KR100995556B1 - 마모방지부가 구비된 엑츄에이터 - Google Patents

Abstract

본 발명은 마모방지부가 구비된 엑츄에이터에 관한 것으로서, 바디의 내측에 통공되고 바디의 외측에 노출되는 주입니플과 연결된 주유홀이 더 구비되되, 상기 주유홀의 일측이 상기 바디의 내측에 장착되고 메인샤프트를 지지하는 샤프트베어링의 외측과 연결되도록 함으로써 주입니플에 의해 주입되는 구리스와 같은 윤활유가 상기 주유홀을 통해 샤프트베어링의 외측에 공급되도록 하여 메인샤프트의 외측에 끼워진 샤프트베어링의 마모를 방지하여 줄 뿐만 아니라, 상기 바디의 상단에 내측에 메인샤프트가 끼워지는 마모방지부가 더 구비되어 있되, 상기 주유홀을 통해 주유되는 구리스와 같은 윤활유가 상기 마모방지부의 내부측으로 공급되도록 하여 메인샤프트의 회전이 보다 원활하게 이루어지도록 하고 엑츄에이터의 마모 및 파손현상을 방지하여 장기간 동안 엑츄에이터의 사용이 가능하도록 한 마모방지부가 구비된 엑츄에이터를 제공하고자 한다.

이를 위해 본 발명은, 바디(11)와, 상기 바디(11)의 내측에 장착되는 메인샤프트(12)와, 상기 바디(11)의 내측에 장착되어 상기 메인샤프트(12)의 회전이 용이하도록 하는 샤프트베어링(13)과, 상기 바디(11)의 상단에 안착되는 판스프링(14)으로 구성된 엑츄에이터에 있어서, 상기 바디(11)의 외측면에 노출되는 주입니플(21)과; 상기 주입니플(21)과 연통되고 상기 바디(11)의 내부에 형성되며 일측이 상기 바디(11) 내측에 장착된 샤프트베어링(13)의 외측과 연결되는 주유홀(20)과; 상기 바디(11)의 상단에 상기 주유홀(20)의 타측이 연결되는 주입공(22)이 더 통공 되고, 상기 바디(11)의 상단에 안착되어 메인샤프트(12)가 내측에 관통되어 끼워지며 상기 주유홀(20)을 통해 주입되는 윤활유가 주입공(22)을 통해 내부에 공급되어 상기 메인샤프트(12)의 회전시의 마모현상을 방지하는 마모방지부(30)가 더 포함되어 이루어지는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 마모방지부(30)는, 상기 바디(11)의 상단에 통공된 주입공(22)과 연결되는 윤활유유입공(31)이 통공되고 내측에 상기 메인샤프트(12)가 끼워지는 제1끼움공(32)이 통공된 하부체(33)와; 상기 하부체(33)의 상단에 안착되고 내측에 오링끼움홈(34)과, 베어링인입홈(35)이 형성되며 상기 메인샤프트(12)가 끼워지도록 상기 하부체(33)의 제1끼움공(32)과 대응되는 제2끼움공(36)이 내측에 통공된 상부체(37)와; 상기 상부체(37)에 형성된 베어링인입홈(35)에 인입되는 스러스트베어링(38)와; 상기 상부체(37)에 형성된 오링끼움홈(34)에 끼워져 하부체와 상부체를 밀착하는 오링(39)이 포함되어 이루어질 수 있다.

엑츄에이터, 마모방지, 파손방지

Description

마모방지부가 구비된 엑츄에이터{ABRASION PREVENTIVE PART WITH ACTUATOR}

본 발명은 엑츄에이터에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 엑츄에이터 바디의 일측에 구리스와 같은 윤활유의 주입이 가능한 주유홀을 더 형성하여 주입되는 윤활유에 의해 엑츄에이터의 메인샤프트 회전시에 발생되는 마모를 줄일 수 있도록 할 뿐만 아니라, 엑츄에이터 바디의 상단에 마모방지부를 구성하여 마모방지부의 내부측으로 윤활유가 주입되도록 하여 메인샤프트의 회전이 원활하게 하고 엑츄에이터를 장기간동안 사용할 수 있도록 한 마모방지부가 구비된 엑츄에이터에 관한 것이다.

일반적으로 엑츄에이터는 여러 가지 장치에 활용되고 있으며, 이 중, 진공밸브의 펜드럼을 구동시키기 위해 사용되고 있다.

펜드럼 타입의 진공 밸브 조립체는 일반적으로 펜드럼 밸브를 수용하고 내부 공간을 포함하는 하우징과, 가스 상태의 유체가 상기 내부 공간으로 출입하는 한 쌍의 개구를 포함하여 구성되는 것으로, 특히 펜드럼 타입의 진공 밸브 조립체들은 고 순도 가스 이송 시스템에 적합하기 때문에, 반도체 제조공정 또는 다른 박막 피복 공정 등에 사용되고 있다.

이러한 펜드럼 타입의 진공밸브에 구성되는 펜드럼을 구동시키는 수단으로 사용되는 종래 엑츄에이터는, 도 1에 도시된 바와 같이 바디(1)와, 상기 바디(1)의 중앙에 일측이 장착되고 모터(2)의 회전력에 의해 회전되는 메인샤프트(3)와, 상기 바디(1)의 내측에 삽입되어 상기 메인샤프트(3)의 회전이 용이하도록 하는 제1베어링(4)과, 상기 메인샤프트(3)에 끼워지고 상기 바디(1)의 상단에 안착되는 제2베어링(5) 및 판형의 와셔(6)와 상기 와셔(6)의 상단에 안착되는 판스프링(7)으로 구성되는 것으로, 상기 모터(2)의 회전력이 전달되는 메인샤프트(3)가 회전되면서 상기 메인샤프트(3)의 타측에 연결되는 장비들이 작동된다.

이와 같이 구성된 종래 엑츄에이터는, 상기 모터(2)의 회전력에 의해 메인샤프트(3)가 회전될 때 상기 메인샤프트(3)을 탄성지지하는 판스프링(7)의 하단에 구성된 제2베어링(5)(스러스트베어링)이 와셔(6)의 눌림에 의해 제2베어링(5)이 원활하게 회전되지 못하게 되고 엑츄에이터의 장기간 사용시에 상기 제1베어링(4)과 제2베어링(5)의 마모현상이 발생되어 엑츄에이터의 장기간 사용이 불가능하여 경제적인 측면에서 매우 좋지 않은 문제점이 있다.

종래 기술을 살펴보면, 등록특허 제10-0374823호인 무윤활 선형 엑츄에이터의 마모 방지장치가 안출된 바 있으며, 이는 그 공개된 공보의 청구범위에 의해 알 수 있듯이, 직선 구동력을 발생시키는 선형모터와, 그 선형모터의 구동력을 전달받아 직선 왕복 운동하는 구동축과, 그 구동축에 결합되어 직선 왕복 운동하는 피스 톤과, 상기 구동축을 지지하는 지지부재가 내부에 장착되고, 그 일측에 삽입구멍이 구비된 하우징과, 상기 피스톤이 삽입되어 작동가스를 펌핑하는 실린더 구멍이 구비되어 상기 하우징의 삽입구멍에 삽입되는 실린더 블록과, 상기 하우징의 삽입구멍 내주면과 상기 실린더 블럭사이에 삽입되어 상기 피스톤의 움직임에 따라 상기 실린더 블록이 능동적으로 움직이도록 실린더 블럭을 탄성 지지하는 탄성지지수단으로 구성되어 있다.

따라서, 실린더블록과 탄성지지수단에 의해 엑츄에이터의 구동시에 발생되는 마모현상을 방지하도록 하고 있다.

그러나, 이와 같이 실린더블록과 탄성지지수단에만 의존하여서는 엑츄에이터의 구동시에 발생되는 마모현상을 예방할 수 없음에 따라, 엑츄에이터의 사용기간의 단축성을 예방하지는 못하고 있는 실정이다.

본 발명은 종래 엑츄에이터가 지닌 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 엑츄에이터 바디 내부에 장착되는 샤프트베어링의 외측과 연결되고 바디몸체의 내부를 관통하는 주유홀을 바디몸체의 내부에 더 형성하여 주유홀을 통해서 주입되는 구리스와 같은 윤활유에 의해 샤프트베어링의 마모를 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 바디몸체의 상단에 상기 주유홀에 의해 주입되는 윤활유가 내부에 주입되는 마모방지부를 더 구성하고 마모방지부의 내부에 윤활유를 공급하여 줌으로써 마모방 지부의 베어링쳉의 원활한 회전이 이루어지도록 함으로써 엑츄에이터의 마모 및 파손현상을 방지하여 장기간 엑츄에이터의 사용이 가능하도록 한 마모방지부가 구비된 엑츄에이터를 제공함에 그 목적이 있다.

상기 목적을 해결하기 위한 수단으로 본 발명인 마모방지부가 구비된 엑츄에이터는, 바디와, 상기 바디의 내측에 장착되는 메인샤프트와, 상기 바디의 내측에 장착되어 상기 메인샤프트의 회전이 용이하도록 하는 샤프트베어링과, 상기 바디의 상단에 안착되는 판스프링으로 구성된 엑츄에이터에 있어서, 상기 바디의 외측면에 노출되는 주입니플과, 상기 주입니플과 연통되고 상기 바디의 내부에 형성되며 일측이 상기 바디 내측에 장착된 샤프트베어링의 외측과 연결되는 주유홀과, 상기 바디의 상단에 상기 주유홀의 타측이 연결되는 주입공이 더 통공되고, 상기 바디의 상단에 안착되어 메인샤프트가 내측에 관통되어 끼워지며 상기 주유홀을 통해 주입되는 윤활유가 주입공을 통해 내부에 공급되어 상기 메인샤프트의 회전시의 마모현상을 방지하는 마모방지부가 더 포함되어 이루어진다.

상기 마모방지부는, 상기 주입공과 연결되는 윤활유유입공이 통공되고 내측에 상기 메인샤프트가 끼워지는 제1끼움공이 통공된 하부체와; 상기 하부체의 상단에 안착되고 내측에 오링끼움홈과, 베어링인입홈이 형성되며 메인샤프트가 끼워지도록 상기 하부체의 제1끼움공과 대응되는 제2끼움공이 내측에 통공된 상부체와; 상기 상부체에 형성된 베어링인입홈에 인입되는 스러스트베어링와; 상기 상부체에 형성된 오링끼움홈에 끼워지는 오링이 포함되어 이루어질 수 있다.
이때, 상기 마모방지부(30)의 스러스트베어링(38)이 끼워지는 상부체(37)의 베어링인입홈(35)의 표면과, 상기 스러스트베어링(38)이 끼워져 이 스러스트베어링(38)의 일측이 접하는 상기 하부체(33)의 표면에는, 상기 스러스트베어링(38)의 마모를 방지하는 마모방지코팅부(30a)가 더 구비되어 이루어지는 것이 바람직하다.

본 발명인 마모방지부가 구비된 엑츄에이터는, 바디의 내측에 통공되고 바디의 외측에 노출되는 주입니플과 연결된 주유홀이 더 구비되되, 상기 주유홀의 일측이 상기 바디의 내측에 장착되고 메인샤프트를 지지하는 샤프트베어링의 외측과 연결되도록 함으로써 주입니플에 의해 주입되는 구리스와 같은 윤활유가 상기 주유홀을 통해 샤프트베어링의 외측에 공급되도록 하여 메인샤프트의 외측부에 구비되는 샤프트베어링의 마모를 방지하여 줄 뿐만 아니라, 상기 바디의 상단에 내측에 메인샤프트가 끼워지는 마모방지부가 더 구비되어 있되, 상기 주유홀을 통해 주유되는 구리스와 같은 윤활유가 상기 마모방지부의 내부측으로 공급되도록 하여 마모방지부의 내부에 구성된 스러스트베어링의 원활한 회전이 가능하도록 하여 줌으로써 판스프링의 하중이 발생되더라도 상기 스러스트베어링에 공급되는 윤활유를 통해 스러스트베어링의 회전이 원활하게 이루어지도록 하여 메인샤프트의 회전이 보다 원활하게 이루어지도록 하며 엑츄에이터의 마모 및 파손현상을 방지하여 장기간 동안 엑츄에이터의 사용이 가능하다.

이하, 본 발명의 구성 및 작용을 첨부된 도면에 의거하여 좀 더 구체적으로 설명한다. 본 발명을 설명함에 있어서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단 어는 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.

도 2는 본 발명인 마모방지부가 구비된 엑츄에이터의 구성을 나타낸 구성도이고, 도 3은 본 발명인 마모방지부가 구비된 엑츄에이터의 구성요부를 나타낸 구성도이며, 도 4는 본 발명인 마모방지부가 구비된 엑츄에이터의 구성요부인 주유홀의 구성을 나타낸 평면도이며, 도 5는 본 발명인 마모방지부가 구비된 엑츄에이터의 구성요부인 마모방지부의 구성을 나타낸 분해사시도이며, 도 6은 도 5의 마모방지부의 구성을 나타낸 구성단면도이다.

도시된 바와 같이 본 발명인 마모방지부가 구비된 엑츄에이터는, 바디(11)와, 상기 바디(11)의 내측에 장착되는 메인샤프트(12)와, 상기 바디(11)의 내측에 장착되어 상기 메인샤프트(12)의 회전이 용이하도록 하는 샤프트베어링(13)과, 상기 바디(11)의 상단에 안착되는 판스프링(14)으로 구성된 엑츄에이터에 있어서, 상기 바디(11)의 외측면에 노출되는 주입니플(21)과, 상기 주입니플(21)과 연통되고 상기 바디(11)의 내부에 형성되며 일측이 상기 바디(11) 내측에 장착된 샤프트베어링(13)의 외측과 연결되는 주유홀(20)과, 상기 바디(11)의 상단에 상기 주유홀(20)의 타측이 연결되는 주입공(22)이 더 통공되고, 상기 바디(11)의 상단에 안착되어 메인샤프트(12)가 내측에 관통되어 끼워지며 상기 주유홀(20)을 통해 주입되는 윤활유가 주입공(22)을 통해 내부에 공급되어 상기 메인샤프트(12)의 회전시의 마모현상을 방지하는 마모방지부(30)가 더 포함되어 이루어진다.

상기와 같이 구성된 본 발명인 마모방지부가 구비된 엑츄에이터는, 상기 주입니플(21)을 통해 주입된 구리스와 같은 윤활유가 상기 주유홀(20)을 타고 바디(11)의 내부로 유입되어 상기 주유홀(20)의 끝단 일측과 연결된 상기 샤프트베어링(13)의 외측부에 공급된다.

따라서, 샤프트베어링(13)의 외측부에 구리스와 같은 윤활유가 공급되기 때문에, 메인샤프트(12)의 외측에 끼워진 상기 샤프트베어링(13)의 마모 현상이 방지된다.

또한, 공급되는 구리스와 같은 윤활유에 의해 메인샤프트(12)의 회전이 더욱 부드럽고 용이하게 회전되도록 하여 엑츄에이터의 성능을 향상시킨다.

상기 마모방지부(30)는, 상기 바디(11)의 상단에 통공된 주입공(22)과 연결되는 윤활유유입공(31)이 통공되고 내측에 상기 메인샤프트(12)가 끼워지는 제1끼움공(32)이 통공된 하부체(33)와, 상기 하부체(33)의 상단에 안착되고 내측에 오링끼움홈(34)과, 베어링인입홈(35)이 형성되며 상기 메인샤프트(12)가 끼워지도록 상기 하부체(33)의 제1끼움공(32)과 대응되는 제2끼움공(36)이 내측에 통공된 상부체(37)와, 상기 상부체(37)에 형성된 베어링인입홈(35)에 인입되는 스러스트베어링(38)과, 상기 상부체(37)에 형성된 오링끼움홈(34)에 끼워지는 오링(39)이 포함되어 이루어진다.

이에 따라 상기 마모방지부(30)가 메인샤프트(12)의 외측에 더 끼워져 상기 바디(11)의 상단에 안착되어 구성됨에 따라 메인샤프트(12)의 원활한 회전이 가능하도록 함과 동시에 상기 주유홀(20)을 통해 주입되는 구리스와 같은 윤활유가 상 기 바디(11)의 상단에 통공된 주입공(22)을 지나 상기 마모방지부(30)의 윤활유유입공(31)측으로 유입되어 상기 베어링인입홈(35)에 인입된 스러스트베어링(38)에 윤활유를 공급하여 줌으로써 상기 마모방지부(30)의 상단에 구성된 판스프링(14)의 눌러지는 하중이 발생되더라도, 상기 마모방지부(30)의 내부에 구성되어 있는 스러스트베어링(38)의 원활한 회전이 가능하다.

따라서, 마모방지부(30)와 이 마모방지부(30)의 내부에 구성되고 윤활유유입공(31)측으로 유입되는 구리스와 같은 윤활유가 공급되는 스러스트베어링(38)에 메인샤프트(12)의 회전이 원활하게 하며, 마모를 방지하여 줄 뿐만 아니라, 엑츄에이터의 장기간 사용이 가능하도록 한다.

도 7은 본 발명의 다른 실시예를 나타낸 것으로, 상기 마모방지부(30)의 스러스트베어링(38)이 끼워지는 상부체(37)의 베어링인입홈(35)의 표면과, 상기 스러스트베어링(38)이 끼워져 이 스러스트베어링(38)의 일측이 접하는 상기 하부체(33)의 표면에, 상기 스러스트베어링(38)의 마모를 방지하는 마모방지코팅부(30a)가 더 코팅되어 구성된다.

상기 마모방지코팅부(30a)는, 예를 들어 티타늄 코팅이나 경질의 코팅층으로 형성할 수 있는 것으로, 상기 마모방지코팅부(30a)에 의해 스러스트베어링(38)의 마모가 더욱 확실하게 방지되어 스러스트베어링(38)의 수명이 연장된다.

본 발명은 도시하고 설명한 것 이외에도 다양하게 변형실시가 가능한 것으로, 본 발명의 목적범위를 일탈하지 않는 한 변형되는 실시예들은 모두 본 발명의 권리범위에 포함되어 해석되어야 한다.

도 1은 종래 엑츄에이터의 구성을 나타낸 구성도이다.

도 2는 본 발명인 마모방지부가 구비된 엑츄에이터의 구성을 나타낸 구성도이다.

도 3은 본 발명인 마모방지부가 구비된 엑츄에이터의 구성요부를 나타낸 구성도이다.

도 4는 본 발명인 마모방지부가 구비된 엑츄에이터의 구성요부인 주유홀의 구성을 나타낸 평면도이다.

도 5는 본 발명인 마모방지부가 구비된 엑츄에이터의 구성요부인 마모방지부의 구성을 나타낸 분해사시도이다.

도 6은 도 5의 마모방지부의 구성을 나타낸 구성단면도이다.

도 7은 본 발명인 마모방지부가 구비된 엑츄에이터의 구성요부인 마모방지부의 내부에 마모방지코팅부가 더 구성된 것을 나타낸 구성단면도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

11 : 바디 12 : 메인샤프트

13 : 샤프트베어링 14 : 판스프링

20 : 주유홀 21 : 주입니플

22 : 주입공 30 : 마모방지부

31 : 윤활요유입공 32 : 제1끼움공

33 : 하부체 34 : 오링끼움홈

35 : 베어링인입홈 36 : 제2끼움공

37 : 상부체 38 : 스러스트베어링

39 : 오링 30a : 마모방지코팅부

Claims (3)

1. 삭제
2. 바디(11)와, 상기 바디(11)의 내측에 장착되는 메인샤프트(12)와, 상기 바디(11)의 내측에 장착되어 상기 메인샤프트(12)의 회전이 용이하도록 하는 샤프트베어링(13)과, 상기 바디(11)의 상단에 안착되는 판스프링(14)으로 구성되고, 상기 바디(11)의 외측면에 노출되는 주입니플(21)과; 상기 주입니플(21)과 연통되고 상기 바디(11)의 내부에 형성되며 일측이 상기 바디(11) 내측에 장착된 샤프트베어링(13)의 외측과 연결되는 주유홀(20)과; 상기 바디(11)의 상단에 상기 주유홀(20)의 타측이 연결되는 주입공(22)이 더 통공되고, 상기 바디(11)의 상단에 안착되어 메인샤프트(12)가 내측에 관통되어 끼워지며 상기 주유홀(20)을 통해 주입되는 윤활유가 주입공(22)을 통해 내부에 공급되어 상기 메인샤프트(12)의 회전시의 마모현상을 방지하는 마모방지부(30)를 포함하여 이루어지는 마모방지부가 구비된 엑츄에이터에 있어서,

   상기 마모방지부(30)는,

   상기 바디(11)의 상단에 통공된 주입공(22)과 연결되는 윤활유유입공(31)이 통공되고 내측에 상기 메인샤프트(12)가 끼워지는 제1끼움공(32)이 통공된 하부체(33)와;

   상기 하부체(33)의 상단에 안착되고 내측에 오링끼움홈(34)과, 베어링인입홈(35)이 형성되며 상기 메인샤프트(12)가 끼워지도록 상기 하부체(33)의 제1끼움공(32)과 대응되는 제2끼움공(36)이 내측에 통공된 상부체(37)와;

   상기 상부체(37)에 형성된 베어링인입홈(35)에 인입되어 상기 윤활유유입공(31)으로부터 유입되는 윤활유가 주입되는 스러스트베어링(38)와;

   상기 상부체(37)에 형성된 오링끼움홈(34)에 끼워지는 오링(39)이 포함되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 마모방지부가 구비된 엑츄에이터.
3. 제 2항에 있어서,

   상기 마모방지부(30)의 스러스트베어링(38)이 끼워지는 상부체(37)의 베어링인입홈(35)의 표면과,

   상기 스러스트베어링(38)이 끼워져 이 스러스트베어링(38)의 일측이 접하는 상기 하부체(33)의 표면에는,

   상기 스러스트베어링(38)의 마모를 방지하는 마모방지코팅부(30a)가 더 구비되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 마모방지부가 구비된 엑츄에이터.

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