KR100922616B1 - 필름 검사장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 필름의 불량여부를 검사할 시 이송시스템에 가스패드를 적용하여 필름의 평탄도를 유지한 채로 고속 이송 및 검사를 실시할 수 있는 필름 검사장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 필름 검사장치는 가스가 분사되는 한 쌍의 가스패드가 상하로 대향 배치되어 그 사이로 필름이 이송되는 가스정렬부와; 상기 가스정렬부를 통과하여 이송되는 필름을 검사하도록 구비되는 필름검사부를 포함하고, 상기 한 쌍의 가스패드 중 적어도 어느 하나에는 상기 필름검사부에 필름을 노출시키는 노출부가 형성되는 것을 특징으로 한다.

편광필름, 불량검사, 가스패드

Description

필름 검사장치{FILM INSPECTION SYSTEM}

본 발명은 필름 검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 필름의 불량여부를 검사할 시 이송시스템에 가스패드를 적용하여 필름의 평탄도를 유지한 채로 고속 이송 및 검사를 실시할 수 있는 필름 검사장치 및 필름 검사방법에 관한 것이다.

일반적으로 편광필름은 액정셀의 일면 또는 양면에 점착하여 엘씨디 패널의 일부로서 사용된다. 엘씨디(LCD; Liquid Crystal Display)란 TV나 컴퓨터 등의 모니터에 사용되고 있는 음극선관(CRT, Cathode Ray Tube)을 대체하기 위해 개발된 표시장치로, 경량·박형설계가 용이하고 고화질, 저소비전력 등의 장점을 가지므로 산업에서 널리 이용되고 있다.

위와 같이 엘씨디 패널에 사용되는 편광필름의 구성은 용도별로 차이가 있지만, 통상적으로 편광필름의 양측면에 보호필름이 부착된 적층구조로 구성된다. 상기 편광필름의 일측면에는 엘씨디 패널에 부착하기 위한 접착제층이 형성된다.

이러한 편광필름은 그 내부 또는 보호필름 사이의 적층 계면(界面)에 기포와 같은 불량 요소가 존재하면 화질저하의 원인이 되기 때문에 엘씨디 패널에 부착하 기 전에 검사할 필요가 있다.

편광필름을 검사하는 방법으로는, 편광필름의 일면에 비스듬하게 광을 조사하고 그 반사광을 검사하는 반사방법과, 편광필름의 일면에 수직으로 광을 조사하고 반대편에서 그 투과광을 검사하는 투과방법이 공지되어 있다.

통상적으로 편광필름은 플렉서블(flexible)한 상태이고, 롤에 권취되는 두루마리 상태로 공급되어 커팅과정과 같은 소정의 과정을 거쳐 생산되는데, 이렇게 생산된 편광필름을 검사하는 도중 편광필름의 중앙부가 휘어지거나 선단부 및 후단부가 휘어서 말리는 현상이 발생됨에 따라 그 검사의 정확도가 현저히 감소되는 문제점이 있었다.

그래서 종래에는 편광필름을 평탄하여 유지할 수 있는 별도의 클램핑수단을 구비하여 편광필름의 가장자리를 클램핑하여 검사하거나, 이송되는 컨베이어에 정전기를 이용하여 밀착시켜서 평탄도를 유지하는 등 다양한 방법이 시도되었다.

하지만, 편광필름을 별도의 클램핑수단을 이용하여 정렬하는 방법은 편광필름의 표면에 스크레치가 발생될 우려가 있음은 물론, 편광필름의 가장자리부분은 검사가 불가능하고, 클램핑수단에 의해 편광필름을 클램핑하는 과정을 별도로 진행하여야 하기 때문에 시간이 상당히 소요되는 단점이 있었다.

또한, 정전기를 이용하여 편광필름을 컨베이어에 밀착시키는 방법은 정전기 공급에 따른 편광필름의 손상 우려가 항상 존재하고, 정전기 강도를 정확하게 조절해야하는 문제점과 강도 조절 실패시 편광필름의 평탄도가 유지되지 않는 단점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명은 가스를 고르게 분사하는 가스패드를 이용하여 필름을 손쉽고 안전하게 이송 및 평탄도를 유지시키고, 가스패드를 통과하여 이송되는 필름의 검사를 신속하게 진행할 수 있도록 하는 필름 검사장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 필름 검사장치는 가스가 분사되는 한 쌍의 가스패드가 상하로 대향 배치되어 그 사이로 필름이 이송되는 가스정렬부와; 상기 가스정렬부를 통과하여 이송되는 필름을 검사하도록 구비되는 필름검사부를 포함하고, 상기 한 쌍의 가스패드 중 적어도 어느 하나에는 상기 필름검사부에 필름을 노출시키는 노출부가 형성되는 것을 특징으로 한다.

이때 상기 노출부는 상기 가스패드를 관통하여 형성되는 것을 특징으로 한다.

그리고, 상기 노출부는 필름의 이송방향과 교차되는 방향으로 서로 간에 이격 배치되는 다수개의 슬롯으로 형성되는 것이 바람직하고, 상기 노출부는 적어도 2 열 이상으로 형성되는 것이 바람직하다.

이때 상기 노출부는 필름의 이송방향과 교차되는 방향으로 배치되는 제 1노출부와; 상기 제 1노출부와 이격되어 평행하게 배치되는 제 2노출부를 포함하고, 상기 제 1노출부를 형성하는 슬롯과 상기 제 2노출부를 형성하는 슬롯은 서로 엇갈리게 배치되며, 상기 제 2노출부를 형성하는 슬롯의 폭은 상기 제 1노출부를 형성하는 슬롯 간의 간격보다 크거나 같은 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 노출부는 필름의 이송방향과 교차되는 방향으로 형성되어 필름의 폭보다 길거나 같은 길이를 갖는 슬롯인 것을 특징으로 한다.

그리고, 상기 노출부는 한 쌍의 가스패드에 각각 형성되고, 그 형성위치는 서로 대향되는 위치에 구비되는 것을 특징으로 한다.

더불어 상기 한 쌍의 가스패드는 서로 대향되는 면에 다수의 가스 분사구가 형성되고, 외부에서 공급되는 가스가 상기 가스 분사구를 통해 균일하게 분사되는 것을 특징으로 한다.

그리고, 상기 필름검사부는 상기 한 쌍의 가스패드 중 적어도 어느 하나의 가스패드에 인접되도록 배치되고, 가스패드의 노출부로 노출되는 필름의 상면 또는 하면 중 적어도 어느 한 면에 비스듬하게 광을 조사하기 위한 조명과, 상기 조명에서 조사되어 반사되는 광을 검출하는 카메라를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 노출부는 상기 가스패드를 관통하는 슬롯이고, 상기 슬롯의 내측에는 상기 조명의 조사 각도 및 카메라의 검출 각도와 같거나 작은 각도를 갖는 경사면을 형성하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면, 가스가 일정하게 분사되는 가스패드 사이로 필름을 통과시킴에 따라 별도의 필름 정렬 및 평탄도 유지 과정을 진행하지 않아도 되는 효과가 있다.

또한, 필름이 이송되는 가스패드에 노출부를 형성하고, 이러한 가스패드 사이로 필름이 이송되는 도중, 노출부를 통하여 노출되는 필름에 대하여 불량검사가 이루어지기 때문에 연속 및 고속 불량검사를 할 수 있고, 이에 따라 검사 시간을 단축하여 장비의 운영 효율을 극대화할 수 있는 효과가 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 더욱 상세히 설명하기로 한다.

그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.

도 1은 본 발명에 따른 필름 검사장치를 개략적으로 보여주는 구성도로서, 도면에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 필름 검사장치는 편광필름(1)이 연속적으로 공급되는 제1이송부(10)와; 상기 제1이송부(10)에 인접배치되고, 가스가 분사되는 한 쌍의 가스패드(21a,21b)가 상하로 대향 배치되어 제1이송부(10)로부터 공급된 편광필름(1)을 전달받아, 한 쌍의 가스패드(21a,21b) 사이로 편광필름(1)이 이송되는 가스정렬부(20)와; 상기 가스정렬부(20)에서 이송되는 편광필름(1)을 검사하도록 구비되는 필름검사부(40)와; 가스정렬부(20)에 인접배치되어 검사된 편광필름(1)을 전달받아 배출하는 제2이송부(50)를 포함한다.

제1이송부(10) 및 제2이송부(50)는 편광필름(1)을 상면에 안착시킨 상태에서 연속적으로 상기 가스정렬부(20)로 인입시키고, 상기 가스정렬부(20)로부터 인출되는 편광필름(1)을 전달받아 이송시키는 수단이다. 제1이송부(10) 및 제2이송부(50)는 편광필름(1)을 이송할 수 있는 수단이면 어떠한 방식을 채택하여도 무방하다. 예를 들어 본 발명에서는 롤 타입의 이송컨베이어를 채택하였다. 이하, 제1이송부(10)은 제1이송컨베이어로 설명하고, 제2이송부(50)은 제2이송컨베이어로 설명한다.

이때 상기 제1이송컨베이어(10) 및 상기 제2이송컨베이어(50)가 가스정렬부(20)와 인접되는 위치의 상측에는 각각 편광필름(1)의 상면과 밀착시켜 회전함에 따라 편광필름(1)을 이송시키는 이송롤러(11,51)가 각각 설치된다. 바람직하게는 상기 이송롤러(11,51)는 각각 한 쌍이 상하로 배치되어 서로 반대방향으로 회전됨에 따라 그 사이를 통과하는 편광필름(1)을 밀착시켜 이송시키는 것이 좋을 것이다.

가스정렬부(20)는 상기 제1이송컨베이어(10)와 제2이송컨베이어(50) 사이에 배치되고, 한 쌍의 가스패드(21a,21b)가 상하로 대향 배치되어 그 사이로 편광필름(1)이 이송되는 수단이다.

본 발명에서 설명되는 가스패드(21a,21b)는 어느 한 면에 다수의 가스 분사구(23)가 형성되고, 별도의 가스공급수단(미도시)에서 공급되는 가스가 상기 가스 분사구(23)로 균일하게 분사된다. 그래서, 공급되는 가스의 힘에 의해 편광필름(1)의 평탄도를 유지하는 것이다. 이러한 가스패드(21a,21b)는 가스를 소정의 면적에 균일하게 분사하여 그 지점을 통과하는 편광필름(1)의 평탄도가 평평하게 유지될 수 있다면 어떠한 형상을 갖는다고 하여도 무방하나, 가스 분사구(23)가 형성되는 면은 적어도 편광필름(1)의 폭보다 넓은 폭을 갖는 것이 바람직하다.

가스패드(21a,21b)에 공급되는 가스로는 에어(air)를 비롯하여 편광필름(1)에 영향을 미치지 않는 여러 가스가 사용될 수 있으며, 본 발명에서는 에어를 사용하였지만 이에 한정되지는 않는다.

도 2는 본 발명에 따른 필름 검사장치의 원리를 보여주는 설명도이다.

도면에 도시된 바와 같이 본 발명에서는 한 쌍의 가스패드(21a,21b)를 상하로 배치하고, 가스가 분사되는 면을 서로 대향배치하며, 상하 가스패드(21a,21b)에 동일한 압력의 가스를 공급하여 분사함에 따라 한 쌍의 가스패드(21a,21b) 사이를 통과하는 편광필름의 상면과 하면에 균일하게 가스가 분사되어 플렉서블한 성질의 편광필름(1)을 평평하게 유지된 상태에서 고속으로 이동시킬 수 있는 장점이 있다.

그리고, 상기 한 쌍의 가스패드(21a,21b) 중 어느 하나 또는 모두에는 상기 필름검사부(40)에 편광필름(1)을 노출시키는 노출부(30)가 형성된다. 그리고, 도면에 도시된 바와 같이 상기 한 쌍의 가스패드(21a,21b)에 형성되는 노출부(30)는 가스패드(21a,21b)를 관통하여 형성하는 것이 바람직하다.

도 3은 본 발명에 따른 필름 검사장치를 보여주는 사시도이고, 도 4는 본 발명에 따른 필름 검사장치의 가스패드를 보여주는 평면도로서, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 상기 노출부(30)는 가스패드(21a,21b)를 관통하는 다수개의 슬롯(31a,33a)으로 형성된다. 이때 상기 다수개의 슬롯(31a,33a)은 편광필름의 이송방향과 교차하는 방향으로 서로 간에 이격되어 배치된다. 이때 상기 노출부(30) 즉, 다수개의 슬롯(31a,33a)이 서로 이격되어 평행하게 배치되는 슬롯(31a,33a)으로 이루어지는 열(후술되는 제 1노출부 및 제 2노출부)은 적어도 2 열 이상이 형성되는 것이 바람직하다.

도 4를 참조하면, 상기 노출부(30)는 다수개의 슬롯(31a)이 편광필름(1)의 이송방향과 교차하는 방향으로 서로 간에 이격 배치되는 제 1노출부(31)와; 다수개의 슬롯(33a)이 상기 제 1노출부(31)와 이격되어 수평하게 배치되는 제 2노출부(33)를 포함한다. 이때 상기 제 1노출부(31)를 형성하는 다수의 슬롯(31a)과 상기 제 2노출부(33)를 형성하는 다수의 슬롯(33a)은 서로 엇갈리게 배치되는 것이 바람직하다. 그리고, 상기 제 1노출부(31)의 폭, 즉 제 1노출부(31)의 최외각에 배치되는 슬롯(31a) 간의 최대 간격(d1)은 편광필름(1)의 폭(D)보다 넓게 되도록 배치되는 것이 바람직하다. 또한, 제 2노출부(33)를 형성하는 슬롯(33a)의 위치 즉, 제 2노출부(30)를 구성하는 슬롯(33a)의 폭(d3)은 제 1노출부(31)를 구성하는 슬롯(31a) 사이의 간격(d2)보다 크거나 같게 형성되는 것이 바람직하다.

물론 상기 노출부(30)는 제시된 실시예에 한정되는 것이 아니라, 편광필름이 가스패드를 통과하는 동안 평탄도가 유지된 상태에서 적어도 한번은 노출부를 통하여 필름검사부에 노출될 수 있다면 어떠한 형상 및 배치를 가져도 무방하다.

도 5는 가스패드의 다른 실시예를 보여주는 평면도로서, 도 5에 도시된 바와 같이 가스패드(21a,21b)에 형성되는 상기 노출부(30)는 편광필름(1)의 이송방향과 교차하는 방향으로 형성되어 편광필름의 폭방향으로 긴 길이를 갖는 슬롯(35)일 수 있다. 이때 슬롯(35)의 형성 길이(d4)는 편광필름(1)의 폭(D)보다 길거나 같게 형성되는 것이 바람직하다. 물론 노출부(30)가 폭 방향으로 길게 형성되는 경우에도 2 열 이상으로 배치될 수 있을 것이다.

그리고, 상기 노출부(30)는 후술되는 조명(41)의 조사 각도(a2) 및 카메라(43)의 검출 각도(a3)와 대응되는 각도(a1)를 갖는 경사면(T)을 형성하는 것이 좋다. 바람직하게는 상기 경사면(T)이 편광필름(1)과 이루는 각도(a1)가 조명(41)의 조사 각도(a2) 및 카메라(43)의 검출 각도(a3)보다 같거나 작은 것이 바람직하다. 그 이유는 노출부(30)의 면적를 최소화하여 가스패드(21a,21b)가 서로 대향되는 면적을 최대화 함에 따라 가스 분사구(23)에서 분사되는 가스가 편광필름(1)과 최대한 많이 접촉하도록 하여 편광필름(1)의 평탄도 유지가 원활하게 이루어질 수 있도록 하기 위함이다.

필름검사부(40)는 반사방법 또는 투과방법과 같이 편광필름(1)의 불량을 검사할 수 있는 방법에 사용되는 어떠한 장비여도 무방하다. 본 실시예에서는 반사방법을 채택함에 따라 편광필름(1)의 상면 및 하면에 비스듬하게 광을 조사하기 위한 조명(41)과, 상기 조명(41)에서 조사되어 반사되는 광을 검출하는 카메라(43)로 구성하였다.

상기 조명(41) 및 카메라(43)는 가스패드(21a,21b)의 상부 및 하부에 각각 별개로 하나 또는 다수개 설치하여 편광필름(1)의 상면과 하면을 동시에 검사한다. 하지만, 이에 한정되지 않고, 편광필름(1)의 상면 또는 하면 중 어느 한 면에서 광을 조사하여 반사광을 검출함에 따라 편광필름(1)의 어느 한 면만을 검사할 수 있도록 구비될 수 있다. 예를 들어 도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 필름 검사장치를 개략적으로 보여주는 구성도로서, 도 6에 도시된 바와 같이 상부에 배치되는 가스패드(21a)에만 노출부(30)가 형성되고, 조명(41) 및 카메라(43)도 상부에 배치된 가스패드(21a)의 노출부(30)로만 광을 조사하고 검출함에 따라 편광필름(1)의 상면만을 검사한 다음, 편광필름(1)을 반전시켜 가스패드(21a,21b) 사이로 투입하고, 그 반대면(하면)을 검사할 수 있을 것이다. 물론, 이에 한정되지 않고, 하부에 배치되는 가스패드(21b)에만 노출부(30)가 형성되고, 조명(41) 및 카메라(43)도 하부에 배치된 가스패드(21b)의 노출부(30)로만 광을 조사하여 편광필름(1)의 하면만을 검사할 수 있을 것이다.

이하, 본 발명에 따른 필름 감사장치를 이용하여 편광필름을 검사하는 과정을 도면을 참조하여 설명한다.

도 7a 내지 도 7는 본 발명에 따른 필름 검사장치의 검사과정을 보여주는 개략도이다.

편광필름(1)을 검사하는 과정은 크게 편광필름(1)을 공급하는 단계; 가스정렬부(20)로 투입된 편광필름(1)의 상면과 하면에 균일하게 가스를 분사하여 평평하게 정렬시키며 이송하는 단계; 편광필름(1)이 평평하게 정렬되어 이송될 때 노출부(30)를 통하여 노출된 편광필름(1)의 일부 영역을 검사하는 단계; 검사가 완료된 편광필름(1)을 배출하는 단계를 포함한다.

편광필름(1)을 공급하는 단계는 적당한 크기로 제조된 편광필름(1)을 검사하 기 위하여 연속적으로 제1이송컨베이어(10)에 로딩시키는 단계로서, 종래에 편광필름(1)을 별도의 클램핑 수단이나 정전기 등을 이용하여 정렬하는 것과 같은 별도의 정렬단계를 필요치 않는다.

편광필름(1)을 정렬하며 이송시키는 단계와 편광필름을 검사하는 단계는 동시에 이루어지는 단계로서, 서로 대향 배치된 한 쌍의 가스패드(21a,21b) 사이를 편광필름(1)이 통과하면서 가스패드(21a,21b)에서 분사되는 가스에 의해 평편하게 유지되고, 계속되는 편광필름(1)의 이송에 따라 편광필름(1)이 노출부(30)를 통하여 필름검사부(40)에 노출되는 시점에 편광필름(1)의 검사가 이루어진다.

도 7a에 도시된 바와 같이 편광필름(1)이 제1이송컨베이어에서 가스패드(21a,21b) 사이로 인입되면 가스패드(21a,21b)에서 분사되는 가스에 의해 평편하게 유지된 채로 노출부(30) 방향으로 이송된다.

도 7b에 도시된 바와 같이 이송되는 편광필름(1)은 그 선단이 제 1노출부(31)를 구성하는 슬롯(31a)를 통과하면서 필름검사부(40)에 노출된다. 이때, 편광필름(1)의 전체 면적 중 제 1노출부(31)에 노출되는 영역(A)만 검사가 이루어진다.

그리고, 도 7c에 도시된 바와 같이 계속 이송되는 편광필름(1)은 그 선단이 제 2노출부(33)를 구성하는 슬롯(33a)을 통과하면서 필름검사부(40)에 노출된다. 그래서, 편광필름(1)의 전체 면적 중 제 2노출부(33)에 노출되는 영역(B)의 검사가 이루어져서 편광필름(1) 전체 면적에 대한 검사가 이루어지는 것이다.

편광필름(1)을 배출하는 단계는 검사가 완료되어 가스정렬부(20)에서 인출되 는 편광필름(1)을 제2이송컨베이어로 전달받아 언로딩시키는 단계이다.

본 발명에서는 검사 대상물을 편광필름으로 제시하였지만, 이에 한정되지 않고, 비교적 두께가 얇고 시트 형상을 갖는 어떠한 대상물도 검사가 가능할 것이다.

한편, 본 발명은 상술한 실시예로만 한정되는 것이 아니라 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 수정 및 변형하여 실시할 수 있고, 그러한 수정 및 변형이 가해진 것도 본 발명의 기술적 사상에 속하는 것으로 보아야 한다.

도 1은 본 발명에 따른 필름 검사장치를 개략적으로 보여주는 구성도이고,

도 2는 본 발명에 따른 필름 검사장치의 원리를 보여주는 설명도이며,

도 3은 본 발명에 따른 필름 검사장치를 보여주는 사시도이고,

도 4는 본 발명에 따른 필름 검사장치의 가스패드를 보여주는 평면도이며,

도 5는 가스패드의 다른 실시예를 보여주는 평면도이고,

도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 필름 검사장치를 개략적으로 보여주는 구성도이며,

도 7a 내지 도 7는 본 발명에 따른 필름 검사장치의 검사과정을 보여주는 개략도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1: 편광필름 10: 제1이송부

20: 가스정렬부 21a,21b: 가스패드

30: 노출부 31: 제 1노출부

33: 제 2노출부 31a,33a,35: 슬롯

40: 필름검사부 41: 조명

43: 카메라 50: 제2이송부

Claims (10)

1. 가스가 분사되는 한 쌍의 가스패드가 상하로 대향 배치되어 그 사이로 필름이 이송되는 가스정렬부와;

   상기 가스정렬부를 통과하여 이송되는 필름을 검사하도록 구비되는 필름검사부를 포함하고,

   상기 한 쌍의 가스패드 중 적어도 어느 하나에는 상기 필름검사부에 필름을 노출시키는 노출부가 형성되는 것을 특징으로 하는 필름 검사장치.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 노출부는 상기 가스패드를 관통하여 형성되는 것을 특징으로 하는 필름 검사장치.
3. 제 2항에 있어서,

   상기 노출부는 필름의 이송방향과 교차되는 방향으로 서로 간에 이격 배치되는 다수개의 슬롯으로 형성되는 것을 특징으로 하는 필름 검사장치.
4. 제 3항에 있어서,

   상기 노출부는 적어도 2 열 이상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 필름 검사장치.
5. 제 4항에 있어서,

   상기 노출부는 필름의 이송방향과 교차되는 방향으로 배치되는 제 1노출부와; 상기 제 1노출부와 이격되어 평행하게 배치되는 제 2노출부를 포함하고,

   상기 제 1노출부를 형성하는 슬롯과 상기 제 2노출부를 형성하는 슬롯은 서로 엇갈리게 배치되며,

   상기 제 2노출부를 형성하는 슬롯의 폭은 상기 제 1노출부를 형성하는 슬롯 간의 간격보다 크거나 같은 것을 특징으로 하는 필름 검사장치.
6. 제 2항에 있어서,

   상기 노출부는 필름의 이송방향과 교차되는 방향으로 형성되어 필름의 폭보다 길거나 같은 길이를 갖는 슬롯인 것을 특징으로 하는 필름 검사장치.
7. 제 2항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 노출부는 한 쌍의 가스패드에 각각 형성되고, 그 형성위치는 서로 대향되는 위치에 구비되는 것을 특징으로 하는 필름 검사장치.
8. 제 1항에 있어서,

   상기 한 쌍의 가스패드는 서로 대향되는 면에 다수의 가스 분사구가 형성되고, 외부에서 공급되는 가스가 상기 가스 분사구를 통해 균일하게 분사되는 것을 특징으로 하는 필름 검사장치.
9. 제 1항에 있어서,

   상기 필름검사부는 상기 한 쌍의 가스패드 중 적어도 어느 하나의 가스패드에 인접되도록 배치되고, 가스패드의 노출부로 노출되는 필름의 상면 또는 하면 중 적어도 어느 한 면에 비스듬하게 광을 조사하기 위한 조명과, 상기 조명에서 조사되어 반사되는 광을 검출하는 카메라를 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 검사장치.
10. 제 9항에 있어서,

    상기 노출부는 상기 가스패드를 관통하는 슬롯이고,

    상기 슬롯의 내측에는 상기 조명의 조사 각도 및 카메라의 검출 각도와 같거나 작은 각도를 갖는 경사면을 형성하는 것을 특징으로 하는 필름 검사장치.

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