KR100870126B1 - Pd 나노와이어를 이용한 수소센서 제조방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (10)
- 기판 상에 외부전극 패턴을 형성하는 공정;상기 기판상에 수지층을 도포한 후, 수지층 나노채널 패턴을 형성하는 공정;상기 나노채널이 형성된 기판상에 스퍼터를 이용하여 Pd를 증착한 후, 상기 수지층을 제거함으로서 Pd 나노와이어를 형성하는 공정;상기 Pd 나노와이어가 형성된 기판상에 수지층을 도포한 후, 상기 외부전극 패턴과 상기 Pd 나노 와이어의 양단부 그리고 상기 외부전극 패턴과 Pd 나노 와이어의 양단부 간의 소정위치 각각의 사이에 수지층 패턴을 형성하는 공정; 및상기 형성된 수지층 패턴상에 전도성 금속을 증착한 후, 그 수지층 패턴을 제거함으로써 상기 외부전극 패턴과 Pd 나노와이어를 전기적으로 연결하는 공정;을 포함하는 Pd 나노와이어를 이용한 수소센서 제조방법.
- 제 1항에 있어서, 상기 전도성 금속은 Au와 Ti중 선택된 1종 이상임을 특징으로 하는 Pd 나노와이어를 이용한 수소센서 제조방법.
- 제 1항에 있어서, 상기 수지층은 PMMA로 이루어진 것임을 특징으로 하는 Pd 나노와이어를 이용한 수소센서 제조방법.
- 제 1항에 있어서, 상기 나노채널은 그 선폭이 100 ㎚ ~ 500 ㎚ 이고 길이가 10 ㎛ ~ 40 ㎛인 것을 특징으로 하는 Pd 나노와이어를 이용한 수소센서 제조방법.
- 제 1항에 있어서, 상기 스퍼터로 증착되는 Pd는 그 두께가 5 ㎚ ~ 400 ㎚ 범위인 것을 특징으로 하는 Pd 나노와이어를 이용한 수소센서 제조방법.
- 제 1항에 있어서, 10~40,000ppm 사이의 수소농도를 0.01 % 오차범위 내에서 검지할 수 있음을 특징으로 하는 Pd 나노와이어 수소센서 제조방법.
- 제 1항에 있어서, 상기 기판은 SiO2로 조성됨을 특징으로 하는 Pd 나노와이어 수소센서 제조방법.
- 제 1항에 있어서, 나아가, 상기 외부전극 패턴과 연결된 Pd 나노와이어를 이온밀링처리함을 특징으로 하는 Pd 나노와이어 수소센서 제조방법.
- 삭제
- 제 1항에 있어서, 상기 Pd를 증착시, Ni, Pt 및 Ag중 선택된 1종의 금속을 함께 증착함으로써 금속합금 나노와이어를 형성함을 특징으로 하는 Pd 나노와이어 수소센서 제조방법.
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Families Citing this family (8)
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KR100900904B1 (ko) * | 2007-08-31 | 2009-06-03 | 연세대학교 산학협력단 | 팔라듐-니켈 합금 박막을 이용한 수소 센서 제조 방법 및상기 방법을 이용하여 제조되는 수소 센서 |
KR100958307B1 (ko) * | 2008-01-30 | 2010-05-19 | 한국과학기술연구원 | 나노채널이 집적된 3차원 금속 나노와이어 갭 전극을포함하는 바이오센서, 그 제작방법 및 상기 바이오센서를포함하는 바이오 디스크 시스템 |
KR101358245B1 (ko) * | 2012-03-19 | 2014-02-07 | 연세대학교 산학협력단 | 수소 센서 및 수소 센서 제조 방법 |
NL2010887C2 (en) * | 2013-05-29 | 2014-12-02 | Univ Delft Tech | Memristor. |
CN104967760B (zh) * | 2014-10-17 | 2018-07-06 | 北京宇航系统工程研究所 | 一种在物理隔离网络间自动摆渡运行的数字传真系统 |
GB2585882B (en) * | 2019-07-19 | 2021-09-01 | The Francis Crick Institute Ltd | Electrochemical probe |
US11255805B2 (en) | 2019-12-23 | 2022-02-22 | Nanodx, Inc. | Sensor system and methods |
KR20240057603A (ko) | 2022-10-25 | 2024-05-03 | 한국화학연구원 | 수소 가스 센서 및 이의 제조방법 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20030079999A1 (en) | 2001-07-20 | 2003-05-01 | The Regents Of The University Of California | Hydrogen gas sensor |
US6713377B2 (en) | 1998-07-31 | 2004-03-30 | Industrial Technology Research Institute | Method of electroless plating copper on nitride barrier |
KR20050071483A (ko) * | 2002-08-30 | 2005-07-07 | 나노-프로프리어터리, 인크. | 가변적인 범위의 수소 센서로 사용되는 금속 나노와이어의형성 |
JP2006226860A (ja) | 2005-02-18 | 2006-08-31 | Hitachi Ltd | セラミックスセンサおよびその製造方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7287412B2 (en) | 2003-06-03 | 2007-10-30 | Nano-Proprietary, Inc. | Method and apparatus for sensing hydrogen gas |
KR20050039016A (ko) | 2003-10-23 | 2005-04-29 | 한국화학연구원 | 팔라듐이 코팅된 탄소 나노튜브 수소센서 |
KR100655978B1 (ko) | 2004-06-25 | 2006-12-08 | 현대자동차주식회사 | 팔라듐 나노 와이어를 이용한 수소센서 |
KR20060088700A (ko) | 2005-02-02 | 2006-08-07 | 엘지전자 주식회사 | 정전용량 변화를 이용한 수소센서 및 그 제조방법 |
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2006
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6713377B2 (en) | 1998-07-31 | 2004-03-30 | Industrial Technology Research Institute | Method of electroless plating copper on nitride barrier |
US20030079999A1 (en) | 2001-07-20 | 2003-05-01 | The Regents Of The University Of California | Hydrogen gas sensor |
KR20050071483A (ko) * | 2002-08-30 | 2005-07-07 | 나노-프로프리어터리, 인크. | 가변적인 범위의 수소 센서로 사용되는 금속 나노와이어의형성 |
JP2006226860A (ja) | 2005-02-18 | 2006-08-31 | Hitachi Ltd | セラミックスセンサおよびその製造方法 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20220067194A (ko) | 2020-11-17 | 2022-05-24 | 한국화학연구원 | 수소 가스 센서 |
KR20220131862A (ko) | 2021-03-22 | 2022-09-29 | 한국화학연구원 | 수소 가스 센서 |
KR20220131863A (ko) | 2021-03-22 | 2022-09-29 | 한국화학연구원 | 수소 가스 센서 |
KR20220131864A (ko) | 2021-03-22 | 2022-09-29 | 한국화학연구원 | 수소 가스 센서 |
KR20220131861A (ko) | 2021-03-22 | 2022-09-29 | 한국화학연구원 | 수소 가스 센서 |
KR20220136151A (ko) | 2021-03-31 | 2022-10-07 | 한국화학연구원 | 수소 가스 센서 |
KR20220136069A (ko) | 2021-03-31 | 2022-10-07 | 한국화학연구원 | 수소 가스 센서 및 이의 제조방법 |
KR20220136281A (ko) | 2021-03-31 | 2022-10-07 | 한국화학연구원 | 랩핑형 가스 센서 |
KR20220136152A (ko) | 2021-03-31 | 2022-10-07 | 한국화학연구원 | 수소 가스 센서 |
KR20220136282A (ko) | 2021-03-31 | 2022-10-07 | 한국화학연구원 | 수소 감지용 센서어레이 및 이를 이용한 수소 감지 시스템. |
KR20230111316A (ko) | 2022-01-18 | 2023-07-25 | 한국화학연구원 | 수소 가스 센서 및 이의 제조방법 |
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