KR100916299B1 - Chemical application nozzle - Google Patents

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KR100916299B1
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박호윤
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주식회사 디엠에스
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    • B05B1/00—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means
    • B05B1/005—Nozzles or other outlets specially adapted for discharging one or more gases
    • G—PHYSICS
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Abstract

A chemical application nozzle is provided to drop medical liquid of which a bubble is removed through an overflow method by removing the bubble at least twice before discharging the medical liquid. In a chemical application nozzle, a nozzle body(2) comprises an outlet(N) of a slip-shape. A first rising flow path(4) transfers a medical liquid(W) flowed from the outside from down to up. A first ascending flow path(6) transfers the medial liquid from up to down, and the second ascending flow path(8) transfers the medical liquid in upward. The second descending flow path(10) supplies the outlet of the slip-shape while dropping the medical liquid in overflow state.

Description

약액도포노즐{chemical application nozzle}Chemical application nozzle

본 발명은 약액도포노즐에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 현상액과 같은 약액을 평판표시소자용 기판 측에 도포하는 작업에 사용되며, 특히 약액 중에 포함된 버블(bubble)을 간편하게 제거한 상태로 도포할 수 있는 약액도포노즐에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a chemical liquid application nozzle, and more particularly, to a chemical liquid, such as a developer, is applied to a flat panel display substrate side, and in particular, a bubble contained in the chemical liquid can be easily removed. The present invention relates to a chemical spray nozzle.

평판표시소자용 기판 제조를 위한 포토리소그라피(photolithography) 작업은 현상액과 같은 약액을 기판에 도포하는 현상 공정을 포함하여 이루어진다.Photolithography operations for manufacturing a substrate for a flat panel display device include a developing process of applying a chemical solution such as a developer onto a substrate.

상기 현상 공정은, 주로 슬릿 노즐(slit nozzle)을 이용하여 기판 측에 약액을 일정 두께로 도포하는 방식으로 진행되며, 약액의 도포시 약액 중에 포함된 버블(bubble)을 제거한 상태로 기판에 도포하는 것이 중요하다.The developing process is mainly performed by applying a chemical liquid to the substrate side using a slit nozzle with a predetermined thickness, and applying the chemical liquid to the substrate in a state in which bubbles contained in the chemical liquid are removed. It is important.

이처럼, 약액 중에 포함된 버블들을 제거한 상태로 도포가 가능한 구조를 갖는 노즐장치로는 2007년 06월 11일 자로 특허 출원되어 등록된 특허 제10-0806845호의 약액도포노즐이 있다.As such, a nozzle apparatus having a structure that can be applied while removing bubbles contained in a chemical liquid includes a chemical liquid application nozzle of Patent No. 10-0806845, filed and registered on June 11, 2007.

상기 특허 제10-0806845호의 약액도포노즐은 약액 중에 포함된 버블을 제거한 상태로 토출할 수 있는 내부 구조(유로)를 갖는다.The chemical liquid application nozzle of Patent No. 10-0806845 has an internal structure (euro) capable of discharging with the bubble contained in the chemical liquid removed.

즉, 상기 약액도포노즐의 내부에는, 하부가 유입 포트와 연결된 제1 수용부와, 이 제1 수용부와 격벽을 사이에 두고 위치되며 하부가 토출 슬릿과 연결된 제2 수용부 그리고, 상기 제1 및 제2 수용부 사이의 격벽 상부를 관통하는 상태로 정량 통로가 형성된 구조(유로)로 이루어진다.That is, inside the chemical liquid application nozzle, a lower portion of the first receiving portion connected to the inlet port, the second receiving portion is positioned with the first receiving portion and the partition between the lower portion connected to the discharge slit, and the first And a structure (euro) in which a metering passage is formed while penetrating the upper part of the partition wall between the second accommodating parts.

하지만, 상기 특허 제10-0806845호의 약액도포노즐은, 약액을 도포하기 전에 약액 중에 포함된 버블을 원활하게 제거하기 어렵다.However, the chemical liquid application nozzle of Patent No. 10-0806845, it is difficult to smoothly remove the bubbles contained in the chemical liquid before applying the chemical liquid.

예를들어, 상기 제1 수용부에 담겨진 약액 중에 버블이 발생하면 수면 위로 버블이 떠올라서 상기 격벽 상부에 형성된 정량 통로를 통해 상기 제2 수용부 측에 그대로 공급될 수 있다.For example, when bubbles are generated in the chemical liquid contained in the first accommodating part, bubbles may float on the water surface and may be supplied directly to the second accommodating part through a quantitative passage formed on the partition wall.

그러므로, 상기 제2 수용부 측에 유입된 버블이 약액 중에 포함된 상태로 상기 토츨 슬릿을 통해 쉽게 토출될 수 있다.Therefore, the bubble introduced into the second accommodating part can be easily discharged through the torch slit while being contained in the chemical liquid.

이처럼, 상기 제1 수용부에서 발생한 버블이 상기 제2 수용부 측으로 쉽게 옮겨지는 현상은 상기 제1 수용부와 상기 제2 수용부 사이에 형성된 격벽의 상부에 정량 통로가 형성되어 있기 때문이다.As such, the phenomenon in which the bubbles generated in the first accommodating part are easily transferred to the second accommodating part is because the metering passage is formed in the upper portion of the partition wall formed between the first accommodating part and the second accommodating part.

즉, 약액 중에 발생한 버블은 부력(浮力)에 의해 대부분 수면 위로 부상하게 되므로 상기 제1 수용부 측에서 상기 격벽 상부에 형성된 정량 통로를 통해 상기 제2 수용부 측으로 쉽게 이동될 수 있다.That is, bubbles generated in the chemical liquid are mostly floated on the surface of the water due to buoyancy, and thus can be easily moved from the first accommodating part to the second accommodating part through a quantitative passage formed on the partition wall.

따라서, 상기와 같이 정량 통로가 격벽 상부에 형성되면 상기 제1 수용부에서 발생된 버블이 상기 제2 수용부 측으로 옮겨지는 것을 원활하게 차단할 수 없으므로 만족할 만한 버블 제거 효과를 기대할 수 없다.Therefore, when the quantitative passage is formed in the upper part of the partition wall as described above, it is not possible to smoothly prevent the bubble generated in the first accommodating part from being transferred to the second accommodating part, so that a satisfactory bubble removing effect cannot be expected.

또한, 상기 특허 제10-0806845호의 약액도포노즐은, 상기 정량 통로를 통해 상기 제2 수용부 측으로 약액을 공급할 때 약액을 균일한 두께로 낙하시키기 위한 구조를 구비하고 있지 않으므로 예를들어, 상기 정량 통로 측에서 약액이 불규칙한 형태(예: 물방울 형태)로 낙하될 수 있다.Further, since the chemical liquid application nozzle of Patent No. 10-0806845 does not have a structure for dropping the chemical liquid to a uniform thickness when supplying the chemical liquid to the second receiving portion through the metering passage, for example, On the side of the passage, the chemical liquid may fall into an irregular shape (eg, a drop of water).

이와 같은 구조에 의하면, 토출 슬릿 측에 약액이 불규칙하게 공급되어 기판 측에 약액을 균일한 두께로 도포하기 어려울 뿐만 아니라, 특히 약액이 상기 제2 수용부 측에 떨어질 때 약액 중에 공기가 들어가서 버블이 쉽게 발생하는 문제를 야기할 수 있다.According to this structure, the chemical liquid is irregularly supplied to the discharge slit side, making it difficult to apply the chemical liquid to the substrate side with a uniform thickness, and in particular, when the chemical liquid falls to the second receiving portion side, air enters the chemical liquid and bubbles are formed. It can cause easily occurring problems.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로서,The present invention has been proposed to solve the above problems,

본 발명의 목적은, 노즐 내부에서 버블의 발생을 억제함과 아울러 버블의 제거가 가능한 상태로 약액을 이송시키면서 균일하게 토출할 수 있는 약액도포노즐을 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a chemical liquid application nozzle which can be uniformly discharged while transporting a chemical liquid in a state capable of suppressing bubbles and removing bubbles within the nozzle.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여,In order to achieve the object as described above,

슬릿형의 토출구를 구비한 노즐 본체;A nozzle body having a slit discharge port;

상기 노즐 본체의 내부 일측에 형성되며 외부로부터 유입된 약액이 하부에서 상부로 이송되는 제1 상승유로;A first upward flow path formed at one inner side of the nozzle body, and the chemical liquid introduced from the outside is transferred from the lower side to the upper side;

상기 제1 상승유로의 상부와 일단이 연통되며 약액이 상부에서 하부로 이송 되는 제1 하강유로;A first downward flow passage in which an upper portion and an end of the first upward flow passage communicate with each other and a chemical liquid is transferred from an upper portion to a lower portion;

상기 제1 하강유로의 하부와 일단이 연통되며 약액이 다시 상부로 이송되는 제2 상승유로;A second upward flow passage in which one end of the first downward flow passage communicates with the chemical liquid and is transferred upward;

상기 제2 상승유로의 상부와 일단이 연통되며 약액이 오버플로우 상태로 낙하되면서 상기 슬릿형 토출구 측에 공급되는 제2 하강유로;An upper end of the second upward flow passage communicating with one end, and a second downward flow passage supplied to the slit-type discharge port while the chemical liquid falls in an overflow state;

를 포함하는 약액도포노즐을 제공한다.It provides a chemical liquid coating nozzle comprising a.

이와 같은 본 발명은, 슬릿형 토출구 측으로 약액을 이송하는 도중에 버블이 부력에 의해 수면 위로 부상되면서 분리될 수 있도록 상승 및 하강 구간을 갖는 복수 개의 유로를 노즐 본체 내부에 구비하고 있으므로 약액을 토출하기 전에 적어도 두 번에 걸쳐서 버블을 분리 제거할 수 있으며, 버블이 제거된 약액을 오버플로우(overflow) 방식으로 낙하시키면서 상기 슬릿형 토출구 측에 균일하게 공급할 수 있다.The present invention is provided with a plurality of flow paths having a rising and falling section inside the nozzle body so that the bubbles can be separated while floating on the water surface by buoyancy during the transfer of the chemical liquid to the slit-type discharge port side before discharging the chemical liquid The bubble may be separated and removed at least twice, and the chemical liquid from which the bubble is removed may be uniformly supplied to the slit-type discharge port while falling in an overflow method.

이와 같은 구조에 의하면, 예를들어, 평판표시소자용 기판 제조를 위한 포토리소그라피 작업시 현상액과 같은 약액을 기판에 공급할 때 버블이 제거된 상태로 약액의 토출이 가능하므로 약액 중에 포함된 버블에 의해 현상 품질이 저하되는 문제를 개선할 수 있다.According to such a structure, for example, when supplying a chemical solution such as a developing solution to a substrate during photolithography for manufacturing a substrate for a flat panel display device, it is possible to discharge the chemical liquid in a state where the bubble is removed, so that the bubbles contained in the chemical liquid The problem of deterioration in developing quality can be improved.

이하, 첨부된 도면에 의거하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 실시예들은 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자들이 본 발명의 실시가 가능한 범위 내에서 설명된다.Embodiments of the present invention are described to the extent that those of ordinary skill in the art can practice the present invention.

따라서, 본 발명의 실시예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있는 것이므로 본 발명의 특허청구범위는 아래에서 설명하는 실시예들로 인하여 한정되는 것은 아니다.Therefore, since the embodiments of the present invention may be modified in various other forms, the claims of the present invention are not limited to the embodiments described below.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 약액도포노즐의 바람직한 설치 상태를 나타낸 도면으로서, 도면 부호 2는 노즐 본체를 지칭하고, 이 노즐 본체(2)는 도면에서와 같은 약액도포장치(M, 예: 현상액도포장치)의 작업대(M1) 상에 설치될 수 있다.1 is a view showing a preferred installation state of the chemical liquid spray nozzle according to an embodiment of the present invention, 2 denotes a nozzle body, the nozzle body 2 is a chemical liquid applying device (M, Example: It can be installed on the work table M1 of the developer coating device.

상기 약액도포장치(M)는 이송수단(M2)을 포함하며, 이 이송수단(M2)은 상기 작업대(M1) 일측에서 타측으로 기판(G)을 이송할 수 있도록 셋팅된다.The chemical liquid applying apparatus M includes a transfer means M2, which is set to transfer the substrate G from one side of the work table M1 to the other side.

상기 이송수단(M2)은 도 1에서와 같이 복수 개의 이송용 로울러(S)로 구성되는 통상의 로울러 컨베이어 타입의 구조로 이루어질 수 있다.The conveying means (M2) may be made of a conventional roller conveyor type structure consisting of a plurality of transport rollers (S) as shown in FIG.

상기한 약액도포장치(M)는 기판(G)의 이송 중에 이 기판(G)의 일면(윗면)에 현상액과 같은 약액(W)을 도포하는 작업을 진행할 수 있도록 구성된 일반적인 구조를 일예로 나타낸 것이므로 더욱 상세한 설명은 생략한다.Since the chemical applying device M is an example of a general structure configured to apply a chemical solution W, such as a developing solution, to one surface (upper surface) of the substrate G during transfer of the substrate G. More detailed description is omitted.

즉, 상기 노즐 본체(2)는 도 1에서와 같이 상기 약액도포장치(M)의 작업대(M1)에서 상기 이송수단(M2)의 기판(G) 이송 구간 내에 배치되어 기판(G)의 이송 중에 약액(W)을 도포할 수 있도록 설치된다.That is, the nozzle body 2 is disposed in the transfer section of the substrate G of the transfer means M2 on the work table M1 of the chemical liquid applying apparatus M, as shown in FIG. 1, during the transfer of the substrate G. It is installed to apply the chemical liquid (W).

상기 노즐 본체(2)는 슬릿형 토출구(N)를 구비하고, 게이트 타입(gate type)의 겐트리(U, gantry) 측에 고정되어 상기 슬릿형 토출구(N)의 립(lip) 부분이 아 래를 향하는 상태로 기판(G)의 이송 구간을 가로지르는 방향으로 설치될 수 있다.The nozzle body 2 has a slit-type outlet N, and is fixed to the gantry (U, gantry) side of a gate type, and is not a lip portion of the slit-type outlet N. It may be installed in a direction crossing the transfer section of the substrate (G) in a state facing toward the bottom.

그리고, 상기 노즐 본체(2)는 상기 겐트리(U) 측에 고정될 때 도 1에서와 같이 가이드 레일(U1, 예: LM 가이드)에 양단이 고정되어 이 가이드 레일(U1)을 따라 상/하로 이동 가능하게 설치될 수 있다.When the nozzle body 2 is fixed to the gantry U side, both ends of the nozzle main body 2 are fixed to the guide rail U1 (eg, an LM guide) as shown in FIG. It can be installed to move downward.

한편, 상기 노즐 본체(2) 내부에는 복수 개의 유로가 연결 형성되며, 이 유로들은 약액(W)의이송 중에 버블(W1)을 제거한 상태로 상기 슬릿형 토출구(N) 측에 균일하게 공급할 수 있도록 형성된다.On the other hand, a plurality of flow paths are connected to the inside of the nozzle body 2, and these flow paths can be uniformly supplied to the slit-type discharge port N with the bubble W1 removed while the chemical liquid W is being transferred. Is formed.

도 2를 참조하면, 상기 노즐 본체(2) 내부에는 제1 상승유로(4)가 구비된다.Referring to FIG. 2, a first upward passage 4 is provided inside the nozzle body 2.

상기 제1 상승유로(4)는 상기 슬릿형 토출구(N)와 떨어져서 상기 노즐 본체(2) 내부 일측에 형성되며, 외부에서 약액(W)이 유입되는 유입 포트(P)와 하부가 연결된다.The first upward flow passage 4 is formed at one side of the nozzle body 2 apart from the slit-shaped discharge port N, and is connected to an inflow port P through which the chemical liquid W is introduced from the outside.

상기 제1 상승유로(4)는 상기 유입 포트(P)에서 유입된 약액(W)이 내부에 채워지면서 위쪽으로 이동될 수 있도록 상기 노즐 본체(2) 내부에서 상하로 연장 형성된다.The first upward flow passage 4 extends up and down inside the nozzle body 2 so that the chemical liquid W introduced from the inflow port P may move upward while being filled therein.

이와 같은 구조에 의하면, 상기 제1 상승유로(4) 내부로 유입된 약액(W)이 아래쪽에서 위쪽으로 이동될 때 약액(W) 중에 포함된 버블(W1)이 부력에 의해 부상되면서 수면에 뜬 상태가 될 수 있다.(도 3참조)According to such a structure, when the chemical liquid (W) introduced into the first upward flow path (4) is moved from the bottom to the upper side, the bubble (W1) contained in the chemical (W) is floated on the water surface by buoyancy May be in a state (see FIG. 3).

그러므로, 상기 제1 상승유로(4)는 상기 노즐 본체(2) 내부에서 상기와 같은 작용에 의해 약액(W)의 이송 중에 약액(W)으로부터 버블(W1)을 분리(1차 분리)할 수 있다.Therefore, the first upward flow path 4 can separate (primaryly separate) the bubble W1 from the chemical liquid W during the transfer of the chemical liquid W by the above-described action inside the nozzle body 2. have.

그리고, 상기 유입 포트(P)는 도면에는 나타내지 않았지만 현상액과 같은 약액(W)이 일정량 저장된 약액 탱크와 관체로 연결되어 약액(W)을 통상의 방법으로 공급받도록 셋팅된다. 이와 같은 구조는 해당 분야에서 일반적인 지식을 가진 자라면 용이하게 실시할 수 있는 것이므로 더욱 상세한 설명은 생략한다.In addition, although the inflow port P is not shown in the drawing, the chemical liquid W, such as a developer, is connected to the chemical liquid tank, which is stored in a predetermined amount, and is set to receive the chemical liquid W in a conventional manner. Such a structure can be easily implemented by those skilled in the art, and thus a detailed description thereof will be omitted.

상기 노즐 본체(2) 내부에는 상기 제1 상승유로(4)와 연결되는 제1 하강유로(6) 및 제2 상승유로(8)가 형성된다.The first downward passage 6 and the second upward passage 8 connected to the first upward passage 4 are formed in the nozzle body 2.

상기 제1 하강유로(6)는 상기 노즐 본체(2) 내부에서 도 2에서와 같이 제1 격벽(L1)을 사이에 두고 상/하로 연장 형성되며, 상기 제1 격벽(L1)의 상부에 제1 통로(H1)가 형성되어 상기 제1 상승유로(4)와 상기 제1 하강유로(6)의 상부가 서로 연통된다.The first descending passage 6 extends up and down in the nozzle body 2 with the first partition L1 interposed therebetween as shown in FIG. 2, and is formed on the upper portion of the first partition L1. A first passage H1 is formed so that the upper portion of the first upward passage 4 and the first downward passage 6 communicate with each other.

그리고, 상기 제2 상승유로(8)는 도 2에서와 같이 하부에 통로(H2)가 형성된 제2 격벽(L2)을 사이에 두고 상/하로 연장 형성되며, 상기 제1 하강유로(6) 하부와 연통 상태로 연결된다.In addition, the second upward flow path 8 extends up and down with the second partition L2 having the passage H2 formed therebetween, as shown in FIG. 2, and is formed below the first downward flow path 6. Is in communication with.

즉, 상기 제1 하강유로(6)와 상기 제2 상승유로(8)는 하부가 서로 연통되어 대략 "U"자 형태로 연결된 유로구간을 갖도록 형성된다.That is, the first downward passage 6 and the second upward passage 8 are formed to have a flow path section in which lower portions communicate with each other and are connected in a substantially “U” shape.

특히, 상기 제1 하강유로(6)와 제2 상승유로(8)가 상기와 같이 유트랩(U-trap) 형태로 연결되면, 약액(W)이 상기 제1 하강유로(6)를 따라 하측으로 이동되면서 상기 제2 격벽(L2)의 제2 통로(H2)를 통과하기 전에 약액(W) 중에 포함된 버블(W1)이 부력에 의해 수면 위로 떠오르도록 유도할 수 있다.In particular, when the first downward passage 6 and the second upward passage 8 are connected in a U-trap form as described above, the chemical liquid W is lowered along the first downward passage 6. While moving to, the bubble W1 contained in the chemical liquid W may float above the surface of the water by buoyancy before passing through the second passage H2 of the second partition L2.

그러므로, 약액(W)의 이동 중에 상기 제1 하강유로(6) 내에서 버블(W1)을 한번 더 분리(2차 분리)할 수 있다.(도 3참조)Therefore, the bubble W1 can be separated once more (secondary separation) in the first downward flow path 6 during the movement of the chemical liquid W. (See FIG. 3).

그리고, 도 2를 참조하면, 상기 제2 상승유로(8)와 상기 제1 하강유로(6)의 폭 길이(Q1, Q2)는 상기 제1 상승유로(4)의 폭 길이(Q3) 보다 좁게 형성하는 것이 바람직하다.2, the width lengths Q1 and Q2 of the second rising passage 8 and the first falling passage 6 are narrower than the width length Q3 of the first rising passage 4. It is preferable to form.

이와 같은 구조는, 상기 제1 상승유로(4) 측에 담겨진 약액(W)이 상기 제1 하강유로(6) 측으로 옮겨질 때 유체의 이송 시간을 지연시킬 수 있다.(도 3참조)Such a structure can delay the transfer time of the fluid when the chemical liquid W contained in the first upward flow passage 4 is transferred to the first downward flow passage 6 (see FIG. 3).

그러므로, 상기 제1 하강유로(6) 측에서 약액(W)이 수면 위로 떠오르는 시간을 더 확보하여 약액(W)의 이송 중에 버블(W1)의 분리 효율을 높일 수 있다.Therefore, the separation time of the bubble W1 may be increased during the transfer of the chemical liquid W by further securing the time for the chemical liquid W to rise above the water surface on the first descending passage 6 side.

상기와 같이 노즐 본체(2) 내부에 형성되는 유로 구조에 의하면, 상기 유입 포트(P)를 통해 상기 노즐 본체(2) 내부로 유입된 약액(W)이 도 3을 기준으로 할 때 상하방향의 지그재그 형태로 이송될 수 있으므로 각 유로 내부에서 버블(W1)들이 원활하게 부상되면서 약액(W)과 분리되도록 할 수 있다.According to the flow path structure formed inside the nozzle body 2 as described above, the chemical liquid (W) introduced into the nozzle body 2 through the inlet port (P) in the vertical direction when Since it may be transferred in a zigzag form, bubbles W1 may be smoothly floated within each flow path to be separated from the chemical liquid W.

그리고, 상기 노즐 본체(2) 내부에는 상기 제2 상승유로(8)와 연결되는 제2 하강유로(10)가 형성된다.In addition, a second downward flow path 10 connected to the second upward flow path 8 is formed in the nozzle body 2.

상기 제2 하강유로(10)는 상기 제2 상승유로(8)로부터 약액(W)을 공급받아서 오버플로우(overflow) 방식으로 낙하시키면서 상기 슬릿형 토출구(N) 측에 공급할 수 있는 유로를 제공하기 위한 것이다.The second descending passage 10 receives the chemical liquid W from the second upward passage 8 and provides a flow path that can be supplied to the slit-type outlet N while falling in an overflow manner. It is for.

즉, 상기 제2 하강유로(10)는 도 2에서와 같이 상기 제2 상승유로(8) 일측에서 제3 격벽(L3)을 사이에 두고 상기 슬릿형 토출구(N)를 향하여 상/하로 연장 형 성되며, 상기 제3 격벽(L3) 상부에는 통로(H3)가 형성되어 상기 제2 상승유로(8) 상부와 연통 상태로 연결된다.That is, the second descending passage 10 extends up and down toward the slit-shaped discharge port N with a third partition L3 therebetween at one side of the second rising passage 8 as shown in FIG. 2. A passage H3 is formed at an upper portion of the third partition L3 to be in communication with an upper portion of the second rising passage 8.

그리고, 상기 제2 하강유로(10)는 약액(W)이 오버플로우 방식으로 낙하되면서 상기 슬릿형 토출구(N) 측에 원활하게 공급될 수 있도록 도 2에서와 같이 일면이 곡면(曲面) 형태로 경사진 경사면(Y)을 가지며, 아래쪽으로 연장되면서 점차 폭이 좁아지는 상태로 상기 슬릿형 토출구(N)와 연결된다.In addition, one surface of the second descending passage 10 may have a curved surface as shown in FIG. 2 so that the chemical liquid W may be smoothly supplied to the slit-type discharge port N while falling in an overflow manner. It has an inclined inclined surface (Y), and is connected to the slit-shaped discharge port (N) in a state that gradually decreases in width while extending downward.

이와 같은 구조에 의하면, 상기 제2 하강유로(10) 측에서 약액(W)이 오버플로우 방식으로 낙하될 때 약액(W)이 불규칙한 상태(예: 물방울 상태)로 낙하하여 약액(W) 중에 버블(W1)이 생기는 현상을 방지할 수 있다.According to this structure, when the chemical liquid (W) falls on the second downward flow path 10 in an overflow manner, the chemical liquid (W) falls into an irregular state (for example, a droplet state) and bubbles in the chemical liquid (W). The phenomenon that (W1) occurs can be prevented.

예를들어, 상기 제2 하강유로(10) 측에서 약액(W)이 물방울 형태로 불규칙하게 떨어지면 약액(W) 중에 공기가 쉽게 들어가서 버블(W1)이 포함된 상태로 상기 슬릿형 토출구(N)를 통해 토출될 수 있다.For example, when the chemical liquid W is irregularly dropped in the form of droplets from the second downward flow path 10, air easily enters the chemical liquid W, and the slit-shaped discharge port N is included in the state in which the bubble W1 is included. It can be discharged through.

그러므로, 상기와 같이 경사면(Y)이 형성되면, 상기 제2 하강유로(10) 상부에서 약액(W)이 오버플로우될 때 상기 경사면(Y)을 따라 일정 두께로 공급될 수 있으므로 특히 길이가 긴 장방형의 슬릿형 토출구(N)의 전체 길이에 대응하여 항상 균일하게 약액(W)을 공급할 수 있다.Therefore, when the inclined surface (Y) is formed as described above, when the chemical liquid (W) overflows in the upper portion of the second downward flow path 10 can be supplied with a predetermined thickness along the inclined surface (Y), especially long length The chemical liquid W can always be uniformly supplied corresponding to the entire length of the rectangular slit discharge port N. FIG.

상기 경사면(Y)은 곡면(曲面) 형태로 경사지게 형성된 구조에 한정되는 것은 아니다. 예를들어, 도 4에서와 같이 평면(平面) 형태로 경사진 구조로 형성될 수도 있다.The inclined surface Y is not limited to the structure formed to be inclined in the shape of a curved surface. For example, as shown in FIG. 4, the inclined structure may be formed in a planar shape.

따라서, 상기한 본 발명의 일실시예에 따른 약액도포노즐은, 도 1 및 도 5에 서와 같이 상기 약액도포장치(M)의 작업대(M1) 상에서 기판(G) 이송 구간 내에 설치되어 상기 작업대(M1) 일측에서 타측으로 기판(G)이 이송될 때 이 기판(G)의 일면(윗면)을 향하여 버블(W1)이 제거된 약액(W, 예: 현상액)을 상기 슬릿형 토출구(N)로 간편하게 도포할 수 있다.Therefore, the chemical liquid application nozzle according to the embodiment of the present invention, is installed in the substrate (G) transfer section on the working table M1 of the chemical applying device (M) as shown in Figure 1 and 5 When the substrate G is transferred from one side to the other side, the chemical liquid W (eg, a developing solution) from which the bubble W1 has been removed toward one surface (upper surface) of the substrate G is discharged from the slit-shaped outlet N. It can be applied simply.

상기 본 발명의 일실시예에 따른 약액도포노즐은, 도 6에서와 같이 수거수단(12)을 더 포함하여 이루어질 수 있다.The chemical liquid application nozzle according to the embodiment of the present invention may further include a collecting means 12 as shown in FIG. 6.

상기 수거수단(12)은 상기 노즐 본체(2) 내부에서 약액(W)의 수면 위로 떠오른 버블(W1)을 걷어내기 위한 것이다.The collecting means 12 is for removing the bubble (W1) floating on the water surface of the chemical liquid (W) in the nozzle body (2).

상기 수거수단(12)은 도 6에서와 같은 수거용 블레이드(14a)와 구동원(14b)으로 구성되며, 상기 제1 상승유로(4) 및 제1 하강유로(6) 내부에 담겨진 약액(W)의 수면 위로 떠오른 버블(W1)들을 상기 수거용 블레이드(14a)로 직접 밀어서 상기 노즐 본체(2) 외부로 배출할 수 있도록 셋팅된다.The collecting means 12 is composed of a collecting blade (14a) and a drive source (14b) as shown in Figure 6, of the chemical liquid (W) contained in the first ascending passage 4 and the first descending passage (6) The bubbles W1 floating on the water surface are set to be discharged directly to the outside of the nozzle body 2 by directly pushing the collecting blades 14a.

즉, 상기 수거용 블레이드(14a)는 상기 제1 상승유로(4) 및 제1 하강유로(6) 상부에서 도 6을 기준으로 할 때 좌/우로 슬라이드 가능하게 통상의 방법으로 끼움 결합(돌기/홈)될 수 있다.That is, the collecting blade 14a is fitted in a conventional manner so as to be slidable left / right when referring to FIG. 6 from the upper portion of the first upflow path 4 and the first downflow path 6 (protrusion / groove). Can be

상기 구동원(14b)은 통상의 모터(또는 실린더)를 사용하고, 상기 노즐 본체(2) 외부에서 상기 수거용 블레이드(14a)와 동력전달부재(14c, 예: 래크/피니언)로 동력 전달이 가능하게 통상의 방법으로 연결된다.The drive source 14b uses a conventional motor (or cylinder), and enables power transmission from the outside of the nozzle body 2 to the collecting blade 14a and the power transmission member 14c (e.g., rack / pinion). Connected in the usual way.

그리고, 상기 제1 상승유로(4) 상부 일측에는 상기 수거용 블레이드(14a)와 대응하는 지점에 배출구(14d)가 형성되며, 이 배출구(14d)는 상기 노즐 본체(2) 외 부에 위치된 별도의 수거 탱크(14f)와 관체로 연결된다.In addition, an outlet 14d is formed at a point corresponding to the collecting blade 14a on one side of the upper portion of the first upward flow passage 4, and the outlet 14d is separately located outside the nozzle body 2. It is connected to the collection tank 14f of the tube.

이와 같은 구조에 의하면, 상기 구동원(14b)의 모터 축이 정/역 회전될 때 상기 동력전달부재(14c)에 의해 상기 수거용 블레이드(14a)가 좌/우로 직선 운동되면서 약액(W)의 수면 위로 떠오른 버블(W1)들을 상기 배출구(14d) 측으로 걷어내면서 상기 노즐 본체(2) 외부로 간편하게 배출할 수 있다.According to this structure, when the motor shaft of the drive source 14b is rotated forward / reversely, the collecting blade 14a is linearly moved left / right by the power transmission member 14c, and the surface of the chemical liquid W is on the surface. The rising bubbles W1 may be easily discharged to the outside of the nozzle body 2 while being rolled out toward the outlet 14d.

이처럼, 약액(W)의 수면 위로 떠오른 버블(W1)들을 상기와 같이 수거수단(12)을 이용하여 상기 노즐 본체(2) 외부로 강제 배출하면, 상기 제1 상승유로(4) 및 제1 하강유로(6)의 약액(W) 수면 위로 떠오른 버블(W1)들이 상기 제2 상승유로(8) 측으로 옮겨지는 것을 최대한 방지할 수 있다.As such, when the bubbles W1 floating on the water surface of the chemical liquid W are forcibly discharged to the outside of the nozzle body 2 by using the collecting means 12 as described above, the first upward passage 4 and the first downward path Bubbles W1 floating on the surface of the chemical liquid W of the flow path 6 can be prevented from being transferred to the second upward flow path 8 as much as possible.

상기 수거수단(12)은 상기한 구조에 한정되는 것은 아니다. 예를들어, 도 7에서와 같이 통상의 임펠러(impeller) 형태로 수거용 블레이드(14a)를 형성하고, 구동원(14b)에 의해 축선을 중심으로 회전 운동시키면서 버블(W1)을 걷어낼 수 있도록 구성할 수도 있다.The collecting means 12 is not limited to the above structure. For example, as shown in FIG. 7, the collecting blade 14a is formed in the form of a conventional impeller, and the bubble W1 can be rolled out while being rotated about an axis by the driving source 14b. It may be.

그리고, 상기한 구조 이외에도 도면에는 나타내지 않았지만 상기 수거용 블레이드(14a)를 여러 가지 형태 및 구동 방식으로 직선 운동 또는 회전 운동시키면서 버블(W1)을 걷어낼 수 있는 다양한 구조로 이루어질 수 있다.In addition to the above-described structure, although not shown in the drawings, the collecting blade 14a may have various structures capable of rolling off the bubble W1 while linearly or rotatingly moving the blade 14a in various shapes and driving methods.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 약액도포노즐의 바람직한 설치 상태를 나타낸 도면이다.1 is a view showing a preferred installation state of the chemical liquid coating nozzle according to an embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 약액도포노즐의 내부 구조를 설명하기 위한 도면이다.2 is a view for explaining the internal structure of the chemical liquid spray nozzle according to an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 약액도포노즐의 버블 제거를 위한 작용을 설명하기 위한 도면이다.3 is a view for explaining the action for removing the bubble of the chemical liquid spray nozzle according to an embodiment of the present invention.

도 4는 도 1의 제2 하강유로의 다른 구조를 설명하기 위한 도면이다.FIG. 4 is a view for explaining another structure of the second descending passage of FIG. 1.

도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 약액도포노즐을 이용한 약액 도포 작업의 일예를 설명하기 위한 도면이다.5 is a view for explaining an example of the chemical liquid coating operation using the chemical liquid coating nozzle according to an embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 약액도포노즐의 수거수단 구조 및 작용을 설명하기 위한 도면이다.6 is a view for explaining the structure and operation of the collection means of the chemical liquid coating nozzle according to an embodiment of the present invention.

도 7은 도 6의 수거수단의 다른 구조를 설명하기 위한 도면이다.7 is a view for explaining another structure of the collecting means of FIG.

[도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명][Description of Symbols for Main Parts of Drawing]

2: 노즐 본체 4: 제1 상승유로 6: 제1 하강유로2: nozzle body 4: first ascent flow path 6: first ascent flow path

8: 제2 상승유로 10: 제2 하강유로 12: 수거수단8: second ascent path 10: second ascent path 12: collection means

G: 기판 W: 약액 W1: 버블G: Substrate W: Chemical Liquid W1: Bubble

N: 슬릿형 토출구 M: 약액도포장치N: Slit type discharge port M: Chemical liquid applying device

Claims (11)

슬릿형의 토출구를 구비한 노즐 본체;A nozzle body having a slit discharge port; 상기 노즐 본체의 내부 일측에 형성되며 외부로부터 유입된 약액이 하부에서 상부로 이송되는 제1 상승유로;A first upward flow path formed at one inner side of the nozzle body, and the chemical liquid introduced from the outside is transferred from the lower side to the upper side; 상기 제1 상승유로의 상부와 일단이 연통되며 약액이 상부에서 하부로 이송되는 제1 하강유로;A first downward flow passage in which an upper portion of the first upward flow passage communicates with one end and a chemical liquid is transferred from an upper portion to a lower portion; 상기 제1 하강유로의 하부와 일단이 연통되며 약액이 다시 상부로 이송되는 제2 상승유로;A second upward flow passage in which one end of the first downward flow passage communicates with the chemical liquid and is transferred upward; 상기 제2 상승유로의 상부와 일단이 연통되며 약액이 오버플로우 상태로 낙하되면서 상기 슬릿형 토출구 측에 공급되는 제2 하강유로;An upper end of the second upward flow passage communicating with one end, and a second downward flow passage supplied to the slit-type discharge port while the chemical liquid falls in an overflow state; 를 포함하는 약액도포노즐.Pharmaceutical liquid coating nozzle comprising a. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 제1 상승유로는,The first upward flow path, 상기 노즐 본체 외부에서 약액이 유입되는 유입 포트와 하부가 연결되는 약액도포노즐.A chemical liquid spray nozzle connected to an inflow port and a lower portion through which the chemical liquid flows from the outside of the nozzle body. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 제1 하강유로는,The first downward flow path, 상기 노즐 본체 내부에서 제1 격벽을 사이에 두고 상기 제1 상승유로와 이격 형성되며,In the nozzle body is formed spaced apart from the first upward flow path with a first partition wall therebetween, 상기 제1 격벽의 상부에 형성된 제1 통로에 의해 상기 제1 상승유로 상부와 연통 상태로 연결되는 약액도포노즐.A chemical liquid application nozzle connected in communication with the upper portion of the first upward flow path by a first passage formed in an upper portion of the first partition wall. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 제2 상승유로는,The second upward flow path, 상기 노즐 본체 내부에서 제2 격벽을 사이에 두고 상기 제1 하강유로와 이격 형성되며,In the nozzle body is spaced apart from the first downward flow path with a second partition wall therebetween, 상기 제2 격벽의 하부에 형성된 제2 통로에 의해 상기 제1 하강유로와 "U"자형으로 연결되는 약액도포노즐.The chemical liquid spray nozzle connected to the first downward flow path in a "U" shape by a second passage formed in the lower portion of the second partition wall. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 제2 하강유로는,The second downward flow path, 상기 노즐 본체 내부에서 제3 격벽을 사이에 두고 상기 제2 상승유로와 이격 형성되며,In the nozzle body is spaced apart from the second upward flow path with a third partition wall therebetween, 상기 제3 격벽의 하부에 형성된 제3 통로에 의해 상기 제2 상승유로의 상부와 연통 상태로 연결되는 약액도포노즐.The chemical liquid application nozzle connected in communication with the upper portion of the second upward flow path by a third passage formed in the lower portion of the third partition wall. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 제2 하강유로는,The second downward flow path, 일면이 곡면 또는 평면 형태로 경사지게 형성되며 아래로 연장되면서 점차 폭이 좁아지는 형태로 상기 슬릿형 토출구와 연결되는 것을 특징으로 하는 약액도포노즐.One side is formed to be inclined in a curved or flat shape and extends down, the chemical liquid spray nozzle, characterized in that connected to the slit-type discharge port in the form of gradually narrowing. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 제1 하강유로 및 제2 상승유로는,The first falling passage and the second rising passage, 유로 폭 길이가 상기 제1 상승유로의 유로 폭 길이 보다 좁게 형성되는 것을 특징으로 하는 약액도포노즐.A chemical liquid coating nozzle, characterized in that the length of the flow path is narrower than the length of the flow path of the first upward flow path. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 약액도포노즐은,The chemical liquid application nozzle, 약액의 수면 위로 부상된 버블을 걷어내기 위한 수거수단을 더 포함하며,And collecting means for removing the floating bubble over the surface of the chemical liquid, 상기 수거수단은,The collection means, 수거용 블레이드;Harvesting blades; 상기 수거용 블레이드를 직선 운동 또는 회전 운동 가능하게 구동하는 구동원;A drive source for driving the collecting blade in a linear motion or a rotational motion; 상기 수거용 블레이드로 걷어낸 버블이 담겨지는 수거 탱크;A collection tank in which bubbles rolled up by the collecting blade are contained; 를 포함하는 약액도포노즐.Pharmaceutical liquid coating nozzle comprising a. 청구항 8에 있어서,The method according to claim 8, 상기 수거용 블레이드는,The collection blade, 플레이트 형태 또는 임펠러 형태로 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액도포노즐.A chemical liquid coating nozzle, characterized in that the plate or impeller form. 청구항 8에 있어서,The method according to claim 8, 상기 구동원은,The drive source, 모터 또는 실린더 중에서 어느 하나를 사용하는 약액도포노즐.Chemical liquid nozzle using either motor or cylinder. 청구항 8에 있어서,The method according to claim 8, 상기 수거 탱크는,The collection tank, 상기 노즐 본체 외측에서 상기 제1 상승유로 또는 제1 하강유로 상부와 관체로 연결되는 약액도포노즐.A chemical liquid application nozzle connected to an upper body of the first upward flow path or the first downward flow path outside the nozzle body.
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