KR100955624B1 - P0lyhedron inspection feeder and polyhedron inspection apparatus - Google Patents
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Abstract
칩 콘덴서 등으로 이루어지는 칩(W)을 검사 대상물로서 공급하는 공급수단(11)과, 이 공급수단(11)에 병설된 이동수단(12)과, 다면체 검사용 피더(13)를 구비하고 있다. 다면체 검사용 피더(13)는, 칩(W)이 이동하는 과정에서 해당 칩(W)을 약 180°회전시키는 홈(50)을 구비한 회전 피드부(41)를 포함한다. 이동수단(12)은 벨트(B)에 의하여 구성되고, 해당 벨트(B)의 면내에 형성된 펀칭구멍(38)내에 칩(W)을 1개씩 수용하여 이동함으로써, 각 칩(W)을 1개씩 이동시키도록 되어 있다. 다면체 검사용 피더(13)의 영역내에서는, 4개의 카메라(14∼17)가 칩(W)의 검사면을 촬상하여 면 정밀도를 검출한다.
홈, 통로 형성부재, 이동수단, 검사 대상물, 회전 피드부, 벨트, 펀칭부, 공급로, 배제수단, 자세 유지수단
It is provided with the supply means 11 which supplies the chip | tip W which consists of chip | tip capacitors etc. as a test | inspection object, the moving means 12 attached to this supply means 11, and the polyhedral test feeder 13. The polyhedral inspection feeder 13 includes a rotary feed part 41 having a groove 50 for rotating the chip W by about 180 ° while the chip W moves. The moving means 12 is comprised by the belt B, and each chip W is accommodated one by one by accommodating and moving one chip W in the punching hole 38 formed in the surface of the said belt B. It is supposed to move. In the area of the polyhedron inspection feeder 13, four cameras 14 to 17 image the inspection surface of the chip W to detect surface accuracy.
Groove, passage forming member, moving means, inspection object, rotary feed part, belt, punching part, supply path, exclusion means, posture maintenance means
Description
도 1은 실시형태에 관한 다면체 검사장치의 전체 구성을 도시하는 개략 정면도, 1 is a schematic front view showing the overall configuration of a polyhedron inspection device according to an embodiment;
도 2는 상기 다면체 검사장치의 개략 평면도, 2 is a schematic plan view of the polyhedron inspection device,
도 3은 공급수단의 개략 평면도, 3 is a schematic plan view of the supply means;
도 4는 공급수단의 주요부 개략 사시도, 4 is a schematic perspective view of a main part of the supply means;
도 5는 앞부 블록을 생략한 공급수단의 개략 사시도, 5 is a schematic perspective view of the supply means omitting the front block;
도 6은 앞부 블록의 내면측을 도시하는 개략 사시도, 6 is a schematic perspective view showing the inner surface side of the front block;
도 7은 칩이 적정한 자세로 공급되는 상태를 도시하는 단면도, 7 is a cross-sectional view showing a state in which a chip is supplied in an appropriate posture;
도 8은 칩이 부적정한 자세로 공급되는 상태를 도시하는 단면도, 8 is a cross-sectional view illustrating a state in which a chip is supplied in an inappropriate position;
도 9는 통로 형성부재로 칩이 이동하는 상태를 도시하는 단면도, 9 is a sectional view showing a state in which a chip moves to a passage forming member;
도 10은 통로 형성부재의 회전 피드부를 도시하는 개략 사시도, 10 is a schematic perspective view showing a rotary feed portion of the passage forming member;
도 11은 회전 피드부의 분해사시도, 11 is an exploded perspective view of the rotary feed unit;
도 12는 회전 피드부에 있어서 칩의 회전동작 설명도, 12 is an explanatory diagram of a chip rotation operation in the rotary feed unit;
도 13은 불량품으로 판정된 칩의 회수수단을 도시하는 주요부 단면도, 및13 is an essential part cross sectional view showing a recovery means of a chip determined as defective;
도 14는 양품으로 판정된 칩의 회수수단을 도시하는 개략 구성도. Fig. 14 is a schematic configuration diagram showing a recovery means for chips determined to be good.
본 발명은 다면체 검사용 피더 및 다면체 검사장치에 관한 것으로, 특히, 전자부품을 이루는 칩 등의 검사 대상물의 면 정밀도를 검사하는데 적합한 다면체 검사용 피더 및 다면체 검사장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a polyhedral inspection feeder and a polyhedral inspection apparatus, and more particularly, to a polyhedral inspection feeder and a polyhedral inspection apparatus suitable for inspecting the surface precision of an inspection object such as a chip constituting an electronic component.
종래로부터, 검사대상물로서, 칩형상을 이루는 전자부품의 완성면 정밀도를 검사할 경우에는, 루페(loupe:확대경) 등을 사용하고, 수작업에 의하여 각면을 검사하는 것이 행해지고 있다. 그렇지만, 이와 같은 검사에서는, 칩을 1개씩 손으로 잡아서 육안에 의한 검사로 되어, 미세한 상처나 변형 등의 하자를 못 보고 넘기는 경우가 많아, 결과적으로 제품에 불량품을 혼재하게 하는 원인으로 된다. 게다가, 검사인이 피로를 동반하여 작업부담이 무겁게 되고, 또, 숙련도 여하에 따라서 검사 정밀도에 큰 분산도 생긴다는 문제가 있다. Conventionally, when inspecting the precision of the finished surface of the electronic component which forms a chip shape as a test | inspection object, it inspects each surface by hand using a loupe etc. However, in such an inspection, the chips are held by hand one by one, and the inspection is performed by the naked eye, and the defects such as minute scratches and deformations are often missed, resulting in a mixture of defective products in the product. In addition, there is a problem that the inspector is fatigued, and the work load becomes heavy, and according to the skill level, a large dispersion occurs in the inspection precision.
그래서, 본 발명자는, 전술한 검사 대상물을 소정방향으로 이동시키는 과정에서 해당 검사 대상물의 완성면의 정밀도를 자동적으로 검사하는데 적합하게 하는 다면체 검사용 피더를 제안하였다(일본국 특원2001-127248호). 동 피더는, 검사 대상물을 수용한 상태에서 일정한 진동을 부여함으로써, 해당 검사 대상물을 소정방향으로 이동시킬 수 있는 홈을 구비한 통로 형성부재를 포함하여 구성되어 있다. 이 통로 형성부재의 홈은, 좌우의 경사각도가 검사 대상물의 이동방향을 따라서 변화한 회전 피드부를 포함하고, 이 회전 피드부에 의하여, 다면체를 이루는 검사 대 상물이 나선의 궤적을 따르는 형태로 회전하면서 이동 가능하게 되고, 완성면을 검사용 카메라로 촬상함으로써 일정한 정밀도의 검사가 행해지도록 되어 있다. Thus, the present inventor has proposed a polyhedral inspection feeder suitable for automatically checking the accuracy of the finished surface of the inspection object in the process of moving the inspection object in the predetermined direction (Japanese Patent Application No. 2001-127248). . The feeder is configured to include a passage forming member having a groove that can move the inspection object in a predetermined direction by applying a constant vibration in a state in which the inspection object is accommodated. The groove of the passage forming member includes a rotary feed portion whose left and right inclination angles are changed along the moving direction of the inspection object, wherein the inspection object forming the polyhedron rotates in the form of the spiral trajectory. While being movable, the inspection of a certain precision is performed by imaging a completed surface with a camera for inspection.
그렇지만, 상기 기 제안된 다면체 검사용 피더는, 소정의 공급수단으로부터 1개씩 검사 대상물이 공급되는 것이지만, 이동방향을 따르는 검사 대상물의 상호 이격거리를 일정하게 유지하는 신뢰성이 충분히 보증된 것으로는 되어 있지 않다. 따라서, 예를 들면 이동방향 전방에 위치하는 검사 대상물의 후단면에, 다음의 검사 대상물의 전단면이 접한 상태에서 2개 이상의 검사 대상물이 연속하여 이동했을 경우에는, 검사용 카메라가 2번째 이후의 검사 대상물의 위치를 인식할 수 없게 되어 검사 누락이 발생하여, 불량품의 배출을 확실하게 행할 수 없게 되는 문제를 초래한다. However, the above-mentioned proposed polyhedral inspection feeder is supplied one by one from a predetermined supply means, but the reliability of keeping the mutual separation distance of the inspection objects along the moving direction constant is not guaranteed sufficiently. not. Thus, for example, when two or more inspection objects are continuously moved in the state where the front end surface of the next inspection object is in contact with the rear end surface of the inspection object located in the front of the moving direction, the inspection camera is moved to the second or later. The location of the inspection object becomes unrecognizable, resulting in omission of inspection, resulting in a problem that it is impossible to reliably discharge the defective product.
본 발명은, 이와 같은 문제에 착안하여 고안된 것으로, 그 목적은, 검사 대상물을 1개씩 확실하게 이동시킬 수 있고, 검사 정밀도의 신뢰성을 확보할 수 있는 다면체 검사용 피더 및 다면체 검사장치를 제공하는데 있다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been devised in view of the above problems, and an object thereof is to provide a polyhedral inspection feeder and a polyhedral inspection apparatus capable of reliably moving inspection objects one by one and ensuring reliability of inspection accuracy. .
또, 본 발명의 다른 목적은, 다면체를 이동시킬 때의 자세가 적정하지 않은경우에 해당 다면체를 배제하여 오판정을 회피할 수 있는 다면체 검사용 피더 및 다면체 검사장치를 제공하는데 있다. Another object of the present invention is to provide a polyhedron inspection feeder and a polyhedral inspection apparatus which can avoid misjudgement by excluding the polyhedron when the posture of moving the polyhedron is not appropriate.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 관한 다면체 검사용 피더는, 검사 대상물의 통로를 형성하는 홈을 구비한 통로 형성부재와, 상기 홈을 따라서 이동 가능하게 설치됨과 동시에 상기 검사 대상물의 검사면을 상기 홈의 외측에 노출시킨 상태에서 해당 검사 대상물에 걸어맞추어서 상기 홈내에서 반송하게 하는 이동수단을 포함하고, In order to achieve the above object, the polyhedral inspection feeder according to the present invention is provided with a passage forming member having a groove for defining a passage of an inspection object, and being movable along the groove, and at the same time the inspection surface of the inspection object. And moving means for engaging in the inspection object in the state exposed to the outside of the groove and conveying it in the groove,
상기 통로 형성부재는, 검사 대상물이 이동하는 과정에서 해당 검사 대상물을 소정각도 회전시키는 회전 피드부를 포함하고, The passage forming member includes a rotary feed unit for rotating the inspection object a predetermined angle in the process of moving the inspection object,
상기 이동수단은, 벨트를 구비하여 구성되고, 해당 벨트는 그 면이 대략 연직방향으로 된 상태에서 상기 홈내를 통과함과 동시에, 상기 검사 대상물을 1개씩 걸어맞추어 해당 검사 대상물의 회전을 허용하는 걸어맞춤 영역을 소정간격마다 구비한다는 구성을 채택하고 있다. 이와 같은 구성으로 하면, 걸어맞춤 영역의 상호 간격에 대응하여 각 걸어맞춤 영역에 걸어맞추는 검사 대상물이 상호 일정한 간격을 둔 상태로 되고, 복수의 검사 대상물이 연속되고 마는 염려를 확실하게 방지할 수 있어, 개개의 검사 대상물에 있어서 검사 정밀도의 신뢰성을 확보할 수 있다. 또, 검사 대상물이, 홈의 내면형상을 모방하여 원활하게 회전할 수 있도록 이루어지는 것 외에, 검사 대상물의 검사면을 은폐하지 않고 해당 검사 대상물을 홈을 따라서 이동시킬 수 있다. 게다가, 카메라에 의하여 검사를 행할 경우에, 화상을 구사하는 영상의 배경 즉 홈에 의한 조명의 난반사를 방지할 수 있기 때문에, 오검사에 의한 양품 배출을 없애는 것이 가능하게 된다. 또한 검사 대상물이 직방체 등인 경우에, 벨트의 각 면측에 검사면을 대칭적으로 표출시킬 수 있어, 검사를 효율적으로 행하는 것이 가능하게 된다.The moving means is provided with a belt, and the belt passes through the groove in a state in which the surface thereof is approximately vertical, and at the same time, engages the inspection objects one by one to allow rotation of the inspection objects. A configuration is adopted in which fitting areas are provided at predetermined intervals. With such a configuration, the inspection objects engaged in the engagement regions are spaced at regular intervals in correspondence with the mutual spacing of the engagement regions, and it is possible to reliably prevent the possibility of the plurality of inspection objects being continuously connected. The reliability of the inspection accuracy can be ensured in the individual inspection object. In addition, the inspection object can be smoothly rotated by imitating the inner shape of the groove, and the inspection object can be moved along the groove without concealing the inspection surface of the inspection object. In addition, when the inspection is performed by the camera, it is possible to prevent the diffuse reflection of the background of the image using the image, i.e., the illumination by the groove, so that it is possible to eliminate the discharge of the good product caused by the false inspection. In addition, when the inspection object is a rectangular parallelepiped or the like, the inspection surface can be symmetrically expressed on each side of the belt, so that inspection can be performed efficiently.
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또, 본 발명은, 검사 대상물의 통로를 형성하는 홈을 구비한 통로 형성부재와, 상기 홈을 따라서 이동 가능하게 설치됨과 동시에, 상기 검사 대상물의 검사면을 상기 홈의 외측에 노출시킨 상태에서 해당 검사 대상물에 걸어맞추는 이동수단을 포함하는 다면체 검사장치에 있어서, The present invention also provides a passage forming member having a groove for forming a passage of an inspection object, and a state in which the inspection surface of the inspection object is exposed to the outside of the groove while being installed to be movable along the groove. In the polyhedral inspection device comprising a moving means for engaging the inspection object,
상기 통로 형성부재의 상류측에서 상기 이동수단에 병설된 검사 대상물의 공급수단을 추가로 포함하고, 해당 공급수단은, 상기 이동수단의 이동방향 복수개소에서 검사 대상물을 공급하는 복수의 공급로를 구비한다는 구성을 채택하고 있다. 이와 같은 구성에서는, 이동수단의 걸어맞춤 영역에, 검사 대상물이 공급되지 않는 상태를 극력 저감할 수 있게 되어, 검사효율의 저하를 억제할 수 있게 된다. And an additional means for supplying a test object provided in the moving means on an upstream side of the passage forming member, wherein the supply means includes a plurality of supply paths for supplying the test object in a plurality of moving directions of the moving means. Is adopted. In such a configuration, the state in which the inspection object is not supplied to the engaging region of the moving means can be reduced as much as possible, and the decrease in inspection efficiency can be suppressed.
그리고, 상기 이동수단에 걸어맞추는 검사 대상물이 적정한 걸어맞춤 자세에 있지 않을 때에, 해당 검사 대상물을 제거하는 배제수단을 설치하는 것이 바람직하다. 이것에 의하여, 항상 일정한 자세로 유지된 검사 대상물만이 통로 형성부재측으로 송출되게 되어, 이 점에서도, 검사효율의 저하를 억제할 수 있다. When the inspection object to be engaged with the moving means is not in the proper engagement posture, it is preferable to provide exclusion means for removing the inspection object. As a result, only the inspection object always held in a constant posture is sent out to the passage forming member side, and in this respect as well, it is possible to suppress a decrease in inspection efficiency.
또, 상기 검사 대상물이 소정의 검사위치에 도달했을 때에, 상기 검사면을 일정 위치에 유지하는 자세 유지수단을 구비한다는 구성을 채택하면 좋다. 이와 같은 구성에 의하여, 검사면이 흔들리는 염려를 회피하여 검사를 고도의 정밀도로 행할 수 있다. Moreover, what is necessary is just to employ | adopt the structure which is equipped with the attitude | position holding means which hold | maintains the said test surface at a fixed position, when the said test | inspection object reaches | attains a predetermined | prescribed test position. By such a configuration, the inspection can be performed with high precision while avoiding the fear of shaking the inspection surface.
본 발명에 있어서 회전 피드부는, 단면형상에서, 대략 V자형, 대락 U자형 및 이들 양 형 사이에서 상호 점점 변화하여 일련으로 연결되는 중간의 형상을 구비한 홈에 의하여 구성되어 있다. 또, 검사 대상물로서는, 직방체 혹은 입방체가 바람직한 대상물이 되는데, 그 밖의 입체도 대상으로 하는 것을 방해하지 않는다. In this invention, the rotary feed part is comprised by the groove | channel which has the intermediate shape connected in series by gradually changing mutually between substantially V shape, large U shape, and both types in cross-sectional shape. Moreover, although a rectangular parallelepiped or a cube becomes a preferable object as a test | inspection object, other three-dimensional objects do not prevent it from making it an object.
또한, 본 명세서에서 방향 혹은 위치를 표시하는 용어는, 특히 명기하지 않는 한, 도 1을 기준으로 하여 사용하는 것으로 한다. In addition, in this specification, the term which shows a direction or a position shall be used based on FIG. 1 unless there is particular notice.
(바람직한 실시예의 상세한 설명)(Detailed Description of the Preferred Embodiments)
이하, 본 발명의 실시형태에 대하여 설명한다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described.
도 1에는, 본 실시형태에 관한 다면체 검사장치의 정면도가 도시되고, 도 2에는, 그 평면도가 도시되어 있다. 이들 도면에서, 다면체 검사장치(10)는, 프레임(F)의 상부에 배치된 공급수단(11)과, 이 공급수단(11)에 병설된 이동수단(12)과, 해당 이동수단(12)과 상호 작용하여 검사 대상물, 본 실시형태에서는, 대략 직방체 형상을 구비한 세라믹 칩 콘덴서(이하 칩(W)이라고 함)를 이동시키는 다면체 검사용 피더(13)와, 이 다면체 검사용 피더(13)를 따라서 배치된 검사수단을 구성하는 제 1 내지 제 4의 카메라(14, 15, 16, 17)와, 검사의 결과 즉 양품인지 불량품인지에 따라서 칩(W)을 구분하여 회수하는 회수수단(18)을 구비하여 구성되어 있다. The front view of the polyhedron test | inspection apparatus which concerns on this embodiment is shown in FIG. 1, and the top view is shown in FIG. In these drawings, the
상기 공급수단(11)은, 칩(W)을 수용하는 호퍼(20)와, 이 호퍼(20)의 상단 개방부에 연속하여 공급로 형성블록(21) 측에 칩(W)을 미끄러지게 하여 떨어뜨리는 슈터(22)를 구비하여 구성되어 있다. 호퍼(20)는 보울(bowl) 피더이고 내측은 상 방으로 향함에 따라 외측 근처로 되는 나선 통로(20A)를 구비하고 있고, 해당 호퍼(20)에 수용된 다수의 칩(W)에 도시하지 않는 바이브레이터에 의한 진동을 부여함으로써, 상방으로부터 칩(W)이 순차적으로 배출 가능하게 되어 있다. The supply means 11 slides the chip W on the side of the supply
상기 공급로 형성블록(21)은, 도 3 내지 도 8에 도시하는 바와 같이, 복수의 부재를 사용하여 형성되어 있다. 즉, 상기 슈터(22)의 바로 아래에 위치함과 동시에, 상술한 바이브레이터에 의하여 진동이 부여되는 후부 블록(24)과, 이 후부 블록(24)의 반대측, 즉 바로 앞측에 위치하는 앞부 블록(25)과, 이들 블록(24, 25) 사이에 설치된 중간 블록(26)에 의하여 구성되어 있다. 후부 블록(24)에서, 외부 틀(27)의 내측에 위치하는 상면은 상류측이 상방위치가 되도록 경사면(28)으로 형성되어 있고, 해당 후부 블록(24)에 부여되는 진동에 의하여 칩(W)이 경사면(28)을 순차적으로 뛰어 올라가도록 되어 있다. 중간 블록(26)은, 도 5에 도시하는 바와 같이, 상류측이 하류측보다도 미소하게 상방위치로 되는 경사면(29)으로 되고, 그 길이방향 3개소에 칩(W)의 공급 홈(공급로)(31)이 완만한 커브를 그리는 궤적을 따라서 형성되어 있다. 이들 공급로(31)의 일단(후단)은 후부 블록(24)의 경사면(28) 측에 위치하는 한편, 타단(전단)은, 앞부 블록(25) 측에 위치하도록 되어 있다. 이 중간 블록(26)은, 도시하지 않는 바이브레이터의 진동에 의하여, 후부 블록(24)에 있어서의 칩(W)의 이동방향과는 반대측, 즉, 상류측에서 하류측(도 4 참조)으로 칩(W)이 이동하도록 되어 있고, 상기 경사면(28)으로부터 낙하된 칩(W)이 공급 홈(31)에 빠져 들었을 때에, 해당 칩(W)이 공급 홈(31)을 따라서 앞부 블록(25) 측으로 이동하는 것이다. 한편, 공급로(31)로부터 이동수단(12)으로 공급되지 않는 칩(W)은, 하류측의 영역으로부터 후부 블록(24)으로 갈아타고 재차 후부 블록(24)의 경사면(28)을 뛰어 올라가는 사이클을 반복하도록 되어 있다. 또, 도 7에 도시하는 바와 같이, 앞부 블록(25)과 중간 블록(26)의 상부 사이에는, 상단에 대략 V자 형상이 되는 지지면(33, 34)에 연속되는 슬롯(35)이 형성되어 있고, 이 슬롯(35)에 상기 이동수단(12)을 구성하는 벨트(B)의 대략 하반부 영역을 수용하여 해당 벨트(B)가 도 7중 지면(紙面)에 직교방향을 따라서 주행하도록 설치되어 있다. The supply
상기 벨트(B)는, 도 1에 도시하는 바와 같이, 하류단측 상부에 배치된 모터(M)의 출력축에 연결되어 대략 수평면내에서 회전하는 구동풀리(36)와, 상류단 측에 위치하여 상기 구동 풀리(36)와 대략 동일평면내에서 회전하는 종동 풀리(37) 사이에 감겨 장착되어 있다. 따라서 벨트(B)는, 그 면이 대략 연직면내를 따르는 자세로 이동하는 것이다. 이 벨트(B)의 면내에는, 도 4 내지 도 6에 도시하는 바와 같이, 크기가 균일한 등간격을 두고 걸어맞춤 영역으로서의 펀칭구멍(38)이 엔드리스로 형성되어 있다. 펀칭구멍(38)은, 벨트(B)의 이동방향을 따른 길이가, 칩(W)의 긴 측 치수보다도 약간 길게 설치되는 한편, 2개의 칩(W)이 옆으로 긴 상태로 1개의 펀칭구멍(38)에 동시에 들어갈 수 없는 길이로 설정되어 있다. 또, 펀칭구멍(38)의 상하방향 폭은, 도 7에 도시하는 상태로, 칩(W)의 회전을 허용하는 폭으로 설정되어 있다. 따라서 벨트(B)가 슬롯(35)을 통과하고 있는 동안에, 3개의 공급로(31)중의 어느 하나를 미끄러지게 하여 칩(W)이 펀칭구멍(38)내로 들어갈 수 있게 된다. 이 때, 펀칭구멍(38)에 대하여, 칩(W)의 긴 치수측이 좌우방향을 따르는 방향으로 된 자세(도 7에 도시하는 자세)를 적정한 것으로 하고, 해당 칩(W)의 상부측 2개의 면이, 슬롯(35)의 상단측에 형성된 지지면(33, 34)에 지지되어 하류측으로 송출되는 것이다. 한편, 도 8에 도시하는 바와 같이, 칩(W)은, 그 긴 치수측의 방향이 펀칭구멍(38)을 가로지르는 자세로 되었을 때는, 부적정한 자세로 간주하여 이것을 제거하는 배제수단(39)이 앞부 블록(25)상에 설치되어 있다.As shown in FIG. 1, the belt B is connected to the output shaft of the motor M disposed on the downstream end side, and rotates in a substantially horizontal plane with the
상기 배제수단(39)은, 도시하지 않는 에어펌프를 통하여 공기를 항상 분출하는 노즐(39A)을 포함하여 구성되어 있다. 노즐(39A)은, 상기 펀칭구멍(38)으로부터 크게 돌출한 칩(W)의 부분에 상방으로부터 공기를 분출하도록 되어 있고, 이 공기압력에 의하여 칩(W)을 펀칭구멍(38)으로부터 중간블록(26)측으로 빠져 들 수 있도록 되어 있다. 또한, 중간블록(26)의 좌측에는 돌출부(26A)가 형성되고, 이 돌출부(26A)에서 상기 노즐(39A)의 바로 아래에는, 상기 빠져 들기를 용이하게 하기 위한 절결부(26B)가 형성되어 있다.The said exclusion means 39 is comprised including the
상기 다면체 검사용 피더(13)는, 상기 공급수단(11)의 하류측에 연결되어 있다. 이 다면체 검사용 피더(13)는, 도 1 및 도 2에 도시하는 바와 같이, 상류측 통로 형성부재(40)와, 이 상류측 통로 형성부재(40)의 하류측에 연속되는 회전 피드부(41)와, 해당 회전 피드부(41)의 하류측에 연속되는 하류측 통로 형성부재(42)를 구비하여 구성되어 있다. 상류측 통로 형성부재(40)와 하류측 통로 형성부재(42)는 동일형상으로 설치되어 있다. 따라서, 상류측 통로 형성부재(40)에 대하여 설명하면, 도 9 및 도 10에 도시하는 바와 같이, 상류측 통로 형서부재(40)는, 한 쌍의 블록(45, 45)을 조합시키므로써 구성되어 있다, 즉, 각 블록(45)은, 베이스 블록과, 해당 베이스 블록(46)의 일단측으로부터 상방을 향한 기립블록(47)으로 이루어지고, 횡단면 형상이 대략 L자에 근사한 형상으로 설치되어 있다. 기립블록(47)의 상단부에는, 외측 경사면(47A)과 내측 경사면(47B)이 형성되어 있다. 따라서, 상류측 통로 형성부재(40)는, 각각 2개의 블록(45, 45)의 상기 기립블록(47, 47)을 표리관계가 되도록 배치함으로써, 상단측에 대략 V자가 되는 홈(48)을 형성할 수 있고, 이것에 의하여, 홈(48)을 따라서 칩(W)의 통로가 형성되는 것이다. 이 때, 각 블록(45, 45)은, 그들 기립블록(47, 47) 사이에, 상술한 벨트(B)의 두께보다도 약간 큰 치수가 되는 간극(S)이 형성되도록 배치되어 해당 간극(S)내에서 벨트(B)의 이동을 허용하게 된다. 또, 상류측 및 하류측 통로 형성부재(40)에서, 상기 기립블록(47)에는, 제 1 및 제 4의 카메라(14∼17)의 렌즈부에 대응하는 영역에, 상기 펀칭구멍(38)의 하부 영역내로 개통하는 자세 유지수단을 구성하는 진공구멍(49)이 형성되고, 이것에 의하여, 진공구멍(48)을 통하여 홈(48)내를 감압함으로써 칩(w)의 이동을 방해하지 않을 정도로 해당 칩(w)을 흡착하여 검사면의 위치가 일정하게 유지되도록 되어 있다. The
상기 회전 피드부(41)는, 도 10 내지 도 12에 도시하는 바와 같이, 칩(W)이 벨트(B)의 펀칭구멍(38)에 걸어맞추어 송출되는 과정에서, 해당 칩(W)을 회전시킬 수 있는 홈(50)을 구비하여 구성되어 있다. 이 회전 피드부(41)는, 홈(50)의 형상이 상기 상류측 통로 형성부재(40)와 하류측 통로 형성부재(42)의 홈(48)과 상이할 뿐으로, 그 밖의 부분에 대해서는, 동일하게 되어 있다. 따라서, 회전피드부(41) 를 형성하는 블록에 대해서도 상류측 통로 형성부재(40)에 대하여 붙인 동일부호를 사용하여 설명을 생략한다. As shown in FIGS. 10 to 12, the
상기 회전 피드부(41)의 홈(50)을 형성하도록 서로 대하는 경사면 (50A, 50A)은, 실질적으로는, 먼저 제안한 일본국 특원2001-127248호와 동일한 내측면 형상으로 설치되어 있다. 따라서 여기서는 단면형상에 대한 상세한 설명을 생략하는데, 개략적으로 말하면, 홈(50)은, 횡단면형상이, 칩(W)의 이동방향을 따라서, 대략 V자형과 대략 U자형의 내측면 형상이 번갈아 연속하도록 설치되고, 대략 V자 및 대략 U자의 내측면에 이르는 중간 내측면을 완만한 곡면형상으로 설치함으로써, 홈(50)을 통과하는 칩(W)이 나선의 궤적을 따르도록 매끄럽게 회전하면서 직진하도록 설치되어 있다. 본 실시예에서, 회전 피드부(41)는, 칩(7)이 통과했을 때에, 초기 위치(도 12중 「0°」위치 참조)로부터 약 180도 회전시키도록 경사면(50A, 50A)이 점차 변화하는 형태에서 일련으로 연결되도록 설치되어 있다. 또한, 홈(50)의 내측면 형상은, 칩(W)의 회전을 가능하게 하는 한은, 도시하는 구성예로 제한되는 것은 아니다. The
상기 제 1 내지 제 4의 카메라(14. 15, 16, 17)는, 도시하지 않는 스탠드를 통하여 상기 상류측 및 하류측 통로 형성부재(40, 42) 상에 각각 지지되어 있다. 제 1 및 제 2의 카메라(14, 15)는, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상류측 통로 형성부재(40) 상에 위치함과 동시에, 그들 렌즈부가 칩(W)의 검사면에 대하여 상호 대향하도록 배치되어 있다. 즉, 제 1의 카메라(14)는, 칩(W)의 검사면(S1)(도 12 참조)을 검사하는 한편, 제 2의 카메라(15)는, 칩(W)의 검사면(S2)을 검사하도록 되어 있다. 또, 제 3 및 제 4의 카메라(16, 17)는 하류측 통로 형성부재(42)상에 위치하고, 약 180도 회전한 후의 칩(W)에 대하여 검사를 행하도록 되어 있다. 즉, 제 3의 카메라(16)의 렌즈부가 칩(W)의 검사면(S3)을 향하게 되어 해당 검사면(S3)을 검사하는 한편, 제 4의 카메라(17)의 렌즈부가 칩(W)의 검사면(S4)으로 향하게 되어 해당 검사면(S4)을 검사한다. 이들 카메라(14∼17)는, 화상 처리장치에 의하여 소정의 화상처리검사에 부착되어 불량여부를 판정한다. The first to fourth cameras 14.15, 16, and 17 are supported on the upstream and downstream
상기 회수수단(18)은, 도 1, 도 13 및 도 14에 도시하는 바와 같이, 상류측 통로 형성부재(40)의 영역내에서 상기 제 2의 카메라(15)의 바로 가까운 하류측에 설치된 제 1의 흡인 파이프(50)와, 하류측 통로 형성부재(42)의 영역내에서 제 4의 카메라(17)의 바로 가까운 하류측에 설치된 제 2의 흡인 파이프(51)와, 해당 제 2의 흡인 파이프(51)의 하류측에 설치된 제 3의 회수장치(53)에 의하여 구성되어 있다. 제 1 및 제 2의 흡인 파이프(50, 51)는 불량품을 회수하기 위한 것이고, 제 3의 회수장치(53)는 양품을 회수하는 것으로서 구성되어 있다. 도 13에 도시하는 바와 같이, 제 1 및 제 2의 흡인 파이프(50, 51)의 선단 개구위치에 대응하는 반대측의 블록(45)에는, 홈(48)내로 개통하는 송기구멍(55)이 형성되어 있고, 해당 송기 구멍(55)으로부터 공기가 분출되어 홈(48)내의 칩(W)이 흡인 파이프(50, 51)측으로 불어 날려서, 해당 흡인 파이프(50, 51)에 의하여 불량품으로 판정된 칩(W)이 회수 상자(56, 57)에 각각 회수되도록 되어 있다. 이 때, 제 1 및 제 2의 흡인 파이프(50, 51)는, 항상 흡인하는 상태로 유지되는 한편, 상기 송기구멍(55)은, 불량품으로 판정된 것을 조건으로 하여 공기의 분출을 행하도록 되어 있다. 따라서, 송 기구멍(55)으로부터 칩(W)에 공기의 분출이 행해지지 않는 상태에서는, 칩(W)은, 제 1 및 제 2의 흡인 파이프(50, 51)의 흡인력으로는 흡인되지 않고 홈(48)내에서 이동할 수 있을 정도로 유지되는 것이다. As shown in Figs. 1, 13 and 14, the retrieving
제 3의 회수장치(53)는, 도 14에 도시하는 바와 같이, 벨트(B)가 통과하는 선상에 대략 위치하고 있고, 해당 벨트(B)의 하방위치에 개구부(60A)를 구비한 통형상부재(60)를 구비하여 구성되어 있다. 이 통형상부재(60)의 상방으로부터는 공기가 분출되도록 되어 있고, 이 공기의 분출력을 받아서, 벨트(B)의 펀칭구멍(38)내에 위치하는 양품으로서의 칩(W)은, 하류측 통로 형성부재(42)에 의한 지지를 잃어서 통형상부재(60)내로 낙하하고, 회수상자(62)에 회수되도록 되어 있다. 또한, 도 14중 부호 63은 카운터를 나타내고, 해당 카운터(63)에 의하여 양품수가 순차적으로 계수 가능하게 되어 있다. As shown in FIG. 14, the
다음에, 본 실시형태에서 다면체 검사장치(10)의 전체적 동작에 대하여 설명한다. Next, the overall operation of the
소정의 전원 투입에 의하여, 이동수단(12)을 구성하는 벨트(B)가 도 2중 반 시계방향으로 회전함과 동시에, 공급수단(11)의 호퍼(20)로부터 칩(W)이 슈터(22)를 거쳐서 후부 블록(24)상에 공급된다. 이 후부 블록(24)상의 칩(W)은, 경사면(28)을 뛰어 올라가서 중간 블록(26)의 공급 홈(31)상에 계속해서 떨어지는 것이다. 이 때, 공급 홈(31)의 전단측에는 벨트(B)가 이동하고 있는 상태에 있고, 공급 홈(31)을 통과한 칩(W)은 벨트(B)의 펀칭구멍(38)내로 계속해서 들어가서 이것에 걸어맞추게 되는 것이다. 이 때, 공급 홈(31)은, 복수, 본 실시형태에서는, 3열 설치되어 있기 때문에, 펀칭구멍(38)내로의 칩 공이송(空移送)은 대부분 생기지 않는다. By turning on the predetermined power, the belt B constituting the moving
펀칭구멍(38)내의 칩(W)이 적정자세가 아닌 경우, 즉, 도 8에 도시하는 바와 같이 펀칭구멍(38)을 가로지르는 자세로 칩(W)이 들어가 있는 경우에는, 그 돌출한 영역에 대하여 배제수단(39)의 노즐(39A)로부터 공기가 분출되는 것이고, 칩(W)은 펀칭구멍(38)으로부터 하방으로 탈락되는 것이다. 따라서 배제수단(39)의 위치를 거친 후의 칩(W)은, 모두 적정한 자세로 유지된 상태에서 하류측에 접속된 다면체 검사용 피더(13)로 이동하는 것이다. When the chip W in the punching
다면체 검사용 피더(13)에서, 상류측 통로 형성부재(40)의 영역에서는, 도 12에 도시하는 바와 같이, 2개의 검사면(S1, S2)이 홈(48)의 상방으로 표출된 상태로 되고, 이 상태에서, 제 1 및 제 2의 카메라(14, 15)가 촬상을 행하고, 화상 처리장치로 소정의 검사가 행해지는 것이 된다. 여기서, 어느 한 쪽의 검사면(S1, S2)이 불량품으로 판정된 때에는, 상기 송기구멍(55)으로부터 홈(48) 내로 공기분출이 행해져서 칩(W)이 홈(48) 밖으로 불어 날려 버려져서, 항상 흡인 상태에 있는 흡인 파이프(50)로 흡인되어 회수상자(56)에 의해 회수되는 것이다. In the
상류측 통로 형성부재(40)에 의해 불량품으로 되지 않는 칩(W)은, 회전 피드부(41)를 통과함으로써, 약 180도 회전하는 것이 된다(도 12 참조). 그리고, 검사면(S3, S4)을 표출시킨 상태에서, 하류측 통로 형성부재(42)의 홈(48) 내로 칩(W)이 이동하는 것이 된다. 여기서, 상류측 통로 형성부재(40)의 영역에서 행해진 것과 동일한 검사가 제 3 및 제 4의 카메라(15, 16)로 행해지고, 동일하게 불량품으 로 판정된 칩(W)은, 흡인 파이프(51)를 거쳐서 회수상자(57)에 회수되는 한편, 흡인 파이프(51)로 흡인되지 않는 양품인 칩(W)은, 카운터(63)로 순차적으로 카운팅된 후에 제 3의 회수장치(53)로 회수된다. The chip W which does not become defective by the upstream side
따라서, 이와 같은 실시형태에 의하면, 벨트(B)를 사용하여 칩(W)을 1개씩 이동시키는 구성을 채용했으므로, 복수의 칩(W)이 상호 접하도록 연결된 상태에서 이동하는 것이 완전히 배제되고, 각 칩(W)의 면 정밀도를 효율좋게 또한 고정밀도로 검사하는 것이 가능하게 된다. Therefore, according to such embodiment, since the structure which moves the chip W one by one using the belt B is employ | adopted, it is completely excluded to move in the state which the some chip W connected to mutually contact, It is possible to inspect the surface precision of each chip W efficiently and with high accuracy.
또한, 상기 실시예에서는, 펀칭구멍(38)을 형성함으로써 칩(W)을 걸어맞추게 하여 이동 가능하게 하였는데, 벨트(B)의 상단측을 오목형상으로 형성한 절결부로 하여도 좋다. 또, 이동수단(12)은 칩(W)을 1개씩 일정 간격으로 이동시킬 수 있으면 족하고, 벨트(B)에 한정되는 것은 아니다. 또, 공급수단(11)에서 공급 홈(31)은, 3열에 한정되지 않고, 3열 이하 또는 3열 이상이더라도 좋다. In the above embodiment, the punching
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 이동수단에 설치된 걸어맞춤 영역의 상호 간격에 대응하여, 각 걸어맞춤 영역에 수용되어 걸어맞추는 검사 대상물이 상호 일정한 간격을 둔 상태로 된다. 따라서, 종래와 같이, 진동을 부여함으로써 검사 대상물을 이송하는 구성과 비교하여, 복수의 검사 대상물이 연속되고 마는 우려를 확실하게 방지할 수 있어, 이것에 의하여, 개개의 검사 대상물에 있어서의 검사 정밀도의 신뢰성을 확보하는 것이 가능하게 된다. As described above, according to the present invention, corresponding to the mutual spacing of the engagement regions provided in the moving means, the inspection objects received and engaged in each engagement region are spaced at a constant interval from each other. Therefore, compared with the structure which conveys a test object by vibrating conventionally, the possibility that a some test object may continue is rolling can be prevented reliably, and, thereby, the inspection precision in an individual test object It is possible to secure the reliability.
또, 검사 대상물이, 홈의 내면 형상을 모방하여 원활하게 회전할 수 있도록 이루어지는 것 외에, 검사 대상물의 검사면을 은폐하지 않고 해당 검사 대상물을 홈을 따라서 이동시킬 수 있다. In addition, the inspection object can be smoothly rotated by imitating the inner surface shape of the groove, and the inspection object can be moved along the groove without concealing the inspection surface of the inspection object.
그리고, 검사 대상물이 직방체 등인 경우에, 벨트의 각 면측에 검사면을 대칭적으로 표출시킬 수 있어, 검사를 효율적으로 행하는 것이 가능하게 된다. When the inspection object is a rectangular parallelepiped or the like, the inspection surface can be symmetrically expressed on each side of the belt, so that inspection can be performed efficiently.
또, 이동 수단의 걸어맞춤 영역에, 검사 대상물이 공급되지 않는 상태를 극력 절감할 수 있게 되어, 검사효율의 저하를 억제하는 것이 가능하게 된다. In addition, the state in which the inspection object is not supplied to the engaging region of the moving means can be reduced as much as possible, and it is possible to suppress the decrease in the inspection efficiency.
또한, 항상 일정한 자세로 유지된 검사 대상물만이 통로 형성부재측에 송출되게 되어, 이 점에서도, 검사효율의 저하를 억제할 수 있다. In addition, only the inspection object always held in a constant posture is sent out to the passage forming member side, and in this respect, the decrease in inspection efficiency can be suppressed.
그리고, 검사 대상물의 검사면의 위치를 일정하게 유지하여 검사를 고정밀도로 행할 수 있다.The inspection can be performed with high accuracy by keeping the position of the inspection surface of the inspection object constant.
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CN110631508A (en) * | 2019-09-25 | 2019-12-31 | 武汉虹之彩包装印刷有限公司 | High-precision positioning paper curling degree detection device |
CN111701891B (en) * | 2020-07-17 | 2021-05-18 | 山东广鹏信息科技有限公司 | Based on intelligent check out test set of light current engineering |
CN114713519B (en) * | 2022-03-30 | 2023-07-25 | 浙江五洲新春集团股份有限公司 | Automatic detection system for appearance defects of blades |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10194431A (en) * | 1996-12-30 | 1998-07-28 | Taiyo Yuden Co Ltd | Tip-shaped part feeder |
JPH11217116A (en) * | 1998-01-30 | 1999-08-10 | Tokyo Seiko Co Ltd | Inspection device for throw-away chip |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3515435B2 (en) * | 1999-07-30 | 2004-04-05 | リンテック株式会社 | Work inspection device and inspection method |
JP4887523B2 (en) * | 2000-12-28 | 2012-02-29 | リンテック株式会社 | Polyhedron inspection feeder and polyhedron inspection device |
-
2002
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2003
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Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10194431A (en) * | 1996-12-30 | 1998-07-28 | Taiyo Yuden Co Ltd | Tip-shaped part feeder |
JPH11217116A (en) * | 1998-01-30 | 1999-08-10 | Tokyo Seiko Co Ltd | Inspection device for throw-away chip |
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TWI276592B (en) | 2007-03-21 |
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