KR100926775B1 - 방사선 피폭선량계 자동 어닐링 시스템 및 어닐링 방법 - Google Patents

방사선 피폭선량계 자동 어닐링 시스템 및 어닐링 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR100926775B1
KR100926775B1 KR1020080094659A KR20080094659A KR100926775B1 KR 100926775 B1 KR100926775 B1 KR 100926775B1 KR 1020080094659 A KR1020080094659 A KR 1020080094659A KR 20080094659 A KR20080094659 A KR 20080094659A KR 100926775 B1 KR100926775 B1 KR 100926775B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
annealing
dosimeter
tray
transfer
unit
Prior art date
Application number
KR1020080094659A
Other languages
English (en)
Inventor
고상기
Original Assignee
한일원자력(주)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 한일원자력(주) filed Critical 한일원자력(주)
Priority to KR1020080094659A priority Critical patent/KR100926775B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100926775B1 publication Critical patent/KR100926775B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
    • G01T7/00—Details of radiation-measuring instruments
    • G01T7/02—Collecting means for receiving or storing samples to be investigated and possibly directly transporting the samples to the measuring arrangement; particularly for investigating radioactive fluids
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
    • G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
    • G01T1/02—Dosimeters
    • G01T1/10—Luminescent dosimeters
    • G01T1/11—Thermo-luminescent dosimeters
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
    • G01T7/00—Details of radiation-measuring instruments
    • G01T7/12—Provision for actuation of an alarm

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • High Energy & Nuclear Physics (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Measurement Of Radiation (AREA)

Abstract

본 발명은 방사선 피폭선량계 자동 어닐링 시스템 및 어닐링 방법에 관한 것으로, 더욱 구체적으로는 개인의 방사선 피폭을 측정하기 위한 선량계에서 측정소자를 어닐링(annealing)하여 재사용 가능하도록 하기 위해, 복수의 선량계(90)를 적재한 팔레트(70)와 복수의 측정소자(92)를 적재한 트레이(80)의 각 배치가 가능하고, 측정 소자용 홀더(21)가 X-Y-Z축으로 이동 가능하도록 이송 로봇(20)이 구비된 이송 배열부(10); 상기 이송 배열부(10) 일측에 상기 트레이(80) 장착이 가능하고 상기 트레이의 측정소자(92)에 광을 조사하도록 어닐링 램프(31)가 구비된 어닐링부(30); 상기 이송 로봇(20)과 어닐링 램프(31)의 구동을 제어 및 표시하도록 적어도 하나의 액정표시부를 포함하는 제어부(50);로 이루어짐으로써, 팔레트(70)에 적재된 복수 개의 각 선량계(90)에서 순차적으로 측정소자(92)를 인출하여 소자 트레이(80)에 각각 배열되게 하는 언로딩 공정; 상기 소자 트레이(70) 상의 측정소자(92)를 어닐링 하기 위해, 소자 트레이를 어닐링 램프(31)에 노출시켜서 광을 조사하는 라이트조사 공정; 상기 이송 로봇을 이용하여, 소자 트레이(70) 상의 측정소자(92)를 순차적으로 팔레트(70) 상의 각 선량계(90)에 장전하는 로딩(LOADING) 공정;을 수행할 수 있는 방사선 피폭선량계 자동 어닐링 시스템이 개시된다.

Description

방사선 피폭선량계 자동 어닐링 시스템 및 어닐링 방법{Auto annealing system of dosimeter, and method of annealing}
본 발명은 개인의 방사선 피폭 량을 측정할 때 사용하는 광자극(OSL: Optical Stimulated Luminescence) 피폭선량계의 측정소자를 자동으로 인출하여 어닐링(Annealing) 하고, 어닐링 된 측정소자를 자동으로 선량계에 장전할 수 있도록 하는 방사선 피폭선량계 자동 어닐링 시스템에 관한 것이다.
피폭선량은 인체가 방사선에 의해 피폭되었을 때의 양을 나타내는 용어로서 통상 선량당량(단위:Gy)을 사용하나 흡수선량(단위:Gy)을 사용한다. 체외에 있는 선원으로부터의 피폭량을 외부 피폭선량, 체내로 들어간 선원에 의한 피폭선량을 내부 피폭선량이라 하며, 피폭선량을 측정하는 원리는, Al2O3, LiF, CaF2, CaSO4 등의 고체결정에 C, Mg, Mn, Tm, Cu 등의 불순물을 소량 혼합하면 이러한 이온은 고체결정에 있어서 전자나 정공의 포획중심을 형성한다. 이러한 포획중심은 방사선조사에 의해 생긴 자유전자나 정공을 포획하여 포획한 상태로 유지한다. 이와 같이 해서 포획된 전자나 정공의 수는 고체결정 내에서 흡수된 방사선의 량에 비례한다.
방사선 조사가 끝난 후 그 결정의 온도를 서서히 올려가면 포획된 전자(또는 정공)는 포획중심 레벨로부터 전도대로 올라와 결정 내를 회전운동 할 수 있게 되며 마침내 다른 정공(또는 전자)과 재결합한다. 이때 발광을 동반하는데, 이러한 발광을 이용해서 흡수된 방사선량을 측정하는 것이 열형광 선량계(TLD: ThermoLuminescence Dosimeter)이다. OSL은 상기에서 언급한 TLD와 측정원리는 같은데 포획된 전자가 재결합 할 수 있도록 에너지를 주는 방식에 있어서, TLD는 열에너지 온도를 상승시키는 방법이며, OSL은 LET 또는 레이저층 고에너지 파장을 주는 방법이 다르다.
국내에서 지난 20여 년간 개인피폭선량의 측정을 위하여 주로 필름 뱃지와 열형광선량계(Thermoluminescence dosimeter, TLD)가 사용되고 있으나 현재 선진국에서는 차세대 선량계인 광자극 선량계(Optical Stimulated Luminescence, Inlight dosimeter)와 유리 선량계(Glass dosimeter)를 도입하여 사용하고 있으며 국내에서도 이런 차세대 선량계 도입을 준비중에 있다. 이런 차세대 선량계 중 광자극(OSL)선량계는 화학적 기계적 강도가 좋고 판독절차가 간단하며 재현성이 뛰어나기 때문에 국내 도입에 긍정적인 검토가 이루어지고 있기는 하나, 광자극(OSL) 선량계 측정에 필요한 장비 중 어닐링(Annealing) 장비에 대한 경제성이 좋지 않은 문제점이 있는데, 이를 도 1을 참조하여 설명한다.
도 1은 일반적인 방사선 피폭선량계의 구조를 보인 사시도로서, 도 1에 도시된 바와 같이 일반적인 피폭선량계(90)는, 케이스(91)와 측정소자(92)로 구성되고, 상기 측정소자(92)에는 피폭선량을 측정하는 복수 개의 광자극부(93)가 형성되며, 상기 측정소자(92)는 케이스(91)의 일측에 슬라이드 형태로 삽입 및 이탈 가능하게 구성된다.
이러한 광자극 선량계(90)는 방사선 관련 종사자의 개인 피폭선량을 측정한 후, 재사용 가능한데, 재사용을 위해서는 어닐링 장비를 이용하여 강제적으로 측정소자(92), 즉 광자극부(93)에 누적되어 있는 선량 적산량(전자)을 어닐링(annealing) 하여 재사용이 가능한 그라운드 상태로 전환해야 하며, 이때 케이스(91)에 보관중이던 측정소자(92)를 케이스(91)에서 분리한 다음, 어닐링 작업이 종료된 후, 다시 케이스(91) 내에 삽입 장착해야 한다.
그러나, 현재 어닐링을 수행하기 위해 케이스(91)로부터 측정소자(92)를 인출하거나 반대로 삽입하는 작업은 일일이 수작업으로 이루어지고 있어서, 많은 시간 비용이 소요될 뿐 아니라, 손의 터치에 의한 측정소자의 오염으로 선량계의 측정 수치에 오차가 발생하는 등의 작업 중 불량률이 높아서 경제성이 저하되는 문제점이 있다.
또한, 선량계(90)에서 측정소자(92)를 인출하여 자외선 오븐에 넣고 빛을 조사하여 어닐링을 수행하고 있는데, 종래에는 자외선을 이용한 어닐링 베이스 라이트 파장과 그 조사시간이 일정하지 않아 어닐링이 로트 별로 차이가 발생하고, 따라서 피폭선량 측정의 정확도가 저하되는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 광자극(OSL) 선량계에서 측정 소자를 인출하는 작업시 로봇시스템을 통하여 정확한 위치에서 인출하면서도 측정 소자의 오염이나 무리가 가지 않도록 공기 흡착 방식을 이용하여 인출하고, 또한 인출된 측정 소자를 배열판인 소자 트레이(tray)에 나란하게 정렬함으로써 특정 파장인 자외선 조사시 한번에 다량의 측정 소자를 어닐링 할 수 있으며 어닐링 된 측정 소자를 다시 광자극(OSL) 선량계의 케이스에 자동으로 삽입되게 하여 재사용할 수 있게 하는 방사선 피폭선량계 자동 어닐링 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은, 개인피폭선량계의 측정 소자를 케이스에서 인출한 후 배열판인 소자 트레이에 배열함으로써 소자의 상태를 쉽게 점검할 수 있고, 어닐링부의 램프를 변경할 수 있게 하여 기존의 열형광(TLD) 선량계의 측정소자도 어닐링할 수 있는 방사선 피폭선량계 자동 어닐링 시스템을 제공하는 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 방사선 피폭선량계 자동 어닐링 시스템은, 복수의 선량계(90)를 적재한 팔레트(70)와 복수의 측정소자(92)를 적재한 트레이(80)의 각 배치가 가능하고, 측정 소자용 홀더(21)가 X-Y-Z축으로 이동 가능하도록 이송 로봇(20)이 구비된 이송 배열부(10); 상기 이송 배열부(10) 일측에 상기 트레이(80) 장착이 가능하고 상기 트레이의 측정소자(92)에 광 을 조사하도록 어닐링 램프(31)가 구비된 어닐링부(30); 상기 이송 로봇(20)과 어닐링 램프(31)의 구동을 제어 및 표시하도록 적어도 하나의 액정표시부를 포함하는 제어부(50);로 이루어지는 것을 특징으로 하며, 이로써 본 발명의 시스템은 팔레트(70)에 적재된 복수 개의 각 선량계(90)에서 순차적으로 측정소자(92)를 인출하여 소자 트레이(80)에 각각 배열되게 하는 언로딩(unloading) 공정; 상기 소자 트레이(70) 상의 측정소자(92)를 어닐링 하기 위해, 소자 트레이를 어닐링 램프(31)에 노출시켜서 광을 조사하는 라이트조사 공정; 상기 이송 로봇을 이용하여, 소자 트레이(70) 상의 측정소자(92)를 순차적으로 팔레트(70) 상의 각 선량계(90)에 장전하는 로딩(LOADING) 공정;을 수행한다.
바람직한 실시 형태로서, 상기 홀더(21)에 측정 소자를 흡착하기 위한 흡착수단이 구비되고, 상기 시스템은 흡착수단의 진공 흡착 구동용 공기 압축기(40)를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
이때, 이송 배열부(10), 어닐링부(30), 제어부(50)는 하나의 케이스 내에서 별도 공간에 설치되어 일체로 형성되게 하고, 상기 공기 압축기(40)는 케이스와 별도로 설치되게 하여 설치 공간을 최소화하는 것이 바람직하다. 또한 상기 케이스 하단에 이동용 휠(W)이 장착되어 이동을 용이하게 하는 것도 가능하다.
본 발명에 의하면, 피폭선량계의 측정 소자의 인출 및 장착 공정을 로봇이 수행하므로 선량계 케이스로부터 측정 소자를 인출하거나 장착하는 공정이 정확하고 신속하며, 또한 손과 접촉하지 않으므로 오염을 방지할 수 있어 경제적이면서도 정확한 측정이 가능하다.
또한 로봇 시스템에 의해서 소자 트레이에 측정소자를 일정한 방향으로 수백 개 정렬시킬 수 있으므로 한번에 많은 양을 어닐링 하게 되어 작업성이 혁신적으로 개선되고, 어닐링부의 램프와 필터의 변경이 가능하여 광자극 선량계와 열형광 선량계의 구분없이 작업할 수 있을 뿐 아니라, 어닐링의 가능 범위가 폭 넓은데, 예컨대 40Watt 램프와 필터를 사용한다면 어닐링 설비의 목표치인 10mrem 이하의 어닐링도 가능하다.
또한, 선진국의 경우 어닐링 공정이 반 수동에 의해 이루어짐에 따라 어닐링에 소요되는 시간은 30시간 미만으로 25분당 약 50개를 처리하는데 비하여 본 발명은 1시간당 200개 이상, 최대 400개까지 어닐링 할 수 있고, 램프에 의한 조사량 역시 한번에 최대 400개를 처리할 수 있어, 종래 선진국 방식에 비하여 약 100배 이상의 수량을 처리할 수 있게 된다.
게다가 자동 로롯 시스템에 의해서 측정소자를 일정한 방향으로 수백 개를 소자 트레이에 배열하므로, 측정 소자의 상태를 쉽게 점검(QC)할 수 있게 된다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 더욱 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명에 따른 피폭선량계 어닐링 시스템의 전체 구성도로서, 이하의 설명에서는 선량계에 대해서 도 1의 선량계(90)와 동일한 부호를 사용한다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 방사선 피폭선량계 어닐링 시스템은, 크게 베이스(11) 상에 이송 로봇(20)이 장착된 이송 배열부(10)와, 상기 이송 배열 부(10)의 일측에 어닐링을 위한 램프(31)가 장착된 어닐링부(30)와, 상기 이송 로봇(20)에서 측정소자(92)를 흡착 방식으로 홀딩하기 위해서 공기를 흡입할 수 있도록 하는 공기 압축기(40)와, 상기 이송 로봇(20)과 램프(31)의 구동을 제어하기 위한 제어부(50)로 이루어진다.
또한, 본 발명의 방사선 피폭선량계 어닐링 시스템은, 작동 시간 종료를 알리거나 비상상황을 알리는 경보부(E)를 비롯하여 장비를 이동하기 쉽도록 하는 이동휠(W)을 포함하여 이루어진다.
도 3은 본 발명에 따른 어닐링 시스템의 이송 배열부 구조를 보인 평면도이고, 도 4는 도 3의 'A' 시점에서 본 측면도이며, 도 5는 본 발명에 따른 이송 배열부의 로봇 이송 및 배열 상태를 보인 평면도 및 부분확대도이다.
도 3 내지 도 5를 참조하면, 베이스(11) 상의 일측에는 복수 개의 선량계(90)가 적재된 팔레트(palet)(70)를 배치할 수 있고, 다른 측에는 상기 팔레트(70)에 적재된 선량계(90)로부터 인출된 측정 소자(92)를 배열, 적재할 수 있는 소자 트레이(80)가 배치되며, 상기 측정 소자(92)를 팔레트(70) 위치에서 소자 트레이(80) 위치로, 또는 소자 트레이(80) 위치에서 팔레트(70) 위치로 자동 이동시키기 위한 이송 로롯(20)이 장착되어 있다.
도 5를 참조하면, 상기 이송 로봇(20)은 서보모터를 이용하여 X축, Y축, Z축으로 이동 가능게 설치되어 있으므로 홀더(21)가 X, Y축 방향을 조합하여 이동하는 경우 소자 트레이(80) 상의 홀더 이동영역(22)의 범위 내에서 자유롭게 위치 이동 가능하고, 또한 Z축 방향 이동을 하는 경우, 상/하 이동이 가능하게 된다. 따라서 상기 홀더(21)는 상/하/좌/우를 비롯하여 전/후 방향으로 이동 가능하며, 이송 로봇(20)은 상기 제어부(50)의 제어로 자동 혹은 수동 동작이 가능하다.
상기 제어부(50)는, 이송 배열부(10)의 제어뿐만 아니라, 어닐링 시스템의 모든 동작을 확인하고, 현재 상태를 확인할 수 있도록 터치스크린방식의 액정화면이 설치될 수 있고, 상기 어닐링부(30) 내에 위치한 어닐링용 램프(31)의 가동 시간 및 전원을 제어할 수 있는데, 이러한 장비는 공기 압축기(40)를 제외한 모든 요소, 즉 도 2와 같이 이송 배열부(10), 어닐링부(30), 제어부(50)를 하나의 케이스 내에 장치하고, 케이스의 최하단에는 수 개의 이동휠(W)을 설치하여 이동성과 공간 효율성을 확보하도록 하는 것이 바람직하다.
이와 같은 방사선 자동 어닐링 시스템은 크게 3단계의 공정으로 이루어진다.
먼저 팔레트(70)에 적재된 복수 개의 각 선량계(90)에서 순차적으로 측정소자(92)를 인출하여 소자 트레이(80)에 배열하는 언로딩(UNLOADING) 공정과, 상기 소자 트레이(70)에 배열된 측정소자(92)에 특정파장의 램프(31)를 사용하여 광을 쪼이는 라이트조사 공정과, 어닐링 된 측정 소자(92)를 다시 선량계(90)의 케이스(91)에 장전하는 로딩(LOADING) 공정으로 이루어진다.
전술한 바와 같이 언로딩 공정과 로딩 공정은 각각 이송 로봇(20)이 수행하며, 이송 로봇(20)은 여러 개의 모터와 실린더가 장착되어 있어서 상기 홀더(21)가 X, Y, Z 축으로의 이동이 가능하게 설치되며, 상기 홀더(21)에는 빨판과 같은 흡착수단이 설치되어 상기 공기 압축기(40)에서 공기를 흡입하는 동작을 통해서 홀더(21)에 장착된 흡착판이 측정소자(92)를 흡입하여 홀딩할 수 있게 된다. 물론, 상기 이송 로봇(20)의 홀더(21) 이동 경로를 비롯하여 측정소자(92)를 흡입하거나 소자 트레이(70)에 배열하는 위치 등의 좌표는 미리 프로그래밍이 되어 있거나, 사용자가 좌표값을 지정하여 설정 가능하다.
언로딩 공정의 예로써, 어느 하나의 실린더가 상승하여 홀더(21)를 팔레트(70)가 적치된 특정 좌표 위치까지 이동시킨 후, 다른 실린더가 홀더를 X-Y축으로 이동시키면서 선량계(90)로부터 측정 소자(92)를 진공 흡착 방식으로 인출하여 홀딩한 후, 홀더(21)가 X-Y-Z 축으로 이동하여 특정 좌표에 위치한 소자 트레이(80) 상에 도달하여 흡착 작용을 중지하면 측정 소자(92)가 소자 트레이(80) 상에 배열(도 5의 확대도 참조)될 수 있으며, 이송 로봇(20)은 팔레트(70)와 트레이(80)의 각 좌표 위치를 변동하여 계속 반복함으로써 200개 ~ 400개의 측정 소자(92)를 순차적으로 인출할 수 있다.
도 6은 본 발명에 따른 어닐링 시스템의 라이트조사 공정을 보인 정면도로서, 전술한 라이트조사 공정을 위해, 상기 측정 소자(92)가 배열된 소자 트레이(80)를 램프(31)가 장착된 어닐링부(30)에 장착한 후, 램프(31)의 특정파장의 빛을 시간에 맞게 조사하면 측정 소자(92)가 가지고 있는 잔류 선량이 제거되어 측정소자(92)를 재사용할 수 있는 상태로 만들 수 있다.
상기 로딩 공정은, 상기 라이트조사 공정이 완료된 측정소자(92)를 소자 트레이(80)에서 팔레트(70)에 적재되어 있던 케이스(91) 내에 다시 장전(장착)하는 것으로, 이 공정 역시 상기 이송 로봇(20)이 언로딩 과정의 역방향 과정 수행을 통해 이루어짐으로써 재사용 가능한 선량계(90)를 형성할 수 있다.
여기서 상기 이송 로봇(20)의 X,Y,Z 축의 이동 구조 및 진공 흡착을 이용한 홀더(21)의 빨판 흡착 구조 등은 다양한 형태로 구축된 현재의 기술을 적용하면 무방하므로 이에 관한 구체적인 설명은 생략한다.
다음은, 본 발명에 따른 방사선 피폭선량계 자동 어닐링 시스템의 작업 공정 순서와 동작관계에 대하여 설명한다.
우선 전원을 확인하고 출구 밸브를 연후 어닐링 장비에 있는 공압밸브를 열고 전원 및 보조전원을 켠다. 측정 소자(92)가 내입된 복수 개의 선량계(90)가 가지런히 채워진 팔레트(70)를 베이스(11) 상의 준비 위치에 놓고 서보 버튼을 ON 상태로 한 후 X,Y,Z,각 축의 서보모터를 동작한다.
제어부(50)에 위치한 언로딩 버튼을 작동시키면 이송 로봇(20)의 홀더(21)가 측정소자(92)를 선량계(90)로부터 추출(인출)한 후 소자 트레이(80)에 놓는 과정을 자동으로 200회 반복한다.
이후, 작업자가 이송 배열부(10)에서 소자 트레이(80)를 탈거한 후 도 6과 같이 소자 트레이(80)를 어닐링부(30)에 장착한 다음, 어닐링부(30) 작동 스위치를 가동하여 30분가량 라이트조사 공정을 실시한다.
라이트조사 공정 후, 소자 트레이(80)를 이송배열부(10)의 원래 위치에 장착한 다음, 제어부(50)의 로딩 버튼을 작동시키면, 이송 로봇(20)은 소자 트레이(80)에 배열된 측정소자(92)를 하나씩 순차적으로 팔레트(70)의 선량계(90) 내에 장전한다.
이러한 이송 로봇(20)의 모든 작동은 자동으로 이루어지며 이상 발생시, 혹 은 기계를 원점이나 알맞은 곳으로 옮겨줄 때 수동운전 버튼을 사용하여 이를 수행할 수도 있다.
위치세팅 등은, 제어부(50)를 통해 현재 각축의 위치 값을 볼 수 있으며 초기 위치세팅과 서보의 동작현황을 확인할 수 있다. 장치의 에러 발생시 화면에 알람과 내용을 표시하게 되며 해당 내용에 따라 장비를 점검하도록 할 수 있다.
본 발명의 시스템에 의해 측정 소자(92)를 선량계(90)로부터 자동으로 인출 및 삽입(장전)하고, 어닐링 시간을 미리 세팅하여 일정한 시간동안 자동으로 어닐링을 수행하며, 어닐링이 종료되면 램프가 자동 오프되도록 하며, 측정소자(92)의 추출을 위한 언로딩 공정, 라이트조사 공정 및 로딩 공정 등의 각 공정이 종료되면 상기 경보부(E)에서 각 공정의 종료 상황을 표시하도록 할 수 있다.
이상과 같이 비록 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이며, 그러한 변경 및 타 실시예는 하기의 특허청구범위에 포함됨에 유의해야 한다.
도 1은 일반적인 방사선 피폭선량계의 구조를 보인 사시도.
도 2는 본 발명에 따른 피폭선량계 어닐링 시스템의 전체 구성도.
도 3은 본 발명에 따른 어닐링 시스템의 이송 배열부 구조를 보인 평면도.
도 4는 도 3의 'A' 시점에서 본 측면도.
도 5는 본 발명에 따른 이송 배열부의 로봇 이송 및 배열 상태를 보인 평면도 및 부분확대도.
도 6은 본 발명에 따른 어닐링 시스템의 라이트조사 공정을 보인 정면도.
< 도면의 부호 설명 >
10... 이송 배열부 11... 베이스
20... 이송 로봇 21... 홀더
30... 어닐링(annealing)부 31... 어닐링 램프
40... 공기압축기 50... 제어부
70... 팔레트(pallet)
80... 소자 트레이(tray)
90... 피폭(방사)선량계 91... 케이스
92... 측정소자

Claims (5)

  1. 복수의 선량계(90)를 적재한 팔레트(70)와 복수의 측정소자(92)를 적재한 트레이(80)의 각 배치가 가능하고, 측정 소자용 홀더(21)가 X-Y-Z축으로 이동 가능하도록 이송 로봇(20)이 구비된 이송 배열부(10);
    상기 이송 배열부(10) 일측에 상기 트레이(80) 장착이 가능하고 상기 트레이의 측정소자(92)에 광을 조사하도록 어닐링 램프(31)가 구비된 어닐링부(30);
    상기 이송 로봇(20)과 어닐링 램프(31)의 구동을 제어 및 표시하도록 적어도 하나의 액정표시부를 포함하며,
    상기 홀더(21)에 측정 소자를 흡착하기 위한 흡착수단이 구비되고, 상기 흡착수단의 진공 흡착 구동용 공기 압축기(40)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방사선 피폭선량계 자동 어닐링 시스템.
  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 이송 배열부(10), 어닐링부(30), 제어부(50)는 하나의 케이스 내에서 별도 공간에 설치되고, 상기 공기 압축기(40)는 케이스와 별도로 설치되는 것을 특징으로 하는 방사선 피폭선량계 자동 어닐링 시스템.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 케이스 하단에 이동용 휠(W)이 장착된 것을 특징으로 하는 방사선 피폭선량계 자동 어닐링 시스템.
  5. X-Y-Z축으로 이동 가능한 홀더(21)가 구비된 이송 로봇(20)을 이용하여, 팔레트(70)에 적재된 복수 개의 각 선량계(90)에서 순차적으로 측정소자(92)를 인출하여 소자 트레이(80)에 각각 배열되게 하는 언로딩 공정;
    상기 소자 트레이(70) 상의 측정소자(92)를 어닐링 하기 위해, 소자 트레이를 어닐링 램프(31)에 노출시켜서 광을 조사하는 라이트조사 공정;
    상기 이송 로봇을 이용하여, 소자 트레이(70) 상의 측정소자(92)를 순차적으로 팔레트(70) 상의 각 선량계(90)에 장전하는 로딩(LOADING) 공정;으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 방사선 피폭선량계 자동 어닐링 방법.
KR1020080094659A 2008-09-26 2008-09-26 방사선 피폭선량계 자동 어닐링 시스템 및 어닐링 방법 KR100926775B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080094659A KR100926775B1 (ko) 2008-09-26 2008-09-26 방사선 피폭선량계 자동 어닐링 시스템 및 어닐링 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080094659A KR100926775B1 (ko) 2008-09-26 2008-09-26 방사선 피폭선량계 자동 어닐링 시스템 및 어닐링 방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR100926775B1 true KR100926775B1 (ko) 2009-11-16

Family

ID=41605042

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020080094659A KR100926775B1 (ko) 2008-09-26 2008-09-26 방사선 피폭선량계 자동 어닐링 시스템 및 어닐링 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100926775B1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101830185B1 (ko) 2016-09-05 2018-02-20 (주)오르비텍 선량계 자동판독 시스템
KR101904071B1 (ko) * 2016-09-23 2018-10-05 세안기술 주식회사 열형광선량계의 관리방법 및 그 관리방법을 실행시키기 위한 프로그램을 저장한 컴퓨터로 판독 가능한 기록매체

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5222981A (en) 1975-08-15 1977-02-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd Annealing device for a thermofluorescence dosimeter
JPS5485787A (en) * 1977-12-20 1979-07-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd Annealing apparatus of thermoluminescence element
JPH02204243A (ja) * 1989-02-03 1990-08-14 Canon Inc 物体吸着装置
KR20010018165A (ko) * 1999-08-17 2001-03-05 신현준 수직구조물의 수직도 및 변형검출장치와 이에 사용되는초기조건설정장치

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5222981A (en) 1975-08-15 1977-02-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd Annealing device for a thermofluorescence dosimeter
JPS5485787A (en) * 1977-12-20 1979-07-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd Annealing apparatus of thermoluminescence element
JPH02204243A (ja) * 1989-02-03 1990-08-14 Canon Inc 物体吸着装置
KR20010018165A (ko) * 1999-08-17 2001-03-05 신현준 수직구조물의 수직도 및 변형검출장치와 이에 사용되는초기조건설정장치

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101830185B1 (ko) 2016-09-05 2018-02-20 (주)오르비텍 선량계 자동판독 시스템
KR101904071B1 (ko) * 2016-09-23 2018-10-05 세안기술 주식회사 열형광선량계의 관리방법 및 그 관리방법을 실행시키기 위한 프로그램을 저장한 컴퓨터로 판독 가능한 기록매체

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2010205743A (ja) Ｏｌｅｄデバイスの欠陥を測定する方法
US6825466B2 (en) Apparatus and method for automated sample analysis by atmospheric pressure matrix assisted laser desorption ionization mass spectrometry
KR100785579B1 (ko) 열처리장치 및 열처리방법
KR100926775B1 (ko) 방사선 피폭선량계 자동 어닐링 시스템 및 어닐링 방법
CN108008442B (zh) 试验装置以及试验方法
KR20190079450A (ko) 정전척, 성막 장치, 기판 흡착/박리 방법, 성막 방법, 및 전자 디바이스의 제조 방법
CN1995274A (zh) 闪烁体材料以及包含该材料的辐射检测器
JP2011138981A (ja) 太陽電池セルの電流電圧出力特性および欠陥の検査装置
KR102484833B1 (ko) 방사성 핵종 분석 시스템
US8288064B2 (en) Method for examining a wafer with regard to a contamination limit and EUV projection exposure system
Akindinov et al. Final test of the MRPC production for the ALICE TOF detector
Laguta et al. Photoinduced (WO 4) 3−− La 3+ center in PbWO 4: Electron spin resonance and thermally stimulated luminescence study
Rich et al. Exploring the Ultimate Efficiency in Infrared‐to‐Visible Converting Phosphors Activated with Er and Sensitized with Yb
JP4319068B2 (ja) 発光パネルのエイジング検査装置
JP6192969B2 (ja) 蛍光ガラス線量計測定装置、蛍光ガラス線量計の測定方法
KR101088912B1 (ko) 발광소자 제조 장치 및 이를 이용한 발광소자 제조 방법
JP2009265095A (ja) 発光パネルのエイジング検査方法
US4924093A (en) Beta counting means and apparatus
EP2053634A2 (en) Wireless illumination sensing assembly
KR101142528B1 (ko) 발광다이오드 패키지 검사 장치
CN214361670U (zh) 一种检测金属薄片装置
Lindström Radioluminescence: A simple model for fluorescent layers-analysis and applications
CN110537110B (zh) 具有尺寸稳定性的样本元件的悬置
KR101168317B1 (ko) 발광소자 제조 장치 및 이를 이용한 발광소자 제조 방법
KR101830185B1 (ko) 선량계 자동판독 시스템

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
A302 Request for accelerated examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20120314

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130822

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140916

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150917

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20161103

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170905

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181023

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20191023

Year of fee payment: 11