KR101039756B1 - Bubble jet module for removing mist - Google Patents

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Abstract

본 발명은 세정이 수행되는 공간에서 컨베이어에 의해 일측으로 이송되는 기판 표면에 유체를 분사하는 노즐과, 상기 노즐이 장착되는 헤더와, 상기 유체 분사방향을 제외한 노즐의 주변을 가이드하는 내측커버 및 외측커버로 구성되어 노즐분사시 발생되는 미스트의 비산을 차단하여 기판에 미스트(mist)가 재부착되는 것을 방지할 수 있게 된다. The present invention provides a nozzle for injecting fluid onto a substrate surface transported to one side by a conveyor in a space where cleaning is performed, a header on which the nozzle is mounted, an inner cover and an outer guide for guiding the periphery of the nozzle except the fluid ejection direction. The cover is configured to block the scattering of mist generated during nozzle injection, thereby preventing the reattachment of the mist to the substrate.

세정, 버블제트모듈, 헤더, 노즐, 분사, 안개Cleaning, Bubble Jet Module, Header, Nozzle, Spray, Fog

Description

미스트 제거용 버블제트모듈{Bubble jet module for removing mist}Bubble jet module for removing mist

도 1은 종래 배쓰내부의 버블제트모듈의 메카니즘을 개략적으로 도시한 도면.1 is a view schematically showing a mechanism of a bubble jet module in a conventional bath.

도 2는 종래 미스트 제거용 버블제트모듈을 개략적으로 도시한 작동도.Figure 2 is an operation diagram schematically showing a conventional mist jet bubble jet module.

도 3은 본 발명에 따른 미스트 제거용 버블제트모듈을 개략적으로 도시한 구성도.Figure 3 is a schematic view showing a mist jet bubble jet module according to the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

110: 세정부 본체 120: 컨베이어110: cleaning unit body 120: conveyor

130: 버블제트부 131: 노즐130: bubble jet unit 131: nozzle

132: 헤더 133: 미스트 커버132: header 133: mist cover

134: 배출관134: discharge pipe

본 발명은 평판 표시장치의 기판 세정에 적용되는 버블제트모듈(bubble jet module)에 관한 것으로, 버블제트모듈을 통해 유체를 분사하는 경우에 발생되는 세정부 본체 내부의 미스트(mist)를 최소화하여 기판에 미스트가 재부착되는 것을 방 지할 수 있는 미스트 제거용 버블제트모듈에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a bubble jet module applied to cleaning a substrate of a flat panel display, and minimizes a mist inside the main body of the cleaning unit generated when the fluid is injected through the bubble jet module. The present invention relates to a bubble jet module for removing mist, which can prevent the mist from being reattached.

도 1은 종래 배쓰(Bath) 내부의 버블제트모듈의 메카니즘을 개략적으로 도시한 도면이다. 1 is a view schematically showing the mechanism of a bubble jet module in a conventional bath (Bath).

도시된 바와 같이, 종래에는 배쓰(1) 내부에 버블제트모듈(5)이 구비되고, 버블제트모듈(5)의 노즐로부터 유체를 분사하여 기판 표면을 세정한다. 이와 같이 버블제트모듈(5)의 노즐로부터 유체를 분사하여 기판 표면을 세정하는 경우에 미스트(Mist)가 발생하는데, 그 미스트가 기판의 표면에 재부착되어 기판의 세정불량을 발생시킬 수 있다.As shown in the drawing, conventionally, the bubble jet module 5 is provided inside the bath 1, and the fluid is injected from the nozzle of the bubble jet module 5 to clean the substrate surface. As described above, mist is generated when the surface of the substrate is cleaned by spraying a fluid from the nozzle of the bubble jet module 5, and the mist may be reattached to the surface of the substrate to cause poor cleaning of the substrate.

따라서, 상기 미스트의 비산을 방지하기 위해 유체의 분사방향을 제외한 노즐의 주변을 가이드하는 미스트 커버(33)가 구비된다.Therefore, the mist cover 33 is provided to guide the periphery of the nozzle except the spraying direction of the fluid in order to prevent the mist from scattering.

상기 버블제트모듈(5)은 펌프에 의해 가압된 액체와 기체를 노즐내에서 혼합함으로써 물방울을 발생시키고, 그 물방울을 고속의 기체흐름에 의해 가속시켜 분사하여 기판 표면의 이물질을 유체의 타력으로 제거하게 된다. The bubble jet module 5 generates droplets by mixing the liquid and gas pressurized by the pump in the nozzle, and accelerates and sprays the droplets by high speed gas flow to remove foreign substances on the surface of the substrate by the force of the fluid. Done.

통상, 버블제트모듈(5)을 적용한 세정은 약1∼5㎏/㎠정도 압력의 유체를 기판에 분사하여 이물질을 제거하며, 이와 같이 가압된 유체를 사용함에 따라 러빙후 세정 등 브러쉬가 사용되지 않는 경우의 세정에도 효과가 있다. 즉, 노즐에서 분사되는 액체 및 기체의 압력 조건에 따라 물방울의 크기와 속도가 결정되며, 그 크기와 속도의 최적점에서 최고의 세정력을 발휘하게 된다. In general, the cleaning using the bubble jet module 5 removes foreign substances by injecting a fluid having a pressure of about 1 to 5 kg / cm 2 to the substrate, and thus cleaning the brush after rubbing due to the use of the pressurized fluid. It is also effective in the case of washing. That is, the size and speed of the water droplets are determined according to the pressure conditions of the liquid and gas injected from the nozzle, and the best cleaning power is exhibited at the optimum point of the size and speed.

한편, 도 2는 종래 미스트 제거용 버블제트모듈을 도시한 예시도이다.On the other hand, Figure 2 is an exemplary view showing a bubble jet module for removing the mist.

종래 버블제트모듈은 세정부 본체(10)와, 상기 세정부 본체(10) 내부에 설치 되어 기판을 이송시키는 컨베이어(20)와, 상기 컨베이어(20) 상측에 설치되어 기판에 순수와 에어를 혼합하여 토출시키는 버블제트부(30)로 구성된다. Conventional bubble jet module is a washing unit body 10, a conveyor 20 is installed inside the cleaning unit body 10 to transfer the substrate, and is installed above the conveyor 20 to mix pure water and air on the substrate. It is composed of a bubble jet unit 30 to be discharged.

그리고, 상기 버블제트부(30)는 노즐(nozzle; 31)이 장착된 헤더(header; 32)와, 상기 노즐(31)의 외주를 감싸도록 구비되어 노즐분사시 발생되는 미스트의 비산을 차단하여 기판에 미스트가 재부착되는 것을 방지하는 미스트 커버(mist cover; 33)로 이루어진다. In addition, the bubble jet unit 30 is provided to surround a header 32 having a nozzle 31 and an outer circumference of the nozzle 31 to block scattering of mist generated during nozzle spraying. And a mist cover 33 for preventing the mist from reattaching to the substrate.

하지만, 종래 버블제트모듈의 경우 미스트 커버가 노즐로부터 유체가 분사될 때 발생하는 미스트의 비산을 단순히 차단함에 따라 실질적으로 배쓰 내의 미스트를 제거하는데 한계가 있고, 이로 인해 기판에 미스트가 재흡착될 우려가 많다. However, in the case of the conventional bubble jet module, there is a limit to substantially remove mist in the bath as the mist cover simply blocks scattering of mist generated when the fluid is ejected from the nozzle, thereby causing the mist to be resorbed onto the substrate. There are many.

따라서, 기판의 세정불량이 발생되어 수율을 감소시키는 문제점이 있었다.Therefore, there is a problem in that poor cleaning of the substrate occurs to reduce the yield.

본 발명은 상기와 같은 점을 감안하여 안출된 것으로, 버블제트모듈의 노즐로부터 유체를 분사할 때 발생되는 미스트를 최소화시켜 기판에 미스트가 재부착되는 것을 방지할 수 있는 미스트 제거용 버블제트모듈을 제공하는데 그 목적이 있다. The present invention has been made in view of the above, it is to minimize the mist generated when spraying the fluid from the nozzle of the bubble jet module bubble jet module for removing mist that can prevent the re-attach to the substrate The purpose is to provide.

상기와 같은 목적들을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 미스트 제거용 버블제트모듈은 세정이 수행되는 공간에서 컨베이어에 의해 일측으로 이송되는 기판 표면에 유체를 분사하는 노즐과; 상기 노즐이 장착되는 헤더와; 상기 유체 분사방향을 제외한 노즐의 주변을 가이드하는 내측커버 및 외측커버를 구비하여 구성되는 것을 특징으로 한다. In order to achieve the above objects, the mist jet bubble jet module according to the present invention comprises a nozzle for injecting a fluid to the substrate surface is transported to one side by a conveyor in a space in which cleaning is performed; A header on which the nozzle is mounted; And an inner cover and an outer cover that guide the periphery of the nozzle except the fluid injection direction.                     

상기 버블제트모듈에는 상기 내측커버와 외측커버 사이의 공간에 연통되는 배출관이 더 구비되고, 상기 배출관은 기액분리기가 연결된 것을 특징으로 한다. The bubble jet module is further provided with a discharge pipe communicating with the space between the inner cover and the outer cover, the discharge pipe is characterized in that the gas-liquid separator is connected.

상기 외측커버의 단부는 내측커버의 단부에 비해 기판과 가깝게 배치된 것을 특징으로 한다. The end of the outer cover is characterized in that it is disposed closer to the substrate than the end of the inner cover.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 미스트 제거용 버블제트모듈을 상세하게 설명한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a mist jet bubble jet module according to an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명에 따른 미스트 제거용 버블제트모듈을 도시한 예시도이다.3 is an exemplary view showing a mist jet bubble jet module according to the present invention.

도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 미스트 제거용 버블제트모듈은 세정부 본체(110)와, 상기 세정부 본체(110) 내부에 설치되어 기판을 이송시키는 컨베이어(120)와, 상기 컨베이어(120) 상측에 설치되어 기판에 순수와 에어를 혼합하여 토출시키는 버블제트부(130)로 구성되고, 상기 버블제트부(130)는 노즐(nozzle; 131)이 장착된 헤더(header; 132)와, 상기 노즐(131)의 외주를 이중구조로 감싸도록 구비되어 노즐분사시 미스트의 발생을 최소화시켜 기판에 미스트(mist)가 재부착되는 것을 방지하는 미스트 커버(mist cover; 133)로 이루어진다. As illustrated, the mist jet bubble jet module according to the present invention includes a cleaning unit body 110, a conveyor 120 installed inside the cleaning unit body 110 to transfer a substrate, and the conveyor 120. It is provided on the upper side is composed of a bubble jet unit 130 for discharging by mixing the pure water and air on the substrate, the bubble jet unit 130 is a header (header) 132 is equipped with a nozzle (131), and the It is provided to surround the outer circumference of the nozzle 131 in a dual structure is made of a mist cover (133) to minimize the occurrence of mist (mist) to the substrate to minimize the occurrence of the mist during nozzle spraying.

좀더 상세히 설명하면, 상기 미스트 커버(133)는 상기 헤더에 장착되어 상기 노즐의 외주를 이중으로 감싸도록 내측커버(133a)와 외측커버(133b)로 구비되어 노즐분사시 발생되는 미스트를 최소화시켜 기판에 미스트(mist)가 재부착되는 것을 방지한다. In more detail, the mist cover 133 is mounted to the header and provided with an inner cover 133a and an outer cover 133b to double wrap the outer circumference of the nozzle to minimize mist generated during nozzle spraying. This prevents the mist from reattaching.

바람직하게는, 상기 버블제트부(130)에는 상기 내측커버(133a)와 외측커버(133b) 사이의 공간에 배출관(134)이 연통되고, 상기 배출관(134)의 끝단에는 기액 분리기(미도시)가 연결되어 상기 배출관(134) 및 기액분리기에 의해 미스트를 흡입 제거할 수 있게 된다. 여기서, 기액분리기의 경우 본 발명의 기술분야에 속한 당업자라면 기존의 다양한 형태의 기액분리기를 적용할 수 있을 것이다. Preferably, the bubble jet unit 130, the discharge pipe 134 is in communication with the space between the inner cover (133a) and the outer cover (133b), a gas-liquid separator (not shown) at the end of the discharge pipe (134) Is connected to be able to suck out the mist by the discharge pipe 134 and the gas-liquid separator. Here, in the case of a gas-liquid separator, those skilled in the art may apply various existing gas-liquid separators.

더욱 바람직하게는, 상기 미스트 커버(133)는 기판이 이송되는 면으로부터 외측커버(133b)의 단부가 내측커버(133a)의 단부에 비해 가깝게 배치되어 그 단차에 의한 미스트 흡입 제거를 극대화시킬 수 있다.
More preferably, the mist cover 133 may be disposed closer to the end of the outer cover 133b than the end of the inner cover 133a from the surface on which the substrate is transported to maximize mist suction removal due to the step. .

이러한 구성의 본 발명에 따른 미스트 제거용 버블제트모듈의 작동을 상세하게 설명하면 다음과 같다. Referring to the operation of the bubble jet module for removing mist in accordance with the present invention in detail as follows.

순수와 에어를 혼합하여 노즐을 통해 세정액을 분사시키게 되면, 미스트가 발생하게 되는데, 이 미스트가 미스트 커버(133)의 내측커버(133a) 뿐만 아니라 외측커버(133b)에도 부딪히면서 미스트의 비산이 방지되기 때문에 종래 구조에 비해 훨씬 효과적이다. 또한, 상기 미스트 커버(133)가 기판이 이송되는 면으로부터 단차지게 구비된 경우 내측커버(133a)의 외부로 비산되는 미스트가 외측커버(133b)로 이동하게 되고, 이때 외측커버(133b)에 부딪히면서 2차적으로 미스트의 비산을 차단하게 된다. When the cleaning liquid is sprayed through the nozzle by mixing pure water and air, mist is generated. The mist is prevented from scattering as the mist hits not only the inner cover 133a of the mist cover 133 but also the outer cover 133b. This is much more effective than the conventional structure. In addition, when the mist cover 133 is provided with a step from the surface on which the substrate is transferred, the mist scattered to the outside of the inner cover 133a is moved to the outer cover 133b, and at this time, while hitting the outer cover 133b. Secondly, it prevents mist from scattering.

또한, 상기 내측커버(133a)와 외측커버(133b) 사이의 공간에 연통되는 배출관(134)과, 그 배출관(134)에 연결되는 기액분리기가 설치된 경우, 내측커버(133a)와 외측커버(133b)에 의해 비산이 차단된 미스트는 배출관(134)을 통해 흡입되어 기액분리기에 의해 제거됨에 따라 노즐분사시 발생되는 미스트의 비산을 차단할 뿐 만 아니라 미스트가 미스트 커버(133) 외부로 비산되는 것을 원천적으로 차단할 수 있게 된다. In addition, when the discharge pipe 134 communicating with the space between the inner cover 133a and the outer cover 133b and the gas-liquid separator connected to the discharge pipe 134 are installed, the inner cover 133a and the outer cover 133b are provided. As mist is blocked by), the mist is sucked through the discharge pipe 134 and removed by the gas-liquid separator, and not only blocks mist scattering during nozzle injection, but also mist is scattered outside the mist cover 133. Can be blocked.

상기된 바와 같은 본 발명은 버블제트모듈의 유체 분사시 발생하는 미스트의 비산을 차단하여 기판에 미스트가 재부착되는 것을 방지함에 따라 기판의 세정불량을 최소화할 수 있고, 이로 인해 수율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다. The present invention as described above can prevent the mist is re-attached to the substrate by blocking the scattering of the mist generated during the fluid jet of the bubble jet module, it is possible to minimize the poor cleaning of the substrate, thereby improving the yield It has an effect.

이상에서는, 본 발명을 특정의 바람직한 실시예에 대해서 도시하고 설명하였다. 그러나, 본 발명은 상술한 실시예에만 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상의 요지를 벗어남이 없이 얼마든지 다양하게 적용할 수 있을 것이다.In the above, the present invention has been illustrated and described with respect to certain preferred embodiments. However, the present invention is not limited only to the above-described embodiments, and those skilled in the art to which the present invention pertains may vary without departing from the spirit of the technical idea of the present invention described in the claims below. Will be applicable.

Claims (3)

세정부 본체의 내부에 설치된 외측본체와, 상기 외측본체의 내부에 설치된 내측 본체와, 상기 내측 본체의 내부에 설치된 헤더와, 상기 헤더에 설치된 노즐로 구성된 미스트 제거용 버블제트모듈에 있어서,In the bubble jet module for mist removal comprising an outer body provided inside the cleaning unit body, an inner body provided inside the outer body, a header provided inside the inner body, and a nozzle provided in the header, 상기 노즐은 세정이 수행되는 공간에서 컨베이어에 의해 일측으로 이동되는 기판 표면에 유체를 분사하고,The nozzle injects fluid to the substrate surface moved to one side by a conveyor in a space where cleaning is performed, 상기 내측 커버와 외측커버는 상기 유체의 분사방향을 제외한 상기 노즐의 주변을 가이드하며, The inner cover and the outer cover guides the periphery of the nozzle except for the injection direction of the fluid, 상기 외측커버의 단부는 상기 내측커버의 단부에 비해 기판과 가깝게 배치된 것을 특징으로 하는 미스트 제거용 버블제트모듈. Mist removal bubble jet module, characterized in that the end of the outer cover is disposed closer to the substrate than the end of the inner cover. 제 1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 내측커버와 외측커버 사이의 공간에 연통되는 배출관이 더 구비되고, 상기 배출관에는 기액분리기가 연결된 것을 특징으로 하는 미스트 제거용 버블제트모듈. And a discharge pipe communicating with a space between the inner cover and the outer cover, wherein the discharge pipe is connected to a gas-liquid separator. 삭제delete
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