KR100950014B1 - 평판 패널 지지유닛 및 이를 갖는 평판 패널 검사 스테이지 - Google Patents

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Abstract

검사 스테이지의 평판 패널 지지유닛은 한 쌍의 제1 지지부재들 및 한 쌍의 제2 지지부재들을 포함한다. 제1 지지부재들은 평판 패널의 가로변들을 각각 지지하며, 평판 패널의 크기에 따라 평판 패널의 세로 방향으로 이동 가능하다. 제2 지지부재들은 평판 패널의 세로변들을 각각 지지하며, 평판 패널의 크기에 따라 평판 패널의 가로 방향으로 이동 가능하며, 평판 패널의 세로 방향을 따라 각각 연장하고, 제1 지지부재들 사이의 거리에 따라 세로 방향으로 각각의 길이가 변화한다.

Description

평판 패널 지지유닛 및 이를 갖는 평판 패널 검사 스테이지{Unit for supporting a flat panel and stage for inspecting a flat panel having the unit}
본 발명은 평판 패널 지지유닛 및 이를 갖는 평판 패널 검사 스테이지에 관한 것으로, 보다 상세하게는 평판 패널의 검사를 위해 평판 패널의 가장자리를 지지하는 평판 패널 지지유닛 및 이를 갖는 평판 패널 검사 스테이지에 관한 것이다.
일반적으로 LCD(Liquid Crystal Display) 패널, 유기 EL 패널 등의 평판 패널은 여러 단계의 제조 공정을 거쳐 제조된다. 상기 평판 패널의 제조 공정시 상기 평판 패널에 대한 검사를 수행한다. 상기 검사는 프로브 유닛을 이용한 평판 패널의 데이터라인과 게이트라인 각각의 단선 검사와 색상검사 및 현미경 등을 이용한 육안검사를 포함한다.
상기 평판 패널은 다양한 크기를 가지므로, 상기 평판 패널의 크기에 따라 평판 패널 지지유닛을 각각 제작한다. 검사할 평판 패널의 크기에 따라 평판 패널 지지유닛을 분리 교체하여 상기 평판 패널에 대한 검사를 수행한다.
상기와 같은 평판 패널 지지유닛의 교체는 다음과 같은 문제점들을 갖는다.
첫째, 검사할 평판 패널의 크기에 따라 상기 평판 패널 지지유닛을 각각 제작해야 하므로 상기 평판 패널 지지유닛 제작 비용이 많이 소요된다.
둘째, 상기 평판 패널의 대형화로 인해 상기 평판 패널 지지유닛의 무게가 증가된다. 따라서, 상기 평판 패널 지지유닛의 교체 작업 및 보관에 어려움이 있다.
본 발명은 다양한 크기의 평판 패널을 지지하는 평판 패널 지지유닛을 제공한다.
본 발명은 상기 평판 패널 지지유닛을 갖는 평판 패널 검사 스테이지를 제공한다.
본 발명에 따른 평판 패널 지지유닛은 평판 패널의 가로변들을 각각 지지하며, 상기 평판 패널의 크기에 따라 상기 평판 패널의 세로 방향으로 이동 가능한 한 쌍의 제1 지지부재들 및 상기 평판 패널의 세로변들을 각각 지지하며, 상기 평판 패널의 크기에 따라 상기 평판 패널의 가로 방향으로 이동 가능하며, 상기 평판 패널의 세로 방향을 따라 각각 연장하고, 상기 제1 지지부재들 사이의 거리에 따라 세로 방향으로 각각의 길이가 가변하는 한 쌍의 제2 지지부재들을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제1 지지부재들의 상면들 및 상기 제2 지지부재들의 상면들은 동일한 높이를 가질 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 제1 지지부재들 및 상기 제2 지지부재들은 각각 상기 평판 패널을 고정하기 위한 진공력이 제공되는 진공라인들을 가질 수 있다.
상기 평판 패널 지지유닛은 상기 제1 지지부재들에 각각 구비되며, 상기 제1 지지부재들에 놓여지는 상기 평판 패널의 가로변들 길이 및 위치를 감지하는 센서 들 및 상기 제1 지지부재의 진공 라인들 상에 각각 구비되고, 상기 센서들의 감지 결과에 따라 상기 제1 지지부재의 진공 라인들을 선택적으로 개폐하여 상기 평판 패널의 가로변들이 커버하는 진공 라인들에만 상기 진공력을 제공하는 밸브들을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 상기 각각의 제2 지지부재들은 2개의 블록들을 포함하며, 상기 제1 지지부재들이 상기 세로 방향으로 이동함에 따라 상기 블록들이 상기 반대 방향으로 이동하여 상기 제2 지지부재의 길이가 감소하거나 증가할 수 있다.
상기 제2 지지부재들 각각에 포함된 상기 2개의 블록들 폭의 합은 상기 제1 지지부재 각각의 폭과 동일할 수 있다.
상기 블록들은 상기 가로 방향으로 이동 가능하도록 상기 제1 지지부재들에 각각 장착될 수 있다.
상기 평판 패널 지지유닛은 상기 각각의 제2 지지부재들은 상기 평판 패널의 세로변을 지지하며, 상기 블록들 사이에 배치되는 중앙 블록을 더 포함할 수 있다. 상기 중앙 블록은 상기 블록들의 이동에 따라 상기 세로 방향으로 이동할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 상기 평판 패널 지지유닛은 상기 제1 지지부재들 및 상기 제2 지지부재들을 지지하는 프레임을 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 검사 스테이지는 평판 패널의 가로변들을 각각 지지하며, 상기 평판 패널의 크기에 따라 상기 평판 패널의 세로 방향으로 이동 가능한 한 쌍의 제1 지지부재들 및 상기 평판 패널의 세로변들을 각각 지지하며, 상기 평판 패널의 크기에 따라 상기 평판 패널의 가로 방향으로 이동 가능하며, 상기 평판 패널의 세로 방향을 따라 각각 연장하고, 상기 제1 지지부재들 사이의 거리에 따라 세로 방향으로 각각의 길이가 가변하는 한 쌍의 제2 지지부재들을 포함하는 평판 패널 지지유닛 및 상기 평판 패널 지지유닛의 하부에 구비되며, 상기 평판 패널 지지유닛이 지지하는 평판 패널을 향해 광을 조사하는 백라이트 유닛을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 검사 스테이지는 평판 패널의 가로변을 지지하는 제1 지지부재를 세로 방향으로 이동하고 상기 평판 패널의 세로변을 지지하는 제2 지지부재를 가로 방향으로 이동할 수 있으므로, 평판 패널의 크기에 따라 상기 검사 스테이지의 크기를 가변할 수 있다. 따라서, 상기 평판 패널의 크기에 따른 상기 검사 스테이지의 교체 시간 및 비용을 줄일 수 있다.
상기 제1 지지부재가 세로 방향으로 이동함에 따라 상기 제2 지지부재의 세로 방향 길이가 가변될 수 있다. 또한, 상기 제1 지지부재의 상면과 상기 제2 지지부재의 상면이 동일한 높이를 가질 수 있고, 상기 제1 지지부재 및 상기 제2 지지부재에 진공라인들을 형성하여 상기 평판 패널을 직접 진공 흡착할 수 있다. 그러므로, 상기 검사 스테이지의 구조를 단순화하고 크기를 감소시킬 수 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 평판 패널 지지유닛 및 이를 갖는 평판 패널 검사 스테이지에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 스테이지를 설명하기 위한 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 제1 지지부재 및 제2 지지부재의 이동을 설명하기 위한 사시도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 검사 스테이지(100)는 프로브 유닛을 이용하여 평판 패널(10)의 데이터라인과 게이트라인 각각의 단선 검사와 색상검사 그리고 현미경 등을 이용한 육안검사를 실시하기 위해 상기 평판 패널(10)을 지지하는 장치이다.
이하에서 상기 평판 패널(10)과 평행한 평면에서 좌우 방향을 가로 방향이라 하고 상하 방향을 세로방향이라 한다.
상기 검사 스테이지(100)는 백라이트 유닛(102)과 평판 패널 지지유닛(104)을 포함한다.
상기 백라이트 유닛(102)은 하우징(110)과 다수의 램프들(112)을 포함한다.
상기 하우징(110)은 상방이 개방된 중공의 육면체 형태를 갖는다. 상기 하우징(110)은 상기 평판 패널 지지유닛(104)을 지지한다.
상기 램프들(112)은 상기 하우징(110) 내부에 구비되며, 상기 평판 패널 지지유닛(104)에 놓여지는 평판 패널(10)을 조명한다.
상기 평판 패널 지지유닛(104)은 프레임(120), 제1 지지부재(130), 제1 구동 부재(140), 제2 지지부재(150) 및 제2 구동 부재(160)를 포함한다.
상기 프레임(120)은 상기 백라이트 유닛(102)의 상부에 배치된다. 상기 프레임(120)은 중앙에 사각형의 개구(122)를 갖는다. 상기 개구(122)를 통해 상기 백라이트 유닛(102)의 빛이 통과한다.
상기 제1 지지부재(130)는 제1 가로변 고정 블록(132) 및 제2 가로변 고정 블록(134)을 포함한다.
상기 제1 가로변 고정 블록(132) 및 제2 가로변 고정 블록(134)은 상기 프레임(120)의 세로 방향 양단에 각각 가로 방향을 따라 배치되고, 상기 평판 패널(10)의 가로변을 각각 지지한다.
상기 제1 가로변 고정 블록(132)은 측면을 관통하여 상기 가로 방향으로 연장되는 제1 가이드 홀(132a) 및 제2 가이드 홀(132b)을 포함한다. 상기 제1 가이드 홀(132a)은 상기 제1 가로변 고정 블록(132)의 측면 좌측을 관통하며, 상기 제2 가이드 홀(132b)은 상기 제1 가로변 고정 블록(132)의 측면 우측을 관통한다.
상기 제2 가로변 고정 블록(134)은 측면을 관통하여 상기 가로 방향으로 연장되는 제3 가이드 홀(134a) 및 제4 가이드 홀(134b)을 포함한다. 상기 제3 가이드 홀(134a)은 상기 제2 가로변 고정 블록(134)의 측면 좌측을 관통하며, 상기 제4 가이드 홀(134b)은 상기 제2 가로변 고정 블록(134)의 측면 우측을 관통한다.
상기 제1 가이드 홀(132a), 제2 가이드 홀(132b), 상기 제3 가이드 홀(134a) 및 제4 가이드 홀(134b)은 동일한 높이를 갖는다.
한편, 상기 제1 가이드 홀(132a), 제2 가이드 홀(132b), 상기 제3 가이드 홀(134a) 및 제4 가이드 홀(134b) 대신에 LM가이드가 각각 구비될 수 있다.
도 3은 도 1에 도시된 제1 지지부재의 평판 패널 고정을 설명하기 위한 단면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 상기 제1 가로변 고정 블록(132) 및 제2 가로변 고정 블록(134)은 상기 평판 패널(10)의 가로변을 저면을 진공 흡착하기 위한 제1 진공라인(136)들을 갖는다.
센서(138)들은 상기 제1 가로변 고정 블록(132) 및 제2 가로변 고정 블록(134) 상에 구비된다. 예를 들면, 상기 센서(138)들은 상기 제1 진공라인(136)들의 사이 또는 일측에 각각 배치된다. 상기 센서(138)들이 상기 제1 가로변 고정 블록(132) 및 제2 가로변 고정 블록(134)에 놓여지는 상기 평판 패널(10)의 가로변들을 감지하여 상기 평판 패널(10)의 가로변들 길이와 상기 가로변들이 상기 제1 가로변 고정 블록(132) 및 제2 가로변 고정 블록(134) 상에 놓여진 위치를 감지한다.
밸브들(139)은 상기 제1 진공라인(136)들 상에 각각 구비되고, 상기 센서(138)들의 감지 결과에 따라 상기 제1 진공 라인(136)들을 선택적으로 개폐한다. 예를 들면, 상기 평판 패널(10)의 가로변들이 놓여지는 상기 제1 진공라인(136)들에 구비된 밸브들(139)은 개방되고, 상기 평판 패널(10)의 가로변들이 놓여지지 않은 상기 제1 진공라인(136)들에 구비된 밸브들(139)은 차단된다. 따라서, 상기 평판 패널(10)의 가로변들이 놓여지지 않은 상기 제1 진공라인(136)들을 통해 상기 진공력이 누설되지 않고, 상기 평판 패널(10)의 가로변들이 놓여지는 상기 제1 진 공라인(136)들에만 상기 진공력이 제공된다. 따라서, 상기 제1 가로변 고정 블록(132) 및 제2 가로변 고정 블록(134)은 상기 진공력을 이용하여 상기 평판 패널(10)의 가로변을 안정적으로 고정할 수 있다.
상기에서는 상기 센서(138)들이 상기 제1 가로변 고정 블록(132) 및 제2 가로변 고정 블록(134) 상에 놓여진 위치를 직접 감지하는 것으로 설명되었지만, 센서들을 이용하여 상기 평판 패널(10)의 크기에 따른 상기 제1 세로변 고정 블록(152) 및 상기 제2 세로변 지지블록(154)의 길이와 위치를 감지하여 상기 평판 패널(10)의 가로변들의 길이와 위치를 산출할 수 있다.
또한, 검사할 평판 패널(10)의 크기와 놓여질 위치를 예상하여 상기 제1 진공 라인(136)들 상에 구비된 상기 밸브(139)들을 선택적으로 개폐할 수 있다.
상기 제1 구동 부재(140)는 제1 볼 스크류(141), 제2 볼 스크류(142), 제1 모터(143), 제1 동력전달부재(144), 제1 LM가이드(145)들, 제1 볼너트(146) 및 제2 볼너트(147)를 포함한다.
상기 제1 볼 스크류(141)는 상기 프레임(120)의 상부면 좌측단에 세로 방향으로 구비된다. 상기 제2 볼 스크류(142)는 상기 프레임(120)의 상부면 우측단에 세로 방향으로 구비된다. 상기 제1 볼 스크류(141)와 상기 제2 볼 스크류(142)는 평행하게 배치된다.
상기 제1 모터(143)는 상기 제1 볼 스크류(141)의 일단에 연결되어 제1 볼 스크류(141)를 회전시킨다. 상기 제1 모터(143)의 구동력은 상기 제1 볼 스크류(141)에 직접 전달되거나 벨트 등을 통하여 전달될 수 있다.
상기 제1 동력전달부재(144)는 상기 제1 볼 스크류(141)의 타단과 상기 제2 볼 스크류(142)의 타단을 연결하며, 상기 제1 볼 스크류(141)의 회전력을 상기 제2 볼 스크류(142)로 제공한다. 예를 들면, 상기 제1 동력전달부재(144)는 회전축과 기어를 포함하거나 벨트와 풀리를 포함할 수 있다. 따라서, 상기 제1 모터(143)가 상기 제1 볼 스크류(141)와 상기 제2 볼 스크류(142)를 동시에 회전시킬 수 있다.
본 발명에서는 제1 동력전달부재(144)를 이용하여 제2 볼 스크류(142)를 회전시키는 것으로 설명되었다. 하지만, 상기 제1 동력전달부재(144)를 생략하고 제2 볼 스크류(142)를 회전시키기 위한 제1 모터(143)를 추가 장착할 수도 있다.
상기 제1 LM가이드(145)들은 상기 프레임(120)의 좌우 양단에 상기 제1 볼 스크류(141) 및 상기 제2 볼 스크류(142)와 평행하게 구비된다.
상기 제1 볼너트(146)들은 상기 제1 가로변 고정 블록(132)의 양단에 각각 연결되며, 상기 제1 볼 스크류(141) 및 상기 제2 볼 스크류(142)에 각각 끼워진다. 상기 제2 볼너트(147)들은 상기 제2 가로변 고정 블록(134)의 양단에 각각 연결되며, 상기 제1 볼 스크류(141) 및 상기 제2 볼 스크류(142)에 각각 끼워진다. 상기 제1 볼너트(146)들 및 상기 제2 볼너트(147)들은 상기 제1 볼 스크류(141) 및 상기 제2 볼 스크류(142)의 회전에 따라 서로 가까워지는 방향 또는 서로 멀어지는 방향으로 직선 이동한다. 상기 제1 볼너트(146)들 및 상기 제2 볼너트(147)들은 상기 제1 LM가이드(145)들에 의해 가이드되면서 상기 세로 방향을 따라 이동한다.
상기 제1 볼 스크류(141) 및 상기 제2 볼 스크류(142)는 중앙부를 중심으로 일측은 왼방향 스크류가 형성되고, 타측은 오른방향 스크류가 형성된 양방향 스크 류 구조를 갖는다. 제1 볼너트(146), 제2 볼너트(147) 중 하나는 왼방향 스크류에 다른 하나는 오른방향 스크류에 각각 설치된다. 따라서, 상기 제1 볼 스크류(141) 및 상기 제2 볼 스크류(142)가 회전하면 제1 볼너트(146)와 제2 볼너트(147) 사이의 간격은 좁아지거나 넓어진다.
상기 제1 구동 부재(140)가 상기 가로변 지지부재(130)를 세로 방향으로 이동시킴으로 상기 가로변 지지부재(130)의 교체 없이 상기 평판 패널(10)의 세로 방향 길이 변화에 대응할 수 있다.
상기 제2 지지부재(150)는 제1 세로변 고정 블록(152) 및 제2 세로변 고정 블록(154)을 포함한다.
상기 제1 세로변 고정 블록(152) 및 제2 세로변 고정 블록(154)은 상기 프레임(120)의 가로 방향 양단에 각각 세로 방향을 따라 배치되고, 상기 평판 패널(10)의 세로변을 각각 지지한다.
도 4 및 도 5는 도 1에 도시된 제1 세로변 고정 블록(152)을 설명하기 위한 사시도들이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 상기 제1 세로변 고정 블록(152)은 제1 베이스 블록(152a), 제1 블록(152b), 제2 블록(152c), 제3 블록(152d) 및 제1 가이드 레일(152e) 및 제2 가이드 레일(152f)을 포함한다.
상기 제1 베이스 블록(152a)은 상기 세로 방향을 따라 배치되며, 상기 개구(122)의 세로 방향 폭보다 긴 길이를 갖는다. 상기 제1 블록(152b)은 상기 베이스 블록(152a)의 상부면 중앙에 고정되어 구비되며, 상기 제2 블록(152c)과 상기 제3 블록(152d)은 상기 제1 블록(152b)의 양면 중 일면에 접하도록 구비된다. 상기 제1 블록(152b), 상기 제2 블록(152c) 및 상기 제3 블록(152d)은 상기 개구(122)의 세로 방향 폭보다 짧은 길이를 갖는다.
상기 제1 블록(152b), 상기 제2 블록(152c) 및 상기 제3 블록(152d)의 상면은 동일한 높이를 갖는다. 따라서, 상기 제1 블록(152b), 상기 제2 블록(152c) 및 상기 제3 블록(152d)이 상기 평판 패널(10)의 저면과 동시에 접촉할 수 있다.
상기 제1 블록(152b), 상기 제2 블록(152c) 및 상기 제3 블록(152d)의 폭의 합, 즉 제1 세로변 고정 부재(152)의 폭은 상기 제1 가로변 고정 부재(132) 또는 상기 제2 가로변 고정 부재(134)의 폭과 실질적으로 동일하다. 따라서, 상기 제1 세로변 고정 부재(152)가 상기 평판 패널(10)과 접촉하는 폭과 상기 제1 가로변 고정 부재(132) 또는 상기 제2 가로변 고정 부재(134)가 상기 평판 패널(10)과 접촉하는 폭이 동일하다.
상기 제1 가이드 레일(152e) 및 상기 제2 가이드 레일(152f)은 상기 제1 베이스 블록(152a)의 상부면에 세로 방향을 따라 일렬로 배치된다. 상기 제2 블록(152c)과 상기 제3 블록(152d)은 각각 상기 제1 가이드 레일(152e) 및 상기 제2 가이드 레일(152f)을 따라 상기 세로 방향으로 이동할 수 있다.
다른 예로, 상기 제2 블록(152c)과 상기 제3 블록(152d)은 상기 제1 블록(152b)의 양면 중 서로 다른 면에 접하도록 배치될 수 있다.
상기 제2 블록(152c)은 상기 제1 가로 고정 블록(132)에 가로 방향으로 이동 가능하도록 고정된다. 예를 들면, 상기 제2 블록(152c)은 상기 제1 가이드 홀(132a)을 통해 상기 제1 가로 고정 블록(132)에 고정되며, 상기 제1 가이드 홀(132a)을 따라 가로 방향으로 이동할 수 있다. 상기 제3 블록(152d)은 상기 제2 가로 고정 블록(134)에 가로 방향으로 이동 가능하도록 고정된다. 예를 들면, 상기 제3 블록(152d)은 상기 제3 가이드 홀(134a)을 통해 상기 제2 가로 고정 블록(134)에 고정되며, 상기 제3 가이드 홀(134a)을 따라 가로 방향으로 이동할 수 있다.
한편, 상기 제1 가이드 홀(132a)과 제3 가이드 홀(134a) 대신에 LM가이드가 각각 구비되는 경우, 상기 제2 블록(152c)과 상기 제3 블록(152d)은 상기 LM가이드와 결합되어 상기 제1 가로 고정 블록(132)과 상기 제2 가로 고정 블록(134)에 각각 고정될 수 있다.
따라서, 상기 제1 가로 고정 블록(132)과 상기 제2 가로 고정 블록(134)의 세로 방향 이동할 때, 상기 제1 가로 고정 블록(132)과 상기 제2 가로 고정 블록(134)에 의해 상기 제2 블록(152c) 및 상기 제3 블록(152d)이 각각 이동하여 상기 제1 세로변 고정 블록(152)의 길이가 가변된다.
예를 들면, 상기 제1 가로 고정 블록(132)과 상기 제2 가로 고정 블록(134)이 가까워지도록 이동하면, 상기 제2 블록(152c) 및 상기 제3 블록(152d)과 상기 제1 블록(152b)의 겹쳐지는 영역이 커지므로 상기 제1 세로변 고정 블록(152)의 길이가 짧아진다. 상기 제1 가로 고정 블록(132)과 상기 제2 가로 고정 블록(134)이 멀어지도록 이동하면, 상기 제2 블록(152c) 및 상기 제3 블록(152d)과 상기 제1 블록(152b)의 겹쳐지는 영역이 작아지므로 상기 제1 세로변 고정 블록(152)의 길이가 길어진다.
본 발명에서 상기 제1 블록(152b)이 상기 제1 베이스 블록(152a)에 고정되는 것으로 설명되었지만, 상기 제1 블록(152b)이 가이드 레일(도시 안됨)을 따라 상기 세로 방향을 따라 이동 가능하도록 배치될 수 있다.
또한, 본 발명에서 상기 제1 세로변 고정 블록(152)은 제1 블록(152b), 제2 블록(152c) 및 제3 블록(152d)을 모두 포함하는 것으로 설명되었지만, 상기 제1 세로변 고정 블록(152)은 상기 제1 블록(152b)을 생략하고 상기 제2 블록(152c) 및 상기 제3 블록(152d)만을 포함할 수 있다. 이때, 상기 제2 블록(152c)과 상기 제3 블록(152d)은 서로의 측면을 따라 이동하도록 배치된다.
또한, 상기 제1 세로변 고정 블록(152)은 제1 블록(152b)과 제2 블록(152c) 사이 및 상기 제1 블록(152b)과 제3 블록(152d) 사이에 각각 블록(도시 안됨)을 추가적으로 구비할 수 있다. 이때, 상기 제2 블록(152c) 및 상기 제3 블록(152d)의 세로 방향으로 이동함에 따라 상기 블록들도 세로 방향으로 이동한다.
상기 제2 세로변 고정 블록(154)은 제2 베이스 블록(154a), 제4 블록(154b), 제5 블록(154c), 제6 블록(154d) 및 제3 가이드 레일(154e) 및 제4 가이드 레일(154f)을 포함한다. 상기 제2 베이스 블록(154a), 제4 블록(154b), 제5 블록(154c), 제6 블록(154d) 및 제3 가이드 레일(154e) 및 제4 가이드 레일(154f)에 대한 구체적인 설명은 상기 제1 세로변 고정 블록(152)은 제1 베이스 블록(152a), 제1 블록(152b), 제2 블록(152c), 제3 블록(152d) 및 제1 가이드 레일(152e) 및 제2 가이드 레일(152f)에 대한 설명과 실질적으로 동일하다.
상기 제1 세로변 고정 블록(152) 및 상기 제2 세로변 고정 블록(154)의 길이 는 상기 평판 패널(10)의 세로 길이 중 최소 길이와 최대 길이 사이에서 가변될 수 있다.
상기 제1 세로변 고정 블록(152) 및 제2 세로변 고정 블록(154)은 상기 평판 패널(10)의 세로변을 저면을 진공 흡착하기 위한 제2 진공라인(156)들을 갖는다. 상기 제1 세로변 고정 블록(152) 및 제2 세로변 고정 블록(154)은 진공력을 이용하여 상기 평판 패널(10)의 세로변을 고정한다.
상기 제2 지지부재(150)들은 상기 제1 지지부재(130)들 사이의 거리에 따라 상기 세로 방향으로 각각의 길이가 가변하는 구조 및 상기 제2 지지부재(150)들에 형성된 제2 진공라인(156)을 가지므로, 진공의 손실없이 상기 평판 패널(10)의 세로변을 고정할 수 있다.
상기에서는 상기 제1 지지부재(130) 및 상기 제2 지지부재(150)가 상기 제1 진공라인(136)들 및 상기 제2 진공라인(156)들과 일체로 형성되는 것으로 설명되었지만, 상기 제1 지지부재(130) 및 상기 제2 지지부재(150) 각각은 상기 평판 패널(10)의 크기에 따라 이동하는 이동 플레이트 및 상기 이동 플레이트 상에 구비되어 상기 제1 진공라인(136)들과 상기 제2 진공라인(156)들을 각각 갖는 진공 플레이트를 포함할 수 있다.
또한, 상기에서는 상기 평판 패널(10)이 상기 제1 진공라인(136)들 및 제2 진공라인(156)들을 통해 제공되는 진공력에 의해 고정되는 것으로 설명되었지만, 상기 평판 패널(10)은 상기 진공력 및 상기 평판 패널(10)이 상기 제1 지지부재(130) 및 상기 제2 지지부재(150)와 접촉하도록 가압하는 클램프(도시 안됨)에 의해 고정될 수 있다. 또한, 상기 평판 패널(10)은 상기 클램프에 의해서만 고정될 수도 있다.
한편, 상기 제1 지지부재(130)와 상기 제2 지지부재(150) 상에 놓여진 상기 평판 패널(10)을 이동시켜 상기 평판 패널(10)을 검사 위치로 정렬하기 위한 정렬 부재(도시 안됨)가 더 구비될 수 있다. 예를 들면, 상기 정렬 부재는 상기 제1 지지부재(130)의 일측에 상기 가로 방향으로 이동 가능하고, 상기 제2 지지부재(150)의 일측에 상기 세로 방향으로 이동 가능하도록 구비될 수 있다. 상기 정렬 부재는 상기 평판 패널(10)의 크기에 따라 상기 가로 방향 및 세로 방향으로 이동하고, 상기 제1 지지부재(130)와 상기 제2 지지부재(150)에 놓여진 평판 패널(10)을 상기 가로 방향 및 세로 방향으로 밀어 상기 평판 패널(10)의 위치를 정렬한다.
다시 도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 제2 구동 부재(160)는 제3 볼 스크류(161a), 제4 볼 스크류(161b), 제2 모터(162), 제2 동력전달부재(163), 제5 볼 스크류(164a), 제6 볼 스크류(164b), 제3 모터(165), 제3 동력전달부재(166), 제2 LM가이드(167)들, 제3 볼너트(168) 및 제4 볼너트(169)를 포함한다.
상기 제3 볼 스크류(161a)는 상기 프레임(120)의 상부면 상단 중앙에서 좌측단까지 가로 방향으로 구비된다. 상기 제4 볼 스크류(161b)는 상기 프레임(120)의 상부면 하단 중앙에서 좌측단까지 가로 방향으로 구비된다. 상기 제3 볼 스크류(161a)와 상기 제4 볼 스크류(161b)는 평행하게 배치된다.
상기 제2 모터(162)는 상기 프레임(120)의 상부면 상단 중앙에 구비되며, 상기 제3 볼 스크류(161a)의 일단에 연결되어 제3 볼 스크류(161a)를 회전시킨다. 상 기 제2 모터(162)의 구동력은 상기 제3 볼 스크류(161a)에 직접 전달되거나 벨트 등을 통하여 전달될 수 있다.
상기 제2 동력전달부재(163)는 상기 프레임(120)의 상부면 좌측단에 구비된다. 상기 제2 동력전달 부재(163)는 상기 제3 볼 스크류(161a)의 타단과 상기 제4 볼 스크류(161b)의 타단을 연결하며, 상기 제3 볼 스크류(161a)의 회전력을 상기 제4 볼 스크류(161b)로 제공한다. 예를 들면, 상기 제2 동력전달부재(163)는 회전축과 기어를 포함하거나 벨트와 풀리를 포함할 수 있다. 따라서, 상기 제2 모터(162)가 상기 제3 볼 스크류(161a)와 상기 제4 볼 스크류(161b)를 동시에 회전시킬 수 있다.
상기 제5 볼 스크류(164a)는 상기 프레임(120)의 상부면 하단 중앙에서 우측단까지 가로 방향으로 구비된다. 상기 제6 볼 스크류(164b)는 상기 프레임(120)의 상부면 상단 중앙에서 우측단까지 가로 방향으로 구비된다. 상기 제5 볼 스크류(164a)와 상기 제6 볼 스크류(164b)는 평행하게 배치된다.
상기 제3 모터(165)는 상기 프레임(120)의 상부면 하단 중앙에 구비되며, 상기 제5 볼 스크류(164a)의 일단에 연결되어 제5 볼 스크류(164a)를 회전시킨다. 상기 제3 모터(165)의 구동력은 상기 제5 볼 스크류(164a)에 직접 전달되거나 벨트 등을 통하여 전달될 수 있다.
상기 제3 동력전달부재(166)는 상기 프레임(120)의 상부면 우측단에 구비된다. 상기 제3 동력전달 부재(166)는 상기 제5 볼 스크류(164a)의 타단과 상기 제6 볼 스크류(164b)의 타단을 연결하며, 상기 제5 볼 스크류(164a)의 회전력을 상기 제6 볼 스크류(164b)로 제공한다. 따라서, 상기 제3 모터(165)가 상기 제5 볼 스크류(164a)와 상기 제5 볼 스크류(164b)를 동시에 회전시킬 수 있다.
상기 제2 LM가이드(164)들은 상기 프레임(120)의 상하 양단에 상기 제3 볼 스크류(161a), 상기 제4 볼 스크류(161b), 상기 제5 볼 스크류(164a) 및 상기 제6 볼 스크류(164b)와 각각 평행하게 구비된다.
상기 제3 볼너트(168)들은 상기 제1 세로변 고정 블록(152)의 양단, 구체적으로 상기 제1 베이스 블록(152a)의 양단에 각각 연결되며, 상기 제3 볼 스크류(161a) 및 상기 제4 볼 스크류(161b)에 각각 끼워진다. 상기 제4 볼너트(169)들은 상기 제2 세로변 고정 블록(154)의 양단, 구체적으로 제2 베이스 블록(154a)의 양단에 각각 연결되며, 상기 제5 볼 스크류(164a) 및 상기 제6 볼 스크류(164b)에 각각 끼워진다. 상기 제3 볼너트(168)들 및 상기 제4 볼너트(169)들은 상기 제3 볼 스크류(161a), 상기 제4 볼 스크류(161b), 상기 제5 볼 스크류(164a) 및 상기 제6 볼 스크류(164b)의 회전에 따라 서로 가까워지는 방향 또는 서로 멀어지는 방향으로 직선 이동한다. 상기 제3 볼너트(168)들 및 상기 제4 볼너트(169)들은 상기 제2 LM가이드(164)들에 의해 가이드되면서 상기 가로 방향을 따라 이동한다.
상기 제3 볼 스크류(161a) 및 상기 제4 볼 스크류(161b)는 왼방향 스크류 또는 오른방향 스크류가 형성된 일방향 스크류 구조를 갖는다. 상기 제5 볼 스크류(164a) 및 상기 제6 볼 스크류(164b)도 일방향 스크류 구조를 갖는다. 따라서, 상기 제2 모터(162)에 의해 회전되는 제3 볼 스크류(161a) 및 상기 제3 모터(165)에 의해 회전되는 제5 볼 스크류(164a)의 회전 방향에 따라 제3 볼너트(168)와 제4 볼너트(169) 사이의 간격은 좁아지거나 넓어진다.
상기 제2 구동 부재(160)가 상기 세로변 지지부재(150)를 세로 방향으로 이동시킴으로 상기 세로변 지지부재(150)의 교체 없이 상기 평판 패널(10)의 가로 방향 길이 변화에 대응할 수 있다.
또한, 상기 세로변 지지부재(150)가 상기 가로변 지지부재(130)의 세로 방향 이동에 따라 길이가 가변되도록 구비되므로, 상기 가로변 지지부재(130)의 상면과 상기 세로변 지지부재(150)의 상면이 동일한 높이를 가질 수 있다. 상기 가로변 지지부재(130)의 상면과 상기 세로변 지지부재(150)의 상면이 동일한 높이를 가지므로, 상기 가로변 지지부재(130)의 상면과 상기 세로변 지지부재(150)의 상면에 상기 제1 진공라인(136)들 및 상기 제2 진공라인(156)들을 직접 형성하여 상기 평판 패널(10)을 진공 흡착할 수 있다.
본 발명에서 상기 제2 구동 부재(160)는 상기 제1 세로변 고정 블록(152) 및 상기 제2 세로변 고정 블록(154)을 개별적으로 구동시키는 것으로 설명되었지만, 상기 제2 구동 부재(160)가 상기 제1 구동 부재(140)와 실질적으로 동일한 구성을 가짐으로써 상기 제1 세로변 고정 블록(152) 및 상기 제2 세로변 고정 블록(154)을 동시에 구동시킬 수도 있다.
도시되지는 않았지만 상기 검사 스테이지(100)는 제1 차광 부재 및 제2 차광 부재를 더 포함할 수 있다.
상기 제1 차광 부재 및 제2 차광 부재는 각각 케이스, 상기 케이스 내부에 수납되는 권취롤 및 상기 권취롤에 감겨져 있으며 일단은 각각에 해당되는 고정 블 록의 측면에 체결되는 차광시트를 포함한다.
상기 제1 차광부재는 상기 제1 가로변 고정 블록(132) 및 상기 제2 가로변 고정 블록(134)의 이동에 따라 펼쳐지거나 접혀지며, 상기 제1 가로변 고정 블록(132) 및 상기 제2 가로변 고정 블록(134)의 외측 개구를 통해 상기 램프(112)에서 조사된 광이 통과하는 것을 차단한다.
상기 제2 차광부재는 상기 제1 세로변 고정 블록(152) 및 상기 제2 세로변 고정 블록(154)의 이동에 따라 펼쳐지거나 접혀지며, 상기 제1 세로변 고정 블록(152) 및 상기 제2 세로변 고정 블록(154)의 외측 개구를 통해 상기 램프(112)에서 조사된 광이 통과하는 것을 차단한다.
본 발명에 따른 검사 스테이지는 평판 패널의 가로변을 지지하는 제1 지지부재를 세로 방향으로 이동하고 상기 평판 패널의 세로변을 지지하는 제2 지지부재를 가로 방향으로 이동할 수 있으므로, 평판 패널의 크기에 따라 상기 검사 스테이지의 크기를 가변할 수 있다. 따라서, 상기 평판 패널의 크기에 따른 상기 검사 스테이지의 교체 시간 및 비용을 줄일 수 있다.
상기 제1 지지부재가 세로 방향으로 이동함에 따라 상기 제2 지지부재의 세로 방향 길이가 가변될 수 있다. 또한, 상기 제1 지지부재의 상면과 상기 제2 지지부재의 상면이 동일한 높이를 가질 수 있고, 상기 제1 지지부재 및 상기 제2 지지부재에 진공라인들을 형성하여 상기 평판 패널을 직접 진공 흡착할 수 있다. 그러므로, 상기 검사 스테이지의 구조를 단순화하고 크기를 감소시킬 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 스테이지를 설명하기 위한 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 제1 지지부재 및 제2 지지부재의 이동을 설명하기 위한 사시도이다.
도 3은 도 1에 도시된 제1 지지부재의 평판 패널 고정을 설명하기 위한 단면도이다.
도 4 및 도 5는 도 1에 도시된 제1 세로변 고정 블록을 설명하기 위한 사시도들이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *
10 : 평판 패널 100 : 검사 스테이지
102 : 백라이트 유닛 104 : 평판 패널 지지유닛
110 : 하우징 120 : 프레임
130 : 제1 지지부재 140 : 제1 구동부재
150 : 제2 지지부재 160 : 제2 구동부재

Claims (12)

  1. 평판 패널의 가로변들을 각각 지지하며, 상기 평판 패널의 크기에 따라 상기 평판 패널의 세로 방향으로 이동 가능한 한 쌍의 제1 지지부재들; 및
    상기 평판 패널의 세로변들을 각각 지지하며, 상기 평판 패널의 크기에 따라 상기 평판 패널의 가로 방향으로 이동 가능하며, 상기 평판 패널의 세로 방향을 따라 각각 연장하고, 상기 제1 지지부재들 사이의 거리에 따라 세로 방향으로 각각의 길이가 가변하는 한 쌍의 제2 지지부재들을 포함하고,
    상기 각각의 제2 지지부재들은 2개의 블록들을 포함하며, 상기 제1 지지부재들이 상기 세로 방향으로 이동함에 따라 상기 블록들이 서로 반대 방향으로 이동하여 상기 제2 지지부재의 길이가 감소하거나 증가하는 것을 특징으로 하는 평판 패널 지지유닛.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1 지지부재들의 상면들 및 상기 제2 지지부재들의 상면들은 동일한 높이를 갖는 것을 특징으로 하는 평판 패널 지지유닛.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제1 지지부재들 및 상기 제2 지지부재들은 각각 상기 평판 패널을 고정하기 위한 진공력이 제공되는 진공라인들을 갖는 것을 특징으로 하는 평판 패널 지지유닛.
  4. 제3항에 있어서, 상기 제1 지지부재들에 각각 구비되며, 상기 제1 지지부재들에 놓여지는 상기 평판 패널의 가로변들 길이 및 위치를 감지하는 센서들; 및
    상기 제1 지지부재의 진공 라인들 상에 각각 구비되고, 상기 센서들의 감지 결과에 따라 상기 제1 지지부재의 진공 라인들을 선택적으로 개폐하여 상기 평판 패널의 가로변들이 커버하는 진공 라인들에만 상기 진공력을 제공하는 밸브들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 패널 지지유닛.
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서, 상기 제2 지지부재들 각각에 포함된 상기 2개의 블록들 폭의 합은 상기 제1 지지부재 각각의 폭과 동일한 것을 특징으로 하는 평판 패널 지지유닛.
  7. 제1항에 있어서, 상기 블록들은 상기 가로 방향으로 이동 가능하도록 상기 제1 지지부재들에 각각 장착되는 것을 특징으로 하는 평판 패널 지지유닛.
  8. 제1항에 있어서, 상기 각각의 제2 지지부재들은 상기 평판 패널의 세로변을 지지하며 상기 블록들 사이에 배치되는 중앙 블록을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 패널 지지유닛.
  9. 제8항에 있어서, 상기 중앙 블록은 상기 블록들의 이동에 따라 상기 세로 방향으로 이동 가능한 것을 특징으로 하는 평판 패널 지지유닛.
  10. 제8항에 있어서, 상기 블록들은 상기 중앙 블록의 측면을 따라 이동 가능한 것을 특징으로 하는 평판 패널 지지유닛.
  11. 제1항에 있어서, 상기 제1 지지부재들 및 상기 제2 지지부재들을 지지하는 프레임을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 패널 지지유닛.
  12. 평판 패널의 가로변들을 각각 지지하며, 상기 평판 패널의 크기에 따라 상기 평판 패널의 세로 방향으로 이동 가능한 한 쌍의 제1 지지부재들 및 상기 평판 패널의 세로변들을 각각 지지하며, 상기 평판 패널의 크기에 따라 상기 평판 패널의 가로 방향으로 이동 가능하며, 상기 평판 패널의 세로 방향을 따라 각각 연장하고, 상기 제1 지지부재들 사이의 거리에 따라 세로 방향으로 각각의 길이가 가변하는 한 쌍의 제2 지지부재들을 포함하는 평판 패널 지지유닛; 및
    상기 평판 패널 지지유닛의 하부에 구비되며, 상기 평판 패널 지지유닛이 지지하는 평판 패널을 향해 광을 조사하는 백라이트 유닛을 포함하고,
    상기 각각의 제2 지지부재들은 2개의 블록들을 포함하며, 상기 제1 지지부재들이 상기 세로 방향으로 이동함에 따라 상기 블록들이 서로 반대 방향으로 이동하여 상기 제2 지지부재의 길이가 감소하거나 증가하는 것을 특징으로 하는 평판 패널 검사 스테이지.
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