KR100996999B1 - 웨이퍼 에지 노광 공정 장비, 웨이퍼 에지 노광 공정 장비의 조도 감시 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼 에지 노광 공정(Wafer Edge Exposure) 수행 중 실시간으로 웨이퍼 에지에 조사되는 빛의 조도를 모니터링하여 비정상적인 WEE공정을 사전에 방지할 수 있는 웨이퍼 에지 노광 공정 장비에 관한 것으로, 램프(미도시)에서 발생한 빛을 광케이블(20)을 통하여 웨이퍼 에지에 조사함으로서 웨이퍼의 에지를 노광하는 웨이퍼 에지 노광 장비에 있어서, 상기 광케이블(20)의 일측에 구비되어 상기 광케이블(20)을 통과하는 빛이 감지되는 조도센서(100); 상기 조도센서(100)의 출력단과 연결되어 상기 조도센서(100)의 출력단에서 출력되는 아날로그 신호가 디지털 신호로 변환되는 A/D 컨버터(200); 상기 A/D 컨버터(200)의 출력단과 연결되어 광케이블을 통과하는 빛의 조도에 대응하는 소정의 수치가 출력되는 마이컴(300); 상기 마이컴의 출력단과 연결되어 상기 수치가 디스플레이되는 모니터부(400);를 포함하는 것을 특징으로 한다.

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Description

웨이퍼 에지 노광 공정 장비, 웨이퍼 에지 노광 공정 장비의 조도 감시 방법{wafer edge exposure unit, the method for monitoring intensity of illumination of wafer edge exposure unit}

본 발명은 웨이퍼 에지 노광 공정 장비에 관한 것으로 보다 상세하게는, 웨이퍼 에지 노광 공정(Wafer Edge Exposure, 이하 "WEE공정") 수행 중 실시간으로 웨이퍼 에지에 조사되는 빛의 조도를 모니터링하여 비정상적인 WEE공정을 사전에 방지할 수 있는 웨이퍼 에지 노광 공정 장비에 관한 것이다.

또한, 본 발명은 웨이퍼 에지 노광 공정 장비의 조도 감시 방법에 관한 것으로 보다 상세하게는, WEE공정 수행 중 웨이퍼 에지에 조사되는 빛을 조도감지센서로 검출하고 이를 모니터링하여 웨이퍼 에지에 조사되는 빛의 조도를 실시간으로 모니터링 할 수 있는 웨이퍼 에지 노광 공정 장비의 조도 감시 방법에 관한 것이다.

반도체 제조 공정 중 '포토리소그라피공정' 에 있어서, 감광제가 도포된 상태로 빛에 노출되는 단계를 마친 웨이퍼는 WEE공정을 거친다.

WEE공정을 수행하는 것은 웨이퍼의 가장자리에 잔류하는 포토레지스트막이 후속공정에서 공정에 불필요한 이물질의 소스가 되는 것을 방지하기 위함이다.

즉, 후속공정에서 웨이퍼가 다른 물체와 접촉하게 되면, 웨이퍼의 가장자리에 잔류하는 포토레지스트가 공간으로 퍼지게 되고, 이는 고도의 정밀도를 요하는 반도체 제조 공정에 악영향을 미치는 불필요한 이물질로 작용하게 되므로, 사전에 '웨이퍼 에지 노광공정'에서 웨이퍼의 가장자리에 존재하는 포토레지스트막을 제거하는 것이다.

WEE공정은 램프하우스에서 발생한 빛을 웨이퍼의 에지에 조사하는 방식으로 수행된다.

다만, 웨이퍼의 에지에 조사되는 빛의 조도를 항상 모니터링할 수 있는 장치가 없어 설정된 조도와 오차가 발생하여 비정상적인 WEE공정이 수행되는 경우 적절한 시기에 조도를 교정(calibration)할 수 없는 문제점이 있었다.

따라서 본 발명은 상술한 제반 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, WEE공정 수행 중 실시간으로 웨이퍼 에지에 조사되는 빛의 조도를 모니터링하여 비정상적인 WEE공정을 사전에 방지할 수 있는 전압 감시 장치가 구비된 웨이퍼 에지 노광 공정 장비 및 웨이퍼 에지 노광 공정 장비의 전압 감시 방법을 제공함에 그 목적이 있다.

상술한 바와 같은 목적을 구현하기 위한 본 발명의 웨이퍼 에지 노광 공정 장비는 램프에서 발생한 빛을 광케이블을 통하여 웨이퍼 에지에 조사함으로서 웨이퍼의 에지를 노광하는 웨이퍼 에지 노광 장비에 있어서, 상기 광케이블의 일측에 구비되어 상기 광케이블을 통과하는 빛이 감지되는 조도센서; 상기 조도센서의 출력단과 연결되어 상기 조도센서의 출력단에서 출력되는 아날로그 신호가 디지털 신호로 변환되는 A/D 컨버터; 상기 A/D 컨버터의 출력단과 연결되어 광케이블을 통과하는 빛의 조도에 대응하는 소정의 수치가 출력되는 마이컴; 상기 마이컴의 출력단과 연결되어 상기 수치가 디스플레이되는 모니터부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 마이컴의 내부에는 비교기가 구비되고 상기 비교기의 출력단에는 경보부가 연결되어 상기 광케이블을 통과하는 빛의 조도가 설정된 값과 오차가 있는 경우에는 경보부를 통하여 경보음을 발생시키는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 또 다른 일 측면으로서, 본 발명의 웨이퍼 에지 노광 공정 장비의 조도 감시 방법은, 웨이퍼 에지 노광 공정이 수행되는 단계; 상기 노광 공정에서 웨이퍼의 에지에 조사되는 빛의 조도가 검출되는 단계; 및 상기 조도가 디스플레이 되는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 조도가 디스플레이 하는 단계 이후에 웨이퍼의 에지에 조사되는 빛의 조도가 설정된 값과 오차가 있는 경우에는 경보음을 발생시키는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 웨이퍼 에지 노광 공정 장비에 의하면, WEE 공정 수행 중 실시간으로 웨이퍼 에지에 조사되는 빛의 조도를 모니터링함으로써 비정상적인 WEE공정을 사전에 방지할 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 웨이퍼 에지 노광 공정 장비의 조도 감시 방법에 의하면 WEE 공정 진행 중 비정상적인 웨이퍼 에지 노광 공정의 진행을 바로 인식하고 웨이퍼의 에지에 조사되는 빛의 조도를 교정할 수 있어 안정적인 WEE 공정 수행이 가능하다.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대한 구성 및 작용을 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본 발명의 에지 노공 공정 장비를 설명하기 위한 개략도이다.

도 1에 도시된 바와 같이, 웨이퍼 에지 노광 장비는 램프하우스(10), 광케이블(20), 렌즈부(30), 회전척(60)으로 이루어진다.

상기 램프하우스(10)에는 램프(미도시)가 구비되고, 상기 램프에서 발생된 빛은 광케이블(20)을 통해서 상기 렌즈부(30)로 전해진다.

상기 렌즈부(30)는 상기 광케이블(20)이 상단에 연결되는 하우징(40)과 상기 광케이블(20)에서 전달된 빛을 웨이퍼(50)에 포커싱하기 위한 렌즈군(70)으로 이루어져, 상기 렌즈군(70)을 거친 빛은 웨이퍼(50)의 가장자리에 전달된다.

한편 공정이 진행되는 동안 회전척(60)은 회전하게 되고, 그에 따라 웨이퍼(50)도 함께 회전하므로, 웨이퍼(50)의 가장자리 전체의 포토레지스트를 노광시킨다.

여기서, 상기 광케이블(20)의 일측에는 상기 광케이블(20)을 통과하는 빛을 감지할 수 있는 조도센서(100)가 설치된다.

상기 조도센서(100)는 웨이퍼의 에지에 조사되는 빛을 실시간으로 검출하는 기능을 한다.

그리고, 상기 조도센서(100)의 출력단에는 A/D 컨버터(200)가 연결되고, 상기 A/D 컨버터(200)의 출력단에는 마이컴(300)이 연결되며, 상기 마이컴(300)의 출력단에는 모니터부(400)가 연결된다.

상기 A/D 컨버터는 상기 조도센서(100)의 출력단에서 출력되는 아날로그 신호를 상기 마이컴(300)이 인식할 수 있는 디지털 신호로 변환시킨다.

그리고, 상기 마이컴(300)은 상기 A/D 컨버터(200)가 출력하는 디지털 신호를 입력받아 연산 작용을 수행하여 광케이블을 통과하는 빛의 조도에 대응하는 소정의 수치를 출력한다.

여기서, 상기 마이컴(300)의 연산 작용은 빛의 조도의 값을 출력하도록 설정되거나, 상기 램프에 공급되는 전압의 값을 출력하도록 설정될 수도 있다.

이와 더불어, 상기 마이컴(300)의 내부에는 비교기(미도시)가 구비되고 상기 비교기의 출력단에는 경보부(500)가 연결될 수도 있다.

상기 비교기는 상기 광케이블(20)을 통과하는 빛의 조도가 설정된 값과 오차가 있는 경우에는 소정의 신호를 상기 경보부(500)로 출력한다.

그리고, 상기 경보부(500)은 상기 비교기가 출력하는 신호를 송출받아 경보음을 발생시킨다.

이하 첨부된 도면을 참조하여 상기 구성의 본 발명의 웨이퍼 노광 공정 장비를 사용하여 웨이퍼 에지에 조사되는 빛의 조도를 감시하는 방법을 설명한다.

도 2는 본 발명의 웨이퍼 에지 노광 공정 장비의 조도 감시 방법이 수행되는 과정을 설명하기 위한 순서도이다.

첫째로, 도 2에 도시된 바와 같이 웨이퍼 에지 노광 공정을 수행하게 되면 광케이블을 통하여 램프에서 발생한 빛이 웨이퍼의 에지에 조사된다.

둘째로, 웨이퍼의 에지에 조사되는 빛의 조도를 검출한다.

조도를 검출하는 과정을 상세히 보면 다음과 같다.

광케이블을 통과하는 빛을 조도센서에서 검출하고, 검출된 아날로그 신호를 A/D 컨버터에서 디지털신호로 변환하고, 상기 디지털 신호를 마이컴이 입력받아 상 기 빛의 조도에 해당하는 수치를 출력한다.

셋째로, 마이컴에서 출력되는 수치는 모니터부가 디스플레이 한다.

넷째로, 상기 마이컴의 내부에 구비된 비교기는 조도가 웨이퍼 에지의 노광을 위해 설정된 조도의 값과 오차가 있는 경우에는 경보기로 신호를 송출하여 경보음을 발생시킨다.

이로써, 오퍼레이터는 웨이퍼 노광 공정 장비가 설정된 조도의 값에서 정상적으로 수행되고 있는 지를 항상 인식할 수 있게 된다.

본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고 본 발명의 기술적 요지를 벗어나지 아니하는 범위 내에서 다양하게 수정·변형되어 실시될 수 있음은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어서 자명한 것이다.

도 1은 본 발명의 에지 노광 공정 장비를 설명하기 위한 개략도,

도 2는 본 발명의 웨이퍼 에지 노광 공정 장비의 조도 감시 방법이 수행되는 과정을 설명하기 위한 순서도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

10 : 램프하우스 20 : 광케이블

30 : 렌즈부 40 : 하우징

50 : 웨이퍼 60 : 회전척

70 : 렌즈군

100 : 조도센서 200 : A/D 컨버터

300 : 마이컴 400 : 모니터부

500 : 경보부

Claims (4)

1. 램프에서 발생한 빛을 광케이블을 통하여 웨이퍼 에지에 조사함으로서 웨이퍼의 에지를 노광하는 웨이퍼 에지 노광 공정 장비에 있어서,

   상기 광케이블의 일측에 구비되어 상기 광케이블을 통과하는 빛이 감지되는 조도센서;

   상기 조도센서의 출력단과 연결되어 상기 조도센서의 출력단에서 출력되는 아날로그 신호가 디지털 신호로 변환되는 A/D 컨버터;

   상기 A/D 컨버터의 출력단과 연결되어 광케이블을 통과하는 빛의 조도에 대응하는 소정의 수치가 출력되는 마이컴;

   상기 마이컴의 출력단과 연결되어 상기 수치가 디스플레이되는 모니터부;

   를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 에지 노광 공정 장비.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 마이컴의 내부에는 비교기가 구비되고 상기 비교기의 출력단에는 경보부가 연결되어 상기 광케이블을 통과하는 빛의 조도가 설정된 값과 오차가 있는 경우에는 경보부를 통하여 경보음을 발생시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 에지 노광 공정 장비.
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