KR100932233B1 - Heater manufacturing method - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 지지용 서셉터에 장착되는 히터 블럭을 제조하는 방법에 관한 것이며, 본 발명에 따른 히터 제조방법은, RF 단자 및 RF 단자 체결홈 내에 필러를 장착하는 단계; RF 단자를 몰리브덴 단자와 접촉하도록 히터 블럭에 형성되어 있는 RF 단자 체결홈 내에 삽입 고정하는 단계; 상기 필러를 용해하여 상기 RF 단자와 히터 블럭을 브레이징하는 단계;를 포함한다.The present invention relates to a method for manufacturing a heater block mounted to a susceptor for supporting a substrate, and the method for manufacturing a heater according to the present invention includes: mounting a filler in an RF terminal and an RF terminal fastening groove; Inserting and fixing the RF terminal into the RF terminal fastening groove formed in the heater block to contact the molybdenum terminal; And melting the filler to braze the RF terminal and the heater block.

히터, 서셉터, 필러, 몰리브덴 단자 Heater, susceptor, filler, molybdenum terminals

Description

히터 제조방법{METHOD FOR MANUFACTURING HITTER BLOCK}Heater manufacturing method {METHOD FOR MANUFACTURING HITTER BLOCK}

본 발명은 기판 지지용 서셉터에 장착되는 히터 블럭을 제조하는 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a method of manufacturing a heater block mounted to a susceptor for supporting a substrate.

종래의 서셉터(susceptor) 구성을 보면 도 1에 도시된 바와 같다. 이를 참조하면 서셉터는 크게 블럭(10), 메쉬(20), 열선(30), 로드부(40)로 구성된다. A conventional susceptor configuration is shown in FIG. 1. Referring to this, the susceptor is largely composed of a block 10, a mesh 20, a heating wire 30, and a rod part 40.

상기 블럭(10)의 재질은 열선(30)으로부터 공급되는 열이 서셉터 표면에서 균일하게 분포 되도록 하기 위해 일반적으로 열전도율이 우수한 소재를 사용하게 된다. 현재 반도체 장비에서 사용되는 재질은 저온공정(500℃ 이하)에서 알루미늄을 주로 사용하고, 고온공정(500℃ 이상)에서는 인코넬 또는 질화 알루미늄 계열의 세라믹을 사용하고 있다. The material of the block 10 generally uses a material having excellent thermal conductivity in order to uniformly distribute the heat supplied from the heating wire 30 on the susceptor surface. Currently, the materials used in semiconductor equipment are mainly aluminum in low temperature process (below 500 ℃), and Inconel or aluminum nitride-based ceramics are used in high temperature process (above 500 ℃).

또한 열선(30)은 도 1에 도시된 바와 같이, 블럭(10) 내의 중간 부분에 내장되어 있으면서 블럭(10)에 열을 공급하기 위한 것으로서, 블럭(10)의 크기 또는 요구되는 특성에 따라 여러 개로 구성된다.Also, as shown in FIG. 1, the heating wire 30 is provided in the middle portion of the block 10 to supply heat to the block 10, depending on the size or required characteristics of the block 10. Consists of dogs.

다음으로 매쉬(30)는 도 1에 도시된 바와 같이, 블럭(10) 내의 표면 쪽에 내장되어 있으면서 RF 바이어스를 인가받는 구성요소이다. 이 매쉬(20)는 최적의 효 율을 위하여 블럭(10) 내에서 최대한 표면 쪽에 가깝게 내장되는데, 실제로 매쉬와 블럭 표면 사이의 두께(d1)는 도 2에 도시된 바와 같이, 1mm 정도에 불과하다. Next, as shown in FIG. 1, the mesh 30 is a component embedded in the surface side of the block 10 and subjected to an RF bias. This mesh 20 is embedded as close to the surface side as possible in the block 10 for optimum efficiency. In practice, the thickness d1 between the mesh and the block surface is only about 1 mm, as shown in FIG. .

다음으로 로드부(40)는 상기 서셉터를 지지함과 동시에 상기 매쉬(20) 및 열선(30)에 각각 전원을 인가한다. 예를 들어 매쉬(20)에는 RF 전원을 인가하는 RF 전원 공급 단자(42)가 연결되며, 열선(30)에는 히터 파워를 인가하는 히터 전원 공급 단자(44)가 연결된다. 이렇게 전원을 인가하는 배선은 상기 로드부(40)의 내측에 배치되어 블럭(10)으로 인도된다. 그리고 이 로드부(40)가 서셉터 자체를 수직이동시킬 수도 있다. Next, the load unit 40 supports the susceptor and applies power to the mesh 20 and the heating wire 30, respectively. For example, the mesh 20 is connected to an RF power supply terminal 42 for applying RF power, and the heater wire 30 is connected to a heater power supply terminal 44 for applying heater power. The wiring for applying power is disposed inside the rod part 40 and is led to the block 10. In addition, the rod part 40 may vertically move the susceptor itself.

RF 전원 공급 단자(42)의 조립 과정을 살펴 보면 다음과 같다. 먼저 RF 전원 공급 단자(42)를 블럭(10)에 형성되어 있는 장착홈에 삽입한다. 이때 장착홈 내에는 매쉬(30)와 연결되어 있는 몰리브덴 단자(22)가 노출되어 있다. 도 2에 도시된 바와 같이, 이 몰리브덴 단자(22) 상에 압연된 필러(filler, 50)를 올려 놓은 상태에서 RF 전원 공급 단자(42)를 단단하게 고정한다. 즉, RF 전원 공급 단자(42)가 압연된 필러(50)를 사이에 두고, 몰리브덴 단자(22)와 접촉된 상태에서 장착홈의 나사와 단자의 나사가 견고하게 고정되는 것이다. 이 상태에서 메쉬(20)와 단자(42)가 전기적으로 연결되도록 브레이징을 실시한다. 그러면 도 3에 도시된 바와 같이, 필러(50)가 녹으면서 RF 전원 공급 단자(42)와 장착홈 사이에 충진되고, RF 전원 공급 단자(42)와 몰리브덴 단자(22) 사이에 장애물이 없어져서 양자가 접촉하게 된다. Looking at the assembly process of the RF power supply terminal 42 is as follows. First, the RF power supply terminal 42 is inserted into the mounting groove formed in the block 10. At this time, the molybdenum terminal 22 connected to the mesh 30 is exposed in the mounting groove. As shown in FIG. 2, the RF power supply terminal 42 is firmly fixed in a state where a rolled filler 50 is placed on the molybdenum terminal 22. That is, the screw of the mounting groove and the screw of the terminal are firmly fixed while the RF power supply terminal 42 has the rolled filler 50 interposed therebetween and in contact with the molybdenum terminal 22. In this state, brazing is performed so that the mesh 20 and the terminal 42 are electrically connected. Then, as shown in FIG. 3, the filler 50 is melted and filled between the RF power supply terminal 42 and the mounting groove, and there is no obstruction between the RF power supply terminal 42 and the molybdenum terminal 22. Will come into contact.

그런데 이 과정에서 단단히 고정되었던 RF 전원 공급 단자(42)의 위치가 변 화되어 도 3에 도시된 바와 같이, 좌우 유격이 발생할 여지가 생긴다. 따라서 외부에서 아주 약한 힘이 가해지더라도 RF 전원 공급 단자(42)가 좌우로 흔들려서 단자와 매쉬(20)가 이격되는 현상이 발생한다. However, the position of the RF power supply terminal 42 firmly fixed in this process is changed, as shown in FIG. 3, there is room for left and right clearance. Therefore, even if a very weak force is applied from the outside, the RF power supply terminal 42 is shaken from side to side, a phenomenon occurs in which the terminal and the mesh 20 are separated.

이러한 문제는 RF전원 공급 단자 뿐만아니라, 히터 파워 공급 단자에서도 동일하게 발생할 수 있다. This problem may occur in the heater power supply terminal as well as the RF power supply terminal.

본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 RF 단자와 몰리브덴 단자를 직접 접촉시킨 상태에서 브레이징하여 접합 강도를 향상시키는 히터 제조방법 및 이 제조방법에 의하여 제조되는 히터를 제공하는 것이다. The technical problem to be solved by the present invention is to provide a heater manufacturing method for improving the bonding strength by brazing in a state of directly contacting the RF terminal and molybdenum terminal and a heater manufactured by the manufacturing method.

전술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 히터 제조방법은, RF 단자 및 RF 단자 체결홈 내에 필러를 장착하는 단계; RF 단자를 몰리브덴 단자와 접촉하도록 히터 블럭에 형성되어 있는 RF 단자 체결홈 내에 삽입 고정하는 단계; 상기 필러를 용해하여 상기 RF 단자와 히터 블럭을 브레이징(brazing)하는 단계;를 포함한다. Heater manufacturing method according to the present invention for achieving the above technical problem, the step of mounting a filler in the RF terminal and the RF terminal fastening groove; Inserting and fixing the RF terminal into the RF terminal fastening groove formed in the heater block to contact the molybdenum terminal; And melting the filler to braze the RF terminal and the heater block.

본 발명에서 상기 RF 단자는 상기 RF 단자 체결홈의 중앙에 삽입되어, 상기 메쉬와 접촉하여 RF 를 공급하는 제1 블럭;과 상기 제1 블럭과 상기 RF 단자 체결홈 사이에 삽입되어 상기 제1 블럭을 상기 메쉬 방향으로 밀면서 상기 제1 블럭을 상기 블럭에 고정하는 제2 블럭;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다. In the present invention, the RF terminal is inserted into the center of the RF terminal fastening groove, the first block for supplying RF in contact with the mesh; and inserted between the first block and the RF terminal fastening groove and the first block And a second block for fixing the first block to the block while pushing in the mesh direction.

그리고 상기 RF 단자 및 RF 단자 체결홈 내에 필러를 장착하는 단계는, 상기 제2 블럭의 외주면에 선형 필러를 권취하는 단계; 상기 제1 블럭의 외주면 중 상기 제2 블럭의 상단과 만나는 부분에 선형 필러를 권취하는 단계; 상기 RF 단자 체결 홈 내부 중 상기 몰리브덴 단자 측면에 압연 필러를 장착하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다. The mounting of the filler in the RF terminal and the RF terminal fastening groove may include: winding a linear filler on an outer circumferential surface of the second block; Winding a linear filler on a portion of an outer circumferential surface of the first block that meets an upper end of the second block; And mounting a rolling filler on the side of the molybdenum terminal in the RF terminal fastening groove.

여기에서 상기 RF 단자 체결홈 내부 중 상기 몰리브덴 단자 측면에 압연 필러를 장착하는 단계는, 상기 몰리브덴 단자 측면에 3 ~ 4개의 압연 필러를 채우는 것이, RF 단자와 몰리브덴 단자 간의 접합 강도를 향상시킬 수 있어서 바람직하다. Here, the step of mounting a rolling filler on the molybdenum terminal side of the inside of the RF terminal fastening groove, filling the three to four rolling fillers on the molybdenum terminal side, it is possible to improve the bonding strength between the RF terminal and molybdenum terminal desirable.

본 발명은 RF 단자에 대해서만 기술하였지만, 본 발명은 RF 단자 뿐만아니라, 히터 전원 공급단자에도 동일하게 적용될 수 있다. Although the present invention has been described only for the RF terminal, the present invention can be equally applied to not only the RF terminal but also the heater power supply terminal.

본 발명에 따르면 RF 단자를 히터에 고정하는 과정에서 RF 단자와 몰리브덴 단자를 직접 접촉시키므로 브레이징 과정에서 RF 단자의 위치 변화가 없으며, RF 단자와 몰리브덴 단자 사이의 접합 강도가 향상되는 효과가 있다. According to the present invention, since the RF terminal and the molybdenum terminal are directly contacted in the process of fixing the RF terminal to the heater, there is no change in the position of the RF terminal in the brazing process, and the bonding strength between the RF terminal and the molybdenum terminal is improved.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a specific embodiment of the present invention.

본 실시예에 따른 기판 지지용 서셉터는 도 4에 도시된 바와 같이, 블럭(110), 메쉬(120), 열선(도면에 미도시), RF 단자 체결홈(112), RF 단자(140), 히팅 파워 체결홈(도면에 미도시), 히팅 파워 공급부(도면에 미도시)를 포함하여 구성된다. 여기에서 블럭(110), 메쉬(120), 열선, RF 단자 체결홈(112), 히팅 파워 체결홈, 히팅 파워 공급부는 전술한 그것과 실질적으로 동일하므로 여기에서 반복하여 설명하지 않는다. As shown in FIG. 4, the substrate support susceptor according to the present embodiment includes a block 110, a mesh 120, a heating wire (not shown), an RF terminal fastening groove 112, and an RF terminal 140. , Heating power fastening groove (not shown), and a heating power supply (not shown) is configured to include. Here, the block 110, the mesh 120, the heating wire, the RF terminal fastening groove 112, the heating power fastening groove, and the heating power supply are substantially the same as those described above, and thus will not be described here again.

따라서 이하에서는 RF 단자(140)를 위주로 설명한다. Therefore, the following description focuses on the RF terminal 140.

본 실시예에 따른 RF 단자는 도 4에 도시된 바와 같이, 제1 단자(142)와 제2 단자(144) 2 부분으로 이루어진다. As shown in FIG. 4, the RF terminal according to the present exemplary embodiment includes two parts of the first terminal 142 and the second terminal 144.

먼저 제1 단자(142)는 상기 RF 단자 체결홈(112)의 중앙에 삽입되어, 상기 메쉬(120)와 직접 접촉하여 RF 전원을 메쉬(120)에 공급하는 구성요소이다. 따라서 이 제1 단자(142)는 서셉터 외부에 배치되는 RF 공급원(도면에 미도시)과 연결되어 있다. First, the first terminal 142 is inserted into the center of the RF terminal fastening groove 112 and is a component that directly contacts the mesh 120 to supply RF power to the mesh 120. Therefore, the first terminal 142 is connected to an RF source (not shown) disposed outside the susceptor.

또한 이 제1 단자(142)의 말단은 도 4에 도시된 바와 같이, 외주 방향으로 돌출된 걸림부(142a)를 가진다. 이 걸림부(142a)는 제1 단자(142)의 다른 부분보다 큰 직경을 가져서 외측으로 돌출되어 있으며, 후술하는 제2 단자(144)의 걸림턱(144a)과 접촉하여 제1 단자(142)의 말단이 메쉬(120)와 확실하게 접촉되도록 한다. In addition, the end of the first terminal 142 has a locking portion 142a protruding in the circumferential direction, as shown in FIG. The locking portion 142a has a larger diameter than the other portions of the first terminal 142 and protrudes outward, and contacts the locking jaw 144a of the second terminal 144 which will be described later. Ensure that the ends of are in secure contact with the mesh 120.

다음으로 제2 단자(144)는 상기 제1 단자(142)와 상기 RF 단자 체결홈(112) 사이에 삽입되어 상기 제1 단자(142)를 상기 메쉬(120) 방향으로 밀면서 상기 제1 단자(142)를 상기 블럭(110)에 고정하는 구성요소이다. 즉, 이 제2 단자(144) 스스로가 블럭(110)과 견고하게 결합되고, 이 상태에서 제1 단자(142)를 메쉬(120) 방 향으로 밀면서 고정시킨다. 따라서 이 제2 단자(142)에 의하여 제1 단자(144)가 메쉬(120)와 확실하게 접촉할 수 있는 것이다. Next, the second terminal 144 is inserted between the first terminal 142 and the RF terminal fastening groove 112 to push the first terminal 142 in the direction of the mesh 120 to the first terminal ( 142 is a component that secures to the block 110. That is, the second terminal 144 itself is firmly coupled to the block 110, and in this state, the first terminal 142 is fixed while pushing in the direction of the mesh 120. Accordingly, the second terminal 142 allows the first terminal 144 to reliably contact the mesh 120.

이를 위하여 제2 단자(144)에는 제1 나사면(144b)과 걸림턱(144a)이 형성된다. To this end, a first screw surface 144b and a locking step 144a are formed in the second terminal 144.

먼저 제1 나사면(144b)은 제2 단자(144)의 외주면에 형성되며, RF 단자 체결홈(112)의 내주면에 형성되는 제2 나사면과 대응된다. 즉, 제1 나사면이 암나사면이면, 제2 나사면이 숫나사면이고, 반대로 제1 나사면이 숫나사면이면, 제1 나사면이 암나사면으로 형성되는 것이다. 따라서 제1 나사면(144b)과 제2 나사면이 결합되어 제2 단자(144)가 블럭(110)에 견고하게 결합될 수 있는 것이다. First, the first screw surface 144b is formed on the outer circumferential surface of the second terminal 144 and corresponds to the second screw surface formed on the inner circumferential surface of the RF terminal fastening groove 112. That is, if the first threaded surface is a female threaded surface, the second threaded surface is a male threaded surface, and conversely, if the first threaded surface is a male threaded surface, the first threaded surface is formed as a female threaded surface. Therefore, the first screw surface 144b and the second screw surface are coupled so that the second terminal 144 can be firmly coupled to the block 110.

다음으로 걸림턱(144a)은, 전술한 걸림부(142a)와 접촉하여 상기 제1 단자(142)의 말단을 상기 메쉬(120) 방향으로 미는 구성요소이다. 즉, 제2 단자(144)에는 제1 단자(142)가 삽입될 수 있을 정도의 제1 단자 삽입홀(144c)이 형성되는데, 다른 부분은 제1 단자(142)의 직경과 거의 동일한 크기로 형성되는데, 걸림턱(144a) 부분은 제1 단자의 걸림부(144a)가 삽입될 수 있을 정도의 크기로 넓게 형성되는 것이다. Next, the locking step 144a is a component that contacts the locking part 142a and pushes the end of the first terminal 142 toward the mesh 120. That is, the first terminal insertion hole 144c is formed in the second terminal 144 such that the first terminal 142 can be inserted therein, and the other part is almost the same size as the diameter of the first terminal 142. Is formed, the locking step 144a portion is to be formed wide enough to be inserted into the locking portion 144a of the first terminal.

따라서 제2 단자(144)가 RF 단자 체결홈(112)을 따라 나사 결합하면서 전진하면, 걸림턱(144a)에 제1 단자의 걸림부(142a)가 걸려서 메쉬(120) 방향으로 전진하는 것이다. Therefore, when the second terminal 144 advances while screwing along the RF terminal fastening groove 112, the locking portion 142a of the first terminal is caught by the locking step 144a to move forward in the direction of the mesh 120.

이하에서는 이러한 구조의 RF 단자(140)를 히터(110)에 결합하는 방법을 설 명한다. Hereinafter, a method of coupling the RF terminal 140 having the structure to the heater 110 will be described.

먼저 RF 단자(140) 및 RF 단자 체결홈(112) 내에 필러(160)를 장착한다. RF 단자(140)에는 도 4에 도시된 바와 같이, 선형 필러(162)가 감겨서 장착된다. 제1 단자(142)와 제2 단자(144) 사이의 공간에 채워지는 필러(162)는 제1 단자(142)의 외주면에 감기고, 제2 단자(144)와 RF 단자 체결홈(112) 사이에 채워지는 필러(162)는 제2 단자(144)의 외주면에 감긴다. 이때 단자의 외면에 감기는 선형 필러(162)의 회수는 5 ~ 6 회 정도가 바람직하다. First, the filler 160 is mounted in the RF terminal 140 and the RF terminal fastening groove 112. As shown in FIG. 4, a linear pillar 162 is wound and mounted on the RF terminal 140. The filler 162 filled in the space between the first terminal 142 and the second terminal 144 is wound around the outer circumferential surface of the first terminal 142, and between the second terminal 144 and the RF terminal fastening groove 112. The filler 162 filled in is wound around the outer circumferential surface of the second terminal 144. At this time, the number of times the linear filler 162 wound on the outer surface of the terminal is preferably about 5 to 6 times.

그리고 RF 단자 체결홈(112) 내의 몰리브덴 단자(114) 주위에는 도 4, 5에 도시된 바와 같이, 압연된 필러(164)가 배치된다. 즉, 몰리브덴 단자(114) 위에는 필러가 배치되지 않고, 그 주위에 3 ~ 4개의 압연 필러(164)가 배치되는 것이다. 이렇게 필러를 장착하면, RF 단자(142)와 몰리브덴 단자(114)가 직접 접촉할 수 있다. 4 and 5, the rolled filler 164 is disposed around the molybdenum terminal 114 in the RF terminal fastening groove 112. That is, a filler is not arrange | positioned on the molybdenum terminal 114, and 3-4 rolled fillers 164 are arrange | positioned around it. When the filler is mounted in this way, the RF terminal 142 and the molybdenum terminal 114 may directly contact each other.

다음으로 RF 단자(140)를 RF 단자 체결홈(112) 내에 삽입하여 고정한다. 제2 단자(144)의 제1 나사면(144b)과 RF 단자 체결홈(112)의 제2 나사면을 이용하여 RF 단자(140)를 체결홈(112) 내에 고정하는 것이다. 이때, 제1 단자(142)의 말단이 몰리브덴 단자(114)와 접촉하도록 제2 단자(144)를 회전시켜 RF 단자를 고정시킨다. Next, the RF terminal 140 is inserted into the RF terminal fastening groove 112 and fixed. The RF terminal 140 is fixed in the fastening groove 112 by using the first screw surface 144b of the second terminal 144 and the second screw surface of the RF terminal fastening groove 112. At this time, the RF terminal is fixed by rotating the second terminal 144 so that the terminal of the first terminal 142 contacts the molybdenum terminal 114.

다음으로 필러(160)를 용해하여 상기 RF 단자(140)와 히터(110)를 접합한다. 그러면 몰리브덴 단자(114) 주변에 배치된 필러(164)가 몰리브덴 단자(114) 주변의 빈 공간을 채우면서 제1 단자(142)의 말단과 몰리브덴 단자(114)를 견고하게 접합시킨다. 그리고 제1 단자(142)에 감겨 있던 필러와 제2 단자(144)에 감겨 있던 필 러는 각각 제1 단자(142)와 제2 단자(144) 사이의 공간과, 제2 단자(144)와 체결홈(112) 사이의 공간을 채운다. 따라서 제1 단자(142)와 제2 단자(144)가 견고하게 접합되고, 제2 단자(144)와 체결홈(112)도 견고하게 접합된다. Next, the filler 160 is dissolved to bond the RF terminal 140 and the heater 110. Then, the filler 164 disposed around the molybdenum terminal 114 fills the empty space around the molybdenum terminal 114 and firmly bonds the end of the first terminal 142 with the molybdenum terminal 114. In addition, the filler wound on the first terminal 142 and the filler wound on the second terminal 144 may each include a space between the first terminal 142 and the second terminal 144, and a second terminal 144. Fill the space between the fastening grooves 112. Therefore, the first terminal 142 and the second terminal 144 are firmly bonded, and the second terminal 144 and the fastening groove 112 are also firmly bonded.

이렇게 RF 단자(140)를 체결홈(112)에 접합시키면 RF 단자(140)를 체결홈(112)에 견고하게 고정한 후, 브레이징하는 과정에서 RF 단자(140)의 위치 변화가 발행하지 않으므로, RF 단자(140)는 견고하게 고정된 상태를 유지한다. 따라서 완성된 RF 단자가 외부의 충격에 쉽게 좌우로 흔들리는 문제점이 해결된다. When the RF terminal 140 is bonded to the fastening groove 112 in this manner, the RF terminal 140 is firmly fixed to the fastening groove 112, and thus the position change of the RF terminal 140 does not occur during the brazing process. The terminal 140 remains firmly fixed. Therefore, the problem that the completed RF terminal easily shakes from side to side to the external shock is solved.

도 1은 종래의 기판 지지용 서셉터의 구조를 도시하는 단면도이다. 1 is a cross-sectional view showing the structure of a conventional substrate support susceptor.

도 2, 3은 종래의 RF 단자 결합 방법을 설명하는 확대 단면도들이다. 2 and 3 are enlarged cross-sectional views illustrating a conventional RF terminal coupling method.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 히터 제조 방법을 도시하는 단면도이다. 4 is a cross-sectional view showing a heater manufacturing method according to an embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 압연 필러 배치 방법을 도시하는 평면도이다. 5 is a plan view illustrating a rolled filler arrangement method according to an embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 히터 구조를 도시하는 단면도이다. 6 is a cross-sectional view showing a heater structure according to an embodiment of the present invention.

Claims (5)

삭제delete 삭제delete 히터 블럭에 형성된 RF 단자 체결홈 내에 필러를 장착하는 단계;Mounting a filler in the RF terminal fastening groove formed in the heater block; RF 단자를 상기 RF 단자 체결홈 내에 형성되고 메쉬와 연결된 몰리브덴 단자와 접촉하도록 상기 RF 단자 체결홈 내에 삽입 고정하는 단계; 및Inserting and fixing an RF terminal into the RF terminal fastening groove so as to contact a molybdenum terminal formed in the RF terminal fastening groove and connected to the mesh; And 상기 필러를 용해하여 상기 RF 단자와 상기 몰리브덴 단자를 브레이징(brazing)하는 단계를 포함하되,Dissolving the filler to braze the RF terminal and the molybdenum terminal, 상기 RF 단자는,The RF terminal, 상기 RF 단자 체결홈에 삽입되며, 상기 몰리브덴 단자와 접촉하여 RF 를 공급하는 제1 단자; 및A first terminal inserted into the RF terminal fastening groove and contacting the molybdenum terminal to supply RF; And 상기 제1 단자와 상기 RF 단자 체결홈 사이에 삽입되어 상기 제1 단자를 상기 메쉬 방향으로 밀면서 상기 제1 단자를 상기 히터 블럭에 고정하는 제2 단자를 포함하며,A second terminal inserted between the first terminal and the RF terminal fastening groove to push the first terminal in the mesh direction to fix the first terminal to the heater block; 상기 RF 단자 및 RF 단자 체결홈 내에 필러를 장착하는 단계는,Mounting the filler in the RF terminal and the RF terminal fastening groove, 상기 제2 단자의 외주면에 선형 필러를 권취하는 단계;Winding a linear filler on an outer circumferential surface of the second terminal; 상기 제1 단자의 외주면에 선형 필러를 권취하는 단계; 및Winding a linear filler on an outer circumferential surface of the first terminal; And 상기 RF 단자 체결홈 내부 중 상기 몰리브덴 단자의 외측에 압연 필러를 장착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 히터 제조방법.And mounting a rolling filler on the outer side of the molybdenum terminal in the RF terminal fastening groove. 제3항에 있어서, The method of claim 3, 상기 RF 단자 체결홈 내부 중 상기 몰리브덴 단자 측면에 압연 필러를 장착하는 단계는,Mounting the rolling filler on the side of the molybdenum terminal in the RF terminal fastening groove, 상기 몰리브덴 단자의 둘레를 따라 복수의 압연 필러를 장착하는 것을 특징으로 하는 히터 제조방법.And a plurality of rolling fillers are mounted along the circumference of the molybdenum terminal. 제3항 또는 제4항에 기재된 방법에 의하여 제조되는 히터.The heater manufactured by the method of Claim 3 or 4.
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