KR100981098B1 - 평판표시소자 제조장치의 벤트 결합구조 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 평판표시소자 제조장치의 벤트 결합구조에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 평판표시소자 제조장치 중 하나인 로드락 챔버 내부를 효율적으로 벤팅할 수 있는 평판표시소자 제조장치의 벤트 결합구조에 관한 것이다.
즉, 본 발명은, 로드락 챔버의 내벽 일측에 대향되도록 구비되어 벤팅 영역을 확장시키면서 내부를 벤팅하는 벤팅부; 상기 벤팅부와 벤팅 라인에 의해 연결되어 가스를 공급하는 가스 공급부; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 벤트 결합구조에 관한 것이다.
평판표시소자 제조장치, 벤팅수단, 벤팅부, 가스 공급부, 확산부재, 벤팅(Venting) 가스

Description

평판표시소자 제조장치의 벤트 결합구조{VENT COMBINATION STRUCTURE OF FLAT PANEL DISPLAY MANUFACTURING MACHINE}
도 1은 종래의 평판표시소자 제조장치의 벤트 결합구조를 도시한 측단면도이다.
도 2는 상기 평판표시소자 제조장치의 벤트 결합구조를 도시한 분해사시도이다.
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 평판표시소자 제조장치의 벤트 결합구조를 도시한 사시도 및 종단면도이다.
도 4a 및 도 4b는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 평판표시소자 제조장치의 벤트 결합구조를 도시한 사시도 및 종단면도이다.
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 평판표시소자 제조장치의 벤트 결합구조를 도시한 사시도 및 횡단면도이다.
도 6a 및 도 6b는 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 평판표시소자 제조장치의 벤트 결합구조를 도시한 사시도 및 횡단면도이다.
도 7a 및 도 7b는 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 평판표시소자 제조장치의 벤팅부가 분리된 상태를 도시한 사시도 및 종단면도이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
110, 210, 310, 410, 510: 로드락 챔버
112, 212, 312, 412, 512: 홈
120, 220, 420, 520: 확산부재
130, 230, 330, 430, 560: 벤팅 라인
본 발명은 평판표시소자 제조장치의 벤트 결합구조에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 제조장치 내부를 효율적으로 벤팅할 수 있는 평판표시소자 제조장치의 벤트 결합구조에 관한 것이다.
일반적으로, 평판표시소자 제조장치는 내부에 평판표시소자 기판을 반입시키고, 플라즈마 등을 이용하여 식각 등의 처리를 실시하는데 사용된다. 이때, 평판표시소자(Flat Panel Display)는 액정 표시소자(Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이 소자(Plasma Display Panel), 유기 발광 소자(Organic Light Emitting Diodes) 등을 말하며, 이러한 평판표시소자 제조장치 중 진공처리용 장치는 일반적으로 로드락(Load lock) 챔버, 반송 챔버 및 공정 챔버의 3개의 진공 챔버로 구성된다.
여기서, 상술한 로드락 챔버는 대기압 상태와 진공 상태를 번갈아 가면서 외부로부터 처리되지 않은 기판을 받아들이거나 처리가 끝난 기판을 외부로 반출하는 역할을 하며, 상술한 반송 챔버는 기판을 각 챔버들 간에 반송하기 위한 운송 로봇이 구비되어 있어서 처리가 예정된 기판을 로드락 챔버에서 공정 챔버로 전달하거나, 처리가 완료된 기판을 공정 챔버에서 로드락 챔버로 전달하는 역할을 하며, 상술한 공정 챔버는 진공 중에서 플라즈마를 이용하거나 열 에너지를 이용하여 기판상에 막을 성막하거나 에칭을 수행하는 역할을 한다.
종래의 평판표시소자 제조장치는 로드락 챔버(10)로 평판표시소자 제조장의 벤트 구조는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 대기압 상태와 진공 상태를 번갈아 가면서 전환되는 기능을 하므로 벤팅부(20) 및 상기 벤팅부(20)와 가스 공급부(도면에 미도시)를 연결하는 벤팅 라인(30)이 구비되며, 대기압에서 진공 상태로의 전환시 전환시간의 단축 및 기판(도면에 미도시)의 냉각을 위해 내부에 벤팅 가스(Venting gas)를 주입하고 배기한다.
여기서, 상기 로드락 챔버(10)의 대향된 외벽에는 상기 벤팅부(20)가 삽입 고정될 수 있도록 횡 방향으로 관통 형성된 개구부(12)가 형성되고 이 벤팅부(20)의 고정시 상기 개구부(12)와의 기밀을 유지하도록 구비된다.
상기 벤팅부(20)는 기판보다 하측에 위치되는 것이 바람직하며 길이 방향으로 연장되고 단차 형성되는 블럭 형상으로 후면에 하나의 벤팅 라인(30)이 연결되고 전면에 상기 벤팅 라인(30)과 연결되되 다수개로 분배된 벤트 홀(22)이 형성되어 다수개의 피딩 포인트(Feeding point)가 형성되는 것이다.
더욱이, 상기 벤팅 라인(30)의 도중에 이 벤팅 라인(30)을 개폐하여 가스 공급부에서의 가스 공급량을 조절하는 밸브(도면에 미도시)가 더 구비된다.
그러나 종래의 벤팅부(20)는 로드락 챔버(10)의 외부에 개구부(12)를 형성하고 설치되어 가공비 상승 및 기밀을 유지하기 난해하고 완제품을 사용하여 벤트 용량에 한계가 있으며 그로 인해 벤팅 타임이 증가하는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 그 목적은 벤팅부를 챔버 내벽에 구비하여 벤트 용량의 변경이 용이하고 벤팅 타임을 감소시킬 수 있게 한 평판표시소자 제조장치의 벤트 결합구조를 제공함에 있다.
상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 평판표시소자 제조장치 중 하나인 로드락 챔버의 내벽 일측에 횡방향으로 단면적이 넓게 형성된 홈에 의해 벤팅 영역을 확장시키면서 내부를 벤팅하는 벤팅부; 상기 벤팅부와 벤팅 라인에 의해 연결되어 가스를 공급하는 가스 공급부; 를 포함하여 이루어짐으로써, 상기 벤팅부를 평판표시소자 제조장치인 로드락 챔버 내벽에 구비하여 벤트 용량의 가감이 가능하고 벤팅 타임을 감소시킬 수 있으므로 바람직하다.
이하, 본 발명의 평판표시소자 제조장치의 벤트 결합구조를 첨부도면을 참조하여 실시 예들을 들어 설명하면 다음과 같다.
본 발명의 바람직한 실시 예의 평판표시소자 제조장치는 도면에는 도시하지 않았지만 종래의 그것과 동일한 구조와 기능을 하며 단지 벤팅수단이 제조장치의 내벽에 구비되고 형상이 상이하다.
여기서, 상기 제조장치는 로드락 챔버이다.
상기 벤팅수단은 상기 로드락 챔버의 내벽 일측에 횡방향으로 단면적이 넓게 형성된 홈에 의해 벤팅 영역을 확장시키면서 내부를 벤팅하는 벤팅부를 포함한다.
즉, 내벽 일측에 대향되되 벤팅 영역을 확장시킬 수 있도록 구비되면서 내부를 벤팅하는 벤팅부와, 상기 벤팅부와 벤팅 라인에 의해 연결되어 가스를 공급하는 가스 공급부(도면에 미도시)로 이루어진다.
더욱이, 상기 벤팅수단의 벤팅부는 기판(도면에 미도시)의 하측에 위치되는 것이 바람직하다. 이유는 상기 벤팅부에서 유입, 배기되는 벤팅가스로부터 기판에 악영향이 미치는 것을 방지하기 위함이다.
< 실시 예 1 >
본 실시 예에서의 상기 벤팅부는 도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이 홈(112)과 확산부재(120)로 이루어진다.
상기 홈(112)은 상기 로드락 챔버(110)의 내벽에 횡 방향으로 형성되되 대향된 두 벽이나 사방 벽에 형성된다. 그리고 외부의 벤팅 라인(130)이 이 홈(112)까지 연결된다.
그리고 상기 홈(112)의 형상은 선단이 후단의 면적보다 확장되어 구배진 형상으로 형성된다.
상기 확산부재(120)는 상기 홈(112)과 상응하면서 중공의 관형으로 형성되며 후면 중앙의 위치에 상기 벤팅 라인(130)과 연결되는 구멍이 형성되고 상기 로드락 챔버(110)의 내벽과 일치하는 전면에 일정 간격으로 배열 형성되는 다수개의 벤트 홀(122)이 관통되도록 구비된다.
즉, 상기 벤팅 라인(130)과 연결되는 확산부재(120)를 기존의 완성품과는 달리 로드락 챔버(110)의 내벽에 홈(112)을 형성하고 상기 홈(112)과 상응하면서 길이 방향으로 연장되도록 하여 벤팅 가스의 주입량과 배기량의 조절이 가능함으로써 벤팅 타임을 감소시킴과 동시에 구조적으로 단순해진다.
더욱이, 상기 확산부재(120)는 설치상 원형보다는 사각형에서 모서리가 라운딩(Rounding)처리되는 형상으로 형성되는 것이 바람직하며, 상기 벤팅 라인(130)의 도중에는 개폐밸브가 구비되고 후단에 가스 공급관이 구비된다.
그리고 상기 벤팅 라인(130)은 상기 홈(112)의 중앙에 적어도 하나 이상 구비된다.
< 실시 예 2 >
본 실시 예에서의 상기 벤팅부는 도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같이 홈(212)과 확산부재(220)로 이루어진다.
상기 홈(212)은 상기 로드락 챔버(210)의 내벽에 횡 방향으로 형성되되 대향된 두 벽이나 사방 벽에 형성된다. 그리고 외부의 벤팅 라인(230)이 이 홈(212)까지 연결된다.
그리고 상기 홈(212)의 형상은 선단이 후단의 면적보다 확장되어 구배진 형상으로 형성된다.
상기 확산부재(220)는 상기 홈(212)의 선단에 삽입되어 그 표면이 상기 로드락 챔버(210)의 내벽과 동일한 위치에 위치되며, 이 홈(212)과 상응하면서 표면에 일정 간격을 갖는 다수개의 벤트 홀(222)이 관통된 판상으로 형성된다.
즉, 상기 확산부재(220)를 기존의 완성품과는 달리 로드락 챔버(210)의 내벽 에 벤팅 라인(230)과 연결되는 홈(212)을 형성하고 상기 홈(212)과 상응하면서 길이 방향으로 연장되도록 하여 벤팅 가스의 주입량과 배기량의 조절이 가능함으로써 벤팅 타임을 감소시킴과 동시에 구조적으로 단순해진다.
더욱이, 상기 확산부재(220)는 배플(baffle) 구조로 형성되고, 상기 벤팅 라인(230)은 상기 홈(212)의 중앙에 적어도 하나 이상 구비되며, 상기 벤팅 라인(230)의 도중에는 개폐밸브가 구비되고 후단에 가스 공급관이 구비된다.
< 실시 예 3 >
본 실시 예에서의 상기 벤팅부는 도 5a 및 도 5b에 도시된 바와 같이 홈(312)으로 이루어지며, 앞선 실시 예에서와는 달리 확산부재가 존재하지 않는다.
상기 홈(312)은 상기 로드락 챔버(310)의 내벽에 횡 방향으로 형성되되 대향된 두 벽이나 사방 벽에 형성된다. 그리고 외부의 다수 벤팅 라인(330)이 이 홈(312)까지 일정 간격으로 각각 연결된다.
즉, 길이 방향으로 연장되도록 형성된 상기 홈(312)에 외부의 벤팅 라인(330)을 다수 연결하여 벤팅 용량을 조절할 수 있다.
그리고 상기 홈(312)의 형상은 선단이 후단의 면적보다 확장되어 구배진 형상으로 형성된다.
다만, 상기 홈(312)에는 벤팅 가스의 배기시 상기 로드락 챔버(310) 바닥에 퇴적된 파티클(Particle) 등이 기류에 의해 이 홈(312)에 재차 퇴적할 수 있으며, 이때, 퇴적한 파티클을 로드락 챔버(310)의 내부 청소시 함께 수거한다.
그리고 상기 벤팅 라인(330)의 도중에는 개폐밸브가 구비되고 후단에 가스 공급관이 구비된다.
< 실시 예 4 >
본 실시 예에서의 상기 벤팅부는 도 6a 및 도 6b에 도시된 바와 같이 홈(412)과 확산부재(420)로 이루어진다.
상기 홈(412)은 상기 로드락 챔버(410)의 내벽에 횡 방향으로 형성되되 대향된 두 벽이나 사방 벽에 형성된다. 그리고 외부의 벤팅 라인(430)이 이 홈(412)까지 연결된다.
그리고 상기 홈(412)의 형상은 선단이 후단의 면적보다 확장되어 구배진 형상으로 형성된다.
상기 확산부재(420)는 상기 홈(412)과 상응한 체적을 갖는 블럭 형상으로 형성되며 후면 중앙의 위치에 상기 벤팅 라인(130)과 연결되되 이 전면에서 후면까지 일정 간격을 갖도록 다수개가 관통 형성된 벤트 홀(422)을 일률적으로 연결할 수 있도록 후면에 연결홈(424)이 형성된다.
여기서, 상기 연결홈(424)은 상기 확산부재(420)의 후면에 2열을 형성할 경우 그 형상은 "I" 자로 형성되며, 벤트 홀(422)의 형상에 따라 변경될 수 있다.
한편, 상기 확산부재(420)의 후면은 상기 홈(412) 바닥에 밀착된 상태로 구 비되지만 음각 형상으로 형성된 연결홈(424)에 의해 각각의 벤트 홀(422)과 벤팅 라인(130)이 연결됨으로써, 기존의 완성품과는 달리 로드락 챔버(410)의 내벽에 홈(412)을 형성하고 상기 홈(412)과 상응하면서 길이 방향으로 연장되도록 하여 벤팅 가스의 주입량과 배기량의 조절이 가능함으로써 벤팅 타임을 감소시킴과 동시에 구조적으로 단순해진다.
그리고 상기 벤팅 라인(430)의 도중에는 개폐밸브가 구비되고 후단에 가스 공급관이 구비된다.
< 실시 예 5 >
본 실시 예에서의 상기 벤팅부는 도 7a 및 도 7b에 도시된 바와 같이 홈(512)과 확산부재(520)로 이루어진다.
상기 홈(512)은 상기 로드락 챔버(510)의 내벽에 횡 방향으로 형성되되 대향된 두 벽이나 사방 벽에 형성된다. 그리고 외부의 다수 벤팅 라인(530)이 이 홈(512)까지 일정 간격으로 각각 연결된다.
즉, 길이 방향으로 연장되도록 형성된 상기 홈(512)에 외부의 벤팅 라인(530)을 다수 연결하여 벤팅 용량을 조절할 수 있다.
그리고 상기 홈(512)의 형상은 선단이 후단의 면적보다 확장되어 구배진 형상으로 형성된다.
상기 확산부재(520)는 상기 홈(512)에 삽입되어 그 표면이 상기 로드락 챔버 (510)의 내벽과 동일한 위치에 위치되며, 상기 벤팅 라인(530)마다 개별 공간을 갖도록 구획을 짓는 격자 패널로 형성된다.
여기서, 상기 벤팅 라인(530)을 상하 2열로 구비할 경우 상하 벤팅 라인(530)마다 개별 공간을 부여할 수 있도록 수평 형상의 패널을 구비하고 각열마다 수평 방향으로 배열된 벤팅 라인(530)마다 개별 공간을 부여할 수 있도록 수직 형상의 패널을 이웃한 벤팅 라인(530)의 사이에 개재시킨다.
그리고 상기 벤팅 라인(530)의 적어도 일렬이상 형성시킨다.
더욱이, 상기 홈(512)에는 벤팅 가스의 배기시 상기 로드락 챔버(510) 바닥에 퇴적된 파티클(Particle) 등이 기류에 의해 이 홈(512)에 재차 퇴적할 수 있으며, 이때, 퇴적한 파티클을 로드락 챔버(510)의 내부 청소시 홈(512)에서 확산부재(520)를 분리한 다음 함께 수거한다.
한편, 상기 확산부재(520)는 로드락 챔버(510)와 분리형으로 형성되거나 일체형으로 형성될 수 있다.
그리고 상기 벤팅 라인(530)의 도중에는 개폐밸브가 구비되고 후단에 가스 공급관이 구비된다.
그러므로 본 발명의 평판표시소자 제조장치에서의 벤팅 과정은 도 3a, b 내지 도 7a, b에 도시된 바와 같이 기판을 냉각하거나 대기압 상태에서 진공 상태의 전환시 전환속도를 증가시키기 위해 로드락 챔버 내부에 벤팅 가스를 주입하고 배기하는 벤팅 수단을 기존처럼 완성품으로 사용하지 않고 로드락 챔버 내벽에 길이 방향으로 연장되는 횡 방향의 홈을 형성하고 상기 홈에 상응하면서 확산시키는 확산부재를 구비하여 벤팅 영역을 확장시켜 벤팅 시간을 감소시킬 수 있다.
이와 같은 본 발명의 평판표시소자 제조장치의 벤트 결합구조는 평판표시소자 제조장치 중 하나인 로드락 챔버 내벽에 벤팅 영역에 상응하는 홈을 형성하고 이 홈에 확산부재를 구비하여 벤트 용량의 변경 및 벤팅 시간을 감소시킴에 따라 작업 처리량이 상승되어 벤팅 효율이 상승하는 효과가 있다.
삭제

Claims (8)

  1. 삭제
  2. 평판표시소자 제조장치 중 하나인 로드락 챔버의 내벽 일측에 횡방향으로 단면적이 넓게 형성된 홈에 의해 벤팅 영역을 확장시키면서 내부를 벤팅하는 벤팅부;
    상기 벤팅부와 벤팅 라인에 의해 연결되어 가스를 공급하는 가스 공급부; 를 포함하며,
    상기 벤팅부는,
    상기 로드락 챔버의 내벽에 형성된 횡 방향의 홈;
    상기 홈과 상응하면서 이 홈을 통해 외부의 벤팅 라인과 연결될 수 있도록 전면에 일정 간격을 갖는 벤트 홀이 다수 배열 형성된 중공의 관형인 확산부재; 로 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 벤트 결합구조.
  3. 평판표시소자 제조장치 중 하나인 로드락 챔버의 내벽 일측에 횡방향으로 단면적이 넓게 형성된 홈에 의해 벤팅 영역을 확장시키면서 내부를 벤팅하는 벤팅부;
    상기 벤팅부와 벤팅 라인에 의해 연결되어 가스를 공급하는 가스 공급부; 를 포함하며,
    상기 벤팅부는,
    상기 로드락 챔버의 내벽에 횡 방향으로 형성되고 외부의 벤팅 라인과 연결되는 횡 방향의 홈;
    상기 홈의 선단에 위치되도록 상응한 면적을 가지면서 표면에 일정 간격을 갖는 벤트 홀이 다수 관통된 판상의 확산부재; 로 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 벤트 결합구조.
  4. 평판표시소자 제조장치 중 하나인 로드락 챔버의 내벽 일측에 횡방향으로 단면적이 넓게 형성된 홈에 의해 벤팅 영역을 확장시키면서 내부를 벤팅하는 벤팅부;
    상기 벤팅부와 벤팅 라인에 의해 연결되어 가스를 공급하는 가스 공급부; 를 포함하며,
    상기 벤팅부는,
    상기 로드락 챔버의 내벽에 횡 방향으로 형성되고 외부의 다수 벤팅 라인과 연결되는 횡 방향의 홈이 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 벤트 결합구조.
  5. 평판표시소자 제조장치 중 하나인 로드락 챔버의 내벽 일측에 횡방향으로 단면적이 넓게 형성된 홈에 의해 벤팅 영역을 확장시키면서 내부를 벤팅하는 벤팅부;
    상기 벤팅부와 벤팅 라인에 의해 연결되어 가스를 공급하는 가스 공급부; 를 포함하며,
    상기 벤팅부는,
    상기 로드락 챔버의 내벽에 형성된 횡 방향의 홈;
    상기 홈과 상응한 체적을 갖으면서 이 홈을 통해 외부의 벤팅 라인과 연결되며 후면에는 전면에 형성된 다수 벤트 홀과 일률적으로 연결될 수 있도록 연결홈이 형성되는 블럭 형상의 확산부재;로 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 벤트 결합구조.
  6. 평판표시소자 제조장치 중 하나인 로드락 챔버의 내벽 일측에 횡방향으로 단면적이 넓게 형성된 홈에 의해 벤팅 영역을 확장시키면서 내부를 벤팅하는 벤팅부;
    상기 벤팅부와 벤팅 라인에 의해 연결되어 가스를 공급하는 가스 공급부; 를 포함하며,
    상기 벤팅부는,
    상기 로드락 챔버의 내벽에 횡 방향으로 형성되고 외부의 다수 벤팅 라인과 연결되는 횡 방향의 홈;
    상기 홈에 상기 벤팅 라인마다 개별 공간을 갖도록 구획을 짓는 격자 패널의 확산부재;로 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 벤트 결합구조.
  7. 삭제
  8. 삭제
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