KR100976391B1 - Print circuit board detector - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A substrate transfer device is provided to prevent failure of a transfer process by dividing two substrate which are compressed and bonded. CONSTITUTION: A plurality of guide rollers(24) are vertically install on internal wall of the loader and are rotatable. When the substrate is mounted/demounted in/from the loader, a compressed substrate is interfered by a guide roller to be dived into two substrates. The distance between guide rollers or the distance between a guide roller and sidewall is same as or narrower than the width of the substrate.

Description

기판 이송장치{Print circuit board detector}Board transfer device {Print circuit board detector}

본 발명은 콘베이어의 관련된 물품 또는 물질의 취급장치 관련(B65G 47/00) 기판 이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판이 로더 내에 장입되거나, 취출되는 과정에서 가이드롤러의 간섭을 받아 분리되도록 하는 기판 이송장치에 관한 것이다. The present invention relates to a substrate transporting device (B65G 47/00) related to a conveyor for handling related articles or materials of a conveyor. It relates to a substrate transfer device.

통상적인 기판은 노광, 에칭 등의 공정을 통해 패턴이 완성된 전자회로 기판 제품이 되고, 이후 전자부품 실장 등의 공정을 통해 전자 제품에 사용할 수 있는 상태가 된다.Conventional substrates become electronic circuit board products having completed patterns through processes such as exposure and etching, and then become substrates that can be used in electronic products through processes such as electronic component mounting.

자동화 기술이 발전되면서 기판은 자동화 라인을 통해 취급되어지고 있으며, 자동화 라인을 통해 취급되는 기판은 한 장씩 공급되어야 제품 불량 및 손실을 막을 수 있는데, 기판들 사이의 진공압이나 습기 등에 의해 기판이 두 장 겹친 적층상태로 되는 일이 자주 발생하게 된다.As automation technology advances, substrates are handled through automation lines, and substrates handled through automation lines must be supplied one by one to prevent product defects and losses. It is often the case that the laminations are overlapped.

종래에는 자동화 라인에서 기판의 두 장 겹침을 방지하기 위하여 도 1 에 도시된 바와 같은 대한민국 등록실용신안 제20-0368311호의 "기판 이송장치의 두장 적층 방지장치"가 제안되고 있다.In the related art, in order to prevent two sheets of substrates from overlapping in an automated line, Korean Patent Utility Model No. 20-0368311 as shown in FIG.

도 1 에 도시된 바를 참조하면, 기판(P)은 로더(22)에 적재하도록 되어 있고, 상기 로더(22)에 적재된 기판(P)은 진공펌프(32)와 진공을 단속하는 솔레노이드 밸브(34)를 구비한 진공흡착수단(30)에 의해 흡착되도록 구성되어 있다. Referring to FIG. 1, the substrate P is loaded on the loader 22, and the substrate P loaded on the loader 22 is a solenoid valve for controlling the vacuum with the vacuum pump 32. It is comprised so that it may be attracted by the vacuum suction means 30 provided with 34).

이렇게 흡착된 기판(P)은 수직 이송수단(42)인 실린더에 의해 들어 올려지도록 구성되며, 상기 들어올려진 기판(P)은 수평 이송수단(44)인 실린더에 의해 수평방향으로 이동되어 컨베이어(52)위에 내려지도록 구성된다. The substrate P thus adsorbed is configured to be lifted by a cylinder which is a vertical transfer means 42, and the raised substrate P is moved in a horizontal direction by a cylinder which is a horizontal transfer means 44 so as to move the conveyor 52. It is configured to fall on).

이렇게 컨베이어(52) 위에 올려진 기판(P)은 이동되면서 두께감지를 위한 두롤러(62,64) 사이를 통과하게 되고, 이때 센서(66)는 두께에 의해 기판(P)이 두 장 겹친 적층 상태를 검출하게 된다. Thus, the substrate P placed on the conveyor 52 moves between the two rollers 62 and 64 for thickness sensing while the sensor P is moved, and at this time, the sensor 66 has a stacking state in which two substrates P are overlapped by the thickness. Will be detected.

기판(P)의 두께 감지는 고정된 고정롤러(62)와 상하 유동되는 가동롤러(64)의 사이 간극이 기판(P)에 의해 벌어지게 됨에 따라 가동롤러(64)가 근접센서(66)에 접근되어 설정치 이상이면 인디케이터(68)에서 기판(P)의 두 장 겹친 상태로 인식하게 되어 이를 표시하도록 이루어진다.The thickness detection of the substrate P is performed by the movable roller 64 to the proximity sensor 66 as the gap between the fixed fixed roller 62 and the movable roller 64 which flows up and down is opened by the substrate P. When approached and above a set value, the indicator 68 recognizes that the two sheets of the substrate P are overlapped and displays the displayed state.

이와 같이 구성되는 종래의 기판 이송장치의 두장 적층 검출장치는 기판(P)이 제1 컨베이어(52)를 따라 이송되면서 상기 고정롤러(62)와 가동롤러(64)의 사이를 통과한 후 제2 컨베이어(54)를 통해 작업공정 위치로 이송되어지기 때문에 두 개의 컨베이어(52,54)가 꼭 필요하게 되며 이로 인해 컨베이어 설비 설치 공간이 많이 필요하고 설비 코스트를 저렴하게 할 수 없는 문제점이 있다. 또, 상술한 바와 같이 고정롤러(62)와 가동롤러(64)를 구비시켜야 하는 기구 설계가 필수적이어야 하고 이로 인해 설비 코스트가 더욱 상승하게 되는 문제점을 갖고 있다.In the conventional two-sheet stacking detection device of the substrate transfer apparatus configured as described above, the substrate P is transferred along the first conveyor 52 while passing between the fixed roller 62 and the movable roller 64, and then the second stack detection apparatus. Since two conveyors 52 and 54 are necessary because the conveyor 54 is transferred to the work process position, there is a problem in that a lot of space for the installation of the conveyor equipment is required and the equipment cost cannot be reduced. In addition, as described above, the design of the mechanism to be provided with the fixed roller 62 and the movable roller 64 should be essential, which causes a problem that the installation cost is further increased.

또한, 가동롤러(64)가 상하 이동되는 과정이 수없이 반복되면서 가동롤러 (64)를 탄지하는 힘에 변형이 발생할 수도 있고, 기판(P)을 빠르게 이송시키면 가동롤러(64)의 상승 이동량에 오차가 발생할 수 있어 기판을 빠른 속도로 이송시킬 수 없는 문제점도 대두된다.In addition, as the process of moving the movable roller 64 up and down is repeated a number of times, deformation may occur in the force holding the movable roller 64, and if the substrate P is quickly transferred, the amount of movement of the movable roller 64 increases. There is also a problem that can not transfer the substrate at high speed because of the error may occur.

상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위해 안출된 본 발명의 목적은 로더의 측벽에 다수의 가이드롤러를 구비시켜 기판을 장입하거나 취출하는 과정에서 자연스럽게 기판과 간섭되도록 함으로써, 면 압착된 두 장의 기판이 분리되도록 함으로써, 이송공정의 불량이 방지되도록 하는 기판 이송장치를 제공하는데 있다.An object of the present invention devised to solve the above problems of the prior art is to provide a plurality of guide rollers on the side wall of the loader to naturally interfere with the substrate in the process of loading or taking out the substrate, the two surface-compressed substrate It is to provide a substrate transfer device to be separated, thereby preventing the defect of the transfer process.

본 발명의 목적을 달성하기 위한 기판 이송장치는, 진공펌프와 진공을 단속하는 밸브를 구비하여 로더에 적재된 기판을 흡착하는 진공흡착수단과, 진공 흡착수단을 수직 이송하는 수직 이송수단과, 상기 진공 흡착수단을 수평 이송하는 수평이송수단과, 상기 수직 이송수단과 진공 흡착수단의 사이에 개재되어 설치되는 인장식 로드셀과, 상기 로드셀의 신호를 처리하는 컨트롤러와, 상기 컨트롤러의 제어에 따라 기판의 두 장 겹친 상태를 표시하는 표시기로 구성되는 기판 이송장치에 있어서,Substrate transfer apparatus for achieving the object of the present invention, the vacuum suction means for adsorbing the substrate loaded on the loader having a vacuum pump and a valve for controlling the vacuum, vertical transfer means for vertically transferring the vacuum adsorption means, and A horizontal transfer means for horizontally conveying the vacuum suction means, a tension load cell interposed between the vertical transfer means and the vacuum suction means, a controller for processing a signal of the load cell, and a substrate under control of the controller. In the substrate transfer device consisting of an indicator for displaying a state of overlapping two sheets,

상기 로더의 내측벽에는 수직방향으로 배치된 다수의 가이드롤러가 회전 가능한 상태로 설치되고, 상기 로더 내부에 기판을 장입하거나 취출할 때, 기판이 가이드롤러에 간섭되면서 면 압착된 두 장의 기판이 상호 분리되도록 하는 것을 특징으로 한다.A plurality of guide rollers disposed in the vertical direction are rotatably installed on the inner wall of the loader, and when the substrate is loaded or taken out in the loader, the two substrates that are surface-compressed while interfering with the guide roller are mutually Characterized in that the separation.

그리고, 상기 로더는 측벽들 중에서 적어도 하나 이상의 측벽에 가이드롤러 가 대향 설치되도록 하며, 상기 가이드롤러 간의 거리 또는 가이드롤러와 측벽간 거리는 기판의 폭과 같거나 좁게 형성하되, 기판이 자중에 의해 가이드롤러 사이를 통과하는 것이 가능하게 설치되는 것을 특징으로 한다.The loader is configured such that guide rollers are installed on at least one of the sidewalls facing each other, and the distance between the guide rollers or the distance between the guide rollers and the sidewalls is equal to or smaller than the width of the substrate, and the substrate is guided by its own weight. It is characterized in that it is installed to be able to pass through.

여기서, 상기 가이드롤러는 기판의 가압시 압축변형이 가능한 합성수지재로 제작되는 것을 특징으로 한다.Here, the guide roller is characterized in that it is made of a synthetic resin material capable of compressive deformation when the substrate is pressed.

그리고, 상기 가이드롤러는 외경 둘레에 톱니 형상의 요철을 형성하는 것을 특징으로 한다.And, the guide roller is characterized in that the sawtooth irregularities formed around the outer diameter.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 로더의 내측벽에는 수직방향으로 배치된 다수의 가이드롤러가 회전 가능한 상태로 설치되고, 상기 로더 내부에 기판을 장입하거나 취출할 때, 기판이 가이드롤러에 간섭되면서 면 압착된 두 장의 기판이 상호 분리되도록 함으로써, 기판 이송공정의 불량을 근원적으로 방지하는 효과를 갖는다.As described above, in the present invention, a plurality of guide rollers disposed in a vertical direction are installed on the inner wall of the loader in a rotatable state, and when the substrate is inserted into or taken out of the loader, the substrate interferes with the guide roller. By allowing the two compressed sheets to be separated from each other, there is an effect of fundamentally preventing defects in the substrate transfer process.

또한, 본 발명은 가이드롤러에서 기판 분리가 이루어지지 않은 경우를 대비하여, 진공흡착수단의 상단에 설치되는 인장식 로드셀의 무게 감지에 의해 기판의 두 장 겹침을 정확히 검출하여 기판 이송 동작을 초기화함으로써 기판의 두 장 겹침을 방지하여 기판 이송공정의 불량을 해결하고 후공정인 기판 작업 공정을 안전하게 수행할 수 있는 효과를 갖는다.In addition, the present invention by initiating the substrate transfer operation by accurately detecting the overlap of the two sheets of the substrate by sensing the weight of the tension load cell installed on the upper end of the vacuum suction means in case the substrate separation is not made in the guide roller By preventing the overlapping of the two sheets of the substrate has the effect of solving the defects of the substrate transfer process and safely perform the substrate work process, which is a post process.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 2 는 본 발명의 구성을 보인 기판 이송장치의 구성 개념도이다. 참고로 종래와 동일한 구성 부분에 대하여는 동일한 도면 부호를 부여하기로 한다.2 is a conceptual view showing the configuration of the substrate transfer apparatus showing the configuration of the present invention. For reference, the same reference numerals are given to the same components as in the prior art.

도 2에 도시된 바를 참조하면, 로더(22)에 기판(P)을 적재하고, 상기 로더(22)에 적재된 기판(P)이 진공펌프(32)와 진공을 단속하는 밸브(34)를 구비한 진공흡착수단(30)에 의해 흡착되도록 구성되어 있는 부분은 종래와 동일하다.Referring to FIG. 2, the substrate P is loaded on the loader 22, and the substrate P loaded on the loader 22 controls the vacuum pump 32 and the valve 34 that controls the vacuum. The part configured to be sucked by the vacuum suction means 30 provided is the same as in the prior art.

이렇게 기판을 흡착하는 진공흡착수단(30)은 수직 이송수단(42)인 실린더에 의해 들어 올려지도록 구성되고, 이렇게 들어올려진 기판(P)은 수평 이송수단(44)인 실린더에 의해 수평방향으로 이동되어 컨베이어(152) 위에 내려지도록 구성되는 부분도 종래와 거의 동일하다.The vacuum suction means 30 for adsorbing the substrate is configured to be lifted by the cylinder which is the vertical transfer means 42, and the substrate P thus lifted is moved in the horizontal direction by the cylinder which is the horizontal transfer means 44. And the portion configured to be lowered on the conveyor 152 is also substantially the same as in the prior art.

본 발명의 특징은 상기 수직 이송수단(42)과 진공 흡착수단(30)의 사이에 개재되어 설치되는 인장식 로드셀(162)과, 상기 로드셀(162)의 신호를 처리하는 컨트 롤러(164)와, 상기 컨트롤러의 제어에 따라 기판의 두 장 겹친 상태를 표시하는 표시기(166)로 구성되며, 상기 로더(22)의 내측벽에는 수직방향으로 배치된 다수의 가이드롤러(24)가 회전 가능한 상태로 설치되고, 상기 로더(22) 내부에 기판(P)을 장입하거나 취출할 때, 기판(P)이 가이드롤러(24)에 간섭되면서 면 압착된 두 장의 기판(P)이 상호 분리되도록 하는데 있다.The present invention is characterized in that the tensile load cell 162 is interposed between the vertical transfer means 42 and the vacuum suction means 30, the controller 164 for processing the signal of the load cell 162 and And an indicator 166 displaying two overlapping states of the substrate according to the control of the controller, and a plurality of guide rollers 24 arranged in a vertical direction on the inner wall of the loader 22 in a rotatable state. When the substrate P is inserted into or taken out of the loader 22, the substrate P interferes with the guide roller 24 so that the two substrates P that are surface-compressed are separated from each other.

상기 로더(22)는 측벽들 중에서 적어도 하나 이상의 측벽에 회전이 가능한 상태로 다수의 가이드롤러(24)를 수직방향에 대향 설치되도록 하는데, 상기 가이드 롤러(24) 간의 거리 또는 가이드롤러(24)와 측벽간 거리는 기판(P)의 폭과 같거나 좁게 형성하되, 기판(P)의 자중에 의해 가이드롤러(24)의 사이를 통과할 수 있도록 설치한다.The loader 22 allows the plurality of guide rollers 24 to be installed to face each other in the vertical direction in a state capable of rotating on at least one of the side walls. The distance between the guide rollers 24 or the guide rollers 24 and The distance between the sidewalls is formed to be equal to or narrower than the width of the substrate P, but is installed to pass between the guide rollers 24 by the weight of the substrate P.

상기 컨트롤러(164)는 상기 수평 이송수단(44)을 정지시킨 후 초기화 작동시켜 로더(22) 상부로 진공흡착수단(30)을 위치 복원시키는 제1 신호(SIG1)와, 상기 수직 이송수단(42)을 원위치로 초기화하여 상기 진공흡착수단(30)에 흡착된 기판(P)을 상기 로더(22)에 접근시키는 제2 신호(SIG2)와, 상기 진공흡착수단(30)에 흡착된 기판(P)을 상기 로더(22)에 내려놓도록 상기 진공을 단속하는 솔레노이드 밸브(34)를 제어하는 제3 신호(SIG3)를 출력한다.The controller 164 stops the horizontal conveying means 44 and initializes the first signal SIG1 for restoring the position of the vacuum suction means 30 to the upper part of the loader 22 and the vertical conveying means 42. ) Is initialized to its original position, the second signal SIG2 for approaching the loader 22 to the substrate P adsorbed to the vacuum suction means 30, and the substrate P adsorbed to the vacuum suction means 30. ) Is output to a third signal SIG3 for controlling the solenoid valve 34 which regulates the vacuum so as to lower the load on the loader 22.

도 3은 본 발명의 로더에 가이드롤러가 설치된 상태의 사시도로서, 동 도면에서 보는 바와 같은 로더(22)는 측벽에 다수의 가이드롤러(24)가 수직방향으로 소정 간격 이격 설치되고 있다.Figure 3 is a perspective view of the guide roller is installed in the loader of the present invention, the loader 22 as shown in the figure is provided with a plurality of guide rollers 24 are spaced apart at predetermined intervals in the vertical direction on the side wall.

상기 가이드롤러(24)는 로더(22)의 측벽들 중 적어도 하나 이상의 측벽에 회전이 가능한 상태로 형성되도록 하는데, 로더(22)에 기판(P)을 수용하거나, 수용된 기판(P)을 진공흡착수단(30)을 이용해 취출하는 과정에서 기판(P)의 측면 모서리가 자연스럽게 접촉되어 미세한 간섭이 이루어지도록 한다.The guide roller 24 is formed so as to be rotatable on at least one or more sidewalls of the sidewalls of the loader 22, and accommodates the substrate P in the loader 22 or vacuum-adsorbs the accommodated substrate P. In the extraction process using the means 30, the side edges of the substrate P are naturally in contact with each other so that minute interference occurs.

이와 같은 본 발명의 가이드롤러(24)는 기판(P)의 장입이나 취출시, 물리적 간섭이 이루어지도록 함으로써, 습기 또는 진공에 의해 면 압착된 기판(P) 사이를 떨어뜨리는 작용을 하게 된다.As described above, the guide roller 24 of the present invention has a function of physically interfering with each other when the substrate P is charged or taken out of the substrate P, thereby dropping the space between the substrate P which is surface-pressed by moisture or vacuum.

이때, 상기 가이드롤러(24)는 한 쌍이 마주 보도록 설치되거나, 어느 일면에만 설치할 수 있는데, 가이드롤러(24) 간의 거리 또는 가이드롤러(24)와 측벽간 거리는 최대한 기판(P)의 폭과 동일하거나, 기판(P)의 폭보다 좁게 형성함으로써, 가이드롤러(24)의 통과시 자연스러운 접촉이 유도되도록 할 수 있다.In this case, the guide roller 24 may be installed to face each other, or may be installed only on one surface, the distance between the guide roller 24 or the distance between the guide roller 24 and the side wall is the same as the width of the substrate (P) as possible By forming a width narrower than the width of the substrate P, natural contact can be induced when the guide roller 24 passes.

여기서, 가이드롤러(24) 간의 거리 또는 가이드롤러(24)와 측벽간 거리는 기판(P)의 장입시에 자중에 의해 가이드롤러(24)를 타고 넘을 수 있는 정도로 유지하는 것이 바람직하다.Here, the distance between the guide rollers 24 or the distance between the guide rollers 24 and the sidewalls is preferably maintained to the extent that the guide rollers 24 can be lifted by their own weight when the substrate P is loaded.

여기서, 상기 가이드롤러(24)는 기판(P)의 가압시 압축변형이 가능한 합성수지재로 제작되는 것이 바람직하다.Here, the guide roller 24 is preferably made of a synthetic resin material capable of compressive deformation upon pressurization of the substrate (P).

그리고, 상기 가이드롤러(24)는 외경 둘레에 톱니 형상의 요철을 형성할 수있는데, 상기 요철은 기판(P)과 가이드롤러(24) 사이의 미끌림을 방지하는 한편, 기판(P)이 한장씩 순차적으로 통과시키는 역할을 하게 된다.In addition, the guide roller 24 may form sawtooth-shaped unevenness around the outer diameter. The unevenness prevents slippage between the substrate P and the guide roller 24, while the substrate P is sequentially arranged one by one. It serves to pass through.

이때, 상기 요철의 크기는 프린회로기판(P)이 물려진 채로 회전될 수 있는 정도의 크기로 제작하는 것이 바람직하다.At this time, the size of the irregularities is preferably manufactured to a size that can be rotated while the printed circuit board (P) is bite.

이와 같이 구성된 본 발명의 작용을 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the operation of the present invention will be described.

우선, 도 3에서와 같이 가이드롤러(24)가 구비된 로더(22) 내에 기판(P)이 장입된다.First, as shown in FIG. 3, the substrate P is loaded into the loader 22 provided with the guide roller 24.

이때, 상기 기판(P)들은 장입 과정에서 로더(22) 측벽의 가이드롤러(24)와 간섭이 이루어지게 됨에 따라, 기판(P)들 사이가 벌어지게 된다.At this time, as the substrates P interfere with the guide rollers 24 on the sidewalls of the loader 22 in the charging process, the substrates P are separated from each other.

이때, 벌어진 기판(P) 들이 다시 바닥에서부터 차례로 적층되는 과정에서 그 중간에 공기층이 자연스럽게 형성되어 쉽게 분리 가능한 상태가 된다.At this time, in the process of stacking the unfolded substrates P from the bottom one by one, the air layer is naturally formed in the middle thereof, and thus becomes easily detachable.

상기한 바와 같이 로더(22) 내에 장입된 기판(P)은 진공흡착수단(30)에 의해 흡착된 후, 수직 이송수단(42)인 실린더에 의해 들어 올려지고, 이렇게 들어올려진 기판(P)은 수평 이송수단(44)인 실린더에 의해 수평방향으로 이동되어 컨베이어(152) 위에 내려지게 된다.As described above, the substrate P loaded in the loader 22 is adsorbed by the vacuum adsorption means 30 and then lifted up by the cylinder which is the vertical transfer means 42. Thus, the substrate P thus lifted up is The horizontal transfer means 44 is moved in the horizontal direction by the cylinder to be lowered on the conveyor 152.

이때, 상기 진공흡착수단(30)에 의해 흡착된 기판(P)은 취출 과정에서 로더(22) 측벽에 형성된 가이드롤러(24)와의 미세한 간섭이 이루어지게 되며, 이 과정에서 2장의 기판(P)이 면 압착 상태에 있는 경우, 하부의 기판(P)이 분리되어 하부로 낙하 되어진다.At this time, the substrate P adsorbed by the vacuum adsorption means 30 is made fine interference with the guide roller 24 formed on the side wall of the loader 22 in the take-out process, in this process two substrates (P) In this surface crimping state, the lower substrate P is separated and falls to the lower portion.

이와 같은 과정을 통해 정상적으로 기판(P) 한 장이 진공흡착수단(30)에 흡착된 상태에서 인장식 로드셀(162)의 신호는 진공흡착수단(30)과 기판(P) 한 장의 무게를 검출한 신호가 된다.In this state, a signal of the tension type load cell 162 is normally detected by one substrate P being absorbed by the vacuum suction means 30. The signal of detecting the weight of the vacuum suction means 30 and one substrate P is detected. Becomes

하지만 상기 가이드롤러(24)를 통한 분리과정을 거치고도 분리되지 않고 비정상적으로 겹쳐진 기판(P)이 취출되는 경우에는 인장식 로드셀(162)의 신호에서 진공흡착수단(30)과 기판(P) 두 장의 무게를 검출한 신호가 발생된다.However, when the substrate P, which is not separated without being separated even after the separation process through the guide roller 24, is taken out, the vacuum adsorption means 30 and the substrate P are both separated from the signal of the tensile load cell 162. The signal that detects the weight of the intestine is generated.

이때, 본 발명의 컨트롤러(164)는 상술한 바와 같이 기판(P)이 두 장일 때 표시기(166)에 미리 정해진 특정의 표시를 할 수 있게 되고 이로 인해 사용자가 기판의 두 장 겹친 상태를 확인할 수 있게 된다.At this time, the controller 164 of the present invention can display a predetermined specific display on the display 166 when the substrate P is two sheets as described above, which allows the user to check the overlapping state of the two sheets of the substrate. Will be.

이때, 컨트롤러(164)에서는 인터럽트 신호를 발생하게 되는데 이 인터럽트 신호는 상기 수평 이송수단(44)을 정지시킨 후 원위치로 초기화하여 진공흡착수단(30)을 로더(22) 방향으로 이동시키는 제1 신호(SIG1)와, 상기 수직 이송수단(42)을 원위치로 초기화하여 상기 진공흡착수단(30)에 흡착된 기판(P)을 상기 로더에 접근시키는 제2신호(SIG3)와, 상기 진공흡착수단(30)에 흡착된 기판(P)을 상기 로더(22)에 내려놓도록 상기 진공을 단속하는 밸브(34)를 제어하는 제3 신호(SIG3)가 순차적으로 발생됨으로써 두 장 겹친 기판(P)은 로더(22)로 옮겨지게 된다. 이어서 공정 관리자는 서로 맞붙은 두 장 기판을 떼어놓은 후 기판 이송 공정을 재개하면 될 것이다.At this time, the controller 164 generates an interrupt signal, which is a first signal that stops the horizontal transfer means 44 and initializes it to its original position to move the vacuum suction means 30 toward the loader 22. And a second signal SIG3 for initializing the vertical transfer means 42 to its original position and bringing the substrate P adsorbed to the vacuum adsorption means 30 to the loader, and the vacuum adsorption means ( Since the third signal SIG3 for controlling the valve 34 which regulates the vacuum to sequentially lower the substrate P adsorbed onto the loader 22 is sequentially generated, the two overlapping substrates P It is transferred to the loader 22. The process manager would then have to separate the two substrates that stuck together and resume the substrate transfer process.

도 1은 종래의 기판 이송장치의 구성을 보인 개념도,1 is a conceptual view showing the configuration of a conventional substrate transfer apparatus;

도 2는 본 발명의 구성을 보인 기판 이송장치의 개념도.2 is a conceptual diagram of a substrate transfer apparatus showing the configuration of the present invention.

도 3은 본 발명의 로더에 가이드롤가 설치된 상태의 사시도.Figure 3 is a perspective view of a guide roll installed on the loader of the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

P: 기판 22: 로더P: Substrate 22: Loader

24: 가이드롤러 30: 진공흡착수단24: guide roller 30: vacuum suction means

32: 진공펌프 34: 밸브32: vacuum pump 34: valve

42: 수직 이송수단 44: 수평 이송수단42: vertical conveying means 44: horizontal conveying means

152: 컨베이어 162: 로드셀152: conveyor 162: load cell

164: 컨트롤러 166: 표시기164: controller 166: indicator

Claims (4)

진공펌프(32)와 진공을 단속하는 밸브(34)를 구비하여 로더(22)에 적재된 기판(PCB)을 흡착하는 진공흡착수단(30)과, 진공 흡착수단(30)을 수직 이송하는 수직 이송수단(42)과, 상기 진공 흡착수단(30)을 수평 이송하는 수평이송수단(44)과, 상기 수직 이송수단(42)과 진공 흡착수단(30)의 사이에 개재되어 설치되는 인장식 로드셀(162)과, 상기 로드셀(162)의 신호를 처리하는 컨트롤러(164)와, 상기 컨트롤러(164)의 제어에 따라 기판의 두 장 겹친 상태를 표시하는 표시기(166)로 구성되는 기판 이송장치에 있어서,A vacuum pump 32 and a valve 34 for regulating the vacuum, the vacuum suction means 30 for adsorbing the substrate (PCB) loaded on the loader 22, and the vertical transfer of the vacuum suction means 30 vertically Tensile load cell interposed between the transfer means 42, the horizontal transfer means 44 for horizontally conveying the vacuum adsorption means 30, and the vertical transfer means 42 and the vacuum adsorption means 30. 162, a controller 164 for processing a signal of the load cell 162, and an indicator 166 for displaying two stacked states of the substrate under the control of the controller 164. In 상기 로더(22)의 내측벽에는 수직방향으로 배치된 다수의 가이드롤러(24)가 회전 가능한 상태로 설치되고, 상기 로더(22) 내부에 기판(P)을 장입하거나 취출할 때, 기판(P)이 가이드롤러(24)에 간섭되면서 면 압착된 두 장의 기판(P)이 상호 분리되도록 하며, 상기 로더(22)는 측벽들 중에서 적어도 하나 이상의 측벽에 가이드롤러(24)가 대향 설치되도록 하며, 상기 가이드롤러(24) 간의 거리 또는 가이드롤러(24)와 측벽간 거리는 기판(P)의 폭과 같거나 좁게 형성하되, 기판(P)이 자중에 의해 가이드롤러(24) 사이를 통과하는 것이 가능하게 설치되고, 상기 가이드롤러(24)는 기판(P)의 가압시 압축변형이 가능한 합성수지재로 제작되며, 상기 가이드롤러(24)는 외경 둘레에 톱니 형상의 요철을 형성하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.On the inner wall of the loader 22, a plurality of guide rollers 24 arranged in the vertical direction are installed in a rotatable state, and when the substrate P is charged or taken out in the loader 22, the substrate P ) And two surface-compressed substrates P are separated from each other while the guide roller 24 interferes with each other, and the loader 22 allows the guide rollers 24 to be installed opposite to at least one of the side walls. The distance between the guide roller 24 or the distance between the guide roller 24 and the side wall is formed to be equal to or narrower than the width of the substrate P, but the substrate P can pass between the guide rollers 24 by their own weight. The guide roller 24 is made of a synthetic resin material capable of compressive deformation when the substrate P is pressurized, and the guide roller 24 is formed of a sawtooth-shaped unevenness around an outer diameter. Conveying device. 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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