KR100908785B1 - Array Board Test Device for Liquid Crystal Display - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시예에 의한 액정표시장치용 어레이 기판 테스트 장치는, 패턴 검사를 위한 어레이 기판이 놓여지는 스테이지(stage)와, 상기 스테이지의 외곽부와 결합되며 상기 기판 상의 패턴을 검사하기 위한 신호를 공급하는 프루브 핀(probe pin)이 구비된 프루브 프레임(frame)과, 상기 스테이지 외곽부 4변의 중앙벽에 각각 위치하며, 상기 프루브 프레임을 상기 스테이지에 안착, 고정시키는 롤러(roller)가 포함되는 것을 특징으로 한다. An array substrate test apparatus for a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention includes a stage on which an array substrate for pattern inspection is placed, and a signal for inspecting a pattern on the substrate, coupled to an outer portion of the stage. Probe frame (probe pin) is provided with a probe pin (probe pin) for supplying, and are located on the central wall of the four sides of the stage, respectively, and a roller (roller) for mounting and fixing the probe frame to the stage It is characterized by.

이와 같은 본 발명에 의하면, 종래의 프레임 얼라인 에러에 의한 공정 능력 저하를 방지하며, 검사환경에 의한 불량 누출을 저감할 수 있고, 또한 프루브 프레임을 통해 얼라인 함으로써 스테이지의 롤러를 콘트롤하는 것보다 조치시간의 단축이 가능하다는 장점이 있다.According to the present invention, it is possible to prevent a decrease in processing capability due to the conventional frame alignment error, to reduce the leakage of defects caused by the inspection environment, and to align through the probe frame, rather than controlling the roller of the stage. The advantage is that the action time can be shortened.

Description

액정표시장치용 어레이 기판 테스트 장치{apparatus for test of array circuit in LCD}Apparatus for test of array circuit in LCD}

도 1은 일반적인 액정표시장치의 일부를 나타내는 분해 사시도.1 is an exploded perspective view showing a part of a general liquid crystal display device.

도 2a 내지 도 2b는 어레이 기판의 패턴을 검사하기 위한 검사장치의 개략적인 도면 및 특정부분(A-A')에 대한 단면도.2A to 2B are schematic diagrams and cross-sectional views of a specific portion A-A 'of an inspection apparatus for inspecting a pattern of an array substrate.

도 3a 내지 도 3b는 본 발명의 일 실시예에 의한 액정표시장치용 어레이 기판 테스트 장치의 개략적인 도면 및 특정부분(B-B')에 대한 단면도.3A to 3B are schematic views and cross-sectional views of a specific portion B-B 'of an array substrate test apparatus for an LCD according to an embodiment of the present invention.

도 4a 내지 도 4b는 본 발명의 다른 실시예에 의한 액정표시장치용 어레이 기판 테스트 장치의 개략적인 도면 및 특정부분(C-C')에 대한 단면도.4A to 4B are schematic views and a cross-sectional view of a specific portion C-C ′ of an array substrate test apparatus for a liquid crystal display according to another embodiment of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

30 : 기판 32, 42, 52 : 스테이지30: substrate 32, 42, 52: stage

34, 44, 54 : 프루브 프레임 35, 45, 55 : 프루브 핀34, 44, 54: probe frame 35, 45, 55: probe pin

36, 46, 56 : 롤러 58 : 조절수단36, 46, 56: roller 58: adjusting means

본 발명은 액정표시장치용 어레이 기판 테스트 장치에 관한 것으로, 특히 상 기 어레이 기판 테스트 장치에 있어서 프루브 프레임 및 롤러의 구조에 대한 것이다. The present invention relates to an array substrate test apparatus for a liquid crystal display device, and more particularly, to a structure of a probe frame and a roller in the array substrate test apparatus.

일반적으로 액정표시장치의 구동원리는 액정의 광학적 이방성과 분극성질을 이용하며, 상기 액정은 구조가 가늘고 길기 때문에 분자의 배열에 방향성을 가지고 있고, 인위적으로 액정에 전기장을 인가하여 분자배열의 방향을 제어할 수 있다.In general, the driving principle of the liquid crystal display device is the optical anisotropy and polarization of the liquid crystal. The liquid crystal has a long and thin structure, and thus the liquid crystal has directivity in the arrangement of the molecules. Can be controlled.

이에 따라, 상기 액정의 분자배열 방향을 임의로 조절하면, 액정의 분자배열이 변하게 되고, 광학적 이방성에 의하여 편광된 빛이 임의로 변조되어 화상정보를 표현할 수 있다. 이러한 상기 액정은 전기적인 특성 분류에 따라 유전율 이방성이 양(+)인 포지티브 액정과 음(-)인 네거티브 액정으로 구분될 수 있으며, 유전율 이방성이 양인 액정분자는 전기장이 인가되는 방향으로 액정분자의 장축이 평행하게 배열하고, 유전율 이방성이 음인 액정분자는 전기장이 인가되는 방향과 액정분자의 장축이 수직하게 배열한다.Accordingly, if the molecular arrangement direction of the liquid crystal is arbitrarily adjusted, the molecular arrangement of the liquid crystal is changed, and light polarized by optical anisotropy may be arbitrarily modulated to express image information. The liquid crystal may be classified into a positive liquid crystal having a positive dielectric anisotropy and a negative liquid crystal having a negative dielectric anisotropy according to an electrical property classification, and the liquid crystal molecules having a positive dielectric anisotropy may be formed of liquid crystal molecules in a direction in which an electric field is applied. The long axes are arranged in parallel, and the liquid crystal molecules having negative dielectric anisotropy are arranged in the direction in which the electric field is applied and the long axes of the liquid crystal molecules are perpendicular to each other.

현재에는 박막트랜지스터와 상기 박막트랜지스터에 연결된 화소전극이 행렬방식으로 배열된 액티브 매트릭스형 액정표시장치(Active Matrix LCD)가 해상도 및 동영상 구현능력이 우수하여 일반적으로 사용되고 있다.Currently, an active matrix LCD in which a thin film transistor and pixel electrodes connected to the thin film transistor are arranged in a matrix manner is generally used because of its excellent resolution and video performance.

상기 액정표시장치를 구성하는 기본적인 부품인 액정패널의 구조를 살펴보면 다음과 같다. The structure of the liquid crystal panel, which is a basic component of the liquid crystal display, is as follows.

도 1은 일반적인 액정표시장치의 일부를 나타내는 분해 사시도이다.1 is an exploded perspective view showing a part of a general liquid crystal display device.

도 1을 참조하면, 일반적인 컬러 액정표시장치는 블랙매트릭스(6)와 서브컬러필터(적, 녹, 청)(8)를 포함한 컬러필터(7)와, 컬러필터 상에 투명한 공통전극(18)이 형성된 상부기판(5)과, 화소영역(P)과 상기 화소영역 상에 형성된 화소전극(17)과 스위칭소자(T)를 포함한 어레이배선이 형성된 하부기판(22)으로 구성되며, 상기 상부기판(5)과 하부기판(22) 사이에는 앞서 설명한 액정(14)이 충진되어 있다.Referring to FIG. 1, a general color liquid crystal display device includes a color filter 7 including a black matrix 6 and a sub color filter (red, green, blue) 8, and a common electrode 18 transparent on the color filter. And a lower substrate 22 having an array wiring including a pixel region P, a pixel electrode 17 formed on the pixel region, and a switching element T formed thereon. The liquid crystal 14 described above is filled between the lower substrate 22 and the lower substrate 22.

상기 하부기판(22)은 어레이 기판이라고도 하며, 스위칭 소자인 박막트랜지스터(T)가 매트릭스 형태로 위치하고, 이러한 다수의 박막트랜지스터를 교차하여 지나가는 게이트 라인(13)과 데이터 라인(15)이 형성된다.The lower substrate 22 is also referred to as an array substrate, and the thin film transistor T, which is a switching element, is disposed in a matrix form, and a gate line 13 and a data line 15 passing through the plurality of thin film transistors are formed.

또한, 상기 화소영역(P)은 상기 게이트 라인(13)과 데이터 라인(15)이 교차하여 정의되는 영역이다. 상기 화소영역(P) 상에 형성되는 화소전극(17)은 인듐-틴-옥사이드(ITO)와 같이 빛의 투과율이 비교적 뛰어난 투명전도성 금속을 사용한다. In addition, the pixel area P is a region where the gate line 13 and the data line 15 cross each other. The pixel electrode 17 formed on the pixel region P uses a transparent conductive metal having a relatively high transmittance of light, such as indium tin oxide (ITO).

상기와 같이 구성되는 액정표시장치(11)는 상기 화소전극(17) 상에 위치한 액정층(14)이 상기 박막트랜지스터로부터 인가된 신호에 의해 배향되고, 상기 액정층의 배향정도에 따라 상기 액정층을 투과하는 빛의 양을 조절하는 방식으로 화상을 표현할 수 있는 것이다. In the liquid crystal display device 11 configured as described above, the liquid crystal layer 14 positioned on the pixel electrode 17 is oriented by a signal applied from the thin film transistor, and the liquid crystal layer depends on the degree of alignment of the liquid crystal layer. By controlling the amount of light passing through the image can be expressed.

상기와 같은 상부 컬러필터 기판과 하부 어레이 기판을 합착하는 공전 전에 상기 어레이 기판의 패턴을 검사하기 위한 검사공정을 거치게 된다.An inspection process for inspecting a pattern of the array substrate is performed before revolving the upper color filter substrate and the lower array substrate.

도 2a 내지 도 2b는 어레이 기판의 패턴을 검사하기 위한 검사장치의 개략적인 도면 및 특정부분(A-A')에 대한 단면도이다.2A to 2B are schematic views and cross-sectional views of a specific portion A-A 'of an inspection apparatus for inspecting a pattern of an array substrate.

도 2a를 참조하면, 종래의 검사장치는 기판(30)이 놓여지는 스테이지(stage)(32)와, 상기 스테이지(32)의 외곽부와 결합되며 상기 기판(30) 상의 패턴을 검사하기 위한 신호를 공급하는 프루브 핀(probe pin)(미도시)이 구비된 프루브 프레임(frame)(34)과, 상기 프루브 프레임(34) 및 상기 스테이지(32)에 올려진 기판(30)을 정확히 고정시키기 위해 상기 스테이지(32)의 외곽부 상에 설치된 다수의 롤러(roller)(36)로 구성된다. 또한, 상기 스테이지(32)에는 진공라인(미도시)이 구성되며, 상기 진공라인을 통해 공기를 빨아들여 상기 기판(30)을 상기 스테이지(32)에 단단히 흡착하게 한다. 도 2b는 상기 롤러를 포함한 검사장치의 종단면도이다. Referring to FIG. 2A, a conventional inspection apparatus is coupled to a stage 32 on which a substrate 30 is placed, and an outer portion of the stage 32, and a signal for inspecting a pattern on the substrate 30. In order to accurately fix the probe frame 34 having a probe pin (not shown) for supplying the substrate and the substrate 30 mounted on the probe frame 34 and the stage 32. It consists of a plurality of rollers 36 installed on the periphery of the stage 32. In addition, a vacuum line (not shown) is formed in the stage 32, and sucks air through the vacuum line to firmly adsorb the substrate 30 to the stage 32. 2B is a longitudinal cross-sectional view of the inspection apparatus including the roller.

도 2b를 참조하면, 패턴 검사를 위한 기판(30)이 스테이지(32)에 올려지면, 이 때 상기 스테이지(32)의 외곽부에 설치된 롤러(36)의 내측부에 상기 기판(30)이 서로 맞닿도록 위치된다.Referring to FIG. 2B, when the substrate 30 for pattern inspection is placed on the stage 32, the substrates 30 abut against each other on the inner side of the roller 36 installed at the outer portion of the stage 32. It is located so that.

또한, 상기 프루브 프레임(34)은 상기 기판(30)의 패턴 검사를 위해 상기 스테이지(32) 외곽부 상측에 설치된다. 이 때 상기 프루브 프레임(34)의 프루브 핀(35)이 정확한 자리 즉, 상기 기판(30)의 패턴 검사를 위해 소정의 신호가 인가되어야 하는 곳에 위치하도록 상기 프루브 프레임(34)은 상기 롤러(36)에 의해 지지되어 고정된다.In addition, the probe frame 34 is installed on the outer side of the stage 32 to inspect the pattern of the substrate 30. At this time, the probe frame 34 is positioned at the correct position, that is, at a position where a predetermined signal is to be applied for pattern inspection of the substrate 30. It is supported and fixed by).

여기서, 상기 롤러(36)는 스테이지(32) 외곽부 상에 위치하는 것으로 상기 프루브 프레임(34)이 상기 스테이지(32)에 안착될 때 상기 프루브 프레임(34)을 정확한 위치에 안착시키고 고정시키는 역할을 한다.  Here, the roller 36 is located on the outer periphery of the stage 32 and serves to seat and fix the probe frame 34 at the correct position when the probe frame 34 is seated on the stage 32. Do it.

즉, 상기 롤러(36)가 상, 하, 좌, 우로 소정 간격 이동됨으로써 상기 기판(30) 및 프루브 프레임(34)이 정확한 위치에 안착되고 고정되는 것이다.That is, the roller 36 is moved up, down, left, and right by a predetermined interval so that the substrate 30 and the probe frame 34 are seated and fixed at the correct position.

그러나, 상기와 같은 구조를 갖는 종래의 검사장치는, 상기 스테이지(32) 상부의 롤러(36)의 위치가 약간만 틀어지면 상기 프루브 프레임(34)이 상기 스테이지(32)에 정확히 안착되지 못하여 상기 프루브 프레임(34)에 구비된 프루브 핀(35)이 상기 기판(30)과 정확히 콘택(contact) 하지 못함으로써 검사 진행 시 에러가 발생되는 단점이 있다.However, in the conventional inspection apparatus having the structure as described above, if the position of the roller 36 on the stage 32 is slightly distorted, the probe frame 34 may not be accurately seated on the stage 32. Since the probe pin 35 provided in the frame 34 does not exactly contact the substrate 30, an error occurs during the inspection process.

또한, 상기 롤러(36)가 스테이지(32)의 외곽부에 형성되고, 상기 프루브 프레임(34)이 상기 스테이지(32)에 안착되면, 상기 프루브 프레임(34)에 가려져 상기 롤러(36)를 시야로 확인할 수 없게 되므로 상기 롤러(36)의 위치를 상기 프루브 프레임(34)과 맞게끔 조정하기 어려운 단점이 있다. In addition, when the roller 36 is formed on the outer portion of the stage 32 and the probe frame 34 is seated on the stage 32, the roller 36 is covered by the probe frame 34 to view the roller 36. Since it is impossible to check the position of the roller 36, it is difficult to adjust the position of the probe frame 34 to match.

또한, 상기 롤러(36)의 위치를 조정하기 위하여 상기 스테이지(32)의 하부에 홀(hole)이 형성되어 있는데, 프루브 프레임(34)이 상기 스테이지(32)에 안착된 후 상기 롤러(36)의 위치를 조정하는 경우에 상기 롤러(36)와 상기 프루브 프레임(34) 간의 충돌이 잦아지고 이에 따라 롤러(36)의 유동이 발생하여 롤러(36)의 위치가 틀어질 수 있는 단점이 있다. In addition, a hole is formed in the lower portion of the stage 32 to adjust the position of the roller 36. After the probe frame 34 is seated on the stage 32, the roller 36 In the case of adjusting the position of the roller 36 and the probe frame 34, the collision between the frequent and the flow of the roller 36 is generated, there is a disadvantage that the position of the roller 36 may be distorted.

또한, 상기 프루브 핀(35)의 위치가 정확하지 않은 얼라인(align) 에러가 발생된 경우 상기 롤러(36)를 조절함으로써 상기 얼라인을 조정하는데, 이 경우 롤러(36)를 조정하기 위해서는 상기 롤러(36)에 의해 위치가 고정된 기판(30)의 위치가 먼저 조정되어야 하기 때문에 조치시간이 길다는 단점이 있다. In addition, when an alignment error in which the position of the probe pin 35 is not correct occurs, the alignment is adjusted by adjusting the roller 36. In this case, in order to adjust the roller 36, Since the position of the substrate 30 whose position is fixed by the roller 36 has to be adjusted first, there is a disadvantage that the action time is long.

본 발명은 어레이 기판 테스트 장치에 있어서 프루브 프레임 및 롤러의 구조를 변경함으로써 패턴 검사 시 불량을 줄여 어레이 기판의 제조 수율이 향상되는 액정표시장치용 어레이 기판 테스트 장치를 제공함에 그 목적이 있다. SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an array substrate test apparatus for a liquid crystal display device, in which the yield of an array substrate is improved by reducing the defects during pattern inspection by changing the structures of the probe frame and the roller in the array substrate test apparatus.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 의한 액정표시장치용 어레이 기판 테스트 장치는, 패턴 검사를 위한 어레이 기판이 놓여지는 스테이지(stage)와, 상기 스테이지의 외곽부와 결합되며 상기 기판 상의 패턴을 검사하기 위한 신호를 공급하는 프루브 핀(probe pin)이 구비된 프루브 프레임(frame)과, 상기 스테이지 외곽부 4변의 중앙벽에 각각 위치하며, 상기 프루브 프레임을 상기 스테이지에 안착, 고정시키는 롤러(roller)가 포함되는 것을 특징으로 한다. In order to achieve the above object, an array substrate test apparatus for an LCD device according to an exemplary embodiment of the present invention includes a stage on which an array substrate for pattern inspection is placed, and an outer portion of the stage, which are combined with each other. Probe frame equipped with a probe pin for supplying a signal for inspecting a pattern, and rollers for positioning and fixing the probe frame to the stage, respectively, located on the center wall of the four sides of the stage. (roller) is characterized in that it is included.

또한, 상기 롤러는 상기 스테이지의 외벽에 설치되며, 상기 프루브 프레임이 상기 스테이지와 결합되어도 외부에 노출되는 것을 특징으로 한다. In addition, the roller is installed on the outer wall of the stage, characterized in that the probe frame is exposed to the outside even when combined with the stage.

또한, 상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 다른 실시예에 의한 액정표시장치용 어레이 기판 테스트 장치는, 패턴 검사를 위한 어레이 기판이 놓여지는 스테이지(stage)와, 상기 스테이지의 외곽부와 결합되며 상기 기판 상의 패턴을 검사하기 위한 신호를 공급하는 프루브 핀(probe pin)이 구비된 프루브 프레임(frame)과, 상기 프루브 프레임 및 상기 기판을 고정시키기 위해 상기 스테이지의 외곽부 상에 설치된 다수의 롤러(roller)로 구성되는 액정표시장치용 어레이 기판 테스트 장치에 있어서, 상기 롤러와 접촉되는 프루브 프레임의 내측면에 상기 롤러가 안착 되도록 홈이 형성되어 있으며, 상기 프루브 프레임 지지대 상단에 형성된 조절수단에 의해 상기 프루브 프레임의 위치가 조절됨을 특징으로 한다. In addition, in order to achieve the above object, an array substrate test apparatus for a liquid crystal display device according to another embodiment of the present invention is combined with a stage on which an array substrate for pattern inspection is placed and an outer portion of the stage. A probe frame provided with a probe pin for supplying a signal for inspecting a pattern on the substrate, and a plurality of rollers installed on the outside of the stage to fix the probe frame and the substrate. In the array substrate test apparatus for a liquid crystal display device, the groove is formed on the inner surface of the probe frame in contact with the roller, the groove is formed so that the roller is seated, the probe by the adjustment means formed on the top of the probe frame support And the position of the frame is adjusted.

또한, 상기 조절수단은 볼트 형태로 구성되며, 이는 상기 롤러와 맞닿는 프루브 프레임의 지지대에 각각 형성되고, 이를 통해 상기 프루브 프레임을 상, 하, 좌, 우로 조절하는 것임을 특징으로 한다. In addition, the adjusting means is configured in the form of a bolt, which is formed on the support of the probe frame in contact with the roller, respectively, characterized in that to adjust the probe frame up, down, left, right.

이와 같은 본 발명에 의하면, 종래의 프레임 얼라인 에러에 의한 공정 능력 저하를 방지하며, 검사환경에 의한 불량 누출을 저감할 수 있고, 또한 프루브 프레임을 통해 얼라인 함으로써 스테이지의 롤러를 콘트롤하는 것보다 조치시간의 단축이 가능하다는 장점이 있다.According to the present invention, it is possible to prevent a decrease in processing capability due to the conventional frame alignment error, to reduce the leakage of defects caused by the inspection environment, and to align through the probe frame, rather than controlling the roller of the stage. The advantage is that the action time can be shortened.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 실시예를 상세히 설명하도록 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3a 내지 도 3b는 본 발명의 일 실시예에 의한 액정표시장치용 어레이 기판 테스트 장치의 개략적인 도면 및 특정부분(B-B')에 대한 단면도이다.3A to 3B are schematic views and cross-sectional views of a specific portion B-B 'of an array substrate test apparatus for an LCD according to an embodiment of the present invention.

도 3a를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 의한 테스트 장치는 패턴 검사를 위한 어레이 기판(30)이 놓여지는 스테이지(stage)(42)와, 상기 스테이지(42)의 외곽부와 결합되며 상기 기판(30) 상의 패턴을 검사하기 위한 신호를 공급하는 프루브 핀(probe pin)(미도시)이 구비된 프루브 프레임(frame)(44)과, 상기 스테이지(42) 외곽부 4변의 중앙벽에 각각 위치하며, 상기 프루브 프레임(44)을 상기 스테이지(42)에 안착, 고정시키는 롤러(roller)(46)가 포함되어 구성된다. 또한, 상기 스테이지(42)에는 진공라인(미도시)이 구성되며, 상기 진공라인을 통해 공기를 빨아들여 상기 기판을 상기 스테이지에 단단히 흡착하게 한다. Referring to FIG. 3A, a test apparatus according to an embodiment of the present invention is coupled to a stage 42 on which an array substrate 30 is placed for pattern inspection and an outer portion of the stage 42. A probe frame 44 having a probe pin (not shown) for supplying a signal for inspecting a pattern on the substrate 30, and a center wall of four sides of the outer side of the stage 42, respectively. It is positioned, and comprises a roller (46) for mounting and fixing the probe frame 44 to the stage (42). In addition, a vacuum line (not shown) is formed at the stage 42, and sucks air through the vacuum line to firmly adsorb the substrate to the stage.

여기서, 상기 롤러(46)는 상기 스테이지(42)의 외벽에 설치되며, 상기 프루브 프레임(44)이 상기 스테이지(42)와 결합되어도 외부에 노출됨을 그 특징으로 한다. 이에 따라 본 발명에 의할 경우 상기 프루브 프레임(44)이 상기 스테이지(42)에 안착되어도 상기 프루브 프레임(44)의 외부에 상기 롤러(46)가 위치하게 되어 상기 롤러(46)의 위치를 시야로 확인하면서 조정할 수 있는 장점이 있다. Here, the roller 46 is installed on the outer wall of the stage 42, characterized in that the probe frame 44 is exposed to the outside even when combined with the stage 42. Accordingly, in accordance with the present invention, even if the probe frame 44 is seated on the stage 42, the roller 46 is positioned outside the probe frame 44 to view the position of the roller 46. There is an advantage that can be adjusted while checking.

도 3b는 도 3a의 상기 롤러를 포함한 테스트장치의 종단면도이다. 3B is a longitudinal cross-sectional view of the test apparatus including the roller of FIG. 3A.

도 3b를 참조하면, 패턴 검사를 위한 어레이 기판(30)이 스테이지(42) 위에 올려지면, 앞서 설명한 진공라인(미도시) 등에 의해 상기 기판(30)이 상기 스테이지(42)에 일정한 위치에 흡착된다. 이와 같이 상기 기판(30)이 스테이지(42) 상에 위치하면 다음으로 상기 프루브 프레임(44)은 상기 기판(30)의 패턴 검사를 위해 상기 스테이지(42) 외곽부 상측에 설치된다. Referring to FIG. 3B, when the array substrate 30 for pattern inspection is placed on the stage 42, the substrate 30 is adsorbed to the stage 42 by a vacuum line (not shown). do. As such, when the substrate 30 is positioned on the stage 42, the probe frame 44 may be installed on the outer side of the stage 42 to inspect the pattern of the substrate 30.

이 때 상기 프루브 프레임(44)의 프루브 핀(45)이 정확한 자리 즉, 상기 기판(30)의 패턴 검사를 위해 소정의 신호가 인가되어야 하는 곳에 위치하도록 상기 프루브 프레임(44)은 상기 스테이지(42)의 4변의 중앙벽에 위치한 롤러(46)에 의해 지지되고 고정된다. At this time, the probe frame 44 is positioned on the stage 42 so that the probe pin 45 of the probe frame 44 is located at a correct position, that is, a place where a predetermined signal is to be applied for pattern inspection of the substrate 30. It is supported and fixed by the roller 46 located in the center wall of the four sides of the ().

여기서, 상기 롤러(46)는 스테이지(42) 외곽부 벽에 각각 설치되는 것으로 상기 프루브 프레임(44)이 상기 스테이지(42)에 안착될 때 상기 프루브 프레임(44)을 정확한 위치에 안착시키고 고정시키는 역할을 한다. 즉, 상기 롤러(46)가 소정 간격 이동됨으로써 상기 프루브 프레임(44)이 정확한 위치에 안착되도록 하는 것이 다. Here, the rollers 46 are respectively installed on the outer wall of the stage 42 so that the probe frame 44 is mounted and fixed at the correct position when the probe frame 44 is seated on the stage 42. Play a role. That is, the roller 46 is moved by a predetermined interval so that the probe frame 44 is seated at the correct position.

이와 같이 상기 롤러(46)가 스테이지(42)의 외곽벽에 설치됨에 따라 스테이지의 틀러짐이 줄어들며, 상기 프루브 프레임(44)이 상기 스테이지(42)와 어느정도 미스얼라인(misalign)되더라도 상기 롤러(46)의 둥글고 회전되는 면에 의해 상기 프루브 프레임(44)이 미끌어져 상기 스테이지(42)와 결합되므로 기판(30) 상에 정확하게 안착될 수 있다.As the roller 46 is installed on the outer wall of the stage 42, the distortion of the stage is reduced, and even if the probe frame 44 is misaligned with the stage 42 to some extent, the roller ( The probe frame 44 is slid by the round and rotated surface of the 46 to be coupled to the stage 42 so that the probe frame 44 can be accurately seated on the substrate 30.

또한, 상기 롤러(46)가 스테이지(42) 및 프루브 프레임(44)이 서로 결합한 상태에서도 눈에 보이므로 용이하게 관리할 수 있으며, 상기 롤러(46)의 조정도 종래와 대비할 경우 상당히 용이하게 된다.In addition, since the roller 46 is visible even in a state in which the stage 42 and the probe frame 44 are coupled to each other, the roller 46 can be easily managed, and the adjustment of the roller 46 is also considerably easier when compared to the related art. .

또한, 롤러(46)의 높낮이에 상관없이 프루브 프레임(44)이 상기 기판(30)에 안착되므로 상기 프루브 프레임(44)에 구비된 프루브 핀(45)이 상기 기판(30)과 정확히 콘택(contact)됨으로써 검사 진행 시 에러가 발생되는 것을 줄이게 된다. In addition, since the probe frame 44 is seated on the substrate 30 regardless of the height of the roller 46, the probe pin 45 provided on the probe frame 44 is exactly in contact with the substrate 30. This reduces the occurrence of errors during the inspection process.

도 4a 내지 도 4b는 본 발명의 다른 실시예에 의한 액정표시장치용 어레이 기판 테스트 장치의 개략적인 도면 및 특정부분(C-C')에 대한 단면도이다.4A to 4B are schematic views and cross-sectional views of a specific portion C-C ′ of an array substrate test apparatus for an LCD according to another embodiment of the present invention.

도 4a를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 의한 테스트 장치는 패턴 검사를 위한 어레이 기판(30)이 놓여지는 스테이지(stage)(52)와, 상기 스테이지(52)의 외곽부와 결합되며 상기 기판(30) 상의 패턴을 검사하기 위한 신호를 공급하는 프루브 핀(probe pin)(미도시)이 구비된 프루브 프레임(frame)(54)과, 상기 프루브 프레임(54) 및 상기 기판(30)을 고정시키기 위해 상기 스테이지(52)의 외곽부 상에 설치된 다수의 롤러(roller)(56)로 구성된다. 또한, 상기 스테이지(52)에는 진공라 인(미도시)이 구성되며, 상기 진공라인을 통해 공기를 빨아들여 상기 기판을 상기 스테이지(52)에 단단히 흡착하게 한다. Referring to FIG. 4A, a test apparatus according to another embodiment of the present invention is coupled to a stage 52 on which an array substrate 30 is placed for pattern inspection and an outer portion of the stage 52. Probe frame 54 is provided with a probe pin (not shown) for supplying a signal for inspecting a pattern on the substrate 30, and the probe frame 54 and the substrate 30 It consists of a plurality of rollers 56 installed on the periphery of the stage 52 for fixing. In addition, a vacuum line (not shown) is configured in the stage 52, and sucks air through the vacuum line to firmly adsorb the substrate to the stage 52.

단, 이 때 상기 롤러(56)와 접촉되는 프루브 프레임(54)의 내측면에 상기 롤러(56)가 안착되도록 홈이 형성되어 있으며, 상기 프루브 프레임(54) 지지대 상단에 형성된 조절수단(58)에 의해 상기 프루브 프레임(54)의 위치가 조절됨을 특징으로 한다. At this time, a groove is formed in the inner surface of the probe frame 54 in contact with the roller 56 so that the roller 56 is seated, and the adjusting means 58 formed on the upper end of the support of the probe frame 54. By the position of the probe frame 54 is characterized in that it is adjusted.

이를 통해 종래 상기 프루브 프레임(54)을 상기 스테이지(52)에 안착, 고정시키는 것을 롤러(56)에만 의하지 않고 상기 프루브 프레임(54) 자체적으로 조절할 수 있는 것이다. Through this, the probe frame 54 may be adjusted by the probe frame 54 itself, instead of only the roller 56, to mount and fix the probe frame 54 to the stage 52.

도 4b는 도 4a의 상기 롤러를 포함한 테스트장치의 종단면도이다. 4B is a longitudinal cross-sectional view of the test apparatus including the roller of FIG. 4A.

도 4b를 참조하면, 패턴 검사를 위한 기판(30)이 스테이지(52)에 올려지면, 이 때 상기 스테이지(52)의 외곽부에 설치된 롤러(56)의 내측부에 상기 기판(30)이 서로 맞닿도록 위치된다.Referring to FIG. 4B, when the substrate 30 for pattern inspection is placed on the stage 52, the substrates 30 abut against each other on the inner side of the roller 56 installed at the outer portion of the stage 52. It is located so that.

또한, 상기 프루브 프레임(54)은 상기 기판(30)의 패턴 검사를 위해 상기 스테이지(52) 외곽부 상측에 설치된다. 이 때 상기 프루브 프레임(54)의 프루브 핀(55)이 정확한 자리 즉, 상기 기판(30)의 패턴 검사를 위해 소정의 신호가 인가되어야 하는 곳에 위치하도록 상기 프루브 프레임(54)은 상기 롤러(56)에 의해 지지되어 고정된다.In addition, the probe frame 54 is installed on the outer side of the stage 52 to inspect the pattern of the substrate 30. In this case, the probe frame 54 is positioned on the roller 56 so that the probe pin 55 of the probe frame 54 is positioned at the correct position, that is, a place where a predetermined signal is to be applied for the pattern inspection of the substrate 30. It is supported and fixed by).

여기서, 상기 롤러(56)는 상기 프루브 프레임(54)이 상기 스테이지(52)에 안착될 때 상기 프루브 프레임(54)을 정확한 위치에 안착시키고 고정시키는 역할을 한다. Here, the roller 56 serves to seat and fix the probe frame 54 at the correct position when the probe frame 54 is seated on the stage 52.

종래의 경우 상기 롤러(56)가 상, 하, 좌, 우로 소정 간격 이동됨으로써 상기 기판(30) 및 프루브 프레임(54)이 정확한 위치에 안착, 고정시켰으나, 본 발명의 경우에는 상기 상기 롤러(56)와 접촉되는 프루브 프레임(54)의 내측면에 상기 롤러(56)가 안착되도록 홈이 형성되어 있으며, 상기 프루브 프레임(54) 지지대 상단에 형성된 조절수단(58)에 의해 상기 프루브 프레임(54)의 위치가 조절된다.In the related art, the roller 56 is moved up, down, left, and right by a predetermined interval so that the substrate 30 and the probe frame 54 are seated and fixed at the correct position. However, in the present invention, the roller 56 The groove 56 is formed on the inner surface of the probe frame 54 in contact with the probe frame 54, and the probe frame 54 is formed by an adjusting means 58 formed on an upper end of the support of the probe frame 54. The position of is adjusted.

또한, 상기 조절수단(58)은 볼트 형태로 구성되며, 이는 상기 롤러(56)와 맞닿는 프루브 프레임(54)의 지지대에 각각 형성되고, 이를 통해 상기 프루브 프레임(54)을 상, 하, 좌, 우로 조절하는 것임을 특징으로 한다. In addition, the adjusting means 58 is configured in the form of a bolt, which is formed on the support of the probe frame 54 in contact with the roller 56, through which the probe frame 54 up, down, left, It is characterized by adjusting to the right.

이와 같은 상기 구조에 의하면, 상기 프루브 핀(55)의 위치가 정확하지 않은 얼라인(align) 에러가 발생되는 경우 상기 롤러(56)의 조정 없이 상기 프루브 프레임 지지대 상단에 형성된 조절 수단(58)을 조작함으로써 상기 에러를 조치할 수 있게 된다.According to the above structure, if an alignment error in which the position of the probe pin 55 is not accurate occurs, the adjusting means 58 formed on the top of the probe frame support without adjusting the roller 56 is used. By operating, the error can be corrected.

결국, 종래의 경우에는 상기 롤러만을 조절함으로써 상기 얼라인을 조정하게 되는데, 이 때 상기 롤러를 조정하기 위해서는 상기 롤러에 의해 위치가 고정된 기판의 위치가 먼저 조정되어야 하며 이에 따라 조치시간이 길다는 단점이 있었으나, 본 발명에 의할 경우에는 상기 롤러(56)의 조정이 없으므로 기판(30)의 위치를 별도로 조정할 필요가 없으며, 얼라인 틀어짐이 클 경우에만 선택적으로 상기 롤러(56)와 프루브 프레임(54)을 병행하여 조정할 수 있으므로 조치시간을 단축시킬 수 있는 것이다.As a result, in the conventional case, the alignment is adjusted by adjusting only the roller. In this case, in order to adjust the roller, the position of the substrate fixed by the roller must be adjusted first, and thus the action time is long. However, according to the present invention, since there is no adjustment of the roller 56, there is no need to adjust the position of the substrate 30 separately, and the roller 56 and the probe frame are selectively selectively only when the alignment is large. (54) can be adjusted in parallel, thus reducing the time for action.

이상의 설명에서와 같이 본 발명에 의한 액정표시장치용 어레이 기판 테스트 장치에 의하면, 종래의 프레임 얼라인 에러에 의한 공정 능력 저하를 방지하고, 또한 검사환경에 의한 불량 누출을 저감할 수 있는 장점이 있다.As described above, according to the array substrate test apparatus for a liquid crystal display device according to the present invention, there is an advantage in that it is possible to prevent a decrease in processing capability due to a conventional frame alignment error and to reduce defective leakage due to an inspection environment. .

또한, 프루브 프레임을 통해 얼라인 함으로써 스테이지의 롤러를 콘트롤하는 것보다 조치시간의 단축이 가능하다는 장점이 있다.
In addition, there is an advantage that the action time can be shortened than controlling the roller of the stage by aligning through the probe frame.

Claims (4)

삭제delete 삭제delete 패턴 검사를 위한 어레이 기판이 놓여지는 스테이지(stage)와, A stage on which an array substrate for pattern inspection is placed, 상기 스테이지의 외곽부와 결합되며 상기 기판 상의 패턴을 검사하기 위한 신호를 공급하는 프루브 핀(probe pin)이 구비된 프루브 프레임(frame)과, A probe frame coupled to an outer portion of the stage and provided with a probe pin for supplying a signal for inspecting a pattern on the substrate; 상기 프루브 프레임 및 상기 기판을 고정시키기 위해 상기 스테이지의 외곽부 상에 설치된 다수의 롤러(roller)로 구성되는 액정표시장치용 어레이 기판 테스트 장치에 있어서,An array substrate test apparatus for a liquid crystal display device, comprising: a plurality of rollers installed on an outer portion of the stage to fix the probe frame and the substrate. 상기 롤러와 접촉되는 프루브 프레임의 내측면에 상기 롤러가 안착되도록 홈이 형성되어 있으며, 상기 프루브 프레임 지지대 상단에 형성된 조절수단에 의해 상기 프루브 프레임의 위치가 조절됨을 특징으로 하는 액정표시장치용 어레이 기판 테스트 장치.The groove is formed on the inner surface of the probe frame in contact with the roller, and the position of the probe frame is adjusted by the adjustment means formed on the top of the probe frame support, the array substrate for a liquid crystal display device Testing device. 제 3항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 조절수단은 볼트 형태로 구성되며, 이는 상기 롤러와 맞닿는 프루브 프레임의 지지대에 각각 형성되고, 이를 통해 상기 프루브 프레임을 상, 하, 좌, 우로 조절하는 것임을 특징으로 하는 액정표시장치용 어레이 기판 테스트 장치. The adjusting means is configured in the form of a bolt, which is formed on the support of the probe frame in contact with the roller, respectively, thereby adjusting the probe frame up, down, left and right through the array substrate test Device.
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