KR100956894B1 - Precision measurement device - Google Patents

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KR100956894B1 KR1020090070132A KR20090070132A KR100956894B1 KR 100956894 B1 KR100956894 B1 KR 100956894B1 KR 1020090070132 A KR1020090070132 A KR 1020090070132A KR 20090070132 A KR20090070132 A KR 20090070132A KR 100956894 B1 KR100956894 B1 KR 100956894B1
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Abstract

PURPOSE: An optical measuring device for high-accuracy is provided to precisely observe an object by magnifying the object using a high-resolution optical measuring lens used to a microscope. CONSTITUTION: An optical measuring device for high-accuracy comprises a base(102), a stage(103), a lifting unit(104), an illuminator(106), and a micrometer(107). The base has a measuring hole(101) so that an object can be exposed. The stage is installed in the side of the measuring hole, and is horizontally and vertically moved. The lifting unit is installed in the top of the stage. The illuminator is formed in a measuring lens(105). The micrometer is connected to the stage, and displays a change of the moved stage.

Description

고정도 광학 측정장치{PRECISION MEASUREMENT DEVICE}[0001] PRECISION MEASUREMENT DEVICE [0002]

본 발명은 고정도 광학 측정장치에 관한 것으로서 더욱 상세하게는 휴대가 용이하면서도 단위면적당 밀도 또는 미세한 간격의 측정을 용이하게 수행할 수 있도록 한 고정도 광학 측정장치의 제공에 관한 것이다.The present invention relates to a high-precision optical measuring apparatus, and more particularly, to a high-precision optical measuring apparatus capable of easily carrying out density measurement or fine-interval measurement per unit area.

일반적으로 측정장치는 길이, 깊이, 높이, 두께 또는 밀도 등을 측정하기 위하여 다양하게 개발되어 사용되고 있는 실정이며, 간단하게는 스케일종류를 비롯하여 광학측정장치 등 다양한 종류가 개발되어 사용되고 있는 실정이다.In general, a measuring apparatus has been developed and used variously in order to measure length, depth, height, thickness, or density, and various types such as a scale type and an optical measuring apparatus have been developed and used.

이러한 측정 장치 중에서 섬유밀도를 측정하기 위한 장치 또는 구조물의 균열상태를 측정하는 장치의 경우에는 일반적인 시각 상태에서는 쉽게 식별하지 못하고 정밀한 측정을 수행하지 못하기 때문에 전용의 측정장치(장비)를 이용하여 수행하게 된다.Among these measuring devices, in the case of a device for measuring fiber density or a device for measuring a crack state of a structure, it is difficult to perform accurate measurement because it can not be easily identified in a general visual state. Therefore, a dedicated measuring device .

예를 들어 도 6에 도시된 바와 같이 섬유밀도를 측정하기 위한 밀도측정기(1)는 1인치 크기의 측정홀(2)에 눈금자(3)를 가지는 베이스(4)를 구비하고, 상기 베이스(4)의 일단에 힌지 연결되는 개략 ㄱ 형상의 측정앵글(5)을 접철 가능하게 구비한다.For example, as shown in FIG. 6, the density measuring device 1 for measuring the fiber density has a base 4 having a ruler 3 in a measurement hole 2 of 1 inch size, and the base 4 The measuring angle 5 is hingedly connected to one end of the measuring angle.

상기 측정앵글(5)의 상면 중앙에는 측정홀(2)에 위치한 섬유(원단)을 확대하여 시각적으로 볼 수 있도록 볼록렌즈(6)를 장착하여 구성된다.And a convex lens 6 is mounted on the center of the upper surface of the measuring angle 5 so as to enlarge the fiber (fabric) located in the measurement hole 2 so as to visually see it.

균열측정의 경우에는 구조물에 발생한 균열위치(7) 양측에 측정홈(8)을 가지는 측정핀(9)을 구조물에 박아서 고정시키고, 상기 측정홈(8) 사이를 디바이스, 스케일 등과 같은 측정수단을 이용하여 균열위치(7)의 간격을 측정하도록 하고 있다.In the case of crack measurement, a measurement pin 9 having measurement grooves 8 on both sides of a crack position 7 formed in a structure is fixed to a structure and fixed between the measurement grooves 8 by measurement means such as a device, a scale, So that the interval between cracks 7 is measured.

상기와 같은 종래 기술에서 원단 밀도측정기의 경우에는 측정하고자 하는 원단에 측정기를 안치시킨 후 볼록렌즈를 통하여 측정홀 내부에 위치한 원단을 구성하는 원사의 수를 시각적으로 하나하나 세어서 확인하는 방법을 취하기 때문에 측정이 쉽지않게 된다.In the case of the conventional density measuring machine as described above, a method of counting the number of yarns constituting the fabric located inside the measuring hole visually by taking a measuring device on a fabric to be measured, This makes measurement difficult.

또한, 한번에 측정하고자 하는 원단이 많을 경우에는 작업자의 시력 피로도가 증가하기 때문에 정확한 측정이 어려운 것은 물론, 많은 시간이 소요되기 때문에 측정 효율이 좋지않게 되므로 정확한 밀도를 측정하거나 이를 제공하는 것이 어렵게 된다.In addition, when the number of fabrics to be measured at a time is large, the visual acuity of the worker increases, which makes it difficult to accurately measure, and it takes a long time, which makes measurement efficiency poor and it becomes difficult to measure or provide accurate densities.

상기 밀도측정기의 경우에는 작은 크기이면서 접철할 수 있어 휴대하기는 용이하나, 측정기에 구비되는 볼록렌즈가 단 렌즈로 구성되기 때문에 측정하고자 하는 원단을 확대하는 데 한계가 있기 때문에, 근자에 들어 개발되고 있는 극세사와 같은 원단의 경우에는 일반적인 고배율 고정식 현미경으로 실의 굵기 정도만 측정할 수 있을 뿐 미이크로미터 단위로 측정하는 것이 불가하게 된다.Since the convex lens provided in the measuring device is composed of a single lens, there is a limit to enlarge the fabric to be measured, so that the density measuring device is developed in recent years In the case of a fabric such as a microfiber, only a thickness of the yarn can be measured with a general high-magnification fixed-type microscope, and measurement in micrometer units becomes impossible.

균열측정의 경우에는, 구조물의 균열 특성상 붕괴 등과 같은 문제가 발생하기 전에 일어나는 것이므로 균열의 범위가 아주 미세한 정도(수 마이크로미터)이기 때문에 정밀하고 고도한 측정이 이루어져야 함에도 불구하고, 균열위치에 고정되는 측정핀에 형성되는 측정홈 자체가 가지는 오차와 더불어 측정수단이 가지는 오차와 같은 누적 오차 때문에 정밀한 측정이 이루어질 수 없는 실정이다.In the case of crack measurement, it takes place before a problem such as collapse occurs due to the crack nature of the structure. Therefore, although the range of the crack is very small (several micrometers), accurate and highly accurate measurement must be made. Accurate measurement can not be performed due to an error of the measurement groove itself formed on the measurement pin and an accumulated error such as an error of the measurement means.

그리고, 작은 크기의 원단(기타물체 등)의 경우에는 현미경을 이용하여 시각적으로 확인하고 이를 컴퓨터와 연결하여 대상물을 확대하여 확인할 수 있도록 하고 있으나, 이 경우에는 현미경을 상시 휴대하면서 측정하는 것이 어렵게 되는 문제점이 따른다.In the case of a small-size fabric (other objects, etc.), a microscope is used to visually check the object, and the object is connected to a computer to enlarge the object. In this case, however, There is a problem.

가로 세로의 크기가 300㎜이상의 피시비(PCB)의 중간에 형성된 홀 또는 홈의 측정은 불가하게 되는 데, 이는 현미경에 피시비를 위치시키는 것이 힘들고 더욱이 측정하고자 하는 홈의 위치를 대물렌즈와 초점을 맞추지 못하기 때문에 측정이 불가능하게 된다.It is impossible to measure a hole or a groove formed in the middle of a PCB having a size of 300 mm or more. This is because it is difficult to place a PCB in a microscope and furthermore, a position of a groove to be measured is focused on an objective lens The measurement becomes impossible because it is impossible.

또한, 현미경이 측정하는 내용을 컴퓨터의 모니터를 통하여 확인할 수 있도록 하기 위해서는 전용의 프로그램이 설치되어 있어야 하기 때문에 측정위치가 항상 고정된 상태에서 화면으로 캡처해서 저장하고 난 후 기준스케일로 새롭게 거리세팅을 한 추 측정하여야 하므로 측정이 효율적이지 못하고 모든 대상물에 적용할 수 없게 되는 등 여러 문제점이 있는 실정이다.In addition, since a dedicated program must be installed in order to be able to check the contents of the microscope measurement through a computer monitor, the measurement position is always fixed, and the captured image is captured on the screen, and a new distance setting There is a problem that the measurement is not efficient and can not be applied to all the objects.

이에 본 발명에서는 상기와 같은 문제점들을 해결하기 위하여 발명한 것으로서 일측에 측정 대상물이 노출될 수 있도록 측정홀를 가지고 구비되는 베이스와, 상기 측정홀의 측방에 장착하여 X,Y 방향으로 움직이는 스테이지와, 상기 스테이지의 상방에 설치하여 스테이지(103)에 대하여 Y축으로 움직이면서 승강하는 승강자와, 상기 승강자에 측정 대상물을 확대하여 시각적으로 확인할 수 있도록 교환가능하게 구비하는 측정렌즈와, 상기 측정렌즈의 측방에는 측정 대상물을 보다 선명한 상태에서 관찰할 나타내는 마이크로미터로 구성하여,In order to solve the above problems, the present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a measurement apparatus and a measurement apparatus, A measuring lens provided on the stage 103 so as to move up and down with respect to the stage 103 while moving in the Y axis direction; The object to be measured is constituted by a micrometer to be observed in a clearer state,

휴대가 간편하기 때문에 언제 어디에서나 정밀한 상태의 측정이 가능하면서도 측정대상물에 맞게 고배율 또는 저배율의 측정렌즈를 교환 장착할 수 있고, 마이크로미터를 이용하여 미세한 측정까지 가능하도록 하는 것이 특징이다.Since it is easy to carry, it is possible to exchange high-magnification or low-magnification measurement lenses according to the object to be measured, while allowing precise measurement at any time and anywhere, and to perform microscopic measurement using a micrometer.

본 발명은 현미경 등에 사용되는 고배율의 광학 측정렌즈를 이용하여 측정대상물을 확대하여 세밀하게 관찰할 수 있도록 하면서, 측정대상물에 대하여 측정렌즈를 X,Y,Z축으로 움직이면서 조절가능하고, X,Y축의 움직임을 디지털 마이크로미터를 통하여 수치정보를 얻어서 쉽고 고정밀 상태의 정보를 측정하고 얻을 수 있고, 휴대 가능하도록 함으로서 언제 어느 곳에서나 대상물의 종류에 관계없이 밀도와 거리를 측정할 수 있는 등 다양한 효과를 가지는 발명이다.The present invention can adjust the X, Y, and Z axes while moving the measurement lens with respect to the measurement object while enlarging and observing the measurement object with high magnification optical measuring lenses used in a microscope or the like, By taking the numerical information through the digital micrometer, it is possible to measure and acquire information of high precision state. By making it portable, it is possible to measure density and distance regardless of object type at any time. The invention is an invention.

이하 첨부되는 도면과 관련하여 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 구성과 작용에 대하여 설명하면 다음과 같다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 기술이 적용된 고정도 광학 측정장치를 도시한 외관 사시사진, 도 2는 본 발명의 기술이 적용된 고정도 광학 측정장치의 A - A선을 따라서 취한 단면도, 도 3은 본 발명의 기술이 적용된 고정도 광학 측정장치를 도시한 평면 상태의 사진, 도 4는 본 발명의 기술이 적용된 고정도 광학 측정장치를 도시한 측면상태의 사진, 도 5는 본 발명의 기술이 적용된 고정도 광학 측정장치를 도시한 배면 상태의 사진으로서 함께 설명한다.2 is a cross-sectional view taken along line A-A of a high-precision optical measuring apparatus to which the technique of the present invention is applied; FIG. 3 is a cross- FIG. 4 is a photograph of a side view showing a high-precision optical measuring apparatus to which the technique of the present invention is applied, FIG. 5 is a photograph of a high-precision optical measuring apparatus to which the technique of the present invention is applied, The optical measuring apparatus will be described together with a photograph of the back surface state shown in the figure.

본 발명의 기술이 적용되는 고정도 광학 측정장치(100)는, 일측에 측정 대상물이 노출될 수 있도록 측정홀(101)를 가지는 판상의 베이스(102)를 구비하고, 상기 측정홀(101)의 측방에는 X,Y 방향으로 움직이는 스테이지(103)를 장착한다.The optical intensity measuring apparatus 100 according to the present invention includes a plate-like base 102 having a measurement hole 101 for exposing an object to be measured on one side thereof, And a stage 103 moving in X and Y directions is mounted on the side.

상기 스테이지(103)의 상방에는 스테이지(103)에 대하여 Y축으로 움직이면서 승강하는 승강자(104)를 설치하고, 상기 승강자(104)에는 측정 대상물을 확대하여 시각적으로 확인하기 위한 측정렌즈(105)를 연결한다.An elevating device 104 is provided above the stage 103 to move up and down in the Y direction with respect to the stage 103. The elevating device 104 is provided with a measurement lens 105 for magnifying and visually confirming the measurement object ).

상기 측정렌즈(105)의 측방에는 측정 대상물을 보다 선명한 상태에서 관찰할 수 있도록 조명(106)을 구비하고, 상기 스테이지(103)에는 X,Y축으로 움직인 측정값을 길이의 변화를 나사의 회전각과 경에 의해 확대하여 그 확대된 길이에 눈금을 붙여 미소의 길이변화를 읽어서 나타내도록 하는 마이크로미터(107)를 구비하여 구성한다.The stage 103 is provided with a measurement value moving in the X and Y axes and a change in the length of the measurement lens 105 in the direction of the screw And a micrometer 107 for enlarging by a rotation angle and a diameter and attaching a scale to the enlarged length to read and display a change in the length of the minute.

상기 스테이지(103)는 베이스(102)의 상면에 고정되어 X축 방향으로 움직이는 X스테이지(110)와 상기 X스테이지(110)의 상면에 고정되어 Y축 방향으로 움직이는 Y스테이지(111)로 구성한다.The stage 103 is composed of an X stage 110 fixed on the upper surface of the base 102 and moving in the X axis direction and a Y stage 111 fixed on the upper surface of the X stage 110 and moving in the Y axis direction .

상기 X스테이지(110)는 베이스(102)의 상면에 고정되는 X고정스테이지(112)와 상기 X고정스테이지(112)의 상면에 슬라이딩수단(113)으로 움직임 자유롭게 결합 되는 X가동스테이지(114)로 구성한다.The X stage 110 includes an X fixed stage 112 fixed to the upper surface of the base 102 and an X movable stage 114 movably coupled to the upper surface of the X fixed stage 112 by a sliding means 113 .

상기 Y스테이지(111)는 X스테이지(110)를 구성하는 X가동스테이지(114)의 상면에 고정되는 Y고정스테이지(115)와 상기 X고정스테이지(112)의 상면에 슬라이딩수단(113)으로 움직임 자유롭게 결합 되는 Y가동스테이지(116)로 구성한다.The Y stage 111 includes a Y fixed stage 115 fixed to the upper surface of the X movable stage 114 constituting the X stage 110 and a Y movable stage 115 moving on the upper surface of the X fixed stage 112 by the sliding means 113 And a Y movable stage 116 which is freely coupled.

상기 슬라이딩수단(113)은 슬라이딩레일과 슬라이딩블럭의 조합, 볼베어링 또는 엘엠가이드 등과 같이 외부에서 힘이 전도되면 자유롭게 X,Y방향으로 자유롭게 움직일 수 있는 통상적인 기구를 적용하면 되며, 상기 X,Y고정 및 가동스테이지(112,115,114,116)에는 측정장치(100)를 사용하는 과정에서 발생하는 기울기 또는 원하지 않는 외압에 의하여 X,Y가동스테이지(114,116)가 움직이는 것을 제한할 수 있도록 통상적인 나사조절 형태의 스토퍼를 구비함은 당연할 것이다.The sliding means 113 may be a combination of a sliding rail and a sliding block, a ball bearing or an EL guide, or the like, and may freely move freely in X and Y directions when a force is transmitted from the outside. And movable stages 112, 115, 114, and 116 are provided with stoppers of a conventional screw adjustment type so as to restrict movement of the X and Y movable stages 114 and 116 due to inclination or unwanted external pressure generated in the process of using the measuring apparatus 100 It would be natural.

상기 Y가동스테이지(116)의 상면 일단에는 측정장치(100)를 용이하게 취급(들고 옮기거나 이동시키는 등)할 수 있도록 손잡이(117)를 고정하도록 한다.The knob 117 is fixed to one end of the upper surface of the Y movable stage 116 so that the measuring apparatus 100 can be easily handled (moved, moved, etc.).

상기 승강자(104)는 Y가동스테이지(116)의 상면에 승강블럭(120)을 가이드(121)로 유지되도록 고정하고, 상기 승강블럭(120)의 외측에는 베이스(102)의 측정홀(101) 방향으로 돌출되어 승강수단(122)에 의하여 상,하 방향으로 움직이는 승강자(123)를 결합한다.The elevating member 104 fixes the elevating block 120 on the upper surface of the Y movable stage 116 so as to be held by the guide 121 and the measuring hole 101 of the base 102 is fixed to the outside of the elevating block 120 And moves up and down by the lifting means 122. The lifting means 122 is connected to the lifting device 123 which moves upward and downward.

상기 승강수단(122)은 다양한 형태로의 실시가 가능할 것이나 본 발명의 도면에서는 승강블럭(120)에 손잡이(124)에 의하여 정,역회전하는 피니언(125)을 구비하고, 상기 승강자(123)에는 피니언(125)과 연접하는 랙(126)을 설치하여 피니언(125)에 의하여 랙(126)이 승,하강함으로서 승강자(123)가 움직일 수 있도록 구성 하였다.Although the elevating means 122 can be implemented in various forms, in the present invention, the elevating block 120 is provided with a pinion 125 which rotates forward and reverse by the handle 124, A rack 126 is provided to be connected to the pinion 125 so that the rack 126 is moved up and down by the pinion 125 so that the lifter 123 can move.

상기 승강자(123)에는 측정렌즈(105)를 결합하여 움직이지 않도록 단속하기 위한 단속볼트를 가지는 렌즈링(127)을 가지도록 한다.The elevating member 123 has a lens ring 127 having an interlocking bolt for interlocking the measuring lens 105 so as not to move.

상기 측정렌즈(105)는 렌즈링(127)에 결합 되는 렌즈바디(130)의 상부에는 측정자의 눈과 연접되는 접안렌즈(131)를 가지도록 하고, 렌즈바디(130)의 하방에는 측정대상물과 근접되는 대물렌즈(132)를 가지도록 구성하며, 측정렌즈(105)는 측정 대상체에 따라 배율에 맞는 것으로 교환할 수 있도록 함은 당연할 것이다.The measurement lens 105 has an eyepiece lens 131 connected to the eye of the measurer at an upper portion of the lens body 130 coupled to the lens ring 127, It is natural that the measuring lens 105 is configured so as to have an objective lens 132 that is close to the measuring object and that the measurement lens 105 can be changed to a magnification depending on the object to be measured.

상기 조명(106)은 렌즈바디(130)와 통상적으로 소형배터리를 내장하여 스위치에 의하여 점,소등되는 조명바디(135)로부터 돌출되는 자웅체의 조명브라켓(136)을 조절자(137)를 이용하여 각도 조절 가능하게 구비한다.The illumination unit 106 includes a lens body 130 and a miniature battery. The illumination bracket 136 protruding from the illumination body 135, which is normally turned on and off by a switch, So that the angle can be adjusted.

물론, 상기 조명(106)의 하단부에는 점등수단이 구비되어 측정홀(101)의 중앙에 근접되게 구비되는 대물렌즈(132) 위치에서 빛을 비추어 측정대상물을 선명하게 확인할 수 있도록 한다.Of course, the lighting unit is provided at the lower end of the illumination unit 106 so that light can be illuminated at the position of the objective lens 132, which is located close to the center of the measurement hole 101, so that the measurement object can be clearly identified.

상기 마이크로미터(107)는 X,Y스테이지(110,111)를 구성하는 X,Y고정스테이지(112,115)의 측방으로 돌출되는 미터브라켓(140)에 측정값을 숫자로 표시하는 디지털게이지(141)를 가지는 미터바디(142)를 장착하고, 상기 X,Y가동스테이지(114,116)의 측방으로 돌출되는 스핀들브라켓(143)에는 마이크로미터(107)의 스핀들(144)을 연결하여 X,Y고정스테이지(112,115)에 대하여 X,Y가동스테이지(114,116)의 움직임 값을 측정할 수 있도록 한다.The micrometer 107 has a digital gauge 141 for displaying measured values in numerical brackets 140 protruding sideways of the X and Y fixed stages 112 and 115 constituting the X and Y stages 110 and 111 And the spindle 144 of the micrometer 107 is connected to the spindle bracket 143 protruding laterally from the X and Y movable stages 114 and 116 to mount the X and Y fixed stages 112 and 115, So that the movement values of the X and Y movable stages 114 and 116 can be measured.

상기와 같은 본 발명의 기술이 적용된 고정도 광학 측정장치(100)의 사용상태를 살펴보면 다음과 같다.The state of use of the high-precision optical measuring apparatus 100 to which the technique of the present invention is applied will be described below.

먼저 측정장치(100)를 손잡이(117)를 이용하여 용이하게 움직일 수 있게 되므로 측정대상물 위에 베이스(102)를 안치하면 되는데, 측정대상물이 테이블과 같은 곳에 위치하고 있을 경우에는 베이스(102)를 단순히 놀려놓고 측정홀(101)에 측 정대상물이 노출되도록 하면 된다.The measurement device 100 can be easily moved using the knob 117 so that the base 102 is placed on the measurement object. If the measurement object is located at the same position as the table, So that the measurement object 101 is exposed to the measurement hole 101.

그리고, 측정대상물이 평평한 곳에 위치하지 않고 구조물과 같이 벽면 또는 경사진 위치에 있을 경우에는 한 손으로는 손잡이(117)를 잡고 측정장치(100) 전체를 안정되게 유지하고, 다른 한 손으로는 측정장치(100)를 조작하면서 측정하면 된다.When the object to be measured is not located on a flat surface and is located on a wall surface or an inclined position like a structure, the entirety of the measuring apparatus 100 is stably held by holding the handle 117 with one hand, It may be measured while operating the apparatus 100.

예를 들어, 베이스(102)에 형성된 측정홀(101)에 측정대상물을 위치시킨 후 스테이지(103)의 상방에 구비되는 승강자(104)를 이용하여 측정렌즈(105)를 측정대상물과 근접시켜 육안으로 선명한 상태로 확인할 수 있도록 한다.For example, after the measurement object is placed in the measurement hole 101 formed in the base 102, the measurement lens 105 is brought close to the measurement object using the elevating device 104 provided above the stage 103 Make sure that it is visible with the naked eye.

승강자(104)를 구성하는 승강블럭(120)에 구비되는 손잡이(124)를 정,역회전시키면 손잡이(124)와 연결된 피니언(125)이 회전하게 되고, 상기 피니언(125)과 연접된 랙(126)이 상,하 방향으로 움직이고, 상기 랙(126)은 승강자(123)에 고정되어 있으므로 렌즈링(127)을 가지는 승강자(123)가 측정대상물과 근접 및 이탈하게 되는 것이다.The pinion 125 connected to the handle 124 rotates when the handle 124 provided on the elevation block 120 constituting the elevator 104 rotates in the forward and reverse directions and the rack 125 connected to the pinion 125 rotates. Since the rack 126 is moved upward and downward and the rack 126 is fixed to the elevating device 123, the elevating device 123 having the lens ring 127 is brought close to or away from the measuring object.

이와 같이 승강자(123)의 움직임으로 승강자(123)에 고정된 측정렌즈(105)가 측정대상물에 근접하게 되면, 측정렌즈(105)를 구성하는 접안렌즈(131)의 촛점을 조절하여 측정대상물과 근접한 대물렌즈(132)를 통하여 측정대상물을 고배율로 확대하면서 렌즈에 구비되는 스케일(눈금)을 통하여 선명한 상태로 확인할 수 있게 된다.When the measuring lens 105 fixed to the lifting magnet 123 approaches the object to be measured by the motion of the lifting magnet 123 as described above, the focus of the eyepiece 131 constituting the measuring lens 105 is adjusted The object to be measured can be magnified at a high magnification through the objective lens 132 close to the object and can be confirmed in a clear state through a scale (scale) provided in the lens.

물론, 대물 또는 접안렌즈(131,132)에는 측정 기준점을 정하거나 간단하게 측정할 수 있는 측정눈금이 표시되어 있음은 당연할 것이며, 이때, 렌즈바디(130) 와 조명바디(135)에 돌출되는 조명브라켓(136)에 구비되는 조명(106)을 측정대상물 위치에 조절하여 빛을 발하도록 함으로서 보다 선명하게 측정대상물을 확인 가능하게 된다.Of course, it is a matter of course that the objective or eyepieces 131 and 132 are marked with measuring graduations that can measure or simply measure the measurement reference point. In this case, the illumination body 130 and the illumination body 135, It is possible to confirm the measurement object more clearly by adjusting the illumination 106 provided in the light source 136 to the position of the measurement object to emit light.

이와 같이 측정렌즈(105)를 통하여 측정대상물의 측정기준점을 정한 후에는 마이크로미터(107)에 구비되는 디지털게이지(141)를 "0"로 세팅한 후 측정기준점을 기준으로 X,Y방향으로 미터바디(142)를 조작하여 움직이면 움직인 거리만큼 측정값이 디지털게이지(141)에 수치로 표시되므로 간단하게 측정을 완료할 수 있게 된다.After the measurement reference point of the measurement object is determined through the measurement lens 105 as described above, the digital gauge 141 provided in the micrometer 107 is set to "0" When the body 142 is operated, the measured value is displayed on the digital gauge 141 as a numerical value by a moving distance, so that the measurement can be completed easily.

이러한 측정은 측정대상물의 측정기준점에서 측정하고자하는 마지막 위치까지 마이크로미터(107)를 계속 조작하여 움직이도록 하거나, 균일한 간격을 가지는 측정대상물일 경우에는 하나의 간격만 측정한 후 전체길이를 계산하여 곱하거나 나누는 방식으로 측정하는 등 다양하고 편리한 방법으로 측정값을 추출할 수 있고, 마이크로미터의 측정수치를 전용프린트로 출력할 수 있게 되므로 이는 이용자의 편의에 따를 수 있을 것이다.This measurement is performed by continuously operating the micrometer 107 from the measurement reference point of the measurement object to the last position to be measured, or when measuring the measurement object having a uniform interval, only one interval is measured and the total length is calculated It is possible to extract measurement values by various and convenient methods such as measurement by multiplying or dividing, and it is possible to output measurement values of the micrometer to a dedicated print, so that it can be made convenient for the user.

상기와 같이 측정대상물을 측정하기 위하여 마이크로미터(107)를 조작하여 스테이지(103)를 구성하는 X,Y스테이지(110,111)가 움직이는 과정을 살펴보면 다음과 같다.A process of moving the X and Y stages 110 and 111 constituting the stage 103 by operating the micrometer 107 in order to measure the measurement object will now be described.

X,Y스테이지(110,111)가 슬라이딩수단(113)을 개재하여 X,Y고정 및 가동스테이지(112,114,115,116)으로 움직임이 자유롭게 구비되어 있고, 마이크로미터(107)를 구성하는 미터바디(142)는 X,Y고정스테이지(112,115)에 구비되는 미터브라켓(140)과 결합하고, 마이크로미터(107)의 스핀들(144)은 X,Y 가동스테이지(114,116)에 구비되는 스핀들브라켓(143)과 결합하고 있는 상태에 있다.The X and Y stages 110 and 111 are freely movable by the X and Y fixed and movable stages 112, 114, 115 and 116 through the sliding means 113. The meter body 142 constituting the micrometer 107 is movable in X, And the spindle 144 of the micrometer 107 is coupled to the spindle bracket 143 provided on the X and Y movable stages 114 and 116 .

그러므로 마이크로미터(107)의 미터바디(142)를 정,역회전시키면 스핀들(144)이 미터바디(142)를 출입하면서 X,Y고정스테이지(112,115)에 대하여 X,Y가동스테이지(114,116)를 움직이게 되므로 측정 기준점으로 측정 마지막 위치로 이동시키면서 측정하는 것이 가능하게 되는 것이다.Therefore, when the meter body 142 of the micrometer 107 is rotated in the forward and reverse directions, the spindle 144 moves in and out of the meter body 142 to move the X and Y movable stages 114 and 116 relative to the X and Y fixed stages 112 and 115 It becomes possible to measure while moving to the last measurement position with the measurement reference point.

이러한 본 발명의 측정장치는 휴대가 간편하기 때문에 언제 어디에서나 정밀한 상태의 측정이 가능하면서도 측정대상물에 맞게 고배율 또는 저배율의 측정렌즈를 교환 장착할 수 있고, 마이크로미터를 이용하여 미세한 측정까지 가능하여 고정도 측정을 전용의 프로그램 등을 필요로 하지 않으면서 쉽게 수행할 수 있는 장점을 가진다.Since the measuring apparatus of the present invention can be easily carried, it is possible to perform precise measurement at any time and anywhere, and it is also possible to replace the high-magnification or low-magnification measurement lens according to the measurement object, It is advantageous that measurement can be easily performed without requiring a dedicated program or the like.

도 1은 본 발명의 기술이 적용된 고정도 광학 측정장치를 도시한 외관 사시사진.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is an external perspective view showing a high-precision optical measuring apparatus to which the technique of the present invention is applied. Fig.

도 2는 본 발명의 기술이 적용된 고정도 광학 측정장치의 A - A선을 따라서 취한 단면도.2 is a cross-sectional view taken along line A-A of the high-precision optical measuring apparatus to which the technique of the present invention is applied.

도 3은 본 발명의 기술이 적용된 고정도 광학 측정장치를 도시한 평면 상태의 사진.3 is a plan view of a high-precision optical measuring apparatus to which the technique of the present invention is applied.

도 4는 본 발명의 기술이 적용된 고정도 광학 측정장치를 도시한 측면상태의 사진.4 is a photograph of a side view showing a high-precision optical measuring apparatus to which the technique of the present invention is applied.

도 5는 본 발명의 기술이 적용된 고정도 광학 측정장치를 도시한 배면 상태의 사진.5 is a photograph of a back surface state showing a high-precision optical measuring apparatus to which the technique of the present invention is applied.

도 6은 종래 기술이 적용된 섬유밀도 측정기와 균열측정기를 예시적으로 도시한 구성도.FIG. 6 is a view schematically showing a fiber density measuring instrument and a crack measuring instrument to which the prior art is applied; FIG.

*도면의 주요 부분에 사용된 부호의 설명*Description of the symbols used in the main parts of the drawings

100; 고정도 광학 측정장치100; High precision optical measuring device

103; 스테이지103; stage

104; 승강자104; Winner

105; 측정렌즈105; Measuring lens

106; 조명106; light

107; 마이크로미터107; Micrometer

Claims (4)

일측에 측정 대상물이 노출될 수 있도록 측정홀(101)를 가지고 구비되는 베이스(102)와;A base 102 provided with a measurement hole 101 for exposing a measurement object to one side; 상기 측정홀(101)의 측방에 장착하여 X,Y 방향으로 움직이는 스테이지(103)와;A stage 103 mounted on the side of the measurement hole 101 and moving in X and Y directions; 상기 스테이지(103)의 상방에 설치하여 스테이지(103)에 대하여 Y축으로 움직이면서 승강하는 승강자(104)와;An elevating device 104 provided above the stage 103 and moving up and down with respect to the stage 103 while moving in the Y axis; 상기 승강자(104)에 교환 가능하게 구비하여 측정 대상물을 확대하여 시각적으로 확인할 수 있도록 하는 측정렌즈(105)와;A measurement lens 105 which is exchangeably provided in the elevating device 104 so that the measurement object can be magnified and visually confirmed; 상기 측정렌즈(105)에 구비하여 측정 대상물을 보다 선명한 상태에서 관찰할 수 있도록 하는 조명(106)과;An illumination (106) provided in the measurement lens (105) so that the measurement object can be observed in a clearer state; 상기 스테이지(103)에 연결하여 X,Y축으로 움직인 측정값을 길이의 변화를 나사의 회전각과 경에 의해 확대하여 그 확대된 길이에 눈금을 붙여 미소의 길이변화를 읽어서 나타내도록 하는 마이크로미터(107)로 구성되는 고정도 광학 측정장치에 있어서;A micrometer (not shown) connected to the stage 103 for moving measured values moving in the X and Y axes by changing the length by a rotation angle and a radius of the screw and attaching a scale to the enlarged length, (107), comprising: 상기 스테이지(103)는 베이스(102)의 상면에 고정되어 X축 방향으로 움직이는 X스테이지(110)와;The stage 103 includes an X stage 110 fixed to the upper surface of the base 102 and moving in the X axis direction; 상기 X스테이지(110)의 상면에 고정되어 Y축 방향으로 움직이는 Y스테이지(111)로 구성하고;A Y stage 111 fixed on the upper surface of the X stage 110 and moving in the Y axis direction; 상기 X스테이지(110)는 베이스(102)의 상면에 고정되는 X고정스테이지(112)와;The X stage 110 includes an X fixed stage 112 fixed to the upper surface of the base 102; 상기 X고정스테이지(112)의 상면에 슬라이딩수단(113)으로 움직임 자유롭게 결합 되는 X가동스테이지(114)를 포함하고;And an X movable stage (114) movably coupled to an upper surface of the X fixing stage (112) by a sliding means (113); 상기 Y스테이지(111)는 X스테이지(110)를 구성하는 X가동스테이지(114)의 상면에 고정되는 Y고정스테이지(115)와;The Y stage 111 includes a Y fixing stage 115 fixed to the upper surface of the X movable stage 114 constituting the X stage 110; 상기 X고정스테이지(112)의 상면에 슬라이딩수단(113)으로 움직임 자유롭게 결합 되는 Y가동스테이지(116)를 포함하고;And a Y movable stage (116) movably coupled to an upper surface of the X fixing stage (112) by a sliding means (113); 상기 승강자(104)는 Y가동스테이지(116)의 상면에 가이드(121)로 유지하는 승강블럭(120)과;The elevating device 104 includes a lifting block 120 that is held by a guide 121 on the upper surface of the Y movable stage 116; 상기 승강블럭(120)의 외측에 측정홀(101) 방향으로 돌출되어 승강수단(122)에 의하여 상,하 방향으로 움직이는 승강자(123)와;A lifting magnet 123 protruding in the direction of the measurement hole 101 outside the lifting block 120 and moving up and down by the lifting means 122; 상기 승강자(123)에 측정렌즈(105)를 결합할 수 있도록 구비하는 렌즈링(127)을 포함하는 것을 특징으로 하는 고정도 광학 측정장치.And a lens ring (127) provided so as to be able to couple the measuring lens (105) to the elevating device (123). 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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