KR100958007B1 - Testing Apparatus for Testing Flat Display Panel - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 프로브 핀과 패널 사이의 접촉 여부를 용이하게 확인할 수 있도록 한 평판표시패널의 검사장치에 관한 것이다.The present invention relates to an inspection apparatus for a flat panel display panel which can easily check whether a contact between the probe pin and the panel.

본 발명의 검사장치는, 적어도 하나의 평판표시패널과 상기 평판표시패널의 검사 패드부가 구비된 기판이 안착되는 기판 스테이지와, 상기 기판의 상부에서 상기 검사 패드부와 접촉되어 상기 검사 패드부로 전기적 신호를 인가하는 프로브 핀이 구비된 프로브 프레임을 포함하며, 상기 기판 스테이지는 상기 기판이 안착되는 일 면이 산화처리되되, 상기 검사 패드부가 위치되는 제1 영역은 백색 계열의 피막으로 산화처리되고, 상기 평판표시패널의 발광부 또는 상기 평판표시패널이 위치되는 제2 영역은 흑색 계열의 피막으로 산화처리된다.An inspection apparatus of the present invention includes a substrate stage on which at least one flat panel display panel and a substrate including the test pad portion of the flat panel display panel are seated, and an electrical signal contacting the test pad portion at an upper portion of the substrate to the test pad portion. And a probe frame provided with a probe pin for applying a probe, wherein the substrate stage is oxidized on one surface on which the substrate is seated, and the first region where the test pad is located is oxidized with a white coating. The light emitting part of the flat panel display panel or the second region where the flat panel display panel is positioned is oxidized with a black film.

Description

평판표시패널의 검사장치{Testing Apparatus for Testing Flat Display Panel}Testing Apparatus for Testing Flat Display Panel}

본 발명은 평판표시패널의 검사장치에 관한 것으로, 특히 프로브 핀과 패널 사이의 접촉 여부를 용이하게 확인할 수 있도록 한 평판표시패널의 검사장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an inspection apparatus for a flat panel display panel, and more particularly, to an inspection apparatus for a flat panel display panel that enables easy confirmation of contact between a probe pin and a panel.

최근, 음극선관과 비교하여 무게가 가볍고 부피가 작은 각종 평판표시장치(Flat Panel Display Device)들이 개발되고 있다. 평판표시장치는 두께가 비교적 작은 평판형으로 구현되는 표시패널(이하, 평판표시패널이라 함)을 구비한 표시장치로, 유기전계발광 표시장치(OLED), 액정 표시장치(LCD), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP) 등을 일례로 들 수 있다.Recently, various flat panel display devices have been developed that are lighter in weight and smaller in volume than cathode ray tubes. A flat panel display device is a display device including a display panel (hereinafter, referred to as a flat panel display panel) that is implemented in a flat panel having a relatively small thickness. An organic light emitting display device (OLED), a liquid crystal display (LCD), and a plasma display panel (PDP) etc. are mentioned as an example.

평판표시패널은 제조과정에서의 불량 발생여부를 검사하는 불량검사 후 양품에 한해 출시된다. 이를 위한 검사장치는 검사가 진행되는 동안 패널을 기판 스테이지에 안착시킨 후 프로브 핀 등을 이용하여 패널에 전기적 신호를 인가하여 불량검사를 수행한다. 이러한 프로브 핀은 패널의 검사 패드부에 접촉됨으로써, 패널로 전기적 신호를 인가하게 된다. 따라서, 불량검사의 신뢰성을 향상시키기 위해서는 프로브 핀과 패널 사이의 접촉 여부를 필수적으로 확인해야 한다. The flat panel display panel will be released only for the good products after the defect inspection that inspects the defects during the manufacturing process. The inspection apparatus for this purpose performs a defect inspection by mounting the panel on the substrate stage during the inspection and applying an electrical signal to the panel using a probe pin or the like. The probe pin contacts the test pad of the panel, thereby applying an electrical signal to the panel. Therefore, in order to improve the reliability of the defect inspection, it is necessary to confirm whether the contact between the probe pin and the panel.

하지만, 종래에는 이러한 프로브 핀과 패널 사이의 접촉 여부 확인을 위해 육안으로 확인하기 어려워 흰색 무진지(無塵紙, lint-free paper)를 이용해 일일이 접촉 여부를 확인하는 등 번거로운 접촉 확인과정을 거쳐야 했다. 이로 인해, 검사의 효율이 저하되는 문제점이 발생했다.However, in the related art, it is difficult to check the contact between the probe pin and the panel with the naked eye, and thus has to go through a cumbersome contact check process such as checking the contact using white lint-free paper. For this reason, the problem that the efficiency of inspection falls.

따라서, 본 발명의 목적은 프로브 핀과 패널 사이의 접촉 여부를 용이하게 확인할 수 있도록 한 평판표시패널의 검사장치를 제공하는 것이다. Accordingly, it is an object of the present invention to provide an inspection apparatus for a flat panel display panel which can easily check the contact between the probe pin and the panel.

이와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 적어도 하나의 평판표시패널과 상기 평판표시패널의 검사 패드부가 구비된 기판이 안착되는 기판 스테이지와, 상기 기판의 상부에서 상기 검사 패드부와 접촉되어 상기 검사 패드부로 전기적 신호를 인가하는 프로브 핀이 구비된 프로브 프레임을 포함하며, 상기 기판 스테이지는 상기 기판이 안착되는 일 면이 산화처리되되, 상기 검사 패드부가 위치되는 제1 영역은 백색 계열의 피막으로 산화처리되고, 상기 평판표시패널의 발광부 또는 상기 평판표시패널이 위치되는 제2 영역은 흑색 계열의 피막으로 산화처리된 평판표시패널의 검사장치를 제공한다. In order to achieve the above object, the present invention provides a substrate stage on which at least one flat panel display panel and a substrate including the test pad unit of the flat panel display panel are seated, and the test pad unit in contact with the test pad unit at an upper portion of the substrate. And a probe frame having a probe pin for applying an electrical signal to the substrate, wherein the substrate stage is oxidized on one surface on which the substrate is seated, and the first region where the test pad is located is oxidized with a white coating. The light emitting part of the flat panel display panel or the second area in which the flat panel display panel is positioned provides an inspection apparatus of a flat panel display panel oxidized with a black coating.

여기서, 상기 기판 스테이지는, 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트의 상기 기판이 안착되는 일 면에 전면적으로 형성된 백색 계열의 제1 산화막과, 상기 제1 산화막 상의 상기 제2 영역에 부분적으로 형성된 흑색 계열의 제2 산화막을 포함할 수 있다.Here, the substrate stage may include a base-based first oxide film formed entirely on a surface on which the substrate of the base plate is seated, and a black series partially formed in the second region on the first oxide film. It may include a second oxide film.

또한, 상기 제1 영역과 상기 제2 영역의 경계는 상기 기판의 가장자리를 기준으로 상기 검사 패드부가 내측으로 최대한 전진되어 형성될 수 있는 영역 내에서 설정될 수 있다. In addition, a boundary between the first area and the second area may be set in an area where the test pad part may be formed to be advanced as far as possible with respect to the edge of the substrate.

이와 같은 본 발명에 의하면, 검사장치의 기판 스테이지를 산화처리(아노다이징)하여 기판과의 안정성을 확보하되, 기판의 검사 패드부가 위치되는 영역의 기판 스테이지는 백색 계열의 피막으로 산화처리됨으로써, 프로브 핀과 패널 사이의 접촉 여부를 육안으로도 용이하게 확인하도록 할 수 있다. According to the present invention, the substrate stage of the inspection apparatus is anodized (anodized) to ensure stability with the substrate, but the substrate stage in the region where the inspection pad portion of the substrate is positioned is oxidized with a white-based coating, whereby the probe pin The contact between the panel and the panel can be easily checked with the naked eye.

또한, 패널의 발광부(원장기판인 경우, 다수의 패널들)가 위치되는 영역의 기판 스테이지는 흑색 계열의 피막으로 산화처리됨으로써, 패널 점등시 색상도 용이하게 식별하도록 할 수 있다. In addition, the substrate stage in the region where the light emitting part (the panel of the mother substrate) of the panel is located is oxidized with a black-based coating, so that the color can be easily identified when the panel is turned on.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 보다 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described an embodiment of the present invention in more detail.

도 1은 본 발명의 실시예에 의한 평판표시패널의 검사장치를 개략적으로 도시한 분해 사시도이다. 그리고, 도 2는 도 1에 도시된 기판 스테이지의 확대 사시도이다. 설명의 편의를 위하여, 도 1에서는 검사장치에 의해 불량검사가 수행되는 평판표시패널이 형성된 기판을 함께 도시하기로 한다.1 is an exploded perspective view schematically illustrating an inspection apparatus of a flat panel display panel according to an exemplary embodiment of the present invention. 2 is an enlarged perspective view of the substrate stage shown in FIG. 1. For convenience of description, in FIG. 1, a substrate on which a flat panel display panel on which a defect inspection is performed by an inspection apparatus is formed will be shown.

도 1 내지 도 2를 참조하면, 평판표시패널의 검사장치(100)는 기판(10)이 안 착되는 기판 스테이지(110)와, 기판(10)의 상부에 정렬되는 프로브 프레임(120)과, 프로브 프레임(120)을 이동시키기 위한 이동수단(130)을 포함한다. 1 to 2, the inspection apparatus 100 of the flat panel display panel includes a substrate stage 110 on which the substrate 10 is mounted, a probe frame 120 arranged on the substrate 10, Moving means 130 for moving the probe frame 120.

기판(10)은 적어도 하나의 평판표시패널이 형성된 기판으로, 기판(10)의 외곽영역에는 검사 패드부(12)가 구비된다. 예를 들어, 기판(10)은 다수의 평판표시패널들이 형성된 원장기판이 될 수 있다. 이 경우, 원장기판의 중앙영역(10_1)에는 다수의 패널들이 형성되고, 외곽영역(10_2)에는 동일한 행 또는 열에 위치된 패널들로 원장검사를 위한 전원들 및/또는 구동신호들을 공급하는 원장배선들의 검사 패드들이 형성될 수 있다. 또한, 기판(10)은 개별적인 평판표시패널 자체가 될 수도 있다. 이 경우, 기판의 중앙영역(10_1)에는 패널의 발광부 및/또는 구동소자들이 형성되고, 외곽영역(10_2)에는 패널의 검사 및 실제 구동에 이용되는 패드들 또는 별도의 검사 패드들이 형성될 수 있다. The substrate 10 is a substrate on which at least one flat panel display panel is formed, and an inspection pad part 12 is provided in an outer region of the substrate 10. For example, the substrate 10 may be a mother substrate on which a plurality of flat panel display panels are formed. In this case, a plurality of panels are formed in the central region 10_1 of the ledger substrate, and the ledger wiring for supplying powers and / or driving signals for the ledger inspection to the panels located in the same row or column in the outer region 10_2. Inspection pads may be formed. In addition, the substrate 10 may be an individual flat panel display panel itself. In this case, light emitting parts and / or driving elements of the panel may be formed in the central region 10_1 of the substrate, and pads or separate test pads used for inspecting and actually driving the panel may be formed in the outer region 10_2. have.

기판 스테이지(110)는 검사가 수행될 기판(10)을 거치하기 위해 구비되는 것으로, 진공펌프(미도시) 등의 기판 고정수단을 포함하여 기판(10)이 안정적으로 고정되도록 구성될 수 있다. 이러한 기판 스테이지(110)는 적어도 기판(10)이 안착되는 일 면이 산화처리(아노다이징)에 의해 절연처리된다. 이에 의해 기판 스테이지(110)와 기판(10)과의 안정성이 확보된다. The substrate stage 110 is provided to mount the substrate 10 to be inspected, and may include a substrate fixing means such as a vacuum pump (not shown) to stably fix the substrate 10. At least one surface of the substrate stage 110 on which the substrate 10 is seated is insulated by oxidation (anodizing). This ensures stability of the substrate stage 110 and the substrate 10.

프로브 프레임(120)은 기판(10)을 향하는 일면에 구비된 프로브 핀(122)을 구비하여 검사 패드부(12)에 전기적 신호를 인가한다. 즉, 기판(10)에 형성된 패널에 대한 각종 검사가 수행되는 동안 프로브 핀(122)을 기판(10)의 검사 패드부(12)와 접촉시키고, 이를 통해 패널로 검사를 위한 전원들 및 구동신호들을 공급하게 된다. 이와 같은 프로브 프레임(120)은 이동수단(130)에 의해 검사 패드부(12) 상에 정렬된다.The probe frame 120 includes a probe pin 122 provided on one surface facing the substrate 10 to apply an electrical signal to the test pad part 12. That is, the probe pin 122 is brought into contact with the test pad part 12 of the substrate 10 while various inspections of the panel formed on the substrate 10 are performed. Will supply them. The probe frame 120 is aligned on the test pad part 12 by the moving means 130.

이동수단(130)은 프로브 프레임(120)을 기판 스테이지(110) 방향으로 왕복 이동하게 하는 수단이다. 이를 위해, 이동수단(130)은 상하 구동부(미도시)와, 상하 구동부 및 프로브 프레임(120)에 연결된 연결바(130a)와, 연결바(130a)의 좌우 유동을 방지하기 위한 가드링(130b)을 구비한다. 여기서, 상하 구동부는 위치 제어부 및 모터 등의 구동 수단을 포함할 수 있다.The moving means 130 is a means for causing the probe frame 120 to reciprocate in the direction of the substrate stage 110. To this end, the moving means 130 is a vertical drive unit (not shown), the connecting bar 130a connected to the vertical drive unit and the probe frame 120, and the guard ring 130b for preventing the left and right flow of the connecting bar (130a) ). Here, the up and down driving unit may include driving means such as a position control unit and a motor.

단, 본 발명에서 기판 스테이지(110)는 영역 별로 상이한 색상 계열의 피막으로 산화처리된다. However, in the present invention, the substrate stage 110 is oxidized to a film having a different color system for each region.

특히, 기판(10)의 검사 패드부(12)가 위치되는 기판 스테이지의 제1 영역(110_1)은, 백색 계열의 피막으로 산화처리된다. 이에 의해, 패널에 대한 검사가 진행되는 동안 검사 패드부(12)가 백색 계열의 피막 상에 위치함으로써, 검사 패드부(12)의 위치를 육안으로도 용이하게 식별할 수 있게 된다. 따라서, 프로브 핀(122)과 검사 패드부(12)의 접촉 여부를 육안으로도 용이하게 확인할 수 있게 된다. In particular, the first region 110_1 of the substrate stage where the test pad portion 12 of the substrate 10 is located is oxidized with a white coating. Thereby, since the test pad part 12 is located on the white film | membrane while the test | inspection with respect to a panel is in progress, the position of the test pad part 12 can be easily visually identified. Therefore, whether the probe pin 122 is in contact with the test pad part 12 can be easily confirmed with the naked eye.

그리고, 다수의 패널들(개별 패널의 경우, 적어도 패널의 발광부)이 위치되는 기판 스테이지의 제2 영역(110_2)은, 패널 점등시 색상의 식별이 용이하도록 흑색 계열의 피막으로 산화처리된다. In addition, the second region 110_2 of the substrate stage where the plurality of panels (in the case of individual panels, at least the light emitting portion of the panel) is positioned is oxidized with a black-based coating so as to easily distinguish colors when the panel is turned on.

도 3은 도 1에 도시된 검사장치의 결합 단면도이다. 이하에서는, 도 3을 참 조하여 기판 스테이지의 산화처리방법 및 그 구성의 일례에 대해서 상술하기로 하며, 도 1과 중복되는 부분에 대한 상세설명은 생략하기로 한다. 3 is a cross-sectional view of the combination of the inspection apparatus shown in FIG. Hereinafter, referring to FIG. 3, an example of an oxidation treatment method and a configuration of the substrate stage will be described in detail, and detailed description of the overlapping portion of FIG. 1 will be omitted.

도 3을 참조하면, 기판 스테이지(110)는, 베이스 플레이트(110a)와, 베이스 플레이트(110a)의 상부(즉, 기판(10)이 안착되는 일 면)에 전면적으로 형성된 백색 계열의 제1 산화막(110b)과, 제1 산화막(110b) 상의 제2 영역(110_2)에 부분적으로 형성된 흑색 계열의 제2 산화막(110c)을 포함한다. Referring to FIG. 3, the substrate stage 110 includes a white oxide-based first oxide film formed entirely on the base plate 110a and the upper portion of the base plate 110a (that is, one surface on which the substrate 10 is seated). And a black series second oxide film 110c partially formed in the second region 110_2 on the first oxide film 110b.

베이스 플레이트(110a)는 알루미늄 또는 그 합금 등의 금속으로 형성될 수 있다. The base plate 110a may be formed of metal such as aluminum or an alloy thereof.

제1 산화막(110b)은 베이스 플레이트(110a)의 상부를 백색 계열의 피막으로 산화처리함에 의해 형성된다. 산화처리시, 유기 염료 또는 무기 안료 등을 이용해 착색시키거나, 자연발색법 또는 전해착색법 등을 이용하면 원하는 색상의 피막으로 산화막을 형성할 수 있다. The first oxide film 110b is formed by oxidizing the upper portion of the base plate 110a with a white film. In the oxidation treatment, an oxide film can be formed into a film of a desired color by coloring using an organic dye or an inorganic pigment or the like, or by using a natural coloring method or an electrochromic coloring method.

제2 산화막(110c)은 제1 산화막(110b) 상의 제2 영역(110_2)만 선택적으로 흑색 계열의 피막으로 산화처리함에 의해 형성된다. 이를 위해, 제1 산화막(110b) 상의 제1 영역(110_1)을 테이프 등에 의해 마스킹하고, 흑색으로 제2 영역(110_2)을 산화시키는 공정을 통해 제2 산화막(110c)을 형성할 수 있다. The second oxide film 110c is formed by selectively oxidizing only the second region 110_2 on the first oxide film 110b into a black-based film. To this end, the second oxide film 110c may be formed by masking the first region 110_1 on the first oxide film 110b with a tape or the like and oxidizing the second region 110_2 in black.

여기서, 제1 영역(110_1)과 제2 영역(110_2)의 경계는 기판(10)의 가장자리를 기준으로 검사 패드부(12)가 내측으로 최대한 전진되어 형성될 수 있는 영역 내에서 설정되는 것으로, 기판(10)의 설계 구조에 따라 조절될 수 있다. Here, the boundary between the first area 110_1 and the second area 110_2 is set in an area where the test pad part 12 may be formed to move forward as far as possible with respect to the edge of the substrate 10. It may be adjusted according to the design structure of the substrate 10.

한편, 전술한 바와 같이 제1 산화막(110b)의 일 영역 상에 제2 산화막(110c) 을 형성하여 기판 스테이지(110)를 산화처리하는 경우, 기판 스테이지(110)에 안착된 기판에 대한 검사를 수행할 때 제1 및 제2 산화막(110a, 110b)의 단차로 인한 오작동 문제가 발생하지 않도록 제2 산화막(110c)을 미세 가공할 수 있다. 예를 들어, 제2 산화막(110c)은, 제1 산화막(110b)과의 단차가 0.001-0.010mm 특히, 0.005mm 이내의 범위를 가지도록 미세하게 산화처리될 수 있다. 이에 의해, 검사장치(100)를 이용한 패널의 각종 검사가 원활히 진행될 수 있다. As described above, when the second oxide film 110c is formed on one region of the first oxide film 110b to oxidize the substrate stage 110, the inspection of the substrate seated on the substrate stage 110 is performed. When performing the second oxide film 110c, the second oxide film 110c may be finely processed so that a malfunction of the first and second oxide films 110a and 110b may not occur. For example, the second oxide film 110c may be minutely oxidized so that the step with the first oxide film 110b is within a range of 0.001-0.010 mm, in particular, within 0.005 mm. As a result, various inspections of the panel using the inspection apparatus 100 may proceed smoothly.

한편, 전술한 검사장치(100)는 단지 본 발명을 설명하기 위한 일례를 개시한 것으로, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 즉, 서로 접촉되는 다양한 구성요소들 사이의 접촉 여부를 육안으로도 용이하게 확인할 수 있도록 이들이 접촉되는 영역에서의 기판 스테이지 등을 백색 계열로 공정처리하는 본 발명의 기술사상은 다양한 분야에서 변형 실시될 수 있음은 물론이다. On the other hand, the above-described inspection apparatus 100 discloses only one example for explaining the present invention, the present invention is not limited thereto. That is, the technical concept of the present invention, which processes the substrate stage, etc., in a white series in a region where they are in contact with each other so that the contact between the various components in contact with each other can be easily checked with the naked eye, may be modified in various fields. Of course it can.

도 1은 본 발명의 실시예에 의한 평판표시패널의 검사장치를 개략적으로 도시한 분해 사시도. 1 is an exploded perspective view schematically showing an inspection apparatus of a flat panel display panel according to an embodiment of the present invention.

도 2는 도 1에 도시된 기판 스테이지의 확대 사시도.FIG. 2 is an enlarged perspective view of the substrate stage shown in FIG. 1. FIG.

도 3은 도 1에 도시된 검사장치의 결합 단면도.3 is a combined cross-sectional view of the inspection apparatus shown in FIG.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

10: 기판 12: 검사 패드부10: substrate 12: inspection pad portion

100: 검사장치 110: 기판 스테이지100: inspection apparatus 110: substrate stage

110a: 베이스 플레이트 110b: 제1 산화막110a: base plate 110b: first oxide film

110c: 제2 산화막 120: 프로브 프레임110c: second oxide film 120: probe frame

122: 프로브 핀 122: probe pin

Claims (3)

적어도 하나의 평판표시패널과 상기 평판표시패널의 검사 패드부가 구비된 기판이 안착되는 기판 스테이지와, A substrate stage on which a substrate including at least one flat panel display panel and an inspection pad of the flat panel display panel is mounted; 상기 기판의 상부에서 상기 검사 패드부와 접촉되어 상기 검사 패드부로 전기적 신호를 인가하는 프로브 핀이 구비된 프로브 프레임을 포함하며, And a probe frame provided with a probe pin contacting the test pad part on the substrate to apply an electrical signal to the test pad part. 상기 기판 스테이지는 상기 기판이 안착되는 일 면이 산화처리되되, 상기 검사 패드부가 위치되는 제1 영역은 백색 계열의 피막으로 산화처리되고, 상기 평판표시패널의 발광부 또는 상기 평판표시패널이 위치되는 제2 영역은 흑색 계열의 피막으로 산화처리된 평판표시패널의 검사장치.The substrate stage may be oxidized on one surface on which the substrate is seated, and the first area where the test pad part is positioned is oxidized with a white film, and the light emitting part of the flat panel display panel or the flat panel is positioned. An inspection apparatus for a flat panel display panel in which a second area is oxidized with a black film. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 기판 스테이지는, 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트의 상기 기판이 안착되는 일 면에 전면적으로 형성된 백색 계열의 제1 산화막과, 상기 제1 산화막 상의 상기 제2 영역에 부분적으로 형성된 흑색 계열의 제2 산화막을 포함하는 평판표시패널의 검사장치. The substrate stage may include a base plate, a first white oxide film formed entirely on a surface on which the substrate of the base plate is seated, and a second black substrate partially formed in the second region on the first oxide film. An inspection apparatus for a flat panel display panel including an oxide film. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 제1 영역과 상기 제2 영역의 경계는 상기 기판의 가장자리를 기준으로 상기 검사 패드부가 내측으로 최대한 전진되어 형성될 수 있는 영역 내에서 설정되 는 평판표시패널의 검사장치.And a boundary between the first area and the second area is set in an area in which the test pad part may be extended as far as possible to the inside with respect to the edge of the substrate.
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