KR100915654B1

KR100915654B1 - A probe for Kelvin testing

Info

Publication number: KR100915654B1
Application number: KR1020070121258A
Authority: KR
Inventors: 이채윤
Original assignee: 리노공업주식회사
Priority date: 2007-11-27
Filing date: 2007-11-27
Publication date: 2009-09-04
Also published as: KR20090054548A

Abstract

본 발명은 켈빈 테스트용 프로브에 관한 것으로서, 제작이 용이하면서도 세팅이 간편하고 안정적인 접촉이 가능한 켈빈 테스트용 프로브를 제공하기 위하여, 검사 대상물의 리드에 접촉되는 켈빈 테스트용 프로브에 있어서, 상기 리드에 접촉되는 편심된 탐침부가 형성된 사각 기둥 형상의 플런저와; 양측이 개구되어 상기 플런저의 하부가 수용된 사각 기둥 형상의 배럴과; 상기 배럴 내부에 수용된 탄성 스프링과; 상기 배럴의 하부에 결합된 접촉핀;으로 구성됨을 특징으로 하여, 플런저의 탐침부가 사각 기둥 형상으로 돌출형성되므로 일반적인 가공으로 제작이 가능하며, 프로브가 사각 기둥 형상으로 제작되어 한 쌍의 프로브를 편심된 탐침부가 대향 배치되도록 세팅하기 쉽고, 탐침부의 최단부가 직선형태로 반도체 리드의 접촉부에 선접촉되므로 안정적인 접촉이 가능한 장점이 있다.The present invention relates to a Kelvin test probe, in order to provide a Kelvin test probe that is easy to manufacture, easy to set and stable contact, in the Kelvin test probe in contact with the lead of the test object, the contact with the lead A square columnar plunger having an eccentric probe portion formed therein; A barrel having a rectangular pillar shape in which both sides are opened to accommodate the lower portion of the plunger; An elastic spring housed in the barrel; The contact pin is coupled to the lower portion of the barrel; characterized in that, since the probe portion of the plunger is formed to protrude in a square column shape can be manufactured in a general process, the probe is produced in a square column shape eccentric pair of probes It is easy to set the probe part so as to face each other, and since the shortest part of the probe part is in linear contact with the contact portion of the semiconductor lead, there is an advantage that stable contact is possible.

Description

A probe for Kelvin testing

본 발명은 켈빈 테스트용 프로브에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 리드에 접촉되는 프로브의 형상을 사각 기둥 형상으로 제작하여 제작 및 접촉성을 개선한 것을 특징으로 하는 켈빈 테스트용 프로브이다.The present invention relates to a Kelvin test probe, and more particularly, to a Kelvin test probe characterized in that the shape of a probe contacting a semiconductor lead is formed into a square pillar shape to improve fabrication and contactability.

반도체 테스트 중에서 켈빈 테스트는 반도체 소자의 저항을 정밀하게 측정하기 위한 것으로 일반적으로 반도체 리드(lead)의 접촉부에 2개의 접촉 단자를 접촉시켜 전류와 전압을 측정하여 반도체 소자의 저항을 측정한다.Among the semiconductor tests, the Kelvin test is for precisely measuring the resistance of a semiconductor device. In general, two contact terminals are brought into contact with a contact of a semiconductor lead to measure resistance of the semiconductor device.

도 1은 켈빈 테스트를 도시하는 개념도이다.1 is a conceptual diagram illustrating a Kelvin test.

도 1에 도시된 바와 같이 검사하고자하는 소자(DUT:Device Under Test)의 양쪽 패드(Pad A, Pad B)에 각각 2개의 접촉 단자(probe)가 다른 지점에 접촉되어, 전류와 전압을 측정하여 검사 대상물(DUT)의 저항을 측정하게 된다.As shown in FIG. 1, two contact terminals (probes) are respectively contacted to different points on both pads A and Pad B of a device under test (DUT) to measure current and voltage. The resistance of the DUT is measured.

이러한 켈빈 테스트용 프로브 및 켈빈 테스트 장치에 관해서는 대한민국 특허청에 출원된 출원번호 제 특1997-020140호, 제 10-2003-0098335호 등에서 제안한 바 있다.Such Kelvin test probes and Kelvin test apparatuses have been proposed in Korean Patent Application Nos. 1997-020140 and 10-2003-0098335 filed with the Korean Intellectual Property Office.

그러나, 반도체 장치가 점차적으로 고집적화 됨에 따라 반도체의 터미널에 해당되는 리드는 그 수가 증가하게 되었고, 각 리드 사이의 간격 및 폭(피치)이 제한된다.However, as semiconductor devices are increasingly integrated, the number of leads corresponding to terminals of a semiconductor increases, and the spacing and width (pitch) between the leads are limited.

도 2는 종래의 켈빈 테스트용 프로브를 도시하는 사시도이다.2 is a perspective view showing a conventional Kelvin test probe.

도 2에 도시된 바와 같이 종래의 켈빈 테스트용 프로브는 한 쌍의 프로브(100a, 100b)가 대항 배치되며, 각 프로브는 반도체 리드의 접촉부에 접촉되는 플런저(10)와 상기 플런저(10)가 상부에 결합되는 원통형의 배럴(30)과 탄성력을 제공하도록 상기 배럴(30) 내부에 수용된 탄성 스프링(20) 및 상가 배럴(30)의 하부에 결합된 접촉핀(40)으로 구성된다.As shown in FIG. 2, in the conventional Kelvin test probe, a pair of probes 100a and 100b are disposed to face each other, and each probe has a plunger 10 and a plunger 10 contacting a contact portion of a semiconductor lead. It is composed of a cylindrical barrel 30 coupled to the elastic spring 20 accommodated in the barrel 30 and a contact pin 40 coupled to the lower portion of the mall barrel 30 to provide an elastic force.

도 3은 도 2의 평면도이다.3 is a plan view of FIG. 2.

도 3에 도시된 바와 같이 검사하고자하는 반도체 리드(1)의 접촉부(2)는 고집적화 됨에 따라 폭(b)이 일정 크기 이하로 제한되나, 켈빈 테스트를 위해서는 이러한 접촉부(2)에 한 쌍의 프로브가 접촉되어야 한다.As shown in FIG. 3, the contact portion 2 of the semiconductor lead 1 to be inspected is limited to a certain size or less as the density b is increased, but for a Kelvin test, a pair of probes are provided on the contact portion 2. Should be in contact.

따라서, 접촉시 발생되는 충격 하중을 흡수하기 위해서 탄성 스프링을 내장한 배럴의 크기를 일정 크기 이하로 제작하기 어려우므로 ,탐침부(14)를 프로브의 중심축으로부터 편심된 상태로 돌출형성시키고, 접촉부(2)를 중심으로 한 쌍의 프로브를 일정 거리(a) 이내로 대향 배치시키게 된다.(이 경우 필연적으로 a는 접촉부의 폭(b) 이내로 제한된다.)Therefore, in order to absorb the impact load generated at the time of contact, it is difficult to produce a barrel having a built-in elastic spring to a certain size or less, protruding the probe portion 14 in an eccentric state from the central axis of the probe, A pair of probes are arranged to face each other within a predetermined distance (a) around (2). (In this case, a is limited to within the width (b) of the contact portion.)

또한, 각 프로브(100a, 100b)의 상기 탐침부(14)의 상부에는 일정 각도로 기울어진 경사부(10a)를 통해 형성된 최단부(10b)가 접촉부에 접촉되도록 한다.In addition, the uppermost portion 10b formed through the inclined portion 10a inclined at a predetermined angle may be in contact with the contact portion on the probe 14 of each probe 100a or 100b.

그러나, 이러한 종래의 프로브는 일반적인 선삭 가공으로는 편심된 원통형의 탐침부를 가공할 수 없으므로 전용 가공 장치가 필요하며, 탐침부의 최단부(10b)가 접촉부에 점접촉되므로 접촉이 불안정하며, 한 쌍의 프로브를 정밀하게 대향 배치시키기 힘들다는 문제점이 있다.However, such a conventional probe cannot be machined with an eccentric cylindrical probe by general turning, so a dedicated machining device is required, and the contact is unstable because the shortest part 10b of the probe is in point contact with the contact. There is a problem in that it is difficult to precisely place the probes accurately.

본 발명은 상기의 문제점들을 해결하기 위해서 안출된 것으로서, 본 발명은 제작이 용이하면서도 세팅이 간편한 켈빈 테스트용 프로브를 제공하는 데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a Kelvin test probe that is easy to manufacture and simple to set.

본 발명의 또 다른 목적은 안정적인 접촉이 가능한 켈빈 테스트용 프로브를 제공하는 데 있다.Still another object of the present invention is to provide a probe for Kelvin test capable of stable contact.

본 발명에 따른 켈빈 테스트용 프로브는 검사 대상물의 리드에 접촉되는 켈빈 테스트용 프로브에 있어서, 상기 리드에 접촉되는 편심된 탐침부가 형성된 사각 기둥 형상의 플런저와; 양측이 개구되어 상기 플런저의 하부가 수용된 사각 기둥 형상의 배럴과; 상기 배럴 내부에 수용된 탄성 스프링과; 상기 배럴의 하부에 결합된 접촉핀;으로 구성됨을 특징으로 한다.The Kelvin test probe according to the present invention includes a Kelvin test probe contacting a lead of an object to be inspected, the plunger having a square pillar shape having an eccentric probe contacting the lead; A barrel having a rectangular pillar shape in which both sides are opened to accommodate the lower portion of the plunger; An elastic spring housed in the barrel; And a contact pin coupled to the bottom of the barrel.

여기서, 상기 플런저의 수직 이동을 구속하는 구속 수단이 구비됨을 특징으로 하고, 상기 구속 수단은 상기 플런저의 양측면에 함몰형성된 함몰부와; 상기 배럴을 내측으로 가압 절곡시킨 절곡부로 구성되어, 상기 절곡부가 상기 함몰부에 삽입됨을 특징으로 한다.Here, the restraining means for restraining the vertical movement of the plunger is provided, wherein the restraining means and the depression formed on both sides of the plunger; It is composed of a bent portion for pressing the barrel inwards, the bent portion is characterized in that the insertion portion.

또한, 상기 플런저는 상기 배럴의 내부에 수용되는 수용부와; 상기 수용부의 상부 중심으로부터 일정 간격 편심되어 상향 돌출형성된 사각 기둥 형상의 탐침부;로 구성됨을 특징으로 하고, 상기 탐침부는 상부에 일정 각도로 내향 경사진 경사부가 형성되어, 상기 리드에 선접촉됨을 특징으로 한다.In addition, the plunger may include a receiving part accommodated in the barrel; A rectangular pillar-shaped probe formed to be eccentrically spaced upward from the upper center of the accommodation portion; and the probe portion is inclined inwardly at a predetermined angle on an upper portion thereof to be in line contact with the lead. It is done.

본 발명에 따른 켈빈 테스트용 프로브는 플런저의 탐침부가 사각 기둥 형상으로 돌출형성되므로 일반적인 가공으로 제작이 가능하며, 프로브가 사각 기둥 형상으로 제작되어 한 쌍의 프로브를 편심된 탐침부가 대향 배치되도록 세팅하기 쉽다는 장점이 있다.In the Kelvin test probe according to the present invention, since the probe portion of the plunger is formed to protrude in a square column shape, the probe can be manufactured in a general process, and the probe is formed in a square column shape to set a pair of probes so that the eccentric probe portions are disposed to face each other. The advantage is easy.

그리고, 본 발명은 플런저의 수직 이동을 구속하는 구속 수단이 구비되고, 탐침부의 최단부가 직선형태로 반도체 리드의 접촉부에 선접촉되므로 안정적인 접촉이 가능한 또 다른 장점이 있다.In addition, the present invention is provided with a restraining means for restraining the vertical movement of the plunger, and since the shortest part of the probe portion is in linear contact with the contact portion of the semiconductor lead, there is another advantage that stable contact is possible.

도 1은 켈빈 테스트를 도시하는 개념도.1 is a conceptual diagram illustrating a Kelvin test.

도 2는 종래의 켈빈 테스트용 프로브를 도시하는 사시도.2 is a perspective view showing a conventional Kelvin test probe.

도 3은 도 2의 평면도.3 is a plan view of FIG.

도 4은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 켈빈 테스트용 프로브를 도시하는 개념도.4 is a conceptual diagram showing a Kelvin test probe according to a preferred embodiment of the present invention.

도 5는 도 4의 평면도.5 is a plan view of FIG. 4.

도 6은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 플런저를 도시하는 사시도. 6 is a perspective view showing a plunger according to an embodiment of the present invention.

도 7은 본 발명의 바람직한 또 다른 일실시예에 따른 플런저를 도시하는 사시도.7 is a perspective view showing a plunger according to another preferred embodiment of the present invention.

도 8은 도 7에 도시된 플런저를 이용한 켈빈 테스트용 프로브를 도시하는 단면도.FIG. 8 is a cross-sectional view illustrating a Kelvin test probe using the plunger shown in FIG. 7. FIG.

〈도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉<Explanation of symbols for main parts of drawing>

10: 플런저 10a: 경사부10: plunger 10a: inclined portion

10b: 최단부 12: 수용부10b: shortest part 12: receiving part

12a: 함몰부 14: 탐침부12a: depression 14: probe

20: 탄성 스프링 30: 배럴20: elastic spring 30: barrel

32,34: 절곡부 40: 접촉핀32, 34: bend 40: contact pin

42: 함몰부42: depression

이하, 첨부된 도면을 참조로 하여 본 발명 켈빈 테스트용 프로브를 보다 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, the present invention Kelvin test probe with reference to the accompanying drawings will be described in more detail.

도 4와 도 5는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 켈빈 테스트용 프로브를 도시하는 개념도 및 평면도이다.4 and 5 are a conceptual view and a plan view showing a Kelvin test probe according to an embodiment of the present invention.

도 4 에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 켈빈 테스트용 프로브는 한 쌍의 프로브(100a,100b)가 대향배치되어 사용되며, 상기 각 프로브(100a, 100b)는 사각 기둥 형상의 플런저(10) 및 배럴(30)과 상기 배럴(30) 내부에 수용된 탄성 스프링(20)과 접촉핀(40)으로 구성되고, 도 5에 도시된 바와 같이 각 프로브(100a, 100b)의 최단부(10b)가 반도체 리드(1)의 접촉부(2)에 각각 선접촉된다.As shown in FIG. 4, in the Kelvin test probe according to the present invention, a pair of probes 100a and 100b are disposed to face each other, and each of the probes 100a and 100b is a plunger 10 having a square pillar shape. It is composed of a barrel 30, an elastic spring 20 accommodated inside the barrel 30 and a contact pin 40, as shown in Figure 5, the shortest end (10b) of each probe (100a, 100b) is a semiconductor Line contact is made with the contact part 2 of the lid 1, respectively.

상기 플런저(10)는 탐침부(14)가 형성되어, 반도체 리드(1)의 접촉부(2)에 접촉되는 역할을 하며, 하부는 상기 배럴(30)의 상부에 수용된다.The plunger 10 has a probe 14 formed thereon, and serves to contact the contact portion 2 of the semiconductor lead 1, and the lower portion is accommodated in the upper portion of the barrel 30.

다음으로, 상기 배럴(30)은 양측이 개구된 사각 기둥 형상으로 제작되며, 상부에는 상기 플런저(10)의 하부가 수용되고 하부에는 접촉핀(40)의 상부가 수용된다. Next, the barrel 30 is formed in the shape of a square column with both sides opened, the upper portion of the lower portion of the plunger 10 is accommodated and the lower portion of the upper portion of the contact pin 40 is received.

상기 배럴(30) 및 플런저는 사각 기둥 형상으로 사측면이 평면이므로 프로브가 안착되는 소켓에 별도의 세팅 과정을 생략한 채 일측면을 기준으로 하여 한 쌍의 프로브의 각 탐침부가 대향 배치되도록 손쉽게 세팅할 수 있다.Since the barrel 30 and the plunger have a rectangular columnar shape, the four sides are flat, so that each probe of the pair of probes is easily set to face each other based on one side without omitting a separate setting process in the socket on which the probe is seated. can do.

또한, 상기 탄성 스프링(20)은 압축 코일 스프링을 이용하는 것이 바람직하며, 상기 배럴(30)의 내부에 수용되어 상부면은 상기 플런저(10)에 하부면에 하부면은 상기 접촉핀(40)의 상부에 각각 접촉되어, 상기 플런저(10)가 반도체의 리드에 접촉될 때 탄성력을 제공하는 역할을 한다.In addition, the elastic spring 20 preferably uses a compression coil spring, the upper surface is accommodated in the barrel 30, the lower surface of the plunger 10, the lower surface of the contact pin 40 In contact with each of the upper, it serves to provide an elastic force when the plunger 10 is in contact with the lead of the semiconductor.

그리고, 상기 접촉핀(40)은 프로브를 로드 보드(Load Board)에 연결시키는 역할을 하며, 상기 플런저(10)와 동일한 형태로 수직으로 형성된 함몰부(42)가 형성되어, 상기 배럴(30)을 내측으로 가압 절곡시킨 절곡부(34)가 상기 함몰부(42)에 삽입되도록 하여, 상기 배럴의 절곡부(34)가 상기 함몰부(42)의 양단에 구속되어 접촉핀의 수직이동을 구속하도록 제작하는 것이 바람직하다.In addition, the contact pin 40 serves to connect the probe to a load board, and a depression 42 is formed vertically in the same form as the plunger 10, and the barrel 30 is formed. The bent portion 34 pressurized and bent into the recess 42 to be inserted into the recess 42 to restrain the vertical movement of the contact pins by being constrained at both ends of the recess 42. It is preferable to manufacture so that.

또한, 상기 접촉핀(40)은 상기 배럴(30)에 수용되는 부위는 필연적으로 사각 기둥 형상으로 제작되며, 외부로 돌출된 부위는 사각 또는 원통형으로 제작가능하다.In addition, the contact pin 40 is a portion accommodated in the barrel 30 is inevitably manufactured in a square pillar shape, the portion protruding to the outside can be produced in a square or cylindrical.

다음으로 구체적인 플런저의 형상에 대해 살펴보기로 한다.Next, the shape of the specific plunger will be described.

도 6은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 플런저를 도시하는 사시도이다.6 is a perspective view showing a plunger according to a preferred embodiment of the present invention.

도 6에 도시된 바와 같이 플런저(10)는 배럴의 내부에 수용되는 수용부(12)와 상기 수용부(12)의 상부 중심으로부터 일정 간격 편심되어 상향 돌출형성된 사각 기둥 형상의 탐침부(14)로 구성된다.As shown in FIG. 6, the plunger 10 includes an accommodating part 12 accommodated in the barrel and a square pillar-shaped probe part 14 which is eccentrically spaced apart from the upper center of the accommodating part 12 to protrude upward. It consists of.

그리고, 상기 탐침부(14)의 상부에는 일정 각도로 내향 경사진 경사부(10a)가 형성되어, 탐침부(14)의 최단부(10b)는 일자 형상을 이루게 된다.In addition, the inclined portion 10a inclined inwardly at a predetermined angle is formed at the upper portion of the probe portion 14, and the shortest portion 10b of the probe portion 14 has a straight shape.

특히, 상기 플런저(10)의 형상은 사각 기둥 형태의 소재를 단순한 밀링 가공을 통해 형성시킬 수 있으므로, 종래의 플런저와 달리 고가의 전용 가공 장치가 필요하지 않게 된다.In particular, the shape of the plunger 10 can be formed through a simple milling process of the square column-shaped material, unlike the conventional plunger does not require an expensive dedicated processing device.

그리고, 상기 수용부(12)의 양측면에는 홈형상으로 함몰형성된 함몰부(12a)가 형성되고, 상기 함몰부(12a)에 대응되는 배럴(30)의 측면에는 내측으로 가압 절곡시킨 절곡부(32)가 형성되어 상기 함몰부(12a)에 삽입된다.In addition, recesses 12a formed in a groove shape are formed on both side surfaces of the accommodating part 12, and bent parts 32 pressurized and bent inward on the side surface of the barrel 30 corresponding to the recessed part 12a. ) Is formed and inserted into the depression 12a.

이러한 함몰부와 절곡부로 구성되는 구속 수단을 통해 상기 플런저의 수직이동을 구속하게 된다.Constraining means consisting of such depressions and bends to restrain the vertical movement of the plunger.

구체적으로 이를 살펴보면, 도 4에 도시된 바와 같이 평상 시 상기 절곡부(32)는 상기 플런저(10)가 배럴(30)에 구속되도록 하는 역할을 하며, 상기 플런저(10)가 반도체 리드의 접촉부에 접촉될 때는 상기 함몰부(12a)가 상기 절곡부(32)를 따라 수직이동되어 플런저(10)의 수직이동을 가이드 하는 역할을 한다.Specifically, as shown in FIG. 4, the bent portion 32 normally serves to allow the plunger 10 to be constrained to the barrel 30, and the plunger 10 is in contact with the semiconductor lead. When in contact, the depression 12a is vertically moved along the bent portion 32 to guide the vertical movement of the plunger 10.

도 7은 본 발명의 바람직한 또 다른 일실시예에 따른 플런저를 도시하는 사시도이며, 도 8은 도 7에 도시된 플런저를 이용한 켈빈 테스트용 프로브를 도시하는 단면도이다.7 is a perspective view showing a plunger according to another preferred embodiment of the present invention, Figure 8 is a cross-sectional view showing a Kelvin test probe using the plunger shown in FIG.

도 7에 도시된 바와 같이 함몰부(12a)는 도 6에 도시된 홈 형태의 함몰부와는 달리 수용부(12)의 양측면의 일부 구간을 함몰가공하여 상하부에 걸림턱이 형성된 형태로 제작되며, 도 8에 도시된 바와 같이 배럴(30)의 절곡부(32)가 상하방향으로 구속될 수 있도록 한다.As shown in FIG. 7, the recessed part 12a is manufactured in a form in which a locking step is formed in the upper and lower parts by recessing a part of both sides of the receiving part 12 unlike the recessed part of the groove shape shown in FIG. 6. As illustrated in FIG. 8, the bent portion 32 of the barrel 30 may be restrained in the vertical direction.

이러한 실시예는 플런저가 사각 기둥 형상으로 사각 기둥 형상의 배럴을 따라 수직이동되므로, 플런저의 상하 이동을 구속할 수 있도록 걸림턱 형상을 단순화하여 양측면을 가공한 것이다.In this embodiment, since the plunger is vertically moved along the barrel of the square column shape in the shape of a square column, both sides are processed by simplifying the shape of the locking step so as to restrain the vertical movement of the plunger.

따라서, 앞서 살펴본 도 6에 도시된 함몰부는 구루빙(grooving) 가공을 통해 형성시켜야 되지만, 본 실시예에 따른 함몰부는 수용부의 밀링 가공을 통해 형성시킬 수 있으므로 제작이 용이하다는 장점이 있다.Therefore, the recessed portion shown in FIG. 6 described above should be formed through a grooving process, but the recessed portion according to the present embodiment may be formed through milling of the receiving portion, and thus manufacturing is easy.

또한, 도 8에 도시된 배럴(30)에 형성되는 절곡부(32)는 도 6에 도시된 함몰부(12a)와는 달리 함몰부의 폭이 제한되지 않으므로 상기 절곡부(32)가 정확한 위치에 결합될 필요가 없어, 프로브의 제작이 용이하다는 장점이 있다.In addition, unlike the depression 12a illustrated in FIG. 6, the bent portion 32 formed in the barrel 30 shown in FIG. 8 is not limited in width, so the bent portion 32 is coupled to the correct position. It does not need to be, there is an advantage that the manufacturing of the probe is easy.

이상과 같이 본 발명은 사각 기둥 형상의 켈빈 테스트용 프로브를 제공하는 것을 기본적인 기술적인 사상으로 하고 있음을 알 수 있으며, 이와 같은 본 발명의 기본적인 사상의 범주 내에서, 당업계의 통상의 지식을 가진자에게 있어서는 다른 많은 변형이 가능함은 물론이다.As described above, it can be seen that the present invention provides a basic technical idea to provide a Kelvin test probe having a square column shape, and within the scope of the basic idea of the present invention, those skilled in the art Of course, many other variations are possible.

Claims

In the Kelvin test probe in contact with the lead of the inspection object,

A square column shaped plunger (10) having an eccentric probe portion in contact with the lead;

A barrel (30) having a rectangular columnar shape in which both sides are opened to accommodate a lower portion of the plunger;

An elastic spring 20 accommodated in the barrel;

Kelvin test probe, characterized in that consisting of; contact pins (40) coupled to the bottom of the barrel.

The method of claim 1,

Kelvin test probe, characterized in that the restraining means for restraining the vertical movement of the plunger (10).

The method of claim 2,

The restraining means,

Depressions (12a) recessed on both sides of the plunger (10);

Kelvin test probe, characterized in that consisting of a bent portion (32) for pressing and bending the barrel (30) inward, the bent portion (32) is inserted into the depression (12a).

The method of claim 1,

The plunger 10,

An accommodation part 12 accommodated in the barrel 30;

Kelvin test probe, characterized in that consisting of; a rectangular pillar-shaped probe portion 14 is eccentrically spaced upward from the upper center of the receiving portion.

The method of claim 4, wherein

The probe unit 14,

The inclined portion (10a) is inclined inwardly at a predetermined angle on the upper part, Kelvin test probe, characterized in that the line contact with the lead.