KR100911076B1 - Photosensitive resin composition and spacer for liquid crystal panel - Google Patents

Photosensitive resin composition and spacer for liquid crystal panel Download PDF

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히로아키 타케우치
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Abstract

밀착성이 높은 액정 패널용 스페이서를 형성할 수가 있는 감광성 수지 조성물, 및 당해 감광성 수지 조성물로 형성된 액정 패널용 스페이서를 제공한다.The photosensitive resin composition which can form the adhesive liquid crystal panel spacer with high adhesiveness, and the liquid crystal panel spacer formed from the said photosensitive resin composition are provided.

본 발명의 감광성 수지 조성물은 (A) 광중합성 화합물, (B) 광중합 개시제, 및 (C) 밀착 증강제를 함유하는 감광성 수지 조성물로서, 상기 (C) 성분은 질소 원자를 포함하는 기를 가지는 실란 화합물이고, 당해 질소 원자에 결합하고 있는 수소 원자가 하나 이하인 것을 특징으로 하는 것이고, 액정 패널용 스페이서의 형성에 매우 적합하게 이용된다.The photosensitive resin composition of this invention is a photosensitive resin composition containing (A) photopolymerizable compound, (B) photoinitiator, and (C) adhesion promoter, The said (C) component is a silane compound which has group containing a nitrogen atom. It is characterized by having one or less hydrogen atoms couple | bonded with the said nitrogen atom, It is used suitably for formation of the spacer for liquid crystal panels.

액정 패널, 스페이서, 감광성 수지, 광중합 개시제, 밀착 증강제, 실란 Liquid crystal panel, spacer, photosensitive resin, photoinitiator, adhesion promoter, silane

Description

감광성 수지 조성물 및 액정 패널용 스페이서{PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION AND SPACER FOR LIQUID CRYSTAL PANEL}Photosensitive resin composition and spacer for liquid crystal panel {PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION AND SPACER FOR LIQUID CRYSTAL PANEL}

본 발명은 감광성 수지 조성물 및 액정 패널(panel)용 스페이서(spacer)에 관한 것으로서, 더 상세하게는 액정 패널의 2매의 기판 간에 설치되는 스페이서를 형성하는데 매우 적합한 감광성 수지 조성물, 및 당해 감광성 수지 조성물로 형성된 액정 패널용 스페이서에 관한 것이다.The present invention relates to a photosensitive resin composition and a spacer for a liquid crystal panel, and more particularly, a photosensitive resin composition which is very suitable for forming a spacer provided between two substrates of a liquid crystal panel, and the photosensitive resin composition. It relates to a spacer for a liquid crystal panel formed.

액정 표시 장치의 액정 패널에 있어서는, 액정 재료를 2매의 유리 기판 등의 투명한 기판으로 샌드위치(sandwich)하는 구조를 채용하기 때문에, 액정 재료를 충전할 수 있도록 2매의 기판 간에 스페이서(spacer)를 형성하는 것이 필요하다.In the liquid crystal panel of the liquid crystal display device, since the liquid crystal material is sandwiched by a transparent substrate such as two glass substrates, a spacer is formed between the two substrates so as to fill the liquid crystal material. It is necessary to form.

종래, 스페이서를 형성하는데는, 기판의 전체면에 스페이서로 되는 비즈(beads) 입자를 산포하는 방법이 채용되고 있었지만, 화소 표시 부분에도 비즈가 부착하고, 화상의 콘트라스트(contrast)나 표시 화질이 저하된다는 문제가 있었다. 그래서 근래에는, 이 스페이서를 감광성 수지 조성물에 의해 형성하는 방법이 여러가지 제안되고 있다(특허문헌 1, 2 등을 참조). 이 방법은, 감광성 수지 조성물을 기판 상에 도포하고, 소정의 마스크(mask)를 개재하여 노광한 후 현상하고, 도 트(dot) 형상 등의 스페이서를 형성하는 것이고, 화소 표시 부분 이외의 소정의 부분에만 스페이서를 형성할 수가 있다.Conventionally, in forming a spacer, a method of dispersing beads particles serving as spacers on the entire surface of the substrate has been employed, but beads adhere to the pixel display portion, and contrast and display image quality of an image are deteriorated. There was a problem. Therefore, in recent years, various methods of forming this spacer with the photosensitive resin composition are proposed (refer patent document 1, 2 etc.). In this method, the photosensitive resin composition is coated on a substrate, exposed through a predetermined mask and then developed, and a spacer such as a dot shape is formed, and a predetermined portion other than the pixel display portion is formed. A spacer can be formed only in a part.

[특허문헌 1] 일본 특허공개 2006-184841호 공보[Patent Document 1] Japanese Patent Publication No. 2006-184841

[특허문헌 2] 일본 특허공개 2006-308961호 공보[Patent Document 2] Japanese Patent Application Laid-Open No. 2006-308961

그런데, 이 스페이서는 기판에 형성된 ITO 상, 오버코트(overcoat) 상, 또는 배향막 상에 형성되는 일이 많다. 또, 경우에 따라서는 컬러 필터 상이나 TFT를 덮는 절연막 상에 형성되는 일도 있다. 이와 같이, 스페이서는 각종 기재 상에 형성되지만, 이 기재에 대한 밀착성이 부족한 경우, 예를 들면 현상시에 패턴 박리가 생길 우려가 있다.By the way, this spacer is often formed on the ITO, overcoat, or alignment film formed in the board | substrate. In some cases, it may be formed on the color filter or on the insulating film covering the TFT. Thus, although the spacer is formed on various base materials, when adhesiveness with respect to this base material is lacking, there exists a possibility that pattern peeling may occur, for example at the time of image development.

그래서, 지금까지는 이러한 밀착성 부족을 보충하기 위해, 현상 시간을 짧게 하여 대응하고 있었지만, 현상 시간이 짧으면 현상 불량에 의한 이물의 발생이나, 끌림 형상(trailing shape)에 의한 CD값의 불균일 등의 문제가 발생해 버리게 된다. 특히, 기판 사이즈(size)가 커지는 경우에는, 기판 중에서 현상 시간을 일정하게 유지하는 것이 곤란하게 되고, 현상 시간을 짧게 하여 대응하는 것이 곤란하게 된다.So, until now, in order to make up for the lack of adhesiveness, the development time has been shortened to cope with the problem. However, if the development time is short, problems such as occurrence of foreign matters due to poor development or irregularity of CD values due to trailing shapes have been avoided. Will occur. In particular, when the substrate size becomes large, it becomes difficult to keep the development time constant in the substrate, and it becomes difficult to respond by shortening the development time.

따라서, 이 스페이서로서는, 현상 시간이 길게 취할 수 있도록, 스페이서가 형성되는 기판의 기재에 대한 밀착성 그 자체를 향상시키는 것이 요망되고 있었다. 특히, 최근 들어 고정밀 디스플레이(display)용으로 스페이서의 단면적이 작게 되는 경향이 있기 때문에, 밀착성에의 요구는 더 높아질 것이 예상된다.Therefore, as this spacer, it was desired to improve the adhesiveness itself with respect to the base material of the board | substrate in which a spacer is formed so that image development time may be long. In particular, in recent years, since the cross-sectional area of the spacer tends to be small for high precision displays, the demand for adhesion is expected to be higher.

본 발명은 이러한 종래의 과제를 감안하여 이루어진 것이고, 각종 기재에 대해서 밀착성이 높은 액정 패널용 스페이서를 형성할 수가 있는 감광성 수지 조성물, 및 당해 감광성 수지 조성물로 형성된 액정 패널용 스페이서를 제공하는 것을 목적으로 한다.This invention is made | formed in view of such a conventional subject, and it aims at providing the photosensitive resin composition which can form the liquid crystal panel spacer with high adhesiveness with respect to various base materials, and the liquid crystal panel spacer formed from the said photosensitive resin composition. do.

본 발명자들은 상기 목적을 달성하기 위해 열심히 연구를 거듭한 결과, 감광성 수지 조성물에 특정의 구조의 실란(silane) 화합물을 함유시킴으로써, 상기 과제를 해결할 수 있다는 것을 찾아내어, 본 발명을 완성하기에 이르렀다. 구체적으로는, 본 발명은 이하와 같은 것을 제공한다.MEANS TO SOLVE THE PROBLEM As a result of earnestly researching in order to achieve the said objective, the present inventors discovered that the said subject can be solved by containing the silane compound of a specific structure in the photosensitive resin composition, and came to complete this invention. . Specifically, the present invention provides the following.

본 발명의 제1의 태양은 (A) 광중합성 화합물, (B) 광중합 개시제, 및 (C) 밀착 증강제를 함유하는 감광성 수지 조성물로서, 상기 (C) 성분은 질소 원자를 포함하는 기를 가지는 실란(silane) 화합물이고, 당해 질소 원자에 결합하고 있는 수소 원자가 하나 이하인 것을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물이다.The 1st aspect of this invention is the photosensitive resin composition containing (A) photopolymerizable compound, (B) photoinitiator, and (C) adhesion promoter, The said (C) component has the silane which has group containing a nitrogen atom ( silane) compound, and one or more hydrogen atoms couple | bonded with the said nitrogen atom are photosensitive resin compositions characterized by the above-mentioned.

본 발명의 제2의 태양은 본 발명의 감광성 수지 조성물로 형성된 것을 특징으로 하는 액정 패널용 스페이서이다.The 2nd aspect of this invention is formed from the photosensitive resin composition of this invention, It is a spacer for liquid crystal panels characterized by the above-mentioned.

본 발명에 의하면, 각종 기재에 대해서 밀착성이 높은 액정 패널용 스페이서를 형성할 수가 있는 감광성 수지 조성물, 및 당해 감광성 수지 조성물로 형성된 액정 패널용 스페이서를 제공할 수가 있다.According to this invention, the photosensitive resin composition which can form the liquid crystal panel spacer with high adhesiveness with respect to various base materials, and the liquid crystal panel spacer formed from the said photosensitive resin composition can be provided.

이하, 본 발명의 실시 형태에 대해서 설명한다. 본 명세서에 있어서, 「(메타)아크릴산((meth)acrylic acid)」이란 아크릴산(acrylic acid) 및 메타크릴산(methacrylic acid)의 일방 또는 양방을 나타낸다. 마찬가지로 「(메타)아크릴레 이트((meth)acrylate)」란, 아크릴레이트(acrylate) 및 메타크릴레이트(methacrylate)의 일방 또는 양방을 나타낸다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described. In this specification, "(meth) acrylic acid" means one or both of acrylic acid and methacrylic acid. Similarly, "(meth) acrylate" means one or both of acrylate and methacrylate.

〔감광성 수지 조성물〕[Photosensitive resin composition]

본 발명의 감광성 수지 조성물은 (A) 광중합성 화합물, (B) 광중합 개시제, 및 (C) 밀착 증강제를 함유하고 있다. 이하, 본 발명의 감광성 수지 조성물에 포함되는 각 성분에 대해서 설명한다.The photosensitive resin composition of this invention contains the (A) photopolymerizable compound, (B) photoinitiator, and (C) adhesion promoter. Hereinafter, each component contained in the photosensitive resin composition of this invention is demonstrated.

[(A) 광중합성 화합물][(A) Photopolymerizable Compound]

상기 (A) 광중합성 화합물(이하, (A) 성분이라고 한다.)은 자외선 등의 광의 조사를 받아 중합하고 경화하는 물질이다. 이 (A) 성분으로서는, 에틸렌(ethylene)성 불포화기를 가지는 수지 또는 모노머(monomer)가 바람직하고, 이들을 조합하는 것이 보다 바람직하다. 에틸렌성 불포화기를 가지는 수지와 에틸렌성 불포화기를 가지는 모노머를 조합함으로써, 경화성을 향상시켜 패턴 형성을 용이하게 할 수가 있다. 또한, 본 명세서에서는, 에틸렌성 불포화기를 가지는 화합물 중 질량평균분자량이 1000 이상인 것을 「에틸렌성 불포화기를 가지는 수지」로 칭하고, 질량평균분자량이 1000 미만인 것을 「에틸렌성 불포화기를 가지는 모노머」로 칭하는 것으로 한다.Said (A) photopolymerizable compound (henceforth (A) component) is a substance which superposes | polymerizes and hardens | cures by irradiation of light, such as an ultraviolet-ray. As this (A) component, resin or monomer (monomer) which has an ethylenic unsaturated group is preferable, and it is more preferable to combine these. By combining the resin which has an ethylenically unsaturated group, and the monomer which has an ethylenically unsaturated group, sclerosis | hardenability can be improved and pattern formation can be made easy. In the present specification, a compound having an ethylenically unsaturated group having a mass average molecular weight of 1000 or more is referred to as "resin having an ethylenically unsaturated group", and a compound having a mass average molecular weight of less than 1000 is referred to as a "monomer having an ethylenically unsaturated group". .

<에틸렌성 불포화기를 가지는 수지><Resin having an ethylenically unsaturated group>

에틸렌성 불포화기를 가지는 수지로서는, (메타)아크릴산, 푸마르산, 말레산, 푸마르산 모노메틸, 푸마르산 모노에틸, 2-히드록시에틸 (메타)아크릴레이트, 에틸렌글리콜 모노메틸 에테르 (메타)아크릴레이트, 에틸렌글리콜 모노에틸 에테르 (메타)아크릴레이트, 글리세롤 (메타)아크릴레이트, (메타)아크릴아미드, 아크릴로니트릴, 메타크릴로니트릴, 메틸 (메타)아크릴레이트, 에틸 (메타)아크릴레이트, 이소부틸 (메타)아크릴레이트, 2-에틸헥실 (메타)아크릴레이트, 벤질 (메타)아크릴레이트, 에틸렌글리콜 디(메타)아크릴레이트, 디에틸렌글리콜 디아크릴레이트, 트리에틸렌글리콜 디(메타)아크릴레이트, 테트라에틸렌글리콜 디(메타)아크릴레이트, 부틸렌글리콜 디메타크릴레이트, 프로필렌글리콜 디(메타)아크릴레이트, 트리메틸올프로판 트리(메타)아크릴레이트, 테트라메틸올프로판 테트라(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨 트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨 테트라(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 펜타(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 헥사(메타)아크릴레이트, 1, 6-헥산디올 디(메타)아크릴레이트, 카도에폭시 디아크릴레이트 등이 중합한 올리고머류; 다가 알코올류와 1염기산 또는 다염기산을 축합하여 얻어지는 폴리에스테르 프리폴리머(prepolymer)에 (메타)아크릴산을 반응시켜 얻어지는 폴리에스테르 (메타)아크릴레이트, 폴리올과 2개의 이소시아네이트기를 가지는 화합물을 반응시킨 후, (메타)아크릴산을 반응시켜 얻어지는 폴리우레탄 (메타)아크릴레이트; 비스페놀 A형 에폭시 수지, 비스페놀 F형 에폭시 수지, 비스페놀 S형 에폭시 수지, 페놀 또는 크레졸 노볼락형 에폭시 수지, 레졸형 에폭시 수지, 트리페놀메탄형 에폭시 수지, 폴리카복실산 폴리글리시딜 에스테르, 폴리올 폴리글리시딜 에스테르, 지방족 또는 지환식 에폭시 수지, 아민 에폭시 수지, 디히드록시벤젠형 에폭시 수지 등의 에폭시 수지와 (메타)아크릴산을 반응시켜 얻어지는 에폭시 (메타)아크릴레이트 수지 등을 들 수 있다. 또한, 에폭시 (메타)아크릴레이트 수지 에 다염기산 무수물을 반응시킨 수지를 이용할 수가 있다.Examples of the resin having an ethylenically unsaturated group include (meth) acrylic acid, fumaric acid, maleic acid, monomethyl fumaric acid, monoethyl fumaric acid, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, ethylene glycol monomethyl ether (meth) acrylate, and ethylene glycol Monoethyl ether (meth) acrylate, glycerol (meth) acrylate, (meth) acrylamide, acrylonitrile, methacrylonitrile, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, isobutyl (meth) Acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, ethylene glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol diacrylate, triethylene glycol di (meth) acrylate, tetraethylene glycol di (Meth) acrylate, butylene glycol dimethacrylate, propylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri ( Ta) acrylate, tetramethylolpropane tetra (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythrate Oligomers polymerized by lithol hexa (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, cardoepoxy diacrylate, etc .; polyester prepolymers obtained by condensation of polyhydric alcohols with monobasic or polybasic acids ( Polyurethane (meth) acrylate obtained by making (meth) acrylic acid react after polyester (meth) acrylate obtained by making (meth) acrylic acid react with a prepolymer), a polyol, and the compound which has two isocyanate groups; Type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, phenol or cresol furnace Rock type epoxy resin, resol type epoxy resin, triphenol methane type epoxy resin, polycarboxylic acid polyglycidyl ester, polyol polyglycidyl ester, aliphatic or alicyclic epoxy resin, amine epoxy resin, dihydroxybenzene type epoxy resin, etc. Epoxy (meth) acrylate resin etc. which are obtained by making the epoxy resin of this and (meth) acrylic acid react are mentioned. Moreover, resin which made polybasic acid anhydride react with epoxy (meth) acrylate resin can be used.

에틸렌성 불포화기를 가지는 수지 중에서도, 하기 식 (a-1)로 표시되는 구성 단위 (a1)와, 가교성기를 가지는 구성 단위 (a2)를 가지는 공중합체 (A1)가, 해상성 및 보존 안정성을 향상시킬 수가 있다는 점에서 바람직하다.Among the resins having an ethylenically unsaturated group, a copolymer (A1) having a structural unit (a1) represented by the following formula (a-1) and a structural unit (a2) having a crosslinkable group improves resolution and storage stability. It is preferable at the point which can be made.

Figure 112007078384641-pat00001
Figure 112007078384641-pat00001

[식 (a-1) 중, Ra0은 수소 원자 또는 메틸(methyl)기를 나타내고, Ra1은 단일 결합 또는 탄소수 1∼5의 알킬렌(alkylene)기를 나타내고, Ra2는 탄소수 1∼5의 알킬(alkyl)기를 나타내고(단, Ra2가 2 이상 존재하는 경우, 이들 Ra2는 서로 동일해도 달라도 좋다.), a는 1∼5의 정수를 나타내고, b는 0∼4의 정수를 나타내고, a+b는 5 이하이다.][In formula (a-1), R <a0> represents a hydrogen atom or a methyl group, R <a1> represents a single bond or a C1-C5 alkylene group, R <a2> a C1-C5 alkyl (alkyl) group (however, when R a2 is present in two or more, these R a2s may be the same as or different from each other), a represents an integer of 1 to 5, b represents an integer of 0 to 4, and a + b Is 5 or less.]

상기 Ra0은 수소 원자 또는 메틸기이고, 메틸기인 것이 바람직하다.R a0 is a hydrogen atom or a methyl group, and is preferably a methyl group.

상기 Ra1은 단일 결합 또는 탄소수 1∼5의 직쇄상 또는 분기쇄상의 알킬렌기이다. 구체적으로는, 메틸렌기, 에틸렌기, 프로필렌기, 이소프로필렌기, n-부틸렌기, 이소부틸렌기, tert-부틸렌기, 펜틸렌기, 이소펜틸렌기, 네오펜틸렌기 등을 들 수 있다. 그 중에서도 단일 결합, 메틸렌기, 에틸렌기인 것이 바람직하다. 특히 단일 결합인 경우에는, 얻어지는 경화물의 내열성을 향상시킬 수가 있다는 점에서 바람직하다.R a1 is a single bond or a linear or branched alkylene group having 1 to 5 carbon atoms. Specifically, methylene group, ethylene group, propylene group, isopropylene group, n-butylene group, isobutylene group, tert-butylene group, pentylene group, isopentylene group, neopentylene group, etc. are mentioned. Especially, it is preferable that they are a single bond, a methylene group, and an ethylene group. Especially in the case of a single bond, it is preferable at the point which can improve the heat resistance of the hardened | cured material obtained.

a는 1∼5의 정수를 나타내지만, 제조가 용이한 등의 점에서 a가 1인 것이 바람직하다. 또, 벤젠환에 있어서의 수산기의 결합 위치는, Ra1과 결합하고 있는 탄소 원자를 기준(1 위치)으로 했을 때, 4 위치인 것이 바람직하다.Although a shows the integer of 1-5, it is preferable that a is 1 in the point which manufacture is easy. Moreover, it is preferable that the coupling | bonding position of the hydroxyl group in a benzene ring is 4-position, when the carbon atom couple | bonded with R <a1> is a reference | standard (1 position).

상기 Ra2는, 탄소수 1∼5의 직쇄 또는 분기쇄상의 알킬기이다. 구체적으로는 메틸기, 에틸기, 프로필기, 이소프로필기, n-부틸기, 이소부틸기, tert-부틸기, 펜틸기, 이소펜틸기, 네오펜틸기 등을 들 수 있다. 그 중에서도 제조가 용이하다고 하는 점에서, 메틸기 또는 에틸기인 것이 바람직하다. 또, b는 0∼4의 정수를 나타낸다.R <a2> is a C1-C5 linear or branched alkyl group. Specific examples include methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, n-butyl group, isobutyl group, tert-butyl group, pentyl group, isopentyl group and neopentyl group. Especially, since it is easy to manufacture, it is preferable that it is a methyl group or an ethyl group. In addition, b represents the integer of 0-4.

상기 구성 단위 (a1)로서는 구체적으로는, 하기 식 (a-1-1), (a-1-2)로 표시되는 것을 들 수 있다. 특히, 식 (a-1-1)로 표시되는 구성 단위가 바람직하다.Specific examples of the structural unit (a1) include those represented by the following formulas (a-1-1) and (a-1-2). In particular, the structural unit represented by Formula (a-1-1) is preferable.

Figure 112007078384641-pat00002
Figure 112007078384641-pat00002

이 구성 단위 (a1)은 하기 식 (a-1)'으로 표시되는 중합성 단량체를 다른 중합성 단량체와 공중합시킴으로써 공중합체 (A1)에 도입할 수가 있다.This structural unit (a1) can be introduce | transduced into a copolymer (A1) by copolymerizing the polymerizable monomer represented by following formula (a-1) 'with another polymerizable monomer.

Figure 112007078384641-pat00003
Figure 112007078384641-pat00003

[식 (a-1)'중, Ra0, Ra1, Ra2, a, 및 b는 상기와 동일하다.][R <a0> , R <a1> , R <a2> , a, and b are the same as the above in formula (a-1) #.]

상기 구성 단위 (a2)는 가교성기를 가지는 구성 단위이다. 이 가교성기는 열에 의해 가교하는 것이고, 예를 들면, 에틸렌(ethylene)성 불포화기를 포함하는 유기기, 에폭시(epoxy)기를 포함하는 유기기, 옥세타닐(oxetanyl)기를 포함하는 유기기를 들 수 있다.The structural unit (a2) is a structural unit having a crosslinkable group. The crosslinkable group is crosslinked by heat, and examples thereof include an organic group containing an ethylene unsaturated group, an organic group containing an epoxy group, and an organic group containing an oxetanyl group. .

그 중에서도, 얻어지는 경화물의 내열성이나 강도를 향상시킬 수가 있다는 등의 점에서, 에폭시기를 포함하는 유기기를 가지는 것이 바람직하다. 이러한 구성 단위 (a2)로서는 예를 들면, 아크릴산 글리시딜, 메타크릴산 글리시딜, 아크릴산-β-메틸글리시딜, 메타크릴산-β-메틸글리시딜, α-에틸 아크릴산 글리시딜, α-n-프로필아크릴산 글리시딜, α-n-부틸 아크릴산 글리시딜, 아크릴산-3, 4-에폭시부틸, 메타크릴산-3, 4-에폭시부틸, 아크릴산-6, 7-에폭시헵틸, 메타크릴산-6, 7-에폭시헵틸, α-에틸 아크릴산-6, 7-에폭시헵틸, o-비닐벤질 글리시딜 에테르, m-비닐벤질 글리시딜 에테르, p-비닐벤질 글리시딜 에테르, (3, 4-에폭시시클로헥실) 메틸메타크릴레이트 등의 중합성 단량체로부터 유도되는 것을 들 수 있다. 이들 구성 단위 (a2)는 단독 또는 2종 이상 조합하여 이용할 수가 있다.Especially, it is preferable to have an organic group containing an epoxy group from the point of being able to improve the heat resistance and strength of the hardened | cured material obtained. As such a structural unit (a2), glycidyl acrylate, glycidyl methacrylate, acrylic acid (beta) -methylglycidyl, methacrylic acid (beta) -methylglycidyl, and (alpha)-ethyl acrylate glycidyl, for example , α-n-propyl acrylate glycidyl, α-n-butyl acrylate glycidyl, acrylic acid 3, 4-epoxybutyl, methacrylic acid-3, 4-epoxybutyl, acrylic acid-6, 7-epoxyheptyl, Methacrylic acid-6, 7-epoxyheptyl, α-ethyl acrylic acid-6, 7-epoxyheptyl, o-vinylbenzyl glycidyl ether, m-vinylbenzyl glycidyl ether, p-vinylbenzyl glycidyl ether, And those derived from polymerizable monomers such as (3,4-epoxycyclohexyl) methyl methacrylate. These structural units (a2) can be used individually or in combination of 2 or more types.

특히 바람직한 구성 단위 (a2)로서는 하기 식 (a-2)로 표시되는 구성 단위를 들 수 있다. 이 식 (a-2)로 표시되는 구성 단위는 제조의 용이함, 비용의 우위성, 및 얻어지는 경화물의 내용제성을 향상시킬 수가 있다는 점에서 바람직하다.As a particularly preferable structural unit (a2), the structural unit represented by a following formula (a-2) is mentioned. The structural unit represented by this formula (a-2) is preferable at the point which can improve the ease of manufacture, the superiority of cost, and the solvent resistance of the hardened | cured material obtained.

Figure 112007078384641-pat00004
Figure 112007078384641-pat00004

[식 (a-2) 중, Ra3은 수소 원자 또는 메틸기를 나타낸다.][R <a3> represents a hydrogen atom or a methyl group in a formula (a-2).]

또, 상기 공중합체 (A1)은 구성 단위 (a1), (a2) 이외의 구성 단위 (a3)을 가지고 있어도 좋다. 이 구성 단위 (a3)은 에틸렌성 불포화기를 가지는 화합물로부터 유도되는 구성 단위이면, 특히 한정되지 않는다.Moreover, the said copolymer (A1) may have structural units (a3) other than structural unit (a1) and (a2). This structural unit (a3) will not be specifically limited if it is a structural unit derived from the compound which has an ethylenically unsaturated group.

이러한 구성 단위 (a3)으로서는 예를 들면, 불포화 카복실산류, (메타)아크릴산 에스테르류, (메타)아크릴아미드류, 알릴 화합물, 비닐 에테르류, 비닐 에스테르류, 스티렌류, 혹은 (메타)아크릴로니트릴 등으로부터 선택되는 구성 단위를 들 수 있다.As such a structural unit (a3), for example, unsaturated carboxylic acids, (meth) acrylic acid ester, (meth) acrylamide, allyl compound, vinyl ether, vinyl ester, styrene, or (meth) acrylonitrile The structural unit chosen from these etc. are mentioned.

불포화 카복실산류로서는 예를 들면, (메타)아크릴산, 크로톤산 등의 모노카복실산; 말레산, 푸마르산, 시트라콘산, 메사콘산(mesaconic acid), 이타콘산 등의 디카복실산, 이들 디카복실산의 무수물 등을 들 수 있다.Examples of the unsaturated carboxylic acids include monocarboxylic acids such as (meth) acrylic acid and crotonic acid; dicarboxylic acids such as maleic acid, fumaric acid, citraconic acid, mesaconic acid and itaconic acid, and anhydrides of these dicarboxylic acids. Can be mentioned.

아크릴산 에스테르류로서는 예를 들면, 아크릴산 메틸, 아크릴산 에틸, 아크릴산 프로필, 아크릴산 이소프로필, 아크릴산 부틸, 아크릴산 아밀, 아크릴산 에틸헥실, 아크릴산 옥틸, 아크릴산-t-옥틸 등의 직쇄 또는 분기쇄 알킬 아크릴레이트; 시클로헥실 아크릴레이트, 디시클로펜타닐 아크릴레이트, 2-메틸시클로헥실 아크릴레이트, 디시클로펜타닐 아크릴레이트, 디시클로펜타옥시에틸 아크릴레이트, 이소보닐 아크릴레이트 등의 지환식 알킬 아크릴레이트; 클로로에틸 아크릴레이트, 2, 2-디메틸히드록시프로필 아크릴레이트, 2-히드록시에틸 아크릴레이트, 5-히드록시펜틸 아크릴레이트, 트리메틸올프로판 모노아크릴레이트, 펜타에리트리 톨 모노아크릴레이트, 벤질 아크릴레이트, 메톡시벤질 아크릴레이트, 푸르푸릴 아크릴레이트, 테트라히드로푸르푸릴 아크릴레이트, 아릴 아크릴레이트(예를 들면 페닐 아크릴레이트) 등을 들 수 있다.Examples of the acrylic esters include linear or branched alkyl acrylates such as methyl acrylate, ethyl acrylate, propyl acrylate, isopropyl acrylate, butyl acrylate, amyl acrylate, ethylhexyl acrylate, octyl acrylate and t-octyl acrylate; Alicyclic alkyl acrylates such as hexyl acrylate, dicyclopentanyl acrylate, 2-methylcyclohexyl acrylate, dicyclopentanyl acrylate, dicyclopentaoxyethyl acrylate, isobornyl acrylate; chloroethyl acrylate, 2 , 2-dimethylhydroxypropyl acrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, 5-hydroxypentyl acrylate, trimethylolpropane monoacrylate, pentaerythritol monoacrylate, benzyl acrylate, methoxybenzyl acrylate , Furfuryl acrylate, te La tetrahydro furfuryl acrylate, aryl acrylate, and the like (for example, phenyl acrylate).

메타크릴산 에스테르류로서는 예를 들면, 메틸 메타크릴레이트, 에틸 메타크릴레이트, 프로필 메타크릴레이트, 이소프로필 메타크릴레이트, n-부틸 메타크릴레이트, sec-부틸 메타크릴레이트, t-부틸 메타크릴레이트, 아밀 메타크릴레이트, 헥실 메타크릴레이트, 옥틸 메타크릴레이트 등의 직쇄 또는 분기쇄 알킬 메타크릴레이트; 시클로헥실 메타크릴레이트, 디시클로펜타닐 메타크릴레이트, 2-메틸시클로헥실 메타크릴레이트, 디시클로펜타닐옥시에틸 메타크릴레이트, 이소보닐 메타크릴레이트 등의 지환식 알킬 메타크릴레이트; 벤질 메타크릴레이트, 클로로벤질 메타크릴레이트, 2-히드록시에틸 메타크릴레이트, 4-히드록시부틸 메타크릴레이트, 5-히드록시펜틸 메타크릴레이트, 2, 2-디메틸-3-히드록시프로필 메타크릴레이트, 트리메틸올프로판 모노메타크릴레이트, 펜타에리트리톨 모노메타크릴레이트, 푸르푸릴 메타크릴레이트, 테트라히드로푸르푸릴 메타크릴레이트, 아릴 메타크릴레이트(예를 들면 페닐 메타크릴레이트, 크레질 메타크릴레이트(cresyl methacrylate), 나프틸 메타크릴레이트) 등을 들 수 있다. As methacrylic acid ester, methyl methacrylate, ethyl methacrylate, propyl methacrylate, isopropyl methacrylate, n-butyl methacrylate, sec-butyl methacrylate, t-butyl methacrylate, for example. Straight or branched chain alkyl methacrylates such as acrylate, amyl methacrylate, hexyl methacrylate and octyl methacrylate; cyclohexyl methacrylate, dicyclopentanyl methacrylate, 2-methylcyclohexyl methacrylate, dicy Alicyclic alkyl methacrylates such as clofentanyloxyethyl methacrylate and isobonyl methacrylate; benzyl methacrylate, chlorobenzyl methacrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, 4-hydroxybutyl methacrylate , 5-hydroxypentyl methacrylate, 2, 2-dimethyl- 3-hydroxypropyl methacrylate, tri Thiololpropane monomethacrylate, pentaerythritol monomethacrylate, furfuryl methacrylate, tetrahydrofurfuryl methacrylate, aryl methacrylate (e.g. phenyl methacrylate, cresyl methacrylate) ), Naphthyl methacrylate), and the like.

아크릴아미드류로서는 예를 들면, 아크릴아미드, N-알킬아크릴아미드(알킬기의 탄소수는 1∼10이 바람직하고, 예를 들면 메틸기, 에틸기, 프로필기, 부틸기, t-부틸기, 헵틸기, 옥틸기, 시클로헥실기, 히드록시에틸기, 벤질기 등을 들 수 있다), N-아릴아크릴아미드(아릴기로서는, 예를 들면 페닐기, 톨릴(tolyl)기, 니트 로페닐기, 나프틸기, 히드록시페닐기 등을 들 수 있다), N, N-디알킬아크릴아미드(알킬기의 탄소수는 1∼10이 바람직하다), N, N-아릴아크릴아미드(아릴기로서는, 예를 들면 페닐기를 들 수 있다), N-메틸-N-페닐아크릴아미드, N-히드록시에틸-N-메틸아크릴아미드, N-2-아세트아미도에틸-N-아세틸아크릴아미드 등을 들 수 있다.As acrylamides, for example, acrylamide and N-alkyl acrylamide (as for carbon number of an alkyl group, 1-10 are preferable, for example, a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a butyl group, t-butyl group, a heptyl group, and an jade) Tyl group, cyclohexyl group, hydroxyethyl group, benzyl group, etc. are mentioned, N-aryl acrylamide (Aryl group is phenyl group, tolyl group, nitrophenyl group, naphthyl group, hydroxyphenyl group, for example.) Etc.), N, N-dialkylacrylamide (The carbon number of an alkyl group is 1-10 is preferable.), N, N-arylacrylamide (A aryl group can mention a phenyl group, for example.), N-methyl-N-phenylacrylamide, N-hydroxyethyl-N-methylacrylamide, N-2-acetamidoethyl-N-acetylacrylamide, etc. are mentioned.

메타크릴아미드(methacrylamide)류로서는 예를 들면, 메타크릴아미드, N-알킬메타크릴아미드(알킬기의 탄소수는 1∼10이 바람직하고, 예를 들면 메틸기, 에틸기, t-부틸기, 에틸헥실기, 히드록시에틸기, 시클로헥실기 등을 들 수 있다), N-아릴메타크릴아미드(아릴기로서는, 예를 들면 페닐기, 톨릴기, 니트로페닐기, 나프틸기, 히드록시페닐기 등을 들 수 있다), N, N-디알킬메타크릴아미드(알킬기로서는, 에틸기, 프로필기, 부틸기 등을 들 수 있다), N, N-디아릴메타크릴아미드(아릴기로서는, 예를 들면 페닐기를 들 수 있다), N-히드록시에틸-N-메틸메타크릴아미드, N-메틸-N-페닐메타크릴아미드, N-에틸-N-페닐메타크릴아미드 등을 들 수 있다.As methacrylamides, for example, methacrylamide and N-alkyl methacrylamide (carbon number of the alkyl group is preferably 1 to 10, for example, methyl group, ethyl group, t-butyl group, ethylhexyl group, Hydroxyethyl group, cyclohexyl group, etc.), N-aryl methacrylamide (as an aryl group, a phenyl group, a tolyl group, a nitrophenyl group, a naphthyl group, a hydroxyphenyl group etc. are mentioned, for example), N , N-dialkyl methacrylamide (as an alkyl group, ethyl group, propyl group, butyl group etc. are mentioned), N, N- diaryl methacrylamide (as an aryl group, a phenyl group is mentioned, for example), N-hydroxyethyl-N-methyl methacrylamide, N-methyl-N-phenyl methacrylamide, N-ethyl-N-phenyl methacrylamide, etc. are mentioned.

알릴(allyl) 화합물로서는 예를 들면, 알릴 에스테르류(예를 들면 초산 알릴, 카프로산 알릴(allyl caproate), 카프릴산 알릴(allyl caprylate), 라우르산 알릴(allyl laurate), 팔미트산 알릴(allyl palmitate), 스테아르산 알릴(allyl stearate), 안식향산 알릴, 아세토초산 알릴, 젖산 알릴 등), 알릴옥시에탄올(allyloxyethanol) 등을 들 수 있다.As the allyl compound, for example, allyl esters (for example, allyl acetate, allyl caproate, allyl caprylate, allyl laurate, allyl palmitate allyl) (allyl palmitate), allyl stearate, allyl stearate, allyl benzoate, allyl acetoacetic acid, allyl lactate, etc.), allyloxyethanol, and the like.

비닐 에테르(vinyl ether)류로서는 예를 들면, 알킬 비닐 에테르(예를 들면 헥실 비닐 에테르, 옥틸 비닐 에테르, 데실 비닐 에테르, 에틸헥실 비닐 에테르, 메톡시에틸 비닐 에테르, 에톡시에틸 비닐 에테르, 클로로에틸 비닐 에테르, 1-메틸-2, 2-디메틸프로필 비닐 에테르, 2-에틸부틸 비닐 에테르, 히드록시에틸 비닐 에테르, 디에틸렌글리콜 비닐 에테르, 디메틸아미노에틸 비닐 에테르, 디에틸아미노에틸 비닐 에테르, 부틸아미노에틸 비닐 에테르, 벤질 비닐 에테르, 테트라히드로푸르푸릴 비닐 에테르 등을 들 수 있다), 비닐 아릴 에테르(예를 들면 비닐 페닐 에테르, 비닐 톨릴 에테르, 비닐 클로로페닐 에테르, 비닐-2, 4-디클로로페닐 에테르, 비닐 나프틸 에테르, 비닐 안트라닐 에테르(vinyl anthranyl ether) 등을 들 수 있다)를 들 수 있다.Examples of vinyl ethers include alkyl vinyl ethers (eg, hexyl vinyl ether, octyl vinyl ether, decyl vinyl ether, ethylhexyl vinyl ether, methoxyethyl vinyl ether, ethoxyethyl vinyl ether, chloroethyl). Vinyl ether, 1-methyl-2, 2-dimethylpropyl vinyl ether, 2-ethylbutyl vinyl ether, hydroxyethyl vinyl ether, diethylene glycol vinyl ether, dimethylaminoethyl vinyl ether, diethylaminoethyl vinyl ether, butylamino Ethyl vinyl ether, benzyl vinyl ether, tetrahydrofurfuryl vinyl ether, etc.), vinyl aryl ether (for example, vinyl phenyl ether, vinyl tolyl ether, vinyl chlorophenyl ether, vinyl-2, 4-dichlorophenyl ether And vinyl naphthyl ether, vinyl anthranyl ether, and the like).

비닐 에스테르(vinyl ester)류로서는 예를 들면, 비닐 부티레이트, 비닐 이소부티레이트, 비닐 트리메틸아세테이트, 비닐 디에틸아세테이트, 비닐 발레이트, 비닐 카프로에이트, 비닐 클로로아세테이트, 비닐 디클로로아세테이트, 비닐 메톡시아세테이트, 비닐 부톡시아세테이트, 비닐 페닐아세테이트, 비닐 아세토아세테이트, 비닐 락테이트, 비닐-β-페닐부티레이트, 안식향산 비닐, 살리실산 비닐, 클로로안식향산 비닐, 테트라클로로안식향산 비닐, 나프토산 비닐(vinyl naphthoate)을 들 수 있다.As vinyl esters, for example, vinyl butyrate, vinyl isobutyrate, vinyl trimethyl acetate, vinyl diethyl acetate, vinyl valerate, vinyl caproate, vinyl chloroacetate, vinyl dichloroacetate, vinyl methoxyacetate, vinyl Butoxy acetate, vinyl phenyl acetate, vinyl acetoacetate, vinyl lactate, vinyl-β-phenylbutyrate, vinyl benzoate, vinyl salicylate, vinyl chlorobenzoate, vinyl tetrachlorobenzoate, and vinyl naphthoate.

스티렌(styrene)류로서는 예를 들면, 스티렌, 알킬스티렌(예를 들면, 메틸스티렌, 디메틸스티렌, 트리메틸스티렌, 에틸스티렌, 디에틸스티렌, 이소프로필스티렌, 부틸스티렌, 헥실스티렌, 시클로헥실스티렌, 데실스티렌, 벤질스티렌, 클로로메틸스티렌, 트리플루오로메틸스티렌, 에톡시메틸스티렌, 아세톡시메틸스티렌 등을 들 수 있다), 알콕시스티렌(예를 들면, 메톡시스티렌, 4-메톡시-3-메틸스티렌, 디메톡시스티렌 등을 들 수 있다), 할로겐스티렌(예를 들면, 클로로스티렌, 디클로로스티렌, 트리클로로스티렌, 테트라클로로스티렌, 펜타클로로스티렌, 브로모스티렌, 디브로모스티렌, 아이오도스티렌, 플루오로스티렌, 트리플루오로스티렌, 2-브로모-4-트리플루오로메틸스티렌, 4-플루오로-3-트리플루오로메틸스티렌 등을 들 수 있다)을 들 수 있다.As styrene, For example, styrene, alkyl styrene (for example, methyl styrene, dimethyl styrene, trimethyl styrene, ethyl styrene, diethyl styrene, isopropyl styrene, butyl styrene, hexyl styrene, cyclohexyl styrene, decyl) Styrene, benzyl styrene, chloromethyl styrene, trifluoromethyl styrene, ethoxymethyl styrene, acetoxymethyl styrene, etc.), alkoxy styrene (for example, methoxy styrene, 4-methoxy-3-methyl) Styrene, dimethoxy styrene, and the like), halogen styrene (for example, chlorostyrene, dichlorostyrene, trichlorostyrene, tetrachlorostyrene, pentachlorostyrene, bromostyrene, dibromostyrene, iodostyrene, Fluorostyrene, trifluorostyrene, 2-bromo-4-trifluoromethylstyrene, 4-fluoro-3-trifluoromethylstyrene, etc.) are mentioned). Can be.

상기 공중합체 (A1) 중에 있어서의 구성 단위 (a1)은 10∼80몰%인 것(몰비의 경우는 (a1):(a2)가 1:9∼9:1)이 바람직하고, 20∼80몰%인 것(몰비의 경우는 (a1):(a2)가 2:8∼8:2)이 보다 바람직하고, 20∼70몰%인 것이 가장 바람직하다. 상기의 범위로 함으로써, 감광성 수지 조성물의 현상성을 향상시킬 수가 있다. The structural unit (a1) in the copolymer (A1) is 10 to 80 mol% (in the case of molar ratio, (a1) :( a2) is preferably 1: 9 to 9: 1), and 20 to 80 It is more preferable that it is mol% (in the case of molar ratio, (a1) :( a2) is 2: 8-8: 2), and it is most preferable that it is 20-70 mol%. By setting it as said range, the developability of the photosensitive resin composition can be improved.

또, 상기 공중합체 (A1) 중에 있어서의 구성 단위 (a2)는 10∼90몰%인 것이 바람직하고, 20∼80몰%인 것이 보다 바람직하다. 상기의 범위로 함으로써, 감광성 수지 조성물의 열강화성 및 내약품성을 향상시킬 수가 있다.Moreover, it is preferable that it is 10-90 mol%, and, as for the structural unit (a2) in the said copolymer (A1), it is more preferable that it is 20-80 mol%. By setting it as said range, the thermosetting and chemical-resistance of the photosensitive resin composition can be improved.

또한, 상기 공중합체 (A1) 중에 있어서의 구성 단위 (a3)은 0∼60몰%인 것이 바람직하고, 0∼30몰%인 것이 보다 바람직하고, 0∼10몰%인 것이 보다 더 바람직하고, 포함되지 않는 것이 가장 바람직하다.Moreover, it is preferable that the structural unit (a3) in the said copolymer (A1) is 0-60 mol%, It is more preferable that it is 0-30 mol%, It is still more preferable that it is 0-10 mol%, Most preferably not included.

상기 공중합체 (A1)의 질량평균분자량(Mw: 겔 퍼미에이션 크로마토그래피(gel permeation chromatography; GPC)의 스티렌 환산에 의한 측정값)은 2000∼50000이 바람직하고, 5000∼30000인 것이 보다 바람직하다. 질량평균분자량을 2000 이상으로 함으로써, 용이하게 막 형상으로 형성하는 것이 가능하게 되고, 50000 이 하로 함으로써, 적당한 현상성을 얻는 것이 가능하게 된다.As for the mass mean molecular weight (Mw: measured value by styrene conversion of gel permeation chromatography (GPC)) of the said copolymer (A1), 2000-50000 are preferable, and it is more preferable that it is 5000-30000. By setting the mass average molecular weight to 2000 or more, it is possible to easily form a film, and by setting it to 50000 or less, it becomes possible to obtain appropriate developability.

상기 공중합체 (A1)은 공지의 라디칼(radical) 중합에 의해 제조할 수가 있다. 즉, 상기 구성 단위 (a1), (a2), 및 (a3)을 유도하는 중합성 단량체, 및 공지의 라디칼 중합 개시제를 중합 용매에 용해시킨 후, 가열 교반함으로써 제조할 수가 있다. The said copolymer (A1) can be manufactured by well-known radical polymerization. That is, after melt | dissolving the polymeric monomer which guides the said structural unit (a1), (a2), and (a3), and a well-known radical polymerization initiator in a polymerization solvent, it can manufacture by heat-stirring.

<에틸렌성 불포화기를 가지는 모노머><Monomer having ethylenically unsaturated group>

에틸렌(ethylene)성 불포화기를 가지는 모노머(monomer)로는 단관능 모노머와 다관능 모노머가 있다.Monomers having an ethylene unsaturated group include a monofunctional monomer and a polyfunctional monomer.

단관능 모노머로서는, (메타)아크릴아미드, 메틸올(메타)아크릴아미드, 메톡시메틸(메타)아크릴아미드, 에톡시메틸(메타)아크릴아미드, 프로폭시메틸(메타)아크릴아미드, 부톡시메톡시메틸(메타)아크릴아미드, N-메틸올(메타)아크릴아미드, N-히드록시메틸(메타)아크릴아미드, (메타)아크릴산, 푸마르산, 말레산, 무수 말레산, 이타콘산, 무수 이타콘산, 시트라콘산, 무수 시트라콘산, 크로톤산, 2-아크릴아미드-2-메틸프로판술폰산, tert-부틸아크릴아미도술폰산, 메틸 (메타)아크릴레이트, 에틸 (메타)아크릴레이트, 부틸 (메타)아크릴레이트, 2-에틸헥실 (메타)아크릴레이트, 시클로헥실 (메타)아크릴레이트, 2-히드록시에틸 (메타)아크릴레이트, 2-히드록시프로필 (메타)아크릴레이트, 2-히드록시부틸 (메타)아크릴레이트, 2-페녹시-2-히드록시프로필 (메타)아크릴레이트, 2-(메타)아크릴로일옥시-2-히드록시프로필 프탈레이트, 글리세린 모노(메타)아크릴레이트, 테트라히드로푸르푸릴 (메타)아크릴레이트, 디메틸아미노(메타)아크릴레이트, 글리시딜 (메 타)아크릴레이트, 2, 2, 2-트리플루오로에틸 (메타)아크릴레이트, 2, 2, 3, 3-테트라플루오로프로필 (메타)아크릴레이트, 프탈산 유도체의 하프 (메타)아크릴레이트 등을 들 수 있다. 이들 단관능 모노머는 단독 또는 2종 이상 조합하여 이용할 수가 있다. As a monofunctional monomer, (meth) acrylamide, methylol (meth) acrylamide, methoxymethyl (meth) acrylamide, ethoxymethyl (meth) acrylamide, propoxymethyl (meth) acrylamide, butoxymethoxy Methyl (meth) acrylamide, N-methylol (meth) acrylamide, N-hydroxymethyl (meth) acrylamide, (meth) acrylic acid, fumaric acid, maleic acid, maleic anhydride, itaconic acid, itaconic anhydride, sheet Laconic acid, citraconic anhydride, crotonic acid, 2-acrylamide- 2-methylpropanesulfonic acid, tert- butyl acrylamisulfonic acid, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate , 2-ethylhexyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 2-hydroxybutyl (meth) acryl Rate, 2-phenoxy-2-hydro Cipropyl (meth) acrylate, 2- (meth) acryloyloxy-2-hydroxypropyl phthalate, glycerin mono (meth) acrylate, tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate, dimethylamino (meth) acrylate , Half of glycidyl (meth) acrylate, 2, 2, 2-trifluoroethyl (meth) acrylate, 2, 2, 3, 3-tetrafluoropropyl (meth) acrylate, phthalic acid derivative ( Meth) acrylate, etc. are mentioned. These monofunctional monomers can be used individually or in combination of 2 or more types.

한편, 다관능 모노머로서는, 에틸렌글리콜 디(메타)아크릴레이트, 디에틸렌글리콜 디(메타)아크릴레이트, 테트라에틸렌글리콜 디(메타)아크릴레이트, 프로필렌글리콜 디(메타)아크릴레이트, 폴리프로필렌글리콜 디(메타)아크릴레이트, 부틸렌글리콜 디(메타)아크릴레이트, 네오펜틸글리콜 디(메타)아크릴레이트, 1, 6-헥산글리콜 디(메타)아크릴레이트, 트리메틸올프로판 트리(메타)아크릴레이트, 글리세린 디(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨 트리아크릴레이트, 펜타에리트리톨 테트라아크릴레이트(pentaerythritol tetraacrylate), 디펜타에리트리톨 펜타아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 헥사아크릴레이트, 펜타에리트리톨 디(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨 트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨 테트라(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 펜타(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 헥사(메타)아크릴레이트, 2, 2-비스(4-(메타)아크릴옥시디에톡시페닐)프로판, 2, 2-비스(4-(메타)아크릴옥시폴리에톡시페닐)프로판, 2-히드록시-3-(메타)아크릴로일옥시프로필 (메타)아크릴레이트, 에틸렌글리콜 디글리시딜 에테르 디(메타)아크릴레이트, 디에틸렌글리콜 디글리시딜 에테르 디(메타)아크릴레이트, 프탈산 디글리시딜 에스테르 디(메타)아크릴레이트, 글리세린 트리아크릴레이트, 글리세린 폴리글리시딜 에테르 폴리(메타)아크릴레이트, 우레탄 (메타)아크릴레이트(즉, 톨릴렌디이소 시아네이트), 트리메틸헥사메틸렌디이소시아네이트와 헥사메틸렌디이소시아네이트 등과 2-히드록시에틸 (메타)아크릴레이트의 반응물, 메틸렌비스(메타)아크릴아미드, (메타)아크릴아미드 메틸렌 에테르, 다가 알코올과 N-메틸올 (메타)아크릴아미드의 축합물 등의 다관능 모노머나, 트리아크릴포름알 등을 들 수 있다. 이들 다관능 모노머는 단독 또는 2종 이상 조합하여 이용할 수가 있다.On the other hand, as a polyfunctional monomer, ethylene glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, tetraethylene glycol di (meth) acrylate, propylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di ( Meta) acrylate, butylene glycol di (meth) acrylate, neopentylglycol di (meth) acrylate, 1,6-hexane glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, glycerin di (Meth) acrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, pentaerythritol di (meth) acrylate, Pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol pen Other (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, 2, 2-bis (4- (meth) acryloxy diethoxyphenyl) propane, 2, 2-bis (4- (meth) acryloxy Polyethoxyphenyl) propane, 2-hydroxy-3- (meth) acryloyloxypropyl (meth) acrylate, ethylene glycol diglycidyl ether di (meth) acrylate, diethylene glycol diglycidyl ether Di (meth) acrylate, phthalic acid diglycidyl ester di (meth) acrylate, glycerin triacrylate, glycerin polyglycidyl ether poly (meth) acrylate, urethane (meth) acrylate (ie, tolylene diiso) Cyanate), a reaction product of 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, such as trimethylhexamethylene diisocyanate and hexamethylene diisocyanate, methylenebis (meth) acrylamide, (meth) acrylamide methylene ether, Polyfunctional monomers, such as a condensate of polyhydric alcohol and N-methylol (meth) acrylamide, a triacrylformal, etc. are mentioned. These polyfunctional monomers can be used individually or in combination of 2 or more types.

이 에틸렌성 불포화기를 가지는 모노머의 함유량은 감광성 수지 조성물의 고형분에 대해서 5∼50질량%인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 10∼40질량%의 범위이다. 상기의 범위로 함으로써, 감도, 현상성, 해상성의 밸런스(balance)를 잡기 쉬운 경향이 있어 바람직하다.It is preferable that content of the monomer which has this ethylenically unsaturated group is 5-50 mass% with respect to solid content of the photosensitive resin composition, More preferably, it is the range of 10-40 mass%. By setting it as said range, it exists in the tendency to balance the sensitivity, developability, and resolution, and it is preferable.

(A) 성분의 함유량은 감광성 수지 조성물의 고형분에 대해서 5∼50질량%인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 10∼40질량%의 범위이다. 상기의 범위로 함으로써, 감도, 현상성, 해상성의 밸런스를 잡기 쉬운 경향이 있어 바람직하다.It is preferable that content of (A) component is 5-50 mass% with respect to solid content of the photosensitive resin composition, More preferably, it is the range of 10-40 mass%. By setting it as said range, it exists in the tendency to balance the sensitivity, developability, and resolution, and is preferable.

[(B) 광중합 개시제][(B) Photoinitiator]

상기 (B) 광중합 개시제(이하, (B) 성분이라고 한다.)는 상기 (A) 성분의 종류에 따라서 적절한 것을 선택하면 좋다.What is necessary is just to select the said (B) photoinitiator (henceforth (B) component) according to the kind of said (A) component.

이 (B) 성분으로서는 예를 들면, 1-히드록시시클로헥실 페닐 케톤, 2-히드록시-2-메틸-1-페닐프로판-1-온, 1-〔4-(2-히드록시에톡시)페닐〕-2-히드록시-2-메틸-1-프로판-1-온, 1-(4-이소프로필페닐)-2-히드록시-2-메틸프로판-1-온, 1-(4-도데실페닐)-2-히드록시-2-메틸프로판-1-온, 2, 2-디메톡시-1, 2-디페닐에탄-1-온, 비스(4-디메틸아미노페닐) 케톤, 2-메틸 -1-〔4-(메틸티오)페닐〕-2-모폴리노-프로판-1-온, 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모폴리노페닐)-부탄-1-온, 에탄온, 1-[9-에틸-6-(2-메틸벤조일)-9H-카바졸-3-일], 1-(o-아세틸옥심), 2, 4, 6-트리메틸벤조일디페닐포스핀옥시드, 4-벤조일-4'-메틸디메틸술피드, 4-디메틸아미노안식향산, 4-디메틸아미노안식향산 메틸, 4-디메틸아미노안식향산 에틸, 4-디메틸아미노안식향산 부틸, 4-디메틸아미노-2-에틸헥실 안식향산, 4-디메틸아미노-2-이소아밀 안식향산, 벤질-β-메톡시에틸 아세탈, 벤질 디메틸 케탈, 1-페닐-1, 2-프로판디온-2-(o-에톡시카보닐)옥심, o-벤조일안식향산 메틸, 2, 4-디에틸티옥산톤, 2-클로로티옥산톤, 2, 4-디메틸티옥산톤, 1-클로로-4-프로폭시티옥산톤, 티옥산텐, 2-클로로티옥산텐, 2, 4-디에틸티옥산텐, 2-메틸티옥산텐, 2-이소프로필티옥산텐, 2-에틸안트라퀴논, 옥타메틸안트라퀴논, 1, 2-벤즈안트라퀴논, 2, 3-디페닐안트라퀴논, 아조비스이소부티로니트릴, 벤조일퍼록시드, 큐멘퍼록시드, 2-머캅토벤즈이미다졸, 2-머캅토벤즈옥사졸, 2-머캅토벤조티아졸, 2-(o-클로로페닐)-4, 5-디(m-메톡시페닐)-이미다졸릴 2량체, 벤조페논, 2-클로로벤조페논, p, p'-비스디메틸아미노벤조페논, 4, 4'-비스디에틸아미노벤조페논, 4, 4'-디클로로벤조페논, 3, 3-디메틸-4-메톡시벤조페논, 벤질(benzil), 벤조인(benzoin), 벤조인 메틸 에테르, 벤조인 에틸 에테르, 벤조인 이소프로필 에테르, 벤조인-n-부틸 에테르, 벤조인 이소부틸 에테르, 벤조인 부틸 에테르, 아세토페논, 2, 2-디에톡시아세토페논, p-디메틸 아세토페논, p-디메틸아미노프로피오페논, 디클로로아세토페논, 트리클로로아세토페논, p-tert-부 틸 아세토페논, p-디메틸아미노아세토페논, p-tert-부틸트리클로로아세토페논, p-tert-부틸디클로로아세토페논, α, α-디클로로-4-페녹시아세토페논, 티옥산톤, 2-메틸티옥산톤, 2-이소프로필티옥산톤, 디벤조수베론, 펜틸-4-디메틸아미노벤조에이트, 9-페닐아크리딘, 1, 7-비스-(9-아크리디닐)헵탄, 1, 5-비스-(9-아크리디닐)펜탄, 1, 3-비스-(9-아크리디닐)프로판, p-메톡시트리아진, 2, 4, 6-트리스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-메틸-4, 6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-[2-(5-메틸퓨란-2-일)에테닐]-4, 6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-[2-(퓨란-2-일)에테닐]-4, 6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-[2-(4-디에틸아미노-2-메틸페닐)에테닐]-4, 6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-[2-(3, 4-디메톡시페닐)에테닐]-4, 6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(4-메톡시페닐)-4, 6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(4-에톡시스티릴)-4, 6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(4-n-부톡시페닐)-4, 6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2, 4-비스트리클로로메틸-6-(3-브로모-4-메톡시)페닐-s-트리아진, 2, 4-비스트리클로로메틸-6-(2-브로모-4-메톡시)페닐-s-트리아진, 2, 4-비스트리클로로메틸-6-(3-브로모-4-메톡시)스티릴페닐-s-트리아진, 2, 4-비스트리클로로메틸-6-(2-브로모-4-메톡시)스티릴페닐-s-트리아진 등을 들 수 있다. 그 중에서도, 옥심(oxime)계의 광중합 개시제를 이용하는 것이 감도의 면에서 특히 바람직하다. 이들 (B) 성분은 단독 또는 2종 이상 조합하여 이용할 수가 있다. As this (B) component, for example, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropane-1-one, 1- [4- (2-hydroxyethoxy) Phenyl] -2-hydroxy-2-methyl-1-propane-1-one, 1- (4-isopropylphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropane-1-one, 1- (4-dode Silphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropane-1-one, 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-one, bis (4-dimethylaminophenyl) ketone, 2-methyl -1-[4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino-propane-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butane-1-one , Ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl], 1- (o-acetyl oxime), 2, 4, 6-trimethylbenzoyldiphenyl phos Pinoxide, 4-benzoyl-4'-methyldimethyl sulfide, 4-dimethylamino benzoic acid, 4-dimethylamino benzoic acid , 4-dimethylamino benzoic acid ethyl, 4-dimethylamino benzoic acid butyl, 4-dimethylamino-2-ethylhexyl benzoic acid, 4-dimethylamino-2-isoamyl benzoic acid, benzyl-beta -methoxyethyl acetal, benzyl dimethyl ketal, 1-phenyl-1, 2-propanedione-2- (o-ethoxycarbonyl) oxime, o-benzoylbenzoate methyl, 2,4-diethyl thioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2, 4- Dimethyl thioxanthone, 1-chloro-4-propoxy city oxanthone, thioxanthene, 2-chlorothioxanthene, 2, 4-diethyl thioxanthene, 2-methyl thioxanthene, 2-isopropyl thi Oxanthene, 2-ethylanthraquinone, octamethylanthraquinone, 1,2-benzanthraquinone, 2,3-diphenylanthraquinone, azobisisobutyronitrile, benzoyl peroxide, cumene peroxide, 2-mercapto Benzimidazole, 2-mercaptobenzoxazole, 2-mercaptobenzothiazole, 2- (o-chlorophenyl) -4, 5-di (m-methoxyphenyl) -imida Zolyl dimer, benzophenone, 2-chlorobenzophenone, p, p'-bis-bisdimethylaminobenzophenone, 4, 4 -'- bisdiethylamino benzophenone, 4, 4 -'- dichloro benzophenone, 3, 3- dimethyl -4-methoxybenzophenone, benzil, benzoin, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin-n-butyl ether, benzoin isobutyl ether, benzo Phosphorous butyl ether, acetophenone, 2, 2-diethoxyacetophenone, p-dimethyl acetophenone, p-dimethylaminopropiophenone, dichloroacetophenone, trichloroacetophenone, p-tert-butyl acetophenone, p- Dimethylamino acetophenone, p-tert- butyl trichloro acetophenone, p-tert- butyl dichloro acetophenone, (alpha), (alpha)-dichloro- 4-phenoxy acetophenone, thioxanthone, 2-methyl thioxanthone, 2- Isopropyl thioxanthone, dibenzosuberon, pentyl-4- dimethylaminobenzo Yit, 9-phenylacridine, 1, 7-bis- (9-acridinyl) heptane, 1, 5-bis- (9-acridinyl) pentane, 1, 3-bis- (9-acridy Nil) propane, p-methoxytriazine, 2, 4, 6-tris (trichloromethyl) -s-triazine, 2-methyl-4, 6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2 -[2- (5-methylfuran-2-yl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (furan-2-yl) ethenyl]- 4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (4-diethylamino-2-methylphenyl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-tri Azine, 2- [2- (3,4-dimethoxyphenyl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-methoxyphenyl) -4,6- Bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-ethoxystyryl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-n-butoxyphenyl) -4, 6-bis ( Richloromethyl) -s-triazine, 2, 4-bistrichloromethyl-6- (3-bromo-4-methoxy) phenyl-s-triazine, 2, 4-bistrichloromethyl-6- (2-bromo-4-methoxy) phenyl-s-triazine, 2,4-bistrichloromethyl-6- (3-bromo-4-methoxy) styrylphenyl-s-triazine, 2 And 4-bistrichloromethyl-6- (2-bromo-4-methoxy) styrylphenyl-s-triazine. Especially, it is especially preferable in terms of a sensitivity to use the oxime system photoinitiator. These (B) components can be used individually or in combination of 2 or more types.

(B) 성분의 함유량은 감광성 수지 조성물의 고형분에 대해서 0.5∼30질량%인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 1∼20질량%의 범위이다. 상기의 범위로 함으로써, 충분한 내열성, 내약품성이 얻어지고, 또 도막 형성능을 향상시켜 광경화 불량을 억제할 수가 있다.It is preferable that content of (B) component is 0.5-30 mass% with respect to solid content of the photosensitive resin composition, More preferably, it is the range of 1-20 mass%. By setting it as said range, sufficient heat resistance and chemical-resistance can be obtained, and a film formation ability can be improved and a photocuring defect can be suppressed.

또, 이 (B) 성분에 광개시 조제를 조합해도 좋다.Moreover, you may combine photoinitiator with this (B) component.

이 광개시 조제로서는 예를 들면, 트리에탄올아민, 메틸 디에탄올 아민, 트리이소프로판올 아민, 4-디메틸아미노안식향산 메틸, 4-디메틸아미노안식향산 에틸, 4-디메틸아미노안식향산 이소아밀, 4-디메틸아미노안식향산 2-에틸헥실, 안식향산 2-디메틸아미노에틸, N, N-디메틸파라톨루이딘, 4, 4'-비스(디메틸아미노)벤조페논, 9, 10-디메톡시안트라센, 2-에틸-9, 10-디메톡시안트라센, 9, 10-디에톡시안트라센, 2-에틸-9, 10-디에톡시안트라센 등을 들 수 있다. 이들 광개시 조제는 단독 또는 2종 이상 조합하여 이용할 수가 있다.Examples of the photoinitiator include triethanolamine, methyl diethanol amine, triisopropanol amine, methyl 4-dimethylaminobenzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, isoamyl 4-dimethylaminobenzoate, and 2-dimethylaminobenzoic acid. Ethyl hexyl, benzoic acid 2-dimethylaminoethyl, N, N- dimethyl paratoluidine, 4, 4'-bis (dimethylamino) benzophenone, 9, 10- dimethoxy anthracene, 2-ethyl-9, 10- dimethoxy anthracene , 9, 10-diethoxy anthracene, 2-ethyl-9, 10-diethoxy anthracene, etc. are mentioned. These photoinitiators can be used individually or in combination of 2 or more types.

[(C) 밀착 증강제][(C) adhesion promoter]

상기 (C) 밀착 증강제(이하, (C) 성분이라고 한다.)는 질소 원자를 포함하는 기를 가지는 실란(silane) 화합물이고, 당해 질소 원자에 결합하고 있는 수소 원자가 하나 이하인 화합물이다. 이 화합물로서는 예를 들면, 2급 또는 3급 아민(amine)인 아민계 실란 화합물, 이소시아네이트(isocyanate)계 실란 화합물, 케티민(ketimine)계 실란 화합물을 들 수 있다. 이들 화합물을 이용함으로써 밀착성을 향상시킬 수가 있다.The said (C) adhesion promoter (henceforth (C) component) is a silane compound which has a group containing a nitrogen atom, and is a compound with one or less hydrogen atoms couple | bonded with the said nitrogen atom. As this compound, the amine silane compound which is a secondary or tertiary amine, an isocyanate silane compound, and a ketimine silane compound are mentioned, for example. By using these compounds, adhesiveness can be improved.

상기 아민계 실란 화합물로서는 예를 들면, 하기 식 (c-1)로 표시되는 화합물을 들 수 있다.As said amine silane compound, the compound represented by a following formula (c-1) is mentioned, for example.

Figure 112007078384641-pat00005
Figure 112007078384641-pat00005

[식 (c-1) 중, Rc1 및 Rc2는 수소 원자 또는 유기기를 나타내고(단, Rc1 및 Rc2의 적어도 하나는 유기기이다.), Rc3, Rc4, 및 Rc5는 서로 독립적으로 탄소수 1∼6의 알콕시(alkoxy)기 또는 유기기를 나타내고(단, Rc3, Rc4, 및 Rc5의 적어도 하나는 알콕시기이다.), n은 1∼6의 정수를 나타낸다.]Wherein (c1) of, R c1 and R c2 represents a hydrogen atom or an organic (provided that at least one of R c1 and R c2 is an organic group.), R c3, R c4, and R c5 each other Independently represent an alkoxy group or an organic group having 1 to 6 carbon atoms, provided that at least one of R c3 , R c4 , and R c5 is an alkoxy group, and n represents an integer of 1 to 6;

상기 Rc1 및 Rc2에 관계되는 유기기로서는 예를 들면, 탄소수 1∼10의 1급 또는 2급 알킬(alkyl)기, 탄소수 3∼7의 시클로알킬(cycloalkyl)기, 탄소수 6∼10의 아릴(aryl)기, 탄소수 7∼10의 아랄킬(aralkyl)기 등을 들 수 있다. 구체적으로는, 메틸기, 에틸기, 프로필기, 부틸기, 펜틸기, 헥실기, 헵틸기, 옥틸기, 노닐기, 데실기, 이소프로필기, 이소부틸기, 2-메틸부틸기, 이소펜틸기, 이소헥실기, sec-부틸기, 2-펜틸기, 3-펜틸기, 시클로프로필기, 시클로부틸기, 시클로펜틸기, 시클로헥실기, 시클로헵틸기, 페닐기, 톨릴(tolyl)기, 크실릴(xylyl)기, 메시틸(mesityl)기, 1-나프틸기, 2-나프틸기, 벤질기, α-페네틸(α-phenethyl)기, β-페네틸기 등을 들 수 있다. 이들 중에서, 전자 공여성기인 것이 바람직하고, 특히 페닐기인 것이 바람직하다. As an organic group which concerns on said R <c1> and R <c2> , for example, a C1-C10 primary or secondary alkyl group, a C3-C7 cycloalkyl group, a C6-C10 aryl (aryl) group, a C7-C10 aralkyl group, etc. are mentioned. Specifically, methyl group, ethyl group, propyl group, butyl group, pentyl group, hexyl group, heptyl group, octyl group, nonyl group, decyl group, isopropyl group, isobutyl group, 2-methylbutyl group, isopentyl group, Isohexyl group, sec-butyl group, 2-pentyl group, 3-pentyl group, cyclopropyl group, cyclobutyl group, cyclopentyl group, cyclohexyl group, cycloheptyl group, phenyl group, tolyl group, xylyl ( and xylyl group, mesityl group, 1-naphthyl group, 2-naphthyl group, benzyl group, α-phenethyl group, β-phenethyl group and the like. Among these, it is preferable that it is an electron donating group, and it is especially preferable that it is a phenyl group.

상기 아민계 실란 화합물 중 특히 바람직한 화합물로서는, 하기 식 (c-1-1)로 표시되는 N-페닐-γ-아미노프로필트리메톡시실란을 들 수 있다.As an especially preferable compound among the said amine silane compounds, N-phenyl- (gamma)-aminopropyl trimethoxysilane represented by a following formula (c-1-1) is mentioned.

Figure 112007078384641-pat00006
Figure 112007078384641-pat00006

상기 이소시아네이트계 실란 화합물로서는 예를 들면, 하기 식 (c-2)로 표시되는 화합물을 들 수 있다.As said isocyanate type silane compound, the compound represented by a following formula (c-2) is mentioned, for example.

Figure 112008077795030-pat00013
Figure 112008077795030-pat00013

[식 (c-2) 중, Rc3, Rc4, Rc5, 및 n은 상기와 동일하다.][In formula (c-2), Rc3 , Rc4 , Rc5 , and n are the same as the above.]

상기 케티민(ketimine)계 실란 화합물로서는 예를 들면, 하기 식 (c-3)으로 표시되는 화합물을 들 수 있다.As said ketimine-type silane compound, the compound represented by a following formula (c-3) is mentioned, for example.

Figure 112007078384641-pat00008
Figure 112007078384641-pat00008

[식 (c-3) 중, Rc6 및 Rc7은 수소 원자 또는 유기기를 나타내고, Rc3, Rc4, Rc5, 및 n은 상기와 동일하다.][In formula (c-3), Rc6 and Rc7 represent a hydrogen atom or an organic group, and Rc3 , Rc4 , Rc5 , and n are the same as the above.]

상기 Rc6 및 Rc7에 관계되는 유기기로서는 예를 들면, 탄소수 1∼10의 1급 또는 2급 알킬기, 탄소수 3∼7의 시클로알킬기, 탄소수 6∼10의 아릴(aryl)기, 탄소수 7∼10의 아랄킬(aralkyl)기 등을 들 수 있다. 구체적으로는, 메틸기, 에틸기, 프로필기, 부틸기, 펜틸기, 헥실기, 헵틸기, 옥틸기, 노닐기, 데실기, 이소프로필기, 이소부틸기, 2-메틸부틸기, 이소펜틸기, 이소헥실기, sec-부틸기, 2-펜틸기, 3-펜틸기, 시클로프로필기, 시클로부틸기, 시클로펜틸기, 시클로헥실기, 시클로헵틸기, 페닐기, 톨릴기, 크실릴기, 메시틸기, 1-나프틸기, 2-나프틸기, 벤질기, α-페네틸기, β-페네틸기 등을 들 수 있다.As an organic group which concerns on said R <c6> and R <c7> a C1-C10 primary or secondary alkyl group, a C3-C7 cycloalkyl group, a C6-C10 aryl group, C7-C7 10 aralkyl group etc. are mentioned. Specifically, methyl group, ethyl group, propyl group, butyl group, pentyl group, hexyl group, heptyl group, octyl group, nonyl group, decyl group, isopropyl group, isobutyl group, 2-methylbutyl group, isopentyl group, Isohexyl group, sec-butyl group, 2-pentyl group, 3-pentyl group, cyclopropyl group, cyclobutyl group, cyclopentyl group, cyclohexyl group, cycloheptyl group, phenyl group, tolyl group, xylyl group, mesityl group And 1-naphthyl group, 2-naphthyl group, benzyl group, α-phenethyl group, β-phenethyl group and the like.

(C) 성분의 함유량은 감광성 수지 조성물의 고형분에 대해서 0.01∼0.5질량%인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 0.05∼0.3질량%의 범위이다. 상기의 범위로 함으로써 밀착성을 보다 향상시킬 수가 있다.It is preferable that content of (C) component is 0.01-0.5 mass% with respect to solid content of the photosensitive resin composition, More preferably, it is the range of 0.05-0.3 mass%. By setting it as said range, adhesiveness can be improved more.

[유기 용제][Organic solvent]

본 발명의 감광성 수지 조성물은 도포성의 개선, 점도 조정을 위해 유기 용제를 포함하는 것이 바람직하다. 이 유기 용제로서는 예를 들면, 에틸렌글리콜 모노메틸 에테르, 에틸렌글리콜 모노에틸 에테르, 에틸렌글리콜 모노-n-프로필 에테르, 에틸렌글리콜 모노-n-부틸 에테르, 디에틸렌글리콜 모노메틸 에테르, 디에틸렌글리콜 모노에틸 에테르, 디에틸렌글리콜 모노-n-프로필 에테르, 디에틸렌글 리콜 모노-n-부틸 에테르, 트리에틸렌글리콜 모노메틸 에테르, 트리에틸렌글리콜 모노에틸 에테르, 프로필렌글리콜 모노메틸 에테르, 프로필렌글리콜 모노에틸 에테르, 프로필렌글리콜 모노-n-프로필 에테르, 프로필렌글리콜 모노-n-부틸 에테르, 디프로필렌글리콜 모노메틸 에테르, 디프로필렌글리콜 모노에틸 에테르, 디프로필렌글리콜 모노-n-프로필 에테르, 디프로필렌글리콜 모노-n-부틸 에테르, 트리프로필렌글리콜 모노메틸 에테르, 트리프로필렌글리콜 모노에틸 에테르 등의 (폴리)알킬렌글리콜 모노알킬 에테르류; 에틸렌글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트, 에틸렌글리콜 모노에틸 에테르 아세테이트, 디에틸렌글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트, 디에틸렌글리콜 모노에틸 에테르 아세테이트, 프로필렌글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트, 프로필렌글리콜 모노에틸 에테르 아세테이트 등의 (폴리)알킬렌글리콜 모노알킬 에테르 아세테이트류; 디에틸렌글리콜 디메틸 에테르, 디에틸렌글리콜메틸 에틸 에테르, 디에틸렌글리콜 디에틸 에테르, 테트라히드로퓨란 등의 다른 에테르류; 메틸 에틸 케톤, 시클로헥산온, 2-헵탄온, 3-헵탄온 등의 케톤류; 2-히드록시프로피온산 메틸, 2-히드록시프로피온산 에틸 등의 젖산 알킬 에스테르류; 2-히드록시-2-메틸 프로피온산 에틸, 3-메톡시프로피온산 메틸, 3-메톡시프로피온산 에틸, 3-에톡시프로피온산 메틸, 3-에톡시프로피온산 에틸, 에톡시초산 에틸, 히드록시초산 에틸, 2-히드록시-3-메틸부탄산 메틸, 3-메톡시부틸 아세테이트, 3-메틸-3-메톡시부틸 아세테이트, 3-메틸-3-메톡시부틸 프로피오네이트, 초산 에틸, 초산 n-프로필, 초산 i-프로필, 초산 n-부틸, 초산 i-부틸, 포름산 n-펜틸, 초산 i-펜틸, 프로피온산 n-부틸, 낙산 에틸, 낙산 n -프로필, 낙산 i-프로필, 낙산 n-부틸, 피루브산 메틸, 피루브산 에틸, 피루브산 n-프로필, 아세토초산 메틸, 아세토초산 에틸, 2-옥소부탄산 에틸 등의 다른 에스테르류; 톨루엔, 크실렌 등의 방향족 탄화수소류; N-메틸피롤리돈, N, N-디메틸포름아미드, N, N-디메틸아세트아미드 등의 아미드류등을 들 수 있다. 이들 용제는 단독 또는 2종 이상 조합하여 이용할 수가 있다.It is preferable that the photosensitive resin composition of this invention contains the organic solvent for the improvement of applicability | paintability, and viscosity adjustment. As this organic solvent, for example, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol mono-n-propyl ether, ethylene glycol mono-n-butyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl Ether, diethylene glycol mono-n-propyl ether, diethylene glycol mono-n-butyl ether, triethylene glycol monomethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene Glycol mono-n-propyl ether, propylene glycol mono-n-butyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol mono-n-propyl ether, dipropylene glycol mono-n-butyl ether Tripropylene glycol monomethyl ether (Poly) alkylene glycol monoalkyl ethers such as lipropylene glycol monoethyl ether; ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, propylene (Poly) alkylene glycol monoalkyl ether acetates such as glycol monomethyl ether acetate and propylene glycol monoethyl ether acetate; diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, tetrahydrofuran and the like Other ethers; ketones such as methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 2-heptanone, 3-heptanone, etc .; lactic acid alkyl esters such as methyl 2-hydroxypropionate and ethyl 2-hydroxypropionate; 2-hydroxy -2-methyl propionic acid Methyl, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl ethoxy acetate, ethyl hydroxyacetate, 2-hydroxy-3-methylbutanoic acid Methyl, 3-methoxybutyl acetate, 3-methyl- 3-methoxybutyl acetate, 3-methyl- 3-methoxybutyl propionate, ethyl acetate, n-propyl acetate, i-propyl acetate, n-butyl acetate , I-butyl acetate, n-pentyl formate, i-pentyl acetate, n-butyl propionate, ethyl butyrate, butyrate n-propyl, i-propyl butyrate, n-butyl butyrate, methyl pyruvate, ethyl pyruvate, n-propyl pyruvate, Other esters such as methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, and ethyl 2-oxobutanoate; aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene; N-methylpyrrolidone, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetate Amides such as amide have. These solvents can be used individually or in combination of 2 or more types.

유기 용제의 함유량은 특히 한정되지 않고, 기판 등에 도포 가능한 농도로 도포 막 두께에 따라 적당히 설정된다. 감광성 수지 조성물의 점도는 5∼500cp가 바람직하고, 10∼50cp의 범위가 보다 바람직하고, 20∼30cp의 범위가 더 바람직하다. 또, 고형분 농도는 5∼100질량%가 바람직하고, 20∼50질량%의 범위가 보다 바람직하다.Content of the organic solvent is not specifically limited, It is suitably set according to the coating film thickness in the density | concentration which can be apply | coated to a board | substrate. 5-500 cps is preferable, as for the viscosity of the photosensitive resin composition, the range of 10-50 cps is more preferable, The range of 20-30 cps is more preferable. Moreover, 5-100 mass% is preferable, and, as for solid content concentration, the range of 20-50 mass% is more preferable.

[그 외의 성분][Other ingredients]

본 발명의 감광성 수지 조성물에는, 필요에 따라서 열중합 금지제, 소포제, 계면 활성제 등의 첨가제를 함유시킬 수가 있다.The photosensitive resin composition of this invention can be made to contain additives, such as a thermal-polymerization inhibitor, an antifoamer, surfactant, as needed.

상기 열중합 금지제로서는, 종래 공지의 것이라도 좋고, 히드로퀴논, 히드로퀴논 모노에틸 에테르 등을 들 수 있다.As said thermal polymerization inhibitor, a conventionally well-known thing may be sufficient and a hydroquinone, a hydroquinone monoethyl ether, etc. are mentioned.

상기 소포제로서는, 종래 공지의 것이라도 좋고, 실리콘계, 불소계 화합물 등을 들 수 있다.As said antifoamer, a conventionally well-known thing may be sufficient and a silicone type, a fluorine-type compound, etc. are mentioned.

상기 계면 활성제로서는, 종래 공지의 것이라도 좋고, 음이온계, 양이온계, 비이온계 등의 화합물을 들 수 있다.As said surfactant, a conventionally well-known thing may be sufficient and compounds, such as an anionic type, a cationic type, and a nonionic type, are mentioned.

〔감광성 수지 조성물의 조제 방법〕[Preparation Method of Photosensitive Resin Composition]

본 발명의 감광성 수지 조성물은 상기 각 성분을 3개 롤 밀(roll mill), 볼 밀(ball mill), 샌드 밀(sand mill) 등의 교반기로 혼합(분산·혼련)하고, 필요에 따라서 5μm 멤브레인 필터(membrane filter) 등의 필터로 여과하여 조제할 수가 있다.The photosensitive resin composition of this invention mixes (disperses and knead | mixes) each said component with stirrers, such as three roll mills, a ball mill, a sand mill, and a 5 micrometer membrane as needed. It can be prepared by filtering with a filter such as a filter (membrane filter).

〔액정 패널용 스페이서의 형성 방법〕[Formation method of spacer for liquid crystal panel]

이하, 본 발명의 감광성 수지 조성물을 이용하여 액정 패널(panel)용 스페이서(spacer)를 형성하는 방법에 대해서 설명한다.Hereinafter, the method of forming the spacer for liquid crystal panels using the photosensitive resin composition of this invention is demonstrated.

먼저, 스페이서가 형성되어야 할 기판 상에, 롤 코터(roll coater), 리버스 코터(reverse coater), 바 코터(bar coater) 등의 접촉 전사형 도포 장치나 스피너(spinner)(회전식 도포 장치), 커텐 플로우 코터(curtain flow coater) 등의 비접촉형 도포 장치를 이용하여, 감광성 수지 조성물을 도포하고 건조시켜 용매를 제거한다.First, on a substrate on which a spacer is to be formed, a contact transfer type coating device such as a roll coater, reverse coater, bar coater, spinner (rotary coating device), curtain flow, or the like Using a non-contact type coating apparatus such as a coater (curtain flow coater), the photosensitive resin composition is applied and dried to remove the solvent.

다음에, 네가티브(negative)형의 마스크를 개재하고, 자외선, 엑시머 레이저(excimer laser) 광의 활성 에너지선을 조사하여 부분적으로 노광한다. 노광에는, 고압 수은등, 초고압 수은등, 크세논 램프, 카본 아크등 등의 자외선을 발하는 광원을 이용할 수가 있다. 조사하는 에너지 선량은 감광성 수지 조성물의 조성에 따라 다르지만, 예를 들면 30∼2000mJ/cm2 정도가 바람직하다.Next, through a negative mask, active energy rays of ultraviolet light and excimer laser light are irradiated and partially exposed. The light source which emits ultraviolet-rays, such as a high pressure mercury lamp, an ultrahigh pressure mercury lamp, a xenon lamp, and a carbon arc lamp, can be used for exposure. Although the energy dose to irradiate changes with the composition of the photosensitive resin composition, about 30-2000mJ / cm <2> is preferable, for example.

다음에, 노광 후의 감광성 수지층을 현상액으로 현상함으로써, 스페이서를 형성한다. 현상 방법은 특히 한정되지 않고, 예를 들면 침지법, 스프레이(spray)법 등을 이용할 수가 있다. 현상액의 구체적인 예로서는, 모노에탄올아민, 디에탄올아민, 트리에탄올아민 등의 유기계의 것이나, 수산화 나트륨, 수산화 칼륨, 탄산 나트륨, 암모니아, 4급 암모늄염 등의 수용액을 들 수 있다.Next, a spacer is formed by developing the photosensitive resin layer after exposure with a developing solution. The image development method is not specifically limited, For example, an immersion method, a spray method, etc. can be used. Specific examples of the developing solution include organic compounds such as monoethanolamine, diethanolamine and triethanolamine, and aqueous solutions such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, ammonia, and quaternary ammonium salts.

그리고, 현상 후의 스페이서에 포스트베이크(postbake)를 행하여 가열 경화한다. 포스트베이크의 온도는 150∼250℃가 바람직하다.And post-baking is performed to the spacer after image development, and it heat-hardens. As for the temperature of a postbaking, 150-250 degreeC is preferable.

본 발명의 감광성 수지 조성물은 각종 기재에 대한 밀착성이 향상되어 있기 때문에, 이와 같이 스페이서를 형성할 때에 본 발명의 감광성 수지 조성물을 이용한 경우, 현상 시간을 길게 잡았다고 해도 패턴 박리가 생기는 일이 없다. 즉, 현상 마진(margin)이 길다. 따라서, 기판 단부 등의 감광층의 막 두께가 두꺼운 부분이 존재하는 경우라도, 현상 시간을 길게 잡음으로써 확실히 용해 제거할 수가 있다.Since the adhesiveness to various base materials improves the photosensitive resin composition of this invention, when using the photosensitive resin composition of this invention at the time of forming a spacer in this way, even if it takes long developing time, pattern peeling does not occur. In other words, the development margin is long. Therefore, even when there exists a part with a thick film thickness of the photosensitive layer, such as an edge part of a board | substrate, it can reliably melt | dissolve and remove by developing long.

또, 스프레이(spray)법을 이용하여 현상할 때에도, 기판면 내에 있어서의 스프레이 압차에 대한 마진(margin)이 개선되기 때문에 득률(得率)이 향상된다.In addition, even when developing using the spray method, the margin for spray pressure difference in the substrate surface is improved, so the yield is improved.

또한, 스페이서 상에 배향막을 형성한 후 러빙(rubbing)하는 경우에도, 러빙에 의해 패턴 박리가 생기는 일이 없다.Moreover, even when rubbing after forming an oriented film on a spacer, pattern peeling does not arise by rubbing.

이하, 본 발명을 실시예에 의해 더 상세히 설명하지만, 본 발명은 이들 실시예에 의해 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, although an Example demonstrates this invention further in detail, this invention is not limited by these Examples.

<실시예 1><Example 1>

(A) 성분으로서는, 하기 식 (a-1-1)로 표시되는 구성 단위 (a1)과 하기 식 (a-2-1)로 표시되는 구성 단위 (a2)의 몰비가 40:60인 (A-1) 수지 (질량평균분자량 9000), 및 디펜타에리트리톨 헥사아크릴레이트(DPHA)를 이용하였다.As the component (A), the molar ratio of the structural unit (a1) represented by the following formula (a-1-1) and the structural unit (a2) represented by the following formula (a-2-1) is 40:60 (A -1) Resin (mass average molecular weight 9000) and dipentaerythritol hexaacrylate (DPHA) were used.

Figure 112007078384641-pat00009
Figure 112007078384641-pat00009

(B) 성분으로서는, (B-1) 에탄온, 1-[9-에틸-6-(2-메틸벤조일)-9H-카바졸-3-일], 1-(o-아세틸옥심)(치바스페셜티케미컬사 제조, IRGACURE OXE02)을 이용하였다.As the component (B), (B-1) ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazole-3-yl], 1- (o-acetyl oxime) (chiba Specialty Chemical Co., Ltd., IRGACURE® OXE02) was used.

(C) 성분으로서는, (C-1) N-페닐-γ-아미노프로필트리메톡시실란(신에츠화학공업사 제조, KBM573)을 이용하였다.As (C) component, (C-1) N-phenyl- (gamma) -aminopropyl trimethoxysilane (made by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., KBM573) was used.

계면 활성제로서는, 비크케미·저팬사 제조의 BYK310을 이용하였다.As surfactant, BYK310 by Bekchem Japan Co., Ltd. was used.

상기 각 성분과 유기 용제를 혼합하고, 교반기로 2시간 교반한 후, 5μm 멤브레인 필터(membrane filter)로 여과하여 감광성 수지 조성물을 조제하였다. 각 성분의 배합량에 대해서는 표 1에 나타낸다.Each said component and the organic solvent were mixed, and after stirring for 2 hours by the stirrer, it filtered by the 5 micrometer membrane filter, and the photosensitive resin composition was prepared. It shows in Table 1 about the compounding quantity of each component.

<실시예 2><Example 2>

(C) 성분으로서 (C-2) N, N-디메틸-3-아미노프로필트리메톡시실란을 이용하여 유기 용제를 변경한 것 외에는, 실시예 1과 동일하게 하여 감광성 수지 조성물을 조제하였다.As the component (C), a photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that the organic solvent was changed using (C-2) N and N-dimethyl-3-aminopropyltrimethoxysilane.

<실시예 3><Example 3>

(C) 성분으로서 (C-3) N-에틸-3-아미노프로필메틸디메톡시실란을 이용하여 유기 용제를 변경한 것 외에는, 실시예 1과 동일하게 하여 감광성 수지 조성물을 조제하였다.A photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that the organic solvent was changed using (C-3) N-ethyl-3-aminopropylmethyldimethoxysilane as the component.

<실시예 4><Example 4>

(A-1) 수지 대신에, 메타크릴산으로부터 유도되는 구성 단위와, 메타크릴산 글리시딜로부터 유도되는 구성 단위와, 스티렌으로부터 유도되는 구성 단위의 몰비가 20:40:40인 (A-2) 수지를 이용한 것 외에는, 실시예 1과 동일하게 하여 감광성 수지 조성물을 조제하였다.(A-1) The molar ratio of the structural unit derived from methacrylic acid, the structural unit derived from methacrylic acid glycidyl, and the structural unit derived from styrene instead of resin is 20:40:40 (A- 2) Except having used resin, it carried out similarly to Example 1, and prepared the photosensitive resin composition.

<비교예 1><Comparative Example 1>

(C) 성분을 이용하지 않고, 유기 용제를 변경한 것 외에는, 실시예 1과 동일하게 하여 감광성 수지 조성물을 조제하였다.The photosensitive resin composition was prepared like Example 1 except having changed the organic solvent, without using (C) component.

<비교예 2><Comparative Example 2>

(C) 성분으로서 (C-4) 3-아미노프로필트리에톡시실란을 이용하여 유기 용제의 배합량을 변경한 것 외에는, 실시예 1과 동일하게 하여 감광성 수지 조성물을 조제하였다.The photosensitive resin composition was prepared like Example 1 except having changed the compounding quantity of the organic solvent using (C-4) 3-aminopropyl triethoxysilane as (C) component.

<비교예 3><Comparative Example 3>

(C) 성분으로서 (C-5) 3-메타크릴옥시프로필트리에톡시실란을 이용하여 유기 용제를 변경한 것 외에는, 실시예 1과 동일하게 하여 감광성 수지 조성물을 조제하였다.The photosensitive resin composition was prepared like Example 1 except having changed the organic solvent using (C-5) 3-methacryloxypropyl triethoxysilane as (C) component.

<비교예 4><Comparative Example 4>

(C) 성분을 이용하지 않고 유기 용제를 변경한 것 외에는, 실시예 4와 동일하게 하여 감광성 수지 조성물을 조제하였다.The photosensitive resin composition was prepared like Example 4 except having changed the organic solvent without using (C) component.

Figure 112007078384641-pat00010
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용제: MA=3-메톡시부틸 아세테이트Solvent: MA = 3-methoxybutyl acetate

    AN=시클로헥산온AN = cyclohexanone

    PM=프로필렌글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트PM = propyleneglycol monomethyl ether acetate

    EEP=에톡시에틸 프로피오네이트EEP = Ethoxyethyl Propionate

<평가><Evaluation>

상기 실시예 1∼4, 비교예 1∼4에서 조제한 감광성 수지 조성물을 이용하여, 각종 기재에 대한 밀착성을 평가하였다. 기재로서는, 유리 기판(다우·코닝사 제조, 1737 유리), 컬러 필터가 형성된 유리 기판, 오버코트(overcoat)층이 형성된 유리 기판, ITO층이 형성된 유리 기판, 컬러 필터가 형성된 유리 기판, 및 배향막으로서의 폴리이미드(polyimide)층이 형성된 유리 기판의 5종류를 이용하고, 후 4자에 대해서는 이하와 같이 하여 제작하였다.The adhesiveness to various base materials was evaluated using the photosensitive resin composition prepared in the said Examples 1-4 and Comparative Examples 1-4. Examples of the substrate include a glass substrate (Dow Corning Co., 1737 glass), a glass substrate with a color filter, a glass substrate with an overcoat layer, a glass substrate with an ITO layer, a glass substrate with a color filter, and poly as an alignment film. Five kinds of glass substrates in which a polyimide layer was formed were used, and the following four characters were produced as follows.

컬러 필터(color filter)가 형성된 유리 기판은 상기 1737 유리 상에, 카본 분산형 블랙 레지스트(black resist)(토오쿄오오카공업 제조, CFPR BK)를 막 두께 1.5μm로 되도록 스핀 코트(spin coat)에 의해 도포하고, UV 노광 장치(탑콘)로 I선 환산으로 100mJ로 되도록 노광하고, 0.04% KOH를 이용하여 25도에서 60초간 현상한 후, 오븐으로 200도에서 30분간 포스트베이크(postbake)를 함으로써 제작하였다. 얻어지는 막은 컬러 필터의 블랙 매트릭스(black matrix)에 상당한다.The glass substrate on which the color filter is formed is spin-coated on the 1737 glass so that a carbon dispersed black resist (CFPRKBK, manufactured by Tokyo Oka Industries Co., Ltd.) has a thickness of 1.5 μm. Coated with UV light, and exposed to 100 mJ in terms of I-line with a UV exposure apparatus (topcon), and developed at 25 degrees for 60 seconds using 0.04% KOH, followed by a postbake at 200 degrees for 30 minutes. It produced by doing. The film obtained corresponds to the black matrix of the color filter.

오버코트(overcoat)층이 형성된 유리 기판은 상기 1737 유리 상에, 열경화형 오버코트액 옵토마(JSR사 제조)를 막 두께 2μm로 되도록 도포하고, 오븐으로 200도에서 30분간 베이크(bake)함으로써 제작하였다.The glass substrate in which the overcoat layer was formed was apply | coated on the said 1737 glass so that the thermosetting overcoat liquid Optoma (made by JSR company) might be set to a film thickness of 2 micrometers, and it baked by baking in 200 degreeC for 30 minutes.

ITO층이 형성된 유리 기판은 상기 1737 유리 상에 스퍼터(sputter)로 2000Å의 ITO를 표면 저항값이 10Ω으로 되도록 형성함으로써 제작하였다.The glass substrate in which the ITO layer was formed was produced by forming 2000 kPa of ITO on the said 1737 glass so that surface resistance value might be set to 10 ohms.

폴리이미드(polyimide)층이 형성된 유리 기판은 상기 1737 유리 상에 3000Å으로 되도록 형성한 막을, 러빙(rubbing) 포를 이용하여 3000회전으로 러빙함으로써 제작하였다.The glass substrate in which the polyimide layer was formed was produced by rubbing the film | membrane formed so that it might be set to 3000 microseconds on the said 1737 glass by 3000 rotations using the rubbing cloth.

이 각 기재 상에 상기 실시예 1∼4, 비교예 1∼4에서 조제한 감광성 수지 조성물을 도포한 후, 100℃에서 90초간 건조하여, 약 3μm의 막 두께를 가지는 감광층을 얻었다. 다음에, 이 감광층에 네가티브 마스크(negative mask)를 개재하여 노광량 25mJ/cm2로 자외선을 선택적으로 조사하고, 현상액으로서 CD-150 CR(JSR사 제조):순수=1:100의 용액을 이용하여 스프레이 현상함으로써, 도트(dot) 형상의 패턴을 형성하였다. 현상 시간은 미노광부가 완전히 용해되는 시간(BP: 브레이크포인트(breakpoint))을 기준으로 하여, BP+10초∼BP+40초의 범위로 변화시켰다. 그 후, 순수로 스프레이 세정하고, 형성된 패턴에 대해서 220℃에서 40분간 포스트베이크(postbake)를 함으로써, 20μm 직경의 도트(dot) 형상의 스페이서(spacer)를 형성하였다.After apply | coating the photosensitive resin composition prepared by said Examples 1-4 and Comparative Examples 1-4 on each base material, it dried at 100 degreeC for 90 second, and obtained the photosensitive layer which has a film thickness of about 3 micrometers. Subsequently, the photosensitive layer was irradiated with ultraviolet rays selectively at an exposure dose of 25 mJ / cm 2 through a negative mask, and a CD-150 CR (manufactured by JSR Co., Ltd.): pure water = 1: 100 was used as a developing solution. By spray development, a dot-shaped pattern was formed. The developing time was changed in the range of BP + 10 seconds to BP + 40 seconds on the basis of the time (BP: breakpoint) at which the unexposed portion was completely dissolved. Thereafter, spray cleaning with pure water was carried out and postbake was performed at 220 ° C. for 40 minutes on the formed pattern to form a dot spacer having a diameter of 20 μm.

그리고, 현상시에 패턴 박리가 생기지 않고, 스페이서를 형성할 수 있었던 것을 ○, 일부에 패턴 박리가 생겼지만 스페이서를 형성할 수 있었던 것을 △, 패턴 박리가 생겨 스페이서가 형성될 수 없었던 것을 ×로 하여, 스페이서의 밀착성을 평가하였다. 결과를 표 2, 3에 나타낸다.Then, the pattern peeling did not occur at the time of development, and the spacer was able to be formed, the pattern peeling occurred in part, but the spacer could be formed, and the pattern peeling occurred and the spacer could not be formed. , The adhesiveness of the spacer was evaluated. The results are shown in Tables 2 and 3.

Figure 112007078384641-pat00011
Figure 112007078384641-pat00011

Figure 112007078384641-pat00012
Figure 112007078384641-pat00012

표 2, 3으로부터 알 수 있듯이, (C) 성분으로서 특정의 실란(silane) 화합물을 함유시킨 실시예 1∼4에서는, 각종 기재에 대한 밀착성이 향상되어 있기 때문에, 현상 시간을 BP+40초로 길게 한 경우라도 패턴 박리가 생기지 않았다. 이에 대해서, (C) 성분을 함유하지 않든지, 또는 본 발명과는 다른 실란 화합물을 함유시킨 비교예 1∼4에서는, 어느 기재에 대해서도 BP+20초∼BP+30초의 현상 시간에서 패턴 박리가 생겼다.As can be seen from Tables 2 and 3, in Examples 1 to 4 containing a specific silane compound as the component (C), since the adhesion to various substrates is improved, the development time is extended to BP + 40 seconds. Even pattern peeling did not occur. On the other hand, in Comparative Examples 1-4 which did not contain (C) component or contained the silane compound different from this invention, pattern peeling occurred in developing time of BP + 20 second-BP + 30 second also about any base material.

Claims (8)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete (A) 광중합성 화합물, (B) 광중합 개시제, 및 (C) 밀착 증강제를 함유하는 감광성 수지 조성물로서,As a photosensitive resin composition containing (A) photopolymerizable compound, (B) photoinitiator, and (C) adhesion promoter, 상기 (C) 성분은 질소 원자를 포함하는 기를 가지는 실란 화합물이고, 당해 질소 원자에 결합하고 있는 수소 원자가 하나 이하이고, The said (C) component is a silane compound which has a group containing a nitrogen atom, one or more hydrogen atoms couple | bonded with the said nitrogen atom, 또, 상기 (C) 성분은 2급 또는 3급 아민인 아민계 실란 화합물이고,Moreover, the said (C) component is an amine silane compound which is a secondary or tertiary amine, 상기 아민계 실란 화합물은 하기 식 (c-1)로 표시되는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물.The said amine silane compound is represented by a following formula (c-1), The photosensitive resin composition characterized by the above-mentioned.
Figure 112008077795030-pat00014
Figure 112008077795030-pat00014
[식 (c-1) 중, Rc1 및/또는 Rc2는 페닐기를 나타내고, Rc3, Rc4, 및 Rc5는 서로 독립적으로 탄소수 1∼6의 알콕시기 또는 유기기를 나타내고(단, Rc3, Rc4, 및 Rc5의 적어도 하나는 알콕시기이다.), n은 1∼6의 정수를 나타낸다.][In formula (c-1), R <c1> and / or R <c2> represent a phenyl group, and R <c3> , R <c4> , and R <c5> represent a C1-C6 alkoxy group or organic group independently of each other, provided that R <c3> , At least one of R c4 and R c5 is an alkoxy group.), N represents an integer of 1 to 6.]
삭제delete 제6항 기재의 감광성 수지 조성물로 형성된 것을 특징으로 하는 액정 패널용 스페이서.It formed with the photosensitive resin composition of Claim 6, The spacer for liquid crystal panels characterized by the above-mentioned.
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