KR100938358B1

KR100938358B1 - 급속열처리용 기판요동장치

Info

Publication number: KR100938358B1
Application number: KR20070119829A
Authority: KR
Inventors: 심장우; 김승룡; 이상석; 전효영
Original assignee: 에이피시스템 주식회사
Priority date: 2007-11-22
Filing date: 2007-11-22
Publication date: 2010-01-22
Also published as: WO2009066905A1; KR20090053150A

Abstract

본 발명에 따른 급속열처리용 기판요동장치는, 승하강수단(101)에 의하여 승하강 되는 요동모터(102)를 이용하여 요동판(140)을 요동시킨다. 요동모터(102)는 회전축이 하측중심회전측(103a), 편심축(103b), 및 상측중심회전축(103c)으로 구분되며, 하측중심회전축(103a)과 상측중심회전축(103c)은 모터 중심축(R1) 상에 있으며 편심축(103b)은 하측중심회전축(103a)과 상측중심회전축(103c) 사이에 모터 중심축(R1)에서 편심되어 위치한다. 편심축(103b)에는 요동캠(105)이 설치된다. 요동판(140)에는 요동캠(105)이 끼워지는 요동용 구멍(305)이 형성된다. 요동캠(105)이 편심축(103b)에 대해서 독립적으로 회전할 수 있도록 요동캠(105)과 편심축(103b) 사이에는 베어링(105a)이 설치된다. 본 발명에 의하면, 기판을 수평회전시킴과 동시에 사방으로 수평요동시킬 수 있으므로 기판을 균일하게 가열할 수 있다.

급속열처리, 요동, 회전, 편심, LM 가이드

Description

급속열처리용 기판요동장치 {Substrate oscillating apparatus for rapid thermal process}

도 1은 종래의 기판회전방식 급속열처리장치를 설명하기 위한 도면;

도 2는 기판을 수평회전시킴과 동시에 본 발명에 따라 기판을 사방으로 수평요동시켰을 때 기판이 균일하게 가열되는 것을 설명하기 위한 개념도;

도 3은 기판을 수평회전만 시키는 경우와 수평회전과 자유수평요동을 함께 시키는 경우의 열중첩구간을 비교하여 나타낸 도면;

도4는 본 발명에 따른 급속열처리용 기판요동장치를 설명하기 위한 도면;

도5는 도4의 급속열처리용 기판요동장치의 동작과정을 설명하기 위한 도면;

도 6은 도 5를 위에서 내려다 본 도면;

도 7은 도 5의 요동판(140)의 이동궤적을 나타낸 도면;

도 8은 4방향 수평자유이동수단(130)을 설명하기 위한 도면;

도 9는 본 발명에 따른 요동수단이 요동판(140)의 가운데에 설치되는 경우를 설명하기 위한 도면이다.

<도면의 주요부분에 대한 참조번호의 설명>

10: 가열램프 15a, 15b: 열중첩구간

17a, 17b: 산화막 20: 기판

101: 승하강수단 102: 요동모터

103a: 하측중심회전축 103b: 편심축

103c: 상측중심회전축 105: 요동캠

105a, 106a: 베어링 106: 중심잡이 캠

110: 기판회전수단 120: 기저판

130: 4방향 수평자유이동수단 131, 133: LM 가이드

131a, 133a: LM 레일 131b, 133b: LM 블록

140: 요동판 305: 요동용 구멍

306: 중심잡이용 구멍

본 발명은 급속열처리용 기판요동장치에 관한 것으로서, 특히 기판을 사방으로 수평 요동(random oscillation)시키는 기판요동장치에 관한 것이다.

급속열처리(RTP) 장치에서 가장 중요한 관건은 빠른 시간 내에 기판을 원하는 온도까지 가열하는 것이다. 그러나 이 때 반드시 수반되어야 하는 것이 기판의 균일 가열이다. 특히 기판이 대형화되면서 이러한 균일 가열이 제대로 이루어지지 않아 많은 고심들을 하고 있다.

이러한 기판의 균일가열문제를 해결하기 위하여 급속열처리가 이루어지는 동안에 기판을 수평회전시키는 장치가 제안된 바 있다. 도 1은 종래의 기판회전방식 급속열처리장치를 설명하기 위한 도면이다.

도 1a에 도시된 바와 같이 급속열처리장치에서의 가열램프(10)는 기판(20)의 상부에 기판(20)과 비교적 가깝게 인접하여 복수개가 설치된다. 기판(20)의 균일가열을 위해서 가열램프(10)의 배열도 다양한 형태가 제안되고 있지만 어떠한 배열을 하더라도 도시된 바와 같이 빛의 조사가 중첩되어 기판(20)에 열중첩구간이 생기는 문제가 발생한다.

따라서 기판(20)을 수평회전시키면 도 1b와 같이 환형의 열중첩구간(15a)이 생기게 된다. 만약 이러한 급속열처리장치로 기판(20) 상에 산화막을 성장시킨다면 도 1c에 도시된 바와 같이 열중첩구간(15a)의 궤적을 따라 산화막(17a)의 두께가 더 두껍게 되어 전체적으로 불균일한 두께의 산화막(17a)이 성장된다.

상술한 바와 같이 기판을 단순히 수평회전시키는 것으로서는 기판이 불균일하게 가열되는 것을 방지할 수 없다. 따라서 기판이 움직일 수 있는 자유도를 더 부여하여 기판 상에 열중첩구간과 비열중첩구간이 구분되어 나타나는 것을 방지할 필요가 있다.

따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 기판을 사방으로 수평요동 시킴으로서 기판이 불균일하게 가열되는 문제를 해결할 수 있는 급속열처리용 기판요동장치를 제공하는 데 있다.

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 급속열처리용 기판요동장치는,

회전축이 하측중심회전측, 편심축, 및 상측중심회전축으로 구분되며, 상기 하측중심회전축과 상측중심회전축은 모터 중심축 상에 있으며 상기 편심축은 상기 하측중심회전축과 상측중심회전축 사이에 상기 모터 중심축에서 편심되어 위치하는 요동모터;

상기 요동모터를 승하강시키는 승하강수단;

상기 편심축에 설치되는 요동캠; 및

상기 요동캠이 끼워지는 요동용 구멍이 형성되어 있으며 궁극적으로 기판지지대와 연결되는 요동판;을 구비하는 것을 특징으로 한다.

상기 요동캠이 상기 편심축에 대해서 독립적으로 회전할 수 있도록 상기 요동캠과 상기 편심축 사이에는 베어링이 설치되는 것이 바람직하다.

상기 요동캠과 상기 요동용 구멍은 위로 갈수록 폭이 좁아지는 원뿔대 형태를 하는 것이 바람직하다.

상기 상측중심회전축에는 중심잡이용 캠이 설치되는 것이 바람직하며, 이 경우 상기 요동판에는 상기 중심잡이용 캠이 끼워질 수 있도록 상기 요동용 구멍에서 위쪽으로 연장되어 중심잡이용 구멍이 형성된다.

상기 중심잡이용 캠과 중심잡이용 구멍은 아래로 갈수록 폭이 좁아지는 역원뿔대 형태를 하는 것이 바람직하다.

상기 중심잡이용 캠이 상기 상측중심회전축에 대해서 독립적으로 회전할 수 있도록 상기 중심잡이용 캠과 상기 상측중심회전축 사이에는 베어링이 설치되는 것이 바람직하다.

상기 요동캠이 상승하여 상기 요동용 구멍에 끼워지면 상기 중심잡이 캠은 상기 중심잡이용 구멍의 위로 이탈하고, 상기 중심잡이 캠이 하강하여 상기 중심잡이용 구멍에 끼워지면 상기 요동캠은 상기 요동용 구멍의 밑으로 이탈하도록 상기 요동캠과 중심잡이 캠이 설치된다.

기저판에 수평자유이동수단이 설치되고, 상기 요동판은 상기 수평자유이동수단 상에 얹혀져서 수평방향으로 병진운동하도록 설치되는 것이 바람직하다.

상기 수평자유이동수단은,

LM 레일 위쪽에 LM 블록이 올려 놓여지는 하측 LM 가이드;

LM 레일 아래쪽에 LM 블록이 놓여지며 상기 하측 LM 가이드와 직교하는 방향으로 직선운동을 안내하는 상측 LM 가이드; 및

상기 하측 LM 가이드의 LM 블록과 상기 상측 LM 가이드의 LM 블록이 세트로 함께 움직이도록 상기 하측 LM 가이드의 LM 블록과 상기 상측 LM 가이드의 LM 블록을 연결하는 커낵터;를 포함하여 이루어질 수 있다.

이하에서, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 아래의 실시예는 본 발명의 내용을 이해하기 위해 제시된 것일 뿐이며 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술적 사상 내에서 많은 변형이 가능할 것이다. 따라서 본 발명의 권리범위가 이러한 실시예에 한정되는 것으로 해석돼서는 안 된다.

도 2는 기판을 수평회전시킴과 동시에 본 발명에 따라 기판을 사방으로 수평요동시켰을 때 기판이 균일하게 가열되는 것을 설명하기 위한 개념도이다. 도 2a와 같이 기판(20)을 단순히 수평회전시키는 경우에는 환형의 열중첩구간(15a)이 발생한다. 그러나 도 2b와 같이 기판(20)을 수평회전시키면서 사방으로 수평요동(random oscillation)시키면 열중첩이 균일하게 일어나게 되어 균일한 열중첩구간(15b)이 얻어진다.

도 3은 기판을 수평회전만 시키는 경우와 수평회전과 자유수평요동을 함께 시키는 경우의 열중첩구간을 비교하여 나타낸 도면이다. 도 3a와 같이 수평회전만시키는 경우에는 환형의 열중첩구간(15a)이 얻어지고 따라서 불균일한 두께의 산화막(17a)이 성장된다. 그러나 도 3b와 같이 수평회전과 자유수평요동을 함께 시키는 경우에는 균일한 열중첩구간(15b)이 얻어지고 따라서 균일한 두께의 산화막(17b)이 성장된다.

도4는 본 발명에 따른 급속열처리용 기판요동장치를 설명하기 위한 도면이다.

도 4를 참조하면, 기저판(support base plate, 120) 상에 4방향 수평자유이동수단(4-direction free motion LM block, 130)이 설치되며, 4방향 수평자유이동 수단(130)상에 요동판(oscillation plate, 140)이 올려 놓여진다.

요동판(140) 상에는 R3 축을 중심으로 하여 기판을 수평회전시키는 기판회전수단(110)이 설치된다. 기판회전수단(110)은 궁극적으로 기판지지수단(미도시)에 연결되어 상기 기판지지수단을 회전시킴으로서 기판을 수평회전시킨다.

기판회전수단(110)으로는 대한민국특허 제523674호(2005.10.18)로서 이미 등록받은 다극착자 마그네트 방식의 기판회전장치를 사용할 수도 있고, 자기부상모터(maglev motor)를 사용하는 기판회전장치를 사용할 수 있으며, 이외에도 일반모터, 서보모터, 스텝모터, 에어모터 등 기판을 회전시킬 수 있는 수단이면 되고 특별히 제한되지 않는다.

요동모듈은 승하강수단(101), 요동모터(102), 요동캠(oscillation CAM, 105), 및 중심잡이 캠(centering CAM, 106) 등을 포함한다. 요동모터(102)는 승하강수단(101)에 의하여 승하강된다.

상기 요동모듈에 의하여 요동판(140)이 수평요동되면 기판회전수단(110) 전체가 따라서 수평요동하게 되고, 따라서 기판회전수단(110)에 연결되어 있는 기판이 수평요동하게 된다. 본 실시예는 기판이 수평회전됨과 함께 수평요동되는 과정을 설명하기 위한 것이므로 기판회전수단(110)이 요동판(140) 상에 설치되고, 기판지지대가 기판회전수단(110)에 연결되는 것으로 설명하고 있다. 하지만 수평회전없이 단지 수평요동되는 경우도 본 발명의 범주에 해당되며, 이 경우 요동판(140) 상에 기판회전수단(110)이 설치될 필요가 없고 요동판(140)이 바로 기판지지수단에 연결되게 된다.

요동모터(102)의 회전축은 하측중심회전축(103a), 편심축(103b), 상측중심회전축(103c)으로 구분되며, 편심축(103b)은 하측중심회전축(103a)과 상측중심회전축(103c) 사이에 위치한다. 하측중심회전축(103a)과 상측중심회전축(103c)은 모터의 중심축 R1 상에 위치하지만, 편심축(103b)은 모터의 중심축 R1에서 약간 편심되는 편심선 R2 상에 위치한다.

요동캠(105)은 편심축(103b)에 설치되며, 중심잡이 캠(106)은 상측중심회전축(103c)에 설치된다. 요동캠(105)이 편심축(103b)에 대해서 독립적으로 회전할 수 있도록 요동캠(105)과 편심축(103b) 사이에는 베어링(105a)이 설치된다. 또한 중심잡이 캠(106)이 상측중심회전축(103c)에 대해서 독립적으로 회전할 수 있도록 중심잡이 캠(106)과 상측중심회전축(103c) 사이에도 베어링(106a)이 설치된다.

요동판(140)에는 요동캠(105)이 끼워질 수 있는 요동용 구멍(305)과 중심잡이 캠(106)이 끼워질 수 있는 중심잡이용 구멍(306)이 요동판(140)에 수직하게 뚫려진다. 중심잡이용 구멍(306)과 요동용 구멍(305)은 서로 연결되며 중심잡이용 구멍(306)이 요동용 구멍(305)의 위쪽에 위치한다.

요동캠(105)은 위로 갈수록 폭이 좁아지는 원뿔대형태를 하며, 요동용 구멍(305)도 요동캠(105)이 합치되어 끼워질 수 있도록 원뿔대 형태를 한다. 중심잡이 캠(106)은 밑으로 갈수록 폭이 좁아지는 역원뿔대형태를 하며, 중심잡이용 구멍(306)도 중심잡이 캠(106)이 합치되어 끼워질 수 있도록 역원뿔대형태를 한다.

요동캠(105)이 상승하여 요동용 구멍(305)에 끼워지면 중심잡이 캠(106)은 중심잡이용 구멍(306)의 위로 이탈하고, 중심잡이 캠(106)이 하강하여 중심잡이용 구멍(306)에 끼워지면 요동캠(105)은 요동용 구멍(305)의 밑으로 이탈하도록 요동캠(105)과 중심잡이 캠(106)이 설치된다.

도5는 도4의 급속열처리용 기판요동장치의 동작과정을 설명하기 위한 도면이다.

처음에는 도 5a의 참조부호 A로 표시한 바와 같이 중심잡이 캠(106)이 중심잡이용 구멍(306)에 끼워진 상태이며, 따라서 요동캠(105)은 요동용 구멍(305)의 밑으로 이탈된다. 이 때 기판회전수단(110)과 요동모터(102)는 동작되고 있다.

요동캠(105)은 요동용 구멍(305)의 밑으로 이탈된 상태이기 때문에 요동판(140)의 움직임에 기여하지 못한다. 상측중심회전축(103c)과 중심잡이 캠(106) 사이에 베어링(106a)이 설치되어 있어 중심잡이 캠(106)이 상측중심회전축(103c)과는 독립적으로 회전하게 되므로, 중심잡이 캠(106)이 중심잡이용 구멍(306)에 끼워진 상태에서 요동모터(102)가 회전하더라도 중심잡이 캠(106) 역시 요동판(140)의 움직임에 기여하지 못한다. 따라서 도 5a의 상태에서는 기판회전수단(110)에 의해 기판이 수평회전운동만 하게 된다.

다음에는 도 5b에서와 같이 승하강수단(101)에 의하여 요동모터(102)의 승강이 일어난다. 그러면 참조부호 B로 표시한 바와 같이 요동캠(105)이 요동용 구멍(305)에 끼워지고 대신에 중심잡이 캠(106)이 중심잡이용 구멍(306)의 위로 이탈된다.

요동캠(105)과 요동용 구멍(305)은 모두 위로 갈수록 폭이 좁아지는 원뿔대형태이므로 어느 정도의 승강이 일어나면 요동캠(105)이 요동용 구멍(305)의 상측에 걸려서 더 이상의 승강은 일어나지 않는다. 승하강수단(101)의 지나친 상승으로 인하여 요동캠(105)과 요동판(140) 사이에 서로 미는 힘이 과도하게 걸릴 수 있기 때문에 이를 염두에 두어 승하강수단(101)에 탄성체를 이용하여 완충장치(미도시)를 설치하면 좋다. 이러한 완충장치는 승하강수단(101)과 요동모터(102) 사이에 설치될 수도 있다.

도 5a의 상태에서는 중심잡이 캠(106)이 중심잡이용 구멍(306)에 끼워진 상태이기 때문에 요동판(140)이 모터의 중심축 R1을 기준으로 정렬된 상태이다. 그러나 도 5b와 같이 중심잡이 캠(106)이 중심잡이용 구멍(306)에서 이탈되면서 그 대신에 요동캠(105)이 요동용 구멍(305)에 끼워지면 요동판(140)이 편심선 R2를 기준으로 정렬된다. 따라서 요동반경 T1만큼 요동판(140)이 수평이동한다. 요동반경 T1은 중심축 R1과 편심선 R2 사이의 간격이 될 것이다.

편심축(103b)과 요동캠(105) 사이에 베어링(105a)이 설치되어 있어 요동캠(105)은 편심축(103b)과는 겉돌고 있는 상태가 된다. 따라서 요동판(140)은 요동모터(102)의 회전에 의해서는 수평회전운동을 하지 않고, 단지 수평으로 요동반경 T1만큼만 이동하게 된다.

이러한 상태에서 요동모터(102)의 회전이 계속 이루어지면, 도 5b의 참조부호 B로 표시한 바와 같이 편심축(103b)이 오른쪽에 있다가 도 5c의 참조부호 C로 표시한 바와 같이 편심축(103b)이 왼쪽으로 이동하게 된다. 그러면 요동판(140)이 왼쪽으로 이동하게 된다.

도 5b와 도 5c는 구분동작을 설명하기 위한 것이어서 단지 좌우로만 수평이 동하는 것처럼 보이지만 이들 사이의 연속동작을 고려하면 사실은 후술하는 바와 같이 사방으로 수평요동운동을 하게 된다.

열처리가 다 이루어졌으면 도 5d에서와 같이 승하강수단(101)을 하강시킨다. 그러면 중심잡이 캠(106)이 중심잡이용 구멍(306)에 끼워지고 요동캠(105)은 요동용 구멍(305)의 밑으로 이탈된다. 그러면 편심축(103b)의 회전이 요동판(140)의 수평요동에 관여하지 못하게 되어 기판의 요동은 끝나며 도 5a의 상태로 복귀된다. 즉 요동과정에서 요동판(140)이 모터 중심축 R1에서 벗어나 있다가 중심잡이용 구멍(306)에 중심잡이 캠(106)이 끼워짐으로써 다시 모터 중심축 R1에 맞춰지게 된다.

물론, 이 때 열처리가 끝났으므로 기판회전수단(110)의 회전은 이루어지지 않는다. 중심잡이 캠(106)과 중심잡이용 구멍(306)은 모두 역원뿔대형태이므로 어느 정도의 하강이 일어나면 중심잡이 캠(106)이 중심잡이용 구멍(306)의 하측에 걸려서 원하지 않게 더 이상 하강되는 것이 방지된다.

도 5a 내지 도 5d를 참조하면, 요동판이 수평방향으로 병진운동하는 수평자유이동 거리는 편심량에 의해 조절됨을 알 수 있다.

도 6은 요동모터(102)의 회전에 의하여 요동판(140)이 수평요동하는 것을 설명하기 위하여 도 5의 경우를 위에서 내려다 본 도면이고, 도 7은 요동판(140)의 이동궤적을 도시한 것이다.

도 5, 도 6, 및 도 7의 대응관계를 보면, 도 6a는 도 5a에 대응되고, 도 6b는 도 5b 및 S1상태에 대응되고, 도 6d는 도 5c 및 S3 상태에 대응되고, 도 6c는 도 5b와 도 5c 사이의 상태 즉 S2 상태에 대응된다. 즉, 요동모터(102)가 반시계 방향으로 한바퀴 회전하면 요동판(140)이 S1 -> S2 -> S3 -> S4의 궤적을 따라 요동한다.

요동판(140)의 요동반경 T1은 도 2a에서 도시된 환형의 열중첩구간(15a)들 사이의 간격보다 커야 도 2b에서와 같이 열중첩구간 사이의 빈 공간(thermal void)을 커버하는데 유리하다.

요동모터(102)의 회전은 기판 자체의 수평회전에는 기여하지 않으며 단지 기판을 수평으로 요동시키는데 기여한다. 요동캠(105)과 편심축(103b) 사이에 베어링(105a)을 설치하는 것은 이러한 요동 운동시에 요동캠(105)과 요동판(140) 사이의 미끄럼 운동을 자연스럽게 하기 위한 것이다.

도 8은 4방향 수평자유이동수단(130)을 설명하기 위한 도면으로서, 도 7a는 단면도이고 도 7b는 평면도이며, 도 7c는 4방향 수평자유이동수단(130)의 이동궤적을 설명하기 위한 것이다.

4방향 수평자유이동수단(130)은 서로 수직하게 이동할 수 있게 설치되는 두 개의 LM 가이드(131, 133)가 커넥터(132)를 사이에 두고 적층된 구조를 갖는다.

하측 LM 가이드(131)는 LM 레일(131a) 위쪽에 LM 블록(131b)이 올려 놓여지는 구조를 하고, 상측 LM 가이드(133)는 LM 레일(133a)의 아래쪽으로 LM 블록(133b)이 놓여지는 구조를 한다. 커넥터(132)는 하측 LM 가이드의 LM 블록(131b)과 상측 LM 가이드의 LM 블록(133b)이 세트로 함께 움직이도록 하측 LM 가이드의 LM 블록(131b)과 상측 LM 가이드의 LM 블록(133b) 사이에 설치되어 이들을 연결 고정한다.

따라서 하측 LM 가이드(131)의 LM 블록(131b)이 X축방향으로 수평이동하고, 상측 LM 가이드(133)의 LM 레일(133a)이 Y축방향으로 수평이동함으로써 XY 방향의 2차원 수평운동이 일어난다.

4방향 수평자유이동수단(130)을 통하여 요동판(140)을 참조번호 135a와 같은 궤적으로 수평이동시키면 사실상 가상의 원운동(135b)을 하게 된다. 그러면 요동 판(140)은 가상의 원운동 궤적(135b)을 따라 병진 이동하면서 수평요동(135c)을 하게 된다. 따라서 요동판(140)은 병진운동하면서 요동할 수 있게 되어 더욱 균일한 열처리가 가능하게 된다.

본 발명에 있어서의 요동수단은 도 4에서와 같이 요동판(140)의 가장자리에 설치되어야만 하는 것은 아니며 도 9에 도시된 바와 같이 요동판(140)의 가운데에 설치되어도 무방하다.

상술한 바와 같이 본 발명에 의하면, 기판을 수평회전시킴과 동시에 사방으로 수평요동시킬 수 있으므로 기판을 균일하게 가열할 수 있다.

Claims

회전축이 하측중심회전측, 편심축, 및 상측중심회전축으로 구분되며, 상기 하측중심회전축과 상측중심회전축은 모터 중심축 상에 있으며 상기 편심축은 상기 하측중심회전축과 상측중심회전축 사이에 상기 모터 중심축에서 편심되어 위치하는 요동모터;

상기 요동모터를 승하강시키는 승하강수단;

상기 편심축에 설치되는 요동캠; 및

상기 요동캠이 끼워지는 요동용 구멍이 형성되어 있으며 궁극적으로 기판지지대와 연결되는 요동판;을 구비하는 것을 특징으로 하는 급속열처리용 기판요동장치.
제1항에 있어서, 상기 요동캠이 상기 편심축에 대해서 독립적으로 회전할 수 있도록 상기 요동캠과 상기 편심축 사이에 베어링이 설치되는 것을 특징으로 하는 급속열처리용 기판요동장치.
제1항에 있어서, 상기 요동캠이 위로 갈수록 폭이 좁아지는 원뿔대 형태를 하며, 상기 요동용 구멍도 상기 요동캠이 합치되어 끼워질 수 있도록 원뿔대 형태를 하는 것을 특징으로 하는 급속열처리용 기판요동장치.
제1항에 있어서, 상기 상측중심회전축에 중심잡이용 캠이 설치되며, 상기 요동판에는 상기 중심잡이용 캠이 끼워질 수 있도록 상기 요동용 구멍에서 위쪽으로 연장되어 중심잡이용 구멍이 형성되는 것을 특징으로 하는 급속열처리용 기판요동장치.
제4항에 있어서, 상기 중심잡이용 캠이 아래로 갈수록 폭이 좁아지는 역원뿔대 형태를 하며, 상기 중심잡이용 구멍도 상기 중심잡이용 캠이 합치되어 끼워질 수 있도록 역원뿔대 형태를 하는 것을 특징으로 하는 급속열처리용 기판요동장치.
제4항에 있어서, 상기 중심잡이용 캠이 상기 상측중심회전축에 대해서 독립적으로 회전할 수 있도록 상기 중심잡이용 캠과 상기 상측중심회전축 사이에 베어링이 설치되는 것을 특징으로 하는 급속열처리용 기판요동장치.
제4항에 있어서, 상기 요동캠이 상승하여 상기 요동용 구멍에 끼워지면 상기 중심잡이 캠은 상기 중심잡이용 구멍의 위로 이탈하고, 상기 중심잡이 캠이 하강하여 상기 중심잡이용 구멍에 끼워지면 상기 요동캠은 상기 요동용 구멍의 밑으로 이탈하도록 상기 요동캠과 중심잡이 캠이 설치되는 것을 특징으로 하는 급속열처리용 기판요동장치.
제1항에 있어서, 기저판과 상기 기저판 상에 설치되는 수평자유이동수단을 더 포함하며, 상기 요동판은 상기 수평자유이동수단 상에 얹혀져서 수평방향으로 병진운동하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 급속열처리용 기판요동장치.
제8항에 있어서, 상기 수평자유이동수단은,

LM 레일 위쪽에 LM 블록이 올려 놓여지는 하측 LM 가이드;

LM 레일 아래쪽에 LM 블록이 놓여지며 상기 하측 LM 가이드와 직교하는 방향으로 직선운동을 안내하는 상측 LM 가이드; 및

상기 하측 LM 가이드의 LM 블록과 상기 상측 LM 가이드의 LM 블록이 세트로 함께 움직이도록 상기 하측 LM 가이드의 LM 블록과 상기 상측 LM 가이드의 LM 블록을 연결하는 커낵터;를 포함하는 것을 특징으로 하는 급속열처리용 기판요동장치.
제1항에 있어서, 상기 요동판 상에 기판회전수단이 설치되며, 상기 기판 지지대는 상기 기판 회전수단에 연결되어 상기 기판의 수평회전이 상기 기판회전수단에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 급속열처리용 기판요동장치.
제10항에 있어서, 상기 기판회전수단이 자기부상모터 방식의 회전수단이거나 다극착자 마그네트 방식의 회전수단인 것을 특징으로 하는 급속열처리용 기판요동장치.
제10항에 있어서, 상기 기판회전수단이 일반모터, 서보모터, 스텝모터 및 에어모터로 구성된 군으로부터 선택된 어느 하나로서 중심축을 중심으로 회전하는 것임을 특징으로 하는 급속열처리용 기판요동장치.
제8항에 있어서, 상기 요동판이 수평방향으로 병진운동하는 수평자유이동 거리를 편심량에 의해 조절하는 것을 특징으로 하는 급속열처리용 기판요동장치.