KR101036186B1 - apparatus for processing substrate - Google Patents

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Abstract

본 발명에 의하면, 기판처리장치는 하부챔버; 공정시 상기 하부챔버의 상부에 배치되며, 외부로부터 밀폐된 공정공간을 상기 하부챔버와 함께 내부에 형성하는 상부챔버; 상기 하부챔버의 일측에 배치되는 지지레일; 그리고 상기 지지레일에 각각 설치되어 상기 상부챔버에 연결되며, 상기 상부챔버를 개폐하는 개폐장치를 포함하되, 상기 개폐장치는 일단이 상기 지지레일에 연결되고 타단이 상기 상부챔버에 연결되어 상기 상부챔버를 승강하는 승강축을 구비하며, 상기 승강축은 상기 지지레일에 일단이 연결되는 중공형의 제1 승강축; 그리고 상기 상부챔버에 일단이 연결되며, 상기 제1 승강축의 내부에 삽입설치되어 상기 제1 승강축을 따라 승강하여 상기 상부챔버를 승강하는 제2 승강축을 구비한다.According to the present invention, the substrate processing apparatus includes a lower chamber; An upper chamber disposed at an upper portion of the lower chamber during the process and forming a process space enclosed from the outside together with the lower chamber; A support rail disposed on one side of the lower chamber; And an opening and closing device respectively installed on the support rail and connected to the upper chamber, wherein the opening and closing device includes an opening and closing device for opening and closing the upper chamber, one end being connected to the support rail and the other end being connected to the upper chamber. It is provided with a lifting shaft for lifting, the lifting shaft is a hollow lifting shaft one end is connected to the support rail; One end is connected to the upper chamber, and is inserted into the first elevating shaft and provided with a second elevating shaft for elevating the upper chamber by elevating along the first elevating shaft.

승강축, 구동체, 지지체 Lifting shaft, driving body, support

Description

기판처리장치{apparatus for processing substrate}Apparatus for processing substrate

본 발명은 기판처리장치 및 기판처리장치 내부의 공정공간을 개폐하는 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate processing apparatus and a method of opening and closing a process space inside the substrate processing apparatus.

평판표시패널(flat panel display) 및 반도체 장치(semiconductor device)는 복수의 제조공정을 통해 제조되며, 양자 간의 제조공정은 매우 흡사하게 적용된다. 이와 같은 제조공정은 공정챔버 내에서 이루어지며, 공정에 따라 공정챔버의 내부는 진공 상태 또는 대기압 상태를 유지한 상태에서 공정이 이루어진다.A flat panel display and a semiconductor device are manufactured through a plurality of manufacturing processes, and the manufacturing process between them is applied very similarly. Such a manufacturing process is performed in the process chamber, and the process is performed in a state in which the inside of the process chamber is maintained in a vacuum state or an atmospheric pressure state.

공정챔버는 상부챔버와 하부챔버로 이루어지며, 공정시 상부챔버는 하부챔버의 상부에 위치한다. 공정챔버의 내부에는 공정시 외부로부터 밀폐되는 공정공간이 제공되며, 공정공간 내에는 기판이 놓여지는 지지부재 및 지지부재 상부에 공정가스를 공급하는 샤워헤드 등이 제공된다. 공정진행시 기판은 지지부재 상에 놓여지며, 샤워헤드를 통해 기판 상에 공정가스를 공급하여 공정을 진행한다. 플라스마를 이용하는 공정의 경우, 별도의 플라스마 생성부재를 통해 공정가스로부터 플라스마 를 생성한다.The process chamber is composed of an upper chamber and a lower chamber. In the process, the upper chamber is positioned above the lower chamber. The process chamber is provided with a process space that is sealed from the outside during the process, and a support member on which the substrate is placed and a shower head for supplying process gas to the support member are provided in the process space. During the process, the substrate is placed on the support member, and the process is performed by supplying process gas onto the substrate through the shower head. In the case of using a plasma, plasma is generated from the process gas through a separate plasma generating member.

한편, 공정챔버 내에서 수회 이상의 공정이 이루어지면, 공정챔버 내부를 유지보수 또는 점검할 필요가 있다. 이때, 상부챔버를 하부챔버의 상부로부터 이탈시켜 공정공간을 개방시킨 상태에서 내부를 유지하여야 하므로, 상부챔버를 개폐할 수 있는 장치가 필요하다.On the other hand, if more than one process is performed in the process chamber, it is necessary to maintain or inspect the inside of the process chamber. At this time, since the upper chamber is to be separated from the upper portion of the lower chamber to maintain the interior in a state in which the process space is opened, an apparatus capable of opening and closing the upper chamber is required.

본 발명의 목적은 단순한 개폐방식을 이용하는 기판처리장치를 제공하는 데 있다.An object of the present invention is to provide a substrate processing apparatus using a simple opening and closing method.

본 발명의 또 다른 목적들은 다음의 상세한 설명과 첨부한 도면으로부터 보다 명확해질 것이다.Still other objects of the present invention will become more apparent from the following detailed description and the accompanying drawings.

본 발명에 의하면, 기판처리장치는 하부챔버; 공정시 상기 하부챔버의 상부에 배치되며, 외부로부터 밀폐된 공정공간을 상기 하부챔버와 함께 내부에 형성하는 상부챔버; 상기 하부챔버의 일측에 배치되는 지지레일; 그리고 상기 지지레일에 각각 설치되어 상기 상부챔버에 연결되며, 상기 상부챔버를 개폐하는 개폐장치를 포함하되, 상기 개폐장치는 일단이 상기 지지레일에 연결되고 타단이 상기 상부챔버에 연결되어 상기 상부챔버를 승강하는 승강축을 구비하며, 상기 승강축은 상기 지지레일에 일단이 연결되는 중공형의 제1 승강축; 그리고 상기 상부챔버에 일단이 연결되며, 상기 제1 승강축의 내부에 삽입설치되어 상기 제1 승강축을 따라 승강하여 상기 상부챔버를 승강하는 제2 승강축을 구비한다.According to the present invention, the substrate processing apparatus includes a lower chamber; An upper chamber disposed at an upper portion of the lower chamber during the process and forming a process space enclosed from the outside together with the lower chamber; A support rail disposed on one side of the lower chamber; And an opening and closing device respectively installed on the support rail and connected to the upper chamber, wherein the opening and closing device includes an opening and closing device for opening and closing the upper chamber, one end being connected to the support rail and the other end being connected to the upper chamber. It is provided with a lifting shaft for lifting, the lifting shaft is a hollow lifting shaft one end is connected to the support rail; One end is connected to the upper chamber, and is inserted into the first elevating shaft and provided with a second elevating shaft for elevating the upper chamber by elevating along the first elevating shaft.

상기 승강축은 상기 제1 승강축의 내부에 삽입설치되어 상기 제2 승강축의 외주면을 감싸며, 상기 제1 승강축을 따라 승강하는 제3 승강축을 더 구비할 수 있다.The elevating shaft may further include a third elevating shaft inserted into the first elevating shaft to surround the outer circumferential surface of the second elevating shaft and elevating along the first elevating shaft.

상기 개폐장치는 상기 지지레일에 고정설치된 지지체; 그리고 상기 상부챔버 에 연결된 구동체를 더 구비하며, 상기 승강축의 일단은 상기 지지체에 연결되고, 상기 승강축의 타단은 상기 상부챔버에 연결될 수 있다.The opening and closing device is a support fixed to the support rail; And a driving body connected to the upper chamber, one end of the lifting shaft being connected to the support, and the other end of the lifting shaft being connected to the upper chamber.

상기 개폐장치는 상기 상부챔버에 체결되는 회전축; 그리고 상기 회전축을 회전시켜 상기 상부챔버를 회전시키는 구동모터를 더 구비할 수 있다.The opening and closing device is a rotating shaft fastened to the upper chamber; And a driving motor for rotating the upper chamber by rotating the rotary shaft.

상기 지지레일은 상기 하부챔버의 일측 및 타측에 서로 나란하게 각각 배치되는 가이드레일; 그리고 상기 가이드레일과 각각 결합되며, 상기 가이드레일을 따라 이동하는 이동레일을 포함하며, 상기 개폐장치는 상기 이동레일 상에 설치되어 상기 이동레일의 이동에 의해 상기 상부챔버는 이동하 수 있다.The support rails are guide rails disposed in parallel with each other on one side and the other side of the lower chamber; And a moving rail coupled to the guide rail and moving along the guide rail, wherein the opening and closing device is installed on the moving rail to move the upper chamber by the movement of the moving rail.

본 발명에 의하면, 상부챔버 및 하부챔버를 가지는 기판처리장치 내부의 공정공간을 개폐하는 방법은 상기 하부챔버의 일측에 지지레일을 설치하고 상기 상부챔버를 일단이 상기 지지레일에 연결된 승강축에 연결하여 상기 승강축의 승강에 의해 상기 상부챔버를 승강하되, 상기 승강축은 상기 지지레일에 일단이 연결되는 중공형의 제1 승강축; 상기 상부챔버에 일단이 연결되며, 상기 제1 승강축의 내부에 삽입설치되어 상기 제1 승강축을 따라 승강하여 상기 상부챔버를 승강하는 제2 승강축을 구비할 수 있다.According to the present invention, a method of opening and closing a process space inside a substrate processing apparatus having an upper chamber and a lower chamber includes installing a support rail on one side of the lower chamber and connecting the upper chamber to a lifting shaft connected to one end of the support rail. Ascending and lowering the upper chamber by elevating the elevating shaft, the elevating shaft is a hollow first elevating shaft having one end connected to the support rail; One end is connected to the upper chamber and may be inserted into the first elevating shaft, and may include a second elevating shaft for elevating the upper chamber by elevating along the first elevating shaft.

본 발명에 의하면 단순한 개폐방식을 이용하여 공정공간을 개폐할 수 있다.According to the present invention it is possible to open and close the process space using a simple opening and closing method.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예들을 첨부된 도 1 내지 도 10을 참고하여 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예들은 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 설명하는 실시예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시예들은 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 상세하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에 나타난 각 요소의 형상은 보다 분명한 설명을 강조하기 위하여 과장될 수 있다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to FIGS. 1 to 10. Embodiments of the invention may be modified in various forms, the scope of the invention should not be construed as limited to the embodiments described below. The embodiments are provided to explain the present invention to a person having ordinary skill in the art to which the present invention belongs. Accordingly, the shape of each element shown in the drawings may be exaggerated to emphasize a more clear description.

한편, 이하에서 설명되는 기판은 액정 표시 장치를 포함하는 평판 표시 장치 및 반도체 웨이퍼를 포함하며, 그 외에 발광 다이오드(LED) 디스플레이, 전기 발광 디스플레이(Electro Luminescence:EL), 형광 표시관(Vacuum Fluorescent Display:VFD), 플라즈마 디스플레이(PDP)를 포함한다.Meanwhile, the substrate described below includes a flat panel display including a liquid crystal display and a semiconductor wafer, and in addition, a light emitting diode (LED) display, an electroluminescent display (EL), and a fluorescent display (Vacuum Fluorescent Display) : VFD), and plasma display (PDP).

도 1은 본 발명에 따른 기판처리장치를 개략적으로 나타내는 평면도이다. 기판처리장치는 그 중앙부에 트랜스퍼 모듈(transfer module)인 반송챔버(20)와, 로드락 챔버(30)가 연결 설치되어 있다. 반송챔버(20)의 주위에는, 3개의 공정챔버(10)가 배치되어 있다. 또한, 반송챔버(20)와 로드락 챔버(30) 사이, 반송챔버(20)와 공정챔버(10) 사이, 및 로드락 챔버(30)와 외측의 대기 분위기를 연통하는 개구부에는, 이들 사이를 기밀하게 밀봉하고, 또한 개폐 가능하게 구성된 게이트 밸브(22)가 각각 개재되어 있다.1 is a plan view schematically showing a substrate processing apparatus according to the present invention. In the substrate processing apparatus, a transfer chamber 20 serving as a transfer module and a load lock chamber 30 are connected to a central portion thereof. Three process chambers 10 are arranged around the transfer chamber 20. In addition, between the transfer chamber 20 and the load lock chamber 30, between the transfer chamber 20 and the process chamber 10, and in the opening communicating the atmospheric atmosphere outside the load lock chamber 30, a space between them is provided. Gate valves 22 that are hermetically sealed and that can be opened and closed are interposed therebetween.

또한, 각 공정챔버(10)의 측부에는 서로 평행한 한쌍의 지지레일이 설치되어 있다. 지지레일은 가이드레일(201,202) 및 이동레일(203,204)을 구비하며, 공정챔버(10)의 상부챔버(62)를 이동하는 방향을 따라 설치되어 있다. 본 실시예에 있어 서, 상부챔버(62)의 이동방향은 반송챔버(20)와 공정챔버(10) 사이의 기판의 반입출 방향에 대하여 대체로 수직한 방향으로 되어 있다. 지지레일에는 상부챔버(62)의 개폐를 실행하는 개폐장치(63,64)가 설치된다.In addition, a pair of support rails parallel to each other is provided on the side of each process chamber 10. The support rail includes guide rails 201 and 202 and moving rails 203 and 204 and is provided along a direction in which the upper chamber 62 of the process chamber 10 moves. In this embodiment, the moving direction of the upper chamber 62 is a direction substantially perpendicular to the direction of carrying in and out of the substrate between the transfer chamber 20 and the process chamber 10. The support rails are provided with opening and closing devices 63 and 64 for opening and closing the upper chamber 62.

로드락 챔버(30)의 외측에는, 2개의 카세트 인덱서(cassette indexer)(41)가 설치되며, 그 위에 각각 기판이 수납되는 카세트(40)가 위치한다. 카세트(40)의 한쪽에는 미처리된 기판이 수용되며, 다른 한쪽에는 처리가 완료된 기판이 수용된다. 카세트(40)는 승강 기구(42)에 의해 승강된다.On the outside of the load lock chamber 30, two cassette indexers 41 are provided, on which cassettes 40 are stored. One side of the cassette 40 houses an untreated substrate, and the other side houses a substrate that has been processed. The cassette 40 is lifted by the lift mechanism 42.

기판 반송 수단(43)은 카세트들(40) 사이에 설치되며, 반송 수단(43)은 아암(45)과, 이들을 일체적으로 진출 퇴피 및 회전 가능하게 지지하는 베이스(47)를 구비한다.The substrate conveying means 43 is provided between the cassettes 40, and the conveying means 43 has an arm 45 and a base 47 that supports them to retract and rotatably integrally.

아암(45) 상에는 기판을 지지하는 4개의 돌기(48)가 제공되며, 돌기(48)는 마찰계수가 높은 합성 고무제의 탄성체로 이루어져, 기판 지지 중에 기판이 위치이탈하거나, 낙하하는 것을 방지한다. 또한, 카세트(40)는 1개만 설치할 수도 있다. 이 경우에는, 동일한 카세트 내의 빈 공간에 처리가 완료된 기판을 수납한다.Four projections 48 supporting the substrate are provided on the arm 45, and the projections 48 are made of an elastic body made of synthetic rubber having a high coefficient of friction, thereby preventing the substrate from being displaced or falling while supporting the substrate. . In addition, only one cassette 40 may be provided. In this case, the processed substrate is stored in an empty space in the same cassette.

공정챔버(10)는 그 내부 공간이 기설정된 감압 분위기로 유지되는 것이 가능하며, 공정챔버(10) 내에서 공정이 이루어진다. 공정챔버(10)의 내부구조는 통상의 기술자에게 자명한 사항이므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.The process chamber 10 may maintain its internal space in a predetermined pressure-reduced atmosphere, and the process is performed in the process chamber 10. Since the internal structure of the process chamber 10 is obvious to those skilled in the art, a detailed description thereof will be omitted.

반송챔버(20)는 공정챔버(10)와 마찬가지로, 기설정된 감압 분위기로 유지되는 것이 가능하며, 내부에는 반송로봇(50)이 설치된다. 반송로봇(50)은 로드락 챔버(30) 및 공정챔버(10) 사이에서 기판을 반송한다.Like the process chamber 10, the conveyance chamber 20 can be maintained in a predetermined pressure-reduced atmosphere, and the conveyance robot 50 is installed inside. The transfer robot 50 transfers the substrate between the load lock chamber 30 and the process chamber 10.

반송로봇(50)은 베이스(51)의 일단부에 베이스(51)에 대하여 회전가능하도록 설치된 제1 아암(52)과, 제1 아암(52)의 선단부에 회전가능하게 설치된 제2 아암(53)과, 제2 아암(53)에 회전가능하게 설치되어 기판을 지지하는 포크 형상의 기판 지지 플레이트(54)를 구동시킴으로써 기판을 반송한다. 베이스(51)는 상하 운동이 가능한 동시에 회전가능하다.The transport robot 50 has a first arm 52 rotatably installed at one end of the base 51 with respect to the base 51, and a second arm 53 rotatably installed at the distal end of the first arm 52. ) And a fork-shaped substrate support plate 54 rotatably provided on the second arm 53 to support the substrate, thereby transferring the substrate. The base 51 is rotatable at the same time capable of vertical movement.

로드락 챔버(30)도 공정챔버(10) 및 반송챔버(20)와 마찬가지로, 기설정된 감압 분위기로 유지되는 것이 가능하며, 내부에는 기판의 위치를 결정하기 위한 한 쌍의 위치설정기(positioner)(32)를 구비하는 버퍼 래크(31)가 설치된다.Like the process chamber 10 and the transfer chamber 20, the load lock chamber 30 can be maintained in a predetermined pressure-reduced atmosphere, and a pair of positioners for determining the position of the substrate therein. A buffer rack 31 having 32 is provided.

도 2 및 도 3은 도 1의 지지레일 및 개폐장치를 나타내는 도면이다. 기판처리장치는 기판에 대한 공정을 수행하기 위한 공정챔버(10)를 구비한다. 공정챔버(10)는 하부챔버(61)와 하부챔버(61) 상에 착탈 가능하게 설치된 상부챔버(62)를 구비한다. 하부챔버(61)는 지지대(61a) 상에 놓여진다.2 and 3 are views showing the support rail and the opening and closing device of FIG. The substrate processing apparatus includes a process chamber 10 for performing a process on a substrate. The process chamber 10 includes a lower chamber 61 and an upper chamber 62 detachably installed on the lower chamber 61. The lower chamber 61 is placed on the support 61a.

도 2에 도시한 바와 같이, 하부챔버(61)의 양측에는 하부챔버(61)의 일변과 대체로 나란하게 배치된 지지레일이 설치된다. 지지레일은 가이드레일(201,202)과 이동레일(203,204)을 포함하며, 가이드레일(201,202)은 지지축(201a,202a)에 의해 지지된다. 가이드레일(201,202)은 사각 단면을 가지며, 내부가 비어있는 중공형이다. 이동레일(203,204)은 가이드레일(201,202)의 내부에 각각 삽입되며, 가이드레일(201,202)을 따라 미끄럼이동(sliding contact)한다. 한편, 본 실시예에서는 사각 형상의 공정챔버(10)를 설명하고 있으나, 본 발명은 원형의 공정챔버(10)에도 동일하게 적용될 수 있다.As shown in FIG. 2, support rails disposed on both sides of the lower chamber 61 are generally arranged in parallel with one side of the lower chamber 61. The support rail includes guide rails 201 and 202 and movable rails 203 and 204, and the guide rails 201 and 202 are supported by the support shafts 201a and 202a. The guide rails 201 and 202 have a rectangular cross section and have a hollow inside. The moving rails 203 and 204 are inserted into the guide rails 201 and 202, respectively, and slide the sliding rails along the guide rails 201 and 202, respectively. Meanwhile, in the present embodiment, the process chamber 10 having a rectangular shape is described, but the present invention can be equally applied to the process chamber 10 having a circular shape.

도 4 및 도 5는 도 1의 지지레일을 나타내는 단면도이다. 도 4에 도시한 바와 같이, 가이드레일(201)은 중공형이며, 가이드레일(201)의 하부면에는 개구(201b)가 형성된다. 이동레일(203)은 가이드레일(201)의 내부에 삽입되며, 이동레일(203)의 하부면에는 후술하는 지지체(103)가 연결되며, 지지체(103)는 개구(201b)를 통해 외부로 돌출된다. 가이드레일(201) 및 이동레일(203)에 대한 설명은 가이드레일(202) 및 이동레일(204)에 동일하게 적용될 수 있으며, 이에 대한 설명은 생략하기로 한다. 한편, 도 5는 원형 지지레일을 나타내며, 지지레일의 형상은 다양하게 변형될 수 있다.4 and 5 are cross-sectional views showing the support rail of FIG. As shown in FIG. 4, the guide rail 201 is hollow, and an opening 201b is formed in the lower surface of the guide rail 201. The moving rail 203 is inserted into the guide rail 201, and the support 103, which will be described later, is connected to the lower surface of the moving rail 203, and the support 103 protrudes to the outside through the opening 201b. do. The description of the guide rail 201 and the moving rail 203 may be equally applied to the guide rail 202 and the moving rail 204, and a description thereof will be omitted. On the other hand, Figure 5 shows a circular support rail, the shape of the support rail can be variously modified.

기판처리장치는 상부챔버(10)를 하부챔버(20)에 대하여 착탈하는 개폐장치(63,64)를 더 구비한다. 개폐장치(63,64)는 이동레일(203,204)의 하단에 설치되며, 이동레일(203,204)과 함께 미끄럼이동한다. 개폐장치(63)는 지지체(103), 구동체(104), 승강축(105), 구동모터(106)를 포함한다. 지지체(103)는 이동레일(203)의 하단에 고정설치되며, 이동레일(203)과 함께 가이드레일(201)을 따라 이동한다. 구동체(104)는 상부챔버(62)에 고정설치되며, 승강축(105)에 의해 상부챔버(62)와 함께 승강한다. 승강축(105)은 지지체(103)와 구동체(104)를 연결하며, 신축에 의해 구동체(104) 및 상부챔버(62)를 승강한다. 구동모터(106)는 구동체(104)에 연결되며, 회전축(도시안됨)에 의하여 상부챔버(62)에 축결합되어 상부챔버(62)를 회전한다.The substrate processing apparatus further includes opening and closing devices 63 and 64 that attach and detach the upper chamber 10 to the lower chamber 20. The opening and closing devices 63 and 64 are installed at the lower ends of the moving rails 203 and 204 and slide together with the moving rails 203 and 204. The opening and closing device 63 includes a support 103, a driving body 104, a lifting shaft 105, and a driving motor 106. The support 103 is fixedly installed at the lower end of the moving rail 203 and moves along the guide rail 201 together with the moving rail 203. The driving body 104 is fixedly installed in the upper chamber 62, and is moved up and down together with the upper chamber 62 by the lifting shaft 105. The lifting shaft 105 connects the support body 103 and the driving body 104, and moves up and down the driving body 104 and the upper chamber 62 by expansion and contraction. The drive motor 106 is connected to the drive body 104 and is axially coupled to the upper chamber 62 by a rotating shaft (not shown) to rotate the upper chamber 62.

도 6은 도 1의 승강축(105)을 나타내는 단면도이다. 승강축(105)은 제1 승강축(105a), 제2 승강축(105b), 제3 승강축(105c)을 포함한다. 본 실시예에서는 3 부분으로 구분되는 승강축(105)을 설명하고 있으나, 승강축(105)은 4 부분 이상으로 구분될 수 있다.FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating the lifting shaft 105 of FIG. 1. The lifting shaft 105 includes a first lifting shaft 105a, a second lifting shaft 105b, and a third lifting shaft 105c. In the present embodiment, the lifting shaft 105 is divided into three parts, but the lifting shaft 105 may be divided into four or more parts.

도 6에 도시한 바와 같이, 제1 승강축(105a)은 중공형이며, 지지체(103)에 상단이 연결된다. 제2 승강축(105b)은 중공형이며, 제1 승강축(105a)의 내경보다 대체로 같거나 작은 외경을 가져 제1 승강축(105a)의 내부에 삽입설치된다. 제2 승강축(105b)의 상단은 제1 승강축(105a)에 구속되며, 제2 승강축(105b)은 제1 승강축(105a)을 따라 승강한다. 제3 승강축(105c)은 중공형이며, 제2 승강축(105b)의 내경보다 대체로 같거나 작은 외경을 가져 제2 승강축(105b)의 내부에 삽입설치된다. 제3 승강축(105c)의 상단은 제2 승강축(105b)에 구속되며, 제3 승강축(105c)의 하단은 구동체(104)에 연결된다. 제3 승강축(105c)은 제2 승강축(105b)을 따라 구동체(104)와 함께 승강한다.As shown in FIG. 6, the first lifting shaft 105a is hollow and has an upper end connected to the support 103. The second lifting shaft 105b is hollow and has an outer diameter that is substantially the same as or smaller than the inner diameter of the first lifting shaft 105a and is inserted into the first lifting shaft 105a. An upper end of the second lifting shaft 105b is restrained by the first lifting shaft 105a, and the second lifting shaft 105b is lifted along the first lifting shaft 105a. The third lifting shaft 105c is hollow and has an outer diameter that is substantially the same as or smaller than the inner diameter of the second lifting shaft 105b and is inserted into the second lifting shaft 105b. An upper end of the third lifting shaft 105c is restrained by the second lifting shaft 105b, and a lower end of the third lifting shaft 105c is connected to the driving body 104. The third lifting shaft 105c moves up and down along the driving body 104 along the second lifting shaft 105b.

도 6에 도시한 바와 같이, 승강축(105)이 단축된 상태일 때, 제3 승강축(105c)은 제2 승강축(105b) 내에 위치하며, 제2 승강축(105b)은 제1 승강축(105a) 내에 위치한다. 승강축(105)이 연장된 상태일 때, 제3 승강축(105c)은 제2 승강축(105b)의 하단에 연결되며, 제2 승강축(105b)은 제1 승강축(105a)의 하단에 연결된다. 이와 같이, 승강축(105)의 단축 또는 연장에 의해 구동체(104)은 승강되며, 이와 함께 상부챔버(62)도 승강한다.As shown in FIG. 6, when the lifting shaft 105 is shortened, the third lifting shaft 105c is located in the second lifting shaft 105b, and the second lifting shaft 105b is lifting the first lifting shaft 105b. It is located within the axis 105a. When the lifting shaft 105 is in the extended state, the third lifting shaft 105c is connected to the lower end of the second lifting shaft 105b, and the second lifting shaft 105b is the lower end of the first lifting shaft 105a. Is connected to. In this way, the driving body 104 is raised and lowered by the shortening or extension of the lifting shaft 105, and the upper chamber 62 is also raised and lowered.

도 7 내지 도 10은 도 1의 지지레일 및 개폐장치의 작동을 나타내는 도면이다. 이하, 도 7 내지 도 10을 참고하여 상부챔버(62)의 개폐동작을 설명한다. 한편, 이하에서는 개폐장치(63)를 기준으로 설명하며, 개폐장치(63)에 대한 설명은 개폐장치(64)에 동일하게 적용할 수 있다.7 to 10 are views showing the operation of the support rail and the opening and closing device of FIG. Hereinafter, the opening and closing operation of the upper chamber 62 will be described with reference to FIGS. 7 to 10. Meanwhile, hereinafter, the opening and closing device 63 will be described as a reference, and the description of the opening and closing device 63 can be equally applied to the opening and closing device 64.

앞서 설명한 바와 같이, 구동체(104) 및 상부챔버(62)는 승강축(105)의 신장에 따라 승강한다. 도 7에 도시한 바와 같이, 승강축(105)이 단축되면, 구동체(104) 및 상부챔버(62)는 상승하며, 상부챔버(62)는 하부챔버(61)로부터 이격된다.As described above, the driving body 104 and the upper chamber 62 are raised and lowered according to the extension of the lifting shaft 105. As shown in FIG. 7, when the lifting shaft 105 is shortened, the driving body 104 and the upper chamber 62 are raised, and the upper chamber 62 is spaced apart from the lower chamber 61.

이후, 이동레일(202)이 가이드레일(201)의 내부에 삽입된 상태에서, 이동레일(202)은 가이드레일(201)을 따라 미끄럼이동하며, 지지체(103)는 이동레일(202)과 함께 이동한다. 따라서, 승강축(105)에 의해 상승한 상부챔버(62)는 지지체(103)와 함께 이동하며, 도 7에 도시한 바와 같이(점선으로 도시함), 하부챔버(61)의 상부로부터 이탈한다.Thereafter, in a state in which the moving rail 202 is inserted into the guide rail 201, the moving rail 202 slides along the guide rail 201, and the support 103 is together with the moving rail 202. Move. Therefore, the upper chamber 62 raised by the lifting shaft 105 moves together with the support 103, and moves away from the upper portion of the lower chamber 61 as shown in FIG.

이후, 승강축(105)이 연장됨에 따라, 상부챔버(62)는 구동체(104)와 함께 하강하며(도 8에 점선으로 도시함), 도 9 및 도 10에 도시한 바와 같이, 구동모터(106)의 작동에 의해 상부챔버(62)는 180° 회전하여 반전된다.Then, as the lifting shaft 105 extends, the upper chamber 62 descends together with the driving body 104 (shown in dashed lines in FIG. 8), and as shown in FIGS. 9 and 10, the driving motor. By operation of the 106, the upper chamber 62 is rotated 180 degrees and reversed.

본 발명을 바람직한 실시예들을 통하여 상세하게 설명하였으나, 이와 다른 형태의 실시예들도 가능하다. 그러므로, 이하에 기재된 청구항들의 기술적 사상과 범위는 바람직한 실시예들에 한정되지 않는다.Although the present invention has been described in detail by way of preferred embodiments thereof, other forms of embodiment are possible. Therefore, the technical idea and scope of the claims set forth below are not limited to the preferred embodiments.

도 1은 본 발명에 따른 기판처리장치를 개략적으로 나타내는 평면도이다.1 is a plan view schematically showing a substrate processing apparatus according to the present invention.

도 2 및 도 3은 도 1의 지지레일 및 개폐장치를 나타내는 도면이다.2 and 3 are views showing the support rail and the opening and closing device of FIG.

도 4 및 도 5는 도 1의 지지레일을 나타내는 단면도이다.4 and 5 are cross-sectional views showing the support rail of FIG.

도 6은 도 1의 승강축을 나타내는 단면도이다.6 is a cross-sectional view illustrating the lift shaft of FIG. 1.

도 7 내지 도 10은 도 1의 지지레일 및 개폐장치의 작동을 나타내는 도면이다.7 to 10 are views showing the operation of the support rail and the opening and closing device of FIG.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

10 : 공정챔버 20 : 반송챔버10: process chamber 20: conveyance chamber

22 : 게이트 밸브 30 : 로드락 챔버22: gate valve 30: load lock chamber

40 : 카세트 50 : 반송로봇40: cassette 50: carrier robot

61 : 하부챔버 62 : 상부챔버61: lower chamber 62: upper chamber

63,64 : 개폐장치 103 : 지지체63,64: switchgear 103: support

104 : 구동체 105 : 승강축104: driving body 105: lifting shaft

106 : 구동모터 201,202 : 가이드레일106: drive motor 201,202: guide rail

203,204 : 이동레일203,204: Moving rail

Claims (6)

하부챔버;Lower chamber; 공정시 상기 하부챔버의 상부에 배치되며, 외부로부터 밀폐된 공정공간을 상기 하부챔버와 함께 내부에 형성하는 상부챔버;An upper chamber disposed at an upper portion of the lower chamber during the process and forming a process space enclosed from the outside together with the lower chamber; 상기 상,하부챔버의 일측에 나란하게 배치되는 지지레일; 및A support rail disposed side by side on one side of the upper and lower chambers; And 상기 지지레일과 상기 상부챔버의 대향되는 양쪽 외측면에 연결,설치되어, 상기 상부챔버를 개폐하는 개폐장치를 포함하되,It is connected to and installed on both outer surfaces of the support rail and the upper chamber opposite, including an opening and closing device for opening and closing the upper chamber, 상기 개폐장치는 일단이 상기 지지레일에 연결되고, 타단이 상기 상부챔버의 양쪽 외측면에 연결되어 상기 상부챔버를 승강시키는 승강축을 구비하며,The opening and closing device is provided with a lifting shaft one end is connected to the support rail, the other end is connected to both outer surfaces of the upper chamber to raise and lower the upper chamber, 상기 승강축은,The lifting shaft, 상기 지지레일에 일단이 연결되는 중공형의 제1 승강축과;A hollow first lifting shaft having one end connected to the support rail; 상기 제1 승강축의 내부에 삽입설치되어 상기 제1 승강축을 따라 승강하여 상부챔버를 승강시키는 제2 승강축과;A second lifting shaft inserted into the first lifting shaft to move up and down along the first lifting shaft to lift the upper chamber; 상기 제2 승강축의 내부에 삽입설치되어 상기 제1승강축 및 제2승강축을 따라 승강하여 상부챔버를 승강시키도록 상기 상부챔버의 외측면에 그 일단이 연결되는 제3 승강축을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.And a third elevating shaft inserted into the second elevating shaft and having one end connected to an outer surface of the upper chamber to elevate the upper chamber by elevating along the first elevating shaft and the second elevating shaft. Substrate processing apparatus. 삭제delete 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 개폐장치는,The opening and closing device, 상기 지지레일에 고정설치된 지지체; 및A support fixed to the support rail; And 상기 상부챔버에 연결된 구동체를 더 구비하며,Further comprising a drive body connected to the upper chamber, 상기 승강축의 일단은 상기 지지체에 연결되고, 상기 승강축의 타단은 상기 상부챔버에 연결되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.One end of the lifting shaft is connected to the support, and the other end of the lifting shaft is connected to the upper chamber. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 개폐장치는,The opening and closing device, 상기 상부챔버에 체결되는 회전축; 및A rotating shaft coupled to the upper chamber; And 상기 회전축을 회전시켜 상기 상부챔버를 회전시키는 구동모터를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.And a drive motor for rotating the upper chamber by rotating the rotary shaft. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 지지레일은,The support rail, 상기 하부챔버의 일측 및 타측에 서로 나란하게 각각 배치되는 가이드레일; 및Guide rails disposed in parallel with each other on one side and the other side of the lower chamber; And 상기 가이드레일과 각각 결합되며, 상기 가이드레일을 따라 이동하는 이동레일을 포함하며,It is coupled to each of the guide rail, and includes a moving rail moving along the guide rail, 상기 개폐장치는 상기 이동레일 상에 설치되어 상기 이동레일의 이동에 의해 상기 상부챔버는 이동하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.The opening and closing device is installed on the moving rail substrate processing apparatus, characterized in that for moving the upper chamber by the movement of the moving rail. 삭제delete
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