KR100935675B1 - 액정표시장치의 제조방법과 그 제조장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은, 액정표시장치의 제조방법과 제조장치에 관한 것이다. 본 발명에 의한 액정표시장치의 제조방법은 마킹 및 리페어용 레이저 장치를 마련하는 단계, 기판 상에 금속 박막을 형성하는 단계, 상기 기판 상의 금속 박막에 상기 레이저 장치를 이용하여 소정의 식별기호를 마킹하는 단계, 상기 기판 상의 금속 박막에 광화학적 처리를 가하여 금속 배선을 형성하는 단계, 상기 금속 배선의 불량여부를 감지하는 단계, 금속 배선의 불량이 감지된 기판을 상기 레이저 장치로 이송하는 단계, 상기 금속 배선의 불량이 감지된 기판을 상기 레이저 장치를 이용하여 리페어하는 단계, 리페어된 기판을 이송 전의 위치로 복귀시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여 레이저 장치의 개수를 줄일 수 있어 액정표시장치의 제조방법이 개선된다.
Description
도 1은 종래의 액정표시장치의 제조방법을 나타낸 순서도,
도 2는 레이저 장치의 구성을 나타낸 개념도,
도 3은 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조방법을 나타낸 순서도,
도 4는 본 발명에 따라 액정표시장치의 제조장치를 나타낸 블록도,
도 5는 본 발명의 제어부를 설명하는 블록도이다.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
40 : 박막 형성부 41 : 레이저 장치
42 : 배선 형성부 43 : 감지부
44 : 후속장비 45 : 리페어 이송수단
46 : 복귀수단
본 발명은, 액정표시장치의 제조방법과 그 제조장치에 관한 것으로서, 더 자세하게는, 기판의 마킹과 리페어에 사용되는 레이저 장치에 관한 것이다.
액정표시장치는 박막트랜지스터 기판과 칼라필터 기판사이에 액정이 주입되어 있는 액정패널을 포함한다. 액정표시장치는 비발광소자이기 때문에 박막트랜지스터 후면에는 빛을 공급하기 위한 백라이트 유닛이 위치하고 있다. 백라이트에서 조사된 빛은 액정의 배열상태에 따라 투과량이 조정된다.
액정표시장치의 기판 제조과정은 박막증착, 감광액 도포, 노광, 현상, 에칭 등의 반복이다. 이러한 공정을 수행하는데 여러 장비가 사용되며 그 중 하나가 레이저 장치이다.
레이저 장치는 크게 마킹과 리페어의 두 가지 목적으로 사용된다.
마킹은 기판에 소정의 식별기호를 부여하는 것으로, 레이저는 작은 공간에 정보를 마크할 수 있어 기판의 마킹에 유용하다. 마킹의 방법은 기판 상에 금속박막을 형성한 후 금속박막에 레이저를 가하여 소정의 식별기호를 형성하는 것이다.
리페어는 전극단락 등의 배선불량을 수리하는 것이다. 최근 액정표시패널의 대면적화가 급속히 진행되면서 박막트랜지스터의 개수도 크게 증가하였다. 이에 따라 전극단락 등의 불량 발생이 줄지 않고 있다. 레이저를 이용하여 이러한 불량을 쉽게 리페어할 수 있다. 전극단락 외에 레이저 장치는 절연막을 사이에 둔 양 금속층의 연결 등에도 사용될 수 있다.
도 1은 종래의 액정표시장치의 제조방법을 나타낸 순서도이다. 기판을 준비(S100)하고 그 위에 금속 박막을 형성(S110)한다. 금속 박막이 형성된 기판은 레이저 장치 1로 옮겨져서 소정의 식별기호가 마킹(S120)된다.
그 후 감광액 도포, 노광, 현상, 에칭 등의 광화학적 반응을 통하여 금속 배 선을 형성(S130)한다. 형성된 금속 배선에 대한 불량여부를 판단(S140)하여 배선 불량이 발견되면 레이저 장치 2로 이송(S150)하며, 레이저 장치 2를 이용하여 리페어(S160)한다. 리페어된 기판은 후속공정(S170)으로 진행되어 기판형성을 완료하며 최종적으로는 양 기판이 접합(S180)되고 양 기판사이에 액정이 주입된다.
위에서 레이저 장비 2에서 리페어된 기판은 배선 불량 여부에 대한 검사를 다시 받을 수도 있다. 또한 후속공정에서 위와 같은 리페어 과정이 반복하여 발생할 수도 있다.
이와 같은 종래의 제조방법에 있어서는 같은 구성을 가지고 있는 레이저 장치를 2개, 즉 마킹용 레이저 장치와 리페어용 레이저 장치를 각각 사용한다. 이에 의하여 공간의 절약, 운영인력의 절감이 어려워지는 문제가 있다.
따라서 본 발명의 목적은, 액정표시장치의 제조방법과 제조장치에 있어서, 레이저 장치를 효율적으로 사용하는 방법과 장치를 제공하는 것이다.
상기의 목적은, 액정표시장치의 제조방법에 있어서, 마킹 및 리페어용 레이저 장치를 마련하는 단계, 기판 상에 금속 박막을 형성하는 단계, 상기 기판 상의 금속 박막에 상기 레이저 장치를 이용하여 소정의 식별기호를 마킹하는 단계, 상기 기판 상의 금속 박막에 광화학적 처리를 가하여 금속 배선을 형성하는 단계, 상기 금속 배선의 불량여부를 감지하는 단계, 금속 배선의 불량이 감지된 기판을 상기 레이저 장치로 이송하는 단계; 상기 금속 배선의 불량이 감지된 기판을 상기 레이 저 장치를 이용하여 리페어하는 단계; 리페어된 기판을 이송 전의 위치로 복귀시키는 단계를 포함하는 것에 의하여 달성된다. 이러한 방법을 통하여 레이저 장비 하나만으로 마킹과 리페어를 같이 수행할 수 있다.
또한 상기의 목적은 액정표시장치의 제조장치에 있어서, 기판 상에 금속 박막을 형성하기 위한 박막형성부와, 금속 박막이 형성되어 있는 기판에 소정의 식별기호를 마킹하기 위한 레이저 장치와, 금속 박막이 형성되어 있는 기판에 금속 배선을 형성하기 위한 배선 형성부와, 배선이 형성된 기판의 배선 불량을 감지하는 감지부와, 기판을 상기 박막 형성부, 상기 레이저 장치, 상기 배선 형성부 및 상기 감지부로 순차적으로 이송시키는 이송수단과, 상기 감지부에서 상기 레이저 장치로 기판을 운반하기 위한 리페어 이송수단과, 상기 레이저 장비에서 운반 전의 위치로 기판을 복귀시키는 복귀수단과, 상기 감지부에서 상기 불량이 감지된 기판의 위치에 대한 정보를 받으며, 상기 불량이 감지된 기판을 상기 레이저 장치로 운반하도록 상기 리페어 이송수단을 제어하고, 상기 레이저 장비가 상기 불량이 감지된 기판을 리페어하도록 제어하며, 상기 리페어된 기판을 운반 전의 위치로 복귀시키도록 상기 복귀수단을 제어하는 제어부를 포함하는 것에 의하여도 달성될 수 있다. 이러한 제조장치를 사용하면 마킹과 리페어에 사용되는 레이저 장치의 개수를 줄일 수 있다.
이하 첨부된 도면을 참조로 하여 본 발명을 상세히 설명한다.
도 2는 레이저 장치의 구성을 나타낸 개념도이다.
레이저 장치(10)는 레이저 소스(11)와 이를 제어하는 레이저 소스 제어부(12) 그리고, 스테이지(13)와 이를 제어하는 스테이지 제어부(14)를 포함한다. 스테이지 위에 기판(13)이 위치하며 레이저 장치(10) 주위에는 기판(15)을 로딩/언로딩하는 로더(20)가 있다.
마킹 또는 리페어되는 기판(13)은 로더(20)에 의하여 스테이지(13)상에 장착된다. 스테이지(13)는 진공 등을 이용하여 기판(15)을 고정시킨다. 스테이지(13)는 스테이지 제어부(14)의 제어에 의하여 상하, 좌우, 전후방 등으로 움직여 레이저가 조사되는 위치를 조정한다.
레이저 소스(11)는 통상 고정되어 있으며 스테이지(13)의 이동에 의하여 마킹 또는 리페어 될 부분이 정해지면 레이저를 조사한다. 레이저 조사의 시간, 레이저의 강도 등은 레이저 제어부(12)가 제어한다.
이와 같이 마킹과 리페어는 동일한 레이저 장치에 의하여 수행될 수 있음에도 불구하고 기존에는 마킹과 리페어를 위한 레이저 장치를 각각 설치하여 운영하였다.
이 때문에 작업공간을 많이 차지하게 되고 각각의 레이저 장치의 운전을 위한 인력도 2배로 필요하게 되었다.
본 발명에서는 마킹과 레페어를 하나의 레이저 장치에 의하여 수행하는 방법을 제시한다.
도 3은 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조방법을 나타낸 순서도이다. 도 1과 구성은 동일하며 마킹과 리페어가 하나의 레이저 장치에서 사용되는 점이 다르다.
본 발명에 따른 액정표시장치의 제조장치를 나타낸 블록도인 도 4에서 본 발명의 특징을 더욱 상세히 설명하겠다.
액정표시장치에 사용되는 기판 상에 박막을 형성하는 박막 형성부(40)가 있다. 기판 상에 금속의 박막을 형성하는 방법으로는 스퍼터링 방법을 사용하는 것이 일반적이다.
기판 상에 금속 박막이 형성되면 레이저 장치(10)가 소정의 위치에 식별기호를 마킹한다. 마킹되는 위치는 주로 기판의 외곽부이며, 식별기호는 주로 로트 넘버 등의 기판에 대한 정보이다. 배선 형성부(42)는 금속 박막에 광화학적 반응을 가하여 금속 배선을 형성한다. 구체적으로 배선 형성부(42)는 감광액 도포, 노광, 현상, 식각, 세정 등을 위한 장비로 구성되어 있다.
감지부(43)는 형성된 배선의 불량 여부를 판단한다. 불량으로는. 예를 들어, 게이트 전극 간에 또는 데이터 전극 간에 단락이 있다. 이러한 불량에 의하여 박막트랜지스터가 불량이 되면 박막트랜지스터를 통해 화소전극으로 전압이 인가되지 않아 화이트 픽셀(white pixel)이 존재하게 된다. 즉, 화이트 픽셀 결함이 발생하게 되고, 항상 밝은 휘점으로 남아 있게 된다. 이런 경우 종래에는 해당 픽셀을 재 증착과정, 식각과정, 세정과정 등의 복잡한 과정을 거쳐서 불량을 제거하였다. 그러나 레이저 장치를 이용하면 간편한 방법으로 리페어될 수 있다.
감지부(43)에서 불량이 감지된 기판은 리페어 이송수단(45)을 이용하여 다시 레이저 장치(41)로 이송된다. 레이저 장치(41)는 스테이지 제어부(14)와 레이저 소스 제어부(12)를 조정하여 기판의 배선 불량을 리페어한다.
리페어된 기판은 복귀수단(46)을 통하여 다시 감지부(43)로 이송되어 불량이 제거됐는지 다시 검사한 후 불량이 제거되었으면 후속장비(44)로 이송된다. 리페어된 기판의 조사는 다른 수단을 통하여 이루어지며 복귀수단(46)이 리페어된 기판을 바로 후속장비(44)로 이송하는 것도 가능하다. 후속장비(44)로는 배향막 형성부, 액정 주입부, 기판 접합부, 구동 회로 연결부 등이 있다.
상기에서 리페어 이송수단(45)과 복귀수단(46)으로는 무인반송차(AGV) 또는 콘베이어 벨트 등이 가능하다.
또한 배선 형성부(42)와 감지부(43)는 복수개가 존재할 수 있다. 그림에는 도시하지 않았지만 박막 형성부(40)에서 후속장비(44)로 순차적으로 기판을 이송시키는 이송수단이 존재한다.
도 5는 본 발명의 제어부(47)를 설명하는 블록도이다. 도 5의 제어부(47)는 하나의 레이저 장비를 마킹과 리페어 두 가지 목적으로 사용하기 위해 추가되는 제어부이다.
제어부(47)는 감지부(43)로부터 배선 불량인 기판의 발생과 그 기판의 위치 등의 정보를 입력받는다. 감지부(43)로부터 입력된 정보에 따라 제어부(47)는 기판을 레이저 장치(10)로 이송하도록 리페어 이송수단(45)을 제어한다. 또한 제어부(47)는 레이저 장치(10)가 기판을 리페어하도록 제어한다.
제어부(47)는 레이저 소스 제어부(12)와 스테이지 제어부(14)에 기판 상에서 불량이 발생한 위치와 리페어 방법을 지시한다. 레이저 소스 제어부(12)와 스테이지 제어부(14)에 의하여 기판이 리페어되면 제어부(47)는 기판을 감지부 내지 후속 장비로 이송하도록 복귀수단(46)을 제어한다.
위와 같은 과정 중에서 제어부(47)는 레이저 장치(10)의 작업량 등을 고려하여 리페어 이송수단(45)의 작동 시간을 지연시킬 수 있다. 또한 감지부(43) 또는 후속공정(44)의 작업량을 고려하여 복귀수단(46)의 작동 시간을 지연시킬 수도 있다.
본 발명에서는 불량이 발생한 기판을 마킹에 사용한 레이저 장치를 이용하여 리페어한다. 따라서 마킹과 리페어를 위한 각각의 레이저 장치가 필요하지 않게 된다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 액정표시장치의 제조방법과 제조장치에 있어서, 마킹과 리페어를 하나의 레이저 장치로 수행하게 된다. 마킹용 레이저 장치와 리페어용 레이저 장치를 따로 사용하는 종래의 기술에 반하여, 공간을 절약할 수 있으며 관리 인력 또한 절감할 수 있다.
Claims (2)
- 액정표시장치의 제조방법에 있어서,마킹 및 리페어용 레이저 장치를 마련하는 단계;기판 상에 금속 박막을 형성하는 단계;상기 기판 상의 금속 박막에 상기 레이저 장치를 이용하여 소정의 식별기호를 마킹하는 단계;상기 기판 상의 금속 박막에 광화학적 처리를 가하여 금속 배선을 형성하는 단계;상기 금속 배선의 불량여부를 감지하는 단계;금속 배선의 불량이 감지된 기판을 상기 레이저 장치로 이송하는 단계;상기 금속 배선의 불량이 감지된 기판을 상기 레이저 장치를 이용하여 리페어하는 단계;리페어된 기판을 이송 전의 위치로 복귀시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
- 액정표시장치의 제조장치에 있어서,기판 상에 금속 박막을 형성하기 위한 박막형성부와;금속 박막이 형성되어 있는 기판에 소정의 식별기호를 마킹하기 위한 레이저 장치와;금속 박막이 형성되어 있는 기판에 금속 배선을 형성하기 위한 배선 형성부와;배선이 형성된 기판의 배선 불량을 감지하는 감지부와;기판을 상기 박막 형성부, 상기 레이저 장치, 상기 배선 형성부 및 상기 감지부로 순차적으로 이송시키는 이송수단과;상기 감지부에서 상기 레이저 장치로 기판을 운반하기 위한 리페어 이송수단과;상기 레이저 장비에서 운반 전의 위치로 기판을 복귀시키는 복귀수단과;상기 감지부에서 상기 불량이 감지된 기판의 위치에 대한 정보를 받으며, 상기 불량이 감지된 기판을 상기 레이저 장치로 운반하도록 상기 리페어 이송수단을 제어하고, 상기 레이저 장비가 상기 불량이 감지된 기판을 리페어하도록 제어하며, 상기 리페어된 기판을 운반 전의 위치로 복귀시키도록 상기 복귀수단을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조장치.
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| JP3388174B2 (ja) * | 1998-03-17 | 2003-03-17 | シャープ株式会社 | 表示装置の欠陥修正装置 |
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- 2003-12-10 KR KR1020030089453A patent/KR100935675B1/ko not_active IP Right Cessation
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