JP2007129160A - Pod-shell cleaning apparatus and pod-shell cleaning method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、ポッドシェル洗浄装置及びポッドシェル洗浄乾燥方法に係わり、特に、薬液洗浄によってポッドシェルの金属による汚れを除去できるポッドシェル洗浄装置及びポッドシェル洗浄方法に関し、また、上蓋の開閉にスペースを必要としないポッドシェル洗浄装置に関する。 The present invention relates to a pod shell cleaning device and a pod shell cleaning / drying method, and more particularly to a pod shell cleaning device and a pod shell cleaning method capable of removing dirt due to metal of a pod shell by chemical cleaning, and a space for opening and closing an upper lid. The present invention relates to a pod shell cleaning device that is not required.
半導体の製造は多数の工程を極めて高いクリーン度のもとで行わなければならないが、全ての工程におよぶ広大な環境を高いクリーン度に保つのはコスト面で限界がある。このため、局所環境(ミニ・エンバイロメント)だけを高いクリーン度に保つ手段の開発が進められている。例えば、ウエハをFOUP(Front Opening Unified Pod)と呼ばれる密閉型容器で搬送し、密閉型容器ごとウエハを半導体製造工程に入れ、密閉型容器を直接製造装置とドッキングさせて作業を進めるもので、密閉型容器内部の環境を管理することで製造工程内におけるウエハの高いクリーン度を維持することができることになる。 Semiconductor manufacturing requires many processes to be performed under a very high degree of cleanness, but there is a limit in terms of cost to keep a large environment in all processes at a high degree of cleanliness. For this reason, development of means for keeping only the local environment (mini-environment) at a high degree of cleanliness is underway. For example, a wafer is transported in a sealed container called FOUP (Front Opening Unified Pod), the wafer is put into the semiconductor manufacturing process together with the sealed container, and the work is performed by directly docking the sealed container with the manufacturing equipment. By managing the environment inside the mold container, it is possible to maintain a high degree of cleanness of the wafer in the manufacturing process.
ところで、このような密閉型容器は、多数のウエハを収納して搬送するのであるが、その際にウエハと容器内面とが擦れて内部にパーティクル等の汚れが生じ、また容器はクリーン度の低いところを移送されるため外面が汚染され易く、蓋を外したときに内部に収納したウエハを汚染するおそれがある。そこで、容器を定期的に洗浄する必要がある。 By the way, such a sealed container accommodates and transports a large number of wafers. At that time, the wafer and the inner surface of the container are rubbed to cause contamination such as particles, and the container has a low cleanliness. However, since it is transferred, the outer surface is easily contaminated, and when the lid is removed, the wafer housed inside may be contaminated. Therefore, it is necessary to periodically clean the container.
図17に示すように、FOUP80は、その前面に開口部81を有して基板を水平状態で収納する容器本体であるポッドシェル82と、開口部81をシール可能に閉鎖してポッドシェル82に係合する蓋体であるドアシェル83を備えたものである。尚、ドアシェル83は、開口部81をシール可能に閉鎖するためのパッキン84を備えている。
ドアシェル83とポッドシェル82を結合して組み立てる際は、ドアシェルの内面85がポッドシェルの内面に対向するように設置し、ロック部(留め具)86によってドアシェルとポッドシェルを留めることでFOUPとする。FOUP80は必要に応じて、ポッドシェル82とドアシェル83に分解されて、それぞれ別々に洗浄される。
As shown in FIG. 17, the FOUP 80 has a
When the
図18は、従来のFOUP洗浄乾燥装置を模式的に示す上面図である。図19は、図18に示す矢印101の方向から視たFOUP洗浄乾燥装置の側面図である。図20は、図18に示す矢印102の方向から視たFOUP洗浄乾燥装置の側面図である。図21は、図18に示す矢印103の方向から視たFOUP洗浄乾燥装置の側面図である。
FIG. 18 is a top view schematically showing a conventional FOUP cleaning / drying apparatus. FIG. 19 is a side view of the FOUP cleaning / drying apparatus viewed from the direction of the arrow 101 shown in FIG. FIG. 20 is a side view of the FOUP cleaning / drying apparatus viewed from the direction of the
図18〜図21に示すように、従来のFOUP洗浄乾燥装置は、ドアシェル洗浄槽104、ドアシェル乾燥槽105、ポッドシェル洗浄槽106、ポッドシェル乾燥槽107、ポッドシェル搬送機108、ドアシェル搬送機109、電装ボックス110及びクリーンユニット111を有している。
As shown in FIGS. 18 to 21, the conventional FOUP cleaning and drying apparatus includes a door
まず、ポッドシェルの洗浄方法について説明する。開口部を下に向けたポッドシェルをポッドシェル洗浄槽106内に収容し、ポッドシェル洗浄槽106に洗浄用の純水を導入しながらポッドシェル内の空気を排気する。これにより、開口部からポッドシェルの内部に純水が効率よく導入されつつ洗浄槽106内も純水で満たされ、ポッドシェルが洗浄槽内の洗浄水に浸漬される。次に、ポッドシェル及び洗浄水に超音波振動を印加することにより超音波洗浄が行われる。
First, a method for cleaning the pod shell will be described. The pod shell with the opening facing downward is accommodated in the pod
次に、ポッドシェルの乾燥方法について説明する。ポッドシェル洗浄槽106によって洗浄されたポッドシェルを、ポッドシェル搬送機108によってポッドシェル乾燥槽107に搬送し、乾燥槽107内に収容する。次いで、ポッドシェル乾燥槽107において、洗浄後のポッドシェルの外側面及び内面に熱風を吹きかけて熱風乾燥を行う。所定時間乾燥させた後、ポッドシェル乾燥槽内を減圧して減圧乾燥を行う。所定時間減圧した後、ポッドシェル乾燥槽を大気開放し、常圧に戻してから再び熱風乾燥及び減圧乾燥を繰り返す。(例えば特許文献1参照)。
Next, a method for drying the pod shell will be described. The pod shell cleaned by the pod
次に、ドアシェルの洗浄方法について説明する。ドアシェルの内面をドアシェル洗浄槽104側に向けて固定し、ドアシェルの内面に洗浄用の純水を吹き付ける。これにより、ドアシェルの内面、パッキン及びその近傍が洗浄される。
Next, a method for cleaning the door shell will be described. The inner surface of the door shell is fixed toward the door
次に、洗浄後のドアシェルを、ドアシェル搬送機109によってドアシェル洗浄槽104からドアシェル乾燥槽105に搬送する。次いで、ドアシェル乾燥槽105において、ドアシェルの内面に清浄な高圧空気を吹き付け、ドアシェルの内面に付着して残っていた純水を吹き飛ばして除去する(例えば特許文献2参照)。その他のドアシェルの乾燥方式として、空気を加熱して乾燥させる熱風発生器を用いた熱風乾燥なども用いられている。
Next, the washed door shell is transferred from the door
図22は、図18に示すポッドシェル洗浄槽106の構成を示す断面図である。
ポッドシェル洗浄槽106は2枚の上蓋112a,112bが開閉するように構成されている。上蓋112a,112bはポッドシェル洗浄槽106の上側に開くようになっており、2枚の上蓋それぞれに駆動源としてのモーター(図示せず)が接続されている。
FIG. 22 is a cross-sectional view showing the configuration of the pod
The pod
次に、ポッドシェル洗浄槽の動作について説明する。
まず、モーターの駆動力によって上蓋112a,112bを開き、ポッドシェル82をポッドシェル洗浄槽106内に収容し、モーターの駆動力によって上蓋を閉じる。次いで、上述したような洗浄方法でポッドシェルを洗浄した後、図22に示すように上蓋を開き、洗浄後のポッドシェル82を搬送機によってポッドシェル洗浄槽106から取り出してポッドシェル乾燥槽に搬送する。
Next, the operation of the pod shell cleaning tank will be described.
First, the
ところで、従来のFOUP洗浄乾燥装置のポッドシェル洗浄槽では、ポッドシェルの洗浄を純水によって行っているため、金属による汚れを除去することが困難であった。また、従来のポッドシェル洗浄方法では、洗浄槽内の純水にポッドシェルを浸漬して超音波による洗浄を行うため、純水使用量が多くなり、洗浄のランニングコストが高くなってしまう。これに加えて、洗浄槽内に純水を導入し、排出するという動作を繰り返すため、純水の導入と排出に時間を要し、スループットが悪くなっていた。 By the way, in the pod shell cleaning tank of the conventional FOUP cleaning / drying apparatus, since the pod shell is cleaned with pure water, it is difficult to remove metal contamination. Further, in the conventional pod shell cleaning method, since the pod shell is immersed in pure water in the cleaning tank and cleaning is performed by ultrasonic waves, the amount of pure water used is increased, and the running cost of cleaning is increased. In addition to this, since the operation of introducing and discharging pure water into the cleaning tank is repeated, it takes time to introduce and discharge pure water, resulting in poor throughput.
また、図22に示すように、上蓋がポッドシェル洗浄槽の上方外側に開く構造であるため、上蓋が開いた状態でポッドシェルをポッドシェル搬送機によって取り出すことになり、その結果、ポッドシェル洗浄槽の上方に搬送用の空間を大きくとる必要がある。つまり、ポッドシェルの大きさだけでなく開いた上蓋のスペースがさらに必要となるため、前記搬送用の空間を大きくとることになる。従って、FOUP洗浄乾燥装置の小型化を妨げる一因となっていた。 Further, as shown in FIG. 22, since the upper lid has a structure that opens to the upper outside of the pod shell cleaning tank, the pod shell is taken out by the pod shell transporter with the upper lid opened, and as a result, the pod shell cleaning is performed. It is necessary to make a large space for conveyance above the tank. That is, since not only the size of the pod shell but also the space of the opened upper lid is necessary, the space for the transfer is increased. Therefore, it has been a factor that hinders downsizing of the FOUP cleaning and drying apparatus.
本発明は上記のような事情を考慮してなされたものであり、その目的は、ポッドシェルの金属による汚れを除去できるポッドシェル洗浄装置及びポッドシェル洗浄方法を提供することにある。また、本発明の他の目的は、上蓋の開閉にスペースを必要としないポッドシェル洗浄装置を提供することにある。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a pod shell cleaning apparatus and a pod shell cleaning method capable of removing dirt from the metal of the pod shell. Another object of the present invention is to provide a pod shell cleaning device that does not require a space for opening and closing the upper lid.
上記課題を解決するため、本発明に係るポッドシェル洗浄装置は、ポッドシェルを洗浄する洗浄槽と、
前記洗浄槽内に配置され、前記ポッドシェルをその開口部を下方に向けて保持するベースと、
前記ベースを回転させる回転機構と、
前記ベース上に配置され、該ベースに保持された前記ポッドシェルの内面に薬液及び純水を噴射するノズルと、
を具備することを特徴とする。
In order to solve the above problems, a pod shell cleaning apparatus according to the present invention includes a cleaning tank for cleaning a pod shell,
A base disposed in the cleaning tank and holding the pod shell with its opening facing downward;
A rotation mechanism for rotating the base;
A nozzle that is disposed on the base and injects a chemical solution and pure water onto the inner surface of the pod shell held by the base;
It is characterized by comprising.
上記ポッドシェル洗浄装置によれば、ベースにポッドシェルをその内面を下方に向けて保持し、前記ベースを回転機構によって回転させながらポッドシェルの内面にノズルから薬液を噴射して洗浄することができる。従って、ポッドシェルの金属による汚れを薬液によって除去することができる。
なお、前記ノズルは、薬液専用ノズルと純水専用ノズルに分けられていても良いし、薬液と純水の両方を噴射できるノズルであっても良い。この場合は、薬液と純水を切り替えてノズルから噴射できる機構を有することが好ましい。
According to the above pod shell cleaning device, the pod shell can be held on the base with its inner surface facing downward, and the base can be cleaned by spraying a chemical solution from the nozzle to the inner surface of the pod shell while rotating the base by a rotating mechanism. . Therefore, the metal contamination of the pod shell can be removed with the chemical solution.
The nozzle may be divided into a chemical solution dedicated nozzle and a pure water dedicated nozzle, or a nozzle capable of injecting both a chemical solution and pure water. In this case, it is preferable to have a mechanism capable of switching the chemical liquid and pure water and injecting from the nozzle.
また、本発明に係るポッドシェル洗浄装置において、前記ポッドシェルの外面に純水を噴射する純水用ノズルをさらに具備することも可能である。これにより、純水によるリンス効果を高めることができる。 The pod shell cleaning apparatus according to the present invention may further include a pure water nozzle that injects pure water onto the outer surface of the pod shell. Thereby, the rinse effect by a pure water can be heightened.
本発明に係るポッドシェル洗浄方法は、洗浄槽内のベース上にポッドシェルをその開口部を下方に向けて保持し、
前記ベースを回転させて前記ポッドシェルを回転させながら該ポッドシェルの内面に薬液を噴射することにより、該ポッドシェルの内面を前記薬液で洗浄し、
前記ベースを回転させて前記ポッドシェルを回転させながら該ポッドシェルの内面に純水を噴射することにより、該ポッドシェルの内面を前記純水でリンスすることを特徴とする。
The pod shell cleaning method according to the present invention holds the pod shell on the base in the cleaning tank with its opening facing downward,
The inner surface of the pod shell is washed with the chemical solution by spraying the chemical solution onto the inner surface of the pod shell while rotating the pod shell by rotating the base.
The inner surface of the pod shell is rinsed with the pure water by spraying pure water onto the inner surface of the pod shell while rotating the pod shell by rotating the base.
また、ポッドシェル洗浄方法において、前記ポッドシェルの内面に純水を噴射する際に、該ポッドシェルの外面にも純水を噴射することにより、該ポッドシェルの内面及び外面の両面をリンスすることも可能である。 Further, in the pod shell cleaning method, when pure water is sprayed on the inner surface of the pod shell, the pure water is also sprayed on the outer surface of the pod shell, thereby rinsing both the inner surface and the outer surface of the pod shell. Is also possible.
本発明に係るポッドシェル洗浄装置は、ポッドシェルを洗浄する洗浄槽と、
前記洗浄槽の上部に設けられた上蓋と、
前記上蓋を前記洗浄槽内で開閉動作させる駆動機構と、
を具備することを特徴とする。
The pod shell cleaning apparatus according to the present invention includes a cleaning tank for cleaning the pod shell,
An upper lid provided at the top of the washing tank;
A drive mechanism for opening and closing the upper lid in the cleaning tank;
It is characterized by comprising.
また、本発明に係るポッドシェル洗浄装置において、前記駆動機構は、前記上蓋の一方の端部が前記洗浄槽の上面に沿って動かされ、前記上蓋の他方の端部が前記洗浄槽の側面に沿って動かされることが好ましい。 Further, in the pod shell cleaning apparatus according to the present invention, the drive mechanism is configured such that one end of the upper lid is moved along the upper surface of the cleaning tank, and the other end of the upper lid is on the side surface of the cleaning tank. It is preferably moved along.
また、本発明に係るポッドシェル洗浄装置において、前記上蓋の一方の端部に設けられた第1のローラと、
前記上蓋の他方の端部に設けられた第2のローラと、
前記上蓋における前記一方の端部と前記他方の端部との間に設けられた第3のローラと、
前記第1のローラを略水平方向にガイドする水平ガイドレールと、
前記第2のローラを略垂直方向にガイドする垂直ガイドレールと、
前記駆動機構によって回転力が加えられる回転軸を一方側に有し且つ他方側に前記第3のローラを組み合わせる長孔を有する駆動アームと、
をさらに具備し、
前記回転軸は前記水平ガイドレールと前記垂直ガイドレールが近接するコーナーに近い側に配置され、
前記第1のローラ、前記第2のローラ、前記第3のローラ、前記水平ガイドレール、前記垂直ガイドレール及び前記駆動アームは前記洗浄槽内に配置されていることが好ましい。
Further, in the pod shell cleaning apparatus according to the present invention, a first roller provided at one end of the upper lid,
A second roller provided at the other end of the upper lid;
A third roller provided between the one end and the other end of the upper lid;
A horizontal guide rail for guiding the first roller in a substantially horizontal direction;
A vertical guide rail for guiding the second roller in a substantially vertical direction;
A drive arm having a rotary shaft to which a rotational force is applied by the drive mechanism on one side and a long hole combining the third roller on the other side;
Further comprising
The rotating shaft is disposed on the side near the corner where the horizontal guide rail and the vertical guide rail are close to each other,
It is preferable that the first roller, the second roller, the third roller, the horizontal guide rail, the vertical guide rail, and the drive arm are disposed in the cleaning tank.
また、本発明に係るポッドシェル洗浄装置において、前記洗浄槽外に配置されアームと、
前記洗浄槽外に配置され、前記アームの一方側に取り付けられた連結リンクと、
をさらに具備し、
前記洗浄槽外に延ばされた前記回転軸が前記アームの他方側に取り付けられ、
前記駆動機構によって前記連結リンクを該連結リンクに沿う方向に移動させることにより、前記アームを介して前記回転軸に回転力が加えられることが好ましい。
Further, in the pod shell cleaning apparatus according to the present invention, an arm arranged outside the cleaning tank,
A connecting link disposed outside the washing tank and attached to one side of the arm;
Further comprising
The rotating shaft extended outside the washing tank is attached to the other side of the arm,
It is preferable that a rotational force is applied to the rotating shaft via the arm by moving the connecting link in a direction along the connecting link by the driving mechanism.
また、本発明に係るポッドシェル洗浄装置において、前記駆動機構によって回転力が加えられる歯車と、
前記歯車に設けられたカムフォロアーと、
前記連結リンクに設けられた長孔と、
をさらに具備し、
前記長孔に前記カムフォロアーが組み合わされていることが好ましい。
Further, in the pod shell cleaning device according to the present invention, a gear to which a rotational force is applied by the drive mechanism,
A cam follower provided on the gear;
A slot provided in the connecting link;
Further comprising
The cam follower is preferably combined with the long hole.
また、本発明に係るポッドシェル洗浄装置において、前記上蓋は二つの蓋からなることが好ましい。 In the pod shell cleaning apparatus according to the present invention, it is preferable that the upper lid is composed of two lids.
以上説明したように本発明によれば、ポッドシェルの金属による汚れを除去できるポッドシェル洗浄装置及びポッドシェル洗浄方法を提供することができる。また、他の本発明によれば、上蓋の開閉にスペースを必要としないポッドシェル洗浄装置を提供することができる。 As described above, according to the present invention, it is possible to provide a pod shell cleaning apparatus and a pod shell cleaning method that can remove dirt from the metal of the pod shell. According to another aspect of the present invention, a pod shell cleaning device that does not require a space for opening and closing the upper lid can be provided.
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
図1は、本発明の実施の形態によるFOUP洗浄乾燥装置を模式的に示す上面図である。図2は、図1に示す矢印21の方向から視たFOUP洗浄乾燥装置の側面図である。図3は、図1に示す矢印22の方向から視たFOUP洗浄乾燥装置の側面図である。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
FIG. 1 is a top view schematically showing a FOUP cleaning / drying apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a side view of the FOUP cleaning / drying apparatus viewed from the direction of the
図1に示すように、FOUP洗浄乾燥装置はドアシェル洗浄リンス槽1を有しており、このドアシェル洗浄リンス槽1の隣にはドアシェル水切り槽2が配置されている。このドアシェル水切り槽2の隣にはドアシェル乾燥槽3が配置されている。これら洗浄リンス槽1、水切り槽2及び乾燥槽3は横一列に配置されており、洗浄しようとするドアシェルをドアシェル搬送機8によって洗浄リンス槽1、水切り槽2及び乾燥槽3の相互間を搬送されるように構成されている。
As shown in FIG. 1, the FOUP cleaning / drying apparatus has a door shell cleaning rinse tank 1, and a door
前記ドアシェル洗浄リンス槽1は、ドアシェルを薬液で洗浄し純水でリンスする槽である。前記ドアシェル水切り槽2は、洗浄後のドアシェルの水切りを行う槽である。前記ドアシェル乾燥槽3は、水切り後のドアシェルの乾燥を行う槽である。
The door shell cleaning rinsing tank 1 is a tank for cleaning the door shell with a chemical solution and rinsing with pure water. The door
また、FOUP洗浄乾燥装置はポッドシェル洗浄槽4を有しており、このポッドシェル洗浄槽4はドアシェル洗浄リンス槽1に対向する位置に配されている。ポッドシェル洗浄槽4の隣にはポッドシェル水切り槽5が配置されており、このポッドシェル水切り槽5はドアシェル水切り槽2に対向する位置に配されている。ポッドシェル水切り槽5の隣にはポッドシェル乾燥槽6が配置されており、このポッドシェル乾燥槽6はドアシェル乾燥槽3に対向する位置に配されている。これら洗浄槽4、水切り槽5及び乾燥槽6は横一列に配置されており、洗浄しようとするポッドシェルをポッドシェル搬送機7によって洗浄槽4、水切り槽5及び乾燥槽6の相互間を搬送されるように構成されている。
Further, the FOUP cleaning / drying apparatus has a pod
前記ポッドシェル洗浄槽4は、ポッドシェルを薬液で洗浄し純水でリンスする槽である。前記ポッドシェル水切り槽5は、洗浄後のポッドシェルの水切りを行う槽である。前記ポッドシェル乾燥槽6は、水切り後のポッドシェルの乾燥を行う槽である。
The pod
また、FOUP洗浄乾燥装置は二つのドアシェル槽−ポッドシェル槽間搬送機9を有しており、一方の搬送機9はドアシェル洗浄リンス槽1とポッドシェル洗浄槽4との間のドアシェル又はポッドシェルの搬送を行うものであり、他方の搬送機9はドアシェル乾燥機3とポッドシェル乾燥機6との間のドアシェル又はポッドシェルの搬送を行うものである。
The FOUP cleaning / drying apparatus has two door shell tank-pod shell
ドアシェル洗浄リンス槽1の近傍には、洗浄しようとするFOUPをドアシェルとポッドシェルに分解する分解手段(図示せず)が配置されている。また、ドアシェル乾燥機3の近傍には、洗浄が終了したポッドシェルとドアシェルを結合させてFOUPを組み立てる組み立て手段(図示せず)が配置されている。
In the vicinity of the door shell cleaning rinse tank 1, disassembling means (not shown) for disassembling the FOUP to be cleaned into a door shell and a pod shell is arranged. Also, in the vicinity of the
FOUP洗浄乾燥装置は薬液供給ユニット10を備えており、この薬液供給ユニット10は、ドアシェル洗浄リンス槽1及びポッドシェル洗浄槽4それぞれに薬液を供給するものである。また、FOUP洗浄乾燥装置は各槽及び各搬送機などに電力を供給する電源ボックス11を有している。また、FOUP洗浄乾燥装置は、図2に示すように該装置内の雰囲気をクリーンにするクリーンユニット12を有している。
The FOUP cleaning / drying apparatus includes a chemical
次に、図1〜図3に示すFOUP洗浄乾燥装置を用いたFOUP洗浄乾燥方法について説明する。
まず、洗浄しようとするFOUPを用意し、このFOUPを分解手段によりドアシェルとポッドシェルに分解する。詳細には、ドアシェルとポッドシェルを結合している留め具を外してドアシェルとポッドシェルを分解する。
Next, a FOUP cleaning / drying method using the FOUP cleaning / drying apparatus shown in FIGS. 1 to 3 will be described.
First, a FOUP to be cleaned is prepared, and this FOUP is decomposed into a door shell and a pod shell by a disassembling means. Specifically, the door shell and the pod shell are disassembled by removing the fasteners connecting the door shell and the pod shell.
次いで、ドアシェル搬送機8によってドアシェルの内面を下に向けて該ドアシェルをドアシェル洗浄リンス槽1に設置し、ドアシェル槽−ポッドシェル槽間搬送機9によってポッドシェルの開口部を下に向けて該ポッドシェルをポッドシェル洗浄槽4内に搬送する。
Subsequently, the door shell is placed in the door shell cleaning rinse tank 1 with the
次に、ドアシェル洗浄リンス槽1においてドアシェルの内面に薬液を吹き付けることにより該ドアシェルを薬液で洗浄し、この後、ドアシェルの内面に純水を吹き付けることにより該ドアシェルを純水でリンスする。また、ポッドシェル洗浄槽4においてポッドシェルを回転させながらポッドシェルの内面に薬液を吹き付けることにより該ポッドシェルを薬液で洗浄し、この後、ポッドシェルを回転させながらポッドシェルの内面に純水を吹き付けることにより該ポッドシェルを純水でリンスする。ポッドシェルを回転させることにより、ポッドシェルの内面に純水をむら無く吹き付けることができる。また、ポッドシェル内面に純水を吹き付ける方法を採用することにより、従来技術のように純水に浸漬させるのに比べて純水使用量を少なくすることができる。
Next, in the door shell cleaning rinsing tank 1, the door shell is cleaned with the chemical by spraying the chemical on the inner surface of the door shell, and then the door shell is rinsed with pure water by spraying pure water on the inner surface of the door shell. In addition, the pod
次いで、洗浄リンス後のドアシェルをドアシェル搬送機8によってドアシェル洗浄リンス槽1からドアシェル水切り槽2に搬送する。次いで、ドアシェル水切り槽2においてドアシェルにエアーなどの気体を吹き付けることによりドアシェルの内面に付着して残っていた純水を吹き飛ばして水を切る。また、洗浄リンス後のポッドシェルをポッドシェル搬送機7によってポッドシェル洗浄槽4からポッドシェル水切り槽5に搬送する。次いで、ポッドシェル水切り槽5においてポッドシェルを回転させるながらエアーなどの気体を吹き付けることによりポッドシェルに付着して残っていた純水を飛ばして水を切る。
Next, the door shell after the cleaning rinse is transferred from the door shell cleaning rinse tank 1 to the door
次に、水切り後のドアシェルをドアシェル搬送機8によってドアシェル水切り槽2からドアシェル乾燥槽3に搬送する。次いで、ドアシェル乾燥槽3においてドアシェルに熱風を吹き付けて該ドアシェルを乾燥させる。また、水切り後のポッドシェルをポッドシェル搬送機7によってポッドシェル水切り槽5からポッドシェル乾燥槽6に搬送する。次いで、ポッドシェル乾燥槽6においてポッドシェルに加熱エアーを吹き付けて遠心乾燥させる。遠心乾燥の回転速度はおよそ600rpmである。
Next, the door shell after draining is conveyed from the door
次いで、乾燥後のポッドシェルをドアシェル槽−ポッドシェル槽間搬送機9によってポッドシェル乾燥槽6からドアシェル乾燥槽3の上方又は近傍に搬送し、乾燥後のドアシェルをドアシェル搬送機8によってドアシェル乾燥槽3の上方又は近傍に搬送する。次いで、組み立て手段により前記ドアシェルと前記ポッドシェルを留め具によって結合してFOUPを組み立てる。
Next, the dried pod shell is transported from the pod shell drying tank 6 to the upper part of the door
上記実施の形態によれば、ドアシェル洗浄リンス槽1によってドアシェルを薬液で洗浄でき、ポッドシェル洗浄槽4によってポッドシェルを薬液で洗浄することができる。従って、従来技術では困難であった金属による汚れを除去することができる。
According to the above embodiment, the door shell can be cleaned with the chemical by the door shell cleaning rinse tank 1, and the pod shell can be cleaned with the chemical by the pod
また、本実施の形態では、ドアシェル洗浄リンス槽1、ドアシェル水切り槽2及びドアシェル乾燥槽3を横一列に配置し、ポッドシェル洗浄槽4、ポッドシェル水切り槽5及びポッドシェル乾燥槽6を横一列に配置し、ドアシェル洗浄リンス槽1をポッドシェル洗浄槽4と対向して配置し、ドアシェル水切り槽2をポッドシェル水切り槽5と対向して配置し、ドアシェル乾燥槽3をポッドシェル乾燥槽6と対向して配置している。このように配置することにより、分解後のドアシェルの洗浄、リンス、水切り及び乾燥と分解後のポッドシェルの洗浄、リンス、水切り及び乾燥を無駄な動作無く平行して行うことができる。従って、装置を小フットプリントで小型化することができるとともに装置のスループットを向上させることができる。
In this embodiment, the door shell cleaning rinse tank 1, the door
また、従来技術のようにポッドシェルを純水に浸漬させて超音波洗浄する方法を採らないため、従来技術に比べて洗浄時間を短縮することができる。つまり、従来技術では純水の給排水に時間がかかってしまい、スループットを向上させることが困難であったが、本実施の形態では洗浄時間を短縮することができる。 In addition, since the method of ultrasonic cleaning by immersing the pod shell in pure water as in the prior art is not employed, the cleaning time can be shortened as compared with the prior art. That is, in the prior art, it takes time to supply and drain pure water and it is difficult to improve the throughput, but in this embodiment, the cleaning time can be shortened.
また、本実施の形態では、ドアシェル水切り槽2及びポッドシェル水切り槽5を設けることにより、ドアシェル乾燥槽3及びポッドシェル乾燥槽6それぞれにおける乾燥時間を短縮することができる。
Moreover, in this Embodiment, the drying time in each of the door
また、本実施の形態では、ドアシェル水切り槽2及びポッドシェル水切り槽5それぞれにおいて十分に水切りを行った後に乾燥を行うため、従来技術のように減圧乾燥を行わなくても容易に乾燥させることができる。減圧乾燥を行うには、肉厚な乾燥槽を設ける必要があるが、本実施の形態ではそのような肉厚な乾燥槽が不要となる。従って、装置のコストを低減することができる。
Moreover, in this Embodiment, since it dries after fully draining in each of the door
図4は、図1乃至図3に示すポッドシェル洗浄槽の具体的構成を示す上面図である。図5は、図4に示す矢印13の方向から視たポッドシェル洗浄槽の構成を示す側面図である。図6は、図4に示す矢印14の方向から視たポッドシェル洗浄槽の構成を示す側面図である。図7は、図4乃至図6に示すポッドシェル洗浄槽内の洗浄機構の構成を示す上面図である。図8は、図7に示す矢印15の方向から視た洗浄機構の構成を示す側面図である。図9は、図7に示す矢印16の方向から視た洗浄機構の構成を示す側面図である。
FIG. 4 is a top view showing a specific configuration of the pod shell cleaning tank shown in FIGS. 1 to 3. FIG. 5 is a side view showing the configuration of the pod shell cleaning tank as viewed from the direction of the
図4乃至図6に示すように、ポッドシェル洗浄装置はポッドシェル洗浄槽4を有しており、このポッドシェル洗浄槽4の上部には二枚の上蓋32a,32bが配置されている。上蓋にはロータリーアクチュエーター33が繋げられており、このロータリーアクチュエーター33は上蓋を開閉させる際の駆動源として機能する。なお、上蓋及びその動作の詳細については後述する。
As shown in FIGS. 4 to 6, the pod shell cleaning apparatus includes a pod
ポッドシェル洗浄槽4内には洗浄機構44が配置されている。この洗浄機構44は、図7乃至図9に示すように洗浄しようとするポッドシェルをその開口部を下に向けて載置するベース36を有している。このベース36の下には従動ギア37が取り付けられており、従動ギア37とベース36によって回転テーブルを構成している。従動ギア37の下には回転テーブルを支持する敷板38が配置されている。前記ベース36上には、薬液又は純水をシャワー状に噴射するノズル39a,39bが配置されている。薬液又は純水がノズルの長手方向に対して垂直方向且つ全方向に噴射されるようにノズルには複数の噴射孔が設けられている。また、一方のノズル39aが薬液を噴射するものとし、他方のノズル39bが純水を噴射するものとしても良いし、両方のノズル39a,39bから薬液と純水を噴射できるものとし、薬液と純水を切り替えて使用するものとしても良い。前記ノズル39a,39bは、ベース36及び従動ギア37の下方に延び、さらにポッドシェル洗浄槽4の外側まで延びている。
A
前記従動ギア37は図4に示す駆動ギア45に繋げられており、この駆動ギア45はモーター34によって回転力が加えられるようになっている。つまり、モーター34の回転力が駆動ギア45、従動ギア37に伝達されることにより、ポッドシェルが載置されたベースが回転するように構成されている。また、ポッドシェル洗浄槽4にはガイド付薄型シリンダー35が設けられている。
The driven
次に、上記ポッドシェル洗浄槽を用いたポッドシェル洗浄方法について説明する。
まず、上蓋を開き、洗浄しようとするポッドシェルをその開口部を下に向けて搬送機によってポッドシェル洗浄槽4に収容し、ベース36上にポッドシェルを固定し、上蓋を閉じる。
Next, a pod shell cleaning method using the pod shell cleaning tank will be described.
First, the upper lid is opened, and the pod shell to be cleaned is accommodated in the pod
次いで、モーター34の回転力を駆動ギア45、従動ギア37に伝達させ、ベース36を回転させることでポッドシェルを回転させる。これとともに、ノズルの複数の噴射孔から薬液を噴射させる。このようにしてポッドシェルの内面全面に薬液を吹き付けることにより該ポッドシェルを薬液で洗浄する。この薬液洗浄を所定時間行い、その後、ノズルからの噴射を薬液から純水に切り替え、ポッドシェルを回転させながらポッドシェルの内面に純水を吹き付ける。この際、ポッドシェルの外面にも図示せぬノズルによって純水を吹き付ける。これにより、ポッドシェルの内面及び外面の両面を純水でリンスする。ポッドシェルを回転させるのは、ポッドシェルの内面に薬液や純水をむら無く吹き付けるためである。また、薬液をポッドシェルの内面のみに吹き付けることとした理由は、薬液使用量を極力少なくすること、実際にメタル汚染が生じるのはウエハと接触するポッドシェル内側のみであること、純水によるリンスを短時間で終了させることなどである。また、純水によるリンスをポッドシェルの内面と外面に吹き付ける理由は、洗浄能力を十分に保つためである。
Next, the rotational force of the
前記純水でのリンスを所定時間行った後、ノズルからの純水の噴射を停止し、モーター34の回転を停止してポッドシェルの回転を停止させる。次いで、上蓋を開き、薬液洗浄及びリンスが終了したポッドシェルをポッドシェル搬送機によってポッドシェル洗浄槽から取り出し、上蓋を閉じる。
After rinsing with pure water for a predetermined time, the injection of pure water from the nozzle is stopped, the rotation of the
上記ポッドシェル洗浄槽によれば、ポッドシェルを薬液で洗浄するため、従来技術では困難であった金属による汚れを除去することができる。 According to the pod shell cleaning tank, since the pod shell is cleaned with a chemical solution, it is possible to remove metal contamination that has been difficult in the prior art.
また、従来技術では純水に浸漬させて超音波により洗浄する方法を採用しているため、純水使用量が多く、洗浄のランニングコストが高くなり、スループットも悪かった。これに対し、上記ポッドシェル洗浄方法では、純水使用量を少なくできるとともに、従来技術のように純水を洗浄槽内に導入し、排出するという動作をしなくてもよいため、スループットを向上させることができる。 Further, since the conventional technique employs a method of immersing in pure water and cleaning with ultrasonic waves, the amount of pure water used is large, the running cost of cleaning is high, and the throughput is also poor. On the other hand, the above pod shell cleaning method can reduce the amount of pure water used and improve the throughput because it is not necessary to introduce and discharge pure water into the cleaning tank as in the prior art. Can be made.
次に、上蓋の構造について説明する。この上蓋は、ポッドシェル洗浄槽4の上部の開口部を開閉させる蓋であって、上蓋の開閉動作中においても該上蓋は完全にポッドシェル洗浄槽4の内部に位置するようになっている。即ち、開閉動作中に上蓋がポッドシェル洗浄槽4の外側に位置することがないように構成されている。
Next, the structure of the upper lid will be described. The upper lid is a lid that opens and closes the opening at the top of the pod
図10は、図4乃至6に示すポッドシェル洗浄槽の上蓋及びその駆動機構を具体的に示す上面図である。図11は、図10に示すA−A線に沿った断面図である。図12は、図10に示す矢印Bの方向から視たポッドシェル洗浄槽の側面図である。図13は、図10に示すC−C線に沿った断面図である。図14は、図13に示す上蓋の斜視図である。図15は、図10に示す矢印Dの方向から視たポッドシェル洗浄槽の正面図である。 FIG. 10 is a top view specifically showing the upper lid of the pod shell cleaning tank shown in FIGS. 4 to 6 and its driving mechanism. 11 is a cross-sectional view taken along line AA shown in FIG. 12 is a side view of the pod shell cleaning tank as viewed from the direction of arrow B shown in FIG. 13 is a cross-sectional view taken along the line CC shown in FIG. FIG. 14 is a perspective view of the upper lid shown in FIG. FIG. 15 is a front view of the pod shell cleaning tank as viewed from the direction of arrow D shown in FIG.
図10及び図13に示すように、ポッドシェル洗浄槽4の上部開口部には二つの上蓋32a,32bが装着されている。二つの上蓋32a,32bは左右対称の構造となっている。上蓋32a,32bは、図13及び図14に示すように第1〜第3のローラ50〜52が前後に取り付けられている。つまり、上蓋には合計6個のローラが取り付けられている。第1のローラ50は上蓋が開いた時に上部になる側の端面(一端部54)近くに配置されている。第2のローラ51は上蓋が開いた時に下部になる側の端面(他端部55)近くに配置されている。第3のローラ52は上蓋の第1及び第2のローラが取り付けられた端面の中央近くから垂線を下ろした位置で且つ該端面から離れた位置に配置されている。
As shown in FIGS. 10 and 13, two
第1のローラ50は、上蓋の前後に取り付けられ、図13に示すように水平ガイドレール53に乗せられて組み合わされている。水平ガイドレール53は、ポッドシェル洗浄槽4の内側上部の前後に4箇所取り付けられており、第1のローラ50をガイドして上蓋の一端部54を略水平方向に動かす役目を持っている。
The
第2のローラ51は、上蓋の前後に取り付けられ、図13に示すように垂直ガイドレール56に乗せられて組み合わされている。垂直ガイドレール56は、ポッドシェル洗浄槽4の内側側部の上部に4箇所取り付けられており、第2のローラ51をガイドして上蓋の他端部55を略垂直方向に動かす役目を持っている。
The
第3のローラ52は、上蓋の前後に取り付けられ、図13に示すように駆動アーム57の長孔57aに組み合わされている。駆動アーム57は、ポッドシェル洗浄槽54の内側上部の前後に4箇所取り付けられており、第3のローラ52をガイドして上蓋の一端部54を略水平方向に動かす役目を持っている。また、駆動アーム57は、長孔57a及びその周囲の板状部分がポッドシェル洗浄槽内壁に近い部分に配置され、洗浄槽内部の洗浄対象物であるポッドシェルと干渉しないようになっている。また、駆動アーム57における長孔57aとは逆側の端部近傍には回転軸57bが取り付けられている。この回転軸57bは、第3のローラ52よりも水平ガイドレール53と垂直ガイドレール56が近接するコーナーに近い位置に設けられている。
The
駆動アーム57を回転軸57bによって矢印のように回転させることにより、駆動アームの長孔57a内を第3のローラ52が自在に移動可能な状態で上蓋を下方に引き下げ、水平ガイドレール53と垂直ガイドレール56に沿わして上蓋を動かすことができる。
By rotating the drive arm 57 as indicated by the arrow by the
図10及び図15に示すように、左右連結リンク59は、ポッドシェル洗浄槽の外側前後に取り付けられている。一つの左右連結リンク59には二つのアーム58がピンによって取り付けられている。一方のアーム58は上部側の端部にピンによって左右連結リンク59が取り付けられており、他方のアーム58は下部側の端部に左右連結リンク59が取り付けられている。二つのアーム58それぞれにおける左右連結リンク59が取り付けられた側とは逆側の端部には前記回転軸57bが取り付けられている。二つのアーム58それぞれは、ポッドシェル洗浄槽4の外側に位置し、回転軸57bによって駆動アーム57に繋げられている。回転軸57bは、図10及び図11に示すようにポッドシェル洗浄槽4の外側に設けられたアーム軸受け60によって支持されている。このアーム軸受け60の内部はシール構造(図示せず)を持っており、ポッドシェル洗浄槽内の洗浄液が外部に漏れないようになっている。
As shown in FIGS. 10 and 15, the left and right connecting
図15に示すように、左右連結リンク59における二つのアーム58が取り付けられた側とは逆側には長孔59aが設けられており、この長孔59aにはカムフォロアー48が挿入されている。このカムフォロアー48は図12に示すように前後の平歯車46bに取り付けられている。このカムフォロアー48を180°動かすことにより左右連結リンク59を左右に動かすことができる。
As shown in FIG. 15, a
前記平歯車46bは、図12に示すように前後連絡軸47の一端に取り付けられており、前後連絡軸47の他端には平歯車46cが取り付けられている。前後連絡軸47は、図10に示すようにポッドシェル洗浄槽4の外側に配置されている。前後連絡軸47は、二つの上蓋32a,32bを平歯車46b側と平歯車46c側から駆動するための回転軸である。前後連絡軸47は、ポッドシェル洗浄槽4の外側に固定された軸受49によって支持されている。
As shown in FIG. 12, the
前記平歯車46bは、図12に示すように平歯車46aに噛み合うように配置されている。平歯車46aと平歯車46bは同じ歯数の歯車である。平歯車46aは回転軸33aの一端に取り付けられており、回転軸33aの他端はロータリーアクチュエーター33が取り付けられている。ロータリーアクチュエーター33は、図10に示すようにポッドシェル洗浄槽4の外側に固定されている。このロータリーアクチュエーター33は、二枚の上蓋32a,32bを開閉させるための駆動力源であって、回転式エアーシリンダーで180°の回転を行う機能を有し、その回転力によって上蓋を開閉するようになっている。
The
次に、上蓋の開閉動作について図16も参照しつつ説明する。図16は、上蓋の開閉動作を説明するための図である。
図10及び図12に示すロータリーアクチュエーター33の回転駆動力を回転軸33a、平歯車46a,46b、カムフォロアー48に伝達させ、図15に示すようにカムフォロアー48を矢印のように180°回転させると、左右連結リンク59が矢印61の方向に引っ張られて移動される。これにより、左右連結リンク59に取り付けられている二つのアーム58が矢印のように回転される。この回転力が回転軸57b、駆動アーム57に伝達され、図13に示すように駆動アーム57は矢印のように動かされ、上蓋が開かれる。このような駆動アーム57の連続的な動きを図16に示している。
Next, the opening / closing operation of the upper lid will be described with reference to FIG. FIG. 16 is a diagram for explaining the opening / closing operation of the upper lid.
The rotational driving force of the
図16では、一方の駆動アームについての連続的な動きを示しており、一方の上蓋32aを閉じた上蓋閉状態62と、上蓋32aを開いた上蓋開状態65と、上蓋32aを開きつつある状態63,64とを示している。また、他方の駆動アームの動きについては、図16では示していないが、図13に示すように一方の駆動アームの動きと対称的な動きをする。このため、他方の上蓋32bの上蓋閉状態、上蓋開状態、上蓋32bを開きつつある状態それぞれも一方の上蓋32aそれぞれと対称的な状態となる。
FIG. 16 shows a continuous movement of one drive arm, with the upper lid closed
つまり、駆動アーム57が図13に示すように回転軸57bの回転によって矢印の方向に動かされると、図16に示すように、上蓋閉状態62から上蓋が開きつつある状態63、64に移行していき、最後に上蓋開状態64で停止する。詳細には、駆動アーム57の動きに従って、第1のローラ50が水平ガイドレール53に沿って垂直ガイドレール56の側に動かされるとともに第2のローラ51が垂直ガイドレール56に沿って下方に動かされることにより、上蓋32aが開かれる。言い換えると、駆動アーム57の回転力を第1及び第2のローラ50,51への直線駆動力に変えることにより上蓋が開かれる。
That is, when the drive arm 57 is moved in the direction of the arrow by the rotation of the
また、他方の上蓋32bについては、一方の上蓋32aの動きと連動し且つ対称的な動きをする。つまり、一つのロータリーアクチュエーター33の回転駆動力によって、二つの上蓋32a,32bが対照的に動作して開かれる。
Further, the other
また、上述した上蓋を開くのとは逆の動作をすることにより上蓋を閉じることができるようになっている。つまり、ロータリーアクチュエーター33を逆方向に回転させることにより上蓋を閉じることができる。
Further, the upper lid can be closed by performing the reverse operation of opening the upper lid described above. That is, the upper lid can be closed by rotating the
上述した上蓋の構造及び動作によれば、上蓋の一端部54がポッドシェル洗浄槽の上面に沿い且つ上蓋の他端部55がポッドシェル洗浄槽の内側面に沿いながら上蓋の開閉動作を行うことができる。つまり、上蓋の開閉動作時に、該上蓋がポッドシェル洗浄槽の上方外側に位置することがない。即ち、上蓋を洗浄槽内に収納できる構造であるため、上蓋の開閉に洗浄槽の上側のスペースを必要としない。このため、上蓋の開閉動作まで含めたポッドシェル洗浄槽の高さを低くすることができ、その結果、FOUP洗浄乾燥装置全体の小型化を図ることができる。従って、FOUP洗浄乾燥装置の原価を低減できる。
According to the structure and operation of the upper lid described above, the upper lid is opened and closed while the one end 54 of the upper lid is along the upper surface of the pod shell cleaning tank and the
また、上記のように上蓋の開閉に洗浄槽の上側のスペースを必要としないこと、即ちポッドシェル洗浄槽内だけで上蓋開閉動作を完結することができる。このため、ポッドシェル洗浄槽の上及び周辺の搬送機等に上蓋が干渉する心配がなく、それにより、FOUP洗浄乾燥装置の設計の自由度を広げることができる。また、上記のように上蓋が搬送機等に干渉しない構造とすることにより、搬送機をポッドシェル洗浄槽の直上に待機させることもでき、それにより搬送に必要な時間を短縮することができる。 Further, as described above, the upper lid opening / closing operation can be completed only by not requiring the space above the cleaning tank to open and close the upper lid, that is, in the pod shell cleaning tank. For this reason, there is no fear that the upper lid interferes with a transport machine or the like on and around the pod shell cleaning tank, thereby increasing the degree of freedom in designing the FOUP cleaning / drying apparatus. In addition, by adopting a structure in which the upper lid does not interfere with the transporter or the like as described above, the transporter can be put on standby immediately above the podshell cleaning tank, thereby shortening the time required for transport.
また、一つのロータリーアクチュエーター33の駆動力を左右連結リンク59によって二つの上蓋32a,32bに伝達している。従って、一つの駆動源で二つの上蓋の開閉が可能となる。
Further, the driving force of one
また、上蓋の開閉動作において、重い上蓋を直接持ち上げたり、振り回すような構造ではなく、上蓋の一端部が水平ガイドレールに乗った状態で上蓋を動かす構造としているため、駆動源に要求される駆動力を小さくでき、その結果、駆動源を小さくできて安定した上蓋の開閉動作を実現することができる。これに対し、回転軸で直接上蓋を振り回して上蓋の開閉動作を行う構造とした場合は、慣性負荷が大きくなり安定した動作が得ることは困難である。 In addition, the opening and closing operation of the upper lid is not a structure that lifts or swings the heavy upper lid directly, but a structure that moves the upper lid while one end of the upper lid is on the horizontal guide rail. The force can be reduced, and as a result, the drive source can be reduced and a stable opening / closing operation of the upper lid can be realized. On the other hand, when the upper lid is opened and closed by swinging the upper lid directly with the rotation shaft, the inertial load becomes large and it is difficult to obtain a stable operation.
また、上記のようにポッドシェル洗浄槽内だけで上蓋開閉動作を完結することにより、ポッドシェルの洗浄時にシャワーミストや蒸気が上蓋に付着しても、それを洗浄槽外に垂らしたり拡散させることを抑制できる。 Moreover, even if shower mist or vapor adheres to the upper lid when cleaning the pod shell, it can be hung out or diffused outside the washing tank by completing the upper lid opening / closing operation only in the pod shell washing tank as described above. Can be suppressed.
尚、本発明は上記実施の形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することが可能である。例えば、上記実施の形態によるFOUP洗浄乾燥方法を次のように変形して実施することも可能である。ドアシェルとポッドシェルを分解した後、ポッドシェル搬送機7によってポッドシェルの開口部を下に向けて該ポッドシェルをポッドシェル洗浄槽4内に設置し、ドアシェル槽−ポッドシェル槽間搬送機9によってドアシェルの内面を下に向けて該ドアシェルをドアシェル洗浄リンス槽1に搬送する。また、乾燥後のドアシェルをドアシェル槽−ポッドシェル槽間搬送機9によってドアシェル乾燥槽3からポッドシェル乾燥槽6の上方又は近傍に搬送し、乾燥後のポッドシェルをポッドシェル搬送機7によってポッドシェル乾燥槽6の上方又は近傍に搬送する。
Note that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention. For example, the FOUP cleaning / drying method according to the above-described embodiment may be modified as follows. After disassembling the door shell and the pod shell, the pod shell is placed in the pod
1…ドアシェル洗浄リンス槽
2…ドアシェル水切り槽
3…ドアシェル乾燥槽
4…ポッドシェル洗浄槽
5…ポッドシェル水切り槽
6…ポッドシェル乾燥槽
7…ポッドシェル搬送機
8…ドアシェル搬送機
9…ドアシェル槽−ポッドシェル槽間搬送機
10…薬液供給ユニット
11,110…電源ボックス
12,111…クリーンユニット
13〜16,21,22,61,101〜103…矢印
32a,32b…上蓋
33…ロータリーアクチュエーター
33a…回転軸
34…モーター
35…ガイド付薄型シリンダー
36…ベース
37…従動ギア
38…敷板
39a,39b…ノズル
44…洗浄機構
45…駆動ギア
46a,46b,46c…平歯車
47…前後連絡軸
48…カムフォロアー
49…軸受
50…第1のローラ
51…第2のローラ
52…第3のローラ
53…水平ガイドレール
54…上蓋の一端部
55…上蓋の他端部
56…垂直ガイドレール
57…駆動アーム
57a…長孔
57b…回転軸
58…アーム
59…左右連結リンク
59a…長孔
60…アーム軸受け
62…上蓋閉状態
63,64…上蓋を開きつつある状態
65…上蓋開状態
80…FOUP
81…開口部
82…ポッドシェル
83…ドアシェル
84…パッキン
85…内面
86…ロック部
104…ドアシェル洗浄槽
105…ドアシェル乾燥槽
106…ポッドシェル洗浄槽
107…ポッドシェル乾燥槽
108…ポッドシェル搬送機
109…ドアシェル搬送機
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Door shell washing rinse
DESCRIPTION OF
Claims (10)
前記洗浄槽内に配置され、前記ポッドシェルをその開口部を下方に向けて保持するベースと、
前記ベースを回転させる回転機構と、
前記ベース上に配置され、該ベースに保持された前記ポッドシェルの内面に薬液及び純水を噴射するノズルと、
を具備することを特徴とするポッドシェル洗浄装置。 A washing tank for washing the pod shell,
A base disposed in the cleaning tank and holding the pod shell with its opening facing downward;
A rotation mechanism for rotating the base;
A nozzle that is disposed on the base and injects a chemical solution and pure water onto the inner surface of the pod shell held by the base;
A pod shell cleaning apparatus comprising:
前記ベースを回転させて前記ポッドシェルを回転させながら該ポッドシェルの内面に薬液を噴射することにより、該ポッドシェルの内面を前記薬液で洗浄し、
前記ベースを回転させて前記ポッドシェルを回転させながら該ポッドシェルの内面に純水を噴射することにより、該ポッドシェルの内面を前記純水でリンスすることを特徴とするポッドシェル洗浄方法。 Hold the pod shell on the base in the washing tank with its opening facing down,
The inner surface of the pod shell is washed with the chemical solution by spraying the chemical solution onto the inner surface of the pod shell while rotating the pod shell by rotating the base.
A pod shell cleaning method, comprising: rinsing the inner surface of the pod shell with the pure water by spraying pure water onto the inner surface of the pod shell while rotating the pod shell by rotating the base.
前記洗浄槽の上部に設けられた上蓋と、
前記上蓋を前記洗浄槽内で開閉動作させる駆動機構と、
を具備することを特徴とするポッドシェル洗浄装置。 A washing tank for washing the pod shell,
An upper lid provided at the top of the washing tank;
A drive mechanism for opening and closing the upper lid in the cleaning tank;
A pod shell cleaning apparatus comprising:
前記上蓋の他方の端部に設けられた第2のローラと、
前記上蓋における前記一方の端部と前記他方の端部との間に設けられた第3のローラと、
前記第1のローラを略水平方向にガイドする水平ガイドレールと、
前記第2のローラを略垂直方向にガイドする垂直ガイドレールと、
前記駆動機構によって回転力が加えられる回転軸を一方側に有し且つ他方側に前記第3のローラを組み合わせる長孔を有する駆動アームと、
をさらに具備し、
前記回転軸は前記水平ガイドレールと前記垂直ガイドレールが近接するコーナーに近い側に配置され、
前記第1のローラ、前記第2のローラ、前記第3のローラ、前記水平ガイドレール、前記垂直ガイドレール及び前記駆動アームは前記洗浄槽内に配置されていることを特徴とするポッドシェル洗浄装置。 In Claim 5 or 6, the 1st roller provided in one end of the upper lid,
A second roller provided at the other end of the upper lid;
A third roller provided between the one end and the other end of the upper lid;
A horizontal guide rail for guiding the first roller in a substantially horizontal direction;
A vertical guide rail for guiding the second roller in a substantially vertical direction;
A drive arm having a rotary shaft to which a rotational force is applied by the drive mechanism on one side and a long hole combining the third roller on the other side;
Further comprising
The rotating shaft is disposed on the side near the corner where the horizontal guide rail and the vertical guide rail are close to each other,
The first roller, the second roller, the third roller, the horizontal guide rail, the vertical guide rail, and the drive arm are arranged in the cleaning tank, and the pod shell cleaning device .
前記洗浄槽外に配置され、前記アームの一方側に取り付けられた連結リンクと、
をさらに具備し、
前記洗浄槽外に延ばされた前記回転軸が前記アームの他方側に取り付けられ、
前記駆動機構によって前記連結リンクを該連結リンクに沿う方向に移動させることにより、前記アームを介して前記回転軸に回転力が加えられることを特徴とするポッドシェル洗浄装置。 The arm disposed outside the cleaning tank according to claim 7,
A connecting link disposed outside the washing tank and attached to one side of the arm;
Further comprising
The rotating shaft extended outside the washing tank is attached to the other side of the arm,
The pod shell cleaning device according to claim 1, wherein a rotational force is applied to the rotating shaft through the arm by moving the connecting link in a direction along the connecting link by the driving mechanism.
前記歯車に設けられたカムフォロアーと、
前記連結リンクに設けられた長孔と、
をさらに具備し、
前記長孔に前記カムフォロアーが組み合わされていることを特徴とするポッドシェル洗浄装置。 The gear according to claim 8, wherein a rotational force is applied by the drive mechanism;
A cam follower provided on the gear;
A slot provided in the connecting link;
Further comprising
The pod shell cleaning device, wherein the long cam hole is combined with the cam follower.
The pod shell cleaning device according to claim 5, wherein the upper lid includes two lids.
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2015041756A (en) * | 2013-08-23 | 2015-03-02 | 株式会社東芝 | Cleaning method of wafer carrier |
CN109201672A (en) * | 2018-10-18 | 2019-01-15 | 沈阳农业大学 | A kind of planting edible mushroom basin cleaning device |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20090203 |