KR100911466B1

KR100911466B1 - 반도체 장치 제조에 사용되는 필터장치

Info

Publication number: KR100911466B1
Application number: KR1020030007765A
Authority: KR
Inventors: 백용식; 양수근
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2003-02-07
Filing date: 2003-02-07
Publication date: 2009-08-11
Also published as: KR20040071858A

Abstract

약액의 누수를 방지할 수 있는 반도체 장치 제조에 사용되는 필터장치를 개시한다. 필터장치는 수납공간을 제공하는 하우징, 하우징과 결합하는 헤드 및 수납공간 내에 구비되는 필터를 포함한다. 하우징과 헤드와의 사이에는 쌍을 이루는 오링이 구비된다. 이로써, 약액이 필터장치를 경유할 때 하우징과 헤드와의 결합 틈새로 누수되는 것을 방지할 수 있다.

Description

반도체 장치 제조에 사용되는 필터장치{FILTER APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR DEVICE}

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 필터장치가 구비된 반도체 제조장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 필터장치의 부분 단면도이다

도 3은 도 2에 도시된 제1 오링의 사시도이다.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 필터장치의 부분 단면도이다.

도 5는 도 4에 도시된 제2 오링의 사시도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

100 : 습식 식각 장치 200 : 식각조

30 : 저장 탱크 400 : 펌프장치

500 : 필터장치 510 : 하우징

520 : 헤드 530 : 제1 오링

535 : 제2 오링 540 : 필터

550 : 패킹(packing) 560 : 유입구

570 : 배출구

본 발명은 반도체 장치 제조에 사용되는 필터장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 약액의 누수를 방지할 수 있는 반도체 장치 제조에 사용되는 필터장치에 관한 것이다.

반도체 장치는 일반적으로 막 형성, 패턴 형성, 금속 배선 형성 등을 위한 일련의 단위 공정들을 순차적으로 수행함으로서 제조된다.

반도체 제조 기술이 발전함에 따라 기판 또는 웨이퍼 상에 여러 가지 화학반응을 유발하여 패턴 형성 및 회로를 구성하는 미세 패턴 상에 불순물을 제거하는 일련의 공정들이 중요시되고 있다.

이와 같은 패턴 형성을 위한 식각공정 및 불순물을 제거하는 세정공정은 약액(chemical) 또는 약액과 증류수를 일정한 비율로 혼합한 혼합물을 사용하여 수행된다.

상기 식각공정 및 세정공정을 수행하는 과정에서 다량의 파티클 또는 불순물이 발생한다. 상기 파티클 또는 불순물은 상기 약액 또는 혼합액에 함유되며, 상기 식각공정 또는 세정공정 시 타 기판 또는 타 웨이퍼를 오염시키게 된다.

이를 방지하기 위하여 식각 또는 세정공정 시 사용된 약액 또는 혼합액은 파티클 또는 불순물을 제거하기 위하여 드레인되고 필터장치를 경유한다.

상기 필터장치는 하우징, 헤드 및 필터를 포함하여 이루어지며, 상기 하우징과 상기 헤드는 서로 결합하며, 상기 하우징과 상기 헤드에 의해 제공되는 내부공 간에 상기 필터가 구비된다.

상기 하우징과 상기 헤드와의 사이에는 탄성물질로 이루어진 오링이 구비되어, 상기 약액이 상기 필터장치를 경유할 때 상기 하우징과 상기 헤드와의 틈새 사이로 누수되는 것을 방지한다.

그러나, 일반적으로 상기 하우징과 상기 헤드와의 사이에는 하나의 오링이 구비되어 누수 방지 역할을 하기 때문에, 상기 오링이 상기 약액에 의한 열화 및 부식 등에 의해 파손되거나 또는 작업자의 미숙으로 인한 파손 시 상기 하우징과 상기 헤드의 틈새 사이로 상기 약액이 즉각적으로 누수되는 문제가 있다.

따라서, 본 발명은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 약액의 누수를 방지할 수 있는 반도체 장치 제조에 사용되는 필터장치를 제공하는 것이다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 따른 반도체 장치 제조에 사용되는 필터장치는, 소정의 수납공간을 제공하는 하우징과, 상기 하우징과 결합하는 헤드와, 상기 수납공간 내에 구비되어 상기 필터장치를 경유하는 약액을 필터링하는 필터 및 상기 하우징과 상기 헤드와의 사이에 구비되고, 상기 하우징과 상기 헤드와의 틈새 사이로 상기 약액이 누설되는 것을 방지하는 복수의 오링을 포함하여 이루어진다.

상기 오링은 쌍을 이루는 제1 및 제2 오링으로 이루어지고, 상기 제2 오링은 상기 제1 오링을 수납하여 상기 제2 오링의 외주면이 상기 제1 오링의 내주면과 접 하도록 구비되거나, 상기 제1 및 제2 오링은 서로 동일한 크기를 가지고 상기 제1 오링은 상기 제2 오링의 일 측면에 접하여 구비될 수 있다.

이로써, 상기 오링을 쌍으로 구비함으로써 상기 하우징과 상기 헤드와의 틈새를 밀봉하여 약액이 누설되는 것을 방지할 수 있다.

이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 필터장치가 구비된 반도체 제조장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도로서, 특히 필터장치를 구비한 습식 식각 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.

도 1을 참조하면, 상기 습식 식각 장치(100)는 크게 식각조(200), 저장탱크(300), 펌프장치(400) 및 필터장치(500)를 포함하여 이루어진다.

상기 식각조(200)에서는 식각공정이 수행되며, 상기 식각공정은 일반적으로 약액에 기판 또는 웨이퍼를 담그거나, 상기 기판 또는 웨이퍼에 상기 약액을 분사시킴으로써 수행된다.

상기 식각공정 이후, 상기 약액은 배출 라인(610)을 따라 드레인되어 상기 저장탱크(300)에 저장된다.

상기 저장탱크(300)에 저장된 약액은 상기 펌프장치(400)에 의해 상기 필터장치(500)로 보내진다.

상기 필터장치(500)로 유입된 상기 약액은 상기 필터장치(400)를 경유하면서 상기 식각공정시 발생된 불순물이 제거되고, 공급 라인(620)을 따라 식각공정을 위 하여 상기 식각조(200)에 공급된다.

이로써, 상기 식각공정 시 발생되어 상기 약액에 함유된 불순물은 상기 필터장치에 의해 제거되고, 상기 약액은 불순물이 제거된 상태로 식각조로 공급된다.

본 발명의 일 실시예에 따른 필터장치(500)는 상술한 습식 식각 장치(100)에 한정되어 사용되는 것이 아니라, 불순물 제거를 위한 세정공정 시에도 세정액을 필터링 하기 위하여 사용되는 등 다양한 장치에서 사용될 수 있다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 필터장치의 부분 단면도이고, 도 3은 도 2에 도시된 제1 오링의 사시도이다.

도 2와 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 상기 필터장치(500)는 크게 하우징(510), 헤드(520) 및 필터(540)를 포함하여 이루어진다.

상기 하우징(510)은 일반적으로 원통의 형태를 가지며, 내부에 소정의 수납공간을 구비한다.

상기 하우징(510)의 상단부 즉, 상기 헤드(520)와 대향하는 단부의 내벽에는 제1 나사산이 형성되어 있으며, 상기 제1 나사산이 끝나는 부위에는 돌기(510a)가 구비되어 있다. 상기 돌기(510a)는 상기 제1 나사산이 형성된 내벽과 대향하도록 소정의 높이로 돌출되며, 상기 돌기(510a)와 상기 내벽과의 사이에 소정의 깊이를 갖는 홈을 형성한다.

상기 헤드(520)의 하단부 즉, 상기 하우징(510)의 상단부와 대향하는 단부의 외벽에는 상기 제1 나사산에 대응하도록 제2 나사산이 형성되어 있으며, 상기 헤드(520)는 상기 하우징(510)과 제1 및 제2 나사산을 이용하여 결합한다.

상기 하우징(510)과 상기 헤드(520)가 서로 결합할 때 상기 하우징(510)과 상기 헤드(520)와의 결합 틈새를 밀봉시키기 위하여 제1 오링(530)이 구비된다.

상기 제1 오링(530)은 도 3에 도시된 바와 같이 쌍을 이루어 구비된다. 즉, 상기 제1 오링(530)은 하부 오링(530a) 및 상부 오링(530b)으로 이루어지며, 상기 상부 오링(530b)은 상기 하부 오링(530a)의 상부에 접하여 구비된다.

상기 제1 오링(530)은 상기 하우징(510)의 상단부 내벽에 형성된 상기 홈에 끼워지며, 상기 하우징(510)과 상기 헤드(520)가 서로 나사 결합할 때 상기 헤드(520)는 상기 제1 오링(530)을 압착한다. 이로써, 상기 하우징(510)과 상기 헤드(520)와의 틈새가 상기 제1 오링(530)에 의해 밀봉된다.

상기 수납공간 내부에는 원통 형상의 필터(540)가 구비된다. 상기 필터(540)는 상기 필터장치(500)로 유입된 약액을 필터링(filtering)하여 상기 약액에 함유된 불순물을 제거한다.

원통 형상의 상기 필터(540)의 내부에는 상기 필터(540)를 투과한 약액의 이동통로로서 역할을 하는 중앙통로(540a)가 형성되어 있다.

상기 헤드(520)에는 상기 약액이 상기 필터장치(500) 내부로 유입되기 위한 유입구(560) 및 상기 약액이 상기 필터장치(500) 외부로 배출되기 위한 배출구(570)가 형성되어 있다.

상기 유입구(560)를 통하여 유입된 상기 약액은 상기 필터(540)의 주변을 따라 이동하다 상기 필터(540)를 투과한다. 이때, 상기 약액에 함유된 불순물은 상기 필터(540)에 의해 걸러진다.

상기 필터(540)를 투과한 상기 약액은 상기 필터(540) 내부에 형성된 상기 중앙통로(540a)를 따라 이동하며, 상기 중앙통로(540a)와 연결된 상기 배출구(570)를 통해 상기 필터장치(500)의 외부로 배출된다.

상기 중앙통로(540a)와 상기 배출구(570)가 만나는 부위에는 상기 필터(540)를 투과한 약액과 상기 유입구(560)를 통해 유입된 약액이 서로 섞이는 것을 방지하기 위한 패킹(packing)(550)이 구비되어 있다.

이로서, 상기 필터장치(500)는 상기 필터(540)를 통해 내부로 유입된 상기 약액을 투과시켜 불순물을 제거하고, 상기 하우징(510)과 상기 헤드(520)와의 사이에 구비된 상기 제1 오링(530)을 통해 상기 약액이 상기 필터장치(500)의 외부로 누수되는 것을 방지할 수 있다.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 필터장치를 설명하기 위한 단면도이고, 도 5는 도 4에 도시된 제2 오링의 사시도이다.

도 4와 도 5를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 상기 필터장치(500)는 크게 하우징(510), 헤드(520) 및 필터(540)를 포함하여 이루어진다.

상기 하우징(510)은 내부에 소정의 수납공간을 구비하며, 상기 헤드(520)와 결합한다.

상기 하우징(510)의 상단부 내벽에는 제1 나사산이 형성되어 있고, 상기 헤드(520)의 하단부 외벽에는 제2 나사산이 형성되어 있다. 상기 하우징(510)과 상기 헤드(520)는 상기 제1 및 제2 나사산을 이용하여 서로 나사결합한다.

상기 하우징(510)의 제1 나사산이 끝나는 부위에는 상기 하우징(510)의 내벽 과 대향하도록 소정 높이로 돌출된 돌기(510a)가 구비되고, 상기 돌기(510a)와 상기 내벽과의 사이에는 소정의 깊이를 갖는 홈이 형성된다.

상기 홈에는 도 5에 도시된 제2 오링(535)이 쌍을 이루어 구비된다. 다시 말해, 상기 제2 오링(535)은 내부 오링(535a)과 외부 오링(535b)으로 이루어지며, 상기 내부 및 상기 외부 오링(535a, 535b)은 동일 평면상에 구비되며 상기 외부 오링(535b)은 상기 내부 오링(535a)을 감싸도록 구비된다.

상기 제2 오링(535)은 상기 홈에 끼워지며, 상기 하우징(510)과 상기 헤드(520)가 서로 나사결합할 때 상기 헤드(520)는 상기 제2 오링(535)을 압착한다. 따라서, 상기 하우징(510)과 상기 헤드(520)는 상기 제2 오링(535)에 의해 밀봉된다.

이로써, 상기 필터장치(500)는 상기 필터(540)를 통하여 상기 약액에 함유된 불순물을 제거하고, 상기 제2 오링(535)을 통하여 상기 하우징(510)과 상기 헤드(520)와의 틈새로 상기 약액이 누수되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 상기 제2 오링(535)은 쌍을 이루어 구비되므로 어느 하나의 오링이 파손되더라도 다른 하나의 오링이 존재하므로 상기 누수를 방지하여 약액 누수방지에 대한 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 필터장치는 하우징, 헤드 및 필터를 포함하여 이루어지며, 상기 하우징과 상기 헤드는 서로 결합하며, 내부에 상기 필터를 포함한다. 이때, 상기 하우징과 상기 헤드와의 사이에는 쌍을 이루는 오링이 구비 된다.

상기 오링이 쌍으로 구비되기 때문에 어느 하나의 오링이 약액에 의한 부식 또는 기타의 사유로 파손되는 경우에도 다른 하나의 오링이 상기 하우징과 상기 헤드와이 사이에 구비되므로 상기 약액의 누수를 방지할 수 있다.

본 발명은 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims

반도체 장치 제조에 사용되는 필터장치에 있어서,

제1 나사산을 포함하고, 상기 제1 나사산이 끝나는 부위에 상기 제1 나사산이 형성된 내벽과 대향하도록 돌출된 돌기를 포함하며, 소정의 수납공간을 제공하는 하우징;

상기 하우징의 상기 제1 나사산과 결합하기 위한 제2 나사산을 포함하는 헤드;

상기 수납공간 내에 구비되어 상기 필터장치를 경유하는 약액을 필터링하는 필터; 및

상기 제1 나사산 및 상기 돌기 사이에 형성된 홈에 끼워져, 하부로 가해지는 상기 헤드의 압착에 의해 상기 하우징과 상기 헤드와의 틈새 사이로 상기 약액이 누설되는 것을 방지하는 복수의 오링을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치 제조에 사용되는 필터장치.
제1항에 있어서, 상기 오링은 쌍을 이루는 제1 및 제2 오링으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 장치 제조에 사용되는 필터장치.
제2항에 있어서, 상기 제1 오링이 상기 제2 오링을 수납하고, 상기 제2 오링의 외주면은 상기 제1 오링의 내주면과 접하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치 제조에 사용되는 필터장치.
제2항에 있어서, 상기 제1 및 제2 오링은 서로 동일한 크기를 가지고, 상기 제1 오링은 상기 제2 오링의 일 측면에 접하여 구비되는 것을 특징으로 하는 반도 체 장치 제조에 사용되는 필터장치.