KR100878477B1 - 기판 정렬장치 - Google Patents

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KR100878477B1
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엄태준
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로체 시스템즈(주)
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Abstract

본 발명은 기판 정렬장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 레이저를 이용하여 기판을 절단시키도록 상기 기판이 거치되는 프레임, 상기 프레임의 일단부에 설치되고 상하이동되어 상기 기판의 이동을 단속하는 고정부, 및 상기 고정부에 대응되도록 상기 프레임의 타단부에 설치되어 상기 기판을 상기 고정부방향으로 가압시켜 정렬시키는 정렬부를 포함하여 이루어진다.
상기와 같은 본 발명에 의하면, 고정부에 의해 프레임의 상측을 이동하는 기판을 용이하게 단속하여 상기 기판의 절단위치를 용이하게 설정할 수 있고, 정렬부에 의해 상기 기판을 고정부방향으로 가압시켜 상기 기판을 더욱 견고하게 고정시켜 절단위치를 더욱 정확하게 설정할 수 있으며, 스프링에 의해 기판을 이중으로 가압시킴으로 더욱 견고하게 기판을 고정시킬 수 있음은 물론, 센서와 제어부에 의해 가압부의 이동을 제어함으로 다양한 크기의 기판에도 사용할 수 있어 호환성이 좋고, 자동 제어됨으로 작업의 효율성을 증가시킬 수 있다.
기판, 정렬장치, 가압장치, 절단

Description

기판 정렬장치{Apparatus for aligning a substrate}
도 1은 본 발명에 따른 기판 정렬장치를 도시한 도면이고,
도 2는 본 발명에 따른 기판 정렬장치의 분해사시도를 도시한 도면이며,
도 3은 본 발명에 따른 기판 정렬장치의 고정부를 도시한 도면이고,
도 4는 본 발명에 따른 기판 정렬장치의 고정부의 분해사시도를 도시한 도면이며,
도 5는 본 발명에 따른 기판 정렬장치의 고정부의 측면도를 도시한 도면이고,
도 6은 본 발명에 따른 기판 정렬장치의 정렬부를 도시한 도면이며,
도 7은 본 발명에 따른 기판 정렬장치의 정렬부의 분해사시도를 도시한 도면이고,
도 8은 본 발명에 따른 기판 정렬장치의 정렬부의 몸체부를 도시한 도면이며,
도 9는 본 발명에 따른 기판 정렬장치의 정렬부의 가압부를 도시한 도면이고,
도 10은 본 발명에 따른 기판 정렬장치의 정렬부의 측면도를 도시한 도면이며,
도 11은 본 발명에 따른 기판 정렬장치의 정렬부 회전브라켓의 작동상태를 도시한 도면이고,
도 12는 본 발명에 따른 기판 정렬장치의 정렬부 이동브라켓의 작동상태를 도시한 도면이며,
도 13은 본 발명에 따른 기판 정렬장치의 정렬부 가압편의 작동상태를 도시한 도면이고,
도 14는 본 발명에 따른 기판 정렬장치의 정렬부 작동상태를 도시한 도면이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
1 : 기판 정렬장치 10 : 프레임
20 : 고정부 30 : 정렬부
200 : 고정편 202 : 제3가이드돌기
210 : 이동편 212 : 제3가이드홈
220 : 회전편 230 : 고정패드
240 : 연결편 250 : 실린더
260 : 감지센서 270 : 고정제어부
300 : 몸체부 310 : 베이스플레이트
312 : 제1가이드레일 320 : 전면플레이트
330 : 후면플레이트 340 : 측면플레이트
350 : 제1스토퍼 400 : 가압부
410 : 이동브라켓 412 : 제1가이드홈
420 : 접촉부 422 : 회전브라켓
423 : 제2가이드레일 424 : 가압편
425 : 제2가이드홈 426 : 가압패드
428 : 가압스프링 430 : 제2스토퍼
440 : 텐션스프링 442 : 압축스프링
444 : 인장스프링 500 : 구동부
600 : 위치센서 700 : 정렬제어부
본 발명은 정렬장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판이 거치되는 프레임과 상기 기판의 이동을 단속하는 고정부 및 상기 기판을 상기 고정부방향으로 가압시켜 정렬시키는 정렬부로 구성하여 고정부에 의해 프레임의 상측을 이동하는 기판을 용이하게 단속하여 상기 기판의 절단위치를 용이하게 설정할 수 있고, 정렬부에 의해 상기 기판을 고정부방향으로 가압시켜 상기 기판을 더욱 견고하게 고정시켜 절단위치를 더욱 정확하게 설정할 수 있으며, 스프링에 의해 기판을 이중으로 가압시킴으로 더욱 견고하게 기판을 고정시킬 수 있음은 물론, 센서와 제어부에 의해 가압부의 이동을 제어함으로 다양한 크기의 기판에도 사용할 수 있어 호환성이 좋고, 자동 제어됨으로 작업의 효율성을 증가시킬 수 있는 기판 정렬장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체용 기판은 절단장치를 거쳐 일정한 크기로 절단되고, 절단된 기판은 가공장치로 이동되어 식각 또는 코팅 등의 가공을 거쳐 완성되는 것이다.
상기 기판을 절단하는 절단장치는 레이저에 의해 절단되는 것으로, 절단시, 상기 기판을 고정시켜 주는 별도의 고정장치가 설치되어 상기 기판의 일단부를 일측으로 가압하여 고정시킴으로 정확하게 기판을 절단시킬 수 있게 된다.
그러나, 상기 고정장치는 상기 절단장치의 일정부분에 설치되어 기판이 진입 후, 상측으로 회전되어 가압함으로, 가압시 상기 기판의 일단부을 파손시키는 문제점이 있다.
또한, 상기 고정장치는 일정부에 고정 설치됨으로, 다양한 크기를 갖는 기판의 단부를 일측으로 가압하지 못함으로, 각각의 크기에 맞는 절단장치를 사용하거나 상기 고정장치의 설치위치를 변경시켜야 됨으로, 비용이 증가되고, 작업의 효율성이 저하되는 문제점이 있다.
이에 본 발명은 상기와 같은 문제점들을 해소하기 위해 안출된 것으로써, 기판이 거치되는 프레임과 상기 기판의 이동을 단속하는 고정부 및 상기 기판을 상기 고정부방향으로 가압시켜 정렬시키는 정렬부로 구성하여 고정부에 의해 프레임의 상측을 이동하는 기판을 용이하게 단속하여 상기 기판의 절단위치를 용이하게 설정할 수 있고, 정렬부에 의해 상기 기판을 고정부방향으로 가압시켜 상기 기판을 더욱 견고하게 고정시켜 절단위치를 더욱 정확하게 설정할 수 있으며, 스프링에 의해 기판을 이중으로 가압시킴으로 더욱 견고하게 기판을 고정시킬 수 있음은 물론, 센서와 제어부에 의해 가압부의 이동을 제어함으로 다양한 크기의 기판에도 사용할 수 있어 호환성이 좋고, 자동 제어됨으로 작업의 효율성을 증가시킬 수 있는 기판 정렬장치를 제공하는 것이 목적이다.
상기 목적을 이루기 위한 본 발명은, 레이저를 이용하여 기판을 절단시키도록 상기 기판이 거치되는 프레임, 상기 프레임의 일단부에 설치되고 상하이동되어 상기 기판의 이동을 단속하는 고정부, 및 상기 고정부에 대응되도록 상기 프레임의 타단부에 설치되어 상기 기판을 상기 고정부방향으로 가압시켜 정렬시키는 정렬부를 포함하여 이루어진다.
바람직하게, 상기 고정부는, 상기 프레임에 설치되며 상단에 제3가이드돌기가 형성된 고정편, 상기 고정편의 제3가이드돌기에 대응되도록 하단에 제3가이드홈이 형성되는 이동편, 상기 이동편에 회전가능하도록 일단이 연결되고, 상측으로 절곡된 회전편, 상기 회전편의 절곡된 일측에 설치되어 상기 기판이 접촉되는 고정패드, 상기 회전편의 타단에 회전가능하도록 연결되는 연결편, 및 상기 연결편를 상 하방향으로 이동시켜 상기 회전편을 회전시키는 고정부실린더를 포함하여 이루어진다.
그리고, 상기 이동편의 상단에 감지센서가 설치되고, 상기 감지센서의 신호를 수신하여 상기 실린더를 제어하는 고정제어부가 더 구비된다.
또한, 상기 정렬부는, 상기 프레임에 설치되며, 내부에 이동공간이 형성되어 저면에 제1가이드레일이 형성된 몸체부, 상기 몸체부의 제1가이드레일을 따라 이동되도록 상기 이동공간에 설치되고, 상단부는 선택적으로 상기 몸체부의 상측으로 돌출되어 기판을 상기 고정부방향으로 가압하는 가압부, 및 상기 가압부의 후단부와 연결되어 상기 제1가이드레일을 따라 이동시키고, 상기 가압부의 상단부를 상기 몸체부의 내측 또는 외측으로 이동시키는 구동부를 포함하여 이루어진다.
바람직하게, 상기 몸체부는, 상기 제1가이드레일이 설치되는 베이스플레이트, 상기 베이스플레이트의 전단부에 수직방향으로 설치되는 전면플레이트, 상기 전면플레이트와 대응되도록 상기 베이스플레이트의 후단부에 수직방향으로 설치되는 후면플레이트, 및 상기 베이스플레이트의 일 측면에 수직방향으로 설치되어 상기 프레임에 연결되는 측면플레이트를 포함하여 이루어진다.
그리고, 상기 전면플레이트에는 제1스토퍼가 더 구비된다.
또한, 상기 가압부는, 상기 제1가이드레일에 대응되는 제1가이드홈이 하측에 형성되고, 내부에 설치공간부가 형성된 이동브라켓, 및 상기 이동브라켓의 설치공간부에 회전가능하도록 하부가 설치되고, 하단이 상기 구동부와 연결되며, 상단은 상기 기판과 접촉되는 접촉부를 포함하여 이루어진다.
바람직하게, 상기 이동브라켓의 후면부에는 상기 접촉부의 회전각을 제한하는 제2스토퍼가 더 구비된다.
그리고, 상기 이동브라켓과 상기 접촉부 사이에 텐션스프링이 더 구비된다.
또한, 상기 텐션스프링은, 상기 접촉부를 상기 이동브라켓의 상측으로 가압시키는 압축스프링, 및 상기 접촉부의 후단을 상기 이동브라켓의 후면부 방향으로 이동시키는 인장스프링을 포함하여 이루어진다.
그리고, 상기 접촉부는, 상기 이동브라켓의 내부에 회전가능하도록 설치되고 상단부에 제2가이드레일이 형성된 회전브라켓, 상기 회전브라켓의 제2가이드레일에 대응되도록 제2가이드홈이 하측에 형성된 가압편, 상기 가압편의 상단부 일측에 설치되는 가압패드, 및 상기 가압편을 상기 제2가이드레일의 전단부에 위치시키도록 상기 가압편과 상기 회전브라켓에 연결된 가압스프링을 포함하여 이루어진다.
또한, 상기 가압패드는 고무이다.
그리고, 상기 가압부의 위치를 측정하는 위치센서와 상기 위치센서의 측정치에 의해 상기 구동부를 제어하는 제어부가 더 구비된다.
상기와 같은 구성에 의하면, 고정부에 의해 프레임의 상측을 이동하는 기판을 용이하게 단속하여 상기 기판의 절단위치를 용이하게 설정할 수 있고, 정렬부에 의해 상기 기판을 고정부방향으로 가압시켜 상기 기판을 더욱 견고하게 고정시켜 절단위치를 더욱 정확하게 설정할 수 있으며, 미사용시, 고정부와 정렬부를 프레임의 하측으로 이동시킬 수 있어 기판의 이동을 방해하지 않고, 고정패드 및 가압패드에 의해 기판이 손상되는 것을 방지할 수 있으며, 가압편이 스프링에 의해 기판을 이중으로 가압시킴으로 더욱 견고하게 기판을 고정시킬 수 있음은 물론, 센서와 제어부에 의해 가압부의 이동을 제어함으로 다양한 크기의 기판에도 사용할 수 있어 호환성이 좋고, 자동 제어됨으로 작업의 효율성을 증가시킬 수 있다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다.
또한, 본 실시 예는 본 발명의 권리범위를 한정하는 것은 아니고 단지 예시로 제시된 것이며, 그 기술적 요지를 이탈하지 않는 범위 내에서 다양한 변경이 가능하다.
도 1은 본 발명에 따른 기판 정렬장치를 도시한 도면이고, 도 2는 본 발명에 따른 기판 정렬장치의 분해사시도를 도시한 도면이며, 도 3은 본 발명에 따른 기판 정렬장치의 고정부를 도시한 도면이고, 도 4는 본 발명에 따른 기판 정렬장치의 고정부의 분해사시도를 도시한 도면이며, 도 5는 본 발명에 따른 기판 정렬장치의 고정부의 측면도를 도시한 도면이고, 도 6은 본 발명에 따른 기판 정렬장치의 정렬부를 도시한 도면이며, 도 7은 본 발명에 따른 기판 정렬장치의 정렬부의 분해사시도를 도시한 도면이고, 도 8은 본 발명에 따른 기판 정렬장치의 정렬부의 몸체부를 도시한 도면이며, 도 9는 본 발명에 따른 기판 정렬장치의 정렬부의 가압부를 도시한 도면이고, 도 10은 본 발명에 따른 기판 정렬장치의 정렬부의 측면도를 도시한 도면이며, 도 11은 본 발명에 따른 기판 정렬장치의 정렬부 회전브라켓의 작동상태를 도시한 도면이고, 도 12는 본 발명에 따른 기판 정렬장치의 정렬부 이동브라켓의 작동상태를 도시한 도면이며, 도 13은 본 발명에 따른 기판 정렬장치의 정렬부 가압편의 작동상태를 도시한 도면이고, 도 14는 본 발명에 따른 기판 정렬장치의 정렬부 작동상태를 도시한 도면이다.
도면에서 도시한 바와 같이, 기판 정렬장치(1)는 기판이 이동되어 거치되는 프레임(10)과 상기 프레임(10)의 일단부에 설치되는 고정부(20) 및 상기 고정부(20)에 대응되도록 상기 프레임(10)의 타단부에 설치되는 정렬부(30)로 구성된다.
상기 고정부(20)는 고정편(200)과 이동편(210), 회전편(220), 고정패드(230), 연결편(240) 및 실린더(250)로 구성되는 것으로, 상기 고정편(200)은 상기 프레임(10)의 일단부에 설치되며 상단에 제3가이드돌기(202)가 형성된다.
상기 이동편(210)은 상기 고정편(200)의 상단부에 설치되는 것으로, 상기 제3가이드돌기(202)에 대응되는 제3가이드홈(212)이 하단에 형성되어 상기 제3가이드돌기(202)를 따라 이동하게 된다.
이때, 상기 고정편(200)과 이동편(210)은 상기 프레임(10)의 상단높이와 동일하거나 낮게 설치되는 것으로, 상기 기판이 이동할 경우, 방해가 되지 않아야된다.
그리고, 상기 회전편(220)은 상기 이동편(210)의 일단부에 회전가능하도록 설치되는 것으로, 상측으로 절곡 형성되며, 상기 절곡된 일면에 상기 고정패드(230)가 설치되어 상기 기판과 접촉하게 된다.
상기 연결편(240)은 상기 회전편(220)의 타단부에 회전가능하도록 설치되고, 상기 실린더(250)와 연결되어 상하방향으로 이동함으로 상기 회전편(220)을 회전시키게 되며, 상기 회전편(220)의 상단 절곡부는 상기 프레임(10)의 상단높이를 기준 으로 선택적으로 출몰(出沒)하는 것이다.
다시 말해, 상기 이동편(210)을 이동시켜 상기 기판의 크기에 맞도록 설정하고, 상기 기판이 프레임(10)의 상단으로 이동하면, 상기 실린더(250)가 연결편(240)을 상측으로 이동시키게 된다.
상기 연결편(240)이 상측으로 이동되면, 상기 이동편(210)과 연결된 회전편(220)이 회전하여 상기 프레임(10)의 상단면 보다 상측으로 돌출됨으로, 상기 기판의 이동을 단속하게 되는 것이다.
이때, 상기 이동편(210)의 상단부에 감지센서(260)가 설치되고, 상기 감지센서(260)의 신호를 수신하여 상기 실린더(250)를 제어하는 고정제어부(270)가 더 구비된다.
상기 감지센서(260)는 상기 프레임(10)의 상단을 따라 이동되는 기판의 일단부를 감지하게 되고, 상기 감지센서(260)의 신호를 수신한 고정제어부(270)는 상기 실린더(250)를 제어하여 상기 연결편(240)을 상측으로 이동시킴으로, 상기 회전편(220)을 돌출시키게 되어 기판의 이동을 단속하게 되는 것이다.
그리고, 상기 정렬부(30)는 몸체부(300)와 가압부(400) 및 구동부(500)로 구성되는 것으로, 상기 몸체부(300)는 웨이퍼 절단장치(미 도시)의 프레임을 따라 이동되고, 상기 가압부(400)를 설치할 수 있도록 각 플레이트로 구성되는 것이다.
그리고, 상기 가압부(400)는 상기 몸체부(300)의 내부에 이동 가능하도록 설치되어 웨이퍼의 일단부와 접촉되는 것이고, 상기 구동부(500)는 상기 가압부(400)를 이동시키도록 상기 몸체부(300)에 설치되게 된다.
상기 몸체부(300)는 베이스플레이트(310)와 전면플레이트(320), 후면플레이트(330) 및 측면플레이트(340)로 구성되는 것으로, 상기 베이스플레이트(310)는 저면을 형성하며, 상측에 제1가이드레일(312)이 길이방향을 따라 형성된다.
그리고, 상기 전면플레이트(320)는 상기 베이스플레이트(310)의 전면에 수직방향으로 설치되고, 상기 후면플레이트(330)는 상기 베이스플레이트(310)의 후면에 수직방향으로 설치된다.
상기 측면플레이트(340)는 상기 베이스플레이트(310)의 측면에 수직으로 설치되는 것으로, 상기 절단장치의 프레임과 접촉되어 상기 프레임의 길이방향을 따라 이동되게 된다.
이때, 상기 후면플레이트(330)에는 상기 구동부(500)가 설치되어 상기 가압부(400)를 이동시키게 되고, 상기 전면플레이트(320)에는 제1스토퍼(350)가 설치되어 상기 가압부(400)의 이동을 제한하게 하는 것이 바람직하다.
상기 베이스플레이트(310)의 제1가이드레일(312)을 따라 이동되는 가압부(400)가 상기 전면플레이트(320)의 면과 닿게 되면 상호 마모되어 동작오류가 발생 될 수 있음으로, 이동거리를 제한하는 것이다.
상기 가압부(400)는 이동브라켓(410)과 접촉부(420)로 구성되는 것으로, 상기 이동브라켓(410)은 상기 몸체부(300)의 베이스플레이트(310)에 형성된 제1가이드레일(312)을 따라 이동되도록 하단에 제1가이드홈(412)이 형성되고, 내부에 공간부가 형성된다.
그리고, 상기 접촉부(420)는 상기 이동브라켓(410)의 내부에 회전 가능하도 록 설치되는 것으로, 상기 구동부(500)와 연결되어 회전되는 것이다.
이때, 상기 이동브라켓(410)의 후면부에는 제2스토퍼(430)가 내측으로 돌출되어 상기 접촉부(420)의 회전각을 제한시키는 것으로, 본 발명에서는 상기 접촉부(420)의 상단부가 상기 절단장치의 프레임과 평행하게 위치되도록 돌출길이가 결정되게 된다.
즉, 상기 접촉부(420)의 상단면과 상기 이동브라켓(410)과 연결된 회전축의 연장선이 수직을 이루도록 제2스토퍼(430)가 설치되는 것이다.
또한, 상기 이동브라켓(410)과 상기 접촉부(420) 사이에 텐션스프링(440)이 설치되어 상기 접촉부(420)와 제2스토퍼(430)가 접촉되도록 상기 접촉부(420)를 상측으로 가압하여 회전시키게 된다.
상기 텐션스프링(440)은 압축스프링(442)과 인장스프링(444)으로 구성되며, 상기 압축스프링(442)은 상기 접촉부(420)와 이동브라켓(410)의 연결부를 기준으로, 접촉부(420) 전단부 하단을 상측으로 가압시키게 된다.
그리고, 상기 인장스프링(444)은 상기 접촉부(420)의 후단부를 상기 이동브라켓(410)의 제2스토퍼(430) 방향으로 당겨 이동시키고, 상기 제2스토퍼(430)와 접촉부(420)가 접촉된 상태를 유지시켜주게 된다.
즉, 상기 압축스프링(442)과 인장스프링(444)은 상기 접촉부(420)를 제2스토퍼(430)가 설치된 상기 이동브라켓(410) 방향으로 회전시켜 상태를 유지할 수 있도록 하는 것이다.
이는, 상기 정렬부(30)의 미 동작시, 상기 접촉부(420)가 기판 정렬장치(1) 의 프레임(10)보다 돌출되는 것을 방지하기 위해 상기 구동부(500)가 상기 접촉부(420)의 일단부를 당겨 전단부가 하측에 위치되 있는 상태임으로, 상기 정렬부(30)의 동작시, 기판을 가압할 수 있는 위치로 신속하게 위치시키기 위한 것이다.
또한, 상기 텐션스프링(440)은 기판을 절단시킨 후, 상기 정렬부(30)의 가압부(400)가 후면방향으로 이동할 경우, 상기 구동부(500)에 의해 상기 가압부(400)의 접촉부(420)가 하측으로 회전되는 것을 방지하게 된다.
즉, 상기 구동부(500)에 의해 가압부(400)가 후방측으로 이동함과 동시에 접촉부(420)가 하측으로 회전되는 것을 방지하기 위한 것으로, 상기 가압부(400)가 후방측으로 이동하더라도 상기 텐션스프링(440)에 의해 상기 접촉부(420)는 기판을 가압시키던 높이를 일정시간 유지시켜, 상기 가압부(400)에 의한 웨이퍼의 손상을 방지하게 되는 것이다.
상기 접촉부(420)는 회전브라켓(422)과 가압편(424), 가압패드(426) 및 가압스프링(428)으로 구성되는 것으로, 상기 회전프라켓(422)은 상기 이동브라켓(410)에 회전 가능하도록 설치되며, 상단부에 제2가이드레일(423)이 형성된다.
그리고, 상기 가압편(424)은 상기 제2가이드레일(423)을 따라 이동되도록 하단에 제2가이드홈(425)이 형성되고, 상단부 일측에 상기 가압패드(426)가 설치되어 기판의 일단과 접촉하게 된다.
상기 가압스프링(428)은 상기 회전브라켓(422)과 가압편(424)에 양단이 고정되어 있는 것으로, 상기 가압편(424)이 상기 회전브라켓(422)의 제2가이드레 일(423)의 전단부에 위치되도록 상기 가압편(424)을 전단방향으로 당겨주는 것이다.
이는, 도 10 내지 도 11에 도시한 바와 같이, 상기 정렬부(30)의 사용시, 상기 접촉부(420)의 상단이 상측으로 돌출되도록 상기 구동부(500)에 의해 회전되어 상기 제2스토퍼(430)와 접촉된다.
상기와 같이, 접촉부(420)가 제2스토퍼(430)와 접촉하게 되면, 상기 접촉부(420)가 구동부(500)에 의해 이동브라켓(410)과 고정됨으로, 상기 이동브라켓(410)이 제1가이드레일(312)을 따라 이동하면서 접촉부(420)가 기판과 접촉하게 된다.
이때, 상기 접촉부(420)의 가압패드(426)와 기판이 접촉하는 것으로, 상기 가압패드(426)가 기판의 일단부와 접촉하게 되더라도 상기 구동부(500)는 계속 작동되어 상기 이동브라켓(410)을 상기 제1가이드레일(312)을 따라 이동시키게 된다.
상기 이동브라켓(410)이 계속 이동하게 되면, 상기 가압패드(426)와 연결된 상기 가압편(424)이 제2가이드레일(423)을 따라 상기 이동브라켓(410)의 이동방향과 반대로 이동하게 되어 상기 가압패드(426)에 의해 기판이 손상되는 것을 방지할 수 있다.
이때, 상기 가압편(424)과 회전브라켓(422)에는 가압스프링(428)이 연결됨으로, 상기 가압편(424)을 회전브라켓(422)의 전단부로 이동시키는 힘이 적용되어 상기 기판의 단부를 가압하게 된다.
또한, 상기 가압패드(426)는 고무로 이루어지는 것으로, 상기 가압패드(426) 에 의해 기판의 단부가 손상되는 것을 방지하는 것이 바람직하다.
상기 고정부(20)와 정렬부(30)에 의해 기판이 고정되어 절단장치에 의해 절단된 후, 상기 정렬부(30)의 구동부(500)에 의해 상기 가압부(400)가 후방측으로 이동하게 되어 기판의 일단부와 이격되고, 상기 가압부(400)의 접촉부(420)가 하측으로 회전되어 가압패드(426)가 숨겨지게 되어 다음 작업을 준비하게 된다.
그리고, 상기 가압부(400)의 상측에 위치센서(600)와 상기 위치센서(600)의 측정치에 의해 상기 구동부(500)를 제어하는 정렬제어부(700)를 더 구비하여 상기 가압부(400)의 위치에 따라 상기 구동부(500)를 자동으로 제어하는 것이 바람직하다.
다시 말해, 상기 위치센서(600)는 상기 가압부(400)의 회전브라켓(422) 상단부에 위치되어 상기 가압편(424)의 일 단부의 위치를 측정하여 상기 정렬제어부(700)로 전송하고, 상기 정렬제어부(700)에서 상기 가압편(424)이 제2가이드레일(423)을 따라 과도하게 이동되는 것을 방지하도록 구동부(500)를 제어함으로, 이동브라켓(410)의 이동을 조절하게 되는 것이다.
상기와 같이, 위치센서(600)와 정렬제어부(700)를 설치하면, 절단작업시, 자동으로 기판을 고정시 킬 수 있음으로 작업인원을 감소시켜 작업효율을 향상시킬 수 있게 되고, 상기 가압편(424)이 과도하게 이동되어 가압스프링(428)을 파손시키는 것을 방지할 수 있음으로 비용을 절감시킬 수 있는 것이다.
상기한 바와 같이, 본 발명에 의한 기판 정렬장치에 의하면, 고정부에 의해 프레임의 상측을 이동하는 기판을 용이하게 단속하여 상기 기판의 절단위치를 용이하게 설정할 수 있고, 정렬부에 의해 상기 기판을 고정부방향으로 가압시켜 상기 기판을 더욱 견고하게 고정시켜 절단위치를 더욱 정확하게 설정할 수 있으며, 미사용시, 고정부와 정렬부를 프레임의 하측으로 이동시킬 수 있어 기판의 이동을 방해하지 않고, 고정패드 및 가압패드에 의해 기판이 손상되는 것을 방지할 수 있으며, 가압편이 스프링에 의해 기판을 이중으로 가압시킴으로 더욱 견고하게 기판을 고정시킬 수 있음은 물론, 센서와 제어부에 의해 가압부의 이동을 제어함으로 다양한 크기의 기판에도 사용할 수 있어 호환성이 좋고, 자동 제어됨으로 작업의 효율성을 증가시킬 수 있게 하는 매우 유용하고 효과적인 발명이다.

Claims (13)

  1. 레이저를 이용하여 기판을 절단시키도록 상기 기판이 거치되는 프레임;
    상기 프레임의 일단부에 설치되고 상하이동되어 상기 기판의 이동을 단속하는 고정부; 및
    상기 고정부에 대응되도록 상기 프레임의 타단부에 설치되어 상기 기판을 상기 고정부방향으로 가압시켜 정렬시키는 정렬부를 포함하고,
    상기 고정부는,
    상기 프레임에 설치되며 상단에 제3가이드돌기가 형성된 고정편;
    상기 고정편의 제3가이드돌기에 대응되도록 하단에 제3가이드홈이 형성되는 이동편;
    상기 이동편에 회전가능하도록 일단이 연결되고, 상측으로 절곡된 회전편;
    상기 회전편의 절곡된 일측에 설치되어 상기 기판이 접촉되는 고정패드;
    상기 회전편의 타단에 회전가능하도록 연결되는 연결편; 및
    상기 연결편를 상하방향으로 이동시켜 상기 회전편을 회전시키는 고정부실린더를 포함하여 이루어지는 기판 정렬장치.
  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 이동편의 상단에 감지센서가 설치되고, 상기 감지센서의 신호를 수신하여 상기 실린더를 제어하는 고정제어부가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 정렬장치.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 정렬부는,
    상기 프레임에 설치되며, 내부에 이동공간이 형성되어 저면에 제1가이드레일이 형성된 몸체부;
    상기 몸체부의 제1가이드레일을 따라 이동되도록 상기 이동공간에 설치되고, 상단부는 선택적으로 상기 몸체부의 상측으로 돌출되어 기판을 상기 고정부방향으로 가압하는 가압부; 및
    상기 가압부의 후단부와 연결되어 상기 제1가이드레일을 따라 이동시키고, 상기 가압부의 상단부를 상기 몸체부의 내측 또는 외측으로 이동시키는 구동부를 포함하여 이루어지는 기판 정렬장치.
  5. 제 4항에 있어서, 상기 몸체부는,
    상기 제1가이드레일이 설치되는 베이스플레이트;
    상기 베이스플레이트의 전단부에 수직방향으로 설치되는 전면플레이트;
    상기 전면플레이트와 대응되도록 상기 베이스플레이트의 후단부에 수직방향으로 설치되는 후면플레이트; 및
    상기 베이스플레이트의 일 측면에 수직방향으로 설치되어 상기 프레임에 연결되는 측면플레이트를 포함하여 이루어지는 기판 정렬장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 전면플레이트에는 제1스토퍼가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 정렬장치.
  7. 제 4항에 있어서, 상기 가압부는,
    상기 제1가이드레일에 대응되는 제1가이드홈이 하측에 형성되고, 내부에 설치공간부가 형성된 이동브라켓; 및
    상기 이동브라켓의 설치공간부에 회전가능하도록 하부가 설치되고, 하단이 상기 구동부와 연결되며, 상단은 상기 기판과 접촉되는 접촉부를 포함하여 이루어지는 기판 정렬장치.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 이동브라켓의 후면부에는 상기 접촉부의 회전각을 제한하는 제2스토퍼가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 정렬장치.
  9. 제 7항에 있어서,
    상기 이동브라켓과 상기 접촉부 사이에 텐션스프링이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 정렬장치.
  10. 제 9항에 있어서, 상기 텐션스프링은,
    상기 접촉부를 상기 이동브라켓의 상측으로 가압시키는 압축스프링; 및
    상기 접촉부의 후단을 상기 이동브라켓의 후면부 방향으로 이동시키는 인장스프링을 포함하여 이루어지는 기판 정렬장치.
  11. 제 7항에 있어서, 상기 접촉부는,
    상기 이동브라켓의 내부에 회전가능하도록 설치되고 상단부에 제2가이드레일이 형성된 회전브라켓;
    상기 회전브라켓의 제2가이드레일에 대응되도록 제2가이드홈이 하측에 형성 된 가압편;
    상기 가압편의 상단부 일측에 설치되는 가압패드; 및
    상기 가압편을 상기 제2가이드레일의 전단부에 위치시키도록 상기 가압편과 상기 회전브라켓에 연결된 가압스프링을 포함하여 이루어지는 기판 정렬장치.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 가압패드는 고무인 것을 특징으로 하는 기판 정렬장치.
  13. 제 4항에 있어서,
    상기 가압부의 위치를 측정하는 위치센서와 상기 위치센서의 측정치에 의해 상기 구동부를 제어하는 정렬제어부가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 정렬장치.
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JP2000306980A (ja) * 1993-02-26 2000-11-02 Tokyo Electron Ltd Ｌｃｄ用ガラス基板の位置合わせ機構及び真空処理装置
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