KR100943469B1 - Liquid crystal display device and method for fabricating the same - Google Patents
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Abstract
상/하부기판 합착시 개구율 감소를 해결하고, 하부기판의 차광막을 금속으로 형성하여 경제성을 높이고 공정 적용을 용이하게 할 수 있는 액정표시장치 및 그의 제조방법을 제공하기 위한 것으로, 이와 같은 목적을 달성하기 위한 액정표시장치는 소정 간격을 두고 서로 대향되는 제 1 기판 및 제 2 기판과; 상기 제 1 기판상에 종횡으로 형성되어 화소영역을 정의하는 게이트라인 및 데이터라인과; 상기 게이트라인 방향으로 배열된 제 1 공통배선과; 상기 게이트라인 및 데이터라인의 교차 부위에 형성된 박막 트랜지스터와; 상기 박막 트랜지스터를 포함한 상기 제 1 기판의 전면에 형성된 층간절연막과; 상기 화소영역에 형성된 칼라필터층과; 상기 공통배선 및 공통전극을 포함한 상기 제 1 기판상에 형성된 평탄화막과; 상기 박막 트랜지스터의 채널영역 상측의 상기 평탄화막에 형성된 차광막과; 상기 게이트라인, 데이터라인, 상기 박막 트랜지스터 상부 및 상기 차광막상에 중첩 형성되며, 상기 화소영역에 일방향으로 형성된 제 2 공통배선 및 공통전극과; 상기 박막 트랜지스터의 드레인전극과 콘택되며 상기 공통전극 사이에 일정 간격을 갖고 형성된 화소전극을 포함하여 구성된다.
차광막, 금속, 공통배선, 공통전극, 개구율, 블랙 매트릭스층,
The present invention provides a liquid crystal display device and a method of manufacturing the same, which can solve the reduction of the aperture ratio when the upper and lower substrates are bonded, form a light shielding film of the lower substrate, and increase the economic efficiency and facilitate the process application. The liquid crystal display device includes: a first substrate and a second substrate facing each other at predetermined intervals; Gate lines and data lines formed vertically and horizontally on the first substrate to define pixel regions; A first common wiring arranged in the gate line direction; A thin film transistor formed at an intersection of the gate line and the data line; An interlayer insulating film formed on the entire surface of the first substrate including the thin film transistor; A color filter layer formed in the pixel region; A planarization film formed on the first substrate including the common wiring and the common electrode; A light shielding film formed on the planarization film above the channel region of the thin film transistor; A second common line and a common electrode overlapping the gate line, the data line, the upper portion of the thin film transistor, and the light blocking layer and formed in one direction in the pixel area; And a pixel electrode contacted with the drain electrode of the thin film transistor and formed at a predetermined interval between the common electrodes.
Light shielding film, metal, common wiring, common electrode, aperture ratio, black matrix layer,
Description
도 1은 일반적인 TN 액정표시장치의 일부를 나타낸 분해 사시도1 is an exploded perspective view showing a part of a typical TN liquid crystal display device
도 2는 일반적인 횡전계 방식(IPS)의 액정표시장치를 나타낸 개략적인 단면도 Figure 2 is a schematic cross-sectional view showing a liquid crystal display device of a typical transverse electric field (IPS)
도 3a 내지 도 3b는 IPS 모드에서 전압 온(on)/오프(off)시 액정의 상 변이 모습을 나타내는 도면 3A to 3B are diagrams illustrating phase transitions of liquid crystals when voltage on / off is performed in IPS mode.
도 4a 및 도 4b는 각각 오프상태와 온 상태일 때 IPS 모드 액정표시장치의 동작을 나타낸 사시도 4A and 4B are perspective views showing the operation of the IPS mode LCD in the off and on states, respectively.
도 5는 종래 기술에 따른 액정표시장치의 평면도 5 is a plan view of a liquid crystal display according to the related art.
도 6은 도 5의 Ⅰ-Ⅰ'와 Ⅱ-Ⅱ' 선상을 자른 구조 단면도 FIG. 6 is a cross-sectional view taken along line II ′ and II ′ of FIG. 5.
도 7은 종래의 다른 기술에 따른 액정표시장치의 평면도 7 is a plan view of a liquid crystal display according to another conventional technology
도 8은 도 6의 Ⅲ-Ⅲ'와 Ⅳ-Ⅳ' 선상을 자른 구조 단면도 8 is a cross-sectional view taken along line III-III ′ and IV-IV ′ of FIG. 6.
도 9는 종래의 또 다른 기술에 따른 액정표시장치의 평면도 9 is a plan view of a liquid crystal display according to another conventional technology
도 10은 도 9의 Ⅴ-Ⅴ'와 Ⅵ-Ⅵ' 선상을 자른 구조 단면도 FIG. 10 is a cross-sectional view taken along line V-V ′ and VI-VI ′ of FIG. 9;
도 11은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정표시장치의 평면도 11 is a plan view of a liquid crystal display according to a first embodiment of the present invention.
도 12는 도 11의 Ⅶ-Ⅶ'와 Ⅷ-Ⅷ' 선상을 자른 구조 단면도 12 is a cross-sectional view taken along line XVIII 'and XVIII-X' of FIG.
도 13a 내지 도 13c는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정표시장치의 제조방법을 나타낸 공정단면도 13A to 13C are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention.
도 14는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정표시장치의 평면도 14 is a plan view of a liquid crystal display according to a second exemplary embodiment of the present invention.
도 15는 도 14의 Ⅸ-Ⅸ'와 Ⅹ-Ⅹ' 선상을 자른 구조 단면도 15 is a cross-sectional view taken along line VII-VII 'and VIII-VII' of FIG.
도 16a 내지 도 16c는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정표시장치의 제조방법을 나타낸 공정단면도 16A through 16C are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a liquid crystal display device according to a second embodiment of the present invention.
도 17은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 액정표시장치의 평면도 17 is a plan view of a liquid crystal display according to a third exemplary embodiment of the present invention.
도 18은 도 17의 ⅩⅠ- ⅩⅠ'와 ⅩⅡ-ⅩⅡ' 선상을 자른 구조 단면도 FIG. 18 is a cross-sectional view taken along line II-XI 'and XII-XII' of FIG. 17; FIG.
도 19a 내지 도 19c는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 액정표시장치의 제조방법을 나타낸 공정단면도 19A to 19C are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a liquid crystal display device according to a third embodiment of the present invention.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 * Explanation of symbols on the main parts of the drawings
110, 180 : 상부기판 120, 190 : 하부기판 110, 180:
121, 191 : 게이트라인 121a, 191a : 게이트전극 121, 191:
121b, 191b : 제 1 공통배선 122, 192 : 게이트절연막 121b and 191b: first
123, 193 : 액티브층 124, 194 : 데이터라인 123 and 193
124a, 194a : 소오스전극 124b, 194b : 드레인전극 124a, 194a:
124c, 194c : 스토리지 전극 125, 195 : 층간절연막 124c and 194c:
126, 196 : 칼라필터층 127a, 197a : 제 1 콘택홀 126, 196:
127b, 197b : 제 2 콘택홀 128, 198 : 평탄화막 127b and 197b:
129, 199 : 차광막 130a, 200a : 제 2 공통배선
129 and 199:
130b : 공통전극 130c, 200b : 화소전극 130b:
본 발명은 액정표시장치(Liquid Crystal Display Device)에 관한 것으로, 특히 상/하판 합착마진에 의한 개구율 감소를 해결하기에 알맞은 액정표시장치 및 그의 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE
정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고, 일부는 이미 여러 장비에서 표시장치로 활용되고 있다.As the information society develops, the demand for display devices is increasing in various forms.In recent years, liquid crystal display (LCD), plasma display panel (PDP), electro luminescent display (ELD), and vacuum fluorescent display (VFD) have been developed. Various flat panel display devices have been studied, and some are already used as display devices in various devices.
그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)를 대체하면서 LCD가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방송신호를 수신하여 디스플레이하는 텔레비전, 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.Among them, LCD is the most widely used as a substitute for CRT (Cathode Ray Tube) for the use of mobile image display device because of the excellent image quality, light weight, thinness, and low power consumption, and mobile type such as monitor of notebook computer. In addition, it is being developed in various ways, such as a television for receiving and displaying broadcast signals, and a monitor of a computer.
이와 같이 액정표시장치가 여러 분야에서 화면 표시장치로서의 역할을 하기 위해 여러 가지 기술적인 발전이 이루어졌음에도 불구하고 화면 표시장치로서 화상의 품질을 높이는 작업은 상기 장점과 배치되는 면이 많이 있다. As described above, although various technical advances have been made in order for the liquid crystal display device to serve as a screen display device in various fields, the task of improving the image quality as the screen display device has many advantages and disadvantages.
따라서, 액정표시장치가 일반적인 화면 표시장치로서 다양한 부분에 사용되기 위해서는 경량, 박형, 저 소비전력의 특징을 유지하면서도 고정세, 고휘도, 대면적 등 고 품위 화상을 얼마나 구현할 수 있는가에 발전의 관건이 걸려 있다고 할 수 있다.Therefore, in order to use a liquid crystal display device in various parts as a general screen display device, the key to development is how much high definition images such as high definition, high brightness, and large area can be realized while maintaining the characteristics of light weight, thinness, and low power consumption. It can be said.
이와 같은 액정표시장치는, 화상을 표시하는 액정 패널과 상기 액정 패널에 구동신호를 인가하기 위한 구동부로 크게 구분될 수 있으며, 상기 액정 패널은 공간을 갖고 합착된 제 1, 제 2 유리 기판과, 상기 제 1, 제 2 유리 기판 사이에 주입된 액정층으로 구성된다.Such a liquid crystal display device may be broadly divided into a liquid crystal panel displaying an image and a driving unit for applying a driving signal to the liquid crystal panel, wherein the liquid crystal panel includes first and second glass substrates having a space and are bonded to each other; It consists of a liquid crystal layer injected between the said 1st, 2nd glass substrate.
여기서, 상기 제 1 유리 기판(TFT 어레이 기판)에는, 일정 간격을 갖고 일 방향으로 배열되는 복수개의 게이트 라인과, 상기 각 게이트 라인과 수직한 방향으로 일정한 간격으로 배열되는 복수개의 데이터 라인과, 상기 각 게이트 라인과 데이터 라인이 교차되어 정의된 각 화소영역에 매트릭스 형태로 형성되는 복수개의 화소 전극과 상기 게이트 라인의 신호에 의해 스위칭되어 상기 데이터 라인의 신호를 상기 각 화소 전극에 전달하는 복수개의 박막 트랜지스터가 형성되어 있다.The first glass substrate (TFT array substrate) may include a plurality of gate lines arranged in one direction at a predetermined interval, a plurality of data lines arranged at regular intervals in a direction perpendicular to the gate lines, and A plurality of pixel electrodes formed in a matrix form in each pixel region defined by crossing each gate line and data line, and a plurality of thin films that transmit signals of the data line to each pixel electrode by being switched by signals of the gate line The transistor is formed.
그리고 제 2 유리 기판(컬러필터 기판)에는, 상기 화소 영역을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙 매트릭스층과, 컬러 색상을 표현하기 위한 R,G,B 컬러 필터층과 화상을 구현하기 위한 공통 전극이 형성되어 있다. 물론, 횡전계 방식의 액정표시장치에서는 공통전극이 제 1 유리 기판에 형성되어 있다.The second glass substrate (color filter substrate) includes a black matrix layer for blocking light in portions other than the pixel region, an R, G, B color filter layer for expressing color colors, and a common electrode for implementing an image. Is formed. Of course, the common electrode is formed on the first glass substrate in the transverse electric field type liquid crystal display device.
이와 같은 상기 제 1, 제 2 유리 기판은 스페이서(spacer)에 의해 일정 공간을 갖고 액정 주입구를 갖는 씨일재에 의해 합착되고 상기 두 기판 사이에 액정이 주입된다.The first and second glass substrates are bonded by a sealing material having a predetermined space by a spacer and having a liquid crystal injection hole, and a liquid crystal is injected between the two substrates.
이때, 액정 주입 방법은 상기 실재에 의해 합착된 두 기판 사이를 진공 상태로 유지하여 액정 용기에 상기 액정 주입구가 잠기도록 하면 삼투압 현상에 의해 액정이 두 기판 사이에 주입된다. 이와 같이 액정이 주입되면 상기 액정 주입구를 밀봉재로 밀봉하게 된다.In this case, in the liquid crystal injection method, the liquid crystal is injected between the two substrates by osmotic pressure when the liquid crystal injection hole is immersed in the liquid crystal container by maintaining the vacuum state between the two substrates bonded by the reality. When the liquid crystal is injected as described above, the liquid crystal injection hole is sealed with a sealing material.
한편, 상기와 같이 액정표시장치의 구동원리는 액정의 광학적 이방성과 분극성질을 이용한다.On the other hand, the driving principle of the liquid crystal display device as described above uses the optical anisotropy and polarization of the liquid crystal.
상기 액정은 구조가 가늘고 길기 때문에 분자의 배열에 방향을 가지고 있으며, 인위적으로 액정에 전기장을 인가하여 분자배열의 방향을 제어할 수 있다.Since the liquid crystal is thin and long in structure, the liquid crystal has a direction in the arrangement of molecules, and the liquid crystal may be artificially applied to control the direction of the molecular arrangement.
따라서, 상기 액정의 분자배열 방향을 임의로 조절하면, 액정의 분자배열이 변하게 되고, 광학적 이방성에 의하여 편광된 빛이 임의로 변조되어 화상정보를 표현할 수 있다.Accordingly, when the molecular arrangement direction of the liquid crystal is arbitrarily adjusted, the molecular arrangement of the liquid crystal is changed, and light polarized by optical anisotropy may be arbitrarily modulated to express image information.
이러한 액정은 전기적인 특정분류에 따라 유전율 이방성이 양(+)인 포지티브 액정과 음(-)인 네거티브 액정으로 구분될 수 있으며, 유전율 이방성이 양인 액정분자는 전기장이 인가되는 방향으로 액정분자의 장축이 평행하게 배열하고, 유전율 이방성이 음인 액정분자는 전기장이 인가되는 방향과 액정분자의 장축이 수직하게 배열한다.Such liquid crystals may be classified into positive liquid crystals having positive dielectric anisotropy and negative liquid crystals having negative dielectric anisotropy according to an electrical specific classification. The liquid crystal molecules arranged in parallel and having negative dielectric anisotropy are arranged perpendicularly to the direction in which the electric field is applied and the major axis of the liquid crystal molecules.
도 1은 일반적인 TN 액정표시장치의 일부를 나타낸 분해 사시도이다.1 is an exploded perspective view illustrating a part of a general TN liquid crystal display device.
도 1에 도시한 바와 같이, 일정 공간을 갖고 합착된 하부기판(1) 및 상부기판(2)과, 상기 하부기판(1)과 상부기판(2) 사이에 주입된 액정층(3)으로 구성되어 있다.As shown in FIG. 1, the
보다 구체적으로 설명하면, 상기 하부기판(1)은 화소영역(P)을 정의하기 위하여 일정한 간격을 갖고 일방향으로 복수개의 게이트 라인(4)이 배열되고, 상기 게이트 라인(4)에 수직한 방향으로 일정한 간격을 갖고 복수개의 데이터 라인(5)이 배열되며, 상기 게이트 라인(4)과 데이터 라인(5)이 교차하는 각 화소영역(P)에는 화소전극(6)이 형성되고, 상기 각 게이트 라인(4)과 데이터 라인(5)이 교차하는 부분에 박막 트랜지스터(T)가 형성되어 있다.More specifically, the
그리고 상기 상부기판(2)은 상기 화소영역(P)을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙 매트릭스층(7)과, 컬러 색상을 표현하기 위한 R,G,B 컬러 필터층(8)과, 화상을 구현하기 위한 공통전극(9)이 형성되어 있다.The
여기서, 상기 박막 트랜지스터(T)는 상기 게이트 라인(4)으로부터 돌출된 게이트 전극과, 전면에 형성된 게이트 절연막(도면에는 도시되지 않음)과 상기 게이트 전극 상측의 게이트 절연막위에 형성된 액티브층과, 상기 데이터 라인(5)으로부터 돌출된 소오스 전극과, 상기 소오스 전극에 대향되도록 드레인 전극을 구비하여 구성된다.The thin film transistor T may include a gate electrode protruding from the
상기 화소전극(6)은 인듐-틴-옥사이드(indium-tin-oxide : ITO)와 같이 빛의 투과율이 비교적 뛰어난 투명 도전성 금속을 사용한다. The
전술한 바와 같이 구성되는 액정표시장치는 상기 화소전극(6)상에 위치한 액정층(3)이 상기 박막 트랜지스터(T)로부터 인가된 신호에 의해 배향되고, 상기 액정층(3)의 배향 정도에 따라 액정층(3)을 투과하는 빛의 양을 조절하는 방식으로 화상을 표현할 수 있다.In the liquid crystal display device configured as described above, the
전술한 바와 같은 액정패널은 상-하로 걸리는 전기장에 의해 액정을 구동하는 방식으로, 투과율과 개구율 등의 특성이 우수하며, 상부기판(2)의 공통전극(9)이 접지역할을 하게 되어 정전기로 인한 액정 셀의 파괴를 방지할 수 있다. As described above, the liquid crystal panel drives the liquid crystal by an electric field applied up and down, and has excellent characteristics such as transmittance and aperture ratio, and the
그러나, 상-하로 걸리는 전기장에 의한 액정 구동은 시야각 특성이 우수하지 못한 단점을 갖고 있다. However, the liquid crystal drive by the electric field applied up-down has a disadvantage that the viewing angle characteristics are not excellent.
따라서, 상기의 단점을 극복하기 위해 새로운 기술 즉, IPS의 액정표시장치가 제안되고 있다.Accordingly, in order to overcome the above disadvantages, a new technology, namely, a liquid crystal display device of IPS, has been proposed.
도 2는 일반적인 IPS의 액정표시장치를 나타낸 개략적인 단면도이다.2 is a schematic cross-sectional view showing a liquid crystal display of a general IPS.
도 2에 도시한 바와 같이, 하부기판(11)상에 화소전극(12)과 공통전극(13)이 동일 평면상에 형성되어 있다. As shown in FIG. 2, the
그리고 상기 하부기판(11)과 일정 공간을 갖고 합착된 상부기판(15) 사이에 형성된 액정층(14)은 상기 하부기판(11)상의 상기 화소전극(12)과 공통전극(13) 사이의 횡전계에 의해 작동한다.In addition, the
도 3a 내지 도 3b는 IPS 모드에서 전압 온(on)/오프(off)시 액정의 상 변이 모습을 나타내는 도면이다.3A to 3B are diagrams illustrating phase transitions of liquid crystals when voltages are turned on and off in the IPS mode.
즉, 도 3a는 화소전극(12) 또는 공통전극(13)에 횡전계가 인가되지 않은 오프(off)상태로써, 액정층(14)의 상 변이가 일어나지 않음을 알 수 있다. 예를 들어 화소전극(12)과 공통전극(13)의 수평 방향에서 기본적으로 45°틀어져있다.That is, FIG. 3A shows an off state in which no transverse electric field is applied to the
도 3b는 상기 화소전극(12)과 공통전극(13)에 횡전계가 인가된 온(on) 상태 로써, 액정층(14)의 상 변이가 일어나고, 도 3a의 오프 상태와 비교해서 45°정도로 뒤틀림 각을 가지고, 화소전극(12)과 공통전극(13)의 수평방향과 액정의 비틀림 방향이 일치함을 알 수 있다.FIG. 3B is an on state in which a transverse electric field is applied to the
상술한 바와 같이 IPS의 액정표시장치는 동일 평면상에 화소전극(12)과 공통전극(13)이 모두 존재한다. As described above, in the liquid crystal display of the IPS, both the
상기 횡전계 방식의 장점으로는 광시야각이 가능하다는 것이다. An advantage of the transverse electric field method is that a wide viewing angle is possible.
즉, 액정표시장치를 정면에서 보았을 때, 상/하/좌/우 방향으로 약 70°방향에서 가시 할 수 있다. That is, when the liquid crystal display device is viewed from the front, the liquid crystal display device may be visible in the about 70 ° direction in the up / down / left / right directions.
그리고, 일반적으로 사용되는 액정표시장치에 비해 제작 공정이 간단하고, 시야각에 따른 색의 이동이 적은 장점이 있다.In addition, there is an advantage that the manufacturing process is simpler and the color shift according to the viewing angle is smaller than that of the liquid crystal display device.
그러나, 공통전극(13)과 화소전극(12)이 동일 기판상에 존재하기 때문에 빛에 의한 투과율 및 개구율이 저하되는 단점이 있다. However, since the
또한, 구동전압에 의한 응답시간을 개선해야 하고, 셀 갭(cell gap)의 정렬오차 마진(misalign margin)이 작기 때문에 상기 셀 갭을 균일하게 해야 하는 단점이 있다.In addition, there is a disadvantage in that the response time due to the driving voltage must be improved and the cell gap is made uniform because the misalign margin of the cell gap is small.
즉, 횡전계 방식의 액정표시장치는 상기와 같은 장점과 단점이 있으므로 사용자의 사용 용도에 따라 선택해서 사용할 수 있다.That is, the transverse electric field type liquid crystal display device has the advantages and disadvantages as described above can be selected according to the user's use.
도 4a 및 도 4b는 각각 오프상태와 온 상태일 때 IPS의 액정표시장치의 동작을 나타낸 사시도이다.4A and 4B are perspective views showing the operation of the liquid crystal display of the IPS in the off state and the on state, respectively.
도 4a에 도시한 바와 같이, 화소전극(12) 또는 공통전극(13)에 횡전계 전압 이 인가되지 않았을 경우에는 액정분자 배열방향(16)은 초기 배향막(도시되지 않음)의 배열 방향과 동일한 방향으로 배열된다.As shown in FIG. 4A, when no transverse electric field voltage is applied to the
그리고 도 4b에 도시한 바와 같이, 화소전극(12)과 공통전극(13)에 횡전계 전압이 인가되었을 때 액정분자의 배열방향(16)은 전기장이 인가되는 방향(17)으로 배열함을 알 수 있다.As shown in FIG. 4B, when the transverse electric field voltage is applied to the
이하, 첨부된 도면을 참고하여 종래의 액정표시장치에 대하여 설명하기로 한다. Hereinafter, a conventional liquid crystal display device will be described with reference to the accompanying drawings.
도 5는 종래 기술에 따른 액정표시장치의 평면도이고, 도 6은 도 5의 Ⅰ-Ⅰ'와 Ⅱ-Ⅱ' 선상을 자른 구조 단면도이다. 5 is a plan view of a liquid crystal display according to the prior art, and FIG. 6 is a cross-sectional view of the structure taken along lines II ′ and II ′ of FIG. 5.
그리고 도 7은 종래의 다른 기술에 따른 액정표시장치의 평면도이고, 도 8은 도 6의 Ⅲ-Ⅲ'와 Ⅳ-Ⅳ' 선상을 자른 구조 단면도이다. FIG. 7 is a plan view of a liquid crystal display according to another conventional technology, and FIG. 8 is a cross-sectional view of the structure taken along line III-III ′ and IV-IV ′ of FIG. 6.
그리고 도 9는 종래의 또 다른 기술에 따른 액정표시장치의 평면도이고, 도 10은 도 9의 Ⅴ-Ⅴ'와 Ⅵ-Ⅵ' 선상을 자른 구조 단면도이다. 9 is a plan view of a liquid crystal display according to another conventional technology, and FIG. 10 is a cross-sectional view of the structure taken along lines VV 'and VIV' of FIG. 9.
종래 기술에 따른 액정표시장치는 도 5와 도 6에 도시한 바와 같이 투명한 하부기판(60)상에 종횡으로 배열되어 화소영역을 정의하는 게이트라인(61) 및 데이터라인(64)과, 상기 게이트라인(61)과 평행한 방향으로 화소영역의 상,하부내에 일방향으로 형성된 공통배선(61b)과, 상기 공통배선(61b)과 일체로 형성되며 상기 데이터라인(64)과 평행한 방향으로 상기 화소영역내에 복수개 형성된 공통전극(61c)과, 상기 게이트라인(61)의 일측에서 돌출 형성된 게이트 전극(61a)과, 상기 게이트 전극(61a)을 포함한 하부기판(60)의 전면에 SiNx 또는 SiOx와 같은 물질로 형성 되는 게이트 절연막(62)과, 상기 게이트 전극(61a) 상부의 상기 게이트절연막(62)상에 아일랜드 형태로 형성되는 액티브층(63)과, 상기 액티브층(63)의 일측에 오버랩되도록 상기 데이터 라인(64)으로부터 돌출 형성된 소오스 전극(64a)과 상기 소오스 전극(64a)과 이격되어 상기 액티브층(63)의 타측에 오버랩되는 드레인 전극(64b)과, 상기 드레인전극(64b)에서 연장되어 상기 공통전극(61c) 사이에 형성된 화소전극(64d)과, 상기 화소전극(64c)에서 연장되어 상기 공통배선(61b) 상부에 형성된 스토리지 전극(64c)으로 구성된다. 5 and 6, the liquid crystal display according to the related art includes a
상기에서 드레인전극(64b)과 화소전극(64d)과 스토리지 전극(64c)은 동일층상에 일체로 형성되어 있다. In the above, the
상기 구성을 갖는 하부기판(60)에 대응되는 상부기판(50)에는, 빛의 누설을 방지하기 위한 블랙 매트릭스층(51)과, 화소영역에 대응되는 부분에 형성된 R,G,B의 칼라필터층(52)으로 구성된다. The
이때 상부기판(50)에 형성된 블랙 매트릭스층(51)은 데이터라인(64)과 이에 인접한 곳에 배열된 공통전극(61c) 사이까지 확장 형성되어 있으며, 데이터라인(64)과 게이트라인(61) 및 박막 트랜지스터(TFT)에 대응되는 영역에 상, 하판 합착 마진을 고려하여 넓게 형성되어 있다. In this case, the
다음에 종래의 다른 기술에 따른 액정표시장치는 도 7과 도 8에 도시한 바와 같이 투명한 하부기판(80)상에 종횡으로 배열되어 화소영역을 정의하는 게이트라인(81) 및 데이터라인(84)과, 상기 게이트라인(81)과 평행한 방향으로 화소영역의 상,하부내에 일방향으로 형성된 공통배선(81b)과, 상기 공통배선(81b)과 일체로 형성되며 상기 데이터라인(84)과 평행한 방향으로 상기 화소영역내에 복수개 형성된 공통전극(81c)과, 상기 게이트라인(81)의 일측에서 돌출 형성된 게이트 전극(81a)과, 상기 게이트 전극(81a)을 포함한 하부기판(80)의 전면에 SiNx 또는 SiOx와 같은 물질로 형성되는 게이트 절연막(82)과, 상기 게이트 전극(81a) 상부의 상기 게이트절연막(82)상에 아일랜드 형태로 형성되는 액티브층(83)과, 상기 액티브층(83)의 일측에 오버랩되도록 상기 데이터 라인(84)으로부터 돌출 형성된 소오스 전극(84a)과 상기 소오스 전극(84a)과 이격되어 상기 액티브층(83)의 타측에 오버랩되는 드레인 전극(84b)과, 상기 공통배선(81b)의 일영역 상부에 형성된 스토리지 전극(84c)과, 상기 소오스 전극(84a)과 드레인 전극(84b)을 포함한 하부기판(80) 전면에 형성되며 상기 드레인전극(84b)과 스토리지 전극(84c)에 각각 제 1, 제 2 콘택홀(87a, 87b)을 갖는 층간절연막(85)과, 상기 제 1, 제 2 콘택홀(87a, 87b)을 통해 드레인전극(84b)과 스토리지 전극(84c)에 콘택되며 상기 공통전극(81c) 사이에 형성된 화소전극(86)으로 구성된다. Next, the liquid crystal display according to another conventional technology is arranged on the transparent
상기에서 화소전극(86)은 투명 도전막으로 형성되어 있다. In the above, the
다음에, 종래의 또 다른 기술에 따른 액정표시장치에 대하여 설명한다. Next, a liquid crystal display device according to another conventional technique will be described.
종래의 또 다른 기술에 따른 액정표시장치는 도 9와 도 10에 도시한 바와 같이 투명한 하부기판(100)상에 일방향으로 배열된 게이트라인(101)과, 상기 게이트 라인(101)의 일측에서 돌출 형성된 게이트 전극(101a)과, 상기 게이트라인(101)과 동일층상에 동일물질로 평행하게 배열된 제 1 공통배선(101b)과, 상기 게이트 전극(101a)과 제 1 공통배선(101b)을 포함한 하부기판(100)의 전면에 형성된 게이 트 절연막(102)과, 상기 게이트 전극(101a) 상부의 상기 게이트 절연막(102)상에 아일랜드 형태로 형성되는 액티브층(103)과, 상기 게이트라인(101)과 교차 배열되어 화소영역을 정의하는 데이터라인(104)과, 상기 데이터라인(104)으로부터 돌출되어 상기 액티브층(103)의 일측 상부에 오버랩된 소오스 전극(104a)과, 상기 소오스 전극(104a)과 일정 간격 이격되어 액티브층(103)의 타측에 오버랩된 드레인 전극(104b)과, 상기 제 1 공통배선(101b)의 상부에 형성된 스토리지 전극(104c)와, 데이터라인(104)과 소오스 전극(104a) 및 드레인 전극(104b)을 포함한 하부기판(100)의 전면에 형성된 평탄화막(105)과, 상기 드레인전극(104b)의 일영역이 드러나도록 평탄화막(105)상에 형성된 콘택홀(106)과, 상기 소오스 전극(104a) 및 드레인 전극(104b)을 포함한 하부기판(100)의 평탄화막(105)상에 형성된 제 2 공통배선(107a)과, 상기 제 2 공통배선(107a)과 일체로 형성되어 있으며 데이터라인(104)의 상부 및 상기 화소영역의 일영역에 형성된 공통전극(107b)과, 상기 콘택홀(106)을 통해 드레인전극(104b)과 콘택되며 상기 공통전극(107b)의 사이에 일정 간격 이격되어 형성된 화소전극(107c)으로 구성된다. 9 and 10, the liquid crystal display according to the related art has a gate line 101 arranged in one direction on the transparent
상기 구성을 갖는 하부기판(100)에 대응되는 상부기판(90)에는, 빛의 누설을 방지하기 위한 블랙 매트릭스층(91)과, 화소영역에 대응되는 부분에 형성된 R,G,B의 칼라필터층(92)으로 구성된다. The
이때 상부기판(90)에 형성된 블랙 매트릭스층(91)은 박막 트랜지스터(TFT)에 대응되는 영역에 상, 하판 합착 마진을 고려하여 넓게 형성되어 있다. In this case, the
그리고 도면에는 도시되어 있지 않지만 상,하부기판은 액정 주입구를 갖는 씨일재에 의해 합착되는데, 이때 씨일재는 유기절연막과 접촉하고 있다. Although not shown in the drawing, the upper and lower substrates are bonded by a sealing material having a liquid crystal injection hole, wherein the sealing material is in contact with the organic insulating film.
상술한 바와 같이 IPS 액정표시장치는 공통전극과 화소전극이 동일 기판상에 형성된 구조로서, 시야각 향상에 큰 이점을 갖고 있다. As described above, the IPS liquid crystal display has a structure in which the common electrode and the pixel electrode are formed on the same substrate, and have a great advantage in improving the viewing angle.
그러나 상기와 같은 종래의 횡전계 방식(IPS)의 액정표시장치는 다음과 같은 문제점이 있다.However, the liquid crystal display of the conventional transverse electric field type (IPS) as described above has the following problems.
첫째, 공통배선이 게이트라인과 데이터라인과는 별도로, 화소영역의 일영역을 점유하고 있으므로 개구율이 낮아지는 문제가 있다. First, since the common wiring occupies one region of the pixel region separately from the gate line and the data line, the aperture ratio is lowered.
둘째, 상부기판에 형성되는 블랙 매트릭스층이 상/하판 합착 마진을 고려하여 넓게 설계되어 있으므로 개구율이 낮아지는 문제가 있다. Second, since the black matrix layer formed on the upper substrate is designed in consideration of the upper and lower plate bonding margins, there is a problem that the opening ratio is lowered.
셋째, 칼라필터층이 상부기판에 형성되어 있으므로, 상/하부기판 합착시 화소영역과 칼라필터층간의 미스얼라인 문제가 발생되고, 기판이 대형화될수록 하부기판의 화소영역과 이에 대응하는 상부기판의 칼라필터층간의 위치편차가 커진다. Third, since the color filter layer is formed on the upper substrate, a misalignment problem occurs between the pixel region and the color filter layer when the upper and lower substrates are bonded, and as the substrate becomes larger, the pixel region of the lower substrate and the color of the upper substrate corresponding thereto are increased. Positional deviation between filter layers becomes large.
이와 같은 문제를 해결하기 위해서는 상기 미스얼라인 문제에 대응하기 위한 설계를 해야 하는데, 이에 의해서 상/하부기판 합착시 실제 개구율이 저하되는 문제가 있다. In order to solve such a problem, it is necessary to design to cope with the misalignment problem, which causes a problem that the actual aperture ratio is lowered when the upper and lower substrates are bonded.
넷째, 상/하부기판 합착을 위한 씨일재가 유기절연막과 접촉하고 있는데, 씨일재와 유기절연막의 접착성이 좋지 않아서 액정 주입 불량 및 누설이 발생할 가능성이 있다. Fourth, although the sealing material for bonding the upper and lower substrates is in contact with the organic insulating film, the adhesion between the sealing material and the organic insulating film is poor and there is a possibility of poor liquid crystal injection and leakage.
본 발명은 상기와 같은 문제를 해결하기 위하여 안출한 것으로 특히, 본 발 명의 목적은 상/하부기판 합착시 개구율 감소를 해결하기에 알맞은 액정표시장치 및 그의 제조방법을 제공하는데 있다. The present invention has been made to solve the above problems, and in particular, an object of the present invention is to provide a liquid crystal display device and a manufacturing method thereof suitable for solving the reduction of the aperture ratio when the upper and lower substrates are bonded.
본 발명의 다른 목적은 하부기판의 차광막을 금속으로 형성하여 경제성과 공정 적용을 용이하게 할 수 있는 액정표시장치 및 그의 제조방법을 제공하는데 있다. Another object of the present invention is to provide a liquid crystal display device and a method of manufacturing the same, which may facilitate economical and process application by forming a light shielding film of a lower substrate with a metal.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 액정표시장치는 소정 간격을 두고 서로 대향되는 제 1 기판 및 제 2 기판과; 상기 제 1 기판상에 종횡으로 형성되어 화소영역을 정의하는 게이트라인 및 데이터라인과; 상기 게이트라인 방향으로 배열된 제 1 공통배선과; 상기 게이트라인 및 데이터라인의 교차 부위에 형성된 박막 트랜지스터와; 상기 박막 트랜지스터를 포함한 상기 제 1 기판의 전면에 형성된 층간절연막과; 상기 화소영역에 형성된 칼라필터층과; 상기 공통배선 및 공통전극을 포함한 상기 제 1 기판상에 형성된 평탄화막과; 상기 박막 트랜지스터의 채널영역 상측의 상기 평탄화막에 형성된 차광막과; 상기 게이트라인, 데이터라인, 상기 박막 트랜지스터 상부 및 상기 차광막상에 중첩 형성되며, 상기 화소영역에 일방향으로 형성된 제 2 공통배선 및 공통전극과; 상기 박막 트랜지스터의 드레인전극과 콘택되며 상기 공통전극 사이에 일정 간격을 갖고 형성된 화소전극을 포함하여 구성됨을 특징으로 한다. The liquid crystal display device of the present invention for achieving the above object comprises a first substrate and a second substrate facing each other at a predetermined interval; Gate lines and data lines formed vertically and horizontally on the first substrate to define pixel regions; A first common wiring arranged in the gate line direction; A thin film transistor formed at an intersection of the gate line and the data line; An interlayer insulating film formed on the entire surface of the first substrate including the thin film transistor; A color filter layer formed in the pixel region; A planarization film formed on the first substrate including the common wiring and the common electrode; A light shielding film formed on the planarization film above the channel region of the thin film transistor; A second common line and a common electrode overlapping the gate line, the data line, the upper portion of the thin film transistor, and the light blocking layer and formed in one direction in the pixel area; And a pixel electrode contacted with the drain electrode of the thin film transistor and formed at a predetermined interval between the common electrodes.
상기 제 1 공통배선은 상기 게이트라인과 동일층상에 형성됨을 특징으로 한다. The first common line may be formed on the same layer as the gate line.
상기 드레인전극의 일영역에 제 1 콘택홀과, 상기 제 1 공통배선의 일영역에 제 2 콘택홀이 더 구비됨을 특징으로 한다. A first contact hole is formed in one region of the drain electrode, and a second contact hole is further provided in one region of the first common wiring.
상기 제 1 공통배선 상부의 상기 게이트절연막상에 상기 드레인전극이 연장 형성되어 스토리지 전극을 구성함을 특징으로 한다. The drain electrode may be formed on the gate insulating layer on the first common line to form a storage electrode.
상기 평탄화막은 포토 아크릴, 폴리 이미드, BCB(Benzo Cyclo Butene)중 적어도 어느 하나로 구성됨을 특징으로 한다. The planarization layer is characterized in that it is composed of at least one of photo acryl, polyimide, BCB (Benzo Cyclo Butene).
상기 차광막은 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo), 구리(Cu), 탄탈륨(Ta) 또는 알루미늄(Al)중 적어도 어느 하나의 금속으로 형성됨을 특징으로 한다. The light blocking film is formed of at least one metal of chromium (Cr), molybdenum (Mo), copper (Cu), tantalum (Ta), or aluminum (Al).
상기 차광막의 표면에는 광의 반사를 줄이기 위해 산화막이 구비되는 것을 더 포함함을 특징으로 한다. The surface of the light shielding film is characterized in that it further comprises an oxide film is provided to reduce the reflection of light.
상기 차광막은 액정패널의 외곽부를 둘러싸도록 형성되는 것을 더 포함함을 특징으로 한다. The light shielding film may further include being formed to surround an outer portion of the liquid crystal panel.
상기 제 2 공통배선은 상기 게이트라인 상부를 따라 형성됨을 특징으로 한다. The second common line may be formed along an upper portion of the gate line.
상기 공통전극은 상기 제 2 공통배선과 일체로 형성되며, 상기 데이터라인의 상부 및 상기 화소영역의 일영역에 형성됨을 특징으로 한다. The common electrode may be integrally formed with the second common wiring, and may be formed on an upper portion of the data line and a region of the pixel region.
상기 데이터라인 상부의 공통전극은 상기 데이터라인보다 넓은 폭으로 형성되고, 상기 화소영역의 공통전극은 상기 데이터라인과 평행하게 배열됨을 특징으로 한다. The common electrode on the data line is wider than the data line, and the common electrode of the pixel area is arranged in parallel with the data line.
상기 제 2 공통배선은 상기 제 2 콘택홀을 통해 화소영역 내부에서 상기 제 1 공통배선과 콘택됨을 특징으로 한다. The second common line is in contact with the first common line in the pixel area through the second contact hole.
상기 제 2 공통배선은 액정패널의 액티브영역 외부에서 상기 제 1 공통배선과 콘택되는 것을 더 포함함을 특징으로 한다. The second common line may further include contacting the first common line outside the active area of the liquid crystal panel.
상기 제 2 공통배선은 상기 제 1 공통배선과 별도로 외부에서 전원이 공급됨을 특징으로 한다. The second common wiring is characterized in that the power is supplied from the outside separately from the first common wiring.
상기 제 2 공통배선, 공통전극 및 화소전극은 동일층상에 형성됨을 특징으로 한다. The second common wiring, the common electrode, and the pixel electrode may be formed on the same layer.
상기 제 2 공통배선, 공통전극 및 화소전극은 인듐주석산화물(Indium Tin Oxide : ITO), 주석산화물(Tin Oxide : TO), 인듐아연산화물(Indium Zinc Oxide : IZO) 또는 인듐주석아연산화물(Indium Tin Zinc Oxide:ITZO)로 구성됨을 특징으로 한다. The second common wiring, the common electrode, and the pixel electrode may be formed of indium tin oxide (ITO), tin oxide (TO), indium zinc oxide (IZO), or indium tin zinc oxide (Indium Tin). Zinc Oxide: ITZO).
상기 화소전극은 제 1 콘택홀을 통해 상기 드레인전극과 콘택됨을 특징으로 한다. The pixel electrode is in contact with the drain electrode through a first contact hole.
상기 박막 트랜지스터는 상기 게이트 라인의 일측에서 돌출 형성된 게이트 전극과, 상기 게이트 전극을 포함한 상기 하부기판의 전면에 형성된 게이트 절연막과, 상기 게이트 전극 상부의 상기 게이트 절연막상에 아일랜드 형태로 형성되는 액티브층과, 상기 데이터라인으로부터 돌출되어 상기 액티브층의 일측 상부에 오버랩된 소오스 전극과, 상기 소오스 전극과 일정 간격 이격되어 상기 액티브층의 타측에 오버랩된 드레인 전극으로 구성됨을 특징으로 한다. The thin film transistor may include a gate electrode protruding from one side of the gate line, a gate insulating film formed on an entire surface of the lower substrate including the gate electrode, an active layer formed in an island shape on the gate insulating film on the gate electrode; And a source electrode protruding from the data line and overlapping an upper portion of the active layer, and a drain electrode spaced apart from the source electrode at a predetermined interval and overlapping the other side of the active layer.
상기 칼라필터층은 상기 데이터라인의 양측에 일부 오버랩되는 것을 특징으 로 한다. The color filter layer is partially overlapped with both sides of the data line.
또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정표시장치는 소정 간격을 두고 서로 대향되는 제 1 기판 및 제 2 기판과; 상기 제 1 기판상에 종횡으로 형성되어 화소영역을 정의하는 게이트라인 및 데이터라인과; 상기 게이트라인 방향으로 배열된 제 1 공통배선과; 상기 게이트라인 및 데이터라인의 교차 부위에 형성된 박막 트랜지스터와; 상기 박막 트랜지스터를 포함한 상기 제 1 기판의 전면에 형성된 층간절연막과; 상기 화소영역에 형성된 칼라필터층과; 상기 공통배선 및 공통전극을 포함한 상기 제 1 기판상에 형성된 평탄화막과; 상기 박막 트랜지스터의 채널영역 및 상기 데이터라인과 게이트라인 상측의 상기 평탄화막에 형성된 차광막과; 상기 게이트라인, 데이터라인, 상기 박막 트랜지스터 상부 및 상기 차광막상에 중첩 형성되며, 상기 화소영역에 일방향으로 형성된 제 2 공통배선 및 공통전극과; 상기 박막 트랜지스터의 드레인전극과 콘택되며 상기 공통전극 사이에 일정 간격을 갖고 형성된 화소전극을 포함하여 구성됨을 특징으로 한다. In addition, the liquid crystal display according to another embodiment of the present invention includes a first substrate and a second substrate facing each other at a predetermined interval; Gate lines and data lines formed vertically and horizontally on the first substrate to define pixel regions; A first common wiring arranged in the gate line direction; A thin film transistor formed at an intersection of the gate line and the data line; An interlayer insulating film formed on the entire surface of the first substrate including the thin film transistor; A color filter layer formed in the pixel region; A planarization film formed on the first substrate including the common wiring and the common electrode; A light blocking film formed on the channel region of the thin film transistor and the planarization film on the data line and the gate line; A second common line and a common electrode overlapping the gate line, the data line, the upper portion of the thin film transistor, and the light blocking layer and formed in one direction in the pixel area; And a pixel electrode contacted with the drain electrode of the thin film transistor and formed at a predetermined interval between the common electrodes.
또한, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 액정표시장치는 소정 간격을 두고 서로 대향되는 제 1 기판 및 제 2 기판과; 상기 제 1 기판상에 종횡으로 형성되어 화소영역을 정의하는 게이트라인 및 데이터라인과; 상기 게이트라인 방향으로 배열된 제 1 공통배선과; 상기 게이트라인 및 데이터라인의 교차 부위에 형성된 박막 트랜지스터와; 상기 박막 트랜지스터를 포함한 상기 제 1 기판의 전면에 형성된 층간절연막과; 상기 화소영역에 형성된 칼라필터층과; 상기 공통배선 및 공통전극을 포함한 상기 제 1 기판상에 형성된 평탄화막과; 상기 박막 트랜지스터의 채널영역 상측의 상기 평탄화막에 형성된 차광막과; 상기 차광막을 덮으며 상기 게이트라인 방향으로 형성된 제 2 공통배선과; 상기 화소영역에 형성된 화소전극을 포함하여 구성됨을 특징으로 한다. In addition, the liquid crystal display according to another embodiment of the present invention comprises a first substrate and a second substrate facing each other at a predetermined interval; Gate lines and data lines formed vertically and horizontally on the first substrate to define pixel regions; A first common wiring arranged in the gate line direction; A thin film transistor formed at an intersection of the gate line and the data line; An interlayer insulating film formed on the entire surface of the first substrate including the thin film transistor; A color filter layer formed in the pixel region; A planarization film formed on the first substrate including the common wiring and the common electrode; A light shielding film formed on the planarization film above the channel region of the thin film transistor; A second common wiring covering the light blocking film and formed in the gate line direction; And a pixel electrode formed in the pixel region.
상기와 같은 구성을 갖는 본 발명의 액정표시장치의 제조방법은 기판상에 일측에 게이트전극을 구비한 게이트라인을 형성하는 단계; 상기 게이트라인과 평행하게 제 1 공통배선을 형성하는 단계; 상기 게이트라인을 포함한 상기 기판상에 게이트절연막을 형성하는 단계; 상기 게이트전극 상부에 액티브층을 형성하는 단계; 상기 게이트라인과 교차 배치되어 화소영역을 정의하도록 데이터라인을 형성하는 단계; 상기 액티브층의 일측 및 타측에 오버랩되도록 소오스전극과 드레인전극을 형성하는 단계; 상기 데이터라인을 포함한 전면에 층간절연막을 형성하는 단계; 상기 화소영역에 칼라필터층을 형성하는 단계; 상기 칼라필터층을 포함한 상기 기판상에 평탄화막을 형성하는 단계; 상기 박막 트랜지스터의 채널영역 상측의 상기 평탄화막상에 차광막을 형성하는 단계; 상기 게이트라인, 상기 데이터라인 및 채널영역 상부를 포함한 상기 차광막상에 중첩 형성되며, 상기 화소영역에 일방향으로 제 2 공통배선 및 공통전극을 형성하는 단계; 상기 공통전극 사이에 일정 간격을 갖도록 상기 화소영역에 화소전극을 형성함을 특징으로 한다. Method of manufacturing a liquid crystal display device of the present invention having the above configuration comprises the steps of forming a gate line having a gate electrode on one side on a substrate; Forming a first common line in parallel with the gate line; Forming a gate insulating film on the substrate including the gate line; Forming an active layer on the gate electrode; Forming a data line intersecting with the gate line to define a pixel area; Forming a source electrode and a drain electrode to overlap one side and the other side of the active layer; Forming an interlayer insulating film on the entire surface including the data line; Forming a color filter layer in the pixel region; Forming a planarization film on the substrate including the color filter layer; Forming a light shielding film on the planarization film above the channel region of the thin film transistor; Forming a second common wiring and a common electrode on the light blocking layer including the gate line, the data line, and an upper portion of the channel region and overlapping the pixel region in one direction; The pixel electrode may be formed in the pixel area to have a predetermined interval between the common electrodes.
상기 제 1 공통배선은 상기 게이트라인과 동시에 동일층상에 형성함을 특징으로 한다. The first common line may be formed on the same layer as the gate line.
상기 제 1 공통배선의 상부에 상기 드레인전극에서 연장된 스토리지 전극을 형성하는 것을 더 포함함을 특징으로 한다. The method may further include forming a storage electrode extending from the drain electrode on the first common line.
상기 평탄화막은 포토 아크릴, 폴리 이미드, BCB(Benzo Cyclo Butene)중에서 적어도 하나를 사용하여 형성함을 특징으로 한다. The planarization layer is formed using at least one of photoacryl, polyimide, and benzocyclobutene (BCB).
상기 드레인전극의 일영역이 드러나도록 상기 칼라필터층과 상기 층간절연막을 식각하여 상기 드레인전극의 일영역이 드러나도록 콘택홀을 형성하는 제 1 공정과, 상기 콘택홀 상부의 상기 평탄화막을 식각하여 상기 드레인전극의 일영역에 콘택홀을 형성하는 제 2 공정을 통하여 제 1 콘택홀을 형성함을 특징으로 한다. Etching the color filter layer and the interlayer insulating layer to expose one region of the drain electrode, and forming a contact hole to expose one region of the drain electrode; and etching the planarization layer on the contact hole to drain the drain. The first contact hole is formed through the second process of forming the contact hole in one region of the electrode.
상기 제 1 공통배선의 일영역이 드러나도록 상기 평탄화막과 상기 칼라필터층과 상기 층간절연막과 상기 게이트절연막을 차례로 식각해서 제 2 콘택홀을 형성하는 것을 더 포함함을 특징으로 한다. And forming a second contact hole by sequentially etching the planarization layer, the color filter layer, the interlayer insulating layer, and the gate insulating layer so that one region of the first common wiring is exposed.
상기 차광막은 상기 평탄화막상에 금속층을 증착하는 공정과, 상기 박막 트랜지스터의 채널영역 상부에만 남도록 포토 및 사진식각으로 상기 금속층을 패터닝하는 공정을 포함함을 특징으로 한다. The light shielding film may include depositing a metal layer on the planarization layer, and patterning the metal layer by photo and photo etching so as to remain only on an upper portion of a channel region of the thin film transistor.
상기 금속층은 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo), 구리(Cu), 탄탈륨(Ta) 또는 알루미늄(Al)중 적어도 어느 하나를 사용함을 특징으로 한다. The metal layer is characterized in that at least one of chromium (Cr), molybdenum (Mo), copper (Cu), tantalum (Ta) or aluminum (Al).
상기 차광막의 표면에 광의 반사를 줄이기 위해서 열처리공정으로 산화막을 형성하는 것을 더 포함함을 특징으로 한다. The method may further include forming an oxide film through a heat treatment process to reduce reflection of light on the surface of the light shielding film.
상기 제 2 공통배선과 상기 공통전극과 상기 화소전극은 상기 차광막을 포함한 상기 평탄화막 상부에 투명 도전막을 증착하는 공정과, 포토 및 식각 공정을 통해 상기 투명 도전막을 선택적으로 제거하는 공정을 포함함을 특징으로 한다. The second common wiring, the common electrode, and the pixel electrode may include depositing a transparent conductive layer on the planarization layer including the light blocking layer, and selectively removing the transparent conductive layer through a photo and etching process. It features.
상기 차광막 표면의 산화막은 상기 공통전극 및 화소전극을 형성하기 위한 투명 도전막을 산소 분위기에서 증착하여 형성하는 것을 더 포함함을 특징으로 한다. The oxide film on the surface of the light shielding film may further include depositing a transparent conductive film for forming the common electrode and the pixel electrode in an oxygen atmosphere.
상기 투명 도전막은 인듐주석산화물(Indium Tin Oxide : ITO), 주석산화물(Tin Oxide : TO), 인듐아연산화물(Indium Zinc Oxide : IZO) 또는 인듐주석아연산화물(Indium Tin Zinc Oxide:ITZO)을 사용하여 형성하는 것을 특징으로 한다. The transparent conductive film may be formed using indium tin oxide (ITO), tin oxide (TO), indium zinc oxide (IZO), or indium tin zinc oxide (ITZO). It is characterized by forming.
상기 제 2 공통배선은 상기 게이트라인 및 상기 박막 트랜지스터 상부에 중첩되도록 형성함을 특징으로 한다. The second common line may be formed to overlap the gate line and the thin film transistor.
상기 공통전극은 상기 제 2 공통배선과 일체로 형성되고, 상기 데이터라인보다 넓은 폭으로 그 상부에 오버랩되며, 상기 제 2 공통배선에서 연장되어 상기 화소영역에 일방향으로 배열되도록 형성함을 특징으로 한다. The common electrode may be formed integrally with the second common line, overlap the upper portion of the second common line in a wider width than the data line, and extend from the second common line to be arranged in one direction in the pixel area. .
상기 차광막은 상기 채널영역 뿐만아니라, 상기 게이트라인 및 상기 데이터라인 상측의 상기 평탄화막상에 형성하는 것을 더 포함함을 특징으로 한다. The light shielding film may be formed on the planarization film on the gate line and the data line as well as the channel region.
또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정표시장치의 제조방법은 기판상에 일측에 게이트전극을 구비한 게이트라인을 형성하는 단계; 상기 게이트라인과 평행하게 제 1 공통배선을 형성하는 단계; 상기 게이트라인을 포함한 상기 기판상에 게이트절연막을 형성하는 단계; 상기 게이트전극 상부에 액티브층을 형성하는 단계; 상기 게이트라인과 교차 배치되어 화소영역을 정의하도록 데이터라인을 형성하는 단계; 상기 액티브층의 일측 및 타측에 오버랩되도록 소오스전극과 드레인전극을 형성하는 단계; 상기 데이터라인을 포함한 전면에 층간절연막을 형성하는 단계; 상 기 화소영역에 칼라필터층을 형성하는 단계; 상기 칼라필터층을 포함한 상기 기판상에 평탄화막을 형성하는 단계; 상기 박막 트랜지스터의 채널영역 상측의 상기 평탄화막상에 차광막을 형성하는 단계; 상기 게이트라인 및 채널영역 상부를 포함한 상기 차광막상에 중첩 형성되도록 제 2 공통배선을 형성하는 단계; 상기 화소영역에 화소전극을 형성함을 특징으로 한다. In addition, a method of manufacturing a liquid crystal display device according to another embodiment of the present invention comprises the steps of forming a gate line having a gate electrode on one side on a substrate; Forming a first common line in parallel with the gate line; Forming a gate insulating film on the substrate including the gate line; Forming an active layer on the gate electrode; Forming a data line intersecting with the gate line to define a pixel area; Forming a source electrode and a drain electrode to overlap one side and the other side of the active layer; Forming an interlayer insulating film on the entire surface including the data line; Forming a color filter layer in the pixel region; Forming a planarization film on the substrate including the color filter layer; Forming a light shielding film on the planarization film above the channel region of the thin film transistor; Forming a second common line to overlap the light blocking layer including the gate line and an upper portion of the channel region; The pixel electrode may be formed in the pixel region.
이하, 첨부 도면을 참조하여 실시예별로 본 발명의 액정표시장치 및 그의 제조방법에 대하여 설명하기로 한다. Hereinafter, a liquid crystal display and a method of manufacturing the same according to embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
제 1 실시예First embodiment
본 발명의 제 1 실시예는 공통전극이 하부기판에 배열되는 횡전계 방식의 액정표시장치이며, 칼라필터층을 하부기판에 형성한 COT(Color filter On TFT array) 구조이다. A first embodiment of the present invention is a transverse electric field type liquid crystal display device in which a common electrode is arranged on a lower substrate, and has a color filter on TFT array (COT) structure in which a color filter layer is formed on a lower substrate.
또한 상기 COT 구조에서는 하부기판의 TFT의 채널영역에 차광막(블랙 매트릭스층)을 형성하는데, 이때 차광막을 수지(Resin)를 사용하지 않고 금속(Metal)을 사용하는 것에 특징이 있다. In addition, in the COT structure, a light shielding film (black matrix layer) is formed in the channel region of the TFT of the lower substrate, wherein the light shielding film is characterized by using metal instead of resin.
먼저, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정표시장치에 대하여 설명한다. First, a liquid crystal display according to a first embodiment of the present invention will be described.
도 11은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정표시장치의 평면도이고, 도 12는 도 11의 Ⅶ-Ⅶ'와 Ⅷ-Ⅷ' 선상을 자른 구조 단면도이다. FIG. 11 is a plan view of a liquid crystal display according to a first exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 12 is a cross-sectional view of the structure of FIG.
본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정표시장치는 공통전극이 하부기판에 형성되어 있는 횡전계 방식의 액정표시장치로써, 도 11, 도 12에 도시한 바와 같이 투명한 하부기판(120)상에 일방향으로 배열된 게이트라인(121)과, 상기 게이트 라인(121)의 일측에서 돌출 형성된 게이트 전극(121a)과, 상기 게이트라인(121)과 동일층상에 동일물질로 평행하게 배열된 제 1 공통배선(121b)과, 상기 게이트 전극(121a)과 제 1 공통배선(121b)을 포함한 하부기판(120)의 전면에 SiNx 또는 SiOx와 같은 물질로 형성된 게이트 절연막(122)과, 상기 게이트 전극(121a) 상부의 상기 게이트 절연막(122)상에 아일랜드 형태로 형성되는 액티브층(123)과, 상기 게이트라인(121)과 교차 배열되어 화소영역을 정의하는 데이터라인(124)과, 상기 데이터라인(124)으로부터 돌출되어 상기 액티브층(123)의 일측 상부에 오버랩된 소오스 전극(124a)과, 상기 소오스 전극(124a)과 일정 간격 이격되고 액티브층(123)의 타측에 오버랩된 드레인 전극(124b)과, 데이터라인(124)과 소오스 전극(124a) 및 드레인 전극(124b)을 포함한 하부기판(120)의 전면에 형성된 층간절연막(125)과, 상기 하부기판(120)의 각 화소영역에 형성된 R,G,B의 칼라필터층(126)과, 상기 드레인전극(124b)의 일영역에 제 1 콘택홀(127a)을 갖도록 상기 칼라필터층(126)을 포함한 하부기판(120)상에 형성된 평탄화막(128)과, 상기 게이트전극(121a)과 소오스 전극(124a) 및 드레인 전극(124b)으로 구성된 박막 트랜지스터(TFT)의 채널영역 상측에 형성된 차광막(129)과, 상기 차광막(129)을 포함한 하부기판(120)의 평탄화막(128)상에 형성된 제 2 공통배선(130a)과, 상기 제 2 공통배선(130a)과 일체로 형성되어 있으며 데이터라인(124)의 상부 및 상기 화소영역의 일영역에 형성된 공통전극(130b)과, 상기 제 1 콘택홀(127a)을 통해 드레인전극(124b)과 콘택되며 상기 공통전극(130b)의 사이에 일정 간격 이격되어 형성된 화소전극(130c)으로 구성된다.
The liquid crystal display according to the first exemplary embodiment of the present invention is a transverse electric field type liquid crystal display in which a common electrode is formed on a lower substrate. The liquid crystal display according to the first embodiment of the present invention is illustrated in FIGS. 11 and 12. A
또한, 도면에는 도시되지 않았지만, 상기 하부기판(120)의 전면에 폴리이미드(polyimide)로 이루어진 배향막(도시되지 않음)이 형성되어 있다. Although not shown in the drawing, an alignment film (not shown) made of polyimide is formed on the entire surface of the
그리고 상기 칼라필터층(126)은 상기 데이터라인(124)의 양측에 일부 오버랩되어 있다. The
상기 평탄화막(128)은 제 2 공통배선(130a)과 공통전극(130b)에 의해서 게이트라인(121)과 데이터라인(124)의 신호가 지연되는 문제를 방지하기 위해서, 대략 3㎛ 정도의 두께를 갖는 포토 아크릴, 폴리 이미드, BCB(Benzo Cyclo Butene)중 적어도 어느 하나의 저유전율의 유기절연막으로 형성되어 있다. The
그리고 상기 차광막(129)은 수지(Resin)로 형성되어 있지 않고 금속(Metal)으로 형성되어 있다. In addition, the
상기 차광막(129)이 수지(Resin)로 형성되어 있지 않고 금속으로 형성되어 있는 이유는, 수지(Resin)는 재료가 고가이고, 고유저항(Resistivity)이 낮아서 전기적 특성이 좋지 않으며, 액정에의 불순물 오염 및 파티클 소오스(Particle Source)가 되는 문제가 있는데, 금속은 수지와 같은 문제를 일으키지 않기 때문이다. The
이때 차광막(129)을 구성하는 금속은 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo), 구리(Cu), 탄탈륨(Ta) 또는 알루미늄(Al)중 적어도 어느 하나를 사용한다. In this case, at least one of chromium (Cr), molybdenum (Mo), copper (Cu), tantalum (Ta), or aluminum (Al) is used as the metal constituting the
또한, 상기 차광막(129)의 표면에는 광의 반사를 줄이기 위해 산화막을 더 구비시킬 수 있다. In addition, an oxide film may be further provided on the surface of the
그리고 상기 차광막(129)은 도면에는 도시되어 있지 않지만, 액정패널의 하 부에 형성되는 백라이트로부터의 광 누설을 막는 광차단막 역할을 할 수 있도록 액정패널의 외곽부를 둘러싸도록 형성될 수도 있다. Although not shown in the drawing, the
그리고 상기 제 2 공통배선(130a)은 게이트라인(121)상부를 따라 형성된다. The second
그리고 공통전극(130b)은 인접한 화소전극(130c)과 함께 횡전계 구동하도록 데이터라인(124)상부에 완전히 오버랩되어 있고, 데이터라인(124)보다 넓은 폭으로 형성되어 있으며, 화소영역내의 공통전극(130b)은 데이터라인(124)과 평행하게 배열되어 있다. The
또한 제 2 공통배선(130a)과 공통전극(130b)은 도 11에서와 같이 제 1 공통배선(121b)이 드러나도록 제 2 콘택홀(127b)이 형성되어 화소영역 내부에서 제 1 공통배선(121b)과 콘택되게 할 수 있다. In addition, in the second
상기 외에도 제 2 공통배선(130a)과 공통전극(130b)은 패널의 액티브영역 외부에서 제 1 공통배선(121b)과 콘택되게 하거나, 제 1 공통배선(121b)과 별도로 외부에서 전원을 공급할 수도 있다. In addition to the above, the second
그리고 상기 제 1 공통배선(121b) 상부의 게이트절연막(122)상에 드레인전극(124b)이 연장 형성되어 스토리지 전극(124c)이 형성된다. 이와 같이 본 발명의 제 1 실시예는 스토리지 온 콤온(Storage On Common) 구조이다.The
상기에서 제 2 공통배선(130a)과 공통전극(130b)과 화소전극(130c)은 동일층상에 형성되며, 인듐주석산화물(Indium Tin Oxide : ITO), 주석산화물(Tin Oxide : TO), 인듐아연산화물(Indium Zinc Oxide : IZO) 또는 인듐주석아연산화물(Indium Tin Zinc Oxide:ITZO)로 구성되어 있다.
The second
또한, 상기와 같이 형성된 하부기판(120)과 대응하는 상부기판(110)위에는, 칼라필터층과 블랙 매트릭스층 없이 배향만(미도시)으로 구성되어 있다. In addition, on the
상기에서 상부기판(110)에는 게이트라인(121)과 데이터라인(124) 및 박막 트랜지스터의 채널영역에 상부에 형성된 제 2 공통배선(130a), 공통전극(130b) 및 차광막(129)이 블랙 매트릭스층의 역할을 대신하므로 생략한 것이다. In the
그리고 도면에는 도시되어 있지 않지만 상,하부기판은 액정 주입구를 갖는 씨일재에 의해 합착되는데, 이때 차광막이 씨일재가 형성되는 하부기판의 외곽에도 형성되어 있으므로, 씨일재는 차광막과 접촉하고 있다. Although not shown in the drawing, the upper and lower substrates are bonded by a sealing material having a liquid crystal injection hole. At this time, since the light shielding film is formed on the outer side of the lower substrate on which the sealing material is formed, the sealing material is in contact with the light blocking film.
상기 씨일재는 유기절연막보다 차광막과의 접촉성이 좋기 때문에 종래 기술에서 씨일재의 유기절연막과의 접촉 불량으로 인해 액정주입불량 및 액정 누설이 발생하는 것을 방지할 수 있다. Since the seal material has better contact with the light shielding film than the organic insulating film, it is possible to prevent the occurrence of poor liquid crystal injection and liquid crystal leakage due to a poor contact with the organic insulating film of the seal material in the prior art.
다음에, 상기 구성을 갖도록 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정표시장치의 제조방법에 대하여 설명한다. Next, a manufacturing method of the liquid crystal display device according to the first embodiment of the present invention will be described so as to have the above configuration.
도 13a 내지 도 13c는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정표시장치의 제조방법을 나타낸 공정단면도이다. 13A to 13C are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention.
본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정표시장치의 제조방법은 먼저, 도 13a에 도시한 바와 같이 투명한 하부 기판(120)상에 도전성 금속을 증착하고, 포토 및 식각 공정을 이용하여 도전성 금속을 패터닝하여, 일 끝단이 소정면적으로 넓게 구성되는 게이트 패드(미도시)와 상기 게이트 패드에서 일 방향으로 연장된 게이트라인(121)과 상기 게이트 라인(121)에서 일 방향으로 돌출 형성된 게이트 전 극(121a)을 형성한다. In the manufacturing method of the liquid crystal display according to the first exemplary embodiment of the present invention, first, a conductive metal is deposited on a transparent
또한 상기 게이트라인(121)과 동일층에 동일물질로 게이트라인(121)과 평행한 방향으로 배열되도록 제 1 공통배선(121b)을 형성한다.In addition, a first
이후에 상기 게이트라인(121) 및 제 1 공통배선(121b)이 형성된 하부기판(120)의 전면에 게이트 절연막(122)을 형성한다. Thereafter, the
여기서 상기 게이트 절연막(122)은 실리콘 질화막(SiNx) 또는 실리콘 산화막(SiO2)을 사용할 수 있다.The
이후에 상기 게이트 절연막(122)상에 반도체층(아몰퍼스실리콘 + 불순물 아몰퍼스실리콘)을 형성한다. Thereafter, a semiconductor layer (amorphous silicon + impurity amorphous silicon) is formed on the
이어, 상기 반도체층을 포토 및 식각 공정으로 패터닝하여, 상기 게이트 전극(121a) 상부에 아일랜드(island) 형태를 갖는 액티브층(123)을 형성한다.Subsequently, the semiconductor layer is patterned by photo and etching processes to form an
이후에 상기 액티브층(123)이 형성된 하부기판(120)의 전면에 도전성 금속을 증착하고 포토 및 식각 공정을 통해 패터닝하여, 상기 게이트 라인(121)과 교차하여 화소영역을 정의하는 데이터 라인(124)을 형성하고, 끝단에 소정면적을 갖는 소오스 패드(미도시)와, 상기 데이터 라인(124)에서 일방향으로 돌출 연장된 소오스전극(124a)과, 소오스전극(124a)과 일정간격 격리된 드레인전극(124b)을 형성한다. Subsequently, a conductive metal is deposited on the entire surface of the
이때 드레인전극(124b)에서 연장되어 제 1 공통배선(121b)의 상부에 스토리지 전극(124c)이 형성된다. 스토리지 구조는 스토리지 온 콤온(Storage On Common) 구조이다.
In this case, the
이어서 도 13b에 도시한 바와 같이, 데이터라인(124)이 형성된 하부기판(120)의 전면에 층간절연막(125)을 형성한다. Subsequently, as shown in FIG. 13B, an
상기 층간절연막(125)은 보호막 역할을 하는 산화막 또는 질화막으로 형성한다. The interlayer insulating
이후에 각 화소영역에 R,G,B의 칼라필터층(126)을 형성한다. 이때 칼라필터층(126)은 데이터라인(124)에 오버랩되게 형성한다. Thereafter, R, G, and B color filter layers 126 are formed in each pixel region. In this case, the
다음에 칼라필터층(126)과 층간절연막(125)을 식각하여 상기 드레인전극(124b)의 일영역이 드러나도록 제 1 콘택홀(127a)을 형성한다. Next, the
이어서 도 13c에 도시한 바와 같이, 칼라필터층(126)상에 평탄화막(128)을 형성한다. Next, as shown in FIG. 13C, the
이때 평탄화막(128)은 포토 아크릴, 폴리 이미드, BCB(Benzo Cyclo Butene)중에서 적어도 하나를 사용하여 형성할 수 있다. In this case, the
다음에 제 1 콘택홀(127a)상부의 상기 평탄화막(128)을 식각하여 상기 드레인전극(124b)의 일영역이 드러나도록 콘택홀을 형성한다. 이때 제 1 공통배선(121b)의 일영역이 드러나도록 평탄화막(128)과 칼라필터층(126)과 층간절연막(125)과 게이트절연막(122)를 차례로 식각해서 제 2 콘택홀(127b)도 형성한다. Next, the
이어서 상기 평탄화막(128)상에 금속층을 증착하고, 포토 및 사진식각을 통해 패터닝하여 박막 트랜지스터의 채널영역상부에 차광막(129)을 형성한다. Subsequently, a metal layer is deposited on the
이때 차광막(129)은 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo), 구리(Cu), 탄탈륨(Ta) 또는 알루미늄(Al)중 적어도 어느 하나를 사용하여 형성할 수 있다.
In this case, the
상기에서 차광막(129)은 표면에서의 광의 반사를 줄이기 위해서 산화막을 형성하는 공정을 추가할 수도 있는데, 이때 산화막의 형성공정은 상기 금속층을 패터닝한 후에 열처리 공정을 진행하여 형성할 수 있다. The
또한, 상기 차광막(129) 표면의 산화막은 차후에 공통전극 및 화소전극을 형성하기 위한 투명 도전막을 산소 분위기에서 증착할때 형성할 수도 있다. In addition, the oxide film on the surface of the
이후에 차광막(129)을 포함한 평탄화막(128) 상부에 투명 도전막을 증착한 후에 포토 및 식각 공정을 통해 상기 투명 도전막을 선택적으로 제거하여, 제 2 공통배선(130a)과 공통전극(130b) 및 화소전극(130c)을 형성한다. Thereafter, after the transparent conductive film is deposited on the
이때 제 2 공통배선(130a)은 게이트라인(121) 및 박막 트랜지스터 상부에 중첩되도록 형성한다.In this case, the second
그리고 공통전극(130b)은 제 2 공통배선(130a)과 연결되어 있으며, 데이터라인(124)보다 넓은 폭으로 그 상부에 오버랩되도록 형성하며, 제 2 공통배선(130a)에서 연장되어 화소영역에 일방향으로 배열되어 있다. 이때 화소영역에 형성하는 제 2 공통전극(130b)은 데이터 라인(124)과 평행하게 배열하며, 제 1 공통배선(121b) 상부에서 일끝단이 오버랩되도록 형성한다. The
상기에서 제 1 콘택홀(127a)을 통해서 상기 화소전극(130c)과 드레인전극(124b)이 연결되도록 한다. The
상기에서 투명 도전막은 인듐주석산화물(Indium Tin Oxide : ITO), 주석산화물(Tin Oxide : TO), 인듐아연산화물(Indium Zinc Oxide : IZO) 또는 인듐주석아연산화물(Indium Tin Zinc Oxide:ITZO)을 사용하여 형성할 수 있다. The transparent conductive film may be formed of indium tin oxide (ITO), tin oxide (TO), indium zinc oxide (IZO), or indium tin zinc oxide (ITZO). Can be formed.
이후에 도면에는 도시되지 않았지만, 제 2 공통배선(130a), 공통전극(130b), 화소전극(130c)을 포함한 하부기판(120)의 전면에 폴리이미드(polyimide)나 광배향성 물질로 이루어진 배향막을 형성한다.Although not shown in the drawings, an alignment layer made of polyimide or photo-alignment material is formed on the entire surface of the
여기서 폴리이미드로 이루어진 배향막은 기계적인 러빙에 의해 배향방향이 결정되며, PVCN계 물질(polyvinylcinnamate based material)이나 폴리실록산계 물질(polysiloxane based material)로 이루어진 광반응성 물질은 자외선과 같은 광의 조사에 의해 배향방향이 결정된다. Here, the alignment layer made of polyimide is determined by mechanical rubbing, and the photoreactive material made of polyvinylcinnamate based material or polysiloxane based material is oriented by irradiation with light such as ultraviolet rays. This is determined.
이때, 배향방향은 광의 조사방향이나 조사되는 광의 성질, 즉 편광방향 등에 의해 결정된다. At this time, the orientation direction is determined by the irradiation direction of the light or the property of the irradiated light, that is, the polarization direction.
이후에 상부기판(110)을 준비하고, 상기 하부기판(120)과 상부기판(110)을 합착하기 위한 씨일재(미도시)를 하부기판(120) 또는 상부기판(120)에 형성한다. Thereafter, the
이어, 상기 상부기판(110)과 하부기판(120)을 합착한다. Subsequently, the
여기서, 도면에는 도시되지 않았지만 상기 상부기판(110)의 전면에는 하부기판(120)과 동일한 물질의 배향막을 형성한다. Although not shown in the drawing, an alignment layer of the same material as the
제 2 실시예Second embodiment
본 발명의 제 2 실시예는 공통전극이 하부기판에 배열되는 횡전계 방식의 액정표시장치이며, 칼라필터층을 하부기판에 형성한 COT(Color filter On TFT array) 구조이다. A second embodiment of the present invention is a transverse electric field type liquid crystal display device in which a common electrode is arranged on a lower substrate, and has a color filter on TFT array (COT) structure in which a color filter layer is formed on a lower substrate.
또한 상기 COT 구조에서는 하부기판에 차광막(블랙 매트릭스층)을 형성하는데, 이때 차광막을 TFT의 채널영역 뿐만아니라, 게이트라인과 데이터라인 상부로도 연장하여 형성하며, 차광막을 수지를 사용하지 않고 금속을 사용하는 것에 특징이 있다. In the COT structure, a light shielding film (black matrix layer) is formed on the lower substrate, wherein the light shielding film is formed not only in the TFT region but also in the upper portion of the gate line and the data line. It is characteristic to use.
즉, 상기 차광막의 구성을 제외하고는 본 발명의 제 1 실시예와 동일하다. That is, the same as in the first embodiment of the present invention except for the configuration of the light shielding film.
도 14는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정표시장치의 평면도이고, 도 15는 도 14의 Ⅸ-Ⅸ'와 Ⅹ-Ⅹ' 선상을 자른 구조 단면도이며, 도 16a 내지 도 16c는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정표시장치의 제조방법을 나타낸 공정단면도이다. FIG. 14 is a plan view of a liquid crystal display according to a second exemplary embodiment of the present invention, FIG. 15 is a cross-sectional view of a cross-sectional view taken along lines 'V' and '-V' in FIG. 14, and FIGS. 16A to 16C illustrate the present invention. A process cross-sectional view showing the manufacturing method of the liquid crystal display device according to the second embodiment.
이하, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정표시장치에 대하여 설명하기로 한다. Hereinafter, a liquid crystal display according to a second embodiment of the present invention will be described.
도 14와 도 15에 도시한 바와 같이 투명한 하부기판(120)상에 일방향으로 배열된 게이트라인(121)과, 상기 게이트 라인(121)의 일측에서 돌출 형성된 게이트 전극(121a)과, 상기 게이트라인(121)과 동일층상에 동일물질로 평행하게 배열된 제 1 공통배선(121b)과, 상기 게이트 전극(121a)과 제 1 공통배선(121b)을 포함한 하부기판(120)의 전면에 SiNx 또는 SiOx와 같은 물질로 형성된 게이트 절연막(122)과, 상기 게이트 전극(121a) 상부의 상기 게이트 절연막(122)상에 아일랜드 형태로 형성되는 액티브층(123)과, 상기 게이트라인(121)과 교차 배열되어 화소영역을 정의하는 데이터라인(124)과, 상기 데이터라인(124)으로부터 돌출되어 상기 액티브층(123)의 일측 상부에 오버랩된 소오스 전극(124a)과, 상기 소오스 전극(124a)과 일정 간격 이격되고 액티브층(123)의 타측에 오버랩된 드레인 전극(124b)과, 데이터라인(124)과 소오스 전극(124a) 및 드레인 전극(124b)을 포함한 하부기판(120)의 전면에 형성된 층간절연막(125)과, 상기 하부기판(120)의 각 화소영역에 형성된 R,G,B의 칼라필터층(126)과, 상기 드레인전극(124b)의 일영역에 제 1 콘택홀(127a)을 갖도록 상기 칼라필터층(126)을 포함한 하부기판(120)상에 형성된 평탄화막(128)과, 상기 게이트전극(121a)과 소오스 전극(124a)과 드레인 전극(124b)으로 구성된 박막 트랜지스터(TFT)의 채널영역 상부 뿐만아니라 게이트라인(121)과 데이터라인(124) 상부로 연장되어 형성된 차광막(129)과, 상기 차광막(129)을 포함한 하부기판(120)의 평탄화막(128)상에 형성된 제 2 공통배선(130a)과, 상기 제 2 공통배선(130a)과 일체로 형성되어 있으며 데이터라인(124)의 상부 및 상기 화소영역의 일영역에 형성된 공통전극(130b)과, 상기 제 1 콘택홀(127a)을 통해 드레인전극(124b)과 콘택되며 상기 공통전극(130b)의 사이에 일정 간격 이격되어 형성된 화소전극(130c)으로 구성된다. As shown in FIGS. 14 and 15, the
또한, 도면에는 도시되지 않았지만, 상기 하부기판(120)의 전면에 폴리이미드(polyimide)로 이루어진 배향막(도시되지 않음)이 형성되어 있다. Although not shown in the drawing, an alignment film (not shown) made of polyimide is formed on the entire surface of the
상기 평탄화막(128)은 제 2 공통배선(130a)과 공통전극(130b)에 의해서 게이트라인(121)과 데이터라인(124)의 신호가 지연되는 문제를 방지하기 위해서, 대략 3㎛ 정도의 두께를 갖는 포토 아크릴, 폴리 이미드, BCB(Benzo Cyclo Butene)중 적어도 어느 하나의 저유전율의 유기절연막으로 형성되어 있다. The
그리고 상기 차광막(129)은 수지(Resin)로 형성되어 있지 않고 금속(Metal)으로 형성되어 있다. In addition, the
상기 차광막(129)이 수지(Resin)로 형성되어 있지 않고 금속으로 형성되어 있는 이유는, 수지(Resin)는 재료가 고가이고, 고유저항(Resistivity)이 낮아서 전 기적 특성이 좋지 않으며, 액정에의 불순물 오염 및 파티클 소오스(Particle Source)가 되는 문제가 있는데, 금속은 수지와 같은 문제를 일으키지 않기 때문이다. The
이때 차광막(129)을 구성하는 금속은 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo), 구리(Cu), 탄탈륨(Ta) 또는 알루미늄(Al)중 적어도 어느 하나를 사용한다. In this case, at least one of chromium (Cr), molybdenum (Mo), copper (Cu), tantalum (Ta), or aluminum (Al) is used as the metal constituting the
또한, 상기 차광막(129)의 표면에는 광의 반사를 줄이기 위해 산화막을 더 구비시킬 수 있다. In addition, an oxide film may be further provided on the surface of the
그리고 상기 차광막(129)은 도면에는 도시되어 있지 않지만, 액정패널의 하부에 형성되는 백라이트로부터의 광 누설을 막는 광차단막 역할을 할 수 있도록 액정패널의 외곽부를 둘러싸도록 형성될 수도 있다. Although not shown in the drawing, the
그리고 상기 제 2 공통배선(130a)은 게이트라인(121)상부를 따라 형성된다. The second
그리고 공통전극(130b)은 인접한 화소전극(130c)과 함께 횡전계 구동하도록 데이터라인(124)상부에 완전히 오버랩되어 있고, 데이터라인(124)보다 넓은 폭으로 형성되어 있으며, 화소영역내의 공통전극(130b)는 데이터라인(124)과 평행하게 배열되어 있다. The
또한 제 2 공통배선(130a)과 공통전극(130b)은 도 11에서와 같이 제 1 공통배선(121b)이 드러나도록 제 2 콘택홀(127b)이 형성되어 화소영역 내부에서 제 1 공통배선(121b)과 콘택되게 할 수 있다. In addition, in the second
상기 구성 외에도 제 2 공통배선(130a)과 공통전극(130b)은 패널의 액티브영역 외부에서 제 1 공통배선(121b)과 콘택되게 하거나, 제 1 공통배선(121b)과 별도 로 외부에서 전원을 공급할 수도 있다. In addition to the above configuration, the second
그리고 상기 제 1 공통배선(121b) 상부의 게이트절연막(122)상에 드레인전극(124b)이 연장 형성되어 스토리지 전극(124c)이 형성된다. 이와 같이 스토리지 커패시터는 스토리지 온 콤온(Storage On Common) 구조이다.The
상기에서 제 2 공통배선(130a)과 공통전극(130b)과 화소전극(130c)은 인듐주석산화물(Indium Tin Oxide : ITO), 주석산화물(Tin Oxide : TO), 인듐아연산화물(Indium Zinc Oxide : IZO) 또는 인듐주석아연산화물(Indium Tin Zinc Oxide:ITZO)을 사용하여 형성할 수 있다. The second
또한, 상기와 같이 형성된 하부기판(120)과 대응하는 상부기판(110)위에는, 칼라필터층과 블랙 매트릭스층 없이 배향만(미도시)으로 구성되어 있다. In addition, on the
상기에서 상부기판(110)에는 게이트라인(121)과 데이터라인(124) 및 박막 트랜지스터의 채널영역에 상부에 형성된 제 2 공통배선(130a), 공통전극(130b) 및 차광막(129)이 블랙 매트릭스층의 역할을 대신하므로 생략한 것이다. In the
이하, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정표시장치의 제조방법에 대하여 설명하기로 한다. Hereinafter, a method of manufacturing a liquid crystal display device according to a second embodiment of the present invention will be described.
본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정표시장치의 제조방법은 도 16a 내지 도 16c에 도시한 바와 같이, 차광막(129)을 박막 트랜지스터의 채널영역 뿐만아니라, 게이트라인(121)과 데이터라인(124)상부에도 연장 형성하는 것을 제외하고는 본 발명의 제 1 실시예의 제조방법과 동일한 방법에 의해서 형성하므로 이하, 생략하기로 한다.
In the method of manufacturing the liquid crystal display according to the second exemplary embodiment of the present invention, as shown in FIGS. 16A through 16C, the
제 3 실시예Third embodiment
본 발명의 제 3 실시예는 스토리지 온 콤온(Storage On Common) 구조를 채용한 TN 모드의 액정표시장치이며, 칼라필터층을 하부기판에 형성한 COT(Color filter On TFT array) 구조이다. A third embodiment of the present invention is a TN mode liquid crystal display adopting a storage on common structure, and has a color filter on TFT array (COT) structure in which a color filter layer is formed on a lower substrate.
또한, 상기 COT 구조에서는 하부기판의 TFT의 채널영역에 차광막(블랙 매트릭스층)을 형성하는데, 이때 차광막은 수지(Resin)로 형성하지 않고 금속(Metal)으로 형성하는 것에 특징이 있다. In addition, in the COT structure, a light blocking film (black matrix layer) is formed in the channel region of the TFT of the lower substrate, wherein the light blocking film is formed of metal instead of resin.
이하, 이하, 본 발명의 제 3 실시예에 따른 액정표시장치에 대하여 설명하기로 한다. Hereinafter, a liquid crystal display according to a third embodiment of the present invention will be described.
도 17과 도 18에 도시한 바와 같이, 투명한 하부기판(190)상에 일방향으로 배열된 게이트라인(191)과, 상기 게이트 라인(191)의 일측에서 돌출 형성된 게이트 전극(191a)과, 상기 게이트라인(191)과 동일층상에 동일물질로 평행하게 배열된 제 1 공통배선(191b)과, 상기 게이트 전극(191a)과 제 1 공통배선(191b)을 포함한 하부기판(190)의 전면에 SiNx 또는 SiOx와 같은 물질로 형성된 게이트 절연막(192)과, 상기 게이트 전극(191a) 상부의 상기 게이트 절연막(192)상에 아일랜드 형태로 형성되는 액티브층(193)과, 상기 게이트라인(191)과 교차 배열되어 화소영역을 정의하는 데이터라인(194)과, 상기 데이터라인(194)으로부터 돌출되어 상기 액티브층(193)의 일측 상부에 오버랩된 소오스 전극(194a)과, 상기 소오스 전극(194a)과 일정 간격 이격되고 액티브층(193)의 타측에 오버랩된 드레인 전극(194b)과, 데이터라인(194)과 소오스 전극(194a) 및 드레인 전극(194b)을 포함 한 하부기판(190)의 전면에 형성된 층간절연막(195)과, 상기 하부기판(190)의 각 화소영역에 형성된 R,G,B의 칼라필터층(196)과, 상기 드레인전극(194b)의 일영역에 제 1 콘택홀(197a)을 갖도록 상기 칼라필터층(196)을 포함한 하부기판(190)상에 형성된 평탄화막(198)과, 상기 게이트전극(191a)과 소오스 전극(194a)과 드레인 전극(194b)으로 구성된 박막 트랜지스터(TFT)의 채널영역 상부에 형성된 차광막(199)과, 상기 차광막(199)을 덮도록 평탄화막(198)상에 형성된 제 2 공통배선(200a)과, 상기 제 1 콘택홀(197a)을 통해 드레인전극(194b)과 콘택되도록 상기 화소영역 상부에 형성된 화소전극(200b)으로 구성된다. 17 and 18, a
또한, 도면에는 도시되지 않았지만, 상기 하부기판(190)의 전면에 폴리이미드(polyimide)로 이루어진 배향막(도시되지 않음)이 형성되어 있다. Although not shown in the drawing, an alignment layer (not shown) made of polyimide is formed on the entire surface of the
상기 평탄화막(198)은 제 2 공통배선(200a)과 공통전극(190b)에 의해서 게이트라인(191)과 데이터라인(194)의 신호가 지연되는 문제를 방지하기 위해서, 대략 3㎛ 정도의 두께를 갖는 포토 아크릴, 폴리 이미드, BCB(Benzo Cyclo Butene)중 적어도 어느 하나의 저유전율의 유기절연막으로 형성되어 있다. The
그리고 상기 차광막(199)은 수지(Resin)로 형성되어 있지 않고 금속(Metal)으로 형성되어 있다. In addition, the
이때 차광막(199)을 구성하는 금속은 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo), 구리(Cu), 탄탈륨(Ta) 또는 알루미늄(Al)중 적어도 어느 하나를 사용한다. In this case, at least one of chromium (Cr), molybdenum (Mo), copper (Cu), tantalum (Ta), or aluminum (Al) is used as the metal constituting the
또한, 상기 차광막(199)의 표면에는 광의 반사를 줄이기 위해 산화막을 더 구비시킬 수 있다.
In addition, an oxide film may be further provided on the surface of the
그리고 상기 차광막(199)은 도면에는 도시되어 있지 않지만, 액정패널의 하부에 형성되는 백라이트로부터의 광 누설을 막는 광차단막 역할을 할 수 있도록 액정패널의 외곽부를 둘러싸도록 형성될 수도 있다. Although not shown in the drawing, the
그리고 상기 제 2 공통배선(200a)은 차광막(199)을 덮고 있으며, 게이트라인(191)과 일부 오버랩되도록 게이트라인(191)방향으로 형성되어 있다. The second
이와 같이 제 2 공통배선(200a)이 차광막(199)을 덮고 있으며, 서로 연결되어 있으므로 차광막(199)은 박막 트랜지스터에 영향을 주지 않으면서 광을 차단하는 역할을 수행할 수 있다. As described above, since the second
또한 도 17에서와 같이 제 1 공통배선(191b)이 드러나도록 제 2 콘택홀(197b)이 형성되어 있으므로, 제 2 공통배선(200a)을 화소영역 내부에서 제 1 공통배선(191b)과 콘택되게 할 수 있다. In addition, as shown in FIG. 17, since the
상기 구성외에도 제 2 공통배선(200a)은 패널의 액티브영역 외부에서 제 1 공통배선(191b)과 콘택되게 하거나, 제 1 공통배선(191b)과 별도로 외부에서 전원을 공급할 수도 있다. In addition to the above configuration, the second
그리고 상기 제 1 공통배선(191b) 상부의 게이트절연막(192)상에 드레인전극(194b)이 연장 형성되어 스토리지 전극(194c)이 형성된다. 이와 같이 스토리지 커패시터는 스토리지 온 콤온(Storage On Common) 구조이다.The
상기에서 제 2 공통배선(200a)과 화소전극(200b)은 인듐주석산화물(Indium Tin Oxide : ITO), 주석산화물(Tin Oxide : TO), 인듐아연산화물(Indium Zinc Oxide : IZO) 또는 인듐주석아연산화물(Indium Tin Zinc Oxide:ITZO)을 사용하여 형성할 수 있다. The second
또한, 상기와 같이 형성된 하부기판(190)과 대응하는 상부기판(180)에는, 칼라필터층 없이 게이트라인과 데이터라인 및 박막 트랜지스터에 대응되는 부분에 블랙 매트릭스층(181)이 형성되어 있고, 상부기판(180)전면에 배향만(미도시)이 구성되어 있다. In addition, a
이하, 본 발명의 제 3 실시예에 따른 액정표시장치의 제조방법에 대하여 설명하기로 한다. Hereinafter, a method of manufacturing a liquid crystal display device according to a third embodiment of the present invention will be described.
본 발명의 제 3 실시예에 따른 액정표시장치의 제조방법은, 공통전극을 형성하지 않고, 제 2 공통배선(200a)과 화소전극(200b)을 형성하는 위치 및 모양이 달라진 것을 제외하고는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정표시장치의 제조방법과 동일하게 진행한다. The manufacturing method of the liquid crystal display according to the third exemplary embodiment of the present invention is the present invention except that the position and shape of forming the second
즉, 도 19a와 도 19b는 각각 도 13a와 도 13b에 설명한 방법과 동일하게 진행한다. That is, FIGS. 19A and 19B proceed in the same manner as described in FIGS. 13A and 13B, respectively.
이하, 본 발명의 제 1 실시예와 차별화되는 부분에 대해서 설명하면, 도 19c에 도시한 바와 같이, 칼라필터층(196)상에 평탄화막(198)을 형성한다. Hereinafter, a part different from the first embodiment of the present invention will be described. As shown in FIG. 19C, the
이때 평탄화막(198)은 포토 아크릴, 폴리 이미드, BCB(Benzo Cyclo Butene)중에서 적어도 하나를 사용하여 형성할 수 있다. In this case, the
다음에 제 1 콘택홀(197a)상부의 상기 평탄화막(198)을 식각하여 상기 드레인전극(194b)의 일영역이 드러나도록 콘택홀을 형성한다. 이때 제 1 공통배선(191b)의 일영역이 드러나도록 평탄화막(198)과 칼라필터층(196)과 층간절 연막(195)과 게이트절연막(192)을 차례로 식각해서 제 2 콘택홀(197b)도 형성한다. Next, the
이어서 상기 평탄화막(198)상에 금속층을 증착하고, 포토 및 사진식각을 통해 패터닝하여 박막 트랜지스터의 채널영역상부에 차광막(199)을 형성한다. Subsequently, a metal layer is deposited on the
이때 차광막(199)은 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo), 구리(Cu), 탄탈륨(Ta) 또는 알루미늄(Al)중 적어도 어느 하나를 사용하여 형성할 수 있다. In this case, the
상기에서 차광막(199)은 표면에서의 광의 반사를 줄이기 위해서 산화막을 형성하는 공정을 추가할 수도 있는데, 이때 산화막의 형성공정은 상기 금속층을 패터닝한 후에 열처리 공정을 진행하여 형성할 수 있다. The
또한, 상기 차광막(199) 표면의 산화막은 차후에 공통전극 및 화소전극을 형성하기 위한 투명 도전막을 산소 분위기에서 증착할때 형성할 수도 있다. In addition, the oxide film on the surface of the
이후에 차광막(199)을 포함한 평탄화막(198) 상부에 투명 도전막을 증착한 후에 포토 및 식각 공정을 통해 상기 투명 도전막을 선택적으로 제거하여, 제 2 공통배선(200a)과 화소전극(200b)을 형성한다. Thereafter, a transparent conductive film is deposited on the
이때 제 2 공통배선(200a)은 상기 차광막(199)을 덮으며, 상기 게이트라인(191)과 오버랩되어 게이트라인(191) 방향으로 배열되도록 형성한다. In this case, the second
상기에서 제 1 콘택홀(197a)을 통해서 상기 화소전극(200b)과 드레인전극(194b)이 연결된다. The
상기에서 투명 도전막은 인듐주석산화물(Indium Tin Oxide : ITO), 주석산화물(Tin Oxide : TO), 인듐아연산화물(Indium Zinc Oxide : IZO) 또는 인듐주석아연산화물(Indium Tin Zinc Oxide:ITZO)을 사용하여 형성할 수 있다. The transparent conductive film may be formed of indium tin oxide (ITO), tin oxide (TO), indium zinc oxide (IZO), or indium tin zinc oxide (ITZO). Can be formed.
이후에 도면에는 도시되지 않았지만, 제 2 공통배선(200a), 화소전극(200b)을 포함한 하부기판(190)의 전면에 폴리이미드(polyimide)나 광배향성 물질로 이루어진 배향막을 형성한다.Subsequently, although not shown in the drawing, an alignment layer made of polyimide or a photo-alignment material is formed on the entire surface of the
여기서 폴리이미드로 이루어진 배향막은 기계적인 러빙에 의해 배향방향이 결정되며, PVCN계 물질(polyvinylcinnamate based material)이나 폴리실록산계 물질(polysiloxane based material)로 이루어진 광반응성 물질은 자외선과 같은 광의 조사에 의해 배향방향이 결정된다. Here, the alignment layer made of polyimide is determined by mechanical rubbing, and the photoreactive material made of polyvinylcinnamate based material or polysiloxane based material is oriented by irradiation with light such as ultraviolet rays. This is determined.
이때, 배향방향은 광의 조사방향이나 조사되는 광의 성질, 즉 편광방향 등에 의해 결정된다. At this time, the orientation direction is determined by the irradiation direction of the light or the property of the irradiated light, that is, the polarization direction.
이후에 상부기판(180)을 준비하고, 상기 하부기판(190)과 상부기판(180)을 합착하기 위한 씨일재(미도시)를 하부기판(190) 또는 상부기판(180)에 형성한다. Thereafter, the
이어, 상기 상부기판(180)과 하부기판(190)을 합착한다. Subsequently, the
여기서, 도면에는 도시되지 않았지만 상기 상부기판(180)의 전면에는 하부기판(190)과 동일한 물질의 배향막을 형성한다. Although not shown in the drawing, an alignment layer of the same material as the
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술 사상을 이탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다.Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.
따라서, 본 발명의 기술 범위는 상기 실시예에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라, 특허 청구의 범위에 의하여 정해져야 한다.Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the above embodiments, but should be defined by the claims.
상기와 같은 본 발명의 액정표시장치 및 그의 제조방법은 다음과 같은 효과 가 있다. The liquid crystal display of the present invention as described above and a manufacturing method thereof have the following effects.
첫째, 칼라필터층이 하부기판에 형성되고, 차광막이 TFT의 채널영역을 완전히 가리고 있으므로 상/하부기판 합착 마진에 의해 개구율이 감소하는 문제를 해결할 수 있다. First, since the color filter layer is formed on the lower substrate, and the light shielding film completely covers the channel region of the TFT, it is possible to solve the problem that the aperture ratio is reduced by the upper / lower substrate bonding margin.
둘째, 차광막을 수지(Resin) 대신에 금속(Metal)으로 형성하므로 가격 경쟁력 및 전기적 특성을 개선시킬 수 있다. Second, since the light shielding film is formed of metal instead of resin, price competitiveness and electrical characteristics can be improved.
셋째, 공통배선과 공통전극이 게이트라인, 데이터라인 및 채널영역상에 중첩 형성되어 블랙 매트릭스층 역할을 하므로, 상/하부기판 합착에 의한 미스얼라인 문제가 발생하는 것을 방지할 수 있다. Third, since the common wiring and the common electrode overlap each other on the gate line, the data line, and the channel region to serve as a black matrix layer, it is possible to prevent the misalignment problem caused by the upper and lower substrate bonding.
넷째, 씨일재가 차광막과 접촉하고 있기 때문에 종래 기술 대비 씨일재의 접착성이 향상되기 때문에, 접착 불량으로 인해 액정주입불량 및 액정 누설이 발생하는 것을 방지할 수 있다. Fourth, since the sealing material is in contact with the light shielding film, the adhesion of the sealing material is improved as compared with the prior art, and it is possible to prevent the occurrence of poor liquid crystal injection and liquid crystal leakage due to poor adhesion.
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