KR100918479B1 - 테스트핸들러 - Google Patents

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KR100918479B1 KR1020080011050A KR20080011050A KR100918479B1 KR 100918479 B1 KR100918479 B1 KR 100918479B1 KR 1020080011050 A KR1020080011050 A KR 1020080011050A KR 20080011050 A KR20080011050 A KR 20080011050A KR 100918479 B1 KR100918479 B1 KR 100918479B1
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(주)테크윙
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Abstract

본 발명은 테스트핸들러, 더 구체적으로 챔버에 설치되는 이송장치의 벨트인장력조절장치와 이를 이용한 벨트구동시스템에 관한 것으로서, 벨트구동시스템의 벨트 인장력을 조절하는 장치에 있어서, 벨트의 풀리를 회전 지지하고, 풀리의 회전 중심으로부터 편심되는 편심축을 가지는 편심부재와, 풀리의 회전 중심을 이동시킴으로써 벨트의 인장력이 조절되도록 편심축을 중심으로 편심부재를 회전시키는 인장력조절구동수단을 포함한다. 본 발명은 벨트와의 비접촉에 의해 인장력을 조절함과 아울러 인장력 조절을 위해 벨트에 무리한 힘을 가하지 않도록 함으로써 벨트의 손상을 방지하고, 벨트를 회전 지지하는 풀리의 회전 중심 이동에 의해 벨트의 인장력을 조절함으로써 인장력 조절 과정 중에도 벨트에 의한 구동력의 전달을 정밀하게 유지하도록 하며, 편심부재의 회전각을 조절하여 풀리의 회전 중심 이동량을 조절함으로써 벨트의 인장력을 정밀하게 조절할 수 있고, 벨트의 인장력 변화에 따른 실린더 내부의 유체 압력과의 차이를 이용하여 스스로 벨트의 인장력을 조절 내지 보정하도록 하는 효과를 가지고 있다.
Figure R1020080011050
벨트, 인장력, 편심부재, 편심축, 실린더, 모터, 소크챔버, 테스트챔버

Description

테스트핸들러{Test handler}
본 발명은 테스트핸들러, 더 구체적으로 챔버에 설치되어 벨트와의 비접촉에 의해 인장력을 조절함과 아울러 인장력 조절을 위한 무리한 힘을 가하지 않도록 하고, 벨트의 인장력을 정밀하고도 정확하게 조절하도록 하는 벨트인장력조절장치와 이를 이용한 벨트구동시스템에 관한 것이다.
일반적으로, 구동원의 구동력을 전달하기 위한 수단으로 벨트가 널리 사용되고 있으며, 이러한 벨트는 자동화로 이루어지는 생산라인 등에서 제품을 직접 이송시키거나 별도의 이송장치나 검사장치 등을 이송시키기 위한 이송수단으로 사용될 뿐만 아니라, 회전력을 이용하여 구동하는 장치에서 모터의 회전력을 전달하기 위한 동력전달수단으로 사용되는 등 활용 범위가 광범위하다.
이러한 이송수단 또는 동력전달수단으로서 벨트가 사용되는 벨트구동시스템은 장시간 사용에 따른 피로에 의해 벨트가 마모되어 느슨하게 됨으로써 벨트의 인장력이 변화되고, 설치 공간의 온도 변화에 의해서도 벨트의 인장력이 변화된다.
한편, 벨트가 온도 변화에 의해 인장력이 변화되는 경우는 벨트 자체가 온도 변화에 따라 신축되는 경우뿐만 아니라 벨트를 지지하는 양측 풀리 간의 간격을 유지시키는 부재가 온도 변화에 따라 신축되는 경우에도 발생한다.
이와 같은 벨트를 사용하여 이송대상물을 이송시키거나 동력을 전달하는 경우 벨트의 인장력 변화는 정밀한 이송이나 정밀한 동작을 어렵게 한다.
특히, 반도체소자를 제조하기 위한 장치, 예컨대, 반도체소자를 테스터에 의해 테스트되도록 함과 아울러 테스트를 마친 반도체소자들을 테스트 결과에 따라 등급별로 분류하여 고객트레이에 적재되도록 하는 테스트핸들러의 경우 반도체소자를 다양한 환경 조건에 맞도록 예열 또는 예냉시키는 소크챔버(soak chamber)와 반도체소자가 테스터에 접속되도록 하는 테스트챔버(test chamber) 내에서 반도체소자를 적재한 캐리어보드('테스트트레이', '모듈캐리어' 등을 포함한다.)를 이송시키기 위하여 피더(feeder), 무브레일(move rail), 셔틀(shuttle) 등 여러 이송장치가 구비되는데, 이러한 피더 등과 같은 이송장치를 정밀하게 이송시키기 위하여 서보모터 등의 동력을 이용하는 타이밍벨트를 사용하게 되며, 이 때, 소크챔버와 테스트챔버 내의 급격한 온도변화로 인하여 풀리 간의 간격 변화 내지 벨트의 신축에 의하여 벨트의 인장력이 변화하게 된다.
이와 같이, 벨트의 인장력이 일정하게 유지되지 못하는 경우 캐리어보드 등과 같은 이송대상물을 목표 지점에 정확하게 위치시키지 못하게 됨으로써 부정확한 동작으로 인해 공정상의 오류 또는 반도체소자의 검사 불량을 발생시키고, 나아가서 모터 등의 과부하를 초래하여 시스템의 파손 등의 문제를 유발시키게 되므로 벨트의 인장력 유지는 정밀한 위치나 동작을 제어하도록 함과 동시에 모터를 과부하 로부터 보호하기 위하여 필수적인 것이다.
종래의 기술에 따른 벨트의 인장력을 조절하기 위한 장치를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도1은 종래의 기술에 따른 벨트인장력유지장치를 도시한 요부 평면도로서, 대한민국 특허청에 특허등록된 등록번호 제10-0562855호의 "선형 운동 시스템의 모터 과부하 방지장치"이며, 벨트 양측간의 인장력을 조절함으로써 모터의 과부하를 방지하기 위한 장치이다.
도1에 도시된 바와 같이, 종래의 기술에 따른 벨트 인장력유지 장치는 모터와, 모터의 회전력을 전달받아 볼하우징부가 볼스크류를 따라 직선 운동하는 직선운동부로 구성된 선형 운동 시스템에 있어서, 모터의 구동축에 결합되어 설치판 상에서 회동하는 구동풀리(36)와, 직선운동부의 일단에 회동가능하게 결합된 종동풀리(37)와, 구동풀리(36)와 종동풀리(37)에 걸쳐져 결합되어 구동풀리(36)의 회전력을 종동풀리(37)에 전달하며, 구동풀리(36)와 종동풀리(37)에 꼭 맞게 걸쳐지는 길이보다 더 긴 길이를 갖는 벨트(38)와, 회전축을 중심으로 벨트(38)의 양측방향으로 수평하게 회동하도록 설치된 회동부와, 회동부의 양측에 회전가능하게 결합되며 벨트(38) 양측 외면에서 벨트(38)를 서로의 방향으로 좁히면서 탄력적으로 지지하도록 설치되는 한 쌍의 지지롤러(43)로 구성되어, 벨트(38)의 어느 한 편이 이완되면서 다른 한편에 소정의 장력이 발생할 때 벨트(38)의 장력에 의해 일측편으로 일정량 선회하도록 된 지지부재와, 지지부재의 회동부를 탄성적으로 지지하는 탄성부재를 포함하여 구성된다.
이와 같은 종래의 기술에 따른 벨트인장력조절장치는 벨트(38) 양측간에 이완되는 힘과 당기는 힘이 각각 작용함으로써 벨트(38) 양측에 힘이 불균형이 발생하게 되면 벨트(38)의 회동부(41)의 회전에 의해 지지롤러(43)가 벨트(38)를 원활하게 회전시키도록 벨트(38) 양측간의 인장력을 조절한다.
상기한 바와 같이, 종래의 기술에 따른 벨트인장력조절장치는, 벨트의 인장력을 조절함으로써 모터의 과부하를 방지하는 작용을 하게 되지만, 다음과 같은 문제점을 가지고 있다.
첫째, 지지롤러가 벨트가 접촉에 의한 가압에 의해 인장력을 조절함으로써 벨트의 마모를 촉진시킴과 아울러 벨트 양측 간이 힘의 불균형을 해소하기 위한 갑작스런 인장력 변화를 가져오도록 함으로써 벨트에 무리를 가하여 사용주기를 감소시키고,
둘째, 벨트 양측 간의 힘의 불균형을 통해 회동부가 회전을 일으켜서 벨트 양측 간의 힘을 보정하는 시점까지 어느 정도의 시간이 필요하므로 벨트의 인장력 조절에 공백이 발생하여 벨트의 구동력을 정밀하게 전달하는 시스템에 적용하는 것이 어려우며,
셋째, 회동부의 회전을 일으키기 위한 시점과 회동부의 복원 시점을 정확하게 제어하기가 어렵다는 문제점을 가지고 있었다.
본 발명은 벨트와의 비접촉에 의해 인장력을 조절함과 아울러 인장력 조절을 위해 벨트에 무리한 힘을 가하지 않도록 함으로써 벨트의 손상을 방지하고, 벨트의 인장력을 정밀하고도 정확하게 조절하도록 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트핸들러는, 반도체 소자를 예열 또는 예냉시키는 소크챔버와 반도체소자를 테스터에 접속시키는 테스트챔버를 가지고, 상기 소크챔버 및 상기 테스트챔버에서 반도체소자를 적재한 캐리어보드를 이송시키기 위한 이송장치를 가지는 테스트핸들러에 있어서, 상기 소크챔버와 상기 테스트챔버 간에 상기 이송장치를 왕복 이송시키기 위하여 벨트구동시스템을 구비하고, 상기 벨트구동시스템은, 양단이 구동풀리와 종동풀리에 의해 회전 지지되는 벨트; 상기 구동풀리를 회전시키는 구동모터; 상기 종동풀리를 회전 지지하며, 상기 종동풀리의 회전 중심으로부터 편심되는 편심축을 가지는 편심부재; 및 상기 종동풀리의 회전 중심을 이동시킴으로써 상기 벨트의 인장력이 조절되도록 상기 편심축을 중심으로 상기 편심부재를 회전시키는 인장력조절구동수단; 을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 벨트구동시스템은, 상기 소크챔버와 상기 테스트챔버 내측에 설치되되, 상기 구동모터와 인장력조절구동수단은 상기 소크챔버와 상기 테스트챔버의 외측에 설치되는 것을 또 하나의 특징으로 한다.
상기 인장력조절구동수단은, 상기 편심축에 직교하도록 고정되는 아암; 및 상기 편심축을 중심으로 상기 아암을 회전시키는 실린더; 를 포함하는 것을 구체적인 특징으로 한다.
상기 실린더는, 상기 벨트의 인장력 변화에 따라 피스톤로드에 가해지는 압력과 내부 유체의 압력에 차이가 생기는 경우 상기 벨트의 인장력을 유지시키는 방향으로 상기 풀리의 회전 중심을 이동시키는 것을 또 하나의 구체적인 특징으로 한다.
본 발명은 벨트와의 비접촉에 의해 인장력을 조절함과 아울러 인장력 조절을 위해 벨트에 무리한 힘을 가하지 않도록 함으로써 벨트의 손상을 방지하고, 벨트를 회전 지지하는 풀리의 회전 중심 이동에 의해 벨트의 인장력을 조절함으로써 인장력 조절 과정 중에도 벨트에 의한 구동력의 전달을 정밀하게 유지하도록 하며, 편심부재의 회전각을 조절하여 풀리의 회전 중심 이동량을 조절함으로써 벨트의 인장력을 정밀하게 조절할 수 있고, 벨트의 인장력 변화에 따른 실린더 내부의 유체 압력과의 차이를 이용하여 스스로 벨트의 인장력을 조절 내지 보정하도록 하는 효과를 가지고 있다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다. 아울러 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다.
도2는 본 발명에 따른 벨트인장력조절장치를 이용한 테스트핸들러를 도시한 평면도이고, 도3은 도2의 A-A'선에 따른 단면도이고, 도4는 도2의 B-B'선에 따른 단면도이다.
본 발명에 따른 벨트인장력조절장치(100)는 이송수단 또는 동력전달수단으로서 사용되는 벨트구동시스템에서 벨트의 인장력을 조절하는 장치로서, 벨트(210)의 풀리(212)를 회전 지지하는 편심부재(110)와, 편심부재(110)를 회전시키는 인장력조절구동수단(120)을 포함한다.
편심부재(110)는 구동풀리(211)에 설치될 수 있으나, 벨트(210)를 구동시키기 위한 구동모터(220)와의 간섭을 회피함으로써 설치 및 작동을 용이하게 하기 위하여 본 실시예에서처럼 종동풀리(212) 내측에 설치됨이 바람직하며, 이하에서는 종동풀리(212)에 설치됨을 예로 들어 설명하기로 하겠다.
편심부재(110)는 종동풀리(212)의 회전을 용이하게 하기 위하여 종동풀리(212) 내측에 베어링(112)을 매개로 하여 종동풀리(212)를 회전 지지함으로써 종동풀리(212)의 회전축 역할을 하고, 종동풀리(212)의 회전 중심으로부터 편심되는 편심축(111)이 양측으로 돌출되도록 마련되며, 편심축(111) 양단이 벨트구동시스템(200)의 프레임(230)에 베어링(231)을 매개로 하여 회전 가능하게 지지됨으로써 편심축(111)을 회전 중심으로 하여 종동풀리(212)가 회전할 수 있도록 설치된다.
인장력조절구동수단(120)은 종동풀리(212)의 회전 중심을 이동시킴으로써 벨트(210)의 인장력이 조절되도록 편심축(111)을 중심으로 편심부재(110)를 회전시키는데, 이를 위해 다양한 구동수단이 적용될 수 있으며, 본 실시예에서는 편심축(111)에 고정된 아암(121)을 액츄에이터로 움직여서 편심부재(110)를 회전시킨다.
아암(121)은 편심축(111)에 직교하도록 고정되어 액츄에이터의 구동력이 편심축(111)에 작용하여 회전을 일으키도록 한다.
액츄에이터는 편심축(111)을 회전 중심으로 아암(121)을 회전시킴으로써 편 심부재(110)가 회전하도록 함으로써 종동풀리(212)의 회전 중심을 구동풀리(211)에 가까워지도록 또는 구동풀리(211)로부터 멀어지도록 이동시키는데, 아암(121)을 회전시키기 위한 구동력을 부여하기 위하여 공압 또는 유압으로 구동하는 실린더(122)가 사용되며, 실린더(122)의 피스톤로드(122a)와 몸체(122b)가 아암(121)과 설치면에 각각 힌지 결합(H)된다.
실린더(122)는 벨트(210)의 인장력 변화에 따라 피스톤로드(122a)에 가해지는 압력과 내부 유체의 압력, 예컨대 공압의 차이가 생기는 경우, 벨트(210)의 인장력을 유지시키는 방향으로 종동풀리(212)의 회전 중심을 이동시킨다.
즉, 종동풀리(212)에 설치된 편심부재(110)가 종동풀리(212)의 회전 중심으로부터 편심되는 편심축(111)을 가지는데, 이로 인해 벨트(210)의 인장력이 실린더(122)의 피스톤로드(122a)로 전달된다. 따라서, 풀리(211, 212)가 설치되는 프레임(230)의 팽창 또는 벨트(210)의 수축으로 인해 피스톤로드(122a)에 가해지는 압력이 실린더(122) 내부의 유체 압력보다 크게 되면, 피스톤로드(122a)가 후진하게 됨으로써 종동풀리(212)의 회전 중심이 구동풀리(211)와의 간격을 감소시키는 방향으로 이동하도록 편심부재(110)를 회전시키고, 프레임(230))의 수축 또는 벨트(210)의 팽창으로 인해 피스톤로드(122a)에 가해지는 압력이 실린더(122) 내부의 유체 압력보다 작게 되면, 피스톤로드(122a)가 전진하게 됨으로써 종동풀리(212)의 회전 중심이 구동풀리(211)와의 간격을 증가시키는 방향으로 이동하도록 편심부재(110)를 회전시킨다.
따라서, 실린더(122)는 벨트(210)의 인장력 변화에 따라 벨트(210)의 인장력 을 보정시키는 방향으로 스스로 편심부재(110)의 회전 중심을 이동시키며, 이를 위한 내부의 유체 압력은 벨트(210)가 가지는 인장력 크기에 따라 달라지므로 실험을 통해 얻어진다.
한편, 인장력조절구동수단(120)은 도6에 도시된 바와 같이, 다른 실시예로서, 편심축(111)에 회전축이 연결됨과 아울러 회전축의 회전각을 제어할 수 있는 모터(123)가 사용될 수 있다. 이 때, 모터(123)는 회전력을 감속기(123a)를 통해서 편심축(111)으로 전달할 수 있고, 회전축의 회전각을 제어하기 위하여 회전각을 측정하여 감지신호를 출력하는 엔코더(encoder)를 사용하여 회전각을 제어하는 서보 모터이거나 펄스로 동작시키는 스텝 모터가 사용될 수 있으며, 주변 온도에 따라 실험을 통하여 벨트(210)의 인장력을 보정 내지 유지하기 위한 회전 각도를 획득하여 이를 기초로 제어된다.
본 발명에 따른 벨트인장력조절장치(100)를 이용한 벨트구동시스템(200)은 반도체소자를 적재한 캐리어보드를 목표 위치로 이송시키는 피더(feeder)를 이송시키는 시스템으로써 도2 내지 도4에 도시된 바와 같이, 양단이 구동풀리(211)와 종동풀리(212)에 의해 회전 지지됨과 아울러 피더(미도시)가 장착되는 이송부재(213)가 고정되는 벨트(210)와, 구동풀리(211)를 회전시키는 구동모터(220)와, 종동풀리(212)를 회전 지지함과 아울러 종동풀리(212)의 회전 중심으로부터 편심되는 편심축(111)을 가지는 편심부재(110)와, 종동풀리(212)의 회전 중심을 이동시킴으로써 벨트(210)의 인장력이 조절되도록 편심축(111)을 중심으로 편심부재(110)를 회전시키는 인장력조절구동수단(120)을 포함한다.
벨트(210)는 프레임(230)에 베어링(231)을 매개로 회전 가능하게 설치되는, 지지축(211a)에 고정되는 구동풀리(211)와 편심부재(110)에 회전 지지되는 종동풀리(212)에 양단이 설치되고, 일측에 피더(feeder)가 설치되는 이송부재(213)가 고정됨으로써 구동모터(220)의 구동에 의해 이송부재(213)를 피더와 함께 직선 왕복 운동시킨다.
구동모터(220)는 구동풀리(211)의 지지축(211a)에 연결되어 구동풀리(211)를 회전시킴으로써 벨트(210)가 궤도 운동을 하도록 하고, 지지축(211a)에 축이음부재(211b)로 연결되는 감속기(221)를 통해 구동풀리(211)에 회전력을 제공할 수 있다.
편심부재(110)와 인장력조절구동수단(120)은 본 발명에 따른 벨트인장력조절장치(100)에서 상세히 설명하였으므로 그 설명을 생략하기로 하겠다.
본 발명에 따른 벨트인장력조절장치(100)를 이용한 테스트핸들러(300)는 도2에 도시된 바와 같이, 반도체소자를 예열 또는 예냉시키는 소크챔버(soak chamber; 310)와, 반도체소자를 테스터(미도시)에 접속시키는 테스트챔버(tester chamber; 320)와, 소크챔버(310)와 테스트챔버(320)에서 반도체소자를 적재한 캐리어보드를 이송시키기 위한 피더(feeder; 미도시)와, 소크챔버(310)와 테스트챔버(320) 간에 피더를 왕복 이송시키기 위한 벨트구동시스템(200)을 포함한다.
소크챔버(310)는 로딩부로부터 캐리어보드가 이송되어 오면, 반도체소자를 다양한 환경 조건에 맞도록 예열, 예컨대 150℃ 정도로 가열하거나, 예냉, 예컨대 -50℃ 정도로 냉각시키게 된다.
테스트챔버(320)는 벨트구동시스템(200)에 의해 궤도 운동하는 벨트(210)에 고정됨으로써 직선 왕복 운동하는 이송부재(213)에 설치된 피더(feeder)에 의해 소크챔버(310)로부터 캐리어보드가 이송되어 오면, 캐리어보드에 적재된 반도체소자가 테스터(tester; 미도시)에 전기적으로 접속되도록 하여 테스터에 의한 테스트가 이루어지도록 한다.
테스트챔버(320)에서 테스트를 마친 반도체소자는 디소크챔버(desoak chamber; 330)로 이송되어 상온으로 환원되어 언로딩부(미도시)에서 테스트 등급별로 분리되어 빈 고객트레이에 적재된다.
벨트구동시스템(200)은 소크챔버(310)와 테스트챔버(320) 내측에 설치되되, 구동모터(220)와 인장력조절구동수단(120)은 반도체소자의 예열과 예냉에 의하여 온도 변화가 심한 소크챔버(310)는 물론 테스트챔버(320)의 외측에 설치되도록 함으로써 온도 변화로 인해 손상되는 것을 방지하도록 함이 바람직하다. 따라서, 벨트(210)는 소크챔버(310)와 테스트챔버(320) 내측에 가로놓여지도록 구동풀리(211)와 종동풀리(212)에 의해 설치되고, 편심부재(110)의 편심축(111)과 구동풀리(211)의 지지축(211a)은 소크챔버(310)와 테스트챔버(320) 각각으로부터 인출되어 인장력조절구동수단(120)과 구동모터(220)에 각각 연결된다.
이 때, 소크챔버(310)와 테스트챔버(320)의 밀폐를 유지하기 위하여 편심축(111)에 축이음되어 인장력조절구동수단(120)에 연결되는 연장축(114)과 지지축(211a)에 축이음되는 감속기(221)의 축은 소크챔버(310)와 테스트챔버(320) 벽면에 베어링(341)을 매개로 설치되는 부싱(340)에 의해 각각 회전 지지된다.
한편, 테스트핸들러(300)에서 벨트구동시스템(200)에 대해서 이미 상세히 설명하였으므로 그 설명을 생략하기로 하겠다.
이와 같은 구성을 가지는 본 발명에 따른 벨트인장력조절장치와 이를 이용한 벨트구동시스템 및 테스트핸들러에 대한 작용은 다음과 같다.
인장력조절구동수단(120)으로서 아암(121)에 의해 편심부재(110)를 회전시키는 실린더(122)를 사용하는 경우 도5a에 도시된 바와 같이, 편심부재(110)의 편심축(111) 중심(O)과 종동풀리(212)의 중심(O')이 풀리(211, 212) 간의 배열방향에 직교하는 방향으로 위치한 상태에서 주변 온도의 영향으로 인해 소크챔버(310)나 테스트챔버(320) 내의 프레임(230)의 팽창 또는 벨트(210)의 수축에 의해 벨트(210)의 인장력이 증가하는 경우 실린더(122)의 구동에 의해 도5b에 도시된 바와 같이, 종동풀리(212)의 중심(O')이 편심축(111)의 중심(O)을 기준으로 구동풀리(211)측으로 이동하도록 편심부재(110)를 회전시킴으로써 벨트(210)의 인장력이 보정 내지 유지되도록 하며, 프레임(230)의 수축 또는 벨트(210)의 팽창에 의해 벨트(210)의 인장력이 감소하는 경우 실린더(122)의 구동에 의해 도5c에 도시된 바와 같이, 종동풀리(212)의 중심(O')이 편심축(111)의 중심(O)을 기준으로 구동풀리(211)측의 반대측으로 이동하도록 편심부재(110)를 회전시킴으로써 벨트(210)의 인장력을 보정 내지 유지시킨다.
한편, 상기한 바와 같은 벨트(210)의 인장력 조절은 실린더(122)를 직접 수동으로 구동시킴으로써 이루어질 수 있는데, 이와 달리, 실린더(122) 내의 유체 압력, 예컨대 공압에 의해 자동으로 이루어지도록 할 수 있다.
즉, 종동풀리(212)가 편심부재(120)에 의해 회전 지지되되, 편심부재(120)가 종동풀리(212)의 회전 중심으로부터 편심된 편심축(111)을 가짐으로써 벨트(210)의 인장력은 실린더(122)의 피스톤로드(122a)로 전달된다. 이 때, 도5a에 도시된 바와 같이, 편심축(111)의 중심(O)과 종동풀리(212)의 중심(O')이 이송부재(213)의 이송방향에 직교하는 방향으로 정렬된 상태에서 소크챔버(310)와 테스트챔버(320) 내측의 온도가 저온, 예컨대 -50℃ 정도인 경우 풀리(211, 212)가 설치되는 프레임(230)의 수축으로 인해 피스톤로드(122a)에 가해지는 압력(P1)이 실린더(122) 내부의 공압(P2)보다 작을 경우 도5c에 도시된 바와 같이, 피스톤로드(122a)가 전진하게 되어 종동풀리(212)의 중심(O')이 구동풀리(211)와의 간격이 증가되는 방향으로 이동하도록 편심부재(120)를 회전시킨다.
또한, 소크챔버(310)와 테스트챔버(320) 내측의 온도가 고온, 예컨대 150℃ 정도인 경우 프레임(230)의 팽창으로 인해 피스톤로드(122a)에 가해지는 압력(P1)이 실린더(122) 내부의 공압(P2)보다 커지게 됨으로써 도5b에 도시된 바와 같이, 피스톤로드(122a)가 후진하고, 이로 인해 종동풀리(212)의 중심(O')이 구동풀리(211)와의 간격이 감소되는 방향으로 이동하도록 편심부재(120)를 회전시킨다.
한편, 도6에 도시된 바와 같이, 인장력조절구동수단(120)이 모터(123)인 경우 각 온도에 따라 실험을 통해 얻어진 벨트(210)의 인장력 보정을 위한 데이터를 기준으로 해당 온도에 해당하는 각도로 회전하도록 모터(123)의 회전각을 제어함으로써 상기한 바와 같이, 편심축(111)의 중심(O)을 기준으로 종동풀리(212)의 중 심(O')을 변경시킴으로써 벨트(210)의 인장력을 조절하게 된다.
이상에서와 같이, 본 발명의 상세한 설명에서 구체적인 실시예에 관해 설명하였으나, 본 발명의 기술이 당업자에 의하여 용이하게 변형 실시될 가능성이 자명하며, 이러한 변형된 실시예들은 본 발명의 특허청구범위에 기재된 기술사상에 포함된다할 것이다.
도1은 종래의 기술에 따른 벨트인장력유지장치의 요부를 도시한 평면도이고,
도2는 본 발명에 따른 벨트인장력조절장치를 이용한 테스트핸들러를 도시한 평면도이고,
도3은 도2의 A-A'선에 따른 단면도이고,
도4는 도2의 B-B'선에 따른 단면도이고,
도5a 내지 도5c는 본 발명에 따른 벨트인장력조절장치의 작용을 설명하기 위한 요부 확대도이고,
도6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 벨트인장력조절장치를 도시한 단면도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
110 : 편심부재 111 : 편심축
112 : 베어링 113 : 축이음부재
114 : 연장축 120 : 인장력조절구동수단
121 : 아암 122 : 실린더
122a : 피스톤로드 122b : 몸체
123 : 모터 123a : 감속기
210 : 벨트 211 : 구동풀리
211a : 지지축 211b : 축이음부재
212 : 종동풀리 213 : 이송부재
220 : 구동모터 221 : 감속기
230 : 프레임 231 : 베어링
310 : 소크챔버 320 : 테스트챔버
330 : 디소크챔버 340 : 부싱
341 : 베어링

Claims (4)

  1. 반도체소자를 예열 또는 예냉시키는 소크챔버와 반도체소자를 테스터에 접속시키는 테스트챔버를 가지고, 상기 소크챔버 및 상기 테스트챔버에서 반도체소자를 적재한 캐리어보드를 이송시키기 위한 이송장치를 가지는 테스트핸들러에 있어서,
    상기 소크챔버와 상기 테스트챔버 간에 상기 이송장치를 왕복 이송시키기 위하여 벨트구동시스템을 구비하고,
    상기 벨트구동시스템은,
    양단이 구동풀리와 종동풀리에 의해 회전 지지되는 벨트;
    상기 구동풀리를 회전시키는 구동모터;
    상기 종동풀리를 회전 지지하며, 상기 종동풀리의 회전 중심으로부터 편심되는 편심축을 가지는 편심부재; 및
    상기 종동풀리의 회전 중심을 이동시킴으로써 상기 벨트의 인장력이 조절되도록 상기 편심축을 중심으로 상기 편심부재를 회전시키는 인장력조절구동수단; 을 포함하는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 벨트구동시스템은, 상기 소크챔버와 상기 테스트챔버 내측에 설치되되, 상기 구동모터와 상기 인장력조절구동수단은 상기 소크챔버와 상기 테스트챔버의 외측에 설치되는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 인장력조절구동수단은,
    상기 편심축에 직교하도록 고정되는 아암; 및
    상기 편심축을 중심으로 상기 아암을 회전시키는 실린더; 를 포함하는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 실린더는, 상기 벨트의 인장력 변화에 따라 피스톤로드에 가해지는 압력과 내부 유체의 압력에 차이가 생기는 경우 상기 벨트의 인장력을 유지시키는 방향으로 상기 풀리의 회전 중심을 이동시키는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러.
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