KR100964653B1 - Method for fabricating large area x-ray detector using an optical tape - Google Patents
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Abstract
본 발명은 광 테이프를 이용하여 대면적 X선 검출장치의 제조 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 광 테이프를 이용하여 대면적의 센서 패널과 대면적의 신틸레이터 패널을 접착하여 대면적 X선 검출장치를 제조하는 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for manufacturing a large area X-ray detection apparatus using an optical tape, and more particularly, a large area X-ray detection is performed by bonding a large area sensor panel and a large area scintillator panel using an optical tape. It relates to a method of manufacturing the device.
본 발명은 X선을 검출하여 이미지를 획득하는 대면적 X선 검출장치의 제조 방법에 있어서, 센서 패널, 신틸레이터 패널 및 제1보호필름과 제2보호필름으로 양면이 보호된 광 테이프를 준비하는 단계; 상기 제1보호필름을 제거한 상기 광 테이프를 상기 센서 패널 상에 위치시키는 단계; 상기 광 테이프를 롤러로 압착하여 상기 센서 패널에 부착하는 단계; 상기 광 테이프의 상기 제2보호필름을 제거하는 단계; 상기 광 테이프가 부착된 상기 센서 패널 상에 상기 신틸레이터 패널을 위치시키는 단계; 및 상기 신틸레이터 패널을 롤러로 압착하여 상기 센서 패널에 부착하는 단계;를 포함하여 이루어진다.The present invention provides a method for manufacturing a large-area X-ray detection apparatus for acquiring an image by detecting X-rays, comprising: preparing a sensor panel, a scintillator panel, and an optical tape whose both sides are protected by a first protective film and a second protective film step; Positioning the optical tape on which the first protective film is removed on the sensor panel; Pressing the optical tape with a roller and attaching the optical tape to the sensor panel; Removing the second protective film of the optical tape; Positioning the scintillator panel on the sensor panel to which the optical tape is attached; And pressing the scintillator panel with a roller and attaching the scintillator panel to the sensor panel.
광 테이프, 신틸레이터 패널, 센서 패널, X선 검출장치, 롤러 Optical tape, scintillator panel, sensor panel, X-ray detector, roller
Description
본 발명은 광 테이프를 이용하여 대면적 X선 검출장치의 제조 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 광 테이프를 이용하여 대면적의 센서 패널과 대면적의 신틸레이터 패널을 접착하여 대면적 X선 검출장치를 제조하는 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for manufacturing a large area X-ray detection apparatus using an optical tape, and more particularly, a large area X-ray detection is performed by bonding a large area sensor panel and a large area scintillator panel using an optical tape. It relates to a method of manufacturing the device.
X선 검출장치는 피사체의 각 부분을 통과하는 서로 다른 X선을 투과량에 따라 서로 다른 전기 신호로 출력함으로써 상기 피사체의 내부 구조를 이미지로 재구성하는 장치이다.The X-ray detection apparatus is a device for reconstructing the internal structure of the subject into an image by outputting different X-rays passing through each part of the subject as different electric signals according to the amount of transmission.
이러한 X선 검출장치는 산업용, 의료용 등 다양한 분야에서 사용되고 있으며 특히, 의료분야에서는 다양한 신체부위의 고화질 이미지를 획득하기 위하여 활발한 연구개발이 이루어지고 있다.The X-ray detection apparatus is used in various fields, such as industrial, medical, and, in particular, in the medical field, active research and development has been made to obtain high-quality images of various body parts.
X선 검출장치의 구조를 간단히 살펴보면, 일반적으로 알루미늄층과 CsI층으로 이루어져 X선을 가시광선으로 변환하는 신틸레이터 패널과 상기 신틸레이터 패널에서 변환된 가시광선을 받아들여 가시광선의 세기에 따른 전기신호를 출력하는 TFT 패널로 이루어진다.Looking at the structure of the X-ray detection device briefly, a scintillator panel which generally consists of an aluminum layer and a CsI layer and converts the X-rays into visible light and an electric signal according to the intensity of visible light by receiving the visible light converted from the scintillator panel It consists of a TFT panel for outputting.
일반적인 X선 검출장치에는 X선이 신틸레이터 패널을 통과하여 TFT 패널까지 도달하는 동안 광학적인 확산이나 산란 등 다양한 원인으로 인하여 이미지의 질이 떨어진다는 문제점이 있다.A general X-ray detection apparatus has a problem that image quality is degraded due to various causes such as optical diffusion or scattering while X-rays pass through the scintillator panel to the TFT panel.
이러한 일반적인 X선 검출장치는 상기 신틸레이터 패널과 TFT 패널이 각각 제작되어 서로 접착함으로써 제조하게 되는데, 접착시에 상기 신틸레이터 패널과 TFT 패널은 사이의 거리를 균일하게 하여 접착하거나 기포를 함유하지않도록 하는 것은 매우 어려운 일이다.The general X-ray detection apparatus is manufactured by manufacturing the scintillator panel and the TFT panel and bonding them to each other. At the time of adhesion, the scintillator panel and the TFT panel are uniformly spaced so as not to adhere or contain bubbles. It is very difficult to do.
또한, 대면적의 신틸레이터 패널이나 TFT 패널을 접합할 수 있는 제조장치의 구성이 어려우며, 신틸레이터 패널의 크기가 크기 때문에 발생하는 수많은 공정상의 어려움이 있었다. In addition, it is difficult to construct a manufacturing apparatus capable of joining a large area scintillator panel or a TFT panel, and there are a number of process difficulties caused by the large size of the scintillator panel.
이러한 어려움은 치아나 악궁 등의 이미지를 획득하는 구강센서와 같은 소면적 X선 검출장치를 제조하는데에는 큰 문제가 되지 않지만, 흉부나 두부 및 경부 등과 같은 광범위한 부분의 이미지를 획득하는 대면적 X선 검출장치를 제조하는데에는 큰 문제로 작용하게 된다. This difficulty is not a big problem in the manufacture of small area X-ray detectors such as oral sensors that acquire images of teeth, arches, etc., but large area X-rays acquire images of a wide range of parts such as the chest, head and neck. The manufacturing of the detection device is a big problem.
이로 인해, 신틸레이터 패널과 TFT 패널을 균일하게 접합시키는 기술이나 기포의 함유를 줄일 수 있는 기술에 대한 개발이 절실히 요구되고 있다.For this reason, the development of the technique which joins a scintillator panel and TFT panel uniformly, or the technique which can reduce the content of foam | bubble is urgently required.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 제반 단점과 문제점들을 해결하기 위한 것으로, 대면적의 신틸레이터 패널과 대면적의 센서 패널을 광 테이프와 롤러를 이용하여 압착함으로써 신틸레이터 패널과 센서 패널 사이의 거리를 균일하게 유지하고, 기포의 함유를 줄임으로써 획득하는 이미지의 질을 향상시킬 수 있는 대면적 X선 검출장치의 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.Accordingly, the present invention is to solve the above disadvantages and problems of the prior art, between the scintillator panel and the sensor panel by pressing a large area scintillator panel and a large area sensor panel using an optical tape and a roller. It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing a large-area X-ray detection apparatus capable of improving the quality of an image obtained by maintaining a uniform distance and reducing the content of bubbles.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 대면적 X선 검출장치의 제조 방법은 X선을 검출하여 이미지를 획득하는 대면적 X선 검출장치의 제조 방법에 있어서, 센서 패널, 신틸레이터 패널 및 제1보호필름과 제2보호필름으로 양면이 보호된 광 테이프를 준비하는 단계; 상기 제1보호필름을 제거한 상기 광 테이프를 상기 센서 패널 상에 위치시키는 단계; 상기 광 테이프를 롤러로 압착하여 상기 센서 패널에 부착하는 단계; 상기 광 테이프의 상기 제2보호필름을 제거하는 단계; 상기 광 테이프가 부착된 상기 센서 패널 상에 상기 신틸레이터 패널을 위치시키는 단계; 및 상기 신틸레이터 패널을 롤러로 압착하여 상기 센서 패널에 부착하는 단계;를 포함하여 이루어진다.In accordance with an aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing a large area X-ray detection apparatus. The method includes a sensor panel and a scintillator. Preparing an optical tape having both surfaces protected by the panel and the first protective film and the second protective film; Positioning the optical tape on which the first protective film is removed on the sensor panel; Pressing the optical tape with a roller and attaching the optical tape to the sensor panel; Removing the second protective film of the optical tape; Positioning the scintillator panel on the sensor panel to which the optical tape is attached; And pressing the scintillator panel with a roller and attaching the scintillator panel to the sensor panel.
바람직한 실시 예에 있어서, 상기 제조 방법은 진공 챔버 내에서 이루어진다.In a preferred embodiment, the manufacturing method is in a vacuum chamber.
바람직한 실시 예에 있어서, 상기 광 테이프는 투과율이 90% 이상이며, 굴절 율이 1.45 내지 1.47인 것을 사용할 수 있다. 또한, 상기 광 테이프는 특정온도에서 열적 변형율이 낮은 재료 예를 들면, 60℃ 이하에서 열적 변형율이 낮은 재료를 사용하는 것이 바람직하다.In a preferred embodiment, the optical tape may have a transmittance of 90% or more and a refractive index of 1.45 to 1.47. In addition, it is preferable that the optical tape uses a material having a low thermal strain at a specific temperature, for example, a material having a low thermal strain at 60 ° C or lower.
바람직한 실시 예에 있어서, 상기 센서 패널의 가로 및 세로의 길이는 각각 8 내지 20 인치(inch)이고, 상기 신틸레이터 패널의 가로 및 세로의 길이는 각각 8 내지 20 인치이다. 또한, 상기 제조 방법은 상기 센서 패널의 가로 및 세로의 길이가 각각 20 인치 이상이고, 상기 신틸레이터 패널의 가로 및 세로의 길이도 각각 20인치 이상인 초대형 X선 검출장치를 제조하는데에도 적용될 수 있다.In a preferred embodiment, the width and length of the sensor panel are 8 to 20 inches, respectively, and the length and width of the scintillator panel are 8 to 20 inches, respectively. In addition, the manufacturing method may be applied to manufacturing a super-large X-ray detection apparatus having a horizontal and vertical length of the sensor panel is 20 inches or more, respectively, and the horizontal and vertical length of the scintillator panel are also 20 inches or more.
바람직한 실시 예에 있어서, 상기 센서 패널과 상기 신틸레이터 패널의 가로×세로의 길이는 8×8 인치, 10×12 인치 및 17×17 인치 중 어느 하나이다.In a preferred embodiment, the length of the width × length of the sensor panel and the scintillator panel is any one of 8 × 8 inches, 10 × 12 inches and 17 × 17 inches.
본 발명은 대면적의 신틸레이터 패널과 대면적의 센서 패널을 광 테이프와 롤러를 이용하여 압착함으로써 신틸레이터 패널과 센서 패널 사이의 거리를 균일하게 유지하고, 기포의 함유를 줄여 획득하는 이미지의 질을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다. The present invention maintains a uniform distance between the scintillator panel and the sensor panel by compressing a large area scintillator panel and a large area sensor panel using an optical tape and a roller, and reduces the content of bubbles to obtain an image quality. Provides the effect to improve.
또한, 본 발명은 광 테이프를 이용하여 접합함으로써 센서 패널에 도달하는 빛의 양을 증가시켜 정확하고 효율적인 데이터를 얻을 수 있는 효과가 있다. In addition, the present invention has the effect of obtaining accurate and efficient data by increasing the amount of light reaching the sensor panel by bonding using an optical tape.
일반적으로 대면적 X선 검출장치는 X선을 가시광으로 변환할 수 있는 파장 변환기로서 신틸레이터와 상기 광을 전기 신호로 변환하는 센서소자를 포함하며 매 트릭스 형태로 배열되어 있는 픽셀 및 상기 픽셀로부터 신호를 연속적으로 전송하기 위해 각각의 픽셀과 접속되어 있는 광센서를 포함하고 있는 센서 패널을 포함하고 있다.In general, a large-area X-ray detection apparatus is a wavelength converter capable of converting X-rays into visible light, including a scintillator and a sensor element for converting the light into an electric signal, and arranged in a matrix and a signal from the pixel. It includes a sensor panel that includes an optical sensor connected to each pixel to transmit continuously.
즉, 상기 대면적 X선 검출장치는 X선을 가시 광선으로 변환하는 신틸레이터 패널 후면에 상기 가시 광선 신호를 받아 전기신호로 변환하는 센서 패널을 부착하여 제작된다. That is, the large-area X-ray detection apparatus is manufactured by attaching a sensor panel that receives the visible light signal and converts it into an electrical signal on the back of the scintillator panel that converts X-rays into visible light.
본 발명은 상기와 같은 대면적 X선 검출장치를 제작하기 위해 상기 센서 패널과 상기 신틸레이터 패널을 광 테이프를 이용하여 접착하는 방법에 관한 것으로 이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 상세히 설명한다. 상기 가시 광선 신호를 전기신호로 변환하는 수단으로 다양한 수단을 이용할 수 있지만 TFT를 이용하는 것이 일반적이므로, 본 발명에서는 센서 패널로서 TFT 패널을 이용하여 설명하기로 한다.The present invention relates to a method for bonding the sensor panel and the scintillator panel using an optical tape to manufacture the large-area X-ray detection device as described above, with reference to the accompanying drawings an embodiment of the present invention It explains in detail. Various means can be used as a means for converting the visible light signal into an electric signal, but since TFT is generally used, the present invention will be described using a TFT panel as a sensor panel.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 광 테이프를 이용하여 제조된 대면적 X선 검출장치의 구성도이다.1 is a block diagram of a large-area X-ray detection device manufactured using an optical tape according to an embodiment of the present invention.
도 1을 참조하여 설명하면, 본 발명의 실시 예에 따른 X선 검출장치(100)은 대면적 신틸레이터 패널(110)과 대면적 TFT 패널(140) 및 상기 대면적 신틸레이터 패널(110)과 상기 대면적 TFT 패널(140)을 접합하고 있는 접합층(230)으로 이루어져 있다. Referring to FIG. 1, an
상기 대면적 신틸레이터 패널(110)은 알루미늄 플레이트(120) 및 신틸레이터(130)로 이루어져 있다. The large
상기 신틸레이터 패널(110)의 표면에는 알루미늄 플레이트(120) 반사막을 설치함으로써 신틸레이터 패널(110)의 광 출력을 증가시켜 선명한 이미지를 획득할 수 있도록 하여 준다. The aluminum plate 120 reflecting film is installed on the surface of the
그리고 상기 신틸레이터(130)는 입사되는 X선을 가시광선으로 변환시키는 패널로서, 고휘도 형광물질인 요오드화 세슘(Csl) 등을 퇴적시켜 성막하는 주상 결정구조로 이루어져 있다. 이때, 본 발명에서는 상기 신틸레이터(130)를 이루고 있는 요오드화 세슘으로서 X선 센서의 해상도를 최적화할 수 있는 적절한 두께인 0.5mm의 두께를 갖도록 제작하였다.The scintillator 130 is a panel that converts incident X-rays into visible light, and has a columnar crystal structure in which cesium iodide (Csl) or the like, which is a high-brightness fluorescent material, is deposited and deposited. In this case, in the present invention, the cesium iodide forming the scintillator 130 was manufactured to have a thickness of 0.5 mm, which is an appropriate thickness to optimize the resolution of the X-ray sensor.
상기 TFT 패널(140)은 TFT 및 가시광선을 센싱할 수 있는 포토 다이오드 등으로 이루어져 있다.The
이때, 상기 TFT 패널(140)은 가로의 길이가 8 내지 20 인치(inch)이고, 가로의 길이도 8 내지 20 인치인 대면적 TFT 패널을 이용하였다. 또한, 상기 신틸레이터 패널(130) 역시 가로 및 세로의 길이가 모두 8 내지 20 인치인 대면적 신틸레이터 패널을 이용하였다. In this case, the
즉, 본 발명은 가로 및 세로의 길이가 각각 20 인치 이상인 센서패널과, 가로 및 세로의 길이도 각각 20인치 이상인 신틸레이터 패널을 이용하여 접합함으로써 초대형 X선 검출장치를 제조할 수 있 수 있다. 한편, 바람직한 실시예로서 상기 센서 패널과 상기 신틸레이터 패널의 가로×세로의 길이가 8×8 인치, 10×12 인치 또는 17×17 인치인 대면적 X선 검출장치를 제조할 수 있다.That is, the present invention can manufacture a super-large X-ray detection apparatus by bonding using a sensor panel having a length of 20 inches or more and a scintillator panel having a length of 20 inches or more, respectively. On the other hand, as a preferred embodiment, a large-area X-ray detection apparatus having a length × width of the sensor panel and the scintillator panel having a length of 8 × 8 inches, 10 × 12 inches, or 17 × 17 inches can be manufactured.
상기 접합층(230)은 광 테이프(200)에 구비된 것으로, 제1보호필름 및 제2보 호필름에 의해 양면이 보호되어 있다. 이때, 상기 광 테이프(200)는 투과율이 90% 이상이며, 굴절율이 1.45 내지 1.47인 것을 사용할 수 있다. 또한, 상기 광 테이프는 특정온도에서 열적 변형율이 낮은 재료 예를 들면, 60℃ 이하에서 열적 변형율이 낮은 재료를 사용하는 것이 바람직하다.The
도 2a 내지 2e는 본 발명의 실시 예에 따른 광 테이프와 롤러를 이용하여 TFT 패널 및 신틸레이터 패널을 접착함으로써 X선 검출장치를 제작하는 방법에 대한 공정도이다.2A to 2E are process charts illustrating a method of manufacturing an X-ray detection apparatus by adhering a TFT panel and a scintillator panel using an optical tape and a roller according to an embodiment of the present invention.
도 2a 내지 도 2e를 참조하여 설명하면, TFT 패널(140)과 신틸레이터 패널(110) 및 제1보호필름(210)과 제2보호필름(220)으로 접합층(230)의 양면이 보호된 광 테이프(200)를 준비한다.2A to 2E, both surfaces of the
먼저, 진공 챔버(300) 내에 상기 TFT 패널(140)을 로딩한다. 본 발명에서는 접합층(230)에 포함될 수 있는 기포를 제거하기 위하여 상기 진공 챔버(300)내에서 모든 공정을 진행한다. First, the
이어서, 상기 TFT 패널(140) 광 테이프(200)를 위치시키고, 제1보호필름(210)을 제거한다. 이때, 상기 광 테이프(200)는 가시광선의 투과율 높은 광 테이프를 사용한다. Subsequently, the
계속하여 상기 제1보호필름이 제거된 광 테이프(200)를 롤러(250)를 이용하여 상기 TFT 패널(104)의 측면에서부터 압착하기 시작한다. 이때, 상기 접합층(230)이 구비된 상기 광 테이프(200)가 상기 TFT 패널(140) 상에 균일하게 접합되도록 상기 롤러(250)를 정밀하게 조절하여 압착한다. Subsequently, the
한편, 상기 광 테이프(200)에 형성된 상기 접합층(230)은 그 면적이 상기 신틸레이터 패널(110)의 면적과 동일한 것을 사용하는 것이 바람직하다.On the other hand, the
본 발명의 실시예에서는 상기 접합층(230)의 상기 TFT 패널(140) 상으로의 접합공정을 진공 챔버(300) 내에서 수행하므로 상기 접합층(230)에 포함되어 있는 기포를 제거해 낼 수 있을 뿐만 아니라, 상기 롤러(250)를 이용하므로 상기 접합층(230)의 높이를 균일하게 유지할 수 있다.In the exemplary embodiment of the present invention, since the bonding process of the
계속하여 상기 TFT 패널(140)에 압착되어 부착된 상기 광 테이프(200)의 제2보호필름(220)을 제거한 후 상기 접합층(230)만 부착되어 있는 상기 TFT 패널(140)상부에 상기 신틸레이터 패널(110)을 위치시킨다.Subsequently, the second
이때, 상기 신틸레이터 패널(110)의 일측 끝단이 상기 TFT 패널(140)의 일측 끝단과 맞닿도록 접촉시킨 후 롤러(250)를 이용하여 압착하기 시작한다. 이때, 상기 접합층(230)이 상기 신틸레이터 패널(110)과 상기 TFT 패널(140) 사이에 균일하게 접합되도록 상기 롤러(250)를 정밀하게 조절하여 압착한다. At this time, one end of the
본 발명의 실시예에서는 상기 접합층(230)이 접합된 상기 TFT 패널(140) 상에 상기 신틸레이터 패널(110)을 접합하는 공정을 상기 진공 챔버(300) 내에서 수행하므로 상기 접합층(230)에 포함되어 있는 기포를 제거해 낼 수 있을 뿐만 아니라, 상기 롤러(250)를 이용하므로 상기 신틸레이터 패널(110)과 상기 TFT 패널(140) 사이의 상기 접합층(230)의 높이를 균일하게 할 수 있다.In the exemplary embodiment of the present invention, the
상술한 바와 같이 본 발명의 실시예에 따른 대면적 X선 검출장치의 제조방법은 대면적의 신틸레이터 패널과 대면적의 센서 패널을 광 테이프와 롤러를 이용하 여 압착함으로써 신틸레이터 패널과 센서 패널 사이의 거리를 균일하게 유지하고, 기포의 함유를 줄여 획득하는 이미지의 질을 향상시킬 수 있다. As described above, in the manufacturing method of the large-area X-ray detection apparatus according to the embodiment of the present invention, a large area scintillator panel and a large area sensor panel are squeezed by using an optical tape and a roller to between the scintillator panel and the sensor panel. By maintaining the distance of the uniformity, it is possible to improve the quality of the obtained image by reducing the content of bubbles.
또한, 본 발명은 광 테이프를 이용하여 접합함으로써 센서 패널에 도달하는 빛의 양을 증가시켜 정확하고 효율적인 데이터를 얻을 수 있다. In addition, the present invention can increase the amount of light reaching the sensor panel by bonding using an optical tape to obtain accurate and efficient data.
본 발명의 실시예에 따른 X선 검출장치의 제조방법에 의해 제조된 대면적 X선 검출장치는 치과용 장비 예를 들면, 파노라마 장치, CT 장치 및 세팔로 장치 등 다양한 장비에 응용될 수 있을 뿐만 아니라, 흉부 X선 촬영장치나 맘모 장치 등과 의료용 장비에도 다양하게 적용될 수 있다. The large-area X-ray detection device manufactured by the manufacturing method of the X-ray detection device according to the embodiment of the present invention may be applied to various equipments such as dental equipment, for example, a panoramic device, a CT device, and a cephalo device. In addition, it can be applied to a variety of medical equipment such as chest X-ray apparatus or mammoth device.
특히, 17×17 인치의 대면적 X선 검출장치를 이용할 경우, 17×17 인치의 신틸레이터 패널과 17×17 인치의 센서 패널을 각각 4장씩 붙여 사용하면 초대형 X선 검출장치를 제조할 수도 있다. In particular, when using a 17 x 17 inch large area X-ray detector, a super large X-ray detector can be manufactured by attaching four 17 x 17 inch scintillator panels and 17 x 17 inch sensor panels. .
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to a preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art will be able to variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as set forth in the claims below. Could be.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 광 테이프를 이용하여 제조된 대면적 X선 검출장치의 구성도이다.1 is a block diagram of a large-area X-ray detection device manufactured using an optical tape according to an embodiment of the present invention.
도 2a 및 2e는 본 발명의 실시 예에 따른 광 테이프와 롤러를 이용하여 TFT 패널 및 신틸레이터 패널을 접착함으로써 X선 검출장치를 제작하는 방법에 대한 공정도이다.2A and 2E are flowcharts illustrating a method of manufacturing an X-ray detection apparatus by bonding a TFT panel and a scintillator panel using an optical tape and a roller according to an embodiment of the present invention.
< 도면의 주호 부호에 대한 설명 ><Description of Major Symbols in Drawings>
100 : X선 검출장치 110: 신틸레이터 패널100: X-ray detection device 110: scintillator panel
120 : 알루미늄 플레이트 130 : Csl 120: aluminum plate 130: Csl
140 : TFT 패널 200 : 광테이프140: TFT panel 200: light tape
210 : 제 1 보호필름 220 : 제 2 보호필름210: first protective film 220: second protective film
230 : 접합층 250 : 롤러 230: bonding layer 250: roller
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