KR100894787B1 - Non volatile memory device - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 불휘발성 메모리 소자에 관한 것으로, 특히 메모리 셀의 테스트를 위한 테스트 블록들 구성하여 메모리 셀이 환경과 보다 가깝고 보다 많은 테스트 셀들을 이용한 테스트를 수행할 수 있는 불휘발성 메모리 소자에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a nonvolatile memory device, and more particularly, to a nonvolatile memory device in which test blocks for testing a memory cell are configured to allow a memory cell to be closer to the environment and to perform a test using more test cells.
불휘발성 메모리 소자의 한 종류는 낸드 플래시 메모리 소자는 단위 셀 트랜지스터의 크기가 갈수록 감소하고 있으며, 셀 특성 분석의 어려움 또한 증가하고 있다.One type of nonvolatile memory device is that NAND flash memory devices are gradually decreasing in size of unit cell transistors, and difficulty in analyzing cell characteristics is increasing.
일반적으로 낸드 플래시 메모리 소자의 메모리 셀들을 평가하는 다양한 전압 조건과 여러 가지 측정 모드에서 메모리 셀들의 동작을 평가할 수 있어야 하며, 단위 셀의 기본 특성 및 각 동작 등을 정밀하게 분석하기 위해서는 테스트 패턴을 통한 단위 셀 평가가 선행되어야 한다.In general, it is necessary to evaluate the operation of memory cells under various voltage conditions and various measurement modes for evaluating memory cells of a NAND flash memory device. In order to accurately analyze the basic characteristics of each unit cell and each operation, a test pattern is used. Unit cell evaluation must be preceded.
도 1은 일반적인 낸드 플래시 메모리 소자를 나타낸 도면이다.1 is a diagram illustrating a general NAND flash memory device.
도 1을 참조하면, 낸드 플래시 메모리 소자(100)는 제 1 및 제 2 플레인(111, 112)과 제 1 및 제 2 페이지 버퍼부(121, 122)와, X 디코더(130)와 주변 회로부(140) 및 입출력 패드(150)를 포함한다.Referring to FIG. 1, the NAND
그리고 도 1에는 상기 낸드 플래시 메모리 소자(100)를 제작하는 과정에서 실제로 제품으로 사용하기 위해 컷팅 되는 플래시 메모리 소자(100)의 주변에 남는 영역으로 스크라이브(Scribe) 라인(160)을 더 도시하였다.In addition, FIG. 1 further illustrates a
제 1 및 제 2 플레인(111, 112)은 각각 복수개의 메모리 셀들을 포함한다. 상기 메모리 셀들은 각각 메모리 블록으로 구성되고, 각각의 플레인은 복수개의 메모리 블록을 포함한다. 또한 상기 복수개의 메모리 셀들은 워드라인과 비트라인으로 연결되어 있다.The first and
제 1 및 제 2 페이지 버퍼부(121, 122)는 상기 제 1 및 제2 플레인(111, 112)에 각각 연결되며, 각각의 페이지 버퍼부는 제 1 및 제 2 플레인의 비트라인과 연결되어 메모리 셀에 프로그램 또는 데이터 독출 등을 위해 동작한다.First and second
X 디코더(130)는 입력 어드레스에 따라 상기 제 1 및 제 2 플레인(111, 112)의 메모리 블록을 선택하고, 각각의 워드라인을 선택하며, 주변 회로부(240)는 동작을 위한 주변의 회로들을 하나의 블록으로 표시한 것이고, 입출력 패드(250)를 통해 데이터가 외부로 입출력된다.The
그리고 도 1에 나타난 바와 같이 파워 라인이 구성된다. 그리고 외부에 스크라이브 라인(160)에는 상기 제 1 및 제 2 플레인(111, 112)의 메모리 셀과 동일하게 메모리 셀들이 구성되어 있다.And a power line is constructed as shown in FIG. In addition, the
플래시 메모리 소자(100)는 메모리 셀의 특성을 확인하기 위하여, 스크라이브 라인(160)에 테스트 패턴을 이용하게 된다. 그러나 고집적화에 따른 단위 메모리 셀 트랜지스터의 크기의 감소는 기본 특성이 주변의 영향을 받아 크게 변동하는 원인이 되고 있으며, 이는 메모리 셀의 문턱전압 분포가 넓어지게 만든다. The
따라서 스크라이브 라인(160)에 형성된 테스트 패턴이 고집적화 되어 가는 메모리 소자의 특성을 반영하지 못한다면 테스트 패턴을 통한 메모리 셀 트랜지스터의 분석은 전체 메모리를 대변하지 못하는 상황이 된다.Therefore, if the test pattern formed on the
또한 테스트 패턴의 구성상 스크라이브 라인(160)의 좁은 면적에 위치하게 되므로 실제의 메모리 셀의 환경과는 다른 공정 환경을 가지게 되며, 이는 테스트 패턴의 셀 특성이 실제 메모리 셀의 특성과 다른 원인이 된다.In addition, since the configuration of the test pattern is located in a narrow area of the
보통 테스트 패턴은 80~100um 너비의 스크라이브 라인(160)에 위치하게 되며, 측정 장비의 특성상 전압을 인가할 수 있는 노드가 제한되어 있기 때문에 테스트 패턴 1개당 100개미만의 단위 셀 트랜지스터만을 평가할 수 있다. 이러한 적은 단위의 셀 트랜지스터는 2~16G바이트에 이르는 플래시 메모리 소자의 메모리 셀 특성을 정확하게 분석할 수 없다.Normally, the test pattern is located on the
따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 불휘발성 메모리 소자의 메모리 셀의 특성을 실제 환경과 유사한 테스트 블록을 이용하여 분석할 수 있도록 하는 불휘발성 메모리 소자를 제공하는데 있다.Accordingly, an aspect of the present invention is to provide a nonvolatile memory device capable of analyzing characteristics of a memory cell of a nonvolatile memory device using a test block similar to an actual environment.
본 발명의 특징에 따른 불휘발성 메모리 소자는,Nonvolatile memory device according to a feature of the present invention,
디코더 영역의 주변에 배치되는 플레인 영역; 스크라이브 영역에 배치되는 패드 영역; 상기 플레인 영역의 하부에 배치되며 상기 패드 영역과 연결되는 테스트 블록 영역; 및 상기 디코더 영역에 배치되는 블록 선택 트랜지스터 영역을 포함한다.A plane region disposed around the decoder region; A pad area disposed in the scribe area; A test block area disposed below the plane area and connected to the pad area; And a block select transistor region disposed in the decoder region.
상기 플레인 영역은 다수의 메모리 블록이 배치되는 것을 특징으로 한다.The plane region is characterized in that a plurality of memory blocks are arranged.
상기 플레인 영역과 상기 테스트 블록 영역의 중간에 위치하는 메모리 블록의 비트라인은 생성하지 않는 것을 특징으로 한다.The bit line of the memory block positioned between the plane area and the test block area is not generated.
상기 블록 선택 트랜지스터 영역은 상기 플레인 영역과, 상기 테스트 블록 영역을 각각 선택하기 위한 블록 트랜지스터들을 포함한다.The block selection transistor region includes the plane region and block transistors for selecting the test block region, respectively.
상기 패드 영역은 상기 테스트 블록 영역의 비트라인들에 각각 연결되는 패드들을 포함하는 것을 특징으로 한다.The pad area may include pads connected to bit lines of the test block area, respectively.
본 발명의 다른 특징에 따른 불휘발성 메모리 소자는,Nonvolatile memory device according to another aspect of the present invention,
다수의 메모리 셀들이 워드라인과 비트라인으로 구성되는 메모리 셀 어레이 를 포함하는 불휘발성 메모리 소자에 있어서, 상기 메모리 셀 어레이와 연결되어 구성되는 다수의 메모리 셀들을 포함하는 메모리 블록들을 포함하는 테스트 블록부; 상기 메모리 셀 어레이에 포함된 메모리 블록들이나 상기 테스트 블록부의 메모리 블록들을 제어신호에 의해 선택하는 X 디코더; 및 스크라이브 영역에 형성되어, 상기 테스트 블록부의 비트라인들에 각각 연결되는 패드들을 포함하는 패드부를 포함한다.A nonvolatile memory device including a memory cell array having a plurality of memory cells comprising a word line and a bit line, the test block including a memory block including a plurality of memory cells connected to the memory cell array. ; An X decoder for selecting memory blocks included in the memory cell array or memory blocks of the test block unit by a control signal; And a pad part formed in the scribe area and including pads connected to bit lines of the test block part, respectively.
상기 X 디코더는 상기 메모리 셀 어레이 또는 상기 테스트 블록부의 메모리 블록들을 각각 선택할 수 있는 블록 스위치 회로를 복수개 포함하는 것을 특징으로한다.The X decoder may include a plurality of block switch circuits for selecting memory blocks of the memory cell array or the test block unit, respectively.
상기 테스트 블록부와 상기 메모리 셀 어레이 사이에 위치하는 하나의 메모리 블록의 비트라인을 형성하지 않는 것을 특징으로 한다.The bit line of one memory block positioned between the test block unit and the memory cell array is not formed.
상기 테스트 블록부는, 상기 메모리 셀 어레이 주변에 생성되는 더미 패턴(dummy pattern)영역에 구성되는 것을 특징으로 한다.The test block unit may be configured in a dummy pattern area generated around the memory cell array.
상기 패드부는, 상기 X 디코더의 블록 스위치 회로들 중 테스트 블록부의 메모리 블록을 선택할 수 있는 스위치 회로와 연결되는 패드들을 포함하는 것을 특징으로 한다.The pad unit may include pads connected to a switch circuit for selecting a memory block of a test block unit among the block switch circuits of the X decoder.
상기 메모리 셀 어레이에 프로그램할 데이터를 임시 저장하거나, 상기 메모리 셀 어레이에 저장된 데이터를 독출 하여 임시 저장하는 페이지 버퍼 회로들을 포함하는 페이지 버퍼부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.The apparatus may further include a page buffer unit including page buffer circuits configured to temporarily store data to be programmed in the memory cell array or to read and temporarily store data stored in the memory cell array.
상기 블록 스위치 회로에 의해 선택되는 메모리 블록의 워드라인들에 동작을 위한 전압이 제공되는 것을 특징으로 한다.A voltage for operation is provided to word lines of a memory block selected by the block switch circuit.
상기 패드부의 패드들을 통해 상기 테스트 블록부에 저장된 데이터를 독출 하는 것을 특징으로 한다.The data stored in the test block unit may be read through the pads of the pad unit.
본 발명의 또 다른 특징에 따른 불휘발성 메모리 소자는,Nonvolatile memory device according to another aspect of the present invention,
다수의 메모리 셀들이 워드라인과 비트라인으로 구성되는 메모리 셀 어레이를 포함하는 불휘발성 메모리 소자에 있어서, 상기 메모리 셀 어레이와 연결되어 구성되는 다수의 메모리 셀들을 포함하는 메모리 블록들을 포함하는 테스트 블록부; 상기 메모리 셀 어레이에 포함된 메모리 블록들이나 상기 테스트 블록부의 메모리 블록들을 제어신호에 의해 선택하는 X 디코더; 상기 테스트 블록부가 형성되지 않은 상기 메모리 셀 어레이의 일 측면과 인접하게 형성되고, 상기 메모리 셀 어레이에 프로그램할 데이터를 임시 저장하거나, 상기 메모리 셀 어레이에 저장된 데이터를 독출 하여 임시 저장하는 페이지 버퍼회로들을 포함하는 페이지 버퍼부를 포함하는 불휘발성 메모리 칩과, 상기 불휘발성 메모리 칩의 주변에 형성되는 스크라이브(Scribe) 영역에 형성되어, 상기 테스트 블록부의 비트라인들에 각각 연결되는 패드들을 포함하는 패드부를 포함한다.A nonvolatile memory device including a memory cell array in which a plurality of memory cells are composed of a word line and a bit line, the test block including a memory block including a plurality of memory cells connected to the memory cell array. ; An X decoder for selecting memory blocks included in the memory cell array or memory blocks of the test block unit by a control signal; Page buffer circuits are formed adjacent to one side of the memory cell array in which the test block unit is not formed, and temporarily store data to be programmed in the memory cell array, or read and temporarily store data stored in the memory cell array. And a pad portion including pads formed in a scribe area formed around the nonvolatile memory chip, the pads being respectively connected to bit lines of the test block portion. do.
상기 스크라이브 영역은 상기 메모리 칩에 대한 테스트가 완료된 후 상기 절단되는 것을 특징으로 한다.The scribe area may be cut after the test of the memory chip is completed.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 불휘발성 메모리 소자는 테스트를 위한 메모리 셀들을 메모리 소자의 내부에 실제 메모리 셀들과 동일한 환경에서 구성함으로써 테스트 결과의 신뢰성을 높일 수 있다.As described above, the nonvolatile memory device according to the present invention can increase the reliability of the test result by configuring the memory cells for the test in the same environment as the actual memory cells.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. As those skilled in the art would realize, the described embodiments may be modified in various different ways, all without departing from the spirit or scope of the present invention. It is provided to inform you.
도 2a는 본 발명의 실시 예에 따른 플래시 메모리 소자를 나타낸다.2A illustrates a flash memory device according to an embodiment of the present invention.
도 2a를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 플래시 메모리 소자(200)는 제 1 및 제 2 플레인(211, 212)과, 제 1 및 제 2 페이지 버퍼부(221, 222)와, X 디코더(230)와, 주변 회로부(240)와 입출력 패드(250) 및 제 1 내지 제 2 테스트 블록(261, 262)을 포함하고, 플래시 메모리 소자(200)를 만드는 동안 주변에 스크라이브 라인(Scribe Line)(270)이 존재한다.Referring to FIG. 2A, a
상기 스크라이브 라인(270)에는 제 1 및 제 2 패드부(281, 282)가 생성된다.First and
제 1 및 제 2 플레인(211, 212)은 각각 복수개의 메모리 셀들을 포함한다. 상기 메모리 셀들은 각각 메모리 블록으로 구성되고, 각각의 플레인은 복수개의 메모리 블록을 포함한다. 또한 상기 복수개의 메모리 셀들은 워드라인과 비트라인으로 연결되어 있다.The first and
일반적인 플래시 메모리 소자는 제 1 및 제 2 플레인(211, 212)들의 주위에 전압 공급을 위한 파워 라인이 배치된다. 파워 라인은 주로 메탈라인으로 구성되기 때문에 그밖에 영역에 메모리 셀과 유사한 더미 패턴(dummy pattern)들이 채워져 있다.In a typical flash memory device, a power line for supplying a voltage is disposed around the first and
상기 더미 패턴들을 이용하여 구성하는 것이 제 1 및 제 2 테스트 블록(261, 252)이고, 제 1 및 제 2 테스트 블록(261, 262)은 상기 제 1 및 제 2 플레인(211, 212)의 메모리 블록과 동일하게 비트라인과 워드라인으로 연결되는 다수의 메모리 셀들을 포함하고 있다. 그러나 비트라인들은 상기 제 1 및 제 2 플레인(211, 212)의 메모리 셀들의 비트라인과는 연결되지 않도록 한다.The first and
제 1 및 제 2 페이지 버퍼부(221, 222)는 상기 제 1 및 제2 플레인(211, 212)에 각각 연결되며, 각각의 페이지 버퍼부는 제 1 및 제 2 플레인(211, 212)의 비트라인과 연결되어 메모리 셀에 프로그램 또는 데이터 독출 등을 위해 동작한다.First and second
X 디코더(230)는 입력 어드레스에 따라 상기 제 1 및 제 2 플레인(211, 212)의 메모리 블록을 선택하고, 선택된 메모리 블록의 워드라인들에 동작 전압이 입력될 수 있도록 한다. 또한 X 디코더(230)는 상기 제 1 및 제 2 테스트 블록(261, 262)을 선택할 수 있다.The
주변 회로부(240)는 동작을 위한 주변의 회로들을 하나의 블록으로 표시한 것이고, 입출력 패드(250)를 통해 데이터가 외부로 입출력된다.The
그리고 제 1 및 제 2 패드부(281, 282)는 상기 제 1 및 제 2 테스트 블록(281, 282)의 비트라인들에 각각 연결되는 패드(PAD)들로 구성된다. 상기 패드(PAD)를 통해 메모리 셀의 테스트를 수행하기 위한 비트라인 전압을 인가하거나, 테스트 결과를 읽어낸다.The first and
상기한 플래시 메모리 소자(200)는 메모리 셀이 테스트를 위해 제 1 및 제 2 플레인(211, 212) 이외의 테스트 블록들을 이용한다. 상기 테스트 블록들은 X 디코더(230)에 의해 선택되어 워드라인에 동작 전압을 입력받을 수 있고, 또한 패드부를 통해 비트라인을 통해서도 비트라인 전압을 입력받을 수 있다. 그리고 패스부를 통해서 메모리 셀에 데이터를 읽을 수도 있다.The
제 1 및 제 2 테스트 블록(261, 262)은 제 1 및 제 2 플레인(211, 212)과 비트라인을 통해 연결되지 않으므로 여러 가지 문제를 방지할 수 있다. 예를 들어 제 1 및 제 2 플레인(211, 212)과 제 1 및 제 2 테스트 블록(261, 262)간에 비트라인으로 연결되는 경우 발생되는 문제는 비트라인의 총 길이가 길어짐에 따라 로딩(loading)이 증가하여 셀 동작이 느려지는 것이다. 또한 제 1 및 제 2 테스트 블록(261, 262)의 비트라인에 발생되는 누설전류가 제 1 및 제 2 플레인(211, 212)에 영향을 미칠 수도 있다. 따라서 제 1 및 제 2 플레인(211, 212)과 제 1 및 제 2 테스트 블록(261, 262)간의 비트라인을 끊는다.Since the first and second test blocks 261 and 262 are not connected to the first and
상기 제 1 및 제 2 플레인(211, 212)과 제 1 및 제 2 테스트 블록(261, 262)간의 연결 관계와, X 디코더(230)의 블록 선택 스위치를 상세히 나타내면 다음과 같다.The connection relationship between the first and
도 2b는 도 2a의 X 디코더의 상세 회로도이다.FIG. 2B is a detailed circuit diagram of the X decoder of FIG. 2A.
도 2b는 제 2 플레인(212)과 제 2 테스트 블록(262) 및 X 디코더(230)의 일부를 나타낸 것이다. 도 2b에 나타난 바와 같이 제 2 플레인(212)과 제 2 테스트 블록(262)간에 비트라인(BL)이 형성되어 있지 않은 것을 확인할 수 있다. 그러나 비트라인을 제외하고 액티브(ACT)와 워드라인들을 동일하게 형성되어 있고, 비트라인이 끊어져 있으므로 해서 제 2 플레인(212)과 제 2 테스트 블록(262)을 분리한다.2B illustrates a portion of
그리고 X 디코더(230)는 제 N 블록 스위치(231)와 제 M 블록 스위치(232) 및 연결부(233)를 포함한다. 상기 X 디코더(230)는 복수개의 블록 스위치를 포함하고 있으며, 도 2b에는 제 N 블록 스위치(231)와 제 M 블록 스위치(232)만을 표시하였다.The
제 N 블록 스위치(231)는 제 2 플레인(212)의 메모리 블록들 중 제 N 메모리 블록을 선택하기 위한 블록 스위치이고, 제 M 블록 스위치(232)는 제 2 테스트 블록(262)을 선택할 수 있다.The N-
상기 제 M 블록 스위치(232)에 의해 제 2 테스트 블록(262)이 선택되면, 연결부(233)에 의해 제 2 테스트 블록(262)의 워드라인들에 동작 전압이 공급될 수 있다. 상기 워드라인들은 각각의 메모리 셀들의 게이트(gate)에 연결되는 것이다.When the
테스트 블록이 상기 제 2 테스트 블록(262)을 포함하여 복수개로 구성되는 경우에는 X 디코더(230)의 블록 스위치도 블록에 따라 각각 구비된다. 블록 스위치를 이용함으로써 하나의 노드로 테스트 블록 전체를 선택하게 할 수 있다. 따라서 X 디코더(230)이외에 상기 블록 스위치를 스크라이브 라인(270)의 패드부에 연결한다 하여도 하나의 패드로 테스트 블록 전체를 선택할 수 있으므로 패드의 개수를 줄일 수 있다. 이와 같이 테스트 블록을 선택하여 동작하도록 하는 구조는 실제의 메모리 셀과 유사한 동작 환경을 제공하여 테스트 효과를 높일 수 있다.When the test block includes a plurality of test blocks including the
상기 제 2 테스트 블록(262)의 비트라인들과 패드부(282)간의 연결은 다음과 같다.The connection between the bit lines of the
도 2c는 도 2a의 플레인과 테스트 블록을 나타낸다.FIG. 2C shows the plane and test block of FIG. 2A.
도 2c를 참조하면, 제 2 테스트 블록(262)은 제 2 플레인(212)의 메모리 셀과 동일하게 구성되는데, 액티브 라인이 연결되어 있고, 워드라인(WL)이 동일하게 구성된다. Referring to FIG. 2C, the
그리고 제 2 테스트 블록(262)의 비트라인(BL)들은 각각 패드부(282)의 패드(PAD)들에 각각 연결된다. 상기 패드(PAD)들에 연결하여 제 2 테스트 블록(262)의 비트라인에 비트라인 전압을 입력할 수 있다. 또한 패드(PAD)들을 통해서 제 2 테스트 블록(262)의 메모리 셀의 상태를 측정할 수 있다.The bit lines BL of the
이때 도 2c에 나타난 바와 같이 제 2 플레인(212)과 제 2 테스트 블록(262) 사이의 메모리블록에는 비트라인을 형성하지 않아 제 2 플레인(212)과 제 2 테스트 블록(262)의 비트라인을 끊는다.At this time, as shown in FIG. 2C, bit lines are not formed in the memory block between the
상기 도 2b 및 도 2c는 제 2 테스트 블록(262)에 대해 나타내었으나, 제 1 테스트 블록(261)도 동일하게 구성된다.2B and 2C illustrate the
상기와 같은 테스트 블록을 이용하여 메모리 셀의 특성을 테스트한 후에는 상기 스크라이브 라인(270)을 절단하여 플래시 메모리 소자(200)를 분리함으로써 테스트 블록들은 더 이상 사용하지 않게 된다. 이때 앞서 언급한바와 같이 테스트 블록들은 비트라인으로 플레인에 연결되어 있지 않기 때문에 이후의 플래시 메모리 소자(200)의 동작에 영향을 주지 않는다.After the characteristics of the memory cell are tested using the test block as described above, the
상기에서 설명한 본 발명의 기술적 사상은 바람직한 실시 예에서 구체적으로 기술되었으나, 상기한 실시 예는 그 설명을 위한 것이며 그 제한을 위한 것이 아님을 주의하여야 한다. 또한, 본 발명은 본 발명의 기술 분야의 통상의 전문가라면 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 다양한 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.Although the technical spirit of the present invention described above has been described in detail in a preferred embodiment, it should be noted that the above-described embodiment is for the purpose of description and not of limitation. In addition, the present invention will be understood by those skilled in the art that various embodiments are possible within the scope of the technical idea of the present invention.
도 1은 일반적인 낸드 플래시 메모리 소자를 나타낸 도면이다.1 is a diagram illustrating a general NAND flash memory device.
도 2a는 본 발명의 실시 예에 따른 플래시 메모리 소자를 나타낸다.2A illustrates a flash memory device according to an embodiment of the present invention.
도 2b는 도 2a의 X 디코더의 상세 회로도이다.FIG. 2B is a detailed circuit diagram of the X decoder of FIG. 2A.
도 2c는 도 2a의 플레인과 테스트 블록을 나타낸다.FIG. 2C shows the plane and test block of FIG. 2A.
*도면의 주요 부분의 간단한 설명** Brief description of the main parts of the drawings *
211, 212 : 제 1 및 제 2 플레인 211, 212: first and second plane
221, 222 : 제 1 및 제 2 페이지 버퍼부221 and 222: first and second page buffer units
230 : X 디코더230: X decoder
240 : 주변 회로부240: peripheral circuit
250 : 입출력 패드250: input / output pad
261, 162 : 제 1 및 제 2 테스트 블록261 and 162: first and second test blocks
270 : 디스크라이브 영역270: disk drive area
281, 282 : 제 1 및 제 2 패드부281 and 282: first and second pad portions
Claims (14)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020070122618A KR100894787B1 (en) | 2007-11-29 | 2007-11-29 | Non volatile memory device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020070122618A KR100894787B1 (en) | 2007-11-29 | 2007-11-29 | Non volatile memory device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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KR100894787B1 true KR100894787B1 (en) | 2009-04-24 |
Family
ID=40758122
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020070122618A KR100894787B1 (en) | 2007-11-29 | 2007-11-29 | Non volatile memory device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100894787B1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8004896B2 (en) | 2008-08-05 | 2011-08-23 | Hynix Semiconductor Inc. | Method of controlling operation of flash memory device |
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2007
- 2007-11-29 KR KR1020070122618A patent/KR100894787B1/en not_active IP Right Cessation
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