KR100879562B1 - 폴 팁의 과도한 돌출을 방지한 슬라이더, 헤드 짐발조립체, 및 하드 디스크 드라이브의 작동 방법 - Google Patents

폴 팁의 과도한 돌출을 방지한 슬라이더, 헤드 짐발조립체, 및 하드 디스크 드라이브의 작동 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR100879562B1
KR100879562B1 KR1020070040927A KR20070040927A KR100879562B1 KR 100879562 B1 KR100879562 B1 KR 100879562B1 KR 1020070040927 A KR1020070040927 A KR 1020070040927A KR 20070040927 A KR20070040927 A KR 20070040927A KR 100879562 B1 KR100879562 B1 KR 100879562B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
read
slider
write head
micro
head
Prior art date
Application number
KR1020070040927A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20070107585A (ko
Inventor
이성창
홍수열
Original Assignee
삼성전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전자주식회사 filed Critical 삼성전자주식회사
Publication of KR20070107585A publication Critical patent/KR20070107585A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100879562B1 publication Critical patent/KR100879562B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
    • G11B5/3109—Details
    • G11B5/313—Disposition of layers
    • G11B5/3133—Disposition of layers including layers not usually being a part of the electromagnetic transducer structure and providing additional features, e.g. for improving heat radiation, reduction of power dissipation, adaptations for measurement or indication of gap depth or other properties of the structure
    • G11B5/3136—Disposition of layers including layers not usually being a part of the electromagnetic transducer structure and providing additional features, e.g. for improving heat radiation, reduction of power dissipation, adaptations for measurement or indication of gap depth or other properties of the structure for reducing the pole-tip-protrusion at the head transducing surface, e.g. caused by thermal expansion of dissimilar materials
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B21/00—Head arrangements not specific to the method of recording or reproducing
    • G11B21/16—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads
    • G11B21/20—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads while the head is in operative position but stationary or permitting minor movements to follow irregularities in surface of record carrier
    • G11B21/21—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads while the head is in operative position but stationary or permitting minor movements to follow irregularities in surface of record carrier with provision for maintaining desired spacing of head from record carrier, e.g. fluid-dynamic spacing, slider
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B21/00—Head arrangements not specific to the method of recording or reproducing
    • G11B21/02—Driving or moving of heads
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B33/00—Constructional parts, details or accessories not provided for in the other groups of this subclass
    • G11B33/14—Reducing influence of physical parameters, e.g. temperature change, moisture, dust
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
    • G11B5/3109—Details
    • G11B5/313—Disposition of layers
    • G11B5/3133—Disposition of layers including layers not usually being a part of the electromagnetic transducer structure and providing additional features, e.g. for improving heat radiation, reduction of power dissipation, adaptations for measurement or indication of gap depth or other properties of the structure
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
    • G11B5/3109—Details
    • G11B5/313—Disposition of layers
    • G11B5/3133—Disposition of layers including layers not usually being a part of the electromagnetic transducer structure and providing additional features, e.g. for improving heat radiation, reduction of power dissipation, adaptations for measurement or indication of gap depth or other properties of the structure
    • G11B5/314—Disposition of layers including layers not usually being a part of the electromagnetic transducer structure and providing additional features, e.g. for improving heat radiation, reduction of power dissipation, adaptations for measurement or indication of gap depth or other properties of the structure where the layers are extra layers normally not provided in the transducing structure, e.g. optical layers
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
    • G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
    • G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
    • G11B5/6011—Control of flying height
    • G11B5/6064—Control of flying height using air pressure
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B2005/0002—Special dispositions or recording techniques

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)

Abstract

폴 팁의 과도한 돌출을 방지한 슬라이더, 헤드 짐발 조립체, 및 하드 디스크 드라이브의 작동 방법이 개시된다. 개시된 슬라이더는, 읽기-쓰기 헤드를 포함하는 변형 영역과, 변형 영역 내에 설치되어 변형 영역의 온도를 증가시켜 변형 영역이 팽창하도록 함으로써 디스크의 표면에 대한 읽기-쓰기 헤드의 수직 위치를 변경시키는 가열 요소와, 변형 영역 내에 형성되어 변형 영역의 팽창의 일부를 수용함으로써 폴 팁의 돌출을 제한하는 팽창 챔버를 구비한다. 개시된 헤드 짐발 조립체는, 상기 슬라이더와, 슬라이더에 결합된 플렉셔 핑거와, 슬라이더와 플렉셔 핑거에 결합되어, 디스크 표면상의 데이터에 억세스하도록 읽기-쓰기 헤드를 포지셔닝 하는데 기여하는 마이크로-액츄에이터 조립체를 구비한다. 개시된 하드 디스크 드라이브의 작동 방법은, 가열 요소에 수직 제어 신호를 인가하여, 변형 영역의 온도를 증가시켜 변형 영역이 팽창하도록 함으로써 읽기-쓰기 헤드의 수직 위치를 변경시키는 단계와, 변형 영역이 팽창 챔버 내로 팽창할 때, 그 팽창의 일부를 팽창 챔버가 수용함으로써 폴 팁의 돌출을 제한하는 단계를 구비한다.

Description

폴 팁의 과도한 돌출을 방지한 슬라이더, 헤드 짐발 조립체, 및 하드 디스크 드라이브의 작동 방법{Slider for preventing excessive pole tip protrusion, head gimbal assembly, and method of operating hard disk drive}
도 1a는 히터를 채용한 수직 마이크로-액츄에이터를 포함하는 종래의 슬라이더의 일 예를 보여주며,
도 1b는 도 1a의 슬라이더의 폴 팁이 과도하게 돌출된 상태를 보여주며;
도 1c 내지 1e는 본 발명에 따른 슬라이더의 일 예를 보여주며;
도 2a와 2b는 본 발명에 따른 슬라이더가 결합된 플렉셔 핑거와 헤드 짐발 조립체를 보여주며;
도 3a는 스핀 밸브를 채용한 도 2a의 읽기 헤드의 일 예를 보여주며;
도 3b는 터널링 밸브를 채용한 도 2a의 읽기 헤드의 일 예를 보여주며;
도 3c는 도 3a의 스핀 밸브가 사용된 디스크 표면상의 트랙 내의 비트들의 전형적인 디스크 표면에 평행한 분극을 보여주며;
도 3d는 도 3b의 터널링 밸브가 사용된 디스크 표면상의 트랙 내의 비트들의 전형적인 디스크 표면에 수직한 분극을 보여주며;
도 4a는 부분 조립된 도 2a의 하드 디스크 드라이브를 보여주며;
도 4b는 압전 효과를 이용한 마이크로-액츄에이터 조립체가 결합된 슬라이더 를 포함하는 도 2a와 2b의 헤드 짐발 조립체를 보여주며;
도 5 내지 7은 도 2a와 도 4a의 하드 디스크 드라이브의 부분 상세도를 보여주며;
도 8a는 도 4b의 마이크로-액츄에이터 조립체 내에 압전 효과를 사용한 예를 보여주며;
도 8b는 도 2a의 헤드 짐발 조립체, 플렉셔 핑거 및 슬라이더를 상세하게 보여주며;
도 9a와 9b는 도 2a의 헤드 짐발 조립체를 위한 마이크로-액츄에이터 조립체 내에 정전 효과를 사용한 예를 보여준다.
본 발명은 하드 디스크 드라이브에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 가열 요소에 의한 폴 팁의 과도한 돌출을 방지한 슬라이더와 이를 구비한 헤드 짐발 조립체 및 하드 디스크 드라이브의 작동 방법에 관한 것이다.
종래의 하드 디스크 드라이브는, 슬라이더에 내장된 하나 또는 그 이상의 읽기-쓰기 헤드를 각각의 회전하는 디스크의 표면 위로 포지셔닝 하기 위해, 액츄에이터 피봇을 통해 회전하는 액츄에이터 조립체를 포함한다. 회전하는 디스크의 표면상에 저장된 데이터는 전형적으로 동심원의 트랙들 내에 배열된다. 트랙의 데이터에 억세스 하기 위해, 서보 제어기는 먼저 보이스 코일 모터를 전기적으로 자극 함에 의해 읽기-쓰기 헤드를 포지셔닝 하는데, 보이스 코일 모터는 보이스 코일을 통해 액츄에이터 아암과 결합되어 헤드 짐발 조립체를 이동시켜 슬라이더를 트랙 가까이에 포지셔닝 한다. 읽기-쓰기 헤드가 트랙 가까이에 있을 때, 전형적으로 서보 제어기는 읽기-쓰기 헤드가 트랙 추종으로 알려진 작동 모드를 수행하도록 명령하며, 트랙 추종 모드 중에 읽기-쓰기 헤드는 트랙 내에 저장된 데이터에 억세스 하게 된다.
마이크로-액츄에이터는 트랙 추종 모드 중에 읽기-쓰기 헤드를 측방향으로 포지셔닝하기 위한 2차 구동 스테이지를 제공한다. 그들은 종종 정전 효과 및/또는 압전 효과를 사용하여 신속하게 미세한 위치 변화를 만들어낸다. 그들은 서보 제어기의 대역폭(band width)을 배가시키며, 현재 높은 용량의 하드 디스크 드라이브를 위해 필수적인 것으로 인식되고 있다.
하드 디스크 드라이브 업계의 주된 관심은 데이터 저장 밀도를 더욱 높이는데 있다. 이를 위해, 트랙 폭, 회전하는 디스크 표면으로부터의 읽기-쓰기 헤드의 비행고 또는 수직 포지셔닝, 및 읽기-쓰기 헤드 내의 읽기 헤드의 크기가 지속적으로 감소하고 있다. 읽기-쓰기 헤드의 비행고가 감소함에 따라, 읽기-쓰기 헤드와 디스크 표면 사이의 접촉 가능성은 증가하고 디스크 표면과 읽기-쓰기 헤드의 손상 가능성도 증가하게 된다. 특히, 트랙 추종 모드일 때, 슬라이더의 폴 팁(pole tip)이 과도하게 돌출되면, 읽기-쓰기 헤드가 회전하는 디스크 표면의 데이터와 접촉할 수 있다. 이러한 상태는 슬라이더의 읽기-쓰기 헤드 주변의 과도한 온도에 의해 야기된다.
도 1a에 도시된 바와 같이, 슬라이더(1)에 내장된 수직 마이크로-액츄에이터(8)로서 사용된 가열 요소는 변형 영역(7)을 팽창시켜 읽기-쓰기 헤드(4)와 회전하는 디스크(2)의 표면사이의 수직 거리(Vp)를 감소된 수직 거리(Vp1)까지 줄인다. 파워가 수직 마이크로-액츄에이터(8)에 인가된 때부터 변형 영역(7)의 변형은 항상 읽기-쓰기 헤드의 수직 거리(Vp)를 감소시키는 방향으로 발생한다. 이러한 시도가 현재 호응을 얻고 있지만, 도 1b에 도시된 바와 같이, 가열 요소에 의한 과도한 온도 상승에 기인하여 슬라이더(1)의 폴 팁(9)이 과도하게 돌출됨으로써, 읽기-쓰기 헤드의 수직 거리(Vp)가 더욱 작은 수직 거리(Vp2)까지 감소될 수 있다. 폴 팁(9)의 과도한 돌출에 기인한 바람직하지 않은 읽기-쓰기 헤드(4)와 디스크(2)의 표면의 접촉을 피하기 위해서는, 이 장치에 전형적으로 복잡한 전기적 구조가 설치되어야 한다. 과도한 과열은 전기적 제어의 오작동 또는 환경 조건의 갑작스런 변화, 구체적으로 고온과 고도에 의해 야기될 수 있다.
따라서, 슬라이더의 변형 영역이 과열되는 것을 막고 동시에 바람직하지 않은 읽기-쓰기 헤드와 디스크 표면의 접촉 가능성을 최소화하는 메커니즘과 방법이 필요하다.
본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로, 특히 변형 영역의 과열에 의한 폴 팁의 과도한 돌출을 방지하는 구조를 가진 슬라이더와 이를 구비한 헤드 짐발 조립체를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 상기한 구조의 슬라이더를 구비한 하드 디스크 드라이브를 작동하는 방법을 제공하는데 다른 목적이 있다.
상기의 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 하드 디스크 드라이브의 슬라이더는,
디스크의 표면상의 데이터에 억세스 하기 위한 읽기-쓰기 헤드를 포함하는 변형 영역; 상기 변형 영역 내에 설치되어 상기 변형 영역의 온도를 증가시켜 상기 변형 영역이 팽창하도록 함으로써 상기 디스크의 표면에 대한 상기 읽기-쓰기 헤드의 수직 위치를 변경시키는 가열 요소; 및 상기 변형 영역 내에 형성되어 상기 변형 영역의 팽창의 일부를 수용함으로써 폴 팁의 돌출을 제한하는 팽창 챔버;를 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서, 상기 슬라이더는 상기 변형 영역의 내부에 상기 팽창 챔버와 결합되도록 설치된 열전달 플레이트와, 상기 변형 영역의 외부에 상기 열전달 플레이트와 열적 접촉되도록 설치된 히트 싱크를 더 구비할 수 있으며, 상기 변형 영역이 상기 팽창 챔버 내로 팽창하여 상기 열전달 플레이트에 접촉함으로써, 상기 변형 영역의 열이 상기 열전달 플레이트를 통해 상기 히트 싱크로 전달되어 상기 변형 영역의 온도를 낮추게 된다.
본 발명에 있어서, 상기 읽기-쓰기 헤드는, 상기 디스크 표면상의 데이터를 읽기 위한 스핀 밸브와 터널링 밸브로 이루어진 군 중에서 선택된 어느 하나를 사용할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 읽기-쓰기 헤드로부터 제공된 읽기 차동 신호쌍으로 부터 증폭된 읽기 신호를 생성하는 증폭기를 더 구비할 수 있으며, 상기 증폭기는 공기 베어링 면의 반대쪽에 배치된 것이 바람직하고, 상기 변형 영역으로부터 분리된 것이 바람직하다.
그리고, 상기의 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 하드 디스크 드라이브의 헤드 짐발 조립체는,
상기한 구성을 가진 슬라이더; 상기 슬라이더에 결합된 플렉셔 핑거; 및 상기 슬라이더와 플렉셔 핑거에 결합되어, 상기 디스크 표면상의 데이터에 억세스하도록 상기 읽기-쓰기 헤드를 포지셔닝 하는데 기여하는 마이크로-액츄에이터 조립체;를 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서, 상기 헤드 짐발 조립체는 상기 플렉셔 핑거를 통해 상기 슬라이더에 결합된 로드 빔을 더 구비할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 마이크로-액츄에이터 조립체는 상기 읽기-쓰기 헤드를 측방향으로 포지셔닝 하는데 기여할 수 있으며, 상기 읽기-쓰기 헤드를 수직 방향으로 포지셔닝 하는데에도 기여할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 마이크로-액츄에이터 조립체는 상기 읽기-쓰기 헤드를 포지셔닝 하는데 기여하기 위해 압전 효과와 정전 효과로 이루어진 군 중에서 선택된 어느 하나를 채용할 수 있다.
또한, 상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 슬라이더를 구비한 하드 디스크 드라이브를 작동하는 방법은,
상기 가열 요소에 수직 제어 신호를 인가하여, 상기 변형 영역의 온도를 증 가시켜 상기 변형 영역이 팽창하도록 함으로써 상기 디스크의 표면에 대한 상기 읽기-쓰기 헤드의 수직 위치를 변경시키는 단계와, 상기 변형 영역이 상기 팽창 챔버 내로 팽창할 때, 그 팽창의 일부를 상기 팽창 챔버가 수용함으로써 상기 폴 팁의 돌출을 제한하는 단계;를 구비하는 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명한다. 이하의 도면들에서 동일한 참조부호는 동일한 구성요소를 가리킨다.
도 1c와 2a에 도시된 바와 같이, 본 발명의 슬라이더(90)는 수직 마이크로-액츄에이터를 형성하는 가열 요소(97)를 포함하며, 가열 요소(97)는 읽기-쓰기 헤드를 포함하는 변형 영역(97) 내에 설치된다. 상기 가열 요소(97)는 제1 슬라이더 파워 터미널(SP1)과 전위차를 제공하는 수직 제어 신호(VcAC)에 의해 자극되어 변형 영역(97)을 가열함으로써 하드 디스크 드라이브(10) 내의 회전하는 디스크(12)의 표면 위의 읽기-쓰기 헤드(97)의 수직 위치(Vp)를 감소된 수직 위치(Vp1)로 변경한다. 상기 슬라이더(90)는 변형 영역(97) 내에 형성된 팽창 챔버(93)를 포함한다. 상기 팽창 챔버(93)는 병형 영역(97)의 팽창의 일부를 수용함으로써, 폴 팁(99)의 과도한 돌출을 제한한다.
그리고, 상기 슬라이더(90)는, 변형 영역(97)의 내부에 상기 팽창 챔버(93)와 결합되도록 설치된 열전달 플레이트(95P)와, 상기 변형 영역(97)의 외부에 상기 열전달 플레이트(95P)와 열적 접촉되도록 설치된 히트 싱크(95)를 더 포함할 수 있다. 상기 열전달 플레이트(95P)는 히트 싱크(95)와 열적 접촉되도록 히트 싱크 커플링(95C)을 포함할 수 있다. 도 1d에 도시된 바와 같이, 상기 변형 영역(97)이 상 기 팽창 챔버(93) 내로 팽창하여 상기 열전달 플레이트(95P)에 접촉하게 되고, 변형 영역(97)의 열이 열전달 플레이트(95P)를 통해 히트 싱크(95)로 전달된다. 이에 따라, 변형 영역(97)의 온도가 낮아지고 슬라이더(90)의 폴 팁(99)의 돌출이 제한된다.
도 1e에 도시된 바와 같이, 상기 슬라이더(90)는 공기 베어링 면(92)을 더 포함하며, 슬라이더 길이(ds1)와 슬라이더 높이(ds2)를 가진다. 상기 변형 영역(97)은 변형 영역 길이(ds3)를 가진다. 상기 가열 요소(98)는 히터 높이(dh1)를 가지며, 공기 베어링 면(92)으로부터 히터 옵셋(dh2), 팽창 챔버(93)로부터 히터 옵셋(dh3), 쓰기 헤드(94W)로부터 히터 거리(dh4)만큼 이격된다. 상기 팽창 챔버(93)는 팽창 챔버 폭(de1)과 팽창 챔버 높이(de2)를 가진다. 상기 열전달 플레이트(95P)는 플레이트 폭(dp1)과 플레이트 높이(dp2)를 가진다. 상기 히트 싱크(95)는 히트 싱크 두께(dhs1), 히트 싱크 길이(dhs2), 변형 영역(97) 외부의 히트 싱크 연장부(dhs3)를 가진다. 상기 히트 싱크 커플링(95C)은 히트 커플링 폭(dc1), 히트 커플링 깊이(dc2)를 가지며, 열전달 플레이트(95P)의 엣지로부터의 커플링 옵셋(dc3)만큼 이격될 수 있다.
상기 열전달 플레이트(95P)의 엣지로부터의 커플링 옵셋(dc3)은 본질적으로 0㎛일 수 있으며, 도시된 바와 같이 0㎛보다 클 수도 있다. 상기 히트 커플링 깊이(dc2)는 본질적으로 0㎛일 수 있으며, 도시된 바와 같이 0㎛보다 클 수도 있다. 상기 히트 커플링 폭(dc1)은 본질적으로 플레이트 폭(dp1)일 수 있으며, 도시된 바와 같이 플레이트 폭(dp1)보다 작을 수 있다. 변형 영역(97) 외부의 히트 싱크 연 장부(dhs3)는 0㎛일 수 있으며, 또는 도시된 바와 같이 0㎛보다 클 수 있다. 도 1e의 모든 파라미터들은 달리 언급이 없으면 0㎛보다 큰 것이 바람직하다.
상기 슬라이더(90)와 그 읽기-쓰기 헤드(94)는 회전하는 디스크(12)의 표면상의 데이터를 읽기 위해 스핀 밸브(spin valve)를 사용하거나 또는 터널링 밸브(tunneling valve)를 사용하는 읽기 헤드(94-R)를 더 포함할 수 있다. 회전하는 디스크(12) 표면상의 데이터의 읽기 억세스의 결과로서 슬라이더(90)에 의해 보고된 증폭된 읽기 신호(ar0)를 생성하기 위해, 슬라이더(90)는 증폭기(96)를 더 포함할 수 있다. 상기 증폭기(96)는 공기 베어링 면(92)의 반대쪽에 있을 수 있으며, 변형 영역(97)으로부터 분리되어 있을 수 있고, 더 나아가 열전달 플레이트(95P)로부터 분리되어 있을 수 있다.
상기 슬라이더(90)는 하드 디스크 드라이브(10) 내의 회전하는 디스크(12)의 표면상의 데이터에 억세스 하기 위해 사용된다. 데이터는 전형적으로 트랙(도 4a의 122)으로 알려진 유니트 내에 조직되어 있으며, 이는 스핀들 샤프트(40)에 대해 중심 맞춰진 디스크(12)의 표면상에 동심원으로 배열되거나 연결된 나선형 트랙들로 조직될 수도 있다. 상기 슬라이더(90)가 회전하는 디스크(12)의 표면상의 데이터에 억세스 하도록 작동하면, 읽기 헤드(94-R)는 읽기 차동 신호쌍(r0)을 구동하여 회전하는 디스크(12)의 표면상의 데이터를 읽는다. 상기 읽기-쓰기 헤드(94)는 공기 베어링 면(92)과 증폭기(96)에 수직으로 형성된다.
도 3a에 도시된 바와 같이, 상기 읽기 헤드(94-R)는 읽기 차동 신호쌍(r0)을 구동하기 위해 스핀 밸브(spin valve)를 사용할 수 있다. 여기에서, 상기 스핀 밸 브는 자기-저항 효과를 채용하여 제1 쉴드(쉴드1)와 제2 쉴드(쉴드2) 사이에 유도된 센싱 전류(Is)를 생성한다. 상기 스핀 밸브는 1990년대 중반부터 사용되어 왔다.
도 3b에 도시된 바와 같이, 상기 읽기 헤드(94-R)는 읽기 차동 신호쌍(r0)을 구동하기 위해 터널링 밸브(tunneling valve)를 시용할 수 있다. 여기에서, 터널링 밸브는 터널링 효과를 사용하여 제1 쉴드(쉴드1)와 제2 쉴드(쉴드2)에 수직한 센싱 전류(Is)를 변조한다. 도 3c에 도시된 수평 방향으로 기록된 신호들과 도 3d에 도시된 수직 방향으로 기록된 신호들 모두 리더(reader)에 의해 읽혀질 수 있다. 수직 대 수평 기록은 라이터(writer)/매체 쌍의 기술에 관련되며 리더에 관련된 것은 아니다. 트랙(122) 내의 비트의 분극에 있어서의 이러한 차이는 데이터 밀도에 있어서 큰 증가를 이끌었으며, 2005년 봄에 거의 200 퍼센트 증가되었다.
상기 터널링 밸브는 아래와 같이 사용된다. 핀드 자성층(pinned magnetic layer)은 절연층에 의해 자유층(free ferromagnetic layer)으로부터 분리되어 있으며, 피닝 반강자성층(pinning antiferromagnetic layer)에 결합된다. 터널링 밸브의 자기-저항은 터널링 확률의 변화에 의해 야기되며, 이는 두 개의 강자성층들의 상대적인 자기 방향에 의존한다. 상기 센싱 전류(Is)는 이러한 터널링 확률의 결과이다. 회전하는 디스크(12)의 표면상의 트랙(122)의 비트의 자기장에 대한 자유층의 반응은 터널링 밸브를 통과하는 전기적 저항의 변화로 나타난다.
도 8b에 도시된 바와 같이, 본 발명의 슬라이더(90)는 읽기-쓰기 헤드(94)로부터 제공된 읽기 차동 신호쌍(r0)으로부터 증폭된 읽기 신호(ar0)를 생성하는 증 폭기(amplifier, 96)를 더 포함할 수 있다. 상기 읽기-쓰기 헤드(94)는 읽기 차동 신호쌍(r0)을 구동하는 읽기 헤드(94-R)와 쓰기 차동 신호쌍(w0)을 수신하는 쓰기 헤드(94-W)를 포함하는 것이 바람직하다. 상기 슬라이더(90)는 회전하는 디스크(12)의 표면상의 데이터를 읽기 억세스 한 결과로서 증폭된 읽기 신호(ar0)를 보고한다. 모든 실시예에서 필수적인 것은 아니지만, 본 발명의 슬라이더(90)의 대부분의 실시예에서, 상기 증폭기(96)는 공기 베어링 면(92)의 반대쪽에 있는 것이 바람직하다. 상기 증폭된 읽기 신호(ar0)는 증폭된 읽기 신호쌍(ar0+-) 또는 하나의 읽기 신호로서 이행될 수 있다. 상기 슬라이더(90) 내에 포함된 수직 마이크로-액츄에이터(98)는 변형 영역(97)뿐만 아니라 여기에 직접 결합된 다른 물질들에도 변형을 유도한다. 따라서, 도 4b, 8b 및 9a에 도시된 바와 같이, 상기 증폭기(96)는 수직 마이크로-액츄에이터(98)로부터 분리된 것이 바람직하다. 본 발명의 슬라이더(90)는 제1 슬라이더 파워 터미널(SP1)과 제2 슬라이더 파워 터미널(SP2)을 포함하며, 이들은 증폭된 읽기 신호(ar0)를 생성하는데 있어서 증폭기(96)를 구동하는데 함께 사용된다.
본 발명의 슬라이더(90)를 제조하는 방법은, 읽기 헤드(94R)와 쓰기 헤드(94W)를 포함하는 변형 영역(97)에 결합하는 가열 요소(98)를 형성하는 단계와, 포토-에칭 또는 다른 리소그라피 프로세스에 의해 공기 베어링 면(92)을 형성하는 단계를 포함할 수 있다. 상기 가열 요소(98)를 형성하는 단계는, 변형 영역(97)에 스퍼터링 및/또는 전자-증착하는 것을 포함할 수 있다.
본 발명의 슬라이더(90)를 제조하는 방법은 읽기-쓰기 헤드(94)를 증폭 기(96)에 결합하는 단계를 포함하며, 구체적으로 읽기 차동 신호쌍(r0)을 증폭기(96)에 전기적으로 연결한다. 본 발명은 슬라이더(90)의 제조 방법과 그 제조 방법의 생산물로서의 슬라이더(90)를 포함한다. 슬라이더(90)의 제조 방법은 읽기 헤드(94-R) 가까이에 공기 베어링 면(92)을 제공하는 것을 포함한다.
상기 읽기-쓰기 헤드(94)를 증폭기(96)에 결합하는 단계는, 증폭기(96)를 읽기 헤드(94-R)에 본딩하거나 또는 증폭기(96)를 읽기 헤드(94-R)에 설치함으로써 수행될 수 있다. 증폭기(96)를 본딩하는 것은 증폭기(96)를 읽기 헤드(94-R)에 접착 및/또는 용접, 및/또는 솔더링하는 것을 포함할 수 있다. 증폭기(96)를 설치하는 것은 신호 컨디셔닝 베이스를 생성하기 위해 절연물질을 증착하는 것, 및/또는 신호 컨디셔닝 베이스로서 슬라이더 기판을 사용하는 것, 및/또는 신호 컨디셔닝 베이스 상에 제1 반도체층을 증착하는 것을 포함할 수 있다. 상기 증폭기(96)를 설치하는 것은. 적어도 하나의 패턴을 정의하는 것과, 적어도 하나의 반도체 물질을 위한 적어도 하나의 층을 생성하기 위해 상기 패턴을 적어도 한 번 식각하는 것과, 증폭기(96)를 구현하는 적어도 하나의 트랜지스터 회로를 형성하기 위해 적어도 하나의 금속층을 형성하는 것을 포함할 수 있다. 본 발명에 사용되는 상기 트랜지스터는 2극 트랜지스터, 전계 효과 트랜지스터(FETs; Field Effect Transistors), 및 아몰퍼스 트랜지스터를 포함하는 것이 바람직하지만, 이에 한정되지는 않는다.
본 발명은 슬라이더(90)를 위한 플렉셔 핑거(20)를 포함하며, 플렉셔 핑거(20)는 슬라이더(90)에 기계적으로 결합하기 위한 마이크로-액츄에이터 조립체(80)를 포함할 수 있다. 상기 플렉셔 핑거(20)는 슬라이더(90)와 가열 요소(98) 에 수직 제어 신호(VcAC)를 제공하기 위한 수직 제어 신호 경로를 포함할 수 있다. 상기 마이크로-액츄에이터 조립체(80)는 회전하는 디스크(12) 표면의 데이터 위의 읽기-쓰기 헤드(94)의 측방향 포지셔닝(LP)에 도움을 주고, 수직 방향 포지셔닝(VP)에도 더 도움을 줄 수 있다. 상기 마이크로-액츄에이터 조립체(80)는 읽기-쓰기 헤드(94)를 포지셔닝 하는데 도움을 주기 위해 압전 효과 및/또는 정전 효과를 채용할 수 있다.
도 2a, 5, 6 및 8b의 슬라이더(90)를 위한 플렉셔 핑거(20)는, 회전하는 디스크(12)의 표면상의 데이터에 억세스 하기 위해 슬라이더(90)를 포지셔닝 하는데 도움을 주기 위해 슬라이더(90)와 기계적으로 결합된 마이크로-액츄에이터 조립체(80)를 포함할 수 있다. 상기 마이크로-액츄에이터 조립체(80)는, 도 4a에 도시된 바와 같이 회전하는 디스크(12)의 표면에 슬라이더(90)를 측방향 포지셔닝(LP) 하는 데 도움을 줄 수 있으며, 또한 도 1c, 1d 및 5에 도시된 바와 같이 슬라이더(90)를 수직 방향 포지셔닝(VP) 하는 데 도움을 줄 수도 있다. 상기 플렉셔 핑거(20)는 수직 제어 신호(VcAC)를 더 제공할 수 있으며, 바람직하게는 수직 마이크로-액츄에이터(98)에 슬라이더 파워 터미널(SP1)로서 제1 측방향 제어 신호(82P1)을 제공할 수 있다.
상기 플렉셔 핑거(20)는 바람직하게는 측방향 제어 신호(82)와, 쓰기 차동 신호쌍(w0)을 위한 슬라이더(90)와의 사이에 트레이스 경로를 포함한다. 상기 측방향 제어 신호(82)는 바람직하게는 제1 측방향 제어 신호(82P1)와 제2 측방향 제어 신호(82P2) 뿐만 아니라 AC 측방향 제어 신호(82AC)를 포함한다. 슬라이더(90)가 증폭기(96)를 포함하지 않을 때, 도 1c, 1d, 2a, 5 및 6에 도시된 바와 같이, 플렉셔 핑거(20)는 읽기 차동 신호쌍(r0)을 위해 트레이스 경로를 더 제공하는 것이 바람직하다.
상기 마이크로-액츄에이터 조립체(80)는 슬라이더(90)를 포지셔닝 하는데 도움을 주기 위해 압전 효과 및/또는 정전 효과를 채용할 수 있다. 본 발명의 몇몇의 실시예들에서 마이크로-액츄에이터 조립체(80)는, 도 2a, 2b, 5 및 8b에 도시된 바와 같이, 플렉셔 핑거(20)를 통해 헤드 짐발 조립체(60)와 결합하는 것이 바람직할 수 있다. 도 4b에 도시된 바와 같이, 상기 마이크로-액츄에이터 조립체(80)는 플렉셔 핑거(20)를 통해 로드 빔(74), 헤드 짐발 조립체(60) 및 헤드 스택 조립체(50)에 결합될 수 있다.
압전 효과를 채용한 마이크로-액츄에이터 조립체(80)의 예들은 도 4b와 8a에 도시되어 있다. 도 4b는 슬라이더(90)의 측방향 포지셔닝(LP)에 도움을 주기 위한 적어도 하나의 압전 요소(PZ1)를 포함하는 마이크로 액츄에이터 조립체(80)를 가진 헤드 짐발 조립체(60)의 측면도를 보여준다. 어떤 실시예들에서, 상기 마이크로-액츄에이터 조립체(60)는 하나의 압전 요소(PZ1)로 구성될 수 있다. 도 8a에 도시된 바와 같이, 상기 마이크로-액츄에이터 조립체(80)는 제1 압전 요소(PZ1)와 제2 압전 요소(PZ2)를 포함할 수 있으며, 둘 다 슬라이더(90)의 측방향 포지셔닝(LP)에 도움을 주는 것이 바람직할 수 있다. 어떤 실시예에서, 상기 마이크로-액츄에이터 조립체(80)는 회전하는 디스크(12)의 표면에 슬라이더(90)를 수직 방향으로 포지셔닝하는데 도움을 주는 제3의 압전 요소(미도시)를 더 포함할 수도 있다.
정전 효과를 채용한 마이크로-액츄에이터 조립체를 사용하는 본 발명의 예들은 도 9a와 9b에 도시되어 있으며, 이 도면들은 미국 출원 번호 10/986,345의 도면들로부터 추출된 것이다. 도 9a는 마이크로-액츄에이터 장착 플레이트(700)를 통해 플렉셔 핑거(20)에 결합하는 마이크로-액츄에이터 조립체(80)의 개략적인 측면도를 보여준다. 도 9b는 슬라이더(90)의 측방향 포지셔닝(LP)에 도움을 주기 위해 제1 정전 마이크로-액츄에이터(220)를 포함하는 정전 마이크로-액츄에이터 조립체(2000)를 보여준다. 상기 정전 마이크로-액츄에이터 조립체(2000)는 슬라이더(90)의 수직 방향 포지셔닝(VP)에 도움을 주기 위해 제2 정전 마이크로-액츄에이터(520)를 더 포함할 수 있다.
상기 제1 정전 마이크로-액츄에이터(220)는, 제1 스테이터(230)에 결합된 제1 피봇 스프링 쌍(402, 408), 제2 스테이터(250)에 결합된 제2 피봇 스프링 쌍(400, 406), 중심 가동 섹션(300)에 결합된 제1 플렉셔 스프링 쌍(410, 416)과 제2 플렉셔 스프링 쌍(412, 418), 및 중심 가동 섹션(300)에 결합된 피치 스프링 쌍(420, 422)을 포함한다. 상기 중심 가동 섹션(300)은 슬라이더(90)의 읽기-쓰기 헤드(94)의 증폭된 읽기 신호(ar0)와 쓰기 차동 신호쌍(w0)에 결합된 신호쌍 경로를 포함한다.
본딩 블록(210)은 바람직하게는 읽기-쓰기 헤드(90)를 증폭된 읽기 신호(ar0)와 쓰기 차동 신호쌍(w0)에 전기적으로 결합시키며, 중심 가동 섹션(300)을 공기 베어링 면(92) 상에 또는 가까이에 내장된 읽기-쓰기 헤드(94)를 가진 슬라이더(90)에 기계적으로 결합시킨다.
상기 제1 정전 마이크로-액츄에이터(220)는 슬라이더(90)의 측방향 포지셔닝(LP)에 도움을 주며, 이는 회전하는 디스크(12)의 표면상의 적은 수의 트랙들(122) 위로 읽기-쓰기 헤드(94)를 포지셔닝 하기 위해 최종적으로 제어될 수 있다. 이러한 측방향 모션은 제1 기계적 자유도이며, 이는 중심 가동 섹션(300)과 정전기적으로 상호 작용하는 제1 스테이터(230)와 제2 스테이터(250)로부터 발생된다. 상기 제1 정전 마이크로-액츄에이터(220)는 상기한 미국 특허 출원에 상세하게 설명되어 있는 바와 같이 측방향 콤 드라이브 또는 횡방향 콤 드라이버로서 작용할 수 있다.
상기 정전 마이크로-액츄에이터 조립체(2000)는 제3 스테이터(510)와 제4 스테이터(550)를 포함하는 제2 정전 마이크로-액츄에이터(520)를 더 포함할 수 있다. 제3 및 제4 스테이터(510, 550) 모두 중심 가동 섹션(300)과 정전기적으로 상호 작용한다. 이러한 상호 작용은 슬라이더(90)가 제2의 기계적 자유도로 움직이도록 하며, 비행고의 제어를 제공하기 위한 수직 방향 포지셔닝(VP)에 도움을 준다. 상기 제2 정전 마이크로-액츄에이터(520)는 상기한 미국 특허 출원에 상세하게 설명되어 있는 바와 같이 수직 콤 드라이브 또는 비틀림 드라이브로서 작용할 수 있다. 상기 제2 정전 마이크로-액츄에이터(520)는 또한 모션 센싱을 제공할 수 있으며, 이는 억세스되는 회전하는 디스크(120)의 표면과의 충돌을 나타낼 수 있다.
상기 중심 가동 섹션(300)은 읽기-쓰기 헤드(90)를 포지셔닝 할 뿐만 아니라 증폭된 읽기 신호(ar0), 쓰기 차동 신호쌍(w0) 및 어떤 실시예에서 제1 슬라이더 파워 터미널(SP1)과 제2 슬라이더 파워 터미널(SP2)을 위한 통로이다. 상기 제1 정 전 마이크로-액츄에이터(220)의 전기적 자극은 그 스프링들의 몇몇을 통해 제공된다.
상기 중심 가동 섹션(300)은 접지 전위에 있는 것이 바람직할 수 있으며, 그래서 와이어를 필요로 하지 않는다. 읽기 차동 신호쌍(r0), 쓰기 차동 신호쌍(w0) 및 슬라이더 파워 터미널들(SP1, SP2)의 트레이스들은 도 9a에 도시된 바와 같이 로드 빔(74)까지 줄곧 플렉시블 트레이스들로 배열된 것이 바람직하다.
도 8b에 도시된 바와 같이, 상기 플렉셔 핑거(20)는 증폭된 읽기 신호(ar0)를 위한 읽기 트레이스 경로(rtp)를 더 제공할 수 있다. 상기 슬라이더(90)는 제1 슬라이더 파워 터미널(SP1)과 제2 슬라이더 파워 터미널(SP2)을 더 포함할 수 있으며, 둘 다 증폭기(96)에 전기적으로 연결되어 증폭된 읽기 신호(ar0)를 생성하기 위해 함께 파워를 제공한다. 상기 플렉셔 핑거(20)는 상기 제1 슬라이더 파워 터미널(SP1)과 제2 슬라이더 파워 터미널(SP2) 각각에 전기적으로 연결된 파워 경로들을 더 포함할 수 있으며, 이들은 함께 증폭된 읽기 신호(ar0)를 생성하기 위해 전기적 파워를 제공하는데 사용된다.
본 발명의 헤드 짐발 조립체(60)는 슬라이더(90)에 결합된 플렉셔 핑거(20)를 포함하며, 이는 슬라이더(90)에 기계적으로 결합된 마이크로-액츄에이터 조립체(80)를 더 포함하고, 슬라이더(90)의 수직 제어 신호(VcAC)에 전기적으로 결합된 수직 제어 신호 경로를 더 포함할 수 있다. 본 발명의 헤드 스택 조립체(50)는 헤드 스택(54)에 결합된 적어도 하나의 헤드 짐발 조립체(60)를 포함한다. 본 발명의 하드 디스크 드라이브(10)는 헤드 스택 조립체(50)를 포함하며, 이는 적어도 하나 의 헤드 짐발 조립체(60)를 포함한다.
상기 헤드 짐발 조립체(60)는 슬라이더(90)에 결합된 플렉셔 핑거(20)와, 회전하는 디스크(12)의 표면상의 데이터에 억세스 하도록 슬라이더(90)를 포지셔닝 하는데 도움을 주기 위해 슬라이더(90)에 기계적으로 결합된 마이크로-액츄에이터 조립체(80)를 포함한다. 상기 마이크로-액츄에이터 조립체(80)는 제1 마이크로-액츄에이터 파워 터미널(82P1)과 제2 마이크로-액츄에이터 파워 터미널(82P2)을 더 포함할 수 있다. 상기 제1 마이크로-액츄에이터 파워 터미널(82P1)과 제2 마이크로-액츄에이터 파워 터미널(82P2)은 각각 파워 경로에 전기적으로 연결될 수 있다. 상기 헤드 짐발 조립체(60)를 작동하는 것은 회전하는 디스크(12)의 표면상의 데이터에 읽기 억세스 하도록 슬라이더(90)를 포지셔닝 하는데 도움을 주도록 마이크로-액츄에이터 조립체(80)를 작동하는 것을 포함하는 것이 바람직하며, 이는 마이크로-액츄에이터 조립체(80)에 전기적 파워를 제공하는 것을 포함한다.
상기 헤드 짐발 조립체(60)는, 도 5와 8b에 도시된 바와 같이, 수직 마이크로-액츄에이터, 즉 가열 요소(98)에 수직 제어 신호(VcAC)를 더 제공할 수 있다. 상기 헤드 짐발 조립체(60)를 작동하는 것은 수직 제어 신호(VcAC)를 구동하는 것을 포함하는 것이 바람직하다. 제1 마이크로-액츄에이터 파워 터미널(82P1)은 제1 슬라이더 파워 터미널(SP1)에 묶여지고, 둘 다 파워 경로에 전기적으로 연결된다.
상기 헤드 짐발 조립체(60)는 제1 슬라이더 파워 터미널(SP1)과 제2 슬라이더 파워 터미널(SP2)를 사용하여 증폭된 읽기 신호(ar0)를 생성하기 위해 증폭기(96)를 더 포함할 수 있다. 도 8b에 도시된 바와 같이, 상기 플렉셔 핑거(20)는 증폭된 읽기 신호(ar0)와 전기적으로 연결된 읽기 트레이스 경로(rtp)를 더 포함할 수 있다. 상기 헤드 짐발 조립체(60)는 회전하는 디스크(12)의 표면상의, 바람직하게는 트랙(122)으로 조직된 데이터에 읽기 억세스 할 때 아래와 같이 작동한다. 상기 슬라이더(90)는 읽기 억세스의 결과로서 증폭된 읽기 신호(ar0)를 보고한다.
도 2b와 9a에 도시된 바와 같이, 상기 플렉셔 핑거(20)는 로드 빔(74)에 결합될 수 있으며, 이는 로드 빔(74)의 금속 부분에 전기적으로 결합된 파워 경로를 더 포함할 수 있다. 어떤 실시예에서, 상기 금속 부분은 본질적으로 로드 빔(74)의 전체일 수 있다.
보다 상세하게 설명하면, 상기 헤드 짐발 조립체(60)는 힌지(70)를 통해 로드 빔(74)에 결합된 베이스 플레이트(72)를 포함한다. 상기 플렉셔 핑거(20)는 로드 빔(74)에 결합되며 마이크로-액츄에이터 조립체(80)와 슬라이더(90)는 플렉셔 핑거(20)를 통해 헤드 짐발 조립체(60)에 결합된다. 상기 로드 빔(74)은 바람직하게는 슬라이더(90)와 제1 슬라이더 파워 터미널(SP1)과 전기적으로 연결될 수 있으며, 더 바람직하게는 파워 경로를 형성하기 위해 마이크로-액츄에이터 조립체(80)에 연결될 수 있다.
본 발명의 헤드 짐발 조립체(60)를 제조하는 방법은, 플렉셔 핑거(20)를 본 발명의 슬라이더(90)에 결합하는 것을 포함하며, 이는 마이크로-액츄에이터 조립체(80)를 슬라이더(90)에 기계적으로 결합하는 것을 더 포함한다. 상기 플렉셔 핑거(20)를 슬라이더(90)에 결합하는 것은, 도 8b에 도시된 바와 같이, 읽기 트레이스 경로(rtp)와 증폭된 읽기 신호(ar0)를 전기적으로 결합하는 것을 포함하며, 또 는 그 대신에 읽기 차동 신호쌍(r0)을 제공하는 것을 포함한다. 상기 마이크로-액츄에이터 조립체(80)를 슬라이더(90)에 결합하는 것은 제1 마이크로-액츄에이터 파워 터미널(82P1)을 제1 슬라이더 파워 터미널(SP1)에 전기적으로 연결하는 것 및/또는 제2 마이크로-액츄에이터 파워 터미널(82P2)을 제2 슬라이더 파워 터미널(SP2)에 전기적으로 연결하는 것을 포함할 수 있다. 본 발명은 이러한 제조 방법과 그 제조 방법의 생산물로서의 헤드 짐발 조립체(60)를 포함한다. 본 발명의 헤드 짐발 조립체(60)를 제조하는 것은 플렉셔 핑거(20)를 슬라이더(90)에 전기적으로 연결하는 것을 더 포함할 수 있다.
도 5와 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명은 헤드 스택(54)에 결합된 적어도 하나의 헤드 짐발 조립체(60)를 가진 헤드 스택 조립체(50)를 포함한다.
상기 헤드 스택 조립체(50)는 헤드 스택(54)에 결합된 하나 이상의 헤드 짐발 조립체(60)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 도 6은 제2 헤드 짐발 조립체(60-2), 제3 헤드 짐발 조립체(60-3) 및 제4 헤드 짐발 조립체(60-4)와 결합된 헤드 스택 조립체(50)를 보여준다. 더욱이, 도 5에 도시된 헤드 스택(54)은 헤드 짐발 조립체(60)에 결합된 액츄에이터 아암(52)을 포함한다. 도 6에서, 상기 헤드 스택(54)은 제2 액츄에이터 아암(52-2)과 제3 액츄에이터 아암(52-3)을 더 포함하며, 제2 액츄에이터 아암(52-2)은 제2 헤드 짐발 조립체(60-2)와 제3 헤드 짐발 조립체(60-3)에 결합되고, 제3 액츄에이터 아암(52-3)은 제4 헤드 짐발 조립체(60-4)에 결합된다. 상기 제2 헤드 짐발 조립체(60-2)는 제2 슬라이더(90-2)를 포함하며, 이는 제2 읽기-쓰기 헤드(94-2)를 가진다. 제3 헤드 짐발 조립체(60-3)는 제3 슬라이 더(90-3)를 포함하며, 이는 제3 읽기-쓰기 헤드(94-3)를 가진다. 그리고 제4 헤드 짐발 조립체(60-4)는 제4 슬라이더(90-4)를 포함하며, 이는 제4 읽기-쓰기 헤드(94-4)를 가진다.
상기 슬라이더(90)에 증폭기(96)가 포함된 실시예에서, 슬라이더(90)는 읽기 억세스의 결과로서 증폭된 읽기 신호(ar0)를 보고한다. 상기 플렉셔 핑거(20)는, 도 4b에 도시된 바와 같이, 증폭된 읽기 신호(ar0)를 위해 읽기 트레이스 경로(rtp)를 제공한다. 상기 헤드 스택 조립체(50)는 플렉셔 핑거(20)와 결합된 메인 플렉스 회로(200)를 포함할 수 있으며, 이는 읽기 억세스한 결과로서의 증폭된 읽기 신호(ar0)에 근거하여 읽기 신호(25R)를 생성하기 위해 읽기-쓰기 신호 번들(rw) 내의 읽기 트레이스 경로에 전기적으로 연결된 전치증폭기(24)를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 헤드 스택 조립체(50)를 제조하는 방법은, 적어도 하나의 본 발명의 헤드 짐발 조립체(60)를 헤드 스택(50)에 결합하는 것을 포함한다. 상기 제조 방법은 하나 이상의 헤드 짐발 조립체(60)를 헤드 스택(54)에 결합하는 것을 더 포함할 수 있다. 상기 제조 방법은 바람직하게는 메인 플렉스 회로(220)를 플렉셔 핑거(20)에 결합하는 것을 더 포함할 수 있으며, 이는 회전하는 디스크(12)의 표면상의 데이터에 읽기 억세스 한 결과로서 읽기 신호(25R)를 제공하기 위해 읽기 트레이스 경로(rtp)에 전치증폭기(24)를 전기적으로 연결하는 것을 더 포함한다. 본 발명은 헤드 스택 조립체(50)의 제조 방법과 그 제조 방법의 생산물로서의 헤드 스택 조립체(50)를 포함한다. 상기 헤드 짐발 조립체(50)를 헤드 스택(50)에 결합하는 단계는, 바람직하게는 베이스 플레이트(72)를 액츄에이터 아암(52)에 스웨이징 함으로써 이행될 수 있다.
본 발명은, 도 2a, 4a, 5, 6, 및 7에 도시된 하드 디스크 드라이브(10)를 포함하며, 하드 디스크 드라이브(10)는 액츄에이터 피봇(58)을 통해 디스크 베이스(14) 상에 회전 가능하게 장착되고 회전하는 디스크(12)의 표면상의 데이터에 억세스 하는 읽기-쓰기 헤드(94)를 위해 데이터(122) 가까이로 측방향 포지셔닝(LP) 되는 헤드 짐발 조립체(60)의 슬라이더(90)를 위해 배열된 헤드 스택 조립체(50)를 포함한다. 디스크(12)는 스핀들 축(40)에 의해 스핀들 모터(270)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 헤드 스택 조립체(50)는 내장된 회로(500)에 전기적으로 결합된다. 데이터는 회전하는 디스크(12)의 표면상에 방사상으로 연속된 동심의 원형 트랙들 또는 방사상으로 연속된 연결된 나선형 트랙들로서 배열될 수 있다.
상기 하드 디스크 드라이브(10)는 내장된 회로(500)에 포함된 서보 제어기(600)를 포함할 수 있으며, 서보 제어기(600)는 보이스 코일 모터(18)에 결합되어 마이크로-액츄에이터 조립체(80)를 구동하는 마이크로-액츄에이터 자극 신호(650)와, 읽기-쓰기 헤드(94)로부터의 읽기-쓰기 신호 번들(rw) 내에 포함된 증폭된 읽기 신호(ar0)에 근거한 읽기 신호(25R)를 제공함으로써 위치 에러 신호(Position Error Signal, 260)를 생성한다.
상기 내장된 회로(500)는, 도 5에 도시된 바와 같이, 메모리(620)에 억세스 가능하게 결합된 서보 컴퓨터(610)를 포함하는 서보 제어기(600)를 포함하는 것이 바람직하다. 프로그램 시스템(1000)은 하드 디스크 드라이브(10)를 작동하는 방법 을 수행함에 있어서 서보 컴퓨터(610)를 명령할 수 있다. 상기 프로그램 시스템(1000)은 메모리(620) 내에 저장된 적어도 하나의 프로그램 단계를 포함하는 것이 바람직하다. 상기 내장된 회로(500)는 바람직하게는 인쇄 회로 기술로 구현될 수 있다. 측방향 제어 신호(82)는 바람직하게는 마이크로-액츄에이터 드라이버(28)에 의해 생성된다. 상기 측방향 제어 신호(82)는 바람직하게는 제1 측방향 제어 신호(82P1)와 제2 측방향 제어 신호(82P2) 뿐만 아니라, AC 측방향 제어 신호(82AC)를 포함한다.
보이스 코일 드라이버(30)는 바람직하게는 보이스 코일(32)을 통해 보이스 코일 모터(18)를 자극하여 슬라이더(90)의 조악한 포지셔닝, 상세하게는 회전하는 디스크(12)의 표면상의 트랙(122) 가까이로의 읽기 헤드(94-R)의 포지셔닝을 제공한다.
상기 내장된 회로(500)는 회전하는 디스크(12)의 표면상의 데이터에 읽기 억세스 하는 동안 읽기 신호(25R)를 처리할 수 있다. 상기 슬라이더(90)는 회전하는 디스크(12)의 표면상의 데이터의 읽기 억세스의 결과로서 증폭된 읽기 신호(ar0)를 보고한다. 도 4b에 도시된 바와 같이, 상기 플렉셔 핑거(20)는 증폭된 읽기 신호(ar0)를 위한 읽기 트레이스 경로(rtp)를 제공한다. 상기 메인 플렉스 회로(200)는 읽기 신호(25R)를 생성하기 위해 읽기 트레이스 경로(rtp)로부터 증폭된 읽기 신호(ar0)를 수신한다. 상기 내장된 회로(500)는 읽기 신호(25R)를 수신하여 회전하는 디스크(12) 표면상의 데이터를 읽는다.
여기에서 컴퓨터는 적어도 하나의 명령 프로세서와 적어도 하나의 데이터 프 로세서를 포함할 수 있으며, 데이터 프로세서 각각은 적어도 하나의 명령 프로세서에 의해 명령 받는다.
상기 하드 디스크 드라이브(10)를 제조하는 방법은, 헤드 스택 조립체(50)를 액츄에이터 피봇(58)에 의해 디스크 베이스(14)에 장착하는 단계와, 헤드 스택 조립체(50), 디스크(12), 및 스핀들 모터(270)에 회전 가능하게 결합된 디스크(12)의 표면상의 데이터에 억세스 하기 위해 헤드 짐발 조립체(60)의 슬라이더(90)를 위해 스핀들 모터(270)를 정렬하는 것을 포함할 수 있다. 본 발명은 이러한 제조 방법과 그 제조 방법의 생산물로서의 하드 디스크 드라이브(10)를 포함한다.
상기 제조 방법은 회전하는 디스크(12)의 표면상의 데이터(122)의 읽기 억세스의 결과로서 읽기 신호(25R)를 제공하기 위해 본 발명의 헤드 스택 조립체(50)를 내장된 회로(500)에 전기적으로 결합하는 것을 더 포함할 수 있다. 하드 디스크 드라이브(10)를 제조하는 방법은, 서보 제어기(600) 및/또는 내장된 회로(500)를 보이스 코일 모터(18)에 결합하는 것과 마이크로-액츄에이터 조립체(80)를 구동하기 위해 마이크로-액츄에이터 자극 신호(650)를 제공하는 것을 더 포함할 수 있다. 하드 디스크 드라이브(10)를 제조하는 방법은, 내장된 회로(500)의 수직 제어 드라이버(29)를 헤드 스택 조립체(50), 특히 플렉셔 핑거(20)를 통해 슬라이더(90)의 수직 제어 신호(VcAC)에 전기적으로 연결하는 것을 더 포함할 수 있다.
상기 서보 제어기(600) 및/또는 내장된 회로(500)를 제조하는 방법은, 메모리(620)를 프로그램 시스템(1000)으로 프로그래밍하는 것을 포함할 수 있으며, 바람직하게는 비휘발성 메모리 요소를 프로그래밍한다. 상기 내장된 회로(500), 몇몇 의 실시예에서 상기 서보 제어기(600)를 제조하는 것은 서보 컴퓨터(610)와 메모리(620)를 서보 제어기(600)에 내에 설치하는 것과 메모리(620)를 프로그램 시스템(1000)으로 프로그래밍하는 것을 포함할 수 있다.
도 6의 상세도를 보면, 하드 디스크 드라이브(10)는 디스크(12)와 제2 디스크(12-2)를 포함할 수 있다. 상기 디스크(12)는 제1 디스크 표면(120-1)과 제2 디스크 표면(120-2)을 포함한다. 상기 제2 디스크(12-2)는 제3 디스크 표면(120-3)과 제4 디스크 표면(120-4)을 포함한다. 상기 보이스 코일 모터(18)는, 디스크 베이스(14) 상에 장착된 고정된 마그넷(34)과 상호 작용하는 헤드 스택(54)에 장착된 보이스 코일(32)에 응답하여, 디스크 베이스(14) 상에 장착된 액츄에이터 피봇(58)을 통해 회전하는 헤드 스택 조립체(50)를 포함한다. 상기 헤드 스택 조립체(50)는 읽기-쓰기 헤드(94)를 포함하는 슬라이더(90)에 결합된 적어도 하나의 액츄에이터 아암(52)을 가진 헤드 스택(54)을 포함한다. 상기 슬라이더(90)는 마이크로-액츄에이터 조립체(80)에 결합된다.
상기 읽기-쓰기 헤드(94)는 전형적으로 플렉셔 핑거(20)에 의해 제공되는 읽기-쓰기 신호 번들(rw)을 사용하여 메인 플렉스 회로(200) 상의 전치증폭기(24)를 통해 종종 서보 제어기(600) 내에 위치한 채널 인터페이스(26)에 인터페이스 한다. 상기 채널 인터페이스(26)는 종종 위치 에러 신호(260, PES)를 서보 제어기(600) 내에 제공한다. 하드 디스크 드라이브(10)가 하나 이상의 마이크로-액츄에이터 조립체(80)를 포함할 때, 마이크로-액츄에이터 자극 신호(650)는 공유되는 것이 바람직하다. 측방향 제어 신호(82)도 공유되는 것이 더 바람직하다. 전형적으로, 각 읽 기-쓰기 헤드(94)는 전형적으로 별도의 플렉셔 핑거(20)에 의해 제공되는 별도의 읽기 및 쓰기 신호를 사용하여 전치증폭기(24)와 인터페이스 한다. 예들 들면, 제2 읽기-쓰기 헤드(94-2)는 제2 플렉셔 핑거(20-2)를 통해, 제3 읽기-쓰기 헤드(94-3)는 제3 플렉셔 핑거(20-3)를 통해, 제4 읽기-쓰기 헤드(94-4)는 제4 플렉셔 핑거(20-4)를 통해 전치증폭기(24)와 인터페이스 한다.
정상적인 디스크 억세스 동작 중에, 하드 디스크 드라이브(10)는 회전하는 디스크(12)의 표면상의 데이터에 억세스 할 때 아래와 같이 작동한다. 스핀들 모터(270)는 읽기-쓰기 헤드(94)에 의해 억세스 되는 회전하는 디스크(12)의 표면을 생성하기 위해 내장된 회로(500), 종종 서보 제어기(600)에 의해 디스크(12)를 회전시키도록 명령받는다. 상기 내장된 회로(500), 특히 서보 제어기(600)는 보이스 코일 드라이버(32)를 구동하여 보이스 코일 제어 신호(22)를 생성하며, 보이스 코일 제어 신호(22)는 교류의 전기 신호로 보이스 코일(32)을 자극하여 시변화 전자기장을 유도하고, 이는 고정된 마그넷(34)과 상호 작용하여 보이스 코일(32)을 액츄에이터 피봇(58)을 통해 디스크 베이스(14)에 대해 평행하게 이동시킨다. 이는 액츄에이터 피봇(58) 둘레를 회전하는 헤드 스택(54)에 견고하게 결합된 액츄에이터 아암(52)에 결합된 헤드 짐발 조립체(60) 내의 슬라이더(90)의 읽기-쓰기 헤드(94)의 측방향 포지션(LP)을 변경시킨다. 전형적으로, 하드 디스크 드라이브(10)는 읽기-쓰기 헤드(94)를 상기한 바와 같이 전형적으로 트랙(122)으로 조직된 데이터 가까이로의 조악한 포지셔닝을 위해 먼저 트랙 탐색 모드에 들어간다. 읽기-쓰기 헤드(94)가 트랙(122) 가까이에 있을 때, 트랙 추종 모드가 개시된다. 종종 이 는 마이크로-액츄에이터 드라이버(28)에 의해 구동되는 측방향 제어 신호(82)에 의해 자극되는 마이크로-액츄에이터 조립체(80)에 의해 제공되는 부가적 포지셔닝 제어를 수반한다. 트랙(122)을 읽는 것은 또한 위치 에러 신호(260)를 포함할 수 있으며, 이는 트랙 추종 모드 중에 서보 제어기(600)에 의해 포지셔닝 피드백으로서 사용된다.
상기 하드 디스크 드라이브(10)는, 수직 제어 신호(VcAC)를 구동함에 의해 작동할 수 있으며, 제1 슬라이더 파워 터미널(SP1)에 전위차를 제공함으로써 수직 마이크로-액츄에이터(98)를 자극하여 디스크(12)의 표면에 대한 읽기-쓰기 헤드(94)의 수직 위치(Vp)를 감소시킨다. 도 1c에 도시된 바와 같이, 가열 요소(98)를 자극하여 변형 영역(97)의 온도를 상승시키고, 이에 따라 변형 영역(97)이 팽창하여 회전하는 디스크(12)의 표면 위의 읽기-쓰기 헤드(94)의 수직 위치(Vp)가 변경된다. 이때, 변형 영역(97)이 팽창 챔버(93) 내로 팽창하여 열전달 플레이트(95P)에 접촉하게 되고, 변형 영역(97)의 열은 열전달 플레이트(95P)를 통해 변형 영역(97) 외부의 히트 싱크(95)로 전달되므로, 변형 영역(97)의 온도가 낮아지고 슬라이더(90)의 폴 팁(99)의 돌출이 제한된다. 이러한 작동은 회전하는 디스크(12)의 표면상의 트랙(122)을 탐색할 때 및/또는 트랙(122)을 추종할 때 수행될 수 있다. 상기 서보 제어기(600)는 수직 제어 신호(VcAC)를 구동하는 수단을 포함할 수 있으며, 이는 수직 마이크로-액츄에이터(98)에 제공될 수직 제어 신호(VcAC)를 생성하기 위해 적어도 부분적으로 수직 제어 드라이버(도 5의 29)에 의해 수행된다. 상기 수직 제어 드라이버(29)는 전형적으로 수직 제어 신호(VcAC)를 생성하 기 위해 서보 컴퓨터(610)에 의해 구동되는 수직 위치 디지털 인풋(290)을 가진 아날로그 회로이다.
트랙 추종과 트랙 탐색은 트랙 추종 수단과 트랙 탐색 수단으로 수행될 수 있으며, 하나 또는 모두는 도 5에 도시된 서보 컴퓨터(610)에 억세스 가능하게 결합된 메모리(620) 내의 프로그램 시스템(1000) 내의 프로그램 단계들의 적어도 부분에서 이행될 수 있다. 한편, 트랙 탐색 수단 및/또는 트랙 추종 수단은 적어도 하나의 유한 상태 기계로 이행될 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 팽창 챔버가 변형 영역의 팽창의 일부를 수용하고 열전달 플레이트와 히트 싱크가 변형 영역의 온도를 낮추게 되므로, 변형 영역의 과열에 의한 폴 팁의 과도한 돌출이 방지되는 효과가 있다.
본 기술분야의 기술자들은 본 발명의 범위와 사상을 벗어나지 않고서도 설명된 바람직한 실시예에 대한 다양한 적용예들과 변형예들이 구성될 수 있다는 것을 인식할 것이다. 따라서, 본 발명은 첨부된 청구범위 내에서 여기에서 특별히 설명된 것과는 다르게 실행될 수 있다는 것이 이해될 것이다.

Claims (12)

  1. 하드 디스크 드라이브의 슬라이더에 있어서,
    디스크의 표면상의 데이터에 억세스 하기 위한 읽기-쓰기 헤드를 포함하는 변형 영역;
    상기 변형 영역 내에 설치되어 상기 변형 영역의 온도를 증가시켜 상기 변형 영역이 팽창하도록 함으로써 상기 디스크의 표면에 대한 상기 읽기-쓰기 헤드의 수직 위치를 변경시키는 가열 요소; 및
    상기 변형 영역 내에 형성되어 상기 변형 영역의 팽창의 일부를 수용함으로써 폴 팁의 돌출을 제한하는 팽창 챔버;를 구비하는 것을 특징으로 하는 하드 디스크 드라이브의 슬라이더.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 변형 영역의 내부에 상기 팽창 챔버와 결합되도록 설치된 열전달 플레이트와, 상기 변형 영역의 외부에 상기 열전달 플레이트와 열적 접촉되도록 설치된 히트 싱크를 더 구비하며,
    상기 변형 영역이 상기 팽창 챔버 내로 팽창하여 상기 열전달 플레이트에 접촉함으로써, 상기 변형 영역의 열이 상기 열전달 플레이트를 통해 상기 히트 싱크로 전달되어 상기 변형 영역의 온도를 낮추는 것을 특징으로 하는 하드 디스크 드라이브의 슬라이더.
  3. 청구항 3은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제 1항에 있어서,
    상기 읽기-쓰기 헤드는, 상기 디스크 표면상의 데이터를 읽기 위한 스핀 밸브와 터널링 밸브로 이루어진 군 중에서 선택된 어느 하나를 사용하는 것을 특징으로 하는 하드 디스크 드라이브의 슬라이더.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 읽기-쓰기 헤드로부터 제공된 읽기 차동 신호쌍으로부터 증폭된 읽기 신호를 생성하는 증폭기를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 하드 디스크 드라이브의 슬라이더.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 증폭기는 공기 베어링 면의 반대쪽에 배치된 것을 특징으로 하는 하드 디스크 드라이브의 슬라이더.
  6. 제 4항에 있어서,
    상기 증폭기는 상기 변형 영역으로부터 분리된 것을 특징으로 하는 하드 디스크 드라이브의 슬라이더.
  7. 하드 디스크 드라이브의 헤드 짐발 조립체에 있어서,
    제 1항 내지 제 6항 중 어느 한 항의 슬라이더;
    상기 슬라이더에 결합된 플렉셔 핑거; 및
    상기 디스크 표면상의 데이터에 억세스하도록 상기 읽기-쓰기 헤드를 포지셔닝 하는데 기여하는 마이크로-액츄에이터 조립체;를 구비하며,
    상기 마이크로-액츄에이터 조립체는, 상기 슬라이더와 플렉셔 핑거에 결합된 압전 요소와 정전 마이크로-액츄에이터 이루어진 군 중에서 선택된 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 하드 디스크 드라이브의 헤드 짐발 조립체.
  8. 청구항 8은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제 7항에 있어서,
    상기 플렉셔 핑거를 통해 상기 슬라이더에 결합된 로드 빔을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 하드 디스크 드라이브의 헤드 짐발 조립체.
  9. 제 7항에 있어서,
    상기 마이크로-액츄에이터 조립체는 상기 읽기-쓰기 헤드를 측방향으로 포지셔닝 하는데 기여하는 것을 특징으로 하는 하드 디스크 드라이브의 헤드 짐발 조립체.
  10. 제 7항에 있어서,
    상기 마이크로-액츄에이터 조립체는 상기 읽기-쓰기 헤드를 수직 방향으로 포지셔닝 하는데 기여하는 것을 특징으로 하는 하드 디스크 드라이브의 헤드 짐발 조립체.
  11. 삭제
  12. 제 1항의 슬라이더를 구비한 하드 디스크 드라이브를 작동하는 방법에 있어서,
    상기 가열 요소에 수직 제어 신호를 인가하여, 상기 변형 영역의 온도를 증가시켜 상기 변형 영역이 팽창하도록 함으로써 상기 디스크의 표면에 대한 상기 읽기-쓰기 헤드의 수직 위치를 변경시키는 단계; 및
    상기 변형 영역이 상기 팽창 챔버 내로 팽창할 때, 그 팽창의 일부를 상기 팽창 챔버가 수용함으로써 상기 폴 팁의 돌출을 제한하는 단계;를 구비하는 것을 특징으로 하는 하드 디스크 드라이브의 작동 방법.
KR1020070040927A 2006-05-03 2007-04-26 폴 팁의 과도한 돌출을 방지한 슬라이더, 헤드 짐발조립체, 및 하드 디스크 드라이브의 작동 방법 KR100879562B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US11/417,758 US7505227B2 (en) 2006-05-03 2006-05-03 Apparatus and method for preventing excessive thermal pole tip protrusion in slider of a hard disk drive
US11/417,758 2006-05-03

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20070107585A KR20070107585A (ko) 2007-11-07
KR100879562B1 true KR100879562B1 (ko) 2009-01-22

Family

ID=38660949

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020070040927A KR100879562B1 (ko) 2006-05-03 2007-04-26 폴 팁의 과도한 돌출을 방지한 슬라이더, 헤드 짐발조립체, 및 하드 디스크 드라이브의 작동 방법

Country Status (2)

Country Link
US (1) US7505227B2 (ko)
KR (1) KR100879562B1 (ko)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7369347B2 (en) * 2006-05-03 2008-05-06 Samsung Electronics Co., Ltd. Apparatus and method for piezoelectric layer as vertical micro-actuator in slider of a hard disk drive
US20070297080A1 (en) * 2006-06-23 2007-12-27 Lee Sungchang Apparatus and method for bending a slider to create rounded corners on its trailing edge in a hard disk drive
JP2010073279A (ja) * 2008-09-19 2010-04-02 Toshiba Storage Device Corp 磁気ヘッドおよび磁気ディスク装置
JP2010118099A (ja) * 2008-11-11 2010-05-27 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv 磁気ヘッド・スライダ及び磁気ヘッド・スライダの製造方法
US8190402B2 (en) * 2009-05-04 2012-05-29 King Fahd University Of Petroleum & Minerals Method of modeling flexural characteristics of a bar subjected to local heating
US8248896B1 (en) 2010-06-24 2012-08-21 Western Digital (Fremont), Llc Method and system for providing an energy assisted magnetic recording disk drive having improved heat dissipation
US8643981B2 (en) * 2011-12-28 2014-02-04 HGST Netherlands B. V. Magnetic domain control for an embedded contact sensor for a magnetic recording head
US8861317B1 (en) 2013-04-02 2014-10-14 Western Digital (Fremont), Llc Heat assisted magnetic recording transducer having protective pads
US9343098B1 (en) 2013-08-23 2016-05-17 Western Digital (Fremont), Llc Method for providing a heat assisted magnetic recording transducer having protective pads
US9190085B1 (en) 2014-03-12 2015-11-17 Western Digital (Fremont), Llc Waveguide with reflective grating for localized energy intensity

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005276284A (ja) 2004-03-24 2005-10-06 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv 磁気ディスク装置およびそれに用いる磁気ヘッドスライダ
JP2006085885A (ja) 2004-09-14 2006-03-30 Sae Magnetics (Hk) Ltd 加熱および帯電によって作動中の浮上高さを制御する方法と装置

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003141704A (ja) 2001-10-30 2003-05-16 Hitachi Ltd 薄膜磁気ヘッド
US7262936B2 (en) * 2004-03-01 2007-08-28 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands, B.V. Heating device and magnetic recording head for thermally-assisted recording
JP2005327383A (ja) * 2004-05-14 2005-11-24 Tdk Corp 薄膜磁気ヘッド、該薄膜磁気ヘッドを備えたヘッドジンバルアセンブリ、該ヘッドジンバルアセンブリを備えた磁気ディスク装置、薄膜磁気ヘッドの設計方法及び薄膜磁気ヘッドの製造方法
JP2006024289A (ja) * 2004-07-08 2006-01-26 Tdk Corp 発熱体を備えた薄膜磁気ヘッド、該薄膜磁気ヘッドを備えたヘッドジンバルアセンブリ及び該ヘッドジンバルアセンブリを備えた磁気ディスク装置
US7199982B2 (en) * 2004-07-30 2007-04-03 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Eliminating ESD exposure for read/write head with heating element
JP4291754B2 (ja) * 2004-08-10 2009-07-08 ヒタチグローバルストレージテクノロジーズネザーランドビーブイ 磁気ヘッド・スライダおよび磁気ディスク装置
US7609480B2 (en) * 2006-06-30 2009-10-27 Seagate Technology Llc Heat-assisted magnetic recording head
JP2008276837A (ja) * 2007-04-26 2008-11-13 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv 磁気ヘッドスライダ

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005276284A (ja) 2004-03-24 2005-10-06 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv 磁気ディスク装置およびそれに用いる磁気ヘッドスライダ
JP2006085885A (ja) 2004-09-14 2006-03-30 Sae Magnetics (Hk) Ltd 加熱および帯電によって作動中の浮上高さを制御する方法と装置

Also Published As

Publication number Publication date
KR20070107585A (ko) 2007-11-07
US7505227B2 (en) 2009-03-17
US20070258168A1 (en) 2007-11-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100879562B1 (ko) 폴 팁의 과도한 돌출을 방지한 슬라이더, 헤드 짐발조립체, 및 하드 디스크 드라이브의 작동 방법
KR100914933B1 (ko) 수직 마이크로-액츄에이터를 채용한 슬라이더와 이를구비한 헤드 짐발 조립체 및 하드 디스크 드라이브
JP5085853B2 (ja) 積層構造における電気的な交差を提供する方法
US6760196B1 (en) Microactuator with offsetting hinges and method for high-resolution positioning of magnetic read/write head
US7684158B1 (en) Electromagnetic heads, flexures, gimbals and actuators formed on and from a wafer substrate
KR100896186B1 (ko) 충격 성능이 향상된 헤드 짐발 조립체와 그 제조 방법
KR100955031B1 (ko) 하드디스크 드라이브의 기록 전류 파형의 슬루레이트 제어방법 및 장치
JP5890856B2 (ja) ハード・ディスク・ドライブ用の単板差動ポーリング圧電マイクロアクチュエータ
KR100896185B1 (ko) 수직 마이크로-액츄에이터를 채용한 슬라이더, 헤드 짐발조립체, 및 하드 디스크 드라이브의 작동 방법
KR100896192B1 (ko) 압전 마이크로-액츄에이터 조립체와 이를 구비한 헤드 짐발조립체 및 하드 디스크 드라이브
KR100896191B1 (ko) 벤딩 장치를 채용한 슬라이더 및 이를 구비한 헤드 짐발조립체와 하드 디스크 드라이브, 및 하드 디스크드라이브의 작동 방법
JP2003059219A (ja) マイクロアクチュエータ、読出し／書込みヘッド、ヘッドジンバルアセンブリ、ディスクドライブ用アクチュエータアーム、及びディスクドライブ
KR20070115800A (ko) 하드디스크 드라이브에서 습도 적응을 위한 방법 및 장치
US7715150B2 (en) Apparatus and method for head gimbal assembly sharing power to slider amplifier and micro-actuator in a hard disk drive
KR20070110776A (ko) 읽기 신호의 증폭을 위한 증폭기를 포함한 슬라이더, 헤드짐발 조립체, 하드 디스크 드라이브 및 하드 디스크드라이브의 작동 방법
US20090279204A1 (en) Method and apparatus for flyng height on demand heaters in a hard disk drive
US20070000110A1 (en) Method for treating PZT element, PZT micro-actuator, head gimbal assembly and disk drive unit with treated PZT micro-actuator
US8243397B2 (en) Micromachined electrothermal rotary actuator
KR20080005142A (ko) 마이크로-액츄에이터 조립체와 증폭기를 가진 헤드 짐발조립체와 이를 구비한 하드 디스크 드라이브 및 헤드 짐발조립체의 작동 방법
US8199438B2 (en) In-situ dynamic pitch and roll adjustment in hard disk drives
JP2010079942A (ja) 磁気ヘッドアセンブリ及び磁気ディスク装置
JPH09265617A (ja) 磁気ヘッド用サスペンション及び磁気記録装置
JP2010129117A (ja) 磁気ヘッドアセンブリ、サスペンションアーム及び磁気ディスク装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20121227

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131226

Year of fee payment: 6

LAPS Lapse due to unpaid annual fee