqueous solution) is performed. When it was performed in 60 seconds, the optimal exposure amount was obtained when the remaining step tablet pattern had 7 steps.

<現像性>
各実施例及び比較例の感光性樹脂組成物を、銅ベタ基板上にスクリーン印刷法により、乾燥後の膜厚が約25μmになるように塗布し、80℃の熱風循環式乾燥炉で30分間乾燥させた。乾燥後、1wt%NaCO水溶液によって現像を行い、乾燥塗膜が除去されるまでの時間をストップウォッチにより計測した。
<Developability>
The photosensitive resin composition of each Example and Comparative Example was applied on a solid copper substrate by a screen printing method so that the film thickness after drying was about 25 μm, and 30 minutes in a hot air circulation drying oven at 80 ° C. Dried. After drying, development was performed with a 1 wt% Na 2 CO 3 aqueous solution, and the time until the dried coating film was removed was measured with a stopwatch.

特性評価:
<液状タイプ基板作製>
各実施例及び比較例の感光性樹脂組成物を、パターン形成された銅箔基板上にスクリーン印刷で乾燥後の膜厚が20μmになるように全面塗布し、80℃で30分乾燥し、室温まで放冷した。得られた基板にPETフィルム(東レ社製FB−50:16μm)を貼付し、真空ラミネーター(名機製作所製MVLP(登録商標)−500)を用いて加圧度:0.8MPa、70℃、1分、真空度:133.3Paの条件で加熱ラミネートして、未露光のソルダーレジスト層を有する基板(未露光の基板)を得た。この基板に、高圧水銀灯(ショートアークランプ)搭載の露光装置を用いて、最適露光量でソルダーレジストパターンを露光し、10分後に貼付したPETフィルムを剥離した。その後、30℃の1wt%NaCO水溶液をスプレー圧0.2MPaの条件で60秒間現像を行い、レジストパターンを得た。この基板を、UVコンベア炉にて積算露光量1000mJ/cmの条件で紫外線照射した後、150℃で60分加熱して硬化した。得られたプリント基板(評価基板)に対して以下のように特性を評価した。
Characterization:
<Production of liquid type substrate>
The photosensitive resin composition of each Example and Comparative Example was applied on the entire surface of the patterned copper foil substrate so that the film thickness after drying by screen printing was 20 μm, dried at 80 ° C. for 30 minutes, and room temperature. It was left to cool. A PET film (FB-50: 16 μm, manufactured by Toray Industries, Inc.) was attached to the obtained substrate, and the degree of pressure was 0.8 MPa, 70 ° C. using a vacuum laminator (MVLP (registered trademark) -500, manufactured by Meiki Seisakusho). Heat lamination was performed for 1 minute under a vacuum degree of 133.3 Pa to obtain a substrate (unexposed substrate) having an unexposed solder resist layer. Using this exposure apparatus equipped with a high-pressure mercury lamp (short arc lamp) on this substrate, the solder resist pattern was exposed at an optimum exposure amount, and the PET film affixed after 10 minutes was peeled off. Thereafter, a 1 wt% Na 2 CO 3 aqueous solution at 30 ° C. was developed for 60 seconds under the condition of a spray pressure of 0.2 MPa to obtain a resist pattern. This substrate was irradiated with ultraviolet rays under a condition of an integrated exposure amount of 1000 mJ / cm 2 in a UV conveyor furnace, and then cured by heating at 150 ° C. for 60 minutes. The characteristics of the obtained printed circuit board (evaluation board) were evaluated as follows.

<ドライフィルムタイプ基板作製>
各実施例及び比較例の感光性樹脂組成物をそれぞれメチルエチルケトンで適宜希釈した後、アプリケーターを用いて、乾燥後の膜厚が20μmになるようにPETフィルム(東レ社製FB−50:16μm)に塗布し、80℃で30分乾燥させドライフィルムを得た。回路形成された基板をバフ研磨した後、得られたドライフィルムを真空ラミネーター(名機製作所製MVLP(登録商標)−500)を用いて加圧度:0.8MPa、70℃、1分、真空度:133.3Paの条件で加熱ラミネートして、未露光のソルダーレジスト層を有する基板(未露光の基板)を得た。この基板に、高圧水銀灯(ショートアークランプ)搭載の露光装置を用いて、最適露光量でソルダーレジストパターンを露光し、10分後にPETフィルムの剥離をした。その後、30℃の1wt%NaCO水溶液をスプレー圧0.2MPaの条件で60秒間現像を行い、レジストパターンを得た。この基板を、UVコンベア炉にて積算露光量1000mJ/cmの条件で紫外線照射した後、150℃で60分加熱して硬化した。得られたプリント基板(評価基板)に対して以下のように特性を評価した。
<Dry film type substrate production>
After appropriately diluting the photosensitive resin compositions of each Example and Comparative Example with methyl ethyl ketone, respectively, using an applicator, a PET film (FB-50: 16 μm manufactured by Toray Industries Inc.) was used so that the film thickness after drying was 20 μm. It was applied and dried at 80 ° C. for 30 minutes to obtain a dry film. After buffing the circuit-formed substrate, the resulting dry film was vacuumed using a vacuum laminator (MVLP (registered trademark) -500 manufactured by Meiki Seisakusho): 0.8 MPa, 70 ° C., 1 minute, vacuum Degree: 133.3 Pa was laminated by heating to obtain a substrate (unexposed substrate) having an unexposed solder resist layer. The solder resist pattern was exposed to this substrate with an optimum exposure amount using an exposure apparatus equipped with a high-pressure mercury lamp (short arc lamp), and the PET film was peeled off after 10 minutes. Thereafter, a 1 wt% Na 2 CO 3 aqueous solution at 30 ° C. was developed for 60 seconds under the condition of a spray pressure of 0.2 MPa to obtain a resist pattern. This substrate was irradiated with ultraviolet rays under a condition of an integrated exposure amount of 1000 mJ / cm 2 in a UV conveyor furnace, and then cured by heating at 150 ° C. for 60 minutes. The characteristics of the obtained printed circuit board (evaluation board) were evaluated as follows.

<解像性安定性>
実施例1及び比較例1の感光性樹脂組成物を、パターン形成された銅箔基板上にスクリーン印刷で乾燥後の膜厚が20μmになるように全面塗布し、80℃の熱風循環式乾燥炉で30分間乾燥させた。高圧水銀灯(ショートアークランプ)搭載の露光装置を用いて100mJ/cmで露光を行い、PETフィルムを剥がす時間を5〜60分とする。その後、30℃の1wt%NaCO水溶液によって60秒間現像を行い、パターンを形成し、UVコンベア炉にて積算露光量1000mJ/cmの条件で紫外線照射した後、150℃で60分の熱硬化をすることにより硬化塗膜を得た。得られたソルダーレジスト用感光性樹脂組成物の硬化塗膜における開口設計値80μmの開口底部の測長を行なった。判定基準は以下の通りである。
G:開口設計値80μmの開口底部が60μm以上、80μm以下であり、アンダーカット及びハレーションの発生が無い。
H:ハレーションの発生あり。開口底部が40μm以上、60μm未満である。
A:アンダーカットの発生あり。開口底部が80μmより大きく、100μm以下である。
<Resolution stability>
The photosensitive resin compositions of Example 1 and Comparative Example 1 were coated on the entire surface of a patterned copper foil substrate so that the film thickness after drying by screen printing was 20 μm, and a hot-air circulating drying oven at 80 ° C. For 30 minutes. Exposure is performed at 100 mJ / cm 2 using an exposure apparatus equipped with a high-pressure mercury lamp (short arc lamp), and the time for peeling the PET film is 5 to 60 minutes. Thereafter, development is performed with a 1 wt% Na 2 CO 3 aqueous solution at 30 ° C. for 60 seconds to form a pattern, and UV irradiation is performed in a UV conveyor furnace under the condition of an integrated exposure amount of 1000 mJ / cm 2 , and then at 150 ° C. for 60 minutes. A cured coating film was obtained by thermosetting. The bottom of the opening having a design opening value of 80 μm in the cured coating film of the obtained photosensitive resin composition for solder resist was measured. Judgment criteria are as follows.
G: The opening bottom having an opening design value of 80 μm is 60 μm or more and 80 μm or less, and there is no occurrence of undercut and halation.
H: Halation occurs. The bottom of the opening is 40 μm or more and less than 60 μm.
A: Undercut occurs. The opening bottom is larger than 80 μm and not larger than 100 μm.

<解像性>
上述した基板作製条件にて評価基板を作製した。得られたソルダーレジスト用感光性樹脂組成物の硬化塗膜における開口設計値80μmの開口底部の測長を行なった。判定基準は以下の通りである。
G:開口設計値80μmの開口底部が60μm以上、80μm以下であり、アンダーカット及びハレーションの発生が無い。
H:ハレーションの発生あり。開口底部が40μm以上、60μm未満である。
A:アンダーカットの発生あり。開口底部が80μmより大きく、100μm以下である。
<Resolution>
An evaluation substrate was fabricated under the above-described substrate fabrication conditions. The bottom of the opening having a design opening value of 80 μm in the cured coating film of the obtained photosensitive resin composition for solder resist was measured. Judgment criteria are as follows.
G: The opening bottom having an opening design value of 80 μm is 60 μm or more and 80 μm or less, and there is no occurrence of undercut and halation.
H: Halation occurs. The bottom of the opening is 40 μm or more and less than 60 μm.
A: Undercut occurs. The opening bottom is larger than 80 μm and not larger than 100 μm.

<はんだ耐熱性>
ロジン系フラックスを塗布した評価基板を、予め260℃に設定したはんだ槽に浸漬し、変性アルコールでフラックスを洗浄した後、目視によるレジスト層の膨れ・剥がれについて評価した。判定基準は以下のとおりである。
◎:10秒間浸漬を6回以上繰り返しても剥がれが認められない。
○:10秒間浸漬を3回以上繰り返しても剥がれが認められない。
△:10秒間浸漬を3回以上繰り返すと少し剥がれる。
×:10秒間浸漬を3回以内にレジスト層に膨れ、剥がれがある。
<Solder heat resistance>
The evaluation board | substrate which apply | coated the rosin-type flux was immersed in the solder tank previously set to 260 degreeC, and after washing | cleaning the flux with denatured alcohol, the swelling / peeling of the resist layer by visual observation was evaluated. The judgment criteria are as follows.
A: Peeling is not observed even after 10 seconds of immersion for 6 or more times.
○: No peeling is observed even if the immersion for 10 seconds is repeated 3 times or more.
(Triangle | delta): It peels for a while when immersion for 10 seconds is repeated 3 times or more.
X: The resist layer swells and peels off within 3 times for 10 seconds.

<耐無電解金めっき性>
市販品の無電解ニッケルめっき浴及び無電解金めっき浴を用いて、ニッケル0.5μm、金0.03μmの条件でめっきを行い、テープピールにより、レジスト層の剥がれの有無やめっき液のしみ込みの有無を評価した後、レジスト層の剥がれの有無を評価した。判定基準は以下のとおりである。
◎:染み込み、剥がれが見られない。
○:めっき後に少し染み込みが確認されるが、テープピール後は剥がれない。
△:めっき後にほんの僅かしみ込みが見られ、テープピール後に剥がれも見られる。
×:めっき後に剥がれが有る。
<Electroless gold plating resistance>
Using a commercially available electroless nickel plating bath and electroless gold plating bath, plating is performed under the conditions of nickel 0.5 μm and gold 0.03 μm, and the presence or absence of peeling of the resist layer and the penetration of the plating solution by tape peel After evaluating the presence or absence of the resist layer, the presence or absence of peeling of the resist layer was evaluated. The judgment criteria are as follows.
A: No soaking or peeling is observed.
○: Slight penetration is confirmed after plating, but does not peel off after tape peeling.
Δ: Slight penetration after plating and peeling after tape peel.
X: There is peeling after plating.

<TCT耐性>
2mmの銅ラインパターンが形成された基板に、感光性樹脂組成物を塗布し、露光・現像した後、熱硬化して、銅ライン上に3mm角のレジストパターンが形成された評価基板を作製した。この評価基板を、−65℃と150℃の間で温度サイクルが行われる冷熱サイクル機に入れ、TCT(Thermal Cycle Test)を行った。そして、600サイクル時、800サイクル時及び1000サイクル時の外観を観察した。
◎:1000サイクルで異常なし。
○:800サイクルで異常なし、1000サイクルでクラック発生。
△:600サイクルで異常なし、800サイクルでクラック発生。
×:600サイクルでクラック発生。
<TCT resistance>
A photosensitive resin composition was applied to a substrate on which a 2 mm copper line pattern was formed, exposed and developed, and then thermally cured to produce an evaluation substrate in which a 3 mm square resist pattern was formed on the copper line. . This evaluation board | substrate was put into the thermal cycle machine with which a temperature cycle is performed between -65 degreeC and 150 degreeC, and TCT (Thermal Cycle Test) was performed. And the external appearance at the time of 600 cycles, 800 cycles, and 1000 cycles was observed.
A: No abnormality at 1000 cycles.
○: No abnormality at 800 cycles, cracks occurred at 1000 cycles.
Δ: No abnormality at 600 cycles, crack occurred at 800 cycles.
X: Cracks occurred at 600 cycles.

<PCT耐性>
ソルダーレジスト硬化塗膜を形成した評価基板を、PCT装置(エスペック(株)製HAST SYSTEM TPC−412MD)を用いて、121℃、飽和、0.2MPaの条件で168、192時間PCT(Pressure Cooker Test)を行った。そして、PCT後の塗膜の状態を評価した。判定基準は以下の通りである。
◎:192時間膨れ、剥がれ、変色、溶出のないもの。
○:168時間膨れ、剥がれ、変色、溶出のないもの。
△:若干の膨れ、剥がれ、変色、溶出があるもの。
×:膨れ、剥がれ、変色、溶出が多く見られるもの。
<PCT resistance>
The evaluation substrate on which the solder resist cured coating film was formed was subjected to PCT (Pressure Cooker Test) for 168 hours and 192 hours under the conditions of 121 ° C., saturation, and 0.2 MPa using a PCT apparatus (HAST SYSTEM TPC-412MD manufactured by ESPEC Corporation). ) And the state of the coating film after PCT was evaluated. Judgment criteria are as follows.
A: No swelling, peeling, discoloration or elution from 192 hours.
○: No swelling, peeling, discoloration, or elution from 168 hours.
Δ: Some swelling, peeling, discoloration, and elution.
X: Swelling, peeling, discoloration, and elution are often observed.

前記解像性安定性(露光後安定性)の評価結果を表2に、また他の特性についての評価結果を表3に示す。

Figure 0005854600
The evaluation results of the resolution stability (post-exposure stability) are shown in Table 2, and the evaluation results of other characteristics are shown in Table 3.
Figure 0005854600

表2に示されるように、ナフタレン誘導体及び/又はナフトキノンとその誘導体を用いた実施例1の場合には、比較例1と比較してPETフィルムを剥離する時間に関わらず良好な解像性が得られていることがわかる。   As shown in Table 2, in the case of Example 1 using a naphthalene derivative and / or naphthoquinone and its derivative, good resolution was obtained regardless of the time for peeling the PET film as compared with Comparative Example 1. It turns out that it is obtained.

Figure 0005854600
Figure 0005854600

表3に示されるように、ナフタレン誘導体及び/又はナフトキノンとその誘導体を用いた実施例1〜11の場合には、比較例1〜3と比較して良好な解像性、TCT耐性及びPCT耐性が得られていることがわかる。
一方、実施例3と対比して、ナフタレン誘導体及び/又はナフトキノンとその誘導体を用いていない比較例2の場合、大きくハレーションを起こし、露光後10分経過後にPETフィルムを剥がした際、いずれの特性試験においても塗膜の剥がれを生じ、はんだ耐熱性、耐無電解金めっき性、TCT耐性及びPCT耐性が劣っていた。また、実施例1と対比して、ナフタレン誘導体及び/又はナフトキノンとその誘導体を用いていない比較例1及びそれに代えてフェノチアジンを使用した比較例3の場合、同様にTCT耐性が劣り、PCT耐性については○と表示されているが、解像性が安定せず、ハレーションを起こし、PCTにおいて剥れが168時間経過後に生じた。
As shown in Table 3, in the case of Examples 1 to 11 using a naphthalene derivative and / or naphthoquinone and its derivative, better resolution, TCT resistance and PCT resistance compared to Comparative Examples 1 to 3 It can be seen that is obtained.
On the other hand, in contrast to Example 3, in the case of Comparative Example 2 in which a naphthalene derivative and / or naphthoquinone and its derivative were not used, any characteristic was observed when the PET film was peeled off 10 minutes after exposure. Also in the test, the coating film was peeled off, and the solder heat resistance, electroless gold plating resistance, TCT resistance and PCT resistance were inferior. In contrast to Example 1, in the case of Comparative Example 1 in which a naphthalene derivative and / or naphthoquinone and its derivative are not used and in Comparative Example 3 in which phenothiazine is used instead, TCT resistance is similarly inferior, and PCT resistance is inferior. Is marked with ◯, but the resolution was not stable, halation occurred, and peeling occurred in PCT after 168 hours.

Claims (4)

カルボキシル基含有樹脂と、光重合開始剤と、4−メトキシ−1−ナフトール、9−オキソアントラセン、2−ヒドロキシ−1,4−ナフトキノン、及び1,4−ナフトキノンの少なくともいずれか1種と、分子中に複数の環状エーテル基及び環状チオエーテル基の少なくともいずれか1種を有する熱硬化成分を含むことを特徴とする光硬化性樹脂組成物。 A carboxyl group-containing resin, a photopolymerization initiator, at least one of 4-methoxy-1-naphthol, 9-oxoanthracene, 2-hydroxy-1,4-naphthoquinone, and 1,4-naphthoquinone, and a molecule A photocurable resin composition comprising a thermosetting component having at least one of a plurality of cyclic ether groups and cyclic thioether groups therein. 請求項1に記載の光硬化性樹脂組成物を、フィルム上に塗布乾燥して得られることを特徴とするドライフィルム。 A dry film obtained by applying and drying the photocurable resin composition according to claim 1 on a film. 請求項1に記載の光硬化性樹脂組成物を基材に塗布乾燥して得られる乾燥塗膜、又は前記光硬化性樹脂組成物をフィルム上に塗布乾燥して得られるドライフィルムを基材にラミネートして得られる塗膜硬化物。 A dry film obtained by applying and drying the photocurable resin composition according to claim 1 on a substrate, or a dry film obtained by applying and drying the photocurable resin composition on a film as a substrate. A cured product of a coating film obtained by laminating. 請求項1に記載の光硬化性樹脂組成物を基材に塗布乾燥して得られる乾燥塗膜、又は前記光硬化性樹脂組成物をフィルム上に塗布乾燥して得られるドライフィルムを基材にラミネートして得られる塗膜硬化物のパターンを有することを特徴とするプリント配線板。 A dry film obtained by applying and drying the photocurable resin composition according to claim 1 on a substrate, or a dry film obtained by applying and drying the photocurable resin composition on a film as a substrate. printed wiring board characterized by having a pattern of a cured product of the coating film obtained by laminating.
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