KR100890001B1 - 소형 전자주사현미경의 스테이지유닛 - Google Patents

소형 전자주사현미경의 스테이지유닛 Download PDF

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Abstract

본 발명은, 시료챔버를 개폐하는 챔버도어와, 상기 챔버도어의 후방에 마련되어 시료챔버 내부로 출입하는 지지베이스와, 상기 지지베이스 상에 X-Y축 방향으로 이동 가능하게 마련되는 X-Y이동스테이지와, 상기 챔버도어 전방에 마련되어 상기 X-Y이동스테이지의 이동을 조작하는 X축조작부 및 Y축조작부를 갖는 소형 전자주사현미경의 스테이지유닛에 관한 것으로서, 상기 X-Y이동스테이지에 회전가능하게 결합되는 회전체와, 상기 회전체에 대해 상하 승강 가능하게 결합되는 승강체를 갖는 시편홀더와; 상기 회전체를 회전시키는 회전구동부와; 상기 승강체를 Z축방향으로 승강시키는 Z축구동부와; 상기 챔버도어 전방에 마련되어 상기 회전구동부의 구동을 조작하는 회전조작부와; 상기 챔버도어 전방에 마련되어 상기 Z축구동부의 구동을 조작하는 Z축조작부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이에 의하여, 장치의 구성이 간단하고 최소한의 크기로 시료적재용 스테이지를 X축 및 Y축과 Z축 및 회전 방향으로 구동시킬 수 있는 소형 전자주사현미경의 스테이지유닛이 제공된다.
소형, 전자주사현미경, 시료챔버, 스테이지

Description

소형 전자주사현미경의 스테이지유닛{Stage unit of SEM}
본 발명은, 소형 전자주사현미경의 스테이지유닛에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 장치의 구성을 간단하게 하면서 스테이지를 X, Y, Z, 회전 방향으로 구동시킬 수 있는 소형 전자주사현미경의 스테이지유닛에 관한 것이다.
근래 초미세 가공 기술의 발달에 따라 소정의 시료를 나노(nano : n,nm)치수로 가공 할 수 있는 나노가공장치들이 지속적으로 개발되고 있으며, 이와 함께, 나노가공장치에서 가공된 초미세 가공품을 측정하기 위한 장비로서 나노계측기인 전자주사현미경(Scanning Electron Microscope : SEM)의 기술 개발 역시 지속적으로 발전하고 있다. 또한, 이들은 장치의 구성을 간단하게 하면서 장치의 부피를 줄일 수 있도록 그 소형화에 대한 기술이 개발되고 있는 실정이다.
이 중 전자주사현미경(SEM)은 계측장비로서 이동성과 공간활용성을 극대화하기 위해서 소형화가 적극적으로 이루어지고 있다.
종래 소형 전자주사현미경의 간략한 구성이 도 1에 도시되어 있고, 도 2에는 도 1의 소형 전자주사현미경의 스테이지유닛 사시도에 도시되어 있다. 이들 도면에 도시된 바와 같이, 종래 소형 전자주사현미경(101)은 전자빔 주사를 위한 부품들의 설치공간을 형성하는 하우징(110)과, 하우징(110) 하부영역에 진공의 시료 측정공간을 형성하는 시료챔버(120)와, 시료챔버(120) 내에 출입 가능하게 설치되며 시료를 X-Y방향으로 이동 가능하게 적재하는 스테이지유닛(130)과, 하우징(110) 내에 설치되어 스테이지유닛(130)에 적재된 시료를 향해 전자빔을 주사하는 전자주사유닛(140)과, 전자주사유닛(140)에서 주사된 전자빔이 시료에 충돌하여 발생된 2차 전자를 검출하여 이미지신호로 처리하는 측정유닛(150)을 포함한다.
이러한 소형 전자주사현미경(101)은 하우징(110)에 설치된 전자총(111)과 집속렌즈(113) 및 주사코일(115)과 대물렌즈(117)로 이루어진 전자주사유닛(140)의 구동에 의해 전자빔이 스테이지유닛(130)의 시편홀더(131)에 적재된 시료로 조사되면, 전자빔이 시료와 충돌하면서 2차 전자를 발생하고, 이 2차 전자를 측정유닛(150)이 이미지신호로 처리하여 디스플레이장치 및 컴퓨터 등에서 표시 및 측정되도록 구성되어 있다.
이때, 전자주사유닛(140)의 대물렌즈(117)로부터 시료로 조사되는 전자빔은 그 초점이 미리 설정되어 있는 것으로서, 스테이지유닛(130)의 X-Y이동스테이지(133)를 움직여 시료가 적재된 시편홀더(131)을 X-Y방향으로 이동시켜가면서 전자빔의 초점을 시료에 포커싱한다.
그런데, 이러한 종래의 소형 전자주사현미경에 있어서는 그 구성을 간단하게 하고 장치의 부피를 소형화하기 위해서, 스테이지유닛이 X-Y방향으로만 이동 가능 하기 때문에, 시료의 측정과정에서 시료의 측정영역 이동이 X-Y 방향으로만 한정되는 문제점이 있었다.
이에 의해, 시료의 측정영역을 Z축 방향이나 회전방향(이하 "R방향")으로 이동시키기 위해서는 측정을 중지하고, 스테이지유닛을 시료챔버로부터 인출하여 시료를 별도의 Z축보정시료대에 적재하거나 회전시키는 불편함을 감수해야 하는 문제점이 발생하였다.
따라서, 본 발명의 목적은, 장치의 구성이 간단하고 최소한의 크기로 시료적재용 스테이지를 X축 및 Y축과 Z축 및 회전 방향으로 구동시킬 수 있는 소형 전자주사현미경의 스테이지유닛을 제공하는 것이다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 시료챔버를 개폐하는 챔버도어와, 상기 챔버도어의 후방에 마련되어 시료챔버 내부로 출입하는 지지베이스와, 상기 지지베이스 상에 X-Y축 방향으로 이동 가능하게 마련되는 X-Y이동스테이지와, 상기 챔버도어 전방에 마련되어 상기 X-Y이동스테이지의 이동을 조작하는 X축조작부 및 Y축조작부를 갖는 소형 전자주사현미경의 스테이지유닛에 있어서, 상기 X-Y이동스테이지에 회전가능하게 결합되는 회전체와, 상기 회전체에 대해 상하 승강 가능하게 결합되는 승강체를 갖는 시편홀더와; 상기 회전체를 회전시키는 회전구동부와; 상기 승강체를 Z축방향으로 승강시키는 Z축구동부와; 상기 챔버도어 전방에 마련되어 상기 회전구동부의 구동을 조작하는 회전조작부와; 상기 챔버도어 전방에 마련되어 상기 Z축구동부의 구동을 조작하는 Z축조작부를 포함하는 것을 특징으로 하는 소형 전자주사현미경의 스테이지유닛에 의해 달성된다.
여기서, 상기 시편홀더의 회전체는 하부에 상기 X-Y이동스테이지에 자유 회전 가능하게 결합되는 회전결합축이 형성되어 있고, 상부 중심에는 각형상의 승강축결합구가 형성되어 있으며; 상기 시편홀더의 승강체 하부에는 상기 회전체의 승 강축결합구에 승강 가능하게 결합되는 각형의 승강축이 형성되어 있는 것이 바람직하다.
그리고, 상기 회전체는 외주면에 원주방향으로 웜휠이 형성되어 있는 원통형상을 가지며; 상기 회전구동부는 상기 회전체의 웜휠에 맞물려 회전하는 웜기어와, 양단부가 상기 웜기어와 상기 회전조작부를 연결하는 회전조작링크를 갖는 것이 효과적이다.
또한, 상기 승강체의 외주면에는 상하방향으로 승강래크가 형성되어 있으며; 상기 Z축구동부는 상기 승강체의 승강래크에 맞물려 회전하는 승강피니언과, 양단부가 상기 승강피니언과 상기 Z축조작부를 연결하는 Z축조작링크를 갖는 것이 보다 바람직하다.
이때, 상기 승강체를 사이에 두고 상기 승강래크의 타측에 맞물린 상태로 자유회전 가능하게 마련되는 승강가이드피니언을 더 포함하는 것이 보다 효과적이다.
한편, 상기 회전조작링크와 상기 Z축조작링크는 굴곡영역이 유니버셜 조인트 구조인 다관절 링크 샤프트로 마련되는 것이 바람직하다.
그리고, 상기 X축조작부와 상기 Y축조작부 및 상기 Z축조작부와 상기 회전조작부는 회전노브 형태로 마련되거나 전기적으로 구동제어가 가능한 모터로 마련되는 것이 효과적이다.
본 발명에 따르면, 장치의 구성이 간단하고 최소한의 크기로 시료적재용 스테이지를 X축 및 Y축과 Z축 및 회전 방향으로 구동시킬 수 있는 소형 전자주사현미 경의 스테이지유닛이 제공된다.
도 3은 본 발명에 따른 스테이지유닛을 갖는 소형 전자주사현미경의 사시도이고, 도 4a 및 도 4b는 본 발명에 따른 소형 전자주사현미경의 스테이지유닛을 좌우측에서 바라본 사시도이며, 도 5는 도 4a 및 도 4의 스테이지유닛의 시편홀드 영역 분해사시도이고, 도 6은 본 발명에 따른 소형 전자주사현미경의 스테이지유닛 횡단면도이며, 도 7 및 도 8은 본 발명에 따른 소형 전자주사현미경의 스테이지유닛 좌우측면도이다. 이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 소형 전자주사현미경의 스테이지유닛(1)은 시료챔버(5)를 개폐하는 챔버도어(10)와, 챔버도어(10)의 시료챔버(5) 개폐시 시료챔버(5)내부로 출입하는 지지베이스(20)와, 지지베이스(20)에 대해 X-Y축으로 이동되는 X-Y이동스테이지(30)와, X-Y이동스테이지(30)에 대해 Z축방향으로 상하 이동하고 Z축에 대해 회전하는 시편홀더(40)와, 시편홀더(40)를 Z축 방향으로 상하 이동시키는 Z축구동부(50)와, 시편홀더(40)를 회전시키는 회전구동부(60)를 포함한다.
챔버도어(10)는 시료챔버(5)로부터 개폐방향으로 인장 및 축소되는 개폐가이드(11)에 지지되어 시료챔버(5)의 전면개구를 개폐하도록 설치될 수 있다. 이 챔버도어(10)의 외측면에는 외부에서 X-Y구동부 및 Z축구동부(50)와 회전구동부(60)의 구동을 조작하기 위한 스테이지구동조작수단(13)이 설치되어 있다. 스테이지구동조작수단(13)의 구체적인 구성은 후술한다.
지지베이스(20)는 시료챔버(5) 내부를 향하는 챔버도어(10)의 배면에 수평으로 설치되어 있다. 이 지지베이스(20) 상에는 후술할 X-Y이동스테이지(30)와 시편홀더(40) 및 Z축구동부(50)와 회전구동부(60) 등이 설치된다.
X-Y이동스테이지(30)는 지지베이스(20)에 대해 X축방향으로 왕복이동 가능하게 설치되는 X축이동스테이지(31)와, 지지베이스(20)에 대해 Y축방향으로 왕복이동 가능하게 설치되는 Y축이동스테이지(35)와, 후술할 스테이지구동조작수단(13)의 X축조작부(13a)의 조작에 따라 X축이동스테이지(31)를 X축방향으로 왕복이동 시키는 X축구동부(33)와, 후술할 스테이지구동조작수단(13)의 Y축조작부(13b)의 조작에 따라 Y축이동스테이지(35)를 Y축방향으로 왕복이동 시키는 Y축구동부(37)를 가지고 있다.
여기서, Y축이동스테이지(35)는 지지베이스(20) 상에 대해 Y축방향으로 왕복 슬라이딩 이동 가능하게 슬라이더 등의 결합구조로 결합되어 있고, Y축구동부(37)는 Y축이동스테이지(35) 하부에 Y축방향으로 배치된 이송스크류 구조로 마련될 수 있다. 이때, 스테이지구동조작수단(13)의 Y축조작부(13b)는 이송스크류를 회전시키는 구성으로 마련된다.
그리고, X축이동스테이지(31)는 Y축이동스테이지(35) 상에 대해 X축방향으로 왕복 슬라이딩 이동 가능하게 슬라이더 등의 결합구조로 결합되어 있고, X축구동부(33)는 X축이동스테이지(31) 하부에 X축방향으로 배치된 래크(33a)와, 래크(33a) 에 맞물림 회전하는 피니언(33b)의 구조로 마련될 수 있다. 이때, 스테이지구동조작수단(13)의 X축조작부(13a)는 피니언(33b)을 회전시키는 구성으로 마련된다.
물론, X축이동스테이지(31)를 지지베이스(20) 상에 배치하고 X축구동부(33)를 이송스크류구조로 하고, Y축이동스테이지(35)를 X축이동스테이지(31) 상에 배치하고 Y축구동부(37)를 래크와 피니언 구조로 할 수 있다.
이 X-Y이동스테이지(30) 중 상측에 위치하는 X축이동스테이지(31)(Y축이동스테이지(35)가 상측에 배치될 수도 있음)의 중앙역역에는 시편홀더(40)를 회전가능하게 지지하는 시편홀더회전지지구(39)가 형성되어 있다. 이 시편홀더회전지지구(39)에는 후술할 시편홀더(40)의 회전체(41)가 회전 가능하게 결합된다.
한편, 시편홀더(40)는 X-Y이동스테이지(30)에 회전가능하게 결합되어 회전구동부(60)의 구동에 의해 회전하는 회전체(41)와, 회전체(41)에 대해 Z축방향으로 상하 승강가능하게 결합되어 Z축구동부(50)의 구동에 의해 승강하는 승강체(43)를 가지고 있다.
회전체(41)는 원통형상을 가지고 있으며, 회전체(41)의 외주면에는 원주방향으로 웜휠(41a)이 형성되어 있다. 웜휠(41a)은 후술할 회전구동부(60)의 웜기어(61)에 맞물린 상태에서 스테이지구동조작수단(13)의 회전조작부(13d)의 조작에 의한 웜기어(61)의 회전에 맞물려 회전한다.
또한, 회전체(41)의 하부에는 X-Y이동스테이지(30)의 시편홀더회전지지구(39)에 자유 회전 가능하게 결합되는 회전결합축(41b)이 형성되어 있으며, 회전 체(41)의 상부 중심에는 후술할 승강체(43)의 승강축(43a)이 결합되는 각형상의 승강축결합구(41c)가 형성되어 있다.
승강체(43)는 원통형상을 가지고 있으며, 그 하부에 회전체(41)의 승강축결합구(41c)에 승강 가능하게 결합되는 각형의 승강축(43a)이 형성되어 있다. 이때, 승강축(43a)과 승강축결합구(41c)의 형성 위치는 각각 회전체(41)와 승강체(43)에 형성될 수도 있음은 물론이다.
또한, 승강체(43)의 외주면에는 상하방향으로 승강래크(43c)가 형성되어 있다. 승강래크(43c)는 회전체(41)의 회전을 고려하여 승강체(43)의 외주면 전 둘레에 형성된다. 이 승강래크(43c)는 후술할 Z축구동부(50)의 승강피니언(51)에 맞물린 상태에서 스테이지구동조작수단(13)의 Z축조작부(13c)의 조작에 의한 승강피니언(51)의 회전에 맞물려 상대적으로 상하 이동한다. 이에 의해, 승강체(43)가 회전체(41)에 대해 Z축방향으로 승강된다.
여기서, 시편홀더(40)는 측정대상이 시료를 적재하는 것으로서, 승강체(43)의 상부면이 시료적재면으로 형성될 수 있다. 또는, 시편홀더(40)의 승강체(43) 상부에 별도의 시료 적재용 시료테이블을 결합하여 시료를 적재할 수도 있다.
한편, Z축구동부(50)는 시편홀더(40)의 승강체(43)에 형성된 승강래크(43c)의 일측에 맞물려 회전하는 승강피니언(51)과, 승강체(43)를 사이에 두고 승강래크(43c)의 타측에 맞물림 회전하도록 설치된 승강가이드피니언(53)과, 스테이지구동조작수단(13)의 Z축조작부(13c)와 승강피니언(51)을 연결하는 Z축조작링크(55)를 갖는다.
여기서, 승강피니언(51)과 승강가이드피니언(53)은 X-Y이동스테이지(30) 상의 피니언지지대(53a)에 회전 가능하게 지지되어 있다.
그리고, Z축조작링크(55)는 설치공간의 최소화를 위해서 굴곡영역이 유니버셜 조인트 구조인 다관절 링크 샤프트로 마련되는 것이 바람직하다. 이 Z축조작링크(55)는 양단부가 각각 승강피니언(51)의 중심축과 후술할 스테이지구동조작수단(13)의 Z축조작부(13c)에 연결되어 있다.
한편, 회전구동부(60)는 시편홀더(40)의 회전체(41)에 형성된 웜휠(41a)의 일측에 맞물려 회전하는 웜기어(61)와, 스테이지구동조작수단(13)의 회전조작부(13d)와 웜기어(61)를 연결하는 회전조작링크(63)를 갖는다.
웜기어(61)는 X-Y이동스테이지(30) 상의 웜지지대(61a)에 회전 가능하게 지지되어 있으며, 회전조작링크(63)는 Z축조작링크(55)와 마찬가지로 굴곡영역이 유니버셜 조인트 구조인 다관절 링크 샤프트로 마련되어 양단부가 각각 웜기어(61)의 중심축과 후술할 스테이지구동조작수단(13)의 회전조작부(13d)에 연결되어 있다.
한편, 스테이지구동조작수단(13)은 챔버도어(10)의 외측면에 마련되어 각각 X축구동부(33)와 Y축구동부(37) 및 Z축구동부(50)와 회전구동부(60)의 구동을 조작하는 X축조작부(13a)와 Y축조작부(13b) 및 Z축조작부(13c)와 회전조작부(13d)를 갖는다.
여기서, 각 조작부는 회전노브 형태로 마련되어 각각의 노브축이 X축구동부(33)의 피니언(33b) 중심축과 Y축구동부(37)의 이송스크류 중심축 및 Z축조작링크(55)와 회전조작링크(63)와 연결되어 있는 구조를 가질 수 있다. 이에 의해, 챔버도어(10)의 외측에서 각 조작부를 회전 조작하면 그 회전력이 해당 구동부로 전달되어 X축이동스테이지(31)의 X축 방향으로의 이동이나 Y축이동스테이지(35)의 Y축 방향으로의 이동 또는 시편홀더(40)의 Z축 방향으로의 승강이나 시편홀더(40)의 승강 이동이 이루어진다.
물론, 각 조작부는 도시하지는 않았지만 전기적으로 구동제어가 가능한 모터 등의 구동력자동전달장치로 마련되어 각 구동부를 구동시킬 수 있다.
이러한 구성에 의해서, 본 발명에 따른 소형 전자주사현미경의 스테이지유닛(1)의 구동과정을 살펴본다.
챔버도어(10)의 개방 상태에서 스테이지유닛(1)의 시편홀더(40) 상에 시편을 적재하고 챔버도어(10)를 폐쇄하면 스테이지유닛(1)은 시료챔버(5) 내부에 위치하게 된다. 이 상태에서 전자주사유닛(7)의 초점 영역에 시료가 위치할 수 있도록 스테이지구동조작수단(13)을 조작하여 시료를 적재하고 있는 시편홀더(40)를 X축 방향과 Y축 방향 및 Z축방향과 회전 방향으로 이동시키게 된다.
먼저, 시료를 X축 방향으로 이동시키는 경우에는 X축조작부(13a)를 회전 조작한다. X축조작부(13a)의 회전력은 X축구동부(33)의 피니언(33b)으로 전달되어 피니언(33b)이 회전하게 되고, 피니언(33b)의 회전운동이 X축이동스테이지(31) 하 부에 형성되어 있는 래크(33a)에 전달되면서 X축이동스테이지(31)를 X축 방향으로 이동시킨다. 이에 의해, X-Y이동스테이지(30) 상에 결합되어 있는 시편홀더(40) 역시 X축 방향으로 이동하여 시편홀더(40)에 적재된 시료가 전자주사유닛(7)의 초점영역을 향해 X축 방향으로 이동할 수 있다.
그리고, 시료를 Y축 방향으로 이동시키는 경우에는 Y축조작부(13b)를 회전 조작한다. Y축조작부(13b)의 회전력에 의해 Y축구동부(37)의 이송스크류가 회전하게 되고, 이송스크류의 회전운동이 Y축이동스테이지(35)를 Y축 방향으로 이동시킨다. 이에 의해, X-Y이동스테이지(30) 상에 결합되어 있는 시편홀더(40) 역시 Y축 방향으로 이동하여 시편홀더(40)에 적재된 시료가 전자주사유닛(7)의 초점영역을 향해 Y축 방향으로 이동할 수 있다.
또한, 시료를 Z축 방향으로 이동시키는 경우에는 Z축조작부(13c)를 회전 조작한다. Z축조작부(13c)의 회전력은 Z축구동부(50)의 Z축조작링크(55)를 통해 Z축구동부(50)의 승강피니언(51)을 회전시키게 되고, 승강피니언(51)의 회전에 의해 승강피니언(51)과 맞물린 승강체(43)의 승강래크(43c)의 승강에 의해 시편홀더(40)의 승강체(43)가 Z축 방향으로 승강 이동될 수 있다. 이에 의해, 시편홀더(40)에 적재된 시료가 전자주사유닛(7)의 초점영역을 향해 Z축 방향으로 이동할 수 있다.
한편, 시료를 Z축을 중심으로 회전시키는 경우에는 회전조작부(13d)를 회전 조작한다. 회전조작부(13d)의 회전력은 회전구동부(60)의 회전조작링크(63)를 통해 회전구동부(60)의 윔기어를 회전시키게 되고, 웜기어(61)의 회전에 의해 웜기어(61)와과 맞물린 회전체(41)의 웜휠(41a)의 회전에 시편홀더(40)의 회전체(41)가 Z축을 중심으로 회전한다. 이때, 회전체(41)와 승강체(43)는 각형의 승각축결합구와 승강축(43a)의 결합구조를 가지고 있기 때문에 승강체(43)가 임으로 회전하지는 않고 회전체(41)의 회전에 의해서만 승강체(43)가 회전하게 된다. 이에 의해, 시편홀더(40)에 적재된 시료가 전자주사유닛(7)의 초점영역을 향해 Z축을 중심으로 회전할 수 있다.
이와 같이, 본 발명에 따른 소형 전자주사현미경의 스테이지유닛은 시료를 X-Y방향과 Z축방향 및 Z축을 중심으로 회전시킬 수 있기 때문에, 소형 전자주사현미경을 이용한 시료측정이 매우 편리해지며, 시료측정을 중단하지 않고도 시료를 원하는 위치로 이동시킬 수 있다.
그리고, X-Y방향과 Z축방향 및 회전을 위한 장치의 구성이 래크와 피니언 및 웜기어 등의 기어구조로 이루어져 있기 때문에, 간단한 구성과 설치공간을 최소화하면서 4축 구동 스테이지유닛을 마련할 수 있다.
도 1은 종래 소형 전자주사현미경의 전체 사시도,
도 2는 도 1의 소형 전자주사현미경의 스테이지유닛 사시도,
도 3은 본 발명에 따른 스테이지유닛을 갖는 소형 전자주사현미경의 사시도,
도 4a 및 도 4b는 본 발명에 따른 소형 전자주사현미경의 스테이지유닛을 좌우측에서 바라본 사시도,
도 5는 도 4a 및 도 4의 스테이지유닛의 시편홀드 영역 분해사시도,
도 6은 본 발명에 따른 소형 전자주사현미경의 스테이지유닛 횡단면도,
도 7 및 도 8은 본 발명에 따른 소형 전자주사현미경의 스테이지유닛 좌우측면도,
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
13 : 스테이지구동조작수단 20 : 지지베이스
30 : X-Y이동스테이지 31 : X축이동스테이지
33 : X축구동부 35 : Y축이동스테이지
37 : Y축구동부 40 : 시편홀더
41 : 회전체 43 : 승강체
50 : Z축구동부 60 : 회전구동부

Claims (8)

  1. 시료챔버를 개폐하는 챔버도어와, 상기 챔버도어의 후방에 마련되어 시료챔버 내부로 출입하는 지지베이스와, 상기 지지베이스 상에 X-Y축 방향으로 이동 가능하게 마련되는 X-Y이동스테이지와, 상기 챔버도어 전방에 마련되어 상기 X-Y이동스테이지의 이동을 조작하는 X축조작부 및 Y축조작부를 갖는 소형 전자주사현미경의 스테이지유닛에 있어서,
    상기 X-Y이동스테이지에 회전가능하게 결합되는 회전체와, 상기 회전체에 대해 상하 승강 가능하게 결합되는 승강체를 갖는 시편홀더와;
    상기 회전체를 회전시키는 회전구동부와;
    상기 승강체를 Z축방향으로 승강시키는 Z축구동부와;
    상기 챔버도어 전방에 마련되어 상기 회전구동부의 구동을 조작하는 회전조작부와;
    상기 챔버도어 전방에 마련되어 상기 Z축구동부의 구동을 조작하는 Z축조작부를 포함하는 것을 특징으로 하는 소형 전자주사현미경의 스테이지유닛.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 시편홀더의 회전체는 하부에 상기 X-Y이동스테이지에 자유 회전 가능하게 결합되는 회전결합축이 형성되어 있고, 상부 중심에는 각형상의 승강축결합구가 형성되어 있으며;
    상기 시편홀더의 승강체 하부에는 상기 회전체의 승강축결합구에 승강 가능하게 결합되는 각형의 승강축이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 소형 전자주사현미경의 스테이지유닛.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 회전체는 외주면에 원주방향으로 웜휠이 형성되어 있는 원통형상을 가지며;
    상기 회전구동부는 상기 회전체의 웜휠에 맞물려 회전하는 웜기어와, 양단부가 상기 웜기어와 상기 회전조작부를 연결하는 회전조작링크를 갖는 것을 특징으로 하는 소형 전자주사현미경의 스테이지유닛.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 승강체의 외주면에는 상하방향으로 승강래크가 형성되어 있으며;
    상기 Z축구동부는 상기 승강체의 승강래크에 맞물려 회전하는 승강피니언과, 양단부가 상기 승강피니언과 상기 Z축조작부를 연결하는 Z축조작링크를 갖는 것을 특징으로 하는 소형 전자주사현미경의 스테이지유닛.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 승강체를 사이에 두고 상기 승강래크의 타측에 맞물린 상태로 자유회전 가능하게 마련되는 승강가이드피니언을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 소형 전자 주사현미경의 스테이지유닛.
  6. 제3항에 있어서,
    상기 회전조작링크는 굴곡영역이 유니버셜 조인트 구조인 다관절 링크 샤프트로 마련되는 것을 특징으로 하는 소형 전자주사현미경의 스테이지유닛.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 X축조작부와 상기 Y축조작부 및 상기 Z축조작부와 상기 회전조작부는 회전노브 형태로 마련되거나 전기적으로 구동제어가 가능한 모터로 마련되는 것을 특징으로 하는 소형 전자주사현미경의 스테이지유닛.
  8. 제4항에 있어서,
    상기 Z축조작링크는 굴곡영역이 유니버셜 조인트 구조인 다관절 링크 샤프트로 마련되는 것을 특징으로 하는 소형 전자주사현미경의 스테이지유닛.
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