CN114300328B - 扫描电镜的样品平台及扫描电镜 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种扫描电镜的样品平台及扫描电镜，样品平台包括：基座；样品承载台，样品承载台用于沿周向放置多个样品；旋转驱动组件，旋转驱动组件设在基座上且具有可旋转的驱动端；电流引导组件，电流引导组件包括绝缘座、第一导电件和第二导电件，绝缘座设在驱动端上且连接样品承载台，以使样品承载台旋转，第一导电件连接样品承载台，第一导电件为围绕样品承载台的转动轴线设置的环形，第二导电件电接触第一导电件以向外输出样品的电信号。本发明通过设置旋转驱动组件驱动样品承载台旋转，样品承载台可承载多个样品，同时设置第二导电件始终接触环形的第一导电件，实现在样品承载台旋转的同时收集电信号，提高检测效率。

Description

扫描电镜的样品平台及扫描电镜

技术领域

本发明涉及扫描电镜的零部件技术领域，尤其是涉及一种扫描电镜的样品平台及扫描电镜。

背景技术

扫描电镜的测样动作是电子束打在固定在样品托表面的样品上，通过二次电子或者能谱等探测器对样品上的反射电子进行收集分析，入射电子中的一部分与样品作用后，能量损失殆尽，无法逃逸出样品表面，从而被样品吸收，这部分称为吸收电子。吸收电子的电信号可以用来调整成图像，因而测量样品上的吸收电子是非常关键的。但是相关技术中样品被固定在一个位置然后使用电子束打在样品上，然后收集样品托上的电信号，但是此种结构无法应用到可以活动的样品托上。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种扫描电镜的样品平台，在样品承载台移动的同时收集分析样品的电信号，提高检测效率。

本发明还提出一种应用上述样品平台的扫描电镜，在样品承载台移动的同时收集分析样品的电信号，提高检测效率。

根据本发明实施例的扫描电镜的样品平台，包括：基座；样品承载台，所述样品承载台用于沿周向放置多个样品；旋转驱动组件，所述旋转驱动组件设在所述基座上且具有可旋转的驱动端；电流引导组件，所述电流引导组件包括绝缘座、第一导电件和第二导电件，所述绝缘座设在所述驱动端上且连接所述样品承载台，以使所述样品承载台旋转，所述第一导电件连接所述样品承载台，所述第一导电件为围绕所述样品承载台的转动轴线设置的环形，所述第二导电件电接触所述第一导电件以向外输出所述样品的电信号。

根据本发明实施例的扫描电镜的样品平台，通过设置旋转驱动组件驱动样品承载台旋转，样品承载台可承载多个样品，同时设置第二导电件始终接触环形的第一导电件，实现在样品承载台旋转的同时收集电信号，提高检测效率。

一些实施例中，所述第二导电件绝缘安装在所述基座上，所述第二导电件上设有导电接触点，所述第二导电件为弹性件以使所述导电接触点弹性抵接在所述所述第一导电件上。

一些具体实施例中，所述第二导电件包括：安装部，所述安装部设在所述基座上；接电部，所述接电部的中部连接所述安装部，所述接电部的中部弯折以形成弧形，所述接电部的弧形两端上设有所述导电接触点。

可选地，所述第一导电件为导电环或导电镀层。

一些具体实施例中，所述第一导电件为导电环时，所述接电部设在所述导电环的外圈侧，所述导电接触点弹性抵接在所述导电环的外圈上。

进一步地，所述安装部和所述接电部为一体件，所述第二导电件的一部分沿水平方向设置以形成所述安装部，另一部分弯折以形成所述接电部。

一些实施例中，所述绝缘座上设有第一凸起部，所述第一凸起部上设有第一安装槽，所述样品承载台的底部设有第二凸起部，所述第二凸起部设在所述第一安装槽内并通过紧固件连接所述第一凸起部。

一些具体实施例中，所述第一凸起部上设有连通所述第一安装槽的缺口，所述第一导电件为导电环，所述导电环上设有连接部，所述连接部延伸至所述缺口内且通过紧固件连接所述第二凸起部。

一些实施例中，所述驱动端上设有第二安装槽，所述绝缘座设在所述第二安装槽内并通过紧固件连接所述驱动端。

一些实施例中，所述旋转驱动组件包括：蜗杆座，所述蜗杆座设在所述基座上；蜗杆，所述蜗杆可枢转地设在所述蜗杆座上；蜗轮，所述蜗轮设在所述基座上且啮合所述蜗杆，所述蜗轮构成所述驱动端；驱动件，所述驱动件设在基座上，所述驱动件连接所述蜗杆并驱动所述蜗杆转动。

一些具体实施例中，所述驱动件为步进电机，所述样品承载台上设有被测件，所述样品平台包括检测件，所述检测件电连接所述步进电机，所述样品承载台旋转过程中所述检测件可检测所述被测件，以获取所述样品承载台的起始位和旋转角度。

一些实施例中，所述样品承载台包括：水平部，所述水平部可枢转地设在所述驱动端上；倾斜部，所述倾斜部与所述水平部相连且与所述水平部之间具有夹角；多个样品托，所述水平部与所述倾斜部上均设有所述样品托，每个所述样品托用于放置所述样品。

一些具体实施例中，所述水平部和所述倾斜部上设有安装结构，所述样品托可拆卸地设在对应的所述安装结构内。

根据本发明实施例的扫描电镜，包括上述的扫描电镜的样品平台。

根据本发明实施例的扫描电镜，通过设置旋转驱动组件驱动样品承载台旋转，样品承载台可承载多个样品，同时设置第二导电件始终接触环形的第一导电件，实现在样品承载台旋转的同时收集电信号，提高检测效率。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1为本发明实施例中样品平台的结构示意图；

图2为本发明实施例中样品平台的爆炸示意图一；

图3为本发明实施例中样品平台的爆炸示意图二；

图4为本发明实施例中样品承载台、绝缘座及第一导电件的配合示意图；

图5为本发明实施例中样品承载台的剖视图。

附图标记：

100、样品平台；

10、基座；11、绝缘块；

20、样品承载台；21、水平部；22、倾斜部；23、样品托；231、凸柱；24、安装结构；241、安装孔；242、夹持件；243、固定件；2431、通孔；2432、拆卸部；25、第二凸起部；26、紧固件；27、被测件；

30、旋转驱动组件；31、蜗杆座；32、蜗杆；33、蜗轮；331、第二安装槽；34、驱动件；

40、电流引导组件；41、绝缘座；411、第一凸起部；4111、第一安装槽；4112、缺口；42、第一导电件；421、连接部；43、第二导电件；431、安装部；432、接电部；4321、导电接触点；

50、检测件。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征，用于区别描述特征，无顺序之分，无轻重之分。

在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

下面结合附图描述本发明实施例的扫描电镜的样品平台100。

如图1所示，根据本发明实施例的扫描电镜的样品平台100，扫描电镜的样品平台100包括：基座10、样品承载台20、旋转驱动组件30及电流引导组件40。

样品承载台20用于沿周向放置多个样品。

旋转驱动组件30设在基座10上且具有可旋转的驱动端。

电流引导组件40包括绝缘座41、第一导电件42和第二导电件43，绝缘座41设在驱动端上且连接样品承载台20，以使样品承载台20旋转，第一导电件42连接样品承载台20，第一导电件42为围绕样品承载台20的转动轴线设置的环形，第二导电件43电接触第一导电件42以向外输出样品的电信号。本发明通过设置绝缘座41将样品承载台20单独隔离，然后设置第一导电件42与第二导电件43连接样品承载台20，将样品承载台20的电流引向一个固定的去向，从而提高收集样品承载台20电流的便捷性。其中，第一导电件42设置成围绕样品承载台20的转动轴线的环形，方便了第一导电件42与第二导电件43始终保持接触。

根据本发明实施例的扫描电镜的样品平台100，通过设置旋转驱动组件30驱动样品承载台20旋转，样品承载台20可承载多个样品，同时设置第二导电件43始终接触环形的第一导电件42，实现在样品承载台20旋转的同时收集电信号，提高检测效率。

一些实施例中，绝缘座41的材质为氮化硅，从而提高绝缘性能。

如图1、图4所示，一些实施例中，第二导电件43绝缘安装在基座10上，第二导电件43上设有导电接触点4321，第二导电件43为弹性件以使导电接触点4321弹性抵接在第一导电件42上，通过将第二导电件43设置为弹性件，使第二导电件43与第一导电件42始终保持接触，保证电路的连通。例如，第二导电件43为铜片，铜片具有弹性，使第一导电件42与第二导电件43保持接触。

如图1、图2所示，进一步地，基座10上设有绝缘块11，第二导电件43安装在绝缘块11上。例如，绝缘块11的材质为PEEK(聚醚醚酮)。

如图1、图2及图4所示，一些具体实施例中，第二导电件43包括：安装部431、接电部432。

安装部431设在基座10上。接电部432的中部连接安装部431，接电部432的中部弯折以形成弧形，接电部432的弧形两端上设有导电接触点4321。本发明通过将接电部432的中部弯折形成弧形，导电接触点4321设在接电部432的弧形两端上，弧形的部分环绕环形的第一导电件42，使第二导电件43与环形的第一导电件42充分接触。

可选地，第一导电件42为导电环或导电镀层。例如，第一导电件42为导电环，保证电路的畅通；或者，第一导电件42为导电镀层，充分利用零部件的结构，减少零部件的数量。

如图4所示，一些具体实施例中，第一导电件42为导电环时，接电部432设在导电环的外圈侧，导电接触点4321弹性抵接在导电环的外圈上，通过将接电部432设在导电环的外圈侧，避免了设在内圈内空间狭小的问题，方便装配。

如图1、图2及图4所示，进一步地，安装部431和接电部432为一体件，第二导电件43的一部分沿水平方向设置以形成安装部431，另一部分弯折以形成接电部432，通过将安装部431与接电部432设为一体件，减少零部件的数量，方便装配。

如图2、图4所示，一些实施例中，绝缘座41上设有第一凸起部411，第一凸起部411上设有第一安装槽4111，样品承载台20的底部设有第二凸起部25，第二凸起部25设在第一安装槽4111内并通过紧固件26连接第一凸起部411，通过设置第一安装槽4111与第二凸起部25配合方便样品承载台20的定位，同时通过紧固件26将第一凸起部411与第二凸起部25连接，操作方便快捷。

如图2、图4所示，一些具体实施例中，第一凸起部411上设有连通第一安装槽4111的缺口4112，第一导电件42为导电环，导电环上设有连接部421，连接部421延伸至缺口4112内且通过紧固件26连接第二凸起部25，通过设置紧固件26将导电环与第二凸起部25连接在一起，提高连接稳定性，保持电路的畅通。

如图2所示，一些实施例中，驱动端上设有第二安装槽331，绝缘座41设在第二安装槽331内并通过紧固件26连接驱动端，通过设置第二安装槽331对绝缘座41进行定位，提高装配效率。

如图2、图3所示，一些实施例中，旋转驱动组件30包括：蜗杆座31、蜗杆32、蜗轮33及驱动件34。

蜗杆座31设在基座10上。蜗杆32可枢转地设在蜗杆座31上，通过设置蜗杆座31稳定蜗杆32。蜗轮33设在基座10上且啮合蜗杆32，蜗轮33构成驱动端。驱动件34设在基座10上，驱动件34连接蜗杆32并驱动蜗杆32转动，进而驱动蜗轮33转动，从而将驱动力平稳的传递到蜗轮33上。本发明通过设置蜗轮33、蜗杆32及蜗杆座31传递动力，结构强度更高，从而使样品承载台20承载更多的样品。

如图2、图4所示，一些具体实施例中，驱动件34为步进电机，样品承载台20上设有被测件27，样品平台100包括检测件50，检测件50电连接步进电机，样品承载台20旋转过程中检测件50可检测被测件27，以获取样品承载台20的起始位和旋转角度，通过获取样品承载台20的起始位和旋转角度，实现对试样品位置的精确控制。

可选地，检测件50检测被测件27获取样品承载台20的起始位，可以实现对旋转角度的确定。例如，检测件50为微动开关，被测件27触碰到微动开关时，样品承载台20处于起始位。

如图1所示，一些实施例中，样品承载台20包括：水平部21、倾斜部22及多个样品托23。

水平部21可枢转地设在驱动端上。倾斜部22与水平部21相连且与水平部21之间具有夹角。水平部21与倾斜部22上均设有样品托23，每个样品托23用于放置样品。本发明通过设置水平部21与倾斜部22，提供多种角度的观察视角对样品进行观察。需要说明的是，倾斜部22可以是相对于水平部21斜向上或斜向下，从而提供多种观察视角。

如图2所示，一些具体实施例中，水平部21和倾斜部22上设有安装结构24，样品托23可拆卸地设在对应的安装结构24内，通过将样品托23可拆卸地设置在对应的安装结构24上，方便样品托23的更换，提高便利性。例如，水平部21上设置有12个安装结构24，倾斜部22上设置有3个安装结构24。

如图1至图4所示，具体地，倾斜部22相对水平部21斜向下设置，倾斜部22与水平部21之间的夹角的范围为20至80度，实现对试样品的侧边观测。例如，倾斜部22与水平部21之间的夹角为45度，可以为正上方的镜头提供45度的观察视角；或者，倾斜部22与水平部21之间的夹角为20度；再或者，倾斜部22与水平部21之间的夹角为80度。当然，还可以是其他角度，例如30度、40度等等，这里不再赘述。

如图5所示，一些实施例中，每个安装结构24包括安装孔241和设在安装孔241内的夹持件242，样品托23的底部设有凸柱231，凸柱231设在安装孔241内，夹持件242用于夹紧凸柱231，通过设置夹持件242夹持样品托23底部的凸柱231，保证样品托23的稳定性，相比较相关技术其他连接方式，凸柱231伸入安装孔241内便可以自动实现夹持件242夹持凸柱231，方便快捷。

一些实施例中，夹持件242对凸柱231的夹持力的范围为1.8牛顿至2.6牛顿，从而保证带有试样品的样品托23不晃动，同时又可以满足轻松拔插。例如，夹持件242对凸柱231的夹持力为2牛顿；或者，夹持件242对凸柱231的夹持力为1.8牛顿，使凸柱231轻松拔插；再或者，夹持件242对凸柱231的夹持力在2.6牛顿，保证样品托23不晃动。

具体地，夹持件242为铍铜材质的冠簧，冠簧设在安装孔241内，凸柱231穿设在冠簧内，通过将夹持件242设为铍铜材质的冠簧，相比较其他材质的冠簧，改善弹性，增加使用寿命。

如图5所示，一些具体实施例中，每个安装结构24还包括：固定件243，固定件243螺纹连接在安装孔241内且止抵在夹持件242的底部上，通过设置固定件243将夹持件242固定在安装孔241内，固定件243螺纹连接在安装孔241内方便固定件243的安装。

具体地，固定件243的外周面上设有外螺纹，安装孔241内设有内螺纹，外螺纹与内螺纹啮合，以使固定件243连接在安装孔241内。

如图5所示，进一步地，固定件243上设有通孔2431，通孔2431沿安装孔241的轴向方向延伸，通过设置通孔2431使通孔2431与安装孔241连通，避免在固定件243与安装孔241共同限定出的空间内存气。可以理解，扫描电镜处于真空环境中，若固定件243与安装孔241共同限定出的空间内存气便会导致存在压差，产生危险。

一些实施例中，凸柱231的直径小于通孔2431的直径，以使凸柱231可以伸入到通孔2431内，使不同长度的凸柱231均可以伸入到安装孔241内，提高适应性。例如，凸柱231的直径为3.14毫米，通孔2431的直径为3.4毫米，凸柱231可以伸入到通孔2431内。当然，可以理解的是，凸柱231的直径不是只限制在3.14毫米，3.14毫米左右均可以，还可以是其他尺寸，例如3.2毫米、3.25毫米等等，这里不再赘述。

如图4所示，一些具体实施例中，固定件243上设有拆卸部2432，拆卸部2432设在固定件243的远离样品托23的一端上，拆卸部2432用于将固定件243从安装孔241内拆卸下，通过设置拆卸部2432方便了将固定件243从安装孔241内拆卸。例如，拆卸部2432为一字槽口，一字槽口为固定件243的受力提供位置，方便了对固定件243施加作用力。

下面结合图1至图5，描述本发明扫描电镜的样品平台100的一个具体实施例。

一种扫描电镜的样品平台100包括：基座10、样品承载台20、旋转驱动组件30、电流引导组件40及检测件50。

基座10上设有绝缘块11，绝缘块11的材质为PEEK。

样品承载台20包括水平部21与倾斜部22，倾斜部22与水平部21之间具有夹角，倾斜部22相对水平部21斜向下设置，倾斜部22与水平部21件的夹角为45度。水平部21上设有12个安装结构24，倾斜部22上设有3个安装结构24，安装结构24包括安装孔241、夹持件242及固定件243。夹持件242为铍铜材质的冠簧，夹持件242设在安装孔241内。固定件243螺纹连接在安装孔241内且止抵在夹持件242的底部上。固定件243上设有通孔2431及拆卸部2432，通孔2431沿安装孔241的轴向方向延伸，拆卸部2432为一字槽口，拆卸部2432设在固定件243的远离样品托23的一端上，拆卸部2432用于将固定件243从安装孔241内拆卸下。

样品承载台20还包括十五个个样品托23，样品托23用于放置样品，十五个样品托23与十五个安装结构24一一对应设置，每个样品托23的底部设有凸柱231，凸柱231穿设在冠簧内。样品承载台20的底部设有第二凸起部25，样品承载台20还设有被测件27。

旋转驱动组件30设在基座10和样品承载台20之间，旋转驱动组件30包括蜗杆座31、蜗杆32、蜗轮33及驱动件34。蜗杆座31设在基座10上，蜗杆32可枢转地设在安装座上。蜗轮33设在基座10上且啮合蜗杆32，蜗轮33构成驱动端，蜗轮33上设有第二安装槽331。驱动件34为步进电机，驱动件34设在基座10上，驱动件34连接蜗杆32并驱动蜗杆32转动。

电流引导组件40包括绝缘座41、第一导电件42及第二导电件43。

绝缘座41设在第二安装槽331内并通过紧固件26连接蜗轮33，绝缘座41上设有第一凸起部411，第一凸起部411上设有第一安装槽4111，第二凸起部25设在第一安装槽4111内并通过紧固件26连接第一凸起部411，第一凸起部411上还设有连通第一安装槽4111的缺口4112。

第一导电件42为导电环，第一导电件42环绕样品承载台20的转动轴线设置，导电环上设有连接部421，连接部421延伸至缺口4112内且通过紧固件26连接第二凸起部25，紧固件26为螺钉。

第二导电件43为铜片，第二导电件43包括：安装部431和接电部432，安装部431与接电部432为一体件。安装部431设在绝缘块11上。接电部432的中部连接安装部431，接电部432的中部弯折以形成弧形，接电部432设在导电环的外圈侧，接电部432的弧形两端上设有导电接触点4321，导电接触点4321弹性抵接在导电环的外圈上，以向外输出样品的电信号。

检测件50为微动开关，检测件50设在基座10上，检测件50电连接步进电机，样品承载台20旋转过程中检测件50可检测被测件27，以获取样品承载台20的起始位和旋转角度。

根据本发明实施例的扫描电镜，包括上述的扫描电镜的样品平台100。

根据本发明实施例的扫描电镜，通过设置旋转驱动组件30驱动样品承载台20旋转，样品承载台20可承载多个样品，同时设置第二导电件43始终接触环形的第一导电件42，实现在样品承载台20旋转的同时收集电信号，提高检测效率。

根据本发明实施例的扫描电镜的样品平台100的其他构成以及操作对于本领域普通技术人员而言都是已知的，这里不再详细描述。

在本说明书的描述中，参考术语“实施例”、“示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (14)

1.一种扫描电镜的样品平台，其特征在于，包括：

基座；

样品承载台，所述样品承载台用于沿周向放置多个样品；

旋转驱动组件，所述旋转驱动组件设在所述基座上且具有可旋转的驱动端；

电流引导组件，所述电流引导组件包括绝缘座、第一导电件和第二导电件，所述绝缘座设在所述驱动端上且连接所述样品承载台，以使所述样品承载台旋转，所述第一导电件连接所述样品承载台，所述第一导电件为围绕所述样品承载台的转动轴线设置的环形，所述第二导电件电接触所述第一导电件以向外输出所述样品的电信号。

2.根据权利要求1所述的扫描电镜的样品平台，其特征在于，所述第二导电件绝缘安装在所述基座上，所述第二导电件上设有导电接触点，所述第二导电件为弹性件以使所述导电接触点弹性抵接在所述第一导电件上。

3.根据权利要求2所述的扫描电镜的样品平台，其特征在于，所述第二导电件包括：

安装部，所述安装部设在所述基座上；

接电部，所述接电部的中部连接所述安装部，所述接电部的中部弯折以形成弧形，所述接电部的弧形两端上设有所述导电接触点。

4.根据权利要求3所述的扫描电镜的样品平台，其特征在于，所述第一导电件为导电环或导电镀层。

5.根据权利要求4所述的扫描电镜的样品平台，其特征在于，所述第一导电件为导电环时，所述接电部设在所述导电环的外圈侧，所述导电接触点弹性抵接在所述导电环的外圈上。

6.根据权利要求5所述的扫描电镜的样品平台，其特征在于，所述安装部和所述接电部为一体件，所述第二导电件的一部分沿水平方向设置以形成所述安装部，另一部分弯折以形成所述接电部。

7.根据权利要求1所述的扫描电镜的样品平台，其特征在于，所述绝缘座上设有第一凸起部，所述第一凸起部上设有第一安装槽，所述样品承载台的底部设有第二凸起部，所述第二凸起部设在所述第一安装槽内并通过紧固件连接所述第一凸起部。

8.根据权利要求7所述的扫描电镜的样品平台，其特征在于，所述第一凸起部上设有连通所述第一安装槽的缺口，所述第一导电件为导电环，所述导电环上设有连接部，所述连接部延伸至所述缺口内且通过紧固件连接所述第二凸起部。

9.根据权利要求1所述的扫描电镜的样品平台，其特征在于，所述驱动端上设有第二安装槽，所述绝缘座设在所述第二安装槽内并通过紧固件连接所述驱动端。

10.根据权利要求1所述的扫描电镜的样品平台，其特征在于，所述旋转驱动组件包括：

蜗杆座，所述蜗杆座设在所述基座上；

蜗杆，所述蜗杆可枢转地设在所述蜗杆座上；

蜗轮，所述蜗轮设在所述基座上且啮合所述蜗杆，所述蜗轮构成所述驱动端；

驱动件，所述驱动件设在基座上，所述驱动件连接所述蜗杆并驱动所述蜗杆转动。

11.根据权利要求10所述的扫描电镜的样品平台，其特征在于，所述驱动件为步进电机，所述样品承载台上设有被测件，所述样品平台包括检测件，所述检测件电连接所述步进电机，所述样品承载台旋转过程中所述检测件可检测所述被测件，以获取所述样品承载台的起始位和旋转角度。

12.根据权利要求1所述的扫描电镜的样品平台，其特征在于，所述样品承载台包括：

水平部，所述水平部可枢转地设在所述驱动端上；

倾斜部，所述倾斜部与所述水平部相连且与所述水平部之间具有夹角；

多个样品托，所述水平部与所述倾斜部上均设有所述样品托，每个所述样品托用于放置所述样品。

13.根据权利要求12所述的扫描电镜的样品平台，其特征在于，所述水平部和所述倾斜部上设有安装结构，所述样品托可拆卸地设在对应的所述安装结构内。

14.一种扫描电镜，其特征在于，包括权利要求1至13中任一项所述的扫描电镜的样品平台。

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