KR100906370B1 - Stage moving apparatus for use of multisorter - Google Patents

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Abstract

본 발명은 멀티소터의 스테이지 이송장치를 개시한다.The present invention discloses a multi-sort stage feeder.

프레임본체와 2개의 스테이지와 이송부 및 이송벨트를 구동하는 구동수단을 갖는 구동부를 포함하여 이루어고, 상기 구동부는, 제 1구동수단과 제 2구동수단으로 구성하여 상기 구동프레임의 모터를 형성한 타측에 모터의 회전축과 연결된 메인롤러와, 상기 메인롤러 양측으로 상,하로 형성한 보조롤러들과, 상기 보조롤러의 일측에 형성된 보조롤러와, 상기 메인롤러와 보조롤러 및 보조롤러를 일측을 감싸며 서로 연결하는 작동벨트로 형성한 제 1구동수단과; 상기 메인롤러와 보조롤러의 일측면에 이송벨트를 작동하는 이송롤러들과, 상기 이송롤러 양측 하단으로 이격되게 형성한 하부이송롤러들과, 상기 이송롤러 양측 상단으로 이격되게 형성한 보조이송롤러들과, 상기 하부이송롤러 상부인 프레임본체의 가이드바 상단에 형성한 상부이송롤러들과, 상기 이송롤러들과 하부이송롤러들 및 보조이송롤러들 그리고 상부이송롤러들을 일측을 감싸며 서로 연결한 이송벨트들로 형성한 제 2구동수단을 포함하는 멀티소터의 스테이지 이송장치를 제공한다.And a drive unit having a frame body, two stages, and a drive unit for driving the transfer unit and the transfer belt, wherein the drive unit is formed of a first drive unit and a second drive unit to form the motor of the drive frame. The main roller connected to the rotating shaft of the motor, the auxiliary rollers formed up and down on both sides of the main roller, the auxiliary roller formed on one side of the auxiliary roller, and the main roller, the auxiliary roller and the auxiliary roller are wrapped on one side. A first driving means formed by an operation belt for connecting; Feed rollers for operating the conveying belt on one side of the main roller and the auxiliary roller, lower feed rollers formed to be spaced apart at both ends of the feed rollers, and auxiliary feed rollers formed to be spaced apart from the upper ends of the feed rollers And, the upper conveying rollers formed on the top of the guide bar of the frame body that is the lower conveying rollers, the conveying belts and the lower conveying rollers and the auxiliary conveying rollers and the upper conveying rollers are wrapped around one side and connected to each other transport belt Provided is a multi-sorted stage feeder comprising a second driving means formed by the.

멀티소터, 스테이지, 웨이퍼, 구동부, 이송벨트, 작동벨트 Multi-Sorter, Stage, Wafer, Drive, Transfer Belt, Operation Belt

Description

멀티소터의 스테이지 이송장치{STAGE MOVING APPARATUS FOR USE OF MULTISORTER}Stage feeder of multi-sorter {STAGE MOVING APPARATUS FOR USE OF MULTISORTER}

본 발명은 멀티소터에 관한 것으로 특히, 카세트가 재치된 2개의 스테이지가 승,하강됨으로서, 웨이퍼를 연속하여 이송, 정렬할 수 있는 멀티소터의 스테이지 이송장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a multi-sorter, and more particularly, to a multi-sorted stage transfer apparatus capable of continuously transferring and aligning wafers by raising and lowering two stages on which cassettes are placed.

일반적으로, 첨부 도면 중 도 1은 웨이퍼 소팅을 위하여 사용중인 Brooks사의 UL408S장비의 외관 사시도를 도시한 것으로, 종래 웨이퍼 소팅장치는 상기 도 1에서 보여지는 바와 같이 각 카세트에 적재된 웨이퍼를 카세트 중간에 설치된 웨이퍼 이송기에 의해 자동으로 필요한 공정별 해당 카세트로 이송 적재시키는 역할을 수행하게 된다.In general, Figure 1 of the accompanying drawings shows a perspective view of the Brooks UL408S equipment in use for the wafer sorting, the conventional wafer sorting apparatus as shown in Figure 1 the wafer loaded in each cassette in the middle of the cassette The wafer transfer machine is installed to automatically transfer and load the corresponding cassette for each required process.

또한, 소터장비는 낱장의 웨이퍼를 트랜스퍼 로봇(wafer transfer robot)에 의해 정렬기(alligner, 이하 얼라이너,정렬기라 함)에서 웨이퍼 정렬을 하고 OCR 판독기로 웨이퍼 정보를 읽어 웨이퍼를 처리하게 된다.In addition, the sorter equipment aligns the wafers in an alligner (hereinafter, aligner, aligner) by a transfer transfer robot, and processes wafers by reading wafer information with an OCR reader.

특히, 정렬기(얼라이너)는 웨이퍼 한장의 처리만 가능하므로 이를 처리하기 위한 OCR 시스템의 사용장비도 낱장의 처리방식이 일반적이었다. In particular, since the aligner (aligner) can only process one wafer, the equipment used in the OCR system for processing the wafer is a single sheet.

따라서, 상기 스테이지에 재치된 카세트에 적재된 웨이퍼들을 작업상태에 따라 위치를 일일이 변경하여 핸들링 로봇을 통해 한장씩만 작업하게 됨으로서, 웨이퍼의 생산수율면에서 제한을 받는 문제점이 있었다.Therefore, since the wafers loaded in the cassette placed on the stage are changed one by one according to the working state, only one sheet is processed by the handling robot, thereby limiting the yield of the wafers.

이와 같은, 종래 스테이지의 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 상,하로 2개의 스테이지를 구성하여 스테이지에서 빠르게 웨이퍼 교체작업을 할 수 있는 멀티소터의 스테이지 이송장치를 제공하는데 있다. An object of the present invention for solving the problems of the conventional stage is to provide a stage transfer apparatus of a multi-sorter that can be configured to two stages up and down to quickly replace the wafer at the stage.

또한, 본 발명의 또다른 목적은 스테이지가 안정되게 수평으로 상,하로 승,하강하도록 스테이지를 양측에서 이송되게 작동하여 스테이지에 재치된 카세트에 적층된 웨이퍼가 수평이송되어 웨이퍼 작업 중 불량이 발생하는 것을 방지하는 멀티소터의 스테이지 이송장치를 제공하는데 있다.In addition, another object of the present invention is to operate the stage from both sides to move the stage up and down horizontally stably horizontally, so that the wafer stacked in the cassette placed on the stage is horizontally transferred so that defects occur during wafer operation. It is to provide a multi-sorted stage feeder to prevent that.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 멀티소터의 스테이지 이송장치는,In order to achieve the above object, the multi-sorted stage feeder of the present invention is

양측으로 이격되고 내측에 이송벨트를 갖는 기둥형상의 가이드바와, 상기 가이드바를 하단부를 고정하는 받침프레임과, 상기 양측 가이드바 내측면에 형성된 엘엠가이드를 형성한 프레임본체; 상기 프레임본체 양측의 가이드바 사이로 웨이퍼 카세트가 재치되는 상,하로 이격되게 형성된 2개의 스테이지; 상기 스테이지들을 상부에 고정하는 받침대와, 상기 스테이지들을 지지하는 받침대를 이격되게 고정하는 고정판과, 상기 고정판을 프레임본체에 형성된 엘엠가이드에서 연결하는 이송구와, 상기 고정판과 프레임본체의 이송벨트를 서로 연결하는 고정구를 형성한 이송부; 상기 프레임본체의 받침프레임에 고정되는 판체형상의 구동프레임과, 상기 구동프레임 일측에 구동부에 작동하는 모터와, 상기 모터와 연결되어 프레임본체의 이송벨트를 구동하는 구동수단을 갖는 구동부를 포함하여 이루어진다.A frame body having a pillar-shaped guide bar spaced apart from both sides and having a conveying belt therein, a supporting frame fixing the lower end of the guide bar, and an LM guide formed on inner surfaces of the guide bars; Two stages spaced apart from each other, the wafer cassette being placed between guide bars on both sides of the frame body; A pedestal for fixing the stages to the upper portion, a fixing plate for fixing the pedestals for supporting the stages spaced apart from each other, a transfer hole connecting the fixing plate to an LM guide formed in the frame body, and a connection belt of the fixing plate and the frame body to each other. A conveying part formed of a fixture; And a drive unit having a plate-shaped drive frame fixed to the support frame of the frame body, a motor operated at a drive unit on one side of the drive frame, and a drive unit connected to the motor to drive the conveying belt of the frame body. .

또한, 상기 구동부는, 상기 프레임본체 양측 가이드바들의 이송벨트에 동력을 동시에 전달하여 이송부를 승,하강시키기 위해 제 1구동수단과 제 2구동수단으로 구성한 구동수단으로 이루어지고; 상기 구동수단은, 상기 구동프레임의 모터 타측에 연결된 메인롤러와, 상기 메인롤러 양측으로 상,하로 형성한 보조롤러들과, 상기 보조롤러의 일측에 형성된 보조롤러와, 상기 메인롤러와 보조롤러 및 보조롤러를 일측을 감싸며 서로 연결하는 작동벨트로 형성한 제 1구동수단과; 상기 메인롤러와 보조롤러의 일측면에 이송벨트를 작동하는 이송롤러들과, 상기 이송롤러 양측 하단으로 이격되게 형성한 하부이송롤러들과, 상기 이송롤러 양측 상단으로 이격되게 형성한 보조이송롤러들과, 상기 하부이송롤러 상부인 프레임본체의 가이드바 상단에 형성한 상부이송롤러들과, 상기 이송롤러들과 하부이송롤러들 및 보조이송롤러들 그리고 상부이송롤러들을 일측을 감싸며 서로 연결한 이송벨트들로 형성한 제 2구동수단을 포함하여 이루어진다. The driving unit may include driving means including first driving means and second driving means for simultaneously transmitting power to the transfer belts of the guide bars on both sides of the frame body to move up and down the transfer unit; The driving means includes a main roller connected to the other side of the drive frame, auxiliary rollers formed up and down on both sides of the main roller, an auxiliary roller formed on one side of the auxiliary roller, the main roller and the auxiliary roller, A first driving unit formed of an operation belt which surrounds one side of the auxiliary rollers and connects the auxiliary rollers; Feed rollers for operating the conveying belt on one side of the main roller and the auxiliary roller, lower feed rollers formed to be spaced apart at both ends of the feed rollers, and auxiliary feed rollers formed to be spaced apart from the upper ends of the feed rollers And, the upper conveying rollers formed on the top of the guide bar of the frame body that is the lower conveying rollers, the conveying belts and the lower conveying rollers and the auxiliary conveying rollers and the upper conveying rollers are wrapped around one side and connected to each other transport belt It comprises a second driving means formed by the.

또한, 상기 작동벨트는, 상기 메인롤러와 보조롤러를 서로 다른 방향에서 회전하게 감싸도록 형성하고; 상기 메인롤러와 보조롤러의 그 일측면에 각각 이송롤러를 일체로 형성하며; 상기 이송벨트는, 상기 이송롤러 및 하,상부이송롤러와 보조롤러를 서로 다른 방향에서 회전하게 감싸도록 형성하여 이루어진다.In addition, the operation belt is formed to surround the main roller and the auxiliary roller to rotate in different directions; A feed roller is integrally formed on one side of each of the main roller and the auxiliary roller; The conveying belt is formed by surrounding the conveying roller and the lower and upper conveying roller and the auxiliary roller to rotate in different directions.

본 발명은 멀티소터의 스테이지 이송장치는 기존의 웨이터 스테이지가 하나로 되어 있어 빠르게 작업하지 못하는 것을 방지하기 위해 2개의 스테이지가 왕복 하여 승,하강되도록 함으로서, 스테이지에서 빠르게 웨이퍼 교체작업을 할 수 있는 효과가 있다. According to the present invention, the multi-sort stage feeder has a conventional waiter stage as one, so that the two stages can be reciprocated to move up and down in order to prevent the work from being performed quickly. have.

특히, 본 발명은 상,하로 승,하강하는 스테이지를 양측에서 이송되게 작동하여 스테이지가 안전하게 수평이송함으로서, 스테이지에 재치된 카세트에 적층된 웨이퍼가 수평이송되어 웨이퍼 작업의 불량을 방지하는 효과가 있다.In particular, the present invention operates to move the stage up and down to move from both sides, so that the stage is safely horizontally transferred, the wafer stacked in the cassette placed on the stage is horizontally transferred to prevent the defect of the wafer operation .

이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부도면에 의거 구체적으로 설명하면 다음과 같다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

첨부 도면 중 도 2는 본 발명에 따른 멀티소터의 스테이지 이송장치가 적용된 멀티소터를 도시한 외부 사시도이다. Figure 2 of the accompanying drawings is a perspective view showing a multi-sorter is applied to the multi-stage stage feeder according to the present invention.

이 도면은 본 발명 멀티소터의 스테이지 이송장치(100)가 적용되어 실제 설치 운용되는 전체적인 멀티소터를 나타내고 있다.This figure shows the overall multi-sorter which is actually installed and operated by applying the stage feeder 100 of the multi-sorter of the present invention.

첨부 도면 중 도 3은 본 발명에 따른 멀티소터의 스테이지 이송장치(100)가 적용된 멀티소터를 도시한 전체 사시도이다.Figure 3 of the accompanying drawings is a perspective view showing a multi-sorter applied to the stage transfer apparatus 100 of the multi-sorter according to the present invention.

이 도면에서 도시하는 멀티소터는 외부 커버를 제거한 내부 도면으로 여러가지 기능의 멀티소터 전부를 포함하고 있다.The multi-sorter shown in this figure is an inner view with the outer cover removed, and includes all of the multi-sorts of various functions.

본 발명에서는 스테이지 이송장치만을 발췌하여 구체적으로 설명하며, 스테이지 이송장치는 일측에 적용되고 있다.In the present invention, only the stage transfer device will be described in detail and the stage transfer device is applied to one side.

도 4와 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 멀티소터 내에 설치되는 스테이지 이송장치(100)의 프레임본체(1)는 양측으로 이격되고 내측에 이송벨트(4; 도 6및 도7참조)를 갖는 기둥형상의 가이드바(12)를 형성하고, 그 하단부를 고정하는 받침프레임(11)을 형성한다. 이때, 상기 가이드바(12)들은 내측면에 엘엠가이드(121)를 형성한다.As shown in Figures 4 and 5, the frame body 1 of the stage feeder 100 installed in the multi-sorter according to the present invention is spaced to both sides and the conveying belt 4 on the inside (see Figs. 6 and 7). The guide bar 12 of the columnar shape having a) is formed, and the supporting frame 11 fixing the lower end thereof is formed. In this case, the guide bars 12 form the LM guide 121 on the inner surface.

한편, 상기 프레임본체(1)의 안정성을 위해 가이드바(12)들 상단부를 연결고정하는 고정프레임(14)을 형성하여 프레임본체(1)가 "구(口)"형상을 갖도록 하는 것이 바람직하다. On the other hand, for the stability of the frame body (1) it is preferable to form a fixed frame 14 for fixing the upper ends of the guide bars 12 so that the frame body (1) has a "sphere" shape (gu) (口) shape. .

이때, 스테이지(5)들이 설치된 받침대(131)이 상기 프레임본체(1) 양측의 가이드바(12)들 사이로 웨이퍼 카세트가 재치되도록 상,하로 이격되게 형성한다.At this time, the pedestal 131 provided with the stages 5 are formed to be spaced up and down so that the wafer cassette is placed between the guide bars 12 on both sides of the frame body 1.

즉, 상기 스테이지(5)들을 탑재하여 가이드바(12)들 사이에서 이송하는 이송부(13)는, 받침대(131)와 고정판(132) 및 이송구(133)와 고정구(134)로 이루어진다.That is, the transfer unit 13 mounted with the stages 5 and transferred between the guide bars 12 includes a pedestal 131, a fixed plate 132, a transfer hole 133, and a fixture 134.

이와 같이, 상기 이송부(13)의 받침대(131)는 판체형상으로 형성하여 스테이지(5)를 상부에 고정하고, 상기 고정판(132)은 스테이지(5)와 받침대(131) 일체를 상,하 이격하여 고정하며, 상기 이송구(133)는 고정판(132)에 고정된 스테이지(5)와 받침대(131)들이 프레임본체(1)에 형성된 가이드바(12)의 엘엠가이드(121)에서 동작하도록 연결하여 설치하며, 상기 고정구(134)는 고정판(132)이 엘엠가이드(121)를 타고 상,하운동하도록 동력을 전달하는 프레임본체(1)의 이송벨트(4)에 서로 연결하여 설치한다.As such, the pedestal 131 of the conveying part 13 is formed in a plate shape to fix the stage 5 to the upper portion, and the fixing plate 132 up and down the stage 5 and the pedestal 131 integrally. Spaced apart and fixed, the transfer hole 133 is a stage 5 and the pedestal 131 fixed to the fixing plate 132 to operate in the LM guide 121 of the guide bar 12 formed on the frame body (1) The fastener 134 is connected to each other and installed on the conveying belt 4 of the frame body 1 which transmits power so that the fixing plate 132 moves up and down by using the M guide 121.

이때, 상기 이송부(13)를 프레임본체(1)에서 동작하도록 동력을 공급하는 구동부(2)는 구동프레임(21)과 모터(22)및 구동수단(20)으로 이루어진다.At this time, the drive unit 2 for supplying power to operate the transfer unit 13 in the frame body 1 is composed of a drive frame 21, the motor 22 and the drive means 20.

이와 같이, 상기 구동부(2)의 구동프레임(21)은 판체형상으로 형성하여 프레 임본체(1)의 받침프레임(11)의 상단에 형성하고, 그 일측면에 구동부(2)를 작동하는 모터(22)를 설치하며, 상기 구동수단(20)은 상기 모터(22)와 연결되어 프레임본체(1)의 이송벨트(4)를 구동하도록 연결하여 설치한다.In this way, the drive frame 21 of the drive unit 2 is formed in the shape of a plate body formed on the upper end of the support frame 11 of the frame body 1, the drive unit 2 to operate on one side The motor 22 is installed, and the driving means 20 is connected to the motor 22 so as to drive the transfer belt 4 of the frame body 1 to be installed.

이하, 상기 구동부(2)의 구동수단(20)을 일실시예에 따라 보다 상세히 설명한다.Hereinafter, the driving means 20 of the driving unit 2 will be described in more detail according to an embodiment.

도 5는 본 발명에 따른 A부분을 도시한 확대단면도이고, 도 6은 본 발명에 따른 스테이지 이송장치의 구동부를 도시한 요부발췌 확대사시도이다.Figure 5 is an enlarged cross-sectional view showing a portion A in accordance with the present invention, Figure 6 is an enlarged perspective view showing the excerpts portion showing the drive unit of the stage transfer apparatus according to the present invention.

도 6과 도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 스테이지(5)들을 이송하는 구동부(2)는 상기 프레임본체(1) 양측 가이드바(12)들의 이송벨트(4)에 동력을 동시에 전달하여 상기 이송부(13)가 안정적으로 승,하강시키기 위해, 특히 상기 구동부(2)를 제1구동수단(20a)과 제2구동수단(20b)으로 구성된 구동수단을 구비한다.As shown in Figure 6 and 7, the drive unit 2 for transferring the stages 5 according to the present invention simultaneously transmits power to the transfer belt 4 of the guide bar 12 on both sides of the frame body (1). In order for the transfer part 13 to move up and down stably, in particular, the drive part 2 includes a drive means composed of a first drive means 20a and a second drive means 20b.

이에 따라, 상기 구동부(2)의 구동수단(20) 중 제1구동수단(20a)을 보다 상세히 설명하면, 상기 제1구동수단(20a)은, 메인롤러(23)와 보조롤러(25)들 및 보조롤러(24)와 작동벨트(3)로 이루어진다.Accordingly, when the first driving means 20a of the driving means 20 of the driving unit 2 is described in more detail, the first driving means 20a includes the main roller 23 and the auxiliary rollers 25. And an auxiliary roller 24 and an operation belt 3.

이때, 상기 메인롤러(23)는 구동프레임(21)의 모터(22) 타측에서 상기 모터(22)의 회전축과 연결하고, 상기 보조롤러(25)들은 메인롤러(23) 양측에서 상,하로 형성하며, 상기 보조롤러(24)는 보조롤러(25)들중 어느 한쪽에 형성하며, 상기 작동벨트(3)는 메인롤러(23)와 보조롤러(24) 및 보조롤러(25)들의 일측을 감싸며 서로 연결하여서 된다.At this time, the main roller 23 is connected to the rotating shaft of the motor 22 on the other side of the motor 22 of the drive frame 21, the auxiliary rollers 25 are formed up, down on both sides of the main roller 23 The auxiliary roller 24 is formed on one of the auxiliary rollers 25, and the operation belt 3 surrounds one side of the main roller 23, the auxiliary roller 24, and the auxiliary rollers 25. By connecting to each other.

특히, 상기 작동벨트(3)는 메인롤러(23)와 보조롤러(24)를 서로 다른 방향에 서 회전하도록 하기위해, 상기 작동벨트(3)는 메인롤러(23)와 보조롤러(24), 보조롤러(25)들을 서로 다른 방향에서 감싸도록 해야 한다.In particular, the actuating belt (3) in order to rotate the main roller 23 and the auxiliary roller 24 in different directions, the actuating belt (3) is the main roller 23 and the auxiliary roller 24, The auxiliary rollers 25 should be wrapped in different directions.

즉, 상기 메인롤러(23)를 작동벨트(3)가 시계방향으로 감싸고 있다면, 상기 보조롤러(24)와 및 보조롤러(25)들은 작동벨트(3)가 시계반대방향으로 감싸도록 형성하는 것이다.That is, if the actuating belt 3 wraps the main roller 23 in the clockwise direction, the auxiliary roller 24 and the subrolling rollers 25 are formed to wrap the actuating belt 3 in the counterclockwise direction. .

이와 같이, 상기 메인롤러(23)와 보조롤러(24)를 서로 반대방향으로 감싸기 위해 보조롤러(25)등을 메인롤러(23) 양측 상,하로 구성한 것이다.As such, in order to surround the main roller 23 and the sub roller 24 in opposite directions, the sub roller 25 and the like are configured to be upper and lower sides of the main roller 23.

그리고, 상기 보조롤러(25)들은 본 실시예와 같이 안전성을 위해 메인롤러(23)의 양측 상,하로 구성하는 것이나, 그 설계에 따라 4개미만 즉 1개로만 메인롤러(23)를 기준으로 보조롤러(24)의 타측에 형성할 수도 있을 것이다.In addition, the auxiliary rollers 25 are configured to both the upper and lower sides of the main roller 23 for safety as in the present embodiment, but less than four, that is, only one main roller 23 based on the design thereof. It may be formed on the other side of the auxiliary roller 24.

이와 함께, 상기 작동벨트(3)는 그 장력을 조절하기 위해, 보조롤러(24)와 보조롤러(25)들 사이의 작동벨트(3) 일측면에 장력조절롤러(26)를 두는 것이 바람직하다.Along with this, the actuating belt 3 preferably has a tension adjusting roller 26 on one side of the actuating belt 3 between the sub-roller 24 and the sub-rollers 25 to adjust the tension thereof. .

한편, 상기 구동부(2)의 구동수단(20) 중 제2구동수단(20b)을 보다 상세히 설명하면, 제2구동수단(20b)은 이송롤러(231,241)와 하부이송롤러(232,242) 및 보조이송롤러(233,243)와 상부이송롤러(234,244)를 감싸는 이송벨트(4)를 양측에 대응되게 구성하여 이루어진다.On the other hand, when the second driving means 20b of the driving means 20 of the drive unit 2 will be described in more detail, the second driving means 20b includes the feed rollers 231 and 241 and the lower feed rollers 232 and 242 and the auxiliary feed. The conveying belts 4 surrounding the rollers 233 and 243 and the upper conveying rollers 234 and 244 correspond to both sides.

이때, 상기 이송롤러(231,241)는 메인롤러(23)와 보조롤러(24)의 일측면에 각각 형성하고, 하부이송롤러(232,242)들은 상기 이송롤러(231,241)들의 양측 하단으로 이격되게 형성하며, 보조롤러(233,243)들은 이송롤러(231,241)들 양측 상단으 로 이격되게 형성하며, 상부이송롤러(234,244)들은 하부이송롤러(232,242)들의 상부인 프레임본체(1)의 가이드바(12) 내부 상단에 형성하며, 상기 이송벨트(4)는 이송롤러(231,241)들과 하부이송롤러(232,242)들 및 보조이송롤러(233,243)들 그리고 상부이송롤러(234,244)들을 일측을 감싸며 서로 연결한다.In this case, the feed rollers 231 and 241 are formed on one side of the main roller 23 and the auxiliary roller 24, respectively, and the lower feed rollers 232 and 242 are formed to be spaced apart from both lower ends of the feed rollers 231 and 241, The auxiliary rollers 233 and 243 are formed to be spaced apart from the upper ends of the feed rollers 231 and 241, and the upper feed rollers 234 and 244 are inside the upper guide bar 12 of the frame body 1, which is the upper part of the lower feed rollers 232 and 242. It is formed in, the conveying belt (4) is connected to the conveying rollers (231, 241), the lower conveying rollers (232, 242) and the auxiliary conveying rollers (233, 243) and the upper conveying rollers (234, 244) on one side.

특히, 상기 이송롤러(231,241)는 메인롤러(23)와 보조롤러(24)의 그 일측면에 각각 형성하는 것으로, 즉, 상기 메인롤러(23)와 이송롤러(231) 및 보조롤러(24)와 이송롤러(241)는 각각 일체로 형성함으로서, 상기 이송롤러(231,241)들이 서로 반대방향으로 회전되도록 구성한다.In particular, the feed rollers 231 and 241 are formed on one side of the main roller 23 and the auxiliary roller 24, that is, the main roller 23 and the feed roller 231 and the auxiliary roller 24, respectively. And the feed rollers 241 are formed integrally with each other, so that the feed rollers 231 and 241 are rotated in opposite directions.

즉, 상기 제2구동수단(20b)은 양측에 대응되게 각각 설치되어 이송부(13)를 양측에서 동시에 작동시키기 위한 것이다. 상기 이송롤러(231,241), 하부이송롤러(232,242), 상부이송롤러(234,244)와 보조이송롤러(233,243)은 서로 다른 방향으로 회전하게 이동벨트(4)에 구성된다. That is, the second driving means 20b are respectively installed to correspond to both sides to operate the transfer part 13 simultaneously on both sides. The conveying rollers 231 and 241, the lower conveying rollers 232 and 242, the upper conveying rollers 234 and 244 and the auxiliary conveying rollers 233 and 243 are configured on the moving belt 4 to rotate in different directions.

이와 같이 상기 보조이송롤러(233,243)를 구성하는 것은 상부이송롤러(234.244)에 감싸진 이송벨트(4)는 가이드바(12) 내부에서 작동해야 하기 때문에, 상기 보조이송롤러(233.243)를 통해 상부이송롤러(234.244)의 폭과 같이 조절하도록 하기 위한 것이다. As such, the auxiliary feed rollers 233 and 243 may be configured by the transfer belt 4 wrapped in the upper feed roller 234.244, so that the auxiliary feed rollers 233 and 243 should be operated inside the guide bar 12, and thus the upper feed rollers 233.243. To adjust the width of the feed roller 234.244.

또한, 상기 이송벨트(4)는 그 장력을 조절하기 위해, 상기 이송롤러(231,241)들와 하부이송롤러(232,242)들 사이에는 이송벨트(4)를 외측에서 압압하는 장력조절롤러(235,245)를 두는 것이 바람직하다.In addition, the conveying belt 4 has a tension adjusting roller (235, 245) for pressing the conveying belt (4) from the outside between the conveying rollers (231, 241) and the lower conveying rollers (232, 242) in order to adjust the tension. It is preferable.

그리고, 상기 제2구동수단(20b) 중 하부이송롤러(232,242)들을 이단으로 구성하고 이송벨트(4)를 하부이송롤러(232,242)와 상부이송롤러(234,244)사이에 연결할 경우 상기 보조이송롤러(233,243)들을 생략할 수도 있을 것이다.(도면 미도시)In addition, when the lower feed rollers 232 and 242 are configured in two stages of the second driving means 20b, and the conveying belt 4 is connected between the lower feed rollers 232 and 242 and the upper feed rollers 234 and 244, the auxiliary feed rollers ( 233,243 may be omitted (not shown).

도 8 내지 도 10에 도시된 바와 같이, 본 발명의 작동상태는 스테이지의 하강에 따른 설명한다.As shown in Figures 8 to 10, the operating state of the present invention will be described as the stage descends.

도 8은 본 발명에 따른 구동수단의 제 1구동수단을 도시한 작동설명도이고, 도 9는 본 발명에 따른 구동수단의 제 2구동수단을 도시한 작동설명도이고, 도 10은 본 발명에 따른 멀티소터의 스테이지 이송장치를 도시한 작동상태도이다.8 is an operational explanatory view showing a first drive means of the drive means according to the present invention, Figure 9 is an operational explanatory view showing a second drive means of the drive means according to the invention, Figure 10 is in the present invention It is an operation state diagram showing the stage feeder of the multi-sort according.

먼저, 본 발명에 따른 멀티소터 내에 설치되는 스테이지 이송장치(100)는 상기 프레임본체(1) 하단에 구성된 구동부(2)의 모터(22)가 회전하면, 그 회전력을 전달받은 메인롤러(23)가 시계반대방향으로 회전하게되고 그에 따라 작동벨트(3)에 의해 보조롤러(25)들 및 보조롤러(24)가 시계방향으로 회전하게 된다.First, the stage feeder 100 installed in the multi-sorter according to the present invention, when the motor 22 of the drive unit 2 configured at the lower end of the frame body 1 rotates, the main roller 23 receives the rotational force. Is rotated counterclockwise so that the auxiliary rollers 25 and the auxiliary roller 24 are rotated clockwise by the actuating belt 3.

즉, 상기 메인롤러(23)와 보조롤러(24)가 서로 반대방향으로 회전하는 것이다.That is, the main roller 23 and the auxiliary roller 24 is rotated in the opposite direction to each other.

한편, 상기 메인롤러(23)의 이송롤러(231)는 메인롤러(23)와 함께 시계반대방향으로 회전하게 되어 이송벨트(4)를 시계반대방향으로 회전시킴으로서, 이송벨트(4)에 결합된 이송부(13)의 일측을 하강하게 되는 것이다.On the other hand, the feed roller 231 of the main roller 23 is rotated in the counterclockwise direction with the main roller 23 to rotate the feed belt 4 in the counterclockwise direction, coupled to the feed belt (4) One side of the transfer unit 13 is to be lowered.

또한, 상기 보조롤러(24)의 이송롤러(241)는 보조롤러(24)와 함께 시계방향으로 회전하게 되어 이송벨트(4)를 시계방향으로 회전시킴으로서, 이송벨트(4)에 결합된 이송부(13)의 타측을 하강시킴으로서, 이송부(13) 상단에 형성된 스테이 지(5)들이 하강하는 것이다.In addition, the feed roller 241 of the auxiliary roller 24 is rotated in the clockwise direction with the auxiliary roller 24 to rotate the feed belt 4 in the clockwise direction, the transfer portion coupled to the feed belt (4) ( By lowering the other side of 13), the stage (5) formed on the upper portion of the transfer unit 13 is to be lowered.

이와 같은 방법에 의해, 상,하로 구성된 스테이지(5)들은 중앙에서 작업이 완료된 웨이퍼를 하단으로 이송하고, 상단에서 미작업된 웨이퍼를 다시 중앙으로 이송시킴으로서, 보다 원활히 웨이퍼의 이송 및 안정된 웨이퍼의 이송을 이룰 수 있다.By this method, the stages 5 composed of upper and lower stages transfer wafers completed at the center to the lower stage, and transfer unprocessed wafers to the center at the upper stage, thereby smoothly transferring the wafers and transferring the stable wafers. Can be achieved.

전술한 바와 같이, 본 발명의 스테이지 승강에 따른 설명은 모터의 회전축이 시계반대방향으로 회전하여 동작되는 것이므로, 스테이지 승강에 따른 작동설명은 스테이지의 하강에 따른 설명과 반대되는 역방향(시계방향)으로 작동되는 것에 의해 이루어지는 것이다.As described above, the description according to the elevating stage of the present invention is that the rotation axis of the motor is operated by rotating in the counterclockwise direction, the operation description according to the elevating stage is in the reverse direction (clockwise) as opposed to the description according to the descent of the stage. By working.

도 1은 종래에 따른 멀티소터를 도시한 일실시예,1 is a diagram illustrating a multi-sorter according to the related art;

도 2는 본 발명에 따른 멀티소터의 스테이지 이송장치가 적용된 멀티소터를 도시한 외부 사시도,2 is an external perspective view showing a multi-sorted apparatus to which a stage feeder of a multi-sort according to the present invention is applied;

도 3은 본 발명에 따른 멀티소터의 스테이지 이송장치가 적용된 멀티소터를 도시한 전체 사시도,3 is an overall perspective view showing a multi-sorted apparatus to which a stage feeder of a multi-sort according to the present invention is applied;

도 4는 본 발명에 따른 멀티소터의 스테이지 이송장치를 도시한 사시도이고,4 is a perspective view showing a stage feeder of a multi-sorter according to the present invention;

도 5는 본 발명에 따른 A부분을 도시한 확대단면도,5 is an enlarged cross-sectional view showing a portion A according to the present invention;

도 6은 본 발명에 따른 스테이지 이송장치의 구동부를 도시한 요부발췌 확대사시도,Figure 6 is an enlarged perspective view showing the excerpts showing the drive unit of the stage transfer apparatus according to the present invention,

도 7은 본 발명에 따른 구동부의 구동수단를 도시한 사시도, 7 is a perspective view showing the driving means of the drive unit according to the present invention;

도 8은 본 발명에 따른 구동수단의 제 1구동수단을 도시한 작동설명도,8 is an operation explanatory view showing a first driving means of the driving means according to the present invention;

도 9는 본 발명에 따른 구동수단의 제 2구동수단을 도시한 작동설명도,9 is an operation explanatory view showing a second driving means of the driving means according to the present invention;

도 10은 본 발명에 따른 멀티소터의 스테이지 이송장치를 도시한 작동상태도.10 is an operating state diagram showing a stage feeder of the multi-sorter according to the present invention.

◈도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명◈◈Description of the code for the main part of the drawing

1: 프레임본체 11: 받침프레임 12: 가이드바1: frame body 11: support frame 12: guide bar

121: 엘엠가이드 13: 이송부 131: 받침대121: LM guide 13: transfer unit 131: support

132: 고정판 133: 이송구 134: 고정구132: fixing plate 133: feeder 134: fixture

2: 구동부 20: 구동수단 20a: 제1구동수단2: drive unit 20: drive means 20a: first drive means

20b: 제2구동수단 21: 구동프레임 22: 모터20b: second driving means 21: drive frame 22: motor

23: 메인롤러 24: 보조롤러 25: 보조롤러23: main roller 24: sub roller 25: sub roller

231,241: 이송롤러 232,242: 하부이송롤러 233,234: 보조리송롤러231,241: Feed rollers 232,242: Lower feed rollers 233,234: Auxiliary feed rollers

234,244: 상부이송롤러 3: 이송벨트 4: 작동벨트234,244: Upper feed roller 3: Feed belt 4: Operation belt

5: 스테이지 100: 스테이지 이송장치5: stage 100: stage feeder

Claims (7)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 멀티소터의 스테이지 이송장치에 있어서,In the stage feeder of a multi-sorter, 양측으로 이격되고 내측에 이송벨트(4)와 엘엠가이드를 형성한 기둥형상의 가이드바(12)와, 상기 가이드바(12) 하단부를 고정하는 받침프레임(11)과, 상기 가이드바(12) 상단부를 지지하는 고정프레임(13)으로 이루어진 프레임본체(1);A pillar-shaped guide bar 12 spaced apart from both sides and having a conveying belt 4 and an EL guide formed therein, a support frame 11 fixing the lower end of the guide bar 12, and the guide bar 12. Frame body 1 consisting of a fixed frame 13 for supporting the upper end; 상기 프레임본체(1) 양측의 가이드바(12) 사이로 웨이퍼 카세트가 재치되며, 상,하 2단으로 이격 형성된 2개의 스테이지(5);Two stages (5) on which the wafer cassette is placed between the guide bars (12) on both sides of the frame body (1) and spaced apart in two stages; 상기 스테이지(5)들이 상부에 탑재하여 독립적으로 전,후진 작동하도록 설치되고 상기 스테이지(5)가 형성된 판형상의 받침대(131)와, 상기 스테이지(5)들을 탑재한 상태에서 상,하로 이격되게 2단의 받침대(131)를 연결하는 고정판(132)과, 고정판(132)을 프레임본체(1)에 형성된 가이드바(12)의 엘엠가이드(121)에서 상,하 동작하도록 연결하는 이송구(133)와, 고정판(132)이 엘엠가이드(121)를 타고 상,하운동하도록 동력을 전달하는 프레임본체(1)의 이송벨트(4)에 슬라이딩 연결되는 고정구(134)로 이루어진 이송부(13); 및 The stages 5 are mounted on the upper part, and are installed to independently move forward and backward, and the plate-shaped pedestal 131 on which the stage 5 is formed and the two spaced apart up and down while the stages 5 are mounted. Fixed plate 132 for connecting the pedestal 131 of the end, and the transfer hole 133 for connecting the fixing plate 132 to the upper and lower operation in the LM guide 121 of the guide bar 12 formed on the frame body (1) A transfer part 13 consisting of a fastener 134 slidably connected to the transfer belt 4 of the frame body 1 for transmitting power so that the fixing plate 132 moves up and down by using the LM guide 121; And 받침프레임(11)에 설치된 모터(22)와 이 모터(22) 축상에 설치된 메인롤러(23)와,이 메인롤러(23) 양측으로 상,하 형성된 보조롤러(25)들과, 상기 보조롤러(25)들중 어느 하나에 형성된 보조롤러(24)와,상기 메인롤러(23)와 보조롤러(24) 및 보조롤러(25)들의 일측을 감싸며 서로 연결하는 작동벨트(3)로 권취된 제 1구동수단(20a)과, 상기 메인롤러(23)와 보조롤러(24)들의 같은 축상에 상기 이송벨트(4)를 구동시키는 이송롤러(231,241)들을 설치하고, 상기 이송롤러(231)(241) 양측 하단으로 이격되게 하부이송롤러(232,242)들을 설치하고, 상기 이송롤러 양측 상단으로 이격되게 보조이송롤러(233,243)들을 설치하며, 프레임본체(1)의 가이드바(12) 상단에 형성됨과 아울러 상기 하부이송롤러(232)(242) 직상부에 소정거리를 두고 위치하도록 상부이송롤러(234)(244)들을 설치하여, 상기 이송롤러(231)(241)들과 하부이송롤러(232)(242)들 및 보조이송롤러(233)(243)들 그리고 상부이송롤러(234)(244)들의 일측을 감싸며 서로 연결한 이송벨트(4)들로 형성한 제 2구동수단(20b)으로 이루어진 구동부(2)를 포함하는 멀티소터의 스테이지 이송장치.The motor 22 installed in the supporting frame 11, the main roller 23 provided on the shaft of the motor 22, the auxiliary rollers 25 formed up and down on both sides of the main roller 23, and the auxiliary roller. The auxiliary roller 24 formed on any one of the (25), the first roller 23, the auxiliary roller 24 and the first winding wound by the operation belt (3) surrounding one side of the auxiliary rollers 25 and connected to each other 1 driving means 20a, and feed rollers 231 and 241 for driving the conveying belt 4 on the same axis of the main roller 23 and the sub rollers 24, and the feed rollers 231 and 241. A) Lower feed rollers 232 and 242 are installed to be spaced apart from both sides of the lower side, and sub feed rollers 233 and 243 are installed to be spaced apart from the upper sides of the feed rollers, and are formed on the top of the guide bar 12 of the frame body 1. The upper feed rollers 234 and 244 are installed to be positioned at a predetermined distance directly above the lower feed rollers 232 and 242, thereby Transport belts 231, 241, lower transport rollers 232, 242, and auxiliary transport rollers 233, 243 and one side of the upper transport rollers 234, 244 connected to each other and connected to each other A stage feeder of a multi-sorter comprising a drive unit (2) consisting of second drive means (20b) formed of (4). 제 4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 작동벨트(3)는,The operation belt 3, 상기 메인롤러(23)와 보조롤러(24)를 서로 다른 방향에서 회전하게 감싸도록 형성한 것을 특징으로 하는 멀티소터의 스테이지 이송장치.The main roller 23 and the auxiliary rollers 24, the stage feeder of the multi-sorter characterized in that it is formed so as to rotate in different directions. 제 4항에 있어서, The method of claim 4, wherein 상기 메인롤러(23)와 보조롤러(24)의 그 일측면에 각각 이송롤러(231)(241)를 일체로 형성한 것을 특징으로 하는 멀티소터의 스테이지 이송장치.Multi-sorted stage feeder, characterized in that the feed rollers (231, 241) are integrally formed on one side of the main roller (23) and the auxiliary roller (24), respectively. 제 4항에 있어서, The method of claim 4, wherein 상기 이송벨트(4)는,The conveying belt 4, 상기 이송롤러(231)(241) 및 상,하부이송롤러(232)(242)(234)(244)와 보조이송롤러(233)(243)를 서로 다른 방향에서 회전하게 감싸도록 형성한 것을 특징으로 하는 멀티소터의 스테이지 이송장치.The feed rollers 231 and 241 and the upper and lower feed rollers 232, 242, 234 and 244 and the auxiliary feed rollers 233 and 243 are formed so as to be wrapped to rotate in different directions. Multi-sort stage feeder.
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