KR100873904B1 - 젯팅 헤드의 분사 성능 검사기 - Google Patents

젯팅 헤드의 분사 성능 검사기 Download PDF

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Abstract

본 발명은 다수의 젯팅 헤드에서 분사되는 피도출물의 분사 상태를 실시간으로 측정 후 평가하는 검사기에 관한 것이다.
본 발명에 따른 젯팅 헤드의 분사 성능 검사기는 다수의 젯팅 헤드(111,112,113)를 구비하는 헤드부(110)와, 둘 이상의 카메라(121,122)를 구비하는 카메라부(120)와, 상기 헤드부(110)와 상기 카메라부(120)간의 상대 운동을 일으키는 구동부(130)와, 상기 카메라부(120)에서 측정된 피도출물의 분사상태로부터 젯팅 헤드의 성능을 평가하는 제어부(140)를 포함한다.
젯팅 헤드, 잉크젯 인쇄기술, 카메라

Description

젯팅 헤드의 분사 성능 검사기{A jetting performance test machine for jetting heads}
도1은 종래 기술에 따른 젯팅 헤드의 분사 성능 검사기를 개략적으로 도시한 사시도.
도2는 본 발명의 제1실시예에 따른 젯팅 헤드의 분사 성능 검사기를 개략적으로 도시한 평면도.
도3은 도2의 젯팅 헤드의 분사 성능 검사기를 개략적으로 도시한 사시도.
도4는 도2에 따른 젯팅 헤드 분사 성능 검사기의 촬영각도에 따른 촬영 상태를 도시한 개념도.
도5는 본 발명의 제2실시예에 따른 젯팅 헤드의 분사 성능 검사기를 개략적으로 도시한 사시도.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
110: 헤드부 111: 제1젯팅 헤드
112: 제2젯팅 헤드 113: 제3젯팅 헤드
114: 헤드 프레임 115: 노즐
120: 카메라부 121: 제1카메라
122: 제2카메라 130: 구동부
131: X축 구동부 132: Y축 구동부
133: Z축 구동부 134: 회전 구동부
140: 제어부 141: 디스플레이부
본 발명은 다수의 젯팅 헤드의 분사 성능 검사기에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 다수의 젯팅 헤드에서 분사되는 피도출물의 분사 상태를 실시간으로 측정 후 평가하는 검사기의 구동 메커니즘에 관한 것이다.
반도체 공정에 있어서 포토리소그래피공정은 감광제를 기판 상에 균일하게 도포하고, 스텝퍼와 같은 노광 장비를 사용하여, 마스크 혹은 레티클 상의 패턴을 축소 투영 노광시킨 후, 현상 과정을 거쳐 원하는 2차원 패턴의 감광막을 형성 시키기까지의 모든 공정을 말한다. 포토리소그래피공정은 두께 및 폭의 균일성이 우수한 막을 형성할 수 있어 반도체 제조에 많이 응용되었다. 그러나 기판의 집적도가 높아짐에 따라 기존의 포토리소그래피 공정으로 미세 패턴을 형성하기 위하여는 고가의 장비가 요구되고, 수율이 낮아지는 등 많은 문제가 발생하게 되었다.
이러한 문제를 해결하기 위하여 포토리소그래피 공정을 대체할 수 있는 여러 가지 연구가 이루어져 왔고, 그 중 광원을 사용하지 않는 인쇄기술이 시도되었다. 인쇄기술 중 가장 주목을 받고 있는 기술이 바로 잉크젯 인쇄기술(Ink-jet printing)이다. 잉크젯 인쇄기술은 최초에 가정용 프린트용으로 개발되었으나, 최근에는 액정패널의 칼라필터, 광스위치 소자, 유기전기발광소자, 초소형 센서 등의 생산으로 응용범위가 확장되고 있다. 잉크젯 인쇄기술은 비접촉식 인쇄(non-contact printing)방법으로 소자의 손상이 적어 생산성을 극대화할 수 있다.
본 발명은 이와 같은 잉크젯 인쇄기술 장비에 사용되는 젯팅 헤드(jetting head)의 성능을 검사/평가하기 위한 검사기에 관한 것이다. 젯팅 헤드에서 분사되는 피도출물은 유체(ink) 뿐만 아니라, 금속(metal)이 될 수도 있으며, 이는 생산제품의 종류에 따라 정해진다.
도1을 참조하여 종래의 젯팅 헤드의 분사 성능 검사기의 구성을 설명하면 다음과 같다.
종래의 검사기는 하나의 젯팅 헤드(10)에서 분사되는 피도출물을 검사할 수 있도록 구성되어 있었다. 젯팅 헤드(10)에는 다수의 노즐(11)이 일열로 배치되어 있으며, 젯팅 헤드(10)로부터 일정거리 떨어진 곳에는 노즐(11)에서 분사되는 피도출물의 분사상태를 측정하기 위한 카메라(20)가 구비된다. 카메라(20)에는 다수의 노즐(11)을 순차로 검사할 수 있도록 카메라(20)를 노즐(11)의 배열 방향으로 상대운동 시키는 카메라 구동용 단축 모터(30)가 구비된다. 그리고 검사기에는 젯팅 헤드(10) 및 카메라(20)의 동작을 제어하기 위한 제어부(40)와, 카메라(20)에서 촬영된 영상을 보여주는 디스플레이부(41)가 구비된다. 제어부(40)는 검사기의 전체적인 동작을 제어하고, 카메라(20)에서 측정된 피도출물의 분사상태로부터 젯팅 헤드(10)의 분사 성능을 평가하도록 되어 있다. 여기서 분사상태라 함은 피도출물 방울 (drop)의 외곽 크기, 직경, 분사 속도, 분사 직진도, 테일(tail) 유무 등을 말한다.
이와 같은 종래의 젯팅 헤드 분사 성능 검사기의 동작은 다음과 같다.
검사가 시작되면 제어부(40)는 모터(30)를 작동시켜 카메라(20)가 젯팅 헤드(10)의 제일 상측 첫번째 노즐(11)에서 분사되는 피도출물의 분사상태를 측정할 수 있도록 카메라(20)를 위치시킨다. 첫번째 노즐(11)의 피도출물을 측정하고 난 후, 제어부(40)는 모터(30)를 작동시켜 카메라(20)를 노즐(11) 배열방향과 나란하게 수평이동시키면서 두번째 이하 나머지 노즐(11)에서 분사되는 피도출물의 분사상태를 모두 측정하게 된다. 제어부(40)에서는 카메라(20)에서 측정되는 피도출물의 분사상태를 이용하여 젯팅 헤드(10)의 분사 성능을 평가하게 된다.
그런데 이와 같은 종래의 젯팅 헤드 분사 성능 검사기는 다음과 같은 문제점이 있었다.
잉크젯 인쇄기술을 이용한 장비에서 제품의 생산속도와 효율을 높이기 위하여 다수의 젯팅 헤드를 사용하게 된다. 그런데 종래의 검사기는 카메라의 위치가 하나의 젯팅 헤드에 대하여 초점거리가 일치하도록 놓여져 있기 때문에 다수 젯팅 헤드에서 다른 젯팅 헤드에 대하여는 초점거리가 일치하지 않아 피도출물을 측정할 수 없다는 문제가 있었다.
또한, 피도출물에 대하여 카메라의 촬영각도가 항상 일정하도록 셋팅되어 있기 때문에, 피도출물의 입체적인 분석이 어려운 문제가 있었다. 입체적 분석이란 피도출물의 분사상태를 서로 다른 촬영각도에서 측정할 수 있도록 카메라를 서로 다른 각도로 배치하여 피도출물을 측정하는 것을 말한다.
또한, 하나의 카메라로 젯팅 헤드의 모든 노즐에서 분사되는 피도출물을 검사하여야 하기 때문에 검사 시간이 길어지는 문제가 있었다.
본 발명은 이와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 다수의 젯팅 헤드에서 분사되는 피도출물의 분사상태를 검사할 수 있는 젯팅 헤드의 분사 성능 검사기를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 피도출물에 대한 입체적인 분석이 가능한 젯팅 헤드의 분사 성능 검사기를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 젯팅 헤드 성능 검사 시간을 단축 시켜 검사 효율을 높일 수 있는 젯팅 헤드의 분사 성능 검사기를 제공하는 것이다.
이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 젯팅 헤드의 분사 성능 검사기는 다수의 노즐이 형성된 젯팅 헤드가 하나 이상 설치된 헤드부; 상기 젯팅 헤드에서 분사되는 피도출물을 측정하기 위한 카메라부; 상기 헤드부와 상기 카메라부를 직교하는 2축 이상의 방향으로 상대운동 시키는 구동부; 및 상기 카메라부에서 측정된 피도출물의 분사상태로부터 상기 젯팅 헤드의 성능을 평가하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 구동부는 상기 카메라의 촬영각도를 변화시키기 위한 회전구동부를 포함한다.
또한, 상기 카메라부는 둘 이상의 카메라를 포함하고, 상기 복수의 카메라는 둘 이상의 노즐에서 분사되는 피도출물을 동시에 측정할 수 있도록 나란히 배치되거나, 어느 하나의 노즐에서 분사되는 피도출물을 서로 다른 촬영각도에서 측정할 수 있도록 일정한 각을 이루며 배치된다.
또한, 상기 구동부는 상기 헤드부 및 상기 카메라부가 상기 젯팅 헤드의 길이방향으로 상대운동을 일으키도록 하는 X축 구동부와, 상기 젯팅 헤드의 폭 방향으로 상대운동을 일으키도록 하는 Y축 구동부와, 상기 젯팅 헤드의 높이 방향으로 상대운동을 일으키도록 하는 Z축 구동부를 포함하고, 상기 X축 구동부, 상기 Y축 구동부 및 상기 Z축 구동부는 각각 상기 헤드부 또는 상기 카메라부 중 어느 일측에 설치된다.
그리고 이러한 목적들 달성하기 위한 본 발명에 따른 젯팅 헤드의 분사 성능 검사기는 다수의 노즐이 형성된 젯팅 헤드가 하나 이상 설치된 헤드부; 상기 젯팅 헤드에서 분사되는 피도출물을 측정하기 위한 카메라부; 상기 카메라부의 촬영각도를 변화시킬 수 있도록 상기 헤드부와 상기 카메라부를 상대 회전 시키는 회전 구동부; 및 상기 카메라부에서 측정된 피도출물의 분사상태로부터 상기 젯팅 헤드의 성능을 평가하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 젯팅 헤드의 분사 성능 검사기는 상기 헤드부 및 상기 카메라부가 상기 젯팅 헤드의 길이방향으로 상대운동을 일으키도록 하는 X축 구동부와, 상기 젯팅 헤드의 폭 방향으로 상대운동을 일으키도록 하는 Y축 구동부와, 상기 젯팅 헤드의 높이 방향으로 상대운동을 일으키도록 하는 Z축 구동부를 더 포함하는 한 다.
또한, 상기 카메라부는 둘 이상의 카메라를 포함하고, 상기 복수의 카메라는 둘 이상의 노즐에서 분사되는 피도출물을 동시에 측정할 수 있도록 나란히 배치되거나, 어느 하나의 노즐에서 분사되는 피도출물을 서로 다른 촬영각도에서 측정할 수 있도록 일정한 각을 이루며 배치된다.
그리고 이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 젯팅 헤드의 분사 성능 검사기는 다수의 노즐이 형성된 젯팅 헤드가 하나 이상 설치된 헤드부; 상기 젯팅 헤드에서 분사되는 피도출물을 측정하기 위한 카메라를 둘 이상 구비하는 카메라부; 상기 카메라부를 상기 헤드부에 대하여 상대운동 시키기 위한 구동부; 및 상기 카메라부에서 측정된 피도출물의 분사상태로부터 상기 젯팅 헤드의 성능을 평가하는 제어부를 포함하는 것을 또 다른 특징으로 한다.
또한, 상기 복수의 카메라는 둘 이상의 노즐에서 분사되는 피도출물을 동시에 측정할 수 있도록 나란히 배치되거나, 어느 하나의 노즐에서 분사되는 피도출물을 서로 다른 촬영각도에서 측정할 수 있도록 일정한 각을 이루며 배치된다.
이하에서는 본 발명에 따른 젯팅 헤드의 분사 성능 검사기의 바람직한 실시예들을 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도2와 도3은 본 발명에 따른 젯팅 헤드의 분사 성능 검사기의 제1실시예를 도시한 것이다. 젯팅 헤드(111,112,113)들은 일방향으로 길게 형성된다. 이들의 저면에는 길이 방향을 따라 일열로 배열된 노즐(115)이 다수 개 형성되어 있다. 이 노즐(115)에서는 생산제품에 따라 요구되는 잉크 혹은 메탈 등의 피도출물(150)을 분사하게 된다. 젯팅 헤드(111,112,113)들은 서로 평행하게 배치되어 있다. 젯팅 헤드(111,112,113)들의 배치는 장비의 사용 목적에 따라 조금씩 달라질 수 있으며, 도면상에는 3개가 배열되어 있으나, 필요에 따라 임의의 정수(n)개로 확장될 수도 있다. 젯팅 헤드(111,112,113)들은 이들의 상대 위치를 고정시켜 주는 헤드 프레임(114)에 설치되어 있으며, 이들 젯팅 헤드(111,112,113)와 헤드 프레임(114)은 하나의 헤드부(110)를 이루고 있다.
헤드부(110)의 일측에는 젯팅 헤드(111,112,113)의 노즐(115)에서 분사되는 피도출물(150) 방울(drop)의 분사 상태를 측정하기 위한 카메라부(120)가 설치된다. 카메라부(120)에는 서로 나란하게 배치되는 두 개의 카메라(121,122)가 구비된다. 카메라부(120)와 헤드부(110) 사이의 거리는 카메라(121,122)의 초점거리에 의해 정해진다. 즉 측정되는 피도출물(150)이 카메라(121,122)의 초점거리 상에 위치되도록 이격된다. 그리고 각각의 카메라(121,122)는 서로 다른 노즐(115)에서 분사되는 피도출물(150)의 분사 상태를 동시에 측정하게 된다. 이는 하나의 젯팅 헤드(111,112,113)에서 분사되는 피도출물(150)을 측정하는데 소요되는 시간을 줄이기 위한 것으로, 카메라의 개수는 2개로 한정되는 것은 아니며, 필요에 따라 임의의 정수(m)개로 까지 확장될 수 있다. 따라서 하나의 젯팅 헤드(111,112,113)를 검사하는데 소요되는 시간은 종래 검사기에 비하여 1/m으로 줄어들게 된다.
또한, 이 검사기에는 헤드부(110)과 카메라부(120) 간의 상대운동을 일으키기 위한 구동부(130)가 구비된다. 구동부(130)는 헤드부(110)와 카메라부(120)가 젯팅헤드(111,112,113)의 길이방향, 폭방향 및 높이 방향으로 상대운동 하도록 구성된다. 편의상 도2에 도시된 바와 같이 각 젯팅헤드(111,112,113)의 길이 방향을 X축 방향, 폭방향을 Y축 방향, 높이 방향을 Z축 방향이라 하겠다. 구동부(130)는 헤드부(110)가 젯팅 헤드(111,112,113)의 길이방향(X축 방향)으로 선형운동을 일으키도록 하는 X축 구동부(131)와, 헤드부(110)가 젯팅 헤드(111,112,113)의 높이 방향(Z축 방향)으로 선형운동을 일으키도록 하는 Z축 구동부(133)와, 카메라부(120)가 젯팅 헤드(111,112,113)의 폭방향(Y축 방향)으로 선형운동을 일으키도록 하는 Y축 구동부(132)를 포함한다. 그리고 구동부(130)는 카메라부(120)의 촬영각도를 변화시키기 위하여 카메라의 회전운동을 일으키는 회전 구동부(134)를 더 포함한다. X축, Y축, Z축 및 회전구동부(131,132,133,134) 각각은 헤드부(110)와 카메라부(120)간의 상대 운동을 일으키기 위한 것으로, 도면 상에는 X축 구동부(131)와 Z축 구동부(133)는 헤드부(110) 측에 그리고 Y축 구동부(132)와 회전구동부(134)는 카메라부(120)측에 설치되어 있으나, 그 설치위치가 이에 구애받는 것은 아니며, 각 구동부(131,132,133,134)는 헤드부(110)와 카메라부(120) 사이의 상대운동을 일으킬 수 있기만 한다면, 헤드부(110)에 설치되든 카메라부(120)에 설치되든 무방하다.
한편, 카메라부(120)의 촬영각도를 변화시키는 이유는 다음과 같다.
노즐(115)에서 분사되는 피도출물(150)의 분사상태 중 특히 직진도의 검사는 피도출물(150)이 노즐(115)에서 연직 하방으로 분사되는지의 여부를 검사하는 것이다. 도4에 도시된 바와 같이, 노즐(115)에서 분사되는 피도출물(150)이 노즐(115) 중심에서 연직하방으로 분사되지 못하고 어느 정도 이탈되어 있을 때, 카메라(121)가 a위치에 있을 경우 이 카메라(121)는 카메라(121) 정면에서 좌우방향으로 이탈되는 성분(C)은 촬영할 수 있으나, 전후방향으로 이탈되는 성분(d)은 촬영할 수 없는 한계가 있다. 다시 카메라(121)를 a위치와 다른 촬영각도를 갖는 b위치에 놓게 되면 종전에 촬영할 수 없었던 전후방향 성분(d)을 촬영할 수 있게 된다. 따라서 직진도 검사 시에는 피도출물(150)을 2이상의 촬영각도에서 입체적으로 촬영하여야만 정확한 검사가 가능하다.
그리고 상기 검사기에는 헤드부(110), 카메라부(120), 구동부(130)의 전체적인 동작을 제어하기 위한 제어부(140)와, 카메라부(120)에서 촬영된 영상을 사용자에게 보여주는 디스플레이부(141)가 구비된다. 제어부(140)는 카메라부(120)에서 측정된 피도출물(150)의 분사상태로부터 젯팅 헤드(111,112,113)의 분사 성능을 평가하는 기능을 포함한다.
다음은 본 발명의 제1실시예에 따른 젯팅 헤드 분사 성능 검사기의 동작을 설명한다.
X축 구동부(131)는 카메라부(120)가 젯팅 헤드(111,112,113)의 길이방향으로 상대 운동하게 하므로 어느 하나의 젯팅 헤드(111,112,113) 내에서 측정 대상이 되는 노즐(115)을 변경할 목적으로 사용된다. Y축 구동부(132)는 카메라부(120)가 젯팅 헤드(111,112,113)의 폭방향으로 상대 운동하게 하므로 측정 대상이 되는 젯팅 헤드(111,112,113)를 변경할 목적으로 사용된다. Z축 구동부(133)는 카메라부(120)가 젯팅 헤드(111,112,113)의 높이 방향으로 상대 운동하게 하므로 분사 높이에 따 른 분사상태를 측정하기 위해 사용된다. 그리고 회전 구동부(134)는 카메라부(120)가 젯팅 헤드(111,112,113)에 대하여 상대 회전하게 하므로 촬영각도를 변화시킬 목적으로 사용된다.
동작 순서는 대략 다음과 같다. 편의상 도2상의 제일 좌측 젯팅 헤드(111)부터 순서대로 제1, 제2, 제3 젯팅헤드(11,112,113)라 하고, 제1젯팅 헤드(111)의 제일 상측 노즐(115a)부터 순차로 제1, 제2 노즐(115a,115b)이라 하겠다. 카메라(121,122) 역시 제일 좌측부터 순서대로 제1, 제2카메라(121,122)라 하도록 하겠다.
검사가 시작되면 제어부(140)는 구동부(130)를 작동시켜 제1젯팅 헤드(111)의 제1노즐(115a)에서 분사되는 피도출물(150)의 분사상태를 측정할 수 있는 위치에 제1카메라(121)를 위치시킨다. 제2카메라(122)는 제1젯팅 헤드(111)의 중앙에 위치하는 노즐(115)에서 분사되는 피도출물(150)부터 분사상태를 측정하게 된다.
제1젯팅 헤드(111)에서 분사되는 피도출물(150)의 분사상태를 카메라부(120)가 측정하기 시작하면, 제어부(140)는 X축 구동부(131)를 작동시켜 제1젯팅 헤드(121)의 제2노즐(115b) 이하 나머지 노즐(115)에서 분사되는 피도출물(150)도 순차로 측정하게 된다.
제1젯팅 헤드(111)의 모든 노즐(115)에 대한 피도출물(150)의 측정이 완료되면, 제어부(140)는 제2젯팅 헤드(112)에서 분사되는 피도출물(150)의 분사상태를 측정할 수 있도록 Y축 구동부(132)를 작동시켜 카메라부(120)를 이동시킨다. Y축 구동부(132)는 제2젯팅 헤드(112)에서 분사되는 피도출물(150)이 카메라(121,122) 의 초점거리상에 있도록 카메라부(120)를 이동시킨다. 그리고 나서 다시 X축 구동부(131)를 작동하여 제2젯팅 헤드(112)의 모든 노즐에 대하여 피도출물(150)의 분사 상태를 측정한다. 제2젯팅 헤드(112)의 측정이 완료되면, 이하 나머지 젯팅 헤드(113)에 대하여도 마찬가지 방식으로 X축 구동부(131) 및 Y축 구동부(132)를 작동하면서 측정을 완료한다.
이렇게 하여 모든 젯팅 헤드(111,112,113)에서 분사되는 피도출물(150)의 분사상태 측정이 완료되면, 다음은 높이에 따른 분사상태나 촬영각도에 따른 분사상태를 측정한다. 즉, Z축 구동부(133)를 동작시켜 카메라부(120)와 헤드부(110) 간의 상대 높이를 변화시킨 후 상기 과정을 반복하여 높이에 따른 분사 상태를 측정하거나, 회전 구동부(134)를 동작시켜 카메라부(120)의 촬영각도를 변화시킨 후 상기 과정을 반복하여 촬영 각도에 따른 분사상태를 측정한다.
카메라부(120)에서 측정되는 정보는 제어부(140)로 전달되고, 제어부(140)에서는 피도출물(150)의 크기, 직경, 분사 속도, 직진도, 테일 등 분사상태에 관한 정보를 프로그램화된 알고리즘에 의해 실시간으로 평가하여 젯팅 헤드(111,112,113)의 성능을 검사하게 된다.
다음은 도5를 참조하여 본 발명의 제2실시예에 따른 젯팅 헤드 분사 성능 검사기를 설명한다.
일방향으로 길게 형성된 다수의 젯팅 헤드(211,212,213)가 헤드 프레임(214) 상에 평행하게 배치되어 하나의 헤드부(210)를 이루고 있다. 젯팅헤드(211,212,213)들은 제1실시예에서와 달리 상하로 배열되어 있는데, 이들 배열은 장 비의 종류에 따라 다양하게 변경될 수 있다.
헤드부(210)의 일측으로 소정 거리 이격된 곳에는 젯팅 헤드(211,212,213)에서 분사되는 피도출물(250)의 분사상태를 측정하기 위한 카메라부(220)가 구비된다. 카메라부(220)에는 복수의 카메라(221,222)가 구비되는데, 이들 카메라(221,222)는 어느 하나의 노즐(215)에서 분사되는 피도출물(250)을 서로 다른 촬영각도에서 동시에 촬영할 수 있도록 서로 일정한 각을 이루도록 배치되어 있다. 즉, 피도출물(250)을 입체적으로 촬영하기 위한 것이다. 도5상에는 두 개의 카메라(221,222)가 도시되어 있으나, 단지 이에 한정되는 것은 아니며 둘 이상의 카메라가 서로 다른 촬영각도를 갖도록 배열될 수 있다.
카메라부(220)의 하측에는 카메라부(220)와 헤드부(210) 간의 상대 운동을 위한 구동부(230)가 마련된다. 구동부(230)는 제1실시예에서와 마찬가지로 각 젯팅 헤드(211,212,213)의 길이방향, 폭 방향, 및 높이 방향으로 상대운동을 일으키기 위한 X축 구동부(231), Y축 구동부(232), Z축 구동부(233), 그리고 카메라부(220)를 회전시키기 위한 회전구동부(234)로 이루어진다. 제1실시예에서와의 차이점은 X축 구동부(231) 및 Z축 구동부(233)가 헤드부(210)가 아니라 카메라부(220)에 설치되어 있다는 점이다. 그러나 이들의 구동에 의해 카메라부(220)와 헤드부(210)가 X축 방향 및 Z축 방향으로 상대 운동한다는 점에서는 동일하다.
또한, 도시되어 있지는 않으나 제2실시예의 검사기 역시 제어부와 디스플레이부를 구비한다.
제2실시예에 따른 검사기의 동작 역시 제1실시예에서와 거의 동일하다. 다만 차이점은 제1실시예의 검사기는 복수의 카메라(121,122)가 각각 서로 다른 노즐(115)에서 분사되는 피도출물(150)의 분사상태를 동일한 촬영각도로 측정하나, 제2실시예의 검사기는 복수의 카메라(221,222)가 동일한 노즐(215)에서 분사되는 피도출물(250)의 분사상태를 서로 다른 촬영각도에서 입체적으로 촬영한다는 점에서 차이가 있다.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 젯팅 헤드의 분사 성능 검사기는 헤드부와 카메라부가 직교하는 3축 방향으로 상대운동가능하게 하는 구동부가 구비되어 있어, 다수의 젯팅 헤드를 갖는 헤드부에 대한 분사 성능 검사가 가능하게 하고, 검사 위치를 다양하게 함으로써 검사의 신뢰성을 높일 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 젯팅 헤드의 분사 성능 검사기의 구동부에는 피도출물에 대한 촬영각도를 변화시킬 수 있는 회전구동부를 구비하고 있어, 피도출물에 대한 입체적인 분석이 가능하게 한다.
또한, 본 발명에 따른 젯팅 헤드의 분사 성능 검사기는 복수의 카메라를 구비하고 있어 검사 시간을 단축시킬 수 있는 효과가 있다.

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  13. 다수의 노즐이 형성된 젯팅 헤드가 하나 이상 설치된 헤드부;
    상기 젯팅 헤드에서 분사되는 피도출물을 측정하기 위한 카메라를 둘 이상 구비하는 카메라부;
    상기 카메라부를 상기 헤드부에 대하여 상대운동 시키기 위한 구동부; 및
    상기 카메라부에서 측정된 피도출물의 분사상태로부터 상기 젯팅 헤드의 성능을 평가하는 제어부를 포함하는 젯팅 헤드의 분사 성능 검사기.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 복수의 카메라는 둘 이상의 노즐에서 분사되는 피도출물을 동시에 측정할 수 있도록 나란히 배치된 젯팅 헤드의 분사 성능 검사기.
  15. 제13항에 있어서,
    상기 복수의 카메라는 어느 하나의 노즐에서 분사되는 피도출물을 서로 다른 촬영각도에서 측정할 수 있도록 일정한 각을 이루며 배치된 젯팅 헤드의 분사 성능 검사기.
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