KR100967351B1 - interconnection elements with supporting device - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체와 같은 전자부품의 불량 여부를 검사하기 위하여 검사기기와 전자부품을 일시적으로 접속시키는 다수 개 접속소자에 관한 것이다. 본 발명에 따른 다수 개 접속소자는 검사기기의 접속영역에 반영구적으로 결합되는 고정영역과, 고정영역에 연결되고 전자부품의 전극단자를 향하여 연장된 연장영역과, 연장영역에 결합되고 전자부품의 전극단자에 일시적으로 접촉하는 접촉영역을 포함하며, 적어도 2개의 접속소자는 지지대로 상호 결합되는 것을 특징으로 한다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a plurality of connection elements for temporarily connecting an inspection apparatus and an electronic component in order to inspect whether an electronic component such as a semiconductor is defective. The plurality of connection elements according to the present invention include a fixed region semi-permanently coupled to the connection region of the inspection apparatus, an extension region connected to the fixed region and extending toward the electrode terminal of the electronic component, and coupled to the extension region and connected to the electrode of the electronic component. And a contact area for temporarily contacting the terminal, wherein at least two connection elements are mutually coupled with a support.

접속소자, 고정 영역, 연장 영역, 접촉 영역, 지지대 Connection element, fixed area, extension area, contact area, support

Description

지지대가 형성된 다수 개의 접속소자{interconnection elements with supporting device}Interconnection elements with supporting device

본 발명은 반도체와 같은 전자부품의 불량 여부를 검사하기 위하여 검사기기와 전자부품을 일시적으로 접속시키는 다수 개 접속소자에 관한 것이다. 구체적으로 본 발명은 검사기기에 한쪽 끝 부분이 영구적 또는 반영구적으로 결합되고 다른 한쪽 끝 부분이 검사대상 전자부품의 전극단자에 일시적으로 반복 접촉되면서 전자부품과 검사기기 사이에 전기 신호를 전달하여 전자부품의 불량 여부를 검사할 수 있는 접속소자에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a plurality of connection elements for temporarily connecting an inspection apparatus and an electronic component in order to inspect whether an electronic component such as a semiconductor is defective. Specifically, the present invention is one end is permanently or semi-permanently coupled to the inspection device and the other end is temporarily and repeatedly contacted with the electrode terminal of the electronic component to be inspected while transmitting an electrical signal between the electronic component and the inspection device electronic components The present invention relates to a connection element capable of inspecting whether a defect is caused.

전자부품은 일반적으로 일련의 제조과정을 거친 후 마지막 단계에서 검사 단계를 거친다. 특히 반도체 소자와 같이 높은 집적도로 인하여 기술적 난이도가 있고 대량 생산공정을 거치는 전자부품은 불량률이 높은 편이다. 따라서 반도체 소자는 웨이퍼 상태에서 각각의 다이(die)로 분할되기 전에 검사기기에 의하여 검사 과정을 거쳐 불량 여부를 결정한다. 이러한 검사는 검사 대상이 되는 다이의 불량 여부 뿐 아니라 전체적인 공정의 안정성을 모니터링하는 수단이 되기 때문에 더욱 중요하다.Electronic components are usually subjected to a series of manufacturing processes and then inspected at the final stage. In particular, due to the high degree of integration, such as semiconductor devices, technical difficulties and electronic components that go through mass production processes tend to have high defect rates. Therefore, before the semiconductor device is divided into dies in the wafer state, the semiconductor device undergoes an inspection process to determine whether the semiconductor device is defective. This inspection is even more important because it serves as a means of monitoring the stability of the overall process as well as whether the die being inspected is defective.

전자부품의 불량을 검사하는 검사기기의 일부를 이루는 접속소자는 검사기기의 접속영역에 반영구적으로 결합되는 고정영역과, 고정영역에 연결되고 전극단자를 향하여 연장된 연장영역 및 연장영역에 결합되고 전자부품의 전극단자에 일시적으로 접촉하는 접촉영역을 포함하여 이루어지는 것이 일반적이다. 다만 상기 고정영역, 연장영역 및 접촉영역은 구조로서 구별이 불분명한 경우가 있으며 개념상의 구분이 되는 경우가 있을 수 있다. 이러한 프로브는 검사기기와 전자부품을 일시적으로 접촉시키며 전기신호를 전달하게 되는데, 안정적인 신호전달과 반복적 검사에 따른 내구성을 갖추기 위한 다양한 구조가 공지되어 있다. 대량으로 제조되고 높은 집적도를 가지는 반도체의 시험을 위한 프로브와 관련하여 WO 2004/102207은 2개의 암을 형성하여 탄성 변형의 강도를 향상시킨 프로브에 대하여 개시하고 있다. KR 특허번호 제664443호는 피검사 소자의 전극단자에 대한 접촉 면적을 향상시키기 위하여 프로브 팁의 정렬 형태가 변형된 프로브를 개시하고 있다. 그리고 US 7,287,322는 사진 식각 공정(lithographic techniques)에 의하여 제조되는 스프링 소자 형태의 프로브에 대하여 개시하고 있다. The connecting element, which forms part of the inspection device for inspecting defects of electronic components, is fixed to the fixed area semi-permanently coupled to the connection area of the inspection device, and to the extended area and the extended area connected to the fixed area and extending toward the electrode terminal. It is common to include the contact area which temporarily contacts the electrode terminal of a component. However, the fixed area, the extension area, and the contact area may be unclear as a structure, and may be conceptually distinct. Such probes temporarily transmit electrical signals by contacting test equipment and electronic components, and various structures are known to have stable signal transmission and durability due to repetitive inspection. Regarding probes for testing semiconductors manufactured in large quantities and having a high degree of integration, WO 2004/102207 discloses a probe which forms two arms to improve the strength of elastic deformation. KR Patent No. 664443 discloses a probe in which the alignment of the probe tip is modified to improve the contact area of the device under test with the electrode terminal. And US 7,287,322 disclose a probe in the form of a spring element produced by photolithographic techniques.

반도체 소자는 집적도가 높아질수록 생산 단가가 낮아지므로, 집적도를 높이는 것이 반도체 기술의 궁극적 목표이다. 특히 일정하게 결정된 반도체 설계에 따라 대량 생산되는 D램의 경우 그 집적도가 매우 높은 것이 일반적이다. 이러한 반도체 소자의 집적도 증가에 비례하여 접속소자의 집적도도 증가되어야 한다. 그러나 캔틸레버 형태의 접속소자는 안정적인 검사에 요구되는 접촉 압력을 확보하고 비틀림을 방지하기 위하여 일정한 수치 이상의 폭을 가진 빔이 요구된다. 따라서 검사기기의 피치와 전자부품 전극 단자 간에 피치(pitch) 차이가 존재하게 되고, 접속소자는 양자를 연결시키며 일정한 각도로 꺾이게 되는 경우가 있다. 접속소자의 일부가 꺾이며 형성된 경우 꺾임이 있는 접속소자와 직선으로 형성된 접속소자 간에는 접촉압력의 차이와 전극단자에 형성되는 긁힘 형태의 차이가 발생한다. 이러한 접촉압력의 차이와 긁힘 형태의 차이는 안정적인 검사기기의 작동을 허용하는 범위에 존재하여야 하므로, 결국 허용되는 접속소자의 꺾임 각도에 따라 접속소자 구조 설계 상에 제약이 있다. 또한 이러한 꺾임의 각도가 큰 경우에는 탄성변형이 시작되는 고정영역에 인접한 탄성변형 기준점과 팁에 접촉 압력이 주어지는 위치가 대각선 상에 존재하여 접속소자의 일부가 비틀리는 결과가 생기기도 한다. 이러한 비틀림은 각각의 접속소자 간의 간격이 좁을 경우 단락을 일으키는 원인이 되기도 한다.As semiconductor devices have higher integration levels, production costs are lowered, so increasing the degree of integration is the ultimate goal of semiconductor technology. In particular, in the case of mass-produced DRAMs according to a predetermined semiconductor design, the integration is very high. In proportion to the increase in the integration degree of the semiconductor device, the integration degree of the connection device should also be increased. However, the cantilever type connection element requires a beam having a width greater than or equal to a certain value in order to secure contact pressure and to prevent twisting required for stable inspection. Therefore, a pitch difference exists between the pitch of the inspection device and the electrode terminal of the electronic component, and the connection element may be bent at a predetermined angle by connecting the two. When a part of the connecting element is formed by bending, a difference in contact pressure and a scratch form formed on the electrode terminal occur between the connecting element with the bending and the connecting element formed in a straight line. Since the difference in contact pressure and the difference in scratching form must exist within a range to allow stable operation of the inspection apparatus, there is a limitation in the design of the connection element structure depending on the allowable angle of the connection element. In addition, when the angle of the bend is large, an elastic deformation reference point adjacent to the fixed region where the elastic deformation starts and a position where contact pressure is applied to the tip exist on a diagonal line, resulting in a part of the connecting element being twisted. Such torsion may cause a short circuit when the spacing between each connection element is small.

본 발명의 목적은 접속소자의 일부 영역에 꺾임이 있는 다수 개 접속소자에 있어서, 각각의 접속소자의 접촉 압력과 긁힘 형태의 차이를 최소로 하는 것을 목적으로 한다. 또한 결과적으로 검사대상 전자부품에 형성된 전극 단자의 피치(pitch)가 작은 경우에도 안정적인 불량 검사를 수행할 수 있는 다수 개 접속소자를 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to minimize the difference between the contact pressure and the scratching form of each connecting element in a plurality of connecting elements having a bent portion in a portion of the connecting element. As a result, an object of the present invention is to provide a plurality of connection elements capable of performing stable defect inspection even when the pitch of the electrode terminals formed on the inspection target electronic component is small.

본 발명의 적절한 실시 형태에 따르면, 다수 개 접속소자는 검사기기의 접속영역에 반영구적으로 결합되는 고정영역과, 고정영역에 연결되고 전극단자를 향하여 연장된 연장영역과, 연장영역에 결합되고 검사 대상이 되는 전자부품의 전극단자에 일시적으로 접촉하는 접촉영역을 포함하고, 적어도 2개의 접속소자는 지지대로 상호 결합된다.According to a preferred embodiment of the present invention, the plurality of connection elements include a fixed area semi-permanently coupled to the connection area of the inspection device, an extension area connected to the fixed area and extending toward the electrode terminal, and coupled to the extension area and being tested. And a contact region for temporarily contacting the electrode terminal of the electronic component, wherein at least two connection elements are mutually coupled to the support.

본 발명의 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 다수 개 접속소자는 접촉영역의 피치(pitch)가 고정영역의 피치(pitch)보다 더 작은 것을 특징으로 한다.According to another suitable embodiment of the present invention, the plurality of connection elements are characterized in that the pitch of the contact region is smaller than the pitch of the fixed region.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 다수 개 접속소자는 지지대가 연장영역에 형성된다.According to another suitable embodiment of the present invention, in the plurality of connecting elements, the support is formed in the extension region.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 다수 개 접속소자는 지지대가 접촉영역에 형성된다.According to another suitable embodiment of the present invention, in the plurality of connecting elements, a support is formed in the contact area.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 다수 개 접속소자는 지지대 가 연장영역의 길이 방향으로 적어도 2개의 위치에 형성된다.According to another suitable embodiment of the present invention, the plurality of connecting elements are formed at at least two positions in the longitudinal direction of the extension region.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 다수 개 접속소자는 최외각 접속소자를 포함한 적어도 2개의 접속소자에 지지대가 형성된다.According to another suitable embodiment of the present invention, a plurality of connecting elements are provided with at least two connecting elements including an outermost connecting element.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 다수 개 접속소자는 지지대로 상호 결합되는 접속소자의 연장영역들이 지지대와의 상호 결합위치에 의하여 동일한 비율로 분할된다.According to another suitable embodiment of the present invention, the plurality of connection elements are divided in the same proportion by the mutually engaging position with the support, the extension regions of the connection elements are mutually coupled to the support.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 다수 개 접속소자는 지지대로 상호 결합되는 접속소자의 연장영역들이 지지대와의 상호 결합위치에 의하여 고정영역에 가까운 연장영역의 길이와 접촉영역에 가까운 연장영역의 길이 비가 0.1:1 내지 100:1의 동일한 비율로 분할된다. According to another suitable embodiment of the present invention, the plurality of connection elements are extended regions close to the contact area and the length of the extension region close to the fixed region by the mutual coupling position of the support elements are mutually coupled to the support The length ratio of is divided into equal ratios of 0.1: 1 to 100: 1.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 다수 개 접속소자는 적어도 2개의 그룹으로 나누어지고, 나누어진 그룹 중 적어도 하나를 이루는 접속소자들은 지지대로 상호 결합된다.According to another suitable embodiment of the present invention, the plurality of connection elements are divided into at least two groups, and the connection elements forming at least one of the divided groups are mutually coupled to the support.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 다수 개 접속소자는 지지대로 상호 결합되는 하나의 그룹이 2 내지 5개의 접속소자로 이루어진다.According to another suitable embodiment of the present invention, the plurality of connection elements are composed of two to five connection elements in one group which are mutually coupled to the support.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 다수 개 접속소자는 지지대로 상호 결합되는 접속소자의 연장영역들이 지지대와의 상호 결합위치에 의하여 일정한 비율로 분할되고, 상기 일정한 비율은 하나의 그룹 내에서는 동일하다.According to another suitable embodiment of the present invention, a plurality of connection elements are divided into a constant ratio by extension positions of the connection elements mutually coupled to the support by the mutual coupling position with the support, the constant ratio within a group same.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 다수 개 접속소자는 지지대와 전기부도체의 접착제로 상호 결합되고, 접속소자와 지지대는 전기적으로 분리된 다.According to another suitable embodiment of the present invention, the plurality of connection elements are mutually coupled with the adhesive of the support and the electrical conductor, and the connection elements and the support are electrically separated.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 다수 개 접속소자는 전기부도체의 지지대로 상호 결합된다.According to another suitable embodiment of the present invention, a plurality of connection elements are mutually coupled to the support of the electrical conductor.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 다수 개 접속소자는 고분자 수지로 이루어진 지지대로 상호 결합된다.According to another suitable embodiment of the present invention, the plurality of connection elements are mutually coupled with a support made of a polymer resin.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 다수 개 접속소자는 폴리이미드, 폴리아미드이미드, 폴리술폰, 폴리페닐렌설파이드, 폴리에테르이미드, 폴리에테르술폰, 폴리아릴레이트, 폴리에테르에테르케톤, 4불화에틸렌수지, 폴리아세탈, 폴리페닐렌옥사이드, 폴리아미드, 폴리카보네이트, 폴리부틸렌텔레프탈레이트 중 어느 하나로 이루어진 지지대로 상호 결합된다.According to another suitable embodiment of the present invention, a plurality of connection elements Polyimide, polyamideimide, polysulfone, polyphenylenesulfide, polyetherimide, polyethersulfone, polyarylate, polyetheretherketone, tetrafluoroethylene resin, polyacetal, polyphenylene oxide, polyamide, polycarbonate And mutually bonded with a support made of any one of polybutylene terephthalate.

본 발명에 따른 다수 개 접속소자는 각각의 접속소자간의 접촉 압력과 긁힘 형태의 차이가 최소화된다. 따라서 검사대상 전자부품의 전극단자 피치(pitch)가 작은 경우에도 안정적으로 전자부품의 불량 검사를 진행할 수 있는 이점을 가진다.In the plurality of connection elements according to the present invention, the difference in contact pressure and scratch type between each connection element is minimized. Therefore, even when the electrode terminal pitch of the electronic component to be inspected is small, there is an advantage that the defect inspection of the electronic component can be stably performed.

본 발명에 따른 다수 개의 접속소자는 전자부품의 검사 시 접속소자의 비틀림을 억제하여 전극단자의 긁힘 형태 차이를 최소화할 수 있을 뿐만 아니라 접속소자가 전극단자 외부로 벗어나는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.The plurality of connection elements according to the present invention can minimize the difference in the scratch shape of the electrode terminal by suppressing the twisting of the connection element during the inspection of the electronic component, and can also prevent the connection element from escaping out of the electrode terminal. .

아래에서 본 발명은 실시 예를 기초로 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명된다. 제시된 실시 예는 예시적인 것으로 본 발명의 범위를 제한하기 위한 것은 아니다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings based on embodiments. The examples presented are exemplary and are not intended to limit the scope of the invention.

본 명세서에서 접속소자는 프로브를 포함하여 서로 다른 전자부품 사이에 전기적 신호를 전달할 수 있는 임의의 전기 또는 전자소자를 의미한다. 예를 들어 접속소자는 반도체 웨이퍼의 전기검사를 위하여 사용될 수 있지만 2개의 서로 다른 전자 또는 전기기판을 전기적으로 연결하기 위하여 사용될 수 있다. In the present specification, the connection device refers to any electric or electronic device capable of transmitting an electrical signal between different electronic components including a probe. For example, the connection element may be used for the electrical inspection of the semiconductor wafer but may be used to electrically connect two different electronic or electrical substrates.

본 명세서에서 접속소자는 단일 또는 복수의 의미로 사용될 수 있지만 구분이 필요한 경우에는 "다수 개" 또는 "적어도"와 같은 표현에 의하여 구분된다. 본 명세서에서 상호접속은 전기적으로 분리된 적어도 2개의 전자부품이 서로 연결되어 전기신호가 전달될 수 있는 상태가 되는 것을 의미한다. 일시적 접촉은 일정한 힘 또는 압력에 의하여 적어도 2개의 소자의 일정 부분이 접촉되어 전기적으로 연결되고 일정한 힘 또는 압력의 제거에 의하여 적어도 2개의 소자의 일정 부분이 분리되어 전기적으로 연결되지 않는 것을 의미한다. 반영구적 결합은 적어도 2개의 전자소자가 일정한 힘의 작용 또는 가압과 같은 외부 조건에 관계없이 결합 상태를 유지하여 분리를 위하여 특별한 수단이 요구되는 적어도 2개의 전자부품의 결합 상태를 의미한다. 반영구적 결합은 예를 들어 교체를 위한 분리 가능성을 전제로 한다. 접속소자는 한 쪽 끝 부분이 전자부품에 반영구적으로 결합되고 다른 한 쪽 끝이 다른 전자부품에 일시적으로 접촉될 수 있는 전자부품의 불량여부를 검사하기 위하여 사용되는 전자소자를 포함한다. 접속과 접촉은 모두 적어도 2개의 전자부품이 전기적으로 연결되는 것을 의미하지만 접속은 전기적 연결 상태를 의미하고 그리고 접촉은 물리적 연결 상태를 의미한다. 일반적으로 2개의 전자부품은 접촉에 의하여 상호접속이 된다. In the present specification, the connection elements may be used in a single or plural meanings, but when distinguished, they are distinguished by an expression such as "a plurality" or "at least". In this specification, interconnection means that at least two electronic components that are electrically separated are connected to each other so that an electrical signal can be transmitted. Temporary contact means that a portion of at least two elements are contacted and electrically connected by a constant force or pressure, and that a portion of the at least two elements are not separated and electrically connected by the removal of a constant force or pressure. Semi-permanent coupling means a coupling state of at least two electronic components in which at least two electronic elements require a special means for separation by maintaining the coupling state regardless of external force such as a constant force action or pressure. Semi-permanent coupling presupposes the possibility of separation for replacement, for example. The connection element includes an electronic element used to inspect whether an electronic component is defective in which one end portion is semi-permanently coupled to the electronic component and the other end can be temporarily contacted with the other electronic component. Connection and contact both mean that at least two electronic components are electrically connected, but connection means electrical connection and contact means physical connection. In general, two electronic components are interconnected by contact.

본 명세서에서 접속소자는 탄성 변형이 가능해야 한다. 탄성 변형은 모든 방향으로 가능하지만 접속소자의 탄성 변형이란 접속소자가 결합되는 전자 기판에 수직이 되는 상하 방향의 탄성 변형을 의미한다. 이와 같은 탄성 변형은 접속소자 소재 자체의 물성 또는 기능적으로 구분되는 영역들의 결합 구조에 의하여 발생할 수 있다. 일반적으로 탄성 변형은 복원성을 전제로 하고 그리고 본 명세서에서 탄성 변형도 마찬가지로 접속소자가 탄성 변형 전의 위치로 복원될 수 있는 것을 전제로 한다. In the present specification, the connecting element should be capable of elastic deformation. The elastic deformation is possible in all directions, but the elastic deformation of the connection element means an elastic deformation in the vertical direction perpendicular to the electronic substrate to which the connection element is coupled. Such elastic deformation may be caused by the coupling structure of the physically or functionally distinct regions of the connection element material itself. In general, elastic deformation presupposes restorativeness, and in this specification, elastic deformation also presupposes that the connecting element can be restored to a position before elastic deformation.

도 1은 세 개의 서로 다른 구조를 가진 접속소자의 구조를 도시한 것이다. 1 shows the structure of a connection element having three different structures.

도 1을 참조하면, 접속소자는 검사기기(101)에 결합되는 고정영역(F); 탄성 변형이 되는 연장영역(A); 및 검사대상 전자부품(104)에 형성된 전극단자(103)에 일시적으로 접촉되는 접촉영역(T)으로 나누어질 수 있다. 바람직하게는 고정영역(F) 및 접촉영역(T)은 비변형 소재로 제조되거나 또는 비변형 구조를 가질 수 있다. 검사대상 전자부품(104)이 검사기기(101) 방향으로 접근하면 접속소자는 검사대상 전자부품(104)의 전극단자(103)에 접촉하게 된다. 접속소자에 힘이 작용하면 접속소자의 연장영역(A)은 탄성 변형이 되기 시작하여 일정한 압력에 의하여 접촉영역(T)의 끝단과 전극단자(103)가 접촉을 유지하게 된다. Referring to FIG. 1, the connection element may include a fixed region F coupled to the inspection device 101; An extension region A which is elastically deformed; And a contact area T temporarily contacting the electrode terminal 103 formed on the inspection target electronic component 104. Preferably, the fixed region F and the contact region T may be made of a non-deformable material or have a non-deformed structure. When the inspection target electronic component 104 approaches the inspection apparatus 101, the connecting element comes into contact with the electrode terminal 103 of the inspection target electronic component 104. When a force acts on the connecting element, the extension region A of the connecting element starts to elastically deform so that the end of the contact region T and the electrode terminal 103 maintain contact by a constant pressure.

본 명세서에서 수평형 접속소자 또는 수직형 접속소자는 검사기기(101)의 결합영역(102) 및 검사대상 전자부품(104)의 전극단자(103)의 상대적인 위치에 따라 분류된다. 검사기기와 전자부품(101, 104)의 평면에 대한 다수 개의 수직선을 가정 할 때, 만약 결합영역(102)과 전극단자(103)가 동일 수직선에 있거나 동일 수직선에 있다고 볼 수 있는 경우 수직형 접속소자로 분류된다. 이와 달리 결합영역(102)과 전극단자(103)가 각각 서로 다른 수직선과 만나거나 또는 서로 다른 수직선에 위치한다고 볼 수 있는 경우 수평형 접속소자로 분류된다. 도 1의 좌측 및 우측에 도시된 접속소자의 경우 수평형 접속소자가 되고 그리고 중간에 도시된 접속소자의 경우 수직형 접속소자로 분류될 수 있다. 접속소자의 연장영역(A)이 탄성 변형되면 접촉영역(T)이 상하 방향으로 이동하면서 동시에 좌우 방향으로 이동하게 된다. 상하 방향은 검사기기(101) 또는 검사대상 전자부품(104)의 표면에 대하여 수직이 되는 방향을 의미하고 좌우 방향이란 검사기기(101) 또는 검사대상 전자부품(104)의 표면과 평행한 방향을 의미한다. 연장영역(A)의 탄성 변형은 고정영역(F)에 대한 연장영역(A)의 상대적인 길이 및 탄성변형 기준점에 의하여 결정된다. 본 명세서에서 탄성변형 기준점은 반드시 기하학적으로 점 형태를 의미하는 것이 아니라 일정한 크기의 면적 또는 부피가 될 수 있다. 그리고 탄성변형 기준점은 반드시 정확하게 정해진 하나의 점, 면적 또는 부피가 될 필요는 없다. 탄성변형 기준점은 수직 방향의 압력 또는 힘이 가하여지는 경우 상하 방향으로 변위되는 부분과 변위가 되지 않는 부분의 경계 위치를 말한다. 이와 같은 탄성변형 기준점은 소재의 성질, 가해지는 힘 또는 압력의 위치, 또는 구성 요소들의 상대적인 결합 관계 또는 구조에 의하여 결정될 수 있다.In the present specification, the horizontal connection element or the vertical connection element is classified according to the relative positions of the coupling region 102 of the inspection device 101 and the electrode terminal 103 of the inspection target electronic component 104. Assuming a plurality of vertical lines with respect to the plane of the inspection device and the electronic components 101 and 104, if the coupling region 102 and the electrode terminal 103 can be regarded as being in the same vertical line or in the same vertical line, the vertical connection Are classified as devices. On the contrary, when the coupling region 102 and the electrode terminal 103 meet each other or are located at different vertical lines, they are classified as horizontal connection elements. In the case of the connection elements shown on the left and right sides of FIG. 1, the connection elements may be horizontal type connection elements, and the connection elements shown in the middle may be classified as vertical connection elements. When the extension region A of the connecting element is elastically deformed, the contact region T moves in the vertical direction and simultaneously moves in the left and right directions. The vertical direction refers to the direction perpendicular to the surface of the inspection device 101 or the inspection target electronic component 104, and the left and right directions indicate a direction parallel to the surface of the inspection device 101 or the inspection target electronic component 104. it means. The elastic deformation of the extension area A is determined by the relative length of the extension area A relative to the fixed area F and the elastic deformation reference point. In the present specification, the elastic deformation reference point does not necessarily mean a point shape geometrically, but may be an area or volume of a predetermined size. And the elastic strain reference point does not necessarily have to be a single point, area or volume that is precisely defined. The elastic deformation reference point refers to a boundary position between a portion displaced in the vertical direction and a portion not displaced when a vertical pressure or force is applied. Such elastic strain reference points can be determined by the nature of the material, the location of the applied force or pressure, or the relative coupling relationship or structure of the components.

도 2는 연장영역(A)의 탄성 변형에 따른 접촉영역(T)의 탄성 변위를 도시한 것이다. 도 2의 (가)를 참조하면, 팁 영역(CP)이 전극단자(203)에 최초로 접촉하 고, 계속하여 검사대상 전자부품(204)이 검사기기(201)을 향하여 이동하면 연장영역(A)은 탄성 변형된다. 이에 따라 팁 영역(CP)은 전극단자(203)에서 수평 및 수직 방향으로 이동하게 된다. 연장영역(A)의 탄성 변형에 따른 팁 영역(CP)의 변위와 긁힘의 형태가 도 2의 (나)에 도시되어 있다. 2 shows the elastic displacement of the contact region T according to the elastic deformation of the extension region A. As shown in FIG. Referring to FIG. 2A, when the tip region CP first contacts the electrode terminal 203 and the inspection target electronic component 204 moves toward the inspection apparatus 201, the extended region A ) Is elastically deformed. Accordingly, the tip region CP is moved in the horizontal and vertical directions in the electrode terminal 203. The shape of the displacement and the scratch of the tip area CP according to the elastic deformation of the extension area A is shown in FIG.

도 2의 (나)를 참조하면, 연장영역(A)이 θ만큼 탄성변형이 되는 경우 팁 영역(CP)은 전극단자(203)에서 최초 위치(CPI)로부터 최종 위치(CPE)로 이동한다. 연장영역(A)의 탄성변형 각(θ)이 충분히 작다면 연장영역(A)은 직선으로 근사될 수 있다. 연장영역(A)과 접촉영역(T)을 모두 직선으로 근사시키면 연장영역(A)은 탄성변형 각(θ)만큼 회전 이동한 것으로 볼 수 있고, 팁 영역(CP)의 수평 이동거리(LH) 및 수직 이동거리(LV)는 연장영역(A)의 탄성 연장길이(L) 및 팁 영역(CP)을 포함하는 접촉영역(T)의 수직높이(H)로 표시될 수 있다. Referring to FIG. 2B, when the extension region A is elastically deformed by θ, the tip region CP moves from the initial position CP I to the final position CP E at the electrode terminal 203. do. If the elastic deformation angle θ of the extension region A is sufficiently small, the extension region A can be approximated in a straight line. When both the extension area A and the contact area T are approximated in a straight line, the extension area A can be regarded as being rotated by the elastic deformation angle θ, and the horizontal movement distance L H of the tip area CP is obtained. ) And the vertical movement distance L V may be represented by the vertical height H of the contact region T including the elastic extension length L of the extension region A and the tip region CP.

연장영역(A)은 탄성 변형이 되고 그리고 탄성 연장길이(L)는 연장영역(A)의 탄성 변형이 되는 부분의 길이를 의미한다. 이에 비하여 접촉영역(T)은 연장영역(A)에 비하여 상대적으로 변형이 되지 않으므로 비변형 영역에 해당하고, 고정영역(F)도 비변형 영역에 해당한다. 엄밀하게 연장영역(A)의 탄성연장길이(L)는 탄성변형 기준점으로부터 연장영역(A)과 접촉영역(T)의 경계점 사이에 이르는 거리가 된다. 접촉영역(T)의 수직높이(H)는 팁 영역(CP)의 높이를 포함할 수 있다. 실제로 팁 영역(CP)은 연장영역(A)과 접촉영역(T)의 경계점에 위치하지 않을 수 있지만 아래 식에서 경계점에 위치하는 것으로 가정한다. 정확한 계산을 위하여 접촉영역(T) 과 팁 영역(CP)의 상대적인 위치가 고려될 수도 있다. The extension area A is elastically deformed, and the elastic extension length L is the length of the portion that is elastically deformed in the extension area A. FIG. On the other hand, the contact area T corresponds to the undeformed area since the contact area T is relatively undeformed compared to the extension area A, and the fixed area F also corresponds to the undeformed area. Strictly, the elastic extension length L of the extension region A is the distance from the elastic deformation reference point to the boundary point of the extension region A and the contact region T. The vertical height H of the contact area T may include the height of the tip area CP. In fact, the tip area CP may not be located at the boundary point between the extension area A and the contact area T, but it is assumed that the tip area CP is located at the boundary point in the following equation. The relative position of the contact area T and the tip area CP may be taken into account for accurate calculation.

전극단자(203)에서 팁 영역(CP)의 수평 이동거리(LH) 및 수직 이동거리(LV)는 연장영역(A)이 탄성 변형 각(θ)만큼 회전 이동하고 그리고 연장영역(A)과 접촉영역(T)이 모두 직선이 된다고 가정하면 아래와 같이 표시될 수 있다: The horizontal movement distance L H and the vertical movement distance L V of the tip region CP in the electrode terminal 203 are extended by the elastic deformation angle θ, and the extension region A rotates by the elastic deformation angle θ. Assuming that both the and contact areas T are straight lines, they can be expressed as follows:

팁 영역(CP)의 수평 이동거리(LH): L(cosθ-1) + HsinθHorizontal travel distance L H of the tip region CP: L (cosθ-1) + Hsinθ

팁 영역(CP)의 수직 이동거리(LV): H(1-cosθ) + Lsinθ, 상기에서 L과 H는 탄성변형 기준점(B)으로부터 접촉영역(T)에 이르는 탄성연장길이 및 팁 영역(CP)을 포함하는 접촉영역(T)의 수직높이를 나타낸다. 그리고 탄성연장길이(L)는 실질적으로 탄성변형 기준점(B)으로부터 팁 영역(CP)의 연장영역(A)에 대한 수직선까지 이르는 거리를 의미한다. 이 때 수직 이동거리(LV)는 각각의 접속소자간 접촉영역(T)과 검사대상 전자부품의 전극단자(203)간의 수직방향 거리 편차를 극복하는 인자와 관련되고, 수평 이동거리(LH)는 수평방향 거리 편차를 극복하는 인자와 관련된다. 특히 수평 이동거리(LH)는 검사대상 전자부품(204)의 전극단자(203)에 형성되는 긁힘(205)의 길이를 결정하는 인자이므로 본 발명의 대상이 되는 꺾임이 있는 접속소자의 긁힘의 형태와 관련된다.Vertical movement distance L V of the tip region CP: H (1-cosθ) + Lsinθ, where L and H are the elastic extension length and the tip region (from the elastic deformation reference point B to the contact region T) The vertical height of the contact area T including CP) is shown. In addition, the elastic extension length L substantially means a distance from the elastic deformation reference point B to the vertical line with respect to the extension region A of the tip region CP. In this case, the vertical movement distance L V is related to a factor that overcomes the vertical distance deviation between the contact region T between each connection element and the electrode terminal 203 of the electronic component to be inspected, and the horizontal movement distance L H. ) Is related to the factor of overcoming the horizontal distance deviation. In particular, since the horizontal movement distance L H is a factor for determining the length of the scratches 205 formed on the electrode terminal 203 of the electronic component 204 to be inspected, the scratches of the bent connecting element which is the object of the present invention. It is related to form.

도 3a는 꺾임이 있는 접속소자를 포함하는 다수 개 접속소자의 평면을 도시한 것이다. 도 3a를 참조하면, 접촉영역(303)의 피치(pitch)가 고정영역(301)의 피치(pitch) 보다 작으므로 적어도 하나의 접속소자는 연장영역(302)에 꺾임이 형성 되어야 한다. 꺾임의 형태는 도 3a에 도시된 바와 같이 직선 형태의 꺾임일 수도 있으나 곡선 형태로 이루어질 수도 있다. 또한 꺾임은 고정영역(301)과 연장영역(302)의 경계 및 접촉영역(303)과 연장영역(302)의 경계에서 형성될 수도 있고, 연장영역의 적어도 1개의 위치에서 형성될 수도 있다. 접촉영역(303)과 고정영역(301)이 일정한 피치(pitch)로 반복되고 좌우대칭으로 이루어진 경우에는 중앙에서 가장 멀리 형성된 접속소자의 꺾임각도(α)가 가장 클 것이고, 비대칭으로 이루어진 경우에는 좌측 또는 우측의 끝에 형성된 접속소자의 꺾임 각도(α)가 가장 클 것이다. 접속소자의 꺾임 각도(α)가 커지면 직선형 접속소자에 비하여 긁힘의 형태 및 접촉압력에 차이가 발생할 수 있다.3A shows a plan view of a plurality of connection elements including a bent connection element. Referring to FIG. 3A, since the pitch of the contact region 303 is smaller than the pitch of the fixed region 301, at least one connection element must be bent in the extension region 302. The shape of the bend may be a straight bent as shown in FIG. 3A, but may also be formed in a curved shape. The bend may be formed at the boundary between the fixed region 301 and the extension region 302 and at the boundary between the contact region 303 and the extension region 302, or may be formed at at least one position of the extension region. In the case where the contact region 303 and the fixed region 301 are repeated at a constant pitch and are symmetrical with each other, the bending angle α of the connecting element formed farthest from the center will be the largest, and if it is asymmetric, the left side Alternatively, the bending angle α of the connecting element formed at the right end may be the largest. When the bending angle α of the connecting element is increased, a difference in the form of scratches and the contact pressure may occur as compared with the linear connecting element.

도 3b는 최외각 접속소자의 탄성 변형을 도시하기 위한 평면도, 정면도 및 측면도로서, (가)는 탄성 변형 전의 접속소자이고 (나)는 탄성 변형 후의 접속소자이다. 최외각 접속소자란 도 3a에 도시된 바와 같이 하나의 세트(set)를 이루는 다수 개 접속소자 중에서 좌우측의 끝에 위치한 접속소자를 말한다. 최외각 접속소자 중 적어도 하나는 세트(set)를 이루는 다수 개 접속소자 중 가장 큰 꺾임 각도를 가지게 된다. 하나의 세트(set)를 이루는 다수 개 접속소자란 일정한 피치 또는 근사한 범위에서의 일정한 피치를 가지는 검사대상 전자부품의 전극단자들에 대응하는 다수 개 접속소자를 의미하는 것으로, 다른 세트(set)의 다수 개 접속소자와는 어느 정도 거리를 유지하는 접속소자들을 말한다. 도 3b를 참조하면, 꺾임이 있는 접속소자는 고정영역(301), 연장영역(302), 접촉영역(303) 및 접촉팁(304)을 포함하고 일정한 꺾임각도(α)를 갖는다. 이때 접촉팁에 압력이 주어지면, 최외각 접속 소자는 고정영역(301)의 배열과 평행인 방향과 수직인 방향으로 동시에 탄성 변형되어 비틀림이 발생한다. 그에 반하여, 도면에 도시되지는 않았지만 직선형 접속소자의 경우에는 고정영역의 배열과 수직인 방향으로만 탄성변형이 일어나게 된다. 3B is a plan view, a front view and a side view for illustrating the elastic deformation of the outermost connection element, (a) is a connection element before elastic deformation, and (b) is a connection element after elastic deformation. As shown in FIG. 3A, the outermost connection element refers to a connection element located at the left and right ends of a plurality of connection elements forming one set. At least one of the outermost connection elements has the largest bending angle among the plurality of connection elements forming the set. A plurality of connection elements forming one set means a plurality of connection elements corresponding to the electrode terminals of the inspection target electronic component having a constant pitch or a constant pitch in an approximate range. It refers to connection elements that maintain a certain distance from the plurality of connection elements. Referring to FIG. 3B, the bent connection element includes a fixed area 301, an extension area 302, a contact area 303, and a contact tip 304, and has a constant bend angle α. At this time, when a pressure is applied to the contact tip, the outermost connecting element is elastically deformed at the same time in a direction perpendicular to the direction parallel to the arrangement of the fixed region 301, causing torsion. On the contrary, in the case of the linear connection element, although not shown in the drawings, elastic deformation occurs only in a direction perpendicular to the arrangement of the fixed region.

도 3c의 (가)와 (나)는 직선형 접속소자(311)와 꺾임이 있는 접속소자(312)의 긁힘의 형태 차이를 도시한 것이다. 도 3c (가) 왼쪽의 도면은 직선형 접속소자(311)에 의한 긁힘의 형성을 나타내고 있다. 직선형 접속소자(311)의 경우에 접촉 팁(316)이 전극단자(315)와 접촉하여 접속소자의 일부 영역에 탄성변형이 일어나고, 이 때 전극단자(315)에 수평 이동거리만큼의 긁힘(313)이 발생한다. 이 때 긁힘(313)은 전극단자(315)의 길이 방향과 평행한 방향으로 형성되며, 고정영역에서 가까운 영역에서 고정영역에서 멀어지는 방향으로 일어난다. 도 3c (가) 오른쪽의 도면은 꺾임이 있는 접속소자(312)에 의한 긁힘(314)의 형성을 나타내고 있는데, 꺾임이 있는 접속소자(312)는 도 3b에서 설명한 바와 같이 고정영역의 배열과 평행한 방향과 수직인 방향으로 동시에 탄성변형이 일어나므로 접촉팁(316)에 의하여 전극단자(315)의 길이방향과 비스듬한 방향으로 긁힘(314)이 발생한다. 이 때 긁힘(314)의 진행방향과 전극단자(314)의 길이방향 사이의 각도는 접속소자의 꺾임 각도(α)에 따라 결정된다. 도 3c (나)는 직선형 접속소자와 꺾임이 있는 접속소자에 의하여 전극단자(315)에 발생한 긁힘(313, 314)의 얼라인 마진(align margin)을 비교하여 도시하고 있다. 왼쪽 위에 도시된 도면은 직선형 접속소자(311)의 얼라인 마진(align margin)을 표시하고 있고, 왼쪽 아래와 오른쪽 위에 도시된 도면은 꺾임이 있는 접속소자(312)의 얼라인 마진(align margin)을 표시하고 있다. 각각의 얼라인 마진(align margin)은 긁힘(313, 314)이 전극단자(315)의 정중앙에 형성되는 가장 이상적인 경우를 가정하고 있다. 도 3c (나)를 참조하면 직선형 접속소자(311)의 경우에는 전극단자(315)의 수평과 수직방향으로 각각 a1, b1의 얼라인 마진(align margin)을 가지고, 꺾임이 있는 접속소자(312)의 경우에는 a2, b2의 얼라인 마진(align margin)을 가진다. 이 때 a1, b1 및 a2, b2 사이에는 a1 ≥a2, b1 ≥b2의 관계가 성립하고, 꺾임 각도(α)가 커지면 얼라인 마진(align margin)의 차이는 더욱 커진다. 얼라인 마진(align margin)보다 큰 범위에서 미스 얼라인(miss align)이 발생하면 접속소자에 의한 검사기기와 검사대상 전자부품의 접속이 이루어지지 않아서 불량검사의 신뢰도가 낮아지게 되고, 미스 얼라인(miss align)의 정도가 커지면 접속소자가 대응하는 전극단자가 아닌 이웃한 전극단자와 접촉할 가능성도 존재한다. 꺾임이 있는 접속소자의 문제점은 이러한 미스 얼라인(miss align) 뿐 아니라 접촉압력의 감소와도 관련된다.(C) and (b) of FIG. 3C show the difference in scratches between the straight connection element 311 and the bent connection element 312. 3C (a) The figure on the left side shows the formation of scratches by the linear connection element 311. In the case of the linear connection element 311, the contact tip 316 is in contact with the electrode terminal 315, the elastic deformation occurs in a portion of the connection element, and the electrode terminal 315 is scratched by a horizontal moving distance (313) ) Occurs. At this time, the scratch 313 is formed in a direction parallel to the longitudinal direction of the electrode terminal 315, and occurs in a direction away from the fixed region in a region close to the fixed region. FIG. 3C (a) The figure on the right shows the formation of the scratch 314 by the bent connection element 312, which is parallel to the arrangement of the fixed area as described in FIG. 3B. Since elastic deformation occurs simultaneously in a direction perpendicular to one direction, scratches 314 are generated in the longitudinal direction and oblique direction of the electrode terminal 315 by the contact tip 316. At this time, the angle between the advancing direction of the scratch 314 and the longitudinal direction of the electrode terminal 314 is determined according to the bending angle α of the connecting element. FIG. 3C shows comparisons of alignment margins of scratches 313 and 314 generated on the electrode terminals 315 by the straight connection element and the bent connection element. The figure shown in the upper left shows the alignment margin of the linear connection element 311, and the figure shown in the lower left and upper right shows the alignment margin of the connecting element 312 with the bending. It is displaying. Each alignment margin assumes the ideal case where the scratches 313 and 314 are formed in the exact center of the electrode terminal 315. Referring to FIG. 3C (b), in the case of the straight connection element 311, the connection element having an alignment margin of a 1 and b 1 in the horizontal and vertical directions of the electrode terminal 315, respectively, is bent. (312) has an alignment margin of a 2 , b 2 . Where a 1 and b 1 And a 2 , b 2 The relationship between a 1 ≥ a 2 and b 1 ≥ b 2 is established between them, and the larger the angle of inclination α becomes, the larger the difference in alignment margin becomes. If a misalignment occurs within a range larger than the alignment margin, the reliability of the defect inspection is lowered because the inspection device is not connected by the connecting element and the electronic component to be inspected. If the degree of (miss align) is increased, there is a possibility that the connecting element is in contact with the neighboring electrode terminal, not the corresponding electrode terminal. The problem with the bent connection element is related not only to this miss align but also to the reduction in contact pressure.

도 4a의 (가), (나)는 지지대가 형성된 다수 개 접속소자의 평면도와 사시도이다. 도 4a의 (가)를 참조하면, 각각의 접속소자는 고정영역(401), 연장영역(402) 및 접촉영역(403)으로 이루어지고 연장영역의 일정 부분에는 지지대(404)가 형성되어 있다. 지지대(404)는 각각의 접속소자의 연장영역(402)을 상호 결합한다. 도 4a의 (나)를 참조하면, 지지대(404)는 연장영역(402)의 상부 면보다 아래쪽으로 형성되는 것이 바람직하다. 접속소자가 탄성 변형되면 검사대상 전자부품(미도시)의 표면과 탄성 변형된 연장영역의 상부 면이 가까워지게 되는데, 지지대(404)가 연장영 역(402)의 상부 면보다 위쪽에 형성되면 연장영역의 상부 면 보다 지지대(404)의 상부 면이 검사대상 전자부품의 표면과 더 가까워 질 수 있기 때문이다. 그러나 전기적 접속을 위한 접촉 팁의 충분한 접촉압력이 보장되는 수직 이동거리에서 지지대와 연장영역이 접촉되지 않는다면 지지대의 일부는 연장영역의 상부 면보다 위쪽에 형성되어도 무방하다.4A and 4B are a plan view and a perspective view of a plurality of connecting elements on which a support is formed. Referring to FIG. 4A, each connection element includes a fixed region 401, an extension region 402, and a contact region 403, and a support 404 is formed at a portion of the extension region. The support 404 couples the extension area 402 of each connection element. Referring to Figure 4a (b), the support 404 is preferably formed below the upper surface of the extension area 402. When the connection element is elastically deformed, the surface of the inspection target electronic component (not shown) and the upper surface of the elastically deformed extension region are close to each other. When the support 404 is formed above the upper surface of the extension region 402, the extension region is provided. This is because the upper surface of the support 404 may be closer to the surface of the electronic component to be inspected than the upper surface of. However, a portion of the support may be formed above the upper surface of the extension region if the support and the extension region do not come into contact at the vertical moving distance to ensure sufficient contact pressure of the contact tip for electrical connection.

도 4b의 (가), (나)는 지지대가 형성된 최외각 접속소자의 탄성 변형을 도시하기 위한 평면도, 정면도 및 측면도로서, (가)는 탄성 변형 전의 접속소자를 도시한 것이고 (나)는 탄성 변형 후의 접속소자를 도시한 것이다. 도 4a를 참조하면, 꺾임이 있는 접속소자는 고정영역(401), 연장영역(402) 및 접촉영역(403)을 포함하고 일정한 꺾임각도(α)를 갖는다. 도 4b의 (나)는 탄성변형된 접속소자를 도시하고 있는데, 지지대(404)가 형성된 최외각 접속소자의 연장영역(402)에 탄성 변형이 일어나는 경우 고정영역(401)의 배열과 수직인 방향으로만 탄성 변형이 일어난다. 그 이유는 각각의 접속소자의 연장영역은 지지대(404)에 의하여 상호 결합되어 있으므로, 다수 개의 접속소자가 하나의 접속소자처럼 연결되어 고정영역(401)의 배열과 수평인 방향으로의 탄성 변형은 억제되기 때문이다.(B) and (b) of FIG. 4b are a plan view, a front view and a side view for showing the elastic deformation of the outermost connecting element on which the support is formed, and (a) shows the connecting element before elastic deformation. The connecting element after elastic deformation is shown. Referring to FIG. 4A, a bent connection element includes a fixed area 401, an extension area 402, and a contact area 403 and has a constant angle of bend α. 4B illustrates an elastically deformed connection element. When elastic deformation occurs in the extension region 402 of the outermost connection element on which the support 404 is formed, the direction perpendicular to the arrangement of the fixed region 401 is shown. Only elastic deformation takes place. The reason is that the extension area of each connection element is coupled to each other by the support 404, so that a plurality of connection elements are connected as one connection element, so that the elastic deformation in the direction parallel to the arrangement of the fixed region 401 Because it is suppressed.

도 4c는 지지대(미도시)가 형성된 직선형 접속소자(411)와 꺾임이 있는 접속소자(412)의 긁힘의 형태 차이를 도시한 것이다. 도 4c의 왼쪽의 도면은 직선형 접속소자(411)에 의한 긁힘의 형성을 도시한 것인데, 이 경우에는 지지대가 형성되지 않은 접속소자에 대한 도면인 도 3c의 왼쪽 도면에서 설명한 바와 동일한 형태로 접촉팁(416)에 의하여 전극단자(415)에 긁힘(413)이 형성된다. 도 4c의 오른 쪽 도 면은 꺾임이 있는 접속소자의 긁힘의 형태를 도시한 것인데, 이 경우에는 지지대가 형성되지 않은 접속소자에 대한 도면인 도 3c의 왼쪽 도면과 다르게 접촉팁(416)에 의하여 전극단자(415)의 길이 방향과 평행하게 긁힘(413)이 형성된다. 이러한 차이는 접속소자에 지지대(미도시)가 형성되어 있어, 고정영역(401)의 배열과 수평인 방향으로의 탄성 변형이 일어나기 어렵기 때문이다. 지지대가 형성된 다수 개 접속소자의 얼라인 마진(align margin)은 직선형 접속소자와 꺾임이 있는 접속소자의 경우에 동일한 수치를 가지게 되고, 결과적으로 지지대가 형성되지 않은 다수 개 접속소자보다 미스 얼라인(miss align)이 일어날 확률이 작아진다. 또한 지지대가 형성된 다수 개 접속소자의 경우에는 각각의 접속소자의 접촉 압력도 평준화되는 효과를 가진다. 연장영역의 길이가 긴 접속소자와 연장영역의 길이가 짧은 접속소자는 접촉압력이 서로 다른 것이 일반적이지만, 지지대에 의하여 각각의 접속소자가 상호 결합하면, 각각의 접속소자에 발생하는 접촉 압력이 지지대에 의하여 공유되어 모든 접속소자가 일정한 평균적인 수치에 근접한 접촉 압력을 가지게 된다.FIG. 4C illustrates a difference in scratches between the straight connection element 411 having a support (not shown) and the bent connection element 412. 4c shows the formation of scratches by the straight connection element 411, in which case the contact tip has the same shape as described in the left view of FIG. 3c which is a view of the connection element on which the support is not formed. The scratch 413 is formed on the electrode terminal 415 by 416. The right side of FIG. 4C shows a form of scratching of the connecting element with a bend, in which case the contact tip 416 differs from the left side of FIG. 3C, which is a view of the connecting element on which the support is not formed. Scratches 413 are formed in parallel with the longitudinal direction of the electrode terminal 415. This difference is because a support (not shown) is formed in the connection element, and elastic deformation in a direction parallel to the arrangement of the fixed region 401 is unlikely to occur. The alignment margin of the plurality of connecting elements on which the support is formed has the same value in the case of the linear connecting element and the connecting element with the bending, and consequently, the alignment margin of the multiple connecting elements is lower than that of the plurality of connecting elements on which the support is not formed. miss align) is less likely. In addition, in the case of a plurality of connecting elements having a support, the contact pressure of each connecting element is also equalized. Connection elements having a long extension region and a connection element having a short extension region generally have different contact pressures. However, when each connection element is mutually coupled by a support, the contact pressure generated at each connection element is supported. By means of which all connecting elements have a contact pressure close to a constant average value.

지지대는 접촉영역의 피치(pitch)가 고정영역의 피치(pitch)보다 더 작아서 꺾임이 있는 접속소자를 포함하는 다수 개 접속소자의 경우에 더욱 필요하다. 지지대는 최외각 접속소자를 포함하는 접속소자들에 형성되는 것이 유리한데, 이는 최외각 접속소자 중 적어도 어느 하나는 연장영역의 꺾임 각도가 가장 크기 때문이다. The support is further required in the case of a plurality of connection elements including a connection element that is bent because the pitch of the contact area is smaller than the pitch of the fixed area. The support is advantageously formed in the connection elements including the outermost connection element, since at least one of the outermost connection elements has the greatest angle of bending of the extension region.

지지대는 전기부도체로 이루어질 수 있다. 이는 지지대에 의하여 상호 결합되는 각각의 접속소자간의 전기적 단락을 방지하기 위함이다. 전기부도체는 탄성을 가지고 있어 쉽게 깨지거나 부러지지 않는 고분자 수지일 수 있다. 접속소자에 의한 검사는 고온 조건에서 이루어지기도 하므로 내열성이 요구되기도 하고, 접속소자의 제조과정에서 내부식성이 요구되거나 접속소자들의 탄성변형을 평준화시키기 위하여 일정한 기계적 강도가 요구되기도 한다. 지지대를 이루는 고분자 수지는 기계적 강도, 내열성, 내부식성, 절연성 등의 특성이 우수한 엔지니어링 플라스틱으로 이루어질 수 있다. 지지대의 재료로 사용될 수 있는 엔지니어링 플라스틱의 예로 폴리이미드(polyimide), 폴리아미드이미드(polyamideimide), 폴리술폰(polysulfone), 폴리페닐렌설파이드(polyphenylene sulfide), 폴리에테르이미드(polyetherimide), 폴리에테르술폰(polyehersulfone), 폴리아릴레이트(polyarylate), 폴리에테르에테르케톤(poly(ether ether ketone)), 4불화에틸렌수지(tetrafluoroethylene), 폴리아세탈(polyacetal), 폴리페닐렌옥사이드(polyphenyleneoxide), 폴리아미드(polyamide), 폴리카보네이트(polycarbonate), 폴리부틸렌텔레프탈레이트(poly(butylene terephthalate)) 등을 들 수 있다. The support may be made of electrical conductors. This is to prevent an electrical short between each connection element coupled to each other by the support. The electrical insulator may be a polymer resin having elasticity and not easily broken or broken. Since the inspection by the connection element may be performed at high temperature, heat resistance may be required, and in the manufacturing process of the connection element, corrosion resistance may be required or constant mechanical strength may be required to level the elastic deformation of the connection element. The polymer resin constituting the support may be made of an engineering plastic having excellent mechanical strength, heat resistance, corrosion resistance, and insulation. Examples of engineering plastics that can be used as the material of the support are polyimide, polyamideimide, polysulfone, polyphenylene sulfide, polyetherimide, polyethersulfone ( polyehersulfone, polyarylate, polyether ether ketone, tetrafluoroethylene, polyacetal, polyphenyleneoxide, polyamide , Polycarbonate, polybutylene terephthalate, and the like.

지지대는 전기부도체와 전기전도체의 복합체로 이루어질 수 있고, 이 경우에도 각각의 접속소자간의 단락을 방지하기 위하여 접속소자와 지지대의 상호 결합 부위는 전기부도체로 이루어져야 한다. 또는 지지대가 전기전도체로 이루어지고, 상기 접속소자와 지지대가 전기부도체의 접착제로 상호 결합되어 접속소자와 지지대가 전기적으로 분리될 수도 있다.The support may be made of a composite of an electrical conductor and an electrical conductor, and in this case, in order to prevent a short circuit between the respective connection elements, the mutual coupling portion of the connection element and the support should be made of an electrical conductor. Alternatively, the support may be made of an electrical conductor, and the connection element and the support may be coupled to each other by an adhesive of the electrical subconductor to electrically separate the connection element and the support.

도 5a 내지 도 5g는 본 발명에 따른 지지대가 형성된 다수 개 접속소자의 다양한 실시예를 도시하고 있다.5A to 5G illustrate various embodiments of a plurality of connection elements having a support according to the present invention.

도 5a를 참조하면, 본 발명의 제 1실시예에 따른 다수 개 접속소자는 고정영역(501), 연장영역(502) 및 접촉영역(503)을 포함하고, 하나의 세트(set)를 이루는 다수 개 접속소자의 연장영역(502)에 지지대(Se)가 형성되어 있다. 지지대는 최외각 접속소자를 포함하는 접속소자들에 형성되는 것이 유리한데, 이는 최외각 접속소자 중 적어도 어느 하나는 연장영역의 꺾임 각도(미도시)가 가장 크기 때문이다. Referring to FIG. 5A, a plurality of connection elements according to the first embodiment of the present invention includes a fixed area 501, an extension area 502, and a contact area 503, and constitutes a set. A support table Se is formed in the extension region 502 of the two connection elements. The support is advantageously formed in the connection elements including the outermost connection element, since at least one of the outermost connection elements has the largest bending angle (not shown) of the extension region.

도 5b를 참조하면, 본 발명의 제 2실시예에 따른 다수 개 접속소자는 고정영역(501), 연장영역(502) 및 접촉영역(503)을 포함하고, 하나의 세트(set)를 이루는 다수 개 접속소자의 접촉영역(503)에 지지대(Sc)가 형성되어 있다.Referring to FIG. 5B, a plurality of connection elements according to the second embodiment of the present invention includes a fixed area 501, an extension area 502, and a contact area 503, and constitutes a set. The support Sc is formed in the contact area 503 of the dog connection element.

도 5c를 참조하면, 본 발명의 제 3실시예에 따른 다수 개 접속소자는 고정영역(501), 연장영역(502) 및 접촉영역(503)을 포함하고, 하나의 세트(set)를 이루는 다수 개 접속소자의 연장영역(502)과 접촉영역(503)에 각각 지지대(Se, Sc)가 형성되어 있다.Referring to FIG. 5C, a plurality of connection elements according to a third embodiment of the present invention includes a fixed area 501, an extension area 502, and a contact area 503, and constitutes a set. Supports Se and Sc are formed in the extension region 502 and the contact region 503 of the two connection elements, respectively.

도 5d를 참조하면, 본 발명의 제 4실시예에 따른 다수 개 접속소자는 고정영역(501), 연장영역(502) 및 접촉영역(503)을 포함하고, 하나의 세트(set)를 이루는 다수 개 접속소자의 연장영역(502)의 길이 방향으로 2개의 위치에 지지대(Se1, Se2)가 형성되어 있다.Referring to FIG. 5D, a plurality of connection elements according to the fourth exemplary embodiment of the present invention includes a fixed area 501, an extension area 502, and a contact area 503, and constitutes a set. Supports Se1 and Se2 are formed at two positions in the longitudinal direction of the extension region 502 of the two connection elements.

도 5e를 참조하면, 본 발명의 제 5실시예에 따른 다수 개 접속소자는 2개의 그룹(G1, G2)으로 나누어지고, 각각의 그룹을 이루는 접속소자들은 지지대(Sea, Seb)로 상호 결합된다. 이 때 지지대는 도면에 도시된 바와 같이 연장영역(502)에 형성될 수 있지만, 접촉영역(503)에 형성되거나 연장영역(502)과 접촉영역(503)에 함께 형성되어도 무방하다. 또한 상기 그룹은 2 내지 5개의 접속소자로 이루어질 수 있는데, 이는 근접한 수개의 접속소자들만을 지지대로 상호 결합하여 접속소자의 탄성변형 시 지지대의 변형을 유발하는 힘을 최소화하기 위함이다. 또한 상기 그룹은 최외각 접속소자를 포함하여 이루어지는 것이 유리하다.Referring to FIG. 5E, the plurality of connection elements according to the fifth embodiment of the present invention are divided into two groups G1 and G2, and the connection elements forming each group are mutually coupled with the supports Sea and Seb. . In this case, the support may be formed in the extension region 502 as shown in the drawing, but may be formed in the contact region 503 or together with the extension region 502 and the contact region 503. In addition, the group may be composed of two to five connection elements, in order to minimize the force causing the deformation of the support when the elastic deformation of the connection element is coupled to each other by only a few adjacent connection elements to the support. It is also advantageous that the group comprises an outermost connecting element.

도 5f를 참조하면, 본 발명의 제 6실시예에 따른 다수 개 접속소자는 2개의 그룹(G1, G2)으로 나누어지고, 연장영역(502)의 길이 방향으로 2개의 위치에 지지대(Sea1, Sea2, Seb1, Seb2)가 형성된다. 이는 접속소자의 탄성변형 시 지지대의 변형을 유발하는 힘을 분산시키고, 지지대의 지지 효율을 높이기 위함이다.5F, a plurality of connection elements according to the sixth embodiment of the present invention It is divided into two groups G1 and G2, and support stands Sea1, Sea2, Seb1, Seb2 are formed at two positions in the longitudinal direction of the extension area 502. This is to disperse the force causing the deformation of the support when the elastic deformation of the connection element, to increase the support efficiency of the support.

도 5g의 (가)를 참조하면, 본 발명의 제 7실시예에 따른 다수 개 접속소자는 접속소자의 연장영역(502)들이 지지대(Ser)로 상호 결합되고, 지지대(Ser)와의 상호 결합위치에 의하여 동일한 비율로 분할된다. 이 때 접속소자의 고정영역(501)들은 아치(arch) 형태로 배열되며, 이는 각각의 접속소자의 연장영역(502) 길이를 근사적으로 동일한 길이로 설계하기 위함이다. 도 5g의 (나)는 제 7실시예 접속소자들의 일부를 도시한 것이다. 도면을 참조하면, 접속소자들의 연장영역(502)들은 지지대(Ser)에 의하여 상호 결합되고, 각각의 접속소자의연장영역(502)은 지지대(Ser)로 상호 결합되는 위치에 의하여 각각 l1:l1', l2:l2', l3:l3', l4:l4'의 비율로 분할되며, 그 비율은 동일하다. 이와 같이 접속소자의 연장영역이 지지대에 의하여 일정한 비율로 분할되면, 접속소자가 탄성 변형된 경우에 지지대의 변형을 유발하는 힘을 최소화할 수 있다. 상기 일정한 비율은 고정영역(501)에 가까운 연 장영역(502)의 길이(l1', l2', l3', l4')와 접촉영역(503)에 가까운 연장영역(502)의 길이(ㅣ1, l2, l3, l4) 비가 0.1:1 내지 100:1인 것이 유리하다. 그 이유는, 지지대가 접촉영역에 가까운 부분에 형성될수록 접촉 압력의 평준화 효과는 크고, 고정영역에 가까운 부분에 형성될수록 연장영역의 비틀림을 방지하는 효과가 클 것인데, 이러한 두 가지 효과를 동시에 고려하기 위함이다. 만약 지지대와 상호 결합되는 접속소자들이 2개 이상의 그룹으로 구분되는 경우라면, 하나의 그룹 내에서는 접속소자의 연장영역이 지지대에 의하여 일정한 비율로 분할되는 것이 유리하다. 또한 연장영역의 길이 방향으로 2개 이상의 위치에 지지대가 형성되는 경우라면 연장영역은 지지대와의 상호 결합 위치로 3개 이상의 영역으로 분할될 것이고, 그 분할 비율은 일정한 것이 유리하다.Referring to (a) of FIG. 5G, in the plurality of connection elements according to the seventh embodiment of the present invention, the extension regions 502 of the connection elements are mutually coupled to the support Ser and the mutual coupling positions with the support Ser. By the same ratio. In this case, the fixing regions 501 of the connection elements are arranged in an arch shape, so that the lengths of the extension regions 502 of the connection elements are approximately the same length. 5G (b) shows some of the connection elements of the seventh embodiment. Referring to the figures, extending region 502 of the contact elements are mutually coupled by the support (Ser), respectively, extending region 502 of each connecting element by the position, which are mutually coupled in the support (Ser) l 1: l 1 ', l 2 : l 2 ', l 3 : l 3 ', l 4 : l 4 ', and the ratio is the same. As such, when the extension region of the connection element is divided at a predetermined ratio by the support, the force causing the deformation of the support may be minimized when the connection element is elastically deformed. The constant ratio is defined by the length (l 1 ′, l 2 ′, l 3 ′, l 4 ′ of the extended area 502 close to the fixed area 501 and the extended area 502 close to the contact area 503. It is advantageous that the length (l 1 , l 2 , l 3 , l 4 ) ratio is from 0.1: 1 to 100: 1. The reason is that the more the support is formed near the contact area, the greater the leveling effect of the contact pressure, and the closer to the fixed area, the greater the effect of preventing the twisting of the extended area. For sake. If the connecting elements which are mutually coupled with the support are divided into two or more groups, it is advantageous to divide the extension region of the connecting element at a constant rate by the support within one group. In addition, in the case where the support is formed at two or more positions in the longitudinal direction of the extension region, the extension region will be divided into three or more regions at mutually engaging positions with the support, and the division ratio is advantageously constant.

본 발명이 실시 예를 이용하여 상세하게 설명이 되었지만 이 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 실시 예에 대한 다양한 변형 및 수정 발명을 만들 수 있을 것이다. 본 발명은 이러한 변형 및 수정 발명에 의하여 제한되지 않는다. Although the present invention has been described in detail with reference to the embodiments, those skilled in the art may make various modifications and modifications to the embodiments without departing from the spirit of the invention. The invention is not limited by these variations and modifications.

도 1은 3개의 서로 다른 형태를 가진 접속소자에 대한 구조를 도시한 것이다. 1 shows a structure of a connection element having three different forms.

도 2는 수평형 접속소자가 탄성변형된 경우 접촉팁의 수평/수직 이동거리를 도시한 것이다. Figure 2 shows the horizontal / vertical moving distance of the contact tip when the horizontal connection element is elastically deformed.

도 3a는 종래 기술에 따른 다수 개 접속소자의 배열을 도시한 것이다.Figure 3a shows an arrangement of a plurality of connection elements according to the prior art.

도 3b는 종래 기술에 따른 꺾임이 있는 접속소자의 탄성변형 형태를 도시한 것이다. Figure 3b illustrates a form of elastic deformation of the connecting element with the bending according to the prior art.

도 3c는 종래 기술에 따른 직선형 접속소자와 꺾임이 있는 접속소자의 긁힘 형태의 차이를 도시한 것이다. Figure 3c shows the difference between the scratch form of the linear connection element and the bent connection element according to the prior art.

도 4a는 본 발명에 따른 다수 개 접속소자의 평면도와 사시도를 나타낸 것이다. 4A is a plan view and a perspective view of a plurality of connection elements according to the present invention.

도 4b는 본 발명에 따른 꺾임이 있는 접속소자의 탄성변형 형태를 도시한 것이다. Figure 4b shows the elastic deformation form of the bent connection element according to the present invention.

도 4c는 본 발명에 따른 직선형 접속소자와 꺾임이 있는 접속소자의 긁힘 형태를 도시한 것이다. Figure 4c shows a scratched form of the linear connection element and the bent connection element according to the present invention.

도 5a는 본 발명에 따른 다수 개 접속소자의 제1 실시예를 도시한 것이다. Figure 5a shows a first embodiment of a plurality of connection elements according to the present invention.

도 5b는 본 발명에 따른 다수 개 접속소자의 제2 실시예를 도시한 것이다. 5B A second embodiment of a plurality of connection elements according to the present invention is shown.

도 5c는 본 발명에 따른 다수 개 접속소자의 제3 실시예를 도시한 것이다. Figure 5c shows a third embodiment of a plurality of connection elements according to the present invention.

도 5d는 본 발명에 따른 다수 개 접속소자의 제4 실시예를 도시한 것이다. Figure 5d shows a fourth embodiment of a plurality of connection elements according to the present invention.

도 5e는 본 발명에 따른 다수 개 접속소자의 제5 실시예를 도시한 것이다. 5E shows a fifth embodiment of a plurality of connection elements according to the present invention.

도 5f는 본 발명에 따른 다수 개 접속소자의 제6 실시예를 도시한 것이다. 5F shows a sixth embodiment of a plurality of connection elements according to the present invention.

도 5g는 본 발명에 따른 다수 개 접속소자의 제7 실시예를 도시한 것이다. Figure 5g shows a seventh embodiment of a plurality of connection elements according to the present invention.

Claims (15)

검사기기의 접속영역에 반영구적으로 결합되는 고정영역과, 고정영역에 연결되고 전극단자를 향하여 연장된 연장영역과, 연장영역에 결합되고 검사 대상이 되는 전자부품의 전극단자에 일시적으로 접촉하는 접촉영역을 포함하는 다수 개 접속소자에 있어서,A fixed region semi-permanently coupled to the connection region of the inspection apparatus, an extended region connected to the fixed region and extending toward the electrode terminal, and a contact region temporarily contacting the electrode terminal of the electronic component that is coupled to the extended region and is to be inspected In the plurality of connection elements comprising a, 적어도 2개의 접속소자는 지지대에 의해 상호 결합되며,At least two connection elements are mutually coupled by a support, 상기 지지대는 상기 적어도 2개의 접속소자를 구조적으로는 일체가 되도록 연결하고 전기적으로는 분리시키는 것을 특징으로 하는 다수 개 접속소자. The support is a plurality of connection elements, characterized in that for connecting the at least two connection elements to be structurally integrated and electrically separated. 청구항 1에 있어서, 접촉영역의 피치(pitch)가 고정영역의 피치(pitch)보다 더 작은 것을 특징으로 하는 다수 개 접속소자. The number of connection elements according to claim 1, wherein the pitch of the contact region is smaller than the pitch of the fixed region. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 지지대는 연장영역에 형성되는 것을 특징으로 하는 다수 개 접속소자.The plurality of connection elements according to claim 1 or 2, wherein the support is formed in an extension area. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 지지대는 접촉영역에 형성되는 것을 특징으로 하는 다수 개 접속소자.The plurality of connection elements according to claim 1 or 2, wherein the support is formed in the contact area. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 지지대는 연장영역의 길이 방향으로 적어도 2개의 위치에 형성되는 것을 특징으로 하는 다수 개 접속소자.The plurality of connection elements according to claim 1 or 2, wherein the support is formed at at least two positions in the longitudinal direction of the extension area. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 적어도 2개의 접속소자는 최외각 접속소자를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 다수 개 접속소자.The plurality of connection elements according to claim 1 or 2, wherein the at least two connection elements comprise an outermost connection element. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 지지대로 상호 결합되는 접속소자의 연장영역들은 지지대와의 상호 결합위치에 의하여 동일한 비율로 분할되는 것을 특징으로 하는 다수 개 접속소자.The plurality of connection elements according to claim 1 or 2, wherein the extension regions of the connection elements that are mutually coupled to the support are divided at equal ratios by mutually engaging positions with the support. 청구항 7에 있어서, 상기 동일한 비율은 고정영역에 가까운 연장영역의 길이와 접촉영역에 가까운 연장영역의 길이 비가 0.1:1 내지 100:1인 것을 특징으로 하는 다수 개 접속소자.8. The plurality of connection elements of claim 7, wherein the same ratio is a ratio of the length of the extension area close to the fixed area and the length of the extension area close to the contact area is 0.1: 1 to 100: 1. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 다수 개 접속소자는 적어도 2개의 그룹으로 나누어지고, 나누어진 그룹 중 적어도 하나를 이루는 접속소자들은 지지대로 상호 결합되는 것을 특징으로 하는 다수 개 접속소자. The plurality of connection elements according to claim 1 or 2, wherein the plurality of connection elements are divided into at least two groups, and the connection elements forming at least one of the divided groups are mutually coupled to the support. 청구항 9에 있어서, 지지대로 상호 결합되는 하나의 그룹은 2 내지 5개의 접속소자로 이루어지는 것을 특징으로 하는 다수 개 접속소자.10. The plurality of connection elements according to claim 9, wherein one group coupled to each other as the support consists of 2 to 5 connection elements. 청구항 9에 있어서, 지지대로 상호 결합되는 접속소자의 연장영역들은 지지 대와의 상호 결합위치에 의하여 일정한 비율로 분할되고, 상기 일정한 비율은 하나의 그룹 내에서는 동일한 것을 특징으로 하는 다수 개 접속소자.10. The plurality of connection elements according to claim 9, wherein the extension regions of the connection elements that are mutually coupled to the support are divided at a constant ratio by mutual coupling positions with the support bases, and the constant ratio is the same in one group. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 접속소자와 지지대는 전기부도체의 접착제로 상호결합되고, 접속소자와 지지대는 전기적으로 분리된 것을 특징으로 하는 다수 개 접속소자.The plurality of connection elements according to claim 1 or 2, wherein the connection element and the support are mutually coupled with an adhesive of an electrical conductor, and the connection element and the support are electrically separated. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 지지대는 전기부도체로 이루어지는 것을 특징으로 하는 다수 개 접속소자.The plurality of connection elements according to claim 1 or 2, wherein the support is made of an electrical conductor. 청구항 13에 있어서, 상기 전기부도체는 고분자 수지인 것을 특징으로 하는 다수 개 접속소자.The plurality of connection elements of claim 13, wherein the electrical conductor is a polymer resin. 청구항 14에 있어서, 상기 고분자 수지는 폴리이미드, 폴리아미드이미드, 폴리술폰, 폴리페닐렌설파이드, 폴리에테르이미드, 폴리에테르술폰, 폴리아릴레이트, 폴리에테르에테르케톤, 4불화에틸렌수지, 폴리아세탈, 폴리페닐렌옥사이드, 폴리아미드, 폴리카보네이트, 폴리부틸렌텔레프탈레이트 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 다수 개 접속소자.The method of claim 14, wherein the polymer resin is polyimide, polyamideimide, polysulfone, polyphenylene sulfide, polyetherimide, polyether sulfone, polyarylate, polyether ether ketone, ethylene tetrafluoride, polyacetal, poly A plurality of connection elements, characterized in that any one of phenylene oxide, polyamide, polycarbonate, polybutylene terephthalate.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR102098654B1 (en) * 2019-10-02 2020-04-09 주식회사 프로이천 Probe card

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06174748A (en) * 1992-12-01 1994-06-24 Nippon Denshi Zairyo Kk Probe card for fine pitch integrated circuit chip
JPH07167892A (en) * 1993-12-15 1995-07-04 Sony Corp Probe assembly, manufacture thereof, and probe card for measurement of ic using the same

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06174748A (en) * 1992-12-01 1994-06-24 Nippon Denshi Zairyo Kk Probe card for fine pitch integrated circuit chip
JPH07167892A (en) * 1993-12-15 1995-07-04 Sony Corp Probe assembly, manufacture thereof, and probe card for measurement of ic using the same

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