KR100993530B1 - Photosensitive resin composition comprising novel multi-functional monomer - Google Patents
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Abstract
본 발명은 분자 내에 다수의 (메타)아크릴기와 폴리옥시에틸렌기를 갖는 다관능성 모노머를 포함하는 감광성 수지 조성물에 관한 것으로 본 발명에 의한 조성물은 우수한 감도와 빠른 현상 속도, 우수한 표면 조도뿐만 아니라 착색제 조성물의 분산 안정성을 높이는 효과를 동시에 제공할 수 있다.The present invention relates to a photosensitive resin composition comprising a polyfunctional monomer having a plurality of (meth) acrylic groups and polyoxyethylene groups in a molecule. The composition according to the present invention provides excellent sensitivity and fast development speed, excellent surface roughness as well as colorant composition. The effect of increasing dispersion stability can be provided at the same time.
다관능성, 아크릴기, 폴리옥시에틸렌, 감광성, 조성물, 현상속도, 표면 조도 Multifunctional, Acrylic, Polyoxyethylene, Photosensitive, Composition, Development Speed, Surface Roughness
Description
본 발명은 현상속도, 표면 조도 및 분산안정성이 개선된 감광성 수지 조성물에 관한 것이다. The present invention relates to a photosensitive resin composition having improved development speed, surface roughness and dispersion stability.
컬러필터 제조방법에는 염색법, 안료 분산법, 전착법 및 인쇄법 등이 있으며, 이 중에서 생산성, 품질 및 비용 등에서 장점을 갖는 안료 분산법이 주로 이용되고 있다. 또한, 최근에는 색 순도 및 투과도에 대한 칼라 특성 향상, 제조비용 절감 및 대면적 기판 대응 등을 위해, 필름 전사법, 잉크젯 프린팅법 및 레이저 전사법 등의 신기술 개발이 진행되고 있다.The color filter manufacturing method includes a dyeing method, a pigment dispersion method, an electrodeposition method and a printing method, and among these, a pigment dispersion method having advantages in productivity, quality and cost is mainly used. In recent years, new technologies such as a film transfer method, an inkjet printing method, and a laser transfer method have been developed in order to improve color characteristics, reduce manufacturing costs, and respond to large area substrates for color purity and transmittance.
일반적으로 가장 많이 채용되는 방법인 안료분산법에 사용되는 안료 분산 감광성 착색조성물(color resist)은 용매, 안료, 안료 분산제, 바인더 폴리머, 다관능성 모노머, 감광성 개시제 및 첨가제로 구성된다. 조성물의 각 성분은 구체적으로 빛이 투과할 때 색을 발현하는 안료, 미립자인 안료가 용매속에서 응집하지 않 고 안정하게 분산되어 있도록 하는 분산제, 기판에 도포된 후 노광부에서는 다관능성 모노머와 가교체를 형성하고 비노광부에서는 현상액에 쉽게 제거되도록 하는 바인더 폴리머, 노광된 부분에서 바인더 폴리머와 가교 필름을 형성하는 다관능성 모노머, 빛을 받으면 라디칼을 생성하여 가교 반응을 개시하는 감광성 개시제 등이다.Generally, the pigment dispersion photosensitive color composition used in the pigment dispersion method, which is the method most commonly employed, is composed of a solvent, a pigment, a pigment dispersant, a binder polymer, a polyfunctional monomer, a photoinitiator, and an additive. Each component of the composition is specifically a pigment which expresses color when light is transmitted, a dispersant which allows pigments which are fine particles to be stably dispersed without agglomeration in a solvent, and crosslinks with a polyfunctional monomer in an exposed part after application to a substrate. Binder polymers that form a sieve and are easily removed from a developer in a non-exposed part, polyfunctional monomers that form a crosslinked film with a binder polymer in an exposed part, and a photosensitive initiator that generates radicals upon light to initiate a crosslinking reaction.
일반적으로 칼라필터는 유리 기판 상에 삼원색, 즉 적색(red), 녹색(green) 및 청색(blue)의 패턴(pattern)을 형성하여 제조되는데, 안료 분산법을 적용하는 경우 이러한 패턴 형성 공정은 각 칼라 픽셀에 해당하는 안료(pigment)를 함유하는 감광성 착색조성물(color resist)을 기판 상에 도포하는 단계, 도포된 조성물을 가열-건조하여 필름을 형성하는 단계, 형성된 필름 상에 원하는 형상의 마스크(mask)를 이용하여 선택적으로 노광한 후 현상하는 단계, 및 현상된 필름을 가열하여 경화하는 단계로 이루어진다. In general, color filters are manufactured by forming patterns of three primary colors, ie, red, green, and blue, on a glass substrate. Applying a photosensitive color resist containing a pigment corresponding to a color pixel on a substrate, heat-drying the applied composition to form a film, and forming a mask of a desired shape on the formed film ( selective exposure using a mask) and then developing; and heating and curing the developed film.
최근 액정 디스플레이(LCD)의 용도가 노트북 모니터에서 데스크탑 모니터, LCD TV등으로 확대됨에 따라 색 재현율이 우수하며, 콘트라스트가 높은 칼라필터가 요구되고 있으며 이를 만족하기 위해 안료를 초미립자화하고 감광성 수지 내에 안료 첨가 함량을 높이는 방향으로 전개되고있다. 이처럼 안료가 점점 더 미립자화함에 따라 안료의 표면적이 급격하게 증가되므로 안료를 안정화시키기 위한 분산제 첨가량도 증가하게 된다. 이처럼 감광성 수지 조성물 내부에 포함된 안료의 농도가 높아지게 되면 패턴 막 하부까지 도달할 수 있는 조사 에너지의 양이 줄어들고, 알카리 현상액에 잘 녹지 않는 분산제의 함량 또한 증가하므로 현상속도도 느려지게 된다. 따라서 생산공정에서는 노광량을 늘리고 현상 시간을 늘리는 수 밖에 없으므로 단위 공정당 생산성이 떨어지는 문제점이 발생하고 있다. As the use of liquid crystal displays (LCDs) has recently been expanded from notebook monitors to desktop monitors and LCD TVs, a color filter with excellent color reproducibility and high contrast is required. In order to satisfy this problem, ultrafine particles of pigments and pigments in photosensitive resins are required. Has been developed in the direction of increasing the content of the addition. As the pigment becomes more and more fine particles as described above, the surface area of the pigment is sharply increased, so that the amount of dispersant added to stabilize the pigment is also increased. As such, when the concentration of the pigment contained in the photosensitive resin composition increases, the amount of irradiation energy that can reach the lower portion of the pattern film decreases, and the content of the dispersant that is not easily dissolved in the alkaline developer also increases, thereby lowering the development speed. Therefore, in the production process, there is a problem in that the productivity per unit process decreases because the exposure amount and the development time are inevitably increased.
감광성 수지 조성물의 현상성을 향상시키는 가장 대표적인 방법은 알칼리 가용성 수지로 사용되는 바인더 폴리머의 산가(acid value:AV)를 높이거나 분자량(molecular weight:MW)을 낮추는 것이다. 바인더 폴리머의 산가를 높이면 다른 구성 성분과의 상용성과 저장안정성이 악화될 수 있으므로 높일 수 있는 실질적인 한계가 존재한다. 또한, 바인더 폴리머의 분자량을 낮추는 방법은 현상성은 향상되나 현상 공정 후 패턴의 표면 조도(roughness)를 나쁘게 하는 문제점이 발생하므로 현상성과 표면 조도를 모두 좋게 할 수는 없다.The most representative method for improving the developability of the photosensitive resin composition is to increase the acid value (AV) or lower the molecular weight (M W ) of the binder polymer used as the alkali-soluble resin. Increasing the acid value of the binder polymer may impair compatibility with other constituents and storage stability, and thus there is a practical limit to increase. In addition, the method of lowering the molecular weight of the binder polymer improves developability, but since the problem of deteriorating the surface roughness of the pattern occurs after the developing process, it is impossible to improve both developability and surface roughness.
한편, 감광성 수지 조성물의 감도 및 표면 조도를 향상시키는 일반적인 방법으로는 다관능성 모노머의 사용량을 증가시키는 방법이 있다. 다관능성기를 포함하는 모노머의 구체적인 예로는 트리메톡시실릴프로필(메타)아크릴레이트, 트리메틸올프로판트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리스리톨트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리스리톨테트라(메타)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨헥사(메타)아크릴레이트 등이 있다. 이와 같은 일반적인 다관능성 모노머는 친유성 물질이므로 알카리 현상성을 저하시키는 문제점을 가지고 있으므로 이 또한 현상성과 표면 조도를 모두 좋게 할 수는 없다. 따라서 현상성과 표면 조도, 고감도를 동시에 만족시키는 감광성 수지 조성물의 구성 성분의 개발이 절실히 요구되고 있다.On the other hand, the general method of improving the sensitivity and surface roughness of the photosensitive resin composition is the method of increasing the usage-amount of a polyfunctional monomer. Specific examples of the monomer containing a polyfunctional group include trimethoxysilylpropyl (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, Dipentaerythritol hexa (meth) acrylate and the like. Since such general polyfunctional monomers have a problem of lowering alkali developability since they are lipophilic substances, this also cannot improve both developability and surface roughness. Therefore, development of the component of the photosensitive resin composition which satisfy | fills developability, surface roughness, and high sensitivity simultaneously is urgently required.
상기 문제점을 해결하기 위한 종래 기술로는, 한 분자내에 에틸렌성 불포화 결합과 불포화 카르복시산 무수물 결합을 동시에 갖는 다관능성모노머를 사용하는 방법(대한민국 특허공개 제10-2007-76083호)이 있는데, 기판과의 접착성, 표면경도의 개선이 가능하나 현상 속도 개선에 한계가 있다. 또한, 한 분자 내에 다관능성 아크릴기와 2개 이상의 카르복시기를 함유하는 화합물을 포함하는 현상 잔사 저감제를 첨가하는 방법(대한민국 특허공개 제10-2006-7600호)은 현상속도와 표면 조도 개선에 상당한 효과가 있으나 산가가 높은 카르복실기에 의해 착색제의 저장안정성을 악화시키는 문제가 있다. Conventional techniques for solving the above problems include a method of using a multifunctional monomer having both ethylenically unsaturated bonds and unsaturated carboxylic anhydride bonds in one molecule (Korean Patent Publication No. 10-2007-76083). It is possible to improve the adhesion and surface hardness of, but there is a limit in improving the development speed. In addition, the method of adding a developing residue reducing agent containing a compound containing a polyfunctional acrylic group and two or more carboxyl groups in one molecule (Korean Patent Publication No. 10-2006-7600) has a significant effect on improving the developing speed and surface roughness. However, there is a problem in that the storage stability of the colorant is deteriorated by a high carboxyl group.
따라서, 현상속도를 향상하고 표면 조도를 개선하며 착색제 조성물의 분산안정성을 악화시키지 않는 첨가제의 개발이 시급히 요구되고 있다.Therefore, there is an urgent need for the development of additives that improve the development speed, improve the surface roughness and do not deteriorate the dispersion stability of the colorant composition.
따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 안료 입자를 포함하는 감광성 수지 조성물의 현상속도를 빠르게 하고 감도 및 표면 조도를 개선하며 착색제의 저장 안정성을 높이는 것이다.Accordingly, the technical problem to be achieved by the present invention is to speed up the development speed of the photosensitive resin composition including the pigment particles, improve the sensitivity and surface roughness, and increase the storage stability of the colorant.
본 발명은 분자 내에 다수의 (메타)아크릴기와 폴리옥시에틸렌기를 갖는 다관능성 모노머를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물을 제공한다. This invention provides the photosensitive resin composition characterized by including the polyfunctional monomer which has many (meth) acryl group and polyoxyethylene group in a molecule | numerator.
본 발명의 조성물에 있어서, 상기 폴리옥시에틸렌기의 반복단위 몰수는 1 내지 30인 것이 바람직하다.In the composition of the present invention, the number of moles of repeating units of the polyoxyethylene group is preferably 1 to 30.
또한, 상기 다관능성 모노머는 하기의 화학식 4 및 5 중 어느 하나로 표시되는 화합물인 것이 더욱 바람직하다:In addition, the multifunctional monomer is more preferably a compound represented by any one of the following formulas (4) and (5):
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상기 화학식 4 및 5에서, R은 각각 독립적으로 탄소수 1 내지 20의 알킬렌이고, X는 각각 독립적으로 -O-, -NH-, -S- 또는 -COO- 이며, R1은 각각 독립적으로 수소 또는 탄소수 1 내지 10의 알킬이고, n은 각각 독립적으로 1 내지 30의 정수이다.In Formulas 4 and 5, each R is independently alkylene having 1 to 20 carbon atoms, each X is independently -O-, -NH-, -S- or -COO-, and each R 1 is independently hydrogen Or alkyl having 1 to 10 carbon atoms, and n is each independently an integer of 1 to 30.
본 발명에 따르는 감광성 조성물은 상기 화학식 4 및 5로 표시되며 분자 내에 다수의 (메타)아크릴기와 폴리옥시에틸렌기를 갖는 다관능성 모노머, 알칼리 가용성 수지 바인더, 광중합 개시제, 착색제, 및 용매를 포함하는 것이 바람직하다.The photosensitive composition according to the present invention is represented by the above formulas (4) and (5) and preferably contains a multifunctional monomer having a plurality of (meth) acryl groups and polyoxyethylene groups, alkali-soluble resin binders, photopolymerization initiators, colorants, and solvents in a molecule thereof. Do.
상기 성분들은 조성물의 총 중량을 기준으로 상기 화학식 4 및 5 중 어느 하나의 다관능성 모노머 0.001 내지 10 중량%; 알칼리 가용성 수지 바인더 1 내지 30 중량%; 광중합개시제 0.1 내지 10 중량%; 착색제 0.5 내지 40 중량%; 용매 10 내지 95 중량%로 포함되는 것이 바람직하다.The components are 0.001 to 10% by weight of the multifunctional monomer of any one of Formulas 4 and 5 based on the total weight of the composition; 1 to 30% by weight of alkali-soluble resin binder; 0.1 to 10% by weight photopolymerization initiator; 0.5 to 40 wt% colorant; It is preferably included in 10 to 95% by weight of the solvent.
또한, 본 발명의 감광성 수지 조성물은 상기 성분들 이외에 에텔렌성 불포화결합을 가지는 중합성 화합물을 더 포함할 수 있으며, 그 함량은 조성물 100 중량부 대비 0.5 내지 10 중량부로 포함되는 것이 바람직하다. In addition, the photosensitive resin composition of the present invention may further include a polymerizable compound having an etellenically unsaturated bond in addition to the above components, the content of which is preferably contained in 0.5 to 10 parts by weight relative to 100 parts by weight of the composition.
또한, 본 발명의 감광성 수지 조성물은 트리메톡시실릴프로필(메타)아크릴레이트, 트리메틸올프로판트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리스리톨트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리스리톨테트라(메타)아크릴레이트 및 디펜타에리스리톨헥사(메타)아크릴레이트로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 다관능성 모노머를 더 포함할 수 있다. Moreover, the photosensitive resin composition of this invention is trimethoxy silyl propyl (meth) acrylate, trimethylol propane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, and dipenta It may further comprise at least one polyfunctional monomer selected from the group consisting of erythritol hexa (meth) acrylate.
이 외에도, 본 발명의 감광성 수지 조성물은 광증감제, 경화촉진제, 열 중합 억제제, 가소제, 접착 촉진제, 충전제 및 계면활성제로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 첨가제를 추가적으로 포함할 수 있다.In addition, the photosensitive resin composition of the present invention may further include at least one additive selected from the group consisting of a photosensitizer, a curing accelerator, a thermal polymerization inhibitor, a plasticizer, an adhesion promoter, a filler, and a surfactant.
본 발명은 안료분산 감광성 수지 조성물의 현상속도를 향상하고 표면 조도와 착색제 조성물의 분산안정성을 개선한다. The present invention improves the development speed of the pigment dispersion photosensitive resin composition and improves the surface roughness and dispersion stability of the colorant composition.
본 발명에 의하면, 말단기에 2개 이상, 더욱 바람직하게는 2 내지 10개의 (메타)아크릴기를 가지고 친수성인 폴리옥시에틸렌기를 도입한 모노머를 감광성 수 지 조성물에 첨가함으로써 현상속도를 크게 개선할 수 있다.According to the present invention, the development speed can be greatly improved by adding a monomer having two or more, more preferably two to ten (meth) acryl groups, and a hydrophilic polyoxyethylene group introduced into the photosensitive resin composition to the terminal group. have.
다관능성 모노머에 폴리옥시에틸렌기를 부여하는 방법은 다관능성 모노머 전구체의 말단이 하이드록실, 티올, 1차 아미노, 2차 아미노 또는 카르복실기로 되어야 하며 관능기가 2개 이상이어야 한다. 앞서 언급한 전구체를 KOH나 NaOH의 촉매 하에서 130~170℃의 열을 가하며 에틸렌옥사이드 가스를 주입하여 활성기에 폴리옥시에틸렌기를 도입할 수 있으며 이와 같이 합성된 물질과 (메타)아크릴산, 소량의 산촉매하에 에스테르화반응이 진행되어짐으로써 상기의 목적을 달성하는 다관능성의 폴리옥시에틸기가 도입된 화합물을 얻을 수 있다.The method for imparting a polyoxyethylene group to a polyfunctional monomer should have a hydroxyl, thiol, primary amino, secondary amino or carboxyl group at the terminal of the polyfunctional monomer precursor and have two or more functional groups. The precursor mentioned above can be introduced with polyoxyethylene group to the activator by injecting ethylene oxide gas with heat of 130 ~ 170 ℃ under the catalyst of KOH or NaOH and under the material synthesized in this way, (meth) acrylic acid, and a small amount of acid catalyst As the esterification proceeds, a compound having a polyfunctional polyoxyethyl group introduced therein can be obtained.
현상 속도, 저장안정성에 탁월한 폴리옥시에틸렌기의 도입시 옥시에틸렌기의 적합한 몰 수는 1~30몰(mole)정도이다. 옥시에틸렌기가 너무 적게 붙으면 친수성이 떨어져 현상 속도 개선에 도움을 주지 않으며 너무 많이 붙으면 사슬길이가 너무 길어 가교도를 떨어뜨리게 된다. 가장 바람직하게는 옥시에틸렌기의 몰수는 4~15몰이다. 다관능성 폴리옥시에틸렌기가 도입된 화합물의 전구체로서 사용될 수 있는 화합물의 구체적인 예로는 에틸렌글리콜, 디에틸렌글리콜, 트리에틸렌글리콜, 테트라에틸렌글리콜, 글리세롤, 트리메탄올, 트리메틸올프로판올, 펜타에리스리톨, 디펜타에리스리톨, 3-메톡시-1,2-프로판디올, 아도니톨, L-2-아미노아디픽산, 2-아미노벤젠티올, 4-아미노벤젠티올, DL-2-아미노-1-부탄올, 4-아미노-1-부탄올, 2-아미노에탄티올, 2-(2-아미노에틸아미노)에탄올, 2-아미노-1,3-프로판디올, N-(3-아미노프로필)디에탄올아민, 1,2,3-부탄트리올, 1,3-사이클로헥산다이아민, 1,4-사이클로헥산디올, 글리세롤로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상을 사용할 수 있으 며, 이들로만 한정되지 않고 당 기술 분야에 알려져 있는 것들을 사용할 수 있다.At the time of introduction of polyoxyethylene group excellent in developing speed and storage stability, the suitable mole number of oxyethylene group is about 1 to 30 mole. Too small an oxyethylene group will reduce hydrophilicity, which will not help to improve the development speed. Too much oxyethylene group will cause too long a chain length to reduce the degree of crosslinking. Most preferably, the number-of-moles of an oxyethylene group are 4-15 mol. Specific examples of the compound that can be used as a precursor of the compound into which the polyfunctional polyoxyethylene group is introduced include ethylene glycol, diethylene glycol, triethylene glycol, tetraethylene glycol, glycerol, trimethanol, trimethylolpropanol, pentaerythritol, and dipentaerythritol , 3-methoxy-1,2-propanediol, adonitol, L-2-aminoadipic acid, 2-aminobenzenethiol, 4-aminobenzenethiol, DL-2-amino-1-butanol, 4-amino -1-butanol, 2-aminoethanethiol, 2- (2-aminoethylamino) ethanol, 2-amino-1,3-propanediol, N- (3-aminopropyl) diethanolamine, 1,2,3 Butanetriol, 1,3-cyclohexanediamine, 1,4-cyclohexanediol, glycerol may be used at least one selected from the group consisting of, but is not limited to those known in the art Can be used.
다관능성 모노머의 함량은 조성물 총 중량을 기준으로 0.001 내지 10 중량% 가 바람직하다.The content of the multifunctional monomer is preferably 0.001 to 10% by weight based on the total weight of the composition.
본 발명의 조성물에 포함될 수 있는 알칼리 가용성 수지 바인더로서는 산가가 약 30 내지 300 KOHmg/g이고, 중량 평균 분자량이 1,000~200,000의 범위인 바인더를 사용하는 것이 바람직하며, 중량 평균 분자량 5,000~100,000의 범위인 바인더가 더욱 바람직하다. 알칼리 가용성 수지 바인더 제조에 사용되는 모노머로는 (메타)아크릴산, 말레인산, 푸마르산 등으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상의 화합물을 사용하는 것이 바람직하나 이들에만 한정되는 것은 아니다. As the alkali-soluble resin binder which may be included in the composition of the present invention, it is preferable to use a binder having an acid value of about 30 to 300 KOHmg / g and a weight average molecular weight of 1,000 to 200,000, and a weight average molecular weight of 5,000 to 100,000 Phosphorus binder is more preferred. As a monomer used for alkali-soluble resin binder manufacture, it is preferable to use 1 or more types of compounds chosen from the group which consists of (meth) acrylic acid, maleic acid, a fumaric acid, etc., but is not limited to these.
상기 산기를 포함하는 모노머와 공중합 가능한 모노머로는 벤질(메타)아크릴레이트, 메틸(메타)아크릴레이트, 히드록시에틸(메타)아크릴레이트, p-노닐페녹시폴리에틸렌글리콜(메타)아크릴레이트, 스티렌, N-비닐 피롤리돈, 1-아다만탄 카복실릭에시드-2-비닐옥시에틸에스테르, 2-메톡시부틸-2-아다만틸메타크릴레이트, 5-메타크릴옥시-6-하이드록시노보넨-2-카복실릭-6-락톤, 3-하이드록시-1-아다만틸메타크릴레이트로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상의 화합물을 사용하는 것이 바람직하나 이들에만 한정되는 것은 아니다.Monomers copolymerizable with the monomer containing an acid group include benzyl (meth) acrylate, methyl (meth) acrylate, hydroxyethyl (meth) acrylate, p-nonylphenoxypolyethylene glycol (meth) acrylate, styrene, N-vinyl pyrrolidone, 1-adamantane carboxylate-2-vinyloxyethyl ester, 2-methoxybutyl-2-adamantyl methacrylate, 5-methacryloxy-6-hydroxynorbornene Preference is given to using one or more compounds selected from the group consisting of 2-carboxy-6-lactone and 3-hydroxy-1-adamantyl methacrylate, but not limited thereto.
알칼리 가용성 수지 바인더의 함량은 조성물 총 중량을 기준으로 1 내지 30 중량% 가 바람직하다.The content of the alkali-soluble resin binder is preferably 1 to 30% by weight based on the total weight of the composition.
본 발명의 감광성 수지 조성물에 있어서 광중합 개시제로는 2,4-트리클로로메틸-(4'-메톡시페닐)-6-트리아진, 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논, 2,4,6-트리 메틸아미노벤조페논, 3-벤조일-7-(디에틸아미노)쿠마린, 3-벤조일-7-메톡시-쿠마린 등으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상의 화합물을 사용할 수 있으나, 이들에만 한정되는 것은 아니다. 광중합 개시제의 함량은 조성물 총 중량을 기준으로 0.1 내지 10 중량% 가 바람직하다.In the photosensitive resin composition of this invention, as a photoinitiator, 2, 4- trichloromethyl- (4'-methoxyphenyl) -6-triazine, 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone, 2, One or more compounds selected from the group consisting of 4,6-tri methylaminobenzophenone, 3-benzoyl-7- (diethylamino) coumarin, 3-benzoyl-7-methoxy-coumarin, and the like can be used. It is not limited only to. The content of the photopolymerization initiator is preferably 0.1 to 10% by weight based on the total weight of the composition.
본 발명의 감광성 수지 조성물에 있어서 착색제로는 1종 이상의 안료, 염료, 또는 이들의 혼합물을 사용하는 것이 바람직하다. 바람직한 착색제로는 C.I.PIGMENT RED 3, 23, 97, 108, 122, 139, 140, 141, 142, 143, 144, 149, 166, 168, 175, 177, 180, 185, 189, 190, 192, 202, 214, 215, 220, 221, 224, 230, 235, 242, 254, 255, 260, 262, 264, 272; C.I. PIGMENT GREEN 7,36; C.I. PIGMENT blue 15:1, 15:3, 15:4, 15:6, 16, 22, 28, 36, 60, 64; C.I. PIGMENT yellow 13, 14, 35, 53, 83, 93, 95, 110, 120, 138, 139, 150, 151, 154, 175, 180, 181, 185, 194, 213; C.I. PIGMENT VIOLET 15, 19, 23, 29, 32, 37 등이 있다. 착색제의 함량은 조성물 총 중량을 기준으로 0.5 내지 40 중량% 가 바람직하다.In the photosensitive resin composition of this invention, it is preferable to use 1 or more types of pigment, dye, or a mixture thereof as a coloring agent. Preferred colorants include CIPIGMENT RED 3, 23, 97, 108, 122, 139, 140, 141, 142, 143, 144, 149, 166, 168, 175, 177, 180, 185, 189, 190, 192, 202 , 214, 215, 220, 221, 224, 230, 235, 242, 254, 255, 260, 262, 264, 272; C.I. PIGMENT GREEN 7,36; C.I. PIGMENT blue 15: 1, 15: 3, 15: 4, 15: 6, 16, 22, 28, 36, 60, 64; C.I. PIGMENT yellow 13, 14, 35, 53, 83, 93, 95, 110, 120, 138, 139, 150, 151, 154, 175, 180, 181, 185, 194, 213; C.I. PIGMENT VIOLET 15, 19, 23, 29, 32, 37 and the like. The content of the colorant is preferably 0.5 to 40% by weight based on the total weight of the composition.
본 발명의 감광성 수지 조성물에 있어서, 용매로는 아세톤, 메틸에틸케톤, 메틸이소부틸케톤, 에틸렌글리콜 디에틸에테르, 프로필렌글리콜 디메틸에테르, 프로필렌글리콜 디에틸에테르, 시클로헥사논, 시클로펜타논, 디프로필렌글리콜 모노메틸에테르 등으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상의 것을 사용하는 것이 바람직하나, 이들에만 한정되는 것은 아니다. 용매는 조성물 총 중량을 기준으로 10 내지 95 중량% 로 포함될 수 있다.In the photosensitive resin composition of this invention, as a solvent, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, ethylene glycol diethyl ether, propylene glycol dimethyl ether, propylene glycol diethyl ether, cyclohexanone, cyclopentanone, dipropylene It is preferable to use one or more selected from the group consisting of glycol monomethyl ether and the like, but is not limited thereto. The solvent may be included in 10 to 95% by weight based on the total weight of the composition.
본 발명의 감광성 수지 조성물은 상기 성분들 이외에 에텔렌성 불포화결합을 가지는 중합성 화합물을 더 포함할 수 있다. 에틸렌성 불포화 결합을 가지는 중합성 화합물로는, 트리메틸올프로판 디(메타)아크릴레이트, 펜타에리스리톨 테트라(메타)아크릴레이트, 트리메텔올프로판 트리글리시딜에테르아크릴산 부가물로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상의 화합물을 사용하는 것이 바람직하나, 이들에만 한정되는 것은 아니다. 사용된다면, 에틸렌성 불포화 결합을 가지는 중합성 화합물은 조성물의 100 중량부 대비 0.5 내지 10 중량부로 포함되는 것이 바람직하다.The photosensitive resin composition of the present invention may further include a polymerizable compound having an ethylene unsaturated bond in addition to the above components. As a polymeric compound which has an ethylenically unsaturated bond, 1 type chosen from the group which consists of a trimethylol propane di (meth) acrylate, a pentaerythritol tetra (meth) acrylate, and a trimethelol propane triglycidyl ether acrylic acid addition product Although it is preferable to use the above compound, it is not limited only to these. If used, the polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond is preferably included in 0.5 to 10 parts by weight relative to 100 parts by weight of the composition.
또한, 본 발명의 감광성 수지 조성물은 이 외에도 광증감제, 착색제, 경화촉진제, 열 중합 억제제, 가소제, 접착 촉진제, 충전제 및 계면활성제로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 첨가제를 더 포함할 수 있다. 포함된다면, 첨가제는 조성물의 총 중량 대비 0.01 내지 20 중량부로 첨가되는 것이 바람직하다.In addition, the photosensitive resin composition of the present invention may further include at least one additive selected from the group consisting of photosensitizers, colorants, curing accelerators, thermal polymerization inhibitors, plasticizers, adhesion promoters, fillers, and surfactants. If included, the additive is preferably added at 0.01 to 20 parts by weight based on the total weight of the composition.
이하, 실시예 및 비교예를 통해 본 발명을 보다 구체적으로 설명하지만 본 발명이 이들에 의해 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples and Comparative Examples, but the present invention is not limited thereto.
<합성예 1>Synthesis Example 1
알코올 100g과 KOH 0.2g(50% 수용액)을 촉매 반응기에 주입하고 혼합물을 120~130℃도 가열한 뒤, 진공 하에서 건조(물 농도가 <200ppm)한 후 혼합물을 본 반응기로 주입하였다. 이 때 반응온도가 145℃까지 상승하면 외부 열교환기의 주입을 멈추고 에틸렌옥사이드 가스와 질소 가스를 서서히 주입하면서 160 - 180℃까지 반응 온도가 상승하는 것을 관찰하였다. 적정량의 에틸렌옥사이드 가스를 반응온도가 유지되도록 주입하였다. 적정량의 에틸렌옥사이드 주입이 완료된 후 반응 압력이 변화가 없을 때까지 미반응 에틸렌옥사이드는 반응 온도를 유지하는데 소비되었다. 반응 완료 후 HCl로 중화하여 반응을 종료하였다. 이렇게 얻어진 물질을 여과하여 염을 제거하였다. 100 g of alcohol and 0.2 g of KOH (50% aqueous solution) were injected into the catalytic reactor, and the mixture was heated to 120 to 130 ° C., and then dried under vacuum (water concentration of <200 ppm), and then the mixture was injected into the reactor. At this time, when the reaction temperature rises to 145 ° C, the injection of the external heat exchanger was stopped and the reaction temperature increased to 160-180 ° C while slowly injecting ethylene oxide gas and nitrogen gas. An appropriate amount of ethylene oxide gas was injected to maintain the reaction temperature. After completion of the appropriate amount of ethylene oxide injection, unreacted ethylene oxide was consumed to maintain the reaction temperature until the reaction pressure remained unchanged. After the reaction was completed, the reaction was terminated by neutralizing with HCl. The material thus obtained was filtered to remove salts.
이와 같이 얻어진 물질 100g에 메타크릴산 100g, 황산 0.1g, 페노티아진(phenothiazine) 0.1g, 톨루엔 500g을 딘스타크 트랩(Dean-stark trap)이 장착된 반응기에 넣고 80℃로 가열하고 물을 제거하면서 12시간동안 가열하여 반응을 진행하였다. 이후 온도를 낮추고 CaCO3를 넣고 약간 가열하여 황산칼슘으로 형성시켜서 황산을 제거 후 용매를 진공 하에 제거하여 화학식 6의 화합물 (n=2, R1=CH3) 을 얻었다.To 100 g of the material thus obtained, 100 g of methacrylic acid, 0.1 g of sulfuric acid, 0.1 g of phenothiazine and 0.1 g of toluene were placed in a reactor equipped with a Dean-stark trap, heated to 80 ° C., and water was removed. The reaction proceeded by heating for 12 hours. After the temperature was lowered, CaCO 3 was added and the mixture was slightly heated to form calcium sulfate. The sulfuric acid was removed, and then the solvent was removed under vacuum to obtain a compound of Chemical Formula 6 (n = 2, R 1 = CH 3 ).
H-NMR (ppm, CDCl3) : 6.13(s, 1H), 5.58(s, 1H), 4.30(t, 2H), 3.65(t, 2H), 3.57(d, 2H), 1.95(s, 3H) H-NMR (ppm, CDCl 3 ): 6.13 (s, 1H), 5.58 (s, 1H), 4.30 (t, 2H), 3.65 (t, 2H), 3.57 (d, 2H), 1.95 (s, 3H )
<합성예 2>Synthesis Example 2
알코올 대신 글리세롤 100g을 사용한 것을 제외하고는 합성예 1과 동일한 방 법으로 화학식 7(n= 1, R1= CH3)의 화합물을 제조하였다. A compound of Chemical Formula 7 (n = 1, R 1 = CH 3 ) was prepared in the same manner as in Synthesis Example 1 except that 100 g of glycerol was used instead of alcohol.
H-NMR (ppm, CDCl3) : 6.13 (s, 1H), 5.58 (s, 1H), 4.30(t, 2H), 3.75(t, 2H), 3.65(b, 8H), 3.57(b, 1H), 1.95(s, 3H) H-NMR (ppm, CDCl 3 ): 6.13 (s, 1H), 5.58 (s, 1H), 4.30 (t, 2H), 3.75 (t, 2H), 3.65 (b, 8H), 3.57 (b, 1H ), 1.95 (s, 3H)
<합성예 3>≪ Synthesis Example 3 &
알코올 대신 3,6-비스(히드록시메틸)모폴린-2,5-디올 100g을 사용한 것을 제외하고는 합성 예 1과 동일한 방법으로 화학식 8의 화합물을 제조하였다. A compound of Chemical Formula 8 was prepared in the same manner as in Synthesis Example 1, except that 100 g of 3,6-bis (hydroxymethyl) morpholine-2,5-diol was used instead of alcohol.
H-NMR (ppm, CDCl3) : 6.13 (s, 4H), 5.58 (s, 4H), 5.34(d, 1H), 5.01(d, 1H), 4.54(d, 1H), 4.30(t, 8H), 3.65(t, 8H), 3.54(s, 30H), 1.95(s, 12H) H-NMR (ppm, CDCl 3 ): 6.13 (s, 4H), 5.58 (s, 4H), 5.34 (d, 1H), 5.01 (d, 1H), 4.54 (d, 1H), 4.30 (t, 8H ), 3.65 (t, 8H), 3.54 (s, 30H), 1.95 (s, 12H)
<합성예 4>≪ Synthesis Example 4 &
알코올 대신 2-아미노부탄-1-올 100g을 사용한 것을 제외하고는 합성예 1과 동일한 방법으로 화학식 9의 화합물을 제조하였다. A compound of Chemical Formula 9 was prepared in the same manner as in Synthesis Example 1, except that 100 g of 2-aminobutan-1-ol was used instead of alcohol.
H-NMR (ppm, CDCl3) : 6.13(s, 3H), 5.58(s, 3H), 4.32(m, 6H), 3.65(m, 8H), 3.54(s, 16H), 3.47(t, 4H), 2.54(t, 4H), 1.95(s, 9H), 0.96(t, 3H) H-NMR (ppm, CDCl 3 ): 6.13 (s, 3H), 5.58 (s, 3H), 4.32 (m, 6H), 3.65 (m, 8H), 3.54 (s, 16H), 3.47 (t, 4H ), 2.54 (t, 4H), 1.95 (s, 9H), 0.96 (t, 3H)
<비교예 A>Comparative Example A
유기안료로서는 칼라인덱스명으로 피그먼트 레드 254 분산액을 안료 기준으로 40g을 사용하였다. 알칼리 가용성수지로서 아크릴산/메타크릴산/2-하이드록시 에틸메타크릴레이트/벤질메타크릴레이트 공중합체(공중합비= 10/10/10/70, 수평균분자량 10,000) 25g, 광중합개시제로서 2,2-비스(2,4-디클로로페닐)-4,4,5,5-테트라페닐-1,2-디이미다졸 5g과 4,4-비스(디에틸아미노)벤조페논 5g과 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-몰포리노페닐)부탄-1-온 10g, 또, 촉매로서 γ-메타크릴록시프로필메틸디메톡시실란 10g, 다관능성 모노머로서 화학식 6의 화합물 15g을 용매인 에틸렌글리콜 에틸에테르 아세테이트 145g과 섞어 255g의 포토레지스트 액상 조성물을 제조하였다. As the organic pigment, 40 g of Pigment Red 254 dispersion liquid was used as the color index name based on the pigment. 25 g of acrylic acid / methacrylic acid / 2-hydroxy ethyl methacrylate / benzyl methacrylate copolymer (copolymerization ratio = 10/10/10/70, number average molecular weight 10,000) as alkali-soluble resin, 2,2 as photoinitiator 5 g of bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4,5,5-tetraphenyl-1,2-diimidazole and 5 g of 4,4-bis (diethylamino) benzophenone and 2-benzyl-2 10 g of -dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one, and 10 g of γ-methacryloxypropylmethyldimethoxysilane as a catalyst, and 15 g of the compound of the formula (6) as a polyfunctional monomer 255 g of a photoresist liquid composition was prepared by mixing with 145 g of ethyl ether acetate.
다음으로, 포토레지스트 액상 조성물을 유리기판에 코팅한 후, 코팅된 기판을 약 100℃에서 2분간 베이킹하여 2.0㎛의 막을 얻었다. 베이킹한 기판을 실온까지 냉각한 후 포토마스크(photomask)를 기판 사이에 두고 고압 수은 램프를 사용하여 각 파장을 함유하는 자외선을 100mJ/㎠ 의 노광량으로 노광시켜 패턴을 형성하였다.Next, after coating the photoresist liquid composition on a glass substrate, the coated substrate was baked at about 100 ° C. for 2 minutes to obtain a film having a thickness of 2.0 μm. After baking the board | substrate to room temperature, the pattern was formed by exposing the ultraviolet-ray containing each wavelength by the exposure amount of 100mJ / cm <2> using a high pressure mercury lamp, using a photomask between substrates.
<비교예 B><Comparative Example B>
화학식 6의 화합물 대신 화학식 7의 화합물 15g을 사용한 것을 제외하고는 비교예 A와 동일한 방법으로 상기 감광성 수지 조성물 용액으로 필름을 형성한 후 노광시켜 패턴을 형성하였다.A pattern was formed by exposing a film to the photosensitive resin composition solution in the same manner as in Comparative Example A, except that 15 g of the compound of Formula 7 was used instead of the compound of Formula 6.
<실시예 1>≪ Example 1 >
화학식 6의 화합물 대신 화학식 8의 화합물 15g을 사용한 것을 제외하고는 비교예 A와 동일한 방법으로 상기 감광성 수지 조성물 용액으로 필름을 형성한 후 노광시켜 패턴을 형성하였다.A pattern was formed by exposing and then forming a film with the photosensitive resin composition solution in the same manner as in Comparative Example A, except that 15 g of the compound of Formula 8 was used instead of the compound of Formula 6.
<실시예 2><Example 2>
화학식 6의 화합물 대신 화학식 9의 화합물 15g을 사용한 것을 제외하고는 비교예 A와 동일한 방법으로 상기 감광성 수지 조성물 용액으로 필름을 형성한 후 노광시켜 패턴을 형성하였다.A pattern was formed by exposing and then forming a film with the photosensitive resin composition solution in the same manner as in Comparative Example A, except that 15 g of the compound of Formula 9 was used instead of the compound of Formula 6.
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<비교예 1>Comparative Example 1
화학식 6의 화합물 대신 트리메틸올프로판다이아크릴레이트 15g을 사용한 것을 제외하고는 비교예 A와 동일한 방법으로 상기 감광성 수지 조성물 용액으로 필름을 형성한 후 노광시켜 패턴을 형성하였다.Except for using 15 g of trimethylolpropane diacrylate instead of the compound of Formula 6 in the same manner as in Comparative Example A to form a film with the photosensitive resin composition solution and then exposed to form a pattern.
<비교예 2>Comparative Example 2
화학식 6의 화합물 대신 펜타에리스리톨메타크릴레이트 15g을 사용한 것을 제외하고는 비교예 A와 동일한 방법으로 상기 감광성 수지 조성물 용액으로 필름을 형성한 후 노광시켜 패턴을 형성하였다.Except for using 15 g of pentaerythritol methacrylate instead of the compound of Formula 6 in the same manner as in Comparative Example A to form a film with the photosensitive resin composition solution and then exposed to form a pattern.
<비교예 3>Comparative Example 3
알칼리 가용성수지인 아크릴산/메타크릴산/2-하이드록시 에틸메타크릴레이트/벤질메타크릴레이트 공중합체의 공중합비를 10/30/10/50으로 한 것과, 다관능성 모노머로서 화학식 6의 화합물 대신 디펜타에리스리톨 헥사아크릴레이트 15g을 사용한 것을 제외하고는 비교예 A와 동일한 방법으로 상기 감광성 수지 조성물 용액으로 필름을 형성한 후 노광시켜 패턴을 형성하였다.The copolymerization ratio of the acrylic acid / methacrylic acid / 2-hydroxy ethyl methacrylate / benzyl methacrylate copolymer, which is an alkali-soluble resin, was set to 10/30/10/50, and as a polyfunctional monomer, Except that 15 g of pentaerythritol hexaacrylate was used, a film was formed using the photosensitive resin composition solution in the same manner as in Comparative Example A and then exposed to form a pattern.
<비교예 4><Comparative Example 4>
화학식 6의 화합물 대신 폴리에틸렌글리콜 400을 1g으로 사용한 것을 제외하고는 비교예 A와 동일한 방법으로 상기 감광성 수지 조성물 용액으로 필름을 형성한 후 노광시켜 패턴을 형성하였다.Except for using the polyethylene glycol 400 in 1g instead of the compound of formula 6 in the same manner as in Comparative Example A to form a film with the photosensitive resin composition solution and then exposed to form a pattern.
<실시예 및 비교예의 평가><Evaluation of Examples and Comparative Examples>
실시예 및 비교예에서 형성된 패턴을 이용하여 각각의 조성물에 대한 평가를 실시하였다.Each composition was evaluated using the pattern formed in the Example and the comparative example.
먼저, 패턴을 pH가 12.0인 수산화칼륨 수용액으로 현상하고 세척하였으며 이를 220℃에서 약 30분간 후열 처리하였다.First, the pattern was developed and washed with an aqueous potassium hydroxide solution having a pH of 12.0 and subjected to post-heat treatment at 220 ° C. for about 30 minutes.
표면 조도:Surface roughness:
유리 표면과 패턴의 상태를 원자힘현미경(AFM)으로 측정하였다. The state of the glass surface and the pattern was measured by atomic force microscope (AFM).
현상속도:Developing Speed:
칼라필터 1장을 현상하기 위한 속도로 표시하였으며 수치가 작을수록 현상속도가 빠름을 알 수 있다. One color filter is displayed as the speed for developing, and the smaller the value, the faster the developing speed.
최소노광량:Minimum exposure:
감도평가를 위해 패턴을 형성하기 위한 최소 노광량(Eth)을 측정(투과도가 다른 마스크 사용)하였다. The minimum exposure dose Eth for forming a pattern for sensitivity evaluation was measured (using a mask having a different transmittance).
저장안정성:Storage stability:
실시예 1 및 2와, 비교예 A, B 및 1 내지 4에서 제조된 조성물을 브룩필드사 제품의 LDVE II를 이용하여 60rpm에서 초기 점도를 측정했다. 45℃로 유지되는 저온배양기에 넣은 후 4주 후 점도를 측정하여 경시적 점도 변화를 확인하였다. 일반적으로 4주 동안 점도변화가 10% 이내이면 우수한 저장안정성을 가졌다고 할 수 있다.The compositions prepared in Examples 1 and 2 and Comparative Examples A, B and 1 to 4 were measured for initial viscosity at 60 rpm using LDVE II from Brookfield. After 4 weeks in the low temperature incubator maintained at 45 ℃ viscosity was measured to determine the change in viscosity over time. In general, if the viscosity change within 10% for 4 weeks it can be said to have excellent storage stability.
상기 평가 결과를 하기 표 1에 나타내었다.The evaluation results are shown in Table 1 below.
상기 표 1의 결과를 볼 때, 본 발명에 따르는 화합물이 첨가된 실시예 1 및 2의 경우, 비교예 A, B 및 1 내지 4에 비하여 현상 속도, 표면 조도 및 저장안정성 등에서 더욱 우수함을 알 수 있다.From the results of Table 1, it can be seen that in the case of Examples 1 and 2 to which the compound according to the present invention is added, it is more excellent in development speed, surface roughness and storage stability than Comparative Examples A, B and 1 to 4. have.
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JPH1062986A (en) * | 1996-08-21 | 1998-03-06 | Fuji Photo Film Co Ltd | Radiation sensitive colored composition |
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- 2008-06-03 KR KR1020080052131A patent/KR100993530B1/en not_active IP Right Cessation
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KR20090126004A (en) | 2009-12-08 |
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