KR100964637B1 - Apparatus for transferring substrate and method for measuring speed of transferring substrate - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 이송 장치 및 기판 이송 속도 측정 방법이 제공된다. 기판 이송 장치는 공정 챔버 내에 일 방향으로 소정 간격 이격되어 설치된 다수의 샤프트와, 상기 샤프트의 끝단에 설치되어 상기 샤프트를 회전시키는 구동력을 제공하는 구동 모터와, 상기 구동 모터의 일측에 설치되어 상기 구동 모터와 함께 회전하며, 소정 영역에 빛을 반사하는 슬릿이 형성된 차광판과, 상기 차광판으로 빛을 조사하고, 상기 슬릿을 통해 반사되는 빛을 주기적으로 감지하여 상기 구동 모터의 1회전 시간을 측정하는 포토 센서와, 상기 포토 센서로부터 측정된 상기 구동 모터의 1회전 시간 및 고정된 값인 차광판의 둘레를 이용하여 구동 모터의 속도를 측정하는 상기 포토 센서의 제어부를 포함한다. The present invention provides a substrate transfer apparatus and a substrate transfer speed measurement method. The substrate transfer apparatus includes a plurality of shafts installed in one direction and spaced apart in one direction, a driving motor installed at an end of the shaft to provide a driving force to rotate the shaft, and installed at one side of the driving motor. A photovoltaic plate which rotates together with a motor and has a slit formed to reflect light in a predetermined region, and emits light through the shield plate and periodically detects light reflected through the slit to measure one rotation time of the driving motor. A sensor and a control unit of the photo sensor for measuring the speed of the drive motor by using the rotational speed of the light-shielding plate which is a fixed value and the one rotation time of the drive motor measured from the photo sensor.

구동 모터, 차광판, 속도 측정 Drive motor, shading plate, speed measurement

Description

기판 이송 장치 및 기판 이송 속도 측정 방법{Apparatus for transferring substrate and method for measuring speed of transferring substrate}Apparatus for transferring substrate and method for measuring speed of transferring substrate}

본 발명은 기판 이송 장치 및 기판 이송 속도의 측정 방법에 관한 것으로 더욱 상세하게는, 기판의 이송을 위해 샤프트에 구동력을 제공하는 구동 모터의 속도를 용이하게 측정할 수 있는 기판 이송 장치 및 기판이송 속도의 측정 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a substrate transfer apparatus and a method for measuring a substrate transfer speed, and more particularly, a substrate transfer apparatus and a substrate transfer speed that can easily measure the speed of a drive motor that provides a driving force to a shaft for transfer of a substrate. It relates to the measurement method of.

일반적으로, 평판 디스플레이(Flat Panel Display) 장치는 액정 표시소자(Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이 소자(Plasma Display Panel), 유기 발광 소자(Organic Light Emitting Diodes) 등을 말한다. 이러한 평판 디스플레이 장치는 기판 상에 사진(photo), 확산(diffusion), 증착(deposition), 식각(etching), 세정(cleaning) 및 건조(drying) 등과 같은 공정들을 반복하여 제조한다. In general, a flat panel display device refers to a liquid crystal display, a plasma display panel, organic light emitting diodes, and the like. Such flat panel display devices are manufactured by repeating processes such as photo, diffusion, deposition, etching, cleaning, and drying on a substrate.

이와 같은 공정들은 해당 공정을 수행하기 위한 각 공정 챔버에서 이루어지며, 각각의 공정을 연속적으로 수행하기 위해 기판을 각각의 공정 챔버로 이송하는 기판 이송 장치가 공정 챔버들에 걸쳐 설치된다.Such processes are performed in each process chamber for performing the process, and a substrate transfer apparatus for transferring the substrate to each process chamber is installed over the process chambers to continuously perform each process.

기판 이송 장치는 대형의 유리 기판을 지지하고 이송시키기 위한 다수의 샤프트(shaft)가 소정 간격으로 설치되어 있다. 그리고 각 샤프트에는 회전하여 기판을 이송시키는 롤러가 하나 이상 설치되어 있다. 그리고, 각 롤러들에는 기판 이송시 기판의 미끄러짐을 방지하기 위해 롤러의 외주면에는 오링(O-ring)이 구비될 수 있다. The substrate transfer apparatus is provided with a plurality of shafts at predetermined intervals for supporting and transferring a large glass substrate. Each shaft is provided with one or more rollers for rotating and transporting the substrate. In addition, each of the rollers may be provided with an O-ring on the outer circumferential surface of the roller to prevent the substrate from slipping during substrate transfer.

이와 같은 기판 이송 장치는 기판의 표면에 대한 균일한 공정이 진행될 수 있도록, 일정 속도로 기판을 이송시키는 것이 요구된다. 따라서, 샤프트가 일정 속도로 회전될 수 있도록 구동력을 제공하는 구동 부재의 속도를 측정하는 것이 필요하다. Such a substrate transfer device is required to transfer the substrate at a constant speed so that a uniform process on the surface of the substrate can proceed. Therefore, it is necessary to measure the speed of the drive member that provides the driving force so that the shaft can be rotated at a constant speed.

따라서, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 기판의 이송을 위해 샤프트에 구동력을 제공하는 구동 모터의 속도를 용이하게 측정할 수 있는 기판 이송 장치를 제공하는데 있다. Accordingly, the problem to be solved by the present invention is to provide a substrate transfer apparatus that can easily measure the speed of the drive motor for providing a driving force to the shaft for the transfer of the substrate.

또한, 본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 기판의 이송을 위해 샤프트에 구동력을 제공하는 구동 모터의 속도를 용이하게 측정하는 기판 이송 속도의 측정 방법을 제공하는데 있다. In addition, another problem to be solved by the present invention is to provide a method of measuring the substrate transfer speed to easily measure the speed of the drive motor for providing a driving force to the shaft for the transfer of the substrate.

본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해되어질 수 있을 것이다.The objects of the present invention are not limited to the above-mentioned objects, and other objects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기 해결하고자 하는 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치는 공정 챔버 내에 일 방향으로 소정 간격 이격되어 설치된 다수의 샤프트와, 상기 샤프트의 끝단에 설치되어 상기 샤프트를 회전시키는 구동력을 제공하는 구동 모터와, 상기 구동 모터의 일측에 설치되어 상기 구동 모터와 함께 회전하며, 소정 영역에 빛을 반사하는 슬릿이 형성된 차광판과, 상기 차광판으로 빛을 조사하고, 상기 슬릿을 통해 반사되는 빛을 주기적으로 감지하여 상기 구동 모터의 1회전 시간을 측정하는 포토 센서와, 상기 포토 센서로부터 측정된 상기 구동 모터의 1회전 시간 및 고정된 값인 차광판의 둘레를 이용하여 구동 모터의 속도를 측정하는 상기 포토 센서의 제어부를 포함한다.The substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention for achieving the problem to be solved is a plurality of shafts installed in one direction spaced apart in one direction in the process chamber, a driving force installed on the end of the shaft to rotate the shaft A driving motor providing a light source, a light blocking plate provided on one side of the driving motor, rotating together with the driving motor, and formed with a slit reflecting light in a predetermined region, and irradiating light with the light blocking plate, and reflected through the slit. Measuring the speed of the driving motor by using a photo sensor periodically detects light to measure one rotation time of the driving motor, and a circumference of the light blocking plate which is a fixed value and the one rotation time of the driving motor measured by the photo sensor. And a control unit of the photo sensor.

상기 해결하고자 하는 다른 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 속도의 측정 방법은 샤프트의 끝단에 설치되며, 소정 영역에 슬릿이 형성된 차광판이 일측에 설치된 구동 모터를 구동시키는 단계, 포토 센서로부터 구동 모터와 함께 구동되는 상기 차광판으로 빛을 조사하는 단계, 포토 센서에서 차광판의 슬릿으로부터 반사되는 빛을 감지하는 단계, 1회 빛을 감지한 다음, 후속해서 빛이 감지될 때까지의 시간을 측정하여 상기 구동 모터의 1회전 시간을 획득하는 단계 및 시간과 상기 차광판의 둘레를 연산하여 상기 구동 모터의 속도를 출력하는 단계를 포함한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of measuring a substrate transfer speed, the method including: driving a driving motor installed at one end of a shaft, and having a light blocking plate having a slit formed in a predetermined region; Irradiating light from the photosensor to the shading plate driven together with the driving motor, sensing light reflected from the slit of the shading plate in the photo sensor, detecting the light once, and subsequently until the light is detected. Measuring a time to obtain one rotation time of the driving motor and calculating a time and a circumference of the light blocking plate to output the speed of the driving motor.

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.Specific details of other embodiments are included in the detailed description and the drawings.

상기한 바와 같은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치 및 기판 이송 속도의 측정 방법은 차광판 및 포토 센서를 이용함으로써, 회전하는 구동 모터의 속도를 보다 정확히 측정할 수 있으며, 구동 모터의 속도를 실시간으로 감시할 수 있다. As described above, the substrate transfer apparatus and the substrate transfer speed measuring method may more accurately measure a speed of a rotating driving motor by using a light shielding plate and a photo sensor, and determine the speed of the driving motor. You can monitor in real time.

그리고, 구동 모터의 속도를 실시간 감시할 수 있으므로, 포토 센서에서 측정된 구동 모터의 속도를, 구동 모터의 제어부로 피드백하여, 구동 모터의 속도가 느려지거나 빨라지는 것을 방지할 수 있다. Since the speed of the drive motor can be monitored in real time, the speed of the drive motor measured by the photo sensor can be fed back to the control unit of the drive motor to prevent the speed of the drive motor from slowing down or speeding up.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. Advantages and features of the present invention and methods for achieving them will be apparent with reference to the embodiments described below in detail with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but can be implemented in various different forms, and only the embodiments make the disclosure of the present invention complete, and the general knowledge in the art to which the present invention belongs. It is provided to fully inform the person having the scope of the invention, which is defined only by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. In the present specification, the singular form includes plural forms unless otherwise specified in the specification. As used herein, “comprises” and / or “comprising” refers to the presence of one or more other components, steps, operations and / or elements. Or does not exclude additions.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 이송 장치에 대해 상세히 설명하기로 한다. 참고로 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 본 발명의 일 실시예에서는 기판 건조 장비에 구비된 기판 이송 장치를 예로 들어 설명하며, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치는 대형 평판의 이송이 요구되는 다른 장비 또는 시스템에 적용될 수 있음은 물론이다.Hereinafter, a substrate transfer apparatus according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the following description, well-known functions or constructions are not described in detail to avoid unnecessarily obscuring the subject matter of the present invention. In addition, an embodiment of the present invention will be described by taking a substrate transfer apparatus provided in the substrate drying equipment as an example, the substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention can be applied to other equipment or systems that require the transfer of large plates. Of course.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 평면도이다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 X축 단면도이다. 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 Y축 단면도이다. 1 is a plan view of a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention. 2 is a cross-sectional view of the X-axis of the substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention. 3 is a cross-sectional view of the Y-axis of the substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 기판 이송 장치는 장방형의 공정 챔버(10)를 포함하며, 공정 챔버(10)의 양측에는 기판(G)이 반송되는 출입구(미도시)가 형성되어 있다. As shown in FIGS. 1 to 3, the substrate transfer apparatus includes a rectangular process chamber 10, and an entrance (not shown) through which the substrate G is conveyed is formed at both sides of the process chamber 10. .

공정 챔버(100)는 건조 또는 세정 공정과 같이 단위 공정이 수행되는 공간으로써, 일측에는 기판(G)이 반입되는 반입구(112)가 형성되어 있으며, 반입구(112)와 대응되는 반대편 일측에는 기판(G)이 외부로 반출되는 반출구(114)가 형성되어 있다. 그리고 공정 챔버(100)의 상부에는 공정 챔버(100) 내의 불순물 또는 공기를 외부로 배출시키는 배기구(120)가 형성되어 있다. 또한, 공정 챔버(100)의 저면에는 기판 건조시 기판(G)에서 제거되어 바닥으로 떨어진 약액 또는 세정액이 외부로 배출되는 배출 라인(130)이 연결되어 있다. The process chamber 100 is a space in which a unit process is performed, such as a drying or cleaning process, and an inlet 112 into which the substrate G is carried is formed at one side thereof, and on the opposite side of the inlet 112 corresponding to the inlet 112. A carry-out port 114 through which the substrate G is carried out is formed. In addition, an exhaust port 120 that discharges impurities or air in the process chamber 100 to the outside is formed at an upper portion of the process chamber 100. In addition, a discharge line 130 is connected to the bottom of the process chamber 100 to remove the chemical liquid or the cleaning liquid that is removed from the substrate G and dropped to the bottom when the substrate is dried.

이러한 공정 챔버(100)내에는 반입구(112)부터 반출구(114)로 기판(G)을 이송시킬 수 있도록 다수의 샤프트(210)들이 설치되어 있다. In the process chamber 100, a plurality of shafts 210 are installed to transfer the substrate G from the inlet 112 to the outlet 114.

보다 구체적으로 설명하면, 공정 챔버(100) 내에는 다수의 샤프트(210)들이 수평으로 소정 간격으로 이격되어 설치되어 있어, 다수의 샤프트(210)들 상부로 기판(G)이 이동된다. 이러한 샤프트(210)들은 이송되는 물체의 크기에 따라 길이가 결정되며, 평판 디스플레이 장치에 이용되는 대형 기판(G)을 이송하기 위해 길이가 긴 장축의 샤프트(210)들이 이용된다. In more detail, the plurality of shafts 210 are horizontally spaced apart at predetermined intervals in the process chamber 100, such that the substrate G is moved above the plurality of shafts 210. The shafts 210 have a length determined according to the size of the object to be transported, and long shafts 210 having a long length are used to transport the large substrate G used in the flat panel display apparatus.

이러한 샤프트(210)들의 양 끝단에는 풀리(230)가 설치되어 있으며, 각각의 풀리(230)는 벨트(240)에 의해 상호 연결되어 있다. 그리고 다수의 풀리(230)들 중 하나에는 샤프트(210)에 구동력을 제공하는 구동 모터(250)가 벨트(240)에 의해 연결되어 있다. 따라서, 구동 모터(250)로부터 동력을 전달받아 샤프트(210)들이 동일 방향으로 회전할 수 있다. Pulleys 230 are installed at both ends of the shafts 210, and each pulley 230 is connected to each other by a belt 240. In addition, one of the plurality of pulleys 230 is connected to the drive motor 250 providing a driving force to the shaft 210 by the belt 240. Therefore, the shafts 210 may rotate in the same direction by receiving power from the driving motor 250.

그리고, 각각의 샤프트(210)들에는 기판(G)을 지지하며, 일정 방향으로 회전하여 기판(G)을 이송시키는 다수의 롤러(212)들이 일정 간격으로 설치된다. Each of the shafts 210 supports the substrate G, and a plurality of rollers 212 are rotated in a predetermined direction to transfer the substrate G at regular intervals.

또한, 기판 이송 장치의 롤러들(220)들 상에 위치하는 기판(G) 상하부에는 이송되는 기판(G)의 상하면으로 에어 또는 약액을 분사하는 노즐(140)이 서로 대향되도록 설치되어 있다. 노즐(140)은 이송되는 기판(G)으로 충분한 양의 에어 또는 약액을 공급할 수 있도록 기판의 폭과 동일한 길이를 가질 수 있다. In addition, the nozzles 140 for injecting air or chemical liquid to the upper and lower surfaces of the substrate G are disposed on the rollers 220 of the substrate transfer device so as to face each other. The nozzle 140 may have a length equal to the width of the substrate to supply a sufficient amount of air or chemical liquid to the substrate G to be transferred.

한편, 기판 이송 장치에는 기판(G)을 일정 속도로 이송시킬 수 있도록 구동 모터(250)의 속도를 측정하는 부재들(260, 300)이 설치되어 있다. Meanwhile, members 260 and 300 for measuring the speed of the driving motor 250 are installed in the substrate transfer apparatus so as to transfer the substrate G at a constant speed.

구동 모터(250)의 속도를 측정하는 부재(260, 300)들에 대해서는 이하 도 4 및 도 5를 참조하여 상세히 설명한다.Members 260 and 300 for measuring the speed of the driving motor 250 will be described in detail with reference to FIGS. 4 and 5.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 속도 측정 부재를 자세히 나타낸 사시도이다. 도 5a 및 도 5b는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 속도 측정 부재를 나타낸 단면도이다.Figure 4 is a perspective view showing in detail the speed measuring member of the substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention. 5A and 5B are cross-sectional views illustrating a speed measuring member of a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 4, 도 5a, 도 5b를 참조하면, 샤프트(210)의 끝단에 구동 모터(250)가 설치될 수 있으며, 구동 모터(250)의 일측에는 구동 모터(250)의 속도를 측정하기 위 한 수단인 차광판(260)이 설치되어 있다. 4, 5A, and 5B, the driving motor 250 may be installed at the end of the shaft 210, and one side of the driving motor 250 may measure the speed of the driving motor 250. The light shielding plate 260 which is a means is provided.

차광판(260)은 구동 모터(250)와 동일한 속도로 회전될 수 있도록 구동 모터(250)에 부착되어 있는 것이 바람직할 것이다. 그리고 차광판(260)은 표면이 빛을 반사하지 않는 물질로 이루어져 있으며, 소정 영역에만 빛이 통과할 수 있는 슬릿(262)이 형성되어 있다. 즉, 슬릿(262)이 회전하는 구동 모터(250)의 회전 기준점이 될 수 있다. The light blocking plate 260 may be attached to the driving motor 250 so as to be rotated at the same speed as the driving motor 250. The light blocking plate 260 is made of a material whose surface does not reflect light, and a slit 262 through which light passes through only a predetermined region is formed. That is, the slit 262 may be a rotation reference point of the driving motor 250 in which the slit 262 rotates.

또한, 일측에 차광판(260)이 부착된 구동 모터(250)와 소정 간격 이격된 위치에 포토 센서(300)가 설치된다. 포토 센서(300)는 회전하는 차광판(260) 표면으로 빛을 조사함과 동시에, 표면에서 반사되는 빛을 감지한다. In addition, the photo sensor 300 is installed at a position spaced apart from the driving motor 250 to which the light blocking plate 260 is attached at one side. The photo sensor 300 irradiates light onto the surface of the rotating light blocking plate 260 and senses light reflected from the surface.

즉, 포토 센서(300)는 빛이 지나가는 경로 상에 차광판(260)의 슬릿(262)이 위치할 때만 빛을 감지할 수 있다. 따라서, 구동 모터(250)가 동작할 때, 구동 모터(250)의 1회전 시마다, 포토 센서(300)에서 빛이 감지될 수 있다. 따라서, 포토 센서(300)에서는 주기적으로 빛이 감지되는 시간을 측정할 수 있다. 즉, 포토 센서(300)에서는 구동 모터(250)가 1회전하는 동안의 시간을 측정할 수 있다. That is, the photo sensor 300 may detect light only when the slit 262 of the light blocking plate 260 is positioned on a path through which light passes. Therefore, when the driving motor 250 operates, light may be sensed by the photo sensor 300 every time the driving motor 250 rotates. Therefore, the photo sensor 300 can measure the time when the light is periodically detected. That is, in the photo sensor 300, the time during which the driving motor 250 rotates may be measured.

그리고, 포토 센서(300)의 제어부에서는 고정된 값인 차광판(260)의 둘레와, 포토 센서(300)에서 측정된 구동 모터(250)의 1회전 시간을 이용하여, 회전하는 구동 모터(250)의 속도를 얻을 수 있다. In addition, the controller of the photo sensor 300 uses the circumference of the light blocking plate 260 which is a fixed value and one rotation time of the driving motor 250 measured by the photo sensor 300 to determine the rotation of the driving motor 250. You can get speed.

이와 같이, 차광판(260) 및 포토 센서(300)를 이용함으로써, 회전하는 구동 모터(250)의 속도를 구동 모터(250)의 속도를 보다 정확히 측정할 수 있으며, 구동 모터(250)의 속도를 실시간으로 감시할 수 있다. As such, by using the light blocking plate 260 and the photo sensor 300, the speed of the rotating motor 250 may be measured more accurately with respect to the speed of the driving motor 250, and the speed of the driving motor 250 may be measured. You can monitor in real time.

또한, 구동 모터(250)의 속도를 실시간 감시할 수 있으므로, 포토 센서(300)에서 측정된 구동 모터(250)의 속도를 구동 모터(250)의 제어부로 피드백하여, 구동 모터(250)의 속도가 느려지거나 빨라지는 것을 방지할 수 있다. In addition, since the speed of the driving motor 250 can be monitored in real time, the speed of the driving motor 250 measured by the photo sensor 300 is fed back to the control unit of the driving motor 250, so that the speed of the driving motor 250 is reduced. Can be prevented from slowing down or speeding up.

다음으로, 상기와 같은 기판 이송 장치를 통해 기판 이송 속도를 측정하는 방법에 대해, 도 6을 참조하여 상세히 설명한다.Next, a method of measuring the substrate transfer speed through the substrate transfer apparatus as described above will be described in detail with reference to FIG. 6.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 속도의 측정 방법을 개략적으로 나타내는 순서도이다.6 is a flowchart schematically illustrating a method of measuring a substrate transfer speed according to an embodiment of the present invention.

도 6을 참조하면, 먼저 구동 모터(250)에 전력을 제공하여, 구동 모터를 회전시킨다(S10). 이에 따라, 구동 모터의 일측에 부착된 차광판이 함께 회전하며, 차광판 반대편에 연결된 샤프트 또한 회전된다. Referring to FIG. 6, first, power is supplied to the driving motor 250 to rotate the driving motor (S10). Accordingly, the light blocking plate attached to one side of the driving motor rotates together, and the shaft connected to the opposite side of the light blocking plate also rotates.

다음으로, 포토 센서(300)를 통해 구동 모터(250)의 1회전 시간을 측정한다(S20).Next, one rotation time of the driving motor 250 is measured through the photosensor 300 (S20).

자세히 설명하면, 구동 모터(250)가 회전할 때, 포토 센서(300)에서는 차광판(260)의 표면으로 빛을 계속해서 조사한다. 그리고, 빛이 조사되는 경로 상에 차광판(260)의 슬릿(262)이 위치할 때마다 빛이 반사되어 포토 센서(300)에 감지된다. 즉, 구동 모터(250)가 1회전할 때마다 포토 센서(300)에서 빛이 감지된다.In detail, when the driving motor 250 rotates, the photo sensor 300 continuously radiates light to the surface of the light blocking plate 260. In addition, whenever the slit 262 of the light blocking plate 260 is positioned on a path through which light is irradiated, light is reflected and sensed by the photo sensor 300. That is, light is sensed by the photo sensor 300 whenever the driving motor 250 rotates once.

이에 따라 포토 센서(300)에서는 빛이 감지된 후 다시 빛이 감지될 때까지의 시간을 측정할 수 있다. 즉, 구동 모터(250) 1회전하는 동안의 시간을 측정된다.Accordingly, the photo sensor 300 may measure a time from when the light is detected until the light is detected again. That is, the time during one rotation of the drive motor 250 is measured.

이와 같이, 포토 센서(300)에서는 반복해서 빛이 감지될 때, 구동 모터(250)의 속도가 일정할 경우 포토 센서(300)에서 빛이 감지되는 주기가 일정하다. 그리 고, 구동 모터(250)의 속도가 느려지면 주기가 길어지고, 구동 모터(250)의 속도가 빨라지면 주기가 짧아질 것이다. As such, when light is repeatedly detected in the photo sensor 300, a cycle in which light is detected by the photo sensor 300 is constant when the speed of the driving motor 250 is constant. In addition, if the speed of the drive motor 250 is lowered, the cycle will be longer, and if the speed of the drive motor 250 is faster, the cycle will be shorter.

이 후, 포토 센서(300)의 제어부에 저장된 고정값인 차광판의 둘레와, 포토 센서(300)에서 측정된 변동값인 구동 모터(250)의 1회전 시간을 계속해서 연산하여, 실시간으로 구동 모터(250)의 속도를 출력한다(S30). Thereafter, the circumference of the light blocking plate which is a fixed value stored in the control unit of the photo sensor 300 and the one rotation time of the drive motor 250 which is the variation value measured by the photo sensor 300 are continuously calculated, thereby real-time driving motor. The speed of 250 is output (S30).

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지로 치환, 변형 및 변경이 가능하므로 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.Although embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, those skilled in the art to which the present invention pertains have various permutations, modifications, and modifications without departing from the spirit or essential features of the present invention. It is to be understood that modifications may be made and other embodiments may be embodied. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 평면도이다. 1 is a plan view of a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 X축 단면도이다.2 is a cross-sectional view of the X-axis of the substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 Y축 단면도이다. 3 is a cross-sectional view of the Y-axis of the substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 속도 측정 부재를 자세히 나타낸 사시도이다.Figure 4 is a perspective view showing in detail the speed measuring member of the substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 5a 및 도 5b는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 속도 측정 부재를 나타낸 단면도이다.5A and 5B are cross-sectional views illustrating a speed measuring member of a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 속도의 측정 방법을 개략적으로 나타내는 순서도이다.6 is a flowchart schematically illustrating a method of measuring a substrate transfer speed according to an embodiment of the present invention.

*도면의 주요 부분에 대한 설명** Description of the main parts of the drawings *

100: 공정 챔버 210: 샤프트100: process chamber 210: shaft

220: 롤러 230: 풀리220: roller 230: pulley

240: 벨트 250: 구동 모터240: belt 250: drive motor

260: 차광판 262: 슬릿260: shading plate 262: slit

300: 포토 센서300: photo sensor

Claims (6)

공정 챔버 내에 일 방향으로 소정 간격 이격되어 설치된 다수의 샤프트;A plurality of shafts installed in the process chamber at predetermined intervals in one direction; 상기 샤프트의 끝단에 설치되어 상기 샤프트를 회전시키는 구동력을 제공하는 구동 모터; A drive motor installed at an end of the shaft to provide a driving force to rotate the shaft; 상기 구동 모터의 일측에 설치되어 상기 구동 모터와 함께 회전하며, 소정 영역에 빛을 반사하는 슬릿이 형성된 차광판;A light blocking plate installed at one side of the driving motor to rotate together with the driving motor and having a slit formed to reflect light in a predetermined region; 상기 차광판으로 빛을 조사하고, 상기 슬릿을 통해 반사되는 빛을 주기적으로 감지하여 상기 구동 모터의 1회전 시간을 측정하는 포토 센서; 및A photo sensor for irradiating light to the light blocking plate and periodically detecting light reflected through the slit to measure one rotation time of the driving motor; And 상기 포토 센서로부터 측정된 상기 구동 모터의 1회전 시간 및 고정된 값인 차광판의 둘레를 이용하여 구동 모터의 속도를 측정하는 상기 포토 센서의 제어부;를 포함하는 기판 이송 장치.And a controller of the photo sensor that measures the speed of the driving motor by using the rotation speed of the driving motor and the circumference of the light blocking plate which is a fixed value measured from the photo sensor. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 차광판은 원판 형상으로 형성된 기판 이송 장치. The light shielding plate is a substrate transfer device formed in the shape of a disc. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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