KR100698377B1 - Gross test zig for inspecting flat panel display - Google Patents

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KR100698377B1 KR1020040064133A KR20040064133A KR100698377B1 KR 100698377 B1 KR100698377 B1 KR 100698377B1 KR 1020040064133 A KR1020040064133 A KR 1020040064133A KR 20040064133 A KR20040064133 A KR 20040064133A KR 100698377 B1 KR100698377 B1 KR 100698377B1
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Abstract

본 발명은 디스플레이 패널 검사용 그로스 테스트 지그 장치에 관한 것으로서, 해결하고자 하는 기술적 과제는 디스플레이 패널의 위치를 정확한 기준 위치로 이동시킴으로써, 디스플레이 패널의 입출력 패턴에 프로브 핀을 정확하게 접촉시키는데 있다. 이를 위해 본 발명에 의한 해결 방법의 요지는 적어도 하나 이상의 기준 패턴(105) 및 다수의 입출력 패턴(104)이 형성된 디스플레이 패널(101)이 상부에 안착되는 지그(110)와, 지그(110)의 내측에 설치되며, 디스플레이 패널(101)을 진공 흡착하여 고정하는 흡착부(120)와, 지그(110)의 하부에 설치되며, 지그(110)의 위치를 X,Y,θ방향으로 이동시키는 지그 스테이지(130)와, 지그 스테이지(130)의 일측 하부에 설치되며, 지그(110)의 개구(112)를 통하여 상기 디스플레이 패널(101)의 기준 패턴(105)을 촬영하는 카메라(140)와, 카메라(140)의 일측에 설치되어, 카메라(140)의 위치를 X,Y 방향으로 이동시키는 카메라 스테이지(150)와, 지그(110)의 일측 상부에 설치되며, 지그(110)에 안착된 디스플레이 패널(101)의 입출력 패턴(104)에 전기적으로 접속되는 검사부(160)를 포함하는 디스플레이 패널 검사용 그로스 테스트 지그 장치가 개시된다.The present invention relates to a gross test jig device for inspecting a display panel, and a technical problem to be solved is to accurately contact a probe pin with an input / output pattern of a display panel by moving a display panel to an accurate reference position. To this end, the gist of the solution according to the present invention includes a jig 110 and a jig 110 in which a display panel 101 having at least one reference pattern 105 and a plurality of input / output patterns 104 is seated thereon. It is installed on the inside, the suction unit 120 for vacuum adsorption by fixing the display panel 101, the jig 110 is installed in the lower portion, the jig for moving the position of the jig 110 in the X, Y, θ direction A camera 140 installed below the stage 130 and one side of the jig stage 130, and photographing the reference pattern 105 of the display panel 101 through the opening 112 of the jig 110; The display is installed on one side of the camera 140, the camera stage 150 to move the position of the camera 140 in the X, Y direction, and is installed on one side of the jig 110, the display mounted on the jig 110 Display including inspection unit 160 electrically connected to input / output pattern 104 of panel 101 The panel gloss test jig apparatus is disclosed for testing.

디스플레이 패널, 그로스 테스트, 지그, 카메라, 스테이지Display panel, gross test, jig, camera, stage

Description

디스플레이 패널 검사용 그로스 테스트 지그 장치{Gross test zig for inspecting flat panel display}Gross test zig for inspecting flat panel display

도 1은 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사용 그로스 테스트 지그 장치에 의해 테스트되는 디스플레이 패널의 일례를 도시한 평면도이다.1 is a plan view showing an example of a display panel tested by a gross test jig device for inspecting a display panel according to the present invention.

도 2는 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사용 그로스 테스트 지그 장치를 도시한 측면도이다.2 is a side view illustrating a gross test jig device for inspecting a display panel according to the present invention.

도 3은 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사용 그로스 테스트 지그 장치에서 지그, 지그 스테이지, 및 카메라 스테이지를 도시한 평단면도이다.3 is a plan sectional view showing a jig, a jig stage, and a camera stage in the gross test jig apparatus for inspecting a display panel according to the present invention.

도 4는 도 3의 1-1선 단면도이다.4 is a cross-sectional view taken along line 1-1 of FIG. 3.

도 5는 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사용 그로스 테스트 지그 장치를 도시한 측면도이다.5 is a side view illustrating a gross test jig device for inspecting a display panel according to the present invention.

도 6은 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사용 그로스 테스트 지그 장치에서 카메라만을 도시한 평단면도이다.6 is a plan sectional view showing only a camera in a gross test jig device for inspecting a display panel according to the present invention.

도 7은 도 6의 정면도이다.7 is a front view of FIG. 6.

도 8은 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사용 그로스 테스트 지그 장치에서 카메라에 의해 촬영된 디스플레이 패널의 기준 패턴이 모니터에 표시되는 상태를 도시한 것이다.8 illustrates a state in which a reference pattern of a display panel photographed by a camera is displayed on a monitor in a gross test jig device for inspecting a display panel according to the present invention.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

100; 본 발명에 의한 디스플레이 패널 검사용 그로스 테스트 지그 장치100; Gross test jig device for display panel inspection according to the present invention

101; 디스플레이 패널 102; 액티브 영역101; Display panel 102; Active area

103; 테두리 영역 104; 입출력 패턴103; Border area 104; I / O pattern

105; 기준 패턴 110; 지그105; Reference pattern 110; Jig

111; 안착홈 112; 개구111; Seating grooves 112; Opening

113; 백라이트 120; 흡착부113; Backlight 120; Adsorption part

121; 흡착 호스 130; 지그 스테이지121; Adsorption hose 130; Jig stage

131; X 스테이지 131a; 상판131; X stage 131a; Tops

131b; 하판 131c; 크로스 롤러 베어링131b; Bottom 131c; Cross roller bearing

131d; 스프링 131e; 개구131d; Spring 131e; Opening

131f; 브라켓 131g; X 마이크로 메터131f; 131 g bracket; X micrometer

131h; 로드 131i; 볼131h; Rod 131i; ball

132; Y 스테이지 132a; 상판132; Y stage 132a; Tops

132b; 하판 132c; 크로스 롤러 베어링132b; Lower plate 132c; Cross roller bearing

132d; 스프링 132e; 브라켓132d; Spring 132e; Brackets

132f; Y 마이크로 메터 132g; 로드132f; Y micrometer 132g; road

132h; 브라켓 132i; 볼트132h; Bracket 132i; volt

133; θ 스테이지 133a; 지지판133; θ stage 133a; Support plate

133b; 회전 중심축 133c; 브라켓133b; Rotation center axis 133c; Brackets

133d; θ 마이크로 메터 133e; 로드133d; θ micrometer 133e; road

133f; 브라켓 133g; 볼트133f; 133 g bracket; volt

133h; 스프링 133i; 돌출바133h; Spring 133i; Protrusion bar

133j; 베어링 140; 카메라133j; Bearing 140; camera

141; 렌즈부 142; 광전송부141; A lens unit 142; Optical transmission unit

143; CCD 카메라 150; 카메라 스테이지143; CCD camera 150; Camera stage

151; 상부 이송 블록 152; 상부 레일151; Upper transfer block 152; Upper rail

153; 하부 이송 블록 154; 하부 레일153; Lower transfer block 154; Lower rail

155; X 방향 손잡이 156; Y 방향 손잡이155; X direction knob 156; Y direction knob

157; 브라켓 158; 스프링157; Bracket 158; spring

160; 검사부 161; 프로브 카드160; Inspection unit 161; Probe card

162; 프로브 핀 163; 승강 블록162; Probe pin 163; Lifting block

164; 실린더 165; 마이크로 메터164; Cylinder 165; Micrometer

166; 모니터 167; 기준 위치166; Monitor 167; Reference position

본 발명은 디스플레이 패널 검사용 그로스 테스트 지그 장치에 관한 것으로서, 보다 상세히는 디스플레이 패널의 위치를 정확한 기준 위치로 이동시킴으로써, 디스플레이 패널의 입출력 패턴에 프로브 핀을 정확하게 접촉시킬 수 있는 디스플 레이 패널 검사용 그로스 테스트 지그 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a gross test jig device for inspecting a display panel, and more particularly, for a display panel inspection capable of accurately contacting probe pins with an input / output pattern of a display panel by moving a position of the display panel to an accurate reference position. It is related to a gross test jig apparatus.

일반적으로 평판 표시 장치(Flat Panel Display, 이하의 설명에서는 디스플레이 패널로 칭하기로 한다)란 텔레비전이나 컴퓨터 모니터(브라운관)보다 두께가 얇고 가벼운 영상 표시 장치를 말한다. 이러한 디스플레이 패널은 대표적으로 LCD, PDP, FED, ELD 등이 있으며, 그 구조 및 제조 방법은 각 종류마다 약간씩 상이하다.In general, a flat panel display (hereinafter, referred to as a display panel) refers to an image display device that is thinner and lighter than a television or a computer monitor (Brown Tube). Such display panels typically include LCD, PDP, FED, ELD, etc., and the structure and manufacturing method thereof are slightly different for each type.

일례로 TFT-LCD를 기준으로 설명하면, 그 구조는 크게 TFT(박막트랜지스터)가 형성되어 있는 하부 유리 기판, 칼라 필터가 형성되어 있는 상부 유리 기판, 그리고 그 사이에 주입된 액정(Liquid Crystal)으로 구성되어 있다. 상기 TFT는 전기적 신호를 전달 및 제어하는 역할을 하고, 액정은 인가된 전압에 따라 분자구조를 달리하여 빛의 투과를 제어한다. 그렇게 제어된 빛은 칼라 필터를 통과하면서 원하는 색과 영상으로 나타나게 된다.As an example, the structure of the TFT-LCD will be described as a lower glass substrate on which TFTs (thin film transistors) are formed, an upper glass substrate on which color filters are formed, and liquid crystals injected therebetween. Consists of. The TFT serves to transmit and control the electrical signal, and the liquid crystal controls the transmission of light by varying the molecular structure according to the applied voltage. The light so controlled passes through the color filter to produce the desired color and image.

또한, 이러한 LCD의 제조 방법은 크게 TFT 공정과, 칼라 필터 공정과, 셀(cell) 공정과, 모듈(module) 공정으로 이루어져 있다. 상기 TFT 공정에서는 반도체 제조 공정과 매우 유사하게, 증착, 사진 및 식각을 반복하여 하부 유리 기판에 TFT를 배열 및 형성한다. 또한, 상기 칼라 필터 공정에서는 상부 유리 기판에 칼라 필터를 형성한다. 또한, 상기 셀 공정에서는 하부 유리 기판과 상부 유리 기판 사이에 배향막을 형성하고, 스페이서를 산포한 후 상호 합착한다. 이러한 합착 후 모세관 현상을 이용하여 액정을 상부 유리 기판과 하부 유리 기판 사이에 주입한 후 주입구를 봉지한다. 상기 모듈 공정에서는 상기 평판에 편광판을 비롯하여 백라이트 등 각종 주변 부품을 부착한다.In addition, the LCD manufacturing method is largely composed of a TFT process, a color filter process, a cell process, and a module process. In the TFT process, very similar to the semiconductor manufacturing process, TFTs are arranged and formed on the lower glass substrate by repeating deposition, photography, and etching. In the color filter step, a color filter is formed on the upper glass substrate. In the cell process, an alignment layer is formed between the lower glass substrate and the upper glass substrate, and the spacers are dispersed and then bonded to each other. After the bonding, the liquid crystal is injected between the upper glass substrate and the lower glass substrate by using a capillary phenomenon, and then the injection hole is sealed. In the module process, various peripheral parts such as a polarizer and a backlight are attached to the flat plate.

한편, 이러한 디스플레이 패널은 셀 공정후 모듈 공정을 진행하기 전에 정상적으로 작동하는지 각종 전기적 검사를 하게 된다. 즉, 디스플레이 패널에 형성된 입출력 패턴에 프로브 핀을 전기적으로 연결한 상태에서 각종 전기적 신호를 입력할 때, 그 디스플레이 패널이 적절하게 표시 동작을 하는지 일일이 시각적으로 검사하게 된다. 이러한 시각적 검사는 상술한 디스플레이 패널이 모듈화된 후 바로 제품으로 조립되기 때문에 전수 검사를 하게 된다.On the other hand, such a display panel is subjected to a variety of electrical inspection whether the normal operation before the cell process after the cell process. That is, when various electrical signals are input while the probe pins are electrically connected to the input / output patterns formed on the display panel, the display panel visually inspects whether the display panel properly displays. This visual inspection is a full inspection because the above-described display panel is assembled into a product immediately after modularization.

그러나, 종래에는 이러한 디스플레이 패널의 검사를 작업자가 일일이 수동으로 진행함으로써, 그 시간이 매우 오래 걸리는 문제가 있다. 즉, 작업자가 상술한 디스플레이 패널을 일정 형태의 지그에 위치시켜 놓은 상태에서, 검사용 프로브 핀을 디스플레이 패널의 소정 패턴에 전기적으로 접촉시켜 검사함으로써, 시간이 오래 걸리고 또한 검사가 정확히 수행되지 않게 된다.However, in the related art, the inspection of the display panel is performed manually by an operator, so that the time is very long. That is, in the state where the operator places the above-described display panel on a jig of a certain type, the inspection probe pin is electrically contacted with a predetermined pattern of the display panel and inspected so that it takes a long time and the inspection is not performed accurately. .

또한, 최근에는 상기 디스플레이 패널에 형성되는 입출력 패턴의 피치가 점차 세밀화됨으로써, 작업자가 프로브 핀을 상기 패턴에 정확히 접촉시키는 것 자체가 매우 어렵게되어 검사 속도가 더욱 저하되는 문제가 있다.In addition, recently, since the pitch of the input / output pattern formed on the display panel is gradually finer, it is very difficult for the operator to directly contact the probe pin with the pattern, and thus the inspection speed is further lowered.

더욱이, 작업자마다 프로브 핀을 디스플레이 패널의 패턴에 상호 접촉시키는 힘이 상이하여, 경우에 따라서는 상기 디스플레이 패널의 유리 기판 또는 패턴이 파손되는 문제도 있다.Moreover, the force for bringing the probe pins into contact with the pattern of the display panel is different for each operator, so that the glass substrate or the pattern of the display panel may be broken in some cases.

본 발명은 상술한 종래의 문제점을 극복하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적 은 검사를 위해 지그에 안착되는 디스플레이 패널의 X,Y,θ 위치를 정확한 기준 위치로 조정할 수 있는 디스플레이 패널 검사용 그로스 테스트 지그 장치를 제공하는데 있다.The present invention is to overcome the above-mentioned conventional problems, an object of the present invention is a gross test jig for inspecting a display panel that can adjust the X, Y, θ position of the display panel seated on the jig for inspection to an accurate reference position To provide a device.

본 발명의 다른 목적은 디스플레이 패널의 입출력 패턴과 프로브 핀이 미리 정해진 힘으로만 접촉됨으로써, 정확한 전기적 접촉은 물론 검사중 패턴 또는 유리 기판의 파손을 방지할 수 있는 디스플레이 패널 검사용 지그 장치를 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide a display panel inspection jig device that can prevent the damage to the pattern or the glass substrate during the inspection, as well as accurate electrical contact by contacting the input and output pattern of the display panel and the probe pin only by a predetermined force. have.

상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명에 의한 디스플레이 패널 검사용 그로스 테스트 지그 장치는 적어도 하나 이상의 기준 패턴 및 다수의 입출력 패턴이 형성된 디스플레이 패널이 상부에 안착되는 지그와, 상기 지그의 내측에 설치되며, 상기 디스플레이 패널을 진공 흡착하여 고정하는 흡착부와, 상기 지그의 하부에 설치되며, 상기 지그의 위치를 X,Y,θ방향으로 이동시키는 지그 스테이지와, 상기 지그 스테이지의 일측 하부에 설치되며, 상기 지그의 개구를 통하여 상기 디스플레이 패널의 기준 패턴을 촬영하는 카메라와, 상기 카메라의 일측에 설치되어, 상기 카메라의 위치를 X,Y 방향으로 이동시키는 카메라 스테이지와, 상기 지그의 일측 상부에 설치되며, 상기 지그에 안착된 디스플레이 패널의 입출력 패턴에 전기적으로 접속되는 검사부로 이루어진 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, a gross test jig apparatus for inspecting a display panel according to the present invention includes a jig in which a display panel on which at least one reference pattern and a plurality of input / output patterns are formed is seated on an upper part, and is installed inside the jig. An adsorption part configured to vacuum-adsorb and fix the display panel, a jig stage installed at a lower portion of the jig, a jig stage for moving the position of the jig in the X, Y, and θ directions, a jig stage installed at a lower side of the jig stage, A camera for photographing a reference pattern of the display panel through an opening of a jig, a camera stage installed at one side of the camera to move the camera position in X and Y directions, and an upper part of one side of the jig, The inspection unit is electrically connected to the input / output pattern of the display panel seated on the jig. Characterized in that eojin.

여기서, 상기 지그는 판 형태를 하며 디스플레이 패널이 안착되도록 상부에 안착홈이 형성되고, 상기 디스플레이 패널의 기준 패턴과 대응되는 하부에는 개구 가 형성될 수 있다.Here, the jig may have a plate shape, and a mounting groove may be formed at an upper portion thereof to allow the display panel to be mounted, and an opening may be formed at a lower portion corresponding to the reference pattern of the display panel.

상기 흡착부는 상기 지그의 안착홈 내부에 다수의 흡착 호스가 배열되어, 상기 안착홈에 안착된 디스플레이 패널을 진공 흡착할 수 있다.The adsorption part may include a plurality of adsorption hoses arranged in the seating recesses of the jig to vacuum-suck the display panel seated in the seating recesses.

상기 지그 스테이지는 상기 지그의 하부에 결합되며, 상판과 하판이 상대적으로 이동 가능하게 크로스 롤러 베어링으로 상호 결합되고, 상기 하판에는 상기 상판의 위치를 이동시키는 X 마이크로 메터가 고정된 X 스테이지와, 상기 X 스테이지의 하부에 결합되며, 상판과 하판이 상대적으로 이동 가능하게 크로스 롤러 베어링으로 상호 결합되고, 상기 하판에는 상기 상판의 위치를 이동시키는 Y 마이크로 메터가 고정된 Y 스테이지와, 상기 Y 스테이지의 하판에 롤러 베어링으로 회전 중심축을 갖는 지지판이 결합되고, 상기 지지판에는 상기 Y 스테이지의 하판을 θ 각도만큼 회전시킬 수 있는 θ 마이크로 메터가 고정된 θ 스테이지로 이루어질 수 있다.The jig stage is coupled to the lower portion of the jig, the upper plate and the lower plate is mutually coupled to the cross roller bearing so as to be relatively movable, the lower plate X stage is fixed to the X micrometer for moving the position of the upper plate, Y stage is coupled to the lower part of the X stage, the upper plate and the lower plate is mutually coupled to the cross roller bearing so as to be relatively movable, the lower stage of the Y stage is fixed to the Y micrometer for moving the position of the upper plate, A support plate having a central axis of rotation is coupled to the roller bearing, and the support plate may be formed of a θ stage having a fixed θ micrometer capable of rotating the lower plate of the Y stage by θ angle.

상기 X 마이크로 메터는 X 스테이지의 하판에 브라켓을 통하여 고정되고, 상기 X 마이크로 메터의 로드는 상기 X 스테이지의 상판에 결합된 볼에 접촉될 수 있다.The X micrometer is fixed to the bottom plate of the X stage through a bracket, the rod of the X micrometer may be in contact with the ball coupled to the top plate of the X stage.

상기 Y 마이크로 메터는 Y 스테이지의 하판에 브라켓을 통하여 고정되고, 상기 Y 스테이지의 상판에는 하부로 일정 길이 연장된 브라켓이 결합되며, 상기 브라켓에는 볼트가 결합되고, 상기 Y 마이크로 메터는 상기 볼트에 접촉될 수 있다.The Y micrometer is fixed to the lower plate of the Y stage through a bracket, the upper plate of the Y stage is coupled to the bracket extending a certain length to the bottom, the bracket is coupled to the bracket, the Y micrometer is in contact with the bolt Can be.

상기 θ 마이크로 메터는 지지판에 브라켓을 통하여 고정되고, 상기 θ 마이크로 메터와 일정 거리 이격된 지지판에는 스프링이 개재된 볼트가 브라켓을 통하 여 결합되며, 상기 θ 마이크로 메터의 로드와 볼트 사이에는 상기 Y 스테이지의 하판으로부터 일정 길이 돌출된 돌출바가 개재될 수 있다.The θ micrometer is fixed to the support plate through a bracket, and a bolt with a spring is coupled to the support plate spaced a certain distance from the θ micrometer through a bracket, and the Y stage between the rod and the bolt of the θ micrometer Protruding bar protruding from the lower plate of the predetermined length may be interposed.

상기 X 스테이지는 상판과 하판 사이에 스프링이 더 결합될 수 있다.The X stage may be further coupled to the spring between the upper plate and the lower plate.

상기 Y 스테이지는 상판과 하판 사이에 스프링이 더 결합될 수 있다.The Y stage may be further coupled to the spring between the upper plate and the lower plate.

상기 X 스테이지의 상판에는 상기 지그의 개구와 연통되는 개구가 더 형성될 수 있다.An opening communicating with the opening of the jig may be further formed in the upper plate of the X stage.

상기 카메라는 상기 지그에 형성된 개구를 통하여 디스플레이 패널의 기준 패턴을 촬영할 수 있도록 상호 인접한 2개의 렌즈부와, 상기 각 렌즈부에 대략 직각 방향으로 형성된 광전송부와, 상기 각 광전송부에 결합된 CCD 카메라로 이루어질 수 있다.The camera includes two lens units adjacent to each other so as to photograph a reference pattern of a display panel through an opening formed in the jig, an optical transmission unit formed in a direction orthogonal to each lens unit, and a CCD camera coupled to each optical transmission unit. It may be made of.

상기 카메라 스테이지는 상기 광전송부에 외측으로 일정 길이 연장되어 형성된 이송 블록과, 상기 이송 블록에 X 방향으로 결합되어, 상기 이송 블록을 X 방향으로 이동시키는 X 방향 손잡이와, 상기 이송 블록에 Y 방향으로 결합되어, 상기 이송 블록을 Y 방향으로 이동시키는 Y 방향 손잡이로 이루어질 수 있다.The camera stage includes a transport block formed by extending a predetermined length to the outside of the optical transmission unit, an X direction handle coupled to the transport block in the X direction to move the transport block in the X direction, and a Y direction to the transport block. Combined, it may be made of a Y-direction handle to move the transfer block in the Y direction.

상기 검사부는 상기 지그에 안착된 디스플레이 패널의 입출력 패턴에 전기적으로 접속되도록 다수의 프로브 핀을 갖는 프로브 카드와, 상기 프로브 카드가 안착된 승강 블록과, 상기 승강 블록을 상,하 방향으로 이동시키는 실린더로 이루어질 수 있다.The inspection unit includes a probe card having a plurality of probe pins so as to be electrically connected to an input / output pattern of a display panel seated on the jig, a lift block on which the probe card is seated, and a cylinder for moving the lift block in an up and down direction. It may be made of.

상기 승강 블록의 하단에는 상기 승강 블록의 하강 거리를 조절할 수 있도록 하강 제한용 마이크로 메터가 더 장착될 수 있다.The lower limit of the elevating block may be further equipped with a micrometer for the lower limit to adjust the falling distance of the elevating block.

상기 카메라에는 상기 카메라로 촬영된 디스플레이 패널의 기준 패턴이 확대되어 표시되도록 모니터가 더 연결될 수 있다.The monitor may be further connected to the camera such that the reference pattern of the display panel photographed by the camera is enlarged and displayed.

상기 지그는 하부에 디스플레이 패널에 조명을 제공하도록 백라이트가 더 설치될 수 있다.The jig may further include a backlight to provide lighting to the display panel.

상기와 같이 하여 본 발명에 의한 디스플레이 패널 검사용 그로스 테스트 지그 장치는 검사를 위해 지그에 안착되는 디스플레이 패널의 X,Y,θ 위치를 정확한 기준 위치로 조정할 수 있게 된다.As described above, the gross test jig device for inspecting the display panel according to the present invention can adjust the X, Y, and θ positions of the display panel seated on the jig for inspection to an accurate reference position.

따라서, 검사부의 프로브 핀을 디스플레이 패널의 입출력 패턴에 정확하게 접촉시킬 수 있고, 따라서 디스플레이 패널의 동작 검사를 정확하고 신속하게 할 수 있다.Therefore, the probe pin of the inspection unit can be accurately brought into contact with the input / output pattern of the display panel, and thus the operation inspection of the display panel can be accurately and quickly performed.

또한, 본 발명에 의한 디스플레이 패널 검사용 그로스 테스트 지그 장치는 검사부의 프로브 핀이 디스플레이 패널의 입출력 패턴에 항상 동일한 힘으로 접촉되도록 함으로써, 정확한 전기적 접촉은 물론 검사중 입출력 패턴 또는 유리 기판의 파손을 방지할 수 있게 된다.In addition, the gross test jig device for inspecting the display panel according to the present invention allows the probe pins of the inspector to always contact the input / output pattern of the display panel with the same force, thereby preventing damage to the input / output pattern or the glass substrate during the inspection as well as accurate electrical contact. You can do it.

이하, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings such that those skilled in the art may easily implement the present invention.

도 1은 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사용 그로스 테스트 지그 장치에 의해 테스트되는 디스플레이 패널의 일례를 도시한 평면도이다.1 is a plan view showing an example of a display panel tested by a gross test jig device for inspecting a display panel according to the present invention.

도시된 바와 같이 디스플레이 패널(101)은 액티브 영역(102)의 외측에 테두 리 영역(103)이 형성되어 있고, 그 테두리 영역(103)의 일측에는 다수의 입출력 패턴(104) 및 기준 패턴(105)이 형성되어 있다. 이러한 디스플레이 패널(101)은, 하기 하겠지만, 상기 기준 패턴(105)의 위치를 감지하여 디스플레이 패널(101)이 안착된 지그(110)의 위치를 정확한 위치로 조정한 후, 입출력 패턴(104)에 프로브 핀(162)을 접촉시켜서 그 검사를 수행하게 된다.As illustrated, the display panel 101 has a border region 103 formed outside the active region 102, and a plurality of input / output patterns 104 and reference patterns 105 are formed at one side of the edge region 103. ) Is formed. Although the display panel 101 will be described later, after detecting the position of the reference pattern 105 to adjust the position of the jig 110 on which the display panel 101 is seated to the correct position, the display panel 101 is applied to the input / output pattern 104. The probe pin 162 is contacted to perform the test.

도 2는 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사용 그로스 테스트 지그 장치를 도시한 측면도이다.2 is a side view illustrating a gross test jig device for inspecting a display panel according to the present invention.

도시된 바와 같이 본 발명에 의한 디스플레이 패널 검사용 그로스 테스트 지그 장치는 디스플레이 패널(101)이 상부에 안착되는 지그(110)와, 상기 지그(110)의 내측에 설치되며, 상기 디스플레이 패널(101)을 진공 흡착하여 고정하는 흡착부(120)와, 상기 지그(110)의 하부에 설치되며, 상기 지그(110)의 위치를 X,Y,θ방향으로 이동시키는 지그 스테이지(130)와, 상기 지그 스테이지(130)의 일측 하부에 설치되며, 상기 지그(110)를 통하여 상기 디스플레이 패널(101)의 기준 패턴(105)을 촬영하는 카메라(140)와, 상기 카메라(140)의 일측에 설치되어, 상기 카메라(140)의 위치를 X,Y 방향으로 이동시키는 카메라 스테이지(150)와, 상기 지그(110)의 일측 상부에 설치되며, 상기 지그(110)에 안착된 디스플레이 패널(101)의 입출력 패턴(104)에 전기적으로 접속되는 검사부(160)와, 상기 검사부(160)의 상부에 상기 디스플레이 패널(101)의 기준 패턴(105)을 표시하는 모니터(166)를 포함한다.As shown, the gross test jig apparatus for inspecting the display panel according to the present invention is provided with a jig 110 in which the display panel 101 is mounted on the upper part, and is installed inside the jig 110, and the display panel 101 is provided. Adsorption unit 120 for vacuum adsorption and fixing, a jig stage 130 installed below the jig 110, and moving the position of the jig 110 in the X, Y, and θ directions, and the jig. It is installed on the lower side of the stage 130, the camera 140 for photographing the reference pattern 105 of the display panel 101 through the jig 110, and is installed on one side of the camera 140, Input and output patterns of the camera stage 150 to move the position of the camera 140 in the X, Y direction, and the upper side of the jig 110, the display panel 101 mounted on the jig 110 An inspection unit 160 electrically connected to 104; On top of the helix 160 includes a monitor 166 that displays the reference pattern 105 of the display panel 101.

도 3은 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사용 그로스 테스트 지그 장치에 서 지그(110), 흡착부(120), 지그 스테이지(130) 및 카메라 스테이지(150) 등을 도시한 평단면도이다.3 is a plan sectional view illustrating a jig 110, an adsorption part 120, a jig stage 130, a camera stage 150, and the like in a gross test jig apparatus for inspecting a display panel according to the present invention.

도시된 바와 같이 지그(110)는 디스플레이 패널(101)이 안착되도록 대략 사각의 안착홈(111)이 형성되어 있다. 또한, 상기 안착홈(111)의 일측에는 개구(112)가 형성되어 있으며, 이러한 개구(112)는 상기 디스플레이 패널(101)의 기준 패턴(105)과 대응되는 위치이다. 여기서, 상기 디스플레이 패널(101)은 액티브 영역(102)의 파손을 방지 하기 위해 테두리 영역(103)만이 상기 안착홈(111)에 안착된다. 또한, 상기 안착홈(111)의 하부에는 검사 공정중 디스플레이 패널(101)에 조명을 제공하기 위한 백라이트(113)가 설치되어 있다.As shown, the jig 110 has a substantially rectangular seating groove 111 formed thereon to seat the display panel 101. In addition, an opening 112 is formed at one side of the seating recess 111, and the opening 112 corresponds to a reference pattern 105 of the display panel 101. In this case, only the edge region 103 is seated in the seating recess 111 in order to prevent the display panel 101 from being damaged in the active region 102. In addition, a backlight 113 is provided below the seating recess 111 to provide illumination to the display panel 101 during the inspection process.

상기 흡착부(120)는 상기 지그(110)의 안착홈(111) 내부에 형성되어 있으며, 이는 다수의 흡착 호스(121)로 이루어져 검사 공정중 상기 디스플레이 패널(101)을 움직이지 않게 하는 역할을 한다. 물론, 상기 흡착 호스(121)는 상기 디스플레이 패널(101)의 테두리 영역(103)을 흡착한다.The adsorption part 120 is formed in the seating groove 111 of the jig 110, which is composed of a plurality of adsorption hoses 121 to prevent the display panel 101 from moving during the inspection process. do. Of course, the suction hose 121 adsorbs the edge region 103 of the display panel 101.

상기 지그 스테이지(130)는 상기 지그(110) 하부에 설치되어 있다. 이러한 지그 스테이지(130)는 하기 하겠지만, 지그(110)를 X 방향으로 이동시키기 위한 X 마이크로 메터(131g), 지그(110)를 Y 방향으로 이동시키기 위한 Y 마이크로 메터(132f), 및 지그(110)를 θ 각도만큼 회전시키기 위한 θ 마이크로 메터(133d)를 포함한다.The jig stage 130 is installed below the jig 110. The jig stage 130 will be described later, but the X micrometer 131g for moving the jig 110 in the X direction, the Y micrometer 132f for moving the jig 110 in the Y direction, and the jig 110. Θ micrometer 133d for rotating θ by an angle.

또한, 상기 카메라 스테이지(150)는 상기 지그(110)의 하부 일측에 형성되어 있으며, 이것도 하기 하겠지만 카메라(140)를 X 방향으로 이동시키기 위한 X 방향 손잡이(155) 및 Y 방향으로 이동시키기 위한 Y 방향 손잡이(156)를 포함한다.In addition, the camera stage 150 is formed on one side of the lower side of the jig 110, but as will be described later, the X direction knob 155 for moving the camera 140 in the X direction and the Y direction for moving in the Y direction. Direction handle 156.

도 4는 도 3의 1-1선 단면도이다.4 is a cross-sectional view taken along line 1-1 of FIG. 3.

또한, 도 5는 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사용 그로스 테스트 지그 장치를 도시한 측면도이다.5 is a side view illustrating a gross test jig device for inspecting a display panel according to the present invention.

도시된 바와 같이 지그 스테이지(130)는 X 스테이지(131), Y 스테이지(132) 및 θ 스테이지(133)로 이루어져 있다.As shown, the jig stage 130 includes an X stage 131, a Y stage 132, and a θ stage 133.

먼저 상기 X 스테이지(131)는 상기 지그(110) 하부에 결합되어 있다. 이러한 X 스테이지(131)는 대략 판상의 상판(131a)과 하판(131b)이 결합된 형태를 한다. 또한 상기 하판(131b) 위에서 상기 상판(131a)이 X 방향으로 움직일 수 있도록 상호 크로스 롤러 베어링(131c)으로 결합되어 있다. 더욱이, 상기 상판(131a)과 하판(131b) 사이에는 상판(131a)의 X 방향으로 이동후 강하게 위치 고정될 수 있도록 스프링(131d)이 개재되어 있다. 또한, 상기 상판(131a)은 상기 하판(131b)에 비하여 일정 거리 더 외측으로 연장되어 있으며, 그 위에 지그(110)가 설치되어 있다. 더욱이, 상기 상판(131a)에는 상기 지그(110)의 개구(112)와 연통되는 또다른 개구(131e)가 형성되어 있다.First, the X stage 131 is coupled to the bottom of the jig 110. The X stage 131 has a shape in which a substantially upper plate 131a and a lower plate 131b are coupled to each other. In addition, the upper plate 131a is coupled to each other by a cross roller bearing 131c to move in the X direction on the lower plate 131b. Furthermore, a spring 131d is interposed between the upper plate 131a and the lower plate 131b so as to be strongly fixed after moving in the X direction of the upper plate 131a. In addition, the upper plate 131a extends further outward from the lower plate 131b by a predetermined distance, and a jig 110 is provided thereon. Furthermore, another opening 131e communicating with the opening 112 of the jig 110 is formed in the top plate 131a.

한편, 상기 X 스테이지(131)중 하판(131b)에는 브라켓(131f)이 설치되어 있으며, 이러한 브라켓(131f)에는 X 마이크로 메터(131g)가 고정되어 있다. 또한, 상기 X 스테이지(131)중 상판(131a)에는 볼(131i)이 결합되어 있으며, 이러한 볼(131i)은 상기 X 마이크로 메터(131g)의 로드(131h)와 접촉되어 있다. 따라서, 상기 X 마이크로 메터(131g)를 조정함에 따라, 로드(131h)가 상기 볼(131i)을 일측 방향으로 밀게 되고, 이에 따라 X 스테이지(131)중 상판(131a)이 X 방향으로 이동하게 된다. 물론, 이때 상기 상판(131a)은 크로스 롤러 베어링(131c)에 의해 부드럽게 움직이게 된다. 더욱이, 상판(131a)과 하판(131b) 사이에는 스프링(131d)이 설치되어 있음으로써, 상판(131a)의 이동후 상기 스프링(131d)의 복원력에 의해 강하게 위치 고정된다.On the other hand, a bracket 131f is installed on the lower plate 131b of the X stage 131, and the X micrometer 131g is fixed to the bracket 131f. In addition, a ball 131i is coupled to the upper plate 131a of the X stage 131, and the ball 131i is in contact with the rod 131h of the X micrometer 131g. Therefore, as the X micrometer 131g is adjusted, the rod 131h pushes the ball 131i in one direction, and the upper plate 131a of the X stage 131 moves in the X direction. . Of course, at this time the top plate (131a) is moved smoothly by the cross roller bearing (131c). Furthermore, the spring 131d is provided between the upper plate 131a and the lower plate 131b, thereby being strongly fixed by the restoring force of the spring 131d after the upper plate 131a is moved.

이어서, 상기 Y 스테이지(132)는 상기 X 스테이지(131)의 하판(131b) 하부에 고정되어 있다. 이러한 Y 스테이지(132)도 대략 판상의 상판(132a)과 하판(132b)이 결합된 형태를 한다. 또한 상기 하판(132b) 위에서 상기 상판(132a)이 Y 방향으로 움직일 수 있도록 상호 크로스 롤러 베어링(132c)으로 결합되어 있다. 더욱이, 상기 상판(132a)과 하판(132b) 사이에는 상판(132a)의 Y 방향 이동후 강하게 위치 고정될 수 있도록 스프링(132d)이 개재되어 있다.Subsequently, the Y stage 132 is fixed to the lower plate 131b of the X stage 131. The Y stage 132 also has a form in which the upper plate 132a and the lower plate 132b in the shape of a plate are combined. In addition, the upper plate 132a is coupled to each other by a cross roller bearing 132c to move in the Y direction on the lower plate 132b. In addition, a spring 132d is interposed between the upper plate 132a and the lower plate 132b so that the upper plate 132a may be strongly fixed after the Y plate moves in the Y direction.

한편, 상기 Y 스테이지(132)중 하판(132b)에는 브라켓(132e)이 설치되어 있으며, 이러한 브라켓(132e)에는 Y 마이크로 메터(132f)가 고정되어 있다. 또한, 상기 Y 스테이지(132)중 상판(132a)에는 하부로 일정 길이 연장된 또다른 브라켓(132h)이 고정되어 있으며, 이러한 브라켓(132h)에는 볼트(132i)가 결합되어 있다. 또한, 상기 볼트(132i)는 상기 Y 마이크로 메터(132f)의 로드(132g)와 접촉되어 있다. 따라서, 상기 Y 마이크로 메터(132f)를 조정함에 따라, 로드(132g)가 상기 볼트(132i)를 일측 방향으로 밀게 되고, 이에 따라 Y 스테이지(132)중 상판(132a)이 Y 방향으로 이동하게 된다. 물론, 이때 상기 상판(132a)은 크로스 롤러 베어링(132c)에 의해 부드럽게 움직이게 된다. 더욱이, 상판(132a)과 하판(132b) 사이에는 스프링(132d)이 설치되어 있음으로써, 상판(132a)의 이동후 상기 스프링(132d)의 복원력에 의해 강하게 위치 고정된다.On the other hand, a bracket 132e is installed on the lower plate 132b of the Y stage 132, and the Y micrometer 132f is fixed to the bracket 132e. In addition, another bracket 132h extending a predetermined length downward is fixed to the upper plate 132a of the Y stage 132, and a bolt 132i is coupled to the bracket 132h. The bolt 132i is also in contact with the rod 132g of the Y micrometer 132f. Therefore, as the Y micrometer 132f is adjusted, the rod 132g pushes the bolt 132i in one direction, and thus the upper plate 132a of the Y stage 132 moves in the Y direction. . Of course, at this time, the top plate 132a is smoothly moved by the cross roller bearing 132c. In addition, the spring 132d is provided between the upper plate 132a and the lower plate 132b, thereby being strongly fixed by the restoring force of the spring 132d after the upper plate 132a is moved.

상기 θ 스테이지(133)는 상기 Y 스테이지(132)의 하판(132b)에 회전 중심축(133b)이 개재된 채 지지판(132b)이 결합되어 있다. 더욱이, 상기 회전 중심축(133b)과 Y 스테이지(132)의 하판(132b) 사이에는 베어링(133j)이 결합되어 있다. 또한, 상기 지지판(132b)에는 브라켓(133c)이 고정되어 있고, 이러한 브라켓(133c)에는 상기 Y 스테이지(132)의 하판(132b)을 θ 각도만큼 회전시킬 수 있는 θ 마이크로 메터(133d)가 고정되어 있다. 또한, 상기 θ 마이크로 메터(133d)와 일정 거리 이격된 위치에는 또다른 브라켓(133f)이 고정되어 있다. 이러한 브라켓(133f)에는 스프링(133h)이 개재된 볼트(133g)가 결합되어 있고, 상기 볼트(133g)와 θ 마이크로 메터(133d)의 로드(133e) 사이에는 상기 Y 스테이지(132)중 하판(132b)의 외측으로 일정 길이 연장 및 돌출된 돌출바(133i)가 설치되어 있다. 따라서, 상기 θ 마이크로 메터(133d)를 조정하게 되면, 상기 θ 마이크로 메터(133d)의 로드(133e)가 상기 돌출바(133i)를 일정 방향으로 밀게 되고, 이에 따라 Y 스테이지(132)의 하판(132b)이 회전 중심축(133b)을 통해서 일정 각도 회전하게 된다. 물론, 이러한 회전은 X 스테이지(131)에도 그대로 전달된다. 또한, 상기 θ 마이크로 메터(133d)의 조정에 의해 브라켓(133f)에 결합된 볼트(133g)가 스프링(133h)의 탄성력에 의해 상기 돌출바(133i)를 θ 마이크로 메터(133d)의 로드(133e)쪽으로 미는 상태가 되기 때문에, 그 회전 상태는 강하게 유지된다.The θ stage 133 is coupled to the support plate 132b with the rotation center axis 133b interposed on the lower plate 132b of the Y stage 132. Furthermore, a bearing 133j is coupled between the rotational central axis 133b and the lower plate 132b of the Y stage 132. In addition, a bracket 133c is fixed to the support plate 132b, and a θ micrometer 133d capable of rotating the lower plate 132b of the Y stage 132 by θ angle is fixed to the bracket 133c. It is. In addition, another bracket 133f is fixed at a position spaced apart from the θ micrometer 133d by a predetermined distance. The bracket 133f is coupled with a bolt 133g having a spring 133h interposed therebetween, and a lower plate of the Y stage 132 between the bolt 133g and the rod 133e of the θ micrometer 133d. A protruding bar 133i extending and protruding a predetermined length to the outside of 132b is provided. Therefore, when the θ micrometer 133d is adjusted, the rod 133e of the θ micrometer 133d pushes the protruding bar 133i in a predetermined direction, and thus the lower plate of the Y stage 132 ( 132b is rotated by an angle through the rotation center axis 133b. Of course, this rotation is transmitted to the X stage 131 as it is. Further, the bolt 133g coupled to the bracket 133f by the adjustment of the θ micrometer 133d moves the protruding bar 133i by the elastic force of the spring 133h to the rod 133e of the θ micrometer 133d. Because it is in a state of pushing toward), the rotation state is kept strong.

더불어, 상기 지그 스테이지(130)의 일측에는 카메라(140) 및 검사부(160)가 설치되어 있다. 상기 카메라(140)는 상기 X 스테이지(131)중 상판(131a)에 형성된 개구(131e) 및 지그(110)에 형성된 개구(112)를 통하여 디스플레이 패널(101)의 기준 패턴(105)을 촬영할 수 있도록 되어 있다.In addition, the camera 140 and the inspection unit 160 is installed on one side of the jig stage 130. The camera 140 may photograph the reference pattern 105 of the display panel 101 through the opening 131e formed in the upper plate 131a and the opening 112 formed in the jig 110 of the X stage 131. It is supposed to be.

또한 상기 검사부(160)는 프로브 핀(162)을 갖는 프로브 카드(161)가 구비됨으로써, 상기 프로브 핀(162)이 디스플레이 패널(101)의 입출력 패턴(104)에 전기적으로 접촉될 수 있도록 되어 있다. 즉, 상기 검사부(160)는 프로브 카드(161)가 안착된 승강 블록(163)을 포함한다. 또한, 상기 승강 블록(163)은 Y 방향으로 움직이는 실린더(164)에 고정되어 있다. 따라서, 상기 실린더(164)의 작동에 의해 승강 블록(163) 및 프로브 카드(161)는 Y 방향으로 움직이며, 이에 따라 상기 프로브 카드(161)의 프로브 핀(162)이 디스플레이 패널(101)에 형성된 입출력 패턴(104)에 전기적으로 접촉된다.In addition, the inspection unit 160 is provided with a probe card 161 having a probe pin 162 so that the probe pin 162 may be in electrical contact with the input / output pattern 104 of the display panel 101. . That is, the inspection unit 160 includes a lifting block 163 on which the probe card 161 is seated. In addition, the lifting block 163 is fixed to the cylinder 164 moving in the Y direction. Accordingly, the lifting block 163 and the probe card 161 move in the Y direction by the operation of the cylinder 164, so that the probe pin 162 of the probe card 161 is moved to the display panel 101. It is in electrical contact with the formed input / output pattern 104.

한편, 상기 승강 블록(163)의 하부에는 또다른 마이크로 메터(165)가 설치되어 있다. 이러한 마이크로 메터(165)는 상기 승강 블록(163)의 하강 거리를 정확하게 제한하게 되며, 따라서 프로브 핀(162)에 의한 디스플레이 패널(101)의 입출력 패턴(104) 파손이나 유리 기판의 파손을 방지할 수 있게 된다.Meanwhile, another micrometer 165 is installed below the elevating block 163. The micrometer 165 accurately limits the falling distance of the lifting block 163, and thus prevents the input / output pattern 104 of the display panel 101 from being damaged by the probe pin 162 or the damage of the glass substrate. It becomes possible.

도 6은 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사용 그로스 테스트 지그 장치에서 카메라(140)만을 도시한 평단면도이다.6 is a plan sectional view showing only the camera 140 in the gross test jig device for inspecting the display panel according to the present invention.

도 7은 도 6의 정면도이다.7 is a front view of FIG. 6.

도시된 바와 같이 상기 카메라(140)는 상기 지그(110)에 형성된 개구(112) 및 상판(131a)의 개구(131e)를 통하여 디스플레이 패널(101)의 기준 패턴(105)을 촬영할 수 있도록 상호 인접한 2개의 렌즈부(141)를 포함한다. 또한, 상기 각 렌즈부(141)에는 대략 직각 방향으로 광전송부(142)가 연결되어 있으며, 상기 각 광전송부(142)에는 CCD 카메라(143)가 장착되어 있다.As shown, the camera 140 is adjacent to each other so that the reference pattern 105 of the display panel 101 can be photographed through the opening 112 formed in the jig 110 and the opening 131e of the top plate 131a. Two lens parts 141 are included. In addition, an optical transmission unit 142 is connected to each lens unit 141 in a substantially perpendicular direction, and a CCD camera 143 is mounted to each optical transmission unit 142.

또한, 상기 카메라(140)에는 카메라(140)를 X, Y 방향으로 일정 거리 이동시키는 카메라 스테이지(150)가 설치되어 있다. 이러한 카메라 스테이지(150)는 상기 광전송부(142)에 외측으로 일정 길이 연장된 상부 이송 블록(151) 및 하부 이송 블록(153)을 포함한다. 또한, 상기 하부 이송 블록(153)은 X 방향으로 일정 거리 연장된 가이드 레일(154)에 결합되어 있다. 또한, 상기 하부 이송 블록(153)에는 X 방향 손잡이(155)가 결합되어 있다. 따라서, 상기 X 방향 손잡이(155)를 조정하게 되면, 상기 하부 이송 블록(153)은 가이드 레일(154)을 따라서 X 방향으로 일정 거리 이동하게 된다. 즉, 상기 X 방향 손잡이(155)를 조정함에 따라 렌즈부(141), 광전송부(142) 및 CCD 카메라(143)가 X 방향으로 일정 거리 이동하여 디스플레이 패널(101)에 형성된 기준 패턴(105)을 촬영하게 된다.In addition, the camera 140 is provided with a camera stage 150 for moving the camera 140 a predetermined distance in the X and Y directions. The camera stage 150 includes an upper transfer block 151 and a lower transfer block 153 extending outwardly to the optical transmitter 142 by a predetermined length. In addition, the lower transfer block 153 is coupled to the guide rail 154 extending a predetermined distance in the X direction. In addition, the lower transfer block 153 is coupled to the X-direction handle 155. Therefore, when adjusting the X-direction handle 155, the lower transfer block 153 is moved a predetermined distance in the X direction along the guide rail 154. That is, as the X-direction knob 155 is adjusted, the lens unit 141, the light transmitting unit 142, and the CCD camera 143 move a predetermined distance in the X direction to form the reference pattern 105 formed on the display panel 101. Will be photographed.

한편, 상기 상부 이송 블록(151)은 하부 이송 블록(153)위에 Y 방향으로 형성된 가이드 레일(152)에 결합되어 있다. 또한, 상기 하부 이송 블록(153)의 일측에는 브라켓(157)이 고정되어 있고, 상기 브라켓(157)에는 Y 방향 손잡이(156)가 결합되어 있다. 더욱이, 상기 브라켓(157)과 상부 이송 블록(151) 사이에는 스프링(158)이 결합되어 있다. 따라서, 상기 Y 방향 손잡이(156)를 조정하게 되면, 상기 상부 이송 블록(151)이 스프링(158)의 장력을 극복하면서 Y 방향으로 일정 거 리 이동하게 된다. 즉, 상기 Y 방향 손잡이(156)를 조정함에 따라 렌즈부(141), 광전송부(142) 및 CCD 카메라(143)가 Y 방향으로 일정 거리 이동하여 디스플레이 패널(101)에 형성된 기준 패턴(105)을 촬영하게 된다.On the other hand, the upper transfer block 151 is coupled to the guide rail 152 formed in the Y direction on the lower transfer block 153. In addition, a bracket 157 is fixed to one side of the lower transfer block 153, and a Y-direction handle 156 is coupled to the bracket 157. Furthermore, a spring 158 is coupled between the bracket 157 and the upper transfer block 151. Therefore, when the Y-direction handle 156 is adjusted, the upper transfer block 151 moves a certain distance in the Y direction while overcoming the tension of the spring 158. That is, as the Y-direction knob 156 is adjusted, the lens unit 141, the light transmitting unit 142, and the CCD camera 143 move a predetermined distance in the Y direction to form the reference pattern 105 formed on the display panel 101. Will be photographed.

상기와 같은 구성에 의해서 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사용 그로스 테스트 지그 장치는 다음과 같이 작동된다.With the above configuration, the gross test jig device for inspecting the display panel according to the present invention operates as follows.

도 8에 도시된 바와 같이 본 발명의 기본적인 목적은 카메라(140)를 통해서 촬영된 디스플레이 패널(101)의 십자형 기준 패턴(105)을 모니터(166)에 표시되는 십자형 기준 위치(167)와 일치시키는 것이다. 이를 위해 본 발명은 지그 스테이지(130)를 이용하여 디스플레이 패널(101)의 X,Y,θ 위치를 조정하게 된다.As shown in FIG. 8, a basic object of the present invention is to match the cross-reference pattern 105 of the display panel 101 captured by the camera 140 with the cross-reference position 167 displayed on the monitor 166. will be. To this end, the present invention uses the jig stage 130 to adjust the X, Y, θ position of the display panel 101.

먼저, 검사자는 다수의 입출력 패턴(104) 및 기준 패턴(105)이 형성된 디스플레이 패널(101)을 지그(110)의 안착홈(111)에 안착시킨다. 이 상태에서 흡착부(120)를 작동시켜, 상기 디스플레이 패널(101)이 소정 위치로 이탈되지 않게 한다.First, the inspector mounts the display panel 101 on which the plurality of input / output patterns 104 and the reference patterns 105 are formed in the mounting recess 111 of the jig 110. In this state, the suction unit 120 is operated so that the display panel 101 is not separated to a predetermined position.

이어서, 카메라(140)를 이용하여 상기 지그(110)에 안착된 디스플레이 패널(101)의 기준 패턴(105)이 모니터(166)의 소정 위치에 표시되는지 확인한다. 즉, 카메라(140)의 렌즈부(141)에 의해 지그(110) 및 X 스테이지(131)의 개구(112)를 통해 하부로 노출된 디스플레이 패널(101)의 기준 패턴(105)이 입사되고, 이러한 입사된 빛은 광전송부(142)를 통해서 결국 CCD 카메라(143)에 입사된다. 그러면, 상기 CCD 카메라(143)는 이를 전기적 신호로 변환하여 모니터(166)의 소정 위 치에 상기 기준 패턴(105)을 표시한다. 예를 들면, 도 8에 도시된 바와 같이 모니터(166)에 디스플레이 패널(101)의 기준 패턴(105)이 기준 위치(167)와 일치하지 않는 채 표시될 수 있다.Subsequently, the camera 140 checks whether the reference pattern 105 of the display panel 101 mounted on the jig 110 is displayed at a predetermined position of the monitor 166. That is, the reference pattern 105 of the display panel 101 exposed downward through the jig 110 and the opening 112 of the X stage 131 is incident by the lens unit 141 of the camera 140. The incident light is incident on the CCD camera 143 through the light transmission unit 142. Then, the CCD camera 143 converts it into an electrical signal and displays the reference pattern 105 at a predetermined position of the monitor 166. For example, as shown in FIG. 8, the reference pattern 105 of the display panel 101 may be displayed on the monitor 166 without coinciding with the reference position 167.

한편, 상기 디스플레이 패널(101)의 크기는 매우 다양하기 때문에, 상기 기준 패턴(105)의 위치도 서로 다른 위치에 형성될 수 있다. 이럴 경우에는 상기 카메라(140)에 설치된 카메라 스테이지(150)를 조정하여 상기 카메라(140)의 위치를 X,Y 방향으로 조정한다. On the other hand, since the size of the display panel 101 is very diverse, the position of the reference pattern 105 may also be formed in different positions. In this case, the camera stage 150 installed in the camera 140 is adjusted to adjust the position of the camera 140 in the X and Y directions.

먼저 X 방향으로 카메라(140)를 조정하기 위해서는 X 방향 손잡이(155)를 조정한다. 그러면, 하부 이송 블록(153)은 가이드 레일(154)을 따라서 X 방향으로 일정 거리 이동하게 된다. 즉, 상기 X 방향 손잡이(155)를 조정함에 따라 렌즈부(141), 광전송부(142) 및 CCD 카메라(143)가 X 방향으로 일정 거리 이동하여 디스플레이 패널(101)에 형성된 기준 패턴(105)을 촬영하게 된다.First, in order to adjust the camera 140 in the X direction, the X direction knob 155 is adjusted. Then, the lower transfer block 153 moves a predetermined distance along the guide rail 154 in the X direction. That is, as the X-direction knob 155 is adjusted, the lens unit 141, the light transmitting unit 142, and the CCD camera 143 move a predetermined distance in the X direction to form the reference pattern 105 formed on the display panel 101. Will be photographed.

이어서, Y 방향으로 카메라(140)를 조정하기 위해서는 Y 방향 손잡이(156)를 조정한다. 그러면, 상부 이송 블록(151)이 스프링(158)의 장력을 극복하면서 가이드 레일(152)을 따라 Y 방향으로 일정 거리 이동하게 된다. 즉, 상기 Y 방향 손잡이(156)를 조정함에 따라 렌즈부(141), 광전송부(142) 및 CCD 카메라(143)가 Y 방향으로 일정 거리 이동하여 디스플레이 패널(101)에 형성된 기준 패턴(105)을 촬영하게 된다.Next, to adjust the camera 140 in the Y direction, the Y direction knob 156 is adjusted. Then, the upper transfer block 151 moves a predetermined distance along the guide rail 152 in the Y direction while overcoming the tension of the spring 158. That is, as the Y-direction knob 156 is adjusted, the lens unit 141, the light transmitting unit 142, and the CCD camera 143 move a predetermined distance in the Y direction to form the reference pattern 105 formed on the display panel 101. Will be photographed.

이어서, 상기와 같이 모니터(166)에 디스플레이 패널(101)의 기준 패턴(105)이 기준 위치(167)와 정확하게 일치하지 않을 경우에는 지그 스테이지(130)를 조정 하여, 상기 기준 패턴(105)이 기준 위치(167)와 일치하도록 한다.Subsequently, when the reference pattern 105 of the display panel 101 does not exactly match the reference position 167 on the monitor 166 as described above, the jig stage 130 is adjusted to adjust the jig stage 130. To match the reference position 167.

예를 들어, 지그(110)를 X 방향으로 이동시키기 위해서는 지그 스테이지(130)중 X 스테이지(131)에 결합된 X 마이크로 메터(131g)를 조정한다. 즉, X 마이크로 메터(131g)를 조정하면, 로드(131h)가 X 스테이지(131)의 상판(131a)에 결합된 볼(131i)을 일측 방향으로 밀게 되고, 이에 따라 X 스테이지(131)중 상판(131a)이 X 방향으로 이동하게 된다. 물론, 이때 상기 상판(131a)은 크로스 롤러 베어링(131c)에 의해 X 방향으로 부드럽게 움직이게 된다. 더욱이, 상판(131a)과 하판(131b) 사이에는 스프링(131d)이 설치되어 있음으로써, 상판(131a)의 이동후 상기 스프링(131d)의 복원력에 의해 강하게 위치 고정된다.For example, in order to move the jig 110 in the X direction, the X micrometer 131g coupled to the X stage 131 of the jig stage 130 is adjusted. That is, when the X micrometer 131g is adjusted, the rod 131h pushes the ball 131i coupled to the top plate 131a of the X stage 131 in one direction, and thus the top plate of the X stage 131. 131a moves in the X direction. Of course, at this time, the top plate 131a is smoothly moved in the X direction by the cross roller bearing 131c. Furthermore, the spring 131d is provided between the upper plate 131a and the lower plate 131b, thereby being strongly fixed by the restoring force of the spring 131d after the upper plate 131a is moved.

이어서, 지그(110)를 Y 방향으로 이동시키기 위해서는 지그 스테이지(130)중 Y 스테이지(132)에 결합된 Y 마이크로 메터(132f)를 조정한다. 즉, Y 마이크로 메터(132f)를 조정하면, 로드(132g)가 Y 스테이지(132)중 상판(132a)에 브라켓(132h)을 통하여 결합된 볼트(132i)를 일측 방향으로 밀게 되고, 이에 따라 Y 스테이지(132)중 상판(132a)이 Y 방향으로 이동하게 된다. 물론, 이때 상기 상판(132a)은 크로스 롤러 베어링(132c)에 의해 부드럽게 Y 방향으로 움직이게 된다. 더욱이, 상판(132a)과 하판(132b) 사이에는 스프링(132d)이 설치되어 있음으로써, 상판(132a)의 이동후 상기 스프링(132d)의 복원력에 의해 강하게 위치 고정된다.Subsequently, in order to move the jig 110 in the Y direction, the Y micrometer 132f coupled to the Y stage 132 of the jig stage 130 is adjusted. That is, when the Y micrometer 132f is adjusted, the rod 132g pushes the bolt 132i coupled to the top plate 132a of the Y stage 132 through the bracket 132h in one direction, and thus Y The upper plate 132a of the stage 132 moves in the Y direction. Of course, at this time, the top plate 132a is smoothly moved in the Y direction by the cross roller bearing 132c. In addition, the spring 132d is provided between the upper plate 132a and the lower plate 132b, thereby being strongly fixed by the restoring force of the spring 132d after the upper plate 132a is moved.

이어서, 지그(110)를 θ 방향으로 일정 각도 회전시키기 위해서는 지그 스테 이지(130)중 θ 스테이지(133)에 결합된 θ 마이크로 메터(133d)를 조정한다. 즉, θ 마이크로 메터(133d)를 조정하면, 로드(133e)가 Y 스테이지(132)중 하판(132b)에 결합된 돌출바(133i)를 일정 방향으로 밀게 되고, 이에 따라 Y 스테이지(132)의 하판(132b)이 회전 중심축(133b)을 통해서 일정 각도 회전하게 된다. 물론, 이러한 회전은 X 스테이지(131)에도 그대로 전달된다. 또한, 상기 θ 마이크로 메터(133d)의 조정에 의해 브라켓(133f)에 결합된 볼트(133g)가 스프링(133h)의 탄성력에 의해 상기 돌출바(133i)를 θ 마이크로 메터(133d)의 로드(133e)쪽으로 미는 상태가 되기 때문에, 그 회전 상태는 강하게 유지된다.Subsequently, in order to rotate the jig 110 by a predetermined angle in the θ direction, the θ micrometer 133d coupled to the θ stage 133 of the jig stage 130 is adjusted. That is, when the θ micrometer 133d is adjusted, the rod 133e pushes the protruding bar 133i coupled to the lower plate 132b of the Y stage 132 in a predetermined direction, and thus the Y stage 132 The lower plate 132b is rotated at an angle through the rotation center axis 133b. Of course, this rotation is transmitted to the X stage 131 as it is. Further, the bolt 133g coupled to the bracket 133f by the adjustment of the θ micrometer 133d moves the protruding bar 133i by the elastic force of the spring 133h to the rod 133e of the θ micrometer 133d. Because it is in a state of pushing toward), the rotation state is kept strong.

이와 같이 X 마이크로 메터(131g), Y 마이크로 메터(132f) 및 θ 마이크로 메터(133d)를 이용하여 지그(110)를 소정 방향으로 이동시킴으로써, 디스플레이 패널(101)에 형성된 십자형 기준 패턴(105)을 모니터(166)에 표시된 십자형 기준 위치(167)와 정확하게 일치시킨다.As such, the cross reference pattern 105 formed on the display panel 101 is moved by moving the jig 110 in a predetermined direction by using the X micrometer 131g, the Y micrometer 132f, and the θ micrometer 133d. It exactly matches the cross reference position 167 displayed on the monitor 166.

이후 검사부(160)를 작동시킨다. 즉, 실린더(164)를 작동시키면, 상기 실린더(164)의 승강 블록(161)에 장착된 프로브 카드(161)가 일정 거리 하강한다. 따라서, 상기 프로브 카드(161)의 하면에 형성된 다수의 프로브 핀(162)이 상기 디스플레이 패널(101)에 형성된 다수의 입출력 패턴(104)에 전기적으로 연결된다. 이때, 상기 승강 블록(161)의 하부에는 또다른 마이크로 메터(165)가 설치되어 있음으로서, 상기 승강 블록(161)의 하강 거리는 정확하게 제한되고, 따라서, 상기 프로브 핀(162)에 의한 디스플레이 패널(101)의 입출력 패턴(104) 파손이나 유리 기판의 파손이 방지된다.After that, the inspection unit 160 is operated. That is, when the cylinder 164 is operated, the probe card 161 mounted on the lifting block 161 of the cylinder 164 descends by a predetermined distance. Therefore, the plurality of probe pins 162 formed on the bottom surface of the probe card 161 are electrically connected to the plurality of input / output patterns 104 formed on the display panel 101. In this case, since another micrometer 165 is installed below the elevating block 161, the lowering distance of the elevating block 161 is precisely limited, and therefore, the display panel by the probe pin 162 ( Breakage of the input / output pattern 104 and breakage of the glass substrate of 101 are prevented.

물론, 이러한 검사부(160)의 작동에 의해 검사자는 디스플레이 패널(101)을 통해 표시되는 각종 영상을 시각적으로 검사함으로써, 디스플레이 패널(101)의 이상 여부를 확인하게 된다.Of course, by the operation of the inspection unit 160, the inspector visually inspects various images displayed through the display panel 101 to confirm whether the display panel 101 is abnormal.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사용 그로스 테스트 지그 장치는 검사를 위해 지그에 안착되는 디스플레이 패널의 X,Y,θ 위치를 정확한 기준 위치로 조정할 수 있게 된다.As described above, the gross test jig device for inspecting the display panel according to the present invention can adjust the X, Y, and θ positions of the display panel seated on the jig for inspection to an accurate reference position.

따라서, 검사부의 프로브 핀을 디스플레이 패널의 입출력 패턴에 정확하게 접촉시킬 수 있고, 따라서 디스플레이 패널의 동작 검사를 정확하고 신속하게 할 수 있다.Therefore, the probe pin of the inspection unit can be accurately brought into contact with the input / output pattern of the display panel, and thus the operation inspection of the display panel can be accurately and quickly performed.

또한, 본 발명에 의한 디스플레이 패널 검사용 그로스 테스트 지그 장치는 검사부의 프로브 핀이 디스플레이 패널의 입출력 패턴에 항상 동일한 힘으로 접촉되도록 함으로써, 정확한 전기적 접촉은 물론 검사중 입출력 패턴 또는 유리 기판의 파손을 방지할 수 있게 된다.In addition, the gross test jig device for inspecting the display panel according to the present invention allows the probe pins of the inspector to always contact the input / output pattern of the display panel with the same force, thereby preventing damage to the input / output pattern or the glass substrate during the inspection as well as accurate electrical contact. You can do it.

이상에서 설명한 것은 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사용 그로스 테스트 지그 장치를 실시하기 위한 하나의 실시예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.What has been described above is only one embodiment for implementing the gross test jig device for inspecting the display panel according to the present invention, the present invention is not limited to the above embodiment, as claimed in the following claims Without departing from the gist of the present invention, anyone of ordinary skill in the art will have the technical spirit of the present invention to the extent that various modifications can be made.

Claims (16)

적어도 하나의 기준 패턴 및 다수의 입출력 패턴이 형성된 디스플레이 패널이 상부에 안착되는 지그와, 상기 지그의 내측에 설치되며, 상기 디스플레이 패널을 진공 흡착하여 고정하는 흡착부와, 상기 지그의 하부에 설치되며, 상기 지그의 위치를 X,Y,θ방향으로 이동시키는 지그 스테이지와, 상기 지그 스테이지의 일측 하부에 설치되며, 상기 지그를 통하여 상기 디스플레이 패널의 기준 패턴을 촬영하는 카메라와, 상기 카메라의 일측에 설치되어, 상기 카메라의 위치를 X,Y 방향으로 이동시키는 카메라 스테이지와, 상기 지그의 일측 상부에 설치되며, 상기 지그에 안착된 디스플레이 패널의 입출력 패턴에 전기적으로 접속되는 검사부를 포함하고,A jig in which a display panel having at least one reference pattern and a plurality of input / output patterns formed thereon is mounted on an upper side, an inside of the jig, an adsorption unit which vacuum-adsorbs the display panel, and a lower side of the jig. And a jig stage for moving the position of the jig in X, Y, and θ directions, a camera installed under one side of the jig stage, and photographing a reference pattern of the display panel through the jig, and on one side of the camera. It is installed, the camera stage for moving the position of the camera in the X, Y direction, and installed on one side of the jig, the inspection unit is electrically connected to the input and output pattern of the display panel seated on the jig, 상기 검사부는 상기 지그에 안착된 디스플레이 패널의 입출력 패턴에 전기적으로 접속되도록 다수의 프로브 핀을 갖는 프로브 카드와, 상기 프로브 카드가 안착된 승강 블록과, 상기 승강 블록을 상,하 방향으로 이동시키는 실린더로 이루어지고,The inspection unit includes a probe card having a plurality of probe pins so as to be electrically connected to an input / output pattern of a display panel seated on the jig, a lift block on which the probe card is seated, and a cylinder for moving the lift block in an up and down direction. Made up of 상기 승강 블록의 하단에는 상기 승강 블록의 하강 거리를 제한하는 하강 제한용 마이크로 메터가 장착되고,The lower end of the elevating block is equipped with a micrometer for the lowering limit to limit the falling distance of the elevating block, 상기 지그는 판 형태를 하며 디스플레이 패널이 안착되도록 상부에 안착홈이 형성되고, 상기 디스플레이 패널의 기준 패턴과 대응되는 하부에는 개구가 형성되며,The jig has a plate shape and a seating groove is formed in the upper portion so that the display panel is seated, and an opening is formed in the lower portion corresponding to the reference pattern of the display panel. 상기 흡착부는 상기 지그의 안착홈 내부에 다수의 흡착 호스가 배열되어, 상기 안착홈에 안착된 디스플레이 패널을 진공 흡착하며,The adsorption unit has a plurality of adsorption hoses are arranged in the seating groove of the jig, so as to vacuum suck the display panel seated in the seating groove, 상기 지그 스테이지는 상기 지그의 하부에 결합되며, 상판과 하판이 상대적으로 이동 가능하게 크로스 롤러 베어링으로 상호 결합되고, 상기 하판에는 상기 상판의 위치를 이동시키는 X 마이크로 메터가 고정된 X 스테이지와, 상기 X 스테이지의 하부에 결합되며, 상판과 하판이 상대적으로 이동 가능하게 크로스 롤러 베어링으로 상호 결합되고, 상기 하판에는 상기 상판의 위치를 이동시키는 Y 마이크로 메터가 고정된 Y 스테이지와, 상기 Y 스테이지의 하판에 롤러 베어링으로 회전 중심축을 갖는 지지판이 결합되고, 상기 지지판에는 상기 Y 스테이지의 하판을 θ 각도만큼 회전시킬 수 있는 θ 마이크로 메터가 고정된 θ 스테이지를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사용 그로스 테스트 지그 장치.The jig stage is coupled to the lower portion of the jig, the upper plate and the lower plate is mutually coupled to the cross roller bearing so as to be relatively movable, the lower plate X stage is fixed to the X micrometer for moving the position of the upper plate, Y stage is coupled to the lower part of the X stage, the upper plate and the lower plate is mutually coupled to the cross roller bearing so as to be relatively movable, the lower stage of the Y stage is fixed to the Y micrometer for moving the position of the upper plate, The support plate having a central axis of rotation is coupled to the roller bearings, and the support plate includes a θ stage having a fixed θ micrometer that can rotate the lower plate of the Y stage by θ angle. Test jig device. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제 1 항에 있어서, 상기 X 마이크로 메터는 X 스테이지의 하판에 브라켓을 통하여 고정되고, 상기 X 마이크로 메터의 로드는 상기 X 스테이지의 상판에 결합된 볼에 접촉된 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사용 그로스 테스트 지그 장치.The gross for display panel inspection of claim 1, wherein the X micrometer is fixed to the bottom plate of the X stage by a bracket, and the rod of the X micrometer is in contact with a ball coupled to the top plate of the X stage. Test jig device. 제 1 항에 있어서, 상기 Y 마이크로 메터는 Y 스테이지의 하판에 브라켓을 통하여 고정되고, 상기 Y 스테이지의 상판에는 하부로 일정 길이 연장된 브라켓이 결합되며, 상기 브라켓에는 볼트가 결합되고, 상기 Y 마이크로 메터는 상기 볼트에 접촉된 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사용 그로스 테스트 지그 장치.According to claim 1, wherein the Y micrometer is fixed to the lower plate of the Y stage through the bracket, the upper plate of the Y stage is coupled to the bracket extending a certain length to the bottom, the bracket is coupled to the Y micro, The gross test jig device for inspecting the display panel, characterized in that the meter is in contact with the bolt. 제 1 항에 있어서, 상기 θ 마이크로 메터는 지지판에 브라켓을 통하여 고정되고, 상기 θ 마이크로 메터와 일정 거리 이격된 지지판에는 스프링이 개재된 볼트가 브라켓을 통하여 결합되며, 상기 θ 마이크로 메터의 로드와 볼트 사이에는 상기 Y 스테이지의 하판으로부터 일정 길이 돌출된 돌출바가 개재된 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사용 그로스 테스트 지그 장치.According to claim 1, wherein the θ micrometer is fixed to the support plate through the bracket, the support plate spaced apart from the θ micrometer a certain distance is coupled to the bolt through the bracket through the bracket, the rod and bolt of the θ micrometer A gross test jig device for inspecting a display panel, wherein a protrusion bar protruding a predetermined length from a lower plate of the Y stage is interposed therebetween. 제 1 항에 있어서, 상기 X 스테이지는 상판과 하판 사이에 스프링이 더 결합된 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사용 그로스 테스트 지그 장치.The gross test jig device of claim 1, wherein the X stage further includes a spring coupled between an upper plate and a lower plate. 제 1 항에 있어서, 상기 Y 스테이지는 상판과 하판 사이에 스프링이 더 결합된 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사용 그로스 테스트 지그 장치.The gross test jig device of claim 1, wherein the Y stage further includes a spring coupled between an upper plate and a lower plate. 제 1 항에 있어서, 상기 X 스테이지의 상판에는 상기 지그의 개구와 연통되는 개구가 더 형성된 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사용 그로스 테스트 지그 장치.The gross test jig device for inspecting a display panel of claim 1, wherein an opening communicating with the opening of the jig is further formed on the upper plate of the X stage. 제 1 항에 있어서, 상기 카메라는 The method of claim 1, wherein the camera 상기 지그에 형성된 개구를 통하여 디스플레이 패널의 기준 패턴을 촬영할 수 있도록 상호 인접한 2개의 렌즈부;Two lens units adjacent to each other so that the reference pattern of the display panel can be photographed through the opening formed in the jig; 상기 각 렌즈부에 대략 직각 방향으로 형성된 광전송부; 및,An optical transmission unit formed at right angles to each of the lens units; And, 상기 각 광전송부에 결합된 CCD 카메라를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사용 그로스 테스트 지그 장치.And a gross test jig device for inspecting a display panel comprising a CCD camera coupled to each of the optical transmission units. 제 11 항에 있어서, 상기 카메라 스테이지는The method of claim 11, wherein the camera stage 상기 광전송부에 외측으로 일정 길이 연장되어 형성된 이송 블록;A transfer block formed by extending a predetermined length to the outside of the optical transmission unit; 상기 이송 블록에 X 방향으로 결합되어, 상기 이송 블록을 X 방향으로 이동시키는 X 방향 손잡이; 및,An X-direction handle coupled to the transfer block in an X direction to move the transfer block in an X direction; And, 상기 이송 블록에 Y 방향으로 결합되어, 상기 이송 블록을 Y 방향으로 이동시키는 Y 방향 손잡이로 이루어진 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사용 그로스 테스트 지그 장치.The gross test jig device for inspecting the display panel is coupled to the transfer block in the Y direction, and made of a Y-direction handle for moving the transfer block in the Y direction. 삭제delete 삭제delete 제 1 항에 있어서, 상기 카메라에는 상기 카메라로 촬영된 디스플레이 패널의 기준 패턴이 확대되어 표시되도록 모니터가 더 연결된 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사용 그로스 테스트 지그 장치.The gross test jig device for inspecting a display panel of claim 1, wherein a monitor is further connected to the camera such that a reference pattern of the display panel photographed by the camera is enlarged and displayed. 제 1 항에 있어서, 상기 지그는 하부에 디스플레이 패널에 조명을 제공하도록 백라이트가 더 설치된 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사용 그로스 테스트 지그 장치.The gross test jig device for inspecting a display panel according to claim 1, wherein the jig further includes a backlight installed under the jig to provide illumination to the display panel.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101191903B1 (en) 2012-08-20 2012-10-16 (주)에스엠디에스피 Apparatus for inspecting graphic evaluation of display
KR101248136B1 (en) 2011-12-06 2013-03-28 양 전자시스템 주식회사 Jig apparatus for align of probe card
KR20230080934A (en) * 2021-11-30 2023-06-07 다래비젼주식회사 Inspection Apparatus for Backlight vacuum adsorption module

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100851960B1 (en) * 2006-11-20 2008-08-12 한성욱 Tilt & rotation stage for semiconductor production
KR101378997B1 (en) * 2012-12-14 2014-03-27 (주) 루켄테크놀러지스 Intergrated testing appatus for panel and method of aligning testing appatus for panel
CN108120879B (en) * 2018-02-28 2024-03-12 昆山龙雨智能科技有限公司 Capacitive resistance testing device of screen connector
CN109901312B (en) * 2019-03-05 2024-07-12 武汉精毅通电子技术有限公司 Detection equipment for display panel cell section
CN113643634B (en) * 2021-07-13 2024-02-13 蚌埠国显科技有限公司 Electric measurement frame convenient for angle adjustment
KR102620388B1 (en) * 2021-11-17 2024-01-03 다래비젼주식회사 Backlight vacuum adsorption module

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08313857A (en) * 1995-05-19 1996-11-29 Eng Syst Kk Lcd panel positioning mechanism
KR19990086296A (en) * 1998-05-27 1999-12-15 윤종용 Screen output inspection and adjustment device of video display and method
KR20010100974A (en) * 2000-05-03 2001-11-14 스트리드 에릭 더블유. Indexing rotatable chuck for a probe station
KR20040056123A (en) * 2002-12-23 2004-06-30 삼성전자주식회사 Exposure system and exposure method of semiconductor wafer
KR20050033164A (en) * 2003-10-06 2005-04-12 바이옵트로 주식회사 Automatic alignment method for visual quality inspection of fpd

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08313857A (en) * 1995-05-19 1996-11-29 Eng Syst Kk Lcd panel positioning mechanism
KR19990086296A (en) * 1998-05-27 1999-12-15 윤종용 Screen output inspection and adjustment device of video display and method
KR20010100974A (en) * 2000-05-03 2001-11-14 스트리드 에릭 더블유. Indexing rotatable chuck for a probe station
KR20040056123A (en) * 2002-12-23 2004-06-30 삼성전자주식회사 Exposure system and exposure method of semiconductor wafer
KR20050033164A (en) * 2003-10-06 2005-04-12 바이옵트로 주식회사 Automatic alignment method for visual quality inspection of fpd

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1020010100974

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101248136B1 (en) 2011-12-06 2013-03-28 양 전자시스템 주식회사 Jig apparatus for align of probe card
KR101191903B1 (en) 2012-08-20 2012-10-16 (주)에스엠디에스피 Apparatus for inspecting graphic evaluation of display
KR20230080934A (en) * 2021-11-30 2023-06-07 다래비젼주식회사 Inspection Apparatus for Backlight vacuum adsorption module
KR102667582B1 (en) * 2021-11-30 2024-05-22 다래비젼주식회사 Inspection Apparatus for Backlight vacuum adsorption module

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