KR100993473B1

KR100993473B1 - Stage device

Info

Publication number: KR100993473B1
Application number: KR1020080093188A
Authority: KR
Inventors: 다츠야 요시다; 야스히토 나카모리
Original assignee: 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤
Priority date: 2007-12-12
Filing date: 2008-09-23
Publication date: 2010-11-10
Also published as: KR20090063076A; TW200926345A; JP2008060614A; JP4195497B2; CN101459103A; CN101459103B; TWI383467B

Abstract

[PROBLEMS] To provide a stage apparatus that can accurately process a substrate on a base without lowering throughput by increasing the rigidity of the base.

[Solving means] The stage apparatus 1 includes a base stand 10, a gantry portion 30 provided to be movable on the base stand 10, and a vibration damping unit for supporting the base stand 10. 50 is provided. The base stand 10 includes an upper frame 12 constructed by connecting pipes in a frame shape, and a lower frame installed by connecting pipes in a frame shape and spaced vertically from the upper frame 12 ( 22, and a connecting member 18 connecting the upper frame 12 and the lower frame 22.

Stage device, base frame, gantry part, vibration damping unit, pipe, connecting material

Description

Stage device

본 발명은, 기판이 탑재되는 베이스대 위를 1축 방향으로 이동하는 갠트리부를 가지는 스테이지장치에 관한 것이다. The present invention relates to a stage apparatus having a gantry portion moving in a single axis direction on a base table on which a substrate is mounted.

종래, 액정패널이나 반도체 등의 각종 기판의 제조 등에 이용되는 스테이지장치로서, 예컨대 특허문헌 1에 개시된 것이 알려져 있다. 이 스테이지장치는, 관재(罐材; can material)를 프레임 형상으로 연결하여 구축된 제관(製罐)구조의 베이스대(基臺)와, 베이스대의 양측에 설치된 한 쌍의 가이드 레일과, 이들 가이드 레일을 따라서 안내되는 한 쌍의 안내 슬라이더와, 한 쌍의 안내 슬라이더 사이에 횡으로 가설되는 빔을 구비하고 있다. 빔은, 가이드 레일을 따라서 이동하며, 이 빔에 탑재된 카메라나 리페어장치 등에 의하여, 기판의 결함을 검출함과 함께 그를 수복(修復)한다. 베이스대는, 제진(除振)유닛을 통하여 가설대(架臺) 위에 지지된다. 또한 베이스대는, 프레임 내에 평행하게 가설되는 보강캔에 의하여 보강된다.Conventionally, what was disclosed by patent document 1 is known as a stage apparatus used for manufacture of various board | substrates, such as a liquid crystal panel and a semiconductor, for example. The stage device includes a base stage of a steel pipe structure formed by connecting can materials in a frame shape, a pair of guide rails provided on both sides of the base stage, and these guides. A pair of guide sliders guided along the rail and a beam horizontally interposed between the pair of guide sliders are provided. The beam moves along the guide rail, and detects a defect of the substrate and repairs it by a camera, a repair apparatus, or the like mounted on the beam. The base stand is supported on the temporary stand through the vibration suppression unit. Moreover, the base stand is reinforced by the reinforcing can which is installed in parallel in the frame.

[특허문헌 1] 일본국 특허공개 2006-269509호 공보[Patent Document 1] Japanese Patent Publication No. 2006-269509

그러나, 상기한 제관구조의 베이스대에서는, 비록 보강캔을 설치하였다고 하더라도 강성이 충분하지 않기 때문에, 예컨대 빔이 가이드 레일을 따라서 앞쪽으로 이동함과 함께 카메라 등의 탑재물이 오른쪽으로 이동하였을 때, 베이스대의 앞측 오른쪽 모서리가 움푹 들어가는 것처럼, 베이스대에 수십 마이크론 오더의 변형이 생긴다. 따라서, 카메라 등의 탑재물을 정확한 거리만큼 이동시켰다고 하더라도, 이 베이스대의 변형 분만큼 탑재물과 베이스대의 상대위치에 오차를 발생시키게 되어 버려서, 기판의 처리를 정확하게 행할 수 없는 우려가 있었다. 이때, 베이스대의 변형이 원래대로 되돌아갈 때까지 기판의 처리를 기다리도록 하면, 스루풋(throughput)이 현저히 저하되어 버릴 우려가 있었다. However, in the base stage of the above-described canned structure, since the rigidity is not sufficient even if the reinforcing can is installed, for example, when the beam moves forward along the guide rail and the payload of the camera or the like moves to the right, Just as the front right edge of the base rack dents, there are several tens of micron orders of deformation in the base rack. Therefore, even if the payload of the camera or the like is moved by the correct distance, an error occurs in the relative position of the payload and the payload of the base, and there is a concern that the substrate cannot be processed correctly. At this time, if the processing of the substrate is waited until the deformation of the base band is returned to its original state, there is a fear that the throughput is significantly reduced.

본 발명은, 상기한 사정에 감안하여 이루어진 것으로, 베이스대의 강성을 높임으로써, 스루풋을 떨어뜨리지 않고서 베이스대 위에서 기판을 정확하게 처리하는 것을 가능하게 하는 스테이지장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide a stage apparatus that enables accurate processing of a substrate on a base without reducing throughput by increasing the rigidity of the base.

본 발명에 관한 스테이지장치는, 베이스대와, 상기 베이스대 위에서 1축 방향으로 이동 가능하게 설치되는 갠트리와, 상기 베이스대를 지지하는 제진유닛을 구비한 스테이지장치이다. 상기 베이스대는, 관재를 프레임 형상으로 연결하여 구축된 상부 프레임과, 관재를 프레임 형상으로 연결하여 구축되며 상기 상부 프레임 과 상하로 이격되어 설치된 하부 프레임과, 상기 상부 프레임과 상기 하부 프레임을 연결하는 연결재를 가진다. A stage apparatus according to the present invention is a stage apparatus including a base stage, a gantry provided to be movable in the axial direction on the base stage, and a vibration damping unit supporting the base stage. The base unit is connected to the upper frame and the lower frame and the upper frame is formed by connecting the tube in a frame shape, the lower frame is installed by connecting the tube in a frame shape spaced up and down the upper frame, the connecting member for connecting the upper frame and the lower frame Has

이 스테이지장치에서는, 베이스대가 상부 프레임과 하부 프레임을 가지며, 이를 연결재로 연결하여, 소위 박스 구조로 되어 있기 때문에, 관재에 의하여 구성되어 경량화가 도모되어 있음에도 불구하고, 강성이 높여져 있다. 따라서, 갠트리의 이동에 의하여 하중이 걸려 제진유닛이 침하하여 베이스대가 기울었다 하더라도, 베이스대 자체의 변형은 억제되고 있으므로, 갠트리와 베이스대의 상대위치의 오차는 지극히 작아서, 기판의 정확한 처리가 가능하게 된다. 또한, 베이스대의 변형이 원래대로 되돌아갈 때까지 기판의 처리를 기다릴 필요가 없기 때문에, 스루풋을 떨어뜨릴 우려도 없다. In this stage device, since the base frame has an upper frame and a lower frame, which are connected by a connecting material to form a so-called box structure, the rigidity is improved despite the weight reduction due to the pipe member. Therefore, even if the vibration damping unit sinks due to the movement of the gantry and the base stage is tilted, the deformation of the base stage itself is suppressed. Therefore, the error of the relative position of the gantry and the base stage is extremely small, so that accurate processing of the substrate is possible. do. Moreover, since there is no need to wait for the process of the board | substrate until the deformation | transformation of a base stand returns to the original state, there is no possibility of dropping throughput.

스테이지장치는, 상기 제진유닛을 통하여 상기 베이스대를 지지하는 가설대를 구비하는 것을 특징으로 하여도 좋다. 이와 같이 하면, 가설대 위에서 베이스대를 제진상태에서 지지할 수 있다. The stage device may be characterized by including a temporary stand for supporting the base stand via the vibration damping unit. In this way, the base stand can be supported in the damping state on the temporary stand.

상기 상부 프레임은 외형이 직사각 형상이고, 상기 하부 프레임은 상기 상부 프레임의 외형을 따라서 네 모서리가 움푹 들어간 직사각 형상이며, 상기 가설대는 상기 상부 프레임의 외형을 따르는 직사각 형상의 프레임바디와, 상기 하부 프레임의 네 모서리의 오목 부분을 통하여 상기 상부 프레임의 네 모서리를 하방으로부터 지지하는 지주를 가지며, 상기 제진유닛은, 적어도 상기 상부 프레임의 네 모서리와 상기 지주의 상단(上端) 사이에 설치되어 있는 것을 특징으로 하여도 좋다. 이와 같이 하면, 제진유닛을 통하여 베이스대를 중심에 가까우며 보다 높은 위치에서 지지할 수 있기 때문에, 갠트리의 이동에 의하여 생기는 베이스대의 흔들림을 억제할 수 있다. 또한, 하부 프레임이 추(錘)로서 기능함으로써, 베이스대의 흔들림을 한층 억제할 수 있다. The upper frame has a rectangular shape, and the lower frame has a rectangular shape with four corners recessed along the outline of the upper frame, and the temporary frame has a rectangular frame body along the outline of the upper frame, and the lower frame. It has a support for supporting the four corners of the upper frame from below through the concave portion of the four corners of the, wherein the vibration damping unit is installed between at least four corners of the upper frame and the upper end of the support You may make it. In this way, since the base stand is close to the center and can be supported at a higher position through the damping unit, the shake of the base stand caused by the movement of the gantry can be suppressed. In addition, since the lower frame functions as a weight, the shake of the base can be further suppressed.

상기 베이스대는, 이 베이스대를 수평방향으로 복수의 블록으로 분할하기 위한 분할부를 가지는 것을 특징으로 하여도 좋다. 이와 같이 하면, 기판의 대형화에 수반하여 베이스대가 대형화되어도, 특수대형차량을 이용하지 않고 베이스대를 분할하여 수송하는 것이 가능하게 된다. The base stand may have a divider for dividing the base stand into a plurality of blocks in the horizontal direction. In this way, even if the base stand is enlarged with the enlargement of the substrate, it is possible to divide and transport the base stand without using a special large vehicle.

상기 분할부는, 상기 상부 프레임 및 상기 하부 프레임을 구성하는 관재를 상하 대응하는 위치에서 절단하여 구성되어 있는 것을 특징으로 하여도 좋다. 이와 같이 하여도, 상부 프레임과 하부 프레임에 설치되는 분할부는 상하 방향으로 이격되어 있기 때문에, 강성 상 유리하다. The said division part may be comprised by cutting the pipe | tube material which comprises the said upper frame and the said lower frame at the position corresponding to up-down. Even in this way, since the divided parts provided in the upper frame and the lower frame are spaced apart in the vertical direction, they are advantageous in terms of rigidity.

상기 관재의 절단면에는, 외향(外向) 플랜지가 설치되어 있는 것을 특징으로 하여도 좋다. 이와 같이 하면, 분할된 블록끼리를 외향 플랜지를 통하여 용이하게 연결할 수 있다. An outward flange may be provided on the cut surface of the pipe. In this way, divided blocks can be easily connected through an outward flange.

상기 상부 프레임 및 상기 하부 프레임의 적어도 한쪽의 프레임 내에는, 경사방향으로 보강재가 가설되어 있는 것을 특징으로 하여도 좋다. 이와 같이 하면, 프레임 내에 평행하게 보강재를 가설하는 경우에 비하여 충분히 베이스대의 강성을 향상시킬 수 있다. 즉, 갠트리와 이 탑재장치가 동시에 이동하였을 경우에 발생할 가능성이 있는 베이스대의 비틀림에 대한 비틀림 강성을 높일 수 있다In at least one of the upper frame and the lower frame, a reinforcing material may be provided in an inclined direction. By doing in this way, rigidity of a base stand can fully be improved compared with the case where a reinforcement material is installed in parallel in a frame. That is, torsional rigidity against torsional torsion, which may occur when the gantry and the mounting apparatus move simultaneously, can be increased.

본 발명에 의하면, 베이스대의 강성을 높임으로써, 스루풋을 떨어뜨리지 않고서 베이스대 위에서 기판을 정확하게 처리하는 것을 가능하게 하는 스테이지장치를 제공할 수 있다. According to the present invention, by increasing the rigidity of the base stage, it is possible to provide a stage apparatus that enables the substrate to be processed accurately on the base stage without dropping the throughput.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 설명한다. 다만, 도면의 설명에 있어서 동일한 요소에는 동일한 부호를 붙이고, 중복되는 설명을 생략한다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In addition, in description of drawing, the same code | symbol is attached | subjected to the same element, and the overlapping description is abbreviate | omitted.

[제1 실시예] [First Embodiment]

도 1은, 본 발명의 제1 실시예에 관한 스테이지장치(1)를 나타내는 사시도, 도 2는, 도 1의 스테이지장치(1)가 구비하는 베이스대를 상방으로부터 본 사시도, 도 3은, 베이스대를 하방으로부터 본 사시도, 도 4는, 연결재가 연결된 베이스대의 하부 프레임이 제진유닛에 지지되어 있는 상태를 나타내는 사시도이다. 1 is a perspective view showing a stage device 1 according to a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view of the base stand provided by the stage device 1 of FIG. 1 from above, and FIG. 4 is a perspective view showing a state in which the lower frame of the base stand to which the connecting member is connected is supported by the vibration suppression unit.

도 1에 나타내는 바와 같이, 스테이지장치(1)는, 기판이 탑재되는 베이스대(10)와, 베이스대(10) 위를 이동하는 갠트리부(30)와, 베이스대(10)에 설치되어, 갠트리부(30)의 이동을 안내하는 가이드 레일(40) 및 영구자석(42)과, 갠트리부(30)의 하부에 설치되어, 가이드 레일(40)에 안내되는 안내 슬라이더(44) 및 영구자석(42)과 대향하는 전자석(48)을 구비하며, 이 갠트리부(30)가 가이드 레 일(40)을 따라서 이동하는 것이다. 여기서, 도 1에 있어서, 베이스대(10)의 길이방향을 Y축 방향이라 하고, 이들과 직교하는 수평방향을 X축 방향이라 하며, 이들과 직교하는 방향을 Z축 방향이라 한다. As shown in FIG. 1, the stage apparatus 1 is provided in the base stand 10 in which a board | substrate is mounted, the gantry part 30 which moves on the base stand 10, and the base stand 10, A guide rail 40 and a permanent magnet 42 for guiding the movement of the gantry part 30, and a guide slider 44 and a permanent magnet installed in the lower part of the gantry part 30 and guided to the guide rail 40. An electromagnet 48 opposed to 42 is provided, and the gantry portion 30 moves along the guide rail 40. 1, the longitudinal direction of the base stand 10 is called the Y-axis direction, the horizontal direction orthogonal to these is called the X-axis direction, and the direction orthogonal to these is called the Z-axis direction.

베이스대(10)는, 상부 프레임(12)과, 상부 프레임(12)과 상하로 이격되어 설치된 하부 프레임(22)과, 상부 프레임(12)과 하부 프레임(22)을 연결하는 연결재(18)를 가지고 있다. The base stand 10 includes an upper frame 12, a lower frame 22 spaced apart from the upper frame 12, and a connecting member 18 connecting the upper frame 12 and the lower frame 22 to each other. Have

상부 프레임(12)은, X축 방향으로 뻗어 있는 관재(12a, 12b)와, Y축 방향으로 뻗어 있는 관재(12c, 12d)를 각각 연결시킴으로써 형성되는 직사각 형상의 프레임바디의 내측을, 복수의 보강재(14a, 14b, 14c, 14d)로 보강함으로써 구성된다. 여기서, 관재(12a, 12b, 12c, 12d)는 중공(中空)의 봉재(棒材)이며, 본 실시예에서는 단면 ㅁ 형상의 ㅁ 형강(型鋼)을 이용하고 있다. 또한, 보강재(14a, 14b, 14c, 14d)는, 중공·중실(中實)을 불문하고 프레임바디의 내측에 횡으로 가설되는 봉재이며, 본 실시예에서는 단면 H 형상의 H 형강과 단면 ㅁ 형상의 ㅁ 형강을 이용하고 있다. The upper frame 12 has a plurality of inner sides of the rectangular frame body formed by connecting the tube members 12a and 12b extending in the X-axis direction and the tube members 12c and 12d extending in the Y-axis direction, respectively. It is comprised by reinforcing by the reinforcing material 14a, 14b, 14c, 14d. Here, the pipe members 12a, 12b, 12c, and 12d are hollow rods, and in the present embodiment, a 형 shaped steel having a cross section shape is used. In addition, the reinforcing materials 14a, 14b, 14c, and 14d are rods which are temporarily laid inside the frame body, regardless of whether they are hollow or solid. ㅁ section steel is used.

여기서, 상세한 것은 후술하지만, 베이스대(10)는 길이방향의 수평방향으로 복수의 블록(여기서는 2블록)으로 분할 가능하며, 상부 프레임(12)의 Y축 방향으로 뻗어 있는 관재(12c, 12d)는 도중에 절단되어, 분할부(16)가 설치되어 있다. 그리고, 분할부(16)를 사이에 두고 앞측과 뒤측의 블록 각각에 대하여, 절단부분의 관재(12c, 12d) 사이에는, X축 방향으로 뻗어 있도록 ㅁ 형강으로 이루어지는 보강재(14a)가 횡으로 가설되어 있다. Here, although the details will be described later, the base base 10 can be divided into a plurality of blocks (here, 2 blocks) in the horizontal direction in the longitudinal direction, and the pipe members 12c and 12d extending in the Y-axis direction of the upper frame 12. Is cut in the middle, and the division part 16 is provided. The reinforcing member 14a made of K-shaped steel is laterally installed between the pipe members 12c and 12d of the cut portion so as to extend in the X-axis direction with respect to each of the front and rear blocks with the divided portions 16 interposed therebetween. It is.

그리고, 관재(12a)와 관재(12c, 12d)와 보강재(14a)로 형성되는 앞쪽의 프레임 내에, H 형강으로 이루어지는 보강재(14b)가, 관재(12c, 12d)에 평행하게 가설됨과 함께, 관재(12a) 및 보강재(14a)에 평행하게 가설된다. 또한, H 형강으로 이루어지는 보강재(14c)가, 관재(12a, 12c, 12d)와 보강재(14a)에 대하여 비스듬히 대각(對角) 형상으로 횡으로 가설되어 있다. 따라서, 보강재(14b, 14c)는 중앙의 일점(一點)에서 교차하여, 여기서부터 방사(放射) 형상으로 뻗은 상태로 되어 있다. And while the reinforcement material 14b which consists of H-shaped steel is constructed in parallel to the pipe material 12c, 12d in the front frame formed of the pipe material 12a, the pipe material 12c, 12d, and the reinforcement material 14a, It is hypothesized parallel to 12a and the reinforcing material 14a. Moreover, the reinforcement material 14c which consists of H shaped steel is hypothetically arrange | positioned diagonally with respect to the pipe | tube material 12a, 12c, 12d, and the reinforcement material 14a. Therefore, the reinforcing materials 14b and 14c cross | intersect at one point in the center, and are here in the state extended radially.

또한, 관재(12c, 12d)와 관재(12b)와 보강재(14a)로 형성되는 뒤쪽의 프레임 내에, H 형강으로 이루어지는 보강재(14d)가, 관재(12b, 12c, 12d)와 보강재(14a)에 대하여 비스듬히 횡으로 가설되어 있다. In addition, a reinforcing material 14d made of H-shaped steel is provided in the pipes 12b, 12c, and 12d and the reinforcing material 14a in a rear frame formed of the pipe materials 12c and 12d, the pipe material 12b, and the reinforcing material 14a. It is hypothesized laterally with respect to.

하부 프레임(22)은, X축 방향으로 뻗어 있는 관재(22a, 22b)와, Y축 방향으로 뻗어 있는 관재(22c, 22d)를 각각 연결시킴으로써 형성되는 직사각 형상의 프레임바디의 내측을, 보강재(24b)로 보강함으로써 구성된다. 관재(22a, 22b, 22c, 22d)의 직경은, 상부 프레임(12)의 관재(12a, 12b, 12c, 12d)보다도 작게 되어 있다. ㅁ 형강으로 이루어지는 보강재(24b)는, 관재(22c, 22d)의 길이방향의 중앙부에 있어서, X축 방향으로 횡으로 가설되어 있다. The lower frame 22 reinforces the inside of the rectangular frame body formed by connecting the tube members 22a and 22b extending in the X-axis direction and the tube members 22c and 22d extending in the Y-axis direction, respectively. 24b). The diameters of the pipe members 22a, 22b, 22c, and 22d are smaller than the pipe members 12a, 12b, 12c, and 12d of the upper frame 12. The reinforcement material 24b which consists of W-shaped steel is hypothetically arrange | positioned in the X-axis direction at the center part of the longitudinal direction of the pipe members 22c and 22d.

여기서, 상술한 바와 같이, 베이스대(10)는 길이방향의 수평방향으로 복수의 블록(여기서는 2블록)으로 분할 가능하며, 하부 프레임(22)의 Y축 방향으로 뻗어 있는 관재(22c, 22d)는 도중에 절단되어, 분할부(26)가 설치되어 있다. Here, as described above, the base table 10 can be divided into a plurality of blocks (here, two blocks) in the horizontal direction in the longitudinal direction, and the pipe members 22c and 22d extending in the Y-axis direction of the lower frame 22. Is cut in the middle, and the division part 26 is provided.

연결재(18)는, Z축 방향으로 이격된 상태에서, 상부 프레임(12)과 하부 프레 임(22)을 연결하고 있다. 본 실시예에서는, 연결재(18)는 ㅁ 형강으로 이루어지는 관재로 구성되어 있으며, 상부 프레임(12)과 하부 프레임(22)을 네 모서리에서 연결하고 있다. 또한, 강성을 높이기 위하여, 상하의 관재(12c, 22c) 사이에는, 분할부(16, 26)의 앞측에, Z축 방향으로 뻗어 있도록 ㅁ 형강으로 이루어지는 연결재(18)가 가설되어 있다. 또한, 상하의 관재(12d, 22d) 사이에는, 분할부(16, 26)의 앞측에, Z축 방향으로 뻗어 있도록 ㅁ 형강으로 이루어지는 연결재(18)가 가설되어 있다. The connecting member 18 connects the upper frame 12 and the lower frame 22 in the state spaced apart in the Z-axis direction. In this embodiment, the connecting member 18 is composed of a tubular member made of K-shaped steel, and connects the upper frame 12 and the lower frame 22 at four corners. In order to increase rigidity, a connecting member 18 made of K-shaped steel is provided between the upper and lower pipe members 12c and 22c so as to extend in the Z-axis direction in front of the divided portions 16 and 26. Moreover, between the upper and lower pipe members 12d and 22d, a connecting member 18 made of K-shaped steel is provided on the front side of the divided portions 16 and 26 so as to extend in the Z-axis direction.

제진유닛(50)은, 스테이지장치(1)를 설치하는 설치면과 베이스대(10) 사이에 설치되어 있다. 보다 상세히는, 제진유닛(50)은, 하부 프레임(22)의 네 모서리와, 관재(22c, 22d)의 도중에 있어서의 하부에 있어서, 베이스대(10)를 제진 가능하게 지지하고 있다. 제진유닛(50)은, 설치면으로부터 베이스대(10)로 전달되는 진동을 제거하는 것이며, 예컨대 공기 스프링이나 고무 등의 탄성재로 구성되는 것을 이용할 수 있다. The vibration damping unit 50 is provided between the mounting surface on which the stage device 1 is installed and the base stand 10. In more detail, the vibration damping unit 50 supports the base stand 10 so that vibration damping is possible at the four corners of the lower frame 22 and in the lower portion of the pipe members 22c and 22d. The vibration damping unit 50 removes the vibration transmitted to the base stand 10 from the installation surface, and it can use what consists of elastic materials, such as an air spring and rubber | gum, for example.

가이드 레일(40)은, 관재(12c, 12d)의 표면에 각각 설치되어, Y축 방향으로 뻗어 있다. 보다 상세히는, 관재(12c, 12d)의 표면에는, 외측방으로 향하여 돌출편(片)(52)이 설치되어 있으며, 이 돌출편(52)이 Y축 방향으로 연속하여 뻗어 있다. 그리고, 이 돌출편(52)의 상면(上面)에, 가이드 레일(40)이 설치되어 있다. 또한, 영구자석(42)은, 돌출편(52)의 상면에 있어서 가이드 레일(40)보다도 외측의 위치에 인접하여 설치되어, Y축 방향으로 뻗어 있다. 이 영구자석(42)은, Y축 방향에 S극과 N극의 소정 패턴이 반복되고 있는 것이다. The guide rail 40 is provided in the surface of pipe members 12c and 12d, respectively, and extends in the Y-axis direction. In more detail, the protruding piece 52 is provided in the surface of the piping materials 12c and 12d toward an outer side, and this protruding piece 52 extends continuously in a Y-axis direction. And the guide rail 40 is provided in the upper surface of this protrusion piece 52. As shown in FIG. In addition, the permanent magnet 42 is provided adjacent to the position outside the guide rail 40 on the upper surface of the protruding piece 52 and extends in the Y-axis direction. In the permanent magnet 42, predetermined patterns of the S pole and the N pole are repeated in the Y-axis direction.

가이드 레일(40) 및 영구자석(42)의 상방에는, X축 방향으로 뻗는 갠트리부(30)의 양측의 하부에 연결된 연결판(46)이 배치되어 있으며, 이 연결판(46)의 하면에는, 안내 슬라이더(44)와 전자석(48)이 각각 인접하여 설치되어 있다. 전자석(48)은, 영구자석(42)의 S극과 N극의 패턴에 맞춰서 자극을 변화시켜, 영구자석(42)과의 사이에서 반발력을 발생시킴으로써 갠트리부(30)를 가이드 레일(40)로 안내하면서 Y축 방향으로 이동시킬 수 있다. Above the guide rail 40 and the permanent magnet 42, connecting plates 46 connected to the lower portions of both sides of the gantry portion 30 extending in the X-axis direction are arranged, and on the lower surface of the connecting plate 46 The guide slider 44 and the electromagnet 48 are provided adjacent to each other. The electromagnet 48 changes the magnetic poles in accordance with the patterns of the S pole and the N pole of the permanent magnet 42 and generates a repulsion force between the permanent magnet 42 to guide the gantry portion 30 to the guide rail 40. Can be moved in the Y-axis direction.

여기서, 돌출편(52)의 하면에는, 관재(12c, 12d)의 외측면과의 사이에 가설된 복수의 보강 리브(54)가 Y축 방향으로 소정간격으로 설치되어 있다. Here, a plurality of reinforcing ribs 54 provided between the outer surfaces of the pipe members 12c and 12d are provided on the lower surface of the protruding piece 52 at predetermined intervals in the Y-axis direction.

갠트리부(30)는, X축 방향으로 뻗는 지지부(30a), 리니어 모터부(30b), 및 이동부(30c)를 구비한다. 이동부(30c)는, 리니어 모터부(30b)에 의하여 이 리니어 모터부(30b)를 따라서 X축 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 그리고, 이 이동부(30c)에 소정의 처리장치를 부설함으로써, 처리장치가 X축 방향으로 이동하여, 베이스대(10)에 탑재된 기판에 대하여 소정의 처리가 실행된다. 이 처리장치로서는, 기판 상의 결함을 검사하는 카메라이거나, 컬러 필터의 색 빠짐 등 기판의 표면처리 상태를 수복하는 리페어 장치이거나, 기판에 대하여 패턴 처리하는 도포장치일 수 있다. The gantry portion 30 includes a support portion 30a extending in the X-axis direction, a linear motor portion 30b, and a moving portion 30c. The moving part 30c is movable in the X-axis direction along this linear motor part 30b by the linear motor part 30b. And by installing a predetermined processing apparatus in this moving part 30c, a processing apparatus moves to an X-axis direction, and predetermined process is performed with respect to the board | substrate mounted in the base stand 10. As shown in FIG. The processing apparatus may be a camera for inspecting defects on the substrate, a repair apparatus for repairing the surface treatment state of the substrate such as color dropout of the color filter, or a coating apparatus for patterning the substrate.

도 5에 나타내는 바와 같이, 스테이지장치(1)의 베이스대(10) 위에는, 액정패널 등의 기판을 재치(載置; 올려 놓음)하기 위한 워크 정반(11)이 설치된다. 여기서, 스테이지장치(1)가 수송차로 수송될 때, 이 워크 정반(11)이 설치된 상태에서 수송차에 적재된다. As shown in FIG. 5, on the base base 10 of the stage apparatus 1, the workpiece surface 11 for mounting a board | substrate, such as a liquid crystal panel, is provided. Here, when the stage apparatus 1 is transported by the transport vehicle, it is loaded in the transport vehicle in the state in which the said work surface 11 was installed.

본 실시예에 있어서는, 도 5에 나타내는 바와 같이, 베이스대(10), 가이드 레일(40), 영구자석(42), 돌출편(52) 및 워크 정반(11)은, Y축 방향과 직교하는 분할면으로 분할된다. 그리고, 분할된 베이스대(10)는, 분할부(16, 26)에서 볼트 등에 의하여 연결된다. 즉, 분할부(26(16))에는, 도 6에 나타내는 바와 같이, 절단된 관재(22c(12c))의 절단면을 둘러싸도록 외향 플랜지(26a(16a))가 설치되어 있으며, 이 외향 플랜지(26a(16a))를 통하여 분할된 베이스대(10)의 블록끼리가 연결되어 있다. 여기서, 상부 프레임(12)의 분할부(16)에 있어서는, 보강 리브(54)가 외향 플랜지(16a)를 겸하고 있다.In this embodiment, as shown in FIG. 5, the base stand 10, the guide rail 40, the permanent magnet 42, the protrusion piece 52, and the work surface 11 are orthogonal to a Y-axis direction. It is divided into dividing planes. The divided base table 10 is connected to the divided sections 16 and 26 by bolts or the like. That is, the outward flange 26a (16a) is provided in the division part 26 (16) so that the cut surface of the cut | disconnected pipe | tube material 22c (12c) may be provided, and this outward flange ( The blocks of the base base 10 divided through 26a (16a) are connected to each other. Here, in the division part 16 of the upper frame 12, the reinforcement rib 54 also serves as the outward flange 16a.

이와 같이, 베이스대(10), 가이드 레일(40), 영구자석(42), 돌출편(52) 및 워크 정반(11)은 Y축 방향으로 분할 가능하게 구성되어 있기 때문에, 스테이지장치(1)는 2개의 블록으로 분할 가능하게 구성되게 된다. 여기서, 분할부(16, 26)는, 상하의 Z축 방향에 대하여 대응하는 위치에 설치되어, Y축 방향에 대하여 각 블록이 수송차에 적재 가능한 크기가 되는 위치에 형성된다. Thus, since the base stand 10, the guide rail 40, the permanent magnet 42, the protrusion piece 52, and the work surface 11 are comprised so that division is possible in the Y-axis direction, the stage apparatus 1 Is configured to be divided into two blocks. Here, the division parts 16 and 26 are provided in the position corresponding to the up-and-down Z-axis direction, and are formed in the position which becomes the size which each block can load to a transport vehicle in the Y-axis direction.

또한, 베이스대(10)의 양측방으로서 돌출편(52)의 하방에는, 도 1 및 도 7에 나타내는 바와 같이, 케이블 캐리어(60)가 설치되어 있다. 갠트리부(30)에는, 갠트리부(30) 자체나 이동부(30c)의 이동을 제어하기 위한 전력을 공급하는 도시하지 않은 전력 케이블이나, 이동부(30c)에 부설되는 처리장치와의 사이에서 각종 신호를 송수신하기 위한 도시하지 않은 신호 케이블 등이 접속되어 있다. 이들 케이블이, 케이블 캐리어(60)를 통하여 배선되어 있다. Moreover, as shown in FIG. 1 and FIG. 7, the cable carrier 60 is provided below the protruding piece 52 as both sides of the base stand 10. The gantry portion 30 is provided with a power cable (not shown) for supplying electric power for controlling the movement of the gantry portion 30 itself or the moving portion 30c, or a processing device installed in the moving portion 30c. Signal cables and the like not shown for transmitting and receiving various signals are connected. These cables are wired through the cable carrier 60.

케이블 캐리어(60)는, 편평(扁平)한 복수의 통재(筒材)를 연결 설치하여 이 루어지며, 각 통재는 서로 제한된 각도 내에서 회전운동 가능하게 연결되어 있다. 모아진 케이블은, 이 케이블 캐리어(60)의 내부로 통과되고 있다. 케이블 캐리어(60)의 일단(一端)(60a)은, 베이스대(10)의 측방에 설치된 지지대(62) 위에 고정되어 있다. 또한, 케이블 캐리어(60)의 타단(他端)(60b)은, 연락부재(64)에 고정되어 있다. 연락부재(64)는, 통 형상의 부재로서 갠트리부(30)와 케이블 캐리어(60)에 연결되어 있어, 케이블 캐리어(60)로부터의 케이블을 갠트리부(30)로 안내한다. The cable carrier 60 is formed by connecting a plurality of flat cylinders, and the cylinders are rotatably connected to each other within a limited angle. The collected cables are passed through the inside of this cable carrier 60. One end 60a of the cable carrier 60 is fixed on the support 62 provided on the side of the base stand 10. In addition, the other end 60b of the cable carrier 60 is fixed to the communication member 64. The communication member 64 is connected to the gantry portion 30 and the cable carrier 60 as a cylindrical member, and guides the cable from the cable carrier 60 to the gantry portion 30.

따라서, 도 8에 나타내는 바와 같이, 케이블 캐리어(60)는 캐터필러(caterpillar)(등록상표)와 같이 변형 가능하며, 갠트리부(30)가 Y축 방향으로 이동함에 수반하여, 베이스대(10)의 길이방향의 임의의 위치에서 U자 형상으로 굴곡 가능하다. 그리고, 케이블 캐리어(60)의 내부로 통과된 케이블은, 케이블 캐리어(60)의 변형을 모방하여 변형된다. Therefore, as shown in FIG. 8, the cable carrier 60 is deformable like a caterpillar (registered trademark), and as the gantry portion 30 moves in the Y-axis direction, It can be bent in a U shape at any position in the longitudinal direction. Then, the cable passed into the cable carrier 60 is deformed to mimic the deformation of the cable carrier 60.

이와 같이, 케이블 캐리어(60)를 베이스대(10)의 양측방으로서 돌출편(52)의 하방에 설치함으로써, 베이스대(10)의 내부에 설치하는 경우와 달리, 관재(12c, 22c) 사이나 관재(12d, 22d) 사이의 스페이스의 이용 자유도가 높아져, 여기에 연결재(18)나 제진유닛(50)을 배치할 수 있어서, 강성의 향상이나 제진성이 높아지고 있다. 또한, 돌출편(52)을 설치하여 이 위에 가이드 레일(40)이나 영구자석(42)을 배치함으로써, 상부 프레임(12)의 관재(12c, 12d) 위에 이들을 배치하는 경우와 비교하여, 베이스대(10)의 X축 방향의 사이즈를 작게 할 수 있어서, 풋프린트(footprint)의 저감이 도모되고 있다. Thus, by installing the cable carrier 60 below the protruding piece 52 as both sides of the base stand 10, unlike the case where it installs in the inside of the base stand 10, pipe members 12c, 22c In addition, the degree of freedom of use of the space between the pipe members 12d and 22d is increased, and the coupling member 18 and the vibration damping unit 50 can be disposed therein, thereby improving the rigidity and the vibration damping property. Furthermore, by providing the protruding pieces 52 and arranging the guide rail 40 or the permanent magnet 42 thereon, the base stand is compared with the case where these are arranged on the pipe members 12c and 12d of the upper frame 12. The size of the X-axis direction of (10) can be made small, and footprint reduction is aimed at.

이와 같이, 본 실시예에 관한 스테이지장치(1)에서는, 베이스대(10)가 상부 프레임(12)과 하부 프레임(22)을 가지며, 이를 연결재(18)로 연결하여, 소위 박스 구조로 하고 있기 때문에, 관재에 의하여 구성되어 경량화가 도모되어 있음에도 불구하고, 강성이 높아져 있다. 따라서, 갠트리부(30)의 이동에 의하여 하중이 걸려 제진유닛(50)이 침하하여 베이스대(10)가 기울었다 하더라도, 베이스대(10) 자체의 변형은 억제되어 있으므로, 갠트리부(30)와 베이스대(10)의 상대위치의 오차는 지극히 작아서, 기판의 정확한 처리가 가능하게 된다. 또한, 베이스대(10)의 변형이 원래대로 되돌아갈 때까지 기판의 처리를 기다릴 필요가 없기 때문에, 스루풋을 떨어뜨릴 우려도 없다. Thus, in the stage apparatus 1 which concerns on a present Example, the base stand 10 has the upper frame 12 and the lower frame 22, and it connects with the connecting material 18, and is made into what is called a box structure. Therefore, although it is comprised by the pipe material and the weight reduction is aimed at, rigidity is high. Therefore, even when the vibration damping unit 50 sinks due to the movement of the gantry portion 30 and the base stage 10 is inclined, since the deformation of the base stage 10 itself is suppressed, the gantry portion 30 The error of the relative position between the base and the base 10 is extremely small, so that accurate processing of the substrate is possible. Moreover, since there is no need to wait for the process of the board | substrate until the deformation | transformation of the base stand 10 returns to the original state, there is no possibility of dropping throughput.

또한, 베이스대(10)는, 베이스대(10)를 수평방향으로 복수의 블록으로 분할하기 위한 분할부(16, 26)를 가지기 때문에, 기판의 대형화에 수반하여 베이스대(10)가 대형화되어도, 특수대형차량을 이용하지 않고 베이스대(10)를 분할하여 수송하는 것이 가능하게 된다. 또한, 베이스대(10)를 구성하는 관재(12c, 12d, 22c, 22d)를 기계가공할 때도, 분할된 부분마다 행할 수 있기 때문에, 용이하게 기계가공을 행할 수 있다. Moreover, since the base stand 10 has the division parts 16 and 26 for dividing the base stand 10 into several blocks in the horizontal direction, even if the base stand 10 becomes large with the enlargement of a board | substrate, The base 10 can be divided and transported without using a special large vehicle. In addition, even when machining the pipe members 12c, 12d, 22c, and 22d constituting the base stand 10, it can be performed for each divided part, so that machining can be easily performed.

또한, 베이스대(10)를 분할하는 경우, 베이스대(10)가 관재에 의하여 구성되어 있으면 접합면의 강성이 낮아서, 갠트리부(30)의 구동시에 왜곡을 발생하게 할 가능성이 있지만, 본 실시예의 베이스대(10)는 박스 구조이며, 상부 프레임(12)과 하부 프레임(22)에 있어서의 상하의 접합면을 맞추면 접합면이 증가하고 있기 때문에, 왜곡을 발생하게 할 우려를 저감할 수 있어, 베이스대(10)의 분할에 유리한 구조로 되어 있다. In addition, when dividing the base stand 10, if the base stand 10 is formed of a pipe member, the rigidity of the joining surface is low, and there is a possibility that distortion may be generated when the gantry portion 30 is driven. The base base 10 of the example has a box structure, and when the upper and lower joining surfaces of the upper frame 12 and the lower frame 22 are aligned, the joining surface is increased, so that the fear of causing distortion can be reduced. The structure is advantageous for the division of the base stand 10.

또한, 분할부(16, 26)는, 상부 프레임(12) 및 하부 프레임(22)을 구성하는 관재를 상하 대응하는 위치에서 절단하여 구성되어 있기 때문에, 상부 프레임(12)과 하부 프레임(22)에 설치되는 분할부(16, 26)는 상하 방향으로 이격되어 있으므로, 분할면이 벗어나고자 하는 모멘트(moment)에 대하여 강화되게 되어, 강성 상 유리하다. In addition, since the division parts 16 and 26 are comprised by cutting the pipe | tube material which comprises the upper frame 12 and the lower frame 22 in the up-down corresponding position, the upper frame 12 and the lower frame 22 are comprised. Since the divided parts 16 and 26 provided in the are spaced apart in the vertical direction, the divided surface is reinforced with respect to the moment (moment) to be released, which is advantageous in terms of rigidity.

또한, 관재의 절단면에는, 외향 플랜지(16a, 26a)가 설치되어 있기 때문에, 분할된 블록끼리를 외향 플랜지(16a, 26a)를 통하여 볼트 등에 의하여 용이하게 연결할 수 있다. In addition, since outward flanges 16a and 26a are provided on the cut surface of the pipe, the divided blocks can be easily connected by bolts or the like through the outward flanges 16a and 26a.

여기서, 돌출편(52)의 하면에는, 관재(12c, 12d)의 외측면과의 사이에 가설된 복수의 보강 리브(54)가 설치되어 있으며, 분할된 베이스대(10)는, 이 보강 리브(54)를 통하여 연결된다. 여기서, 종래의 스테이지 구조의 경우는, 분할하고자 하면 연결을 위한 플랜지를 스테이지의 측면으로 튀어나오도록 설치할 필요가 있어, 횡방향의 사이즈가 커져 버린다는 문제가 있지만, 본 실시예에서는, 보강 리브(54)나 분할부(16, 26)가 돌출편(52)보다도 측방으로 튀어나가는 것을 억제할 수 있기 때문에, 대형화를 억제할 수 있다. Here, the lower surface of the protrusion piece 52 is provided with the some reinforcement rib 54 arrange | positioned between the outer surface of the piping materials 12c and 12d, and the divided base stand 10 is this reinforcement rib. Connection is made via 54. Here, in the case of the conventional stage structure, it is necessary to install the flange for connection so as to protrude to the side surface of the stage when it is to be divided, but there is a problem that the size of the transverse direction becomes large, but in this embodiment, the reinforcing rib ( 54 and the dividing portions 16 and 26 can be prevented from protruding laterally than the protruding pieces 52, so that the enlargement of the size can be suppressed.

또한, 상부 프레임(12)의 프레임 내에는 경사방향으로 보강재(14c, 14d)가 가설되어 있기 때문에, 프레임 내에 평행하게 보강재를 가설하는 경우에 비하여 충분히 베이스대(10)의 강성을 향상시킬 수 있다. In addition, since the reinforcement materials 14c and 14d are installed in the frame of the upper frame 12 in the inclined direction, the rigidity of the base base 10 can be sufficiently improved as compared with the case where the reinforcement material is installed parallel to the frame. .

또한, 케이블 캐리어(60)를 베이스대(10)의 양측방으로서 돌출편(52)의 하방에 설치함으로써, 베이스대(10)의 내부에 설치하는 경우와 달리, 관재(12c, 22c) 사이나 관재(12d, 22d) 사이의 스페이스의 이용 자유도가 높아져, 여기에 연결재(18)나 제진유닛(50)을 배치할 수 있어서, 강성의 향상이나 제진성을 높일 수 있다. 또한, 연락부재(64)의 Z축 방향의 길이를 짧게 할 수 있기 때문에, 외란(外亂)의 영향에 의한 베이스대(10)의 진동을 저감할 수 있다. 또한, 돌출편(52)을 설치하여 이 위에 가이드 레일(40)이나 영구자석(42)을 배치함으로써, 상부 프레임(12)의 관재(12c, 12d) 위에 이들을 배치하는 경우와 비교하여, 베이스대(10)의 X축 방향의 사이즈를 작게 할 수 있어서, 풋프린트의 저감을 도모할 수 있다. Moreover, unlike the case where it is installed in the base stand 10, by installing the cable carrier 60 below both of the base stand 10 below the protruding piece 52, between the pipe members 12c and 22c, The degree of freedom of use of the space between the pipe members 12d and 22d is increased, and the coupling member 18 and the vibration damping unit 50 can be disposed therein, thereby improving the rigidity and the vibration damping property. In addition, since the length of the contact member 64 in the Z-axis direction can be shortened, the vibration of the base stand 10 caused by the disturbance can be reduced. Furthermore, by providing the protruding pieces 52 and arranging the guide rail 40 or the permanent magnet 42 thereon, the base stand is compared with the case where these are arranged on the pipe members 12c and 12d of the upper frame 12. The size in the X-axis direction of (10) can be made small, and the footprint can be reduced.

다만, 여기서는, 상부 프레임(12)의 프레임 내에만 경사방향으로 보강재를 설치하고 있었지만, 하부 프레임(22)의 프레임 내에도 경사방향으로 보강재를 설치하여도 좋다. In addition, although the reinforcement material was provided in the inclination direction only in the frame of the upper frame 12 here, you may provide a reinforcement material in the inclination direction also in the frame of the lower frame 22. As shown in FIG.

또한, 연결재(18)를 ㅁ 형강에 의하여 구성하고, 상부 프레임(12) 및 하부 프레임(22)을 네 모서리 등에서 연결하는 구성으로 하였지만, 연결재(18)는 ㅁ 형강에 한정되지 않으며, 예컨대 판재(板材)에 의하여 상부 프레임(12)과 하부 프레임(22)을 빙 둘러싸도록 하여 연결하는 구성으로 하여도 좋다. In addition, the connecting member 18 is made of K-shaped steel, and the upper frame 12 and the lower frame 22 are configured to connect at four corners, but the connecting member 18 is not limited to K-shaped steel, for example, a plate ( Iii), the upper frame 12 and the lower frame 22 may be surrounded by ice to be connected.

또한, 도 9에 나타내는 바와 같이, 상부 프레임(12)의 분할부(16)의 외향 플랜지(16a)와, 하부 프레임(22)의 분할부(26)의 외향 플랜지(26a)를, 일체(一體) 구조로 하여도 좋다. 이와 같이 하면, 베이스대(10)의 강성을 보다 높일 수 있다. In addition, as shown in FIG. 9, the outward flange 16a of the division part 16 of the upper frame 12, and the outward flange 26a of the division part 26 of the lower frame 22 are integrated. ) May be configured. By doing in this way, the rigidity of the base stand 10 can be improved more.

[제2 실시예] Second Embodiment

다음으로, 본 발명의 제2 실시예에 대하여 설명한다. 다만, 상기한 제1 실시 예와 동일한 요소에는 동일한 부호를 붙이고, 중복되는 설명을 생략한다. Next, a second embodiment of the present invention will be described. However, the same reference numerals are given to the same elements as those in the first embodiment, and redundant descriptions are omitted.

도 10은, 본 발명의 제2 실시예에 관한 스테이지장치(101)의 측면도, 도 11은, 도 10의 스테이지장치(101)가 구비하는 베이스대(110)를 상방으로부터 본 사시도, 도 12는, 베이스대(110)를 하방으로부터 본 사시도, 도 13은, 베이스대(110)를 분할한 뒤측의 블록을 상방으로부터 본 사시도, 도 14는, 연결재(118)가 연결된 베이스대(110)의 하부 프레임(122)을 나타내는 사시도, 도 15는, 가설대(170)와 제진유닛(150)을 나타내는 사시도이다. FIG. 10 is a side view of the stage apparatus 101 according to the second embodiment of the present invention. FIG. 11 is a perspective view of the base table 110 included in the stage apparatus 101 of FIG. The perspective view which looked at the base stand 110 from below, FIG. 13 is the perspective view which looked at the block of the back side which divided | divided the base stand 110 from the top, and FIG. 14 is the lower part of the base stand 110 to which the connecting material 118 was connected. A perspective view of the frame 122, and FIG. 15 is a perspective view of the temporary table 170 and the vibration damping unit 150.

이 제2 실시예가 제1 실시예와 다른 점은, 베이스대(110)를 가설대(170)에 의하여 지지하도록 한 점과, 그 때문에 베이스대(110)의 구성을 변경한 점이다. This second embodiment differs from the first embodiment in that the base stand 110 is supported by the temporary stand 170, and therefore, the configuration of the base stand 110 is changed.

도 10에 나타내는 바와 같이, 스테이지장치(101)는, 기판이 탑재되는 베이스대(110)와, 베이스대(110) 위를 이동하는 갠트리부(130)와, 베이스대(110)에 설치되어, 갠트리부(130)의 이동을 안내하는 가이드 레일(140) 및 영구자석(142)과, 갠트리부(130)의 하부에 설치되어, 가이드 레일(140)로 안내되는 안내 슬라이더(144) 및 영구자석(142)과 대향하는 전자석(148)을 구비하며, 이 갠트리부(130)가 가이드 레일(140)을 따라서 이동하는 것이다. 여기서, 도 10에 있어서, 베이스대(110)의 길이방향을 Y축 방향이라고 하고, 그와 직교하는 수평방향을 X축 방향이라 하며, 이들과 직교하는 방향을 Z축 방향이라 한다. As shown in FIG. 10, the stage apparatus 101 is provided in the base stand 110 in which a board | substrate is mounted, the gantry part 130 which moves on the base stand 110, and the base stand 110, A guide rail 140 and a permanent magnet 142 for guiding the movement of the gantry 130, and a guide slider 144 and a permanent magnet installed at the lower portion of the gantry 130 and guided to the guide rail 140. The electromagnet 148 which opposes 142 is provided, and this gantry part 130 moves along the guide rail 140. 10, the longitudinal direction of the base stand 110 is called the Y-axis direction, the horizontal direction orthogonal to it is called the X-axis direction, and the direction orthogonal to these is called the Z-axis direction.

베이스대(110)는, 상부 프레임(112)과, 상부 프레임(112)과 상하로 이격되어 설치된 하부 프레임(122)과, 상부 프레임(112)과 하부 프레임(122)을 연결하는 연결재(118)를 가지고 있다. The base stand 110 includes an upper frame 112, a lower frame 122 spaced above and below the upper frame 112, and a connecting member 118 connecting the upper frame 112 and the lower frame 122. Have

상부 프레임(112)은, X축 방향으로 뻗어 있는 관재(112a, 112b)와, Y축 방향으로 뻗어 있는 관재(112c, 112d)를 각각 연결시킴으로써 형성되는 직사각 형상의 프레임바디의 내측을, 복수의 보강재(114a, 114b, 114c, 114d)로 보강함으로써 구성된다. 여기서, 관재(112a, 112b, 112c, 112d)는 중공의 봉재이며, 본 실시예에서는 단면 ㅁ 형상의 ㅁ 형강을 이용하고 있다. 또한, 보강재(114a, 114b, 114c, 114d)는, 중공·중실을 막론하고 프레임바디의 내측에 횡으로 가설되는 봉재이며, 본 실시예에서는 단면 H 형상의 H 형강과 단면 ㅁ 형상의 ㅁ 형강을 이용하고 있다. The upper frame 112 has a plurality of inner sides of a rectangular frame body formed by connecting the tube members 112a and 112b extending in the X-axis direction and the tube members 112c and 112d extending in the Y-axis direction, respectively. It is comprised by reinforcing by the reinforcing material 114a, 114b, 114c, 114d. Here, the pipe members 112a, 112b, 112c, and 112d are hollow rods, and in the present embodiment, a cross section k shaped steel is used. Further, the reinforcing members 114a, 114b, 114c, and 114d are rods which are hypothetically laid on the inside of the frame body, regardless of hollow or solid. I use it.

여기서, 상세한 것은 후술하지만, 베이스대(110)는 길이방향의 수평방향으로 복수의 블록(여기서는 2블록)으로 분할 가능하며, 상부 프레임(112)의 Y축 방향으로 뻗어 있는 관재(112c, 112d)는 도중에 절단되어, 분할부(116)가 설치되어 있다. 그리고, 분할부(116)를 사이에 두고 앞측과 뒤측의 블록 각각에 대하여, 절단 부분의 관재(112c, 112d) 사이에는, X축 방향으로 뻗어 있도록 ㅁ 형강으로 이루어지는 보강재(114a)가 횡으로 가설되어 있다. Here, although the details will be described later, the base stand 110 can be divided into a plurality of blocks (here two blocks) in the horizontal direction of the longitudinal direction, the pipe member (112c, 112d) extending in the Y-axis direction of the upper frame 112 Is cut in the middle, and the division part 116 is provided. Then, the reinforcing members 114a made of K-shaped steel are horizontally interposed between the pipe members 112c and 112d of the cut portion so as to extend in the X-axis direction with respect to each of the front and rear blocks with the divided portions 116 interposed therebetween. It is.

그리고, 관재(112a)와 관재(112c, 112d)와 보강재(114a)로 형성되는 앞쪽의 프레임 내에, H 형강으로 이루어지는 보강재(114b)가, 관재(112c, 112d)에 평행하게 가설됨과 함께, 관재(112a) 및 보강재(114a)에 평행하게 가설된다. 또한, H 형강으로 이루어지는 보강재(114c)가, 관재(112a, 112c, 112d)와 보강재(114a)에 대하여 비스듬히 대각 형상으로 횡으로 가설되어 있다. 따라서, 보강재(114b, 114c)는 중앙의 일점에서 교차하여, 여기서부터 방사 형상으로 뻗은 상태가 되어 있다. And while the reinforcement material 114b which consists of H-shaped steel is constructed in parallel to the pipe materials 112c and 112d in the front frame formed from the pipe materials 112a, the pipe materials 112c and 112d, and the reinforcement material 114a, It is hypothesized parallel to 112a and reinforcement 114a. Moreover, the reinforcement 114c which consists of H-shaped steel is hypothetically arrange | positioned diagonally with respect to the pipe | tube material 112a, 112c, 112d, and the reinforcement 114a. Therefore, the reinforcing members 114b and 114c intersect at one point in the center and are in a radially extending state from here.

또한, 관재(112c, 112d)와 관재(112b)와 보강재(114a)로 형성되는 뒤쪽의 프레임 내에, H 형강으로 이루어지는 보강재(114d)가, 관재(112b, 112c, 112d)와 보강재(114a)에 대하여 비스듬히 횡으로 가설되어 있다. Further, in the rear frame formed of the pipe members 112c and 112d, the pipe member 112b, and the reinforcing member 114a, a reinforcing member 114d made of H-shaped steel is connected to the pipe members 112b, 112c, 112d and the reinforcing member 114a. It is hypothesized laterally with respect to.

하부 프레임(122)은, X축 방향으로 뻗어 있는 관재(122a, 122b)와, Y축 방향으로 뻗어 있는 관재(122c, 122d)를 각각 연결시킴으로써 형성되는 직사각 형상의 프레임바디의 내측을, 복수의 보강재(124a, 124b, 124c)로 보강함으로써 구성된다. 관재(122a, 122b, 122c, 122d)의 직경은, 상부 프레임(112)의 관재(112a, 112b, 112c, 112d)보다도 작게 되어 있다. The lower frame 122 has a plurality of inner sides of a rectangular frame body formed by connecting pipe members 122a and 122b extending in the X-axis direction and pipe members 122c and 122d extending in the Y-axis direction, respectively. It is comprised by reinforcing by the reinforcing material 124a, 124b, 124c. The diameters of the tube members 122a, 122b, 122c, and 122d are smaller than the tube members 112a, 112b, 112c, and 112d of the upper frame 112.

여기서, 상술한 바와 같이, 베이스대(110)는 길이방향의 수평방향으로 복수의 블록(여기서는 2블록)으로 분할 가능하며, 하부 프레임(122)의 Y축 방향으로 뻗어 있는 관재(122c, 122d)는 도중에 절단되어, 분할부(126)가 설치되어 있다. 그리고, 분할부(126)보다 앞측의 블록에 대하여, 절단 부분의 관재(122c, 122d) 사이에는, X축 방향으로 뻗어 있도록 ㅁ 형강으로 이루어지는 보강재(124a)가 횡으로 가설되어 있다. Here, as described above, the base stand 110 can be divided into a plurality of blocks (here, two blocks) in the horizontal direction in the longitudinal direction, and the pipe members 122c and 122d extending in the Y-axis direction of the lower frame 122. Is cut in the middle, and the division part 126 is provided. The reinforcing material 124a made of K-shaped steel is laterally arranged between the pipe members 122c and 122d of the cut portion so as to extend in the X-axis direction with respect to the block in front of the dividing portion 126.

또한, 관재(122a)와 관재(122c, 122d)와 보강재(124a)로 형성되는 앞쪽의 프레임 내에, H 형강으로 이루어지는 보강재(124b)가, 관재(122c, 122d)에 평행하게 가설됨과 함께, 관재(122a) 및 보강재(124a)에 평행하게 가설된다. 또한, H 형강으로 이루어지는 보강재(124c)가, 관재(122a, 122c, 122d)와 보강재(124a)에 대하여 비스듬히 대각 형상으로 횡으로 가설되어 있다. 따라서, 보강재(124b, 124c)는 중앙의 일점에서 교차하여, 여기서부터 방사 형상으로 뻗은 상태가 되어 있다. In addition, a reinforcing member 124b made of H-shaped steel is constructed in parallel to the pipe members 122c and 122d in the front frame formed of the pipe member 122a, the pipe members 122c and 122d, and the reinforcing member 124a. It is hypothesized to be parallel to 122a and the reinforcing material 124a. Moreover, the reinforcement material 124c which consists of H-shaped steel is hypothetically arrange | positioned diagonally with respect to the pipe members 122a, 122c, and 122d and the reinforcement material 124a. Therefore, the reinforcing materials 124b and 124c intersect at one point in the center and are in a radially extending state from here.

또한, 하부 프레임(122)은, 상부 프레임(112)의 외형을 따라서 네 모서리가 움푹 들어간 대략 직사각 형상이다. 이 오목 부분(119)을 통하여, 후술하는 가설대(170)의 지주(178)가, 상부 프레임(112)의 네 모서리를 하방으로부터 지지한다. In addition, the lower frame 122 has a substantially rectangular shape in which four corners are recessed along the outer shape of the upper frame 112. Through this recessed part 119, the support | pillar 178 of the temporary stand 170 mentioned later supports the four corners of the upper frame 112 from below.

연결재(118)는, Z축 방향으로 이격된 상태에서, 상부 프레임(112)과 하부 프레임(122)을 연결하고 있다. 본 실시예에서는, 연결재(118)는 ㅁ 형강으로 이루어지는 관재로 구성되어 있으며, 상부 프레임(112)과 하부 프레임(122)을 네 모서리 근방에서 연결하고 있다. The connecting member 118 connects the upper frame 112 and the lower frame 122 in a state spaced apart in the Z-axis direction. In this embodiment, the connecting member 118 is composed of a tubular member made of K-shaped steel, and connects the upper frame 112 and the lower frame 122 near four corners.

가설대(170)는, 도 15에 나타내는 바와 같이, X축 방향으로 뻗어 있는 관재(172a, 172b)와, Y축 방향으로 뻗어 있는 관재(172c, 172d)를 각각 연결시킴으로써 형성되는 직사각 형상의 프레임바디의 내측을, 복수의 보강재(174a, 174b)로 보강함으로써 구성된다. 여기서, 관재(172a, 172b, 172c, 172d)는 중공의 봉재이며, 본 실시예에서는 단면 ㅁ 형상의 ㅁ 형강을 이용하고 있다. 또한, 보강재(174a, 174b)는, 중공·중실을 막론하고 프레임바디의 내측에 횡으로 가설되는 봉재이며, 본 실시예에서는 단면 ㅁ 형상의 ㅁ 형강을 이용하고 있다. As shown in FIG. 15, the temporary frame 170 is a rectangular frame formed by connecting the pipe members 172a and 172b extending in the X-axis direction and the pipe members 172c and 172d extending in the Y-axis direction, respectively. It is comprised by reinforcing the inner side of a body with some reinforcement materials 174a and 174b. Here, the pipe members 172a, 172b, 172c, and 172d are hollow bar members, and in the present embodiment, a K-shaped steel having a cross-sectional k-shape is used. In addition, the reinforcing materials 174a and 174b are rods which are temporarily laid inside the frame body, regardless of whether they are hollow or solid. In this embodiment, a K-shaped steel having a cross-section k-shaped steel is used.

여기서, 상술한 바와 같이 베이스대(110)는 길이방향의 수평방향으로 복수의 블록(여기서는 2블록)으로 분할 가능하며, 이에 맞추어, 가설대(170)도 복수의 블록으로 분할 가능하다. 가설대(170)의 Y축 방향으로 뻗어 있는 관재(172c, 172d)는 도중에 절단되어, 분할부(176)가 설치되어 있다. 그리고, 분할부(176)를 사이에 두고 앞측과 뒤측의 블록 각각에 대하여, 절단 부분의 관재(172c, 172d) 사이에는, X축 방향으로 뻗어 있도록 ㅁ 형강으로 이루어지는 보강재(174a)가 횡으로 가설되어 있다. 또한, 앞측의 프레임 내에는, 더욱 X축 방향으로 뻗어 있도록 ㅁ 형강으로 이루어지는 보강재(174a)가 횡으로 가설되어 있다. 또한, 가설대(170)의 프레임 내에는, Y축 방향으로 뻗어 있도록 ㅁ 형강으로 이루어지는 보강재(174b)가 횡으로 가설되어 있다. 이 보강재(174b)는 도중에 절단되어, 분할부(176)가 설치되어 있다. Here, as described above, the base stand 110 may be divided into a plurality of blocks (here, two blocks) in the horizontal direction in the longitudinal direction, and accordingly, the temporary stand 170 may be divided into a plurality of blocks. The pipe members 172c and 172d extending in the Y-axis direction of the temporary table 170 are cut along the way, and the division part 176 is provided. Then, the reinforcing material 174a made of K-shaped steel is horizontally interposed between the pipe members 172c and 172d of the cut portion so as to extend in the X-axis direction with respect to each of the front and rear blocks with the divided portion 176 therebetween. It is. Moreover, in the front frame, the reinforcing material 174a made of K-shaped steel is laterally arranged so as to extend further in the X-axis direction. In addition, in the frame of the temporary table 170, the reinforcement material 174b which consists of W-shaped steel is horizontally arrange | positioned so that it may extend in the Y-axis direction. This reinforcing material 174b is cut in the middle, and the division part 176 is provided.

가설대(170)의 네 모서리에는, Z축 방향으로 뻗어 있도록 지주(178)가 설치되어 있다. 제진유닛(150)은, 가설대(170)의 지주(178)의 상단과 각 관재(172a, 172b, 172c, 172d) 위에 설치되어 있다. 보다 상세히는, 제진유닛(150)은, 상부 프레임(112)의 네 모서리와 가설대(170)의 지주(178)의 상단 사이, 및 각 관재(172a, 172b, 172c, 172d)의 도중에 있어서의 상부와 하부 프레임(122)의 관재(122a, 122b, 122c, 122d) 사이에 있어서, 베이스대(110)를 제진 가능하게 지지하고 있다. 제진유닛(150)은, 설치면으로부터 베이스대(110)로 전달되는 진동을 제거하는 것이며, 예컨대 공기 스프링이나 고무 등의 탄성재로 구성되는 것을 이용할 수 있다. At four corners of the temporary table 170, a support 178 is provided to extend in the Z-axis direction. The vibration damping unit 150 is provided on the upper end of the support post 178 of the temporary stand 170 and on each pipe member 172a, 172b, 172c, and 172d. More specifically, the vibration damping unit 150 is provided between the four corners of the upper frame 112 and the upper end of the support 178 of the temporary frame 170 and in the middle of each pipe member 172a, 172b, 172c, and 172d. Between the pipe members 122a, 122b, 122c, and 122d of the upper frame and the lower frame 122, the base stand 110 is supported to be damped. The vibration damping unit 150 removes the vibration transmitted from the mounting surface to the base stand 110, and may be made of an elastic material such as an air spring or rubber.

가이드 레일(140)은, 관재(112c, 112d)의 상면에 각각 설치되어, Y축 방향으로 뻗어 있다. 보다 상세히는, 관재(112c, 112d)의 상면에는, 외측방으로 향하여 돌출편(152)이 설치되어 있으며, 이 돌출편(152)이 Y축 방향으로 연속하여 뻗어 있다. 그리고, 이 돌출편(152)의 상면에, 가이드 레일(140)이 설치되어 있다. 또한, 영구자석(142)은, 돌출편(152)의 상면에 있어서 가이드 레일(140)보다도 외측의 위치에 인접하여 설치되어, Y축 방향으로 뻗어 있다. 이 영구자석(142)은, Y축 방향에 S극과 N극의 소정 패턴이 반복되어 있는 것이다. The guide rails 140 are provided on the upper surfaces of the pipe members 112c and 112d, respectively, and extend in the Y-axis direction. More specifically, the protrusion pieces 152 are provided in the upper surface of pipe | tube material 112c, 112d toward an outer side, and this protrusion piece 152 extends continuously in a Y-axis direction. And the guide rail 140 is provided in the upper surface of this protrusion piece 152. As shown in FIG. In addition, the permanent magnet 142 is provided adjacent to the position outside the guide rail 140 on the upper surface of the protruding piece 152 and extends in the Y-axis direction. In the permanent magnet 142, predetermined patterns of the S pole and the N pole are repeated in the Y-axis direction.

가이드 레일(140) 및 영구자석(142)의 상방에는, X축 방향으로 뻗는 갠트리부(130)의 양측의 하부에 연결된 연결판(146)이 배치되어 있으며, 이 연결판(146)의 하면에는, 안내 슬라이더(144)와 전자석(148)이 각각 인접하여 설치되어 있다. 전자석(148)은, 영구자석(142)의 S극과 N극의 패턴에 맞춰서 자극을 변화시켜, 영구자석(142)과의 사이에서 반발력을 발생시킴으로써 갠트리부(130)를 가이드 레일(140)로 안내하면서 Y축 방향으로 이동시킬 수 있다. Above the guide rail 140 and the permanent magnet 142, a connecting plate 146 connected to the lower portion of both sides of the gantry portion 130 extending in the X-axis direction is disposed, the lower surface of the connecting plate 146 The guide slider 144 and the electromagnet 148 are provided adjacent to each other. The electromagnet 148 changes the magnetic poles in accordance with the patterns of the S pole and the N pole of the permanent magnet 142 and generates a repulsion force between the permanent magnet 142 to guide the gantry 130 to the guide rail 140. Can be moved in the Y-axis direction.

여기서, 돌출편(152)의 하면에는, 관재(112c, 112d)의 외측면 사이에 가설된 복수의 보강 리브(154)가 Y축 방향으로 소정간격으로 설치되어 있다. Here, a plurality of reinforcing ribs 154 arranged between the outer surfaces of the pipe members 112c and 112d are provided on the lower surface of the protruding piece 152 at predetermined intervals in the Y-axis direction.

갠트리부(130)는, X축 방향으로 뻗는 지지부(130a), 리니어 모터부(130b), 및 이동부(130c)를 구비한다. 이동부(130c)는, 리니어 모터부(130b)에 의하여 이 리니어 모터부(130b)를 따라서 X축 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 그리고, 이 이동부(130c)에 소정의 처리장치를 부설함으로써, 처리장치가 X축 방향으로 이동하여, 베이스대(110)에 탑재된 기판에 대하여 소정의 처리가 실행된다. 이 처리장치로서는, 기판 상의 결함을 검사하는 카메라이거나, 컬러 필터의 색 빠짐 등 기판의 표면처리 상태를 수복하는 리페어 장치이거나, 기판에 대하여 패턴 처리하는 도포장치일 수 있다. The gantry portion 130 includes a support portion 130a extending in the X-axis direction, a linear motor portion 130b, and a moving portion 130c. The moving part 130c is movable by the linear motor part 130b along the linear motor part 130b in the X-axis direction. Then, by placing a predetermined processing device on the moving part 130c, the processing device moves in the X-axis direction, and predetermined processing is performed on the substrate mounted on the base stand 110. The processing apparatus may be a camera for inspecting defects on the substrate, a repair apparatus for repairing the surface treatment state of the substrate such as color dropout of the color filter, or a coating apparatus for patterning the substrate.

또한, 스테이지장치(101)의 베이스대(110) 위에는, 제1 실시예와 같이, 액정패널 등의 기판을 재치하기 위한 도시하지 않은 워크 정반이 설치된다. 여기서, 스테이지장치(101)가 수송차로 수송될 때, 이 워크 정반이 설치된 상태에서 수송차에 적재된다. In addition, on the base stand 110 of the stage apparatus 101, a workpiece surface not shown for mounting a substrate such as a liquid crystal panel is provided, as in the first embodiment. Here, when the stage apparatus 101 is transported by the transport vehicle, it is loaded in the transport vehicle in the state in which this work surface plate was installed.

본 실시예에 있어서는, 도 10에 나타내는 바와 같이, 베이스대(110), 가이드 레일(140), 영구자석(142), 돌출편(152), 가설대(170) 및 워크 정반은, Y축 방향과 직교하는 분할면에서 분할된다. 그리고, 분할된 베이스대(110)는, 분할부(116, 126)에서 볼트 등에 의하여 연결된다. 다만, 돌출편(152)의 하면에는, 관재(112c, 112d)의 외측면과의 사이에 가설된 복수의 보강 리브(154)가 설치되어 있고, 분할된 베이스대(110)는, 이 보강 리브(154)를 통하여 연결된다.In the present embodiment, as shown in FIG. 10, the base stand 110, the guide rail 140, the permanent magnet 142, the protruding piece 152, the temporary stand 170, and the work table are Y-axis directions. It is divided in the dividing plane orthogonal to. And the divided base stand 110 is connected by the bolt etc. in the division parts 116 and 126. However, on the lower surface of the protruding piece 152, a plurality of reinforcing ribs 154 are provided between the outer surfaces of the pipe members 112c and 112d, and the divided base stage 110 is provided with the reinforcing ribs. 154 is connected.

여기서, 종래의 스테이지 구조의 경우는, 분할하고자 하면 연결을 위한 플랜지를 스테이지의 측면으로 튀어나오도록 설치할 필요가 있어, 횡방향의 사이즈가 커져 버린다는 문제가 있지만, 본 실시예에서는, 보강 리브(154)나 분할부(116, 126)가 돌출편(152)보다도 측방으로 튀어나가는 것을 억제할 수 있기 때문에, 대형화를 억제할 수 있다. Here, in the case of the conventional stage structure, it is necessary to install the flange for connection so as to protrude to the side surface of the stage when it is to be divided, but there is a problem that the size of the transverse direction becomes large, but in this embodiment, the reinforcing rib ( Since it can suppress that the 154 and the division parts 116 and 126 protrude to the side rather than the protruding piece 152, enlargement can be suppressed.

이와 같이, 베이스대(110), 가이드 레일(140), 영구자석(142), 돌출편(152), 가설대(170) 및 워크 정반은 Y축 방향으로 분할 가능하게 구성되어 있기 때문에, 스테이지장치(101)는 2개의 블록으로 분할 가능하게 구성되게 된다. 여기서, 분할부(116, 126, 176)는, 상하의 Z축 방향에 대하여 대응하는 위치에 설치되어, Y축 방향에 대하여 각 블록이 수송차에 적재 가능한 크기가 되는 위치에 형성된다. Thus, since the base stand 110, the guide rail 140, the permanent magnet 142, the protrusion piece 152, the temporary stand 170, and the work surface plate are comprised so that a division to the Y-axis direction is possible, 101 is configured to be divided into two blocks. Here, the division parts 116, 126, and 176 are provided in the position corresponding to the up-down Z-axis direction, and are formed in the position which becomes a size which can be loaded to a transport vehicle in the Y-axis direction.

또한, 베이스대(110)의 양측방으로서 돌출편(152)의 하방에는, 도 10 및 도 16에 나타내는 바와 같이, 케이블 캐리어(160)가 설치되어 있다. 갠트리부(130)에는, 갠트리부(130) 자체나 이동부(130c)의 이동을 제어하기 위한 전력을 공급하는 도시하지 않은 전력 케이블이나, 이동부(130c)에 부설되는 처리장치와의 사이에서 각종 신호를 송수신하기 위한 도시하지 않은 신호 케이블 등이 접속되어 있다. 이들 케이블이, 케이블 캐리어(160)를 통하여 배선되어 있다. Moreover, as shown to FIG. 10 and FIG. 16, the cable carrier 160 is provided below the protrusion piece 152 as both sides of the base stand 110. As shown in FIG. The gantry 130 includes a power cable (not shown) for supplying electric power for controlling the movement of the gantry 130 itself or the moving unit 130c, or a processing device installed in the moving unit 130c. Signal cables and the like not shown for transmitting and receiving various signals are connected. These cables are wired through the cable carrier 160.

케이블 캐리어(160)는, 편평한 복수의 통재를 연결 설치하여 이루어지며, 각 통재는 서로 제한된 각도 내에서 회전운동 가능하게 연결되어 있다. 모아진 케이블은, 이 케이블 캐리어(160)의 내부로 통과되고 있다. 케이블 캐리어(160)의 일단(160a)은, 베이스대(110)의 측방에 설치된 지지대(162) 위에 고정되어 있다. 또한, 케이블 캐리어(160)의 타단(160b)은, 연락부재(164)에 고정되어 있다. 연락부재(164)는, 통 형상의 부재로서 갠트리부(130)와 케이블 캐리어(160)에 연결되어 있어, 케이블 캐리어(160)로부터의 케이블을 갠트리부(130)로 안내한다. The cable carrier 160 is formed by connecting a plurality of flat cylinders, and the cylinders are rotatably connected to each other within a limited angle. The collected cables are passed through the cable carrier 160. One end 160a of the cable carrier 160 is fixed on the support stand 162 provided on the side of the base stand 110. The other end 160b of the cable carrier 160 is fixed to the communication member 164. The communication member 164 is connected to the gantry 130 and the cable carrier 160 as a cylindrical member, and guides the cable from the cable carrier 160 to the gantry 130.

따라서, 도 17에 나타내는 바와 같이, 케이블 캐리어(160)는 캐터필러(등록상표)와 같이 변형 가능하며, 갠트리부(130)가 Y축 방향으로 이동함에 수반하여, 베이스대(110)의 길이방향의 임의의 위치에서 U자 형상으로 굴곡 가능하다. 그리고, 케이블 캐리어(160)의 내부로 통과된 케이블은, 케이블 캐리어(160)의 변형을 모방하여 변형된다. Therefore, as shown in FIG. 17, the cable carrier 160 can be deformed like a caterpillar (registered trademark), and as the gantry portion 130 moves in the Y-axis direction, the cable carrier 160 is moved in the longitudinal direction of the base table 110. It can be bent in a U shape at any position. The cable passed into the cable carrier 160 is deformed to mimic the deformation of the cable carrier 160.

이와 같이, 케이블 캐리어(160)를 베이스대(110)의 양측방으로서 돌출편(152)의 하방에 설치함으로써, 베이스대(110)의 내부에 설치하는 경우와 달리, 관재(112c, 122c) 사이나 관재(112d, 122d) 사이의 스페이스의 이용 자유도가 높아져, 여기에 연결재(118)나 제진유닛(150)을 배치할 수 있어서, 강성의 향상이나 제진성이 높아지고 있다. 또한, 돌출편(152)을 설치하여 이 위에 가이드 레일(140)이나 영구자석(142)을 배치함으로써, 상부 프레임(112)의 관재(112c, 112d) 위에 이 들을 배치하는 경우와 비교하여, 베이스대(110)의 X축 방향의 사이즈를 작게 할 수 있어서, 풋프린트의 저감이 도모되고 있다. In this way, the cable carriers 160 are provided on both sides of the base stand 110 below the protruding pieces 152, so that the cable carriers 160 are installed inside the base stand 110, unlike the case where the cable carriers 160 are installed inside the base stand 110. In addition, the degree of freedom of use of the space between the pipe members 112d and 122d increases, so that the connecting member 118 and the vibration damping unit 150 can be disposed therein, thereby improving the rigidity and the vibration damping property. Also, by installing the protruding pieces 152 and disposing the guide rail 140 or the permanent magnet 142 thereon, the base is compared with the case of arranging them on the pipe members 112c and 112d of the upper frame 112. Since the size of the base 110 in the X-axis direction can be made small, the footprint is reduced.

이와 같이, 본 실시예에 관한 스테이지장치(101)에서는, 베이스대(110)가 상부 프레임(112)과 하부 프레임(122)을 가지며, 이를 연결재(118)로 연결하여, 소위 박스 구조로 하고 있기 때문에, 관재에 의하여 구성되어 경량화가 도모되고 있음에도 불구하고, 강성이 높아져 있다. 따라서, 갠트리부(130)의 이동에 의하여 하중이 걸려 제진유닛(150)이 침하하여 베이스대(110)가 기울었다 하더라도, 베이스대(110) 자체의 변형은 억제되어 있으므로, 갠트리부(130)와 베이스대(110)의 상대위치의 오차는 지극히 작아서, 기판의 정확한 처리가 가능하게 된다. 또한, 베이스대(110)의 변형이 원래대로 되돌아갈 때까지 기판의 처리를 기다릴 필요가 없기 때문에, 스루풋을 떨어뜨릴 우려도 없다. Thus, in the stage apparatus 101 which concerns on a present Example, the base stand 110 has the upper frame 112 and the lower frame 122, and connects it with the connecting material 118, and is made into what is called a box structure. Therefore, although it is comprised by the pipe material and the weight reduction is aimed at, rigidity is high. Therefore, even when the vibration damping unit 150 sinks due to the movement of the gantry unit 130 and the base unit 110 is inclined, since the deformation of the base unit 110 itself is suppressed, the gantry unit 130 is prevented. The error of the relative position between the base and the base 110 is extremely small, so that accurate processing of the substrate is possible. Moreover, since there is no need to wait for the process of the board | substrate until the deformation | transformation of the base stand 110 returns to the original, there is no possibility of dropping throughput.

또한, 베이스대(110)는, 베이스대(110)를 수평방향으로 복수의 블록으로 분할하기 위한 분할부(116, 126)를 가지기 때문에, 기판의 대형화에 수반하여 베이스대(110)가 대형화되어도, 특수대형차량을 이용하지 않고 베이스대(110)를 분할하여 수송하는 것이 가능하게 된다. 또한, 베이스대(110)를 구성하는 관재(112c, 112d, 122c, 122d)를 기계가공할 때도, 분할된 부분마다 행할 수 있기 때문에, 용이하게 기계가공을 행할 수 있다. Moreover, since the base stand 110 has the division parts 116 and 126 for dividing the base stand 110 into several blocks in the horizontal direction, even if the base stand 110 becomes large with the enlargement of a board | substrate, It is possible to divide and transport the base stand 110 without using a special large vehicle. In addition, when machining the pipe | tube members 112c, 112d, 122c, and 122d which comprise the base stand 110, since it can carry out for every divided part, machining can be performed easily.

또한, 베이스대(110)를 분할하는 경우, 베이스대(110)가 관재에 의하여 구성되어 있으면 접합면의 강성이 낮아서, 갠트리부(130)의 구동시에 왜곡을 생기게 할 가능성이 있지만, 본 실시예의 베이스대(110)는 박스 구조이며, 상부 프레임(112) 과 하부 프레임(126)에 있어서의 상하의 접합면을 맞추면 접합면이 증가하고 있기 때문에, 왜곡을 생기게 할 우려를 저감할 수 있어서, 베이스대(110)의 분할에 유리한 구조로 되어 있다. In addition, in the case of dividing the base stand 110, if the base stand 110 is made of a tubular material, the rigidity of the joining surface is low, which may cause distortion in driving the gantry 130, Since the base stand 110 has a box structure and the joining surfaces increase when the upper and lower joining surfaces of the upper frame 112 and the lower frame 126 are aligned, the fear of causing distortion can be reduced. The structure is advantageous for the division of the (110).

또한, 분할부(116, 126)는, 상부 프레임(112) 및 하부 프레임(122)을 구성하는 관재를 상하 대응하는 위치에서 절단하여 구성되어 있기 때문에, 상부 프레임(112)과 하부 프레임(122)에 설치되는 분할부(116, 126)는 상하 방향으로 이격되어 있으므로, 분할면이 벗어나고자 하는 모멘트에 대하여 강화되게 되어, 강성 상 유리하다. In addition, since the division parts 116 and 126 are cut | disconnected and comprised in the position corresponding to the up-down direction of the pipe | tube material which comprises the upper frame 112 and the lower frame 122, the upper frame 112 and the lower frame 122 are comprised. Since the divided parts 116 and 126 provided in the upper and lower parts are spaced apart in the vertical direction, the divided surfaces are reinforced with respect to the moment to be separated, which is advantageous in terms of rigidity.

또한, 관재의 절단면에는, 외향 플랜지(116a, 126a)가 설치되어 있기 때문에, 분할된 블록끼리를 외향 플랜지(116a, 126a)를 통하여 볼트 등에 의하여 용이하게 연결할 수 있다. 또한, 가설대(170)의 관재의 절단면에도 마찬가지의 외향 플랜지가 설치되어 있기 때문에, 분할된 블록끼리를 볼트 등에 의하여 용이하게 연결할 수 있다. In addition, since outward flanges 116a and 126a are provided on the cut surface of the pipe, the divided blocks can be easily connected by bolts or the like through the outward flanges 116a and 126a. Moreover, since the same outward flange is also provided in the cut surface of the pipe member of the temporary table 170, the divided blocks can be easily connected with a bolt etc.

또한, 상부 프레임(112)의 프레임 내에는 경사방향으로 보강재(114c, 114d)가 가설되어 있고, 하부 프레임(122)의 프레임 내에는 경사방향으로 보강재(124c)가 가설되어 있기 때문에, 프레임 내에 평행하게 보강재를 가설하는 경우에 비하여 충분히 베이스대(110)의 강성을 높일 수 있다. In addition, since the reinforcing materials 114c and 114d are hypothesized in the inclined direction in the frame of the upper frame 112, and the reinforcing materials 124c in the inclined direction are hypothesized in the frame of the lower frame 122, parallel to the frame. Compared to the case where the reinforcing material is installed, the rigidity of the base stand 110 can be sufficiently increased.

또한, 케이블 캐리어(160)를 베이스대(110)의 양측방으로서 돌출편(152)의 하방에 설치함으로써, 베이스대(110)의 내부에 설치하는 경우와 달리, 관재(112c, 122c) 사이나 관재(112d, 122d) 사이의 스페이스의 이용 자유도가 높아져, 여기에 연결재(118)나 제진유닛(150)을 배치할 수 있어서, 강성의 향상이나 제진성을 높일 수 있다. 또한, 연락부재(164)의 Z축 방향의 길이를 짧게 할 수 있기 때문에, 외란의 영향에 의한 베이스대(110)의 진동을 저감할 수 있다. 또한, 돌출편(152)을 설치하여 이 위에 가이드 레일(140)이나 영구자석(142)을 배치함으로써, 상부 프레임(112)의 관재(112c, 112d) 위에 이들을 배치하는 경우와 비교하여, 베이스대(110)의 X축 방향의 사이즈를 작게 할 수 있어서, 풋프린트의 저감을 도모할 수 있다. Moreover, unlike the case where it is installed in the base stand 110 by installing the cable carrier 160 below both of the base stand 110 and below the protrusion piece 152, between the cable members 112c and 122c, The degree of freedom of use of the space between the pipe members 112d and 122d increases, and the connection member 118 and the vibration damping unit 150 can be disposed therein, thereby improving the rigidity and the vibration damping property. In addition, since the length of the contact member 164 in the Z-axis direction can be shortened, the vibration of the base stand 110 due to the disturbance can be reduced. Furthermore, by providing the protruding pieces 152 and disposing the guide rail 140 or the permanent magnet 142 thereon, the base stand is compared with the case where the protruding pieces 152 are arranged on the pipe members 112c and 112d of the upper frame 112. The size in the X-axis direction of 110 can be made small, and the footprint can be reduced.

또한, 스테이지장치(101)는, 제진유닛(150)을 통하여 베이스대(110)를 지지하는 가설대(170)를 구비하기 때문에, 가설대(170) 위에서 베이스대(110)를 제진상태로 지지할 수 있다. In addition, since the stage apparatus 101 includes a temporary stand 170 that supports the base stand 110 through the vibration damping unit 150, the stage device 101 supports the base stand 110 in a vibration isolating state on the temporary stand 170. can do.

또한, 하부 프레임(122)의 네 모서리의 오목 부분(119)을 통하여 상부 프레임(112)의 네 모서리를 하방으로부터 제진유닛(150)을 통하여 지주(178)에 의하여 지지하고 있기 때문에, 제진유닛(150)을 통하여 베이스대(110)를 중심에 가까우며 보다 높은 위치에서 지지할 수 있어서, 갠트리부(130)의 이동에 의하여 생기는 베이스대(110)의 흔들림을 억제할 수 있다. 또한, 하부 프레임(122)이 추로서 기능하므로, 베이스대(110)의 흔들림을 한층 억제할 수 있다. In addition, since the four edges of the upper frame 112 are supported by the support 178 through the vibration damping unit 150 from below through the concave portions 119 of the four corners of the lower frame 122, the vibration damping unit ( Through the 150, the base stand 110 can be supported closer to the center and at a higher position, so that the shake of the base stand 110 caused by the movement of the gantry 130 can be suppressed. In addition, since the lower frame 122 functions as a weight, the shake of the base stand 110 can be further suppressed.

여기서, 연결재(118)를 ㅁ 형강에 의하여 구성하고, 상부 프레임(112) 및 하부 프레임(122)을 네 모서리 등에서 연결하는 구성으로 하였지만, 연결재(118)는 ㅁ 형강에 한정되지 않으며, 예컨대 판재에 의하여 상부 프레임(112)과 하부 프레임(122)을 빙 둘러싸도록 하여 연결하는 구성으로 하여도 좋다. Here, the connecting member 118 is configured by the K-shaped steel, and the upper frame 112 and the lower frame 122 is configured to connect at four corners, but the connecting member 118 is not limited to the K-shaped steel, for example, the plate The upper frame 112 and the lower frame 122 may be surrounded by ice so as to be connected to each other.

한편, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 다양한 변형이 가능하다. 예컨대, 상기한 실시예에서는, 갠트리부(30, 130)가 Y축 방향으로 이동하고, 이동부(30c, 130c)가 X축 방향으로 이동하는 2축 타입의 스테이지장치(1, 101)에 대한 적용을 서술하고 있지만, 갠트리부(30, 130)만이 이동하는 1축 타입에도 적용 가능하다. In addition, this invention is not limited to the above-mentioned embodiment, A various deformation | transformation is possible. For example, in the above-described embodiment, the gantry portions 30 and 130 move in the Y-axis direction, and the moving units 30c and 130c move in the X-axis direction. Although the application is described, it is also applicable to the single axis type in which only the gantry portions 30 and 130 move.

또한, 갠트리부(30, 130)나 이동부(30c, 130c)의 이동은, 접촉 타입, 비접촉 타입 중 어느 것이더라도 좋다. In addition, the movement of the gantry parts 30 and 130 and the moving parts 30c and 130c may be any of a contact type and a non-contact type.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 관한 스테이지장치를 나타내는 사시도. 1 is a perspective view showing a stage device according to a first embodiment of the present invention.

도 2는 도 1의 스테이지장치가 구비하는 베이스대를 상방으로부터 본 사시도.FIG. 2 is a perspective view of the base stand included in the stage device of FIG. 1 as viewed from above. FIG.

도 3은 베이스대를 하방으로부터 본 사시도.3 is a perspective view of the base stand viewed from below;

도 4는 연결재가 연결된 베이스대의 하부 프레임이 제진유닛에 지지되어 있는 상태를 나타내는 사시도.4 is a perspective view showing a state in which the lower frame of the base unit to which the connecting member is connected is supported by the vibration suppression unit.

도 5는 도 1에 나타내는 스테이지장치에 워크 정반을 세트한 사시도.FIG. 5 is a perspective view of a work table set on the stage device shown in FIG. 1; FIG.

도 6은 분할부를 나타내는 정면도.6 is a front view showing a divided portion;

도 7은 케이블 캐리어의 배치를 나타내는 부분 확대도.7 is a partially enlarged view showing the arrangement of the cable carrier.

도 8은 도 1에 나타내는 스테이지장치의 측면도.8 is a side view of the stage apparatus shown in FIG. 1.

도 9는 분할부의 변형예를 나타내는 도면.9 is a diagram illustrating a modification of the division part.

도 10은 본 발명의 제2 실시예에 관한 스테이지장치를 나타내는 사시도.Fig. 10 is a perspective view showing a stage device according to a second embodiment of the present invention.

도 11은 도 10의 스테이지장치가 구비하는 베이스대를 상방으로부터 본 사시도.The perspective view which looked at the base stand which the stage apparatus of FIG. 10 is equipped from the upper side.

도 12는 베이스대를 하방으로부터 본 사시도.The perspective view which looked at the base stand from the bottom.

도 13은 베이스대를 분할한 뒤측의 블록을 상방으로부터 본 사시도.The perspective view which looked at the block of the back side which divided | divided a base base from the upper side.

도 14는 연결재가 연결된 베이스대의 하부 프레임을 나타내는 사시도.14 is a perspective view showing a lower frame of the base unit to which the connecting member is connected.

도 15는 가설대와 제진유닛을 나타내는 사시도.15 is a perspective view showing a temporary stand and a vibration damping unit.

도 16은 케이블 캐리어의 배치를 나타내는 부분 확대도.Fig. 16 is a partially enlarged view showing the arrangement of the cable carrier.

도 17은 도 10에 나타내는 스테이지장치의 측면도.FIG. 17 is a side view of the stage device shown in FIG. 10; FIG.

*부호의 설명** Description of the sign *

1, 101 : 스테이지장치1, 101: stage device

10, 110 : 베이스대10, 110: Base stand

12, 112 : 상부 프레임12, 112: upper frame

14c, 14d, 114c, 114d, 124c : 보강재14c, 14d, 114c, 114d, 124c: reinforcement

16, 26, 116, 126, 176 : 분할부16, 26, 116, 126, 176: division

16a, 26a :외향 플랜지16a, 26a: outward flange

18, 118 : 연결재18, 118: connector

22, 122 : 하부 프레임22, 122: lower frame

30, 130 : 갠트리부30, 130: gantry part

50, 150 : 제진유닛50, 150: Dust Removal Unit

119 : 오목 부분119: recessed portion

170 : 가설대170: temporary table

178 : 지주178: prop

Claims

A stage apparatus comprising a base stand, a gantry installed movably in a axial direction on the base stand, and a vibration damping unit supporting the base stand.

The base stand,

An upper frame constructed by connecting a can material in a frame shape,

A lower frame installed by connecting pipes in a frame shape and spaced vertically from the upper frame;

It has a connecting material for connecting the upper frame and the lower frame,

And a temporary stand for supporting the upper frame by a support through the vibration suppression unit from below.

delete

The method according to claim 1,

The upper frame has a rectangular shape in appearance,

The lower frame has a rectangular shape with four corners recessed along the outline of the upper frame,

The hypothesis has a rectangular frame body along the outline of the upper frame, and a support for supporting the four corners of the upper frame from below by passing through the concave portions of the four corners of the lower frame,

And said vibration damping unit is provided between at least four corners of said upper frame and an upper end of said strut.

The method according to claim 1 or 3,

And the base stage has a divider for dividing the base stage into a plurality of blocks in a horizontal direction.

The method according to claim 4,

The said dividing part is a stage apparatus characterized by cutting the pipe | tube material which comprises the said upper frame and the said lower frame in the position corresponding to up-down.

The method according to claim 5,

The outward flange is provided in the cut surface of the said pipe | tube material, The stage apparatus characterized by the above-mentioned.

The method according to claim 1 or 3,

A reinforcing material is arranged in at least one frame of the upper frame and the lower frame in an oblique direction.