KR100924722B1 - 클린룸 천장 시스템의 필터 유닛 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 클린룸의 천장에 현수되어 지지되는 거치 프레임에 고정되는 구조 프레임에 의해 지지되는 클린룸 천장 시스템의 필터 유닛으로서, 상기 거치 프레임은 팬 유닛이 설치되는 수용부를 구비하며, 상기 필터 유닛은 상기 수용부에 설치된 팬 유닛에 밀착설치되며, 상기 필터 유닛은, 필터재; 상기 구조 프레임에 의해 지지되고, 상기 필터재의 외곽을 지지하되 상기 필터재의 측면을 지지하는 측면과 상기 측면으로부터 내측으로 연장되어 상기 필터재의 가장자리를 지지하는 연장편, 및 상기 필터재의 하부 위치로 상기 측면 내측에 형성되는 확산판 끼움부를 구비한 필터 프레임; 상기 필터 프레임과 상기 필터재 사이에 개재되어 밀봉성을 유지시키는 패드; 및 상기 필터재를 통해 여과된 공기가 룸 내부로 배출되는 다수개의 구멍을 가진 확산판으로서, 측벽 중 적어도 대향하는 측벽의 상단에서 외측을 향해 연장된 걸림편을 구비하여, 상기 걸림편이 상기 확산판 끼움부에 끼움 조립되는 형태로 상기 필터 프레임에 고정되는, 확산판을 포함한다.

확산판, 클린룸, 천장 시스템, 필터

Description

클린룸 천장 시스템의 필터 유닛{FILTER UNIT OF A CLEAN ROOM CEILING SYSTEM}

본 발명은 클린룸의 천장 시스템에 관한 것으로 관한 것으로, 더욱 상세하게는 클린룸의 천장 시스템에서 여과 공기 공급을 위하여 설치되는 클린룸 천장 시스템의 필터 유닛에 관한 것이다.

일반적으로 무진을 요구하는 전자기기 조립실, 반도체 조립실, 병원의 수술실, 무균실, 세균 배양실 등 청정성을 유지해야만 하는 클린룸에서는 여과 공기를 천장으로 공급하는 천장 시스템을 구비하고 있다.

클린룸의 천장 시스템은 일반적으로 룸의 천장에 팬 필터 유닛(FFU)을 설치한 방식을 주로 사용하는데, 팬 필터 유닛은 팬 유닛 및 필터 유닛의 결합된 형태이거나 일체형의 팬 필터 유닛으로서, 외부 덕트를 통해 공급된 공기를 팬을 통해 유입되어 필터를 거친 후 룸 내부로 배출되는 구조를 구비한다.

이러한 팬 필터 유닛의 하부로 일반적으로 확산판이 설치되는 데, 확산판은 판 형태로서 하부로 관통된 구멍을 구비한 중앙 부분과, 중앙 부분 주변으로 하부로 경사지게 측방으로 개구된 다수의 경사 구멍이 형성된 주변 부분을 구비하여, 룸 내부로 공기가 전체적으로 고르게 확산되도록 한다.

종래의 확산판은 팬 필터 유닛의 하부로 별도의 구조물로 설치되는 데, 이 때문에 확산판의 설치를 위해서는 확산판 설치를 위한 몰드 바, 너트 등을 필요로 하였으며, 별도의 작업 공정으로 확산판을 설치하는 작업을 수반하였다.

본 발명은 상기의 단점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 클린룸의 천장 시스템에서 확산판 설치를 위한 별도의 구조물 없이 확산판을 설치하는 것이 가능한 클린룸 천장 시스템의 필터 유닛을 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 본 발명은 확산판이 탈부착하게 형성된 클린룸 천장 시스템의 필터 유닛을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일 측면은, 클린룸의 천장에 현수되어 지지되는 거치 프레임에 고정되는 구조 프레임에 의해 지지되는 클린룸 천장 시스템의 필터 유닛으로서, 상기 거치 프레임은 팬 유닛이 설치되는 수용부를 구비하며, 상기 필터 유닛은 상기 수용부에 설치된 팬 유닛에 밀착설치되며, 상기 필터 유닛은, 필터재; 상기 구조 프레임에 의해 지지되고, 상기 필터재의 외곽을 지지하되 상기 필터재의 측면을 지지하는 측면과 상기 측면으로부터 내측으로 연장되어 상기 필터재의 가장자리를 지지하는 연장편, 및 상기 필터재의 하부 위치로 상기 측면 내측에 형성되는 확산판 끼움부를 구비한 필터 프레임; 상기 필터 프레임과 상기 필터재 사이에 개재되어 밀봉성을 유지시키는 패드; 및 상기 필터재를 통해 여과된 공기가 룸 내부로 배출되는 다수개의 구멍을 가진 확산판으로서, 측벽 중 적어도 대향하는 측벽의 상단에서 외측을 향해 연장된 걸림편을 구비하여, 상기 걸림편이 상기 확산판 끼움부에 끼움 조립되는 형태로 상기 필터 프레임에 고정되는, 확산판을 포함한다.

본 발명의 다른 측면은 클린룸의 천장에 현수되어 지지되는 거치 프레임에 고정되는 구조 프레임에 의해 지지되는 클린룸 천장 시스템의 필터 유닛으로서,

상기 거치 프레임은 팬 유닛이 설치되는 수용부를 구비하며, 상기 필터 유닛은 상기 수용부에 설치된 팬 유닛에 밀착설치되며, 상기 필터 유닛은, 필터재; 상기 필터재의 외곽을 지지하되 상기 필터재의 측면을 지지하는 측면과 상기 측면으로부터 내측으로 연장되어 상기 필터재의 가장자리를 지지하는 연장편를 구비하는 필터 프레임; 상기 필터재의 하부 위치로 상기 측면 내측에 형성되는 확산판 끼움부; 및 상기 필터 프레임과 상기 필터재 사이에 개재되어 밀봉성을 유지시키는 패드를 구비하되, 상기 확산 끼움부와 상기 필터 프레임은 분리되어 확산판이 삽입된 후 서로 고정하기 위한 고정부를 구비하는 클린룸 천장 시스템의 필터 유닛을 제공한다.

본 발명에 따르면, 상기 확산판의 측벽이 내측 방향으로 탄성적으로 움직일 수 있게 형성됨으로써, 상기 필터 프레임이 상기 필터재를 고정한 상태에서, 상기 확산판이 상기 확산판 끼움부에 탈착 가능하게 끼워진다.

본 발명에 의하면 상기 필터 프레임의 상기 확산판 끼움부는 내측을 향해 개구된 홈 형태로 형성된다.

본 발명에 의하면, 클린룸의 천장 시스템에서 필터 유닛의 설치시 확산판 설치를 위한 별도의 구조물을 생략할 수 있게 한다. 이는 클린룸 설치 공사에서 부품 수 감소 및 작업 공정을 감소시킨다.

또한, 본 발명에 의하면, 필터 유닛에서 확산판의 탈부착이 용이하므로 천장 시스템의 보수 및 관리가 보다 용이해진다.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명하기로 한다.

도 1 은 본 발명에 따른 클린룸 천장 시스템의 필터 유닛의 설치 구조를 보여주는 도면이다.

도 1 을 참조하면, 본 발명에 따른 클린룸 천장 시스템의 필터 유닛의 지지구조는, 클린룸의 천장으로부터 현수(懸垂)장치(200)에 의해 하방으로 현수되어 위치 고정된 메인프레임(100) 및, 상기 메인프레임(100)에 다른 현수장치(210)를 통해 현수되는 거치프레임(110)으로 이루어진다.

거치프레임(110)에는 격자 배열된 몰드 바(mould bar)(120)에 의해 팬 필터 유닛(미도시)이 수용되는 단면이 장방형상인 수용부가 형성된다.

팬 필터 유닛은 ㅗ 형상의 몰드 바(120)의 측방의 날개부에 거치되도록 구성되며, 이 날개부의 폭에 의하여 상기 수용부의 단면적 크기가 결정된다.

팬 필터 유닛을 위한 수용부가 형성되기 위해서는 거치 프레임(110)이 격자 형식으로 조립되는데, 일반적으로 4개의 몰드 바(숏바)(120)를 각각 십자 형상으로 배열한 상태에서 연결부(300)을 매개로 일체로 결합된다. 연결부(300)에는 볼트공 이 형성되며, 이 볼트공을 통해 장(長)볼트(4)가 삽입된다.

거치 프레임(110)의 격자 수용부에 팬 유닛이 몰드 바(120)의 날개부에 의해 지지되는 형태로 설치되며, 상기 팬 유닛의 하면으로 장볼트(4)에 의해 구조 프레임(5)이 지지되는 형태로 필터 유닛이 설치된다.

도 2 는 본 발명의 일실시예에 따른 필터 유닛의 단면도이고, 도 3 은 도 2 의 A 부분의 확대 단면도이며, 도 4 는 본 발명에 따른 확산판을 도시한 도면이다.

첨부된 도면을 참조하면, 본 발명에 따른 필터 유닛(1)은, 필터재(FILTER MEDIA; 10), 필터 프레임(MOULD BAR; 20), 패드(30), 확산판(AIR DIFFUSIONER; 40)을 포함한다.

필터 프레임(20)은 필터재(10)의 외곽을 지지하며, 필터 유닛(1)을 클린룸 의 천장에 지지하는 구조 프레임(5)과 틈새가 없도록 일체로 고정된다.

필터 프레임(20)은 필터재(10)의 측면으로 조립되는 데, 필터재(10)의 측면을 지지하는 측면(22)과, 측면(22)의 상단 및 하단에서 내측으로 연장된 연장편(23, 24)을 구비한다. 필터 프레임(20)은 필터재(20)와의 사이에 패드(30)를 개재한 상태로 필터재(10)를 지지하는 데, 연장편(23, 24)에 의해 패드(30)의 상하단 및 필터재(10)의 상하부면 가장자리가 지지되고, 이에 의해 패드(30) 및 필터재(10)가 조립된 필터 프레임(20)의 내측으로 유지된다.

필터 프레임(20)은 필터재(10)의 하부 위치로 측면 내측으로 확산판 끼움부(26)를 구비한다. 확산판 끼움부(26)는 하부 연장편(24)과 바닥면(28)에 의해 정 의되는 내측을 향해 개구된 홈 형태로 형성된다. 확산판 끼움부(26)에 의해 확산판(40)이 끼워져 고정된다.

홈 형태의 확산판 끼움부(26)의 바닥면(28)에는 걸림턱(29)이 형성된다.

필터재(10)는 필터 프레임(20)에 의해 외곽이 지지되는 형태로 설치되는 데, 필터 프레임(20)과의 사이에 우레탄 재질의 패드(30)가 설치된다. 우레탄 패드(30)는 필터재와 필터 프레임 사이에서 밀봉성을 유지한다.

확산판(40)은 수직하게 관통된 다수의 수직 구멍(42)이 형성된 중앙 부분과 측방 하부로 경사지게 관통된 경사 구멍(44)을 구비한 형태로서, 필터재(10)를 통해 여과된 공기가, 수직 구멍(42) 및 경사 구멍(44)을 통해 배출되면서 클린룸 내부 전체로 고르게 확산된다.

본 발명의 실시예에 따르면, 확산판(40)은 사각형 형상의 판 형태로서, 각 측단에서 상방으로 절곡되어 연장된 측벽(45)을 구비하고, 적어도 대향하는 2개의 측변(45)의 상단으로부터 외측으로 향해 절곡되어 연장된 걸림편(48)을 구비한다.

걸림편(48)의 하면에는 필터 프레임(20)의 확산판 끼움부(26)의 바닥면(28)에 형성된 걸림턱(29)과 매칭되어 걸림되는 걸림돌기(49)가 형성된다.

이하, 도면을 참조하여, 본 발명에 따른 필터 유닛의 설치 방법에 대하여 설명한다.

확산판(40)은 필터 유닛(1)의 설치 전에 조립된 상태로 설치되는 것이 가능할 뿐만 아니라, 확산판(40)이 제외된 상태로 필터 유닛(1)이 설치되고, 확산판(40)이 필터 유닛(1)에 조립되는 것이 가능하다.

확산판(40)은 필터 유닛(1)으로부터 탈부착 가능하기 때문에 필터재의 점검 등이 용이하다.

도 2 및 도 3 은 거치 프레임(110)의 연결부(300)에 장볼트(4)를 매개로 지지된 구조 프레임(5)에 필터 프레임(20)이 패드(30) 및 필터재(10)를 지지한 상태로 밀착 고정된 후, 확산판(40)이 조립되는 경우를 예로 하여 설명하고 있다.

확산판(40)은 스테인리스 스틸, 합금 강판, 내화성 플라스틱 등 다양한 소재로 제작될 수 있데, 소정의 탄성 특성을 지닌다. 따라서 확산판(40)의 측벽(45)을 내측으로 힘을 가하여 누른 상태에서, 확산판(40)을 필터재(10)의 하부 위치로 필터 프레임(20) 사이에 끼운 후, 누르는 힘을 제거하면 측벽(45)이 원 상태로 복원되면서 측벽(45)으로부터 외측으로 연장되어 있는 걸림편(48)이 필터 프레임(20) 하부의 홈 형태의 확산판 끼움부(40)에 끼워져 조립된다. 즉, 확산판(40)의 측벽(45)이 내측 방향으로 탄성적으로 움직일 수 있게 형성됨으로써, 상기 필터 프레임(20)이 상기 필터재(10)를 고정한 상태에서, 상기 확산판(40)이 상기 확산판 끼움부(26)에 탈착 가능하게 끼워지는 것이 가능하다.

필터 프레임(20)의 확산판 끼움부(26) 내측으로 확산판(40)의 걸림편(48)이 끼워진 후에는, 확산판(40)을 아래로 당기는 부하가 걸리더라도 걸림턱(29)과 걸림돌기(49)가 접촉하여 확산판의 이탈을 방지할 수 있다. 따라서 확산판(40)이 필터 프레임(20)에서 쉽게 탈리되지 않는다. 물론, 확산판(40)의 탈리를 목적으로, 소정의 힘 이상의 힘으로 확산판을 아래로 당기는 경우, 걸림돌기(49)가 걸림턱(29)을 타고 넘으면서 걸림편(48)이 홈 형태의 확산판 끼움부(26)로부터 벗어나고, 이에 따라 확산판(40)을 탈리할 수 있다. 이에 따라 확산판(40)을 끼움 방식으로 용이하게 고정가능하게 되며, 탈리를 위해 인위적으로 가해지는 힘에 탈리가능하므로 관리가 용이하게 된다. 본 발명은 이와 같은 방식으로 확산판 설치를 위한 확산판 구조체를 생략할 수 있다.

이하, 본 발명의 다른 실시예를 설명한다.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 필터 유닛의 단면도이고, 도 6 은 도 5 의 A 부분의 확대 단면도이며, 도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 확산판을 도시한 도면이다. 도 5 내지 도 7을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따르면, 확산판(46)은 사각형 형상의 판 형태로서, 전술한 실시예와는 달리 각 측단에서 상방으로 절곡되어 연장되는 구조가 아니라 전체가 판형상으로 된 구조이다. 본 실시예의 다른 구성들은 전술한 실시예와 동일하므로 중복 설명을 생략한다.

도 8a 및 도 8b는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 필터 유닛의 각 구성들이고, 도 9a 및 도 9b는 도 8a 및 도 8b의 각 단면도들이며, 도 10은 도 8a 및 도 8b의 각 구성들의 결합 상태를 도시한 그림이다. 본 실시예에 따른 필터 유닛은 상술한 실시예와의 차이점을 위주로 설명하고 동일한 설명부분은 설명의 편의를 위해 생략한다.

필터 유닛은, 수용부에 설치된 팬 유닛에 밀착설치 되고, 필터재의 측면을 지지하는 측면과 측면으로부터 내측으로 연장되어 필터재(미도시, 도 2 참조)의 가 장자리를 지지하는 연장편(72,74)을 구비하는 필터 프레임(50, 70)을 구비하고, 필터재의 하부 위치로 측면 내측에 형성되는 별도의 확산판 끼움부(60)를 구비한다.

한편, 필터 프레임(50,70)은 필터재 사이에 개재되어 밀봉성을 유지시키는 우레탄 패드를 구비하되, 확산판 끼움부(60)와 필터 프레임(50,70)은 분리된 구조로 제작되어 확산판 끼움부(60)와 필터 프레임(50,70)을 고정하기 위한 고정부(62)를 구비한다. 필터 프레임(50,70)은 필터재를 에워 싸는 구조로 형성되는 제1 서브프레임들(50)과 제2 서브프레임들(70)을 구비한다. 제1 서브 프레임(50)은 확산판 끼움부(60)와 고정되는 부분이고, 제2 서브프레임(70)은 확산판이 삽입되는 삽입편(74)을 구비하고 있다,

도 8a, 도 8b, 도 9a, 도 9b, 도 10, 및 도 11을 참조하면, 필터 프레임(50,70)은 서로 대향되는 제1 서브프레임(50)과 이들과 수직인 방향으로 서로 대향되는 제2 서브 프레임(70)을 구비하여 제1 및 제2 서브프레임들은 각 쌍이 서로 대향되게 결합되는 구조를 갖는다. 결합의 방식은 제1 서브프레임(50)의 경우 예컨데 고정 나사(54)가 삽입될 수 있는 홈(52)을 측면에 구비한 상태에서 이 고정나사(54)는 제2 서브프레임(70)을 가장자리를 관통하여 홈(52)에 삽입됨으로써 지지될 수 있는 구조를 갖는다.

제2 서브프레임(70)에는 필터재의 외곽을 지지하되 필터재의 측면을 지지하는 측면과 측면으로부터 내측으로 연장되어 필터재의 가장자리를 지지하는 연장편(72,74)을 구비하고 있다. 따라서, 제1 서브프레임(50)과 제2 서브프레임(70)이 서로 결합하는 구조에서 필터재는 내부에 연장편(72,74)를 통해 안착될 수 있다. 필터재는 우레탄 패드에 의해 밀착되는 것은 전술한 실시예에서 언급한 바와 같다.

한편, 제1 서브프레임(50)과 제2 서브프레임(70)을 구비하는 필터 프레임(50,70)은 확산판 끼움부(60)와 서로 분리된 구조를 가지고 있는데, 확산판(80)이 끼워지고 난 후는 서로 고정부를 통해 고정된다. 고정하는 방식은 별도의 고정나사(66)를 통해서 고정되는 것이 바람직하지만 다른 방식도 가능함은 몰론이다. 구체적인 방식에 있어서는 예컨데 고정 나사(66)가 삽입될 수 있는 홈(62)을 확산판 끼움부(60)의 측면에 구비하여 고정나사(66)가 제2 서브프레임(70)의 가장자리를 관통하여 홈(64)에 삽입됨으로써 지지될 수 있는 구조를 갖는다. 한편, 확산판 끼움부(60)는 확산판(80)이 끼워질 수 있도록 형성된 삽입편(64)을 구비한다.

도 11에서는 확산판 끼움부(60)가 필터 프레임(50,70)의 양 쪽에 형성되는 것으로 도시하고 있으나, 실제 적용에 있어서는 전술한 실시예에 의한 방식인 확산판 끼움부가 필터프레임과 분리되지 않고 일체로 형성되는 구조와 확산판 끼움부와 필터 프레임을 분리된 구조로 형성하는 구조를 혼합적용하는 것도 가능하다. 즉, 필터 프레임(50,70)과 분리된 확산판 끼움부(60)는 일 단부 또는 양쪽 모두에 형성될 수 있다.

한편, 본 발명의 실시예에 따른 조립 방식의 일예를 설명하면 다음과 같다.

먼저, 도 8a, 도 8b, 도 9a, 도 9b, 및 도 10을 참조하면, 제1 서브프레임(50)과 제2 서브프레임(70)을 구비하는 필터 프레임(50,70)을 먼저 조립한다. 구체적으로는, 고정 나사(54)에 의해 2 서브프레임(70)을 관통하여 제1 서브프레임(50)의 홈(52)을 통해 고정나사가 고정된다.

다음으로, 도 11을 참조하면, 필터재가 필터 프레임(50,70) 내부에 삽입되어 패킹되고 이 경우 우레탄 패드에 의해 밀착 고정된다. 이는 전술한 실시예에 설명한 것을 참조할 수 있다(도 2 등 참조). 이 때 본 실시예에 의하면 필터재의 누수(leak)가 발생하는 지의 여부를 체크할 수 있다. 필터재의 누수 체크 여부는 실제 조립시에 중요한 요인으로 실제로 제작된 구조물의 코너부위에서 필터재 누수가 발생하는 지의 여부를 체크한다.

다음으로, 확산판(80)을 확산판 끼움부(60)의 삽입편(64)에 삽입시킨다. 이 때, 확산판(80)은 필터 프레임의 제2 서브프레임(70)의 하부에 형성되어 있는 삽입편(64)에 의해 안내되어 삽입된다. 삽입후, 고정 나사(66)를 통해 확산판 끼움부(60)를 필터 프레임(50,70)에 고정나사(66)를 이용하여 확산판 끼움부(60)를 제2 서브프레임(70)에 고정시킨다. 도 11 및 도 12는 본 발명의 실시예에 따라서 확산판(80)이 끼워지는 상황을 도시한 도면이다. 다만, 고정방식은 고정나사를 이용한 방식에 한정되지 않고, 클립이나 핀 등으로 고정하는 등 특별히 한정되지 않은 다양한 방식으로 가능함은 자명하다.

도 1 은 본 발명에 따른 클린룸 천장 시스템의 필터 유닛의 설치 구조를 보여주는 도면.

도 2 는 본 발명의 일실시예에 따른 필터 유닛의 단면도, 도 3 은 도 2 의 A 부분의 확대단면도, 도 4 는 본 발명의 일실시예에 따른 확산판을 도시한 도면.

도 5 는 본 발명의 다른 실시예에 따른 필터 유닛의 단면도, 도 6 은 도 5 의 A 부분의 확대단면도, 도 7 은 본 발명의 다른 실시예에 따른 확산판을 도시한 도면.

도 8a 및 도 8b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 필터 유닛의 각 구성들의 도면.

도 9a 및 도 9b는 도 8a 및 도 8b의 각 단면도들이며, 도 10은 도 8a 및 도 8b의 각 구성들의 결합 상태를 도시한 그림.

도 11 및 도 12는 본 발명의 다른 실시예에 따라서 확산판 끼움부에 확산판(80)이 끼워지는 상황을 도시한 도면들이다.

Claims (8)

1. 클린룸의 천장에 현수되어 지지되는 거치 프레임에 고정되는 구조 프레임에 의해 지지되는 클린룸 천장 시스템의 필터 유닛으로서,

   상기 거치 프레임은 팬 유닛이 설치되는 수용부를 구비하며,

   상기 필터 유닛은 상기 수용부에 설치된 팬 유닛에 밀착 설치되며,

   상기 필터 유닛은,

   필터재;

   상기 구조 프레임에 의해 지지되고, 상기 필터재의 외곽을 지지하되 상기 필터재의 측면을 지지하는 측면과 상기 측면으로부터 내측으로 연장되어 상기 필터재의 가장자리를 지지하는 연장편, 및 상기 필터재의 하부 위치로 상기 측면 내측에 내측을 향해 개구된 홈 형태로 형성되는 확산판 끼움부를 구비한 필터 프레임;

   상기 필터 프레임과 상기 필터재 사이에 개재되어 밀봉성을 유지시키는 패드; 및

   상기 필터재를 통해 여과된 공기가 룸 내부로 배출되는 다수개의 구멍을 가진 확산판으로서, 측벽 중 적어도 대향하는 측벽의 상단에서 외측을 향해 연장된 걸림편을 구비하여, 상기 걸림편이 상기 확산판 끼움부에 끼움 조립되는 형태로 상기 필터 프레임에 고정되는, 확산판을 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸 천장 시스템의 필터 유닛.
2. 삭제
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 확산판의 측벽이 내측 방향으로 탄성적으로 움직일 수 있게 형성됨으로써, 상기 필터 프레임이 상기 필터재를 고정한 상태에서, 상기 확산판이 상기 확산판 끼움부에 탈착 가능하게 끼워지는 것을 특징으로 하는 클린룸 천장 시스템의 필터 유닛.
4. 제 1 항에 있어서,

   상기 홈 형태의 확산판 끼움부는 바닥면에 걸림턱이 형성되고,

   상기 확산판의 끼움조립부에는 상기 걸림턱에 매칭되는 걸림돌기가 형성된 것을 특징으로 하는 클린룸 천장 시스템의 필터 유닛.
5. 제 1 항에 있어서,

   상기 확산판은 판 형상 또는 측단에서 상방으로 절곡되어 연장된 측벽을 구비하는 구조인 클린룸 천장 시스템의 필터 유닛.
6. 클린룸의 천장에 현수되어 지지되는 거치 프레임에 고정되는 구조 프레임에 의해 지지되는 클린룸 천장 시스템의 필터 유닛으로서,

   상기 거치 프레임은 팬 유닛이 설치되는 수용부를 구비하며,

   상기 필터 유닛은 상기 수용부에 설치된 팬 유닛에 밀착 설치되며,

   상기 필터 유닛은,

   필터재;

   상기 필터재의 외곽을 지지하되 상기 필터재의 측면을 지지하는 측면과 상기 측면으로부터 내측으로 연장되어 상기 필터재의 가장자리를 지지하는 연장편를 구비하는 필터 프레임;

   상기 필터 프레임의 양쪽 또는 한쪽의 측면의 상기 필터재의 하부 위치로 상기 측면 내측에 형성되는 확산판 끼움부; 및

   상기 필터 프레임과 상기 필터재 사이에 개재되어 밀봉성을 유지시키는 패드를 구비하되,

   상기 확산 끼움부와 상기 필터 프레임은 분리된 구조로, 확산판이 삽입된 후 서로 고정하기 위한 고정부를 구비하는 것을 특징으로 하는 클린룸 천장 시스템의 필터 유닛.
7. 제 6 항에 있어서,

   상기 필터 프레임은 상기 필터재를 에워싸는 구조로 형성되어, 서로 대향하는 제1 서브프레임들과 이들과 수직인 방향으로 서로 대향되는 제2 서브프레임들을 구비하는 클린룸 천장 시스템의 필터 유닛.
8. 삭제

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