KR100877263B1 - 연성 금속박막 적층필름 제조방법 - Google Patents

연성 금속박막 적층필름 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 연성금속박막 적층필름의 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 제조 공정을 단순화함과 동시에 연성필름과 금속박막이 우수한 접착강도를 유지하고, 불량을 최소화할 수 있는 연성금속박막 적층필름의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 연성금속박막 적층필름의 제조방법은 연성금속박막 적층필름의 제조에 필요한 연성필름을 준비하는 단계; 연성필름 상에 커플링제를 도포하는 단계; 상기 연성필름을 플라즈마 처리하는 단계; 및 상기 연성필름 상에 금속층을 형성하는 단계; 를 포함한다.
연성동박, 연성금속박막, 연성필름, 적층필름, 전해도금, 스퍼터링, 플라즈마

Description

연성 금속박막 적층필름 제조방법{A manufacturing method for flexible metal clad laminate film}
본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 것이며, 후술하는 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니된다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 연성금속박막 적층필름 제조장치의 대략적인 구성을 도시하는 구성도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 연성금속박막 적층필름 제조방법의 순서도 이다.
<도면의 주요 참조부호에 대한 설명>
1...연성필름 10...권취롤
20...커플링제 도포장치 21...전해조
22...전해액 30...플라즈마 처리장치
40...스퍼터링 장치 50...전해도금장치
51...전해조 52...전해액
53...애노드 54...드럼
55...전원공급장치
본 발명은 연성금속박막 적층필름의 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 제조 공정을 단순화함과 동시에 연성필름과 금속박막이 우수한 접착강도를 유지하고, 불량을 최소화할 수 있는 연성금속박막 적층필름의 제조방법에 관한 것이다.
일반적으로, 인쇄회로기판이란, 인쇄회로 원판에 전기배선의 회로설계에 따라 각종 부품을 연결하거나 지지해 주는 것으로 흔히 전자제품의 신경회로에 비유되고 있다. 노트북 컴퓨터, 휴대폰, PDA, 소형 비디오 카메라 및 전자수첩 등의 전자기기의 괄목할 만한 성장에 따라 인쇄회로기판은 제품의 고집적화, 소형화에 있어서 중요성이 증대되고 있다.
인쇄회로기판은 그 물리적 특성에 따라 리지드(rigid) 인쇄회로기판(PCB;Printed Circuit Board), 연성(flexible) 인쇄회로기판, 이 두 가지가 결합된 리지드-플렉서블 인쇄회로기판 및 리지드-플렉서블 인쇄회로기판과 유사한 멀티-플렉서블 인쇄회로기판으로 나뉜다.
여기서, 연성회로 기판의 원자재인 연성금속박막 적층필름은 휴대폰ㆍ디지털캠코더ㆍ노트북ㆍLCD모니터 등 디지털 가전제품에 사용되는 것으로 굴곡성이 강하고 경박단소화에 유리하다는 특성에 힘입어 최근 수요가 급격히 늘고 있다.
연성금속박막 적층필름은 유연성 기재필름(이하, 연성필름)과 구리나 알루미늄 등으로 된 도전성 금속박막이 적층된 형태로 제조된다.
연성금속박막 적층필름은 박막 형태의 금속도전층과 연성필름 사이에 에폭시수지 등의 접착제를 도포하여 금속도전층과 연성필름을 서로 접합하는 방법에 의하여 제조되었다. 그러나, 상기과 같은 방법으로 연성금속박막 적층필름을 제조할 경우, 접착제의 내열성이 저하되어 치수 안정성에 문제가 발생하게 된다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 접착제를 사용하지 않고 연성필름 상에 직접 금속 도전층을 스퍼터링 한 후 도금처리하는 방법이 제안되었다. 그러나, 상기와 같은 방법으로 연성금속박막 적층필름을 제조할 경우, 연성필름 상에 열로 인한 주름이 발생하거나, 수지층에 발포가 발생하는 문제가 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 금속박막과 연성필름 사이의 우수한 접착력을 유지하고 불량을 줄일 수 있도록 구현한 연성금속박막 적층필름의 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
공정의 단순화를 통해 제조물의 불량을 줄임과 동시에 생산성을 향상시킬 수 있는 연성금속박막 적층필름의 제조방법을 제공하는데 또 다른 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 연성금속박막 적층필름의 제조방법은 연성금속박막 적층필름의 제조에 필요한 연성필름을 준비하는 단계; 연성필름 상에 커플링제를 도포하는 단계; 상기 연성필름을 플라즈마 처리하는 단 계; 및 상기 연성필름 상에 금속층을 형성하는 단계; 를 포함한다.
상기 금속층은 동 스퍼터링층인 것이 바람직하다.
상기 금속층을 형성하는 단계에서, 상기 금속층은 동 스퍼터링층인 것이 바람직하다.
더욱 바람직하게, 상기 금속층을 형성하는 단계는 Ni-Cr 합금 스퍼터링층을 형성하는 단계; 및 Ni-Cr 합금 스퍼터링층 상에 동 스퍼터링층을 형성하는 단계;를 포함할 수 있다.
나아가, 본 발명에 따른 연성금속박막 적층필름의 제조방법은 금속층을 형성하는 단계 이후에, 상기 금속층 상에 동도금층을 형성하는 단계;를 더 포함할 수 있다.
상기 연성필름은 폴리 이미드(polyimides) 필름인 것이 바람직하다.
한편, 상기 커플링제는 아민(Amine)계 실란(Silane)을 채택하는 것이 바람직하다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 연성금속박막 적층필름 제조장치의 대략적인 구성을 도시하는 구성도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 연성금속박막 적층필름 제조장치는 연성필름 권취롤(10), 커플링제 도포장치(20), 플라즈마 처리장치(30), 및 스퍼터링 장치(40)를 포함한다.
연성필름 권취롤(10)은 연성금속박막 적층필름의 제조에 필요한 연성필름이 권취되어 있는 롤이다. 상기 연성필름은 굴곡성을 부여하기 위하여 폴리아미드, 폴리에스테르, 폴리술폰, 폴리에테르이미드 등의 유기고분자 물질이 채택될 수 있으며, 바람직하게는, 폴리 이미드(polyimides) 필름이 사용될 수 있다.
커플링제 도포장치(20)는 연성필름(1)을 일정시간(예컨대, 1초 ~ 10분) 동안 침지시킬 수 있도록 액체조(22) 내부에 커플링제 용액(21)이 담겨있는 장치를 사용하거나 커플링제 용액(21)을 분무할 수 있는 스프레이 장치를 사용할 수 있다.
상기 커플링제 용액(21)은 실란계 커플링제 0.01~10%를 함유하며, 용매는 비점이 낮은 물, 메탄올, 에탄올, 및 이소프로판올로 이루어진 군에서 선택되는 물질 또는 2종 이상의 혼합용매를 사용한다.
플라즈마 처리장치(30)는 내부압력을 1×10-3 ~ 1×10-5torr로 유지할 수 있는 진공챔버로 이루어진다. 그리고, 상기 진공챔버 내에 아르곤 가스, 산소 가스, 또는 아르곤 가스와 산소 가스가 혼합된 가스를 주입할 수 있는 가스 주입구를 구비한다. 또한, 플라즈마 처리장치(30)는 플라즈마 소스 및 상기 플라즈마 소스에 연결되는 고주파 전원공급장치를 구비한다.
스퍼터링 장치(40)는 플라즈마 처리장치(30)와 마찬가지로 내부압력을 1×10-3 ~ 1×10-5torr로 유지할 수 있는 진공챔버로 이루어지며, 상기 진공챔버 내에 아르곤 가스, 산소 가스, 또는 아르곤 가스와 산소 가스가 혼합된 가스를 주입할 수 있는 가스 주입구, 스퍼터링 처리를 위한 전극판, 및 고주파 전원공급장치를 구비한다.
본 발명의 연성금속박막 적층필름 제조장치는 전해도금장치(50)를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 전해도금장치(50)는 전해액(52)이 담긴 전해조(51), 애노드(53), 및 상기 전해조(51) 내부에 설치되고 상기 전해액(52)에 그 일부가 침전되는 드럼(54), 상기 애노드(53)와 드럼(54)에 각각 (+), (-)전원을 인가하는 전원공급장치(55)를 포함한다.
본 발명의 실시예에서, 연성금속박막 적층필름은 연성동박 적층필름을 예시한다. 따라서, 스퍼터링 장치(40)는 구리 또는 구리합금 타겟을 이용하며, 전해도금장치(50)에 사용되는 전해액(52)은 구리 이온을 포함하는 예컨대, 황산구리를 포함하는 수용액일 수 있다.
비록 본 발명의 실시예에서 연성동박 적층필름을 제조하는 장치를 예시하였 으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 스퍼터링 장치(40)의 타겟 및 전해도금장치(50)의 전해액(52) 성분을 변화시켜 상기 연성필름(1) 상에 형성되는 금속박막을 다양하게 변화시킬 수 있다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 연성금속박막 적층필름 제조방법의 순서도 이다.
이하, 도 2를 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 연성금속박막 적층필름 제조방법에 대하여 상세하게 설명한다.
우선, 연성동박 제조를 위하여 연성필름을 준비한다(S10). 여기서, 상기 S10단계에서 준비하는 상기 연성필름은 굴곡성을 부여하기 위하여 폴리아미드, 폴리에스테르, 폴리술폰, 폴리에테르이미드 등의 유기고분자 물질이 채택될 수 있으며, 바람직하게는, 폴리 이미드(polyimides) 필름이 사용될 수 있다.
다음으로, 상기 연성필름을 커플링제가 함유된 용액에 침지시킨다(S20). S20단계를 통해, 상기 커플링제가 그라프트 반응에 의하여 연성필름 표면에 도포된다(S20). 여기서, 상기 커플링제는 아민(Amine)계 실란(Siline)인 것이 바람직하다.
비록 본 발명의 실시예에서, 커플링제가 아민계 실란인 것을 예시하였으나, 본 발명에서 이를 한정하는 것은 아니며, 예컨대, 에폭시계, 아크릴계, 비닐계 등과 같이 유기 관능기를 포함하고 있어 유기질 재료와 무기질 재료(실리카, 유리, 금속 등) 간의 결합을 유지할 수 있으면 충분하다.
다음으로, 커플링제가 도포된 상기 연성필름을 플라즈마 처리한다(S30). 구 체적으로, 상기 S20단계에서 커플링제가 도포된 상기 연성필름을 내부압력이 1×10-3 ~ 1×10-5torr인 진공챔버 내에 설치하고, 상기 진공챔버 내에 아르곤 가스, 산소 가스, 또는 아르곤 가스와 산소 가스가 혼합된 가스를 5~30sccm정도 주입한다. 그런 다음, 고정된 플라즈마 소스에 200W의 전력을 인가하여 플라즈마를 발생시키고, 상기 연성필름을 플라즈마에 노출시킨다. 이로써, 챔버 내부에 존재하는 산소입자가 상기 연성필름 표면에 흡착되고, 상기 연성필름 표면에 존재하는 이물질이 제거된다.
그 후, S30단계에서 표면 개질된 상기 연성필름을 스퍼터링(sputtering) 처리하여 그(연성필름) 표면에 금속을 증착시킨다(S40). 예컨대, S30단계에서 표면 개질되어 권취된 상기 연성필름을 진공챔버에 설치하고, 내부압력을 1×10-3 ~ 1×10-5torr로 유지한다. 그런 다음, 5~30sccm 정도의 아르곤 가스를 주입하고, 0.5~30mA의 전류를 50~500W 범위 내에서 조절하여 전극판에 인가한다. 이러한 과정을 1~10시간 정도 수행하여 상기 연성필름의 표면에 100~5,000Å의 구리 이온을 증착시킨다.
바람직하게, S40단계를 통해 그 표면에 금속이 증착된 연성필름에 구리도금을 더 실시할 수 있다(S50). 구체적으로, 금속(예컨대, 구리)이 증착된 상기 연성필름을 황산구리 및 황산수용액의 전해 도금조를 통과시켜 구리도금을 실시한다. 상기 과정을 통해, 1~100㎛의 두께의 구리막이 형성된 동박적층 필름을 제조한다.
상기와 같은 방법을 통해, 연성금속박막 적층필름 제조시 이물질이 발생할 수 있는 환경을 제거하여 불량율을 줄일 수 있고, 인라인 공정을 통해 연성금속박막 적층필름을 제조함으로써 제품(연성금속박막 적층필름)의 생산성을 높일 수 있는 장점이 있다.
이상에서 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다.
본 발명의 연성금속박막 적층필름 제조방법에 따르면, 금속박막과 연성필름 사이의 우수한 접착력을 유지함과 동시에 제품(연성금속박막 적층필름)의 불량을 줄일 수 있다.
인라인 공정을 통해 연성금속박막 적층필름을 제조함으로써, 제조물의 불량을 줄임과 동시에 생산성을 향상시킬 수 있다.

Claims (6)

  1. (1)연성금속박막 적층필름의 제조에 필요한 연성필름을 준비하는 단계;
    (2)연성필름 상에 아민계 실란 커플링제를 도포하는 단계;
    (3)상기 연성필름을 플라즈마 처리하는 단계; 및
    (4)상기 연성필름 상에 금속층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 연성금속박막 적층필름 제조방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 금속층은 동 스퍼터링층인 것을 특징으로 하는 연성금속박막 적층필름 제조방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제(4)단계는,
    (4a)Ni-Cr 합금 스퍼터링층을 형성하는 단계; 및
    (4b)Ni-Cr 합금 스퍼터링층 상에 동 스퍼터링층을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 연성금속박막 적층필름 제조방법.
  4. 제1항에 있어서,
    (5)상기 금속층 상에 동도금층을 형성하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으 로 하는 연성금속박막 적층필름 제조방법.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 연성필름은 폴리 이미드(polyimides) 필름인 것을 특징으로 하는 연성금속박막 적층필름 제조방법.
  6. 삭제
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