KR100941650B1 - Roller type electro polishing device - Google Patents

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Abstract

롤러타입 전해연마장치가 개시되어 있다. 본 발명에 따른 롤러타입 전해연마장치는 가공물이 길이 방향으로 수용됨과 아울러 바닥면 상에는 가공물을 지지하는 다수의 지지롤러가 제공되는 전해조; 전해조의 일측면 내측에 배치되고 내주면 상으로 가공물의 일단에 인접한 외주면이 회전 가능하게 삽입되는 안치링과, 전해조의 중앙부분에 배치되고 내주면에는 가공물의 외주면이 밀착되게 끼워지는 구동링과, 구동링을 회전시켜 가공물을 회전시키는 구동모터를 가지는 회전 구동부; 전해조의 상부에 장착되고 가공물의 외주면에 양극의 전류를 인가하는 다수의 접지밴드와, 전해조 내에 배치되고 가공물 및 안치링을 관통함과 아울러 가공물의 내주면 상에 음극의 전류를 인가하는 캐소드와이어가 나선형으로 감긴 접지바아를 가지는 전원공급부; 및 전해조의 타측에 배치되는 전해액 순환조와, 타단은 전해액 순환조와 연결되고 일단은 안치링의 내주면과 연결됨과 아울러 통상의 순환펌프가 장착되어 전해액 순환조 내의 전해액을 가공물의 내주면 상으로 공급하는 전해액 공급라인과, 일단은 전해조와 연결되고 타단은 전해액 순환조와 연결되어 전해조 내의 전해액을 전해액 순환조 측으로 안내하는 전해액 순환라인을 가지는 전해액 순환공급부;로 이루어진다.A roller type electropolishing apparatus is disclosed. The roller type electrolytic polishing apparatus according to the present invention includes an electrolytic cell provided with a plurality of supporting rollers on which a workpiece is accommodated in a longitudinal direction and supporting a workpiece on a bottom surface thereof; An arranging ring disposed inside one side of the electrolytic cell and rotatably inserted into an inner circumferential surface adjacent to one end of the workpiece; a driving ring disposed at the central portion of the electrolytic cell and fitted into an inner circumferential surface of the electrolytic cell in close contact with the outer circumferential surface thereof; Rotation drive unit having a drive motor for rotating the workpiece by rotating; A plurality of ground bands mounted on top of the electrolyzer and applying an anode current to the outer circumferential surface of the workpiece, and cathode wires disposed in the electrolyzer and penetrating the workpiece and the settling ring and applying a cathode current on the inner circumferential surface of the workpiece are spiral. A power supply unit having a ground bar wound by a wire; And an electrolyte circulating tank disposed on the other side of the electrolytic cell, and the other end connected to the electrolyte circulating tank, one end of which is connected to the inner circumferential surface of the settling ring, and a normal circulation pump is mounted to supply the electrolyte in the electrolyte circulating tank onto the inner circumferential surface of the workpiece. An electrolyte solution circulation supply unit having a line and one end connected to an electrolytic cell and the other end connected to an electrolyte circulating tank to guide an electrolyte solution in the electrolytic solution to the electrolyte circulating tank side.

Description

롤러타입 전해연마장치{ROLLER TYPE ELECTRO POLISHING DEVICE}ROLLER TYPE ELECTRO POLISHING DEVICE

본 발명은 20㎜~300㎜ 내경을 가지는 스테인리스관을 연마할 수 있는 전해연마장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 가공물이 수용되는 전해조와, 전해조 내의 가공물을 회전시키는 회전 구동부와, 전해조에 장착되어 가공물의 외주면에는 양극(+)의 전원을, 그리고 회전 구동부에 간섭되지 않게 가공물의 내주면으로 삽입되어 회전하면서 음극(-)의 전원을 인가하는 전원공급부 및 전해조 내로 수용된 가공물에 전해액을 공급하는 전해액 순환공급부를 구비함으로써, 비교적 내경이 큰 가공물을 용이하게 연마할 수 있을 뿐만 아니라 가공물의 내주면이 고르게 연마됨과 아울러 가공물의 내부에 스크래치(scratch)가 발생하지 않아 가공제품의 신뢰성을 높일 수 있는 롤러타입 전해연마장치에 관한 것이다.The present invention relates to an electropolishing apparatus capable of polishing a stainless steel pipe having an inner diameter of 20 mm to 300 mm, and more particularly, to an electrolytic cell in which a workpiece is accommodated, a rotation drive unit for rotating a workpiece in the electrolytic cell, and mounted in the electrolytic cell. Circulating electrolyte to supply the positive electrode power to the outer peripheral surface of the workpiece and the power supply unit for supplying the negative power to the workpiece while being inserted and rotated into the inner peripheral surface of the workpiece so as not to interfere with the rotation driving unit. With the supply part, the roller type electrolysis can not only easily polish the workpiece with a relatively large inner diameter, but also smoothly polish the inner circumferential surface of the workpiece and does not scratch the workpiece. It relates to a polishing apparatus.

기계적으로 가공된 가공물은 표면 조도가 떨어지기 때문에 표면 조도를 높일 수 있도록 연마공정을 거치게 된다. 연마방법으로는 크게 기계적 연마방법 및 전해연마방법이 통상적으로 사용한다. The mechanically processed workpiece is subjected to a polishing process to increase the surface roughness because the surface roughness is reduced. As the polishing method, a mechanical polishing method and an electropolishing method are generally used.

일반적인 전해연마(Electro Polishing)는 전해조 내에 양극(+; Anode)과 음극(-; Cathode)을 설치한다. 양극(+)에는 연마할 금속소재를 연결하고, 음극(-)에 는 전극봉을 연결하여 전해조 내에 전해액이 공급된 상태로 전류를 인가하는데, 이때 음극(-)인 전극봉에서는 용해 작용 없이 다량의 수소가스가 발생하고, 양극(+)인 금속소재에는 금속표면에 산화층(Oxide Film)을 형성하면서 미량의 산소를 발생시켜 금속 표면의 용해가 이루어져 그 표면을 연마시키게 된다. In general electropolishing, a positive electrode (+) and a negative electrode (−) are installed in an electrolytic cell. Connect the metal material to be polished to the positive electrode (+) and connect the electrode to the negative electrode (-) to apply current while the electrolyte is supplied in the electrolytic cell. Gas is generated, and the metal material, which is the anode (+), forms an oxide layer on the metal surface and generates a small amount of oxygen to dissolve the metal surface, thereby polishing the surface.

즉, 산화층 내의 금속이온은 주위의 전해액보다 낮은 금속농도를 가지며 농도차에 의한 삼투현상으로 금속이온이 전해액으로 이동하게 되고, 또한 산화층 내에서도 전해액과 접하는 바깥층의 이온이동이 활발하게 일어나 금속소재의 돌출부위를 덮고 있는 절연성 산화층의 두께를 줄여 돌출부위를 전해액 중에 서서히 드러나게 하며, 금속소재의 산화층에서 산소가 발생하게 되고, 이 산소는 산화층의 표면을 따라 전해액으로 이동하면서 산화층 표면부의 돌출부위를 선택적으로 용해시켜 금속표면의 평활화가 가능하게 작용하게 된다. That is, the metal ions in the oxide layer have a lower metal concentration than the surrounding electrolyte solution, and the metal ions move to the electrolyte due to osmotic phenomena due to the difference in concentration, and also the ion transport of the outer layer in contact with the electrolyte in the oxide layer is active, causing the metal material to protrude. By reducing the thickness of the insulating oxide layer covering the site, the protrusions are gradually exposed in the electrolyte, and oxygen is generated in the oxide layer of the metal material, and the oxygen moves along the surface of the oxide layer to the electrolyte and selectively selects the protrusions of the surface of the oxide layer. By dissolving, the metal surface can be smoothed.

이러한 전해연마는 여러 산업분야에서 활용되고 있으며, 특히 반도체 및 LCD 제조공정에서는 초순도 가스를 안내하는 배관라인으로 사용되고, 배관라인의 사이즈는 1/4인치(inch) 또는 3/4인치(inch)가 주로 사용되고 있는 실정이다. 이러한 배관라인의 전해연마방법을 간략하게 설명하며, 우선 전해액과 음극(-)인 캐소드(cathode)를 가공물의 내주면 상으로 통과시키고, 가공물의 외주면에 양극(+)의 전원을 인가하는 방법으로 연마작업을 수행한다. Such electropolishing is used in various industrial fields, and especially in semiconductor and LCD manufacturing processes, it is used as a pipe line for guiding ultra-pure gas, and the size of the pipe line is 1/4 inch or 3/4 inch. Is mainly used. The electropolishing method of such a pipe line will be briefly described. First, an electrolyte and a cathode, which is a cathode, are passed through the inner circumferential surface of the workpiece and polished by applying a positive power to the outer circumferential surface of the workpiece. Do the work.

그런데, 최근에는 반도체 및 LCD 제조 장비의 규모가 커지면서 사용되는 배관자재의 사이즈도 증가하는 추세이다. 이와 같이 가공물의 사이즈가 증가하게 되면, 캐소드(cathode) 사이즈 역시 대형화하여야 하는 문제점이 있었다. 이러한 문제점은 대형화된 캐소드(cathode)가 가공물을 내부를 관통할 때 가공물의 내주면에 스크래치(scratch) 등과 같은 결함을 유발하고, 연마가공 중 내주면이 일정하게 연마되지 못하는 또 다른 문제점이 있었다.However, as the size of semiconductor and LCD manufacturing equipment has grown in recent years, the size of piping materials used has also increased. As such, when the size of the workpiece increases, there is a problem that the size of the cathode must also be increased. This problem causes another defect such as scratches on the inner circumferential surface of the workpiece when the enlarged cathode penetrates the workpiece, and the inner circumferential surface is not polished uniformly during polishing.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 가공물이 수용되는 전해조와, 전해조 내의 가공물을 회전시키는 회전 구동부와, 전해조에 장착되어 가공물의 외주면에는 양극(+)의 전원을, 그리고 회전 구동부에 간섭되지 않게 가공물의 내주면으로 삽입되어 회전하면서 음극(-)의 전원을 인가하는 전원공급부 및 전해조 내로 수용된 가공물에 전해액을 공급하는 전해액 순환공급부를 구비함으로써, 비교적 내경이 큰 가공물을 용이하게 연마할 수 있을 뿐만 아니라 가공물의 내주면이 고르게 연마됨과 아울러 가공물의 내부에 스크래치(scratch)가 발생하지 않아 가공제품의 신뢰성을 높일 수 있는 롤러타입 전해연마장치를 제공하는데 있다.The present invention has been made to solve the conventional problems as described above, an object of the present invention is an electrolytic cell in which the workpiece is accommodated, a rotary drive unit for rotating the workpiece in the electrolytic bath, and the anode (+) ), And a power supply unit for supplying the negative power (-) while rotating and inserted into the inner circumferential surface of the workpiece so as not to interfere with the rotation drive unit, and an electrolyte circulation supply unit for supplying the electrolyte solution to the workpiece accommodated in the electrolytic cell. The present invention provides a roller type electropolishing apparatus which can not only easily polish a large workpiece but also evenly polish the inner circumferential surface of the workpiece and does not generate scratches inside the workpiece.

상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위해서 본 발명은,In order to achieve the object of the present invention as described above, the present invention,

관 형상의 가공물의 내주면을 연마하는 전해연마장치에 있어서, In the electropolishing apparatus for polishing the inner peripheral surface of the tubular workpiece,

가공물이 길이 방향으로 수용됨과 아울러 바닥면 상에는 가공물을 지지하는 다수의 지지롤러가 제공되는 전해조;An electrolytic cell in which the workpiece is accommodated in the longitudinal direction and provided with a plurality of support rollers on the bottom surface to support the workpiece;

전해조의 일측면 내측에 배치되고 내주면 상으로 가공물의 일단에 인접한 외주면이 회전 가능하게 삽입되는 안치링과, 전해조의 중앙부분에 배치되고 내주면에는 가공물의 외주면이 밀착되게 끼워지는 구동링과, 구동링을 회전시켜 가공물을 회전시키는 구동모터를 가지는 회전 구동부;An arranging ring disposed inside one side of the electrolytic cell and rotatably inserted into an inner circumferential surface adjacent to one end of the workpiece; a driving ring disposed at the central portion of the electrolytic cell and fitted into an inner circumferential surface of the electrolytic cell in close contact with the outer circumferential surface thereof; Rotation drive unit having a drive motor for rotating the workpiece by rotating;

전해조의 상부에 장착되고 가공물의 외주면에 양극의 전류를 인가하는 다수의 접지밴드와, 전해조 내에 배치되고 가공물 및 안치링을 관통함과 아울러 가공물의 내주면 상에 음극의 전류를 인가하는 캐소드와이어가 나선형으로 감긴 접지바아를 가지는 전원공급부; 및A plurality of ground bands mounted on top of the electrolyzer and applying an anode current to the outer circumferential surface of the workpiece, and cathode wires disposed in the electrolyzer and penetrating the workpiece and the settling ring and applying a cathode current on the inner circumferential surface of the workpiece are spiral. A power supply unit having a ground bar wound by a wire; And

전해조의 타측에 배치되는 전해액 순환조와, 타단은 전해액 순환조와 연결되고 일단은 안치링의 내주면과 연결됨과 아울러 통상의 순환펌프가 장착되어 전해액 순환조 내의 전해액을 가공물의 내주면 상으로 공급하는 전해액 공급라인과, 일단은 전해조와 연결되고 타단은 전해액 순환조와 연결되어 전해조 내의 전해액을 전해액 순환조 측으로 안내하는 전해액 순환라인을 가지는 전해액 순환공급부;로 이루어진 롤러타입 전해연마장치를 제공한다.Electrolyte circulating tank disposed on the other side of the electrolytic cell, the other end is connected to the electrolyte circulating tank, one end is connected to the inner circumferential surface of the settling ring, and a normal circulation pump is mounted to supply the electrolyte in the electrolyte circulating tank onto the inner circumferential surface of the workpiece And, one end is connected to the electrolytic cell and the other end is connected to the electrolyte circulating tank electrolyte solution circulation supply unit having an electrolyte circulation line for guiding the electrolyte in the electrolytic solution circulation tank side; provides a roller type electrolytic polishing device consisting of.

바람직하게는 안치링 및 구동링은 내부가 중공된 원통형상을 가지며, 구동링의 타측에 인접한 외주면 상에는 통상의 웜휠이 형성되고, 구동모터는 지지롤러에 간섭되지 않게 전해조의 바닥면 상에서 수직하게 상측으로 연장되는 한 쌍의 구동프레임 및 한 쌍의 구동프레임을 연결하는 구동플레이트 상부에 장착되며, 구동플레이트에 장착된 구동모터에서 연장되는 구동축은 구동플레이트를 관통하여 연장되면서 웜휠과 맞물리는 통상의 웜이 장착된다. Preferably, the lining ring and the drive ring have a hollow cylindrical shape, and a normal worm wheel is formed on the outer circumferential surface adjacent to the other side of the drive ring, and the drive motor is vertically on the bottom surface of the electrolytic cell so as not to interfere with the support roller. Mounted on the drive plate connecting a pair of drive frame and a pair of drive frame extending to the drive shaft extending from the drive motor mounted on the drive plate extends through the drive plate while the normal worm engaging with the worm wheel Is fitted.

더욱 바람직하게는, 접지밴드는 가공물의 외주면을 감싸면, 접지밴드의 양단은 전해조의 상부에서 수직하게 상측으로 연장되는 한 쌍의 접지프레임 상에 걸쳐지고, 접지프레임 상에는 서로 마주보는 접지프레임 측으로 수평하게 연장되는 접지플레이트가 장착되며, 각각의 접지플레이트에는 접지밴드의 양단이 걸쳐지는 다수의 끼움홈이 각각 형성된다. More preferably, the grounding band surrounds the outer circumferential surface of the workpiece, and both ends of the grounding band are spread over a pair of grounding frames extending vertically upwardly from the top of the electrolytic cell, and horizontally toward the grounding frame facing each other on the grounding frame. An extended ground plate is mounted, and each of the ground plates is provided with a plurality of fitting grooves that extend across both ends of the ground band.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 롤러타입 전해연마장치는 연마가공되는 가공물의 내주면을 고르게 연마할 수 있고, 가공물의 내부에 스크래치가 발생하지 않아 가공제품의 신뢰성을 높일 수 있는 이점이 있다. As described above, according to the present invention, the roller type electropolishing apparatus has the advantage of being able to polish the inner circumferential surface of the workpiece to be polished evenly, and not to scratch the workpiece, thereby increasing the reliability of the processed product. .

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 롤러타입 전해연마장치에 대해 설명한다. Hereinafter, a roller type electropolishing apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 롤러타입 전해연마장치를 나타낸 사시도이며, 도 2는 도 1에 도시된 롤로타입 전해연마장치의 내부를 간략하게 보인 단면도이다. 하기에는 도면의 좌측으로 일측으로 도면의 우측을 타측으로 하여 설명한다.1 is a perspective view showing a roller type electropolishing apparatus according to the present invention, Figure 2 is a cross-sectional view showing the interior of the roller type electropolishing apparatus shown in FIG. In the following, the left side of the drawing is described as one side and the right side of the drawing as the other side.

도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 롤러타입 전해연마장치(100)는 통상의 전해액이 공급됨과 아울러 가공물(P)이 수용되는 전해조(110)와, 전해조(110) 내에 배치되고 가공물(P)을 회전시키는 회전 구동부(120)와, 가공물(P)에 양극(+) 및 음 극(-)의 전류를 인가하는 전원공급부(140)와, 전해조(110)의 타측에 배치되고 전해조(110) 내로 전해액을 공급하는 전해액 순환공급부(160)로 이루어진다.As shown, the roller type electrolytic polishing apparatus 100 according to the present invention is provided with the electrolytic cell 110 and the electrolytic cell 110 is accommodated the workpiece (P) while the normal electrolyte is supplied to the workpiece (P) The rotary drive unit 120 to rotate, the power supply unit 140 for applying the current of the positive (+) and the negative (-) to the workpiece (P), and disposed on the other side of the electrolytic cell 110 into the electrolytic cell 110 It consists of an electrolyte solution circulation supply unit 160 for supplying an electrolyte solution.

먼저, 전해조(110)는 상부가 개방되고, 길이가 긴 가공물(P), 예를 들어 스테인리스 관을 원활하게 수용할 수 있도록 일측에서 타측으로 연장된다. 즉, 가공물(P)의 일단은 전해조(110)의 일측면 내측에 인접하게 가공물(P)의 타단은 전해조(110)의 타측면 내측에 인접하게 배치된다. 이러한 전해조(110)의 바닥면 상에는 가공물(P)을 지지하는 다수의 지지롤러(112)가 배치되는데, 이러한 각각의 지지롤러(112)는 소정의 간격으로 이격되면서 전해조(110)의 일측에서 타측으로 제공된다. First, the electrolyzer 110 is open at the top and extends from one side to the other side so as to smoothly accommodate the long workpiece P, for example, a stainless steel pipe. That is, one end of the workpiece (P) is adjacent to the inside of one side of the electrolytic cell 110, the other end of the workpiece (P) is disposed adjacent to the inside of the other side of the electrolytic cell (110). On the bottom surface of the electrolytic cell 110, a plurality of support rollers 112 for supporting the workpiece (P) is disposed, each of the support rollers 112 is spaced at a predetermined interval while the other side of the electrolytic cell (110). Is provided to the side.

이와 같이 형성된 전해조(110)에는 회전 구동부(120), 전원공급부(140)가 배치되고, 전해조(110)의 타측에는 전해액 순환공급부(160)가 배치된다.In the electrolytic cell 110 formed as described above, the rotation driving unit 120 and the power supply unit 140 are disposed, and the electrolyte circulation supply unit 160 is disposed at the other side of the electrolytic cell 110.

회전 구동부(120)는 전해조(110) 내에 배치되는 안치링(122) 및 구동링(126)과 구동링(126)을 회전시키는 구동모터(130)를 구비한다. The rotary drive unit 120 includes a settling ring 122 disposed in the electrolytic cell 110 and a drive motor 130 for rotating the drive ring 126 and the drive ring 126.

안치링(122)은 내부가 중공된 원통형상을 가지며 전해조(110)의 일측면 내측에 배치된다. 이러한 안치링(122)은 전해조(110)의 지지롤러(112)에 간섭되지 않게 바닥면 상에서 수직하게 연장되는 고정블록(124)의 상부에 안착되고, 안치링(122)의 내주면 상으로는 가공물(P)의 일단에 인접한 외주면이 회전가능하게 삽입된다. 즉, 안치링(122)의 내주면의 직경은 가공물(P)의 외주면의 직경보다 크게 형성된다. 구동링(126)은 안치링(122)과 마찬가지로 내부가 중공된 원통형상을 가지면서 전해조(110)의 중앙부분에 배치된다. 이러한 구동링(126)의 타측에 인접한 외주면 상에는 통상의 웜휠(128;worm wheel)이 형성되고, 구동링(126)의 내주면 상으로는 가공물(P)이 삽입됨과 아울러 구동링(126)의 내주면과 가공물(P)의 외주면은 서로 밀착된다. The locating ring 122 has a hollow cylindrical shape and is disposed inside one side of the electrolytic cell 110. The set ring 122 is seated on an upper portion of the fixing block 124 extending vertically on the bottom surface so as not to interfere with the support roller 112 of the electrolytic cell 110, the workpiece (P) on the inner peripheral surface of the set ring 122 An outer circumferential surface adjacent to one end of the crankcase is rotatably inserted. That is, the diameter of the inner circumferential surface of the mounting ring 122 is formed larger than the diameter of the outer circumferential surface of the workpiece (P). The driving ring 126 is disposed in the center portion of the electrolytic cell 110 while having a cylindrical shape hollow inside like the set ring 122. A normal worm wheel 128 is formed on the outer circumferential surface adjacent to the other side of the driving ring 126, and the workpiece P is inserted into the inner circumferential surface of the driving ring 126 and the inner circumferential surface and the workpiece of the driving ring 126. The outer peripheral surfaces of P are in close contact with each other.

한편, 구동모터(130)는 지지롤러(112)에 간섭되지 않게 전해조(110)의 바닥면 상에서 수직하게 상측으로 연장되는 한 쌍의 구동프레임(132)과, 한 쌍의 구동프레임(132)을 연결하는 구동플레이트(134) 상부에 장착된다. 이렇게 구동플레이트(134)에 장착된 구동모터(130)에서 연장되는 구동축(136)은 구동플레이트(134)를 관통하여 연장되고, 구동플레이트(134)를 관통한 구동축(136)에는 웜휠(128)과 맞물리는 통상의 웜(138;worm)이 장착된다.On the other hand, the drive motor 130 is a pair of drive frame 132 and a pair of drive frame 132 extending upwardly vertically on the bottom surface of the electrolytic cell 110 so as not to interfere with the support roller 112, It is mounted on the drive plate 134 to connect. The driving shaft 136 extending from the driving motor 130 mounted on the driving plate 134 extends through the driving plate 134, and the worm wheel 128 extends through the driving shaft 136 passing through the driving plate 134. It is equipped with a common worm that engages with it.

전원공급부(140)는 가공물(P)의 외주면에 양극(+)의 전류를 인가하는 다수의 접지밴드(142)와, 마찬가지로 가공물(P)의 내주면에 음극(-)의 전류를 인가하는 접지바아(150)를 구비한다. The power supply unit 140 includes a plurality of ground bands 142 for applying a positive current to the outer circumferential surface of the workpiece P, and a ground bar for applying a negative current to the inner circumferential surface of the workpiece P. 150.

접지밴드(142)는 전해조(110)의 외부에 마련된 정류기(도시되지 않음)로부터 양극(+)의 전류가 인가된다. 이러한 접지밴드(142)는 전해조(110)에 수용된 가공물(P)의 외주면을 감싸는데, 접지밴드(142)의 양단은 전해조(110)의 상부에서 수직하게 상측으로 연장되는 한 쌍의 접지프레임(144) 상에 걸쳐진다. The ground band 142 is applied with a current of the positive electrode (+) from a rectifier (not shown) provided outside the electrolytic cell 110. The ground band 142 surrounds the outer circumferential surface of the workpiece (P) accommodated in the electrolytic cell 110, both ends of the ground band 142 is a pair of ground frame extending vertically upward from the top of the electrolytic cell 110 ( 144).

바람직하게는 접지밴드(142)는 전해조(110) 내에 수용된 가공물(P)의 외경에 대응하여 가공물(P)을 감쌀 수 있도록 각각의 접지프레임(144) 상에는 서로 마주보는 접지프레임(144) 측으로 수평하게 연장되는 접지플레이트(146)가 장착되고, 각각의 접지플레이트(146)에는 접지밴드(152)의 양단이 걸쳐지는 다수의 끼움홈(148) 이 각각 형성된다. Preferably, the ground band 142 is horizontal to the ground frame 144 facing each other on each ground frame 144 so as to wrap the workpiece P corresponding to the outer diameter of the workpiece P accommodated in the electrolytic cell 110. A ground plate 146 extending therebetween is mounted, and each of the ground plates 146 is provided with a plurality of fitting grooves 148 that extend across both ends of the ground band 152.

한편, 접지바아(150)는 전해조(110) 내에서 전해조(110)의 길이를 따라 수평하게 배치됨과 아울러 접지바아(150)의 일단은 가공물(P)의 내주면 및 안치링(122)을 관통하여 연장된다. 이러한 접지바아(150)에는 캐소드와이어(152)가 접지바아(150)의 타단에서 일단으로 나선형으로 감겨지고, 접지바아(150)의 타단은 가공물(P)의 타단에 인접하게 배치되고 전해조(110)에 장착되는 고정플레이트(154)에 장착된다. 고정플레이트(154)에는 전해조(110)의 외부에 마련된 정류기(도시되지 않음)로부터 음극(-)의 전류가 인가되고, 고정플레이트(154)와 캐소드와이어(152)는 전기적으로 연결된다. Meanwhile, the ground bar 150 is horizontally disposed along the length of the electrolytic cell 110 in the electrolytic cell 110, and one end of the ground bar 150 penetrates the inner circumferential surface of the workpiece P and the set ring 122. Is extended. The cathode wire 152 is spirally wound from one end of the ground bar 150 to the other end of the ground bar 150, and the other end of the ground bar 150 is disposed adjacent to the other end of the workpiece P and the electrolytic cell 110 is disposed. It is mounted on the fixing plate 154 to be mounted on. The fixed plate 154 is supplied with a current of a negative electrode (−) from a rectifier (not shown) provided outside the electrolytic cell 110, and the fixed plate 154 and the cathode wire 152 are electrically connected to each other.

한편, 전해액 순환공급부(160)는 전해조(110)의 타측 외부에 배치되고 통상의 전해액이 충진되는 전해액 순환조(162)와, 전해액 순환조(162) 내의 전해액을 가공물(P)의 내주면 상으로 공급하는 전해액 공급라인(164)과, 전해조(110)와 전해액 순환조(162)를 연결하면서 전해조(110) 내의 전해액을 전해액 순환조(162)로 안내하는 전해액 순환라인(168)을 구비한다. On the other hand, the electrolyte circulation supply unit 160 is disposed on the outside of the other side of the electrolytic cell 110, the electrolyte circulating tank 162 is filled with the usual electrolyte, and the electrolyte in the electrolyte circulating tank 162 on the inner peripheral surface of the workpiece (P) An electrolyte solution supply line 164 for supplying and an electrolyte solution circulation line 168 for connecting the electrolyte solution 110 and the electrolyte solution circulation tank 162 to guide the electrolyte solution in the electrolyte solution 110 to the electrolyte solution circulation tank 162 are provided.

전해액 공급라인(164)의 타단은 전해액 순환조(162)와 연결되고, 전해액 공급라인(164)의 타단은 안치링(122)을 관통하여 안치링(122)의 내주면과 연결된다. 이렇게 장착된 전해액 공급라인(164)에는 통상의 순환펌프(166)가 장착된다. 한편, 전해액 순환라인(168)의 일단은 전해조(110)의 타단 하부에 연결되고, 전해액 순환라인(168)의 타단은 전해액 순환조(162)의 일단 하부에 연결된다. The other end of the electrolyte supply line 164 is connected to the electrolyte circulation tank 162, and the other end of the electrolyte supply line 164 is connected to the inner circumferential surface of the mounting ring 122 by passing through the mounting ring 122. Thus mounted electrolyte supply line 164 is equipped with a conventional circulation pump 166. Meanwhile, one end of the electrolyte circulation line 168 is connected to the lower end of the other end of the electrolytic cell 110, and the other end of the electrolyte circulation line 168 is connected to the lower end of one end of the electrolyte circulation tank 162.

하기에는 전술한 바와 같이 형성된 롤러타입 전해연마장치(100)의 사용상태를 간략하게 설명한다. Hereinafter, the state of use of the roller type electropolishing apparatus 100 formed as described above will be briefly described.

대략 20㎜~300㎜ 내경을 가지는 스테인리스관인 가공물(P)의 내주면을 연마하기 위해서는 우선, 가공물(P)의 외주면 상에 구동링(126)을 삽입 장착하는데, 가공물(P)의 외주면과 구동링(126)의 내주면은 서로 밀착된 상태를 유지한다. 이렇게 가공물(P)에 구동링(126)이 삽입 장착된다. 가공물(P)을 전해조(110) 내에 배치시킨다. 이때, 가공물(P)은 전해조(110)의 바닥면 상에 배치된 다수의 지지롤러(112)에 의해 지지된다. In order to grind the inner circumferential surface of the work piece P, which is a stainless steel tube having an inner diameter of approximately 20 mm to 300 mm, first, the driving ring 126 is inserted and mounted on the outer circumferential face of the work piece P. The outer circumferential face of the work piece P and the driving ring are mounted. The inner circumferential surfaces of 126 remain in close contact with each other. Thus, the drive ring 126 is inserted into the workpiece (P). The workpiece P is disposed in the electrolytic cell 110. At this time, the workpiece P is supported by a plurality of support rollers 112 disposed on the bottom surface of the electrolytic cell 110.

전술한 바와 같이 가공물(P)이 전해조(110) 내에 배치되면, 가공물(P)의 일단 외주면을 안치링(122)에 장착된 전해액 공급라인(164)의 일단에 간섭되지 않게 안치링(122)의 내주면 상으로 삽입 시킨 후, 구동링(126)에 형성된 웜휠(128)을 구동모터(130)에 형성된 웜(138)에 맞물리게 결합시킨다. As described above, when the workpiece P is disposed in the electrolytic cell 110, the outer ring of one end of the workpiece P may not interfere with one end of the electrolyte supply line 164 mounted to the anchor ring 122. After inserting onto the inner circumferential surface of the worm wheel 128 formed in the drive ring 126 is coupled to engage the worm 138 formed in the drive motor 130.

이렇게 가공물(P)이 회전 구동부(120)에 장착되면, 가공물(P)에 전원공급부(140)를 연결한다. 가공물(P)에 양극(+)의 전류를 인가하기 위해서는 접지밴드(142)의 일단을 어느 하나의 접지플레이트(146)의 끼움홈(148)에 장착한 상태 하에서 접지밴드(142)의 타단을 가공물(P)의 감싸도록 안내한 후, 접지밴드(142)의 타단을 또 다른 접지플레이트(146)의 끼움홈(148)에 장착하고, 가공물(P)에 음극(-)의 전류를 인가하기 위해서는 접지바아(150)의 가공물(P) 및 안치링(122)에 관통되게 삽입한 후, 접지바아(150)의 타단을 고정플레이트(154)에 연결시킨다. When the workpiece (P) is mounted on the rotary drive unit 120, the power supply unit 140 is connected to the workpiece (P). In order to apply the positive current to the workpiece P, the other end of the ground band 142 may be removed while one end of the ground band 142 is mounted in the fitting groove 148 of the ground plate 146. After guiding the work piece P to be wrapped, attaching the other end of the ground band 142 to the fitting groove 148 of the other ground plate 146 and applying a current of the negative pole (-) to the work piece P. In order to penetrate through the workpiece (P) and the mounting ring 122 of the ground bar 150, the other end of the ground bar 150 is connected to the fixed plate 154.

이와 같이, 전해조(110) 내의 가공물(P)이 회전 구동부(120)에 장착되고 가 공물(P)에 양극(+) 및 음극(-)의 전류가 인가되면, 구동모터(130) 및 순환펌프(166)를 구동시키는데, 구동모터(130)가 작동하면, 구동모터(130)에 의해 회전하는 웜(138)은 맞물린 웜휠(128) 및 구동링(126)을 회전시켜 구동링(126)의 내주면 상에 밀착된 가공물(P)은 회전시킨다. As such, when the workpiece P in the electrolytic cell 110 is mounted to the rotation driving unit 120 and the current of the positive electrode (+) and the negative electrode (−) is applied to the workpiece P, the driving motor 130 and the circulation pump When the driving motor 130 is operated, the worm 138 rotated by the driving motor 130 rotates the engaged worm wheel 128 and the driving ring 126 to drive the driving ring 126. The workpiece P in close contact with the inner circumferential surface is rotated.

한편, 순환펌프(166)는 전해액 순환조(162) 내의 전해액을 안치링(122)의 내주면 상으로 안내한다. 이렇게 안치링(122)의 내주면 상으로 안내된 전해액은 가공물(P)을 따라 안내되면서 가공물(P)의 내주면을 전기적으로 연마한 후, 전해조(110) 내에 충진되고, 전해조(110) 내로 충진된 전해액은 전해액 순환라인(168)을 통해 전해액 순환조(162) 내로 유입된다. On the other hand, the circulation pump 166 guides the electrolyte in the electrolyte circulation tank 162 onto the inner circumferential surface of the set ring 122. The electrolyte solution guided onto the inner circumferential surface of the enclosing ring 122 is guided along the workpiece P to electrically polish the inner circumferential surface of the workpiece P, and then filled in the electrolytic cell 110 and filled into the electrolytic cell 110. The electrolyte is introduced into the electrolyte circulation tank 162 through the electrolyte circulation line 168.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당기술 분야의 숙련된 당업자는 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. Although the above has been described with reference to a preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the invention described in the claims. You will understand.

도 1은 본 발명에 따른 롤러타입 전해연마장치를 나타낸 사시도이며, 그리고1 is a perspective view showing a roller type electropolishing apparatus according to the present invention, and

도 2는 도 1에 도시된 롤로타입 전해연마장치의 내부를 간략하게 보인 단면도이다.FIG. 2 is a cross-sectional view schematically illustrating the interior of the roll-type electropolishing apparatus shown in FIG. 1.

<도면의주요부분에대한부호의설명>Explanation of symbols on the main parts of the drawing

100 : 롤러타입 전해연마장치 110 : 전해조100: roller type electropolishing apparatus 110: electrolytic cell

120 : 회전 구동부 122 : 안치링120: rotation drive portion 122: the set ring

126 : 구동링 128 : 웜휠126: drive ring 128: worm wheel

130 : 구동모터 138 : 웜130: drive motor 138: worm

140 : 전원공급부 142 : 접지밴드140: power supply 142: ground band

150 : 접지바아 152 : 캐소드와이어150: grounding bar 152: cathode wire

160 : 전해액 순환공급부 162 : 전해액 순환조160: electrolyte circulation supply unit 162: electrolyte solution circulation tank

166 : 전해액 공급라인 166: electrolyte supply line

Claims (3)

관 형상의 가공물의 내주면을 연마하는 전해연마장치에 있어서, In the electropolishing apparatus for polishing the inner peripheral surface of the tubular workpiece, 상기 가공물이 길이 방향으로 수용됨과 아울러 바닥면 상에는 상기 가공물을 지지하는 다수의 지지롤러가 제공되는 전해조;An electrolytic cell in which the workpiece is accommodated in the longitudinal direction and provided with a plurality of support rollers on the bottom surface to support the workpiece; 상기 전해조의 일측면 내측에 배치되고 내주면 상으로 상기 가공물의 일단에 인접한 외주면이 회전 가능하게 삽입되는 안치링과, 상기 전해조의 중앙부분에 배치되고 내주면에는 상기 가공물의 외주면이 밀착되게 끼워지는 구동링과, 상기 구동링을 회전시켜 상기 가공물을 회전시키는 구동모터를 가지는 회전 구동부;An anchor ring disposed inside one side of the electrolytic cell and rotatably inserted into an inner circumferential surface adjacent to one end of the workpiece, and a driving ring disposed in a central portion of the electrolytic cell and fitted into an inner circumferential surface in close contact with the outer circumferential surface of the workpiece. And a rotation drive unit having a drive motor rotating the drive ring to rotate the workpiece. 상기 전해조의 상부에 장착되고 상기 가공물의 외주면에 양극의 전류를 인가하는 다수의 접지밴드와, 상기 전해조 내에 배치되고 상기 가공물 및 상기 안치링을 관통함과 아울러 상기 가공물의 내주면 상에 음극의 전류를 인가하는 캐소드와이어가 나선형으로 감긴 접지바아를 가지는 전원공급부; 및A plurality of ground bands mounted on an upper portion of the electrolytic cell and applying a positive current to an outer circumferential surface of the workpiece, and disposed in the electrolytic cell and penetrating the workpiece and the settling ring, and a current of the negative electrode on the inner circumferential surface of the workpiece A power supply having a ground bar wound around the applied cathode wire; And 상기 전해조의 타측에 배치되는 전해액 순환조와, 타단은 상기 전해액 순환조와 연결되고 일단은 상기 안치링의 내주면과 연결됨과 아울러 통상의 순환펌프가 장착되어 상기 전해액 순환조 내의 전해액을 상기 가공물의 내주면 상으로 공급하는 전해액 공급라인과, 일단은 상기 전해조와 연결되고 타단은 상기 전해액 순환조와 연결되어 상기 전해조 내의 전해액을 상기 전해액 순환조 측으로 안내하는 전해액 순환라인을 가지는 전해액 순환공급부;로 이루어고,An electrolyte circulating tank disposed on the other side of the electrolytic cell, and the other end is connected to the electrolyte circulating tank, one end is connected to the inner circumferential surface of the anchor ring, and a normal circulation pump is mounted to transfer the electrolyte in the electrolyte circulating tank onto the inner circumferential surface of the workpiece. An electrolyte circulating supply unit having an electrolyte supply line to supply and an electrolyte circulation line having one end connected to the electrolytic cell and the other end connected to the electrolyte circulating tank to guide the electrolyte solution in the electrolytic solution to the electrolyte circulating tank side; 상기 안치링 및 상기 구동링은 내부가 중공된 원통형상을 가지며, 상기 구동링의 타측에 인접한 외주면 상에는 통상의 웜휠이 형성되고, 상기 구동모터는 상기 지지롤러에 간섭되지 않게 상기 전해조의 바닥면 상에서 수직하게 상측으로 연장되는 한 쌍의 구동프레임 및 한 쌍의 상기 구동프레임을 연결하는 구동플레이트 상부에 장착되며, 상기 구동플레이트에 장착된 상기 구동모터에서 연장되는 구동축은 상기 구동플레이트를 관통하여 연장되면서 상기 웜휠과 맞물리는 통상의 웜이 장착되고, 상기 접지밴드는 상기 가공물의 외주면을 감싸면, 상기 접지밴드의 양단은 상기 전해조의 상부에서 수직하게 상측으로 연장되는 한 쌍의 접지프레임 상에 걸쳐지고, 상기 접지프레임 상에는 서로 마주보는 상기 접지프레임 측으로 수평하게 연장되는 접지플레이트가 장착되며, 각각의 상기 접지플레이트에는 상기 접지밴드의 양단이 걸쳐지는 다수의 끼움홈이 각각 형성되는 것을 특징으로 하는 롤러타입 전해연마장치. The settling ring and the drive ring have a hollow cylindrical shape, a normal worm wheel is formed on the outer peripheral surface adjacent to the other side of the drive ring, the drive motor is on the bottom surface of the electrolytic cell so as not to interfere with the support roller It is mounted on the drive plate connecting the pair of drive frame and the pair of the drive frame vertically extending upward, the drive shaft extending from the drive motor mounted to the drive plate extends through the drive plate When the normal worm is engaged with the worm wheel, and the ground band surrounds the outer circumferential surface of the workpiece, both ends of the ground band are spread over a pair of ground frames extending vertically upward from the top of the electrolytic cell, A ground extending horizontally toward the ground frame facing each other on the ground frame; And the rate is mounted, each of the ground plate, the roller type electrolytic polishing apparatus characterized in that a plurality of fitting grooves which are both ends of the band across the ground, respectively. 삭제delete 삭제delete
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