KR100958196B1 - Door type oscillation nozzle apparatus of wet process equipment - Google Patents

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박용순
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주식회사 티케이씨
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Abstract

PURPOSE: A door integrated oscillation nozzle device of a wet processor is provided to easily and simply wash and clean the wet processor by installing a door and a nozzle in one body. CONSTITUTION: A door(110) is installed in order to be rotatable on a chamber body(1). A nozzle unit(120) comprises an injection nozzle(123) for spraying the chemical treatment liquid on a substrate. The nozzle unit is combined in the lower part of the door. The chamber body comprises a plurality of transferring rollers(10) for transferring the substrate. The door is rotatably connected to the upper part of the chamber body through a gas type shock absorber(130).

Description

습식공정장비의 도어 일체형 오실레이션 노즐장치{DOOR TYPE OSCILLATION NOZZLE APPARATUS OF WET PROCESS EQUIPMENT}DOOR TYPE OSCILLATION NOZZLE APPARATUS OF WET PROCESS EQUIPMENT}

본 발명은 습식케미컬(화학처리액)을 사용하는 현상, 식각, 세정 등의 습식공정처리를 위한 습식공정장비에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 도어와 노즐을 일체형 구조로 하여 도어의 오픈시 노즐을 함께 오픈구조로 이동 배치할 수 있도록 하며 요동형 노즐구조를 갖도록 한 습식공정장비의 도어 일체형 오실레이션 노즐장치에 관한 것이다.The present invention relates to a wet process equipment for wet process treatment such as developing, etching, and cleaning using a wet chemical (chemical treatment liquid). More specifically, the nozzle and the nozzle when the door is opened are integrated. The present invention relates to a door-integrated oscillation nozzle apparatus of a wet process equipment that can be moved together in an open structure and has a rocking nozzle structure.

일반적으로 습식공정장비는 반도체공정 및 인쇄회로기판 제조공정에 많이 활용되는 장치로서, 공정처리를 위해 화학처리액인 습식케미컬을 사용하고 다수의 습식공정을 연속적으로 처리하기 위한 시스템설비로 많이 구축된다.Generally, wet process equipment is widely used in semiconductor process and printed circuit board manufacturing process, and it is constructed as a system facility for using wet chemical, which is a chemical treatment process, for processing a plurality of wet processes continuously. .

일 예로, 인쇄회로기판 제조공정을 살펴보면, 기판에 감광성필름인 포토레지스트를 적층한 상태에서 노광과 현상 및 식각 등의 공정을 행하고, 포토레지스트를 박리해내는 공정을 행하여 기판에 회로패턴을 형성시키게 된다.For example, in the manufacturing process of a printed circuit board, a process of exposing, developing, and etching a photoresist film laminated on a substrate is performed, and a process of peeling the photoresist is performed to form a circuit pattern on the substrate. do.

이때, 현상공정 및 식각공정은 현상액 또는 에칭액의 화학약품을 기판에 분사하게 되며, 통상 습식케미컬인 현상액 또는 에칭액을 노즐을 통해 기판측으로 분사하도록 구성된다.At this time, the developing process and the etching process is to spray the chemical of the developer or etching solution to the substrate, it is configured to spray the developer or etching solution, which is usually wet chemical to the substrate side through the nozzle.

그런데, 종래 대부분의 습식공정장비는 현상액 또는 에칭액 등의 화학약품을 분사하는데 사용되는 노즐이 본체(챔버) 내에 체결되어 고정 설치되는 구조 및 기판의 이송을 위한 이송롤러와 함께 본체 내에 얽혀 고정 배치되므로 습식공정장비의 세척 및 청소는 물론 유지보수시 작업자의 불편함 및 어려움이 뒤따르는 문제점이 있었으며, 이로 인해 제품의 품질이 저하되거나 불량이 발생되는 문제점이 있었다.By the way, in the conventional wet process equipment, the nozzle used to inject chemicals such as developer or etching solution is fastened and fixed in the main body (chamber) and is fixedly arranged in the main body together with the transfer roller for transporting the substrate. There was a problem that the inconvenience and difficulty of the worker followed by the cleaning and cleaning of the wet process equipment, as well as the maintenance, there was a problem that the quality of the product is degraded or bad.

본 발명은 상기와 같은 문제점 등을 감안하여 안출된 것으로서, 도어와 노즐을 일체형 구조로 하여 도어의 오픈시 노즐을 함께 오픈구조로 이동 배치할 수 있도록 함으로써 습식공정장비의 세척 및 청소를 쉽고 간편하게 수행할 수 있도록 하면서 유지보수의 용이함 및 편의성을 제공할 수 있도록 하며 요동형 노즐구조를 갖도록 한 습식공정장비의 도어 일체형 오실레이션 노즐장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made in view of the above problems, such that the cleaning and cleaning of the wet process equipment can be easily and conveniently performed by allowing the door and the nozzle to be integrally structured so that the nozzles can be moved together in the open structure when the door is opened. The purpose of the present invention is to provide a door-integrated oscillation nozzle apparatus of a wet process equipment that can provide easy and convenient maintenance while providing a rocking nozzle structure.

본 발명은 습식공정장비를 구성하는 챔버본체의 내부 개방 및 폐쇄에 사용되며 챔버본체 상에 회동(回動) 가능하도록 설치되는 도어와, 상기 챔버본체 내에 위치되는 기판측으로 화학처리액을 분사하기 위한 분사노즐이 구비된 노즐부로 구성하되, 상기 노즐부를 상기 도어의 하측에 위치되게 일체 결합시켜 도어의 개폐여부에 따라 챔버본체와 구분 배치 또는 합체할 수 있도록 구성한 것을 특징으로 한다.The present invention is used to open and close the interior of the chamber body constituting the wet process equipment, the door is installed to be rotatable on the chamber body, and for injecting the chemical treatment liquid to the substrate side located in the chamber body The nozzle unit is provided with a spray nozzle, but the nozzle unit is integrally coupled to be positioned at the lower side of the door so as to be configured to be arranged or combined with the chamber body according to whether the door is opened or closed.

또한, 본 발명은 상기 도어에 일체 결합시킨 다수의 분사노즐을 갖는 노즐부는 액추에이터에 결합되어 요동되게 구성하는 것을 특징으로 한다.In addition, the present invention is characterized in that the nozzle portion having a plurality of injection nozzles integrally coupled to the door is coupled to the actuator to be configured to swing.

본 발명은 도어와 노즐을 일체형 구조로 하여 도어의 오픈시 노즐을 함께 오픈구조로 이동 배치할 수 있어 습식공정장비의 챔버본체측과 결합시 챔버본체와 구분 배치할 수 있고 이에 따라 습식공정장비의 세척 및 청소를 쉽고 간편하게 수행할 수 있을 뿐더러 유지보수 또한 기존에 비해 보다 용이하고 편의하게 실시할 수 있으며, 액추에이터 결합에 의한 요동구조 및 노즐의 경사 배치구조로 화학처리액의 분사효율을 높일 수 있다.According to the present invention, the door and the nozzle are integrally structured so that the nozzles can be moved together in the open structure when the door is opened. In addition to easy and simple cleaning and cleaning, maintenance can also be performed more easily and conveniently than in the past, and the injection efficiency of chemical treatment liquid can be enhanced by the rocking structure and the inclined arrangement of the nozzle by the actuator coupling. .

본 발명을 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1 내지 도 5를 참조하여, 본 발명에 의한 습식공정장비의 도어 일체형 오실레이션 노즐장치(100)는 습식공정장비를 구성하는 챔버본체(1)의 내부 개방 및 폐쇄에 사용되며 챔버본체(1) 상에 회동(回動) 가능하도록 도어(110)가 설치되며, 상기 챔버본체(1) 내에 위치되는 기판(미 도시됨)측으로 화학처리액을 분사하기 위한 분사노즐(123)이 구비된 노즐부(120)가 상기 도어(110)와 일체 결합되는 구성으로 이루어진다.1 to 5, the door integrated oscillation nozzle apparatus 100 of the wet process equipment according to the present invention is used to open and close the interior of the chamber body 1 constituting the wet process equipment chamber 1 The nozzle 110 is installed on the door to be rotatable, and a nozzle having a spray nozzle 123 for spraying a chemical treatment liquid onto a substrate (not shown) located in the chamber body 1. The unit 120 is configured to be integrally coupled with the door 110.

이때, 상기 도어(110)는 챔버본체(1)를 커버하기 위한 상부도어의 형태로 배치되며, 상기 챔버본체(1)에는 기판을 이송 처리하기 위한 다수의 이송롤러(10)가 설치되어 있으며, 이 이송롤러(10)의 아래에 분사노즐(미 도시됨)이 더 설치될 수 있는데 이는 본 발명 노즐장치(100)의 분사노즐(123)과 함께 사용함으로써 화학처리액을 기판의 상하측에서 분사 처리할 수 있도록 하기 위함으로 기판의 양면처리에 활용할 수 있다 할 것이다.In this case, the door 110 is disposed in the form of an upper door to cover the chamber body 1, the chamber body 1 is provided with a plurality of feed rollers 10 for transferring the substrate, An injection nozzle (not shown) may be further installed below the transfer roller 10, which is used together with the injection nozzle 123 of the nozzle apparatus 100 of the present invention to inject the chemical treatment liquid from the upper and lower sides of the substrate. In order to be able to process, it can be used for double-sided processing of the substrate.

상기 도어(110)는 투명한 유리재질 또는 합성수지재질로 투시창을 형성하여 챔버본체(1)의 내부를 육안으로 확인할 수 있도록 함으로써 화학처리액의 분사상태나 동작상태 등을 용이하게 확인할 수 있도록 구성함이 바람직하다.The door 110 is a transparent glass material or a synthetic resin to form a viewing window to visually check the interior of the chamber body 1 is configured to easily check the spraying state or operation state of the chemical treatment liquid, etc. desirable.

상기 노즐부(120)는 상기 도어(110)의 하측에 일체 결합시킴에 의해 도어(110)의 개폐여부에 따라 챔버본체(1)와 구분되게 배치 또는 챔버본체(1)에 합체할 수 있도록 구성된다.The nozzle unit 120 is configured to be integrated with the chamber body 1 or arranged separately from the chamber body 1 according to whether the door 110 is opened or closed by integrally coupling to the lower side of the door 110. do.

부연하면, 상기 도어(110)는 챔버본체(1)의 상측에 배치하되 개스식 쇼바(130)를 통해 회동(回動) 가능하게 연결되어 챔버본체(1)의 내부를 개방 및 폐쇄할 수 있도록 설치되며, 도어커버(111)와, 상기 도어커버(111)의 양측단부 하면에 서로 마주하도록 대응 결합되는 가이드홈(112a)을 갖는 가이드레일(112)과, 상기 도어커버(111)의 앞측 상면에 구비되는 개폐용 손잡이(113)로 구성되게 한다.In other words, the door 110 is disposed on the upper side of the chamber body 1, but is rotatably connected through the gas-type showbar 130 so that the interior of the chamber body 1 can be opened and closed. A guide rail 112 having a door cover 111, a guide groove 112a correspondingly coupled to both bottom surfaces of the door cover 111, and facing each other, and a front upper surface of the door cover 111; To be configured as an opening and closing handle 113 provided in.

상기 노즐부(120)는 베이스프레임(121)과, 상기 베이스프레임(121)에 다수 배열되어 고정 설치되는 화학처리액 공급관(122)과, 상기 다수 배열된 화학처리액 공급관(122)마다 다수가 간격 배치되어 연결 설치되는 분사노즐(123)과, 상기 베이스프레임(121)에 결합되고 상기 가이드레일(112)의 가이드홈(112a) 내에 삽입 배치되어 도어(120)측과의 결합관계를 유지되게 하는 가이드블럭 또는 가이드롤러의 가이드부재(124)로 구성되게 한다.The nozzle unit 120 is a base frame 121, a plurality of chemical processing liquid supply pipe 122 is arranged and fixed to the base frame 121 and a plurality of the chemical processing liquid supply pipe 122 arranged in a plurality The nozzles 123 are spaced apart and connected to each other, and are coupled to the base frame 121 and inserted into the guide grooves 112a of the guide rail 112 to maintain a coupling relationship with the door 120. The guide block or guide roller 124 of the guide roller to be configured.

여기서, 상기 화학처리액 공급관(122)은 평면상에서 일측방향으로 비스듬하게 사선 배열함으로써 분사노즐(123)이 사선방향으로 배치되게 하여 분사노즐(123)을 통해 챔버본체(1) 내에 위치되는 기판측으로 분사되는 화학처리액의 분사 사각지역을 없앨 수 있도록 구성함이 바람직하다.Here, the chemical treatment liquid supply pipe 122 is arranged obliquely in one direction on a plane so that the injection nozzle 123 is disposed in an oblique direction to the substrate side located in the chamber body 1 through the injection nozzle 123. It is preferable to configure so that the spray blind spot of the chemical treatment liquid to be injected.

또한, 상기 도어(110)에 일체 결합시킨 다수의 분사노즐(123)을 갖는 노즐부(120)는 액추에이터(140)의 결합을 통해 요동되게 구성함으로써 화학처리액의 분사효율을 높일 수 있도록 구성함이 바람직하다.In addition, the nozzle unit 120 having a plurality of injection nozzles 123 integrally coupled to the door 110 is configured to oscillate through the coupling of the actuator 140 to increase the injection efficiency of the chemical treatment liquid. This is preferred.

이때, 상기 액추에이터(140)는 도어(110)의 후미에 결합되고 도어(110)의 하측에 회전축(141a)이 위치되게 한 모터(141)와, 상기 모터(141)의 회전축(141a)에 일측이 결합되고 타측은 노즐부(120)의 베이스프레임(121)에 결합되며 모터(141)의 회전운동을 왕복운동 및 요동운동으로 바꾸는 캠 또는 크랭크의 동력전달부재(142)로 구성되게 한다.At this time, the actuator 140 is coupled to the rear end of the door 110 and the motor 141 to the rotary shaft 141a is located below the door 110, and one side of the rotary shaft 141a of the motor 141 It is coupled to the other side is coupled to the base frame 121 of the nozzle unit 120 is to be composed of the power transmission member 142 of the cam or crank to convert the rotational movement of the motor 141 to reciprocating and oscillating movement.

한편, 상술한 구성을 갖는 본 발명의 습식공정장비의 도어 일체형 오실레이 션 노즐장치(100)는 도 5의 예시에서와 같이, 도어(110)와 노즐부(120)가 일체 결합된 구성으로 인쇄회로기판의 제조공정 등 기판의 습식공정처리를 위한 챔버본체(1)의 수평장비에 기본적으로 회동(回動) 가능하게 결합하여 사용함이 바람직하다 할 수 있는데, 이는 하나의 실시예를 나타낸 것일 뿐 수평장비에만 특별히 제한되는 것이 아니며 수평장비가 아닌 습식장비에도 적용 가능함은 자명하다 할 것이다.On the other hand, the door-integrated oscillation nozzle apparatus 100 of the wet process equipment of the present invention having the above-described configuration is printed in a configuration in which the door 110 and the nozzle unit 120 are integrally coupled as shown in FIG. Basically, it is preferable to combine the horizontal equipment of the chamber body 1 for the wet process treatment of the substrate, such as the manufacturing process of the circuit board, to be rotatably coupled, which is only one example. It is obvious that it is not particularly limited only to horizontal equipment, but it is also applicable to wet equipment other than horizontal equipment.

즉, 도어(110)와 노즐부(120)를 일체 결합시킨 본 발명의 노즐장치(100)는 개스식 쇼바(130)를 사용하여 챔버본체(1)에 결합되게 하되, 쇼바(130)의 일측은 노즐장치(100)의 도어(110) 측면부에 결합하고 타측은 챔버본체(1)의 측면부에 결합함으로써 습식공정장비의 노즐부를 갖는 상부도어로 활용할 수 있게 한 것이다.That is, the nozzle device 100 of the present invention in which the door 110 and the nozzle unit 120 are integrally coupled to each other is coupled to the chamber body 1 by using the gas type shobar 130, but one side of the shobar 130. Is coupled to the side portion of the door 110 of the nozzle device 100 and the other side is coupled to the side portion of the chamber body (1) to utilize the upper door having the nozzle portion of the wet process equipment.

이렇듯 본 발명에 의한 습식공정장비의 도어 일체형 오실레이션 노즐장치(100)는 챔버본체(1)와 결합된 상태 및 도어(110)를 닫아 클로징(closing)한 상태에 챔버본체 내에 위치되고 이송롤러(10)에 의해 이송되어지는 기판의 상면으로 현상이나 식각 또는 기타 습식공정처리를 위한 화학처리액을 분사하게 된다.As such, the door-integrated oscillation nozzle apparatus 100 of the wet process equipment according to the present invention is located in the chamber body in a state in which it is coupled with the chamber body 1 and closed by closing the door 110, and the transfer roller ( The chemical treatment liquid for developing, etching or other wet process is sprayed onto the upper surface of the substrate to be transported by 10).

이때, 기판측으로 화학처리액을 분사하는 분사노즐(123)을 갖는 노즐부(120)는 도어(110)에 슬라이드 직선이동이 가능하도록 가이드 결합된 상태이고 모터(141)의 동력전달부재(142)로 캠 또는 크랭크의 구성을 갖게 한 액추에이터(140)의 작동에 의해 직선왕복운동 및 요동운동을 수행하면서 화학처리액을 기판측으로 분사하게 되며, 또한 노즐부(120)는 화학처리액 공급관(122)을 경사 배열함에 따라 분사노즐(123)을 경사 배치하게 되는 구조를 가지므로 액추에이터(140)의 작동에 의한 직선왕복운동 및 요동운동의 지원과 함께 기판측으로 분사되는 화학처리액의 분사 사각지역에도 고루 분사시켜줄 수 있게 된다.At this time, the nozzle unit 120 having the injection nozzle 123 for injecting the chemical treatment liquid to the substrate side is guide coupled to allow the slide linear movement to the door 110 and the power transmission member 142 of the motor 141 The chemical treatment liquid is sprayed to the substrate while performing the linear reciprocating motion and the oscillating motion by the operation of the actuator 140 having the configuration of the furnace cam or the crank, and the nozzle unit 120 also supplies the chemical treatment liquid supply pipe 122. Since the spray nozzle 123 is inclinedly arranged according to the inclined arrangement, the spray nozzle 123 is inclined to be disposed evenly in the spray blind area of the chemical treatment liquid sprayed to the substrate side with the support of the linear reciprocating motion and the rocking motion by the operation of the actuator 140. It can be sprayed.

한편, 본 발명에 의한 습식공정장비의 도어 일체형 오실레이션 노즐장치(100)는 습식공정처리 완료 후 도어(110)를 오픈(open) 배치하게 되면, 도어(110)의 오픈과 함께 회전하여 움직이게 되므로 분사노즐(123)을 갖는 노즐부(120) 또한 오픈 배치되어 챔버본체(1) 내부에 위치되지 않고 서로 결합된 상태에서 구분 배치할 수 있게 된다.On the other hand, the door-integrated oscillation nozzle apparatus 100 of the wet process equipment according to the present invention, when the door 110 is opened after the wet process is completed, the door 110 rotates and moves together with the opening of the door 110. The nozzle unit 120 having the injection nozzle 123 is also opened to be disposed separately in a state in which the nozzle unit 120 is coupled to each other without being located inside the chamber body 1.

이에 따라, 본 발명에서는 기존 습식공정장비에서 챔버본체(1) 상에 다 구비되고 장착되었던 다수의 화학처리액 공급관과 분사노즐을 도어측에 결합시켜 챔버본체측과 나누어 구분 배치할 수 있게 하므로 기존에 비해 챔버본체(1) 내부의 구조적인 복잡성을 탈피할 수 있게 되고, 노즐부(120)가 챔버본체(1) 내에 고정 위치되는 고정식이 아니므로 습식공정장비의 세척 및 청소는 물론 유지보수를 보다 편리하면서도 용이하게 수행할 수 있게 된다.Accordingly, in the present invention, a plurality of chemical treatment liquid supply pipes and injection nozzles, which are all provided and mounted on the chamber body 1 in the conventional wet process equipment, may be combined with the door side to be divided and arranged separately from the chamber body side. Compared to the structural complexity of the chamber body 1 can be avoided, and the nozzle unit 120 is not fixed to the fixed position in the chamber body 1, the cleaning and cleaning of the wet process equipment as well as the maintenance can be performed. More convenient and easier to perform.

도 1은 본 발명에 의한 습식공정장비의 도어 일체형 오실레이션 노즐장치를 나타낸 사시도.1 is a perspective view showing the door-integrated oscillation nozzle apparatus of the wet process equipment according to the present invention.

도 2는 본 발명에 의한 습식공정장비의 도어 일체형 오실레이션 노즐장치를 나타낸 정면도.Figure 2 is a front view showing the door-integrated oscillation nozzle apparatus of the wet process equipment according to the present invention.

도 3은 본 발명에 의한 습식공정장비의 도어 일체형 오실레이션 노즐장치를 나타낸 측면도.Figure 3 is a side view showing the door integrated oscillation nozzle apparatus of the wet process equipment according to the present invention.

도 4는 본 발명에 의한 습식공정장비의 도어 일체형 오실레이션 노즐장치를 나타낸 저면 사시도.Figure 4 is a bottom perspective view showing the door integrated oscillation nozzle apparatus of the wet process equipment according to the present invention.

도 5는 본 발명의 도어일체형 오실레이션 노즐장치가 결합된 챔버본체를 포함하는 습식공정장비를 나타낸 도면.Figure 5 is a view showing a wet process equipment including a chamber body coupled to the door integrated oscillation nozzle apparatus of the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

1: 챔버 10: 이송롤러1: chamber 10: feed roller

110: 도어 111: 도어커버110: door 111: door cover

112: 가이드레일 112a: 가이드홈112: guide rail 112a: guide groove

120: 노즐부 122: 화학처리액 공급관120: nozzle portion 122: chemical treatment liquid supply pipe

123: 분사노즐 124: 가이드부재123: injection nozzle 124: guide member

130: 개스식 쇼버 140: 액추에이터130: gas shock 140: actuator

141: 모터 142: 동력전달부재141: motor 142: power transmission member

Claims (6)

습식공정장비를 구성하는 챔버본체의 내부 개방 및 폐쇄에 사용되며 챔버본체 상에 회동(回動) 가능하도록 설치되는 도어와 상기 챔버본체 내에 위치되는 기판측으로 화학처리액을 분사하기 위한 분사노즐이 구비된 노즐부로 구성하되, 상기 노즐부를 상기 도어의 하측에 위치되게 일체 결합시켜 도어의 개폐여부에 따라 챔버본체와 구분 배치 또는 합체할 수 있도록 구성되는 습식공정장비의 도어 일체형 오실레이션 노즐장치에 있어서,Used to open and close the chamber body constituting the wet process equipment, the door is installed to be rotatable on the chamber body, and a spray nozzle for injecting chemical treatment liquid to the substrate side located in the chamber body is provided. In the door unit oscillation nozzle apparatus of the wet process equipment configured to be configured to be combined with the nozzle unit, the nozzle unit is located in the lower side of the door to be separated or combined with the chamber body according to the opening or closing of the door, 상기 도어는 챔버본체와 개스식 쇼바로 연결되고, 도어커버와, 상기 도어커버의 양측단부 하면에 서로 마주하도록 대응 결합되는 가이드홈을 갖는 가이드레일과, 상기 도어커버의 앞측 상면에 구비되는 개폐용 손잡이로 구성되며;The door is connected to the chamber body and a gas-type show bar, and a guide rail having a door cover, a guide groove correspondingly coupled to both sides of the lower end of the door cover, and an opening and closing provided on the front upper surface of the door cover. Consisting of a handle; 상기 노즐부는 베이스프레임과, 상기 베이스프레임에 다수 배열되어 고정 설치되는 화학처리액 공급관과, 상기 다수 배열된 화학처리액 공급관마다 다수가 간격 배치되어 연결 설치되는 분사노즐과, 상기 베이스프레임에 결합되고 상기 가이드레일의 가이드홈 내에 삽입 배치되는 가이드블럭 또는 가이드롤러의 가이드부재로 구성되는 것을 특징으로 하는 습식공정장비의 도어 일체형 오실레이션 노즐장치.The nozzle unit is coupled to the base frame, the chemical treatment solution supply pipe is arranged in a plurality of fixed to the base frame, a plurality of injection nozzles are arranged in a spaced interval is connected to each of the plurality of chemical treatment solution supply pipe, Door integrated oscillation nozzle device of the wet process equipment, characterized in that consisting of the guide member of the guide block or guide roller is inserted into the guide groove of the guide rail. 습식공정장비를 구성하는 챔버본체의 내부 개방 및 폐쇄에 사용되며 챔버본체 상에 회동(回動) 가능하도록 설치되는 도어와 상기 챔버본체 내에 위치되는 기판측으로 화학처리액을 분사하기 위한 분사노즐이 구비된 노즐부로 구성하되, 상기 노즐부는 상기 도어의 하측에 위치되게 일체 결합시켜 도어의 개폐여부에 따라 챔버본체와 구분 배치 또는 합체할 수 있도록 되고 액추에이터에 결합되어 요동되게구성되는 습식공정장비의 도어 일체형 오실레이션 노즐장치에 있어서,Used to open and close the chamber body constituting the wet process equipment, the door is installed to be rotatable on the chamber body, and a spray nozzle for injecting chemical treatment liquid to the substrate side located in the chamber body is provided. It consists of a nozzle unit, wherein the nozzle unit is integrally coupled to be located on the lower side of the door to be arranged or combined with the chamber body according to the opening and closing of the door and coupled to the actuator door integral type of wet process equipment is configured to swing In oscillation nozzle apparatus, 상기 액추에이터는 도어의 후미에 결합되고 도어의 하측에 회전축이 위치되게 한 모터와,The actuator is coupled to the rear end of the door and the motor has a rotary shaft located on the lower side of the door, 상기 모터의 회전축에 일측이 결합되고 타측은 노즐부에 결합되며 모터의 회전운동을 왕복운동 및 요동운동으로 바꾸기 위한 캠 또는 크랭크의 동력전달부재로 구성한 것을 특징으로 하는 습식공정장비의 도어 일체형 오실레이션 노즐장치.One side is coupled to the rotating shaft of the motor and the other side is coupled to the nozzle portion, the door integral oscillation of the wet process equipment, characterized in that it consists of a cam or crank power transmission member for converting the rotational motion of the motor into reciprocating motion and rocking motion Nozzle unit. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 화학처리액 공급관은 평면상에서 사선 배치함에 따라 분사노즐을 통해 기판측으로 분사하는 화학처리액의 분사 사각지역을 없앨 수 있도록 구성한 것을 특징으로 하는 습식공정장비의 도어 일체형 오실레이션 노즐장치.The chemical treatment liquid supply pipe is a door-integrated oscillation nozzle apparatus of a wet process equipment, characterized in that configured to eliminate the blind spot of the chemical treatment liquid to be sprayed to the substrate side through the injection nozzle in a diagonally arranged on a plane. 제1항 또는 제2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 도어는 투명한 유리재질 또는 합성수지재질로 투시창을 형성하여 챔버본체의 내부를 육안으로 확인할 수 있도록 구성한 것을 특징으로 하는 습식공정장비의 도어 일체형 오실레이션 노즐장치.The door is a door integrated oscillation nozzle device of a wet process equipment, characterized in that the transparent glass material or a synthetic resin material to form a see-through window configured to visually check the inside of the chamber body. 삭제delete 삭제delete
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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