KR100914061B1 - 소프트 스탬핑 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 소프트 리소그래피(soft lithography) 공정을 이용하여 미세 패턴을 형성하는 소프트 스탬핑 장치에 관한 것으로서, 스탬프가 체결 고정되는 스탬프 척, 스탬프 척이 슬라이딩 가능하게 결합되는 프레임, 스탬프 척의 하부에 이격되도록 위치하며 진공 흡입력에 의해 기판이 부착되는 기판 척, 기판 척의 하부에 배치되면서 기판 척을 승강시키는 변위 이동부, 스탬프 척의 상부에 위치하도록 설치되며 스탬프와 상기 기판의 위치를 파악하는 위치정렬 감시부, 및 위치정렬 감시부에서 파악된 위치 정보에 따라 변위 이동부를 작동시키는 작동 제어부를 포함한다. 이와 같은 구성에 의해 본 발명은 소프트 리소그래피 공정이면서도 높은 정밀도로 변위 및 하중을 제어하도록 구성함으로써 미세 패턴을 보다 용이하게 형성시킬 수 있으며, 소프트 리소그래피 공정을 수행하는 장비를 케이스의 내부에 수용함으로써 장비가 컴팩트(compact)화되면서도, 스탬프 또는 기판의 장착이 용이하도록 구성함으로써 조작의 편의성이 높아진 효과가 있다.

탄성중합체 스탬프, 기판, 웨이퍼, 마이크로/나노패턴, 소프트 리소그래피, 미세접촉 프린팅, 소프트 스탬핑 장치

Description

소프트 스탬핑 장치{Soft Stamping Device}

본 발명은 소프트 리소그래피(soft lithography) 공정을 이용하여 미세 패턴을 형성하는 소프트 스탬핑 장치에 관한 것이며, 보다 상세하게는 소프트 리소그래피 공정을 수행하는 장비의 크기를 컴팩트(compact)화하면서도 조작의 편의성을 높이도록 제작된 소프트 스탬핑 장치에 관한 것이다.

반도체 공정에서 프린팅 패턴의 소형화와 고집적화는 시간, 비용 및 시료의 크기를 감소시키고, 새로운 기능을 향상시키기 위해 중요한 요소이다. 그러나, 마이크로/나노 크기의 해상도를 얻기 위해서 반도체 공정 방법들을 사용하자면 초기자본 및 유지비 등의 비용이 많이 소요될 뿐만 아니라, 소스(source)가 방사능의 누출을 유발할 수 있기 때문에 환경 친화적이지 않다. 그래서, 기존의 제조기술로는 불가능한 소프트한 물질과 평평하지 않은 표면이나 특이한 물질 혹은 넓은 면적에 대한 패터닝에는 쉽게 사용할 수 없다는 한계로 인하여 새로운 방법이 모색되고 있다.

소프트 리소그래피는 지금까지 마이크로 또는 나노구조물을 만들기 위해 포토 리소그래피나 복제기술의 대안으로 개발된 몇 개의 리소그래피 기술 - 미세접촉 인쇄(microcontact printing), 복제주조(replca molding), 미소전이 주조(micromolding), 및 엘라스토머 상전이 마스크를 이용한 포토 리소그래피(near field conformal)-을 총칭하여 일컫는 말이다. 이 방법은 모든 공정에서 단단한 무기질의 재료보다는 유연한 유기질 재료인 탄성중합체 스탬프나 몰드(mold)로 미세패턴을 만들어 기판으로 전이한다.

소프트 리소그래피 공정의 가장 대표적인 방법인 미세접촉 인쇄는 단순성과 편리성 외에도 많은 수의 패턴을 복제할 수 있다는 장점을 가지고 있으며, 탄성중합체 스탬프와 기판 표면 사이의 정합접촉이 패턴 전이의 핵심기술이다. 미세접촉 인쇄는 2차원의 형상을 만드는데 가장 적합하지만, 금속 박막도금과 같은 다른 공정과 결합되면 3차원 형상을 만드는데 이용할 수도 있다.

미세접촉 인쇄는 가공된 마스터(master)로부터 탄성중합체(PDMS) 스탬프에 패턴을 복제하고, 단층형 잉크(monolayer-forming)를 습식 잉킹(wet inking) 또는 접촉 잉킹(contact inking) 방식으로 자기조립 단층막을 형성한다. 이와 같이 기능성 잉크가 적셔진 스탬프로 금 또는 은이 코팅된 기판에 미세 패턴을 전이한다. 이렇게 미세 패턴이 인쇄된 기판은 식각(etching) 공정 또는 증착(deposition) 공정을 통해 마스터에 따른 패턴으로 제작될 수 있게 된다.

현재까지 미세접촉 인쇄에 사용되는 종래기술의 소프트 스탬핑 장치는 수동작업에 의해 추의 무게를 단순하게 부가하는 방식으로 탄성중합체 스탬프와 기판을 접촉시켜 미세 패턴을 전이시킨다.

하지만, 이런 종래기술의 소프트 스탬핑 장치는 수동작업으로 진행함에 따라 재현성 및 반복성 있는 미세 패턴을 지속적으로 형성시키지 못하여 생산성이 낮다. 뿐만 아니라, 종래기술의 소프트 스탬핑 장치는 탄성중합체 스탬프와 기판과의 미세 접촉시 정밀하게 변위를 제어하기 어려워서, 접촉불량 및 정렬오차에 의해 미세 패턴이 변형되는 단점이 있다.

본 발명은 앞서 설명한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로서, 소프트 리소그래피 공정이면서도 높은 정밀도로 변위 및 하중을 제어하도록 구성함으로써 미세 패턴을 보다 용이하게 형성시킬 수 있는 소프트 스탬핑 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

또한, 본 발명은 소프트 리소그래피 공정을 수행하는 장비의 크기를 컴팩트(compact)화하면서도 스탬프 또는 기판의 장착이 용이하도록 구성함으로써 조작의 편의성이 높아진 소프트 스탬핑 장치를 제공하는데 다른 목적이 있다.

본 발명의 소프트 스탬핑 장치는 스탬프가 체결 고정되는 스탬프 척, 상기 스탬프 척을 설정된 높이로 지지하며 상기 스탬프 척이 슬라이딩 가능하게 결합되는 프레임, 상기 스탬프 척의 하부에 이격되게 위치하며 진공 흡입력에 의해 기판이 부착되는 기판 척, 상기 기판 척의 하부에 배치되면서 상기 기판 척을 승강시키는 변위 이동부, 상기 스탬프 척의 상부에 위치하도록 설치되며 상기 스탬프와 상기 기판의 위치를 파악하는 위치정렬 감시부, 및 상기 위치정렬 감시부에서 파악된 위치 정보에 따라 상기 변위 이동부를 작동시키는 작동 제어부를 포함한다.

상기 스탬프 척에는 상호 맞물리는 제1 레일 또는 제1 레일 가이드 중 어느 하나가 설치되고, 상기 프레임에는 상기 제1 레일 또는 상기 제1 레일 가이드 중 다른 나머지 하나가 설치되어, 상기 프레임에 상기 스탬프 척이 슬라이딩 가능하게 결합된다.

상기 스탬프 척은 사각 평면 형상을 갖는 판형 부재로서 그 일측 모서리에 돌출된 손잡이를 구비하고, 평면을 관통하는 스탬프 창이 형성된다.

상기 스탬프 척은 상기 스탬프를 클램핑하는 클램핑 수단을 구비한다. 상기 클램핑 수단은 상기 스탬프를 기준으로 상호 마주하는 지점에 각각 위치하는 한 쌍으로 구성된다. 상기 클램핑 수단은 상기 스탬프에 밀착되는 고정용 지그, 상기 고정용 지그가 상기 스탬프를 클램프하도록 상기 고정용 지그에 압축력을 제공하는 코일 스프링, 및 상기 코일 스프링을 통과하여 상기 고정용 지그의 일측을 상기 스탬프 척에 고정하는 고정용 볼트를 포함한다.

상기 스탬프 척은 상기 스탬프의 외곽 모서리에 정합되게 절단면이 형성된 스탬프 위치결정용 지그를 더 구비하며, 상기 스탬프 위치결정용 지그는 한 쌍으로 이루어져 상호 마주하면서 이격되게 설치된다.

상기 프레임은 설정된 높이에 위치하는 상부면을 구비하며, 상기 상부면에 상기 스탬프 척이 슬라이딩 가능하게 결합된다.

상기 프레임은 상기 상부면에 기판 창이 형성되며, 상기 기판 척은 상기 프레임의 내부 공간에 위치하여 상기 기판 창을 통해 상기 스탬프 척과 마주한다.

상기 기판 척은 상기 기판이 놓여지는 진공 플레이트를 구비하며, 상기 진공 플레이트에는 상기 기판이 맞닿는 면을 관통하는 제1 진공용 구멍이 형성된다. 상기 기판 척은 상기 진공 플레이트의 하부 면에 부착되는 하부 플레이트를 더 구비하며, 상기 하부 플레이트에는 상기 제1 진공용 구멍에 소통하는 제2 진공용 구멍 이 형성되고, 상기 진공 플레이트와 상기 하부 플레이트 사이에는 그 밀착면 사이에 진공용 패킹부재가 감싸져 밀봉된다.

상기 기판 척은 상기 기판의 일측 모서리가 정합하는 기판 장착용 지그를 구비하며, 상기 기판 장착용 지그가 상기 진공 플레이트에 부착된다.

본 발명은 상기 위치정렬 감시부가 설치되어 상기 위치정렬 감시부를 설정된 높이로 지지하는 케이스를 더 포함한다.

상기 케이스는 상기 스탬프 척, 상기 프레임, 상기 기판척, 상기 변위 이동부, 상기 위치정렬 감시부, 및 상기 작동 제어부를 내부에 감싸는 벽면 부재들로 이루어진다. 상기 벽면 부재들은 상기 위치정렬 감시부가 거치되면서 상호 마주하는 우측 벽면 부재와 좌측 벽면 부재를 포함한다.

상기 위치정렬 감시부는 상기 우측 벽면 부재와 상기 좌측 벽면 부재에 각각 설치되는 제1 가이드 부재들, 상기 제1 가이드 부재들에 각각 맞물려서 상기 제1 가이드 부재들을 따라 제1 방향으로 거동하는 제2 가이드 부재, 상기 제2 가이드 부재에 맞물려서 상기 제2 가이드 부재를 따라 제2 방향으로 거동하는 제3 가이드 부재, 및 상기 제3 가이드 부재의 단부에 거치되게 결합되어 상기 스탬프와 상기 기판의 위치를 파악하는 카메라를 포함한다.

상기 제2 가이드 부재와 상기 제3 가이드 부재는 각각 대응하는 케이블에 연결되며, 상기 작동 제어부는 상기 케이블을 조작하여 각각 대응하는 상기 제2 가이드 부재와 상기 제3 가이드 부재를 거동시킨다.

상기 벽면 부재들은 상기 우측 벽면 부재와 상기 좌측 벽면 부재를 연결하면 서 측면 공간을 감싸는 전방 벽면 부재와 후방 벽면 부재를 더 포함한다.

상기 벽면 부재들 중에서 어느 하나에는 내부가 투영되는 투명창이 설치된다. 상기 벽면 부재들 중에서 어느 하나 이상에는 수평 상태를 보여주는 수평 검출기가 설치되며, 상기 수평 검출기는 액체가 담겨진 도관에 공기 방울의 움직움으로 수평 상태를 보여주는 기기이다.

상기 전방 벽면 부재는 상기 우측 벽면 부재와 상기 좌측 벽면 부재에 비해 그 높이가 낮으며, 상기 우측 벽면 부재와 상기 좌측 벽면 부재 사이의 전방 측면 공간에는 상기 전방 벽면 부재와 함께 모니터가 설치된다.

상기 모니터는 상기 작동 제어부와 상기 위치정렬 감시부에 연결되어 각 작동 상태가 화면 상에 모니터링된다. 상기 모니터에는 제2 레일 가이드가 설치되고, 상기 우측 벽면 부재와 상기 좌측 벽면 부재에는 상기 제2 레일 가이드에 슬라이딩 가능하게 맞물리는 제2 레일이 설치된다. 또는 상기 모니터에는 양 측부에 돌출된 회전축이 설치되고, 상기 우측 벽면 부재와 상기 좌측 벽면 부재에는 상기 회전축이 회전 가능하게 축결합된다.

본 발명의 소프트 스탬핑 장치는 소프트 리소그래피 공정이면서도 높은 정밀도로 변위 및 하중을 제어하도록 구성함으로써 미세 패턴을 보다 용이하게 형성시킬 수 있는 장점이 있다.

또한, 본 발명은 소프트 리소그래피 공정을 수행하는 장비를 케이스의 내부에 수용함으로써 장비가 컴팩트(compact)화되면서도, 스탬프 또는 기판의 장착이 용이하도록 구성함으로써 조작의 편의성이 높아진 장점이 있다.

또한, 본 발명은 탄성중합체 스탬프와 기판과의 위치를 보다 정교하게 정렬할 뿐만 아니라, 다층(multi-layer)공정도 가능한 장점이 있다.

또한, 본 발명은 기판의 크기에 제한을 받지 않고, 다양한 크기의 기판들을 장착할 수 있는 장점이 있다.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.

도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 소프트 스탬핑 장치를 개략적으로 나타낸 사시도이다.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 소프트 스탬핑 장치(100)는 소프트 리소그래피 공정에 기초하면서도 하부에서 상부로 거동하는 미세접촉 스탬핑 방식으로 개선하고, 높은 정밀도로 변위 및 하중을 제어하도록 구성함으로써 스탬프의 미세 패턴을 기판으로 용이하게 전이 형성시킨다. 더욱이, 본 실시예의 소프트 스탬핑 장치(100)는 소프트 리소그래피 공정에 수행하는 장비의 크기를 컴팩트화하면서 조작의 편의성을 높이도록 제작된다. 이를 위해 소프트 스탬핑 장치(100)는 다음과 같이 구성된다.

소프트 스탬핑 장치(100)는 장치의 외관을 형성하는 케이스(110)를 구비하 여, 소프트 리소그래피 공정 수행시 외부로부터 미치는 방해 요소의 영향을 최소화한다. 그리고, 소프트 스탬핑 장치(100)는 케이스(110)의 내부에 소프트 리소그래피 공정을 수행하는 장비를 수용함으로써, 하나의 구성품으로 컴팩트화시킨다.

케이스(110)는 대략적으로 육면체 형상을 갖는다. 케이스(110)는 그 측면 공간을 감싸도록 구성되는 벽면 부재(111, 112, 113)들, 그 상부면을 감싸는 상부면 부재(114), 및 케이스(110)의 바닥면으로 이용되는 하부면 부재로 이루어진다. 이를 더 자세하게 구분하면, 벽면 부재(111, 112, 113)들은 이격된 상태로 상호 마주하는 우측 벽면 부재(111)와 좌측 벽면 부재(112)를 구비하고, 이런 우측 벽면 부재(111)와 좌측 벽면 부재(112)를 연결하면서 그 측면 공간을 감싸는 전방 벽면 부재(113)와 후방 벽면 부재를 구비한다. 이런 벽면 부재(111, 112, 113)들 중에서 어느 하나에는 내부가 투영되는 투명창(115)이 설치된다. 본 실시예는 가장 바람직하게 우측 벽면 부재(111)에 투명창(115)이 설치되어 아래에서 설명할 변위 이동부의 작동을 외부에서 관찰할 수 있도록 구성한다. 또한, 벽면 부재(111, 112, 113)들 중에서 어느 하나 이상에는 수평 상태를 보여주는 수평 검출기(117)가 설치된다. 수평 검출기(117)는 액체가 담겨진 도관에 공기 방울의 움직움으로 수평 상태를 보여주는 기기로서, 소프트 스탬핑 장치(100)가 수평 상태로 유지되는지를 확인 가능하게 한다.

모니터(120)는 전방 벽면 부재(113)와 함께 케이스(110)의 전방에 위치한다. 전방 벽면 부재(113)는 우측 벽면 부재(111)와 좌측 벽면 부재(112)에 비해 그 높이가 낮아서, 우측 벽면 부재(111)와 좌측 벽면 부재(112) 사이의 전방 측면 공간 에서 하부에 위치한다. 반면, 모니터(120)는 전방 벽면 부재(113)의 상부에 위치하며, 우측 벽면 부재(111)와 좌측 벽면 부재(112) 사이에 설치된다.

도 2는 도 1에 도시된 모니터가 상하로 슬라이딩하여 거동함을 나타낸 소프트 스탬핑 장치의 사시도이다.

도 2에 도시된 바와 같이, 모니터(120)는 우측 벽면 부재(111)와 좌측 벽면 부재(112) 사이에 설치된 상태에서 상하로 슬라이딩 가능하게 설치된다. 이런 모니터(120)의 슬라이딩 거동구조는 도 3에서 보다 자세하게 살펴볼 수 있다.

도 3은 도 2에 도시된 소프트 스탬핑 장치의 일부를 확대하여 모니터의 슬라이딩 거동구조를 나타낸 사시도로서, 상부면 부재(114)를 제거한 상태에서 모니터(120)의 배면 방향에서 바라본 것이다.

모니터(120)는 각종 데이터와 각각의 작동 상태를 화면 상에 모니터링하는 장비로서, 가장 바람직하게는 LCD 모니터가 사용된다. 모니터(120)는 아래에서 설명할 작동 제어부와 위치정렬 감시부에 각각 연결되어, 전기적인 신호를 수신하거나 송신한다. 모니터(120)는 그 배면이 브라켓(121)에 일체로 결합된다. 그리고, 브라켓(121)에는 그 양 측부에 레일 가이드(124)가 설치되고, 우측 벽면 부재(111)와 좌측 벽면 부재(112)에는 레일 가이드(124)에 맞물리는 레일이 상하방향으로 뻗어지게 각각 설치된다. 이로 인해, 모니터(120)는 레일 가이드(124)가 레일을 따라 상하로 거동하게 된다. 이때, 모니터(120)는 설정된 높이만큼 슬라이딩 거동된 후에 정지된 상태로 유지될 수 있다. 이를 위해 브라켓(121)에는 스프링 플런저(plunger)가 설치되고, 우측 벽면 부재(111) 또는 좌측 벽면 부재(112)에는 지지 체(122)가 일체로 결합된다. 그리고, 지지체(122)는 플런저에 대응하는 홈이 형성되어 있으며, 모니터(120)가 거동하는 과정에서 플런저가 지지체(122)의 홈에 끼워짐으로써 모니터(120)가 설정된 높이에서 정지될 수 있다.

다만, 소프트 스탬핑 장치(101)는 다른 실시예로서 도 4에 도시된 바와 같이 모니터(120)의 거동구조가 축회전 형태로 변형될 수도 있다. 즉, 모니터(120) 또는 모니터 브라켓에는 그 양 측부에 돌출된 회전축(127)이 설치되고, 우측 벽면 부재(111)와 좌측 벽면 부재(112)에는 회전축(127)이 회전 가능하게 축결합된다. 그리고, 소프트 스탬핑 장치(101)는 우측 벽면 부재(111)와 좌측 벽면 부재(112) 사이에 링크 고정대가 설치되고, 모니터(120) 또는 모니터 브라켓이 링크 고정대에 회전 가능하게 축결합되는 구조도 가능하다.

도 5a는 도 1에 도시된 소프트 스탬핑 장치의 일부를 확대하여 스탬프 척에스탬프가 장착된 상태를 나타낸 사시도이고, 도 5b는 도 5a에 도시된 스탬프 척이 슬라이딩하여 돌출된 상태를 나타낸 사시도이다.

도 1, 도 5a 및 도 5b에 도시된 바와 같이, 소프트 스탬핑 장치(100)는 케이스(110)의 내부에 소프트 리소그래피 공정을 수행하기 위한 장비로서 스탬프 척(130)과 기판 척(150)을 구비한다.

스탬프 척(130)에는 스탬프(140)가 체결 고정되는데, 스탬프(140)로는 탄성중합체 또는 투명한 폴리머 글라스(polymer glass ; 투명한 글라스에 탄성중합체가 부착된 스탬프)가 사용된다. 이런 스탬프 척(130)에는 그 일측 모서리에 돌출된 손잡이(131)가 형성되어, 작업자가 잡아 당기는 힘과 같은 외력이 손잡이(131)를 통해 전달되도록 한다. 스탬프 척(130)은 사각 평면 형상을 갖는 판형 부재로서 평면을 관통하는 스탬프 창(window)이 형성된다. 스탬프 창은 스탬프 척(130)의 하부에 위치하는 기판에 대응하는 크기로 형성되어, 스탬프 패턴이 접촉 가능하게 된다. 그리고, 스탬프 척(130)에는 스탬프 창을 커버하도록 스탬프(140)가 놓여짐으로써, 스탬프(140)와 기판이 상하 일직선 상에 각각 위치하게 된다. 이때, 스탬프 척(130)은 스탬프 창의 각 코너에서 그 중심 방향으로 스탬프 받침대(136)가 돌출되게 형성되어, 스탬프(140)의 모서리 또는 그 일부가 스탬프 받침대(136)에 걸쳐져 놓여지게 된다. 스탬프 척(130)은 이렇게 스탬프(140)가 놓여진 상태에서 스탬프(140)를 클램핑(clamping)하는 클램프 수단(132)을 구비한다. 클램프 수단(132)은 적어도 스탬프(140)를 기준으로 상호 마주하는 지점에 각각 위치하는 한 쌍으로 구성되는데, 도 6에 도시된 바와 같은 구성요소로 이루어진다.

도 6은 도 5a에 도시된 스탬프 척에 스탬프를 고정하는 클램프 구조를 확대하여 나타낸 사시도이다.

도 6에 도시된 바와 같이, 클램프 수단(132)은 스탬프(140)에 밀착되는 고정용 지그(133)를 포함한다. 고정용 지그(133)는 그 일부가 스탬프(140)의 모서리 또는 코너에 밀착되어, 스탬프(140)가 스탬프 받침대(136)와의 사이에 끼워지도록 한다. 그리고, 클램프 수단(132)는 고정용 지그(133)의 일측에 위치하여 고정용 지그(133)에 압축력을 제공하는 코일 스프링(134), 및 코일 스프링(134)을 통과하여 고정용 지그(133)의 일측을 스탬프 받침대(136)에 고정하는 고정용 볼트(135)을 더 구비한다. 그러면, 클램프 수단(132)은 코일 스프링(134)의 텐션 또는 회전에 의해 고정용 지그(133)가 벌어진 상태로 위치하다가 다시 스탬프(140)에 밀착 고정될 수 있다.

도 5a 및 도 5b를 참고하면서 더 설명하자면, 스탬프 척(130)은 스탬프(140)가 장착되는 위치를 설정하기 위해서 스탬프 위치결정용 지그(137)를 더 구비한다. 스탬프 위치결정용 지그(137)는 스탬프(140)의 외곽 모서리에 정합되게 절단면이 형성된 부재로서, 상호 마주하면서 이격되게 설치되는 한 쌍으로 이루어진다. 즉, 한 쌍의 스탬프 위치결정용 지그(137)들은 클램프 수단(132)이 위치하지 않는 스탬프 받침대(136)에 각각 위치하는데, 스탬프(140)의 크기에 준하여 이격 거리가 설정된다. 그러면, 스탬프(140)는 한 쌍의 스탬프 위치결정용 지그(137)들 사이에 정합되게 놓여짐으로써, 설정된 위치에 일정하게 유지될 수 있다.

본 실시예는 작업자가 보다 용이하게 스탬프(140)를 스탬프 척(130)에 탈착할 수 있도록, 도 5a와 같이 스탬프 척(130)이 케이스(110)의 내부에 위치하다가 도 5b와 같이 스탬프 척(130)이 전방으로 슬라이딩하면서 거동되게 구성된다. 즉, 스탬프 척(130)의 바닥면에는 레일 가이드가 설치되고, 프레임(118)에는 스탬프 척(130)에 부착된 레일 가이드와 맞물리는 레일(138)이 설치된다. 그러면, 스탬프 척(130)은 손잡이(131)를 잡아 당기는 외력에 의해 레일(138)을 따라 슬라이딩하면서 거동될 수 있다. 그리고, 레일(138)에는 길이 방향의 따라 설정된 간격마다 오목한 작은 홈이 형성되어, 레일(138)을 따라 슬라이딩하는 레일 가이드가 홈에 끼워짐으로써 설정된 위치에서 정지될 수 있다. 즉, 오목한 작은 홈이 스톱퍼(stopper) 역할을 한다. 다만, 바람직하게는 오목한 작은 홈이 레일(138)의 양 단부 근처에 위치하여, 스탬프 척(130)이 케이스(110)의 내부에서 정지된 상태로 위치하거나 전방으로 슬라이딩된 후에 정지된 상태로 위치하도록 구성한다. 본 실시예는 스탬프 척(130)에 레일 또는 레일 가이드 중 어느 하나가 설치되고, 프레임(118)에 레일 또는 레일 가이드 중 다른 나머지 하나가 설치되어, 상호 맞물려서 슬라이딩 가능하게 결합될 수 있다면 레일 또는 레일 가이드의 설치 위치를 한정하지 않는다.

프레임(118)은 스탬프 척(130)을 설정된 높이로 지지하면서, 스탬프 척(130)이 슬라이딩 가능하게 결합되는 구성요소이다. 이를 위해 프레임(118)은 설정된 높이에 평평한 상부면을 구비하고, 이런 상부면에 스탬프 척(130)이 슬라이딩 가능하게 결합된다. 프레임(118)의 상부면에는 기판 창(119)이 형성되며, 기판 척(150)은 프레임(118)의 내부 공간에 위치하여 기판 창(119)을 통해 스탬프 척(130)과 마주한다.

도 7은 도 1에 도시된 소프트 스탬핑 장치 중에서 기판 척을 확대하여 나타낸 사시도이다.

도 5a, 도 5b, 및 도 7에 도시된 바와 같이, 기판 척(150)은 스탬프 척(130)의 하부에 이격되게 위치하며, 진공 흡입력에 의해 기판(145)이 부착된다. 본 실시예에 사용되는 기판(145)은 전극을 형성할 수 있는 금속이 코팅된 반도체 웨이퍼(wafer)이거나, ITO 및 전도성 재료가 코팅된 플라스틱이다. 기판 척(150)은 기판(145)이 놓여지는 진공 플레이트(151)와, 이런 진공 플레이트(151)의 하부 면에 부착되는 하부 플레이트(156)을 각각 구비한다. 또한, 기판 척(150)은 기판(145) 의 일측 모서리가 정합하는 기판 장착용 지그(154)를 더 구비한다. 그러면, 기판(145)은 그 일측 모서리와 기판 장착용 지그(154)의 모서리가 상호 맞접하면서, 기판 척(150)에 놓여지는 위치가 매번 동일한 위치로 일정하게 유지된다.

도 8은 도 7에 도시된 기판 척 중에서 진공 플레이트를 하부에서 바라본 사시도이다.

도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 기판 척(150)은 진공 플레이트(151)을 구비하는데, 이런 진공 플레이트(151)에는 기판(145)이 맞닿는 면을 관통하도록 제1 진공용 구멍(152)이 형성된다. 또한, 진공 플레이트(151)의 하부 면에는 제1 진공용 구멍(152)의 주위를 둥글게 둘러 싸는 진공용 패킹부재(153)가 설치된다.

그리고, 기판 척(150)은 도 9에 도시된 바와 같이 하부 플레이트(156)에 제2 진공용 구멍(157)이 형성되고, 진공용 패킹부재(153)에 대응하는 채널(158)이 진공 플레이트(151)와 맞닿는 상부 면에 둥글게 둘러 싸는 형태로 형성된다. 기판 척(150)은 진공 플레이트(151)와 하부 플레이트(156)가 상호 맞닿아 결합되며, 진공용 패킹부재(153)가 채널(158)에 끼워짐으로써 진공 플레이트(151)와 하부 플레이트(156) 사이의 밀착면에서 내부의 일정 공간이 밀봉되게 감싸진다. 이때, 제2 진공용 구멍(157)은 내부의 일정 공간으로 소통되게 형성됨으로써, 제1 진공용 구멍(152)과도 소통된다. 이로 인해 기판(145)은 기판 척(150)에 놓여진 상태에서 제1 진공용 구멍(152)과 제2 진공용 구멍(157)을 통해 진공이 가해진다. 그러면, 기판(145)은 외부의 물리적인 접촉에 의해 고정되지 않고서도 기판 척(150)의 진공 플레이트(151)에 밀착 고정될 수 있다.

도 9는 도 7에 도시된 기판 척 및 이의 위치를 조절하는 변위 이동부를 각각 나타낸 분리 사시도이다.

도 5a 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 변위 이동부(160)는 기판 척(150)의 하부에 배치된다. 변위 이동부(160)는 기판 척(150)를 상하로 승강시킴으로써, 스탬프(140)와 기판(145)을 상호 접촉시킨다. 그러면, 마스터(master) 또는 마스크(mask)로부터 복제된 스탬프(140)의 미세 패턴은 기판(145)으로 전이된다.

변위 이동부(160)는 기판 척(150)을 승강시키거나 평면 좌표(X, Y) 상에의 위치를 미세하게 변동시킨다. 이런 변위 이동부(160)는 평면 상에서 X방향(제1 방향) 및 Y방향(제2 방향)으로 거동하는 수평 변위 이동부(161)와, 수평 변위 이동부(161)에 적층되면서 상하 거동하는 수직 변위 이동부(167)를 포함한다.

수평 변위 이동부(161)는 라이너 크로스 롤러 베어링(liner cross roller bearing) 타입으로서, 평면 좌표 상에서 미세하게 이동한다. 수평 변위 이동부(161)는 제1 방향을 따라 거동하는 제1 변위 이동부(162)와, 제1 변위 이동부(162)에 적층되면서 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 거동하는 제2 변위 이동부(164)로 구분된다. 제1 변위 이동부(162)와 제2 변위 이동부(164)는 300mm X 300mm 크기의 평면적을 갖는 테이블 부재로서, 그 접촉면 사이에 크로스 롤러 베어링(Cross Roller Bearing)이 위치한다.

그리고, 제1 변위 이동부(162)에는 제1 이동 가이드가 설치되며, 제1 마이크로미터 헤드(Micrometer Head ; 163)는 제1 이동 가이드와 연동된다. 그러면, 제1 변위 이동부(162)는 제1 마이크로미터 헤드(163)의 조작에 따라 ±5mm 범위 내에서 미세하게 거동된다. 제2 변위 이동부(164)에는 제1 이동 가이드와 교차되는 방향을 따라 제2 이동 가이드가 설치되며, 제2 마이크로미터 헤드(165)는 제2 이동 가이드와 연동된다. 그러면, 제2 변위 이동부(164)도 제2 마이크로미터 헤드(165)의 조작에 따라 ±5mm 범위 내에서 미세하게 거동된다.

수직 변위 이동부(167)는 피에조 엑츄에이터(Piezo actuator) 방식으로서, 상하 방향으로 나노(Nano) 값 단위로 미세하게 거동된다. 이런 수직 변위 이동부(167)는 기판 척(150)을 향하여 상하 거동하는 제3 변위 이동부(168)와, 제3 변위 이동부(168)에 맞물려 지지하는 제4 변위 이동부(169)를 구비한다. 수직 변위 이동부(167)는 압전현상을 이용하여 제3 변위 이동부(168)를 미세하게 상하 거동시킨다.

로드 셀(170)은 기판 척(150)과 변위 이동부(160) 사이에 배치되면서, 기판 척(150)의 이동시 가해지는 하중을 측정한다. 본 실시예에 사용되는 로드 셀(170)은 압축형 초소형 로드셀로서, 일정 간격으로 다수 개가 균일하게 분포 설치되는 것이 바람직하다. 기판(145)은 수직 변위 이동부(167)에 의해 상부로 거동되면서, 스탬프(140)와 접촉하게 된다. 그러면, 로드 셀(170)은 스탬프(140)와 기판(145) 사이의 접촉시 발생되는 미세한 하중변화를 감지하고, 수직 변위 이동부(167)는 로드 셀(170)에서 감지된 하중 변화 값에 따라 거동 변위가 제어된다.

이와 같이 본 실시예의 소프트 스탬핑 장치(100)는 변위 이동부(160)에 의해 기판 척(150)을 하부에서 상부로 미세하게 거동시키면서 스탬프(140)와 기판(145)을 상호 접촉시키기 때문에, 종래기술과 같이 상부에서 하중을 인가하여 접촉시키 는 방식에 비해 과도한 하중이 전달되거나 접촉 불량이 발생될 확률이 현저히 낮아진다.

그리고, 소프트 스탬핑 장치(100)는 스탬프 척(130)의 상부에 위치하도록 설치되며, 스탬프(140)와 기판(145)의 위치를 파악하는 위치정렬 감시부를 더 포함한다.

도 10은 도 1에 도시된 소프트 스탬핑 장치 중에서 위치정렬 감시부를 확대하여 나타낸 사시도로서, 상부면 부재(114)와 모니터(120)를 제거한 상태에서 위치정렬 감시부(180)의 구성요소와 그 장착 구조를 도시한 것이다.

도 1, 도 5a 및 도 10에 도시된 바와 같이, 위치정렬 감시부(180)는 케이스(110)의 내부에 설치되는데, 더 상세하게는 케이스(110)를 구성하는 벽면 부재(111, 112, 113) 중에서 우측 벽면 부재(111)와 좌측 벽면 부재(112) 사이에 거치된다. 즉, 우측 벽면 부재(111)와 좌측 벽면 부재(112)는 위치정렬 감시부(180)가 설정된 높이에서 스탬프 척(130)의 상부에 위치하도록 지지한다.

위치정렬 감시부(180)는 우측 벽면 부재(111)와 좌측 벽면 부재(112)에 각각 설치되는 제1 가이드 부재(181, 182)들, 제1 가이드 부재(181, 182)들에 각각 맞물려서 제1 가이드 부재(181, 182)들을 따라 제1 방향(도면에서 X방향)으로 거동하는 제2 가이드 부재(183)를 포함한다. 이런 제1 가이드 부재(181, 182)들과 제2 가이드 부재(183) 간의 결합 구조는 레일 가이드가 레일을 따라 맞물려서 거동하는 구조이다. 그리고, 제2 가이드 부재(183)에는 그 길이 방향을 따라 레일(184)이 설치된다. 제3 가이드 부재(185)는 제2 가이드 부재(183)의 레일(184)에 맞물리는 레일 가이드를 구비하여, 제2 가이드 부재(183)를 따라 제2 방향(도면에서 Y방향)으로 거동한다. 그리고, 제3 가이드 부재(185)의 단부에는 스탬프(140)와 기판(145)의 위치를 파악하는 카메라(188)가 설치되며, 그와 더불어 촬영 밝기를 조절하기 위한 조명도 함께 설치될 수 있다.

이로 인해, 위치정렬 감시부(180)는 평면 좌표(X, Y) 상에서 제2 가이드 부재(183)와 제3 가이드 부재(185)가 설정된 거리만큼 각각 거동함으로써, 카메라(188)의 위치도 변경될 수 있다. 그리고, 본 실시예는 제2 가이드 부재(183)가 제1 케이블(186)에 연결되고, 제3 가이드 부재(185)가 제2 케이블(187)에 연결되어, 제1 케이블(186)과 제2 케이블(187)이 접혔다가 펴지는 움직임에 따라 제2 가이드 부재(183)와 제3 가이드 부재(185)도 연동된다. 이때 제1 케이블(186)과 제2 케이블(187)은 작동 제어부에서 전달되는 제어 신호에 따라 그 움직임이 제어된다. 다만, 이와 같은 카메라(188)의 위치 변경은 작동 제어부에서 설정된 수치에 따라 미세하게 제어할 수도 있지만, 작업자가 제2 가이드 부재(183)와 제3 가이드 부재(185)를 직접 거동시키는 수동 방식에 의해서도 가능하다. 수동 방식에 의한 카메라(188)의 위치 변경하는 구조가 적용된다면, 위치정렬 감시부(180)는 제1 케이블(186)과 제2 케이블(187)을 구비하지 않는다.

그리고, 위치정렬 감시부(180)의 카메라(188)는 상기와 같이 스탬프(140)와 기판(145) 간의 위치 정보를 제공함으로써 단층공정보다 2층 이상의 다층공정으로 기판을 패터닝하는 경우에 정렬마크(mark)를 중심으로 기판(145)을 보다 용이하게 정렬할 수 있다. 그리고, 카메라(188)는 하나이어도 무방하지만, 3차원 공간 좌표 지점을 보다 명확하게 파악하기 위해서 한 쌍을 구비할 수도 있다.

본 실시예의 소프트 스탬핑 장치(100)는 위치정렬 감시부(180)에서 파악된 위치 정보에 따라 변위 이동부(160)의 작동을 제어하는 작동 제어부를 구비한다. 작동 제어부는 케이스(110)의 내부에 설치되는데, 일반적으로 컴퓨터가 이와 같은 작동을 수행한다. 그리고, 작동 제어부는 변위 이동부(160)와 위치정렬 감시부(180)를 제어할 뿐만 아니라, 소프트 스탬핑 장치(100)의 각 구성요소에 전기적으로 연결되어 작동을 제어한다.

그리고, 소프트 스탬핑 장치(100)는 감쇠장치를 더 구비한다. 즉, 감쇄장치는 외부변동에 의해서 균일한 접촉이 어려워지거나, 진동 및 변형이 발생되는 것을 방지하기 위해 설치된다. 감쇄장치는 변위 이동부(160)에 연계되어 설치되는데, 석정반과 공압베어링이 결합된 방식으로 구성된다.

그 외에도 소프트 스탬핑 장치(100)는 패턴을 복사하기 위해서 스탬프(140)에 잉크를 공급하는 잉크 공급부, 스탬프(140)에 도포된 잉크를 건조시키기 위한 건조기를 케이스(110) 내에 수용할 수 있다.

즉, 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것이 당연하다.

도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 소프트 스탬핑 장치를 개략적으로 나타낸 사시도이다.

도 2는 도 1에 도시된 모니터가 상하로 슬라이딩하여 거동함을 나타낸 소프트 스탬핑 장치의 사시도이다.

도 3은 도 2에 도시된 소프트 스탬핑 장치의 일부를 확대하여 모니터의 슬라이딩 거동구조를 나타낸 사시도이다.

도 4는 도 1에 도시된 소프트 스탬핑 장치에서 모니터의 거동구조가 축회전 형태로 변형된 상태를 나타낸 사시도이다.

도 5a는 도 1에 도시된 소프트 스탬핑 장치의 일부를 확대하여 스탬프 척에스탬프가 장착된 상태를 나타낸 사시도이다.

도 5b는 도 5a에 도시된 스탬프 척이 슬라이딩하여 돌출된 상태를 나타낸 사시도이다.

도 6은 도 5a에 도시된 스탬프 척에 스탬프를 고정하는 클램프 구조를 확대하여 나타낸 사시도이다.

도 7은 도 1에 도시된 소프트 스탬핑 장치 중에서 기판 척을 확대하여 나타낸 사시도이다.

도 8은 도 7에 도시된 기판 척 중에서 진공 플레이트를 하부에서 바라본 사시도이다.

도 9는 도 7에 도시된 기판 척 및 이의 위치를 조절하는 변위 이동부를 각각 나타낸 분리 사시도이다.

도 10은 도 1에 도시된 소프트 스탬핑 장치 중에서 위치정렬 감시부를 확대하여 나타낸 사시도이다.

< 도면의 주요부분에 대한 부호 설명 >

100, 101 : 소프트 스탬핑 장치 110 : 케이스(case)

111, 112, 113 : 벽면 부재 117 : 수평 검출기

120 : 모니터(monitor) 121 : 브라켓(bracket)

130 : 스탬프 척(stamp chuck) 131 : 손잡이

132 : 클램핑부 137 : 스탬프 위치결정용 지그

140 : 스탬프 145 : 기판

150 : 기판 척 151 : 진공 플레이트

153 : 진공용 패킹부재 156 : 하부 플레이트

160 : 변위 이동부 161 : 수평 변위 이동부

167 : 수직 변위 이동부 170 : 로드 셀(load cell)

180 : 위치정렬 감시부 187 : 케이블

188 : 카메라

Claims (28)

1. 스탬프가 체결 고정되는 스탬프 척;

   상기 스탬프 척을 설정된 높이로 지지하며, 상기 스탬프 척이 슬라이딩 가능하게 결합되는 프레임;

   상기 스탬프 척의 하부에 이격되게 위치하며, 진공 흡입력에 의해 기판이 부착되는 기판 척;

   상기 기판 척의 하부에 배치되면서 상기 기판 척을 승강시키는 변위 이동부;

   상기 스탬프 척의 상부에 위치하도록 설치되며, 상기 스탬프와 상기 기판의 위치를 파악하는 위치정렬 감시부; 및

   상기 위치정렬 감시부에서 파악된 위치 정보에 따라 상기 변위 이동부를 작동시키는 작동 제어부;

   를 포함하며,

   상기 프레임은,

   설정된 높이에 위치하는 상부면을 구비하며, 상기 상부면에 상기 스탬프 척이 슬라이딩 가능하고 설정된 위치에서 정지하게 결합되는 소프트 스탬핑 장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 스탬프 척에는 상호 맞물리는 제1 레일 또는 제1 레일 가이드 중 어느 하나가 설치되고, 상기 프레임에는 상기 제1 레일 또는 상기 제1 레일 가이드 중 다른 나머지 하나가 설치되어, 상기 프레임에 상기 스탬프 척이 슬라이딩 가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 소프트 스탬핑 장치.
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 스탬프 척은 사각 평면 형상을 갖는 판형 부재로서 그 일측 모서리에 돌출된 손잡이를 구비하는 것을 특징으로 하는 소프트 스탬핑 장치.
4. 제 1 항에 있어서,

   상기 스탬프 척은 사각 평면 형상을 갖는 판형 부재로서 평면을 관통하는 스탬프 창이 형성되는 것을 특징으로 하는 소프트 스탬핑 장치.
5. 제 4 항에 있어서,

   상기 스탬프 척은 상기 스탬프를 클램핑하는 클램핑 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 소프트 스탬핑 장치.
6. 제 5 항에 있어서,

   상기 클램핑 수단은 상기 스탬프를 기준으로 상호 마주하는 지점에 각각 위치하는 한 쌍으로 구성되는 것을 특징으로 하는 소프트 스탬핑 장치.
7. 제 5 항에 있어서,

   상기 클램핑 수단은 상기 스탬프에 밀착되는 고정용 지그; 상기 고정용 지그가 상기 스탬프를 클램프하도록 상기 고정용 지그에 압축력을 제공하는 코일 스프링; 및 상기 코일 스프링을 통과하여 상기 고정용 지그의 일측을 상기 스탬프 척에 고정하는 고정용 볼트를 포함하는 것을 특징으로 하는 소프트 스탬핑 장치.
8. 제 5 항에 있어서,

   상기 스탬프 척은 상기 스탬프의 외곽 모서리에 정합되게 절단면이 형성된 스탬프 위치결정용 지그를 더 구비하며, 상기 스탬프 위치결정용 지그는 한 쌍으로 이루어져 상호 마주하면서 이격되게 설치되는 것을 특징으로 하는 소프트 스탬핑 장치.
9. 삭제
10. 제 1 항에 있어서,

    상기 프레임은 상기 상부면에 기판 창이 형성되며, 상기 기판 척은 상기 프레임의 내부 공간에 위치하여 상기 기판 창을 통해 상기 스탬프 척과 마주하는 것을 특징으로 하는 소프트 스탬핑 장치.
11. 제 1 항에 있어서,

    상기 기판 척은 상기 기판이 놓여지는 진공 플레이트를 구비하며, 상기 진공 플레이트에는 상기 기판이 맞닿는 면을 관통하는 제1 진공용 구멍이 형성되는 것을 특징으로 하는 소프트 스탬핑 장치.
12. 제 11 항에 있어서,

    상기 기판 척은 상기 진공 플레이트의 하부 면에 부착되는 하부 플레이트를 더 구비하며, 상기 하부 플레이트에는 상기 제1 진공용 구멍에 소통하는 제2 진공용 구멍이 형성되고, 상기 진공 플레이트와 상기 하부 플레이트 사이에는 그 밀착면 사이에 진공용 패킹부재가 감싸져 밀봉되는 것을 특징으로 하는 소프트 스탬핑 장치.
13. 제 11 항에 있어서,

    상기 기판 척은 상기 기판의 일측 모서리가 정합하는 기판 장착용 지그를 구비하며, 상기 기판 장착용 지그가 상기 진공 플레이트에 부착되는 것을 특징으로 하는 소프트 스탬핑 장치.
14. 제 1 항에 있어서,

    상기 변위 이동부는 평면 상에서 제1 방향 및 제2 방향으로 거동하는 수평 변위 이동부와; 상기 수평 변위 이동부에 적층되면서 상하 거동하는 수직 변위 이동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 소프트 스탬핑 장치.
15. 제 14 항에 있어서,

    상기 수평 변위 이동부는 제1 방향을 따라 거동하는 제1 변위 이동부와; 상기 제1 변위 이동부에 적층되면서 상기 제1 방향에 교차하는 제2 방향을 따라 거동하는 제2 변위 이동부를 포함하고,

    상기 제1 변위 이동부와 상기 제2 변위 이동부 사이의 접촉면에는 크로스 롤러 베어링(Cross Roller Bearing)이 위치하는 것을 특징으로 하는 소프트 스탬핑 장치.
16. 제 14 항에 있어서,

    상기 수직 변위 이동부는 상기 기판 척을 향하여 상하 거동하는 제3 변위 이동부와, 상기 제3 변위 이동부에 맞물려 지지하는 제4 변위 이동부를 포함하고,

    상기 제3 변위 이동부는 압전현상에 의한 상하 거동 변위가 측정되고, 상기 상하 거동 변위를 피드백(feedback)하여 제어되는 것을 특징으로 하는 소프트 스탬핑 장치.
17. 제 1 항에 있어서,

    상기 기판 척과 상기 변위 이동부 사이에 배치되면서 상기 기판 척의 이동시 가해지는 하중을 측정하는 로드 셀(load cell)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 소프트 스탬핑 장치.
18. 제 1 항에 있어서,

    상기 위치정렬 감시부가 설치되어 상기 위치정렬 감시부를 설정된 높이로 지지하는 케이스를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 소프트 스탬핑 장치.
19. 제 18 항에 있어서,

    상기 케이스는 상기 스탬프 척, 상기 프레임, 상기 기판척, 상기 변위 이동부, 상기 위치정렬 감시부, 및 상기 작동 제어부를 내부에 감싸는 벽면 부재들로 이루어지는 것을 특징으로 하는 소프트 스탬핑 장치.
20. 제 19 항에 있어서,

    상기 벽면 부재들은 상기 위치정렬 감시부가 거치되면서 상호 마주하는 우측 벽면 부재와 좌측 벽면 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 소프트 스탬핑 장치.
21. 제 20 항에 있어서,

    상기 위치정렬 감시부는 상기 우측 벽면 부재와 상기 좌측 벽면 부재에 각각 설치되는 제1 가이드 부재들; 상기 제1 가이드 부재들에 각각 맞물려서 상기 제1 가이드 부재들을 따라 제1 방향으로 거동하는 제2 가이드 부재; 상기 제2 가이드 부재에 맞물려서 상기 제2 가이드 부재를 따라 제2 방향으로 거동하는 제3 가이드 부재; 및 상기 제3 가이드 부재의 단부에 거치되게 결합되어 상기 스탬프와 상기 기판의 위치를 파악하는 카메라를 포함하는 것을 특징으로 하는 소프트 스탬핑 장 치.
22. 제 21 항에 있어서,

    상기 제2 가이드 부재와 상기 제3 가이드 부재는 각각 대응하는 케이블에 연결되며, 상기 작동 제어부는 상기 케이블을 조작하여 각각 대응하는 상기 제2 가이드 부재와 상기 제3 가이드 부재를 거동시키는 것을 특징으로 하는 소프트 스탬핑 장치.
23. 제 20 항에 있어서,

    상기 벽면 부재들은 상기 우측 벽면 부재와 상기 좌측 벽면 부재를 연결하면서 측면 공간을 감싸는 전방 벽면 부재와 후방 벽면 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 소프트 스탬핑 장치.
24. 제 23 항에 있어서,

    상기 벽면 부재들 중에서 어느 하나에는 내부가 투영되는 투명창이 설치되는 것을 특징으로 하는 소프트 스탬핑 장치.
25. 제 23 항에 있어서,

    상기 벽면 부재들 중에서 어느 하나 이상에는 수평 상태를 보여주는 수평 검출기가 설치되며, 상기 수평 검출기는 액체가 담겨진 도관에 공기 방울의 움직움으 로 수평 상태를 보여주는 기기인 것을 특징으로 하는 소프트 스탬핑 장치.
26. 제 23 항에 있어서,

    상기 전방 벽면 부재는 상기 우측 벽면 부재와 상기 좌측 벽면 부재에 비해 그 높이가 낮으며, 상기 우측 벽면 부재와 상기 좌측 벽면 부재 사이의 전방 측면 공간에는 상기 전방 벽면 부재와 함께 모니터가 설치되는 것을 특징으로 하는 소프트 스탬핑 장치.
27. 제 26 항에 있어서,

    상기 모니터는 상기 작동 제어부와 상기 위치정렬 감시부에 연결되어 각 작동 상태가 화면 상에 모니터링되고,

    상기 모니터에는 제2 레일 가이드가 설치되고, 상기 우측 벽면 부재와 상기 좌측 벽면 부재에는 상기 제2 레일 가이드에 슬라이딩 가능하게 맞물리는 제2 레일이 설치되는 것을 특징으로 하는 소프트 스탬핑 장치.
28. 제 26 항에 있어서,

    상기 모니터는 상기 작동 제어부와 상기 위치정렬 감시부에 연결되어 각 작동 상태가 화면 상에 모니터링되고,

    상기 모니터에는 양 측부에 돌출된 회전축이 설치되고, 상기 우측 벽면 부재와 상기 좌측 벽면 부재에는 상기 회전축이 회전 가능하게 축결합되는 것을 특징으 로 하는 소프트 스탬핑 장치.

Images