KR102538834B1

KR102538834B1 - Probe pin

Info

Publication number: KR102538834B1
Application number: KR1020210048896A
Authority: KR
Inventors: 박종군; 김경호; 윤기상; 구황섭
Original assignee: (주)위드멤스
Priority date: 2021-04-15
Filing date: 2021-04-15
Publication date: 2023-06-02
Also published as: KR20220142627A

Abstract

프로브 핀은 일 방향으로 서로 이격되어 기판 및 피검사체에 형성된 패드에 접촉하도록 형성되는 한 쌍의 팁부; 탄성 복원력을 가지고 상기 팁부 사이를 연결하도록 형성되는 몸체; 및 상기 몸체에 형성되는 수용부에 삽입되고, 탄성 변형되는 상기 몸체를 측면 방향으로 지지하도록 상기 일 방향으로 연장되게 형성되는 레일을 포함한다.The probe pins are spaced apart from each other in one direction and include a pair of tip portions formed to contact pads formed on a substrate and an object to be inspected; a body formed to connect between the tip portions with elastic restoring force; and a rail inserted into the receiving portion formed in the body and extending in one direction to support the elastically deformed body in a lateral direction.

Description

Probe Pin {PROBE PIN}

본 발명은 반도체 패키지의 전기적 특성을 테스트할 수 있는 프로브 핀에 관한 것이다.The present invention relates to a probe pin capable of testing electrical characteristics of a semiconductor package.

일반적으로 반도체 디바이스는 웨이퍼(wafer) 상에 회로 패턴 및 검사를 위한 접촉 패드를 형성하는 패브리케이션(fabrication) 공정과 회로 패턴 및 접촉 패드가 형성된 웨이퍼를 각각의 반도체 칩으로 조립하는 어셈블리(assembly) 공정을 통해서 제조된다. In general, a semiconductor device includes a fabrication process of forming circuit patterns and contact pads for inspection on a wafer and an assembly process of assembling wafers on which circuit patterns and contact pads are formed into individual semiconductor chips. manufactured through

패브리케이션 공정과 어셈블리 공정 사이에는 웨이퍼 상에 형성된 접촉 패드에 전기 신호를 인가하여 웨이퍼의 전기적 특성을 검사하는 검사 공정이 수행된다. 검사 공정은 웨이퍼의 불량을 검사하여 어셈블리 공정 시 불량이 발생한 웨이퍼의 일부분을 제거하기 위해 수행되는 공정이다.Between the fabrication process and the assembly process, an inspection process of inspecting electrical characteristics of the wafer by applying an electrical signal to a contact pad formed on the wafer is performed. The inspection process is a process performed to inspect a wafer for defects and remove a portion of the wafer where defects occur during an assembly process.

검사 공정은 주로 프로브 카드를 이용하여 수행된다. 프로브 카드는 테스터와 웨이퍼 사이의 인터페이스 기능을 수행하는 검사 장비이다. 프로브 카드는 테스터로부터 인가되는 전기 신호를 수신하는 인쇄 회로 기판 및 웨이퍼 상에 형성된 접촉 패드와 접촉하는 복수 개의 프로브 핀을 포함한다. The inspection process is mainly performed using a probe card. A probe card is an inspection device that performs an interface function between a tester and a wafer. The probe card includes a plurality of probe pins that contact contact pads formed on a printed circuit board and a wafer to receive electric signals applied from the tester.

그러나, 반도체 칩이 고집적화 됨에 따라 웨이퍼에 형성되는 회로 패턴이 고집적화 되었고, 이웃하는 접촉 패드간의 간격, 피치(pitch)가 매우 좁게 형성되고 있다. However, as semiconductor chips are highly integrated, circuit patterns formed on wafers are highly integrated, and the distances and pitches between adjacent contact pads are very narrow.

따라서, 프로브 카드에 포함되는 복수 개의 프로브 핀은 인접한 프로브 핀과의 피치가 줄어들고, 각각의 두께가 얇게 설계되고 있다. 프로브 핀의 두께가 얇아지면서 프로브 핀의 강도가 저하되어, 검사 공정에서 가해지는 횡방향의 힘에 의해 프로브 핀이 손상되거나, 프로브 핀에 의해 눌리는 웨이퍼 상의 접촉 패드가 손상되는 문제가 발생되고 있다.Accordingly, the plurality of probe pins included in the probe card have a reduced pitch with adjacent probe pins and are designed to have a thin thickness. As the thickness of the probe pin decreases, the strength of the probe pin decreases, resulting in damage to the probe pin due to a lateral force applied in an inspection process or damage to a contact pad on a wafer pressed by the probe pin.

또한, 피검사물인 웨이퍼의 접촉 패드에 단차가 존재하는 경우, 특정 프로브 핀과 접촉되지 못하는 접촉 패드가 존재하게 되고, 이에 따라 정확한 검사가 이루어지지 않는 문제점이 존재한다. In addition, when there is a step in the contact pad of a wafer, which is an object to be inspected, there is a contact pad that does not come into contact with a specific probe pin, and thus there is a problem in that accurate inspection is not performed.

이와 관련하여 탄성이 변형될 수 있는 프로브 핀이 개시되었으나, 종래의 탄성 변형 가능한 프로브 핀은 횡방향 힘에 의하여 프로브 핀이 좌굴(buckling, 座屈)될 수 있는 문제점이 존재하고, 이를 보완하기 위한 스토퍼가 개시되었으나, 프로브 핀이 압축되어 스토퍼가 접촉된 후에는 프로브 핀 전체에 응력이 가해져 프로브 핀이 손상될 염려가 여전히 존재한다.In this regard, although an elastically deformable probe pin has been disclosed, the conventional elastically deformable probe pin has a problem that the probe pin may be buckled by a lateral force, and to compensate for this, Although the stopper has been disclosed, there is still a concern that the probe pin may be damaged due to stress being applied to the entire probe pin after the stopper is brought into contact with the probe pin due to compression.

한국등록특허공보 제10-1769355호 (2017. 8. 11. 등록)Korean Registered Patent Publication No. 10-1769355 (registered on August 11, 2017)

본 발명은 전술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 검사 공정에서 횡방향 외력이 가해지는 경우, 프로브 핀이 중심축을 기준으로 자동 정렬될 수 있는 프로브 핀을 제공하고자 한다. The present invention is to solve the above-described problems of the prior art, to provide a probe pin that can be automatically aligned with respect to a central axis when a lateral external force is applied in an inspection process.

또한, 본 발명은 프로브 핀에 가해지는 횡방향의 외력에 단계적으로 대응할 수 있는 프로브 핀을 제공하고자 한다. In addition, the present invention is to provide a probe pin capable of responding step by step to an external force in a lateral direction applied to the probe pin.

또한, 본 발명은 프로브 핀의 상단부 또는 하단부에 가해지는 외력이 서로 영향을 미치지 않도록 하는 프로브 핀을 제공하고자 한다. In addition, the present invention is to provide a probe pin that prevents external forces applied to the upper end or lower end of the probe pin from affecting each other.

다만, 본 실시예가 이루고자 하는 기술적 과제는 상기된 바와 같은 기술적 과제들로 한정되지 않으며, 또 다른 기술적 과제들이 존재할 수 있다.However, the technical problem to be achieved by the present embodiment is not limited to the technical problems described above, and other technical problems may exist.

상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 수단으로서, 본 발명의 일 실시예는, 일 방향으로 서로 이격되어 기판 및 피검사체에 형성된 패드에 접촉하도록 형성되는 한 쌍의 팁부; 탄성 복원력을 가지고 상기 팁부 사이를 연결하도록 형성되는 몸체; 및 상기 몸체에 형성되는 수용부에 삽입되고, 탄성 변형되는 상기 몸체를 측면 방향으로 지지하도록 상기 일 방향으로 연장되게 형성되는 레일을 포함하는, 프로브 핀을 제공할 수 있다. As a means for achieving the above technical problem, one embodiment of the present invention is spaced apart from each other in one direction, a pair of tip portions formed to contact the pad formed on the substrate and the subject to be inspected; a body formed to connect between the tip portions with elastic restoring force; and a rail inserted into a receiving portion formed in the body and extended in one direction to support the elastically deformed body in a lateral direction.

본 발명의 일 실시예는, 상기 수용부는 상기 몸체의 내부를 상기 일 방향으로 관통하도록 형성되는 것을 특징으로 하는, 프로브 핀을 제공할 수 있다.One embodiment of the present invention may provide a probe pin, characterized in that the receiving portion is formed to penetrate the inside of the body in the one direction.

본 발명의 다른 실시예는, 상기 수용부는 상기 몸체의 양 측면에서 각각 내측으로 리세스되도록 형성되는 것을 특징으로 하는, 프로브 핀을 제공할 수 있다. Another embodiment of the present invention may provide a probe pin, characterized in that the accommodating portion is formed to be recessed inwardly from both side surfaces of the body.

본 발명의 또 다른 실시예는, 상기 레일은, 상기 수용부에 각각 삽입되고 서로 나란하게 배치되는 복수의 연장부; 및 상기 복수의 연장부를 서로 연결하도록 형성되는 연결부를 구비하는, 프로브 핀을 제공할 수 있다. Another embodiment of the present invention, the rail, a plurality of extensions are respectively inserted into the receiving portion and arranged side by side with each other; And it is possible to provide a probe pin having a connection portion formed to connect the plurality of extension portions to each other.

상술한 과제 해결 수단은 단지 예시적인 것으로서, 본 발명을 제한하려는 의도로 해석되지 않아야 한다. 상술한 예시적인 실시예 외에도, 도면 및 발명의 상세한 설명에 기재된 추가적인 실시예가 존재할 수 있다.The above-described means for solving the problems is only illustrative and should not be construed as limiting the present invention. In addition to the exemplary embodiments described above, there may be additional embodiments described in the drawings and detailed description.

전술한 본 발명의 과제 해결 수단 중 어느 하나에 의하면, 검사 공정에서 횡방향 외력이 가해지는 경우 프로브 핀이 중심축을 기준으로 자동 정렬될 수 있는 프로브 핀을 제공할 수 있다. According to any one of the problem solving means of the present invention described above, it is possible to provide a probe pin capable of being automatically aligned with respect to a central axis when a lateral external force is applied in an inspection process.

또한, 프로브 핀의 각 부분에 탄성 계수를 상이하게 설정하여 프로브 핀에 가해지는 횡방향의 외력에 단계적으로 대응할 수 있는 프로브 핀을 제공할 수 있다. In addition, it is possible to provide a probe pin capable of responding step by step to an external force in a lateral direction applied to the probe pin by setting a different modulus of elasticity to each part of the probe pin.

또한, 프로브 핀의 상측 또는 하측에 가해지는 외력이 서로 영향을 미치지 않도록 하는 프로브 핀을 제공할 수 있다.In addition, it is possible to provide a probe pin so that external forces applied to the upper or lower side of the probe pin do not affect each other.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 핀의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 핀의 일부를 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 프로브 핀의 사시도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 프로브 핀의 몸체 및 레일의 일부를 도시한 사시도이다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 프로브 핀의 사시도이다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 프로브 핀의 일부를 도시한 도면이다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 프로브 핀의 일부를 도시한 사시도이다.1 is a perspective view of a probe pin according to an embodiment of the present invention.
2 is a diagram showing a part of a probe pin according to an embodiment of the present invention.
3 is a perspective view of a probe pin according to another embodiment of the present invention.
4 is a perspective view illustrating a part of a body and a rail of a probe pin according to another embodiment of the present invention.
5 is a perspective view of a probe pin according to another embodiment of the present invention.
6 is a view showing a part of a probe pin according to another embodiment of the present invention.
7 is a perspective view showing a part of a probe pin according to another embodiment of the present invention.

아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail so that those skilled in the art can easily practice the present invention with reference to the accompanying drawings. However, the present invention may be embodied in many different forms and is not limited to the embodiments described herein. And in order to clearly explain the present invention in the drawings, parts irrelevant to the description are omitted, and similar reference numerals are attached to similar parts throughout the specification.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "전기적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미하며, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. Throughout the specification, when a part is said to be "connected" to another part, this includes not only the case where it is "directly connected" but also the case where it is "electrically connected" with another element interposed therebetween. . In addition, when a part "includes" a certain component, this means that it may further include other components, not excluding other components, unless otherwise stated, and one or more other characteristics. However, it should be understood that it does not preclude the possibility of existence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

이하 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 핀의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 핀의 일부를 도시한 도면이다. 도 1 및 2를 참조하면, 프로브 핀(100)은 팁부(110), 몸체(120) 및 레일(130)을 포함할 수 있다. 팁부(110)는 코팅부(111)를 포함할 수 있고, 몸체(120)는 수용부(121), 굴곡부(122) 및 지지부(123)를 포함할 수 있다. 레일(130)은 스토퍼(133)를 포함할 수 있다. 1 is a perspective view of a probe pin according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a view showing a part of a probe pin according to an embodiment of the present invention. Referring to FIGS. 1 and 2 , the probe pin 100 may include a tip portion 110 , a body 120 and a rail 130 . The tip portion 110 may include a coating portion 111 , and the body 120 may include a receiving portion 121 , a bent portion 122 , and a support portion 123 . The rail 130 may include a stopper 133 .

한 쌍의 팁부(110), 몸체(120) 및 레일(130)은 일체로 형성되는 것을 특징으로 한다. 예를 들어, 몸체(120)와 레일(130)은 반도체 멤스(MEMS) 공정을 통해 동시에 제조함으로써, 몸체(120)와 레일(130) 간의 공차 오류로 인한 구조적 결함을 방지할 수 있다. A pair of tip parts 110, the body 120 and the rail 130 are characterized in that they are integrally formed. For example, since the body 120 and the rail 130 are simultaneously manufactured through a MEMS process, structural defects due to tolerance errors between the body 120 and the rail 130 can be prevented.

본 발명의 일 실시예에 따른 팁부(110)는 일 방향으로 서로 이격되어 각각 기판 및 피검사체에 형성된 패드에 접촉하도록 형성될 수 있다. 예를 들어, 일단에 형성된 팁부(110)는 기판에 형성된 패드에 접촉할 수 있고, 타단에 형성된 팁부(110)는 피검사체에 형성된 패드에 접촉할 수 있다. 여기서, 일단의 팁부에 접촉되는 기판은 인쇄 회로 기판(PCB), 인터포저 기판, 또는 스페이스 트랜스포머(공간 변환) 기판을 포함할 수 있다. 또한, 타단의 팁부(110)는 피검사체에 형성된 패드에 직접적으로 접촉하는 부분으로 서로 이웃하는 프로브 핀의 팁부(110) 간의 간격은 피검사체의 피치에 대응하도록 배치될 수 있다.The tip portions 110 according to an embodiment of the present invention may be formed to be spaced apart from each other in one direction and contact pads formed on the substrate and the test subject, respectively. For example, the tip portion 110 formed at one end may contact a pad formed on a substrate, and the tip portion 110 formed at the other end may contact a pad formed on an object to be inspected. Here, the board contacting one end of the tip may include a printed circuit board (PCB), an interposer board, or a space transformer (space conversion) board. In addition, the tip portion 110 of the other end directly contacts a pad formed on the object to be inspected, and the distance between the tip portions 110 of neighboring probe pins may be arranged to correspond to the pitch of the object to be inspected.

또한, 팁부(110)는 코팅부(111)를 포함할 수 있으며, 코팅부(111)는 기판 및 피검사체에 형성된 패드에 접촉하는 표면에는 로듐(Rh)을 포함하는 재질로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 일단에 형성된 팁부(110)의 표면은 로듐을 포함하는 재질로 코팅될 수 있고, 타단에 형성된 팁부(110)의 표면 또한 로듐을 포함하는 재질로 코팅될 수 있다. 팁부(110)는 표면에 코팅부(111)를 형성함으로써 내구성을 강화할 수 있고, 이물질이 달라붙는 것을 억제할 수 있다.In addition, the tip portion 110 may include a coating portion 111, and the coating portion 111 may be made of a material containing rhodium (Rh) on a surface in contact with a pad formed on the substrate and the test subject. For example, the surface of the tip portion 110 formed at one end may be coated with a material containing rhodium, and the surface of the tip portion 110 formed at the other end may also be coated with a material containing rhodium. By forming the coating portion 111 on the surface of the tip portion 110, durability may be enhanced and foreign matter may be prevented from sticking.

본 발명의 일 실시예에 따른 몸체(120)는 탄성 복원력을 가지고 팁부(110) 사이를 연결하도록 형성될 수 있다. 몸체(120)는 수용부(121), 복수 개의 굴곡부(122) 및 지지부(123)를 포함할 수 있다.The body 120 according to an embodiment of the present invention may be formed to connect the tip portions 110 with elastic restoring force. The body 120 may include an accommodating part 121 , a plurality of bent parts 122 and a support part 123 .

예를 들어, 몸체(120)는 서로 이격 형성되어 있는 팁부(110)를 연결하며 탄성 변형 가능하도록 형성될 수 있다. 탄성 복원력을 가지는 몸체(120)는 검사 공정에서 가해지는 횡방향 외력에 대응할 수 있고, 단차가 존재하는 피검사체의 패드에도 대응할 수 있다. For example, the body 120 may connect the tip portions 110 spaced apart from each other and may be formed to be elastically deformable. The body 120 having an elastic restoring force may respond to a lateral external force applied in an inspection process and may also respond to a pad of a test subject having a step difference.

수용부(121)는 몸체(120)의 내부를 일 방향으로 관통하도록 형성될 수 있다. 예를 들어, 수용부(121)는 후술하는 레일(130)을 수용할 수 있도록 형성된다. The accommodating portion 121 may be formed to penetrate the inside of the body 120 in one direction. For example, the accommodating portion 121 is formed to accommodate a rail 130 to be described later.

복수 개의 굴곡부(122)는 탄성 복원력을 갖도록 굴곡되는 형상으로 연장되고 팁부(110) 사이에서 반복 배치되어 연결될 수 있다. 예를 들어, 복수 개의 굴곡부(122)는 지그재그로 굴곡진 형상을 형성할 수 있으며, 이를 통해 미세 전극 회로를 물리적으로 접착하여 검사하는 과정에서 발생되는 충격을 완화시킬 수 있다.The plurality of curved parts 122 may be extended in a curved shape to have elastic restoring force and may be repeatedly disposed and connected between the tip parts 110 . For example, the plurality of bent parts 122 may form a zigzag curved shape, and through this, it is possible to alleviate the shock generated during the inspection process by physically bonding the microelectrode circuit.

지지부(123)는 복수 개의 굴곡부(122) 사이에 배치되어 레일(130)에 지지될 수 있다. 예를 들어, 지지부(123)는 복수 개의 굴곡부(122) 사이에 일정 위치에 배치될 수 있다. 지지부(123)는 수용부(121)에 삽입되는 레일(130)을 지지하여 프로브 핀(100)의 중심축을 지지할 수 있도록 하며, 몸체(120)와 레일(130)을 일체로 연결시키는 역할을 한다. The support part 123 may be disposed between the plurality of curved parts 122 and supported by the rail 130 . For example, the support part 123 may be disposed at a predetermined position between the plurality of curved parts 122 . The support part 123 supports the rail 130 inserted into the receiving part 121 to support the central axis of the probe pin 100, and plays a role in integrally connecting the body 120 and the rail 130. do.

본 발명의 일 실시예에 따른 레일(130)은 몸체(120)에 형성되는 수용부(121)에 삽입되고, 탄성 변형되는 몸체(120)를 측면 방향으로 지지하도록 일 방향으로 연장되게 형성될 수 있다. 예를 들어, 레일(130)은 몸체(120)의 길이 방향 중심축을 따라 형성될 수 있다. The rail 130 according to an embodiment of the present invention may be inserted into the receiving portion 121 formed in the body 120 and extended in one direction to support the elastically deformed body 120 in the lateral direction. there is. For example, the rail 130 may be formed along a longitudinal central axis of the body 120 .

또한, 레일(130)은 몸체(120)에서 측면 방향으로 돌출되도록 형성되는 스토퍼(133)를 구비할 수 있다. 예를 들어, 스토퍼(133)는 레일(130)의 일 단부에 형성되어 몸체(120)에서 기판 또는 피검사체에 형성된 패드와 접촉하는 팁부(110)와 연결되는 부분에 배치될 수 있다. 스토퍼(133)는 검사 공정에서 프로브 핀(100)의 몸체(120)에 가해지는 외력이 팁부(110)에 미치지 않도록 대응할 수 있다.In addition, the rail 130 may include a stopper 133 formed to protrude from the body 120 in a lateral direction. For example, the stopper 133 is formed at one end of the rail 130 and may be disposed at a portion of the body 120 connected to the tip portion 110 that contacts a pad formed on a substrate or an object to be inspected. The stopper 133 may respond so that an external force applied to the body 120 of the probe pin 100 does not reach the tip portion 110 during the inspection process.

본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 핀(100)은, 몸체(120)가 레일(130)에 의해 움직일 수 있다. 따라서, 프로브 핀(100)은 레일(130)의 지지를 받아, 검사 공정에서 가해지는 횡방향의 외력에 몸체(120)가 좌굴되지 않고 중앙으로 정렬될 수 있다. 이를 통해 프로브 핀(100)은 검사 공정에서 몸체(120)의 손상을 방지할 수 있고, 검사를 보다 정확하게 진행할 수 있다. In the probe pin 100 according to an embodiment of the present invention, the body 120 can move by the rail 130. Therefore, the probe pin 100 is supported by the rail 130, so that the body 120 is not buckled by an external force in the lateral direction applied in the inspection process and can be centered. Through this, the probe pin 100 can prevent damage to the body 120 in the inspection process, and the inspection can be performed more accurately.

또한, 몸체부(120)와 레일(130)의 면 접촉으로 전체적으로 전기 신호의 경로가 짧아져 프로브 핀(100)의 저항이 감소하고 인덕턴스도 감소하여 고주파 특성이 개선될 수 있다. 이를 통해 몸체(120)와 레일(130)의 접촉으로 인하여 전류의 방향이 한 방향으로 전달되어 고전류 측정에도 효과를 가질 수 있다.In addition, due to surface contact between the body portion 120 and the rail 130 , a path of an electric signal is shortened as a whole, and thus resistance and inductance of the probe pin 100 are reduced, thereby improving high-frequency characteristics. Through this, due to the contact between the body 120 and the rail 130, the direction of the current is transmitted in one direction, so that high current measurement can be effective.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 프로브 핀의 사시도이고, 도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 프로브 핀의 몸체 및 레일의 일부를 도시한 사시도이다.3 is a perspective view of a probe pin according to another embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a perspective view showing a part of a rail and a body of the probe pin according to another embodiment of the present invention.

도 3 및 도 4를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 프로브 핀(200)은 한 쌍의 팁부(210), 몸체(220) 및 레일(230)을 포함할 수 있다. 몸체(220)는 수용부(221), 굴곡부(222), 접촉 부분(222a) 및 지지부(223)를 포함할 수 있고, 레일(230)은 스토퍼(233)를 포함할 수 있다. 한 쌍의 팁부(210), 몸체(220) 및 레일(230)은 일체로 형성되는 것을 특징으로 하며, 각 구성의 특징은 전술한 본 발명의 일 실시예와 동일하다. Referring to FIGS. 3 and 4 , a probe pin 200 according to another embodiment of the present invention may include a pair of tip parts 210 , a body 220 and a rail 230 . The body 220 may include a receiving portion 221 , a bent portion 222 , a contact portion 222a and a support portion 223 , and the rail 230 may include a stopper 233 . A pair of tip parts 210, body 220 and rail 230 are characterized in that they are integrally formed, and the characteristics of each component are the same as those of one embodiment of the present invention described above.

본 발명의 다른 실시예 따른 수용부(221)는, 도 3을 참조하면, 몸체(220)의 양 측면에서 각각 내측으로 리세스되도록 형성될 수 있다. 예를 들어, 수용부(221)는 몸체(220)의 일 측면과 타 측면에 각각 형성되어 후술하는 레일(230)을 양 측면에 각각 수용할 수 있다.Referring to FIG. 3 , the accommodating portion 221 according to another embodiment of the present invention may be formed to be recessed inward from both side surfaces of the body 220 . For example, the accommodating portion 221 may be formed on one side and the other side of the body 220 to accommodate rails 230 to be described later on both sides, respectively.

레일(230)은 양 측면 방향과 교차하는 방향으로 몸체(220)를 지지하도록 수용부(221)에 삽입될 수 있다. 예를 들어, 레일(230)은 몸체(220)의 길이 방향 중심축을 따라 몸체(220)의 양측면에 형성된 수용부(221)에 각각 삽입될 수 있다. 수용부(221)가 형성됨에 따라, 몸체는(220)는 양 측면에 레일(230)이 삽입된 부분과, 양 측면에 레일(230)이 삽입된 부분 사이에 수용부(221)가 형성되지 않은 부분으로 구획될 수 있다. The rail 230 may be inserted into the receiving portion 221 to support the body 220 in directions crossing both side directions. For example, the rails 230 may be respectively inserted into the receiving portions 221 formed on both sides of the body 220 along the central axis of the body 220 in the longitudinal direction. As the accommodating portion 221 is formed, the body 220 has no accommodating portion 221 formed between the portion where the rail 230 is inserted on both sides and the portion where the rail 230 is inserted on both sides. It can be divided into parts that are not.

본 발명의 다른 실시예에 따른 프로브 핀(200)은 몸체(220)의 양측에 각각 레일(230)을 수용함으로써, 검사 공정에서 가해지는 몸체(220) 일측의 외력이 타측에 전달되지 않도록 할 수 있다. 예를 들어, 프로브 핀(200)의 일 측 레일(230) 또는 타 측 레일(230)에 가해지는 외력이 서로 영향을 미치지 않도록 구성될 수 있다. The probe pin 200 according to another embodiment of the present invention accommodates the rails 230 on both sides of the body 220, so that an external force applied on one side of the body 220 in the inspection process is not transmitted to the other side. there is. For example, an external force applied to one rail 230 or the other rail 230 of the probe pin 200 may not affect each other.

따라서, 검사 공정에서 몸체(220)의 일 측에 과도한 외력이 가해져도 타 측에 영향을 주지 않도록 하여, 이로 인한 프로브 핀(200)의 전체적인 손상을 방지할 수 있다. 또한, 프로브 핀(200)의 양단에 각각 독립적인 외력을 가할 수 있어 보다 다양하고 세밀한 검사 공정을 수행할 수 있다.Therefore, even if an excessive external force is applied to one side of the body 220 in the inspection process, it is prevented from affecting the other side, thereby preventing overall damage to the probe pin 200 . In addition, since independent external forces can be applied to both ends of the probe pin 200, more diverse and detailed inspection processes can be performed.

본 발명의 다른 실시예에 따른 굴곡부(222)는, 도 4를 참조하면, 기설정된 곡률 반경(R)을 가지고 굴곡되도록 형성되고, 곡률 반경(R)은 서로 이웃하는 굴곡부(222)와의 간격(D)보다 큰 것을 특징으로 한다. 예를 들면, 굴곡부(222)의 곡률 반경(R)을 굴곡부(222) 간의 간격(D)보다 크게 형성함으로써 탄성 계수를 크게 변화시키는 것이 가능하다.Referring to FIG. 4, the bent portion 222 according to another embodiment of the present invention is formed to be bent with a preset radius of curvature R, and the radius of curvature R is a distance between the adjacent bent portions 222 ( D) is characterized in that it is greater than. For example, it is possible to greatly change the modulus of elasticity by making the radius of curvature R of the bent portion 222 larger than the distance D between the bent portions 222 .

또한 예를 들어, 복수 개의 굴곡부(222)는 몸체(220)를 구성하는 위치에 따라 탄성 계수를 상이하게 설정할 수 있다. 복수 개의 굴곡부(222) 중에서 몸체(220)의 양단에 배치되는 굴곡부(222)는 몸체(220)의 중앙에 배치되는 굴곡부(222) 보다 높이와 탄성 계수를 크게 형성할 수 있다.Also, for example, the elastic modulus of the plurality of bent parts 222 may be differently set according to positions constituting the body 220 . Among the plurality of curved parts 222, the curved parts 222 disposed at both ends of the body 220 may have a higher height and a higher modulus of elasticity than the curved parts 222 disposed in the center of the body 220.

따라서, 본 발명의 다른 실시예 따른 프로브 핀(200)은 몸체(220) 중앙의 굴곡부(222)가 압축되어도, 몸체(220)의 양단에 배치된 굴곡부(222)가 추가적인 댐퍼 기능을 수행할 수 있게 된다. 이를 통해 프로브 핀(200) 양단에 형성되어 있는 팁부(210)의 손상을 방지할 수 있고, 팁부(210)에 접촉되는 피검사체에 형성된 패드 손상 또한 방지할 수 있다. Therefore, in the probe pin 200 according to another embodiment of the present invention, even when the bent portion 222 in the center of the body 220 is compressed, the bent portion 222 disposed at both ends of the body 220 can perform an additional damper function. there will be Through this, damage to the tip portion 210 formed on both ends of the probe pin 200 can be prevented, and damage to the pad formed on the test subject contacting the tip portion 210 can also be prevented.

이와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 프로브 핀(200)은 각 부분에 탄성 계수를 상이하게 설정하여 프로프 핀(200)에 가해지는 횡방향의 외력에 단계적으로 대응할 수 있다.As described above, the probe pin 200 according to another embodiment of the present invention can respond to the external force in the lateral direction applied to the probe pin 200 step by step by setting different modulus of elasticity to each part.

또한, 굴곡부(222)는, 도 4를 참조하면, 탄성 변형 시 이웃하는 굴곡부(222)와 면 접촉되어 지지되도록 형성되는 접촉 부분(222a)을 구비할 수 있다. 예를 들어, 검사 공정에서 몸체(220)가 압축되는 경우, 마주보는 한 쌍의 접촉 부분(222a)의 완만한 경사면이 면 접촉될 수 있어, 몸체(220)의 중심이 보다 안정적으로 정렬될 수 있고 전기적으로도 접촉 면적이 확보될 수 있다. In addition, referring to FIG. 4 , the bent portion 222 may include a contact portion 222a formed to be supported by being in surface contact with a neighboring bent portion 222 when elastically deformed. For example, when the body 220 is compressed in the inspection process, the gently inclined surfaces of the pair of facing contact portions 222a can come into surface contact, so that the center of the body 220 can be aligned more stably. and the electrical contact area can be secured.

도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 프로브 핀의 사시도이고, 도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 프로브 핀의 일부를 도시한 도면이다. 5 is a perspective view of a probe pin according to another embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a view showing a part of a probe pin according to another embodiment of the present invention.

도 5 및 6을 참조하면, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 프로브 핀(300)은 한 쌍의 팁부(310), 몸체(320) 및 레일(330)을 포함할 수 있다. 몸체(320)는 수용부(321), 굴곡부(322) 및 지지부(323)를 포함할 수 있고, 레일(330)은 연장부(331), 연결부(332) 및 스토퍼(333)를 포함할 수 있다. 한 쌍의 팁부(310), 몸체(320) 및 레일(330)은 일체로 형성되는 것을 특징으로 하며, 각 구성의 특징은 전술한 본 발명의 일 실시예와 동일하다. Referring to FIGS. 5 and 6 , a probe pin 300 according to another embodiment of the present invention may include a pair of tip parts 310 , a body 320 and a rail 330 . The body 320 may include a receiving portion 321, a bent portion 322, and a support portion 323, and the rail 330 may include an extension portion 331, a connecting portion 332, and a stopper 333. there is. A pair of tip parts 310, body 320 and rail 330 are characterized in that they are integrally formed, and the characteristics of each component are the same as those of one embodiment of the present invention described above.

본 발명의 또 다른 실시예에 따른 레일(330)은, 도 5 및 6을 참조하면, 복수의 연장부(331) 및 연결부(332)를 포함할 수 있다. 복수의 연장부(331)는 수용부(321)에 각각 삽입되고 서로 나란하게 배치될 수 있고, 연결부(332)는 복수의 연장부(331)를 서로 연결하도록 형성될 수 있다.Referring to FIGS. 5 and 6 , the rail 330 according to another embodiment of the present invention may include a plurality of extension parts 331 and a connection part 332 . The plurality of extension parts 331 may be respectively inserted into the accommodating part 321 and disposed side by side with each other, and the connection part 332 may be formed to connect the plurality of extension parts 331 to each other.

예를 들어, 레일(330)은 몸체(320) 양측의 수용부(321)에 각각 삽입된 복수의 연장부(331)가 몸체(320)의 적어도 일 단에서 연결부(332)를 통해 서로 연결되어 하나의 레일(330)로 형성될 수 있다. 연결부(332)는 각 연장부(331)의 일 단부에서 서로 연결되도록 연장됨으로써, 레일(330)은 U자형의 형상을 가질 수 있다. 적어도 하나의 연장부(331)의 타 단부에는 스토퍼(333)가 일 측으로 돌출되도록 형성될 수 있다.For example, in the rail 330, a plurality of extension parts 331 respectively inserted into the receiving parts 321 on both sides of the body 320 are connected to each other at least one end of the body 320 through the connection part 332. It may be formed of one rail 330 . The connecting portion 332 extends from one end of each extension portion 331 to be connected to each other, so that the rail 330 may have a U-shaped shape. A stopper 333 may be formed to protrude to one side at the other end of the at least one extension part 331 .

한편, 도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 프로브 핀의 일부를 도시한 사시도이다. 도 7을 참조하면, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 프로브 핀(400)은 한 쌍의 팁부(410), 몸체(420) 및 레일(430)을 포함할 수 있다. 몸체(420)는 수용부(421) 및 굴곡부(422)를 포함할 수 있고, 레일(430)은 연장부(431) 및 연결부(432)를 포함할 수 있다. 한 쌍의 팁부(410), 몸체(420) 및 레일(430)은 일체로 형성될 수 있다.Meanwhile, FIG. 7 is a perspective view showing a part of a probe pin according to another embodiment of the present invention. Referring to FIG. 7 , a probe pin 400 according to another embodiment of the present invention may include a pair of tip parts 410 , a body 420 and a rail 430 . The body 420 may include a receiving portion 421 and a bent portion 422 , and the rail 430 may include an extension portion 431 and a connecting portion 432 . The pair of tip portions 410, the body 420, and the rail 430 may be integrally formed.

보다 구체적으로, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 레일(430)은, 도 7을 참조하면, 몸체(420)의 중앙에만 형성될 수 있다. 예를 들어, 다수의 굴곡부(422x, 422y, 422z)를 포함하는 몸체(420)에서 적어도 일 단에 배치되는 굴곡부(422z)에는 수용부(421)가 형성되지 않을 수 있어 레일(430)이 수용되지 않을 수 있다. 또한, 수용부(421)가 형성되지 않은 굴곡부(422z)에 이웃한 굴곡부(422y)는 레일(430)의 연결부(432)가 수용되어 슬라이딩 가능하도록 공간히 확보된 수용부(421)가 형성될 수 있다. 또한, 레일(430)의 연장부(431)가 수용되는 굴곡부(422x)가 일 방향으로 나란하게 배치될 수 있다. More specifically, referring to FIG. 7 , the rail 430 according to another embodiment of the present invention may be formed only in the center of the body 420 . For example, in the body 420 including the plurality of bent parts 422x, 422y, and 422z, the accommodating part 421 may not be formed in the bent part 422z disposed at at least one end, so that the rail 430 is accommodated. It may not be. In addition, the curved portion 422y adjacent to the curved portion 422z where the accommodating portion 421 is not formed has an accommodating portion 421 secured so that the connecting portion 432 of the rail 430 is accommodated and slidable. can In addition, bent portions 422x in which the extension portions 431 of the rail 430 are accommodated may be arranged in parallel in one direction.

따라서, 탄성 변형 시 레일(430)은 몸체(420)의 중앙 굴곡부(422x)에서 양단에 가까운 굴곡부(422y)까지 이동할 수 있고, 팁부(410)에 인접한 양단 굴곡부(422z)는 댐퍼 기능을 수행할 수 있다. 정리하자면, 레일(430)은 평상시 몸체(420)의 중앙 굴곡부(422x)에 배치되어 있으나, 검사 공정에서 횡방향의 외력이 가해지는 경우 양단에 가까운 굴곡부(422y)까지 이동하여 외력에 대응할 수 있다. 또한, 몸체(420)에서 양단 굴곡부(422z)는 댐퍼 기능을 수행하여 외력이 팁부(410)에 영향을 미치지 않도록 할 수 있다.Therefore, when elastically deformed, the rail 430 can move from the central curved portion 422x of the body 420 to the curved portion 422y close to both ends, and the both end bent portions 422z adjacent to the tip portion 410 can perform a damper function. can In summary, the rail 430 is normally disposed at the central bent portion 422x of the body 420, but when an external force in the lateral direction is applied during the inspection process, it can move to the bent portion 422y close to both ends to respond to the external force. . In addition, in the body 420, the both ends of the bent portion 422z may perform a damper function to prevent an external force from affecting the tip portion 410.

이와 같이, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 프로브 핀(400)은 몸체(420)의 각 부분에 탄성 계수를 상이하게 설정하여, 검사 공정에서 가해지는 횡방향의 외력에 단계적으로 대응할 수 있다.In this way, the probe pin 400 according to another embodiment of the present invention can respond to the external force in the lateral direction applied in the inspection process step by step by setting different modulus of elasticity to each part of the body 420 .

전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다. The above description of the present invention is for illustrative purposes, and those skilled in the art can understand that it can be easily modified into other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention. will be. Therefore, the embodiments described above should be understood as illustrative in all respects and not limiting. For example, each component described as a single type may be implemented in a distributed manner, and similarly, components described as distributed may be implemented in a combined form.

본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 청구범위에 의하여 나타내어지며, 청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.The scope of the present invention is indicated by the following claims rather than the above detailed description, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and equivalent concepts thereof should be construed as being included in the scope of the present invention.

100, 200, 300, 400: 프로브 핀
110, 210, 310, 410: 팁부
120, 220, 320, 420: 몸체
130, 230, 330, 430: 레일100, 200, 300, 400: probe pins
110, 210, 310, 410: tip part
120, 220, 320, 420: body
130, 230, 330, 430: rail

Claims

A pair of tip portions spaced apart from each other in one direction and formed to contact pads formed on a substrate and an object to be inspected;
a body formed to connect between the tip portions with elastic restoring force; and
A rail inserted into the receiving portion formed in the body and extending in one direction to support the elastically deformed body in a lateral direction;
The accommodating portion is formed to be recessed inwardly from both side surfaces of the body,
the rail,
a plurality of extension parts respectively inserted into the accommodating part and arranged side by side with each other; and
A probe pin having a connection portion formed to connect the plurality of extension portions to each other.

According to claim 1,
The pair of tip parts, the body and the rail are integrally formed, the probe pin.

According to claim 1,
The receiving part is characterized in that formed to penetrate the inside of the body in the one direction, the probe pin.

delete

According to claim 1,
The probe pin, characterized in that the rail is inserted into the receiving portion to support the body in a direction crossing the both side directions.

delete

According to claim 1,
the body,
a plurality of curved portions extending in a curved shape to have the elastic restoring force and repeatedly disposed and connected between the tip portions; and
A probe pin having a support portion disposed between the plurality of bent portions and supported by the rail.

According to claim 7,
The curved portion is formed to be curved with a preset radius of curvature, and the radius of curvature is greater than a distance between adjacent curved portions.

According to claim 7,
The probe pin, wherein the bent part has a contact portion formed to be supported by being in surface contact with a neighboring bent part during the elastic deformation.

According to claim 1,
The rail is provided with a stopper formed to protrude from the body in a lateral direction, the probe pin.

According to claim 1,
Characterized in that, a coating portion made of a material containing rhodium (Rh) is formed on a surface of the tip portion in contact with the pad formed on the substrate and the test subject.