KR100909240B1 - Tantalum Capacitor Manufacturing Method - Google Patents

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Abstract

본 발명은 재화성 공정을 진행하여 리퀴지 커런트 불량을 방지하기 위한 탄탈륨 콘덴서의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method of manufacturing a tantalum capacitor to prevent a liquid current defect by going through the reprocessing process.

본 발명에 따른 탄탈륨 콘덴서 제조방법은, a) 양극와이어가 결합된 복수의 펠릿 표면에 유전체층 형성하는 단계; b) 열분해 공정을 진행하여 상기 복수의 펠릿 표면의 유전체층 상에 제1 음극층을 형성하는 단계; c) 레이저 트리밍 공정을 진행하여 양극와이어 표면의 제1 음극층을 제거하는 단계; d) 재화성 공정을 진행하여 상기 제1 음극층이 제거된 양극와이어의 표면을 산화시키는 단계; 및 e) 상기 복수의 펠릿 표면의 제1 음극층 상에 제2 음극층을 형성하는 단계를 포함하여 외부로 노출된 양극와이어의 표면을 산화시킴으로써 리퀴지 커런트에 따른 불량을 방지할 수 있는 효과가 있다.Tantalum capacitor manufacturing method according to the present invention, a) forming a dielectric layer on the surface of the plurality of pellets to which the anode wire is coupled; b) undergoing a pyrolysis process to form a first cathode layer on the dielectric layers of the plurality of pellet surfaces; c) removing the first cathode layer on the surface of the anode wire by performing a laser trimming process; d) oxidizing the surface of the anode wire from which the first cathode layer is removed by performing a reprocessing process; And e) forming a second cathode layer on the first cathode layer of the plurality of pellet surfaces, thereby oxidizing the surface of the anode wire exposed to the outside, thereby preventing a defect due to liquid current. have.

Description

탄탈륨 콘덴서 제조방법{Manufacturing Method of Tantalum Capacitor}Manufacturing Method of Tantalum Capacitor

본 발명은 탄탈륨 콘덴서 제조방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 레이저 트리밍 공정 후 재화성 공정을 진행하여 외부로 노출된 양극와이어 표면을 산화시킴으로써 양극와이어와 음극층의 도통에 의해 발생되는 리퀴지 커런트(Leakage current) 불량을 방지하기 위한 탄탈륨 콘덴서 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a tantalum capacitor manufacturing method, more specifically, a liquid current generated by the conduction of the anode wire and the cathode layer by oxidizing the surface of the anode wire exposed to the outside after the laser trimming process. The present invention relates to a tantalum capacitor manufacturing method for preventing defects.

일반적으로, 전해 콘덴서는 전기를 축적하는 기능 이외에 직류전류를 차단하고 교류 전류를 통과시키려는 목적에 사용되는 전자부품이며, 이러한 전해 콘덴서 중 가장 대표적인 콘덴서는 탄탈륨 콘덴서(Tantalum Capacitor)이다.In general, electrolytic capacitors are electronic components used for the purpose of blocking DC current and passing alternating current in addition to a function of accumulating electricity, and the most representative of these electrolytic capacitors is a tantalum capacitor.

이러한 탄탈륨 콘덴서는 일반 산업기기용은 물론 정격전압의 사용 범위가 낮은 응용회로에 사용되며, 특히 주파수 특성에 민감한 회로나 휴대 통신기기의 잡음 감소를 위하여 많이 사용되고 있다.Such tantalum capacitors are used in general industrial equipment as well as in application circuits having a low range of rated voltage. In particular, tantalum capacitors are widely used for noise reduction in circuits sensitive to frequency characteristics or in portable communication devices.

이하, 관련도면을 참조하여 종래 기술에 의한 탄탈륨 제조방법에 대하여 간 단히 설명한다.Hereinafter, a tantalum production method according to the related art will be briefly described with reference to related drawings.

도 1은 테프론이 결합된 종래 탄탈륨 콘덴서의 제조방법을 순차적으로 나타낸 순서도이고, 도 2는 도 1의 제조방법에 의해 제조된 탄탈륨 콘덴서의 단면도이다.FIG. 1 is a flowchart sequentially illustrating a method of manufacturing a tantalum capacitor incorporating Teflon, and FIG. 2 is a cross-sectional view of a tantalum capacitor manufactured by the method of FIG. 1.

먼저, 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 테프론(130)이 결합된 종래 탄탈륨 콘덴서의 제조방법은 복수의 펠릿(Pellet: 110) 각각에 양극와이어(120)를 결합시킨다(S10). 이때, 상기 양극와이어(120)는 길이방향으로 긴 막대형상이며 일단이 상기 펠릿(110)의 내부에 삽입 고정된다. First and as shown in FIGS. 1 and 2, in the conventional method of manufacturing a tantalum capacitor in which a Teflon 130 is coupled, the anode wire 120 is coupled to each of a plurality of pellets 110 (S10). At this time, the anode wire 120 is a long rod-shaped in the longitudinal direction and one end is fixed to the interior of the pellet (110).

상기 양극와이어(120)를 복수의 펠릿(110) 각각에 삽입 결합시킨 후 상기 복수의 펠릿(110)과 양극와이어(120)의 결합면에 테프론(Teflon: 130)을 각각 결합 고정시킨다(S20). 이때, 상기 테프론(130)은 그 중앙부가 천공된 링 형상으로 형성하거나 레진(Resin)을 이용하여 상기 결합면에 형성할 수 있다.After inserting and coupling the positive electrode 120 to each of the plurality of pellets 110, the Teflon 130 is coupled to the coupling surfaces of the plurality of pellets 110 and the positive electrode 120, respectively (S20). . In this case, the Teflon 130 may be formed in a ring shape in which the central portion thereof is perforated or formed on the bonding surface using a resin.

상기 테프론(130)을 결합시킨 다음, 상기 양극와이어(120)의 타단, 즉 상기 펠릿(110)과 결합된 반대방향의 측단을 플레이트(plate: 100)에 결합시킨다. 그런 다음, 상기 복수의 펠릿(110) 표면에 유전체층(140)을 형성한다(S30). 상기 유전체층(140)은 상기 복수의 펠릿(110) 표면과 상기 펠릿(110)과 연결된 양극와이어(120)의 일부 표면에도 함께 형성한다.After coupling the Teflon 130, the other end of the anode wire 120, that is, the opposite side end combined with the pellet 110, is coupled to the plate 100. Then, the dielectric layer 140 is formed on the surface of the plurality of pellets 110 (S30). The dielectric layer 140 is also formed on the surface of the plurality of pellets 110 and a part of the surface of the anode wire 120 connected to the pellets 110.

그 다음으로, 열분해 공정(Pyrolysis)을 진행하여 상기 유전체층(140)이 형성된 복수의 펠릿(110) 표면에 제1 음극층(150)을 형성한다(S40). 상기 열분해 공정 완료 후 상기 제1 음극층(150) 상에 코팅 공정(Coationg)을 진행하여 제2 음극 층(160)을 형성한다(S50).Next, a pyrolysis process is performed to form a first cathode layer 150 on the surfaces of the plurality of pellets 110 in which the dielectric layer 140 is formed (S40). After completion of the pyrolysis process, a coating process is performed on the first cathode layer 150 to form a second cathode layer 160 (S50).

그러나, 상기와 같이 테프론(130)이 결합된 탄탈륨 콘덴서는 콘덴서의 크기가 점차 소형화 되어감에 따라 상기 양극와이어(120)에 관통되어 결합되는 테프론(130)의 관통 지름을 소형화시키는데 한계가 있으며, 테프론(130)의 두께에 의해 탄탈륨 콘덴서의 크기를 소형화하는데 한계가 있는 문제점이 있었다.However, as described above, the tantalum capacitor to which the Teflon 130 is coupled has a limit in miniaturizing the penetration diameter of the Teflon 130 penetrated and coupled to the anode wire 120 as the size of the capacitor gradually decreases. The thickness of the Teflon 130 has a problem of limiting the size of the tantalum capacitor.

이러한 문제점을 해결하고자 테프론(130)을 제거하여 탄탈륨 콘덴서를 제조하기 위한 방법에 대한 연구가 진행되었으며, 이에 따른 탄탈륨 콘덴서 제조방법을 도 3 및 도 4 내지 도 6을 참조하여 설명하기로 한다.In order to solve this problem, a research on a method for manufacturing a tantalum capacitor by removing the Teflon 130 has been conducted, and thus a method of manufacturing a tantalum capacitor will be described with reference to FIGS. 3 and 4 to 6.

도 3은 테프론을 사용하지 않은 종래 탄탈륨 콘덴서의 제조방법을 순차적으로 나타낸 순서도이고, 도 4 내지 도 6은 도 3의 제조방법에 의해 제조되는 탄탈륨 콘덴서의 공정 단면도이다.FIG. 3 is a flowchart sequentially illustrating a method of manufacturing a tantalum capacitor without using Teflon, and FIGS. 4 to 6 are process cross-sectional views of the tantalum capacitor manufactured by the method of FIG. 3.

상기 테프론(130)을 이용한 탄탈륨 콘덴서 제조방법과 같이, 양극와이어(220)를 복수의 펠릿(210)에 결합한 후, 상기 양극와이어(220)가 결합된 복수의 펠릿(210) 표면에 유전체층(230)을 형성한다(S110).As in the method of manufacturing a tantalum capacitor using the Teflon 130, after the anode wire 220 is bonded to the plurality of pellets 210, the dielectric layer 230 is formed on the surface of the plurality of pellets 210 to which the anode wire 220 is coupled. (S110).

상기 복수의 펠릿(210) 표면에 유전체층(230)을 형성한 후, 열분해 공정(Pyrolysis)을 진행하여 상기 유전체층(230) 상에 제1 음극층(240)을 형성한다(S120). 이때, 상기 제1 음극층(240) 형성하기 위한 열분해 공정은 상기 복수의 펠릿(210)까지만 진행하게 되는데 상기 제1 음극층(240)은 상기 복수의 펠릿(210)까지만 형성되지 않고 더 진행되어 도 4에 도시한 바와 같이 상기 양극와이어(220)의 일단부의 표면까지 형성된다.After the dielectric layer 230 is formed on the surfaces of the plurality of pellets 210, a pyrolysis process is performed to form a first cathode layer 240 on the dielectric layer 230 (S120). In this case, the pyrolysis process for forming the first cathode layer 240 proceeds only to the plurality of pellets 210, and the first cathode layer 240 is further formed without being formed only up to the plurality of pellets 210. As shown in FIG. 4, the surface of one end of the anode wire 220 is formed.

그런 다음, 상기 양극와이어(220)에 형성된 제1 음극층(240)을 제거하기 위하여 레이저 트리밍 공정(Laser Trimming)을 진행하여, 도 5에 도시한 바와 같이, 'L' 영역만 제거한다(S130). 이때, 상기 양극와이어(220) 표면에 형성된 제1 음극층(240)을 전부 제거하지 않고 펠릿(210)과 인접한 위치의 제1 음극층(240)을 잔류시키는 이유는 레이저 트리밍 공정시 발생되는 진동과 열에 의해 상기 펠릿(210)과 양극와이어(220)의 결합영역에 손상이 발생될 수 있기 때문에 펠릿(210)과 양극와이어(220)의 결합영역의 제1 음극층(240)은 제거하지 않는다.Then, a laser trimming process is performed to remove the first cathode layer 240 formed on the anode wire 220, and as shown in FIG. 5, only the 'L' region is removed (S130). ). At this time, the reason for leaving the first cathode layer 240 adjacent to the pellet 210 without removing all of the first cathode layer 240 formed on the surface of the anode wire 220 is vibration generated during the laser trimming process. Since the damage may occur in the bonding region of the pellet 210 and the anode wire 220 by overheating, the first cathode layer 240 of the bonding region of the pellet 210 and the anode wire 220 is not removed. .

상기 레이저 트리밍 공정을 완료한 후, 도 6에 도시한 바와 같이, 코팅 공정을 진행하여 상기 복수의 펠릿(210) 표면에 형성된 제1 음극층(240) 상에 제2 음극층(260)을 형성한다.After completing the laser trimming process, as shown in FIG. 6, a coating process is performed to form a second cathode layer 260 on the first cathode layer 240 formed on the plurality of pellets 210. do.

그러나, 상기와 같은 종래 기술에 의한 탄탈륨 콘덴서의 제조방법은 다음과 같은 문제점이 있었다.However, the manufacturing method of the tantalum capacitor according to the prior art as described above has the following problems.

상기 테프론(130)을 이용하지 않은 종래의 탄탈륨 콘덴서 제조방법에 의해 제조된 탄탈륨 콘덴서는, 레이저 트리밍 공정을 진행하여 제1 음극층(240)의 제거영역인 'L' 영역 제거시 제1 음극층(240) 만을 제거해야 하지만, 도 6에 도시한 바와 같이, 제1 음극층(240) 하부에 형성된 유전체층(230)이 제1 음극층(240)과 함께 제거된다.The tantalum capacitor manufactured by the conventional tantalum capacitor manufacturing method not using the Teflon 130 is subjected to a laser trimming process to remove the 'L' region of the first cathode layer 240 by removing the first cathode layer. Although only 240 is to be removed, as shown in FIG. 6, the dielectric layer 230 formed under the first cathode layer 240 is removed together with the first cathode layer 240.

상기와 같이 레이저 트리밍 공정 진행시 제1 음극층(240)과 함께 유전체층(230)이 함께 제거될 경우 도시한 "C"와 같이 코팅 공정에서 형성되는 제2 음극층(250)에 의해 제1 음극층(240)이 양극와이어(220)와 맞닿는 현상이 발생하게 되고, 이와 같은 현상에 의해 제1 음극층(240)의 이산화망간(MnO2)과 양극와이어(220)의 탄탈륨(Ta)이 결합하여 쇼트(Short) 됨으로써 리퀴지 커런트(Leakage Current) 불량이 발생하게 된다.As described above, when the dielectric layer 230 is removed together with the first cathode layer 240 during the laser trimming process, the first cathode is formed by the second cathode layer 250 formed in the coating process as shown in FIG. The layer 240 is brought into contact with the anode wire 220. As a result, the manganese dioxide MnO 2 of the first cathode layer 240 and the tantalum Ta of the anode wire 220 are bonded to each other. As a result of short circuiting, leakage current (leakage current) failure occurs.

리퀴지 커런트 불량이 발생하게 되면, 콘덴서 고유의 충전용량까지 전류를 흘려보내지 말아야함에도 불구하고 상기 리퀴지 커런트 불량에 의해 전류가 흐름으로써 오동작이 발생하게 됨에 따라 탄탈륨 콘덴서의 신뢰성이 저하되는 문제점이 있었다.If a liquid current defect occurs, even though the current must not flow to the capacitor's inherent charging capacity, there is a problem that the reliability of the tantalum capacitor is deteriorated as a malfunction occurs due to the current flowing due to the liquid current defect. .

본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위하여 이루어진 것으로, 레이저 트리밍 공정 후 재화성 공정을 진행하여 외부로 노출된 양극와이어의 표면을 산화시킴으로써 상기 양극와이어와 음극층의 도통에 의해 발생되는 리퀴지 커런트(Leakage current) 불량을 방지하기 위한 탄탈륨 콘덴서 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems, and after the laser trimming process proceeds to the reprocessing process to oxidize the surface of the anode wire exposed to the outside by the liquid current generated by the conduction of the anode wire and the cathode layer (Leakage) It is an object of the present invention to provide a tantalum capacitor manufacturing method for preventing defects.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 탄탈륨 콘덴서 제조방법은, a) 양극와이어가 결합된 복수의 펠릿 표면에 유전체층 형성하는 단계; b) 열분해 공정을 진행하여 상기 복수의 펠릿 표면의 유전체층 상에 제1 음극층을 형성하는 단계; c) 레이저 트리밍 공정을 진행하여 양극와이어 표면의 제1 음극층을 제거하는 단계; d) 재화성 공정을 진행하여 상기 제1 음극층이 제거된 양극와이어의 표면을 산화시키는 단계; 및 e) 상기 복수의 펠릿 표면의 제1 음극층 상에 제2 음극층을 형성하는 단계를 포함하여 외부로 노출된 양극와이어의 표면을 산화시킴으로써 리퀴지 커런트에 따른 불량을 방지할 수 있는 효과가 있다.Tantalum capacitor manufacturing method according to the present invention for achieving the above object comprises the steps of: a) forming a dielectric layer on the surface of a plurality of pellets coupled to the anode wire; b) undergoing a pyrolysis process to form a first cathode layer on the dielectric layers of the plurality of pellet surfaces; c) removing the first cathode layer on the surface of the anode wire by performing a laser trimming process; d) oxidizing the surface of the anode wire from which the first cathode layer is removed by performing a reprocessing process; And e) forming a second cathode layer on the first cathode layer of the plurality of pellet surfaces, thereby oxidizing the surface of the anode wire exposed to the outside, thereby preventing a defect due to liquid current. have.

이때, 상기 a) 단계에서 형성되는 유전체층은 Ta2O5 층인 것을 특징으로 하며, 상기 b) 단계에서 형성되는 제1 음극층은 MnO2 층인 것을 특징으로 한다.In this case, the dielectric layer formed in step a) is characterized in that the Ta 2 O 5 layer, the first cathode layer formed in the step b) is characterized in that the MnO 2 layer.

또한, 상기 c) 단계에서 레이저 트리밍 공정 진행시 상기 복수의 펠릿과 인접한 양극와이어 표면의 제1 음극층은 제거하지 않는 것을 특징으로 하며, 상기 양극와이어는 탄탈륨(tantalum)으로 형성된 것을 특징으로 한다.In the step c), the first cathode layer on the surface of the anode wire adjacent to the plurality of pellets is not removed during the laser trimming process, and the anode wire is formed of tantalum.

그리고, 상기 d) 단계에서의 재화성 공정시 사용되는 화성용액은 상기 양극와이어를 산화시킬 수 있는 용액을 사용하는 것을 특징으로 하며, 상기 화성용액으로 질산암모늄, 인산 또는 암모늄타트레이트 중 선택된 어느 하나를 사용하는 것을 특징으로 한다.And, the chemical conversion solution used in the regeneration process in step d) is characterized in that using a solution capable of oxidizing the positive electrode, any one selected from ammonium nitrate, phosphoric acid or ammonium tartrate as the chemical solution It characterized in that to use.

또한, 상기 재화성 공정은 화성용액 내에 복수의 펠릿을 디핑 시킨 후 복수의 양극와이어에 (+) 전원을 공급하고 화성용액에 (-) 전원을 공급하여 상기 양극와이어의 외부로 노출된 표면을 산화시키는 것을 특징으로 한다.In addition, the reoxidation process oxidizes the surface exposed to the outside of the anode wire by dipping a plurality of pellets in the chemical solution, supplying positive power to the plurality of positive electrode wires, and supplying negative power to the chemical solution. It is characterized by.

이때, 상기 재화성 공정은 15℃ 내지 80℃ 범위의 온도에서 진행하는 것을 특징으로 한다.At this time, the reprocessing process is characterized in that proceeding at a temperature in the range of 15 ℃ to 80 ℃.

본 발명에 따른 탄탈륨 콘덴서 제조방법은, 양극와이어 표면에 형성된 제1 음극층을 제거하기 위한 레이저 트리밍 공정 진행 후 재화성 공정을 진행하여 외부로 노출된 양극와이어의 표면을 산화시킴으로써 유전체층을 형성하게 됨에 따라 양극와이어와 제1 음극층의 도통에 의해 발생되는 리퀴지 커런트(Leakage current) 불량을 방지할 수 있는 효과가 있다.In the tantalum capacitor manufacturing method according to the present invention, after the laser trimming process for removing the first cathode layer formed on the surface of the anode wire proceeds to the reprocessing process to form a dielectric layer by oxidizing the surface of the anode wire exposed to the outside Therefore, there is an effect that can prevent the leakage current (leakage current) caused by the conduction of the anode wire and the first cathode layer.

또한, 본 발명에 따른 탄탈륨 콘덴서 제조방법에 의해 형성된 탄탈륨 콘덴서는 테프론을 사용하지 않아 소형화할 수 있으며, 리퀴지 커런트 불량을 방지함으로써 신뢰성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, the tantalum capacitor formed by the tantalum capacitor manufacturing method according to the present invention can be miniaturized without using Teflon, and has an effect of improving reliability by preventing a liquid current defect.

본 발명에 따른 탄탈륨 콘덴서 제조방법 및 그 효과에 관한 사항은 본 발명의 바람직한 실시예가 도시된 도면을 참조한 아래의 상세한 설명에 의해서 명확하게 이해될 것이다.Details of the tantalum capacitor manufacturing method and the effect thereof according to the present invention will be clearly understood by the following detailed description with reference to the drawings showing preferred embodiments of the present invention.

실시예Example

이하, 관련도면을 참조하여 본 발명에 따른 탄탈륨 콘덴서의 제조방법에 대하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a method for manufacturing a tantalum capacitor according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 7은 본 발명에 따른 탄탈륨 콘덴서의 제조방법을 순차적으로 나타낸 순서 도이고, 도 8 내지 도 12는 본 발명에 따른 탄탈륨 콘덴서의 제조방법을 나타낸 공정 단면도이다.7 is a flowchart sequentially illustrating a method of manufacturing a tantalum capacitor according to the present invention, and FIGS. 8 to 12 are process cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a tantalum capacitor according to the present invention.

우선, 본 발명에 따른 탄탈륨 콘덴서의 제조방법은, 도 7 및 도 8에 도시한 바와 같이, 복수의 펠릿(Pellet: 410) 각각의 일단에 양극와이어(420)를 소정 깊이 삽입하여 결합시킨다. 이때, 상기 복수의 펠릿(410) 각각은 탄탈륨 파우더(Tantalum Powder: 미도시함)를 이용하여 성형 및 소결 공정을 통해 형성되고, 상기 양극와이어(420)도 상기 펠릿(410)을 형성하고 있는 탄탈륨 파우더를 이용하여 막대 형상으로 형성된다.First, in the method of manufacturing a tantalum capacitor according to the present invention, as illustrated in FIGS. 7 and 8, the anode wire 420 is inserted into one end of each of the plurality of pellets 410 by a predetermined depth to be coupled thereto. In this case, each of the plurality of pellets 410 is formed through a molding and sintering process using tantalum powder (not shown), and the anode wire 420 also forms the pellets 410. It is formed into a rod shape using powder.

상기 복수의 펠릿(410) 각각에 양극와이어(420)를 결합시킨 후 상기 양극와이어(420)의 타단을 도전성 물질로 이루어진 플레이트(400)에 접합시킨다. 상기 양극와이어(420)를 플레이트(400)에 접합시키는 이유는, 후술하는 공정 진행시 상기 복수의 펠릿(410) 및 양극와이어(420)의 표면에 유전체층(430)과 제1 및 제2 음극층(440, 450)을 형성할 때, 상기 펠릿(410) 각각에 상기 유전체층(430)과 제1 및 제2 음극층(440, 450)을 개별적으로 형성하지 않고 복수의 펠릿(410) 상에 한 층씩 동시에 형성하기 위해서 상기 복수의 펠릿(410)과 연결된 양극와이어(420)를 플레이트(400)에 접합시킨다. 이에 따라, 상기 유전체층(430)과 제1 및 제2 음극층(440, 450)을 형성하기 위한 공정을 단축시킬 수 있는 장점이 있다.After bonding the anode wire 420 to each of the plurality of pellets 410, the other end of the anode wire 420 is bonded to a plate 400 made of a conductive material. The reason why the anode wire 420 is bonded to the plate 400 is that the dielectric layer 430 and the first and second cathode layers are formed on the surfaces of the plurality of pellets 410 and the anode wire 420 during the process described below. When forming the 440 and 450, each of the pellets 410 may be formed on the plurality of pellets 410 without separately forming the dielectric layer 430 and the first and second cathode layers 440 and 450. In order to simultaneously form layers, the anode wires 420 connected to the plurality of pellets 410 are bonded to the plate 400. Accordingly, there is an advantage in that the process for forming the dielectric layer 430 and the first and second cathode layers 440 and 450 can be shortened.

그런 다음, 화성처리 공정(Formation)을 진행하여 상기 양극와이어(420)가 결합된 복수의 펠릿(410) 표면에 유전체층(430)을 형성한다(S310). 상기 유전체층(430)은 상기 펠릿(410)과 제1 음극층(440)의 절연을 위해 형성하며, 상기 화성 처리 공정은 상기 유전체층(430)을 펠릿(410)과 결합된 양극와이어(420)의 1/3 지점 또는 1/2 지점까지 형성한다.Then, a chemical conversion process is performed to form the dielectric layer 430 on the surface of the plurality of pellets 410 to which the anode wires 420 are coupled (S310). The dielectric layer 430 is formed to insulate the pellet 410 from the first cathode layer 440, and the chemical conversion process is performed by the anode wire 420 having the dielectric layer 430 coupled to the pellet 410. Form up to 1/3 or 1/2 point.

상기 유전체층(430)을 상기 펠릿(410)과 결합된 양극와이어(420)의 일부까지 형성하는 이유는, 후술하는 제1 및 제2 음극층(440, 450) 형성시 상기 제1 및 제2 음극층(440, 450)이 펠릿(410)에만 형성되는 것이 아니라 상기 양극와이어(420)의 일부까지 형성되어 양극와이어(420)가 제1 및 제2 음극층(440, 450)과 도통됨에 따라 쇼트(Short)가 발생하는 것을 방지하기 위해서 상기 펠릿(410)의 일단면과 결합되는 양극와이어(420)의 일부 표면에도 유전체층(430)을 형성한다. 그리고, 상기 화성처리 공정에 의해 형성되는 유전체층(430)은 Ta2O5 층으로 형성되는 것이 바람직하다.The reason why the dielectric layer 430 is formed to a part of the anode wire 420 coupled to the pellet 410 is that the first and second cathodes are formed when the first and second cathode layers 440 and 450 described later are formed. The layers 440 and 450 are not formed only on the pellet 410, but are formed up to a part of the anode wire 420 so that the anode wire 420 is brought into contact with the first and second cathode layers 440 and 450. The dielectric layer 430 is formed on a part of the surface of the anode wire 420 that is coupled to one end surface of the pellet 410 in order to prevent the occurrence of short. In addition, the dielectric layer 430 formed by the chemical conversion process is preferably formed of a Ta 2 O 5 layer.

상기 화성처리 공정을 통하여 상기 복수의 펠릿(410) 및 양극와이어(420) 표면에 유전체층(430)을 형성한 후, 열분해 공정(Pyrolysis)을 진행하여 상기 복수의 펠릿(410) 표면의 유전체층(430) 상에 제1 음극층(440)을 형성한다(S320). 이때, 상기 열분해 공정에 의해 형성된 제1 음극층(440)은 이산화 망간(MnO2)인 것을 특징으로 하며, 상기 열분해 공정은 제1 음극층(440)이 펠릿(410)의 표면까지 형성되도록 진행한다.After forming the dielectric layers 430 on the surfaces of the plurality of pellets 410 and the anode wires 420 through the chemical conversion process, a pyrolysis process is performed to form the dielectric layers 430 on the surfaces of the plurality of pellets 410. ) To form a first cathode layer 440 (S320). At this time, the first cathode layer 440 formed by the pyrolysis process is characterized in that the manganese dioxide (MnO 2 ), the pyrolysis process proceeds so that the first cathode layer 440 is formed to the surface of the pellet 410 do.

이때, 상기 제1 음극층(440)이 펠릿(410)의 표면까지 형성된 시점에 열분해 공정을 중지하게 되면 제1 음극층(440)이 펠릿(410)의 표면까지만 형성되는 것이 아니라 양극와이어(420) 상에 형성된 유전체층(430) 표면 일부까지 형성된다. 이렇 게 양극와이어(420) 상의 유전체층(430) 표면에 형성된 제1 음극층(440)을 제거하기 위하여 레이저 트리밍 공정(Laser Trimming)을 진행한다.At this time, when the pyrolysis process is stopped when the first cathode layer 440 is formed to the surface of the pellet 410, the first cathode layer 440 is not formed only up to the surface of the pellet 410, but the anode wire 420. It is formed up to a part of the surface of the dielectric layer 430 formed on). In this way, a laser trimming process is performed to remove the first cathode layer 440 formed on the surface of the dielectric layer 430 on the anode wire 420.

상기 레이저 트리밍 공정은 도시한 "D" 영역에 형성된 제1 음극층(440)을 제거한다. 이때, 상기 양극와이어(420) 상에 형성된 제1 음극층(440)을 모두 제거하지 않고 펠릿(410)과 인접하는 위치의 제1 음극층(440)을 잔류시키는 이유는, 레이저 트리밍 공정시 발생되는 진동과 열이 상기 펠릿(410)에 전달되는 것을 방지하기 위해서 상기 펠릿(410)과 인접한 제1 음극층(440)의 일부를 잔류시킨다.The laser trimming process removes the first cathode layer 440 formed in the region “D”. In this case, the reason for leaving the first cathode layer 440 adjacent to the pellet 410 without removing all of the first cathode layer 440 formed on the anode wire 420 may occur during the laser trimming process. A portion of the first cathode layer 440 adjacent to the pellet 410 is left to prevent vibration and heat from being transferred to the pellet 410.

특히, 상기 레이저 트리밍 공정 진행하여 제1 음극층(440) 제거시 상기 제1 음극층(440)만 제거되는 것이 아니라, 도 9에 도시한 바와 같이, 도시된 "D" 영역의 제1 음극층(440) 내부에 형성된 유전체층(430)도 제1 음극층(440)과 함께 제거된다. 이렇게 상기 유전체층(430)이 제거되면 후술하는 제2 음극층(450) 형성시 제2 음극층(450)에 의해 제1 음극층(440)과 양극와이어(420)가 맞닿게 된다.Particularly, when the first cathode layer 440 is removed by the laser trimming process, only the first cathode layer 440 is not removed. As shown in FIG. 9, the first cathode layer of the region “D” is shown. The dielectric layer 430 formed therein is also removed along with the first cathode layer 440. When the dielectric layer 430 is removed as described above, the first cathode layer 440 and the anode wire 420 come into contact with each other by the second cathode layer 450 when the second cathode layer 450 is to be described later.

이때, 상기 제1 음극층(440)은 이산화망간(MnO2)로 이루어지기 때문에 탄탈륨(Tantalum)으로 이루어진 양극와이어(420)와 결합될 경우 결합된 영역에서 쇼트가 발생하게 되어 리퀴지 커런트가 발생될 수 있다. In this case, since the first cathode layer 440 is made of manganese dioxide (MnO 2 ), when the first cathode layer 440 is combined with the anode wire 420 made of tantalum, a short occurs in the bonded region, thereby generating a liquid current. Can be.

이를 방지하기 위해 본 발명에 따른 탄탈륨 콘덴서는 레이저 트리밍 공정 후 상기 양극와이어(420)의 노출된 표면을 산화시키기 위한 재화성 공정(Reformation)을 진행한다(S340).In order to prevent this, the tantalum capacitor according to the present invention performs a reformation process for oxidizing the exposed surface of the anode wire 420 after the laser trimming process (S340).

상기 재화성 공정은 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 다수의 펠릿(410)이 결합된 플레이트(400)를 용기(402)에 인접시켜 화성 용액(S) 내에 상기 다수의 펠 릿(410)을 디핑(deeping)시킨다. 이때, 상기 재화성 용액(S)에 다수의 펠릿(410)과 양극와이어(420)의 노출된 표면이 모두 잠기도록 디핑시키고 복수의 양극와이어(420)와 연결된 플레이트(400)에는 양(+) 전원을 공급하고 화성 용액(S)에는 도전체(401)를 통해 음(-) 전원을 공급한 후, 일정온도를 유지시킴으로써 재화성 공정을 진행한다.As shown in FIG. 10, the plurality of pellets 410 in the chemical solution S may be formed by adjoining the plate 400 in which the plurality of pellets 410 are coupled to the container 402. Deeping. In this case, the plurality of pellets 410 and the exposed surfaces of the anode wire 420 are dipped in the recyclable solution S, and the plate 400 connected to the plurality of anode wires 420 is positive (+). After supplying power and supplying negative (-) power to the chemical solution (S) through the conductor 401, the process of regenerating is maintained by maintaining a constant temperature.

특히, 상기 화성 용액은 상기 양극와이어(420)를 산화시킬 수 있는 용액을 사용하는 것이 바람직하며, 상기 화성 용액으로는 질산암모늄, 인산 또는 암모늄타트레이트 중 선택된 어느 하나를 사용할 수 있다.In particular, the chemical conversion solution may be a solution capable of oxidizing the positive electrode wire 420. The chemical conversion solution may be any one selected from ammonium nitrate, phosphoric acid, or ammonium tartrate.

또한, 상기 재화성 공정은 15℃ 내지 80℃ 범위의 온도에서 진행하는데, 상기 재화성 공정을 15℃ 내지 80℃ 범위에서 진행하는 이유는, 공정 진행 온도가 15℃ 이하일 경우 상기 화성 용액(S) 이온의 활성화가 낮아져 상기 양극와이어(420)의 표면에 산화과정이 진행되기 어려우며, 공정 진행 온도가 80℃ 이상일 경우 상기 화성 용액(S) 이온의 활성화가 너무 높아져 사용자가 원하는 두께 이상의 산화가 진행되기 때문에 15℃ 내지 80℃ 범위의 온도에서 상기 재화성 공정을 진행하는 것이 바람직하다.In addition, the reprocessing process proceeds at a temperature in the range of 15 ° C to 80 ° C, the reason for proceeding the regeneration process in the range of 15 ° C to 80 ° C, when the process progress temperature is 15 ° C or less the chemical solution (S) Since the activation of ions is low, it is difficult for the oxidation process to proceed on the surface of the anode wire 420. When the process progress temperature is 80 ° C or higher, the activation of the chemical solution (S) ions is too high, so that the oxidation of the user desired thickness is progressed. Therefore, it is preferable to proceed with the recyclability process at a temperature in the range of 15 ° C to 80 ° C.

이때, 상기 재화성 공정을 진행하는 시간은 상기 재화성 공정의 진행 온도 및 산화 두께에 따라 정해진다. 예를 들면, 20℃ 온도에서 30분 동안 진행하여 원하는 두께로 양극와이어(420)의 표면을 산화시켰다면 50℃ 온도에서 20분 동안 진행함으로써 양극와이어(420) 표면을 산화시키는 것이 바람직하다.In this case, the time for performing the reprocessing process is determined according to the progress temperature and the oxidation thickness of the reprocessing process. For example, if the surface of the anode wire 420 is oxidized at a desired thickness for 30 minutes at 20 ° C, it is preferable to oxidize the surface of the anode wire 420 by proceeding at 50 ° C for 20 minutes.

상기와 같은 공정 조건에 의해 재화성 공정을 진행함으로써 도 11에 도시한 바와 같이 "D" 영역에 양극와이어(420)를 산화시키고 상기 복수의 펠릿(410)에 코팅 공정을 진행하여 도 12에 도시한 바와 같이, 상기 제1 음극층(440) 상에 제2 음극층(450)을 형성한다(S350).As shown in FIG. 11, the anode wire 420 is oxidized in the “D” region and the coating process is performed on the plurality of pellets 410, as shown in FIG. 11. As described above, a second cathode layer 450 is formed on the first cathode layer 440 (S350).

이때, 상기 제2 음극층(450)은 두 개의 층으로 형성하는데 우선 카본층(Carbon)을 형성한 다음, 상기 카본층 상에 은(Ag)을 이용하여 코팅하는 것이 바람직하다. 이렇게 형성된 제1 및 제2 음극층(440, 450)은 음극(-)이 되고 상기 양극와이어(420)은 양극(+)이 되어 탄탈륨 콘덴서를 완성한다.At this time, the second negative electrode layer 450 is formed of two layers. First, a carbon layer is formed, and then the carbon layer is preferably coated with silver (Ag). The first and second cathode layers 440 and 450 thus formed become cathodes (-) and the anode wires 420 become anodes (+) to complete a tantalum capacitor.

본 발명에 따른 콘덴서 제조방법에 의해 형성된 탄탈륨 콘덴서의 리퀴지 커런트 불량 개선을 하기 [표 1] 및 이를 나타낸 도 13을 통하여 설명하면 다음과 같다.The improvement of the poor liquid current of the tantalum capacitor formed by the capacitor manufacturing method according to the present invention will be described with reference to the following [Table 1] and FIG.

Figure 112007076747686-pat00001
Figure 112007076747686-pat00001

도 13의 R은 전원을 공급하고 25℃의 화성 용액에서 재화성 공정이 진행된 탄탈륨 콘덴서의 리퀴지 커런트 불량률이고, T는 전원을 공급하지 않고 25℃의 화성 용액에서 재화성 공정이 진행된 탄탈륨 콘덴서의 리퀴지 커런트 불량률이며, H는 전원을 공급하지 않고 70℃의 화성 용액에서 재화성 공정이 진행된 탄탈륨 콘덴서의 리퀴지 커런트 불량률을 나타낸 것이다.13 is a defective current rate of the tantalum capacitor which is supplied with power and the regeneration process is carried out in a 25 ° C. chemical solution, and T is a value of the tantalum capacitor that is refired in a 25 ° C. chemical solution without power. The liquid current defective rate is H, and H represents the liquid current defective rate of the tantalum capacitor which has been reprocessed in a 70 ° C. chemical solution without supplying power.

상기 [표 1] 및 도 13에 도시한 바와 같이, 25℃의 화성 용액에서 전원을 공급하여 재화성 공정을 진행하게 될 경우 재화성 공정을 진행하지 않을 경우의 리퀴지 커런트 불량률인 52.5%보다 39.0% 불량률이 줄어든 13/6%를 나타낸다. As shown in [Table 1] and FIG. 13, when power is supplied from the chemical solution at 25 ° C. to proceed with the regeneration process, 39.0 is less than 52.5% of the liquid current defective rate when the regeneration process is not performed. % Defective rate is 13/6%.

이에 반해, 상기와 동일한 25℃의 화성 용액에서 전원을 공급하지 않고 재화성 공정을 진행하게 될 경우 재화성 공정을 진행하지 않은 경우의 리퀴지 커런트 불량률보다 5.0%만이 개선되었고, 70℃의 화성 용액에서 전원을 공급하지 않고 재화성 공정을 진행하게 될 경우 재화성 공정을 진행하지 않은 경우의 리퀴지 커런트 불량률보다 1.7%만이 개선됨을 알 수 있다.On the other hand, if the regeneration process is performed without supplying power in the same chemical solution at 25 ° C., only 5.0% of the liquid current defect rate without the regeneration process is improved, and the chemical solution at 70 ° C. If the reprocessing process is performed without supplying power to the system, only 1.7% improvement is achieved over the liquid current defective rate when the reprocessing process is not performed.

이에 따라, 화성 용액의 온도를 15℃ 내지 80℃로 유지시키고 전원을 공급하여 재화성 공정을 진행할 경우 39.0%의 리퀴지 커런트에 의한 불량률을 감소시킬 수 있음을 알 수 있다.Accordingly, it can be seen that when the temperature of the chemical solution is maintained at 15 ° C. to 80 ° C. and the power is supplied, the defect rate caused by the liquid current of 39.0% can be reduced.

상기와 같이 본 발명에 따른 탄탈륨 콘덴서 제조방법에 의해 형성된 탄탈륨 콘덴서는 레이저 트리밍 공정 진행 후 양극와이어(420)의 노출된 표면을 산화시키기 위한 재화성 공정을 진행함으로써 양극와이어(420)와 제1 음극층(440)의 도통을 방지하게 되어 리퀴지 커런트의 발생을 방지할 수 있는 이점이 있다.As described above, the tantalum capacitor formed by the tantalum capacitor manufacturing method according to the present invention undergoes a reprocessing process for oxidizing the exposed surface of the anode wire 420 after the laser trimming process. Preventing conduction of the layer 440 has the advantage of preventing the generation of liquid current.

또한, 상기 양극와이어(420)와 제1 음극층(440)에서 발생되는 리퀴지 커런트의 발생을 방지함으로써 본 발명에 따른 탄탈륨 콘덴서의 불량을 줄일 수 있게 됨에 따라 신뢰성을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.In addition, by preventing the generation of the liquid current generated in the anode wire 420 and the first cathode layer 440, the defect of the tantalum capacitor according to the present invention can be reduced, thereby improving reliability. .

이상에서 설명한 본 발명의 바람직한 실시에는 예시의 목적을 위해 개시된 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러가지 치환, 변형 및 변경이 가능할 것이며, 이러한 치환, 변경 등은 이하의 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다.Preferred embodiments of the present invention described above are disclosed for the purpose of illustration, and various substitutions, modifications, and changes within the scope without departing from the spirit of the present invention for those skilled in the art to which the present invention pertains. It will be possible, and such substitutions, changes and the like should be regarded as belonging to the following claims.

도 1은 테프론이 결합된 종래 탄탈륨 콘덴서의 제조방법을 순차적으로 나타낸 순서도.1 is a flow chart sequentially showing a manufacturing method of a conventional tantalum capacitor coupled to Teflon.

도 2는 도 1의 제조방법에 의해 제조된 탄탈륨 콘덴서의 단면도.2 is a cross-sectional view of a tantalum capacitor manufactured by the manufacturing method of FIG.

도 3은 테프론을 사용하지 않은 종래 탄탈륨 콘덴서의 제조방법을 순차적으로 나타낸 순서도.Figure 3 is a flow chart sequentially showing a manufacturing method of a conventional tantalum capacitor without using Teflon.

도 4 내지 도 6은 도 3의 제조방법에 의해 제조되는 탄탈륨 콘덴서의 공정 단면도.4 to 6 are cross-sectional views of tantalum capacitors manufactured by the manufacturing method of FIG. 3.

도 7은 본 발명에 따른 탄탈륨 콘덴서의 제조방법을 순차적으로 나타낸 순서도.7 is a flowchart sequentially showing a method of manufacturing a tantalum capacitor according to the present invention.

도 8 내지 도 12는 본 발명에 따른 탄탈륨 콘덴서의 제조방법을 나타낸 공정 단면도.8 to 12 is a cross-sectional view showing a method of manufacturing a tantalum capacitor according to the present invention.

도 13은 재화성 공정에 따른 리퀴지 커런터 불량률을 나타낸 그래프.Figure 13 is a graph showing the liquid phase defect ratio according to the reprocessing process.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Major Parts of Drawings>

400 : 플레이트 401 : 도전체400: plate 401: conductor

402 : 용기 410 : 펠릿402 container 410 pellet

420 : 양극와이어 430 : 유전체층420: anode wire 430: dielectric layer

440 : 제1 음극층 450 : 제2 음극층440: first cathode layer 450: second cathode layer

S : 화성 용액S: chemical solution

Claims (9)

a) 양극와이어가 결합된 복수의 펠릿 표면에 유전체층 형성하는 단계;a) forming a dielectric layer on a plurality of pellet surfaces to which the anode wires are coupled; b) 열분해 공정을 진행하여 상기 복수의 펠릿 표면의 유전체층 상에 제1 음극층을 형성하는 단계;b) undergoing a pyrolysis process to form a first cathode layer on the dielectric layers of the plurality of pellet surfaces; c) 레이저 트리밍 공정을 진행하여 양극와이어 표면의 제1 음극층을 제거하는 단계;c) removing the first cathode layer on the surface of the anode wire by performing a laser trimming process; d) 상기 양극와이어를 산화시킬 수 있는 화성 용액을 이용한 재화성 공정을 진행하여 상기 제1 음극층이 제거된 양극와이어의 표면을 산화시키는 단계; 및d) oxidizing the surface of the anode wire from which the first cathode layer is removed by performing a reprocessing process using a chemical solution capable of oxidizing the anode wire; And e) 상기 복수의 펠릿 표면의 제1 음극층 상에 제2 음극층을 형성하는 단계;e) forming a second cathode layer on the first cathode layer of the plurality of pellet surfaces; 를 포함하는 탄탈륨 콘덴서 제조방법.Tantalum capacitor manufacturing method comprising a. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 a) 단계에서 형성되는 유전체층은 Ta2O5 층인 것을 특징으로 하는 탄탈륨 콘덴서 제조방법.Method of manufacturing a tantalum capacitor, characterized in that the dielectric layer formed in step a) is a Ta 2 O 5 layer. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 b) 단계에서 형성되는 제1 음극층은 MnO2 층인 것을 특징으로 하는 탄탈륨 콘덴서 제조방법.Tantalum capacitor manufacturing method, characterized in that the first cathode layer formed in step b) is a MnO 2 layer. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 c) 단계에서 레이저 트리밍 공정 진행시 상기 복수의 펠릿과 인접한 양극와이어 표면의 제1 음극층은 제거하지 않는 것을 특징으로 하는 탄탈륨 콘덴서 제조방법.And c) removing the first cathode layer on the surface of the anode wire adjacent to the plurality of pellets during the laser trimming process in step c). 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 양극와이어는 탄탈륨(tantalum)으로 형성된 것을 특징으로 하는 탄탈륨 콘덴서 제조방법.The anode wire is a tantalum capacitor manufacturing method characterized in that formed of tantalum (tantalum). 삭제delete 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 화성용액으로 질산암모늄, 인산 또는 암모늄타트레이트 중 선택된 어느 하나를 사용하는 것을 특징으로 하는 탄탈륨 콘덴서 제조방법.Tantalum capacitor manufacturing method characterized in that using any one selected from ammonium nitrate, phosphoric acid or ammonium tartrate as the chemical solution. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 재화성 공정은 상기 화성용액 내에 복수의 펠릿을 디핑 시킨 후 복수의 양극와이어에 (+) 전원을 공급하고 상기 화성용액에 (-) 전원을 공급하여 상기 양극와이어의 외부로 노출된 표면을 산화시키는 것을 특징으로 하는 탄탈륨 콘덴서 제조방법.In the reoxidation process, after dipping a plurality of pellets in the chemical solution, a positive power is supplied to a plurality of positive electrode wires and a negative power is supplied to the chemical solution to oxidize a surface exposed to the outside of the positive electrode wire. Tantalum capacitor manufacturing method characterized in that. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 재화성 공정은 15℃ 내지 80℃ 범위의 온도에서 진행하는 것을 특징으로 하는 탄탈륨 콘덴서 제조방법.The reprocessing process is a tantalum capacitor manufacturing method, characterized in that proceeding at a temperature in the range of 15 ℃ to 80 ℃.
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