JP2003342788A - Liquid leakage preventing device - Google Patents

Liquid leakage preventing device

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JP2003342788A
JP2003342788A JP2002149316A JP2002149316A JP2003342788A JP 2003342788 A JP2003342788 A JP 2003342788A JP 2002149316 A JP2002149316 A JP 2002149316A JP 2002149316 A JP2002149316 A JP 2002149316A JP 2003342788 A JP2003342788 A JP 2003342788A
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work
liquid
seal
processing
liquid leakage
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Kazunori Ikubo
和則 井久保
Takuya Mizuno
卓弥 水野
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Chuo Seisakusho KK
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Chuo Seisakusho KK
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid leakage preventing device with which the jetting distance of a treatment liquid from the space between seal rollers is suppressed to reduce the length of a liquid receiving tank, a work is made wet so that the phenomenon that the surface of the work is dried during its transfer to the following treatment tank and the defect of quality is caused can be prevented, and the resistance of the work on the penetration into the space between the seal rollers is reduced, thereby preventing the running-off of the work from a chuck. <P>SOLUTION: In the liquid leakage preventing device where the side wall through which a work comes in or goes out of the body 1 of a treatment tank is provided with slits 2 and 3 in the vertical direction for allowing the work to come in and go out and liquid leakage is prevented by pairs of seal rollers 6, 6 and 7, 7 arranged adjacently to the slits 2 and 3, liquid feeding mechanisms 8 and 9 for letting liquids fall to the outsides of the seal rollers 6, 6 and 7, 7 from the upper parts are provided. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、平板状のワークを
垂直な姿勢で移送しながらめっきするめっき装置におい
て、処理槽の入出口から処理液の漏出を防止する液漏れ
防止装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid leakage prevention device for preventing a processing liquid from leaking from an inlet / outlet of a processing tank in a plating device for plating a flat work while transferring it in a vertical posture. .

【0002】[0002]

【従来の技術】プリント基板のような平板状ワークをめ
っきする装置としては種々の方式のものが提供されてい
る。これらの装置のなかでも、平板状ワークを垂直な姿
勢で連続的に移送するめっき装置は、治具が不要であ
り、浴液の噴流機構を装備することにより高速のめっき
ができるというような特徴があることから多く使用され
ている。こうした平板状ワークを垂直な姿勢で連続的に
移送するめっき装置においては、平板状ワークが処理液
面より下方で処理槽に入出することから、入出口からの
処理液の漏出が問題となり、その漏出を防止する装置を
備えた例えば特表平9−505638のような処理装置
が考えられている。
2. Description of the Related Art As a device for plating a flat plate-like work such as a printed circuit board, various types are provided. Among these devices, the plating device that continuously transfers a flat work piece in a vertical posture does not require a jig, and is equipped with a bath liquid jet mechanism that enables high-speed plating. It is often used because it exists. In a plating apparatus that continuously transfers such flat work pieces in a vertical posture, since the flat work pieces enter and leave the treatment tank below the treatment liquid surface, leakage of the treatment liquid from the inlet / outlet becomes a problem. A processing device such as, for example, Japanese Patent Publication No. 9-505638, provided with a device for preventing leakage has been considered.

【0003】この特表平9−505638の装置が備え
る液漏れ防止装置は、処理槽の端壁に設けたワークを通
過させるためのスリットに対応して垂直な向きでルーズ
に処理浴内に対をなして配置したローラー等をシールと
して配置し、これらのローラー等が液圧により互いに又
はその都度通過するワークと処理槽の端壁とに圧着され
るようにしたものである。類似の液漏れ防止装置は他に
も種々提案されているが、いずれもシールローラーの間
に平板状ワークが進入する際に、処理液の液面が高いた
めワークとシールローラーの間からワーク面に沿って処
理槽内の処理液が水平方向に噴出することが避けられな
かった。しかも、処理液のワーク面に沿って水平方向に
噴出する距離は液圧の関係から低い部分で長くなる傾向
はあるものの一様ではなく、液の付着量の少ない部分で
は次の処理槽に移送されるまでの間にワーク表面が乾燥
して空気酸化を受け、色むら、密着不良等の品質不良を
起こすことがあった。
The liquid leakage prevention device provided in the device of Japanese Patent Laid-Open No. 9-505638 has a vertical orientation corresponding to a slit provided in an end wall of a processing tank for allowing a workpiece to pass through, and is loosely opposed to the processing bath. The rollers and the like arranged in the form of a seal are arranged as a seal, and these rollers and the like are pressure-bonded to each other or to the end wall of the processing tank by liquid pressure. Various other similar liquid leak prevention devices have been proposed, but all of them have a high liquid level of the processing liquid when a flat work enters between the seal rollers, so that the surface of the work between the work and the seal rollers is It was unavoidable that the processing liquid in the processing tank spouted along the horizontal direction. Moreover, the distance that the processing liquid is ejected horizontally along the work surface tends to be longer in the lower part due to the hydraulic pressure, but it is not uniform, and the part where the amount of liquid adheres is transferred to the next processing tank. In the meantime, the surface of the work may be dried and subjected to air oxidation, resulting in uneven quality such as color unevenness and poor adhesion.

【0004】また、ワークの高さ方向の寸法は必ずシー
ルローラーの長さより短いので、シールローラーの間に
ワークが挟まれている状態ではシールローラー間のワー
クが存在しない部分に隙間ができ、その隙間からも処理
液が噴出するという問題があった。こうした液漏れ防止
装置では、一定の液漏れは止むを得ないものとして漏出
した液を受ける槽を設け、漏出した液をポンプにより処
理槽に戻すようにしている。この噴出する処理液を受け
る受液槽の長さは、処理液の噴出する距離に合わせて定
めるものであるが、処理液の液面が高い場合には噴出す
る距離も長くなるので、隣接する処理槽の処理液が混合
するのを防ぐためには受液槽を長くする必要があり、装
置全体の長さが長くなって大きな設置面積を要するとい
う問題があった。
Further, since the dimension of the work in the height direction is always shorter than the length of the seal roller, when the work is sandwiched between the seal rollers, a gap is formed in a portion where no work exists between the seal rollers. There is a problem that the processing liquid is also jetted from the gap. In such a liquid leakage prevention device, a certain liquid leakage is unavoidable and a tank for receiving the leaked liquid is provided, and the leaked liquid is returned to the processing tank by a pump. The length of the liquid receiving tank for receiving the jetted processing liquid is determined according to the jetting distance of the processing liquid. However, when the liquid level of the processing liquid is high, the jetting distance also becomes long, so that the length is adjacent. In order to prevent the treatment liquid in the treatment tank from being mixed, it is necessary to lengthen the liquid receiving tank, which causes a problem that the entire apparatus becomes long and a large installation area is required.

【0005】さらに、ワークがシールローラーの間に進
入する際には、ワークの高さ方向の全長がシールローラ
ーの間に一度に進入するため大きな抵抗を受け、駆動装
置に繋がったワーク上部のチャックからワークが外れる
ことがあるという問題があった。また、外れない場合で
もワークがチャックからずれてワークが傾き、ワークが
処理槽を順次通過する間に各処理槽の入出の際に受ける
にシールローラーの抵抗により傾きが蓄積され、やがて
ワークがチャックから外れるに至るという問題があっ
た。
Further, when the work enters between the seal rollers, the entire length in the height direction of the work enters the space between the seal rollers at one time, so that a large resistance is exerted, and the chuck on the upper part of the work connected to the drive device. There was a problem that the work might come off. Even if it does not come off, the work shifts from the chuck and the work tilts, and the tilt of the work accumulates due to the resistance of the seal roller as the work is received when entering or exiting each treatment tank while sequentially passing through the treatment tank. There was a problem of getting out of.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】本発明は上記の問題点
を解決し、シールローラー間からの処理液の噴出距離を
抑えて受液槽の長さを短縮することができ、ワークを濡
らすことにより次の処理槽に移送されるまでの間にワー
ク表面が乾燥して品質不良を起こすことがなく、ワーク
のシールローラー間への進入時の抵抗を小さくしてワー
クがチャックから外れることのない液漏れ防止装置を提
供するためになされたものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention solves the above-mentioned problems and can suppress the jetting distance of the processing liquid from between the seal rollers to shorten the length of the liquid receiving tank and wet the work. As a result, the surface of the work does not become dry and the quality of the work does not deteriorate until it is transferred to the next processing tank, and the work does not come off from the chuck by reducing the resistance when entering the work between the seal rollers. This is done to provide a liquid leakage prevention device.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記の問題を解決するた
めになされた本発明の液漏れ防止装置は、処理槽のワー
クが入出する側壁にワーク入出用の垂直方向のスリット
を設け、該スリットに近接して配設される2本1組のシ
ールローラーにより液漏れを防止する液漏れ防止装置に
おいて、シールローラーのシール部分の外側に上部から
液を落下させる液供給機構を設けたことを特徴とするも
のである。このシールローラーは、シールローラーの上
端をワークの進行方向の後方に傾斜させることが好まし
く、長さ方向に複数に分割したものとすることが好まし
い。
SUMMARY OF THE INVENTION A liquid leakage prevention device of the present invention made to solve the above problems is provided with a vertical slit for inserting and removing a work on a side wall of a processing tank where a work enters and exits. In a liquid leakage prevention device for preventing liquid leakage by a pair of seal rollers arranged in close proximity to each other, a liquid supply mechanism for dropping the liquid from above is provided outside the sealing portion of the seal roller. It is what In this seal roller, it is preferable that the upper end of the seal roller is inclined rearward in the traveling direction of the work, and it is preferable that the seal roller is divided into a plurality in the length direction.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】次に、本発明の液漏れ防止装置の
実施形態について、図を参照しながら具体的に説明す
る。図1は平面図であって、処理槽本体1のワーク入口
側の側壁にはスリット2が、対向するワーク出口側の側
壁にはスリット3がそれぞれ垂直方向に設けてある。処
理槽本体1の外側にはスリット2及び3の両側にそれぞ
れシールローラー収容室4、4及び5、5が設けてあ
り、該シールローラー収容室4、4及び5、5の内部に
はそれぞれ円柱状のシールローラー6、6及び7、7を
収容してワークの最大厚みを若干上回る程度の範囲内で
水平方向に移動可能な状態としてある。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Next, an embodiment of the liquid leakage prevention device of the present invention will be specifically described with reference to the drawings. FIG. 1 is a plan view, in which a slit 2 is provided in the side wall on the work inlet side of the processing tank main body 1, and a slit 3 is provided in the vertical direction on the side wall on the opposing work outlet side. Sealing roller accommodating chambers 4, 4 and 5, 5 are provided on both sides of the slits 2 and 3 on the outside of the processing tank main body 1, and inside the sealing roller accommodating chambers 4, 4 and 5, 5 are circles, respectively. The columnar seal rollers 6, 6 and 7, 7 are accommodated and are movable in the horizontal direction within a range of slightly exceeding the maximum thickness of the work.

【0009】ここで、入口側のシールローラー収容室
4、4は上側が処理槽1の外側に、出口側のシールロー
ラー収容室5、5は下側が処理槽1の外側にそれぞれ離
れるように傾斜させ、シールローラー収容室4、4及び
5、5に収容されるシールローラー6、6及び7、7を
傾斜させてある。すなわちこの傾斜方向はシールローラ
ー6、6及び7、7の上端をワークの進行方向の後方に
傾斜させたものであり、傾斜角度は垂直線に対して1度
ないし5度とするのが好ましい。また、シールローラー
6、6及び7、7の表面はシール性能を増してワークを
傷つけない耐薬品性に優れた弾性材とし、長さ方向に複
数に分割したものとするのが好ましい。
Here, the inlet side seal roller accommodating chambers 4 and 4 are inclined so that the upper side is outside the processing tank 1 and the outlet side seal roller accommodating chambers 5 and 5 are lower side away from the processing tank 1. The seal rollers 6, 6 and 7, 7 accommodated in the seal roller accommodating chambers 4, 4 and 5, 5 are inclined. That is, in this inclination direction, the upper ends of the seal rollers 6, 6 and 7, 7 are inclined rearward in the traveling direction of the work, and the inclination angle is preferably 1 to 5 degrees with respect to the vertical line. Further, it is preferable that the surfaces of the seal rollers 6, 6 and 7, 7 are made of an elastic material which enhances the sealing performance and does not damage the work and has excellent chemical resistance, and is divided into a plurality of parts in the length direction.

【0010】シールローラー収容室4、4及び5、5の
上部には処理液の導液樋8、8及び9、9が設けてあ
り、該導液樋8、8及び9、9はそれぞれスリット2及
び3の両側に位置する液取り入れ口10、10及び1
1、11からオーバーフローする処理液を導いてシール
ローラー収容室4、4及び5、5の外側にワークの進行
方向と直角に落下させるようにしてある。この導液樋
8、8及び9、9がシールローラー6、6及び7、7の
上部から液を落下させる液供給機構となるものである。
Above the seal roller accommodating chambers 4, 4, 5 and 5, there are provided treatment liquid guides 8, 8 and 9, 9 which are slits, respectively. Liquid inlets 10, 10 and 1 located on both sides of 2 and 3
The processing liquid overflowing from Nos. 1 and 11 is guided to fall outside the seal roller accommodating chambers 4, 4 and 5, 5 at right angles to the advancing direction of the work. The liquid guiding gutters 8, 8 and 9, 9 serve as a liquid supply mechanism for dropping the liquid from the upper portions of the seal rollers 6, 6 and 7, 7.

【0011】シールローラー収容室4、4と導液樋8、
8及びシールローラー収容室5、5と導液樋9、9は図
3に示すような一体に成形したシールユニット12、1
2及び13、13とすることが好ましい。このように成
形したシールユニット12、12及び13、13を処理
槽本体1のワークの入口側及び出口側の側壁に大きく設
けた開口14及び15に取り付け、シールローラー収容
室4、4間の間隙及びシールローラー収容室5、5間の
間隙をそれぞれスリット2及び3とするのである。図3
は図1上で右上に位置するシールユニット12を示すも
のであって、組となるシールユニット12は対称な形に
成形されるものであり、シールユニット13、13はシ
ールローラー収容室5、5の傾斜方向を逆として成形さ
れる。
The seal roller accommodating chambers 4 and 4 and the liquid guiding trough 8,
8 and the seal roller accommodating chambers 5 and 5 and the liquid guiding troughs 9 and 9 are integrally formed seal units 12 and 1 as shown in FIG.
2 and 13, 13 are preferable. The seal units 12, 12 and 13, 13 formed in this way are attached to the openings 14 and 15 provided on the side walls of the processing tank main body 1 on the inlet side and the outlet side of the work, and the gap between the seal roller accommodating chambers 4 and 4 is increased. The gaps between the seal roller accommodating chambers 5 and 5 are slits 2 and 3, respectively. Figure 3
1 shows the seal unit 12 located on the upper right side in FIG. 1, and the seal unit 12 forming a pair is molded in a symmetrical shape, and the seal units 13, 13 are seal roller accommodating chambers 5, 5, 5. Is shaped with the inclination direction of the opposite.

【0012】シールローラー収容室4、4及び5、5の
外側にはそれぞれ受液槽16及び17が設けてある。該
受液槽16及び17ではシールローラー6、6及び7、
7の間から漏出した処理液、ならびに導液樋8、8及び
9、9から落下した処理液を受けて集め、図示しないポ
ンプより汲み上げて処理槽本体1に戻すようにしてあ
る。なお、必要に応じ、処理槽本体1に補強リブ等を設
けること、薬液槽では処理液の噴流装置、循環装置、攪
拌装置等を、水洗槽ではシャワー装置等を設けることは
言うまでもない。
Liquid receiving tanks 16 and 17 are provided outside the seal roller accommodating chambers 4, 4 and 5, 5, respectively. In the liquid receiving tanks 16 and 17, the seal rollers 6, 6 and 7,
The processing liquid leaked from between 7 and the processing liquids dropped from the liquid guide gutters 8, 8 and 9, 9 are collected and pumped up by a pump (not shown) and returned to the processing tank body 1. Needless to say, if necessary, a reinforcing rib or the like is provided on the processing tank main body 1, a jetting device, a circulating device, a stirring device or the like of the processing liquid is provided in the chemical liquid tank, and a shower device or the like is provided in the washing tank.

【0013】前記のように構成した処理槽本体1を処理
工程にしたがって直線状に複数配置してめっきラインを
構成し、ワークWを移送する図示しない移送装置を設け
る。移送装置には従来知られる構成のものが使用可能で
ある。処理槽本体1には処理工程にしたがって必要な処
理液、洗浄水等がそれぞれ充填してある。ワークWは矢
印で示すように入口側のスリット2から処理槽本体1内
に入り、出口側のスリット3から出て行き、隣接する次
の処理槽本体1の入口側のスリット2から次の処理槽本
体1内に入っていく。
A plurality of the processing bath main bodies 1 having the above-described structure are linearly arranged according to the processing steps to form a plating line, and a transfer device (not shown) for transferring the work W is provided. A conventionally known structure can be used as the transfer device. The treatment tank main body 1 is filled with a treatment liquid, cleaning water, etc., which are required according to the treatment process. The work W enters the processing tank main body 1 through the slit 2 on the inlet side and exits through the slit 3 on the outlet side as shown by the arrow, and the next processing is performed from the slit 2 on the inlet side of the next adjacent processing tank main body 1. Enter the tank body 1.

【0014】ワークWが入ってくる前は、2個1組のシ
ールローラー6、6及び7、7が処理槽本体1内の薬液
の液圧によってシールローラー収容室4、4及び5、5
の外側端面に押し付けられ、処理液の漏出を抑止してい
る。ワークWがシールローラー6、6又は7、7の間に
入ってくると、シールローラー6、6及び7、7はシー
ルローラー収容室4、4及び5、5の中で移動できるの
で、ワークWはシールローラー6、6又は7、7の間に
入ることができ、従来の液漏れ防止装置と同様に液漏れ
が抑止される。
Before the work W enters, a set of two sealing rollers 6, 6 and 7, 7 are set by the sealing roller accommodating chambers 4, 4, 5 and 5 by the liquid pressure of the chemical solution in the processing tank body 1.
It is pressed against the outer end surface of the to prevent leakage of processing liquid. When the work W enters between the seal rollers 6, 6 or 7, 7, the seal rollers 6, 6 and 7, 7 can move in the seal roller accommodating chambers 4, 4 and 5, 5, so that the work W Can enter between the seal rollers 6, 6 or 7, 7 and the liquid leakage is suppressed as in the conventional liquid leakage prevention device.

【0015】ワークWがシールローラー6、6又は7、
7の間に入るとき、シールローラー6、6及び7、7が
傾斜させてあるので、先ずワークWの上部がシールロー
ラー6、6又は7、7の間に入り、徐々に高さ方向の全
長がシールローラー6、6又は7、7の間に入ることと
なる。したがって、ワークWの高さ方向の全長がシール
ローラー6、6又は7、7の間に一度に進入しないので
大きな抵抗を受けることがなく、チャックからワークW
が外れたり傾いたりすることがない。なお、このシール
ローラー6、6及び7、7の傾斜角度を過度に大きくす
ることは、ワークWの進入時にシールローラー6、6又
は7、7が回転しながらせり上がる現象を生じるので好
ましくない。
The work W is a seal roller 6, 6 or 7,
Since the seal rollers 6, 6 and 7, 7 are slanted when entering the space between 7, the upper part of the work W first enters the space between the seal rollers 6, 6 or 7, 7 and gradually increases the total length in the height direction. Will enter between the seal rollers 6, 6 or 7, 7. Therefore, since the entire length of the work W in the height direction does not enter between the seal rollers 6, 6 or 7, 7 at a time, no large resistance is exerted, and the work W is removed from the chuck.
Does not come off or tilt. It should be noted that it is not preferable to make the inclination angles of the seal rollers 6, 6 and 7, 7 excessively large because the seal rollers 6, 6 or 7, 7 may rise while rotating when the work W enters.

【0016】シールローラー6、6又は7、7の間にワ
ークWが進入する際に、ワークWとシールローラー6、
6又は7、7の間からワークWの面に沿って処理槽本体
1内の処理液が水平方向に噴出すること、ワークWの進
入後シールローラー6、6又は7、7間のワークWが存
在しない部分の隙間から処理液が水平方向に噴出するこ
とは本発明においても従来と同様である。本発明では、
導液樋8、8及び9、9を設けてシールローラー収容室
4、4及び5、5の外側にワークの進行方向と直角に処
理液を落下させるようにしてあるので、この処理液はワ
ークに当たって垂直に流下する。これらの水平方向に噴
出する処理液はこの流下する処理液に当たって下向きに
方向が変えられ、処理液の水平方向に噴出する距離が短
縮される。したがって、受液槽16及び17の長さを短
縮することができる。なお、シールローラー6、6及び
7、7を長さ方向に複数に分割したものとすれば、シー
ルローラー6、6又は7、7間のワークWが存在しない
部分ではシールローラー6、6又は7、7が直接接する
こととなってその部分からの処理液の漏出をなくするこ
とができる。
When the work W enters between the seal rollers 6, 6 or 7, 7, the work W and the seal roller 6,
The processing liquid in the processing tank main body 1 is jetted horizontally from between 6 or 7 and 7 along the surface of the work W, and after the work W enters, the work W between the seal rollers 6, 6 or 7, 7 is In the present invention, the processing liquid is ejected in the horizontal direction from the gap between the nonexistent portions, as in the conventional case. In the present invention,
Since the liquid guiding gutters 8, 8 and 9, 9 are provided so as to drop the processing liquid outside the seal roller accommodating chambers 4, 4, 5 and 5 at right angles to the traveling direction of the work, this processing liquid is used. When it hits, it flows vertically. The processing liquids jetted out in the horizontal direction hit the flowing processing liquids and are changed in direction downward, so that the distances of the processing liquids jetted out in the horizontal direction are shortened. Therefore, the length of the liquid receiving tanks 16 and 17 can be shortened. If the seal rollers 6, 6 and 7, 7 are divided into a plurality of pieces in the lengthwise direction, the seal rollers 6, 6 or 7 are located in a portion where no work W exists between the seal rollers 6, 6 or 7, 7. , 7 are in direct contact with each other, so that the processing liquid can be prevented from leaking from that portion.

【0017】[0017]

【発明の効果】以上説明した本発明によれば、シールロ
ーラーのシール部分の外側に処理液を上部から落下させ
るようにしてあるので、ワーク表面に沿って水平方向に
噴出する処理液の方向を下向きに変えることができ、落
下する処理液によってワークを確実に濡らすことができ
る。これにより処理液が水平方向に噴出する距離を短縮
することができるので受液槽の長さを短縮しても隣接す
る処理槽の処理液が混合することがなく、次の処理槽に
移送されるまでの間にワーク表面が乾燥して品質不良を
起こすことがない利点がある。また、受液槽の長さを短
縮することができるので、装置全体を小型化することが
できる利点もある。処理液をシールローラーのシール部
分の外側に上部から落下させる液供給機構として導液樋
を使用した場合には、構成が簡単で動力も要しない利点
がある。さらに、シールローラーを傾斜させることによ
りワークのシールローラー間への進入時に大きな抵抗を
受けることがなく、ワークがチャックから外れたりずれ
たりすることがない。したがって、従来の問題を全て解
決した液漏れ防止装置を提供するものとして業界に寄与
するところ極めて大である。
According to the present invention described above, the treatment liquid is made to drop from the upper part to the outside of the sealing portion of the seal roller, so that the direction of the treatment liquid ejected horizontally along the surface of the work is changed. It can be changed downward, and the workpiece can be surely wetted by the falling processing liquid. As a result, it is possible to shorten the horizontal spraying distance of the processing liquid, so that even if the length of the receiving tank is shortened, the processing liquid in the adjacent processing tank does not mix and is transferred to the next processing tank. There is an advantage that the surface of the work does not become dry and the quality of the work does not deteriorate until the time comes. Moreover, since the length of the liquid receiving tank can be shortened, there is also an advantage that the entire apparatus can be downsized. When a liquid guide trough is used as a liquid supply mechanism for dropping the processing liquid from the upper part to the outside of the seal portion of the seal roller, there is an advantage that the structure is simple and no power is required. Further, by inclining the seal rollers, a large resistance is not applied when the work enters the space between the seal rollers, and the work does not come off from the chuck or shift. Therefore, it greatly contributes to the industry as providing a liquid leakage prevention device that solves all the conventional problems.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施の形態を示す平面図である。FIG. 1 is a plan view showing an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の実施の形態を示す縦断面図である。FIG. 2 is a vertical sectional view showing an embodiment of the present invention.

【図3】シールユニットを示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing a seal unit.

【図4】ワーク入口側のシール部分を拡大して示す平面
図である。
FIG. 4 is an enlarged plan view showing a seal portion on the workpiece inlet side.

【図5】ワーク出口側のシール部分を拡大して示す平面
図である。
FIG. 5 is an enlarged plan view showing a seal portion on the work outlet side.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 処理槽本体 2、3 スリット 4、5 シールローラー収容室 6、7 シールローラー 8、9 導液樋 10、11 液取り入れ口 12、13 シールユニット 14、15 開口 16、17 受液槽 W ワーク 1 Processing tank body A few slits 4,5 seal roller housing 6, 7 Seal roller 8 and 9 liquid transfer gutter 10, 11 liquid intake 12, 13 Seal unit 14, 15 openings 16, 17 Liquid receiving tank W work

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】処理槽のワークが入出する側壁にワーク入
出用の垂直方向のスリットを設け、該スリットに近接し
て配設される2本1組のシールローラーにより液漏れを
防止する液漏れ防止装置において、シールローラーのシ
ール部分の外側に上部から液を落下させる液供給機構を
設けたことを特徴とする液漏れ防止装置。
1. A liquid leak for preventing a liquid leak by providing a vertical slit for loading and unloading a work on a side wall of the processing tank where a work enters and exits, and a pair of seal rollers arranged in proximity to the slit. In the prevention device, a liquid leakage prevention device characterized in that a liquid supply mechanism for dropping the liquid from above is provided outside the sealing portion of the seal roller.
【請求項2】シールローラーの上端をワークの進行方向
の後方に傾斜させたことを特徴とする請求項1に記載の
液漏れ防止装置。
2. The liquid leakage prevention device according to claim 1, wherein the upper end of the seal roller is inclined rearward in the traveling direction of the work.
【請求項3】シールローラーを長さ方向に複数に分割し
たものとしたことを特徴とする請求項1又は2に記載の
液漏れ防止装置。
3. The liquid leakage prevention device according to claim 1 or 2, wherein the seal roller is divided into a plurality of parts in the lengthwise direction.
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