KR20120138678A - Curable resin compositions containing alicyclic epoxy group, preparation process thereof, and cured article therefrom - Google Patents

Curable resin compositions containing alicyclic epoxy group, preparation process thereof, and cured article therefrom Download PDF

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야스노부 나카가와
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Abstract

PURPOSE: An alicyclic epoxy based - containing curable resin composition, a manufacturing method thereof and the cured product are provided to enhance resin solubility and aging stability. CONSTITUTION: An alicyclic epoxy based - containing curable resin composition comprises a copolymer including monomer units correspond with acrylic epoxy containing polymerizable unsaturated compound and monomer units including alkali soluble group, and solvent containing 30-100 wt% of dipropyl glycol dimethyl ether based on the total solvent. A manufacturing method of the curable resin composition comprises the following steps: manufacturing a copolymer by using solvent including dipropyl glycol dimethyl ether; or solvent exchanging the copolymer solvent into a solvent containing dipropyleneglycol dimethyl ether.

Description

지환식 에폭시기 함유 경화성 수지 조성물, 그의 제조 방법 및 그의 경화물{CURABLE RESIN COMPOSITIONS CONTAINING ALICYCLIC EPOXY GROUP, PREPARATION PROCESS THEREOF, AND CURED ARTICLE THEREFROM}Alicyclic epoxy group-containing curable resin composition, its manufacturing method, and its hardened | cured material {CURABLE RESIN COMPOSITIONS CONTAINING ALICYCLIC EPOXY GROUP, PREPARATION PROCESS THEREOF, AND CURED ARTICLE THEREFROM}

본 발명은 반도체 공정에 있어서 원자외선, 전자선, 이온빔, X선 등의 활성 광선을 이용한 리소그래피나, 액정 표시 소자, 집적 회로 소자, 고체 촬상 소자 등의 전자 부품에 설치되는 절연막, 보호막 등을 형성하기 위한 재료에 이용되는 감방사선성 수지, 액정 표시 재료(액정 표시용 포토스페이서, 액정 표시용 리브 형성 재료, 오버 코팅, 컬러 필터 형성용 컬러 레지스트, TFT 절연막 등)를 형성하기 위한 액정 레지스트용 재료, 도료, 코팅제, 점접착제 등으로서 사용되는 지환식 에폭시기 함유 경화성 수지 조성물, 그의 제조 방법 및 그의 경화물에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to lithography using actinic rays such as far ultraviolet rays, electron beams, ion beams, X-rays, semiconductors, liquid crystal display devices, integrated circuit devices, and insulating films provided in electronic components such as solid-state imaging devices. Material for liquid crystal resist for forming radiation-sensitive resin, liquid crystal display material (liquid crystal display photospacer, liquid crystal display rib forming material, overcoating, color filter forming color resist, TFT insulating film, etc.) used for the material for The alicyclic epoxy group containing curable resin composition used for coating, a coating agent, an adhesive agent, etc., its manufacturing method, and its hardened | cured material are related.

액상 포토레지스트(이하, 「레지스트」라고도 함)에 이용되는 용매로는 종래 여러가지가 알려져 있고, 레지스트 수지 조성물의 용해성, 도포성, 감도, 현상성, 형성되는 패턴 특성 등을 고려하여 적절한 용제(용매)가 선택, 사용되고 있다. 상기 용해성, 도포성, 레지스트 형성 특성 등 여러 특성이 우수한 용제로서, 예를 들면 에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트가 알려져 있었지만, 인체에 대한 안전성의 문제가 지적된 후에는 레지스트의 용매로서 전혀 사용되지 않게 되고, 이 대신 안전성이 높은 용매로서 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 등이 주로 사용되어 왔다(특허문헌 1 내지 3 등). 또한, 안전성이 높은 용매로서 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 이외에도 에틸락테이트 및 메틸-n-아밀케톤 등이 알려져 있다.As a solvent used for a liquid photoresist (hereinafter also referred to as a "resist"), various kinds of solvents are conventionally known, and an appropriate solvent (solvent) in consideration of the solubility, coating property, sensitivity, developability, pattern characteristics formed, and the like of the resist resin composition. ) Is selected and used. As a solvent having excellent properties such as solubility, coating property, and resist formation property, for example, ethylene glycol monoethyl ether acetate has been known, but it is not used at all as a solvent of a resist after a problem of safety to the human body has been pointed out. Instead, propylene glycol monomethyl ether acetate and the like have been mainly used as solvents having high safety (Patent Documents 1 to 3 and the like). In addition to propylene glycol monomethyl ether acetate, ethyl lactate, methyl-n-amyl ketone and the like are known as solvents having high safety.

그러나, 에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트에 비하여 안전성이 높다는 이들 용제에 대해서 살펴 보면, 레지스트 형성 특성 및 수지 용해성 등의 특성이 충분하지 않다는 문제가 있다. 예를 들면 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트의 경우, 레지스트를 기판 상에 도포, 성막하였을 때 용제의 잔막률(제막 후 막 중의 용제 잔존율을 말함)이 높고, 선폭 균일성, 현상시 레지스트막의 밀착성 등의 저하의 문제가 있었다. 그 원인으로서, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 자신은 증발 속도가 빠른 용제이지만, 레지스트 수지의 용제로서 이용하면 도포 표면만 증발이 진행되어 표면에 이른바 피막이 형성되고, 그렇기 때문에 도포면 내부에 포함된 용제가 증발하기 어려워지는 것을 들 수 있다. 또한, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트는 에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트에 비하여 수지 용해성, 개시제 용해성 등이 떨어진다는 것이 알려져 있다. 또한, 특히 측쇄에 지환식 에폭시기를 갖는 공중합 수지를 함유하는 경화성 수지 조성물을 장기간 보관한 경우, 조성물의 경시 안정성이 낮다는 문제도 있다. 이 때문에 안전성이 높고, 또한 수지 용해성, 개시제 용해성, 수지 조성물의 경시 안정성이 우수한 용매가 요구되고 있다.However, when looking at these solvents which are higher in safety than ethylene glycol monoethyl ether acetate, there exists a problem that characteristics, such as a resist formation characteristic and resin solubility, are not enough. For example, in the case of propylene glycol monomethyl ether acetate, when the resist is applied onto a substrate and formed into a film, the residual film ratio of the solvent (representing the solvent residual ratio in the film after film formation) is high, and the line width uniformity and the adhesion of the resist film during development There was a problem of degradation. As a cause, propylene glycol monomethyl ether acetate itself is a solvent having a high evaporation rate, but when used as a solvent of the resist resin, only the coating surface evaporates and a so-called film is formed on the surface. Therefore, the solvent contained in the coating surface evaporates. It becomes difficult to do that. Moreover, it is known that propylene glycol monomethyl ether acetate is inferior to resin solubility, initiator solubility, etc. compared with ethylene glycol monoethyl ether acetate. Moreover, especially when curable resin composition containing the copolymer resin which has an alicyclic epoxy group in a side chain is stored for a long time, there also exists a problem that stability of a composition with time is low. For this reason, the solvent which is high in safety and excellent in resin solubility, initiator solubility, and time-lapse stability of a resin composition is calculated | required.

일본 특허 공고 (평)3-1659호 공보Japanese Patent Publication No. 3-1659 일본 특허 공고 (평)4-56973호 공보Japanese Patent Publication (Pyeong) 4-56973 일본 특허 공고 (평)4-49938호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-49938

따라서 본 발명의 목적은, 측쇄에 지환식 에폭시기를 포함하는 공중합 수지를 함유하는 경화성 수지 조성물이며, 안전성이 높고, 수지 용해성 등이 우수할 뿐 아니라 경시 안정성이 우수한 경화성 수지 조성물, 상기 경화성 수지 조성물의 제조 방법, 및 상기 경화성 수지 조성물을 경화시켜 얻어지는 경화물을 제공하는 것에 있다. Accordingly, an object of the present invention is a curable resin composition containing a copolymerized resin containing an alicyclic epoxy group in a side chain, and has high safety, excellent resin solubility, and the like, and excellent curability resin composition with time stability. It is providing the hardened | cured material obtained by hardening a manufacturing method and the said curable resin composition.

본 발명의 다른 목적은 막 두께가 균일하고, 기판에 대한 밀착성 및 내용제성이 우수한 도막(레지스트막 등)을 형성할 수 있는 경화성 수지 조성물, 상기 경화성 수지 조성물의 제조 방법, 및 상기 경화성 수지 조성물을 경화하여 얻어지는 경화물을 제공하는 것에 있다.Another object of the present invention is to provide a curable resin composition capable of forming a coating film (resist film, etc.) having a uniform film thickness and excellent adhesion to a substrate and solvent resistance, a method for producing the curable resin composition, and the curable resin composition. It is providing the hardened | cured material obtained by hardening.

본 발명자들은 상기한 문제점을 해결하기 위해 예의 연구를 행한 결과, 지환식 에폭시기를 포함하는 구조 단위와 알칼리 가용성기를 포함하는 구조 단위를 갖는 공중합 수지와, 용매로서 디프로필렌글리콜디메틸에테르를 포함하는 경화성 수지 조성물이 상기한 문제점을 해소할 수 있다는 것을 발견하여, 본 발명을 완성하기에 이르렀다.MEANS TO SOLVE THE PROBLEM As a result of earnestly researching in order to solve the said problem, the present inventors found that copolymer resin which has a structural unit containing an alicyclic epoxy group, and a structural unit containing an alkali-soluble group, and curable resin containing dipropylene glycol dimethyl ether as a solvent. It has been found that the composition can solve the above-mentioned problems, and have completed the present invention.

즉 본 발명은 (A) 지환식 에폭시기 함유 중합성 불포화 화합물에 대응하는 단량체 단위 및 (B) 알칼리 가용성기를 포함하는 단량체 단위를 포함하는 공중합체와, 디프로필렌글리콜디메틸에테르를 전체 용매 중 30 내지 100 질량% 함유하는 용매를 포함하는 것을 특징으로 하는 경화성 수지 조성물을 제공한다.That is, the present invention provides a copolymer comprising a monomer unit corresponding to (A) an alicyclic epoxy group-containing polymerizable unsaturated compound and (B) a monomer unit containing an alkali-soluble group, and dipropylene glycol dimethyl ether in a total of 30 to 100 solvents. It provides the curable resin composition characterized by including the solvent containing mass%.

(A) 지환식 에폭시기 함유 중합성 불포화 화합물은 3,4-에폭시시클로헥실메틸(메트)아크릴레이트, 3,4-에폭시트리시클로[5.2.1.02,6]데칸-8 또는 9-일(메트)아크릴레이트로부터 선택된 적어도 1종의 화합물일 수도 있다.(A) The alicyclic epoxy group-containing polymerizable unsaturated compound is 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate, 3,4-epoxytricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane-8 or 9-yl (meth It may be at least one compound selected from acrylate.

상기 공중합체는, 추가로 (C) 에폭시기 비함유 지환식 중합성 불포화 화합물에 대응하는 단량체 단위를 포함할 수도 있다.The said copolymer may further contain the monomeric unit corresponding to (C) epoxy group-containing alicyclic polymerizable unsaturated compound.

또한, 본 발명은 (1) 중합 용매로서, 디프로필렌글리콜디메틸에테르를 함유하는 용매를 사용하여 공중합체를 제조하는 공정, 또는 (2) 공중합체의 용매를, 디프로필렌글리콜디메틸에테르를 함유하는 용매로 용매 교환하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는, 상기한 경화성 수지 조성물의 제조 방법을 제공한다.Moreover, this invention is the process of manufacturing a copolymer using (1) solvent containing dipropylene glycol dimethyl ether as a polymerization solvent, or (2) the solvent of a copolymer containing dipropylene glycol dimethyl ether. It provides the manufacturing method of said curable resin composition characterized by including the process of solvent-exchange.

또한, 본 발명은 상기 경화성 수지 조성물을 경화시켜 얻어지는 경화물을 제공한다.Moreover, this invention provides the hardened | cured material obtained by hardening | curing the said curable resin composition.

본 발명의 경화성 수지 조성물은 안전성이 높고, 수지 용해성이 우수할 뿐 아니라 조성물의 경시 안정성이 우수하다. 본 발명의 경화성 수지 조성물에 따르면, 막 두께가 균일하고, 기판에 대한 밀착성 및 내용제성이 우수한 도막(레지스트막 등)을 형성할 수 있다. 또한, 선폭이 균일하고 경도가 높은 레지스트막을 형성할 수 있다.Curable resin composition of this invention is high in safety, excellent in resin solubility, and excellent in aging stability of a composition. According to the curable resin composition of this invention, the coating film (resist film etc.) which is uniform in film thickness and excellent in adhesiveness with respect to a board | substrate and solvent resistance can be formed. In addition, a resist film with a uniform line width and high hardness can be formed.

[경화성 수지 조성물]Curable Resin Composition

본 발명의 경화성 수지 조성물은, (A) 지환식 에폭시기 함유 중합성 불포화 화합물에 대응하는 단량체 단위 및 (B) 알칼리 가용성기를 포함하는 단량체 단위를 포함하는 공중합체와, 디프로필렌글리콜디메틸에테르를 전체 용매 중 30 내지 100 질량% 함유하는 용매를 포함하는 것을 특징으로 한다.The curable resin composition of this invention is a copolymer containing the monomer unit corresponding to the (A) alicyclic epoxy group containing polymerizable unsaturated compound, and the monomer unit containing (B) alkali-soluble group, and dipropylene glycol dimethyl ether as a whole solvent. It is characterized by including a solvent containing 30 to 100 mass% in.

<공중합체> <Copolymer>

본 발명의 경화성 수지 조성물에 포함되는 공중합체는, (A) 지환식 에폭시기 함유 중합성 불포화 화합물에 대응하는 단량체 단위(구조 단위) 및 (B) 알칼리 가용성기를 포함하는 단량체 단위(구조 단위)를 포함하고 있다.The copolymer contained in curable resin composition of this invention contains the monomer unit (structural unit) corresponding to the (A) alicyclic epoxy group containing polymerizable unsaturated compound, and the monomer unit (structural unit) containing (B) alkali-soluble group. Doing.

<(A) 지환식 에폭시기 함유 중합성 불포화 화합물에 대응하는 단량체 단위><(A) Monomer unit corresponding to alicyclic epoxy group containing polymerizable unsaturated compound>

지환식 에폭시기 함유 중합성 불포화 화합물에 대응하는 단량체 단위는, 대응하는 지환식 에폭시기 함유 중합성 불포화 화합물을 공중합에 가함으로써 중합체 중에 도입될 수 있다.The monomer unit corresponding to an alicyclic epoxy group containing polymeric unsaturated compound can be introduce | transduced in a polymer by adding a corresponding alicyclic epoxy group containing polymeric unsaturated compound to copolymerization.

지환식 에폭시기 함유 중합성 불포화 화합물로는, 예를 들면 3,4-에폭시시클로헥실(메트)아크릴레이트, 3,4-에폭시시클로헥실메틸(메트)아크릴레이트, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)에틸(메트)아크릴레이트, 2-(3,4-에폭시시클로헥실메틸옥시)에틸(메트)아크릴레이트, 3-(3,4-에폭시시클로헥실메틸옥시)프로필(메트)아크릴레이트 등의 3,4-에폭시시클로헥산환 등의 에폭시기 함유 지환식 탄소환을 포함하는 중합성 불포화 화합물((메트)아크릴산에스테르 유도체 등); 5,6-에폭시-2-비시클로[2.2.1]헵틸(메트)아크릴레이트 등의 5,6-에폭시-2-비시클로[2.2.1]헵탄환을 포함하는 중합성 불포화 화합물((메트)아크릴산에스테르 유도체 등); 에폭시화 디시클로펜테닐(메트)아크릴레이트[3,4-에폭시트리시클로[5.2.1.02,6]데칸-9-일(메트)아크릴레이트, 3,4-에폭시트리시클로[5.2.1.02,6]데칸-8-일(메트)아크릴레이트, 또는 이들의 혼합물], 에폭시화 디시클로펜테닐옥시에틸(메트)아크릴레이트[2-(3,4-에폭시트리시클로[5.2.1.02,6]데칸-9-일옥시)에틸(메트)아크릴레이트, 2-(3,4-에폭시트리시클로[5.2.1.02,6]데칸-8-일옥시)에틸(메트)아크릴레이트, 또는 이들의 혼합물], 에폭시화 디시클로펜테닐옥시부틸(메트)아크릴레이트, 에폭시화 디시클로펜테닐옥시헥실(메트)아크릴레이트 등의 3,4-에폭시트리시클로[5.2.1.02,6]데칸환을 포함하는 중합성 불포화 화합물((메트)아크릴산에스테르 유도체 등) 등을 들 수 있다. 이들은 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있다.Examples of the alicyclic epoxy group-containing polymerizable unsaturated compound include 3,4-epoxycyclohexyl (meth) acrylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate, and 2- (3,4-epoxycyclo). Hexyl) ethyl (meth) acrylate, 2- (3, 4- epoxycyclohexyl methyloxy) ethyl (meth) acrylate, 3- (3, 4- epoxycyclohexyl methyloxy) propyl (meth) acrylate, etc. Polymerizable unsaturated compounds ((meth) acrylic acid ester derivative etc.) containing an epoxy-group containing alicyclic carbocyclic ring, such as a 3, 4- epoxycyclohexane ring; A polymerizable unsaturated compound containing a 5,6-epoxy-2-bicyclo [2.2.1] heptane ring such as 5,6-epoxy-2-bicyclo [2.2.1] heptyl (meth) acrylate ((meth ) Acrylic acid ester derivatives); Epoxidized Dicyclopentenyl (meth) acrylate [3,4-epoxytricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane-9-yl (meth) acrylate, 3,4-epoxytricyclo [5.2.1.0 2 , 6 ] decane-8-yl (meth) acrylate, or mixtures thereof], epoxidized dicyclopentenyloxyethyl (meth) acrylate [2- (3,4-epoxytricyclo [5.2.1.0 2, 6 ] decane-9-yloxy) ethyl (meth) acrylate, 2- (3,4-epoxytricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane-8-yloxy) ethyl (meth) acrylate, or these Mixture], 3,4-epoxytricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane ring such as epoxidized dicyclopentenyloxybutyl (meth) acrylate and epoxidized dicyclopentenyloxyhexyl (meth) acrylate A polymerizable unsaturated compound ((meth) acrylic acid ester derivative etc.) containing these etc. are mentioned. These may be used alone or in combination of two or more.

지환식 에폭시기 함유 중합성 불포화 화합물로는, 3,4-에폭시시클로헥산환 등의 에폭시기 함유 지환식 탄소환을 포함하는 중합성 불포화 화합물((메트)아크릴산에스테르 유도체 등)이 바람직하고, 그 중에서도 3,4-에폭시시클로헥실(메트)아크릴레이트, 3,4-에폭시시클로헥실메틸(메트)아크릴레이트, 에폭시화 디시클로펜테닐(메트)아크릴레이트[3,4-에폭시트리시클로[5.2.1.02,6]데칸-9-일(메트)아크릴레이트, 3,4-에폭시트리시클로[5.2.1.02,6]데칸-8-일(메트)아크릴레이트, 또는 이들의 혼합물]가 보다 바람직하다.As the alicyclic epoxy group-containing polymerizable unsaturated compound, a polymerizable unsaturated compound (such as (meth) acrylic acid ester derivative) containing an epoxy group-containing alicyclic carbocyclic ring such as a 3,4-epoxycyclohexane ring is preferable. , 4-epoxycyclohexyl (meth) acrylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate, epoxidized dicyclopentenyl (meth) acrylate [3,4-epoxytricyclo [5.2.1.0 2 , 6 ] decane-9-yl (meth) acrylate, 3,4-epoxytricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane-8-yl (meth) acrylate, or mixtures thereof] is more preferred.

지환식 에폭시기 함유 중합성 불포화 화합물에 대응하는 단량체 단위가 공중합체에서 차지하는 비율은, 이용하는 단량체의 종류나 레지스트의 유형(네가티브형 또는 포지티브형)에 따라서도 다르지만, 통상 공중합체를 구성하는 전체 단량체 단위에 대하여 30 내지 95 질량%이고, 바람직하게는 50 내지 90 질량%, 더욱 바람직하게는 60 내지 85 질량%이다. 지환식 에폭시기 함유 중합성 불포화 화합물에 대응하는 단량체 단위의 함유량을 이와 같은 범위로 함으로써, 주로 내약품성(내용제성, 내알칼리성 등)을 보다 향상시킬 수 있다.The proportion of monomer units corresponding to the alicyclic epoxy group-containing polymerizable unsaturated compound in the copolymer also varies depending on the type of monomers used and the type of resist (negative or positive type), but usually all monomer units constituting the copolymer. It is 30-95 mass% with respect to, Preferably it is 50-90 mass%, More preferably, it is 60-85 mass%. By making content of the monomeric unit corresponding to an alicyclic epoxy group containing polymeric unsaturated compound into such a range, chemical-resistance (solvent resistance, alkali resistance, etc.) can be improved more mainly.

<(B) 알칼리 가용성기를 포함하는 단량체 단위> <(B) Monomer unit containing alkali-soluble group>

알칼리 가용성기를 포함하는 단량체 단위는 중합체에 알칼리 가용성을 부여하는 기능을 갖는다. 이에 따라 중합체는 현상시에 알칼리 수용액(현상액)에 용해된다.The monomer unit containing an alkali soluble group has a function which gives alkali solubility to a polymer. Thereby, a polymer is melt | dissolved in aqueous alkali solution (developer) at the time of image development.

알칼리 가용성기를 포함하는 단량체 단위는 알칼리 가용성기를 갖는 중합성 불포화 화합물을 공중합에 가함으로써 중합체 중에 도입될 수 있다. 상기 알칼리 가용성기로는 레지스트 분야에서 통상 이용되는 기를 사용할 수 있고, 예를 들면 카르복실기, 페놀성 수산기 등을 들 수 있다. 알칼리 가용성기를 갖는 중합성 불포화 화합물의 대표적인 예로서, 불포화 카르복실산 또는 그의 산 무수물, 히드록시스티렌 또는 그의 유도체 등을 들 수 있지만 이들로 한정되지 않는다. 이들 중에서도 특히 불포화 카르복실산 또는 그의 산 무수물이 바람직하다.Monomer units containing alkali-soluble groups can be introduced into the polymer by adding a polymerizable unsaturated compound having an alkali-soluble group to the copolymerization. As said alkali-soluble group, the group normally used in the resist field can be used, For example, a carboxyl group, a phenolic hydroxyl group, etc. are mentioned. Typical examples of the polymerizable unsaturated compound having an alkali-soluble group include, but are not limited to, unsaturated carboxylic acids or acid anhydrides thereof, hydroxystyrenes or derivatives thereof. Among these, especially unsaturated carboxylic acid or its acid anhydride is preferable.

불포화 카르복실산 또는 그의 산 무수물로서, 예를 들면 아크릴산, 메타크릴산, 이타콘산, 크로톤산, 말레산, 푸마르산 등의 α,β-불포화 카르복실산 및 그의 산 무수물(무수 말레산, 무수 이타콘산 등)이 예시된다. 이들 중에서도, 아크릴산, 메타크릴산이 특히 바람직하다. 알칼리 가용성기를 갖는 중합성 불포화 화합물은 단독으로 또는 2 이상을 조합하여 사용할 수 있다.As unsaturated carboxylic acid or its acid anhydride, for example, α, β-unsaturated carboxylic acid such as acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, maleic acid, fumaric acid and acid anhydride thereof (maleic anhydride, itha anhydride) Conic acid, etc.) is illustrated. Among these, acrylic acid and methacrylic acid are particularly preferable. The polymerizable unsaturated compound which has alkali-soluble group can be used individually or in combination of 2 or more.

알칼리 가용성기를 포함하는 단량체 단위가 공중합체에서 차지하는 비율은, 이용하는 단량체의 종류나 레지스트의 유형(네가티브형 또는 포지티브형)에 따라서도 다르지만, 통상 공중합체를 구성하는 전체 단량체 단위에 대하여 5 내지 50 질량%이고, 바람직하게는 5 내지 40 질량%, 더욱 바람직하게는 5 내지 30 질량%이다. 이 비율이 지나치게 작으면 알칼리 현상액에 대하여 용해되기 어려워 현상성이 나빠지는 경우가 있고, 반대로 지나치게 크면 현상 후의 에칭 내성이 나빠지는 경우가 있다.Although the ratio of the monomer unit containing an alkali-soluble group to a copolymer also changes according to the kind of monomer to be used and the type of resist (negative type or positive type), it is 5-50 mass with respect to the total monomer unit which comprises a copolymer normally. %, Preferably it is 5-40 mass%, More preferably, it is 5-30 mass%. When this ratio is too small, it will be difficult to melt | dissolve with respect to alkaline developing solution, and developability may worsen. On the contrary, when too large, etching resistance after image development may worsen.

<(C) 에폭시기 비함유 지환식 중합성 불포화 화합물에 대응하는 단량체 단위> <(C) Monomer unit corresponding to epoxy group-containing alicyclic polymerizable unsaturated compound>

본 발명의 경화성 수지 조성물에 포함되는 공중합체는 상기 단량체 단위 (A), (B) 이외에, (C) 에폭시기 비함유 지환식 중합성 불포화 화합물에 대응하는 단량체 단위(구조 단위)를 포함할 수도 있다.The copolymer contained in curable resin composition of this invention may contain the monomer unit (structural unit) corresponding to the (C) epoxy-group-containing alicyclic polymerizable unsaturated compound other than the said monomer unit (A) and (B). .

에폭시기 비함유 지환식 중합성 불포화 화합물에 대응하는 단량체 단위는, 대응하는 에폭시기 비함유 지환식 중합성 불포화 화합물을 공중합에 가함으로써 중합체 중에 도입될 수 있다. 에폭시기 비함유 지환식 중합성 불포화 화합물에 포함되는 지환으로는, 예를 들면 탄소수 5 내지 20의 지환식 탄화수소환을 들 수 있고, 단환일 수도 있으며, 축합환이나 가교환 등의 다환일 수도 있다. 대표적인 지환식 탄화수소환으로서, 예를 들면 시클로헥산환, 시클로옥탄환, 시클로데칸환, 아다만탄환, 노르보르난환, 노르보르넨환, 보르난환, 이소보르난환, 퍼히드로인덴환, 데칼린환, 퍼히드로플루오렌환(트리시클로[7.4.0.03,8]트리데칸환), 퍼히드로안트라센환, 트리시클로[5.2.1.02,6]데칸환, 트리시클로[4.2.2.12,5]운데칸환, 테트라시클로[4.4.0.12,5.17,10]도데칸환 등을 들 수 있다. 지환식 탄화수소환은 메틸기 등의 알킬기(예를 들면, C1 - 4알킬기 등), 염소 원자, 불소 원자 등의 할로겐 원자, 보호기로 보호될 수도 있는 히드록실기, 옥소기, 보호기로 보호될 수도 있는 카르복실기 등의 치환기를 가질 수도 있다. 지환으로는, 예를 들면 트리시클로[5.2.1.02,6]데칸환, 아다만탄환 등의 다환의 지환식 탄화수소환(가교환식 탄화수소환)인 것이 바람직하다.The monomer unit corresponding to the epoxy group-free alicyclic polymerizable unsaturated compound can be introduced into the polymer by adding the corresponding epoxy group-free alicyclic polymerizable unsaturated compound to the copolymerization. Examples of the alicyclic ring contained in the epoxy group-containing alicyclic polymerizable unsaturated compound include alicyclic hydrocarbon rings having 5 to 20 carbon atoms, may be monocyclic, or may be polycyclic such as condensed ring or temporary exchange. As typical alicyclic hydrocarbon rings, for example, cyclohexane ring, cyclooctane ring, cyclodecane ring, adamantane ring, norbornane ring, norbornene ring, bornan ring, isobornane ring, perhydroindene ring, decalin ring, per Hydrofluorene ring (tricyclo [7.4.0.0 3,8 ] tridecane ring), perhydroanthracene ring, tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane ring, tricyclo [4.2.2.1 2,5 ] undecane ring And tetracyclo [4.4.0.1 2,5 .1 7,10 ] dodecane ring. Alicyclic hydrocarbon ring is an alkyl group of a methyl group, etc. (for example, C 1 - 4 alkyl group and the like), which may be protected, a halogen atom, a protecting group such as a chlorine atom, a fluorine atom, a hydroxyl group, an optionally protected oxo group, the protecting group You may have substituents, such as a carboxyl group. As an alicyclic ring, it is preferable that they are polycyclic alicyclic hydrocarbon rings (crosslinkable hydrocarbon rings), such as a tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane ring and an adamantane ring, for example.

에폭시기 비함유 지환식 중합성 불포화 화합물로는, 예를 들면 시클로헥실(메트)아크릴레이트, 시클로헥실메틸(메트)아크릴레이트, 2-(시클로헥실)에틸(메트)아크릴레이트, 2-(시클로헥실메틸옥시)에틸(메트)아크릴레이트, 3-(시클로헥실메틸옥시)프로필(메트)아크릴레이트 등의 시클로헥산환을 포함하는 중합성 불포화 화합물((메트)아크릴산에스테르 유도체 등); 2-비시클로[2.2.1]헵틸(메트)아크릴레이트 등의 2-비시클로[2.2.1]헵탄환을 포함하는 중합성 불포화 화합물((메트)아크릴산에스테르 유도체 등); 1-아다만틸(메트)아크릴레이트 등의 아다만탄환을 포함하는 중합성 불포화 화합물((메트)아크릴산에스테르 유도체 등); 디시클로펜타닐(메트)아크릴레이트{트리시클로[5.2.1.02,6]데칸-9-일(메트)아크릴레이트, 트리시클로[5.2.1.02,6]데칸-8-일(메트)아크릴레이트, 또는 이들의 혼합물}, 디시클로펜테닐(메트)아크릴레이트{트리시클로[5.2.1.02,6]데크-3-엔-9-일(메트)아크릴레이트, 트리시클로[5.2.1.02,6]데크-3-엔-8-일(메트)아크릴레이트, 또는 이들의 혼합물}, 디시클로펜테닐옥시에틸(메트)아크릴레이트{2-(트리시클로[5.2.1.02,6]데칸-9-일옥시)에틸(메트)아크릴레이트, 2-(트리시클로[5.2.1.02,6]데칸-8-일옥시)에틸(메트)아크릴레이트, 또는 이들의 혼합물}, 디시클로펜테닐옥시부틸(메트)아크릴레이트, 디시클로펜테닐옥시헥실(메트)아크릴레이트 등의 트리시클로[5.2.1.02,6]데칸환을 포함하는 중합성 불포화 화합물((메트)아크릴산에스테르 유도체 등) 등을 들 수 있다. 에폭시기 비함유 지환식 중합성 불포화 화합물은 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있다.As an epoxy-group-containing alicyclic polymerizable unsaturated compound, cyclohexyl (meth) acrylate, cyclohexyl methyl (meth) acrylate, 2- (cyclohexyl) ethyl (meth) acrylate, 2- (cyclohexyl) is mentioned, for example. Polymerizable unsaturated compounds ((meth) acrylic acid ester derivative etc.) containing cyclohexane rings, such as methyloxy) ethyl (meth) acrylate and 3- (cyclohexyl methyloxy) propyl (meth) acrylate; Polymerizable unsaturated compounds (such as (meth) acrylic acid ester derivatives) containing a 2-bicyclo [2.2.1] heptane ring such as 2-bicyclo [2.2.1] heptyl (meth) acrylate; Polymerizable unsaturated compounds (such as (meth) acrylic acid ester derivatives) containing adamantane rings such as 1-adamantyl (meth) acrylate; Dicyclopentanyl (meth) acrylate {tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane-9-yl (meth) acrylate, tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane-8-yl (meth) acrylate Or mixtures thereof}, dicyclopentenyl (meth) acrylate {tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] dec-3-en-9-yl (meth) acrylate, tricyclo [5.2.1.0 2, 6 ] dec-3-en-8-yl (meth) acrylate, or mixtures thereof}, dicyclopentenyloxyethyl (meth) acrylate {2- (tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane- 9-yloxy) ethyl (meth) acrylate, 2- (tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane-8-yloxy) ethyl (meth) acrylate, or mixtures thereof}, dicyclopentenyloxy Polymerizable unsaturated compounds (such as (meth) acrylic acid ester derivatives) containing tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane rings such as butyl (meth) acrylate and dicyclopentenyloxyhexyl (meth) acrylate; Can be mentioned. An epoxy-group-containing alicyclic polymerizable unsaturated compound can be used individually or in combination of 2 or more types.

에폭시기 비함유 지환식 중합성 불포화 화합물로는, 트리시클로[5.2.1.02,6]데칸환 또는 아다만탄환을 포함하는 중합성 불포화 화합물이 바람직하고, 그 중에서도 디시클로펜테닐(메트)아크릴레이트, 1-아다만틸(메트)아크릴레이트가 바람직하다.As an epoxy-group-containing alicyclic polymerizable unsaturated compound, the polymerizable unsaturated compound containing a tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane ring or an adamantane ring is preferable, and dicyclopentenyl (meth) acrylate among these is preferable. And 1-adamantyl (meth) acrylate are preferred.

에폭시기 비함유 지환식 중합성 불포화 화합물에 대응하는 단량체 단위가 공중합체에서 차지하는 비율은, 원하는 요구 성능에 따라 적절하게 선택할 수 있다.The ratio which the monomeric unit corresponding to an epoxy-group-containing alicyclic polymerizable unsaturated compound occupies in a copolymer can be suitably selected according to desired performance requirements.

<그 밖의 단량체 단위> <Other monomer unit>

본 발명의 지환식 에폭시기 함유 경화성 수지 조성물에 포함되는 공중합체는 상기 (A), (B), (C) 이외의 단량체 단위를 함유할 수 있다. 이러한 단량체 단위는 대응하는 중합성 불포화 화합물을 공중합에 가함으로써 중합체 중에 도입될 수 있다.The copolymer contained in the alicyclic epoxy group-containing curable resin composition of the present invention may contain monomer units other than the above (A), (B) and (C). Such monomeric units can be introduced into the polymer by adding the corresponding polymerizable unsaturated compounds to the copolymerization.

그 밖의 단량체 단위에 대응하는 중합성 불포화 화합물로는, 예를 들면 메틸(메트)아크릴레이트, 에틸(메트)아크릴레이트, 프로필(메트)아크릴레이트, 부틸(메트)아크릴레이트, 펜틸(메트)아크릴레이트, 헥실(메트)아크릴레이트 등의 (메트)아크릴산알킬에스테르[예를 들면, (메트)아크릴산 C1 - 10알킬에스테르 등]; 벤질(메트)아크릴레이트 등의 분자 내에 방향족 환상 구조를 갖는 (메트)아크릴산에스테르; 스티렌, 비닐톨루엔, α-메틸스티렌비닐나프탈렌 등의 스티렌계 화합물; 메틸비닐에테르, 부틸비닐에테르, 페닐비닐에테르 등의 비닐에테르 화합물을 들 수 있다.As a polymerizable unsaturated compound corresponding to another monomeric unit, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, pentyl (meth) acryl, for example. acrylate, hexyl (meth) (meth) acrylic acid alkyl esters such as acrylates [for example, (meth) acrylic acid C 1 - 10 alkyl ester, etc.]; (Meth) acrylic acid ester which has an aromatic cyclic structure in molecules, such as benzyl (meth) acrylate; Styrene compounds such as styrene, vinyltoluene, and α-methylstyrene vinylnaphthalene; Vinyl ether compounds, such as methyl vinyl ether, butyl vinyl ether, and phenyl vinyl ether, are mentioned.

또한, 그 밖의 단량체 단위에 대응하는 중합성 불포화 화합물에는 친수성기를 갖는 라디칼 중합성 단량체도 포함된다. 친수성기로서, 예를 들면 수산기(페놀성의 것은 제외함), 제4급 암모늄기, 아미노기, 복소환식기 등을 들 수 있다. 친수성기를 갖는 라디칼 중합성 단량체의 구체예로는, 예를 들면 2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트, 히드록시프로필(메트)아크릴레이트, 히드록시부틸(메트)아크릴레이트 등의 수산기를 갖는 (메트)아크릴산에스테르류; 메톡시디에틸렌글리콜(메트)아크릴레이트, 에톡시디에틸렌글리콜(메트)아크릴레이트, 이소옥틸옥시디에틸렌글리콜(메트)아크릴레이트, 메톡시트리에틸렌글리콜(메트)아크릴레이트, 메톡시폴리에틸렌글리콜(메트)아크릴레이트 등의 알콕시폴리알킬렌글리콜(메트)아크릴레이트; 2-아미노에틸(메트)아크릴레이트 등의 아미노기를 갖는 (메트)아크릴산에스테르; 2-비닐피롤리돈 등의 비닐기를 갖는 복소환식 화합물(질소 함유 복소환식 화합물 등) 등을 들 수 있다.In addition, the radically polymerizable monomer which has a hydrophilic group is contained in the polymerizable unsaturated compound corresponding to another monomeric unit. As a hydrophilic group, a hydroxyl group (except a phenolic thing), a quaternary ammonium group, an amino group, a heterocyclic group, etc. are mentioned, for example. As a specific example of the radically polymerizable monomer which has a hydrophilic group, it has hydroxyl groups, such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate, and hydroxybutyl (meth) acrylate, for example. Meth) acrylic acid esters; Methoxydiethylene glycol (meth) acrylate, ethoxydiethylene glycol (meth) acrylate, isooctyloxydiethylene glycol (meth) acrylate, methoxytriethylene glycol (meth) acrylate, methoxy polyethylene glycol (meth) acrylic Alkoxy polyalkylene glycol (meth) acrylates, such as the rate; (Meth) acrylic acid ester which has amino groups, such as 2-aminoethyl (meth) acrylate; Heterocyclic compounds (such as nitrogen-containing heterocyclic compounds) which have vinyl groups, such as 2-vinylpyrrolidone, etc. are mentioned.

<용매> <Solvent>

본 발명의 경화성 수지 조성물은, 용매로서 디프로필렌글리콜디메틸에테르를 전체 용매 중 30 내지 100 질량% 포함하고 있다. 디프로필렌글리콜디메틸에테르는 전체 용매 중 50 내지 100 질량% 포함되어 있는 것이 바람직하고, 70 내지 100 질량% 포함되어 있는 것이 보다 바람직하며, 80 내지 100 질량% 포함되어 있는 것이 더욱 바람직하다. 디프로필렌글리콜디메틸에테르의 함유량을 전체 용매 중 30 내지 100 질량%로 함으로써, 경화성 수지 조성물의 용해성, 경시 안정성, 도포성, 감도, 현상성, 형성되는 패턴 특성 등이 우수한 것이 되고, 안전성이 높아진다.Curable resin composition of this invention contains 30-100 mass% of dipropylene glycol dimethyl ether in all the solvent as a solvent. It is preferable that 50-100 mass% of dipropylene glycol dimethyl ether is contained in all the solvent, It is more preferable that 70-100 mass% is contained, It is further more preferable that 80-100 mass% is contained. By making content of dipropylene glycol dimethyl ether into 30-100 mass% in all the solvent, it becomes excellent in the solubility, time-lapse stability, applicability | paintability, sensitivity, developability, the pattern characteristic formed, etc. of curable resin composition, and safety improves.

디프로필렌글리콜디메틸에테르는 에틸렌글리콜계 용제와 비교하여 인체에 대한 안전성이 높다. 예를 들면, 에틸렌글리콜계 용제는 특수 건강진단 수진 대상이 되지만, 프로필렌글리콜계 용제는 그 대상이 되지 않는다. 또한, 에틸렌글리콜계 용제의 분해물인 에틸렌글리콜은 독성이 높지만, 프로필렌글리콜계 용제의 분해물인 프로필렌글리콜은 식품첨가물 등에도 사용되고 있어 안전성이 높다.Dipropylene glycol dimethyl ether has a higher safety for human body than ethylene glycol solvent. For example, the ethylene glycol solvent is subject to a special medical examination, but the propylene glycol solvent is not. In addition, ethylene glycol, which is a decomposition product of ethylene glycol solvents, has high toxicity, but propylene glycol, which is a decomposition product of propylene glycol solvents, is also used in food additives and the like and has high safety.

경화성 수지 조성물 전체에 대한 디프로필렌글리콜디메틸에테르의 함유량은, 예를 들면 30 내지 80 질량%로 할 수 있고, 바람직하게는 40 내지 80 질량%, 보다 바람직하게는 50 내지 80 질량%로 할 수 있다. 디프로필렌글리콜디메틸에테르의 함유량을 이와 같은 범위로 함으로써, 경화성 수지 조성물의 용해성, 경시 안정성, 도포성, 감도, 현상성, 형성되는 패턴 특성 등을 보다 우수한 것으로 할 수 있으며, 안전성을 보다 높일 수 있다.Content of the dipropylene glycol dimethyl ether with respect to the whole curable resin composition can be 30-80 mass%, for example, Preferably it is 40-80 mass%, More preferably, it can be 50-80 mass%. . By making content of dipropylene glycol dimethyl ether into such a range, the solubility, temporal stability, applicability | paintability, sensitivity, developability, the pattern characteristic formed, etc. of curable resin composition can be made more excellent, and safety can be improved more. .

본 발명의 경화성 수지 조성물은 용매로서 디프로필렌글리콜디메틸에테르 이외의 용매를 포함할 수도 있다. 다른 용매로는, 예를 들면 에테르[디에틸에테르; 에틸렌글리콜모노 또는 디알킬에테르, 디에틸렌글리콜모노 또는 디알킬에테르(디에틸렌글리콜메틸에틸에테르 등의 디에틸렌글리콜디알킬에테르 등), 프로필렌글리콜모노 또는 디알킬에테르, 프로필렌글리콜모노 또는 디아릴에테르, 디프로필렌글리콜모노 또는 디알킬에테르(디프로필렌글리콜디에틸에테르 등의 디프로필렌글리콜디C2-4알킬에테르 등), 트리프로필렌글리콜모노 또는 디알킬에테르, 1,3-프로판디올모노 또는 디알킬에테르, 1,3-부탄디올모노 또는 디알킬에테르, 1,4-부탄디올모노 또는 디알킬에테르, 글리세린모노, 디 또는 트리알킬에테르 등의 글리콜에테르류 등의 쇄상 에테르; 테트라히드로푸란, 디옥산 등의 환상 에테르 등], 에스테르(아세트산메틸, 아세트산에틸, 아세트산부틸, 아세트산이소아밀, 락트산에틸, 3-메톡시프로피온산메틸, 3-에톡시프로피온산에틸, C5 - 6시클로알칸디올모노 또는 디아세테이트, C5 - 6시클로알칸디메탄올모노 또는 디아세테이트 등의 카르복실산에스테르류; 에틸렌글리콜모노알킬에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노 또는 디아세테이트, 디에틸렌글리콜모노알킬에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노 또는 디아세테이트, 프로필렌글리콜모노알킬에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노 또는 디아세테이트, 디프로필렌글리콜모노알킬에테르아세테이트, 디프로필렌글리콜모노 또는 디아세테이트, 1,3-프로판디올모노알킬에테르아세테이트, 1,3-프로판디올모노 또는 디아세테이트, 1,3-부탄디올모노알킬에테르아세테이트, 1,3-부탄디올모노 또는 디아세테이트, 1,4-부탄디올모노알킬에테르아세테이트, 1,4-부탄디올모노 또는 디아세테이트, 1,6-헥산디올모노 또는 디아세테이트, 글리세린모노, 디 또는 트리아세테이트, 글리세린모노 또는 디C1 - 4알킬에테르 디 또는 모노아세테이트, 트리프로필렌글리콜모노알킬에테르아세테이트, 트리프로필렌글리콜모노 또는 디아세테이트 등의 글리콜아세테이트류 또는 글리콜에테르아세테이트류 등), 케톤(아세톤, 메틸에틸케톤, 메틸이소부틸케톤, 시클로헥사논, 3,5,5-트리메틸-2-시클로헥센-1-온 등), 아미드(N,N-디메틸아세트아미드, N,N-디메틸포름아미드 등), 술폭시드(디메틸술폭시드 등), 알코올(메탄올, 에탄올, 프로판올, C5 - 6시클로알칸디올, C5 - 6시클로알칸디메탄올 등), 탄화수소(벤젠, 톨루엔, 크실렌 등의 방향족 탄화수소, 헥산 등의 지방족 탄화수소, 시클로헥산 등의 지환식 탄화수소 등) 등을 들 수 있다. 이들은 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있다. 이들 중에서도, 디프로필렌글리콜메틸 n-프로필에테르 등의 모노 또는 디프로필렌글리콜디알킬에테르(디프로필렌글리콜디메틸에테르는 제외함), 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 등의 모노 또는 디프로필렌글리콜모노알킬에테르아세테이트 등이 바람직하다.Curable resin composition of this invention may contain solvent other than dipropylene glycol dimethyl ether as a solvent. As another solvent, For example, ether [diethyl ether; Ethylene glycol mono or dialkyl ether, diethylene glycol mono or dialkyl ether (such as diethylene glycol dialkyl ether such as diethylene glycol methyl ethyl ether), propylene glycol mono or dialkyl ether, propylene glycol mono or diaryl ether, Dipropylene glycol mono or dialkyl ether (such as dipropylene glycol diC 2-4 alkyl ether such as dipropylene glycol diethyl ether), tripropylene glycol mono or dialkyl ether, 1,3-propanediol mono or dialkyl ether Chain ethers such as glycol ethers such as 1,3-butanediol mono or dialkyl ether, 1,4-butanediol mono or dialkyl ether, glycerin mono, di or trialkyl ether; Tetrahydrofuran, dioxane and like cyclic ethers, etc.], ester (methyl acetate, ethyl acetate, butyl acetate, isoamyl, ethyl lactate, methyl 3-methoxy propionate, ethyl ethoxy propionate, a 3, C 5 - 6 cycloalkane diol mono- or di-acetates, C 5 - 6 cycloalkanediyl methanol mono- or di-acetate, and the like of the carboxylic acid esters; glycol monoalkyl ether acetate, ethylene glycol mono- or di-acetate, diethylene glycol monoalkyl ether acetate, Diethylene glycol mono or diacetate, propylene glycol monoalkyl ether acetate, propylene glycol mono or diacetate, dipropylene glycol monoalkyl ether acetate, dipropylene glycol mono or diacetate, 1,3-propanediol monoalkyl ether acetate, 1 , 3-propanediol mono or diacetate, 1,3-butanedi Monoalkyl ether acetate, 1,3-butanediol mono or diacetate, 1,4-butanediol monoalkyl ether acetate, 1,4-butanediol mono or diacetate, 1,6-hexanediol mono or diacetate, glycerin mono, di or triacetate, glycerin mono- or di-C 1 - 4 alkyl ether di- or mono-acetates, tripropylene glycol monoalkyl ether acetates, tripropylene glycol mono- or di-glycol acetates or glycol ether acetates, etc.), ketones such as acetate (acetone , Methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, 3,5,5-trimethyl-2-cyclohexen-1-one, etc.), amide (N, N-dimethylacetamide, N, N-dimethylformamide and the like), sulfoxides (dimethyl sulfoxide, etc.), alcohols (methanol, ethanol, propanol, C 5 - 6 cycloalkane diols, C 5 - 6 cycloalkanediyl methanol, etc.), hydrocarbons (benzene, toluene, Aliphatic hydrocarbons such as aromatic hydrocarbons, hexane, such as xylene, may be mentioned aliphatic hydrocarbons, etc.), and the like, such as cyclohexane. These may be used alone or in combination of two or more. Among these, mono or dipropylene glycol monoalkyl ether acetates such as mono or dipropylene glycol dialkyl ethers (except dipropylene glycol dimethyl ether) such as dipropylene glycol methyl n-propyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, and the like This is preferred.

경화성 수지 조성물 전체에 대한 용매 함유량은, 예를 들면 10 내지 80 질량%로 할 수 있고, 바람직하게는 15 내지 80 질량%, 보다 바람직하게는 20 내지 80 질량%로 할 수 있다. 이러한 범위로 함으로써, 경화성 수지 조성물의 용해성, 경시 안정성, 도포성, 감도, 현상성, 형성되는 패턴 특성 등을 보다 우수한 것으로 할 수 있으며, 안전성을 보다 높일 수 있다.The solvent content with respect to the whole curable resin composition can be 10-80 mass%, for example, Preferably it is 15-80 mass%, More preferably, it can be 20-80 mass%. By setting it as such a range, the solubility, time-lapse stability, applicability | paintability, sensitivity, developability, the pattern characteristic formed, etc. of curable resin composition can be made more excellent, and safety can be improved more.

용매에 있어서 디프로필렌글리콜디메틸에테르와 다른 용매와의 중량비(전자:후자)는 100:0 내지 30:70이고, 바람직하게는 100:0 내지 50:50, 보다 바람직하게는 100:0 내지 70:30, 더욱 바람직하게는 100:0 내지 80:20으로 할 수 있다. 이러한 비율로 함으로써, 경화성 수지 조성물의 용해성, 경시 안정성, 도포성, 감도, 현상성, 형성되는 패턴 특성 등이 우수한 것이 되며, 안전성이 높아진다.In the solvent, the weight ratio of the dipropylene glycol dimethyl ether to other solvents (the former: the latter) is 100: 0 to 30:70, preferably 100: 0 to 50:50, more preferably 100: 0 to 70: 30, More preferably, it may be 100: 0 to 80:20. By setting it as such a ratio, it becomes the thing excellent in the solubility, time-lapse stability, applicability | paintability, sensitivity, developability, the pattern characteristic formed, etc. of curable resin composition, and safety improves.

<공중합체의 제조 방법> <Method for Producing Copolymer>

본 발명의 경화성 수지 조성물에 포함되는 공중합체는, 단량체 단위 (A), (B)에 대응하는 중합성 불포화 화합물과, 필요에 따라 단량체 단위 (C) 및 그 밖의 단량체에 대응하는 중합성 불포화 화합물을 포함하는 단량체 혼합물을 공중합(비닐 중합)에 가함으로써 제조할 수 있다.The copolymer contained in curable resin composition of this invention is a polymerizable unsaturated compound corresponding to monomeric units (A) and (B), and a polymerizable unsaturated compound corresponding to monomeric unit (C) and other monomers as needed. It can manufacture by adding the monomer mixture containing to copolymerization (vinyl polymerization).

중합에 이용되는 중합 개시제로는 통상의 라디칼 개시제를 사용할 수 있다. 예를 들면, 2,2'-아조비스이소부티로니트릴, 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴), 2,2'-아조비스(4-메톡시-2,4-디메틸발레로니트릴), 디메틸-2,2'-아조비스(2-메틸프로피오네이트), 2,2'-아조비스(이소부티르산)디메틸, 디에틸-2,2'-아조비스(2-메틸프로피오네이트), 디부틸-2,2'-아조비스(2-메틸프로피오네이트) 등의 아조 화합물, 벤조일퍼옥시드, 라우로일퍼옥시드, t-부틸퍼옥시피발레이트, 1,1-비스(t-부틸퍼옥시)시클로헥산 등의 유기 과산화물, 과산화수소 등을 들 수 있다. 과산화물을 라디칼 중합 개시제로서 사용하는 경우, 환원제를 조합하여 산화 환원형의 개시제로 할 수도 있다. 상기한 것 중에서도 아조 화합물이 바람직하고, 특히 2,2'-아조비스이소부티로니트릴, 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴), 2,2'-아조비스(이소부티르산)디메틸이 바람직하다.A normal radical initiator can be used as a polymerization initiator used for superposition | polymerization. For example, 2,2'- azobisisobutyronitrile, 2,2'- azobis (2,4-dimethylvaleronitrile), 2,2'- azobis (4-methoxy-2,4 Dimethylvaleronitrile), dimethyl-2,2'-azobis (2-methylpropionate), 2,2'-azobis (isobutyric acid) dimethyl, diethyl-2,2'-azobis (2 -Methyl propionate), azo compounds such as dibutyl-2,2'-azobis (2-methylpropionate), benzoyl peroxide, lauroyl peroxide, t-butylperoxy pivalate, 1, Organic peroxides, such as 1-bis (t-butylperoxy) cyclohexane, hydrogen peroxide, etc. are mentioned. When using a peroxide as a radical polymerization initiator, it can also be set as a redox initiator by combining a reducing agent. Among the above, azo compounds are preferable, and in particular, 2,2'-azobisisobutyronitrile, 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile), and 2,2'-azobis (iso Butyric acid) dimethyl is preferred.

중합 개시제의 사용량은 원활한 공중합을 손상시키지 않는 범위에서 적절하게 선택할 수 있지만, 통상 전체 단량체 성분 및 중합 개시제의 총량에 대하여 1 내지 30 질량% 정도이고, 바람직하게는 5 내지 25 질량% 정도이다.Although the usage-amount of a polymerization initiator can be suitably selected in the range which does not impair smooth copolymerization, Usually, it is about 1-30 mass% with respect to the total amount of all the monomer components and a polymerization initiator, Preferably it is about 5-25 mass%.

본 발명에서는, 라디칼 중합에 있어서 일반적으로 사용되고 있는 연쇄 이동제를 병용할 수도 있다. 구체예로는, 티올류(n-도데실메르캅탄, n-옥틸메르캅탄, n-부틸메르캅탄, tert-부틸메르캅탄, n-라우릴메르캅탄, 메르캅토에탄올, 메르캅토프로판올, 트리에틸렌글리콜디메르캅탄 등), 티올산류(메르캅토프로피온산, 티오벤조산, 티오글리콜산, 티오말산 등), 알코올류(이소프로필알코올 등), 아민류(디부틸아민 등), 차아인산염류(차아인산나트륨 등), α-메틸스티렌 이량체, 테르피놀렌, 미르센, 리모넨, α-피넨, β-피넨 등을 들 수 있고, 연쇄 이동제의 양은 전체 라디칼 중합성 단량체의 양에 대하여 바람직하게는 0.001 내지 3 질량%이다. 연쇄 이동제를 사용하는 경우에는, 미리 중합성 비닐 단량체에 혼합시켜 두는 것이 바람직하다.In this invention, the chain transfer agent generally used in radical polymerization can also be used together. Specific examples include thiols (n-dodecyl mercaptan, n-octyl mercaptan, n-butyl mercaptan, tert-butyl mercaptan, n-lauryl mercaptan, mercaptoethanol, mercaptopropanol, triethylene Glycol dimercaptan, etc.), thiol acids (mercaptopropionic acid, thiobenzoic acid, thioglycolic acid, thiomalic acid, etc.), alcohols (isopropyl alcohol, etc.), amines (dibutylamine, etc.), hypophosphite (sodium hypophosphite) And the like), α-methylstyrene dimer, terpinolene, myrcene, limonene, α-pinene, β-pinene and the like, and the amount of the chain transfer agent is preferably from 0.001 to the total amount of the radical polymerizable monomer. 3 mass%. When using a chain transfer agent, it is preferable to mix with a polymerizable vinyl monomer beforehand.

중합은 용액 중합, 괴상 중합, 현탁 중합, 괴상-현탁 중합, 유화 중합 등, 스티렌계 중합체나 아크릴계 중합체를 제조할 때에 이용하는 관용의 방법에 의해 행할 수 있다. 이들 중에서도 용액 중합이 바람직하다. 단량체, 중합 개시제는 각각 반응계에 일괄 공급할 수도 있고, 그의 일부 또는 전부를 반응계에 적하할 수도 있다. 예를 들면, 일정 온도로 유지시킨 단량체와 중합 용매의 혼합액 중에, 중합 개시제를 중합 용매에 용해시킨 용액을 적하하여 중합하는 방법이나, 미리 단량체, 중합 개시제를 중합 용매에 용해시킨 용액을, 일정 온도로 유지시킨 중합 용매 중에 적하하여 중합하는 방법(적하 중합법) 등을 채용할 수 있다. 중합 온도는, 예를 들면 30 내지 150℃ 정도의 범위에서 적절하게 선택할 수 있다.Polymerization can be performed by the conventional method used when manufacturing a styrene polymer or an acrylic polymer, such as solution polymerization, block polymerization, suspension polymerization, block-suspension polymerization, and emulsion polymerization. Among these, solution polymerization is preferable. The monomer and the polymerization initiator may be collectively supplied to the reaction system, respectively, or a part or all of them may be added dropwise to the reaction system. For example, a method in which a solution obtained by dissolving a polymerization initiator in a polymerization solvent is added dropwise into a mixed solution of a monomer and a polymerization solvent maintained at a constant temperature and polymerized, or a solution in which the monomer and the polymerization initiator are dissolved in a polymerization solvent in advance at a constant temperature. The method of dripping and superposing | polymerizing in the superposition | polymerization solvent hold | maintained by (dripping polymerization method) etc. can be employ | adopted. Polymerization temperature can be suitably selected, for example in the range of about 30-150 degreeC.

중합 용매는 단량체 조성 등에 따라 적절하게 선택할 수 있다. 중합 용매로는 상기 예시한 용매를 사용할 수 있다. 중합 용매로는 디프로필렌글리콜디메틸에테르를 30 질량% 이상(나아가 50 질량% 이상, 특히 80 질량% 이상) 포함하는 용매가 바람직하다. 이러한 중합 용매를 사용함으로써, 경화성 수지 조성물 제조시에 용매 치환 등의 처리를 생략할 수 있어 제조 공정을 보다 간략화할 수 있다.The polymerization solvent can be appropriately selected depending on the monomer composition and the like. As the polymerization solvent, the solvents exemplified above can be used. As a polymerization solvent, the solvent containing 30 mass% or more (further 50 mass% or more, especially 80 mass% or more) of dipropylene glycol dimethyl ether is preferable. By using such a polymerization solvent, the process of solvent substitution etc. at the time of manufacture of curable resin composition can be skipped, and a manufacturing process can be simplified more.

상기 방법에 의해 본 발명의 공중합체가 생성된다. 공중합체의 중량 평균 분자량은, 예를 들면 500 내지 100000, 바람직하게는 1000 내지 40000, 더욱 바람직하게는 2000 내지 30000 정도이다. 공중합체의 분산도(중량 평균 분자량 Mw/수 평균 분자량 Mn)는 1 내지 3 정도이다.The above method produces the copolymer of the present invention. The weight average molecular weight of the copolymer is, for example, 500 to 100000, preferably 1000 to 40000, and more preferably about 2000 to 30000. Dispersion degree (weight average molecular weight Mw / number average molecular weight Mn) of a copolymer is about 1-3.

[경화성 수지 조성물의 제조 방법][Production Method of Curable Resin Composition]

본 발명의 경화성 수지 조성물의 제조 방법은, (1) 중합 용매로서, 디프로필렌글리콜디메틸에테르를 함유하는 용매를 사용하여 공중합체를 제조하는 공정, 또는 (2) 공중합체의 용매를, 디프로필렌글리콜디메틸에테르를 함유하는 용매로 용매 교환하는 공정을 포함하고 있는 것을 특징으로 한다.The manufacturing method of curable resin composition of this invention is a process of manufacturing a copolymer using the solvent containing (1) dipropylene glycol dimethyl ether as a polymerization solvent, or (2) the solvent of a copolymer for dipropylene glycol It is characterized by including the process of solvent exchange with the solvent containing dimethyl ether.

본 발명의 경화성 수지 조성물의 제조 방법에서는, 상기 방법에서 얻어진 공중합체의 중합액에 대해서, 필요에 따라 고형분 농도를 조정하거나, 용매 교환하거나, 여과 처리를 실시할 수 있다. 디프로필렌글리콜디메틸에테르를 함유하는 용매 중 디프로필렌글리콜디메틸에테르의 함유량은 30 질량% 이상(나아가 50 질량% 이상, 특히 80 질량% 이상)인 것이 바람직하다.In the manufacturing method of curable resin composition of this invention, solid content concentration can be adjusted, a solvent exchange | exchange, or a filtration process can be performed with respect to the polymerization liquid of the copolymer obtained by the said method as needed. It is preferable that content of dipropylene glycol dimethyl ether in the solvent containing dipropylene glycol dimethyl ether is 30 mass% or more (50 mass% or more, especially 80 mass% or more).

본 발명의 경화성 수지 조성물의 제조 방법에서는, 또한 필요에 따라 경화 촉매[열산 발생제(열 경화 촉매, 열 양이온 중합 개시제), 광산 발생제(광 경화 촉매, 광 양이온 중합 개시제)], 광 라디칼 개시제, 경화제, 경화 촉진제, 감방사선성 성분, 반응성 희석제, 첨가제(가교제, 충전제, 착색용 안료, 중합 금지제, 밀착성 부여제, 소포제, 난연제, 산화 방지제, 자외선 흡수제, 저응력화제, 가요성 부여제, 왁스류, 수지, 가교제, 할로겐트랩제, 레벨링제, 습윤 개선제 등)를 배합할 수 있다. 또한, 중합에 의해 생성된 중합체를 침전 또는 재침전 등에 의해 정제하고, 이 정제한 중합체를 상기 적절한 첨가물과 함께 용도에 따라 용매에 용해시킴으로써 경화성 수지 조성물을 얻을 수도 있다. 경화성 수지 조성물을 구성하는 용매로는, 전체 용매에 대하여 30 내지 100 질량%의 디프로필렌글리콜디메틸에테르와, 필요에 따라 다른 용매로서 상기 예시한 용매를 사용할 수 있다.In the manufacturing method of curable resin composition of this invention, further, if necessary, a curing catalyst (a thermal acid generator (thermal curing catalyst, a thermal cationic polymerization initiator), a photoacid generator (photocuring catalyst, a photocationic polymerization initiator)], an optical radical initiator , Curing agent, curing accelerator, radiation sensitive component, reactive diluent, additive (crosslinking agent, filler, pigment for coloring, polymerization inhibitor, adhesion imparting agent, antifoaming agent, flame retardant, antioxidant, ultraviolet absorber, low stress agent, flexibility imparting agent , Waxes, resins, crosslinking agents, halogen trapping agents, leveling agents, wetting improvers and the like). Moreover, curable resin composition can also be obtained by refine | purifying the polymer produced | generated by superposition | polymerization by precipitation, reprecipitation, etc., and dissolving this refined polymer with the said suitable additive in a solvent according to a use. As a solvent which comprises curable resin composition, 30-100 mass% dipropylene glycol dimethyl ether with respect to a total solvent, and the solvent illustrated above can be used as another solvent as needed.

상기 경화 촉매 중 열산 발생제로는, 예를 들면 샌에이드 SI-45, 좌동 SI-47, 좌동 SI-60, 좌동 SI-60L, 좌동 SI-80, 좌동 SI-80L, 좌동 SI-100, 좌동 SI-100L, 좌동 SI-145, 좌동 SI-150, 좌동 SI-160, 좌동 SI-110L, 좌동 SI-180L(이상, 산신 가가꾸 고교사 제조품, 상품명), CI-2921, CI-2920, CI-2946, CI-3128, CI-2624, CI-2639, CI-2064(이상, 니혼소다(주)사 제조품, 상품명), CP-66, CP-77(아사히 덴카 고교사 제조품, 상품명), FC-520(3M사 제조품, 상품명) 등으로 대표되는 디아조늄염, 요오도늄염, 술포늄염, 포스포늄염, 셀레늄염, 옥소늄염, 암모늄염 등을 사용할 수 있다.As a thermal acid generator among the said hardening catalysts, for example, San Ade SI-45, left-hand SI-47, left-hand SI-60, left-hand SI-60L, left-hand SI-80, left-hand SI-80L, left-hand SI-100, left-hand SI -100L, left-hand SI-145, left-hand SI-150, left-hand SI-160, left-hand SI-110L, left-hand SI-180L (above, Sanshin Kagaku Kogyo Co., Ltd., brand name), CI-2921, CI-2920, CI- 2946, CI-3128, CI-2624, CI-2639, CI-2064 (above, Nihon Soda Co., Ltd. product, brand name), CP-66, CP-77 (Asahi Denka Kogyo Co., Ltd., brand name), FC- Diazonium salt, iodonium salt, sulfonium salt, phosphonium salt, selenium salt, oxonium salt, ammonium salt, etc. represented by 520 (made by 3M, a brand name) etc. can be used.

광산 발생제로는, 예를 들면 사이러큐어 UVI-6970, 사이러큐어 UVI-6974, 사이러큐어 UVI-6990, 사이러큐어 UVI-950(이상, 미국 유니온 카바이드사 제조, 상품명), 이르가큐어 261(시바 스페셜티 케미컬즈사 제조, 상품명), SP-150, SP-151, SP-170, 옵토머 SP-171(이상, 아사히 덴카 고교 가부시끼가이샤 제조, 상품명), CG-24-61(시바 스페셜티 케미컬즈사 제조, 상품명), DAICATII(다이셀 가가꾸 고교사 제조, 상품명), UVAC1591[다이셀 사이텍(주)사 제조, 상품명], CI-2064, CI-2639, CI-2624, CI-2481, CI-2734, CI-2855, CI-2823, CI-2758(이상, 니혼소다사 제조품, 상품명), PI-2074(롱 풀렉사 제조, 상품명, 펜타플루오로페닐보레이트톨루일쿠밀요오도늄염), FFC509(3M사 제조품, 상품명), BBI-102, BBI-101, BBI-103, MPI-103, TPS-103, MDS-103, DTS-103, NAT-103, NDS-103(미도리 가가꾸사 제조, 상품명), CD-1012(미국, 사르토머(Sartomer)사 제조, 상품명) 등으로 대표되는 디아조늄염, 요오도늄염, 술포늄염, 포스포늄염, 셀레늄염, 옥소늄염, 암모늄염 등을 사용할 수 있다.As a photo-acid generator, for example, Syracure UVI-6970, Cyracure UVI-6974, Cyracure UVI-6990, Cyracure UVI-950 (above, American Union Carbide company make, brand name), Irgacure 261 (Shiba specialty chemicals company make, brand name), SP-150, SP-151, SP-170, Optome SP-171 (above, Asahi Denka Kogyo Co., Ltd. make, brand name), CG-24-61 (Shiba specialty Chemicals company make, brand name), DAICATII (the Daicel Chemical Industries, Ltd. make, brand name), UVAC1591 [the Daicel Cytec Co., Ltd. make, brand name], CI-2064, CI-2639, CI-2624, CI-2481, CI-2734, CI-2855, CI-2823, CI-2758 (above, Nippon Soda company make, brand name), PI-2074 (Long Pulsar make, brand name, pentafluorophenyl borate toluyl cumyl iodonium salt), FFC509 (product of 3M company, brand name), BBI-102, BBI-101, BBI-103, MPI-103, TPS-103, MDS-103, DTS-103, NAT-103, NDS-103 (manufactured by Midori Kagaku Co., Ltd.) , CD-1012 (Sartomer, USA) May be used, product name) diazo typified by such salts, iodonium salts, sulfonium salts, phosphonium salt, selenium salt, oxo salt, ammonium salt and the like.

광 라디칼 개시제로는, 예를 들면 벤조페논 등의 벤조페논류; 아세토페논벤질, 벤질디메틸케톤; 벤조인, 벤조인메틸에테르, 벤조인에틸에테르, 벤조인이소프로필에테르 등의 벤조인류; 디메톡시아세토페논, 디메톡시페닐아세토페논, 디에톡시아세토페논 등의 아세토페논류; 디페닐디술파이트, 오르토벤조일벤조산메틸, 4-디메틸아미노벤조산에틸[닛본 가야꾸(주) 제조 카야큐어 EPA 등], 2,4-디에틸티오크산톤[닛본 가야꾸(주) 제조 카야큐어 DETX 등], 2-메틸-1-[4-(메틸)페닐]-2-모르폴리노프로파논-1[시바 가이기(주) 제조 이르가큐어 907 등], 테트라(t-부틸퍼옥시카르보닐)벤조페논, 벤질, 2-히드록시-2-메틸-1-페닐-프로판-1-온, 4,4-비스디에틸아미노벤조페논, 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,5,4',5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸[호도가야 가가꾸(주) 제조 B-CIM 등]을 단독 또는 혼합하여 사용할 수 있고, 필요에 따라 광 증감제를 가할 수 있다. 중합 개시제는, 경화성 수지 조성물 중에 1 내지 10 질량%의 비율로 배합하는 것이 바람직하다.As an optical radical initiator, For example, benzophenones, such as benzophenone; Acetophenonebenzyl, benzyl dimethyl ketone; Benzoin such as benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether; Acetophenones such as dimethoxyacetophenone, dimethoxyphenylacetophenone and diethoxyacetophenone; Diphenyl disulfite, methyl ortho benzoyl benzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate (Kayakyu EPA manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), 2,4-diethyl thioxanthone (Kayakyu DETX manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) Etc.], 2-methyl-1- [4- (methyl) phenyl] -2-morpholinopropaneone-1 [Ilgacure 907, such as manufactured by Ciba-Geigi Co., Ltd.], tetra (t-butylperoxycar Bonyl) benzophenone, benzyl, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propane-1-one, 4,4-bisdiethylaminobenzophenone, 2,2'-bis (2-chlorophenyl)- 4,5,4 ', 5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole (B-CIM by Hodogaya Chemical Co., Ltd.) can be used individually or in mixture, A photosensitizer is needed. Can be added. It is preferable to mix | blend a polymerization initiator by 1-10 mass% in curable resin composition.

경화 촉매의 첨가량은 경화성 수지 조성물 중 상기 공중합체(수지분)에 대하여, 예를 들면 0.05 내지 10 질량%, 바람직하게는 0.5 내지 5 질량%이다. 경화 촉매는 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있다.The addition amount of a curing catalyst is 0.05-10 mass% with respect to the said copolymer (resin powder) in curable resin composition, for example, Preferably it is 0.5-5 mass%. A curing catalyst can be used individually or in combination of 2 or more types.

상기 가교제로는 다관능성 알코올 화합물이나 다관능성 티올 화합물류 등을 사용할 수 있다.As said crosslinking agent, a polyfunctional alcohol compound, a polyfunctional thiol compound, etc. can be used.

다관능성 알코올 화합물로는 히드록실기를 2개 이상 갖는 화합물이면 되고, 예를 들면 에틸렌글리콜, 디에틸렌글리콜, 트리에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜, 디프로필렌글리콜, 1,3-부틸렌글리콜, 1,4-부틸렌글리콜, 글리세린, 디글리세린, D-글루코오스, D-글루시톨, 이소프렌글리콜, 부탄디올, 1,5-펜탄디올, 1,6-헥산디올, 1,9-노난디올, 네오펜틸글리콜 등의 다가 알코올류, 폴리에틸렌글리콜류, 폴리프로필렌글리콜류, 폴리부틸렌글리콜류, 폴리테트라메틸렌글리콜류 등의 폴리알킬렌글리콜류, 폴리카프로락톤디올류, 폴리카프로락톤트리올류, 폴리카보네이트디올류 등을 들 수 있다.The polyfunctional alcohol compound may be a compound having two or more hydroxyl groups. For example, ethylene glycol, diethylene glycol, triethylene glycol, propylene glycol, dipropylene glycol, 1,3-butylene glycol, 1,4 Butylene glycol, glycerin, diglycerin, D-glucose, D-glucitol, isoprene glycol, butanediol, 1,5-pentanediol, 1,6-hexanediol, 1,9-nonanediol, neopentyl glycol, etc. Polyalkylene glycols such as polyhydric alcohols, polyethylene glycols, polypropylene glycols, polybutylene glycols, polytetramethylene glycols, polycaprolactone diols, polycaprolactone triols, polycarbonate diols, and the like. Can be mentioned.

다관능성 티올 화합물로는 티올기를 2개 이상 갖는 화합물이면 되고, 예를 들면 헥산디티올, 데칸디티올, 1,4-부탄디올비스티오프로피오네이트, 1,4-부탄디올비스티오글리콜레이트, 에틸렌글리콜비스티오글리콜레이트, 에틸렌글리콜비스티오프로피오네이트, 트리메틸올프로판트리스티오글리콜레이트, 트리메틸올프로판트리스티오프로피오네이트, 트리메틸올프로판트리스(3-메르캅토부티레이트), 펜타에리트리톨테트라키스티오글리콜레이트, 펜타에리트리톨테트라키스티오프로피오네이트, 트리메르캅토프로피온산트리스(2-히드록시에틸)이소시아누레이트, 1,4-디메틸메르캅토벤젠, 2,4,6-트리메르캅토-s-트리아진, 2-(N,N-디부틸아미노)-4,6-디메르캅토-s-트리아진, 테트라에틸렌글리콜비스 3-메르캅토프로피오네이트, 트리메틸올프로판트리스 3-메르캅토프로피오네이트, 트리스(3-메르캅토프로피닐옥시에틸)이소시아누레이트, 펜타에리트리톨테트라키스 3-메르캅토프로피오네이트, 디펜타에리트리톨테트라키스 3-메르캅토프로피오네이트, 1,4-비스(3-메르캅토부티릴옥시)부탄, 1,3,5-트리스(3-메르캅토부틸옥시에틸)-1,3,5-트리아진-2,4,6(1H,3H,5H)-트리온, 펜타에리트리톨테트라키스(3-메르캅토부티레이트) 등을 들 수 있다. 다관능성 알코올 화합물이나 다관능성 티올 화합물류는 1종 단독으로 있을 수도 있고, 2종 이상 존재할 수도 있다.The polyfunctional thiol compound may be a compound having two or more thiol groups. For example, hexanedithiol, decandithiol, 1,4-butanediolbisthiopropionate, 1,4-butanediolbisthioglycolate, ethylene glycol Bisthioglycolate, ethylene glycol bisthiopropionate, trimethylolpropane tristhioglycolate, trimethylolpropane tristyopiothionate, trimethylol propane tris (3-mercaptobutyrate), pentaerythritol tetrakisthioglycolate , Pentaerythritol tetrakistiopionopionate, trimercaptopropionate tris (2-hydroxyethyl) isocyanurate, 1,4-dimethyl mercaptobenzene, 2,4,6-trimercapto-s-tri Azine, 2- (N, N-dibutylamino) -4,6-dimercapto-s-triazine, tetraethylene glycol bis 3-mercaptopropionate, trimethylolpropane tris 3-mercap Propionate, tris (3-mercaptopropynyloxyethyl) isocyanurate, pentaerythritol tetrakis 3-mercaptopropionate, dipentaerythritol tetrakis 3-mercaptopropionate, 1,4 -Bis (3-mercaptobutyryloxy) butane, 1,3,5-tris (3-mercaptobutyloxyethyl) -1,3,5-triazine-2,4,6 (1H, 3H, 5H ) -Trione, pentaerythritol tetrakis (3-mercaptobutyrate), etc. are mentioned. The polyfunctional alcohol compound and the polyfunctional thiol compounds may be used alone or in combination of two or more.

상기 감방사선성 성분으로는, 다관능성 (메트)아크릴레이트, 다관능성 에폭시 화합물, 다관능성 우레탄(메트)아크릴레이트, 다관능성 에폭시(메트)아크릴레이트(에폭시기에 아크릴산을 부가한 유형) 등을 들 수 있다. 다관능성 (메트)아크릴레이트와 열 또는 방사선 중합 개시제, 다관능성 에폭시 화합물과 열 또는 방사선산 발생제를 조합하여 배합할 수도 있다. 이들 감방사선성 성분이나 열 또는 방사선 중합 개시제, 열 또는 방사선 산 발생제는 각각 1종 단독일 수도 있고, 2종 이상 존재할 수도 있다.Examples of the radiation-sensitive component include polyfunctional (meth) acrylates, polyfunctional epoxy compounds, polyfunctional urethane (meth) acrylates, and polyfunctional epoxy (meth) acrylates (a type in which acrylic acid is added to an epoxy group). Can be. You may mix | blend a polyfunctional (meth) acrylate, a thermal or radiation polymerization initiator, a polyfunctional epoxy compound, and a thermal or radiation acid generator in combination. These radiation sensitive components, heat or radiation polymerization initiators, and heat or radiation acid generators may be used alone or in combination of two or more.

다관능성 (메트)아크릴레이트의 구체예로는, 에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜 등의 알킬렌글리콜의 디(메트)아크릴레이트류, 폴리에틸렌글리콜, 폴리프로필렌글리콜 등의 폴리알킬렌글리콜의 디(메트)아크릴레이트류, 양쪽 말단 히드록시폴리부타디엔, 양쪽 말단 히드록시폴리이소프렌, 양쪽 말단 히드록시폴리카프로락톤 등의 양쪽 말단 히드록실화 중합체의 디(메트)아크릴레이트류, 글리세린, 1,2,4-부탄트리올, 트리메틸올알칸, 테트라메틸올알칸, 펜타에리트리톨, 디펜타에리트리톨 등의 3가 이상의 다가 알코올의 폴리(메트)아크릴레이트류, 3가 이상의 다가 알코올의 폴리알킬렌글리콜 부가물의 폴리(메트)아크릴레이트류, 1,4-시클로헥산디올, 1,4-벤젠디올류 등의 환식 폴리올의 폴리(메트)아크릴레이트류, 폴리에스테르(메트)아크릴레이트, 에폭시(메트)아크릴레이트, 우레탄(메트)아크릴레이트, 알키드 수지 (메트)아크릴레이트, 실리콘 수지 (메트)아크릴레이트, 스피란 수지 (메트)아크릴레이트 등의 올리고(메트)아크릴레이트 등을 들 수 있다. 이들은 1종 단독일 수도 있고, 2종 이상 존재할 수도 있다.As a specific example of polyfunctional (meth) acrylate, di (meth) acryl of dialkyl (meth) acrylates, such as ethylene glycol and propylene glycol, polyalkylene glycol, such as polyethyleneglycol and polypropylene glycol Di (meth) acrylates of both terminal hydroxylated polymers, such as lates, both terminal hydroxypolybutadiene, both terminal hydroxypolyisoprene and both terminal hydroxypolycaprolactone, glycerin, 1,2,4-butane Poly (meth) acrylates of trihydric or higher polyhydric alcohols such as triol, trimethylol alkanes, tetramethylol alkanes, pentaerythritol, dipentaerythritol, polyalkylene glycol adducts of trihydric or higher polyhydric alcohols ( Poly (meth) acrylates of cyclic polyols such as meth) acrylates, 1,4-cyclohexanediol and 1,4-benzenediols, polyester (meth) acrylates and epoxides Oligo (meth) acrylates such as (meth) acrylate, urethane (meth) acrylate, alkyd resin (meth) acrylate, silicone resin (meth) acrylate, spiran resin (meth) acrylate, and the like. . These may be single 1 type or 2 or more types may exist.

다관능성 에폭시 화합물로는, 예를 들면 상품명「셀록사이드 2021」, 상품명「셀록사이드 2081」, 상품명「셀록사이드 3000」, 상품명「EHPE3150」, 상품명「에폴리드 GT401」(이상, 다이셀 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 제조), 상품명「에폴라이트 4000」(교에이샤 가가꾸 제조) 등을 사용할 수 있다. 이들은 1종 단독으로 있을 수도 있고, 2종 이상 존재할 수도 있다.As a polyfunctional epoxy compound, for example, a brand name "Celoxide 2021", a brand name "Celoxide 2081", a brand name "Celoxide 3000", a brand name "EHPE3150", a brand name "Epolyd GT401" (above, Daicel Chemical Industries Kogyo Co., Ltd.), a brand name "Epolite 4000" (made by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), etc. can be used. These may exist individually by 1 type and may exist 2 or more types.

상기 반응성 희석제로는, 상기 공중합체를 용해시킬 수 있는 것이면 특별히 제한은 없으며, 예를 들면 1종 이상의 (메트)아크릴기를 갖는 중합성 비닐 단량체 등을 사용할 수 있다. 또한, 반응성 희석제는 상기 감방사선성 성분으로서도 기능할 수 있다.The reactive diluent is not particularly limited as long as the copolymer can be dissolved, and for example, a polymerizable vinyl monomer having one or more (meth) acryl groups can be used. The reactive diluent may also function as the radiation sensitive component.

반응성 희석제로는, 구체적으로 예를 들면 이소보르닐(메트)아크릴레이트, 시클로헥실(메트)아크릴레이트, 옥틸(메트)아크릴레이트 등의 알킬 또는 시클로알킬(메트)아크릴레이트; 2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트, 3-히드록시프로필(메트)아크릴레이트 등의 히드록시알킬(메트)아크릴레이트; 에틸렌글리콜의 모노 또는 디(메트)아크릴레이트, 메톡시에틸렌글리콜의 (메트)아크릴레이트, 테트라에틸렌글리콜의 모노 또는 디(메트)아크릴레이트, 트리프로필렌글리콜의 모노 또는 디(메트)아크릴레이트 등의 글리콜의 모노 또는 디(메트)아크릴레이트; 3,4-에폭시시클로헥실메틸(메트)아크릴레이트, 글리시딜(메트)아크릴레이트 등의 에폭시기 함유 (메트)아크릴레이트; 글리세린디(메트)아크릴레이트, 트리메틸올프로판트리(메트)아크릴레이트, 펜타에리트리톨의 트리 또는 테트라(메트)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트 등의 폴리올 또는 그의 알킬렌옥시드 부가물의 (메트)아크릴레이트 등을 예시할 수 있다.As a reactive diluent, For example, Alkyl or cycloalkyl (meth) acrylate, such as isobornyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, and octyl (meth) acrylate; Hydroxyalkyl (meth) acrylates such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate and 3-hydroxypropyl (meth) acrylate; Mono or di (meth) acrylate of ethylene glycol, (meth) acrylate of methoxyethylene glycol, mono or di (meth) acrylate of tetraethylene glycol, mono or di (meth) acrylate of tripropylene glycol, etc. Mono or di (meth) acrylates of glycols; Epoxy group-containing (meth) acrylates such as 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate and glycidyl (meth) acrylate; Polyols such as glycerin di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, tri or tetra (meth) acrylate of pentaerythritol, dipentaerythritol hexaacrylate, or alkylene oxide adducts thereof (meth ) Acrylates and the like.

이들 중에서 반응성 희석제로는, 인화점이 100℃ 이상인 것이 제조 공정에서의 안전성 확보의 관점에서 바람직하다. 또한, 반응성 희석제로는 트리메틸올프로판트리(메트)아크릴레이트 등의 폴리올 또는 그의 알킬렌옥시드 부가물의 (메트)아크릴레이트 등의 다관능성 (메트)아크릴레이트가 특히 바람직하다.Among them, as the reactive diluent, a flash point of 100 ° C or higher is preferable from the viewpoint of ensuring safety in the manufacturing process. As the reactive diluent, polyfunctional (meth) acrylates such as polyols such as trimethylolpropane tri (meth) acrylate or (meth) acrylates of alkylene oxide adducts thereof are particularly preferable.

반응성 희석제는 상기 공중합체 100 질량부에 대하여 예를 들면 1 내지 1000 질량부, 바람직하게는 50 내지 700 질량부, 더욱 바람직하게는 100 내지 500 질량부의 비율로 배합할 수 있다.The reactive diluent may be blended in an amount of, for example, 1 to 1000 parts by mass, preferably 50 to 700 parts by mass, and more preferably 100 to 500 parts by mass based on 100 parts by mass of the copolymer.

본 발명의 경화성 수지 조성물에 필요에 따라 첨가하는 충전제로는, 에폭시 수지 등의 반응성 수지, 황산바륨, 산화규소, 탈크, 클레이 및 탄산칼슘 등을 들 수 있다. 착색용 안료로는 프탈로시아닌그린, 크리스탈바이올렛, 산화티탄 및 카본 블랙 등을 들 수 있다. 중합 금지제로는 하이드로퀴논, 하이드로퀴논모노메틸에테르, 페노티아진 등을 들 수 있다.As a filler added to the curable resin composition of this invention as needed, reactive resins, such as an epoxy resin, barium sulfate, silicon oxide, talc, clay, calcium carbonate, etc. are mentioned. Phthalocyanine green, crystal violet, titanium oxide, carbon black, etc. are mentioned as a coloring pigment. Hydroquinone, hydroquinone monomethyl ether, phenothiazine, etc. are mentioned as a polymerization inhibitor.

이와 같이 해서 얻어지는 경화성 수지 조성물은, 경화에 의해 기재나 기판에 대하여 높은 밀착성을 가질 뿐 아니라, 내용제성이나 내알칼리성 등의 내약품성이 우수한 경화물(경화 피막 등)을 얻을 수 있다. 이 때문에, 액정 레지스트용 재료 이외에 도료, 잉크, 코팅제, 점접착제 등의 구성 성분으로서도 유용하고, 특히 전자 재료 분야에서 바람직하게 사용할 수 있다.Curable resin composition obtained in this way can not only have high adhesiveness with respect to a base material and a board | substrate by hardening, but can also obtain hardened | cured material (hardened film etc.) excellent in chemical-resistance, such as solvent resistance and alkali resistance. For this reason, it is useful also as structural components, such as a coating material, an ink, a coating agent, and an adhesive agent, in addition to the liquid crystal resist material, and can use it especially suitably in the field of electronic materials.

[경화물][Cured goods]

본 발명의 경화물은, 예를 들면 상기 경화성 수지 조성물을 스핀 코터, 슬릿 코터 등의 방식에 의해서 각종 기재 또는 기판에 도공하여 도막을 형성한 후, 상기 도막을 경화시킴으로써 얻을 수 있다. 기재 또는 기판으로는 유리, 세라믹, 실리콘 웨이퍼, 금속, 플라스틱 등을 들 수 있다. 스핀 코터나 슬릿 코터 등에 의한 도공은 공지된 방법에 의해 행할 수 있다. 본 발명의 경화물은 기판 밀착성, 내용제성, 경도, 막 두께 균일성, 선폭 균일성, 감도, 현상성, 형성되는 패턴 특성 등의 여러 물성이 우수하다.The hardened | cured material of this invention can be obtained by hardening the said coating film, for example, after apply | coating the said curable resin composition to various base materials or boards by methods, such as a spin coater and a slit coater, and forming a coating film. Examples of the substrate or substrate include glass, ceramics, silicon wafers, metals, plastics, and the like. Coating by a spin coater, a slit coater, etc. can be performed by a well-known method. The cured product of the present invention is excellent in various physical properties such as substrate adhesion, solvent resistance, hardness, film thickness uniformity, line width uniformity, sensitivity, developability, and formed pattern characteristics.

도막의 경화는 가열하는 것, 또는 활성 에너지선을 조사하여 노광하는 것, 또는 노광 후에 가열하는 것에 의해 행해진다. 상기 경화성 수지 조성물을 열에 의해 경화시키는 경우, 가열 온도는 50℃ 내지 260℃의 범위, 바람직하게는 80℃ 내지 240℃의 범위이다. 또한, 상기 경화성 수지 조성물을 광에 의해 경화시키는 경우, 노광에는 다양한 파장의 광선, 예를 들면 자외선, X선, g선, i선, 엑시머 레이저 등이 사용된다. 경화 후의 도막의 두께는 용도에 따라 적절하게 선택할 수 있지만, 일반적으로는 0.1 내지 40 ㎛, 바람직하게는 0.3 내지 20 ㎛, 보다 바람직하게는 0.5 내지 10 ㎛ 정도이다.Curing of a coating film is performed by heating, irradiating and exposing an active energy ray, or heating after exposure. When hardening the said curable resin composition with heat, heating temperature is the range of 50 degreeC-260 degreeC, Preferably it is the range of 80 degreeC-240 degreeC. In addition, when hardening the said curable resin composition with light, the light ray of various wavelengths, for example, ultraviolet-ray, X-ray, g-ray, i-ray, an excimer laser etc. are used for exposure. Although the thickness of the coating film after hardening can be suitably selected according to a use, it is generally 0.1-40 micrometers, Preferably it is 0.3-20 micrometers, More preferably, it is about 0.5-10 micrometers.

[실시예][Example]

이하, 실시예에 기초하여 본 발명을 보다 상세히 설명하지만, 본 발명이 이들 실시예에 의해 하등 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, although this invention is demonstrated in detail based on an Example, this invention is not limited at all by these Examples.

합성예 1Synthesis Example 1

환류 냉각기, 적하 깔때기 및 교반기를 구비한 1 L의 플라스크 내에 질소를 0.02 L/분으로 흘려 질소 분위기로 하고, 디프로필렌글리콜디메틸에테르 250 질량부를 넣고, 교반하면서 65℃까지 가열하였다. 이어서, 메타크릴산 30 질량부, 트리시클로[5.2.1.02.6]데칸-8-일메타크릴레이트 60 질량부, 3,4-에폭시시클로헥실메틸메타크릴레이트 200 질량부를 디프로필렌글리콜디메틸에테르 70 질량부에 용해시켜 용액을 제조하고, 상기 용해액을, 적하 깔때기를 이용하여 4시간에 걸쳐 65℃로 보온한 플라스크 내에 적하하였다. 한편, 중합 개시제 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 30 질량부를 디프로필렌글리콜디메틸에테르 220 질량부에 용해시킨 용액을, 별도의 적하 깔때기를 이용하여 3시간에 걸쳐 플라스크 내에 적하하였다. 중합 개시제의 용액의 적하가 종료된 후, 3 시간 동안 65℃로 유지시키고, 그 후 디프로필렌글리콜디메틸에테르 140 질량부로 희석한 후, 실온까지 냉각시켜 공중합체 A의 용액을 얻었다. 얻어진 공중합체 A 용액의 고형분은 30.8 질량%, 산가는 75 mg-KOH/g(고형분 환산), 중량 평균 분자량 Mw는 11,400, 분산도는 2.23이었다.In a 1 L flask equipped with a reflux condenser, a dropping funnel and a stirrer, nitrogen was flowed at 0.02 L / min to make a nitrogen atmosphere, and 250 parts by mass of dipropylene glycol dimethyl ether was added and heated to 65 ° C while stirring. Subsequently, 30 parts by mass of methacrylic acid, 60 parts by mass of tricyclo [5.2.1.0 2.6 ] decane-8-ylmethacrylate, and 200 parts by mass of 3,4-epoxycyclohexylmethyl methacrylate were 70 parts by mass of dipropylene glycol dimethyl ether. It melt | dissolved in the part, the solution was prepared, and the said solution was dripped in the flask heated to 65 degreeC over 4 hours using the dropping funnel. On the other hand, the flask which melt | dissolved 30 mass parts of polymerization initiators 2,2'- azobis (2, 4- dimethylvaleronitrile) in 220 mass parts of dipropylene glycol dimethyl ethers, the flask over 3 hours using the other dropping funnel. It dripped in the inside. After the dropping of the solution of the polymerization initiator was completed, the solution was maintained at 65 ° C for 3 hours, and then diluted with 140 parts by mass of dipropylene glycol dimethyl ether, and then cooled to room temperature to obtain a solution of copolymer A. Solid content of the obtained copolymer A solution was 30.8 mass%, the acid value was 75 mg-KOH / g (solid content conversion), the weight average molecular weight Mw was 11,400, and dispersion degree was 2.23.

합성예 2Synthesis Example 2

환류 냉각기, 적하 깔때기 및 교반기를 구비한 1 L의 플라스크 내에 질소를 0.02 L/분으로 흘려 질소 분위기로 하고, 디프로필렌글리콜디메틸에테르 250 질량부를 넣고, 교반하면서 65℃까지 가열하였다. 이어서, 메타크릴산 30 질량부, 트리시클로[5.2.1.02.6]데칸-8-일메타크릴레이트 60 질량부, 3,4-에폭시시클로헥실메틸메타크릴레이트 200 질량부를 디프로필렌글리콜디메틸에테르 70 질량부에 용해시켜 용액을 제조하고, 상기 용해액을, 적하 깔때기를 이용하여 4시간에 걸쳐 65℃로 보온한 플라스크 내에 적하하였다. 한편, 중합 개시제 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 30 질량부를 디프로필렌글리콜디메틸에테르 220 질량부에 용해시킨 용액을, 별도의 적하 깔때기를 이용하여 3시간에 걸쳐 플라스크 내에 적하하였다. 중합 개시제의 용액의 적하가 종료된 후, 3 시간 동안 65℃로 유지시키고, 그 후 디프로필렌글리콜디메틸에테르 70 질량부 및 디프로필렌글리콜메틸 n-프로필에테르 70 질량부로 희석한 후, 실온까지 냉각시켜 공중합체 A의 용액을 얻었다. 얻어진 공중합체 A 용액의 고형분은 31.1 질량%, 산가는 71 mg-KOH/g(고형분 환산), 중량 평균 분자량 Mw는 11,800, 분산도는 2.22였다.In a 1 L flask equipped with a reflux condenser, a dropping funnel and a stirrer, nitrogen was flowed at 0.02 L / min to make a nitrogen atmosphere, and 250 parts by mass of dipropylene glycol dimethyl ether was added and heated to 65 ° C while stirring. Subsequently, 30 parts by mass of methacrylic acid, 60 parts by mass of tricyclo [5.2.1.0 2.6 ] decane-8-ylmethacrylate, and 200 parts by mass of 3,4-epoxycyclohexylmethyl methacrylate were 70 parts by mass of dipropylene glycol dimethyl ether. It melt | dissolved in the part, the solution was prepared, and the said solution was dripped in the flask heated to 65 degreeC over 4 hours using the dropping funnel. On the other hand, the flask which melt | dissolved 30 mass parts of polymerization initiators 2,2'- azobis (2, 4- dimethylvaleronitrile) in 220 mass parts of dipropylene glycol dimethyl ethers, the flask over 3 hours using the other dropping funnel. It dripped in the inside. After the dropwise addition of the solution of the polymerization initiator was completed, the mixture was maintained at 65 ° C. for 3 hours, and then diluted with 70 parts by mass of dipropylene glycol dimethyl ether and 70 parts by mass of dipropylene glycol methyl n-propyl ether, and then cooled to room temperature. A solution of copolymer A was obtained. Solid content of the obtained copolymer A solution was 31.1 mass%, the acid value was 71 mg-KOH / g (solid content conversion), the weight average molecular weight Mw was 11,800, and dispersion degree was 2.22.

합성예 3Synthesis Example 3

환류 냉각기, 적하 깔때기 및 교반기를 구비한 1 L의 플라스크 내에 질소를 0.02 L/분으로 흘려 질소 분위기로 하고, 디프로필렌글리콜디메틸에테르 110 질량부 및 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 140 질량부를 넣고, 교반하면서 65℃까지 가열하였다. 이어서, 메타크릴산 30 질량부, 트리시클로[5.2.1.02.6]데칸-8-일메타크릴레이트 60 질량부, 3,4-에폭시시클로헥실메틸메타크릴레이트 200 질량부를 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 70 질량부에 용해시켜 용액을 제조하고, 상기 용해액을, 적하 깔때기를 이용하여 4시간에 걸쳐 65℃로 보온한 플라스크 내에 적하하였다. 한편, 중합 개시제 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 30 질량부를 디프로필렌글리콜디메틸에테르 230 질량부에 용해시킨 용액을, 별도의 적하 깔때기를 이용하여 3시간에 걸쳐 플라스크 내에 적하하였다. 중합 개시제의 용액의 적하가 종료된 후, 3 시간 동안 65℃로 유지시키고, 그 후 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 130 질량부로 희석한 후, 실온까지 냉각하여 공중합체 A의 용액을 얻었다. 얻어진 공중합체 A 용액의 고형분은 31.2 질량%, 산가는 73 mg-KOH/g(고형분 환산), 중량 평균 분자량 Mw는 10,800, 분산도는 2.16이었다.Into a 1 L flask equipped with a reflux condenser, a dropping funnel and a stirrer, nitrogen was flowed at 0.02 L / min to a nitrogen atmosphere, and 110 parts by mass of dipropylene glycol dimethyl ether and 140 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate were added and stirred. Heated to 65 ° C. Subsequently, 30 parts by mass of methacrylic acid, 60 parts by mass of tricyclo [5.2.1.0 2.6 ] decane-8-ylmethacrylate, and 200 parts by mass of 3,4-epoxycyclohexylmethyl methacrylate were produced from propylene glycol monomethyl ether acetate 70 It melt | dissolved in the mass part, the solution was prepared, and the said solution was dripped in the flask kept warm at 65 degreeC over 4 hours using the dropping funnel. On the other hand, the flask which melt | dissolved 30 mass parts of polymerization initiators 2,2'- azobis (2, 4- dimethylvaleronitrile) in 230 mass parts of dipropylene glycol dimethyl ethers, the flask over 3 hours using the other dropping funnel. It dripped in the inside. After the dropping of the solution of the polymerization initiator was completed, the solution was maintained at 65 ° C. for 3 hours, and then diluted with 130 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate, and then cooled to room temperature to obtain a solution of copolymer A. Solid content of the obtained copolymer A solution was 31.2 mass%, the acid value was 73 mg-KOH / g (solid content conversion), the weight average molecular weight Mw was 10,800, and dispersion degree was 2.16.

합성예 4Synthesis Example 4

환류 냉각기, 적하 깔때기 및 교반기를 구비한 1 L의 플라스크 내에 질소를 0.02 L/분으로 흘려 질소 분위기로 하고, 디프로필렌글리콜디메틸에테르 250 질량부를 넣고, 교반하면서 65℃까지 가열하였다. 이어서, 메타크릴산 30 질량부, 3,4-에폭시트리시클로[5.2.1.02,6]데칸-8 또는 9-일아크릴레이트 260 질량부를 디프로필렌글리콜디메틸에테르 70 질량부에 용해시켜 용액을 제조하고, 상기 용해액을, 적하 깔때기를 이용하여 4시간에 걸쳐 65℃로 보온한 플라스크 내에 적하하였다. 한편, 중합 개시제 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 30 질량부를 디프로필렌글리콜디메틸에테르 220 질량부에 용해시킨 용액을, 별도의 적하 깔때기를 이용하여 3시간에 걸쳐 플라스크 내에 적하하였다. 중합 개시제의 용액의 적하가 종료된 후, 3 시간 동안 65℃로 유지시키고, 그 후 디프로필렌글리콜디메틸에테르 140 질량부로 희석한 후, 실온까지 냉각시켜 공중합체 B의 용액을 얻었다. 얻어진 공중합체 B 용액의 고형분은 29.8 질량%, 산가는 68 mg-KOH/g(고형분 환산), 중량 평균 분자량 Mw는 11,100, 분산도는 2.21이었다.In a 1 L flask equipped with a reflux condenser, a dropping funnel and a stirrer, nitrogen was flowed at 0.02 L / min to make a nitrogen atmosphere, and 250 parts by mass of dipropylene glycol dimethyl ether was added and heated to 65 ° C while stirring. Subsequently, 30 parts by mass of methacrylic acid and 260 parts by mass of 3,4-epoxytricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane-8 or 9-ylacrylate were dissolved in 70 parts by mass of dipropylene glycol dimethyl ether to prepare a solution. And the said solution was dripped in the flask heated at 65 degreeC over 4 hours using the dropping funnel. On the other hand, the flask which melt | dissolved 30 mass parts of polymerization initiators 2,2'- azobis (2, 4- dimethylvaleronitrile) in 220 mass parts of dipropylene glycol dimethyl ethers, the flask over 3 hours using the other dropping funnel. It dripped in the inside. After the dropping of the solution of the polymerization initiator was completed, the solution was maintained at 65 ° C. for 3 hours, and then diluted with 140 parts by mass of dipropylene glycol dimethyl ether, and then cooled to room temperature to obtain a solution of copolymer B. Solid content of the obtained copolymer B solution was 29.8 mass%, the acid value was 68 mg-KOH / g (solid content conversion), the weight average molecular weight Mw was 11,100, and dispersion degree was 2.21.

비교 합성예 1Comparative Synthesis Example 1

합성예 1에 있어서, 디프로필렌글리콜디메틸에테르를 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트로 변경한 것 이외에는 합성예 1과 동일하게 하여 공중합체 A를 합성하였다. 얻어진 공중합체 A 용액의 고형분은 31.1 질량%, 산가는 70 mg-KOH/g(고형분 환산), 중량 평균 분자량 Mw는 11,600, 분산도는 2.33이었다.In Synthesis Example 1, Copolymer A was synthesized in the same manner as in Synthesis Example 1 except that dipropylene glycol dimethyl ether was changed to propylene glycol monomethyl ether acetate. Solid content of the obtained copolymer A solution was 31.1 mass%, the acid value was 70 mg-KOH / g (solid content conversion), the weight average molecular weight Mw was 11,600, and dispersion degree was 2.33.

비교 합성예 2 Comparative Synthesis Example 2

합성예 1에 있어서, 디프로필렌글리콜디메틸에테르를 에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트로 변경한 것 이외에는 합성예 1과 동일하게 하여 공중합체 A를 합성하였다. 얻어진 공중합체 A 용액의 고형분은 31.2 질량%, 산가는 75 mg-KOH/g(고형분 환산), 중량 평균 분자량 Mw는 11,600, 분산도는 2.26이었다.In Synthesis Example 1, Copolymer A was synthesized in the same manner as in Synthesis Example 1 except that dipropylene glycol dimethyl ether was changed to ethylene glycol monoethyl ether acetate. Solid content of the obtained copolymer A solution was 31.2 mass%, the acid value was 75 mg-KOH / g (solid content conversion), the weight average molecular weight Mw was 11,600, and dispersion degree was 2.26.

실시예 1 Example 1

합성예 1에서 제조한 공중합체 용액 50 질량부에 트리메틸올프로판트리아크릴레이트 50 질량부, 개시제로서 시바 가이기 제조 「이르가큐어 907」 2 질량부를 배합하여 경화성 수지 조성물 1을 제조하였다.50 mass parts of trimethylol propane triacrylate and 2 mass parts of "Irgacure 907" by a Shiva-Geigi product were mix | blended with 50 mass parts of copolymer solutions manufactured by the synthesis example 1, and the curable resin composition 1 was manufactured.

실시예 2Example 2

공중합체 용액을 합성예 2에서 제조한 것으로 변경한 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여, 경화성 수지 조성물 2를 제조하였다.Curable resin composition 2 was manufactured like Example 1 except having changed the copolymer solution into what was produced by the synthesis example 2.

실시예 3Example 3

공중합체 용액을 합성예 3에서 제조한 것으로 변경한 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여, 경화성 수지 조성물 3을 제조하였다.Curable resin composition 3 was manufactured like Example 1 except having changed the copolymer solution into what was produced by the synthesis example 3.

실시예 4Example 4

공중합체 용액을 합성예 4에서 제조한 것으로 변경한 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여, 경화성 수지 조성물 4를 제조하였다.Curable resin composition 4 was manufactured like Example 1 except having changed the copolymer solution into what was produced by the synthesis example 4.

비교예 1Comparative Example 1

공중합체 용액을 비교 합성예 1에서 제조한 것으로 변경한 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여, 경화성 수지 조성물 5를 제조하였다.Curable resin composition 5 was manufactured like Example 1 except having changed the copolymer solution into what was produced by comparative synthesis example 1.

비교예 2Comparative Example 2

공중합체 용액을 비교 합성예 2에서 제조한 것으로 변경한 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여, 경화성 수지 조성물 6을 제조하였다.Curable resin composition 6 was manufactured like Example 1 except having changed the copolymer solution into what was produced by comparative synthesis example 2.

평가 시험Evaluation test

(1) 평가용 시험편의 제작 (1) Preparation of test specimen for evaluation

기재에, 각 실시예 및 비교예에서 얻어진 공중합체 용액(경화성 수지 조성물)을 스핀 코터로 도포한 후, 80℃의 핫 플레이트로 10분간 가열시킨 후, 230℃의 오븐 속에서 30분간 가열시킴으로써 각 평가용 시험편을 제작하였다. 기재로서 유리판과 스테인리스판을 이용하였다.After apply | coating the copolymer solution (curable resin composition) obtained by each Example and the comparative example to a base material with a spin coater, it heats for 10 minutes with an 80 degreeC hotplate, and heats for 30 minutes in 230 degreeC oven, respectively. An evaluation test piece was produced. A glass plate and a stainless plate were used as a base material.

(2) 안정성(2) stability

각 실시예 및 비교예에서, 실온에서 2주간 저장한 공중합체 용액을 사용하고, 상기 (1)과 마찬가지로 하여 평가용 시험편(기재: 유리판, 스테인리스판)을 제작하였다.In each Example and the comparative example, the test piece (base material: glass plate, stainless steel plate) for evaluation was produced similarly to said (1) using the copolymer solution stored for 2 weeks at room temperature.

저장 전의 공중합체 용액을 사용하여 제작한 평가용 시험편[상기 (1)]과 비교하여, 동등한 막 두께의 균일한 도막이면 ◎, 약간 막 두께가 변화하지만 거의 동등한 도막이면 ○, 크게 막 두께가 변화한다면 △, 균일한 도막을 형성할 수 없으면 ×로 하였다. 유리판으로 제작한 평가 시험편을 이용한 경우에도, 스테인리스판으로 제작한 평가용 시험편을 이용한 경우에도 마찬가지의 결과가 얻어졌다.Compared to the test specimen for evaluation produced using the copolymer solution before storage [above (1)], if the uniform coating film is the same film thickness, the film thickness changes slightly, but if the coating film is almost the same, the film thickness greatly changes. (Triangle | delta) and when it was not able to form a uniform coating film were made into x. Even when the evaluation test piece made of the glass plate was used, the same result was obtained even when the test piece for evaluation made of the stainless plate was used.

(3) 밀착성(3) adhesion

상기 (1)에서 제작한 평가용 시험편(기재: 유리판, 스테인리스판)을 이용하고, JIS K-5600-5-6에 준거하여 기재로부터의 박리에 의해 밀착성을 측정하였다. 또한, JIS K5600-5-6의 8.3에 기재된 「표 1 시험 결과의 분류」에서 규정된 분류에 따라 하기 기준에 기초하여 평가하였다.The adhesiveness was measured by peeling from a base material based on JISK-5600-5-6 using the test piece for evaluation (substrate: glass plate, stainless steel plate) produced in said (1). Moreover, it evaluated based on the following criteria according to the classification prescribed | regulated in "the classification of the Table 1 test result" described in 8.3 of JISK5600-5-6.

◎: 시험 결과의 분류의 「0」이었다.(Double-circle): It was "0" of classification of the test result.

○: 시험 결과의 분류의 「1」이었다.(Circle): It was "1" of classification of the test result.

△: 시험 결과의 분류의 「2」였다.(Triangle | delta): It was "2" of the classification of the test result.

×: 시험 결과의 분류의 「3」, 「4」였다.X: It was "3" and "4" of classification of the test result.

(4) 내용제성(4) solvent resistance

실시예 및 비교예에서 유리판으로 제작한 평가용 시험편에 이소프로필알코올(IPA), 메틸에틸케톤(MEK), N-메틸피롤리돈(NMP)을 각각 1방울씩 적하하고, 10분간 방치하였다. 그 후 수세하고, 용제를 적하한 개소가 전혀 변화하지 않았다면 ◎, 약간 용제의 흔적이 남지만, 닦아내어 없어진다면 ○, 용제의 흔적이 남고, 닦아내더라도 없어지지 않는다면 △, 전면적으로 변색되어 있으면 ×로 하였다. 스테인리스판으로 제작한 평가용 시험편을 이용한 경우에도 마찬가지의 결과가 얻어졌다.Isopropyl alcohol (IPA), methyl ethyl ketone (MEK), and N-methylpyrrolidone (NMP) were respectively dripped at the test piece for evaluation produced by the glass plate in the Example and the comparative example, and it was left to stand for 10 minutes. After that, it was washed with water, and the place where the solvent was dripped did not change at all. ◎, traces of the solvent remained, but wiped off. ○, traces of the solvent remained. . The same result was obtained also when the test piece for evaluation made from the stainless plate was used.

평가 시험의 결과를 하기 표 1에 나타낸다. 또한, 표 1 중 수치의 단위는 중량부를 나타낸다.The results of the evaluation test are shown in Table 1 below. In addition, the unit of a numerical value in Table 1 represents a weight part.

Figure pat00001
Figure pat00001

표 1 중 용매의 약어는 이하의 것을 나타낸다.The abbreviation of a solvent in Table 1 shows the following.

DMM: 디프로필렌글리콜디메틸에테르 DMM: dipropylene glycol dimethyl ether

DPMNP: 디프로필렌글리콜메틸 n-프로필에테르 DPMNP: dipropylene glycol methyl n-propyl ether

MMPGAC: 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 MMPGAC: Propylene Glycol Monomethyl Ether Acetate

EGA: 에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트 EGA: ethylene glycol monoethyl ether acetate

표로부터 명백한 바와 같이, 실시예의 경화성 수지 조성물, 및 이 수지 조성물로부터 얻어진 경화 도막은 안정성, 기판 밀착성 및 내용제성 중 어느 측면에서도 우수하였다. 이에 대하여, 비교예의 경화성 수지 조성물, 및 이 수지 조성물로부터 얻어진 경화 도막은 안정성, 밀착성의 측면에서 뒤떨어져 있었다.As is clear from the table, the curable resin composition of the Example and the cured coating film obtained from this resin composition were excellent also in any of stability, board | substrate adhesiveness, and solvent resistance. On the other hand, the curable resin composition of the comparative example and the cured coating film obtained from this resin composition were inferior in the aspect of stability and adhesiveness.

본 발명에 따르면, 사용 용제의 안전성의 문제를 해결하면서 수지 용해성, 조성물의 안정성, 도포성이 우수할 뿐 아니라, 레지스트용 재료로서 이용한 경우의 감도, 현상성, 형성되는 패턴 특성 등의 여러 물성이 우수한 경화성 수지 조성물이 얻어진다. 이 경화성 수지 조성물을 경화하여 얻어진 도막은 막 두께 균일성, 기판에 대한 밀착성, 내용제성 등의 여러 물성이 우수하기 때문에, 레지스트용 재료 이외에 도료, 코팅제, 점접착제 등으로서 이용할 수 있으며, 특히 전자 재료 분야에서 바람직하게 사용할 수 있다.According to the present invention, while solving the problem of safety of the solvent used, not only the resin solubility, the stability of the composition and the coating property are excellent, but also various physical properties such as sensitivity, developability, and pattern characteristics to be formed when used as a resist material. Excellent curable resin composition is obtained. Since the coating film obtained by hardening this curable resin composition is excellent in various physical properties, such as film thickness uniformity, adhesiveness with respect to a board | substrate, and solvent resistance, it can be used as a coating material, a coating agent, an adhesive agent, etc. other than a resist material, Especially an electronic material It can be used preferably in the field.

Claims (5)

(A) 지환식 에폭시기 함유 중합성 불포화 화합물에 대응하는 단량체 단위 및 (B) 알칼리 가용성기를 포함하는 단량체 단위를 포함하는 공중합체와, 디프로필렌글리콜디메틸에테르를 전체 용매 중 30 내지 100 질량% 함유하는 용매를 포함하는 것을 특징으로 하는 경화성 수지 조성물.A copolymer comprising a monomer unit corresponding to (A) an alicyclic epoxy group-containing polymerizable unsaturated compound and (B) a monomer unit containing an alkali-soluble group, and dipropylene glycol dimethyl ether containing 30 to 100% by mass in all solvents. Curable resin composition characterized by including a solvent. 제1항에 있어서, (A) 지환식 에폭시기 함유 중합성 불포화 화합물이 3,4-에폭시시클로헥실메틸(메트)아크릴레이트, 3,4-에폭시트리시클로[5.2.1.02,6]데칸-8 또는 9-일(메트)아크릴레이트로부터 선택된 적어도 1종의 화합물인 경화성 수지 조성물.The polymerizable unsaturated compound containing (A) an alicyclic epoxy group is selected from the group consisting of 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate and 3,4-epoxytricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane-8. Or at least one compound selected from 9-yl (meth) acrylates. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 공중합체가 추가로 (C) 에폭시기 비함유 지환식 중합성 불포화 화합물에 대응하는 단량체 단위를 포함하는 것인 경화성 수지 조성물.The curable resin composition of Claim 1 or 2 in which the said copolymer further contains the monomeric unit corresponding to the (C) epoxy group-containing alicyclic polymerizable unsaturated compound. (1) 중합 용매로서, 디프로필렌글리콜디메틸에테르를 함유하는 용매를 사용하여 공중합체를 제조하는 공정, 또는 (2) 공중합체의 용매를, 디프로필렌글리콜디메틸에테르를 함유하는 용매로 용매 교환하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는, 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 기재된 경화성 수지 조성물의 제조 방법.(1) Process of manufacturing a copolymer using the solvent containing dipropylene glycol dimethyl ether as a polymerization solvent, or (2) Solvent-exchanging the solvent of a copolymer with the solvent containing dipropylene glycol dimethyl ether. The manufacturing method of curable resin composition of any one of Claims 1-3 characterized by including. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 기재된 경화성 수지 조성물을 경화시켜 얻어지는 경화물.Hardened | cured material obtained by hardening | curing curable resin composition of any one of Claims 1-3.
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