KR100975429B1

KR100975429B1 - 기판에 식각 영역을 만들기 위한 장치

Info

Publication number: KR100975429B1
Application number: KR1020080051006A
Authority: KR
Inventors: 양재영; 정창호; 양충모; 김덕수
Original assignee: 주식회사 디엠에스
Priority date: 2008-05-30
Filing date: 2008-05-30
Publication date: 2010-08-11
Also published as: KR20090124664A

Abstract

임프린트(imprint) 방식으로 평판표시소자용 기판 측에 식각 및 비식각 영역을 간편하게 구분할 수 있는 기판에 식각 영역을 만들기 위한 장치를 개시한다.

이러한 기판에 식각 영역을 만들기 위한 장치는, 챔버부와, 상기 챔버부 내부에 위치되며 식각 및 비식각 영역을 구분하기 위한 패턴면을 일면에 구비하고 타면은 백플레이트가 부착된 스템프와, 상기 챔버부 내부에서 상기 스템프를 거치하는 홀더와, 기판을 로딩하는 로딩면을 구비하고 상기 스템프 아래쪽에 배치되는 스테이지와, 상기 스템프와 기판의 합착/분리가 가능하도록 동력을 발생 및 전달하는 구동원 그리고, 상기 기판과 스템프의 합착/분리시 누름 또는 누름 해제 상태로 전환되면서 상기 홀더 측에 상기 스템프를 고정하거나 고정 상태를 해제하는 가압수단을 포함한다.

식각 및 비식각 영역 구분, 임프린트(imprint) 작업, 홀더, 스템프, 가압수단, 웨이트 플레이트, 리프트 핀, 패터닝 품질 및 작업성 향상.

Description

기판에 식각 영역을 만들기 위한 장치{apparatus for making etching area on substrate}

본 발명은 스템프를 이용한 임프린트(imprint) 방식으로 평판표시소자용 기판 측에 식각 및 비식각 영역을 간편하게 구분할 수 있는 기판에 식각 영역을 만들기 위한 장치에 관한 것이다.

평판표시소자용 기판 측에 식각 및 비식각 영역을 구분하는 작업은 임프린트(imprint) 방식이 널리 알려져 있으며, 평판형의 스템프를 구비한 임프린트 장치가 사용된다.

상기 임프린트 장치의 일반적인 구조를 간략하게 설명하면, 식각 및 비식각 영역을 구분하기 위한 패턴면을 일면에 구비하고 타면에는 백플레이트가 부착된 연질의 스템프와, 상기 스템프를 향하여 업/다운 가능하게 기판을 로딩하는 스테이지를 포함하며, 주로 챔버 분위기(챔버 케이스)에서 합착/분리 작업이 진행되도록 구성된다.

즉, 상기 임프린트 장치는, 약액층(예: 감광액)이 도포된 기판을 상기 스테이지로 업/다운시키면서 상기 스템프와 합착/분리되도록 하는 이른바, 임프린 트(imprint) 동작에 의해 상기 스템프의 패턴면과 대응하는 식각 및 비식각 영역을 기판의 약액층에 직접 형성할 수 있도록 작동된다.

이와 같이 임프린트 작업을 진행할 때 상기 스템프와 기판이 서로 평행하게 합착/분리될 수 있도록 상기 연질의 스템프를 안정적으로 잡아주는 것이 중요하다.

하지만, 상기 임프린트 장치에 제공되는 스템프는 대부분 상기 백플레이트의 테두리 둘레부가 별도의 홀더 측에 단순하게 걸려져서 비고정된 거치 상태로 위치되므로 임프린트 작업시 스템프의 유동이나 변형 등에 의해 여러 가지의 문제가 발생할 수 있다.

예를들어, 기판과 스템프의 합착 위치를 정렬할 때 상기 스템프를 안정적으로 고정하지 못하여 위치 편차가 쉽게 발생할 수 있다.

그리고, 상기 스템프는 실리콘 계열의 수지 원료(예:PDMS/POLY DIMETHYLSILOXANE)로 성형된 연질의 패드 형태로 이루어지므로 자체 연성에 의해 상기 홀더 측에 거치된 상태에서 중앙부가 아래로 돌출되는 처짐 현상(또는, 배부름 현상)이 쉽게 발생될 수 있다.

특히, 이러한 처짐 현상은, 임프린트 작업을 진행할 때 상기 스템프의 패턴면이 과다하게 휘어져서 비정상인 상태로 기판과 합착/분리될 수 있고, 상기 스템프의 잦은 변형에 의해 수명이 단축될 수 있다.

또한, 상기 스템프 측에 처짐(변형)이 발생한 상태에서는 기판과의 합착 위치를 보정할 때 상기 스템프의 위치 편차가 더욱 크게 발생할 수 있다.

그리고, 이와 같이 스템프를 비고정 상태로 거치하는 구조가 가지는 문제점 들을 개선하기 위하여 상기 스템프의 백플레이트를 홀더 측에 일체로 고정하는 방식이 제시되고 있다.

하지만, 이러한 고정 거치 방식은 기판과 스템프의 합착시 상기 스템프 전체면의 평탄도(flatness)를 허용 범위 내로 균일하게 유지하기 어려우므로 과다한 불량 품질이 발생하는 또 다른 문제를 야기할 수 있다.

그러므로, 상기와 같이 비고정 거치 방식 또는 고정 거치 방식 중 어느 한 가지 방식으로 상기 스템프를 홀더 측에 거치한 상태로는 임프린트 작업시 만족할 만한 작업성과 임프린트 품질을 기대할 수 없다.

본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서,

본 발명의 목적은, 임프린트 작업 전/후로 스템프를 고정 상태 또는 비고정 상태로 전환 가능하게 거치하여 상기 스템프에 의해 발생될 수 있는 문제점들을 개선할 수 있는 기판에 식각 영역을 만들기 위한 장치를 제공하는데 있다.

상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 실현하기 위하여,

챔버부;

상기 챔버부 내부에 위치되며 식각 및 비식각 영역을 구분하기 위한 패턴면을 일면에 구비하고 타면은 백플레이트가 부착된 스템프;

상기 챔버부 내부에서 상기 스템프를 거치하는 홀더;

기판을 로딩하는 로딩면을 구비하고 상기 스템프 아래쪽에 배치되는 스테이지;

상기 스템프와 기판의 합착/분리가 가능하도록 동력을 발생 및 전달하는 구동원;

상기 기판과 스템프의 합착/분리시 누름 또는 누름 해제 상태로 전환되면서 상기 홀더 측에 상기 스템프를 고정하거나 고정 상태를 해제하는 가압수단;

을 포함하는 기판에 식각 영역을 만들기 위한 장치를 제공한다.

이와 같은 본 발명은, 상기 챔버부 내부에서 기판과 스템프를 임프린트 방식으로 합착/분리하면서 상기 기판 측에 식각 및 비식각 영역을 간편하게 구분할 수 있다.

특히, 합착/분리시 누름 상태 또는 누름 해제 상태로 전환되면서 상기 스템프가 상기 홀더 측에 고정 또는 비고정 상태로 거치되도록 하는 가압수단을 구비하고 있으므로 임프린트 동작 전/후로 상기 스템프의 유동이나 변형에 의해 발생할 수 있는 문제를 개선할 수 있다.

그리고, 상기 가압수단은 합착/분리 동작을 위한 동력을 전달받아서 누름 상태 또는 누름 해제 상태로 전환되는 구조이므로 별도의 구동원을 사용하지 않고 간단한 가압 동작 및 구조로 상기 스템프를 누르거나 누름 상태를 해제하면서 상기 홀더 측에 고정 또는 비고정 상태로 거치되도록 할 수 있다.

이하, 첨부된 도면에 의거하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.

본 발명의 실시예들은 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자들이 본 발명의 실시가 가능한 범위 내에서 설명된다.

따라서, 본 발명의 실시예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있는 것이므로 본 발명의 특허청구범위는 아래에서 설명하는 실시예들로 인하여 한정되는 것은 아니다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 기판에 식각 영역을 만들기 위한 장치의 전체 구조를 나타내는 도면으로서, 도면 부호 2는 챔버부를 지칭한다.

상기 챔버부(2)는 임프린트 작업(합착/분리)을 진행하기 위한 작업 공간을 제공하는 것으로서, 내부에 일정 크기의 밀폐 공간(S)을 구비한 박스 형태의 챔버 케이스로 이루어질 수 있다.

상기 챔버부(2)는 도 1에서와 같은 프레임(F) 상에 고정 설치될 수 있고, 도면에는 나타내지 않았지만 일측에 도어가 부착되어 상기 밀폐 공간(S)을 외부와 차단 가능하게 개방할 수 있는 챔버 구조로 이루어진다.

상기 챔버부(2)는 별도의 연결구(Q)에 의해 한 군데 이상의 지점이 상기 프레임(F) 측에 연결된 상태로 고정 설치될 수 있다.

상기 연결구(Q)는 내부에 완충용 유체가 채워져서 충격이나 진동을 흡수할 수 있는 완충 타입의 연결부재를 사용한다. 이처럼, 상기 연결구(Q)로 상기 챔버부(2)를 연결 고정하면, 상기 프레임(2) 측에서 발생되는 진동이나 충격이 상기 챔 버부(2)로 전달되는 것을 최대한 방지할 수 있다.

그리고, 상기 챔버부(2)는 도면에 나타내지 않았지만 통상의 진공펌프와 관체로 연결되어 펌핑에 의해 상기 밀폐 공간(S)이 대기압 상태 또는 진공압 상태로 전환 가능하게 이루어진다.

이와 같은 구조에 의하면, 상기 챔버부(2)의 밀페 공간(S)이 진공압 분위기인 상태에서 기판(G)의 코팅층(G1, 예: 감광성 수지)에 식각 및 비식각 영역을 구분하는 임프린트 작업을 진행할 수 있다. 이처럼, 진공압의 챔버 분위기에서 임프린트 작업을 진행하면, 합착면 사이에 미세 기포가 발생하는 현상을 줄일 수 있다.

상기 본 발명의 일실시예에 따른 기판에 식각 영역을 만들기 위한 장치는, 스템프(4)를 포함한다.

상기 스템프(4)는 상기 챔버부(2) 내부에서 기판(G)과 합착/분리되면서 식각 및 비식각 영역을 구분하기 위한 것이다.

즉, 상기 스템프(4)는 연질의 투명한 합성수지 원료(예:POLY DIMETHYLSILOXANE)를 통상의 방법으로 성형하여 식각 및 비식각 영역을 구분하기 위한 패턴면(4a)이 일면에 제공되고, 타면은 백플레이트(4b)가 부착된 통상의 구조로 이루어진다.

상기 백플레이트(4b)는 상기 연질의 스템프(4)를 평탄한 상태로 잡아주는 역할을 하는 것으로서, 투명한 유리판이나 석영판 중에서 어느 하나를 사용할 수 있다.

상기 스템프(4)는 상기 챔버부(2) 내부에서 도 1에서와 같은 홀더(6)에 거치 되어 수평한 상태로 위치된다.

상기 홀더(6)는 상기 백플레이트(4b)의 테두리 부분을 잡아주면서 상기 스템프(4)를 거치할 수 있는 구조를 갖는다.

즉, 상기 홀더(6)는 도 2에서와 같이 상기 스템프(4)의 백플레이트(4b) 테두리 둘레부 일면(저면)과 대응하는 지지면(6a)을 구비하고, 이 지지면(6a) 안쪽의 상/하면이 개방된 사각의 프레임체 형태로 이루어질 수 있다.

그러므로, 상기 스템프(4)는 상기 백플레이트(4b)의 테두리 둘레부 저면이 상기 홀더(6)의 지지면(6a) 측에 얹혀져서 상기 패턴면(4a)이 도 1에서와 같이 아래를 향하는 상태로 상기 챔버부(2)의 밀폐 공간(S)에 수평하게 거치될 수 있다.

그리고, 상기 홀더(6)는 상기 스템프(4)를 수평한 상태로 거치할 수 있도록 상기 챔버부(2) 내부에 통상의 방법으로 고정된다. 예를들어, 도 1에서와 같이 상기 챔버부(2)의 밀폐 공간(S) 바닥면에 일단이 고정된 복수 개의 지지대(6b) 타단과 연결 고정될 수 있다.

상기 챔버부(2) 내부에는 상기 스템프(4)와 대응하는 상태로 기판(G)을 로딩하는 스테이지(8)가 위치된다.

상기 스테이지(8)는 기판(G)을 로딩하는 로딩면(8a)을 구비한 판상의 구조로 이루어지며, 상기 챔버부(2) 내부에서 상기 로딩면(8a)이 상기 스템프(4)의 패턴면(4a)과 평행하게 마주하는 상태로 위치된다.

상기 본 발명의 일실시예에 따른 기판에 식각 영역을 만들기 위한 장치는, 기판(G)과 스템프(4)의 합착/분리를 위한 동력을 발생 및 전달하는 구동부(10)를 포함한다.

상기 구동부(10)는 도 1에서와 같이 통상의 실린더(10a)를 구동원으로 사용하고, 상기 실린더(10a)로 상기 스테이지(8)를 위로 밀거나 당기면서 상기 스템프(4)를 향하여 업/다운시킬 수 있도록 셋팅된다.

즉, 상기 실린더(10a) 본체를 상기 프레임(F) 하부 일측에 고정하고, 상기 챔버부(2)의 바닥면을 관통하는 방향으로 피스톤 로드(10b)를 끼워서 상기 스테이지(8)와 연결할 수 있다.(도 1참조)

이와 같은 구조에 의하면, 상기 실린더(10a)의 구동시 상기 피스톤 로드(10b)로 상기 스테이지(8)를 밀거나 당기면서 상기 스템프(4)를 향하여 업/다운시킬 수 있다.

그리고, 상기 챔버부(2)의 저면과 상기 실린더(10a) 본체 사이에는 상기 피스톤 로드(10b)를 감싸는 상태로 통상의 벨로우즈관(10c, bellows tube)을 연결하면 좋다.

이처럼, 벨로우즈관(10c)을 설치하면, 상기 밀폐 공간(S)을 진공압 분위기로 전환할 때 관통 틈새 사이로 압력이 해제되는 것을 방지할 수 있다.

상기에서는 실린더(10a)로 상기 스테이지(8)를 업/다운시키는 구동 방식을 일예로 설명하고 있지만 본 발명이 상기한 구조에 한정되는 것은 아니다.

예를들어, 도면에는 나타내지 않았지만 상기 실린더(10a)로 상기 홀더(6)를 아래로 밀거나 당기면서 상기 스테이지(8)를 향하여 합착/분리 동작되도록 셋팅할 수도 있다. 이러한 구조는 해당 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 용이하게 실 시할 수 있는 것이므로 더욱 상세한 설명은 생략한다.

상기 구동부(10)는 상기한 구조 이외에도 예를들어, 도면에는 나타내지 않았지만 모터 축의 회전에 의한 스크류 구동 방식 또는 UVW 스테이지를 이용한 구동 방식으로 상기 스테이지(8) 또는 홀더(6) 중에서 어느 하나를 업/다운 구동할 수 있도록 셋팅할 수도 있다.

특히, UVW 스테이지를 사용하면 상기 스테이지(8) 또는 홀더(6)의 합착/분리 위치(전/후, 좌/우 방향)의 조절이 가능하므로 한층 향상된 기능성을 확보할 수 있다.

그리고, 상기 챔버부(2)의 내/외부에는 도면에 나타내지는 않았지만 상기 기판(G)과 스템프(4)의 합착 전에 합착 위치를 통상의 방법으로 정렬하기 위한 부재(예: 마이크로 카메라, UVW 스테이지)들이 더 설치될 수 있다.

한편, 상기 본 발명의 일실시예에 따른 기판에 식각 영역을 만들기 위한 장치는, 상기 홀더(6) 측에 상기 스템프(4)를 고정 거치 상태 또는 비고정 거치 상태로 가압하기 위한 가압수단(12)을 포함한다.

상기 가압수단(12)은, 상기 스템프(4)를 사이에 두고 상기 홀더(6)와 마주하는 상태로 배치되는 웨이트 플레이트(14, weight plate)와, 이 웨이트 플레이트(14)를 상/하 방향으로 이동시키는 리프트 핀(16)을 포함하며, 합착/분리 동작시 동력을 전달받아서 작동하도록 셋팅된다.

상기 웨이트 플레이트(14)는, 도 1에서와 같이 상기 스템프(4)의 백플레이트(4b) 테두리 둘레부 일면(윗면)과 대응하는 가압면(14a)을 가지며, 이 가압 면(14a) 안쪽의 상/하면이 개방된 사각 프레임 형태로 이루어진다.

즉, 상기 웨이트 플레이트(14)는 상기 스템프(4)를 사이에 두고 상기 홀더(6)와 평행하게 마주하도록 얹혀진 상태로 상기 챔버부(2) 내부에 배치된다.

그리고, 상기 웨이트 플레이트(14)는 도 2에서와 같은 가이드 부재(L)에 의해 상기 홀더(6) 위쪽에서 평행한 상태로 상/하 이동 동작이 가이드 되도록 셋팅될 수 있다.

상기 가이드 부재(L)는, 가이드 돌기(L1)와 가이드 홈(L2)으로 구성될 수 있으며, 도 2에서와 같이 상기 웨이트 플레이트(14) 측에 가이드 홀(L2)을 형성하고, 상기 홀더(6) 측에 가이드 돌기(L1)를 형성할 수 있다.

이와 같은 구조에 의하면, 상기 웨이트 플레이트(14)가 업/다운될 때 상기 가이드 돌기(L1)와 가이드 홈(L2)에 의해 이동 방향이 가이드 되면서 상기 홀더(6)와 평행한 상태로 업/다운될 수 있다.

그리고, 상기 리프트 핀(16)은 상기 스템프(4)와 기판(G)의 합착/분리 동작시 상기 웨이트 플레이트(14)를 업/다운시킬 수 있도록 셋팅된다.

예를들어, 도 2에서와 같이 상기 스테이지(8) 측에 상기 리프트 핀(16) 일단을 고정하여 상기 스테이지(8)의 업/다운 동작시 상기 리프트 핀(16)으로 상기 웨이트 플레이트(14)를 밀면서 업/다운시킬 수 있도록 셋팅할 수 있다.

상기 리프트 핀(16)은 상기 스테이지(8)의 로딩면(8a) 측에 세워진 상태로 복수 개의 지점에 고정 설치될 수 있다.

그리고, 상기 홀더(6) 측에는 상기 리프트 핀(16)과 대응하는 핀 홀(16a)을 형성한다. 이 핀 홀(16a)은 상기 리프트 핀(16)이 통과하기 위한 통로 역할을 한다.

이와 같은 구조에 의하면, 상기 스테이지(8)의 업/다운 동작시 상기 리프트 핀(16)의 접촉력에 의해 상기 웨이트 플레이트(14)가 이동(업/다운)되면서 누름 상태 또는 누름 해제 상태로 간편하게 전환될 수있다.

즉, 상기 웨이트 플레이트(14)는 도 3에서와 같이 상기 스테이지(8)가 다운 동작된 상태에서는 상기 리프트 핀(16)과 접촉하지 않으므로 상기 홀더(6) 위쪽에서 자중(自重)에 의해 상기 스템프(4)의 백플레이트(4b) 둘레부 윗면을 상기 가압면(14a)으로 누르는 누름 상태가 된다. 이러한 누름 상태는 상기 스템프(4)가 상기 홀더(6) 측에 고정 상태로 거치되도록 할 수 있다.

그리고, 상기 웨이트 플레이트(14)는 도 4에서와 같이 상기 스테이지(8)가 업 동작된 상태에서는 상기 리프트 핀(16)의 상단과 접촉되어 위로 밀리면서 누름 해제 상태로 전환된다. 이러한 누름 해제 상태는 상기 스템프(4)가 상기 홀더(6) 측에 비고정 상태로 거치되도록 할 수 있다.

특히, 상기한 가압수단(12)은 별도의 구동원(예: 모터, 실린더)을 사용하지 않고도 작동이 가능하므로 구조가 간단하고 제작비용을 대폭 절감할 수 있다.

따라서, 상기한 본 발명의 일실시예에 따른 기판에 식각 영역을 만들기 위한 장치는, 상기 스템프(4)를 상기 홀더(6) 측에 고정 또는 비고정 상태로 전환 가능하게 거치한 상태로 임프린트 작업을 진행할 수 있다.

예를들어, 상기 스템프(4)와 기판(G)의 합착 전에는 도 3에서와 같이 상기 웨이트 플레이트(14)가 자중에 의해 상기 스템프(4)의 백플레이트(4b) 일면(윗면)을 누르는 누름 상태로 상기 가압수단(12)이 작동된다.

이와 같은 작용에 의하면, 상기 스템프(4)가 상기 홀더(6) 측에 고정된 거치 상태가 되어 상기 스템프(4)의 유동을 억제할 수 있으므로 기판(G)과 스템프(2)의 합착 전에 합착 위치를 정렬하거나 합착 동작 중에 발생할 수 있는 위치 편차를 대폭 줄일 수 있다.

또한, 상기 웨이트 플레이트(14)로 상기 백플레이트(4b)의 테두리 부분을 누르면 중앙부 처짐을 완화시킬 수 있으므로 상기 스템프(2)의 평탄도를 높일 수 있다.

그리고, 예를들어, 상기 스템프(2)와 기판(G)의 합착시에는 도 4에서와 같이 상기 리프트 핀(16)에 의해 상기 웨이트 플레이트(14)가 위로 이동되면서 누름 해제 상태로 상기 가압수단(12)이 작동된다.

이와 같은 작용에 의하면, 상기 스템프(4)가 상기 홀더(6) 측에 비고정된 상태로 거치되므로 상기 스테이지(8)의 이동에 의한 합착시 상기 스템프(4)의 패턴면(4a) 전체가 기판(G) 측에 얹혀져서 합착면 사이에 틈새가 발생하지 않도록 균일하게 접촉된 상태로 합착될 수 있다.

만일, 상기 스템프(4)가 상기 홀더(6) 측에 고정된 거치 상태로 합착 작업을 진행하면, 기판(G)과 합착시 과다한 접촉 충격이 발생할 수 있고, 기판(G)과 스템프(4)가 서로 평행하지 않은 상태로 합착되어 패턴이 비정상으로 형성될 수 있다.

상기와 같이 기판(G)과 스템프(4)의 합착/분리 동작 전/후로 상기 가압수 단(12)에 의해 상기 스템프(4)를 고정 또는 비고정 거치 상태로 전환 가능한 구조는, 합착/분리 작업 중에 상기 스템프(4)의 유동이나 변형 등에 의해 발생할 수 있는 불량 품질을 줄여서 한층 향상된 패터닝 품질을 확보할 수 있다.

그리고, 상기 가압수단(12)은 상기한 구조에 한정되는 것은 아니며, 이외에도 예를들어, 도 5에서와 같이 상기 리프트 핀(16)을 상기 웨이트 플레이트(14) 측에 고정하고, 상기 홀더(6) 측에 상기 리프트 핀(16)과 대응하는 핀 홀(16a)을 형성할 수 있다.

이와 같은 구조에 의하면, 상기 스테이지(8)의 업/다운 동작시 상기 리프트 핀(16)의 일단(하단)이 상기 스테이지(8) 일측과 접촉되거나 접촉이 해제되면서 상기 웨이트 플레이트(14)를 누름 상태로 또는 누름 해제 상태로 전환시킬 수 있다.(도 6참조)

특히, 이와 같은 구조는 상기 리프트 핀(16)과 핀 홀(16a)이 상기 웨이트 플레이트(14)의 업/다운 방향을 가이드 하는 역할도 하므로 상기 웨이트 플레이트(14)의 이동 방향을 가이드 하기 위한 별도의 부재(예: 가이드 돌기, 가이드 홀)를 설치하지 않아도 된다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 기판에 식각 영역을 만들기 위한 장치의 전체 구조를 나타낸 도면이다.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 기판에 식각 영역을 만들기 위한 장치의 요부(홀더 및 가압수단) 구조를 설명하기 위한 도면이다.

도 3 및 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 기판에 식각 영역을 만들기 위한 장치의 가압수단 작용(누름 상태 및 누름 해제 상태)을 설명하기 위한 도면이다.

도 5 및 도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 기판에 식각 영역을 만들기 위한 장치의 가압수단의 다른 구조 및 작용을 설명하기 위한 도면이다.

[도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명]

2: 챔버부 4: 스템프 6: 홀더

8: 스테이지 10: 구동부 12: 가압수단

14: 웨이트 플레이트 16: 리프트 핀 16a: 핀 홀

G: 기판 F: 프레임 L: 가이드부재

Claims

챔버부;

상기 챔버부 내부에 위치되며 식각 및 비식각 영역을 구분하기 위한 패턴면을 일면에 구비하고 타면은 백플레이트가 부착된 스템프;

상기 챔버부 내부에서 상기 스템프를 거치하는 홀더;

기판을 로딩하는 로딩면을 구비하고 상기 스템프 아래쪽에 배치되는 스테이지;

상기 스템프와 기판의 합착/분리가 가능하도록 동력을 발생 및 전달하는 구동원으로 구성되는 구동부;

상기 기판과 스템프의 합착/분리시 누름 또는 누름 해제 상태로 전환되면서 상기 홀더 측에 상기 스템프를 고정하거나 고정 상태를 해제하는 가압수단;

을 포함하는 기판에 식각 영역을 만들기 위한 장치.
청구항 1에 있어서,

상기 챔버부는,

일정 크기의 밀폐 공간을 구비한 챔버 케이스로 구성되며,

상기 챔버 케이스는,

진공펌프와 연결되어 이 진공펌프의 구동에 의해 상기 밀폐 공간이 대기압 상태 또는 진공압 상태로 전환되도록 셋팅되는 기판에 식각 영역을 만들기 위한 장 치.
청구항 1에 있어서,

상기 홀더는,

상기 스템프의 백플레이트 테두리 둘레부 일면이 얹혀지는 지지면을 구비하고, 이 지지면 안쪽의 상/하면이 개방된 사각 프레임체로 이루어지며,

상기 스테이지의 로딩면과 평행하게 마주하는 상태로 상기 스템프를 거치할 수 있도록 상기 챔버부 내부에 셋팅되는 기판에 식각 영역을 만들기 위한 장치.
청구항 1에 있어서,

상기 구동부는,

실린더 또는 모터, UVW 스테이지 중에서 어느 하나를 구동원으로 사용하고,

상기 구동원은,

상기 스테이지 또는 홀더 중에서 어느 하나를 업/다운 구동할 수 있도록 셋팅되는 기판에 식각 영역을 만들기 위한 장치.
청구항 1에 있어서,

상기 가압수단은,

상기 홀더 일면과 대응하는 상태로 배치되는 웨이트 플레이트;

상기 웨이트 플레이트를 상/하로 이동시켜서 누름 상태 또는 누름 해제 상태 로 전환하는 리프트 핀;

을 포함하는 기판에 식각 영역을 만들기 위한 장치.
청구항 5에 있어서,

상기 웨이트 플레이트는,

상기 스템프의 백플레이트 테두리 둘레부 일면을 가압하는 가압면을 구비하고,

상기 챔버부 내부에서 상기 스템프의 백플레이트를 사이에 두고 상기 홀더와 평행하게 마주하는 상태로 위쪽에 배치되는 기판에 식각 영역을 만들기 위한 장치.
청구항 5에 있어서,

상기 리프트 핀은,

상기 스테이지 또는 상기 웨이트 플레이트 측에 세워진 상태로 고정되며,

상기 스테이지 또는 상기 홀더의 업/다운 동작시 상기 웨이트 플레이트가 상/하로 이동되면서 누름 상태 또는 누름 해제 상태가 되도록 가압 가능하게 셋팅되는 기판에 식각 영역을 만들기 위한 장치.
청구항 5에 있어서,

상기 웨이트 플레이트는,

가이드 부재에 의해 상/하 이동 방향이 가이드 되도록 상기 홀더 측에 셋팅 되며,

상기 가이드 부재는,

가이드 돌기와 가이드 홀로 구성되어 상기 웨이트 플레이트의 이동시 상기 가이드 돌기가 상기 가이드 홀 측에 끼워져서 이동 방향이 가이드 되도록 셋팅되는 것을 특징으로 하는 기판에 식각 영역을 만들기 위한 장치.