KR101039302B1 - Wafer spin chuck assembly - Google Patents

Wafer spin chuck assembly Download PDF

Info

Publication number
KR101039302B1
KR101039302B1 KR1020090121602A KR20090121602A KR101039302B1 KR 101039302 B1 KR101039302 B1 KR 101039302B1 KR 1020090121602 A KR1020090121602 A KR 1020090121602A KR 20090121602 A KR20090121602 A KR 20090121602A KR 101039302 B1 KR101039302 B1 KR 101039302B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
spin chuck
link member
center
hinge portion
reciprocating rod
Prior art date
Application number
KR1020090121602A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
문성길
Original Assignee
(주)이노맥스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)이노맥스 filed Critical (주)이노맥스
Priority to KR1020090121602A priority Critical patent/KR101039302B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101039302B1 publication Critical patent/KR101039302B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
    • H01L21/68728—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by a plurality of separate clamping members, e.g. clamping fingers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/6715—Apparatus for applying a liquid, a resin, an ink or the like

Abstract

PURPOSE: A wafer spin chuck assembly is provided to prevent a spin chuck from being forcedly opened due to a centrifugal force when the spin chuck rotates fast. CONSTITUTION: A spin disk(2) is located on the upper side of a central axis(1). A spin chuck unit is formed by combining a reciprocating rod(32) and an erect gripper(34). The reciprocating rod has an elastic restoring force by a spring(30). The spin chuck unit is formed on the spin disk. A link member(4) is located on the inner end of the reciprocating rod of the spin chuck unit. One side of the link member is connected to an upper hinge unit(6). A revolving roll(7) is installed on the other side of the link member.

Description

웨이퍼 스핀척 어셈블리{Wafer Spin Chuck Assembly}Wafer Spin Chuck Assembly

본 발명은 웨이퍼 스핀척 어셈블리에 관한 것으로, 특히 그 구조를 단순화하면서도 스핀척의 기능은 충분하게 발휘할 수 있고 유지 보수가 용이하게 이루질 수 있도록 한 웨이퍼 스핀척 어셈블리에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a wafer spin chuck assembly, and more particularly, to a wafer spin chuck assembly in which the structure of the spin chuck can be simplified while maintaining the functions of the spin chuck sufficiently.

일반적으로 반도체 소자의 제조공정 중 감광액이나 현상액, 그리고 세정액과 같은 약액을 사용하여 공정이 진행되는 반도체 장치 중에서 약액이 웨이퍼의 전면에 고르게 퍼지거나 약액의 건조를 위하여 웨이퍼를 진공으로 흡착하고 회전시켜서 고정을 행하는 방식이 활용되고 있다.In general, during the semiconductor device manufacturing process, chemical liquids such as photoresist, developer, and cleaning liquid are used to fix the chemical liquid evenly on the entire surface of the wafer or by adsorbing and rotating the wafer by vacuum to dry the chemical liquid. The way of doing this is being utilized.

그리하여 스핀척의 상면에는 웨이퍼의 위치 지지를 위하여 외곽을 따라 다수의 척 핀이 돌출 형성되도록 구성이 이루어지는데 이들 각각의 척 핀은 스프링의 텐션에 의하여 복귀력이 작용하는 상태에서 척핀이 동시에 개폐가 되는 연동구조를 이루어 웨이퍼의 장착 또는 분리시 방사방향으로 작동이 이루어지도록 그 구성이 공통적으로 이루어지게 된다.Thus, the upper surface of the spin chuck is configured such that a plurality of chuck pins are formed to protrude along the periphery to support the position of the wafer. Each of the chuck pins is simultaneously opened and closed while the return force is actuated by the tension of the spring. The configuration is common to make the interlocking structure to operate in the radial direction when mounting or detaching the wafer.

본 출원인의 선출원인 국내 등록특허공보 등록번호 10-0876100호의 "웨이퍼 스핀척 어셈블리"의 경우도 위와 같은 공통된 기술구성을 가지고 있으며, 척핀이 동시에 개폐가 이루어지도록 연동시키는 기술구성은 다수의 치합된 기어군의 연동에 의하여 작동이 이루어지고 웨이트밸런스를 채택하여 스핀척의 고속회전시 작용하는 원심력으로 인한 그리퍼핀의 개방작동을 방지하는 기술을 채택하여 안정적인 작동이 가능하다는 장점이 있는 반면에, 전체적으로 그 구조가 복잡하고 구성부품의 수효가 많아 제작비용의 상승을 가져오고 유지 보수에도 어려움이 발생하게 되어 경제적으로 바람직하지 아니하고 실제로 제작하여 실용화하는데에 어려운 문제점이 발생하였다.In the case of the "wafer spin chuck assembly" of the Korean Patent Publication No. 10-0876100, which is the applicant of the present applicant, also has a common technical configuration as described above, and the technical configuration for interlocking the chuck pins to be opened and closed at the same time is a plurality of gears. The operation is performed by the interlocking of the group, and the weight balance is adopted to prevent the gripper's opening operation due to the centrifugal force acting at the high speed of the spin chuck. Is complicated and the number of components is high, which leads to an increase in production cost and difficulty in maintenance, which is not economically desirable and has a difficult problem in practical production and practical use.

본 발명은 전술한 종래의 문제점을 해소하기 위하여 연구 개발이 이루어진 것으로 다음과 같은 목적을 갖는다.The present invention has been made in order to solve the above-mentioned conventional problems and has the following object.

본 발명의 목적은 스핀척유니트의 개폐작동과 함께 스핀척의 고속회전시 발생하게 되는 원심력에 의한 스핀척의 강제개방현상을 방지할 수 있는 기본적인 기능을 충분하게 발휘하면서도 이러한 기본기능을 수행하게 되는 기술적인 구성을 단순화시켜 구조도 간단하고 구성부품의 수효도 크게 줄여 장치의 제조가 용이하고 고장이 발생할 가능성을 줄이면서 유지 보수도 용이하여 경제적으로 유용한 웨이퍼 스핀척 어셈블리를 제공하고자 함에 있다.An object of the present invention is to perform the basic functions while fully exhibiting the basic functions that can prevent the forced opening phenomenon of the spin chuck due to the centrifugal force generated during high speed rotation of the spin chuck unit with the opening and closing operation of the spin chuck unit The aim is to provide a wafer spin chuck assembly that is economically useful by simplifying the configuration, greatly reducing the number of components, facilitating the manufacture of the device, reducing the possibility of breakdowns, and facilitating maintenance.

본 발명은 위와 같은 목적을 달성하기 위하여 중심축의 상부에 스핀디스크를 위치시키고 상기 스핀디스크엔 각각 스프링에 의하여 탄성복귀력을 갖는 왕복로드와 직립그리퍼핀을 서로 결합한 스핀척유니트를 방사상으로 복수개 설치하여 직립그리퍼핀의 개폐작동에 따라 웨이퍼를 파지할 수 있게 이루어지는 통상의 스핀척 어셈블리에 있어서, 상기 스핀척유니트의 왕복로드 내부 끝에 상기 왕복로드와 연동되는 링크부재를 중간힌지부를 갖도록 연결 설치하되 상기 링크부재의 일측은 상기 왕복로드와 힌지부로 연결하고 상기 링크부재의 다른 일측엔 공전로울을 각각 설치하여 구성하고, 상기 링크부재의 공전로울과 접하도록 가압부재를 갖춘 승하강푸셔를 설치하여 상기 승하강푸셔가 승하강함에 따라 링크부재가 중간힌지부를 중 심으로 전후진하면서 왕복로드와 결합된 직립그리퍼핀도 전후진하여 스핀척유니트의 개폐작동이 가능하게 이루어지는 웨이퍼 스핀척 어셈블리를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention places radially a plurality of spin chuck units radially located on top of the central axis and the reciprocating rod and the upright gripper pins having elastic return force by springs. In the conventional spin chuck assembly which can hold the wafer according to the opening and closing operation of the upright gripper pin, the link member which is interlocked with the reciprocating rod at the inner end of the reciprocating rod of the spin chuck unit is installed to have an intermediate hinge portion, the link One side of the member is connected to the reciprocating rod and the hinge portion, and the other side of the link member is configured by installing the idle roll, respectively, and installed by the lifting member equipped with a lifting member to contact the idle roll of the link member As the pusher moves up and down, the link member is moved back and forth around the middle hinge part. While the upright gripper pin engaged with the reciprocating load also provides a spin chuck in a wafer spin chuck assembly opening and closing operation can be made by the unit back and forth.

또한, 상기 링크부재는 왕복로드와 연결되는 힌지부의 중심과 중간힌지부의 중심을 통과하는 상부중심선이 중간힌지부의 중심과 공전로울의 축중심을 통과하는 하부중심선의 내측에 위치하여 상기 공전로울의 축중심이 상기 상부중심선의 외부 위치에 위치하도록 구성하면서 상부힌지부의 중심으로부터 중간힌지부의 중심까지의 길이보다 중간힌지부의 중심으로부터 공전로울의 축중심에 이르기까지의 길이가 더 길게 구성하여 지렛대의 원리에 의하여 승하강부재의 가압부재에 의한 가압작동이 작은 힘에 의하여도 원활하게 작동이 이루어질 수 있게 이루어지고, 상기 승하강푸셔의 가압부재는 전체가 링 형태로서 단면형상이 내향경사진 테이퍼부를 갖추어 상기 테이퍼부가 고정로울과 접하여 승하강하게 되면 링크부재가 중간힌지부를 중심으로 움직이면서 링크부재와 연동되는 스핀척유니트가 외향으로 움직여 개방되었다가 다시 내향으로 움직여 닫혀지는 개폐작동이 가능하게 이루어지는 웨이퍼 스핀척 어셈블리를 제공한다.In addition, the link member has an upper center line passing through the center of the hinge portion and the intermediate hinge portion connected to the reciprocating rod is located inside the lower center line passing through the center of the intermediate hinge portion and the axis of the idle roll, the axis of the idle roll. The center is located at an outer position of the upper center line, and the length from the center of the intermediate hinge to the center of the revolving roll is longer than the length from the center of the upper hinge to the center of the middle hinge, By the pressing member of the elevating member by the pressing member is made to be able to operate smoothly even by a small force, the pressing member of the elevating pusher is a ring shape as a whole has a tapered portion inclined inward cross section When the taper part is raised and lowered in contact with the fixed roller, the link member is centered on the intermediate hinge part. Moving and provides a spin chuck unit has been opened by moving outwardly a wafer back comprising enabling the opening and closing operation to be closed by moving inwardly spin chuck assembly that is linked with the link member.

그리하여 본 발명에 의하면, 링크부재와 승하강푸셔에 의한 연동작동에 의하여 스핀척유니트의 개폐작동과 함께 스핀척의 고속회전시 발생하게 되는 원심력에 의한 스핀척유니트의 강제개방현상을 방지할 수 있는 기본적인 기능을 충분하게 발휘하면서도 이러한 기본기능을 수행하게 되는 링크부재와 승하강푸셔를 포함하는 기술적인 구성을 단순화시키면서 구성부품의 수효도 크게 줄여 장치의 제조가 용이 하고 고장이 발생할 가능성을 줄이면서 유지 보수도 용이하여 경제적으로 크게 유용하게 된다.Therefore, according to the present invention, it is possible to prevent the forced opening phenomenon of the spin chuck unit by the centrifugal force generated during the high speed rotation of the spin chuck unit by the opening and closing operation of the spin chuck unit by the interlocking operation by the link member and the lifting and lowering pusher. It simplifies the technical configuration, including the link members and lifting pushers, which perform these basic functions while fully functioning, and greatly reduces the number of components, making the device easier to manufacture and reducing the possibility of failure. It is also easy and greatly useful economically.

다음은 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 예에 대하여 보다 구체적이고도 상세하게 살펴보기로 한다.Next, with reference to the accompanying drawings will be described in more detail and in detail a preferred example of the present invention.

도시한 바와 같이 본 발명의 바람직한 예에 의하면, 중심축(1)의 상부에 스핀디스크(2)를 위치시키고 상기 스핀디스크(2)엔 각각 스프링(30)에 의하여 탄성적으로 복귀력을 갖는 왕복로드(32)와 직립그리퍼핀(34)을 결합한 스핀척유니트(3)를 방사상으로 복수개 설치하여 왕복로드(32)와 연동되는 직립그리퍼핀(34)의 개폐작동에 따라 웨이퍼(10)를 파지할 수 있게 이루어진다.As shown, according to a preferred embodiment of the present invention, the reciprocating position of the spin disk (2) in the upper portion of the central axis (1) and elastically returning force by the spring 30 to each of the spin disk (2) A plurality of spin chuck units 3, in which the rod 32 and the upright gripper pin 34 are combined, are radially installed to hold the wafer 10 according to the opening and closing operation of the upright gripper pin 34 interlocked with the reciprocating rod 32. It can be done.

이때, 상기 스핀척유니트(3)의 왕복로드(32) 내부 끝엔 상기 왕복로드(32)와 연동되는 링크부재(4)를 중간힌지부(5)를 갖도록 연결 설치하되, 상기 링크부재(4)의 일측은 상기 왕복로드(32)와 상부힌지부(6)로 연결하고 상기 링크부재(4)의 다른 일측엔 공전로울(7)을 각각 설치하여 구성한다.At this time, the link member 4 interlocked with the reciprocating rod 32 at the inner end of the reciprocating rod 32 of the spin chuck unit 3 is installed to have an intermediate hinge portion 5, and the link member 4 is installed. One side of the reciprocating rod 32 and the upper hinge portion 6 is connected to the other side of the link member 4 is configured by installing the idle roll (7), respectively.

또한, 상기 링크부재(4)의 공전로울(7)과 접하도록 가압부재(8)를 갖춘 승하강푸셔(9)를 설치하여 상기 승하강푸셔(9)가 승하강함에 따라 링크부재(4)가 중간힌지부(5)를 중심으로 전후진하면서 왕복로드(32)와 결합된 직립그리퍼핀(34)도 전후진하여 스핀척유니트(3)의 개폐작동이 가능하게 이루어진다.In addition, by installing the elevating pusher (9) having a pressing member (8) in contact with the idle roll (7) of the link member (4) as the elevating pusher (9) ascends and lowers the link member (4) The front and rear gripper pins 34 coupled with the reciprocating rod 32 are also moved forward and backward while moving forward and backward with respect to the intermediate hinge portion 5 to enable the opening and closing operation of the spin chuck unit 3.

또한, 상기 링크부재(4)는 왕복로드(32)와 연결되는 상부힌지부(6)의 중심과 중간힌지부(5)의 중심을 통과하는 상부중심선(60)이 중간힌지부(5)의 중심과 공전 로울(7)의 축중심을 통과하는 하부중심선(70)의 내측에 위치하여 상기 공전로울(7)의 축중심이 상기 상부중심선(60)의 외부 위치에 위치하도록 구성하면서 상부힌지부(6)의 중심으로부터 중간힌지부(5)의 중심까지의 길이보다 중간힌지부(5)의 중심으로부터 공전로울(7)의 축중심에 이르기까지의 길이가 더 길게 구성하여 지렛대의 원리에 의하여 승하강부재(9)의 가압부재(8)에 의한 가압작동이 작은 힘에 의하여도 원활하게 작동이 이루어질 수 있게 이루어진다.In addition, the link member 4 has an upper center line 60 passing through the center of the upper hinge portion 6 and the center of the intermediate hinge portion 5 connected to the reciprocating rod 32 of the intermediate hinge portion 5. The upper hinge part is located inside the lower center line 70 passing through the center and the center of the idle roll 7 so that the axis of the idle roll 7 is located at an external position of the upper center line 60. The length from the center of the intermediate hinge portion 5 to the center of the axis of the idle roll 7 is longer than the length from the center of the intermediate portion 6 to the center of the intermediate hinge portion 5, The pressing operation by the pressing member 8 of the elevating member 9 can be made smoothly by a small force.

또한, 상기 승하강푸셔(9)의 가압부재(8)는 전체가 링 형태로서 단면형상이 내향 경사진 테이퍼부(80)를 갖추어 상기 테이퍼부(80)가 공전로울(7)과 접하여 상승하게 되면 링크부재(4)가 중간힌지부(5)를 중심으로 움직이면서 링크부재(4)와 연동되는 스핀척유니트(3)가 외향으로 움직여 다수의 스핀척유니트(3)가 동시에 개방되었다가 반대로 테이퍼부(80)가 공전로울(7)과 접하여 하강하게 되면 스핀척유니트(3)가 다시 내향으로 움직여 닫혀지는 개폐작동이 가능하게 이루어지게 된다.In addition, the pressing member (8) of the elevating pusher (9) has a tapered portion (80) inclined inward in cross-section in the form of a ring so that the tapered portion (80) is in contact with the idle roll (7) When the link member 4 moves about the intermediate hinge portion 5, the spin chuck unit 3 interlocked with the link member 4 moves outward, and the plurality of spin chuck units 3 are simultaneously opened and then tapered. When the unit 80 descends in contact with the idle roll 7, the spin chuck unit 3 is made to enable the opening / closing operation of closing again by moving inward.

이때, 승하강푸셔(9)는 미도시된 공압실린더와 같은 왕복운동기구에 의하여 작동이 이루어지게 된다.At this time, the lifting pusher 9 is made by a reciprocating mechanism such as a pneumatic cylinder not shown.

다음은 전술한 본 발명에 대하여 작동이 이루어지는 과정을 살펴보기로 한다.Next will be described the process in which the operation is performed with respect to the present invention described above.

먼저 웨이퍼(10)를 장착하고자 하는 경우엔 다수의 스핀척유니트(3)에 있어서 직립그리퍼(34)를 동시에 개방시킨 다음 웨이퍼(10)를 올려놓고 다시 직립그리퍼(34)를 내측으로 움직이도록 하게 되면 직립그리퍼(34)가 웨이퍼(10)의 가장자리를 파지하여 웨이퍼(10)의 장착이 가능하게 된다.First, when the wafer 10 is to be mounted, the upright gripper 34 is simultaneously opened in the plurality of spin chuck units 3, and then the wafer 10 is placed and the upright gripper 34 is moved inward. When the upright gripper 34 grips the edge of the wafer 10, the wafer 10 can be mounted.

즉, 승하강푸셔(9)를 상승시키게 되면 가압부재(8)의 테이퍼부(80)가 공전로울(7)과 접한 상태로 상승하게 되고 이에 따라 링크부재(4)가 중간힌지부(5)를 중심으로 내향으로 움직이면서 링크부재(4)의 상부힌지부(6)는 외향으로 움직이게 되고 상부힌지부(6)와 연동되는 왕복로드(32) 역시 외향으로 움직이며 왕복로드(32)의 끝에 세워 설치된 직립그리퍼(34) 역시 외측 방향으로 움직이게 되는데, 가압부재(8)는 링 형태의 일체로 이루어져 도시한 예의 경우엔 6개의 링크부재(4), 왕복로드(32) 및 직립그리퍼(34)를 각각 포함하는 6개의 스핀척유니트(3)가 동시에 개방된 상태에서 웨이퍼(10)를 올려놓고 승하강푸셔(9)를 하강시키게 되면 스프링(30)의 탄성복귀력에 의하여 왕복로드(32)와 함께 직립그리퍼(34)도 내측으로 움직이면서 웨이퍼(10)의 가장자리를 파지하게 되고 결국 웨이퍼(10)의 장착이 이루어지게 된다.That is, when the raising and lowering pusher 9 is raised, the taper portion 80 of the pressing member 8 is raised in contact with the idle roll 7, and thus the link member 4 is the intermediate hinge portion 5. The upper hinge portion 6 of the link member 4 moves outward while moving inward, and the reciprocating rod 32 interlocked with the upper hinge portion 6 also moves outward and stands at the end of the reciprocating rod 32. The installed upright gripper 34 is also moved in the outward direction, the pressing member 8 is made of a ring-shaped unit in the example shown in the six link member 4, the reciprocating rod 32 and the upright gripper 34 When the six spin chuck units 3 each including the wafer 10 are placed at the same time and the lifting pusher 9 is lowered, the reciprocating rod 32 and the elastic return force of the spring 30 are lowered. The upright gripper 34 also moves inward to grip the edge of the wafer 10 together. As a result, the wafer 10 is mounted.

물론, 웨이퍼(10)를 스핀척유니트(3)로부터 분리하고자 하는 경우엔 다시 승하강푸셔(9)를 상승시켜 스핀척유니트(3)를 개방시키고 웨이퍼(10)를 꺼낸 다음 승하강푸셔(9)를 하강시켜 스핀척유니트(3)를 스프링(30)의 탄성복귀력에 의하여 원위치로 복귀시킨다. Of course, when the wafer 10 is to be separated from the spin chuck unit 3, the lift chuck pusher 9 is raised again to open the spin chuck unit 3, the wafer 10 is removed, and then the lift pusher 9 is removed. ), The spin chuck unit 3 is returned to its original position by the elastic return force of the spring 30.

따라서, 승하강푸셔(9)가 가압부재(8)와 함께 승하강이 이루어지면서 링크부재(4)가 중간힌지부(5)를 중심으로 움직이게 되며 링크부재(4)와 연동되는 스핀척유니트(3)에 의하여 개폐작동이 이루어지며 웨이퍼(10)의 장착 또는 분리가 가능하게 된다.Accordingly, the lifting and lowering pusher 9 is moved up and down together with the pressing member 8 so that the link member 4 moves about the intermediate hinge portion 5 and the spin chuck unit is interlocked with the link member 4 ( Opening and closing operation is made by 3) and the mounting or detachment of the wafer 10 is possible.

이때, 스핀디스크(2) 및 스핀척유니트(3)에 웨이퍼(10)가 장착된 상태에서 중심축(1)을 포함한 전체구성이 고속으로 회전하여 스핀척유니트(3)의 왕복로드(32) 및 직립그리퍼(34)가 원심력에 의하여 외측으로 벌어져 개방되려고 하더라도, 승하강푸셔(9)가 제자리에 정지한 상태를 유지하게 되면 가압부재(8)가 링크부재(4)의 공전로울(7)을 그대로 움직이지 않게 잡아주어 링크부재(4)를 제자리에서 움직이지 않게 하므로 결국 링크부재(4)와 연동되는 왕복로드(32) 및 직립그리퍼(34)도 움직이지않게 되어 스핀척유니트(3)가 개방되는 것을 방지하여 안전하게 활용할 수 있게 된다.At this time, in the state where the wafer 10 is mounted on the spin disk 2 and the spin chuck unit 3, the entire configuration including the central axis 1 rotates at a high speed so that the reciprocating rod 32 of the spin chuck unit 3 is rotated. And even if the upright gripper 34 is opened to the outside by the centrifugal force and tries to open, when the lifting and lowering pusher 9 remains in place, the pressing member 8 rotates about the idle roll 7 of the link member 4. Since the link member (4) does not move in place by holding it as it is, the reciprocating rod (32) and the upright gripper (34), which are interlocked with the link member (4), do not move, so that the spin chuck unit (3) Is prevented from opening and can be used safely.

따라서, 본 발명에 의하면, 링크부재(4)와 승하강푸셔(9)에 의한 연동작동에 의하여 스핀척유니트(3)의 개폐작동과 함께 스핀척의 고속회전시 발생하게 되는 원심력에 의한 스핀척유니트(3)의 강제개방현상을 방지할 수 있는 기본적인 기능을 충분하게 발휘하면서도 이러한 기본기능을 수행하게 되는 링크부재(4)와 승하강푸셔(9)를 포함하는 기술적인 구성이 종래에 비하여 크게 구성부품의 수효도 줄고 구조도 단순화되어 장치의 제조가 용이하고 고장이 발생할 가능성을 줄일 수 있으며 유지 보수도 용이하여 경제적으로 크게 유용하다.Therefore, according to the present invention, the spin chuck unit by the centrifugal force generated during the high-speed rotation of the spin chuck with the opening and closing operation of the spin chuck unit 3 by the interlocking operation by the link member 4 and the elevating pusher (9). The technical configuration including the link member 4 and the elevating pusher 9 which performs these basic functions while fully exerting the basic functions capable of preventing the forced opening phenomenon of (3) is larger than in the prior art. The number of parts is reduced and the structure is simplified, making the device easy to manufacture, reducing the possibility of breakdown, and easy to maintain, making it economically useful.

도 1은 본 발명의 바람직한 일례를 보여주는 일부 생략 평면도,1 is a partially omitted plan view showing a preferred example of the present invention,

도 2는 도 1의 일부 생략 종단면도,2 is a partially omitted longitudinal cross-sectional view of FIG.

도 3은 도 1에 있어서 가압부재를 포함한 승하강푸셔를 제외하고 나타낸 저면도,Figure 3 is a bottom view showing the lifting and lowering pusher including the pressing member in Figure 1,

도 4는 도 2에 있어서 링크부재를 중심으로 확대하여 나타낸 요부 확대도,4 is an enlarged view illustrating main parts enlarged with respect to the link member in FIG. 2;

도 5는 도 2 및 도 3에 예시한 링크부재를 중심으로 나타낸 것으로 다른 방향에서 바라본 확대종단면도,FIG. 5 is an enlarged longitudinal sectional view of the link member illustrated in FIGS. 2 and 3 as viewed from another direction;

도 6은 도 2에 있어서 승하강푸셔의 가압부재만을 분리하여 나타낸 종단면도,Figure 6 is a longitudinal cross-sectional view showing only the pressing member of the elevating pusher in Figure 2,

도 7은 본 발명의 작동 상태도로서 스핀척유니트가 열린 개방상태를 나타내는 종단면도,7 is a longitudinal sectional view showing an open state of the spin chuck unit as an operating state diagram of the present invention;

도 8은 본 발명의 작동 상태도로서 스핀척유니트가 닫힌 상태를 나타내는 종단면도.Fig. 8 is a longitudinal sectional view showing the spin chuck unit in a closed state as an operating state diagram of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

1: 중심축, 2: 스핀디스크,1: central axis, 2: spin disc,

3: 스핀척유니트, 4: 링크부재,3: spin chuck unit, 4: link member,

5: 중간힌지부, 6: 상부힌지부,5: middle hinge part, 6: upper hinge part,

7: 공전로울, 8: 가압부재,7: idler roll, 8: pressure member,

9: 승하강푸셔, 10: 웨이퍼,9: lift pusher, 10: wafer,

30: 스프링, 32: 왕복로드,30: spring, 32: reciprocating rod,

34: 직립그리퍼, 60: 상부중심선,34: upright gripper, 60: upper center line,

70: 하부중심선, 80: 테이퍼부70: lower center line, 80: tapered portion

Claims (2)

중심축(1)의 상부에 스핀디스크(2)를 위치시키고 상기 스핀디스크(2)엔 각각 스프링(30)에 의하여 탄성적으로 복귀력을 갖는 왕복로드(32)와 직립그리퍼핀(34)을 결합한 스핀척유니트(3)를 방사상으로 복수개 설치하여 왕복로드(32)와 연동되는 직립그리퍼핀(34)의 개폐작동에 따라 웨이퍼(10)를 파지할 수 있게 이루어지는 통상의 스핀척 어셈블리에 있어서,Position the spin disk 2 on the top of the central axis (1) and each of the spin disk (2) has a reciprocating rod 32 and an upright gripper pin (34) having elastic return force by the spring (30), respectively. In the conventional spin chuck assembly in which a plurality of combined spin chuck units 3 are radially installed to hold the wafer 10 according to the opening and closing operation of the upright gripper pin 34 interlocked with the reciprocating rod 32. 상기 스핀척유니트(3)의 왕복로드(32) 내부 끝에 상기 왕복로드(32)와 연동되는 링크부재(4)를 중간힌지부(5)를 갖도록 연결 설치하되 상기 링크부재(4)의 일측은 상기 왕복로드(32)와 상부힌지부(6)로 연결하고 상기 링크부재(4)의 다른 일측엔 공전로울(7)을 각각 설치하여 구성하고,The inner side of the reciprocating rod 32 of the spin chuck unit 3 is connected to the link member 4 interlocked with the reciprocating rod 32 to have an intermediate hinge portion 5, but one side of the link member 4 The reciprocating rod 32 and the upper hinge portion 6 are connected to each other and the revolving roll 7 is installed on the other side of the link member 4, 상기 링크부재(4)의 공전로울(7)과 접하도록 가압부재(8)를 갖춘 승하강푸셔(9)를 설치하여 상기 승하강푸셔(9)가 승하강함에 따라 링크부재(4)가 중간힌지부(5)를 중심으로 전후진하면서 왕복로드(32)와 결합된 직립그리퍼핀(34)도 전후진하여 스핀척유니트(3)의 개폐작동이 가능하게 이루어지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 스핀척 어셈블리.As the lifting and lowering pusher 9 is lowered by installing the lifting and lowering pusher 9 equipped with the pressure member 8 to contact the idle roll 7 of the link member 4, the link member 4 is intermediate. Wafer spin chuck assembly, characterized in that the upright gripper pin (34) coupled with the reciprocating rod (32) moves forward and backward with respect to the hinge portion (5) to open and close the spin chuck unit (3). . 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 링크부재(4)는 왕복로드(32)와 연결되는 상부힌지부(6)의 중심과 중간힌지부(5)의 중심을 통과하는 상부중심선(60)이 중간힌지부(5)의 중심과 공전로 울(7)의 축중심을 통과하는 하부중심선(70)의 내측에 위치하여 상기 공전로울(7)의 축중심이 상기 상부중심선(60)의 외부 위치에 위치하도록 구성하면서 상부힌지부(6)의 중심으로부터 중간힌지부(5)의 중심까지의 길이보다 중간힌지부(5)의 중심으로부터 공전로울(7)의 축중심에 이르기까지의 길이가 더 길게 구성하여 지렛대의 원리에 의하여 승하강부재(9)의 가압부재(8)에 의한 가압작동이 작은 힘에 의하여도 원활하게 작동이 이루어질 수 있게 이루어지고,The link member 4 has an upper center line 60 passing through the center of the upper hinge portion 6 and the middle hinge portion 5 connected to the reciprocating rod 32 and the center of the intermediate hinge portion 5. It is located inside the lower center line 70 passing through the shaft center of the idler roll 7 so that the shaft center of the idler roll 7 is located at an external position of the upper center line 60. 6) the length from the center of the intermediate hinge portion 5 to the center of the axis of the idle roll 7 is longer than the length from the center of the intermediate hinge portion 5 to the center of the lever. The pressing operation by the pressing member 8 of the lowering member 9 can be made smoothly even by a small force, 상기 승하강푸셔(9)의 가압부재(8)는 전체가 링 형태로서 단면형상이 내향 경사진 테이퍼부(80)를 갖추어 이루어지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 스핀척 어셈블리.The pressing member (8) of the elevating pusher (9) is a wafer spin chuck assembly, characterized in that the whole is provided with a tapered portion (80) inclined inward cross-sectional shape in the form of a ring.
KR1020090121602A 2009-12-09 2009-12-09 Wafer spin chuck assembly KR101039302B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090121602A KR101039302B1 (en) 2009-12-09 2009-12-09 Wafer spin chuck assembly

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090121602A KR101039302B1 (en) 2009-12-09 2009-12-09 Wafer spin chuck assembly

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101039302B1 true KR101039302B1 (en) 2011-06-08

Family

ID=44405070

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020090121602A KR101039302B1 (en) 2009-12-09 2009-12-09 Wafer spin chuck assembly

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101039302B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210121521A (en) 2020-03-30 2021-10-08 (주)이노맥스 Spin Chuck Device for Wafer Fixation

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19990042574A (en) * 1997-11-27 1999-06-15 윤종용 Wafer Mount of Ion Implanter with Spring Pin Cover on Both Sides of Spring
KR20010077104A (en) * 2000-01-31 2001-08-17 고석태 Chuck for fixing wafer
KR20020022554A (en) * 2001-08-08 2002-03-27 오순봉 A structure of spin chuck for a process of manufacturing semiconductor device
KR20080090115A (en) * 2007-04-04 2008-10-08 (주)이노맥스 Gripper pin support structure for wafer spin chuck

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19990042574A (en) * 1997-11-27 1999-06-15 윤종용 Wafer Mount of Ion Implanter with Spring Pin Cover on Both Sides of Spring
KR20010077104A (en) * 2000-01-31 2001-08-17 고석태 Chuck for fixing wafer
KR20020022554A (en) * 2001-08-08 2002-03-27 오순봉 A structure of spin chuck for a process of manufacturing semiconductor device
KR20080090115A (en) * 2007-04-04 2008-10-08 (주)이노맥스 Gripper pin support structure for wafer spin chuck

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210121521A (en) 2020-03-30 2021-10-08 (주)이노맥스 Spin Chuck Device for Wafer Fixation

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2017076807A (en) Substrate holding device
EP0305402B1 (en) Spin drying apparatus
KR101039302B1 (en) Wafer spin chuck assembly
JP5043475B2 (en) Semiconductor wafer storage container
CN107300469A (en) Taper roll bearing dynamic friction torque feature measurement machine
CN110368672A (en) Shuffler device and its automatic mahjong-playing machine of application
KR101653243B1 (en) Spin chuck
CN202129913U (en) External holding type manipulator for loading and unloading tires
CN214701486U (en) Turnover mechanism and wafer drying machine
CN108499753A (en) The clear cake integrated device of scraper of scraper centrifugal machine
US2615720A (en) Record changer spindle
CN111232875A (en) Ship axle lifting device
CN214152859U (en) Wafer boat box turnover mechanism and horizontal spin dryer
KR100876100B1 (en) Wafer Spin Chuck Assembly
CN207158482U (en) A kind of coil winding machine mainshaft mechanism
WO2019071851A1 (en) Bottle protection centering mechanism and filling device
CN111361979B (en) Thumb wheel dish conveying mechanism
KR102364985B1 (en) Spin Chuck Device for Wafer Fixation
CN215479597U (en) Capping machine
KR101935551B1 (en) Carrier for semiconductor test handler
CN105775686A (en) Battery steel shell turn-around device
KR102463097B1 (en) Can sealing method
CN214152858U (en) Wafer boat box overturning driving mechanism and horizontal spin dryer
JP2002308385A (en) Cleaning apparatus for filling machine
CN108996316A (en) A kind of medical catheter wind

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140523

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160407

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180621

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190610

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20200304

Year of fee payment: 10