KR100879801B1 - Cross beam of a stage moving apparatus - Google Patents

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(주) 씨피에스코리아
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Abstract

본 발명은 스테이지 이송장치의 크로스빔에 관한 것으로서, 스테이지 이송장치에서 이송하는 이송물을 지지하는 크로스빔에 있어서, 다수의 분할빔과, 분할빔들을 나란하게 면접촉시킨 상태에서 분할빔을 서로 결합시키는 결합수단을 포함하며, 결합수단에 의해 결합되는 분할빔의 개수를 조절함으로써 이송물의 중량에 따른 필요한 강성을 가지도록 한다. 따라서, 본 발명은 이송물의 중량, 설치되는 장비의 크기 등에 따라 분할빔의 결합 개수를 조절함으로써 필요한 강성을 가지도록 하고, 설치되는 장비의 특성에 따른 전체적인 단면의 변화 및 구성을 쉽도록 하며, 동일한 규격의 분할빔으로 다양한 강성의 구현을 가능하도록 함으로써 제작 및 보관이 편리하고, 보강부재의 추가가 용이한 효과를 가지고 있다.The present invention relates to a cross beam of a stage conveying apparatus, comprising: a cross beam supporting a conveyed object transported by a stage conveying apparatus, wherein the plurality of split beams are combined with the split beams in a state in which the split beams are in parallel surface contact with each other; It includes a coupling means for adjusting, by adjusting the number of split beams coupled by the coupling means to have the necessary rigidity according to the weight of the conveyed material. Therefore, the present invention is to have the necessary rigidity by adjusting the number of couplings, the size of the equipment to be installed, the number of split beams, easy to change and configuration of the overall cross-section according to the characteristics of the equipment to be installed, By enabling the implementation of a variety of stiffness by the split beam of the standard, it is convenient to manufacture and store, and has the effect of adding a reinforcing member.

스테이지 이송장치, 크로스빔, 분할빔, 결합수단, 보강부재 Stage feeder, cross beam, split beam, joining means, reinforcing member

Description

스테이지 이송장치의 크로스빔{CROSS BEAM OF A STAGE MOVING APPARATUS}Cross beam of stage feeder {CROSS BEAM OF A STAGE MOVING APPARATUS}

도 1은 종래의 스테이지 이송장치를 도시한 사시도이고,1 is a perspective view showing a conventional stage feeder,

도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 스테이지 이송장치의 크로스빔을 도시한 분해 사시도이고,2 is an exploded perspective view illustrating a cross beam of a stage transporting apparatus according to a first embodiment of the present invention;

도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 스테이지 이송장치의 크로스빔을 도시한 정면도이고,3 is a front view showing a crossbeam of the stage transfer apparatus according to the first embodiment of the present invention,

도 4는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 스테이지 이송장치의 크로스빔을 도시한 정면도이고,4 is a front view showing a crossbeam of the stage transfer apparatus according to the second embodiment of the present invention,

도 5a 내지 도 5c는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 스테이지 이송장치의 크로스빔의 결합을 설명하기 위한 도면이고,5a to 5c are views for explaining the coupling of the cross beam of the stage transfer apparatus according to the second embodiment of the present invention,

도 6은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 스테이지 이송장치의 크로스빔을 도시한 정면도이고,6 is a front view showing a crossbeam of the stage transfer apparatus according to the third embodiment of the present invention,

도 7a 내지 도 7c는 제 3 실시예에 따른 스테이지 이송장치의 크로스빔의 결합을 설명하기 위한 도면이고,7A to 7C are views for explaining the coupling of the cross beams of the stage transporting apparatus according to the third embodiment,

도 8 내지 도 10은 본 발명에 따른 스테이지 이송장치의 크로스빔에서 분할빔의 다른 실시예들을 도시한 정면도이다.8 to 10 are front views showing other embodiments of the split beam in the cross beam of the stage transfer apparatus according to the present invention.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

110,210,310 : 분할빔 111 : 모따기부110, 210, 310: split beam 111: chamfer

112,114,115,116 : 보강부 113 : 장착홈112, 114, 115, 116: reinforcement 113: mounting groove

115a,116a : 휨저항부 120,220,320 : 결합수단115a, 116a: Bending resistance part 120,220,320: Coupling means

130,230 : 보강부재130,230: Reinforcement member

본 발명은 스테이지 이송장치의 크로스빔에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 이송물의 중량, 설치되는 장비의 크기 등에 따라 분할빔의 결합 개수를 조절함으로써 필요한 강성을 가지도록 하고, 설치되는 장비의 특성에 따른 전체적인 단면의 변화 및 구성을 쉽도록 하는 스테이지 이송장치의 크로스빔에 관한 것이다.The present invention relates to a cross beam of a stage conveying apparatus, and more particularly, to have the necessary rigidity by adjusting the number of coupling of the split beam according to the weight of the conveyed material, the size of the equipment to be installed, and the like, according to the characteristics of the equipment to be installed. It relates to a cross beam of a stage feeder to facilitate the change and configuration of the overall cross section.

일반적으로, PDP(Plasma Display Panel), LCD(Liquid Crystal Display) 등의 FPD(Flat Panel Display) 제조 분야 또는 반도체 소자의 제조 분야 그 밖에 다양한 산업 분야에서 유리기판이나 웨이퍼 등과 같은 재료나 제조물을 가공이나 검사를 위하여 선형모터를 사용하거나 회전모터 및 볼스크루 등의 리니어 가이드를 이용하여 X축 또는/및 Y축 방향, 나아가서 Z축 방향으로 이송시키는데, 이를 위해서 에어 베어링 XY 스테이지 등 다양한 형태의 스테이지 이송장치가 개발되어 사용되고 있다.In general, materials or products such as glass substrates or wafers are processed in the field of manufacturing flat panel displays (FPDs) such as plasma display panels (PDPs), liquid crystal displays (LCDs), or semiconductor devices. For inspection, a linear motor or linear guides such as a rotating motor and a ball screw are used to move in the X-axis and / or Y-axis direction, and also in the Z-axis direction. Has been developed and used.

도 1은 종래의 기술에 따른 스테이지 이송장치를 도시한 사시도이다. 도시된 바와 같이, 종래의 스테이지 이송장치(10)는 이송물(11)이 슬라이딩 가능하게 지지 되는 크로스빔(cross beam; 12)을 구비하고 있다.1 is a perspective view showing a stage transfer apparatus according to the prior art. As shown, the stage feeder 10 of the related art has a cross beam 12 in which the conveyed material 11 is slidably supported.

이송물(11)은 선형모터에 의해 크로스빔(12)을 따라 이동하거나 회전모터 및 볼스크루에 의해 크로스빔(12)을 따라 이동하게 되며, 유리기판 등의 재료에 대한 검사나 가공을 위한 장치가 장착됨으로써 이들과 함께 이송되는데, 이에 한하지 않고 유리기판 등의 재료를 직접 이송할 수 있도록 이러한 재료가 척킹이나 클램핑될 수도 있다.The conveying material 11 is moved along the crossbeam 12 by a linear motor or along the crossbeam 12 by a rotating motor and a ball screw, and is a device for inspecting or processing a material such as a glass substrate. It is transported with them by being mounted, but not limited thereto, such materials may be chucked or clamped to directly transfer materials such as glass substrates.

크로스빔(12)은 테이블(13)상에 가로 놓여져서 이송물(11)의 이송 경로를 제공함과 아울러 이송물(11)의 하중을 지지하는 역할을 하게 된다.The crossbeam 12 is placed horizontally on the table 13 to provide a conveying path of the conveyed material 11 and serve to support the load of the conveyed material 11.

그러나, 이러한 종래의 스테이지 이송장치(10)는 크로스빔(12)이 처지게 될 경우 재료에 대한 가공이나 검사의 정밀도에 악영향을 미치게 되는 문제점을 가지고 있었다.However, the conventional stage feeder 10 has a problem that adversely affects the precision of processing or inspection of the material when the cross beam 12 sags.

특히, LCD 제조에 사용되는 유리기판의 경우 8세대, 즉 2400mm 2500mm 사이즈로 확대됨에 따라 이러한 8세대의 유리기판을 가공 또는 검사하는 장비의 경우 규모가 커질 수밖에 없으며, 이로 인해 스테이지 이송장치(10)의 크로스빔(12)도 그 길이가 증가하게 되었다. In particular, as the glass substrate used for LCD manufacturing is expanded to the 8th generation, that is, 2400mm 2500mm size, the equipment for processing or inspecting the 8th generation glass substrate is bound to increase in size, and thus, the stage feeder 10 The cross beam 12 has also increased in length.

이와 같은 종래의 크로스빔(12)은 그 길이가 길어질수록 처짐이 커지게 되어 이를 방지하기 위하여 높은 강성을 요구하게 되었고, 크로스빔(12)의 강성 증가는 중량 증가를 초래하여 오히려 처짐 증가 및 크로스빔(12)의 설치부재에 대한 부담을 증가시킨다. 즉, 크로스빔(12)은 그 길이가 길어질수록 변형량이 커질 수밖에 없으며, 이러한 변형량을 적게 하기 위해서는 강성을 높여야 하는데, 강성을 높이 면 크로스빔(12)의 단면이 커지고, 단위 하중이 증가하며, 요구되는 크기의 단면을 가지는 빔의 압출 용량에 한계를 발생시키게 된다.Such a conventional cross beam 12 is required to have a high rigidity in order to prevent the deflection increases as the length thereof becomes longer, and the increase in the rigidity of the cross beam 12 results in an increase in weight, rather the increase in deflection and cross The burden on the mounting member of the beam 12 is increased. That is, as the length of the crossbeam 12 increases, the deformation amount is inevitably increased, and in order to reduce the amount of deformation, the rigidity needs to be increased. When the crossbeam 12 increases, the cross-section of the crossbeam 12 increases, and the unit load increases. There is a limit to the extrusion capacity of a beam having a cross section of the required size.

또한, 이러한 크로스빔(12)은 그 길이 또는 이송물(11)의 중량에 따라 다양한 크기의 단면을 요구하게 되며, 이로 인해 제작시 여러 종류의 압출 금형이 필요하게 된다. 즉 크로스빔(12)은 작은 단면을 가지고도 소형의 이송물(11)을 지지할 수 있지만 대형의 이송물(11)을 지지할 수 없기 때문에 강성이 좋게 할 필요가 있다. 그러나, 대형의 이송물(11) 지지에 사용되는 크로스빔(12)을 소형의 이송물(11) 지지에 사용하게 되면 필요 이상으로 강성이 강하고, 하중이 커져서 모터의 용량이 커지 등의 가격경쟁에 불리함을 초래하는 원인이 되므로, 이러한 점에서 이송물(11)의 중량, 크기 등에 상응하는 여러 크기의 단면을 가지는 크로스빔(12)이 필요하게 되며, 이러한 다양한 종류의 크로스빔(12) 제작을 위하여 많은 종류의 압출 금형이 필요하게 되었다. In addition, the crossbeam 12 requires a cross section of various sizes depending on the length or the weight of the conveying material 11, which requires a variety of extrusion molds during manufacturing. That is, although the crossbeam 12 can support the small conveyance 11 even with a small cross section, since the crossbeam 12 cannot support the large conveyance 11, it is necessary to make rigidity good. However, when the crossbeam 12 used to support the large conveyed material 11 is used for supporting the small conveyed material 11, the rigidity is stronger than necessary, and the load is increased, so that the capacity of the motor is increased. In this regard, cross beams 12 having cross-sections of various sizes corresponding to the weight, size, etc. of the conveyed material 11 are required in this respect, and these various types of cross beams 12 are required. Many types of extrusion molds are needed for fabrication.

또한, 크로스빔(12)이 이송물(11)의 하중에 의해서 그 단면적이 350cm 350cm 이상을 요구할 경우 이를 단일 피스(piece)로 제작하는 것은 사실상 불가능하며, 변형량을 줄이기 위해 보강부재를 설치시 압출 프로파일(profile)에 보강부재를 추가하는 것이 쉽지 않으며, 단가를 크게 증가시키는 원인이 되었다.In addition, when the crossbeam 12 requires a cross section of 350 cm or 350 cm or more due to the load of the conveying material 11, it is virtually impossible to manufacture it as a single piece, and it is extruded when installing the reinforcing member to reduce the deformation amount. Adding a reinforcing member to the profile is not easy, causing a significant increase in unit cost.

그리고, 다양한 크기 및 중량을 가진 크로스빔(12)을 구분하여 보관하는데 어려움이 있을 뿐만 아니라 이를 핸들링(handling)하는데 어려움이 있다. In addition, it is not only difficult to separate and store the crossbeam 12 having various sizes and weights, but also difficult to handle them.

본 발명은 상술한 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적 은 이송물의 중량, 설치되는 장비의 크기 등에 따라 분할빔의 결합 개수를 조절함으로써 필요한 강성을 가지도록 하고, 설치되는 장비의 특성에 따른 전체적인 단면의 변화 및 구성을 쉽도록 하며, 동일한 규격의 분할빔으로 다양한 강성의 구현을 가능하도록 함으로써 제작 및 보관이 편리하고, 보강부재의 추가가 용이한 스테이지 이송장치의 크로스빔을 제공하는데 있다.The present invention is to solve the above-mentioned conventional problems, an object of the present invention to have the necessary rigidity by adjusting the number of coupling of the split beam according to the weight of the conveyed material, the size of the equipment to be installed, and the characteristics of the equipment to be installed It is easy to change the overall cross-section according to the configuration and to implement a variety of stiffness with the split beam of the same standard to provide a cross beam of the stage transporting device is convenient to manufacture and storage, easy to add reinforcing members have.

이와 같은 목적을 실현하기 위한 본 발명은, 스테이지 이송장치에서 이송하는 이송물을 지지하는 크로스빔에 있어서, 다수의 분할빔과, 분할빔들을 나란하게 면접촉시킨 상태에서 분할빔을 서로 결합시키는 결합수단을 포함하며, 결합수단에 의해 결합되는 분할빔의 개수를 조절함으로써 이송물의 중량에 따른 필요한 강성을 가지도록 하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a cross beam supporting a conveyed object transported by a stage conveying apparatus, wherein a plurality of split beams are coupled to each other in a state in which the split beams are in parallel surface contact with each other. It comprises a means, characterized in that to have the required rigidity according to the weight of the conveyed material by adjusting the number of split beams coupled by the coupling means.

이하, 본 발명의 가장 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 더욱 상세히 설명하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention.

도 2 및 도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 스테이지 이송장치의 크로스빔을 도시한 분해 사시도 및 정면도이다. 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 스테이지 이송장치의 크로스빔(100)은 다수의 분할빔(110)과, 분할빔(110)들을 서로 결합시키는 결합수단(120)을 포함한다.2 and 3 are an exploded perspective view and a front view showing a cross beam of the stage transfer apparatus according to the first embodiment of the present invention. As shown, the cross beam 100 of the stage transfer apparatus according to the present invention includes a plurality of split beams 110 and coupling means 120 for coupling the split beams 110 to each other.

분할빔(110)은 일예로 재료, 제조물이나 장비 등이 장착 내지 고정되는 이송물의 이송 경로를 가이드하기 위한 것으로서, 이송물의 이동을 가이드하기 위한 충 분할 길이를 가지고, 다수로 이루어지되, 결합수단(120)에 의해 결합되는 개수는 설치되는 장비의 크기 또는 이송물의 중량 등에 따라 정해짐으로써 요구되는 강성에 필요한 단면적을 가지도록 한다. The split beam 110 is, for example, for guiding a conveying path of a conveyed material on which a material, a manufactured product or equipment is mounted or fixed, and having a divided length for guiding the movement of the conveyed material. The number coupled by 120 is determined according to the size of the equipment to be installed or the weight of the conveyed material to have a cross-sectional area required for the required rigidity.

분할빔(110)은 중공으로 형성되고, 휨에 대한 저항을 가지도록 내측에 “-”자와 같은 단일의 직선으로 이루어지는 단면 형상을 가지거나 “+”, “x" 등과 같이 서로 교차되는 다수의 직선으로 이루어지는 단면 형상을 가지는 보강부(112)가 형성된다. 한편, 분할빔(110)은 본 실시예에서 “+”자 단면 형상을 가지는 보강부(112)를 가지는데, 이에 한하지 않고 도 8에서는 “x"자 단면 형상을 가지는 보강부(114)를 가진다.The split beam 110 is hollow and has a cross-sectional shape consisting of a single straight line such as a “-” character or crosses each other such as “+” or “x” so as to have resistance to bending. A reinforcing part 112 having a cross-sectional shape formed of a straight line is formed On the other hand, the split beam 110 has a reinforcing part 112 having a “+” shaped cross-sectional shape in this embodiment, but is not limited thereto. 8 has a reinforcement 114 having a cross-sectional shape of the letter "x".

분할빔(110)은 도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이, 보강부(115,116) 중심에 원형 테두리의 단면을 가지는 휨저항부(115a,116a)가 형성되는데, 보강부는 이에 한하지 않고, 다각형 테두리, 다각형과 곡선으로 이루어지는 도형의 테두리 단면을 가지는 휨저항부가 중심에 형성될 수 있다.As shown in FIGS. 9 and 10, the split beam 110 is formed with bending resistance parts 115a and 116a having a circular edge cross section at the center of the reinforcement parts 115 and 116, but the reinforcement part is not limited thereto. A bending resistance part having an edge cross section of a figure consisting of an edge, a polygon, and a curve may be formed at the center.

결합수단(120)은 분할빔(110)들을 나란하게 위치하도록 하여 서로 면접촉시킨 상태로 결합시키는데, 분할빔(110)들의 접촉부위를 길이방향에 교차방향으로 관통하여 체결되는 볼트 및 너트의 조합이거나 리벳일 수 있으며, 본 실시예에서는 분할빔(110)간의 접합부위를 따라 용접에 의해 형성되는 용접 비드로써 분할빔(110)들이 면접촉된 상태를 유지하도록 한다. 이로 인해 결합수단(120)에 의하여 결합되는 분할빔(110)의 개수를 조절함으로써 분할빔(110) 전체가 이루는 단면적을 조절하여 이송물의 중량 등에 따른 필요한 강성을 가지도록 한다.Coupling means 120 is coupled to the state in which the split beams 110 are placed side by side in contact with each other, a combination of bolts and nuts fastened through the contact portion of the split beams 110 in the cross direction in the longitudinal direction In this embodiment, the split beams 110 are in surface contact with each other by welding beads formed by welding along the joints between the split beams 110. Therefore, by controlling the number of split beams 110 coupled by the coupling means 120, the cross-sectional area of the split beams 110 is adjusted to have the necessary rigidity according to the weight of the conveyed material.

분할빔(110)은 서로 면접촉시 결합수단(120)이 형성되는 접합부위에 모따기부(111)가 형성됨으로써 용접으로 형성되는 결합수단(120)과 접촉되는 부위를 증대시킨다. When the split beam 110 is in surface contact with each other, the chamfer 111 is formed at the junction where the coupling means 120 is formed, thereby increasing a portion contacting with the coupling means 120 formed by welding.

분할빔(110)은 강성의 증대를 위한 보강부재(130)를 장착하기 위하여 장착홈(113)이 마련된다.The split beam 110 is provided with a mounting groove 113 for mounting the reinforcing member 130 for increasing the rigidity.

장착홈(113)은 분할빔(110)이 서로 면접촉되는 측부위에 길이방향을 따라 형성됨으로써 내측으로 보강부재(130)가 삽입되어 장착되며, 결합수단(120)에 분할빔(110)이 서로 결합됨으로써 보강부재(130)의 이탈을 억제한다.The mounting groove 113 is formed along the longitudinal direction at the side portions where the split beams 110 are in surface contact with each other, so that the reinforcing member 130 is inserted and mounted inward, and the split beams 110 are coupled to the coupling means 120. By being coupled to suppress the separation of the reinforcing member 130.

보강부재(130)는 금속 또는 강성이 뛰어난 재질로 이루어질 수 있으며, 중량대비 강성이 뛰어나 탄소섬유보강수지(Carbon fiber reinforced plastic; CFRP)임이 바람직하다.The reinforcing member 130 may be made of a metal or a material having excellent rigidity, and is preferably carbon fiber reinforced plastic (CFRP) having excellent rigidity relative to weight.

한편, 도 2 및 도 3의 본 실시예에서 분할빔(110)이 4 개로 이루어지는 것을 나타내었으며, 4 개의 분할빔(110) 모서리가 모이는 중심부위에 보강부재(130)가 장착되기 위한 1 개의 장착홈(113)이 형성되는데, 이에 한하지 않고 설치되고자 하는 장비의 크기, 이송물의 중량 등에 따른 필요한 강성을 가지도록 다양한 개수의 분할빔(110) 및 보강부재(130)로 이루어질 수 있다.Meanwhile, in the present embodiment of FIGS. 2 and 3, four split beams 110 are shown, and one mounting groove for mounting the reinforcing member 130 on the center where four corners of the split beams 110 are collected. A 113 is formed, but is not limited thereto, and may include various numbers of split beams 110 and reinforcing members 130 to have necessary rigidity according to the size of the equipment to be installed, the weight of the conveyed material, and the like.

예컨대, 도 4는 제 2 실시예에 따른 스테이지 이송장치의 크로스빔(200)을 도시한 정면도로서, 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 스테이지 이송장치의 크로스빔(200)은 6 개의 분할빔(210)이 다수의 결합수단(220)에 의해 서로 결합되며, 이들의 중심부분에 2 개의 보강부재(230)가 각각 장착된다. For example, FIG. 4 is a front view showing the cross beam 200 of the stage transfer apparatus according to the second embodiment. As shown, the cross beam 200 of the stage transfer apparatus according to the present embodiment has six split beams. 210 is coupled to each other by a plurality of coupling means 220, two reinforcing members 230 are respectively mounted in the central portion thereof.

즉, 도 5a에 도시된 바와 같이, 3 개의 분할빔(210)을 나란하게 배열되도록 결합수단(220 ; 도 4에 도시), 즉 용접에 의하여 결합시킨 다음 도 5b에서 도시된 바와 같이, 서로 결합된 3 개의 분할빔(210) 한 쌍을 도 5c에서 도시된 바와 같이, 용접 등에 의해 형성되는 결합수단(220; 도 4에 도시)에 의해 일체를 이루도록 한다. 이 때, 분할빔(210)의 접촉부위에 마련되는 장착홈(미도시)에 휨에 저항하기 위한 보강부재(미도시)가 마련될 수 있다.That is, as shown in FIG. 5A, the three splitting beams 210 are coupled to each other by means of coupling means 220 (shown in FIG. 4), that is, by welding so as to be arranged side by side, and then as shown in FIG. As shown in FIG. 5C, a pair of the three split beams 210 may be integrally formed by coupling means 220 (shown in FIG. 4) formed by welding or the like. In this case, a reinforcing member (not shown) may be provided in the mounting groove (not shown) provided at the contact portion of the split beam 210 to resist bending.

또한, 도 6에 도시된 제 3 실시예에 따르면 크로스빔(300)은 두 개의 분할빔(310)으로 이루어져 있으며, 일예로 용접에 의하여 형성되는 결합수단(320)에 의해 결합된다. 즉, 도 7a에 도시된 바와 같이, 2 개의 분할빔(310)을 도 7b에 도시된 바와 같이, 나란하게 위치시킨 상태에서 측면이 서로 접하도록 배열시킨 다음 이들의 접합부위를 용접함으로써 도 7c에 도시된 바와 같이 분할빔(310)을 서로 일체가 되도록 한다. 이 때, 분할빔(310)사이에 장착홈을 형성하여 보강부재를 장착할 수 있음은 이전의 실시예와 동일하다.In addition, according to the third embodiment shown in FIG. 6, the cross beam 300 is composed of two split beams 310, and is coupled by a coupling means 320 formed by welding, for example. That is, as shown in FIG. 7A, the two split beams 310 are arranged side by side to be in contact with each other in a state of being side by side as shown in FIG. 7B, and then the joints thereof are welded to FIG. 7C. As shown, the split beams 310 are integral with each other. At this time, the reinforcing member can be mounted by forming mounting grooves between the split beams 310, as in the previous embodiment.

이와 같은 구조로 이루어진 스테이지 이송장치의 크로스빔의 작용은 다음과 같이 이루어진다.The operation of the cross beam of the stage feeder having such a structure is performed as follows.

본 발명에 따른 스테이지 이송장치의 크로스빔(100,200,300)은 설치되고자 하는 장비의 크기, 이송물의 중량 등에 따라 필요한 강성을 가지기에 적당한 개수의 분할빔(110,210,310)을 서로 나란하게 면접촉시킨 상태에서 이들 사이의 장착홈(113)에 보강부재(130,230)를 삽입시킨 다음 분할빔(110,210,310)들의 접합부위에 용접 등에 의해 결합수단(120,220,320)을 형성하여 이들 분할빔(110,210,310)을 서로 결합시킨다. Cross beams (100, 200, 300) of the stage transfer apparatus according to the present invention is a suitable number of split beams (110, 210, 310) in parallel contact with each other in a state in which they have the necessary rigidity in accordance with the size of the equipment to be installed, the weight of the conveying material, etc. Inserting the reinforcing members (130, 230) in the mounting groove 113 of the splitting beams (110, 210, 310) by joining the forming means (120, 220, 320) by welding or the like to combine these split beams (110, 210, 310).

이러한 크로스빔(100,200,300)은 내측에 보강부(112)가 형성된 분할빔(110,210,310)의 결합 개수를 늘림으로써 큰 규모의 장비, 예컨대, 2400mm 2500mm의 8세대 유리기판을 가공 또는 검사하는 장비처럼 큰 규모의 장비에 사용하기 위해 그 길이를 증가시키더라도 높은 강성을 유지할 수 있을 뿐만 아니라 중량 증가를 최소화하여 처짐이 발생하지 않으며, 제작시 분할빔(110,210,310) 각각을 압출하면 되므로 압출 용량에 대한 한계를 없앰으로써 큰 단면적, 예컨대 350cm 350cm 이상을 충족시킬 수 있다.The cross beams 100, 200, and 300 are large in size, such as equipment for processing or inspecting a large-scale device, for example, an 8th generation glass substrate of 2400 mm 2500 mm by increasing the number of couplings of the split beams 110, 210, and 310 having the reinforcement part 112 formed therein. Even if the length is increased for use in the equipment of the present invention, not only can maintain high rigidity but also minimize the weight increase and sag does not occur, and it is necessary to extrude each of the split beams 110, 210, and 310 during manufacturing, thereby eliminating the limitation on the extrusion capacity. It is possible to meet a large cross-sectional area, for example 350 cm 350 cm or more.

또한, 본 발명에 따른 크로스빔(100,200,300)은 그 길이 또는 이송물의 중량에 따라 다양한 크기의 단면적을 요구하게 되더라도 동일 형태 또는 최소 개수의 형태를 가지는 분할빔(110,210,310)의 결합수에 의해 단면적의 크기를 조절할 수 있게 됨으로써 제작시 필요되는 압출 금형의 수를 현저하게 줄이며, 이로 인해 제조 단가를 줄일 수 있다. In addition, the cross beams 100, 200, and 300 according to the present invention require cross-sectional areas of various sizes depending on the length or weight of the conveyed material. By being able to control the number of extrusion molds required during manufacturing significantly reduced, thereby reducing the manufacturing cost.

그리고, 결합수단(120,220,320)에 의해 서로 결합되는 분할빔(110,210,310)의 면접촉부위에 마련되는 장착홈(113)에 중량의 증가를 최소화하는 탄소섬유보강수지재로 제작된 보강부재(130,230)를 삽입 장착시킴으로써 분할빔(110,210,310)의 압출 프로파일(profile)에 보강부재(130,230) 장착을 위한 구조 형성이 용이함과 아울러 단면적 대비 강성의 증대를 가져오며, 단일 형태 또는 최소 종류의 형태를 가지는 분할빔(110,210,310)으로 이루어짐으로써 보관 및 핸들링이 용이하도록 한다. And, the reinforcing members 130 and 230 made of carbon fiber reinforcement resin to minimize the increase in weight in the mounting groove 113 provided in the surface contact portion of the split beam (110, 210, 310) coupled to each other by the coupling means (120, 220, 320) Insertion and mounting facilitates the formation of a structure for mounting the reinforcing members 130 and 230 in the extrusion profiles of the split beams 110, 210 and 310, and also increases the rigidity relative to the cross-sectional area. 110, 210, 310 to facilitate the storage and handling.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 스테이지 이송장치의 크로스빔은 이송물의 중량, 설치되는 장비의 크기 등에 따라 분할빔의 결합 개수를 조절함으로써 필요한 강성을 가지도록 하고, 설치되는 장비의 특성에 따른 전체적인 단면의 변화 및 구성을 쉽도록 하며, 동일한 규격의 분할빔으로 다양한 강성의 구현을 가능하도록 함으로써 제작 및 보관이 편리하고, 보강부재의 추가가 용이한 효과를 가지고 있다. As described above, the cross beam of the stage conveying apparatus according to the present invention has the necessary rigidity by adjusting the number of coupling of the split beam according to the weight of the conveyed material, the size of the equipment to be installed, etc. It is easy to change the cross-section and configuration, and by implementing the various stiffness with the split beam of the same standard, it is convenient to manufacture and storage, and has the effect of easily adding a reinforcing member.

이상에서 설명한 것은 본 발명에 따른 스테이지 이송장치의 크로스빔을 실시하기 위한 하나의 실시예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.What has been described above is just one embodiment for carrying out the cross beam of the stage transfer apparatus according to the present invention, and the present invention is not limited to the above-described embodiment, as claimed in the following claims. Without departing from the gist of the present invention, those skilled in the art to which the present invention pertains to the technical spirit of the present invention to the extent that various modifications can be made.

Claims (9)

스테이지 이송장치에서 이송하는 이송물을 지지하는 크로스빔에 있어서,In the cross beam for supporting the conveyed material from the stage feeder, 이송물의 이송을 가이드하며, 서로 면접촉되는 부위에 길이방향을 따라 장착홈이 형성되고, 상기 장착홈에 보강부재가 삽입되어 장착되는 다수의 분할빔과, A plurality of split beams for guiding the conveyance of the conveyed material and having mounting grooves formed along a longitudinal direction at portions which are in surface contact with each other, and a reinforcing member is inserted and mounted in the mounting grooves; 상기 분할빔들을 나란하게 면접촉시킨 상태에서 상기 분할빔을 서로 결합시키는 결합수단을 포함하며,Coupling means for coupling the split beams to each other in a state in which the split beams are in parallel surface contact with each other, 상기 결합수단에 의해 결합되는 상기 분할빔의 개수를 조절함으로써 상기 이송물의 중량에 따른 필요한 강성을 가지도록 하는 것By controlling the number of the split beams coupled by the coupling means to have the required rigidity according to the weight of the conveyed material 을 특징으로 하는 스테이지 이송장치의 크로스빔.Cross beam of the stage feeder characterized in that. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 분할빔은,The split beam, 휨에 대한 저항을 가지도록 내측에 보강부가 형성되는 것Reinforcing parts formed on the inside to have resistance to bending 을 특징으로 하는 스테이지 이송장치의 크로스빔.Cross beam of the stage feeder characterized in that. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 보강부는,The reinforcement part, 단일의 직선 또는 서로 교차되는 다수의 직선으로 이루어지는 단면 형상을 가지는 것Having a cross-sectional shape consisting of a single straight line or a plurality of straight lines crossing each other 을 특징으로 하는 스테이지 이송장치의 크로스빔.Cross beam of the stage feeder characterized in that. 삭제delete 삭제delete 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3, 상기 보강부재는,The reinforcing member, 금속 또는 탄소섬유보강수지(CFRP)인 것Of metal or carbon fiber reinforced resin (CFRP) 을 특징으로 하는 스테이지 이송장치의 크로스빔.Cross beam of the stage feeder characterized in that. 삭제delete 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 결합수단은,The coupling means, 상기 분할빔간의 접합부위를 따라 용접에 의해 형성되는 것Formed by welding along the junction between the split beams 을 특징으로 하는 스테이지 이송장치의 크로스빔.Cross beam of the stage feeder characterized in that. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 분할빔은,The split beam, 상기 접합부위에 모따기부가 형성되는 것Chamfered portion is formed at the junction 을 특징으로 하는 스테이지 이송장치의 크로스빔.Cross beam of the stage feeder characterized in that.
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